KR20190119325A - 약액 수용 어셈블리 및 이를 포함하는 약액 토출 장치 - Google Patents

약액 수용 어셈블리 및 이를 포함하는 약액 토출 장치 Download PDF

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KR20190119325A
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Abstract

예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리는 제1 수용부, 제2 수용부, 및 연결부를 포함할 수 있다. 상기 제1 수용부는 약액을 수용하는 공간을 제공하도록 구비될 수 있다. 상기 제2 수용부는 상기 제1 수용부의 약액과 수위 평형이 이루어질 수 있도록 상기 제1 수용부와 동일면 상에 배치되고, 상기 약액을 수용하는 공간을 제공하도록 구비될 수 있다. 상기 연결부는 상기 제1 수용부와 상기 제2 수용부 사이에서 상기 약액의 수위 평형이 깨질 경우 상기 약액의 수위 평형이 이루어지게 상기 제1 수용부와 상기 제2 수용부 사이에서 상기 약액이 플로우되도록 구비될 수 있다.

Description

약액 수용 어셈블리 및 이를 포함하는 약액 토출 장치{Assembly for Storing Chemical and Apparatus for Dispensing Chemical having the same}
본 발명은 약액 수용 어셈블리 및 이를 포함하는 약액 토출 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 기판 상에 토출하기 위한 약액을 수용하는 약액 수용 어셈블리 및 이를 포함하는 약액 토출 장치에 관한 것이다.
표시 장치의 제조에서는 기판 상에 약액을 토출하는 공정을 수행한다. 그리고 약액의 토출은 주로 잉크젯 방식으로 이루어진다. 이에, 약액 토출 장치는 약액을 수용하는 약액 수용 어셈블리, 약액 수용 어셈블리와 연결되면서 잉크젯 방식으로 약액을 토출하는 복수개의 노즐들을 갖는 약액 토출부 등을 포함할 수 있다.
그러나 언급한 약액 토출 장치를 사용하는 약액 토출 공정의 수행시 약액에 버블(bubble)이 존재할 경우에는 불량 원인으로 작용할 수 있기 때문에 약액에 존재하는 버블을 관리 대상으로 취급하고 있다. 또한, 최근 나노 입자를 포함하는 약액의 경우에는 나노 입자의 침전이 발생하여 공정 불량으로 작용할 수 있기 때문에 약액이 침전되는 상황을 사전에 방지할 필요가 있다.
본 발명의 일 과제는 약액을 충분하게 플로우시킴에 의해 약액에 버블이 존재하는 것을 최소화할 수 있음과 아울러 약액에 포함되는 나노 입자가 침전되는 상황까지도 최소화할 수 있는 약액 수용 어셈블리를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 과제는 언급한 약액 수용 어셈블리를 포함하는 약액 토출 장치를 제공하는데 있다.
