JP2009189997A - 液状体供給装置および液状体吐出装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】液滴吐出ヘッドと液状体を収容する容器との水頭差に起因する吐出の不具合を低減する液状体供給装置およびそれを備えた液状体吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド50より吐出させる機能液Lを供給する液状体供給装置80であって、前記液滴吐出ヘッド50に連通するとともに、前記機能液Lを貯留するパック容器82と、前記パック容器82を密閉状態で収容する密閉容器84と、前記密閉容器84に連通する容積調整可能な空間を有するベローズ86とを備える。
【選択図】図4
【解決手段】液滴吐出ヘッド50より吐出させる機能液Lを供給する液状体供給装置80であって、前記液滴吐出ヘッド50に連通するとともに、前記機能液Lを貯留するパック容器82と、前記パック容器82を密閉状態で収容する密閉容器84と、前記密閉容器84に連通する容積調整可能な空間を有するベローズ86とを備える。
【選択図】図4
Description
本発明は、液状体を吐出する液滴吐出ヘッドに液状体を供給する液状体供給装置およびこれを備えた液状体吐出装置に関する。
例えば、記録装置、液晶表示装置などのカラーフィルタや有機EL装置の成膜などの分野に液状体吐出装置が利用されている。液状体吐出装置は、液滴吐出ヘッドと呼ばれる液状体吐出機構を有している。この液滴吐出ヘッドには、複数のノズルが規則的に形成されている。液状体吐出装置では、これらのノズルから液状体を液滴として吐出することにより、記録用紙もしくは基板などに液状体からなるパターンの描画を行う。
このような液状体吐出装置では、液滴吐出ヘッドに供給される液状体を貯留する容器を備えている。液滴吐出ヘッドには、液滴吐出ヘッドと容器との水頭差に起因する圧力が作用する。容器が液滴吐出ヘッドより高い位置に配置されている場合は、液滴吐出ヘッドに水頭差に対応した正の圧力が作用して、液滴吐出ヘッドから液状体が流れ出す虞がある。
そこで、液滴吐出ヘッドに流体を供給する装置として、流体を貯留する第1の容器を備え、この第1の容器をひとまわり大きい第2の容器に格納し、第1の容器の流体の貯留量を検出して、その結果に基づいて、第1の容器と第2の容器との間の空間の空気を真空ポンプで引いて負圧制御を行うことで、流体が液滴吐出ヘッドから流れ出すことを防止する流体供給装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
上述の流体供給装置では、第1の容器の流体の消費にともなって変動する圧力を調整するために、第1の容器の流体の貯留量を検出する検出手段、負圧状態を調節するためのレギュレータなどの調節手段、真空ポンプおよびこれらを制御する制御手段が必要となる。そのため、装置が複雑かつ大型化してしまうという課題がある。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
(適用例1)液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドに前記液状体を供給する液状体供給装置であって、前記液滴吐出ヘッドに連通するとともに、前記液状体を貯留する容積可変容器と、前記容積可変容器を密閉状態で収容する密閉容器と、前記密閉容器に連通する容積調整可能な空間を有する圧力調整手段と、を備えたことを特徴とする液状体供給装置。
この構成によれば、液状体供給装置は、密閉容器と連通する圧力調整手段の空間の容積を変えることによって、密閉容器内の圧力を調整することができる。密閉容器内の圧力を調整することによって、密閉容器内に収容される容積可変容器にかかる圧力を調整することができ、容積可変容器に貯留され液滴吐出ヘッドに供給される液状体にかかる圧力を調整することができる。そのため、液状体にかかる圧力を適正化させ、液滴吐出ヘッドのノズルからの液状体の漏れを防止し、液滴吐出ヘッドの液状体の吐出を安定させることができる。
(適用例2)前記容積可変容器は、袋状容器であることを特徴とする上記の液状体供給装置。
この構成によれば、袋状容器は、適正化された密閉容器内の圧力を受け、その圧力を貯留する液状体に伝えることができる。
(適用例3)前記圧力調整手段は、前記密閉容器と連通する第1の面と、前記第1の面に対向する第2の面と、前記第1の面と前記第2の面とを連結して内部に空間を形成する側壁部と、を備え、前記第1の面および前記第2の面の少なくともどちらか一方は、前記第1の面と前記第2の面との対向方向に移動自在に設けられていることを特徴とする上記の液状体供給装置。
この構成によれば、圧力調整手段は、第1の面または第2の面のどちらか一方、もしくは、第1の面および第2の面の双方を、第1の面と第2の面との対向方向に移動させることによって、圧力調整手段の空間の容積を変化させることができる。そのため、連通する密閉容器内の圧力を調整することができる。
(適用例4)前記側壁部は、前記第1の面と前記第2の面との対向方向に伸縮自在な蛇腹構造に形成されていることを特徴とする上記の液状体供給装置。
