JP2009098162A - インクジェットヘッドの塗布液供給装置および塗布液供給方法並びにカラーフィルタの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 空気だまりと塗布液の滞留部分を生じることなく塗布液に混じっている空気を排除するとともに、塗布液を複数のインクジェットヘッドに均等に分配可能な分配器を備えたインクジェットヘッドの塗布液供給装置及び塗布液供給方法を提供する。
【解決手段】 塗布液を吐出する複数のインクジェットヘッドと、塗布液が充填された塗布液タンクと、塗布液タンクの塗布液を一時的に定容量保存可能なサブタンクと、サブタンクから塗布液を複数のインクジェットヘッドに分配する分配器を備えたインクジェットの塗布液供給装置であって、前記分配器は、一つの入口とインクジェットヘッドと同数の出口のみを備え、かつ出口は重力方向の上向きに配されるとともに、入口と各出口を接続する流路は略同一断面形状を有するものであるインクジェットヘッドの塗布液供給装置。
【選択図】図１

Description

本発明は、カラー液晶ディスプレイ用カラーフィルタを製造する分野に主として使用されるものであり、詳しくはインクジェットヘッドにてＲ、Ｇ、Ｂ塗布液を吐出してカラーフィルタを形成するのに関わるインクジェットヘッドの塗布液供給装置及び塗布液供給方法並びにカラーフィルタの製造方法の改良に関する。

カラー液晶用ディスプレイは、カラーフィルタ、ＴＦＴ用アレイ基板などにより構成されている。この中でカラーフィルタは、ガラス基板上に格子状のブラックマトリックスで縁取られる各画素を、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）３色に分けて規則正しく形成したもので、カラー液晶用ディスプレイの色形成の中枢をなす部材である。このカラーフィルタは通常は、１）ガラス基板上に黒色のフォトレジスト材の塗布膜を形成し、フォトリソ法により黒色塗布膜を格子状に加工する（格子状ブラックマトリックスの形成）、２）一旦Ｒの塗布膜を全面に形成し、フォトリソ法により格子間のＲ画素にのみＲ塗布膜を残す（Ｒ画素形成）、３）Ｇ、ＢについてもＲと同様の手法により、一旦Ｂ、Ｇ各々の塗布膜を全面に形成後、Ｂ、Ｇ画素にのみＢ、Ｇ塗布膜を残す（Ｂ、Ｇ画素形成）、ことで製造される。上記のフォトリソ法によるＲ、Ｇ、Ｂ画素形成では、Ｒ、Ｇ、Ｂの全面塗布膜形成、露光、現像、といった多くの工程が必要となる。

近年、これを簡素化するために、ブラックマトリックスの格子で形成される画素部にのみ、Ｒ、Ｇ、Ｂの各塗布液を直接インクジェットヘッドにより供給してＲ、Ｇ、Ｂの色画素を形成する手法が、工業的に行われるようになってきている（例えば特許文献１参照）。このインクジェットヘッドによるＲ、Ｇ、Ｂ画素形成方法は、露光、現像といった工程が不要で、色画素形成に必要な量の塗布液のみを使用するので、カラーフィルタ製造の大幅なコストダウンを可能とする。

このようなインクジェットヘッドでＲ、Ｇ、Ｂの色画素を形成する装置を用いる場合には、対象とする基板の大きさが２ｍ角を越えるものもあるので、インクジェットヘッドを複数並べて、短いタクトタイムでも色画素形成ができるように配慮されている。複数のインクジェットヘッドで長時間にわたって塗布液を吐出して色画素を形成するには、インクジェットヘッドに連続してＲ、Ｇ、Ｂの塗布液を供給するシステムが必要である。その代表的なものが、メインタンクの塗布液を一旦サブタンクに貯蔵し、貯蔵された塗布液を分配器により複数のインクジェットヘッドに分配するものである（例えば特許文献２、３参照）。

特許文献２に示される分配器では、塗布液中の空気を捕捉・除去する機能をもたせるために、分配器の最上部に空気溜まりが設けられている。しかしながら空気に塗布液が接触すると塗布液の劣化が進行し、顔料凝集物等の異物が発生する。このような異物がインクジェットヘッドに入り込んでしまうと、インクジェットヘッドの吐出孔を塞いで塗布液の不吐出を生じさせたり、異物が基板に吐出されて色画素部の粒欠点等の不良を生じる。また空気溜りがあると、かえってその空気をまきこんでインクジェットヘッドの方に送り込んでしまい、気泡に阻害されてインクジェットヘッドから塗布液が吐出できない状態が頻繁に発生する。