상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리는 제1 수용부, 제2 수용부, 및 연결부를 포함할 수 있다. 상기 제1 수용부는 약액을 수용하는 공간을 제공하도록 구비될 수 있다. 상기 제2 수용부는 상기 제1 수용부의 약액과 수위 평형이 이루어질 수 있도록 상기 제1 수용부와 동일면 상에 배치되고, 상기 약액을 수용하는 공간을 제공하도록 구비될 수 있다. 상기 연결부는 상기 제1 수용부와 상기 제2 수용부 사이에서 상기 약액의 수위 평형이 깨질 경우 상기 약액의 수위 평형이 이루어지게 상기 제1 수용부와 상기 제2 수용부 사이에서 상기 약액이 플로우되도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 수용부는 상기 약액을 임시로 수용하는 버퍼 레저버(buffer reservoir)를 포함할 수 있고, 상기 제2 수용부는 상기 약액을 잉크젯 헤드로 공급하는 공급 레저버(supply reservoir)를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 연결부에는 상기 제1 수용부와 상기 제2 수용부 사이에서 상기 약액의 플로우를 개폐시킬 수 있는 밸브가 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 수용부 또는/및 상기 제2 수용부에는 강제로 상기 약액을 플로우시킬 수 있는 제1 플로우부가 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 플로우부는 상기 제1 수용부 또는/및 상기 제2 수용부에 질소 가스를 공급하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 연결부에는 강제로 상기 약액을 플로우시킬 수 있는 제2 플로우부가 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제2 플로우부는 상기 약액을 펌핑하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 수용부 및/또는 상기 제2 수용부에는 상기 제1 수용부의 공간 및/또는 상기 제2 수용부의 공간을 적어도 두 군데 공간으로 나눌 수 있는 격벽부, 및 상기 격벽부를 통하여 상기 약액이 플로우될 수 있도록 상기 격벽부의 일부가 개방되는 구조를 갖는 개방부가 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 격벽부는 상기 제1 수용부의 공간 및/또는 상기 제2 수용부의 공간을 종방향 또는 횡방향으로 나누도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 격벽부가 종방향으로 두 개 이상이 구비될 때 상기 개방부는 상기 제1 수용부 및/또는 상기 제2 수용부의 상측 단부로부터 하측 단부로 지그재그 형태로 플로우되게 배치되도록 구비될 수 있고, 상기 격벽부가 횡방향으로 두 개 이상이 구비될 때 상기 개방부는 상기 제1 수용부 및/또는 상기 제2 수용부의 일측 단부로부터 타측 단부로 지그재그 형태로 플로우되게 배치되도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 약액은 나노 입자를 포함할 수 있다.
상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 청구항 제1항의 약액 수용 어셈블리, 상기 약액 수용 어셈블리의 제1 수용부와 연결되고, 상기 제1 수용부에 상기 약액을 공급하도록 구비되는 약액 공급부, 및 상기 약액 수용 어셈블의 제2 수용부와 연결되고, 상기 제2 수용부에 수용되는 상기 약액을 토출하는 복수개의 노즐들을 갖는 약액 토출부를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리 및 약액 토출 장치는 제1 수용부의 약액과 제2 수용부의 약액이 수위 평형이 이루어지도록 배치되게 구비하여 약액이 낙하되는 것을 사전에 차단함으로써 제1 수용부와 제2 수용부 사이에서의 약액의 플로우로 인하여 버블이 발생하는 것을 최소화할 수 있다.
그리고 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리 및 약액 토출 장치는 제1 수용부와 제2 수용부 사이에서 수위 차이가 발생할 경우 수위 평형이 이루어지게 제1 수용부와 제2 수용부 사이에서 약액이 플로우되도록 함으로써 제1 수용부와 제2 수용부 각각에서 약액이 정체되는 상황을 차단하여 약액의 정체로 인하여 버블이 성장하는 것을 최소화할 수 있다.
특히. 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리 및 약액 토출 장치는 약액의 플로우를 통하여 약액을 지속적으로 혼합시킬 수도 있기 때문에 나노 입자를 갖는 약액의 경우 나노 입자가 침전되는 상황까지도 최소화할 수 있다.
또한, 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리 및 약액 토출 장치는 제1 수용부와 제2 수용부에 격벽 구조를 갖도록 형성함으로써 약액을 보다 역동적으로 플로우시킬 수 있기 때문에 약액의 정체로 인하여 버블이 성장하는 것을 최소화할 수 있을 뿐만 아니라 나노 입자가 침전되는 상황까지도 최소화할 수 있다.
따라서 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리 및 약액 토출 장치는 약액 내에서 발생하는 버블이 약액 토출부의 노즐을 막아버리는 상황을 최소화할 수 있어 버블이 공정 불량의 요인으로 작용하는 것을 최소화할 수 있을 뿐만 아니라 나노 입자의 침전으로 인한 공정 불량까지도 최소화할 수 있을 것이다.