この構成によれば、圧力調整手段は、第1の面と第2の面とを蛇腹構造の側壁部で連結する構造、いわゆるベローズ構造になっている。そのため、第1の面または第2の面のどちらか一方、もしくは、第1の面と第2の面の双方は、密閉容器内の容積が変動しようとすると、密閉容器内の圧力を一定に保とうとして第1の面と第2の面との対向方向に移動する。その結果、液状体の消費にともなって袋状容器の容積が減少して密閉容器内の圧力が変動することを自動的に防止することができる。従って、ベローズを密閉容器に連結させるというシンプルな構造で液状体にかかる圧力を適正化することができ、液滴吐出ヘッドのノズルからの液状体の漏れを防止し、液滴吐出ヘッドの液状体の吐出を安定させることができる。
(適用例5)前記圧力調整手段は、当該圧力調整手段の空間の容積を拡張することによって前記密閉容器内を負圧状態に保ち、前記液滴吐出ヘッドの前記液状体の吐出にともなって減少する前記容積可変容器の容積を補完するように、当該圧力調整手段の空間の容積を調整することを特徴とする上記の液状体供給装置。
この構成によれば、圧力調整手段の空間の容積を拡張して密閉容器内を負の圧力状態に保ち、袋状容器に貯留される液状体に負の圧力をかけることができる。さらに、液滴吐出ヘッドの液状体の吐出にともない密閉容器内の袋状容器の容積が減少して、密閉容器内の圧力が変動することを、ベローズ構造により、圧力調整手段の空間の容積を変化させて低減することができる。そのため、シンプルかつ簡便な構造で、袋状容器にかかる圧力変動を低減させ、液滴吐出ヘッドに供給される液状体にかかる圧力変動を低減させることができる。
(適用例6)前記第2の面に対して、前記第1の面と前記第2の面との対向方向に荷重をかける負荷手段を備えたことを特徴とする上記の液状体供給装置。
この構成によれば、負荷手段によって第2の面を移動させ、圧力調整手段の空間の容積を所定の容積に設定し保つことができる。
(適用例7)液状体を吐出する液滴吐出ヘッドと、上記の液状体供給装置と、を備えたことを特徴とする液状体吐出装置。
この構成によれば、液滴吐出ヘッドに供給される液状体に所定の圧力を付与することができるとともに、その圧力の変動を低減させることができる。そのため、シンプルな構造で、液状体の安定吐出を実現できる液状体吐出装置を提供することができる。
以下、本実施形態を図面に基づいて説明する。以下の説明で参照する図面では、説明および図示の便宜上、部材ないし部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
(第1実施形態)
(液状体吐出装置の全体構成について)
まず、本実施形態における液状体吐出装置を、図1を参照して説明する。図1は液状体吐出装置の構成を示す図であり、(a)は平面図、(b)は正面図、(c)は側面図である。図1に示すように、液状体吐出装置100は、キャリッジ15と、キャリッジ移動機構20と、テーブル10と、第1のテーブル移動機構30と、第2のテーブル移動機構40と、液状体供給装置80と、メンテナンス部35と、制御装置16と、基台18とを備えている。
(液状体吐出装置の全体構成について)
まず、本実施形態における液状体吐出装置を、図1を参照して説明する。図1は液状体吐出装置の構成を示す図であり、(a)は平面図、(b)は正面図、(c)は側面図である。図1に示すように、液状体吐出装置100は、キャリッジ15と、キャリッジ移動機構20と、テーブル10と、第1のテーブル移動機構30と、第2のテーブル移動機構40と、液状体供給装置80と、メンテナンス部35と、制御装置16と、基台18とを備えている。
この液状体吐出装置100は、キャリッジ15と、テーブル10との相対位置を変化させつつ、キャリッジ15に搭載された複数の液滴吐出ヘッド50のノズルから液状体を液滴として吐出して、テーブル10に搭載された被吐出物としての基板などからなるワークBに液状体で所望のパターンを形成するものである。なお、図中のY方向はテーブル10の主走査方向を示し、X方向はキャリッジ15の移動方向およびテーブル10の副走査方向を示し、Z方向は、X方向とY方向とに直交する方向を示している。
このような液状体吐出装置100は、例えば、各種の表示装置のカラー表示を可能にするカラーフィルタの製造に適用され得る。例えば、赤、緑および青の3色のフィルタエレメントを有するカラーフィルタを製造する場合は、各々の液滴吐出ヘッドから、赤、緑および青の3色の液状体のいずれかをワークBに液滴として吐出して、赤、緑および青の3色のフィルタエレメントのパターンを描画する。
ここで、液状体吐出装置100の各構成について説明する。
基台18は、例えば、平板状の石材などの熱膨張係数が小さい材料から形成されており、Y方向に一定の幅を有し、X方向に沿って延びるように4本の脚部19に支持されている。また、基台18のZ方向の下部には、制御装置16が設けられている。
基台18は、例えば、平板状の石材などの熱膨張係数が小さい材料から形成されており、Y方向に一定の幅を有し、X方向に沿って延びるように4本の脚部19に支持されている。また、基台18のZ方向の下部には、制御装置16が設けられている。
第1のテーブル移動機構30は、ベース31と、2つのリニアモータ32とを有している。ベース31は、平板状に形成され、基台18のZ方向上面に固定されている。ベース31のZ方向上面には、2つのリニアモータ32がY方向に沿って平行に配置されている。第2のテーブル移動機構40は、スライド部材37と、2つのリニアモータ38とを有している。スライド部材37は、平板状に形成され、ベース31に配置された2つのリニアモータ32の上方に配設されている。スライド部材37のZ方向上面には、2つのリニアモータ38がX方向に沿って平行に配置されている。
