KR20140084863A - 액 공급유닛 - Google Patents

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KR20140084863A
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Abstract

본 발명의 실시에는 약액을 이용하여 기판을 처리하는 장치 및 방법를 제공한다. 액 공급유닛은 약액이 저장되는 액 저장공간이 제공되는 재생탱크, 상기 액 저장공간에 퍼지가스를 공급하는 퍼지가스라인, 그리고 상기 액 저장공간에서 가스영역의 압력을 측정하는 압력센서를 포함한다. 이로 인해 재생탱크에 제공된 약액의 농도를 측정하여, 농도 기준값에 미치지 못하는 약액이 버퍼탱크로 공급되는 것을 방지할 수 있다.

Description

액 공급유닛 {unit for supplying Chemical}
본 발명은 기판을 처리하는 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 약액을 이용하여 기판을 처리하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
반도체소자 또는 액정 디스플레이를 제조하기 위해서, 기판에 포토리소그라피, 식각, 애싱, 그리고 세정 등의 다양한 공정들이 수행된다. 이러한 공정들은 기판 상에 다양한 약액들을 공급하고, 사용된 약액들은 분리 회수되어 재사용된다.
도1은 일반적인 액 공급유닛을 보여주는 도면으로, 도1을 참조하면, 약액은 공정에 사용되고, 이후에 재생탱크(2)로 회수된다. 재생탱크(2)에 채워진 약액은 공정에서 사용하고자 하는 농도 기준값과 상이한 농도값을 가진다. 이로 인해 농도 기준값이 미치지 못한 회수 약액은 버퍼 탱크(4)로 공급되어 재사용되거나 농도 기준값에 맞춰진 약액과 혼합될 수 있다.
또한 재생탱크(2)에 제공된 약액은 황산(H2SO4) 또는 황산을 포함하는 케미칼로, 많은 퓸을 발생시킨다. 그러나 일반적인 농도측정부재으로는 퓸을 다량 발생시키는 케미칼의 농도를 정밀하게 측정하는 것이 어렵다.
본 발명은 재생탱크에 회수된 약액의 농도를 측정할 수 있는 장치 및 방법을 제공하고자 한다.
본 발명의 실시에는 약액을 이용하여 기판을 처리하는 장치 및 방법를 제공한다. 액 공급유닛은 약액이 저장되는 액 저장공간이 제공되는 재생탱크, 상기 액 저장공간에 퍼지가스를 공급하는 퍼지가스라인, 그리고 상기 액 저장공간에서 가스영역의 압력을 측정하는 압력센서를 포함한다.
액 공급유닛은 상기 재생탱크에 연결되고, 상기 액 저장공간에 채워진 약액을 외부로 드레인시키는 드레인라인, 상기 재생탱크에 연결되고, 상기 액 저장공간에 채워진 약액을 공급하는 액 공급라인, 상기 드레인라인을 개폐하는 드레인밸브, 상기 액 공급라인을 개폐하는 공급밸브, 그리고 기준값과 동일한 약액의 양에 대해 상기 압력센서로부터 측정된 실제 압력값을 제공받고, 상기 실제 압력값으로부터 산출된 측정값을 기준값과 비교하여 상기 드레인밸브 또는 상기 공급밸브를 제어하는 제어기를 더 포함할 수 있다. 상기 액 저장공간에 채워진 약액의 실제 수위값을 측정하며, 상기 실제 수위값에 대한 정보를 상기 제어기로 제공하는 레벨센서를 더 포함할 수 있다. 상기 측정값은 상기 가스영역의 비중값으로 제공될 수 있다. 상기 약액은 황산 또는 황산을 포함하는 케미칼로 제공될 수 있다.
기판처리장치는 기판 상에 약액을 공급하여 기판을 처리하는 공정처리유닛 미 상기 공정처리유닛로부터 배출된 약액을 재생시켜 상기 공정처리유닛에 제공하는 액 공급유닛을 포함하되, 상기 액 공급유닛은 상기 공정처리유닛에서 회수된 약액을 필터링하는 필터부재, 상기 필터부재로부터 약액을 공급받는 액 저장공간이 제공되는 재생탱크, 상기 재생탱크로부터 약액을 공급받는 버퍼공간이 제공되는 버퍼탱크, 상기 액 저장공간에 퍼지가스를 공급하는 퍼지가스라인, 그리고 상기 액 저장공간에서 가스영역의 압력을 측정하는 압력센서를 포함한다.
