KR102322678B1 - 노즐 건조 방지 장치 - Google Patents

노즐 건조 방지 장치 Download PDF

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세메스 주식회사
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Abstract

노즐 건조 방지 장치는 기판에 약액을 토출하는 노즐의 미사용시 상기 노즐의 약액 토출구를 건조 방지용 약액에 딥핑시켜 상기 약액 토출구가 건조해지는 것을 방지하도록 구비되는 것으로써, 수용부, 공급부, 배출부, 배출 유도부를 포함할 수 있다. 상기 수용부는 상기 건조 방지용 약액을 수용하도록 구비될 수 있다. 상기 공급부는 상기 수용부에 상기 건조 방지용 약액을 공급하도록 구비될 수 있다. 상기 배출부는 상기 수용부에 상기 건조 방지용 약액이 일정 수위를 유지하도록 수용될 수 있게 상기 수용부에 상기 건조 방지용 약액이 상기 일정 수위 이상으로 공급될 경우 상기 건조 방지용 약액을 상기 수용부로부터 배출시키도록 구비될 수 있다. 상기 배출 유도부는 상기 건조 방지용 약액의 배출시 수막 현상으로 인하여 상기 건조 방지용 약액의 수면이 균일한 높이를 유지하지 못하는 것을 방지할 수 있게 상기 배출부로 상기 건조 방지용 약액의 배출 흐름을 유도하도록 구비될 수 있다.

Description

노즐 건조 방지 장치{APPARATUS FOR PREVENTING TO DRY NOZZLE}
본 발명은 노즐 건조 방지 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게 본 발명은 기판 상에 약액을 토출하는 노즐의 미사용시 노즐의 약액 토출구가 건조해지는 것을 방지하기 위한 노즐 건조 방지 장치에 관한 것이다.
디스플레이 소자의 제조에서는 패턴 형성을 위하여 기판에 포토레지스트 등과 같은 약액을 토출하는 토출 공정을 수행할 수 있다.
토출 공정은 주로 노즐을 구비하는 토출 장치를 사용함에 의해 이루어질 수 있다. 노즐은 기판을 향하는 단부에 약액의 토출이 이루어지는 립(lip) 구조의 약액 토출구를 갖는 슬릿 노즐일 수 있다.
약액 토출구가 건조해질 경우 약액의 토출에 지장을 줄 수 있기 때문에 노즐의 미사용시에는 노즐 건조 방지 장치를 사용하여 약액 토출구가 건조해지는 것을 방지할 수 있다.
노즐 건조 방지 장치는 건조 방지용 약액을 수용하는 수용부를 구비할 수 있고, 수용부에 수용되는 건조 방지용 약액에 약액 토출구를 딥핑시킴에 의해 노즐이 건조해지는 것을 방지할 수 있다.
건조 방지용 약액이 수용부로부터 휘발되거나 또는 약액 토출구의 딥핑으로 인하여 소모될 경우 이를 보충하도록 수용부에 건조 방지용 약액을 공급할 수 있다.
건조 방지용 약액의 공급시에도 건조 방지용 약액이 일정 수위를 유지하도록 수용되어야 하기 때문에 일정 수위 이상으로 공급되는 건조 방지용 약액을 오버플로우(overflow) 방식의 배출부를 사용하여 수용부로부터 배출시킬 수 있다.
그러나 오버플로우 방식으로 이루어지는 약액의 배출시 배출부 입구 쪽에서는 수막 현상이 발생할 수 있을 것이고, 그 결과 건조 방지용 약액의 수면이 일정 수위로 균일하게 유지되지 못하고 볼록하게 상승되는 상황이 발생할 수 있다.
이에, 건조 방지용 약액에 딥핑이 이루어지는 약액 토출구가 딥핑되는 높이가 달라질 수 있을 것이다.
따라서 노즐의 건조 방지를 위한 공정의 수행시 수용부로 건조 방지용 약액의 공급이 이루어질 경우 약액 토출구 전체가 건조 방지용 약액에 균일하게 딥핑되지 못하는 상황이 발생할 수도 있다.
