JP2008230196A - 弁装置、流体供給装置及び流体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】弁装置の開弁時に弁体がエンド位置まで移動した場合であっても、その開弁により流体供給室から圧力室へ流入した流体が、開弁に伴って収縮した第二弾性体に塞がれてその流路が確保されなくなることを防止できる弁装置などを提供する。
【解決手段】バルブユニット２１において、シールバネ５９により圧力室４３側へ付勢された弁体５７の軸部５７ｂは、インク供給室５６と圧力室４３とを区画する隔壁５１に形成された弁孔５２を貫通し、ダイアフラム４２ａの内面に固着された受圧部材６５に当接している。また、受圧部材６５は圧力室４３内に配設された負圧保持バネ６６により閉弁方向へ付勢されている。インクの消費に伴い圧力室４３が減圧すると、受圧部材６５が負圧保持バネ６６を収縮させつつ弁体５７を開弁方向へ押すことで開弁する。負圧保持バネ６６が接触する部分には、負圧保持バネ６６の内側と外側とを連通可能な長溝６８が形成されている。
【選択図】図５

Description

本発明は、ダイアフラムを備えるとともにダイアフラムの両側の圧力差（差圧）に基づき開閉する弁装置、流体供給装置及び流体噴射装置に関する。

従来、この種の弁装置として、例えば特許文献１には、背圧調整器が開示されており、その背圧調整器はダイアフラムとダイアフラム・ピストンとレバーと、弁座と、ノズルを備えていた。そして、プリントヘッドにおける背圧が所定値よりも下がると、ダイアフラム・ピストンにカが加えられ、レバーが回転する。そして、このレバーの回転によりレバーに備えられている弁座がノズルから離れ、インクがプリントヘッドへ流入するようになっていた。従って、プリントヘッドには、供給チューブにおける圧力変動にかかわらず、背圧調整器によってインクが均一な圧力で供給されるようになり、印刷品質を向上させることができる。

しかし、上記の背圧調整器は、ダイアフラムと弁座との間に複数の部品が介在されているため、構成が複雑になって小型化が難しいうえ、動力伝達のロスが生じやすいという問題があった。

この問題を解消できる構成として、例えば特許文献２に記載された弁装置が知られている。すなわち、特許文献２に記載された弁装置は、インクジエット式プリンタにおけるキャリッジ側に設けられたインク供給用のバルブユニットであり、インクジエット式プリンタの本体側に配置されたインクカートリッジからのインクを圧力調整して記録ヘッドに供給するもので、また自己封止機能を有していた。このバルブユニットはインク供給室と圧力室を備え、前記インクカートリッジから供給されたインクは、インク供給室から圧力室を経て記録ヘッドに供給されるようになっている。インク供給室と圧力室との間には圧力室側（閉弁方向）へバネで付勢された弁体としての可動バルブが設けられており、この可動バルブの開閉によってインク供給室と圧力室とが連通／非連通となるように構成されている。記録ヘッドのインク吐出に伴う圧力室内部のインク量が減少することによって圧力室の一部を構成するフィルム部材（ダイアフラム）に設けられた受圧板が変位し、その変位を可動バルブに対して直接伝達することによって可動バルブを動作させるように構成されていた。

また、インク供給室内に可動バルブを閉弁方向へ付勢するシールバネが設けられている他、圧力室内に受圧板を閉弁方向へ付勢する負圧保持バネが設けられていた。インクは負圧保持バネ６６の隙間を通って圧力室内へ流れ込む構成であったので、負圧保持バネ６６が収縮して密着してしまうと、インクの流路が塞がれてインクの供給が行われなくなることが心配された。これを回避するため、シールバネが収縮し切った密着長さＬ１と、このときの負圧保持バネの収縮長さＬ２が、Ｌ１＜Ｌ２となるように構成し、可動バルブが開弁方向へシールバネが密着するまで最大限に移動しても、負圧保持バネ６６が密着することがないように構成されていた。
特開平９−１１４８８号公報 特開２００４−１４２４０５号公報（例えば段落［０１８３］〜［０２１３］、図２５〜図２７等）

しかしながら、特許文献２に記載されたバルブユニットでは、シールバネの密着長さＬ１と、負圧保持バネの収縮長さＬ２が、Ｌ１＜Ｌ２の関係を満たすように構成されていたが、負圧保持バネ６６が収縮し切ってインクの流路が塞がれる場合があった。すなわち、使用するバネの仕様、インク供給圧室や圧力室の深さの仕様、部品バラツキ等によって、クリーニング時などに圧力室に大きな負圧が発生して弁体が開弁方向へ移動したときに、シールバネよりも先に負圧保持バネが収縮し切ってしまったり、負圧保持バネの隙間が極端に狭くなったりするバブルユニットが製品中に存在する場合があった。その場合、インク供給室から圧力室側へ流入したインクが、負圧保持バネに塞がれたり、負圧保持バネの極端に狭くなった隙間によりインクが絞られたりして、インクの供給が困難になるという問題があった。

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、弁装置の開弁時に弁体がエンド位置まで移動した場合であっても、その開弁により流体供給室から圧力室へ流入した流体が、開弁に伴って収縮した第二弾性体に塞がれてその流路が確保されなくなることを防止できる弁装置、流体供給装置及び液体噴射装置を提供することにある。