기판처리장치는 상기 재생탱크에 연결되고, 상기 액 저장공간에 채워진 약액을 외부로 드레인시키는 드레인라인, 상기 재생탱크 및 상기 버퍼탱크에 각각 연결되고, 상기 액 저장공간에 채워진 약액을 상기 버퍼공간으로 공급하는 액 공급라인, 상기 드레인라인을 개폐하는 드레인밸브, 상기 액 공급라인을 개폐하는 공급밸브, 그리고 기준값과 동일한 약액의 양에 대해 상기 압력센서로부터 측정된 실제 압력값을 제공받고, 상기 실제 압력값으로부터 산출된 측정값을 기준값과 비교하여 상기 드레인밸브 또는 상기 공급밸브를 제어하는 제어기를 더 포함할 수 있다. 상기 측정값은 상기 가스영역의 비중값으로 제공되고, 상기 약액은 황산 또는 황산을 포함하는 케미칼로 제공될 수 있다.
약액의 농도를 측정하는 기판처리방법은 재생탱크의 액 저장공간에 기설정된 농도의 약액을 기설정된 양으로 채우고, 상기 액 저장공간에서 액 영역을 제외한 가스영역에 대한 기준 비중값을 측정하는 기설정 단계, 비워진 상기 액 저장공간에서 상기 기준 비중값에 대해 동일한 양의 약액을 공급하는 약액공급단계, 상기 약액공급단계에서 약액이 채워진 상기 가스영역의 실제 비중값을 측정하는 비중측정단계, 그리고 상기 기준 비중값과 상기 실제 비중값을 비교하여 상기 약액의 농도를 측정하는 농도측정단계를 포함한다.
상기 농도측정단계 이후에는 상기 실제 비중값이 상기 기준 비중값보다 높으면, 상기 실제 비중값에 대한 약액을 노즐로 공급하고, 상기 실제 비중값이 상기 기준 비중값보다 낮으면, 상기 실제 비중값에 대한 약액을 외부로 드레인 시키는 약액처리단계를 더 포함할 수 있다. 상기 액 저장공간에는 퍼지가스가 지속적으로 제공될 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 재생탱크에 제공된 약액의 농도를 측정하여, 농도 기준값에 미치지 못하는 약액이 버퍼탱크로 공급되는 것을 방지할 수 있다.
또한 본 발명의 실시예에 의하면, 일반적인 농도측정부재에 의해 측정이 어려운 약액에 대해서 농도를 측정할 수 있다.
도1은 일반적인 액 공급유닛을 보여주는 도면이다.
도2는 본 발명의 실시예에 따른 기판처리설비를 보여주는 평면도이다.
도3은 도2의 공정처리유닛을 보여주는 단면도이다.
도4는 도2의 액 공급유닛을 보여주는 단면도이다.
도5는 도4의 제어기가 약액의 농도를 조절하는 과정을 보여주는 블럭도이다.
본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장된 것이다.
이하, 도2 내지 도5를 참조하여 본 발명의 일 예를 상세히 설명한다.
도2는 본 발명의 실시예에 따른 기판처리설비를 보여주는 평면도이다. 도2를 참조하면, 기판처리설비(1)는 인덱스모듈(10)과 공정처리모듈(20)을 가진다. 인덱스모듈(10)은 로드포트(120) 및 이송프레임(140)을 가진다. 로드포트(120), 이송프레임(140), 그리고 공정처리모듈(20)은 순차적으로 일렬로 배열된다. 이하, 로드포트(120), 이송프레임(140), 그리고 공정처리모듈(20)이 배열된 방향을 제1방향(12)이라 하고, 상부에서 바라볼 때, 제1방향(12)과 수직한 방향을 제2방향(14)이라 하며, 제1방향(12)과 제2방향(14)을 포함한 평면에 수직인 방향을 제3방향(16)이라 칭한다.