본 발명은 일 목적은 건조 방지용 약액의 공급시 일정 수위 이상으로 공급되는 건조 방지용 약액을 배출시킴에도 불구하고 건조 방지용 약액의 수면이 일정 수위로 균일하게 유지될 수 있도록 할 수 있는 노즐 건조 방지 장치를 제공하는데 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 예시적인 실시예에 따른 노즐 건조 방지 장치는 기판에 약액을 토출하는 노즐의 미사용시 상기 노즐의 약액 토출구를 건조 방지용 약액에 딥핑시켜 상기 약액 토출구가 건조해지는 것을 방지하도록 구비되는 것으로써, 수용부, 공급부, 배출부, 배출 유도부를 포함할 수 있다. 상기 수용부는 상기 건조 방지용 약액을 수용하도록 구비될 수 있다. 상기 공급부는 상기 수용부에 상기 건조 방지용 약액을 공급하도록 구비될 수 있다. 상기 배출부는 상기 수용부에 상기 건조 방지용 약액이 일정 수위를 유지하도록 수용될 수 있게 상기 수용부에 상기 건조 방지용 약액이 상기 일정 수위 이상으로 공급될 경우 상기 건조 방지용 약액을 상기 수용부로부터 배출시키도록 구비될 수 있다. 상기 배출 유도부는 상기 건조 방지용 약액의 배출시 수막 현상으로 인하여 상기 건조 방지용 약액의 수면이 균일한 높이를 유지하지 못하는 것을 방지할 수 있게 상기 배출부로 상기 건조 방지용 약액의 배출 흐름을 유도하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 공급부는 상기 수용부의 저면에서 상기 수용부로 상기 건조 방지용 약액을 공급하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 배출부는 오버플로우 방식으로 상기 건조 방지용 약액을 배출시키도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 배출 유도부는 상기 배출부의 입구 외측으로부터 상기 배출부의 입구 내측으로 상기 건조 방지용 약액이 따라 흐를 수 있게 상기 배출부의 입구 외측으로부터 상기 배출부의 입구 내측으로 연장되는 막대 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 막대 구조는 한 쌍이 서로 마주하게 배치되도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 막대 구조는 적어도 두 쌍 서로 마주하게 배치되도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 배출 유도부는 상기 배출부의 입구 외측으로부터 상기 배출부의 입구 내측으로 상기 건조 방지용 약액이 따라 흐를 수 있게 상기 배출부의 일측 입구 외측으로부터 상기 배출부의 입구 내측을 지나서 상기 배출부의 타측 입구 외측까지 연장되는 막대 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 막대 구조는 한 개가 배치되도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 막대 구조는 적어도 두개가 배치되도록 구비될 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 노즐 건조 방지 장치는 건조 방지용 약액의 배출시에도 건조 방지용 약액의 수면이 일정 수위로 균일하게 유지될 수 있도록 할 수 있기 때문에 건조 방지용 약액을 공급 및 배출시킴에도 불구하고 건조 방지용 약액에 약액 토출구가 딥핑되는 높이를 일정하게 유지할 수 있을 것이다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 노즐 건조 방지 장치는 약액 토출구 전체 영역에 대하여 균일하게 건조 방지 효율을 달성할 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 노즐 건조 방지 장치는 약액 토출구의 효율적인 관리를 통하여 디스플레이 소자의 제조에 따른 공정 신뢰도의 향상까지도 기대할 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 과제 및 효과는 상기 언급한 바에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 노즐 건조 방지 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2는 건조 방지용 약액의 배출시 배출부 입구 쪽에서 발생하는 수막 현상으로 인하여 건조 방지용 약액의 수면이 볼록하게 상승되는 상황을 설명하기 위한 도면이다.
도 3 내지 도 6은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 노즐 건조 방지 장치에 구비되는 배출 유도부를 나타내는 도면들이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
그리고 첨부한 도면들을 참조하여 예시적인 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 노즐 건조 방지 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 노즐 건조 방지 장치(100)에 적용되는 노즐(11)은 디스플레이 소자의 제조시 패턴 형성을 위하여 기판 상에 포토레지스트 등과 같은 약액을 토출하기 위한 것이다.
특히, 노즐(11)은 기판을 향하는 단부에 약액의 토출이 이루어지는 립 구조의 약액 토출구(13)를 갖는 슬릿 노즐일 수 있다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 노즐 건조 방지 장치(100)는 노즐(11)의 약액 토출구(13)를 건조 방지용 약액에 딥핑시킴으로써 노즐(11)이 건조해지는 것을 방지할 수 있는 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 노즐 건조 방지 장치(100)는 기판에 약액을 토출하는 노즐(11)의 미사용시 노즐(11)의 약액 토출구(13)를 건조 방지용 약액에 딥핑시켜 약액 토출구(13)가 건조해지는 것을 방지하도록 구비될 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 노즐 건조 방지 장치(100)에서의 건조 방지용 약액은 노즐(11)의 약액 토출구(13)가 건조되는 것을 방지하는 역할과 함께 노즐(11)의 약액 토출구(13)를 세정하는 역할도 할 수 있을 것이다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 노즐 건조 방지 장치(100)에서의 건조 방지용 약액은 신너 등을 포함할 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 노즐 건조 방지 장치(100)는 수용부(15), 공급부(17), 배출부(19), 배출 유도부(31) 등을 포함할 수 있다.
