KR20220070610A - 액적 토출 장치 및 약액 토출 방법 - Google Patents

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Abstract

약액 토출 장치는 약액을 토출하는 토출 헤드 및 상기 토출 헤드에 약액을 공급하는 레저버와 함께 제1 측정부, 제2 측정부, 제1 순환 라인, 제2 순환 라인, 및 제어부를 포함할 수 있다. 상기 제1 측정부는 상기 레저버에서의 약액에 잔존하는 제1 용존 기체량을 측정하도록 구비될 수 있다. 상기 제2 측정부는 상기 토출 헤드로부터 토출되는 약액에 잔존하는 제2 용존 기체량을 측정하도록 구비될 수 있다. 상기 제1 순환 라인은 상기 레저버에서의 약액을 순환시키도록 구비될 수 있다. 상기 제2 순환 라인은 상기 레저버와 상기 토출 헤드 사이에서의 약액을 순환시키도록 구비될 수 있다. 상기 제어부는 상기 제1 용존 기체량 및 상기 제2 용존 기체량을 수신받고, 상기 제2 용존 기체량보다 상기 제1 용존 기체량이 큰 경우에는 상기 제1 순환 라인으로 상기 약액을 순환시킬 수 있게 제어하고, 상기 제1 용존 기체량보다 상기 제2 용존 기체량이 큰 경우에는 상기 제2 순환 라인으로 상기 약액을 순환시킬 수 있게 제어하도록 구비될 수 있다.

Description

액적 토출 장치 및 약액 토출 방법{APPARATUS FOR JETTING DROPLET AND METHOD FOR JETTING DROPLET}
본 발명은 약액 토출 장치 및 약액 토출 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게 본 발명은 약액을 토출하는 토출 헤드 및 토출 헤드에 약액을 공급하는 레저버를 포함하는 약액 토출 장치 및 이를 이용하는 약액 토출 방법에 관한 것이다.
유기 EL 디스플레이 소자 등의 제조에서는 기판 상에 RGB 잉크 등과 같은 약액을 토출하는 공정을 수행할 수 있다.
약액을 토출하는 공정은 주로 약액을 저장하는 캐니스터(canister) 등과 같은 약액 저장부, 약액 저장부로부터 약액을 공급받아 임시 수용하는 레저버(reservoir), 레저버로부터 약액을 공급받아 기판 상에 토출하는 토출 헤드 등으로 구비되는 약액 토출 장치를 사용함에 의해 달성할 수 있을 것이다.
언급한 약액 토출 장치를 사용하는 RGB 잉크 등과 같은 약액에 대한 토출에서는 약액 자체에 대한 안정성이 매우 중요한 공정 조건으로 작용할 수 있다.
일예로, 약액에 용존 기체 등이 잔류할 경우에는 마이크로 버블을 유발시킬 수 있고, 그 결과 토출 헤드로부터 토출되는 약액의 정밀한 탄착에 방해하는 요인으로 작용할 수 있다.
따라서 약액의 정밀한 탄착 등을 위해서는 약액에 잔존할 수 있는 용존 기체를 최소화해야 만 할 것이다.
본 발명의 일 과제는 레저버에 수용되는 약액 또는 토출 헤드로부터 토출되는 약액에 잔존할 수 있는 용존 기체를 최소화할 수 있는 약액 토출 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 과제는 레저버에 수용되는 약액 또는 토출 헤드로부터 토출되는 약액에 잔존할 수 있는 용존 기체를 최소화할 수 있는 약액 토출 방법을 제공하는데 있다..