本発明は、流体供給源から流体噴射手段に流体を供給する流路の途中に設けられる弁装置であって、前記流路と上流側で連通する流体供給室と、前記流路と下流側で連通する圧力室とが弁孔を通じて連通状態に区画形成された基材と、前記圧力室の壁面の一部を構成して該圧力室の内外の圧力差によって撓み変形可能なダイアフラムと、前記ダイアフラムに設けられた受圧部材と、前記弁孔を開閉する弁体と、前記弁体を閉弁方向へ付勢する第一弾性体と、前記弁体の移動方向に伸縮可能でかつ前記弁孔を囲むように一端部が前記基材に接触する状態で前記受圧部材を前記閉弁方向へ付勢する第二弾性体とを備え、前記圧力室内の流体の減量による減圧に基づき前記受圧部材が前記第二弾性体を収縮させつつ前記弁体を開弁方向へ変位させることで開弁し、該開弁による前記圧力室内の流体の増圧に基づき前記第一弾性体及び前記第二弾性体の両付勢力が前記受圧部材の開弁方向の力に打ち勝って前記弁体が閉弁方向へ変位することで閉弁する構成であり、前記弁体が開弁方向へ最大限移動した開弁状態であっても、前記弁孔を通じて前記第二弾性体の内側へ流入した流体を該内側から外側へ流出させる流路を、前記第一及び第二弾性体の収縮し切るまでの残り収縮量がどちらが多いか否かにかかわらず確保する流路確保手段を更に備えたことを要旨とする。

これによれば、例えば流体が消費されて圧力室の流体が大きく減圧して、受圧部材が開弁方向へ第二弾性体を収縮させつつ弁体を開弁方向へ最大限移動させ、第二弾性体が比較的大きく収縮しても、流路確保手段により、流体供給室から圧力室内の第二弾性体の内側へ流入した流体がその外側の圧力室内へ流れ込む流路が確保される。よって、弁孔から流入した流体は、第二弾性体の内側から流路を通って圧力室内へ流れ込み、流体が円滑に供給される。よって、弁装置の開弁時に流体の供給が滞ることを防止できる。

また、本発明の弁装置では、前記流路確保手段は、前記基材における前記第二弾性体の一端部が接触する部分に、前記第二弾性体の内側と外側とを連通するように形成された溝又は孔であることが好ましい。

これによれば、第二弾性体が収縮し切って隙間が無くなっても、弁孔を通じて流入した流体は第二弾性体の内側から流路としての溝又は孔を通って圧力室内へ流れ込む。よって、弁装置の開弁時に流体の供給が滞ることを、簡単な構成で防止できる。

本発明の弁装置では、前記流路確保手段は、前記第二弾性体が収縮し切る前の位置で前記弁体の開弁方向への移動を規制する規制手段であることが好ましい。
これによれば、第二弾性体が収縮し切る前に、弁体は規制手段によって開弁方向への移動が規制されてエンド位置に達する。このため、弁装置の開弁時に第二弾性体が収縮し切ることが回避される。

本発明の弁装置では、前記規制手段は、前記基材と前記受圧部材とのうち少なくとも一方に設けられた突出部であって、該突出部が前記基材と前記受圧部材のうち該突出部が設けられた側と反対側のものに当接することで、前記弁体の開弁方向への移動を規制することが好ましい。

これによれば、受圧部材が開弁方向へ移動する途中で、受圧部材と基材との間で両者のうち少なくとも一方に設けられた突出部が相手側に当接して受圧部材の開弁方向への移動が規制される。このため、第二弾性体が収縮し切ることが回避される。

本発明の弁装置では、前記少なくとも一方の前記突出部は筒状をなし、筒の内外を連通する凹部又は孔を有することが好ましい。これによれば、突出部が筒状に形成されていても、凹部又は孔の存在により、筒状の突出部が流体の流出を阻害することを回避できる。

本発明の弁装置では、前記規制手段は、前記開弁方向へ変位する前記弁体を、前記第二弾性体が収縮し切る前に、前記基材に当接させることが好ましい。
これによれば、開弁方向へ変位する弁体は、規制手段によって第二弾性体が収縮し切る前の位置で基材に当接する。第二弾性体が収縮し切ることが回避されるので、第二弾性体の内側から外側への流出が可能である。

本発明は、流体供給装置であって、流体供給源と、流体を噴射する流体噴射手段と、流体供給源の流体を流体噴射手段へ供給するための流路上に設けられた上記発明の弁装置とを備えたことを要旨とする。これによれば、流体供給装置により、上記発明と同様の効果を得ることができる。

本発明は、流体噴射装置であって、上記発明の流体供給装置を備えることを要旨とする。この流体噴射装置によれば、上記発明の流体供給装置と同様の効果が得られる。

（第一実施形態）
以下、本発明を具体化した第一実施形態を図１〜図５に従って説明する。
図１は、外装ケースを取り外した状態のインクジェット式記録装置の平面図を示す。

流体噴射装置としてのインクジェット式記録装置（以下、単にプリンタ１１という）は、上側（図１では紙面手前側）が開口する略直方体形状の箱体からなる本体ケース１２を有する。本体ケース１２内には、プラテン１３が主走査方向（図１における左右方向）に沿って延びるように配置され、ターゲットとしての記録媒体（図示しない）は、プラテン１３に支持された状態で、紙送り手段（図示しない）により副走査方向（図１における上下方向）に搬送される。

また、本体ケース１２内においてプラテン１３と平行に延びるように架設されたガイド軸１４には、キャリッジ１５が軸方向に沿って往復移動可能な状態に支持されている。キャリッジ１５は、本体ケース１２の後部（図１における上側部分）内面上に軸支された一対のプーリ１６ａ，１６ｂに巻き掛けられたタイミングベルト１７に背面側（図１では上側）にて固定されている。図１において、本体ケース１２の背面右寄りに配設されたキャリッジモータ１８が正逆転駆動されることによりタイミングベルト１７を介してキャリッジ１５は主走査方向に沿って往復移動する。

