KR102098814B1 - 약액 수용 어셈블리 및 이를 포함하는 약액 토출 장치 - Google Patents

약액 수용 어셈블리 및 이를 포함하는 약액 토출 장치 Download PDF

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KR102098814B1
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Abstract

예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리는 약액 수용부, 구획부, 제1 버블 포획부, 제2 버블 포획부를 포함할 수 있다. 상기 약액 수용부는 기판으로 토출하기 위한 약액을 수용하는 공간을 제공하도록 구비될 수 있다. 상기 구획부는 상기 약액 수용부의 공간을 수직 방향으로 적어도 두 군데로 구획시키도록 구비될 수 있다. 상기 제1 버블 포획부는 상기 약액이 상기 약액 수용부의 일측으로부터 상기 구획부를 경유하여 상기 약액 수용부의 타측으로 플로우될 때 상기 약액은 플로우시키면서 상기 약액 내에 잔류하는 제1 크기보다 큰 크기를 갖는 제1 버블들은 포획할 수 있게 상기 구획부에 상기 제1 크기보다 작은 크기를 갖는 다수개의 홀들로 구비될 수 있다. 상기 제2 버블 포획부는 상기 약액이 플로우될 때 상기 제1 버블 포획부의 홀들을 통과하는 크기 및 제1 극성을 갖는 제2 버블들을 포획할 수 있게 상기 구획부에 상기 제1 극성과 반대되는 제2 극성을 갖는 전압을 인가하도록 구비될 수 있다.

Description

약액 수용 어셈블리 및 이를 포함하는 약액 토출 장치{Assembly for Storing Chemical and Apparatus for Dispensing Chemical having the same}
본 발명은 약액 수용 어셈블리 및 이를 포함하는 약액 토출 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 잉크젯 방식으로 기판에 토출하기 위한 약액을 수용하는 약액 수용 어셈블리 및 이를 포함하는 약액 토출 장치에 관한 것이다.
액정 표시 소자 등과 같은 표시 장치의 제조에서는 컬러 필터, 배향막 등을 형성하기 위하여 기판에 약액을 도포하는 공정을 수행할 수 있다. 약액 도포 공정에서는 잉크젯 방식으로 기판으로 토출하기 위한 약액을 수용하는 약액 수용 어셈블리를 포함하는 약액 토출 장치를 사용할 수 있다.
언급한 약액 토출 장치를 사용하는 약액의 토출시 약액 내에 버블들이 잔류할 경우에는 불량 원인으로 작용하기 때문에 약액 토출 공정에서는 약액 내에 잔류하는 버블들의 처리를 중요 관리 대상으로 취급하고 있다.
이에 종래에는 약액 수용 어셈블리에 수용되는 약액의 플로우시 약액은 플로우시키면서 약액 내에 잔류하는 버블들을 포획함에 의해 약액 내에 잔류하는 버블들을 처리하고 있다. 약액 내에 잔류하는 버블들의 포획은 약액만 플로우 되고 일정 크기의 버블들은 플로우 되지 않고 포획되는 크기를 갖는 다수개의 홀들을 구비하는 부재를 사용함에 의해 달성할 수 있다.
그러나 종래에는 약액의 플로우시 다수개의 홀들보다 작은 크기를 갖는 버블들은 다수개의 홀들에 포획되지 않고 그대로 플로우되는 상황이 발생할 수도 있다.
본 발명의 일 과제는 약액은 아무런 지장도 없이 플로우시키면서도 상대적으로 큰 크기를 갖는 버블들 뿐만 아니라 상대적으로 작은 크기를 갖는 버블들까지도 충분하게 포획할 수 있는 약액 수용 어셈블리를 제공하는데 있다.
본 발명의 일 과제는 약액은 아무런 지장도 없이 플로우시키면서도 상대적으로 큰 크기를 갖는 버블들 뿐만 아니라 상대적으로 작은 크기를 갖는 버블들까지도 충분하게 포획할 수 있는 약액 수용 어셈블리를 포함하는 약액 토출 장치를 제공하는데 있다.