特許文献３に示される塗布液供給装置では、サブタンク〜分配器〜インクジェットヘッドに至る区間で空気溜りは全くなく、塗布液の経路がすべて塗布液で充満されている。塗布液中の溶存空気は２台の脱気ユニットで排除している。一方で、インクジェットヘッドならびに分配器内の空気を排除するために２次脱気ユニットに至る循環経路が設けられている。そのために塗布液の滞留が生じる。顔料分散された塗布液が長時間滞留すると、顔料凝集物が発生する。発生した顔料凝集物が、インクジェットヘッドに入り込んでしまうと、インクジェットヘッドの吐出孔を塞いで塗布液の不吐出を生じさせる。また顔料凝集物が基板に吐出されてしまうと、色画素部の粒欠点等の不良を生じる。

すなわち、公知の手段では、複数のインクジェットヘッドに塗布液を分配する分配器に適切なものがないために、カラーフィルタの色画素部を長時間にわたって安定して形成するためのインクジェットヘッドの塗布液供給装置を構成できないのが実状である。
特開２００６−２０９１４０（第００１９段落〜第００３１段落、図１） 特開２００５-９６２０８号公報（第０００９段落〜第００１１段落、図１） 特開２００６−２８１５３２号公報（第００１４段落〜第００３７段落、図１、図２）

本発明は、上述の事情に基づいてなされたもので、その目的とするところは、空気だまりと塗布液の滞留部分を生じることなく塗布液に混じっている空気を排除するとともに、塗布液を複数のインクジェットヘッドに均等に分配可能な分配器を備えたインクジェットヘッドの塗布液供給装置及び塗布液供給方法を具現化し、低コストで高品質のカラーフィルタを製造できるカラーフィルタの製造方法を提供することにある。

上記本発明の目的は、以下に述べる手段によって達成される。
本発明のインクジェットヘッドの塗布液供給装置は、塗布液を吐出する複数のインクジェットヘッドと、塗布液が充填された塗布液タンクと、塗布液タンクの塗布液を一時的に定容量保存可能なサブタンクと、サブタンクから塗布液を複数のインクジェットヘッドに分配する分配器と、塗布液タンクからサブタンクへの塗布液の流れを規制するバルブと、を備えたインクジェットの塗布液供給装置であって、前記分配器は、一つの入口とインクジェットヘッドと同数の出口のみを備え、かつ出口は重力方向の上向きに配されるとともに、入口と各出口を接続する流路は略同一断面形状を有する。

本発明のインクジェットヘッドの塗布液供給方法は、サブタンクから塗布液を複数のインクジェットヘッドに塗布液を分配供給するインクジェットの塗布液供給方法であって、前記サブタンクから流出する前記塗布液を前記インクジェットヘッドと同数に振り分け、
前記振り分けた塗布液を重力方向の上向きに一旦導いた後、
複数のインクジェットヘッドへ分配供給する。

本発明のカラーフィルタの製造方法は、上記インクジェットヘッドの塗布液供給方法を用いてカラーフィルタを製造する。

本発明のインクジェットヘッドの塗布液供給装置および塗布液供給方法を用いれば、入口と、複数のインクジェットヘッドに向かう出口が略同一断面形状の流路で接続された分配器を使用するので、塗布液の滞留部分が全くない。また出口は重力方向の上向きに配置されているので、分配器の中に空気が混入しても、容易に出口から塗布液によって空気を押し流すことが可能となる。すなわち本発明になる分配器を備えれば、空気だまりと塗布液の滞留部分を生じることなく塗布液に混じっている空気を排除するとともに、塗布液を複数のインクジェットヘッドに均等に分配可能となる。

これによって塗布液と空気が接触することによる塗布液の劣化、さらには塗布液の滞留による凝集物の発生を防止することができる。この結果、劣化や凝集により生じた異物がインクジェットヘッドの塗布液の吐出を妨げたり、色画素部に供給されて粒欠点等の塗布欠点の発生を皆無にすることができる。さらには空気が完全に排除されるので、空気がインクジェットヘッドの方に導かれて、インクジェットヘッドの塗布液の吐出を妨げるという不都合も全く発生しない。