キャリッジ１５の下部には、流体としてのインクを噴射する流体噴射手段としての記録ヘッド２０が設けられている。また、キャリッジ１５上には、複数の圧力調整用のバルブユニット２１が搭載されている。各バルブユニット２１により、それぞれブラック、イエロー、マゼンタ及びシアンの各インクが圧力調整（減圧）されて記録ヘッド２０へ供給される。印刷時は、画像データに基づいて、キャリッジ１５を主走査方向（図１における左右方向）に移動させながら記録ヘッド２０のノズルからインクを吐出させる印字動作と、図示しない紙送り手段によって記録媒体（記録用紙）を副走査方向に移動させる紙送り動作とを交互に行うことにより、記録媒体に印刷が施される。

本体ケース１２の一端部（図１における右端部）に設けられたカートリッジホルダ２４には、インク色に対応した４個の流体供給源（流体貯留手段）としてのインクカートリッジ２３が着脱可能に装填されている。各インクカートリッジ２３はカートリッジホルダ２４を介してそれぞれインク供給チューブ３５を通じて各バルブユニット２１に接続されている。

図１に示すように、装填されたインクカートリッジ２３の上側には、本体ケース１２に支持された加圧ポンプ２５が配置されている。加圧ポンプ２５は、吸引した大気（空気）を加圧空気として排出することが可能であり、その排出された加圧空気は、加圧チューブ３７を通じて圧力検出器３６を経て大気開放弁３８に供給される。

圧力検出器３６では、加圧ポンプ２５から供給された空気の圧力が検出される。そして、圧力検出器３６の検出圧に基づいて、加圧ポンプ２５の駆動が制御される。大気開放弁３８は、４本の空気供給チューブ３９を通じてカートリッジホルダ２４に接続されており、インクカートリッジ２３内に加圧空気が導入される。なお、大気開放弁３８は、内部の室が大気に開放された開弁状態と、該室と大気との連通を遮断する閉弁状態とに切り換えられる弁であり、加圧ポンプ２５が駆動されるときには閉弁される。

図２は、記録装置におけるインク供給システムの基本構成を示したものである。ここで、図２に示したインク供給システムは、空気加圧供給タイプを示している。なお、図２では、１色分のインク供給システムのみを示している。

加圧ポンプ２５は、電動モータ２５ａとポンプ２５ｂとを備える。ポンプ２５ｂの吐出口とインクカートリッジ２３とを接続する加圧チューブ３７の途中には、前述の圧力検出器３６と大気開放弁３８が直列に設けられている。

インクカートリッジ２３は、気密状態に形成された外郭ケース２３ａを有し、この外郭ケース２３ａ内に、インクが封入されたインクパック２３ｂが収容されている。インクカートリッジ２３が装填された状態では、外郭ケース２３ａとインクパック２３ｂとの間の隙間からなる空気室３４と加圧チューブ３７が連通するように構成され、加圧ポンプ２５から送られた加圧空気は、加圧チューブ３７を通じて空気室３４へ導入される。

また、図２に示すように、インクカートリッジ２３が装填された状態では、インクパック２３ｂのインク導出部２３ｃがインク供給チューブ３５と接続されるように構成されている。空気室３４に導入された加圧空気によって外側から加圧されることで、インクパック２３ｂから加圧インクがインク供給チューブ３５を通じてバルブユニット２１に供給される。そして、加圧インクは、バルブユニット２１内で、大気圧より若干低い所定の作動圧（負圧）に減圧され、その作動圧のインクが記録ヘッド２０に供給される。記録ヘッド２０はノズル毎にインク室と吐出駆動素子（いずれも図示せず）とを内蔵し、吐出駆動素子が駆動されて吐出力がインク室内のインクに及ぶことで、ノズルからインク滴が吐出される。なお、インク吐出方式は、吐出駆動素子として圧電振動素子を用いて発生させた振動によりインク室内のインクを膨張・圧縮させてインク滴を吐出させる圧電方式や、静電駆動素子を用いてインク室内のインクを膨張・圧縮させてインク滴を吐出させる静電方式を採用できる。さらにノズル内のインクをヒータで加熱して発生した気泡を利用してインク滴を噴射させるサーマル方式なども採用できる。また、インク供給システムは、水頭差によりインクカートリッジ２３からインクを供給する水頭差タイプのものも採用できる。なお、インク供給システムが流体供給装置を構成する。

図３は、バルブユニット２１及び記録ヘッド２０を示す斜視図である。
図３に示すように、４つのバルブユニット２１は、記録ヘッド２０を下部に支持するヘッド支持体４６（キャリッジ１５の一部を構成する）の上部にそれぞれ搭載されている。バルブユニット２１は、偏平形状を有する合成樹脂製の基材としてのフレーム４０を有し、その一端部に設けられた接続管部４１にインク供給チューブ３５が接続される。フレーム４０の一側面には可撓性のフィルム部材４２が熱溶着されており、バルブユニット２１の内部には、フィルム部材４２で壁面の一部を構成するように圧力室４３及びインク導出路４４が区画形成されている。

フィルム部材４２には、負圧状態を効率的に感知できるように軟質であると共に、インクに化学的な影響を及ぼさず、かつ水分透過度や、酸素や窒素等のガス透過度の低い材質が使用される。例えば高密度ポリエチレンフィルムあるいはポリプロピレン（ＰＰ）フィルムに、塩化ビニリデン（サラン）をコーティングしたナイロンフィルムを接着ラミネートした構成が挙げられる。また、その他の材料として、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）などを使用してもよい。またフィルム部材４２の固着方法は、熱溶着以外に、振動溶着や接着剤を用いた固着方法も採用できる。