상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 약액을 토출하는 토출 헤드 및 상기 토출 헤드에 약액을 공급하는 레저버와 함께 제1 측정부, 제2 측정부, 제1 순환 라인, 제2 순환 라인, 및 제어부를 포함할 수 있다. 상기 제1 측정부는 상기 레저버에서의 약액에 잔존하는 제1 용존 기체량을 측정하도록 구비될 수 있다. 상기 제2 측정부는 상기 토출 헤드로부터 토출되는 약액에 잔존하는 제2 용존 기체량을 측정하도록 구비될 수 있다. 상기 제1 순환 라인은 상기 레저버에서의 약액을 순환시키도록 구비될 수 있다. 상기 제2 순환 라인은 상기 레저버와 상기 토출 헤드 사이에서의 약액을 순환시키도록 구비될 수 있다. 상기 제어부는 상기 제1 용존 기체량 및 상기 제2 용존 기체량을 수신받고, 상기 제2 용존 기체량보다 상기 제1 용존 기체량이 큰 경우에는 상기 제1 순환 라인으로 상기 약액을 순환시킬 수 있게 제어하고, 상기 제1 용존 기체량보다 상기 제2 용존 기체량이 큰 경우에는 상기 제2 순환 라인으로 상기 약액을 순환시킬 수 있게 제어하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제2 순환 라인은 상기 제1 순환 라인으로부터 분기됨과 아울러 상기 제1 순환 라인으로 연결되도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 순환 라인 중에서 상기 레저버로 약액이 유입되는 쪽에 상기 약액으로부터 용존 기체를 제거하도록 구비되는 탈기부를 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제2 용존 기체량은 기준값을 만족하지만 상기 제1 용존 기체량은 기준값을 벗어날 경우 상기 제어부는 상기 제1 순환 라인으로 약액을 순환시킬 수 있게 제어하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제2 용존 기체량이 기준값을 벗어날 경우 상기 제어부는 상기 토출 헤드로부터의 약액 토출을 중단시킴과 아울러 상기 제2 순환 라인으로 약액을 순환시킬 수 있게 제어하도록 구비될 수 있다.
상기 본 발명의 다른 과제를 달성하기 위한 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 방법은 토출 헤드에 약액을 공급하는 레저버에서의 약액에 잔존하는 제1 용존 기체량을 측정하는 단계와, 상기 토출 헤드로부터 토출되는 약액에 잔존하는 제2 용존 기체량을 측정하는 단계와, 상기 제1 용존 기체량 및 상기 제2 용존 기체량을 수신받고, 상기 제2 용존 기체량보다 상기 제1 용존 기체량이 큰 경우에는 상기 레저버에서의 약액을 순환시키도록 구비되는 제1 순환 라인으로 약액을 순환시키는 단계, 및 상기 제1 용존 기체량 및 상기 제2 용존 기체량을 수신받고, 상기 제1 용존 기체량보다 상기 제2 용존 기체량이 큰 경우에는 상기 레저버와 상기 토출 헤드 사이에서의 약액을 순환시키도록 구비되는 제2 순환 라인으로 약액을 순환시키는 단계를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제2 순환 라인은 상기 제1 순환 라인으로부터 분기됨과 아울러 상기 제1 순환 라인으로 연결될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 순환 라인 또는 상기 제2 순환 라인을 거쳐 상기 제1 순환 라인으로 순환되는 약액으로부터 용존 기체를 제거하는 단계를 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제2 용존 기체량은 기준값을 만족하지만 상기 제1 용존 기체량은 기준값을 벗어날 경우 상기 제1 순환 라인으로 약액을 순환시킬 수 있게 제어하는 단계를 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제2 용존 기체량이 기준값을 벗어날 경우 상기 토출 헤드로부터의 약액 토출을 중단시킴과 아울러 상기 제2 순환 라인으로 약액을 순환시킬 수 있게 제어하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치 및 약액 토출 방법은 레저버에서의 약액 순환 또는 레저버와 토출 헤드 사이에서의 약액 순환을 통하여 레저버에 수용되는 약액 또는 토출 헤드로부터 토출되는 약액에 잔존할 수 있는 용존 기체를 최소화할 수 있을 것이다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치 및 약액 토출 방법은 약액에 잔류하는 용존 기체를 최소화함으로써 마이크로 버블의 유발 또한 최소화할 수 있음에 따라 토출 헤드로부터 토출되는 약액의 정밀한 탄착을 달성할 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치 및 약액 토출 방법은 토출 헤드로부터 토출되는 약액의 정밀한 탄착을 달성할 수 있기 때문에 유기 EL 디스플레이 소자 등의 제조에 따른 공정 신뢰도의 향상을 기대할 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 유기 EL 디스플레이 소자 등의 제조시 기판 상에 RGB 잉크 등과 같은 약액을 토출하는데 사용할 수 있는 것으로써, 약액 저장부(도시하지 않음), 레저버(13), 토출 헤드(11), 그리고 이들 사이를 연결하여 약액을 공급시키는 공급 라인 등으로 구비될 수 있다.