本発明のカラーフィルタの製造方法によれば、上記の優れたインクジェットヘッド塗布液供給方法を用いてカラーフィルタを製造するので、低コストで、塗布膜の均一性や再現性に優れ、かつ凝集物起因の粒欠点等の塗布欠点のない高品質のカラーフィルタを、連続して長時間にわたって高い生産性で製造できる。

以下、この発明の好ましい一実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明に係る塗布液供給装置１の概略正面図である。

まず図１を参照すると、本発明の塗布液供給装置１が示されている。この塗布液供給装置１は、５個のインクジェットヘッド６０Ａ〜Ｅへ塗布液を供給するもので、塗布液３６が内部に充填されたメインタンク１０、メインタンク１０から配管２８、脱気装置３０、配管８６、フィルター７０、配管８２、バルブ３４を介して送られる塗布液３６を一時的に貯蔵するサブタンク４０、サブタンク４０から配管８４を介して供給される塗布液３６を５個のインクジェットヘッド６０Ａ〜Ｅに配管６４Ａ〜Ｅを介して分配する分配器１００、より構成されている。

メインタンク１０は、金属製の缶である本体１８内に、塗布液３６を内蔵した袋部材１２を配したものである。袋部材１２は薄い樹脂製で可撓性を有し、内蔵する塗布液量によって自在に変形することが可能であり、その一端にある開口部に接続部材１４が接合されている。接続部材１４は、袋部材１２の底部までに到達する細長いチューブ１６をシールして保持している。チューブ１６には配管２８の一端が接続されている。本体１８内部には、圧空源２６から供給され、圧力調整器２４で所定圧力に調整した加圧空気が、開閉バルブ２２、配管２０を介して導入される。したがって開閉バルブ２２を開として、袋部材１２の外側を加圧空気で加圧すると、袋部材１２が内側に変形して、内蔵する塗布液３６がチューブ１６を通じて配管２８の方に送液される。

脱気装置３０は配管２８から供給される塗布液３６を細長い中空糸内を通過させ、中空糸の外側から図示しない真空源から吸引することによって、塗布液３６中に溶存する空気を排除するものである。脱気装置３０で溶存空気を排除された塗布液３６は、配管８６を介してフィルター７０に送りこまれる。

フィルター７０は、流入口７８から供給される塗布液３６を濾過するフィルター本体７２と、濾過された塗布液３６をサブタンク４０の方に配管８２を介して流出させる流出口８０、フィルター本体７２に接続されてフィルター本体７２内の空気を排出するベント配管７４、ベント配管７４の途中にあって空気と塗布液の流通／停止を行うベントバルブ７６、より構成される。ベントバルブ７６は通常は閉にし、ベント配管７４から空気を排出する時にのみ、開とする。

バルブ３４は配管８２の途中にあって、メインタンク１０からサブタンク４０に向かう塗布液の送液／停止を行うもので、サブタンク４０の貯蔵量が上限を越えない様にその開閉が制御される。

サブタンク４０は、薄い樹脂の袋構造を有している袋部材４２、袋部材４２の一端に設けられた入口管４４と出口管４６、袋部材４２が内蔵される真空タンク５０により構成される。入口管４４は配管８２と接続されているので、塗布液３６は上流側から供給されると、入口管４４から袋部材４２の内部に導かれ貯蔵される。入口管４４は袋部材４２の重力方向の最下部、出口管４６は袋部材４２の重力方向の最上部に設けられており、空気が塗布液に混在しても、容易に出口管４６から下流側に接続されている配管８４の方へ排出される。また袋部材４２の上端面４８は、入口管４４から出口管４６に向かう方向で重力方向の上側に傾斜している。この構造によって空気と塗布液がよどみなく流れ、袋部材４２内の滞留がほとんどない。なお、重力方向は図面の下方向Ｚである。

真空タンク５０には、真空配管５２を介して真空圧調整器５４と真空ポンプ５６が接続されている。真空配管５２は袋部材４２と真空タンク５０の間に構成される空間５８に達しており、空間５８を任意の負圧にすることができる。空間５８を任意の負圧Ｐｖにすることによって、袋部材４２内で充満している塗布液３６に負圧Ｐｖを付与することができる。

また袋部材４２に貯えられる塗布液量の限界を検知する満タンセンサー５９も、真空タンク５０の上部に設けられている。袋部材４２に貯蔵される塗布液量によって上端面４８がその位置を移動させるので、満タンセンサー５９は上端面４８の上限位置を検知することによって、袋部材４２に貯えられる塗布液量が上限に達したことを知らせることができる。