テーブル10は、平板状の部材であり、Z方向上面にワークBを着脱可能に保持する載置面10Aを有している。テーブル10は、スライド部材37に配置された2つのリニアモータ38の上方に配設されている。
リニアモータ32は、図示しない固定子と可動子を有しており、固定子はベース31に、可動子はスライド部材37に設けられている。第1のテーブル移動機構30は、制御装置16からの指令に基づいて可動子のコイルが通電されることにより、テーブル10をY方向に往復移動させることができる。リニアモータ38は、図示しない固定子と可動子を有しており、固定子はスライド部材37に、可動子はテーブル10に設けられている。第2のテーブル移動機構40は、制御装置16からの指令に基づいて可動子のコイルが通電されることにより、テーブル10をX方向に往復移動させることができる。
図1に示すように、キャリッジ移動機構20は、2つのリニアモータ22と、4本の支柱23とを備えている。リニアモータ22のそれぞれは、第2のテーブル移動機構40に配置されたテーブル10に対してZ方向に空間を有する状態でX方向に延びるように、2本の支柱23に支持され互いに平行に配設されている。
キャリッジ15は、複数の液滴吐出ヘッド50が搭載されており、液滴吐出ヘッド50側がZ方向下方、すなわち、テーブル10に載置されたワークBの上面に対向するように、2つのリニアモータ22のZ方向上方に配設されている。リニアモータ22は、図示しない固定子と可動子を有しており、固定子は支柱23に支持され、可動子はキャリッジ15に設けられている。キャリッジ移動機構20は、制御装置16からの指令に基づいて可動子のコイルが通電されることにより、キャリッジ15をX方向に往復移動させることができる。
メンテナンス部35は、基台18の図1中X方向左側にベース31と並んで設けられている。メンテナンス部35は、図示しないワイピングユニットおよびフラッシングユニットと、液状体吸引ユニット60とを備えている。ワイピングユニットは、液滴吐出ヘッド50のノズル面を布などで払拭して付着した異物や汚れの除去を行う。フラッシングユニットは、適宜、液滴吐出ヘッド50から液状体を吐出させノズルの目詰まりの防止を行う。
液状体吸引ユニット60は、上面がキャリッジ15に搭載された液滴吐出ヘッド50のノズル側と対向するように、メンテナンス部35に設けられる。液状体吸引ユニット60は、液滴吐出ヘッド50のノズルから直接液状体を吸引することによって、液滴吐出ヘッド50のノズルの目詰まりの解消を行う。
液状体供給装置80は、液状体を貯留して、液滴吐出ヘッド50に液状体を供給する。液状体供給装置80の詳細については後述する。
(液滴吐出ヘッドの構成について)
次に、液滴吐出ヘッドについて、図2を参照して説明する。図2は液滴吐出ヘッドの構造を示す概略図であり、(a)は概略分解斜視図、(b)はノズル部の構造を示す断面図である。図2(a)および(b)に示すように、液滴吐出ヘッド50は、液滴Dが吐出される複数のノズル52を有するノズルプレート51と、複数のノズル52がそれぞれ連通するキャビティ55を区画する隔壁54を有するキャビティプレート53と、各キャビティ55に対応する駆動素子としての振動子59を有する振動板58とが、順に積層され接合された構造となっている。
次に、液滴吐出ヘッドについて、図2を参照して説明する。図2は液滴吐出ヘッドの構造を示す概略図であり、(a)は概略分解斜視図、(b)はノズル部の構造を示す断面図である。図2(a)および(b)に示すように、液滴吐出ヘッド50は、液滴Dが吐出される複数のノズル52を有するノズルプレート51と、複数のノズル52がそれぞれ連通するキャビティ55を区画する隔壁54を有するキャビティプレート53と、各キャビティ55に対応する駆動素子としての振動子59を有する振動板58とが、順に積層され接合された構造となっている。
キャビティプレート53は、ノズル52に連通するキャビティ55を区画する隔壁54と、キャビティ55に液状体を充填するための流路56,57とを有している。流路57は、ノズルプレート51と振動板58とによって挟まれ、出来上がった空間が、液状体が貯留されるリザーバの役目を果たす。
液状体は、液状体供給装置80から供給流路を通じて供給され、振動板58に設けられた供給孔58aを通じてリザーバに貯留された後に、流路56を通じて各キャビティ55に充填される。
図2(b)に示すように、振動子59は、ピエゾ素子59cと、ピエゾ素子59cを挟む一対の電極59a,59bとからなる圧電素子である。外部から一対の電極59a,59bに駆動信号としての駆動波形が印加されることにより接合された振動板58を変形させる。これにより隔壁54で仕切られたキャビティ55の体積が増加して、液状体がリザーバからキャビティ55に吸引される。そして、駆動波形の印加が終了すると、振動板58は元に戻り充填された液状体を加圧する。これにより、ノズル52から液状体を液滴Dとして吐出できる構造となっている。ピエゾ素子59cへ印加される駆動波形を制御することにより、それぞれのノズル52に対して液状体の吐出制御を行うことができる。
液滴吐出ヘッド50における駆動素子は、圧電素子に限らない。振動板を静電吸着により変位させる電気機械変換素子や、液状体を加熱してノズル52から液滴として吐出させる電気熱変換素子(サーマル方式)でもよい。