약액 저장부는 레저버(13)로 약액을 공급하도록 구비되는 것으로써, 주로 제조 공정이 이루어지는 외부에 대용량으로 약액을 저장할 수 있게 저장 탱크 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
공급 라인은 약액 저장부와 레저버(13) 그리고 토출 헤드(11) 사이를 연결하도록 구비될 수 있고, 공급 라인에는 약액의 공급을 위한 펌프, 에어 벤트 구조물 등과 같은 부재가 더 구비될 수 있다.
레저버(13)는 토출 헤드(11)로 약액을 공급하도록 구비되는 것으로써, 특히 약액 저장부로부터 약액을 공급받아 임시 저장함과 아울러 약액 토출 공정의 수행시 토출 헤드(11)로 약액을 공급하도록 구비될 수 있다.
이와 같이, 약액 저장부와 토출 헤드(11) 사이에 레저버(13)를 구비하는 것은 약액 저장부로부터 토출 헤드(11)로 약액이 직접 공급될 경우 약액의 유동 등으로 인하여 불안정한 상태에 있는 약액이 기판에 토출되어 토출 불량이 발생할 수도 있기 때문에 이를 방지하기 위함이다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 레저버(13)를 구비함으로써 약액 저장부로부터 공급되는 약액을 임시 수용하여 약액의 유동 등을 최소화시킨 후 토출 헤드(11)로 약액을 공급할 수 있는 것이다.
그리고 레저버(13)에는 토출 헤드(11)로의 약액 공급을 정밀하게 제어할 수 있도록 양압 공급부 및 음압 공급부가 연결될 수 있다.
양압 공급부는 토출 헤드(11)로 약액을 공급할 수 있게 레저버(13)에 양압을 공급하도록 구비될 수 있고, 음압 공급부는 토출 헤드(11)로 약액의 공급을 중단시키면서 토출 헤드(11)의 노즐 단부에서 약액이 메니스커스(meniscus) 상태를 유지할 수 있게 레저버(13)에 음압을 공급하도록 구비될 수 있다.
토출 헤드(11)는 기판에 약액을 토출하도록 구비될 수 있는 것으로써, 다수개의 노즐들이 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
일예로, 토출 헤드(11)에는 128개 또는 256개의 노즐이 구비될 수 있는데, 다수개의 노즐은 일정 피치의 간격으로 일렬로 배치될 수 있고, RGB 약액 등의 경우 ㎍ 단위의 양으로 약액을 토출할 수 있도록 구비될 수 있다.
토출 헤드(11)는 3개가 하나의 팩 단위를 갖도록 구비될 수 있고, 더욱이 하나의 팩 단위는 적어도 두 개가 패키지 단위를 갖도록 구비될 수 있다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 레저버(13)로부터 공급되는 약액을 토출 헤드(11)를 통하여 기판 상에 토출할 수 있을 것이다.
그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에는 제1 측정부(15), 제2 측정부(17), 제1 순환 라인(21), 제2 순환 라인(23), 제어부(25), 탈기부(27) 등이 구비될 수 있다.
