KR20220072319A - 약액 수용 어셈블리 및 이를 포함하는 약액 토출 장치 - Google Patents

약액 수용 어셈블리 및 이를 포함하는 약액 토출 장치 Download PDF

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KR20220072319A
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Abstract

약액 수용 어셈블리는 수용부, 성장부, 및 제거부를 포함할 수 있다. 상기 수용부는 기판에 토출하기 위한 약액을 수용하도록 구비될 수 있다. 상기 성장부는 상기 약액에 초음파 제공을 통하여 상기 약액에 잔존하는 버블 또는/및 용존 가스의 크기를 성장시키도록 구비될 수 있다. 상기 제거부는 상기 성장부로부터의 상기 초음파 제공을 통하여 그 크기가 성장된 성장 버블 또는/및 성장 용존 가스를 상기 약액으로부터 제거하도록 구비될 수 있다.

Description

약액 수용 어셈블리 및 이를 포함하는 약액 토출 장치{ASSEMBLY FOR STORING CHEMICAL AND APPRATUS FOR DISPENSING CHEMICAL HAVING THE SAME}
본 발명은 약액 수용 어셈블리 및 이를 포함하는 약액 토출 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 기판 상에 토출하기 위한 포토레지스트, RGB 잉크 등과 같은 약액을 수용하는 약액 수용 어셈블리 및 이를 포함하는 약액 토출 장치에 관한 것이다.
유기 EL 디스플레이 소자 등의 제조에서는 기판 상에 포토레지스트, RGB 잉크 등과 같은 약액을 토출하는 공정을 수행할 수 있다.
포토레지스트 등과 같은 약액의 토출은 주로 노즐 등과 같은 부재가 구비되는 약액 토출부를 사용함에 의해 달성할 수 있고, RGB 잉크 등과 같은 약액의 토출은 주로 잉크젯 헤드 등과 같은 약액 토출부를 사용함에 의해 달성할 수 있다.
약액 토출에 적용되는 약액 토출 장치는 약액 저장부에 저장된 약액을 일정 경로를 통하여 약액 토출부로 공급하는 구성을 가질 수 있다.
그런데 약액 저장부로부터 약액 토출부로 공급되는 약액에는 버블 또는/및 용존 가스가 잔존할 수도 있고, 이에 버블 또는/및 용존 가스가 잔존하는 약액이 기판 상에 그대로 토출되는 경우에는 공정 불량을 발생할 수 있는 문제점이 있다.
본 발명의 일 과제는 수용부에 수용되는 약액 내에 잔존할 수 있는 버블 또는/및 용존 가스를 약액으로부터 용이하게 제거할 수 있는 약액 수용 어셈블리를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 과제는 수용부에 수용되는 약액 내에 잔존할 수 있는 버블 또는/및 용존 가스를 약액으로부터 용이하게 제거할 수 있는 약액 수용부를 포함하는 약액 토출 장치를 제공하는데 있다.
상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리는 수용부, 성장부, 및 제거부를 포함할 수 있다. 상기 수용부는 기판에 토출하기 위한 약액을 수용하도록 구비될 수 있다. 상기 성장부는 상기 약액에 초음파 제공을 통하여 상기 약액에 잔존하는 버블 또는/및 용존 가스의 크기를 성장시키도록 구비될 수 있다. 상기 제거부는 상기 성장부로부터의 상기 초음파 제공을 통하여 그 크기가 성장된 성장 버블 또는/및 성장 용존 가스를 상기 약액으로부터 제거하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 성장부는 상기 초음파 제공시 주파수 조정을 통하여 상기 약액에 음압 환경 및 양압 환경이 반복해서 형성될 수 있도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제거부는 상기 약액 표면으로 부상하는 상기 성장 버블 또는/및 성장 용존 가스가 상기 수용부로부터 외부 환경으로 배출될 수 있게 상기 수용부로부터 상기 수용부 외부로 연장되는 배출 구조물로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제거부는 상기 수용부로부터 상기 기판에 약액을 토출하기 위한 토출 노즐 쪽으로 플로우되는 약액으로부터 상기 성장 버블 또는/및 성장 용존 가스를 탈기시키도록 구비되는 탈기 구조물로 이루어질 수 있다.