상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리는 약액 수용부, 구획부, 제1 버블 포획부, 제2 버블 포획부를 포함할 수 있다. 상기 약액 수용부는 기판으로 토출하기 위한 약액을 수용하는 공간을 제공하도록 구비될 수 있다. 상기 구획부는 상기 약액 수용부의 공간을 수직 방향으로 적어도 두 군데로 구획시키도록 구비될 수 있다. 상기 제1 버블 포획부는 상기 약액이 상기 약액 수용부의 일측으로부터 상기 구획부를 경유하여 상기 약액 수용부의 타측으로 플로우될 때 상기 약액은 플로우시키면서 상기 약액 내에 잔류하는 제1 버블 포획부 크기보다 큰 크기를 갖는 제1 버블들을 포획할 수 있게 상기 구획부에 상기 제1 버블의 크기보다 작은 크기를 갖는 다수개의 홀들로 구비될 수 있다. 상기 제2 버블 포획부는 상기 약액이 플로우될 때 상기 제1 버블 포획부의 홀들을 통과하는 크기 및 제1 극성을 갖는 제2 버블들을 포획할 수 있게 상기 구획부에 상기 제1 극성과 반대되는 제2 극성을 갖는 전압을 인가하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 버블 포획부는 상기 구획부의 전체 영역에 분포되도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 버블 포획부는 상기 구획부의 일부 영역에 분포되도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 약액이 지그재그 경로로 플로우될 수 있게 일측에 제1 버블 포획부가 분포되는 구획부 및 타측에 제1 버블 포획부가 분포되는 구획부를 반복 배치되도록 구비할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 약액을 상기 약액 수용부로 공급하도록 구비되는 약액 공급부, 및 상기 약액을 상기 약액 수용부로부터 배출하도록 구비되는 약액 배출부를 더 포함할 수 있다.
상기 본 발명의 다른 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 약액 수용 어셈블리, 약액 공급부, 약액 배출부, 약액 토출부를 포함할 수 있다. 상기 약액 수용 어셈블리는 기판으로 토출하기 위한 약액을 수용하는 공간을 제공하도록 구비되는 약액 수용부와, 상기 약액 수용부의 공간을 수직 방향으로 적어도 두 군데로 구획시키도록 구비되는 구획부와, 상기 약액이 상기 약액 수용부의 일측으로부터 상기 구획부를 경유하여 상기 약액 수용부의 타측으로 플로우될 때 상기 약액은 플로우시키면서 상기 약액 내에 잔류하는 제1 크기보다 큰 크기를 갖는 제1 버블들은 포획할 수 있게 상기 구획부에 상기 제1 크기보다 작은 크기를 갖는 다수개의 홀들로 구비되는 제1 버블 포획부와, 상기 약액이 플로우될 때 상기 제1 버블 포획부의 홀들을 통과하는 크기 및 제1 극성을 갖는 제2 버블들을 포획할 수 있게 상기 구획부에 상기 제1 극성과 반대되는 제2 극성을 갖는 전압을 인가하도록 구비되는 제2 버블 포획부로 이루어질 수 있다. 상기 약액 공급부는 상기 약액을 상기 약액 수용부로 공급하도록 구비될 수 있다. 상기 약액 배출부는 상기 약액을 상기 약액 수용부로부터 배출하도록 구비될 수 있다. 상기 약액 토출부는 상기 약액을 기판으로 토출할 수 있게 상기 약액 배출부와 연결되도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 약액이 지그재그 경로로 플로우될 수 있게 일측에 제1 버블 포획부가 분포되는 구획부 및 타측에 제1 버블 포획부가 분포되는 구획부를 반복 배치되도록 구비할 수 있다.
예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리 및 이를 포함하는 약액 토출 장치는 제1 크기보다 작은 크기를 갖는 다수개의 홀들에 의해서는 약액 내에 잔류하는 제1 크기보다 큰 크기를 갖는 제1 버블들은 포획할 수 있을 것이고, 그리고 제1 극성과 반대되는 제2 극성을 갖는 전압을 인가함에 의해서는 다수개의 홀들을 통과하는 크기를 갖는 제2 버블들을 포획할 수 있을 것이다.
이에, 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리 및 이를 포함하는 약액 토출 장치는 약액은 아무런 지장도 없이 플로우시키면서도 상대적으로 큰 크기를 갖는 버블들 뿐만 아니라 상대적으로 작은 크기를 갖는 버블들까지도 충분하게 포획할 수 있기 때문에 약액 내에 잔류하는 버블들로 인한 불량 발생을 최소화할 수 있을 것이다.
또한, 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리 및 이를 포함하는 약액 토출 장치는 약액 내에 잔류하는 버블들의 제거를 위한 약액의 사전 토출에 대한 횟수를 감소시킬 수 있기 때문에 약액 소모량을 감소시킬 수 있을 것이다.