이에, 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리 및 약액 토출 장치를 표시 장치의 제조에 적용할 경우 버블, 침전물과 같은 약액으로부터 발생할 수 있는 불량 요인을 사전에 차단함으로써 표시 장치의 제조에 따른 생산성의 향상을 기대할 수 있을 뿐만 아니라 표시 장치의 신뢰도의 향상까지도 기대할 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2는 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 3a 및 도 3b는 도 2의 약액 수용 어셈블리의 제1 수용부로부터 제2 수용부로 약액을 플로우시켜 수위 평형을 이루는 상황을 설명하기 위한 도면들이다.
도 4a 및 도 4b는 도 2의 약액 수용 어셈블리의 제2 수용부로부터 제1 수용부로 약액을 플로우시켜 수위 평형을 이루는 상황을 설명하기 위한 도면들이다.
도 5는 도 2의 약액 수용 어셈블리의 제1 수용부 및/또는 제2 수용부의 종방향으로 구비되는 격벽부 및 개방부를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 도 2의 약액 수용 어셈블리의 제1 수용부 및/또는 제2 수용부의 횡방향으로 구비되는 격벽부 및 개방부를 설명하기 위한 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 1을 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 액정 표시 소자, 유기 EL 표시 소자 등과 같은 평판형 표시 장치의 제조시 약액을 기판 상에 토출하기 위한 것으로써, 컬러 필터, 배향막 등을 형성하기 위한 약액을 기판 상에 토출하기 위한 것이다.
이에, 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 약액 수용 어셈블리(200), 약액 공급부(300), 약액 토출부(400) 등을 포함할 수 있다. 특히, 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 잉크젯 방식으로 기판 상에 약액을 토출하도록 구비될 수 있다.
그리고 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에서 약액 수용 어셈블리(200)는 레저버(reservoir)로 명명할 수도 있고, 약액 공급부(300)는 캐니스터(canister)로 명명할 수도 있고, 약액 토출부(400)는 잉크젯 헤드(inkjet head)로 명명할 수도 있다.
약액 공급부(300)는 약액 수용 어셈블리(200)로 약액을 공급하도록 구비되는 것으로써, 특히 후술하는 약액 수용 어셈블리(200)의 제1 수용부로 약액을 공급하도록 구비될 수 있다.
약액 수용 어셈블리(200)는 약액 공급부(300)로부터 공급받은 약액을 수용하다가 액적 토출시 약액 토출부(400)로 액적을 공급하도록 구비될 수 있다.
약액 토출부(400)는 약액 수용 어셈블리(200)로부터 약액을 공급받아 기판 상에 약액을 토출하도록 구비되는 것으로써, 특히 후술하는 약액 어셈블리(200)의 제2 수용부로부터 약액을 공급받아 기판 상에 약액을 토출하도록 구비될 수 있다.
그리고 약액 토출부(400)는 언급한 바와 같이 잉크젯 방식으로 약액을 토출하기 위한 것으로써, 그 일면에 약액을 토출할 수 있는 노즐이 다수개가 형성되도록 구비될 수 있다.
언급한 약액 토출부(400)에 있어서, 예를 들면 노즐은 128개 또는 256개가 구비될 수 있다. 다수개의 노즐은 일정 피치의 간격으로 일렬로 배치될 수 있고, ㎍ 단위의 양으로 약액을 토출할 수 있도록 구비될 수 있다.
약액 토출부(400)는 노즐에 대응하는 수만큼의 압전 소자가 구비될 수 있고, 이에 압전 소자의 동작에 의해 노즐을 통하여 액적을 토출시키도록 구비될 수 있다. 그리고 노즐로부터 토출되는 약액량은 압전 소자들에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다.
예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)를 사용한 약액의 토출시 약액 수용 어셈블리(200)에 수용되는 약액에 버블이 존재할 경우 약액 토출부(400)의 노즐을 막아버릴 수 있고, 그 결과 공정 불량이 발생할 수 있다.
이에, 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 약액 수용 어셈블리(200)를 약액이 용이하게 순환할 수 있는 구조를 갖도록 구비함으로써, 약액 수용 어셈블리(200)에 수용되는 약액의 원활하고 역동적인 순환을 통하여 약액에 존재하는 버블을 최소화할 수 있고, 나노 입자를 포함하는 약액의 경우 나노 입자가 침전되는 상황을 사전에 차단할 수 있다.