(キャリッジの構成について)
キャリッジ15を、図1、図3を参照して説明する。図3はキャリッジを説明する図であり、詳しくはキャリッジを底面側から見た図である。図3中のX方向およびY方向は、図1に示すX方向およびY方向と同一の方向を示す。
キャリッジ15を、図1、図3を参照して説明する。図3はキャリッジを説明する図であり、詳しくはキャリッジを底面側から見た図である。図3中のX方向およびY方向は、図1に示すX方向およびY方向と同一の方向を示す。
図1に示すように、キャリッジ15は、ヘッドプレート36と、複数の液滴吐出ヘッド50と、液状体供給装置80とを備えている。ヘッドプレート36は、ステンレスなどからなる上面視略平行四辺形の板状部材であり、複数の液滴吐出ヘッド50が設置されている。ヘッドプレート36は、液滴吐出ヘッド50を図1中Z方向下方に突出するようにキャリッジ15のZ方向下方に設けられている。キャリッジ15のZ方向上方には液状体供給装置80が設けられている。
図3に示すように、ヘッドプレート36には12個の液滴吐出ヘッド50が搭載されており、12個の液滴吐出ヘッド50は、6個ずつに二分されX方向に所定の間隔をあけて、ヘッド列64aおよびヘッド列64bを形成している。ヘッド列64aおよびヘッド列64bは、Y方向から所定の角度θを有する方向に延びるように構成されている。そのため、図3中のY方向から見たとき、キャリッジ15において、12個の液滴吐出ヘッド50は、これらの全ノズル列52aおよび52bで1つの描画ラインを構成するように配設されている。
上記構成を有する液状体吐出装置100は、キャリッジ15と、テーブル10との相対位置を変化させつつ、キャリッジ15に搭載された複数の液滴吐出ヘッド50から液状体を液滴として吐出して、テーブル10に搭載されたワークBに所望のパターンを形成する。そして、吐出された液状体を乾燥などにより固化して、パターン化された様々な機能性膜を形成することができる。
(液状体供給装置の構成について)
次に、液状体供給装置について、図4を参照して説明する。図4は液状体供給装置の構造を示す概略図である。
図4に示すように、液状体供給装置80は、容積可変容器としての袋状容器であるパック容器82と、パック容器82を密閉状態で収容する密閉容器84と、容積調整可能な空間を有する圧力調整手段としてのベローズ86と、ベローズ86の一方の面に所定の負荷をかける負荷手段88と、圧力センサー90と、各構成を制御する制御手段とを有している。
次に、液状体供給装置について、図4を参照して説明する。図4は液状体供給装置の構造を示す概略図である。
図4に示すように、液状体供給装置80は、容積可変容器としての袋状容器であるパック容器82と、パック容器82を密閉状態で収容する密閉容器84と、容積調整可能な空間を有する圧力調整手段としてのベローズ86と、ベローズ86の一方の面に所定の負荷をかける負荷手段88と、圧力センサー90と、各構成を制御する制御手段とを有している。
液状体供給装置80の液状体供給系は、12個の液滴吐出ヘッド50ごとに設けられ、1つの液滴吐出ヘッド50に1つのパック容器82が接続されている。なお、図4では、液状体供給装置80の液状体供給系のうち1系統のみを図示している。また、制御手段は単体で設けてもよいが、実施形態のものは液状体吐出装置100の制御装置16に組み込まれている。
パック容器82は、例えば、方形の2枚の合成樹脂フィルムを重ね合わせ、その周縁部を気密に溶着したものであり、柔軟性を有する容積可変な袋状に形成されている。パック容器82は、液状体としての脱気された機能液Lを真空パック状に貯留している。パック容器82は、供給チューブ96を介して、液滴吐出ヘッド50に連通しており、機能液Lは、供給チューブ96を介して、液滴吐出ヘッド50に供給され吐出される。このパック容器82は、貯留される機能液Lが吐出により減少するにともない容積が減少する。
なお、ここで機能液Lとは、表示装置のカラーフィルタのフィルタ材料などの機能性材料を、所定の溶媒にて溶解または分散させた液状体(サスペンション、エマルジョンなどの分散液を含む)をいう。機能性材料は、カラーフィルタのフィルタ材料に限定されず、例えば、表示装置のカラーフィルタのフィルタ材料、有機EL装置におけるEL発光層を形成するための発光材料、配線および電極を形成するための金属微粒子材料などが適用され得る。
溶媒としては、上記機能性材料を溶解または分散できるもので凝集を起こさないものであれば特に限定されない。例えば、アルコール類、ケトン類、有機アミン類、エーテル類、エステル類、その他の有機溶媒と水と界面活性剤などを混合させた液状体などが適用され得る。
密閉容器84は、一定の容積を有し、例えば、ステンレスなどの金属材料で密閉されたボックス状に形成されている。密閉容器84は、液状体吐出装置100のキャリッジ15上に設置されている。密閉容器84の内部には、パック容器82の重量を検出する重量測定装置92が底面側に設けられており、パック容器82は、重量測定装置92の図示しない保持部に着脱可能に保持される。密閉容器84内部には、密閉容器84とパック容器82との間に空間が形成される。以降の説明では、この空間を密閉容器空間Qといい、密閉容器空間Qの容積を容積qと表す。
なお、パック容器82は、密閉容器84の図4中手前に位置する図示しない扉を開閉し保持部に着脱することによって、交換することができる。