圧力室４３は、バルブユニット２１内で減圧されたインクの貯留室であり、減圧された作動圧のインクは圧力室４３からインク導出路４４を通じて、バルブユニット２１の図３における右端下側から下方へ突出する略円筒状の接続部４５に導出される。ヘッド支持体４６の上部には円環状の被接続部４７が複数（本例では４つ）設けられ、バルブユニット２１は、インク色の対応する接続部４５と被接続部４７とが接続された状態で、ヘッド支持体４６に取り付けられている。バルブユニット２１で減圧されたインクは、接続部４５と被接続部４７との接続を介してヘッド支持体４６内のインク流路（図示せず）に送られ、このインク流路から記録ヘッド２０内のインク流路を通ってノズル毎のインク室に供給される。なお、インク供給チューブ３５とヘッド支持体４６内のインク流路とにより、流体供給源と流体噴射手段とを接続する流路が構成される。

フィルム部材４２のうち圧力室４３の壁面の一部を構成する部分によりダイアフラム４２ａが構成される。バルブユニット２１は、弁装置として、ダイアフラム４２ａを有する差圧式の圧力調整弁２１Ａ（減圧弁）を内蔵する。

＜バルブユニット＞
次に、バルブユニット２１の詳細な構成を、図４及び図５に従って説明する。図４は、圧力室の内面を示す側面図である。また、図５は、バルブユニット２１の図３におけるＡ−Ａ線断面を示しており、同図（ａ）は閉弁状態、同図（ｂ）は開弁状態をそれぞれ示す。なお、バルブユニット２１の図５における左側の側面を左側面とし、図５における右側の側面を右側面と呼ぶことにする。

図５に示すように、基材としてのフレーム４０は、左側面に形成された小容積の円筒状の凹部４０ａと、右側面に、凹部４０ａより大径かつ内側面が外側に向かって拡開する円錐台状で所定深さを有する凹部４０ｂとを有する。両凹部４０ａ，４０ｂは、両者を略区画する隔壁５１の中央部に形成された弁孔５２を通じて互いに連通している。また、フレーム４０の左側面上には凹部４０ａと連通する溝４０ｃが形成され、フレーム４０の右側面上には凹部４０ｂと連通孔４０ｄを通じて連通する溝４０ｅが形成されている。

フレーム４０の左側面には、凹部４０ａに嵌め込まれた蓋体５３の外側面（底面）を含むほぼ面全体に、フィルム部材５４が熱溶着されている。フィルム部材５４と溝４０ｃとに囲まれて区画形成されたインク導入路５５は、その上流側（図５における下側）で接続管部４１（図３参照）と連通し、かつその下流側（図５における上側）で、蓋体５３と凹部４０ａとに囲まれて区画形成された流体供給室としてのインク供給室５６と連通している。一方、圧力室４３は、前述のとおり、フィルム部材４２と凹部４０ｂとで区画され、弁孔５２を通じてインク供給室５６と連通している。

図５に示すように、インク供給室５６（弁室）には、弁体５７が収容されている。弁体５７は、円板形状の板状部５７ａと、板状部５７ａの片面中央から圧力室４３側へ向かって垂直に突出する軸部５７ｂと、板状部５７ａの底面（図５における左面）中央に突出形成された凸部５７ｃと、板状部５７ａに嵌着されたシール部材６０とを有している。シール部材６０は、ゴム又はエラストマよりなり、中央に孔を有するドーム形状を有している。隔壁５１のインク供給室５６側の面には、弁孔５２を囲むように円環状の弁座６１が形成されており、シール部材６０の外周面上には、弁座６１と相対する位置に円環状の凸部６０ａが形成されている。

弁体５７は、軸部５７ｂがその外径より若干大きな内径を有する弁孔５２内に挿通された状態で配置されている。弁体５７と蓋体５３との間には第一弾性体としてのシールバネ５９（コイルバネ）が介装されており、このシールバネ５９の付勢力により、弁体５７は圧力室４３側に付勢されている。シールバネ５９は、蓋体５３の内面中央部に突出した凸部５３ａに一端部が外挿され、弁体５７の凸部５７ｃに他端部が外挿されることで保持されている。

ダイアフラム４２ａの内面中央部には、有底円筒状の受圧部材６５が熱溶着により固着されている。受圧部材６５は、弁体５７とほぼ同軸線上に位置する。圧力室４３内には、第二弾性体（流体圧設定バネ）としての負圧保持バネ６６が、受圧部材６５と隔壁５１との間に介装され、受圧部材６５は負圧保持バネ６６の付勢力により大気側（閉弁方向）へ押圧付勢されている。負圧保持バネ６６として、本実施形態ではコイルバネを用いている。

受圧部材６５は、弁体５７の軸部５７ｂがダイアフラム４２ａに直接当たることを避けるためにダイアフラム４２ａの内面中央部に固着されている。受圧部材６５は、その軸線がダイアフラム４２ａの軸線とも一致する状態に配置されている。

受圧部材６５は、隔壁５１側に向かって垂直に突出する筒状部６５ａを有している。筒状部６５ａは、負圧保持バネ６６の外径（バネ径）より若干大きな内径に形成されており、負圧保持バネ６６の一端部は筒状部６５ａに挿通された状態で保持されている。

また、図４及び図５に示すように、隔壁５１の圧力室４３側の面には、弁孔５２を囲む複数箇所（本例では３箇所）にそれぞれ位置する複数（本例では３個）の突出部４０ｆが垂直に突出している。各突出部４０ｆは、円筒がその周方向複数箇所で、径方向に貫通する凹部としての切欠４０ｇによって複数に分断された各ブロック部により構成される。つまり、各突出部４０ｆは、切欠４０ｇによって互いに分断されるとともに、それぞれの外周面は一つの共通な円筒面の一部をなすような円弧面なしている。また、各突出部４０ｆの内周面は、弁孔５２の内周面と面一な円弧面をなしている。