따라서 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)를 사용하는 약액의 토출 공정에서는 버블 및 나노 입자의 침전으로 인한 불량 발생을 최소화할 수 있기 때문에 표시 장치의 제조에 따른 생산성의 향상을 기대할 수 있을 뿐만 아니라 표시 장치 자체에 대한 신뢰성의 향상도 기대할 수 있을 것이다.
이하, 언급한 약액의 순환을 통하여 약액에서의 버블을 최소화하고, 나노 입자가 침전되는 상황을 사전에 차단할 수 있는 약액 수용 어셈블리에 대하여 설명하기로 한다.
도 2는 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2를 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(200)는 제1 수용부(21), 제2 수용부(23), 연결부(25) 등을 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(200)는 도 1의 약액 토출 장치(100)의 약액 공급부(300)로부터 약액을 공급받아 수용하도록 구비될 수 있다. 이에, 약액 수용 어셈블리(200)의 제1 수용부(21)가 약액 공급부(300)와 연결되도록 구비될 수 있다. 그리고 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(200)는 도 1의 약액 토출 장치(100)의 약액 토출부(400)로 공급하기 위한 약액을 수용하도록 비될 수 있다. 이에, 약액 수용 어셈블리(200)의 제2 수용부(23)가 약액 토출부(400)와 연결되도록 구비될 수 있다.
제1 수용부(21)는 약액을 수용하는 공간을 제공하도록 구비되는 것으로써, 약액 공급부(300)로부터 공급되는 약액을 임시로 수용하는 버퍼 레저버(buffer reservoir)를 포함할 수 있다.
제2 수용부(23)는 약액을 수용하는 공간을 제공하도록 구비되는 것으로써, 약액을 잉크젯 헤드로 이루어지는 약액 토출부(400)로 공급하는 공급 레저버(supply reservoir)를 포함할 수 있다.
특히, 제1 수용부(21)와 제2 수용부(23) 각각은 상부 및 하부에 배치되도록 구비되는 것이 아니라 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(200)에서는 동일면 상에 배치되도록 구비될 수 있다.
따라서 예시적인 실시예들에 따른 제1 수용부(21)에 수용되는 약액과 제2 수용부(23)에 수용되는 약액은 수위 평형을 유지할 수 있다. 즉, 제1 수용부(21)와 제2 수용부(23)를 높이 차이가 없는 평행을 이루는 동일면 상에 배치함으로써 다른 조작이나 외력이 없을 경우 수위 평형을 유지할 수 있는 것이다.
또한, 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(200)는 제1 수용부(21)의 약액과 제2 수용부(23)의 약액이 수위 평형이 이루어지도록 배치되게 구비하여 제1 수용부(21)로부터 제2 수용부(23)로 약액의 공급시 약액이 낙하되는 것을 사전에 차단함으로써 제1 수용부(21)와 제2 수용부(23) 사이에서의 약액의 플로우로 인하여 버블이 발생하는 것을 최소화할 수도 있다.
예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(200)에서, 제1 수용부(21)와 제2 수용부(23) 사이에는 연결부(25)가 구비될 수 있다. 언급한 연결부(25)는 제1 수용부(21)에 수용되는 약액을 제2 수용부(23)로 플로우시키거나 또는 제2 수용부(23)에 수용되는 약액을 제1 수용부(21)로 플로우시키도록 구비될 수 있다. 이에, 연결부(25)는 약액의 플로우가 용이하게 이루어질 수 있는 유로 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
이와 같이, 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(200)는 제1 수용부(21)와 제2 수용부(23)를 동일면 상에 배치되도록 구비함과 아울러 제1 수용부(21)와 제2 수용부(23) 사이에 약액의 플로우가 가능한 연결부(25)를 구비함으로써 제1 수용부(21)와 제2 수용부(23) 사이에서의 약액에 대한 수위 평형이 깨지더라도 수위 평형이 이루어지게 연결부(25)를 통하여 약액의 플로우가 자연스럽게 이루어질 수 있다.