따라서 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리 및 이를 포함하는 약액 토출 장치는 불량 발생의 최소화를 통하여 공정 신뢰도의 향상을 기대할 수 있을 뿐만 아니라 약액 소모량의 감소를 통하여 경제적인 이득까지 얻을 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2는 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리에 구비되는 제1 버블 포획부를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리에 구비되는 제1 버블 포획부를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리에서의 약액이 플로우되는 상황을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치를 설명하기 위한 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해 되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 1을 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)는 기판 상에 컬러 필터, 배향막 등을 형성하기 위한 약액을 수용하는 부재로써, 약액 수용부(11), 구획부(13), 제1 버블 포획부(15), 제2 버블 포획부(17) 등을 포함할 수 있다.
약액 수용부(11)는 기판으로 토출하기 위한 약액을 수용하는 공간을 제공하도록 구비될 수 있다. 약액 수용부(11)에는 약액 공급부(21) 및 약액 배출부(23)가 연결되도록 구비될 수 있다.
약액 공급부(21)는 약액을 약액 수용부(11)로 공급하도록 구비되는 것으로써 약액 수용부(11)의 일측에 연결되도록 구비될 수 있을 것이고, 약액 배출부(23)는 약액을 약액 수용부(11)로부터 배출하도록 구비되는 것으로써 약액 수용부(11)의 타측에 연결되도록 구비될 수 있을 것이다. 약액 배출부(23)는 약액 수용부(11)의 타측 바닥 쪽에 연결되도록 구비될 수도 있을 것이다.
구획부(13)는 약액 수용부(11)의 공간을 구획하도록 구비될 수 있다. 구획부(13)는 약액 수용부(11)의 공간을 구획할 수 있는 격벽 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
구획부(13)는 약액 수용부(11)의 공간을 수직 방향으로 구획하도록 구비될 수 있다. 구획부(13)가 구비되는 수직 방향은 약액 수용부(11)의 양쪽 벽체와 동일한 방향일 수 있다.
구획부(13)는 약액 수용부(11)의 공간을 수직 방향으로 적어도 두 군데로 구획시키도록 구비될 수 있다.
구획부(13)에 있어서, 약액 수용부(11)의 공간을 두 군데로 구획할 경우에는 구획부(13)를 한 개 구비하면 될 것이고, 약액 수용부(11)의 공간을 세 군데로 구획할 경우에는 구획부(13)를 두 개 구비하면 될 것이고, 약액 수용부(11)의 공간을 네 군데로 구획할 경우에는 구획부(13)를 세 개 구비하면 될 것이다.
구획부(13)의 개수는 약액 수용부(11)의 공간을 몇 군데로 구획하고자 하느냐에 달려 있는 것으로써 구획하고자 하는 약액 수용부(11)의 공간 개수보다 하나 적게 구비하면 될 것이다.
제1 버블 포획부(15)는 구획부(13)에 의해 약액 수용부(11)의 공간이 구획됨에도 불구하고 약액을 플로우시킬 수 있도록 구비될 수 있다. 제1 버블 포획부(15)는 약액이 플로우되는 다수개의 홀들로 구비될 수 있다. 제1 버블 포획부(15)는 구획부(13)에 형성되는 다수개의 홀들로 구비될 수 있다.
약액 수용부(11)에 수용되는 약액은 약액 수용부(11)의 일측으로부터 구획부(13)를 경유하여 약액 수용부(11)의 타측으로 플로우될 수 있다. 약액 수용부(11)에 수용되는 약액은 약액 수용부(11)의 일측으로부터 구획부(13)에 구비되는 제1 버블 포획부(15)를 통과하여 약액 수용부(11)의 타측으로 플로우될 수 있을 것이다.
제1 버블 포획부(15)는 약액은 플로우시키면서 약액 내에 잔류하는 제1 버블들은 포획할 수 있도록 구비될 수 있다. 제1 버블 포획부(15)에서의 다수개의 홀들은 약액은 통과되지만 제1 버블들은 통과되지 않는 크기를 갖도록 구비될 수 있다. 제1 버블들의 크기가 제1 크기보다 큰 크기를 가질 경우 제1 버블 포획부(15)에서의 다수개의 홀들은 제1 크기보다 작은 크기를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.