수용부(15)는 건조 방지용 약액을 수용하도록 구비될 수 있다. 수용부(15)는 노즐(11)의 건조 방지를 위한 공정 수행시 수용부(15)에 수용되는 건조 방지용 약액에 노즐(11)의 약액 토출구(13)가 딥핑될 수 있도록 상부가 개방되는 배스 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
공급부(17)는 수용부(15)에 건조 방지용 약액을 공급하도록 구비될 수 있다. 특히, 공급부(17)는 건조 방지용 약액이 수용부(15)로부터 휘발되거나 또는 약액 토출구(13)의 딥핑으로 인하여 소모될 경우에도 이를 보충할 수 있게 수용부(15)에 건조 방지용 약액을 공급하도록 구비될 수 있다.
또한, 공급부(17)는 후술하는 바와 같이 수용부(15)에 수용되는 약액이 오버플로우 방식으로 배출부(19)를 통하여 배출될 경우에도 이를 보충하도록 수용부(15)에 건조 방지용 약액을 공급하도록 구비될 수 있다.
건조 방지용 약액의 공급시에도 약액 토출구(13)의 건조 방지를 위한 공정을 수행할 수도 있기 때문에 건조 방지용 약액의 공급으로 인하여 수용부(15)에 수용되는 건조 방지용 약액이 요동치는 상황을 최소화해야 한다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 노즐 건조 방지 장치(100)에서의 공급부(17)는 수용부(15)의 저면에서 수용부(15)로 건조 방지용 약액을 공급하도록 구비될 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 노즐 건조 방지 장치(100)는 건조 방지용 약액의 공급시에도 건조 방지용 약액이 일정 수위를 유지하도록 수용되어야 한다.
배출부(19)는 수용부(15)에 건조 방지용 약액이 일정 수위를 유지하도록 수용될 수 있게 수용부(15)에 건조 방지용 약액이 일정 수위 이상으로 공급될 경우 건조 방지용 약액을 수용부(15)로부터 배출시키도록 구비될 수 있다.
건조 방지용 약액을 배출시킴에도 불구하고 수용부(15)에는 건조 방지용 약액이 일정 수위를 유지하도록 수용되어 있어야 하기 때문에 배출부(19)는 오버플로우 방식으로 건조 방지용 약액을 수용부(15)로부터 배출시킬 수 있도록 구비될 수 있다.
배출부(19)는 수용부(15) 내부의 양쪽 부분에서 건조 방지용 약액을 배출시키도록 구비될 수 있다.
배출부(19)는 도 1에 도시된 바와 같이 오버플로우 방식으로 수용부(15) 내부 상부로부터 수용부(15) 내부 저면을 경유하여 수용부(15) 외부로 건조 방지용 약액을 배출시킬 수 있게 수용부(15) 내부의 상부로부터 수용부(15) 내부 저면을 경유하여 수용부(15) 외부로 연장되는 파이프 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 특히 수용부(15) 내부의 양쪽 부분에 언급한 파이프 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
이에, 건조 방지용 약액은 수용부(15) 내부의 양쪽 부분에 구비되는 파이프 구조를 갖는 배출부(19)의 입구를 통하여 오버플로우 방식으로 수용부(15) 외부로 배출될 수 있는 것이다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 노즐 건조 방지 장치(100)는 수용부(15)로 건조 방지용 약액을 공급함에도 불구하고 오버플로우 방식으로 수용부(15)로부터 건조 방지용 약액을 배출시킬 수 있기 때문에 수용부(15)에는 일정 수위를 유지하도록 건조 방지용 약액이 수용될 수 있다.
배출부(19)에 의해 유지되는 일정 수위는 배출부(19)의 입구 높이와 거의 유사하거나 또는 동일할 수 있을 것이다.
도 2를 참조하면, 건조 방지용 약액의 배출시 배출부(19) 입구 쪽에서 수막 현상이 발생할 수 있을 것이고, 그 결과 건조 방지용 약액의 수면(A)이 볼록하게 상승될 수도 있을 것이다.
도 3 내지 도 6은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 노즐 건조 방지 장치에 구비되는 배출 유도부를 나타내는 도면들이다.