이에, 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(200)는 제1 수용부(21)와 제2 수용부(23) 사이에서 수위 차이가 발생할 경우 수위 평형이 이루어지게 제1 수용부(21)와 제2 수용부(23) 사이에서 약액이 플로우되도록 함으로써 제1 수용부(21)와 제2 수용부(23) 각각에서 약액이 정체되는 상황을 차단하여 약액의 정체로 인하여 버블이 성장하는 것을 최소화할 수도 있고, 약액의 플로우를 통하여 약액을 지속적으로 혼합시킬 수도 있기 때문에 나노 입자를 갖는 약액의 경우 나노 입자가 침전되는 상황까지도 최소화할 수도 있다.
예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(200)에 있어서, 연결부(25)에는 제1 수용부(21)와 제2 수용부(23) 사이에서 약액의 플로우를 개폐시킬 수 있는 밸브(27)가 구비될 수 있다.
이에, 언급한 밸브(27)를 사용함으로써 제2 수용부(23)에서의 약액이 목표 수위에 도달하도록 약액의 공급을 조정할 수 있다. 즉, 밸브(27)의 개폐를 통하여 제2 수용부(23)에 수용되는 약액의 정량을 컨트롤할 수 있는 것이다.
예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(200)에 있어서, 제1 수용부(21) 및/또는 제2 수용부(23)에는 강제로 약액을 플로우시킬 수 있는 제1 플로우부(31)를 구비할 수 있다. 제1 플로우부(31)는 제1 수용부(21) 및/또는 제2 수용부(23)에 질소 가스를 공급하도록 구비될 수 있다. 이에, 제1 플로우부(31)는 제1 수용부(21) 및/또는 제2 수용부(23)에 질소 가스를 공급할 수 있도록 질소 가스 공급부 및 질소 가스 공급부와 제1 수용부(21) 및/또는 제2 수용부(23) 사이를 연결하는 연결 라인을 구비하는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다. 그리고 도 1에서는 제1 수용부(21)에만 제1 플로우부(31)가 구비되는 것으로 도시하고 있지만 이에 한정되지는 않는다.
이와 같이, 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(200)는 제1 플로우부(31)를 구비함으로써 제1 수용부(21)로부터 제2 수용부(23)로 약액을 플로우시키나 또는 제2 수용부(23)로부터 제1 수용부(21)로 약액을 강제로 플로우시킬 수 있다. 즉, 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(200)는 제1 플로우부(31)를 구비함으로써 약액 공급부(300)로부터 제1 수용부(21)로 약액을 공급함에 따라 수위 평형을 위하여 자연스럽게 약액이 플로우되는 것이 아니라 강제로도 약액을 플로우시킬 수 있는 것이다.
이에, 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(200)는 제1 플로우부(31)를 구비하여 제1 수용부(21)와 제2 수용부(23) 사이에서 약액을 강제로 플로우시킬 수 있도록 함으로써 제1 수용부(21)와 제2 수용부(23) 각각에서 약액이 정체되는 상황을 차단하여 약액의 정체로 인하여 버블이 성장하는 것을 최소화할 수도 있고, 약액의 플로우를 통하여 약액을 지속적으로 혼합시킬 수도 있기 때문에 나노 입자가 침전되는 상황까지도 최소화할 수도 있다.
예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(200)에 있어서, 연결부(25)에는 제1 수용부(21)로부터 제2 수용부(23)로 또는 제2 수용부(23)로부터 제1 수용부(21)로 강제로 약액을 플로우시킬 수 있는 제2 플로우부(29)를 구비할 수 있다. 제2 플로우부(29)는 약액을 펌핑하도록 구비될 수 있다. 즉, 제2 플로우부(29)는 연결부(25)에 구비되는 펌프로 이루어질 수 있는 것이다.