分配器１００は、内部に流路１０８を有する本体１０２と、配管８４を介してサブタンク４０から供給される塗布液３６を流路１０８に導く入口１０４と、流路１０８から分岐し重力方向の上側に向いてインクジェットヘッド６０Ａ〜Ｅに通ずる配管６４Ａ〜Ｅに接続される出口１０６Ａ〜Ｅより構成される。入口１０４と出口１０６Ａ〜Ｅは流路１０８を介して通じており、滞留箇所がない。

流路の断面形状は滞留が生じない円形、または円形に準じる曲面形状が好ましく、好ましくは直径を１０ｍｍ以下、より好ましくは直径を６ｍｍ以下とする。流路１０８の直径が小さければ流速が高くなり、塗布液３６の滞留が生じにくくなるためである。また出口１０６Ａ〜Ｅはすべて重力方向の上側に向いているので、塗布液３６に混在した空気を出口１０６Ａ〜Ｅから容易に排除できる。また同時に、重力の負荷作用によって各出口１０６Ａ〜Ｅから均等に塗布液３６が分配される。さらに入口１０４、流路１０８、出口１０６Ａ〜Ｅの塗布液３６が流れる流路断面は略同一であることが好ましい。略同一であると、滞留部分が生じないためである。滞留部分が生じないので、空気がたまることもない。

分配器１００から塗布液３６が供給されるインクジェットヘッド６０Ａ〜Ｅにはそれぞれ多数の吐出孔が備えられており、供給された塗布液３６はインクジェットヘッド６０Ａ〜Ｅの内部で略均等に各吐出孔に分配され、各吐出孔近傍に配置された圧電素子等からなる駆動部材によって、塗布液３６が吐出孔から略均一に吐出される。なお配管２８、８２、８４、８６、６４Ａ〜Ｅについては、その内径を小さくするのが好適である。配管の内径は小さい方が塗布液の流速を高くすることができ、配管経路に関係なく容易に空気を塗布液で押し出せるからである。具体的には、内径は好ましくは直径６ｍｍ以下、より好ましくは直径４ｍｍ以下とする。

次に図１の塗布液供給装置１を用いた塗布液供給方法について説明する。
まず配管２８からインクジェットヘッド６０Ａ〜Ｅに至るまで全く塗布液３６がない空の状態でメインタンク１０を接続して、メインタンク１０内の塗布液３６を供給開始する塗布液供給開始時の塗布液供給方法について説明する。

この時サブタンク４０では、真空ポンプ５６からの吸引によって、空間５８は所定の負圧Ｐｖとなっている。この状態で、圧力調整器２４で所定圧力にした加圧空気を開閉バルブ２２を開にしてメインタンク１０内に送り込み、つづいてバルブ３４を開とする。すると、メインタンク１０内にある袋部材１２が外側から加圧されて内部の塗布液３６を配管２８の方に送り込む。

メインタンク１０からは最初は、チューブ１６内に残存している空気が供給されるが、しばらくすると塗布液３６が供給される。メインタンク１０からの空気と脱気装置３０内の空気は、後からメインタンク１０から供給される塗布液３６に押される形で、容易に脱気装置３０の外部、すなわちフィルター７０に向かう配管８６か、脱気装置３０に接続されている図示しない真空源の方に排出され、脱気装置３０の内部に塗布液３６が充満する。

次にフィルター７０でも、フィルター本体７２内部にある空気と上流側から供給される空気が、その後で供給される塗布液３６によってある程度流出口８０から下流の配管８２へ流れていくが、それではどうしても排除できない空気が残る。これについては、閉としていたベントバルブ７６を一旦開として、ベント配管７４から空気と塗布液３６を外部に排出し、排出が完了したらベントバルブ７６を閉とする。これによってフィルター７０内部とその上流の配管２８にも塗布液３６が充満する。

次にサブタンク４０の入口管４４に、フィルター７０から空気と塗布液３６が供給されるが、袋部材４２にある空気と上流側から供給される空気がその後に供給されてくる塗布液３６に押されて出口管４６から配管８４を通って分配器１００の方に流れていく。特に出口管４６は袋部材４２の最上部にあるので、空気は容易に袋部材４２の外部に排出される。空気が袋部材４２からすべて排出されることで、袋部材４２内部、すなわちサブタンク４０内部に塗布液３６が充満する。