도 3 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 노즐 건조 방지 장치(100)는 오버플로우 방식으로 배출부(19)로 배출되는 건조 방지용 약액의 흐름을 유도할 수 있는 배출 유도부(31)를 구비할 수 있는 것이다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 노즐 건조 방지 장치(100)는 배출 유도부(31)를 구비하여 배출부(19)로 배출되는 건조 방지용 약액의 흐름을 유도함으로써 건조 방지용 약액의 배출시 발생할 수 있는 수막 현상을 사전에 차단할 수 있다.
즉, 배출 유도부(31)는 건조 방지용 약액이 오버플로우 방식으로 배출부(19)를 통하여 배출될 때 건조 방지용 약액이 배출부(19) 쪽으로 흐를 수 있게 할 수 있는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 특히 건조 방지용 약액이 파이프 구조를 갖는 배출부(19)의 입구 외측에서 배출부(19)의 입구 내측으로 흐를 수 있게 하도록 구비될 수 있다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 노즐 건조 방지 장치(100)는 건조 방지용 약액의 배출시에도 건조 방지용 약액의 수면이 일정 수위로 균일하게 유지될 수 있도록 할 수 있기 때문에 건조 방지용 약액을 공급 및 배출시킴에도 불구하고 건조 방지용 약액에 약액 토출구(13)가 딥핑되는 높이를 일정하게 유지할 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 노즐 건조 방지 장치(100)에는 배출 유도부(31)가 다양한 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
배출 유도부(31)는 배출부(19)의 입구 외측으로부터 배출부(19)의 입구 내측으로 건조 방지용 약액이 따라 흐를 수 있게 배출부(19)의 입구 외측으로부터 배출부(19)의 입구 내측으로 연장되는 막대 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
즉, 언급한 바와 같이 배출 유도부(31)는 파이프 구조를 갖는 배출부(19)의 입구 외측으로부터 배출부(19)의 입구 내측으로 건조 방지용 약액이 따라 흐를 수 있게 파이프 구조를 갖는 배출부(19)의 입구 외측으로부터 배출부(19)의 입구 내측으로 연장되는 막대 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.
배출 유도부(31)는 도 3에서와 같이 한 쌍의 막대 구조가 서로 마주하게 배치되도록 구비될 수 있다. 이에, 오버플로우 방식으로 배출이 이루어지는 건조 방지용 약액이 배출부(19)의 일측 입구 외측으로부터 배출부(19)의 입구 내측으로 따라 흐름과 아울러 마주하는 배출부(19)의 타측 입구 외측으로부터 배출부(19)의 입구 내측으로 따라 흐를 수 있을 것이다.
여기서, 도 3 또는 후술하는 도 5에서와 같이 배출부(19)의 일측은 파이프 구조를 갖는 배출부(19)의 오른쪽일 수 있고, 배출부(19)의 타측은 파이프 구조를 갖는 배출부(19)의 왼쪽일 수 있는 것으로써, 특히 배출부(19)의 일측은 배스 구조를 갖는 수용부(15)의 중심 쪽을 향하는 부분일 수 있고, 배출부(19)의 타측은 수용부(15)의 측벽 쪽을 향하는 부분일 수 있다.
이에, 배출 유도부(31)는 배출부(19)의 일측 및 타측 외측 각각으로부터 배출부(19)의 입구 내측 영역 일부까지만 연장되는 막대 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.
배출 유도부(31)는 도 4에서와 같이 두 쌍의 막대 구조가 서로 마주하게 배치되도록 구비될 수 있다. 이에, 오버플로우 방식으로 배출이 이루어지는 건조 방지용 약액이 배출부(19)의 입구 외측 4군데에서 배출부(19)의 입구 내측으로 따라 흐를 수 있을 것이다.
배출 유도부(31)는 서로 마주하는 배치 구조를 가질 경우 그 개수에 한정되지 않는다.
배출 유도부(31)는 배출부(19)의 입구 외측으로부터 배출부(19)의 입구 내측으로 건조 방지용 약액이 따라 흐를 수 있게 배출부(19)의 일측 입구 외측으로부터 배출부(19)의 입구 내측을 지나서 배출부(19)의 타측 입구 외측까지 연장되는 막대 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
배출 유도부(31)는 도 5에서와 같이 한 개의 막대 구조가 배치되도록 구비될 수 있다. 이에, 오버플로우 방식으로 배출이 이루어지는 건조 방지용 약액이 배출부(19)의 일측 입구 외측으로부터 배출부(19)의 입구 내측으로 따라 흐름과 아울러 배출부(19)의 타측 입구 외측으로부터 배출부(19)의 입구 내측으로 따라 흐를 수 있을 것이다.