이와 같이, 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(200)는 제2 플로우부(29)를 구비하여 연결부(25)에서 펌핑 동작을 수행함으로써 연결부(25)를 통하여 제1 수용부(21)로부터 제2 수용부(23)로 약액을 플로우시키나 또는 제2 수용부(23)로부터 제1 수용부(21)로 약액을 강제로 플로우시킬 수 있다. 즉, 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(200)는 제2 플로우부(29)를 구비함으로써 약액 공급부(300)로부터 제1 수용부(21)로 약액을 공급함에 따라 수위 평형을 위하여 자연스럽게 약액이 플로우되는 것이 아니라 강제로도 약액을 플로우시킬 수 있는 것이다.
이에, 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(200)는 제2 플로우부(29)를 구비하여 제1 수용부(21)와 제2 수용부(23) 사이에서 약액을 강제로 플로우시킬 수 있도록 함으로써 제1 수용부(21)와 제2 수용부(23) 각각에서 약액이 정체되는 상황을 차단하여 약액의 정체로 인하여 버블이 성장하는 것을 최소화할 수도 있고, 약액의 플로우를 통하여 약액을 지속적으로 혼합시킬 수도 있기 때문에 나노 입자가 침전되는 상황까지도 최소화할 수도 있다.
이하, 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리에서 약액을 순환시키기 위한 구성에 대하여 설명하기로 한다.
도 3a 및 도 3b는 도 2의 약액 수용 어셈블리의 제1 수용부로부터 제2 수용부로 약액을 플로우시켜 수위 평형을 이루는 상황을 설명하기 위한 도면들이다.
도 3a를 참조하면, 제2 수용부(23)보다 제1 수용부(21)에 더 높은 수위를 갖도록 약액이 수용될 수 있다.
도 3b를 참조하면, 수위 평형이 이루어지도록 제1 수용부(21)의 약액이 연결부(25)를 통하여 제2 수용부(23)로 자연스럽게 플로우될 수 있다.
또한, 제1 플로우부(31) 및/또는 제2 플로우부(29)를 사용하여 제1 수용부(21)의 약액을 제2 수용부(23)로 강제로 플로우시킬 수도 있다.
도 4a 및 도 4b는 도 2의 약액 수용 어셈블리의 제2 수용부로부터 제1 수용부로 약액을 플로우시켜 수위 평형을 이루는 상황을 설명하기 위한 도면들이다.
도 4a를 참조하면, 제1 수용부(21)보다 제2 수용부(23)에 더 높은 수위를 갖도록 약액이 수용될 수 있다.
도 4b를 참조하면, 수위 평형이 이루어지도록 제2 수용부(23)의 약액이 연결부(25)를 통하여 제1 수용부(21)로 자연스럽게 플로우될 수 있다.
또한, 제1 플로우부(31) 및/또는 제2 플로우부(29)를 사용하여 제2 수용부(23)의 약액을 제1 수용부(21)로 강제로 플로우시킬 수도 있다.
이에, 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(200)는 제1 수용부(21)와 제2 수용부(23) 사이에서 수위 차이가 발생할 경우 수위 평형이 이루어지게 제1 수용부(21)와 제2 수용부(23) 사이에서 약액이 플로우되도록 함으로써 제1 수용부(21)와 제2 수용부(23) 각각에서 약액이 정체되는 상황을 차단하여 약액의 정체로 인하여 버블이 성장하는 것을 최소화할 수도 있고, 약액의 플로우를 통하여 약액을 지속적으로 혼합시킬 수도 있기 때문에 나노 입자를 갖는 약액의 경우 나노 입자가 침전되는 상황까지도 최소화할 수도 있다.
예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(200)는 제1 수용부(21) 및/또는 제2 수용부(23)에 수용되는 약액이 제1 수용부(21) 및/또는 제2 수용부(23) 내에서도 일정 경로를 따라 플로우가 이루어지도록 할 수도 있다.