제1 측정부(15)는 레저버(13)에서의 약액에 잔존하는 제1 용존 기체량을 측정하도록 구비될 수 있는데, 본 발명의 예시적인 실시예들에서는 레저버(13) 내부에 배치되도록 구비될 수 있다.
제2 측정부(17)는 토출 헤드(11)로부터 토출되는 약액에 잔존하는 제2 용존 기체량을 측정하도록 구비될 수 있다.
특히, 제2 측정부(17)는 토출 헤드(11)로부터 토출되는 약액을 측정 대상으로 하기 때문에 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 토출 헤드(11)로부터 토출되는 약액을 수용하는 배스(19)가 구비될 수 있다.
이에, 제2 측정부(17)는 토출 헤드(11)로부터 토출됨에 의해 배스(19)에 수용되는 약액에 잔존하는 제2 용존 기체량을 측정하도록 구비될 수 있다.
이외에도, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에는 레저버(13)에서의 약액에 잔존하는 마이크로 버블을 측정할 수 있는 부재 및 토출 헤드(11)로부터 토출되는 약액에 잔존하는 마이크로 버블을 측정할 수 있는 부재가 더 구비될 수도 있다.
제1 순환 라인(21)은 레저버(13)에서의 약액을 순환시키도록 구비되는 것으로써, 약액이 레저버(13)로부터 배출되어 다시 레저버(13)로 유입되는 경로를 갖도록 구비될 수 있다.
제2 순환 라인(23)은 레저버(13)와 토출 헤드(11) 사이에서의 약액을 순환시키도록 구비되는 것으로써, 약액이 레저버(13)로부터 배출되어 토출 헤드(11)를 경유한 후 다시 레저버(13)로 유입되는 경로를 갖도록 구비될 수 있다.
특히, 제1 순환 라인(21) 및 제2 순환 라인(23) 모두 레저버(13)로부터 배출되는 경로 및 레저버(13)로 유입되는 경로를 갖도록 구비될 수 있기 때문에 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에서의 제2 순환 라인(23)은 제1 순환 라인(21)으로부터 분기됨과 아울러 제1 순환 라인(21)으로 연결되는 경로를 갖도록 구비될 수 있다.
즉, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에는 제1 순환 라인(21) 및 제2 순환 라인(23)이 레저버(13)로부터 배출되는 경로 및 레저버(13)로 유입되는 경로를 공유하도록 구비될 수 있는 것이다.
그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에는 제1 순환 라인(21) 또는 제2 순환 라인(23)을 따라 순환되는 약액에 잔존하는 용존 기체를 제거할 수 있는 탈기부(27)가 구비될 수 있다.
특히, 제1 순환 라인(21) 및 제2 순환 라인(23)이 공유하는 경로를 갖도록 구비될 경우 탈기부(27)는 제1 순환 라인(21) 중에서 레저버(13)에 약액이 유입되는 쪽에 배치되도록 구비될 수 있다.
또한, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에는 탈기부(27) 이외에도 약액의 순환시 펌핑 동작하도록 구비되는 펌핑부(29)가 구비될 수 있다.
펌핑부(29)의 경우에도 탈기부(27)와 마찬가지로 제1 순환 라인(21) 및 제2 순환 라인(23)이 공유하는 경로를 갖도록 구비될 경우 제1 순환 라인(21) 중에서 레저버(13)에 약액이 유입되는 쪽에 배치되도록 구비될 수 있다.
이와 달리, 제1 순환 라인(21) 및 제2 순환 라인(23) 각각이 서로 다른 경로를 갖도록 구비될 경우에는 탈기부(27) 및 펌펑부도 제1 순환 라인(21) 및 제2 순환 라인(23) 각각에 구비될 수 있을 것이다.
제어부(25)는 제1 용존 기체량 및 제2 용존 기체량을 수신받을 수 있도록 구비될 수 있다.