예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)는 약액이 약액 수용부(11)의 일측으로부터 구획부(13)를 경유하여 약액 수용부(11)의 타측으로 플로우될 때 구획부(13) 및 제1 버블 포획부(15)에 의해 약액은 플로우시키면서 약액 내에 잔류하는 제1 크기보다 큰 크기를 갖는 제1 버블들은 포획할 수 있을 것이다.
도 2는 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리에 구비되는 제1 버블 포획부를 설명하기 위한 도면이고, 도 3은 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리에 구비되는 제1 버블 포획부를 설명하기 위한 도면이다.
도 2를 참조하면, 제1 버블 포획부(15)는 구획부(13)의 전체 영역에 분포되도록 구비될 수 있다. 제1 버블 포획부(15)는 구획부(13)의 전체 영역에 고른 분포를 갖도록 구비될 수 있을 것이다.
도 3을 참조하면, 제1 버블 포획부(15)는 구획부(13)의 일부 영역에 분포되도록 구비될 수 있다. 제1 버블 포획부(15)는 구획부(13)의 일측 또는 타측에 분포하는 구조를 갖도록 구비될 수 있을 것이다.
도 4는 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리에서의 약액이 플로우되는 상황을 설명하기 위한 도면이다.
도 4를 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)는 약액 수용부(11)에 두 개의 구획부(13a, 13b)가 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 두 개의 구획부(13a, 13b) 각각에는 제1 버블 포획부(15a, 15b)가 일측 및 타측에 분포하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 두 개의 구획부(13a, 13b)에서의 제1 버블 포획부(15a, 15b)는 지그재그 구조를 갖게 배치되도록 구비될 수 있다.
이에, 도 4에서의 약액 수용 어셈블리(100)에서의 약액은 약액 수용부(11) 내에서 지그재그 경로를 갖도록 플로우될 수 있다. 약액 수용 어셈블리(100)는 일측에 제1 버블 포획부(15a)가 분포되는 구획부(13a) 및 타측에 제1 버블 포획부(15b)가 분포되는 구획부(15a)를 반복 배치되도록 구비함으로써 약액 수용부(11) 내에서 약액이 지그재그 경로로 플로우될 수 있을 것이다.
예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)는 두 개의 구획부(13a, 13b)를 구비하여 약액 수용부(11)의 공간을 구획함과 아울러 일측에 제1 버블 포획부(15a)가 분포되는 구획부(13a) 및 타측에 제1 버블 포획부(15b)가 분포되는 구획부(13b)를 반복 배치되도록 구비하여 약액 수용부(11)에 수용되는 약액을 지그재그 형태를 갖도록 플로우시킴으로써 약액 공급부(21)를 통하여 약액 수용부(11)에 수용되는 약액을 약액 배출부(23)로 보다 역동적으로 플로우시킬 수 있을 것이고, 나아가 약액 내에 제1 크기보다 큰 크기를 갖는 제1 버블들까지 포획할 수 있을 것이다.
다시 도 1을 참조하면, 약액 수용 어셈블리(100)의 약액 수용부(11)에서 플로우되는 약액에는 제1 버블 포획부(15)로 구비되는 다수개의 홀들을 통과하는 버블들이 잔류할 수도 있을 것이다.
제1 버블 포획부(15)로 구비되는 다수개의 홀들을 통과하는 버블들까지 포획하기 위하여 제1 버블 포획부(15)로 구비되는 다수개의 홀들의 크기를 상대적으로 작게 형성할 경우에는 약액 수용부(11)에서의 약액의 플로우에 지장을 끼칠 수 있기 때문에 다수개의 홀들은 일정 크기 이상을 유지해야함 한다.
예를 들면, 제1 버블 포획부(15)로 구비되는 다수개의 홀들은 약 1.0Φ 크기를 갖도록 구비될 수 있다. 이에, 약 1.0Φ 보다 작은 크기를 갖는 버블들은 제1 버블 포획부(15)에 포획되지 않고 통과할 수 있을 것이다.
따라서 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)는 제1 버블 포획부(15)로 구비되는 다수개의 홀들을 통과하는 버블들까지 포획할 수 있도록 제2 버블 포획부(17)를 구비할 수 있다.
제1 버블 포획부(15)로 구비되는 다수개의 홀들을 통과하는 버블들, 즉 제2 버블들은 제1 극성을 가질 수 있다.