이에, 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(200)의 경우 제1 수용부(21) 및/또는 제2 수용부(23)에는 제1 수용부(21)의 공간 및/또는 제2 수용부(23)의 공간을 적어도 두 군데 공간으로 나눌 수 있는 격벽부, 및 격벽부를 통하여 약액이 플로우될 수 있도록 격벽부의 일부가 개방되는 구조를 갖는 개방부가 구비될 수 있다.
즉, 제1 수용부(21) 및/또는 제2 수용부(23)에 유로 구조를 갖도록 격벽부 및 개방부를 형성하여 제1 수용부(21) 및/또는 제2 수용부(23) 내에서도 약액이 플로우되게 함으로써 제1 수용부(21)와 제2 수용부(23) 각각에서 약액이 정체되는 상황을 차단하여 약액의 정체로 인하여 버블이 성장하는 것을 최소화할 수도 있고, 약액의 플로우를 통하여 약액을 지속적으로 혼합시킬 수도 있기 때문에 나노 입자를 갖는 약액의 경우 나노 입자가 침전되는 상황까지도 최소화할 수도 있다.
이하, 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리에 구비되는 격벽부 및 개방부에 대하여 설명하기로 한다. 그리고 도 5에 구비되는 격벽부 및 개방부와, 도 6에 구비되는 격벽부 및 개방부는 설치 방향만을 달리할 뿐 그 구조가 동일하기 때문에 동일 부호를 사용하기로 한다.
도 5는 도 2의 약액 수용 어셈블리의 제1 수용부 및/또는 제2 수용부의 종방향으로 구비되는 격벽부 및 개방부를 설명하기 위한 도면이다.
도 5를 참조하면, 격벽부는 제1 수용부(21)를 정면 또는 측면에서 바라볼 때 제1 수용부(21)의 종방향으로 두 개 이상이 구비될 수 있다. 즉, 격벽부는 제1 수용부(21)의 상측으로부터 하측 또는 하측으로부터 상측을 향하도록 두 개 이상이 구비될 수 있는 것이다.
그리고 격벽부가 종방향으로 두 개 이상이 구비될 때 개방부는 약액이 제1 수용부(21)의 상측 단부로부터 하측 단부로 지그재그 형태로 플로우되게 배치되도록 구비될 수 있다. 개방부를 제1 상측 단부와 하측 단부로 지그재그 형태로 배치하는 것은 제1 수용부(21)에서 약액이 플로우되는 최대 경로를 확보하기 위함이다.
그리고 종방향이 구조를 갖는 격벽부 및 개방부가 제1 수용부(21)에 구비되는 것에 대하여 설명하고 있지만, 제2 수용부(23)에도 구비될 수 있다.
도 6은 도 2의 약액 수용 어셈블리의 제1 수용부 및/또는 제2 수용부의 횡방향으로 구비되는 격벽부 및 개방부를 설명하기 위한 도면이다.
도 6을 참조하면, 격벽부는 제1 수용부(21)를 평면 또는 저면에서 바라볼 때 제1 수용부(21)의 횡방향으로 두 개 이상이 구비될 수 있다. 즉, 격벽부는 제1 수용부(21)의 일측으로부터 타측 또는 타측으로부터 일측을 향하도록 두 개 이상이 구비될 수 있는 것이다.
그리고 격벽부가 횡방향으로 두 개 이상이 구비될 때 개방부는 약액이 제1 수용부(21)의 일측 단부로부터 타측 단부로 지그재그 형태로 플로우되게 배치되도록 구비될 수 있다. 개방부를 제1 일측 단부와 타측 단부로 지그재그 형태로 배치하는 것은 제1 수용부(21)에서 약액이 플로우되는 최대 경로를 확보하기 위함이다.
그리고 횡방향의 구조를 갖는 격벽부 및 개방부가 제1 수용부(21)에 구비되는 것에 대하여 설명하고 있지만, 제2 수용부(23)에도 구비될 수 있다.