なお、パック容器82は、密閉容器84の図4中手前に位置する図示しない扉を開閉し保持部に着脱することによって、交換することができる。
ベローズ86は、第1の面としての円形の天面86aと対向する第2の面としての円形の底面86bとを有し、天面86aと底面86bとは蛇腹構造の側壁部としての側面86cで連結され略円筒形に形成されている。そのため、ベローズ86の内部には空間が形成される。以降の説明では、この空間をベローズ空間Rといい、ベローズ空間Rの容積を容積rと表す。側面86cは、伸縮自在な蛇腹構造に形成されているため、天面86aと底面86bとが対向方向である矢印E方向に移動可能となっている。
ベローズ86の天面86aは、連通チューブ94を介して密閉容器84と連結されている。そのため、密閉容器空間Qとベローズ空間Rとは、合算され1つの空間(Q+R)を構成する。以降の説明では、この空間(Q+R)を合算空間Sといい、合算空間Sの容積を容積sと表す。なお、密閉容器84とベローズ86とを連結する連通チューブ94の空間は密閉容器空間Qに含まれるものとする。
ベローズ86の底面86bは、負荷手段88の上面に設けられたベローズ保持部98に固定されている。負荷手段88は、キャリッジ15の上面に設置されている。負荷手段88は、ベローズ86の底面86bに所定の荷重を負荷するものであり、ベローズ保持部98は、矢印E方向に所定の範囲上下に可動できるクリアランスを有している。ベローズ86の底面86bに負荷する荷重は、例えば、錘などが適用され得る。
圧力センサー90は、密閉容器84の内部の1面に設けられ、制御装置16に接続されている。圧力センサー90は、密閉容器内の圧力を検知して制御装置16に圧力データを送信する。
圧力センサー90は、密閉容器84の内部の1面に設けられ、制御装置16に接続されている。圧力センサー90は、密閉容器内の圧力を検知して制御装置16に圧力データを送信する。
(液状体供給装置の供給動作について)
ここで、液状体供給装置の液状体の供給動作について、図5を参照して説明する。図5は、液状体供給装置の供給動作を説明する図である。
図5(a)に示すように、液状体吐出作業を開始するため、液状体供給装置80の密閉容器84内の保持部に機能液Lがフル充填された新たなパック容器82を取り付ける。
ここで、液状体供給装置の液状体の供給動作について、図5を参照して説明する。図5は、液状体供給装置の供給動作を説明する図である。
図5(a)に示すように、液状体吐出作業を開始するため、液状体供給装置80の密閉容器84内の保持部に機能液Lがフル充填された新たなパック容器82を取り付ける。
次いで、液滴吐出ヘッド50のノズル52のメニスカスを適正化してノズル52からの機能液Lの漏れ防止や安定吐出を確保するために、機能液Lにかかる圧力を調整する。
具体的には、図5(b)に示すように、負荷手段88のベローズ保持部98、すなわち、ベローズ86の底面86bに錘を用い荷重Wを負荷させる。荷重Wが負荷されることによって、ベローズ86の底面86bは図5(b)中矢印F方向に移動して、ベローズ空間Rの容積rを容積r1(r1>r)に増加させる。
具体的には、図5(b)に示すように、負荷手段88のベローズ保持部98、すなわち、ベローズ86の底面86bに錘を用い荷重Wを負荷させる。荷重Wが負荷されることによって、ベローズ86の底面86bは図5(b)中矢印F方向に移動して、ベローズ空間Rの容積rを容積r1(r1>r)に増加させる。
すなわち、合算空間Sの容積sは、容積(q+r)から容積(q+r1)に増える。合算空間Sは密閉された空間であるため、合算空間Sの圧力は、ボイルの法則(圧力と体積の積は一定)に従い負圧となる。合算空間Sが負圧になることによって、パック容器82貯留された機能液Lにかかる圧力も負圧になる。そのため、液滴吐出ヘッド50のノズル52からの機能液Lの漏れは防止される。このように調整された合算空間Sの圧力を圧力P0とする。
このとき、ベローズ86は、底面86bに荷重Wを付加され側面86cの蛇腹部分が伸びて、所定の容積r1および圧力P0を確保して平衡状態で吊り合っている。なお、ベローズ86の側面86cの蛇腹部分は可動余地を有している。
その後、制御装置16から送信されるヘッド駆動信号によって液滴吐出ヘッド50が駆動され、液滴吐出ヘッド50から機能液Lが液滴として吐出される。その結果、ワークBに所望のパターンが描画される。
この吐出作業において、パック容器82から機能液Lが液滴吐出ヘッド50に供給される。その結果、パック容器82は、機能液Lが供給されるにともない容積が減少する。パック容器82の容積が減少すると、密閉容器84とパック容器82との間の密閉容器空間Qの容積qが容積q1(q1>q)に増えようとする。密閉容器空間Qの容積qが増えると、合算空間Sの容積sも増えてしまう。合算空間Sは密閉された空間であるため、合算空間Sの圧力は、ボイルの法則に従い圧力P0より低下しようとする。
このとき、図5(c)に示すように、密閉容器84は、ベローズ86に連通されており、ベローズ86は、合算空間Sの容積sおよび圧力P0で平衡状態となっている。そのため、ベローズ86は、合算空間Sの容積sが容積(q1−q)分増加しようとするのに抗して、側面86cの蛇腹部分を図中矢印G方向に収縮させ合算空間Sの容積sを確保するように機能する。つまり、ベローズ空間Rの容積r1は、容積r2(r1>r2)に減ずる。その結果、密閉容器空間Qの容積qの増加分(容積q1−q)と、ベローズ空間Rの容積rの減少分(容積r1−r2)とは互いに相殺される。従って、合算空間Sの容積sを確保しつつ、圧力P0を維持できる。このベローズ86の動作は、パック容器82から機能液Lが液滴吐出ヘッド50に供給され、パック容器82の容積が減少するにともない連続的に行われる。