특히, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에서의 제어부(25)는 제2 용존 기체량보다 제1 용존 기체량이 큰 경우에는 제1 순환 라인(21)으로 약액을 순환시킬 수 있게 제어하도록 구비될 수 있고, 반대로 제1 용존 기체량보다 제2 용존 기체량이 큰 경우에는 제2 순환 라인(23)으로 약액을 순환시킬 수 있게 제어하도록 구비될 수 있다.
즉, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 레저버(13)에 임시 수용되는 약액에서 잔존하는 용존 기체에 대한 제1 용존 기체량이 토출 헤드(11)로부터 토출되는 약액에 잔존하는 용존 기체에 대한 제2 용존 기체량보다 큰 경우 레저버(13)에 임시 수용되는 약액에 잔존하는 용존 기체를 제거할 수 있게 제1 순환 라인(21)을 통하여 순환시킬 수 있도록 구비될 수 있고, 반대로 토출 헤드(11)로부터 토출되는 약액에 잔존하는 용존 기체에 대한 제2 용존 기체량이 레저버(13)에 임시 수용되는 약액에서 잔존하는 용존 기체에 대한 제1 용존 기체량보다 큰 경우 레저버(13)에 임시 수용되는 약액에 잔존하는 용존 기체를 제거할 수 있게 제1 순환 라인(21)을 통하여 순환시킬 수 있도록 구비될 수 있다.
약액의 순환을 통한 용존 기체의 제거는 주로 약액을 순환시킴에 따라 용존 기체의 크기가 점점 증가하여 표면 쪽으로 떠오르게 함에 의해 달성할 수 있을 것이다.
더욱이, 탈기부(27)를 경유하도록 약액을 순환시킴으로써 탈기부(27)에 의해 용존 기체의 제거를 달성할 수 있을 것이다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 제1 용존 기체량 및 제2 용존 기체량을 비교하여 상대적으로 큰 값을 갖는 쪽에서의 약액으로부터 용존 가스가 제거될 수 있게 약액을 순환시키는 구성을 갖도록 구비될 수 있는 것이다.
또한, 제어부(25)는 제2 용존 기체량은 기준값을 만족하지만 제1 용존 기체량은 기준값을 벗어날 경우 제1 순환 라인(21)으로 약액을 순환시킬 수 있게 제어하도록 구비될 수 있다고, 제2 용존 기체량이 기준값을 벗어날 경우 토출 헤드(11)로부터의 약액 토출을 중단시킴과 아울러 제2 순환 라인(23)으로 약액을 순환시킬 수 있게 제어하도록 구비될 수 있다.
즉, 제어부(25)는 제1 용존 기체량 및 제2 용존 기체량을 비교하여 약액을 순환시키도록 구비될 수도 있지만 레저버(13)에 수용되는 약액에서의 용존 기체량 및 토출 헤드(11)로부터 토출되는 약액에서의 용존 기체량 각각이 기준값을 벗어나는 가를 확인하고, 이로부터 제1 순환 라인(21)으로 약액을 순환시키도록 할 수 있거나 또는 토출 헤드(11)로부터의 약액 토출을 중단시킴과 아울러 제2 순환 라인(23)으로 약액을 순환시키도록 할 수 있을 것이다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 레저버(13)에서의 약액 순환 또는 레저버(13)와 토출 헤드(11) 사이에서의 약액 순환을 통하여 레저버(13)에 수용되는 약액 또는 토출 헤드(11)로부터 토출되는 약액에 잔존할 수 있는 용존 기체를 최소화할 수 있기 때문에 약액 토출 공정의 수행시 토출 헤드(11)로부터 토출되는 약액의 정밀한 탄착을 달성할 수 있을 것이다.
이하, 언급한 약액 토출 장치를 사용하는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 방법에 대하여 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 방법에서는 토출 헤드(11)에 약액을 공급하는 레저버(13)에서의 약액에 잔존하는 제1 용존 기체량을 측정한다.(S51 단계)
제1 용존 기체량에 대한 측정은 도 1에서의 제1 측정부(15)에 의해 이루어질 수 있다.