つづいて分配器１００の入口１０４に、サブタンク４０から配管８４を介して空気と塗布液３６が供給されるが、配管８４内や分配器１００内部にある空気と上流側から供給される空気がその後に供給されてくる塗布液３６に押されて出口１０６Ａ〜Ｅから排出され、配管６４Ａ〜Ｅの方に流れていく。出口１０６Ａ〜Ｅはすべて重力方向の上側に向いており、入口１０４、流路１０８、出口１０６Ａ〜Ｅと、塗布液３６が流れる流路断面は略同一であるので、途中に空気と塗布液３６が滞留することなく、容易に空気が出口１０６Ａ〜Ｅから排出される。空気が分配器１００内部からすべて排出されることで、配管８４内と分配器１００内部に塗布液３６が充満する。

さらにつづいて配管６４Ａ〜Ｅとインクジェットヘッド６０Ａ〜Ｅにある空気と分配器１００から供給されてくる空気が、その後に分配器１００から供給されてくる塗布液３６に押されて、インクジェットヘッド６０Ａ〜Ｅの各吐出孔から全て外部に放出され、メインタンク１０からインクジェットヘッド６０Ａ〜Ｅまでの経路で塗布液３６が充満した状態となった時点で、バルブ３４を閉とする。

バルブ３４を閉にすることで、正の圧力が塗布液３６からその内側に作用していたサブタンク４０の袋部材４２は、上流側からの塗布液３６の供給がなくなるので、残圧分だけ塗布液３６を下流側に供給して大気圧となり、最大限に膨らんだ形状が少し小さくなる。つづいて空間５８に作用する負圧Ｐｖによって袋部材４２の上端面４８が空間５８側に引き寄せられるので、袋部材４２からインクジェットヘッド６０Ａ〜Ｅまでにある塗布液３６も袋部材４２によって引き寄せられ、サブタンク４０からインクジェットヘッド６０Ａ〜Ｅに充満している塗布液３６に、空間５８に作用する負圧Ｐｖとほぼ同じ大きさの負圧が作用する。

以上の塗布液供給方法によって、途中に空気だまりと塗布液の滞留部分を生じることなく塗布液供給装置１の内部にあった空気や塗布液に混じっている空気を容易に外部に排出し、分配器１００により均等に塗布液をインクジェットヘッド６０Ａ〜Ｅに分配することができる。

さてメインタンク１０からインクジェットヘッド６０Ａ〜Ｅまでに塗布液３６が充満し、サブタンク４０の袋部材４２に最大量の塗布液３６が貯蔵されていることを満タンセンサー５９で確認されてから、インクジェットヘッド６０Ａ〜Ｅから塗布液３６を吐出する。この時バルブ３４は閉となっているので、サブタンク４０に貯蔵されている塗布液３６が分配器１００で均等に分配されてインクジェットヘッド６０Ａ〜Ｅに供給される。

サブタンク４０の袋部材４２は内蔵する塗布液３６が消費されるので、塗布液量の減少に応じて形状を縮小し、上端面４８が重力方向の下側に下降していく。塗布液３６の消費量に関係なく、サブタンク４０からインクジェットヘッド６０Ａ〜Ｅに充満している塗布液３６には、サブタンク４０の空間５８から付与される負圧Ｐｖがほぼそのまま作用する。インクジェットヘッド６０Ａ〜Ｅでは、一回の発射による塗布液３６の吐出量Ｖ０はあらかじめわかっており、総吐出量＝総吐出孔数×発射数×Ｖ０で導出できる。この１回の作業での総吐出量は、サブタンク４０の袋部材４２の最大塗布液貯蔵量と最小塗布液貯蔵量の差であるＶｃよりも小さくなるよう管理する必要がある。

総吐出量がＶｃに近づいたら、インクジェットヘッド６０Ａ〜Ｅの塗布液吐出を停止し、次にバルブ３４を開として、サブタンク４０の袋部材４２にメインタンク１０から塗布液３６を供給する。満タンセンサー５９で塗布液貯蔵量の上限を検知したらバルブ３４を閉として、袋部材４２への塗布液３６の供給を停止する。バルブ３４が開の間は、袋部材４２にのみ塗布液３６が貯蔵され、サブタンク４０の下流側である配管８４に塗布液３６が流出することはない。ただし、塗布液貯蔵量の上限を検知してからもバルブ３４を開のままにしていると、サブタンク４０の下流側に塗布液３６が流出してしまう。袋部材４２に塗布液３６が補給されたら、インクジェットヘッド６０Ａ〜Ｅの塗布液吐出作業を再開する。