なお、合算空間Sの圧力P0は、密閉容器84に設けられた圧力センサー90で定期的に測定され、測定データが制御装置16に送信され管理される。また、パック容器82の重量は、パック容器82の下部に設けられた重量測定装置92により定期的に測定され、測定データが制御装置16に送信され管理される。パック容器82の重量が所定の重量以下になったとき、制御装置16により、図示しない表示部にパック容器82の交換を促す表示が表示され、空のパック容器82が密閉容器84から取り除かれ、新たなパック容器82が密閉容器84の保持部に取り付けられる。
なお、ベローズ86の容積r、側面86cの蛇腹構造の可動長および可動に要する力、底面86bに負荷する荷重Wは、合算空間Sの圧力P0、密閉容器空間Qの容積qの変動範囲などの条件により適宜設定される。
以下、実施形態の効果を記載する。
(1)液状体供給装置80は、パック容器82を収容する密閉容器84と連通するベローズ86を備えている。負荷手段88によりベローズ86の底面86bに荷重Wを負荷し、ベローズ空間Rの容積rを増加させることにより、密閉容器84内の圧力を負圧状態にすることができる。そのため、パック容器82に貯留される機能液Lにかかる圧力を適正にすることができ、液滴吐出ヘッド50とパック容器82との水頭差による液滴吐出ヘッド50の機能液Lの流れ出しを防止することができる。また、機能液Lにかかる圧力を適正にすることによって、液滴吐出ヘッド50の吐出を安定させることができる。さらに負圧制御においても、真空ポンプや真空ポンプを動作および制御する制御手段が不要になり、装置をシンプルかつ小型化することができる。
(2)液状体供給装置80は、側面86cが蛇腹構造になっている容積調整可能なベローズ86を有している。液滴吐出ヘッド50からの機能液Lの吐出にともなってパック容器82の容積が減少して密閉容器空間Qの容積qが増えようとすることを、ベローズ86は、側面86cの蛇腹構造を自動で収縮させることにより一定容積に保つことができる。そのため、密閉容器84内の圧力を適正な圧力P0に保つことができる。従って、パック容器82にかかる圧力変動を低減させ、液滴吐出ヘッド50に供給される機能液Lにかかる圧力変動を低減させることができる。
(3)また、圧力調整手段としてのベローズ86は、自ら、密閉容器84内の容積変動を検知して自らの容積を調整させ圧力を一定に保つことができる。そのため、パック容器82の機能液Lの残量を検出する検出手段、負圧状態を調節するためのレギュレータなどの調節手段、およびこれらを制御する制御手段が不要になり、装置をシンプルかつ小型化することができる。
(第2実施形態)
ここで、第2実施形態における液状体吐出装置を、図6および図7を参照して説明する。図6は、第2実施形態における液状体供給装置の構造を示す概略図であり、図7は、第2実施形態にかかる液状体供給装置の供給動作を説明する図である。なお、第1実施形態と同様な構成および内容については、符号を等しくし説明を省略する。
ここで、第2実施形態における液状体吐出装置を、図6および図7を参照して説明する。図6は、第2実施形態における液状体供給装置の構造を示す概略図であり、図7は、第2実施形態にかかる液状体供給装置の供給動作を説明する図である。なお、第1実施形態と同様な構成および内容については、符号を等しくし説明を省略する。
上述の第1実施形態では、圧力調整手段としてベローズを用いた場合を例にとり説明したが、これに限定されない。いわゆるシリンダーを用いて機能液にかかる圧力変動を低減させてもよい。図6に示すように、液状体供給装置80Aは、圧力調整手段として、シリンダー120とピストン122とを備えている。シリンダー120は、1面が開放された円筒形状に形成され、第1の面としての上面120aは、連通チューブ94を介して密閉容器84と連結されている。シリンダー120の開放された底面側には、円板状のピストン122が嵌合されている。ピストン122は、外周部に図示しないピストンリングが取り付けられシリンダー120内の空間を気密に保ちつつ、図6中矢印E方向に摺動可能となっている。なお、ピストン122は第2の面に対応する。
ピストン122には、負荷手段88Aが設けられており、ピストン122に所定の荷重が負荷される。ピストン122に負荷する荷重は、例えば、錘などが適用され得る。荷重が負荷されることによって、シリンダー120の円筒とピストン122とに囲まれた空間が構成される。以降の説明では、このシリンダー120内の空間をシリンダー空間Tといい、シリンダー空間Tの容積を容積tと表す。
ここで、第2実施形態にかかる液状体供給装置80Aの液状体の供給動作について、図7を参照して説明する。図7(a)に示すように、液状体吐出作業を開始するため、液状体供給装置80Aの密閉容器84内の保持部に機能液Lがフル充填された新たなパック容器82を取り付ける。
次いで、液滴吐出ヘッド50のノズル52のメニスカスを適正化してノズル52からの機能液Lの漏れ防止や安定吐出を確保するために、機能液Lにかかる圧力を調整する。