이에, 배출 유도부(31)는 배출부(19)의 일측 입구 외측으로부터 배출부(19)의 입구를 경유하여 배출부(19)의 타측 입구 외측까지 연장되는 막대 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.
배출 유도부(31)는 도 6에서와 같이 두 개의 막대 구조가 배치되도록 구비될 수 있다. 이에, 오버플로우 방식으로 배출이 이루어지는 건조 방지용 약액이 배출부(19)의 입구 외측 4군데에서 배출부(19)의 입구 내측으로 따라 흐를 수 있을 것이다.
배출 유도부(31)는 배출부(19)의 일측 입구 외측으로부터 배출부(19)의 입구 내측을 지나서 배출부(19)의 타측 입구 외측까지 연장되는 막대 구조를 가질 경우 그 개수에 한정되지 않는다.
언급한 바와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 노즐 건조 방지 장치(100)는 다양한 구조를 갖도록 배출 유도부(31)를 구비함으로써 건조 방지용 약액이 배출부(19)의 외측으로부터 배출부(19)의 내측으로 따라 흐를 수 있게 유도할 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 노즐 건조 방지 장치(100)는 수용부(15)에 건조 방지용 약액을 공급 및 배출할 때 수막 현상에 의해 수면이 볼록해지는 것을 방지할 수 있을 것이다. 즉, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 노즐 건조 방지 장치(100)는 수용부(15)에 건조 방지용 약액을 공급 및 배출할 때에도 수면이 전체 영역에서 균일한 높이를 가질 수 있을 것이다.
특히, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 노즐 건조 방지 장치(100)는 건조 방지용 약액의 공급 및 배출시 일시적으로 수면이 상승되는 상황이 발생하여도 배출 유도부(31)에 의해 건조 방지용 약액이 배출부(19)의 외측으로부터 배출부(19)의 내측으로 따라 흐를 수 있기 때문에 약 1 내지 30초의 일정 시간이 지나면 수용부(15)에 수용되는 건조 방지용 약액의 수면이 전체 영역에서 균일한 높이를 가질 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 노즐 건조 방지 장치는 디스플레이 소자의 제조에 적용할 수 있을 것이다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11 : 노즐 13 : 약액 토출구
15 : 수용부 17 : 공급부
19 : 배출부 31 : 배출 유도부
100 : 노즐 건조 방지 장치

Claims (9)

  1. 기판에 약액을 토출하는 노즐의 미사용시 상기 노즐의 약액 토출구를 건조 방지용 약액에 딥핑시켜 상기 약액 토출구가 건조해지는 것을 방지하도록 구비되는 노즐 건조 방지 장치에 있어서,
    상기 건조 방지용 약액을 수용하도록 구비되는 수용부;
    상기 수용부에 상기 건조 방지용 약액을 공급하도록 구비되는 공급부;
    상기 수용부에 상기 건조 방지용 약액이 일정 수위를 유지하도록 수용될 수 있게 상기 수용부에 상기 건조 방지용 약액이 상기 일정 수위 이상으로 공급될 경우 상기 건조 방지용 약액을 상기 수용부로부터 배출시키도록 구비되되, 상기 수용부 내부의 양쪽 부분에서 오버플로우 방식으로 상기 건조 방지용 약액을 배출시킬 수 있게 파이프 구조를 갖도록 구비되는 배출부;
    상기 건조 방지용 약액의 배출시 수막 현상으로 인하여 상기 건조 방지용 약액의 수면이 균일한 높이를 유지하지 못하는 것을 방지할 수 있게 상기 배출부로 상기 건조 방지용 약액의 배출 흐름을 유도하도록 구비되되, 상기 파이프 구조를 갖는 배출부의 입구 외측에서 상기 배출부의 입구 내측으로 상기 건조 방지용 약액이 흐를 수 있게 하도록 구비되는 배출 유도부를 포함하되,
    상기 배출 유도부는 상기 배출부가 파이프 구조를 갖도록 구비될 때 상기 파이프 구조의 입구 외측으로부터 상기 파이프 구조의 입구 내측으로 상기 건조 방지용 약액이 따라 흐를 수 있게 상기 파이프 구조의 입구 외측으로부터 상기 파이프 구조의 입구 내측 영역 일부까지만 연장되는 막대 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 노즐 건조 방지 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 공급부는 상기 수용부의 저면에서 상기 수용부로 상기 건조 방지용 약액을 공급하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 노즐 건조 방지 장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 막대 구조는 한 쌍이 서로 마주하게 배치되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 노즐 건조 방지 장치.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 막대 구조는 적어도 두 쌍 서로 마주하게 배치되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 노즐 건조 방지 장치.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
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