그러므로 제2 버블 포획부(17)는 구획부(13)에 제1 극성과 반대되는 제2 극성을 갖는 전압을 인가하도록 구비될 수 있다. 제2 버블 포획부(17)는 약액 수용부(11)에서 약액이 플로우될 때 제1 버블 포획부(15)의 홀들을 통과하는 크기 및 제1 극성을 갖는 제2 버블들을 포획할 수 있게 구획부(13)에 제1 극성과 반대되는 제2 극성을 갖는 전압을 인가하도록 구비될 수 있을 것이다.
예를 들면, 제2 버블들은 주로 음극의 극성을 가질 수 있기 때문에 제2 버블 포획부(17)는 구획부(13)에 양전압을 인가할 수 있도록 구비될 수 있을 것이다.
예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)는 제1 크기보다 작은 크기를 갖는 다수개의 홀들에 의해서는 약액 내에 잔류하는 제1 크기보다 큰 크기를 갖는 제1 버블들은 포획할 수 있을 것이고, 그리고 제1 극성과 반대되는 제2 극성을 갖는 전압을 인가함에 의해서는 다수개의 홀들을 통과하는 크기를 갖는 제2 버블들을 포획할 수 있을 것이다.
이에, 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)는 약액은 아무런 지장도 없이 플로우시키면서도 상대적으로 큰 크기를 갖는 버블들 뿐만 아니라 상대적으로 작은 크기를 갖는 버블들까지도 충분하게 포획할 수 있기 때문에 약액 내에 잔류하는 버블들로 인한 불량 발생을 최소화할 수 있을 것이다.
또한, 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)는 약액 내에 잔류하는 버블들의 제거를 위한 약액의 사전 토출에 대한 횟수를 감소시킬 수 있기 때문에 약액 소모량을 감소시킬 수 있을 것이다.
이하, 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치에 대하여 설명하기로 한다.
그리고 이하에서의 약액 토출 장치에 구비되는 약액 수용 어셈블리는 도 1에서의 약액 수용 어셈블리와 동일 구성을 갖기 때문에 동일 구성 요소에 대해서는 동일 부호를 사용하고 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 5는 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 5를 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(500)는 기판 상에 약액을 토출, 즉 컬러 필터, 배향막 등을 형성하기 위하여 기판 상에 약액을 도포하는 공정을 수행하기 위한 것으로써, 약액 토출 장치(500)는 약액 수용 어셈블리(100), 약액 공급부(21), 약액 배출부(23), 약액 토출부(300) 등을 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(500)는 잉크젯 방식으로 기판 상에 약액을 토출하도록 구비될 수 있다. 이에, 약액 수용 어셈블리(100)는 레저버(reservoir)로 명명할 수도 있을 것이고, 약액 토출부(300)는 잉크젯 헤드로 명명할 수도 있을 것이다.
약액 공급부(21)는 약액 수용 어셈블리(100)로 약액을 공급하기 위한 것으로써, 약액을 저장하는 약액 저장부(200)와 약액 수용 어셈블리(100) 사이에 연결되는 유로 구조를 갖는 연결 라인으로 구비될 수 있고, 약액의 공급시 약액의 플로우를 개폐할 수 있는 밸브 등이 추가적으로 구비될 수 있다.
약액 배출부(23)는 약액 수용 어셈블리(100)에 수용되는 약액을 약액 토출부(300)로 배출하기 위한 것으로써, 기판 상에 약액을 토출하는 약액 토출부(300)와 약액 수용 어셈블리(100) 사이에 연결되는 유로 구조를 갖는 연결 라인으로 구비될 수 있고, 약액의 배출시 약액의 플로우를 개폐할 수 있는 밸브 등이 추가적으로 구비될 수 있다.
약액 토출부(300)는 기판 상에 약액을 토출하기 위한 것으로써, 그 일면에 약액을 토출할 수 있는 노즐이 다수개 구비될 수 있는데, 예를 들면 128개 또는 256개의 노즐이 구비될 수 있다. 그리고 노즐은 일정 피치의 간격으로 일렬로 배치될 수 있고, ㎍ 단위의 양으로 약액을 토출할 수 있도록 구비될 수 있다. 그리고 약액 토출부(300)에서의 노즐에는 노즐에 대응하는 수만큼의 압전 소자가 구비될 수 있고, 이에 압전 소자의 동작에 의해 상기 노즐을 통하여 액적을 토출시킬 수 있다. 또한, 노즐로부터 토출되는 약액량은 압전 소자들에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다.