負圧保持バネ６６は、その一端部が複数の突出部４０ｆに外挿されることで隔壁５１に当接する状態で保持され、その他端部が受圧部材６５の筒状部６５ａに内挿されることで受圧部材６５の内底面に当接する状態で保持されている。

図４に示すように、圧力室４３を構成する凹部４０ｂの内底面４０ｈ上において、その中央部（つまり隔壁５１の中央部）に位置する弁孔５２の周囲には、３本の長溝６８が凹部４０ｂの周方向に等間隔かつ弁孔５２を中心に放射状に延びるように形成されている。長溝６８は、その内周側の一端部が弁孔５２の開口と連接するとともに、突出部４０ｆを分断する切欠４０ｇに相当する部位（切欠４０ｇの底面）を通って、突出部４０ｆの外側へ径方向に所定長さだけ離れた位置まで延びている。つまり、長溝６８は、３個の突出部４０ｆに一端部が外挿された負圧保持バネ６６の内側と外側とを連通しうるように形成されている。このため、図５（ａ）に示す閉弁状態から、図５（ｂ）に示すように弁体５７が開弁方向へエンド位置まで最大限移動した開弁状態において、負圧保持バネ６６が収縮し切ってそのバネ線が隙間の無い状態に密着しても、そのとき弁孔５２から負圧保持バネ６６の内側へ流入したインクは、長溝６８を通って外側の圧力室４３内へ流れ込むことが可能になっている。

プリンタ１１の電源投入状態では、加圧ポンプ２５の駆動による加圧力によりインクカートリッジ２３からインク供給チューブ３５を通じて加圧インクがインク供給室５６内に供給され、インク供給室５６内のインクは、所定インク圧（インク供給圧Ｐis）に加圧された状態にある。インク供給室５６と、弁体５７を隔てて位置する圧力室４３のインク圧Ｐinkは、大気圧より低い所定の負圧（作動圧）に保持されている。

ここで、圧力調整弁２１Ａが開閉するときの力関係について説明する。弁体５７に働く力には、フィルム反力Ｆfilmと、圧力室４３内のインク圧Ｐinkを受けて受圧部材６５とダイアフラム４２ａに働く力Fi-aと、シールバネ５９の付勢力Ｆsp1と、負圧保持バネ６６の付勢力Ｆsp2と、インク供給圧Ｐisを受けて弁体５７に働く力Ｆs-aとがある。インク供給圧Ｐis、圧力室４３内のインク圧Ｐinkは、共に大気圧との差圧である。

ここで、フィルム反力Ｆfilmとは、撓み変形したダイアフラム４２ａが元の形状に復元しようとする力である。ダイアフラム４２ａの変形量（撓み量）が大きいほど、フィルム反力Ｆfilmは大きくなる。フィルム反力Ｆfilmは受圧部材６５を介して軸部５７ｂ（弁体５７）に伝達される。

圧力室４３内のインク圧Ｐinkを受けて受圧部材６５とダイアフラム４２ａに働く力Ｆi-aとは、インク圧Ｐinkを受ける受圧部材６５とダイアフラム４２ａとの受圧面積Ｓ２とインク圧Ｐinkとの積で表される。本実施形態の場合、インク圧Ｐinkを受ける受圧面積Ｓ２は、受圧部材６５の直径D１と、圧力室４３の直径D２との和の１／２（＝（D１＋D２）／２）を直径D３とする円の面積に等しい。記録ヘッド２０でインクが消費されて圧力室４３のインクが減少すると、インク圧Ｐinkと大気圧との差圧が大きくなり、力Ｆi-aは大きくなる。この受圧部材６５とダイアフラム４２ａに働く力Ｆi-aは、軸部５７ｂを介して弁体５７に開弁方向の力として働く。

シールバネ５９の付勢力Ｆsp1とは、シールバネ５９が弁体５７を閉弁方向に付勢する力である。弁体５７がシールバネ５９から受ける付勢力Ｆsp1は、シールバネ５９の圧縮量に応じて決まる。

また、負圧保持バネ６６の付勢力Ｆsp2とは、負圧保持バネ６６が受圧部材６５を大気側（閉弁方向）へ押圧する力である。この付勢力Ｆsp2は、受圧部材６５に働く力Ｆi-aと反対向きの力を受圧部材６５に与えるので、受圧部材６５を弁体５７が開弁位置に達するまで変位させるためには、負圧保持バネ６６の付勢力Ｆsp2に相当する分だけ、圧力室４３をより低いインク圧まで減圧させる必要がある。つまり、負圧保持バネ６６は、開弁に要する圧力室４３のインク圧Ｐinkを低く設定して作動圧を所定の負圧に保持する機能を有する。また、作動圧を設定するためのバネをシールバネ５９と負圧保持バネ６６とに分けて、それぞれを別々の室４３，５６に収容することで、バネをインク供給室５６のみに収容する構成に比べ、バルブユニット２１の薄型化が図られている。

なお、圧力室４３のインク圧Ｐink（作動圧）を負圧に設定するのは、記録ヘッド２０のノズルからインクがその自重や毛管現象で漏出しないようにするためである。また、吐出駆動素子の駆動によってノズルから噴射されるインク滴の質量（体積）がほぼ一定に保たれるように、インク圧Ｐinkは略一定の作動圧に保たれる必要があるためである。圧力室４３が所定の作動圧（負圧）に設定されるように、シールバネ５９及び負圧保持バネ６６の各バネ定数などが選択されている。

インク供給圧Ｐisを受けて弁体５７に働く力Ｆs-aとは、インク供給圧Ｐisを受ける弁体５７の受圧面積Ｓ１とインク供給圧Ｐisとの積で表される。本実施形態の場合、弁体５７がインク供給圧Ｐisを受ける受圧面積Ｓ１は、シール部材６０の凸部６０ａの内側領域の面積に等しい。