로드포트(140)에는 기판(W)이 수납된 캐리어(130)가 안착된다. 로드포트(120)는 복수 개가 제공되며 이들은 제2방향(14)을 따라 일렬로 배치된다. 로드포트(120)의 개수는 공정처리모듈(20)의 공정효율 및 풋 프린트조건 등에 따라 증가하거나 감소할 수도 있다. 캐리어(130)에는 기판(W)들을 지면에 대해 수평하게 배치한 상태로 수납하기 위한 다수의 슬롯(미도시)이 형성된다. 캐리어(130)로는 전면개방일체형포드(Front Opening Unifed Pod;FOUP)가 사용될 수 있다.
공정처리모듈(20)은 버퍼유닛(220), 이송챔버(240), 그리고 공정챔버(260)를 가진다. 이송챔버(240)는 그 길이 방향이 제 1 방향(12)과 평행하게 배치된다. 이송챔버(240)의 양측에는 각각 공정챔버(260)들이 배치된다. 이송챔버(240)의 일측 및 타측에서 공정챔버(260)들은 이송챔버(240)를 기준으로 대칭되도록 제공된다. 이송챔버(240)의 일측에는 복수 개의 공정챔버(260)들이 제공된다. 공정챔버(260)들 중 일부는 이송챔버(240)의 길이 방향을 따라 배치된다. 또한, 공정챔버(260)들 중 일부는 서로 적층되게 배치된다. 즉, 이송챔버(240)의 일측에는 공정챔버(260)들이 A X B의 배열로 배치될 수 있다. 여기서 A는 제1방향(12)을 따라 일렬로 제공된 공정챔버(260)의 수이고, B는 제3방향(16)을 따라 일렬로 제공된 공정챔버(260)의 수이다. 이송챔버(240)의 일측에 공정챔버(260)가 4개 또는 6개 제공되는 경우, 공정챔버(260)들은 2 X 2 또는 3 X 2의 배열로 배치될 수 있다. 공정챔버(260)의 개수는 증가하거나 감소할 수도 있다. 상술한 바와 달리, 공정챔버(260)는 이송챔버(240)의 일측에만 제공될 수 있다. 또한, 공정챔버(260)는 이송챔버(240)의 일측 및 양측에 단층으로 제공될 수 있다.
버퍼유닛(220)은 이송프레임(140)과 이송챔버(240) 사이에 배치된다. 버퍼 유닛(220)은 이송챔버(240)와 이송프레임(140) 간에 기판(W)이 반송되기 전에 기판(W)이 머무르는 공간을 제공한다. 버퍼유닛(220)의 내부에는 기판(W)이 놓이는 슬롯(미도시)이 제공된다. 슬롯(미도시)들은 서로 간에 제3방향(16)을 따라 이격되도록 복수 개가 제공된다. 버퍼유닛(220)은 이송프레임(140)과 마주보는 면 및 이송챔버(240)와 마주보는 면이 개방된다.
이송프레임(140)은 로드포트(120)에 안착된 캐리어(130)와 버퍼유닛(220) 간에 기판(W)을 반송한다. 이송프레임(140)에는 인덱스레일(142)과 인덱스로봇(144)이 제공된다. 인덱스레일(142)은 그 길이 방향이 제2방향(14)과 나란하게 제공된다. 인덱스로봇(144)은 인덱스레일(142) 상에 설치되며, 인덱스레일(142)을 따라 제2방향(14)으로 직선 이동된다. 인덱스로봇(144)은 베이스(144a), 몸체(144b), 그리고 인덱스암(144c)을 가진다. 베이스(144a)는 인덱스레일(142)을 따라 이동 가능하도록 설치된다. 몸체(144b)는 베이스(144a)에 결합된다. 몸체(144b)는 베이스(144a) 상에서 제3방향(16)을 따라 이동 가능하도록 제공된다. 또한, 몸체(144b)는 베이스(144a) 상에서 회전 가능하도록 제공된다. 인덱스암(144c)은 몸체(144b)에 결합되고, 몸체(144b)에 대해 전진 및 후진 이동 가능하도록 제공된다. 인덱스암(144c)은 복수 개 제공되어 각각 개별 구동되도록 제공된다. 인덱스암(144c)들은 제3방향(16)을 따라 서로 이격된 상태로 적층되게 배치된다. 인덱스암(144c)들 중 일부는 공정처리모듈(20)에서 캐리어(130)로 기판(W)을 반송할 때 사용되고, 이의 다른 일부는 캐리어(130)에서 공정처리모듈(20)로 기판(W)을 반송할 때 사용될 수 있다. 이는 인덱스로봇(144)이 기판(W)을 반입 및 반출하는 과정에서 공정 처리 전의 기판(W)으로부터 발생된 파티클이 공정 처리 후의 기판(W)에 부착되는 것을 방지할 수 있다.