具体的には、図7(b)に示すように、ピストン122に負荷手段88Aとしての錘を用い荷重Wを負荷させる。荷重Wが負荷されることによって、ピストン122は図7(b)中矢印F方向に移動して、シリンダー空間Tの容積tを容積t1(t1>t)に増加させる。
具体的には、図7(b)に示すように、ピストン122に負荷手段88Aとしての錘を用い荷重Wを負荷させる。荷重Wが負荷されることによって、ピストン122は図7(b)中矢印F方向に移動して、シリンダー空間Tの容積tを容積t1(t1>t)に増加させる。
すなわち、合算空間Sの容積sは、容積(q+t)から容積(q+t1)に増える。合算空間Sは密閉された空間であるため、合算空間Sの圧力は、ボイルの法則(圧力と体積の積は一定)に従い負圧となる。合算空間Sが負圧になることによって、パック容器82貯留された機能液Lにかかる圧力も負圧になる。そのため、液滴吐出ヘッド50のノズル52からの機能液Lの漏れは防止される。このように調整された合算空間Sの圧力を圧力P0とする。このとき、シリンダー120とピストン122とは、荷重Wを負荷され所定の容積t1および圧力P0を確保して平衡状態で吊り合っている。
その後、制御装置16から送信されるヘッド駆動信号によって液滴吐出ヘッド50が駆動され、液滴吐出ヘッド50から機能液Lが液滴として吐出される。その結果、ワークBに所望のパターンが描画される。この吐出作業において、パック容器82から機能液Lが液滴吐出ヘッド50に供給される。その結果、パック容器82は、機能液Lが供給されるにともない容積が減少する。パック容器82の容積が減少すると、密閉容器84とパック容器82との間の密閉容器空間Qの容積qが容積q1(q1>q)に増えようとする。密閉容器空間Qの容積qが増えると、合算空間Sの容積sも増えてしまう。合算空間Sは密閉された空間であるため、合算空間Sの圧力は、ボイルの法則に従い圧力P0より低下しようとする。
このとき、図7(c)に示すように、密閉容器84は、シリンダー120に連通しており、シリンダー120とピストン122とは、合算空間Sの容積sおよび圧力P0で平衡状態となっている。そのため、ピストン122は、合算空間Sの容積sが容積(q1−q)分増加しようとするのに抗して、シリンダー120の内壁に沿って図中矢印G方向に摺動し合算空間Sの容積sを確保するように機能する。つまり、シリンダー空間Tの容積t1は、容積t2(t1>t2)に減ずる。その結果、密閉容器空間Qの容積qの増加分(容積q1−q)と、シリンダー空間Tの容積tの減少分(容積t1−t2)とは互いに相殺される。従って、合算空間Sの容積sを確保しつつ、圧力P0を維持できる。このシリンダー120およびピストン122の動作は、パック容器82から機能液Lが液滴吐出ヘッド50に供給され、パック容器82の容積が減少するにともない連続的に行われる。
この液状体供給装置80Aにおいても、液滴吐出ヘッド50からの機能液Lの吐出にともなってパック容器82の容積が減少して密閉容器空間Qの容積qが増え合算空間Sの容積sが増加することを、シリンダー120内部をピストン122が摺動することにより一定容積に保つことができる。そのため、密閉容器84内の圧力を所望の圧力P0に保つことができる。すなわち、機能液Lの消費にともなうパック容器82にかかる圧力変動を低減させることができる。その結果、機能液Lにかかる圧力変動を低減させ、機能液の安定吐出を実現できる。
以上、実施形態について説明したが、上述の実施形態に対しては、趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。例えば上記実施形態以外の変形例は、以下の通りである。なお、実施形態と同様な構成および内容については、符号を等しくし説明を省略する。
(変形例)
上述の実施形態では、密閉容器内に新たなパック容器が取り付けられたとき、ベローズを用いて所望の初期圧力に調整する場合を例にとり説明したが、これに限定されない。真空ポンプを用いて機能液にかかる初期圧力を調整してもよい。変形例を説明する図である図8に示すように、液状体供給装置80Bは、真空ポンプ110、圧力チューブ112およびバルブ114を備えている。真空ポンプ110は、圧力チューブ112を介して密閉容器84に接続されている。圧力チューブ112の中間にはバルブ114が設けられている。真空ポンプ110およびバルブ114は、制御装置16により制御される。
上述の実施形態では、密閉容器内に新たなパック容器が取り付けられたとき、ベローズを用いて所望の初期圧力に調整する場合を例にとり説明したが、これに限定されない。真空ポンプを用いて機能液にかかる初期圧力を調整してもよい。変形例を説明する図である図8に示すように、液状体供給装置80Bは、真空ポンプ110、圧力チューブ112およびバルブ114を備えている。真空ポンプ110は、圧力チューブ112を介して密閉容器84に接続されている。圧力チューブ112の中間にはバルブ114が設けられている。真空ポンプ110およびバルブ114は、制御装置16により制御される。
この液状体供給装置80Bは、密閉容器84内の保持部に新たなパック容器82が取り付けられたとき、真空ポンプ110を用いて機能液Lにかかる圧力を調整する。具体的には、制御装置16からの駆動信号に従い真空ポンプ110を駆動させ、圧力チューブ112を介して密閉容器空間Qの空気を引いて密閉容器84内の圧力を負圧にする。このとき、ベローズ86は、真空ポンプ110の空気吸引力に抗してベローズ空間Rの容積rが確保できるように、負荷手段88によって所定の荷重が負荷される。そのため、合算空間Sの容積sを確保しつつ、合算空間Sの圧力を負圧にすることができる。