このため、弁体５７に働く力は、閉弁方向の力が、シールバネ５９の付勢力Ｆsp１、負圧保持バネ６６の付勢力Ｆsp2、インク供給圧Ｐisを受けて弁体５７に働く力Ｆs-a、フィルム反力Ｆfilmであり、開弁方向の力が、圧力室内のインク圧Ｐinkを受けて受圧部材６５とダイアフラム４２ａに働く力Fi-aである。そして、開弁方向の力の総和が、閉弁方向の力の総和に勝るときに、弁体５７は開弁方向に移動する。よって、以下の条件式を満たすときに、弁体５７は開弁方向へ変位する。
Ｆsp１＋Ｆsp2＋Ｆs-a＋Ｆfilm＜Ｆi-a …(1)
上記(1)式の条件が成立して、弁体５７が開弁方向に移動すると、バネ５９，６６が弁体５７の移動量分だけそれぞれ圧縮され、またダイアフラム４２ａがさらに内側へ撓むため、Ｆsp１とＦsp2とＦfilmが共に増加する。よって、開弁方向の力の総和と閉弁方向の力の総和とが均衡した位置で、弁体５７は停止する。また、ダイアフラム４２ａの開弁方向への変位により圧力室４３の容積が減少するので、一旦は低下したインク圧Ｐinkが作動圧に復帰する。これは微小時間のうちに進むため、実際にはインク圧Ｐinkは作動圧に維持される。圧力室４３のインクが減少するに連れて、開弁方向の力の総和と閉弁方向の力の総和との均衡を保つように、弁体５７は開弁方向へ移動し、やがて凸部６０ａが弁座６１から離れると、圧力調整弁２１Ａが開弁する。

開弁した後は、次の条件が成立したときに弁体５７は、閉弁方向へ移動する。
Ｆsp１＋Ｆsp2＋Ｆs-a＋Ｆfilm＞Ｆi-a …(2)
すなわち、閉弁方向の力の総和が、開弁方向の力の総和に勝るときに、弁体５７は閉弁方向へ移動する。圧力調整弁２１Ａが開弁すると、インク供給圧Ｐisとインク圧Ｐinkとの差圧に基づきインク供給室５６から圧力室４３へ弁孔５２を通じてインクが流入する。インクが圧力室４３へ流入すると、圧力室４３のインク圧Ｐinkが上昇する。インク圧Ｐinkが上昇すると、インク圧Ｐinkを受けて受圧部材６５とダイアフラム４２ａに働く力Ｆi-aが小さくなる。よって、上記(2)式の条件が成立することになって、弁体５７は閉弁方向へ移動する。

この弁体５７の移動に伴いダイアフラム４２ａも閉弁方向へ移動し、圧力室４３の容積が増加するため、一旦は上昇したインク圧Ｐinkが復帰する。これは微小時間のうちに進むため、実際にはインク圧Ｐinkは作動圧に維持される。圧力室４３へインクが流入するに連れて、閉弁方向の力の総和と開弁方向の力の総和との均衡を保つように、弁体５７は閉弁方向へ移動し、やがて凸部６０ａが弁座６１と当接すると、圧力調整弁２１Ａは閉弁する。

プリンタ１１は電源投入時に前回のクリーニング実施時から所定の時間が経過しているとき、あるいはユーザによるメンテナン実行指示を受け付けたときに、記録ヘッド２０のクリーニングを実施する。クリーニング実行時は、まずキャリッジ１５をホームポジションに移動させた状態で、キャップ２６ａを上昇させて記録ヘッド２０をキャッピングする。次に吸引ポンプ（図示せず）を駆動させてキャップ２６ａ内に負圧が及ぶようにすることで、ノズル開口からインクを強制的に吸引排出する。このクリーニングを実施することによって、ノズル内の増粘したインクやインク中の気泡等が除去され、ノズルの目詰まり等に起因する吐出不良が防止される。

このクリーニング実施時には、ノズルからインクが強制的に吸引されて、圧力室４３内のインク圧が大きく減圧するため、弁体５７が開弁方向へ大きく変位し、例えば開弁方向へ最大限移動したエンド位置に達する。本実施形態では、シールバネ５９より先に負圧保持バネ６６が収縮し切って、弁体５７の開弁方向への移動が規制されたときの弁体５７の位置がエンド位置となる。

このエンド位置では、負圧保持バネ６６は収縮し切っており、そのバネ線が隙間なく密着してその内側が塞がれた状態にある。しかし、図４及び図５に示すように、隔壁５１（フレーム５１）において負圧保持バネ６６の一端部が接触している面上に形成された長溝６８によって、負圧保持バネ６６の内側と外側とが連通される。このため、図５（ｂ）に示すように、負圧保持バネ６６が収縮し切っていても、インク供給室５６から弁孔５２を通じて負圧保持バネ６６の内側へ流入したインクは、たとえ負圧保持バネ６６が密着して隙間が塞がれていても、長溝６８を通って負圧保持バネ６６の外側の圧力室４３へ流れ込むことができる。よって、弁体５７が開弁方向へたとえエンド位置まで移動した開弁時にも、収縮し切った負圧保持バネ６６によりインクの流路が絞られたり閉塞されたりする不都合が回避され、インクの供給を円滑に行うことができる。この結果、記録ヘッド２０へインクを円滑に供給できる。