그리고 토출 헤드(11)로부터 토출되는 약액에 잔존하는 제2 용존 기체량을 측정한다.(S53 단계)
제2 용존 기체량에 대한 측정은 도 1에서의 제2 측정부(17)에 의해 이루어질 수 있는 것으로써, 특히 토출 헤드(11)로부터 토출되어 배스(19)에 수용되는 약액을 대상으로 이루어질 수 있다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 방법에서는 제1 용존 기체량 및 제2 용존 기체량을 수신받고, 그 결과로써 제2 용존 기체량보다 제1 용존 기체량이 큰 경우에는 레저버(13)에서의 약액을 순환시키도록 구비되는 제1 순환 라인(21)으로 약액을 순환시킨다.(S55 단계)
이와 달리, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 방법에서는 제1 용존 기체량 및 제2 용존 기체량을 수신받고, 그 결과로써 제1 용존 기체량보다 제2 용존 기체량이 큰 경우에는 레저버(13)와 토출 헤드(11) 사이에서의 약액을 순환시키도록 구비되는 제2 순환 라인(23)으로 약액을 순환시킨다.(S57 단계)
특히, 제2 순환 라인(23)이 제1 순환 라인(21)으로부터 분기됨과 아울러 제1 순환 라인(21)으로 연결되는 구조를 가질 경우 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 방법에서는 제1 순환 라인(21) 또는 제2 순환 라인(23)을 거쳐 제1 순환 라인(21)으로 순환, 즉 레저버(13) 쪽으로 유입되는 약액으로부터 용존 기체를 제거할 수 있는데, 이는 탈기부(27)를 사용함에 의해 달성할 수 있을 것이다.
그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 방법에서는 제1 용존 기체값 및 제2 용존 기체값의 비교 결과를 통해서 제1 순환 라인(21) 또는 제2 순환 라인(23)으로 약액을 순환시키는 것이 아니라 제1 용존 기체값에 대한 기준값 또는 제2 용전 기체값에 대한 기준값과의 비교 결과를 통해서 제1 순환 라인(21) 또는 제2 순환 라인(23)으로 약액을 순환시키거나 토출 헤드(11)의 가동을 중단시킬 수도 있을 것이다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 방법에서는 제2 용존 기체량은 기준값을 만족하지만 제1 용존 기체량은 기준값을 벗어날 경우 제1 순환 라인(21)으로 약액을 순환시킬 수 있게 제어한다.(S59 단계)
또한, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 방법에서는 제2 용존 기체량이 기준값을 벗어날 경우 토출 헤드(11)로부터의 약액 토출을 중단시킴과 아울러 제2 순환 라인(23)으로 약액을 순환시킬 수 있게 제어한다.(S61 단계)
언급한 S59 단계 및 S61 단계에서의 약액 순환에 대한 제어 및 약액 토출의 중단에 대한 제어는 제어부(25)에 의해 달성될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 방법은 레저버(13)에서의 약액 순환 또는 레저버(13)와 토출 헤드(11) 사이에서의 약액 순환을 통하여 레저버(13)에 수용되는 약액 또는 토출 헤드(11)로부터 토출되는 약액에 잔존할 수 있는 용존 기체를 최소화할 수 있기 때문에 약액 토출 공정의 수행시 토출 헤드(11)로부터 토출되는 약액의 정밀한 탄착을 달성할 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치 및 약액 토출 방법은 유기 EL 디스플레이 소자 등과 같은 디스플레이 장치의 제조 라인에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.
