JP5363826B2 - 塗布装置 - Google Patents
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Description
近年、このカラーフィルタを効率よく製造する装置として、ガラス基板上に形成された多数の画素部に、R、G、Bの各インク(塗布液)をインクジェットヘッドから供給して、R、G、Bの色画素を形成する塗布装置(インクジェット装置)が提案されている。
例えば特許文献1に示している前記塗布液供給部は、インクを収容しているメインタンクと、インクをガラス基板に対して吐出する前記インクジェットヘッド(以下、ヘッドという)と、メインタンクから供給されたインクをヘッドに供給するためのサブタンクとを有している。
また、ヘッド7は、当該ヘッド7の内外を貫通させた微細な孔からなる多数の吐出口(ノズル)を有していて、各吐出口には、対のピエゾ素子が相互離れて配置されている。この塗布装置(インクジェット装置)は、電圧を加えて各吐出口のピエゾ素子を接近させるように変形させることで、ヘッド内のインクを外へと押し出すようにして吐出させるピエゾ式となっている。
この結果、吐出口におけるインクのメニスカスの形状に影響を与えるおそれがある。つまり、ヘッド内のインクの圧力が大気圧に近づくように変動するとインク漏れが生じ(図2(b))、ヘッド内のインクの圧力が負圧側に大きくなるように変動すると空気を吸い込んでしまう(図2(c))ことも考えられる。特に、塗布作業の効率化のために塗布ガントリ3を速く移動させると、生じる動圧も大きくなり、この現象が生じやすくなる。
この場合、前記圧力調整部は、ヘッドの塗布液の圧力を(ほぼ)直接的に制御することができ、適切なメニスカス形状を維持することが容易となる。
なお、「ヘッドの近傍部」とは、ヘッドの上流側の流路であっても当該ヘッド内の塗布液の圧力と同等となる位置であり、例えば、ヘッドから上流側の流路の最初の分岐部までの間の位置や、ヘッドから上流側の流路の最初の屈曲部までの間の位置等である。つまり、ヘッドから上流側の流路において、大きな圧力損失を発生させる要因となる位置(ヘッド内の圧力と比較して塗布液の圧力が大きく変わる要因となる位置)と、当該ヘッドまでの間である。
図1は本発明の塗布装置の実施の一形態を示す斜視図である。この塗布装置は、例えばカラー液晶ディスプレイに用いられるカラーフィルタを製造するための装置であり、機台1、当該機台1上に設けられた吸着テーブル2及び塗布ガントリ3等を備えている。
なお、前記Z方向は鉛直方向であり、図1におけるX方向及びY方向は、水平面上の方向であり、X方向、Y方向及びZ方向は相互に直交する。そして、吸着テーブル2により吸着保持された基板Wの上面は、X方向及びY方向を含む平面と平行となる。
また、基板Wに対するヘッド7のY方向及びZ方向についての相対位置を調整するために、第二の駆動機構3c及び第二のガイド機構3dによって、ヘッド7(インクジェットヘッドバー4)を、Y方向及びZ方向に移動させることができる。なお、ヘッド7をY方向に移動させる際、インクの吐出を停止している。
メインタンク9とサブタンク8とは、配管21によって接続されていて、この配管21には開閉バルブ21aが設けられている。サブタンク8とヘッド7とは、配管22によって接続されている。配管22は分岐部23a〜23eを有していて、一つのサブタンク8に対して複数のヘッド7が接続されている。
サブタンク8は、1枚乃至数枚の基板10にインクを塗布するだけの容量を有していて、サブタンク8内のインクが所定量を下回ると、バルブ21aが開き、メインタンク9からインク10がサブタンク8へと補充される。
サブタンク8を塗布ガントリ3に搭載することにより、サブタンク8を塗布ガントリ3と並行して移動させるための別の駆動装置が不要となり、また、サブタンク8からヘッド7までの配管22は短くて済む。この配管22を短くすることで、後に説明する圧力調整部17の制御によってヘッド7の吐出口11でインクのメニスカスを安定させるのが容易となる。なお、図1において、メインタンク9は、機台1と別体として設置されていて、配管21は可撓性を有し塗布ガントリ3の移動に追従することができる。