以降同様に袋部材４２への塗布液３６の供給、インクジェットヘッド６０Ａ〜Ｅの塗布液吐出作業を必要なだけ繰り返す。

次にメインタンク１０からインクジェットヘッド６０Ａ〜Ｅまで塗布液３６が充満した状態で、メインタンク１０内の塗布液３６がなくなり、塗布液３６が充満した新メインタンク１０Ｎに交換する時の塗布液供給方法について、図１に基づいて説明する。

塗布液３６が充満した新メインタンク１０Ｎを配管２８に接続すると、新メインタンク１０Ｎ内の新チューブ１６Ｎや、配管２８の新メインタンク１０Ｎ接続部付近には空気が残存しているので、これを外部に放出する必要がある。この状況はある意味では、配管２８からインクジェットヘッド６０Ａ〜Ｅに至るまで全く塗布液３６がない空の状態と似ている。したがって、上記で説明した配管２８からインクジェットヘッド６０Ａ〜Ｅに至るまで全く塗布液３６がない空の状態でメインタンク１０を接続して、メインタンク１０内の塗布液３６を供給開始する塗布液供給方法をそのまま使用すればよい。

すなわち、空気は塗布液３６で下流側に押し込んでインクジェットヘッド６０Ａ〜Ｅの吐出孔から排出し、フィルター本体７２内に残るものはベントバルブ７６を開にして、ベント配管７４から外部に排出する。分配器１００に、途中で空気や空気が混在した塗布液３６が流入しても、重力方向の上側に向いている出口１０６Ａ〜Ｅから容易にインクジェットヘッド６０Ａ〜Ｅの方に排出され、インクジェットヘッド６０Ａ〜Ｅから外部に排出される。この排出過程では塗布液の滞留も分配器１００では生じない。

なお本発明の塗布液供給装置、塗布液供給方法は、インクジェットヘッド用の粘度が５〜２０ｍＰａｓの塗布液に特に好適に適用することができる。

以下実施例により本発明を具体的に説明する。
（実施例１）
図１に示す塗布液供給装置１を用いて、インクジェットヘッド６０Ａ〜Ｅに塗布液３６を供給した。１個のインクジェットヘッドは、２５６個の吐出孔を３５μｍピッチで有するもので、各吐出孔から１回あたり５０ｐｌの容量で塗布液３６を吐出できるものであった。塗布液はＲ色顔料を含むＲ画素を形成するもので、粘度が１０ｍＰａＳであった。塗布液供給装置１で、メインタンク１０にはステンレス製の本体１８内に、１９ｌの塗布液を内蔵したポリエチレン製袋部材１２を収めたものを用いた。

配管２８、８２、８４、８６、６４Ａ〜Ｅには、内径６ｍｍ、外径８ｍｍのテフロン（登録商標）製チューブを用い、バルブ３４にはダイヤフラム式バルブを用いた。脱気装置には、日東電工製「脱気モジュール ニトセップ（登録商標）」を使用し、フィルター７０には、濾材がテフロン（登録商標）製で５μｍ濾過のカートリッジ型のものを用いた。サブタンク４０については、ポリエチレン製で最大貯蔵量３０ｍｌ、最小貯蔵量１０ｍｌの袋部材４２を使用し、入口管４４と出口管４６の塗布液流れ断面形状は直径６ｍｍの円形にした。またサブタンク１０の空間５８に作用する負圧は０．８ｋＰａにした。分配器１００については、入口１０４、流路１０８、出口１０６Ａ〜Ｅと、塗布液３６が流れる流路断面は直径６ｍｍの円形断面で統一した。

配管２８〜インクジェットヘッド６０Ａ〜Ｅまで塗布液３６が空の状態から、メインタンク１０に０．１ＭＰａの加圧空気を付加して、塗布液３６をメインタンク１０から供給開始したところ、メインタンク１０からの塗布液３６の供給だけで、全ての塗布液を塗布液供給装置１を構成する機器の外部に排出できた。またメインタンク１０〜インクジェットヘッド６０Ａ〜Ｅに塗布液充填後に、配管６４Ａ〜Ｅで塗布液３６に作用する圧力を測定したところ、−０．８ｋＰａになっていることを確認した。さらにインクジェットヘッド６０Ａ〜Ｅから塗布液を吐出させたところ、塗布液吐出量は１回１吐出孔あたり５０ｐｌであることも確認できた。