이송챔버(240)는 버퍼유닛(220)과 공정챔버(260) 간에, 그리고 공정챔버(260)들 간에 기판(W)을 반송한다. 이송챔버(240)에는 가이드레일(242)과 메인로봇(244)이 제공된다. 가이드레일(242)은 그 길이 방향이 제1방향(12)과 나란하도록 배치된다. 메인로봇(244)은 가이드레일(242) 상에 설치되고, 가이드레일(242) 상에서 제1방향(12)을 따라 직선 이동된다. 메인로봇(244)은 베이스(244a), 몸체(244b), 그리고 메인암(244c)을 가진다. 베이스(244a)는 가이드레일(242)을 따라 이동 가능하도록 설치된다. 몸체(244b)는 베이스(244a)에 결합된다. 몸체(244b)는 베이스(244a) 상에서 제3방향(16)을 따라 이동 가능하도록 제공된다. 또한, 몸체(244b)는 베이스(244a) 상에서 회전 가능하도록 제공된다. 메인암(244c)은 몸체(244b)에 결합되고, 이는 몸체(244b)에 대해 전진 및 후진 이동 가능하도록 제공된다. 메인암(244c)은 복수 개 제공되어 각각 개별 구동되도록 제공된다. 메인암(244c)들은 제3방향(16)을 따라 서로 이격된 상태로 적층되게 배치된다.
공정챔버(260) 내에는 기판(W)에 대해 세정 공정을 수행하는 기판처리장치(300)가 제공된다. 기판처리장치(300)는 수행하는 세정 공정의 종류에 따라 상이한 구조를 가질 수 있다. 이와 달리 각각의 공정챔버(260) 내의 기판 처리 장치(300)는 동일한 구조를 가질 수 있다. 선택적으로 공정챔버(260)들은 복수 개의 그룹으로 구분되어, 동일한 그룹에 속하는 공정챔버(260) 내에 기판처리장치(300)들은 서로 동일하고, 서로 상이한 그룹에 속하는 공정챔버(260) 내에 기판처리장치(300)의 구조는 서로 상이하게 제공될 수 있다.
기판처리장치(300)는 공정처리유닛(302) 및 액 공급유닛(304)을 포함한다. 공정처리유닛(302)은 기판(W)을 약액 처리하고, 액 공급유닛(304)은 공정처리유닛(302)에서 사용된 약액을 회수하여 이를 재사용하도록 순환시킨다. 도3은 도2의 공정처리유닛를 보여주는 단면도이다. 공정처리유닛(302)은 하우징(320), 스핀헤드(340), 승강유닛(360), 그리고 분사유닛(380)을 포함한다. 하우징(320)은 기판처리공정이 수행되는 공간을 가지며, 그 상부는 개방된다. 하우징(320)은 내부회수통(322), 및 외부회수통(328)을 가진다. 각각의 회수통(322,328)은 공정에 사용된 약액 중 서로 상이한 약액을 회수한다. 내부회수통(322)은 스핀헤드(340)를 감싸는 환형의 링 형상으로 제공되고, 외부회수통(328)은 내부회수통(322)을 감싸는 환형의 링 형상으로 제공된다. 내부회수통(322)의 내측공간(322a) 및 내부회수통(322)과 외부회수통(328)의 사이공간(328a)은 각각 내부회수통(322) 및 외부회수통(328)으로 약액이 유입되는 유입구로서 기능한다. 각각의 회수통(322,328)에는 그 저면 아래 방향으로 수직하게 연장되는 회수라인(322b,328b)이 연결된다. 각각의 회수라인(322b,328b)은 각각의 회수통(322,328)을 통해 유입된 약액을 배출한다. 배출된 약액은 액 공급유닛을 통해 재사용된다.