合算空間Sの圧力は、密閉容器84内の圧力センサー90により測定され制御装置16に送信される。合算空間Sの圧力が所望の圧力P0になったとき、制御装置16から指令が送られ、バルブ114が閉じられるとともに真空ポンプ110の駆動が停止される。このようにして、合算空間Sの圧力を所望の圧力P0に調整することができる。
この液状体供給装置80Bにおいても、液滴吐出ヘッド50からの機能液Lの吐出にともなってパック容器82の容積が減少して密閉容器空間Qの容積qが増え合算空間Sの容積sが増加することを、ベローズ86の蛇腹構造を自動で収縮させることにより一定容積に保つことができる。そのため、密閉容器84内の圧力を所望の圧力P0に保つことができる。すなわち、機能液Lの消費にともなうパック容器82にかかる圧力変動を低減させることができる。その結果、機能液Lにかかる圧力変動を低減させ、機能液の安定吐出を実現できる。
また、上述の実施形態では、負荷手段として錘を負荷する場合を例にとり説明したがこれに限定されない、負荷手段として、引っ張り方向にクリアランスを有する引っ張り機構、例えば、ジャッキ機構などを用いてもよい。
10…テーブル、15…キャリッジ、16…制御装置、20…キャリッジ移動機構、30…第1のテーブル移動機構、40…第2のテーブル移動機構、50…液滴吐出ヘッド、52…ノズル、80…液状体供給装置、82…容積可変容器としての袋状容器であるパック容器、84…密閉容器、86…圧力調整手段としてのベローズ、88…負荷手段、94…連通チューブ、96…供給チューブ、100…液状体吐出装置、120…シリンダー、122…ピストン、B…ワーク、L…液状体としての機能液、Q…密閉容器空間、R…ベローズ空間、S…合算空間、T…シリンダー空間、q,r,t…容積。
Claims (7)
- 液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドに前記液状体を供給する液状体供給装置であって、
前記液滴吐出ヘッドに連通するとともに、前記液状体を貯留する容積可変容器と、
前記容積可変容器を密閉状態で収容する密閉容器と、
前記密閉容器に連通する容積調整可能な空間を有する圧力調整手段と、を備えたことを特徴とする液状体供給装置。 - 前記容積可変容器は、袋状容器であることを特徴とする請求項1に記載の液状体供給装置。
- 前記圧力調整手段は、前記密閉容器と連通する第1の面と、
前記第1の面に対向する第2の面と、
前記第1の面と前記第2の面とを連結して内部に空間を形成する側壁部と、を備え、
前記第1の面および前記第2の面の少なくともどちらか一方は、前記第1の面と前記第2の面との対向方向に移動自在に設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の液状体供給装置。 - 前記側壁部は、前記第1の面と前記第2の面との対向方向に伸縮自在な蛇腹構造に形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の液状体供給装置。
- 前記圧力調整手段は、当該圧力調整手段の空間の容積を拡張することによって前記密閉容器内を負圧状態に保ち、
前記液滴吐出ヘッドの前記液状体の吐出にともなって減少する前記容積可変容器の容積を補完するように、当該圧力調整手段の空間の容積を調整することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の液状体供給装置。 - 前記第2の面に対して、前記第1の面と前記第2の面との対向方向に荷重をかける負荷手段を備えたことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の液状体供給装置。
- 液状体を吐出する液滴吐出ヘッドと、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の液状体供給装置と、を備えたことを特徴とする液状体吐出装置。
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JP2008035634A JP2009189997A (ja) | 2008-02-18 | 2008-02-18 | 液状体供給装置および液状体吐出装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2010179225A (ja) * | 2009-02-04 | 2010-08-19 | Toray Eng Co Ltd | 塗布装置 |
JP2013028105A (ja) * | 2011-07-29 | 2013-02-07 | Canon Inc | インクジェット装置 |
CN112440582A (zh) * | 2019-08-29 | 2021-03-05 | 精工爱普生株式会社 | 液体喷出装置 |
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-
2008
- 2008-02-18 JP JP2008035634A patent/JP2009189997A/ja not_active Withdrawn
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