이와 같이, 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(200)는 격벽부 및 개방부를 형성하여 제1 수용부(21) 및/또는 제2 수용부(23) 내에서도 약액이 플로우되게 함으로써 제1 수용부(21)와 제2 수용부(23) 각각에서 약액이 정체되는 상황을 차단하여 약액의 정체로 인하여 버블이 성장하는 것을 최소화할 수도 있고, 약액의 플로우를 통하여 약액을 지속적으로 혼합시킬 수도 있기 때문에 나노 입자를 갖는 약액의 경우 나노 입자가 침전되는 상황까지도 최소화할 수도 있다.
예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리 및 약액 토출 장치는 평판형 표시 장치의 제조 공정 중 기판 상에 액적을 토출하는 부재에 적용할 수 있는 것으로서, 특히 나노 입자를 갖는 약액의 취급하는 부재에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
21 : 제1 수용부 23 : 제2 수용부
25 : 연결부 27 : 밸브
29 : 제2 플로우부 31 : 제1 플로우부
51 : 격벽부 53 : 개방부
100 : 약액 토출 장치 200 : 약액 수용 어셈블리
300 : 약액 공급부 400 : 약액 토출부

Claims (12)

  1. 약액을 수용하는 공간을 제공하도록 구비되는 제1 수용부;
    상기 제1 수용부의 약액과 수위 평형이 이루어질 수 있도록 상기 제1 수용부와 동일면 상에 배치되고, 상기 약액을 수용하는 공간을 제공하도록 구비되는 제2 수용부; 및
    상기 제1 수용부와 상기 제2 수용부 사이에서 상기 약액의 수위 평형이 깨질 경우 상기 약액의 수위 평형이 이루어지게 상기 제1 수용부와 상기 제2 수용부 사이에서 상기 약액이 플로우되도록 구비되는 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 수용부는 상기 약액을 임시로 수용하는 버퍼 레저버(buffer reservoir)를 포함하고, 상기 제2 수용부는 상기 약액을 잉크젯 헤드로 공급하는 공급 레저버(supply reservoir)를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 연결부에는 상기 제1 수용부와 상기 제2 수용부 사이에서 상기 약액의 플로우를 개폐시킬 수 있는 밸브가 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 수용부 또는/및 상기 제2 수용부에는 강제로 상기 약액을 플로우시킬 수 있는 제1 플로우부가 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 제1 플로우부는 상기 제1 수용부 또는/및 상기 제2 수용부에 질소 가스를 공급하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 연결부에는 강제로 상기 약액을 플로우시킬 수 있는 제1 플로우부가 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 제2 플로우부는 상기 약액을 펌핑하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 수용부 및/또는 상기 제2 수용부에는 상기 제1 수용부의 공간 및/또는 상기 제2 수용부의 공간을 적어도 두 군데 공간으로 나눌 수 있는 격벽부, 및 상기 격벽부를 통하여 상기 약액이 플로우될 수 있도록 상기 격벽부의 일부가 개방되는 구조를 갖는 개방부가 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 격벽부는 상기 제1 수용부의 공간 및/또는 상기 제2 수용부의 공간을 종방향 또는 횡방향으로 나누도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 격벽부가 종방향으로 두 개 이상이 구비될 때 상기 개방부는 상기 제1 수용부 및/또는 상기 제2 수용부의 상측 단부로부터 하측 단부로 지그재그 형태로 플로우되게 배치되도록 구비되고, 상기 격벽부가 횡방향으로 두 개 이상이 구비될 때 상기 개방부는 상기 제1 수용부 및/또는 상기 제2 수용부의 일측 단부로부터 타측 단부로 지그재그 형태로 플로우되게 배치되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
  11. 제1 항에 있어서,
    상기 약액은 나노 입자를 포함하는 약액인 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
  12. 청구항 제1항의 약액 수용 어셈블리;
    상기 약액 수용 어셈블리의 제1 수용부와 연결되고, 상기 제1 수용부에 상기 약액을 공급하도록 구비되는 약액 공급부; 및
    상기 약액 수용 어셈블의 제2 수용부와 연결되고, 상기 제2 수용부에 수용되는 상기 약액을 토출하는 복수개의 노즐들을 갖는 약액 토출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
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