상기 본 발명의 다른 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 약액 토출부, 약액 저장부, 및 약액 수용 어셈블리를 포함할 수 있다. 상기 약액 토출부는 기판에 약액을 토출하도록 구비될 수 있다. 상기 약액 저장부는 상기 약액 토출부로 공급하기 위한 상기 약액을 저장하도록 구비될 수 있다. 상기 약액 토출 어셈블리는 상기 약액 저장부로부터 상기 약액 토출부로 상기 약액이 플로우되는 경로 상에 구비되고, 상기 약액을 임시 수용하도록 구비되는 수용부, 상기 약액에 초음파 제공을 통하여 상기 약액에 잔존하는 버블 또는/및 용존 가스의 크기를 성장시키도록 구비되는 성장부, 및 상기 성장부로부터의 상기 초음파 제공을 통하여 그 크기가 성장된 성장 버블 또는/및 성장 용존 가스를 상기 약액으로부터 제거하도록 구비되는 제거부로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 성장부는 상기 초음파 제공시 주파수 조정을 통하여 상기 약액에 음압 환경 및 양압 환경이 반복해서 형성될 수 있도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제거부는 상기 약액 표면으로 부상하는 상기 성장 버블 또는/및 성장 용존 가스가 상기 수용부로부터 외부 환경으로 배출될 수 있게 상기 수용부로부터 상기 수용부 외부로 연장되는 배출 구조물로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제거부는 상기 수용부로부터 상기 기판에 약액을 토출하기 위한 토출 노즐 쪽으로 플로우되는 약액으로부터 상기 성장 버블 또는/및 성장 용존 가스를 탈기시키도록 구비되는 탈기 구조물로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 약액 수용 어셈블리에 구비되는 상기 수용부가 상기 약액 저장부와 연결되는 제1 버퍼 수용부라 할 때, 상기 수용부로부터 상기 약액을 공급받아 임시로 저장함과 아울러 상기 기판에 약액을 토출하는 공정의 수행시 상기 약액 토출부로 상기 약액을 공급할 수 있게 상기 수용부와 상기 약액 토출부 사이에 배치되도록 구비되는 제2 버퍼 수용부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리 및 약액 토출 장치는 약액에 잔존하는 버블 또는/및 용존 가스를 충분하게 제거할 수 있고, 나아가 버블 또는/및 용존 가스가 충분하게 제거된 약액을 기판으로 공급하여 토출할 수 있을 것이다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리 및 약액 토출 장치는 약액 토출 공정의 수행시 약액 내에 잔존할 수 있는 버블 또는/및 용존 가스로 인하여 발생하는 불량을 최소화할 수 있을 것이다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리 및 약액 토출 장치는 약액 내에 잔존할 수 있는 버블 또는/및 용존 가스로 인하여 발생하는 불량을 최소화할 수 있기 때문에 유기 EL 디스플레이 소자 등의 제조에 따른 공정 신뢰도의 향상을 기대할 수 있을 것이다.
또한, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리 및 약액 토출 장치는 버블 또는/및 용존 가스의 잔존으로 인하여 사용 불가한 약액에 대해서도 사용 가능하게 하여 약액 소진율을 높일 수 있을 것이고, 그 결과 유기 EL 디스플레이 소자 등의 제조에 따른 공정 단가의 향상까지도 기대할 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 1을 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 유기 EL 디스플레이 소자 등의 제조시 기판 상에 포토레지스트, RGB 잉크 등과 같은 약액을 토출하는데 적용할 수 있다.
다만, 이하에서는 유기 EL 디스플레이 소자 등의 제조시 기판 상에 포토레지스트 등과 같은 약액을 토출하는데 적용하는 약액 토출 장치에 대하여 설명하기로 한다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 약액 저장부(11) 및 약액 토출부(13) 그리고 약액 저장부(11)와 약액 토출부(13) 사이를 연결하는 배관, 수용부(15, 17)(이하, '약액 수용부'와 혼용하여 표기함) 등이 구비될 수 있다.
또한, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 약액 저장부(11) 및 약액 토출부(13) 사이에 펌프, 에어 벤트 구조물 등과 같은 부재가 구비될 수 있다.
약액 저장부(11)는 약액 토출부(13)로 공급하기 위한 포토레지스트 등과 같은 약액을 저장하는 저장 탱크 구조를 갖도록 구비될 수 있는데, 일예로 약액 저장부(11)는 약 200리터의 포토레지스트를 저장하는 캐니스터(canister)일 수 있다.
약액 저장부(11)로부터 약액 토출부(13)로 약액 공급은 주로 약액 저장부(11)를 N2 등과 같은 불활성 기체를 사용하여 가압함에 의해 이루어질 수 있다.