以上、詳述したように本実施形態によれば、以下の効果を得ることができる。
（１）隔壁５１（フレーム５１）において負圧保持バネ６６が接触している部分に、負圧保持バネ６６の内側と外側とを連通可能な長溝６８を形成した。このため、弁体５７がエンド位置に達するほど圧力調整弁２１Ａが開弁して、負圧保持バネ６６が収縮し切っても、弁孔５２を通じて負圧保持バネ６６の内側へ流入したインクは、長溝６８を通ってその外側の圧力室４３内へ流れ込むことができる。つまり、開弁時に弁孔５２から流入したインクが、その後、圧力室４３の外周縁側へ流れる流路が長溝６８により確保される。

（２）長溝６８は弁孔５２を中心に放射状に延びるように複数形成したので、インクを圧力室４３内へ略均等にかつ放射状に流出させることができる。また、３本のうち一本の長溝６８の長手方向延長線上の位置に、インク導出路４４の開口が位置するので、インク導出路４４へインクを円滑に送ることができる。さらに他の２本の長溝６８を経由して圧力室４３内へ流れ込んだインクは、インク導出路４４の開口に向かって圧力室４３内を周方向に流れるので、インクの攪拌作用が得られる。また、負圧保持バネ６６が接触する隔壁５１の面上が長溝６８の形成により凹凸になるが、複数の長溝６８を略等間隔に設けていることから、負圧保持バネ６６をがたつくことなく安定に支持できる。

（３）弁孔５２の周囲に負圧保持バネ６６の一端部を保持するための突出部４０ｆを設けても、突出部４０ｆ間に凹部としての切欠４０ｇが存在するため、弁孔５２を通じて流入したインクが、突出部４０ｆを迂回した経路で狭い流路を流れる必要がなく、比較的広い流路が確保される。この結果、負圧保持バネ６６を保持する突出部４０ｆと筒状部６５ａ間の隙間が開弁時に狭くなっても、開弁時に圧力損失をさほど発生させることなく、突出部４０ｆの内側から外側の圧力室４３へ、インクを円滑に供給できる。

（４）長溝６８は、突出部４０ｆ間の切欠４０ｇと対応する位置に形成されているので、突出部４０ｆに孔を形成する必要がなく、樹脂成形もし易い。
（５）ダイアフラム４２ａの圧力室４３側の面に受圧部材６５を固着し、弁体５７の軸部５７ｂを受圧部材６５に当接させる構成としたので、ダイアフラム４２ａの損傷等に起因する圧力調整弁２１Ａの寿命低下を抑制できる。

（６）突出部４０ｆの外径を筒状部６５ａの内径より小さくし、両者が接近したときに突出部４０ｆが筒状部６５ａ内に挿入する構成としたので、負圧保持バネ６６を支持しうる突出長を確保したうえで、バネ長の比較的短い負圧保持バネ６６を選択できる。

（第二実施形態）
図６に示すように、突出部４０ｆが前記第一実施形態よりも長く形成され、弁体５７が開弁方向へ最大限移動したエンド位置は、受圧部材６５が突出部４０ｆに当接したときの位置で規定される。詳しくは、突出部４０ｆの突出長Ｈは、負圧保持バネ６６の収縮し切った際のバネ長である密着長Ｌ２endより長く設定されている。例えばクリーニング時など、圧力室４３内のインク圧が大きく減圧したときは、弁体５７は開弁方向へエンド位置まで変位する。このとき、図６（ａ）に示す閉弁状態から、図６（ｂ）に示すように、弁体５７が開弁方向におけるエンド位置まで移動して、閉弁状態に切り換わる。このとき、受圧部材６５は突出部４０ｆの端面に当接し、それ以上の開弁方向への移動ができないように位置規制される。よって、負圧保持バネ６６は収縮し切ることがなく、そのバネ線間に流路となりうる隙間が確保される。つまり、突出長Ｈと密着長Ｌ２endの差（Ｈ−Ｌ２end）に相当する隙間が確保される。この結果、弁孔５２から負圧保持バネ６６の内側へ流入したインクは、負圧保持バネ６６の隙間を流路として通り圧力室４３内へ流れ込む。このため、圧力調整弁２１Ａの開弁時に収縮した負圧保持バネ６６により、その内側に流入したインクの流路が絞られたり閉塞されたりすることが回避される。

よって、この第二実施形態によれば、突出部４０ｆの突出長Ｈを、負圧保持バネ６６の密着長Ｌ２endよりも長く設定している。このため、弁体５７がエンド位置まで移動して受圧部材６５が突出部４０ｆの端面に当接しても、負圧保持バネ６６に隙間が確保されるため、インクはその隙間を流路として負圧保持バネ６６の内側から圧力室４３内へ流れ込むことができ、インクを円滑に供給できる。

（第三実施形態）
この第三実施形態は、図７（ｂ）に示すように、弁体５７の底部に突出する凸部５７ｃが、蓋体５３の凸部５３ａに当接することで、弁体５７が開弁方向へ最大限移動したエンド位置が決まる例である。図７（ａ）に示すように、蓋体５３の凸部５３ａと、弁体５７の凸部５７ｃとのそれぞれの軸線方向の厚さｔ１，ｔ２は、これらの和（ｔ１＋ｔ２）が、負圧保持バネ６６の収縮し切った際のバネ長である密着長Ｌ２endより大きく、かつインクがバネ線間の隙間を流れることが可能な最短バネ長Ｌ２minより小さな値に設定されている。また、シールバネ５９の収縮し切った際のバネ長である密着長Ｌ１endは、和（ｔ１＋ｔ２）より小さな値になるように設定されている。このため、例えばクリーニング時など、圧力室４３のインク圧が大きく減圧すると、図７（ｂ）に示すように、弁体５７の凸部５７ｃが蓋体５３の凸部５３ａに当接し、弁体５７はエンド位置に位置規制される。この状態では、負圧保持バネ６６は収縮し切っておらず、そのバネ線間の隙間により必要な流路が確保されている。この結果、インク供給室５６から弁孔５２を通じて負圧保持バネ６６の内側へ流入したインクは、負圧保持バネ６６の隙間（流路）を通ってその外側の圧力室４３内へスムーズに流れ込む。よって、収縮した負圧保持バネ６６によりその外側へ流れようとするインクの流れが絞られたり流路が閉塞されたりすることが回避される。