스핀헤드(340)는 공정 진행 중 기판(W)을 지지하고 기판(W)을 회전시킨다. 스핀헤드(340)는 몸체(342), 지지핀(344), 척핀(346), 그리고 지지축(348)을 가진다. 몸체(342)는 상부에서 바라볼 때 대체로 원형으로 제공되는 상부면을 가진다. 몸체(342)의 저면에는 모터(349)에 의해 회전가능한 지지축(348)이 고정결합된다.
지지핀(344)은 복수 개 제공된다. 지지핀(344)은 몸체(342)의 상부면의 가장자리부에 소정 간격으로 이격되게 배치되고 몸체(342)에서 상부로 돌출된다. 지지 핀(344)들은 서로 간에 조합에 의해 전체적으로 환형의 링 형상을 가지도록 배치된다. 지지핀(344)은 몸체(342)의 상부면으로부터 기판(W)이 일정거리 이격되도록 기판(W)의 후면 가장자리를 지지한다.
척핀(346)은 복수 개 제공된다. 척핀(346)은 몸체(342)의 중심에서 지지핀(344)보다 멀리 떨어지게 배치된다. 척핀(346)은 몸체(342)에서 상부로 돌출되도록 제공된다. 척핀(346)은 스핀헤드(340)가 회전될 때 기판(W)이 정 위치에서 측 방향으로 이탈되지 않도록 기판(W)의 측부를 지지한다. 척핀(346)은 몸체(342)의 반경 방향을 따라 대기위치와 지지위치 간에 직선 이동이 가능하도록 제공된다. 대기위치는 지지위치에 비해 몸체(342)의 중심으로부터 멀리 떨어진 위치이다. 기판(W)이 스핀헤드(340)에 로딩 또는 언로딩 시 척핀(346)은 대기위치에 위치되고, 기판(W)에 대해 공정 수행 시 척 핀(346)은 지지위치에 위치된다. 지지위치에서 척핀(346)은 기판(W)의 측부와 접촉된다.
승강유닛(360)은 하우징(320)을 상하 방향으로 직선이동시킨다. 하우징(320)이 상하로 이동됨에 따라 스핀헤드(340)에 대한 하우징(320)의 상대 높이가 변경된다. 승강유닛(360)은 브라켓(362), 이동축(364), 그리고 구동기(366)를 가진다. 브라켓(362)은 하우징(320)의 외벽에 고정설치되고, 브라켓(362)에는 구동기(366)에 의해 상하 방향으로 이동되는 이동축(364)이 고정결합된다. 기판(W)이 스핀 헤드(340)에 놓이거나, 스핀헤드(340)로부터 들어올려 질 때 스핀헤드(340)가 하우징(320)의 상부로 돌출되도록 하우징(320)은 하강된다. 또한, 공정이 진행될 시에는 기판(W)에 공급된 약액의 종류에 따라 약액이 기설정된 회수통(360)으로 유입될 수 있도록 하우징(320)의 높이가 조절한다. 선택적으로, 승강유닛(360)은 스핀헤드(340)를 상하 방향으로 이동시킬 수 있다.
분사유닛(380)은 기판(W) 상으로 약액을 분사한다. 분사유닛(380)은 지지축(386), 지지대(392), 그리고 노즐(394)을 포함한다. 지지축(386)은 하우징(320)의 일측에 배치된다. 지지축(386)은 그 길이방향이 상하방향으로 제공되는 로드 형상을 가진다. 지지축(386)은 구동부재(388)에 의해 회전 및 승강운동이 가능하다. 이와 달리 지지축(386)은 구동 부재(388)에 의해 수평방향으로 직선이동 및 승강운동할 수 있다. 지지대(392)는 노즐(394)을 지지한다. 지지대(392)는 지지축(386)에 결합되고, 끝단 저면에는 노즐(394)이 고정 결합된다. 노즐(394)은 지지축(386)의 회전에 의해 스윙이동될 수 있다. 일 예에 의하면, 약액은 강산의 성질을 가지는 액일 수 있다. 약액은 황산(H2SO4) 또는 황산(H2SO4)을 포함하는 혼합액일 수 있다.