また、図3に示しているように、サブタンク8の出口部18は、ヘッド7の吐出口11よりも高い位置(高さの差ΔH)に配置されている。このため、吐出口11の前記ピエゾ素子によってインクの吐出の可否が制御されてはいるが、サブタンク8内のインクは自重によってヘッド7側へと流れることができる。
そして、隔壁膜28とケーシング27の内面との間に密閉空間(減圧室)S2が形成されていて、この密閉空間S2に、吸引用の配管24の一方側端部が接続されている。
また、図3に示しているように、前記吸引用の配管24の他方側端部には、吸引ポンプ13が接続されている。
このために、前記吸引ポンプ13が、前記密閉空間S2の空気を配管24から吸引する(負圧とする)。この吸引によって、密閉空間S2が狭くなる方向に前記隔壁膜28は引かれ、サブタンク8(領域S1)内のインクの圧力を低下させ、配管22を通じて、ヘッド7内のインクの圧力を大気圧に対して負圧としている。
ヘッド7内のインク10の圧力を大気圧に対して負圧とすることで、図2(a)に示しているように、吐出口11の直上流側でインク10に凹形状のメニスカスを形成することができ、吐出口11からインクが勝手に漏れ出ることを防止しようとしている。
すなわち、ヘッド7において、インクを吐出する吐出口11の組み合わせや、インクを吐出するタイミングの変化によって、全吐出口11の内のインクを吐出している吐出口11の数(稼働率)が変動するために、ヘッド7を流れるインクの流量、及び、サブタンク8からヘッド7までの配管22を流れるインクの流量が変化する。この場合、インクの流速が変化することで配管22における圧力損失も変化し、ヘッド7内のインクの圧力Pが、前記圧力損失の変化に伴って変動し、メニスカスの形状を変化させるおそれがある。
また、サブタンク8を搭載した塗布ガントリ3が塗布方向(図1のX方向)に移動しながら、ヘッド7からインクを吐出させている際に、当該塗布ガントリ3上のサブタンク8内のインクが移動して動圧が作用し、この動圧が、配管22を通じて、ヘッド7内のインクの内圧に影響を与え、メニスカスの形状を変化させるおそれがある。
なお、ヘッド7内のインク10の圧力Pが正であると(P>0)、図2(b)に示しているように、インク10の漏れが発生し、また、圧力Pが所定の値よりも小さくなると(−2〜−3Kpaよりも小さくなると)、図2(c)に示しているように、空気がヘッド7内に引き込まれ、インク10に気泡aが混入してしまう。
このように、ヘッド7内のインク10の圧力Pを所定の負の値に設定することで、図2(a)に示しているように、吐出口11に適切なメニスカスが形成される。
なお、圧力計16の取り付け位置は、これに限定されず、ヘッド7の上流側の配管22であって当該ヘッド7内のインクの圧力Pと同等となる位置であればよい。つまり、ヘッド7から上流側の配管22において大きな圧力損失を発生させる要因となる位置と、ヘッド7までの間の位置であればよい。
又は、図示しないが、ヘッド7に圧力計16を取り付け、この圧力計16によって、ヘッド7内のインクの圧力Pを検出してもよい。
更に説明すると、圧力調整部17は、サブタンク8からヘッド7までの間に存在しているインクを増圧(加圧)又は減圧させる調圧部31と、この調圧部31の動作を制御する制御部32とを有する。制御部32は、マイコン等からなり、各機能を実行するためのプログラムが記憶されていて、当該プログラムによって、調圧部31の動作を制御する機能を有している。
この電空レギュレータ14が、前記調圧部31と前記制御部32との機能を有していて、制御部32は圧力計16の検出結果に基づいて調圧部31を制御することによって、密閉空間S2内の圧力を制御し、隔壁膜28を介してサブタンク8(領域S1)内に存在しているインクに与える力を調整する。これにより、サブタンク8内のインクを増圧又は減圧させる。つまり、圧力計16の検出結果に基づいて、サブタンク8の密閉空間S2の圧力を調整することによって、隔壁膜28を引く力を調整し、領域S1に満たされているインクの圧力を調整する。