약액 토출부(13)는 기판에 약액을 토출하는 부재로써, 주로 토출 부재, 스테이지, 이송부 등으로 이루어질 수 있다.
토출 부재는 주로 슬릿 노즐 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 기판 상부에 위치할 수 있게 갠트리에 지지되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
스테이지는 약액 토출 공정의 수행시 기판을 지지하도록 구비되는 부재로써, 주로 기판을 부상시킨 상태에서 지지하도록 구비되는 부상 스테이지일 수 있다.
이송부는 약액 토출 공정의 수행시 스테이지를 따라 기판을 이송시킬 수 있는 부재로써, 기판의 일측 단부 또는 양측 단부를 파지할 수 있는 파지 부재, 스테이지의 일측 또는 양측을 따라 구비되는 가이드 레일, 그리고 파지 부재가 가이드 레일을 따라 구동되도록 하는 구동 부재 등으로 이루어질 수 있다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 갠트리에 지지되는 슬릿 노즐로 이루어지는 토출 부재를 사용하여 스테이지를 따라 이송하는 기판 상에 약액을 토출할 수 있을 것이다.
그리고 약액이 RGB 잉크일 경우에는 슬릿 노즐 대신에 갠트리를 따라 주행할 수 있는 잉크젯 헤드를 토출 부재로 구비할 수 있을 것이다.
만약 약액 저장부(11)로부터 약액 토출부(13)로 약액이 그대로 공급될 경우에는 약액의 유동 등으로 인하여 불안정한 상태에 있는 약액이 기판에 토출될 수 있고, 그 결과 토출 불량이 발생할 수도 있을 것이다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 약액 저장부(11)로부터 공급되는 약액을 임시 수용하여 약액의 유동 등을 최소화시킨 후 약액 토출부(13)로 공급할 필요가 있을 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에서의 약액 수용부(15, 17)는 약액 저장부(11)로부터 약액 토출부(13)로 공급되는 약액을 임시로 수용하도록 구비될 수 있다.
약액 수용부(15, 17)는 구비되는 개수에 한정되지는 않지만 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에서는 두 개가 구비될 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에서의 약액 수용부(15, 17)는 약액 저장부(11) 쪽에 제1 버퍼 수용부(15) 그리고 액액 토출부(13) 쪽에 제2 버퍼 수용부(17)가 구비될 수 있다.
그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)를 사용하여 공급되는 약액 내에 버블 또는/및 용존 가스가 잔존할 수 있는데, 버블 또는/및 용존 가스가 잔존하는 약액이 기판에 그대로 토출될 경우에는 불량이 발생할 수도 있을 것이다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 약액 내에 버블 또는/및 용존 가스를 제거할 수 있는 부재가 구비될 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 제1 버퍼 수용부(15)를 약액 내에 버블 또는/및 용존 가스를 제거할 수 있는 부재가 구비되는 구조를 갖도록 구비시킬 수 있다.
이하에서는 제1 버퍼 수용부를 약액 수용 어셈블리로 표기하기고 하고, 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(15)는 수용부(21), 성장부(23), 제거부(25) 등을 구비할 수 있다.
수용부(21)는 기판에 토출하기 위한 약액을 수용하도록 구비되는 것으로써, 도 1에서의 약액 저장부(11)로부터 공급되는 약액을 임시 수용하도록 구비될 수 있다.
성장부(23)는 수용부(21)에 수용되는 약액에 잔존하는 버블 또는/및 용존 가스의 크기를 성장시키도록 구비될 수 있다.
즉, 성장부(23)는 약액의 제거를 용이하게 할 수 있게 약액에 잔존하는 버블 또는/및 용존 가스의 크기를 성장시키도록 구비될 수 있는 것이다.
약액에 잔존하는 버블 또는/및 용존 가스의 성장은 약액에 초음파를 제공함에 의해 달성할 수 있다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(15)에서의 성장부(23)는 수용부(21)에 수용되는 약액에 초음파를 제공할 수 있게 수용부(21)와 연결되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
특히, 성장부(23)는 초음파 제공시 주파수 조정을 통하여 약액에 음압 환경 및 양압 환경이 반복해서 형성될 수 있도록 구비될 수 있다.
즉, 성장부(23)는 음압 환경을 형성하는 주파수 대역을 갖는 초음파 및 양압 환경을 형성하는 주파수 대역을 갖는 초음파를 반복해서 제공할 수 있도록 구비될 수 있을 것이다.