액 공급유닛(304)은 각각의 회수라인(328b)을 통해 유입된 약액을 재생시킨 후, 분사유닛(380)으로 공급한다. 도4는 도2의 액 공급유닛을 보여주는 단면도이다. 도4를 참조하면, 액 공급유닛(304)은 필터부재(410), 재생탱크(420), 비중측정유닛(440), 제어기(460), 그리고 버퍼탱크(480)를 포함한다. 회수라인(328b)을 통해 유입된 약액은 필터부재(410), 재생탱크(420), 그리고 버퍼탱크(480)를 순차적으로 거쳐 분사유닛(380)으로 제공된다.
회수라인(328b) 상에는 필터부재(410) 및 개폐밸브(412)가 설치된다. 필터부재(410)는 회수라인(328b)을 통해 유입되는 약액으로부터 이물을 제거한다. 회수라인(328b)의 끝단에 재생탱크(420)가 연결된다. 개폐밸브(412)는 필터부재(410)와 재생탱크(420) 사이에 제공되어 회수라인(328b)을 개폐한다. 필터부재(410)로부터 이물이 제거된 약액은 재생탱크(420)로 제공된다. 재생탱크(420)는 통형상을 가지며, 내부에 액 저장공간을 제공한다. 액 저장공간에는 이물이 제거된 약액이 유입된다. 재생탱크(420)의 저면에는 제1드레인라인(422)이 연결된다. 액 저장공간에 채워진 약액을 제1드레인라인(422)을 통해 외부로 배출된다. 이하, 설명의 편의를 위해 액 저장공간에서 약액이 채워진 영역을 액 영역(b)이라 하고, 액 영역(b)의 상부영역을 가스 영역(a)이라 한다.
비중측정유닛(440)은 액 저장공간에서 가스 영역(a)의 비중을 측정한다. 비중측정유닛(440)은 퍼지가스 공급부재(442), 압력센서(448), 그리고 레벨센서(450)를 포함한다. 퍼지가스 공급부재(442)는 액 저장공간에 퍼지가스를 공급한다. 퍼지가스 공급부재(442)는 퍼지가스 공급라인(444) 및 퍼지가스 저장부(446)을 가진다. 퍼지가스 공급라인(444)은 퍼지가스 저장부(446)와 재생탱크(420)에 각각 연결된다. 퍼지가스 저장부(446)에 저장된 퍼지가스는 퍼지가스 공급라인(444)을 통해 액 저장공간으로 유입된다. 일 예에 의하면, 퍼지가스는 액 저장공간에 지속적으로 퍼지될 수 있다. 퍼지가스는 비활성 가스일 수 있다. 예컨대, 퍼지가스는 질소가스(N2)일 수 있다.
압력센서(448)는 재생탱크(420)에 설치되어 액 저장공간에서 가스 영역(a)의 압력을 측정한다. 레벨센서(450)는 액 저장공간에 채워진 약액의 수위를 측정한다. 레벨센서(450)는 재생탱크(420)에 설치된다.
버퍼탱크(480)는 약액을 분사유닛(380)으로 공급하기 전에 약액을 임시 저장한다. 버퍼탱크(480)는 통 형상을 가지며, 내부에 버퍼공간을 제공한다. 버퍼탱크(480)는 액 공급라인에 의해 재생탱크(420)와 연결된다. 액 공급라인을 통해 액 저장공간으로부터 유입된 약액은 버퍼공간으로 제공된다. 버퍼공간에 제공된 약액은 분사유닛(380)의 노즐로 공급된다. 버퍼탱크(480)에는 약액보충라인(462) 및 제2드레인라인(464)이 연결된다. 약액보충라인(462)은 버퍼공간에 부족한 약액을 공급하고, 제2드레인라인(464) 버퍼공간에 제공된 약액을 외부로 배출한다. 예컨대, 약액보충라인(462)을 통해 공급되는 약액은 농도가 기설정된 액일 수 있다. 버퍼탱크(480)에는 농도 측정계(미도시)가 설치된다. 농도 측정계(미도시)는 버퍼공간에 제공된 약액의 농도를 측정한다. 측정된 값에 의해 약액의 농도가 기설정 범위를 벗어나면 버퍼공간에 제공된 약액은 제2드레인라인(464)을 통해 외부로 배출된다.