따라서 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리 및 약액 토출 장치는 스마트폰의 제조와 함께 나아가 데스크탑 PC, 태블릿 PC, 스마트 TV 등과 같은 다양한 디스플레이 장치의 제조에도 충분하게 적용할 수 있을 것이다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11 : 토출 헤드 13 : 레저버
15 : 제1 측정부 17 : 제2 측정부
19 : 배스 21 : 제1 순환 라인
23 : 제2 순환 라인 25 : 제어부
27 : 탈기부 29 : 펌핑부
100 : 약액 토출 장치

Claims (10)

  1. 약액을 토출하는 토출 헤드 및 상기 토출 헤드에 약액을 공급하는 레저버를 포함하는 약액 토출 장치에 있어서,
    상기 레저버에서의 약액에 잔존하는 제1 용존 기체량을 측정하도록 구비되는 제1 측정부;
    상기 토출 헤드로부터 토출되는 약액에 잔존하는 제2 용존 기체량을 측정하도록 구비되는 제2 측정부;
    상기 레저버에서의 약액을 순환시키도록 구비되는 제1 순환 라인;
    상기 레저버와 상기 토출 헤드 사이에서의 약액을 순환시키도록 구비되는 제2 순환 라인; 및
    상기 제1 용존 기체량 및 상기 제2 용존 기체량을 수신받고, 상기 제2 용존 기체량보다 상기 제1 용존 기체량이 큰 경우에는 상기 제1 순환 라인으로 상기 약액을 순환시킬 수 있게 제어하고, 상기 제1 용존 기체량보다 상기 제2 용존 기체량이 큰 경우에는 상기 제2 순환 라인으로 상기 약액을 순환시킬 수 있게 제어하도록 구비되는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 순환 라인은 상기 제1 순환 라인으로부터 분기됨과 아울러 상기 제1 순환 라인으로 연결되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 제1 순환 라인 중에서 상기 레저버로 약액이 유입되는 쪽에 상기 약액으로부터 용존 기체를 제거하도록 구비되는 탈기부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 용존 기체량은 기준값을 만족하지만 상기 제1 용존 기체량은 기준값을 벗어날 경우 상기 제어부는 상기 제1 순환 라인으로 약액을 순환시킬 수 있게 제어하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 용존 기체량이 기준값을 벗어날 경우 상기 제어부는 상기 토출 헤드로부터의 약액 토출을 중단시킴과 아울러 상기 제2 순환 라인으로 약액을 순환시킬 수 있게 제어하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  6. 토출 헤드에 약액을 공급하는 레저버에서의 약액에 잔존하는 제1 용존 기체량을 측정하는 단계;
    상기 토출 헤드로부터 토출되는 약액에 잔존하는 제2 용존 기체량을 측정하는 단계;
    상기 제1 용존 기체량 및 상기 제2 용존 기체량을 수신받고, 상기 제2 용존 기체량보다 상기 제1 용존 기체량이 큰 경우에는 상기 레저버에서의 약액을 순환시키도록 구비되는 제1 순환 라인으로 약액을 순환시키는 단계; 및
    상기 제1 용존 기체량 및 상기 제2 용존 기체량을 수신받고, 상기 제1 용존 기체량보다 상기 제2 용존 기체량이 큰 경우에는 상기 레저버와 상기 토출 헤드 사이에서의 약액을 순환시키도록 구비되는 제2 순환 라인으로 약액을 순환시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 방법.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 제2 순환 라인은 상기 제1 순환 라인으로부터 분기됨과 아울러 상기 제1 순환 라인으로 연결되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 방법.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 제1 순환 라인 또는 상기 제2 순환 라인을 거쳐 상기 제1 순환 라인으로 순환되는 약액으로부터 용존 기체를 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 방법.
  9. 제6 항에 있어서,
    상기 제2 용존 기체량은 기준값을 만족하지만 상기 제1 용존 기체량은 기준값을 벗어날 경우 상기 제1 순환 라인으로 약액을 순환시킬 수 있게 제어하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 방법.
  10. 제6 항에 있어서,
    상기 제2 용존 기체량이 기준값을 벗어날 경우 상기 토출 헤드로부터의 약액 토출을 중단시킴과 아울러 상기 제2 순환 라인으로 약액을 순환시킬 수 있게 제어하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 방법.
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