（実施例２）
実施例１の塗布液供給装置１とインクジェットヘッド６０Ａ〜Ｅを用いてカラーフィルタを製造した。前工程までに、３６０×４６５ｍｍで厚さ０．７ｍｍの無アルカリガラス基板上に、各画素の大きさが幅１００μｍで長さが３００μｍ、ブラックマトリックスの幅が２０μｍ、ブラックマトリックスの表面に撥液性を有する格子状ブラックマトリックス基板を作成した。この基板を吸着ステージに吸着保持し、吸着ステージを５０ｍｍ／ｓで移動させながら、インクジェットヘッド６０Ａ〜ＥからまずＲ用塗布液を吐出し、１画素あたり８００μｌの塗布液を吐出して、Ｒ画素のみを全面に形成した。つづいて逐次的に同じ条件で、Ｇ画素、Ｂ画素を形成した。各色画素形成が終わるたびに１００度１０分のプリベークをし、Ｒ、Ｇ、Ｂ画素がすべて形成されてから、２３０℃３０分のベークを行って、最終的に厚さ２μｍのＲ、Ｇ、Ｂ画素のあるカラーフィルタをえることができた。

さらに、このカラーフィルタをＴＦＴアレイを形成した基板と重ね合わせ、オーブン中で加圧しながら１６０℃で９０分間加熱して、シール剤を硬化させた。このセルに液晶注入を行った後、紫外線硬化樹脂により液晶注入口を封口した。次に、偏光板をセルの２枚のガラス基板の外側に貼り付け、さらに、得られたセルをモジュール化して、液晶表示装置を完成させた。得られた液晶表示装置は欠点がなく、色度も基板全面に渡って、均一で品質的に申し分ないものであった。

図１は、本発明に係る塗布液供給装置１の概略正面図である。

符号の説明

１ 塗布液供給装置
１０ メインタンク
１０Ｎ 新メインタンク
１２ 袋部材
１４ 接続部材
１６ チューブ
１６Ｎ 新チューブ
１８ 本体
２０ 配管
２２ 開閉バルブ
２４ 圧力調整器
２６ 圧空源
２８ 配管
３０ 脱気装置
３２ 本体
３４ バルブ
３６ 塗布液
４０ サブタンク
４２ 袋部材
４４ 入口管
４６ 出口管
４８ 上端面
５０ 真空タンク
５２ 真空配管
５４ 真空圧調整器
５６ 真空ポンプ
５８ 空間
５９ 満タンセンサー
６０Ａ〜Ｅ インクジェットヘッド
６４Ａ〜Ｅ 配管
７０ フィルター
７２ フィルター本体
７４ ベント配管
７６ ベントバルブ
７８ 流入口
８０ 流出口
８２ 配管
８４ 配管
８６ 配管
１００ 分配器
１０２ 本体
１０４ 入口
１０６Ａ〜Ｅ 出口
１０８ 流路
Ｚ 下方向

Claims (3)

1. 塗布液を吐出する複数のインクジェットヘッドと、
   塗布液が充填された塗布液タンクと、
   塗布液タンクの塗布液を一時的に定容量保存可能なサブタンクと、
   サブタンクから塗布液を複数のインクジェットヘッドに分配する分配器と、
   塗布液タンクからサブタンクへの塗布液の流れを規制するバルブとを備えたインクジェットの塗布液供給装置であって、
   前記分配器は、一つの入口とインクジェットヘッドと同数の出口のみを備え、
   かつ前記出口は重力方向の上向きに配されるとともに、前記入口と前記各出口を接続する流路は略同一断面形状を有するものである、インクジェットヘッドの塗布液供給装置。
2. 塗布液タンクから塗布液を、サブタンクに補給して一時的に塗布液を定容量保存後に、サブタンクから塗布液を複数のインクジェットヘッドに塗布液を分配供給するインクジェットの塗布液供給方法であって、
   前記サブタンクから流出する前記塗布液を前記インクジェットヘッドと同数に振り分け、
   前記振り分けた塗布液を重力方向の上向きに一旦導いた後、
   複数のインクジェットヘッドへ分配供給する、インクジェットヘッドの塗布液供給方法。
3. 請求項２に記載のインジェットヘッドの塗布液供給方法を用いてカラーフィルタを製造する、カラーフィルタの製造方法。
   
   
   

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