JP5074144B2 - インクジェットヘッドの塗布液供給装置および塗布液供給方法並びにカラーフィルタの製造方法 - Google Patents
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Description
本発明のインクジェットヘッドの塗布液供給装置は、塗布液を吐出する複数のインクジェットヘッドと、塗布液が充填された塗布液タンクと、塗布液タンクの塗布液を一時的に定容量保存可能なサブタンクと、サブタンクから塗布液を複数のインクジェットヘッドに分配する分配器と、塗布液タンクからサブタンクへの塗布液の流れを規制するバルブとを備えたインクジェットの塗布液供給装置であって、前記分配器は、一つの入口とインクジェットヘッドと同数の出口のみを備え、かつ前記出口は重力方向の上向きに配されるとともに、前記入口、前記出口、及び、前記入口と各前記出口とを接続する流路は、略同一断面形状を有する。
前記振り分けた塗布液を重力方向の上向きに一旦導いた後、
複数のインクジェットヘッドへ分配供給する。
図1は、本発明に係る塗布液供給装置1の概略正面図である。
まず配管28からインクジェットヘッド60A〜Eに至るまで全く塗布液36がない空の状態でメインタンク10を接続して、メインタンク10内の塗布液36を供給開始する塗布液供給開始時の塗布液供給方法について説明する。
(実施例1)
図1に示す塗布液供給装置1を用いて、インクジェットヘッド60A〜Eに塗布液36を供給した。1個のインクジェットヘッドは、256個の吐出孔を35μmピッチで有するもので、各吐出孔から1回あたり50plの容量で塗布液36を吐出できるものであった。塗布液はR色顔料を含むR画素を形成するもので、粘度が10mPaSであった。塗布液供給装置1で、メインタンク10にはステンレス製の本体18内に、19lの塗布液を内蔵したポリエチレン製袋部材12を収めたものを用いた。
実施例1の塗布液供給装置1とインクジェットヘッド60A〜Eを用いてカラーフィルタを製造した。前工程までに、360×465mmで厚さ0.7mmの無アルカリガラス基板上に、各画素の大きさが幅100μmで長さが300μm、ブラックマトリックスの幅が20μm、ブラックマトリックスの表面に撥液性を有する格子状ブラックマトリックス基板を作成した。この基板を吸着ステージに吸着保持し、吸着ステージを50mm/sで移動させながら、インクジェットヘッド60A〜EからまずR用塗布液を吐出し、1画素あたり800μlの塗布液を吐出して、R画素のみを全面に形成した。つづいて逐次的に同じ条件で、G画素、B画素を形成した。各色画素形成が終わるたびに100度10分のプリベークをし、R、G、B画素がすべて形成されてから、230℃30分のベークを行って、最終的に厚さ2μmのR、G、B画素のあるカラーフィルタをえることができた。
10 メインタンク
10N 新メインタンク
12 袋部材
14 接続部材
16 チューブ
16N 新チューブ
18 本体
20 配管
22 開閉バルブ
24 圧力調整器
26 圧空源
28 配管
30 脱気装置
32 本体
34 バルブ
36 塗布液
40 サブタンク
42 袋部材
44 入口管
46 出口管
48 上端面
50 真空タンク
52 真空配管
54 真空圧調整器
56 真空ポンプ
58 空間
59 満タンセンサー
60A〜E インクジェットヘッド
64A〜E 配管
70 フィルター
72 フィルター本体
74 ベント配管
76 ベントバルブ
78 流入口
80 流出口
82 配管
84 配管
86 配管
100 分配器
102 本体
104 入口
106A〜E 出口
108 流路
Z 下方向
Claims (3)
- 塗布液を吐出する複数のインクジェットヘッドと、
塗布液が充填された塗布液タンクと、
塗布液タンクの塗布液を一時的に定容量保存可能なサブタンクと、
サブタンクから塗布液を複数のインクジェットヘッドに分配する分配器と、
塗布液タンクからサブタンクへの塗布液の流れを規制するバルブとを備えたインクジェットの塗布液供給装置であって、
前記分配器は、一つの入口とインクジェットヘッドと同数の出口のみを備え、
かつ前記出口は重力方向の上向きに配されるとともに、
前記入口、前記出口、及び、前記入口と各前記出口とを接続する流路は、略同一断面形状を有するものである、インクジェットヘッドの塗布液供給装置。 - 塗布液タンクから塗布液を、サブタンクに補給して一時的に塗布液を定容量保存後に、サブタンクから塗布液を複数のインクジェットヘッドに塗布液を分配供給するインクジェットの塗布液供給方法であって、
前記サブタンクから流出する前記塗布液を、入口、出口、及び、前記入口と各前記出口とを接続する流路が、略同一断面形状を有する分配器を通じて、前記インクジェットヘッドと同数に振り分け、
前記振り分けた塗布液を重力方向の上向きに一旦導いた後、
複数のインクジェットヘッドへ分配供給する、インクジェットヘッドの塗布液供給方法。 - 請求項2に記載のインジェットヘッドの塗布液供給方法を用いてカラーフィルタを製造する、カラーフィルタの製造方法。
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