성장부(23)는 일예로 단일 구조를 갖는 초음파 제공 부재로 이루어질 수 있고, 이 경우 단일 구조를 갖는 초음파 제공 부재를 사용하여 음압의 주파수 대역 및 양압의 주파수 대역을 반복해서 제공할 수 있을 것이고, 다른 예로 음압의 주파수 대역을 제공하는 제1 초음파 제공 부재 및 양압의 주파수 대역을 제공하는 제2 초음파 제공 부재로 이루어질 수 있고, 이 경우 제1 초음파 제공 부재 및 제2 초음파 제공부의 온/오프 제어를 통하여 음압의 주파수 대역 및 양압의 주파수 대역을 반복해서 제공할 수 있을 것이다.
약액에 음압의 초음파가 제공될 경우 약액 중에 진공의 공동(cavitation)이 형성될 수 있고, 그리고 공동이 형성된 약액에 양압의 초음파가 제공될 경우 공동의 크기가 성장될 수 있기 때문에 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(15)에서의 성장부(23)가 음압 환경을 형성하는 주파수 대역을 갖는 초음파 및 양압 환경을 형성하는 주파수 대역을 갖는 초음파를 반복해서 제공할 수 있게 구비될 수 있는 것이다.
다만, 성장부(23)에 의해 제공되는 양압의 주파수 대역이 너무 높을 경우에는 성장시킨 버블 또는/및 용존 가스가 터지는 상황이 발생할 수 있기 때문에 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(15)는 양압 환경을 형성하는 주파수 대역을 공동이 터지지 않는 크기를 가질 수 있게 조정할 수 있도록 구비될 수 있다.
제거부(25)는 성장부(23)로부터의 초음파 제공을 통하여 그 크기가 성장된 성장 버블 또는/및 성장 용존 가스를 약액으로부터 제거하도록 구비될 수 있다.
제거부(25)는 약액 표면으로 부상하는 성장 버블 또는/및 성장 용존 가스가 수용부로부터 외부 환경으로 배출될 수 있도록 구비될 수 있는 것으로써, 수용부(21)로부터 수용부(21) 외부로 연장되는 배출 구조물(27)로 이루어질 수 있다.
즉, 제거부(25)는 성장부에 의해 그 크기가 성장되는 성장 버블 또는/및 성장 용존 가스가 수용부(21)에 수용되는 약액 표면으로 부상함에 따라 외부 환경으로 배출시킬 수 있게 수용부(21) 상부로부터 외부로 연장되는 유로 구조를 갖는 배출 구조물(27)로 구비될 수 있는 것이다.
이와 달리, 제거부(25)는 수용부(21)로부터 기판에 약액을 토출하기 위한 토출 노즐 쪽으로 플로우되는 약액으로부터 성장 버블 또는/및 성장 용존 가스를 탈기시키도록 구비되는 탈기 구조물(29)로 이루어질 수도 있다.
특히, 성장부(23)에 의해 버블 또는/및 용존 가스의 크기가 성장되기 때문에 탈기 구조물(29)로 이루어지는 제거부(25)에서의 성장 버블 또는/및 성장 용존 가스의 탈기 효율을 보다 높아질 수 있을 것이다.
그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(15)는 제거부(25)로써 배출 구조물(27) 및 탈기 구조물(29)을 함께 구비함으로써 배출 구조물(27)에 의해 1차로 성장 버블 또는/및 성장 용존 가스를 제거시킬 수 있고, 탈기 구조물(29)에 의해 2차로 성장 버블 또는/및 성장 용존 가스를 제거시킬 수 있기 때문에 약액 내에 잔류하는 버블 또는/및 용존 가스를 보다 용이하게 제거할 수 있을 것이다.
나아가, 배출 구조물(27)에 의해 1차로 성장 버블 또는/및 성장 용존 가스를 제거시킨 상태에서 탈기 구조물(29)을 사용하여 2차로 성장 버블 또는/및 성장 용존 가스를 제거시키는 구조를 가지기 때문에 탈기 구조물(29)에 걸리는 장치적 부하를 줄일 수 있을 것이고, 그 결과 탈기 구조물(29)의 운용 효율의 향상을 기대할 수도 있을 것이다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(15)는 약액에 잔존하는 버블 또는/및 용존 가스를 충분하게 제거할 수 있을 것이다.