このように、この制御は、前記圧力計16の検出結果に応じて行われている。なお、圧力調整部17を電空レギュレータ14としていることで、圧力計16の検出結果をデジタル信号に変換する変換器が設けられている。この変換器の機能は圧力計16が有することができる。
しかし、この状態において、吐出口11の稼働率が変化すると、インクの流量(流速)が変化し、配管22の圧力損失が変動し、圧力計16による検出値に変化が生じる。圧力計16は、変化した圧力を検出し、その検出結果を電空レギュレータ14に与える。
例えば、インクを吐出させている吐出口11の数が減少して吐出口11の稼働率が低くなると(図6(a)の矢印L1)、配管22における流量が減少し、配管22における圧力損失が小さくなる。これにより、配管22内及びヘッド7内のインクの圧力は高くなり(大気圧に近づき:図6(a)の矢印L2)、図2(b)に示す状態となろうとする。すなわち、図6(b)の矢印L3に示しているように、インクを吐出させている吐出口11においては、その吐出量が増加しようとする。
また、温度変化等によってインクの粘度や比重が変化すると、配管22におけるインク圧(圧力計16における圧力)は変化するが、圧力調整部17が、このインク圧を一定とするようにフィードバック制御を行っているので、インクの粘度や比重が変化の影響を受けにくい。
そして、図5に示しているように、サブタンク8のサブタンク本体部26は、インク10を充満させた状態で収容していて、このサブタンク本体部26が有している柔軟性のある前記隔壁膜28は、X方向(一方向)に長く、このX方向に直交するY方向(他方向)に短い偏平形状に形成されている。
このように偏平形状とすることで、サブタンク本体部26にインクを充満させた状態で、隔壁膜28は長手方向(X方向)の方が、その直交方向(Y方向)よりも変形し難くなる。
7 ヘッド
8 サブタンク(タンク)
9 メインタンク
10 インク(塗布液)
16 圧力計(検出部)
17 圧力調整部
18 出口部
19 近傍部
22 配管
26 サブタンク本体部(タンク本体)
28 隔壁膜
31 調圧部
32 制御部
Pa 基準圧力
Claims (3)
- 塗布液を吐出する吐出口を有するヘッドと、
塗布液を溜めることができると共に当該塗布液を前記ヘッドに供給するタンクと、
前記塗布液を前記吐出口から吐出している状態で前記ヘッド及び前記タンクを所定の塗布方向に移動させる駆動機構と、
前記タンクから前記ヘッドへと前記塗布液が流出する当該タンクの出口部以降の流路に存在している塗布液の圧力を検出する検出部と、
前記ヘッド内の塗布液の圧力を所定の値とするために、前記検出部の検出結果に応じて、前記タンクから前記ヘッドまでの間に存在している塗布液を増圧又は減圧させる制御を行う圧力調整部と、を備え、
前記タンクが有していて前記塗布液を充満させた状態で収容するタンク本体部は、一方向に長く当該一方向に直交する他方向に短い偏平形状に形成されかつ柔軟性を備えた隔壁膜を有し、
前記隔壁膜の前記一方向と前記塗布方向とが平行となるように、前記タンクは配置されていることを特徴とする塗布装置。 - 前記検出部は、前記ヘッド内の前記塗布液の圧力乃至前記ヘッドの近傍部における前記塗布液の圧力を検出する請求項1に記載の塗布装置。
- 前記圧力調整部は、
前記タンクから前記ヘッドまでの間に存在している前記塗布液を増圧又は減圧させる調圧部と、
前記ヘッド内の前記吐出口で前記塗布液に適切なメニスカスを形成させるための塗布液の基準圧力に対して、前記検出部の検出結果である実際の前記塗布液の検出圧力が高くなると、前記調圧部によって前記塗布液を減圧させ、前記基準圧力に対して、前記検出圧力が低くなると、前記調圧部によって前記塗布液を増圧させるように制御する制御部と、を有している請求項1又は2に記載の塗布装置。
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