제어기(460)는 액 저장공간에 채워진 약액의 농도에 따라 액 저장공간에 채워진 약액의 공급 경로를 결정한다. 제어기(460)는 액 저장공간에 채워진 약액의 농도에 따라 제1드레인라인(422)에 설치된 드레인밸브 또는 액 공급라인에 설치된 공급밸브를 제어한다. 도5는 도4의 제어기가 약액의 농도를 조절하는 과정을 보여주는 블럭도이다. 도5를 참조하면, 액 저장공간에는 기설정된 농도의 약액이 기설정된 양으로 채워진다. 레벨센서(450)는 약액의 기준 수위값을 측정하고, 압력센서(448)는 액 저장공간의 기준 압력값을 측정한다. 제어기(460)는 레벨센서(450)로부터 기준 수위값을 제공받아 가스 영역(a)의 체적을 산출하고, 산출된 가스 영역(a)의 체적과 압력센서(448)로부터 제공받은 기준 압력값을 통해 가스 영역(a)의 기준 비중값을 산출한다(S10).
이후 공정이 진행되고, 회수통으로부터 회수된 약액은 액 저장공간으로 제공되고, 제어기(460)는 개폐밸브(412)를 조절하여 기준 수위값과 동일한 양의 약액을 액 저장공간에 제공한다(S20). 액 저장탱크에 제공된 약액의 양이 기준 수위값을 산출할 시와 동일한 양이 제공되면, 압력센서(448)는 가스 영역(a)의 실제 압력값을 측정한다. 제어기(460)는 실제 압력값을 제공받아 가스 영역(a)의 실제 비중값을 산출하고(S30), 이를 기준 비중값과 비교한다(S40). 예컨대, 약액은 황산과 순수의 혼합액일 경우, 황산과 순수는 서로 다른 비중값을 가진다. 따라서 황산과 순수 간의 비율이 기준값과 상이할 경우, 실제 비중값은 기준 비중값과 상이해진다. 예컨대, 가스 영역(a)에서 흄 상태의 황산이 많을수록 가스 영역(a)의 비중값은 높아진다.
제어기(460)는 실제 비중값과 기준 비중값을 비교하고, 비교 결과에 따라 드레인밸브 또는 공급밸브 중 어느 하나를 개방하고, 다른 하나를 닫는다(S50). 일 예에 의하면, 실제 비중값이 기준 비중값에 비해 높으면, 제어기(460)는 공급밸브를 개방하여 재생탱크(420)에 제공된 약액을 버퍼탱크(480)로 공급할 수 있다. 이와 달리 실제 비중값이 기준 비중값보다 낮으면, 제어기(460)는 드레인밸브를 개방하여 재생탱크(420)에 제공된 약액을 외부로 배출한다.
302: 공정처리유닛 304: 액 공급유닛
410: 필터부재 420: 재생탱크
444: 퍼지가스라인 446: 압력센서
460: 버퍼탱크

Claims (2)

  1. 약액이 저장되는 액 저장공간이 제공되는 재생탱크와;
    상기 액 저장공간에 퍼지가스를 공급하는 퍼지가스라인과;
    상기 액 저장공간에서 가스영역의 압력을 측정하는 압력센서를 포함하는 액 공급유닛.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 재생탱크에 연결되고, 상기 액 저장공간에 채워진 약액을 외부로 드레인시키는 드레인라인과;
    상기 재생탱크에 연결되고, 상기 액 저장공간에 채워진 약액을 공급하는 액 공급라인과;
    상기 드레인라인을 개폐하는 드레인밸브와;
    상기 액 공급라인을 개폐하는 공급밸브와;
    기준값과 동일한 약액의 양에 대해 상기 압력센서로부터 측정된 실제 압력값을 제공받고, 상기 실제 압력값으로부터 산출된 측정값을 기준값과 비교하여 상기 드레인밸브 또는 상기 공급밸브를 제어하는 제어기를 더 포함하는 액 공급유닛.
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