이와 같이, 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(500)의 경우에도 도 1에서의 약액 수용 어셈블리(100)를 구비함으로써 약액은 아무런 지장도 없이 플로우시키면서도 상대적으로 큰 크기를 갖는 버블들 뿐만 아니라 상대적으로 작은 크기를 갖는 버블들까지도 충분하게 포획할 수 있기 때문에 약액 내에 잔류하는 버블들로 인한 불량 발생을 최소화할 수 있을 것이고, 약액 내에 잔류하는 버블들의 제거를 위한 약액의 사전 토출에 대한 횟수를 감소시킬 수 있기 때문에 약액 소모량을 감소시킬 수 있을 것이다.
예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리 및 약액 토출 장치는 배향막, 컬러 필터 등이 형성을 요하는 액정 표시 소자 등과 같은 표시 장치의 제조에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11 : 약액 수용부 13 : 구획부
15 : 제1 버블 포획부 17 : 제2 버블 포획부
21 : 약액 공급부 23 : 약액 배출부
100 : 약액 수용 어셈블리
200 : 약액 저장부 300 : 약액 토출부
500 : 약액 토출 장치

Claims (7)

  1. 기판으로 토출하기 위한 약액을 수용하는 공간을 제공하도록 구비되는 약액 수용부;
    상기 약액 수용부의 공간을 수직 방향으로 적어도 두 군데로 구획시키도록 구비되는 구획부;
    상기 약액이 상기 약액 수용부의 일측으로부터 상기 구획부를 경유하여 상기 약액 수용부의 타측으로 플로우될 때 상기 약액은 플로우시키면서 상기 약액 내에 잔류하는 제1 크기보다 큰 크기를 갖는 제1 버블들은 포획할 수 있게 상기 구획부에 상기 제1 크기보다 작은 크기를 갖는 다수개의 홀들로 구비되는 제1 버블 포획부; 및
    상기 약액이 플로우될 때 상기 제1 버블 포획부의 홀들을 통과하는 크기 및 제1 극성을 갖는 제2 버블들을 포획할 수 있게 상기 구획부에 상기 제1 극성과 반대되는 제2 극성을 갖는 전압을 인가하도록 구비되는 제2 버블 포획부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 버블 포획부는 상기 구획부의 전체 영역에 분포되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 버블 포획부는 상기 구획부의 일부 영역에 분포되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 약액이 지그재그 경로로 플로우될 수 있게 일측에 제1 버블 포획부가 분포되는 구획부 및 타측에 제1 버블 포획부가 분포되는 구획부를 반복 배치되도록 구비하는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 약액을 상기 약액 수용부로 공급하도록 구비되는 약액 공급부; 및
    상기 약액을 상기 약액 수용부로부터 배출하도록 구비되는 약액 배출부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
  6. 기판으로 토출하기 위한 약액을 수용하는 공간을 제공하도록 구비되는 약액 수용부와, 상기 약액 수용부의 공간을 수직 방향으로 적어도 두 군데로 구획시키도록 구비되는 구획부와, 상기 약액이 상기 약액 수용부의 일측으로부터 상기 구획부를 경유하여 상기 약액 수용부의 타측으로 플로우될 때 상기 약액은 플로우시키면서 상기 약액 내에 잔류하는 제1 크기보다 큰 크기를 갖는 제1 버블들은 포획할 수 있게 상기 구획부에 상기 제1 크기보다 작은 크기를 갖는 다수개의 홀들로 구비되는 제1 버블 포획부와, 상기 약액이 플로우될 때 상기 제1 버블 포획부의 홀들을 통과하는 크기 및 제1 극성을 갖는 제2 버블들을 포획할 수 있게 상기 구획부에 상기 제1 극성과 반대되는 제2 극성을 갖는 전압을 인가하도록 구비되는 제2 버블 포획부로 이루어지는 약액 수용 어셈블리;
    상기 약액을 상기 약액 수용부로 공급하도록 구비되는 약액 공급부;
    상기 약액을 상기 약액 수용부로부터 배출하도록 구비되는 약액 배출부; 및
    상기 약액을 기판으로 토출할 수 있게 상기 약액 배출부와 연결되도록 구비되는 약액 토출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 약액이 지그재그 경로로 플로우될 수 있게 일측에 제1 버블 포획부가 분포되는 구획부 및 타측에 제1 버블 포획부가 분포되는 구획부를 반복 배치되도록 구비하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
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