이에, 언급한 약액 수용 어셈블리(15)가 적용되는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 버블 또는/및 용존 가스가 충분하게 제거된 약액을 기판으로 공급하여 토출할 수 있기 때문에 약액 토출 공정의 수행시 약액 내에 잔존할 수 있는 버블 또는/및 용존 가스로 인하여 발생하는 불량을 최소화할 수 있을 것이다.
또한, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 버블 또는/및 용존 가스의 잔존으로 인하여 사용 불가한 약액에 대해서도 사용 가능하게 하여 약액 소진율을 높일 수 있을 것을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리 및 약액 토출 장치는 유기 EL 디스플레이 소자 등과 같은 디스플레이 장치의 제조 라인에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.
따라서 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리 및 약액 토출 장치는 스마트폰의 제조와 함께 나아가 데스크탑 PC, 태블릿 PC, 스마트 TV 등과 같은 다양한 디스플레이 장치의 제조에도 충분하게 적용할 수 있을 것이다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11 : 약액 저장부 13 : 약액 토출부
15, 21 : 약액 수용 어셈블리(제1 버퍼 수용부)
17 : 제2 버퍼 수용부 21 : 수용부
23 : 성장부 25 : 제거부
100 : 약액 토출 장치

Claims (9)

  1. 기판에 토출하기 위한 약액을 수용하도록 구비되는 수용부;
    상기 약액에 초음파 제공을 통하여 상기 약액에 잔존하는 버블 또는/및 용존 가스의 크기를 성장시키도록 구비되는 성장부; 및
    상기 성장부로부터의 상기 초음파 제공을 통하여 그 크기가 성장된 성장 버블 또는/및 성장 용존 가스를 상기 약액으로부터 제거하도록 구비되는 제거부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 성장부는 상기 초음파 제공시 주파수 조정을 통하여 상기 약액에 음압 환경 및 양압 환경이 반복해서 형성될 수 있도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 제거부는 상기 약액 표면으로 부상하는 상기 성장 버블 또는/및 성장 용존 가스가 상기 수용부로부터 외부 환경으로 배출될 수 있게 상기 수용부로부터 상기 수용부 외부로 연장되는 배출 구조물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 제거부는 상기 수용부로부터 상기 기판에 약액을 토출하기 위한 토출 노즐 쪽으로 플로우되는 약액으로부터 상기 성장 버블 또는/및 성장 용존 가스를 탈기시키도록 구비되는 탈기 구조물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
  5. 기판에 약액을 토출하도록 구비되는 약액 토출부;
    상기 약액 토출부로 공급하기 위한 상기 약액을 저장하도록 구비되는 약액 저장부; 및
    상기 약액 저장부로부터 상기 약액 토출부로 상기 약액이 플로우되는 경로 상에 구비되고, 상기 약액을 임시 수용하도록 구비되는 수용부, 상기 약액에 초음파 제공을 통하여 상기 약액에 잔존하는 버블 또는/및 용존 가스의 크기를 성장시키도록 구비되는 성장부, 및 상기 성장부로부터의 상기 초음파 제공을 통하여 그 크기가 성장된 성장 버블 또는/및 성장 용존 가스를 상기 약액으로부터 제거하도록 구비되는 제거부로 이루어지는 약액 수용 어셈블리를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 성장부는 상기 초음파 제공시 주파수 조정을 통하여 상기 약액에 음압 환경 및 양압 환경이 반복해서 형성될 수 있도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  7. 제5 항에 있어서,
    상기 제거부는 상기 약액 표면으로 부상하는 상기 성장 버블 또는/및 성장 용존 가스가 상기 수용부로부터 외부 환경으로 배출될 수 있게 상기 수용부로부터 상기 수용부 외부로 연장되는 배출 구조물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  8. 제5 항에 있어서,
    상기 제거부는 상기 수용부로부터 상기 기판에 약액을 토출하기 위한 토출 노즐 쪽으로 플로우되는 약액으로부터 상기 성장 버블 또는/및 성장 용존 가스를 탈기시키도록 구비되는 탈기 구조물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  9. 제5 항에 있어서,
    상기 약액 수용 어셈블리에 구비되는 상기 수용부가 상기 약액 저장부와 연결되는 제1 버퍼 수용부라 할 때, 상기 수용부로부터 상기 약액을 공급받아 임시로 저장함과 아울러 상기 기판에 약액을 토출하는 공정의 수행시 상기 약액 토출부로 상기 약액을 공급할 수 있게 상기 수용부와 상기 약액 토출부 사이에 배치되도록 구비되는 제2 버퍼 수용부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
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