よって、この第三実施形態によれば、クリーニング時などにおける圧力調整弁２１Ａの開弁時に、弁体５７が凸部５７ｃと凸部５３ａが当接するエンド位置まで移動しても、負圧保持バネ６６のバネ長が最短バネ長Ｌ２min以上確保される。よって、負圧保持バネ６６にインクが流れるために必要な隙間（流路）が確保されるため、開弁時に弁孔５２から流入したインクが負圧保持バネ６６の内側から外側へ隙間を通ってスムーズに流出でき、記録ヘッド２０へインクを円滑に供給できる。

尚、実施形態は、上記に限定されるものではなく、以下のように変更してもよい。
（変形例１）前記第一実施形態では、流路確保手段として溝を形成したが、孔を形成してもよい。例えば、負圧保持バネ６６の内側と外側を連通できるように連通孔を形成する。この場合、連通孔は、一本でもよいし、複数本でもよい。複数本の場合は、周方向に等間隔の位置に連通孔を放射状に設けることが好ましい。また、溝の場合、３つに限定されず、一つでもよいし、３つ以外の複数個であってもよい。さらに溝形状も、長溝６８のような長方形状に限定されず、正方形、円形、楕円、扇状など適宜な形状を採用できる。

（変形例２）第一実施形態において、突出部４０ｆを廃止してもよい。例えば隔壁５１の面上に凹部を設けて、この凹部に負圧保持バネ６６の一端部を保持し、流路確保手段としての溝は、前記凹部の底面より深く形成する。

（変形例３）前記第二実施形態において、受圧部材６５の筒状部６５ａ（突出部）が、負圧保持バネ６６が収縮し切る前に、隔壁５１に当接して、弁体５７の開弁方向への移動が規制される構成を採用できる。また、突出部４０ｆと筒状部６５ａとの両方がエンド位置を決める構成でも構わない。この場合、突出部４０ｆと筒状部６５ａが同時にそれぞれ受圧部材６５、隔壁５１に当接する構成でもよいし、突出部４０ｆと筒状部６５ａが互いに当接する構成でもよい。

（変形例４）前記第三実施形態では、シールバネ５９の両端部を保持する円柱状の凸部５３ａと凸部５７ｃを当接させたが、シールバネ５９の両端部を保持するための保持部のうち少なくとも一方が筒状の凸部であってもよい。筒状の凸部であっても当接によって、負圧保持バネ６６が収縮し切る前に弁体５７をエンド位置に位置規制できる。また、蓋体と弁体のうち一方のみに凸部がある構成でも構わない。要するに、弁体が開弁方向へ移動したときに、負圧保持バネ６６が収縮し切る前に、凸部が相手側の面に当接すれば足りる。

（変形例５）前記各実施形態では、第二弾性体を一個のコイルバネからなる負圧保持バネ６６としたが、バネ径の細いコイルバネからなる負圧保持バネ（第二弾性体）を弁孔５２の周囲に複数隣接して環状をなすように配列してもよい。

（変形例６）前記各実施形態において、筒状部６５ａにその筒の内外を連通させる凹部又は孔を形成してもよい。また、突出部を切欠により３つに分断したが、筒状とし、その筒の内外を連通させる孔を設けても構わない。

（変形例７）受圧部材をダイアフラムの内面（圧力室側）に設けたが、ダイアフラムの外面（大気圧側）に設けても構わない。この場合、受圧部材として機能はしない、受圧部材よりも小面積の部材をダイアフラムの内面に設け、負圧保持バネ６６の他端部を保持させる構成も採用できる。

（変形例８）第二弾性体として、ダイアフラムを閉弁方向へ付勢する負圧保持バネ６６に替え、ダイアフラムを開弁方向へ付勢するコイルバネを設けてもよい。例えばコイルバネの両端をそれぞれ隔壁と受圧部材に接着し、受圧部材が開弁方向へ付勢される構成とする。この構成によれば、圧力室の流体圧を大気圧以上の値に設定することが可能になる。

（変形例９）ダイアフラムの圧力室と反対側の面にかかる圧力は大気圧に限定されない。例えばダイアフラムの外側に負圧室又は正圧室を設ける構成としてもよい。
（変形例１０）一つのバルブユニットにインク色ごとの複数の圧力調整弁が内蔵された構成も採用できる。さらに、バルブユニット２１は、圧力調整弁２１Ａ以外の他の弁（例えば差圧弁）を内蔵する構成でもよい。

（変形例１１）弁装置としての圧力調整弁２１Ａをインクカートリッジ２３に設けてもよい。空気加圧タイプのインクカートリッジ構成の場合、ダイアフラム４２ａの外側面が大気に開放された状態に設けることが好ましい。もちろん、弁装置としての圧力調整弁２１Ａは、インクパック式以外のインクカートリッジに設けることもできる。

（変形例１２）流体噴射装置としてのプリンタは、キャリッジを有するシリアル式プリンタに限定されず、印字可能領域の用紙搬送方向と直交する方向の全域に亘り複数の流体噴射ヘッドが列状配列されたり、一本の長尺状の流体噴射ヘッドが配置されたりしたラインヘッドを備えたラインヘッド型の流体噴射装置（ラインプリンタ）でもよい。

（変形例１３）前記実施形態では、流体噴射装置をインクジェット式記録装置に具体化したが、この限りではなく、インク以外の他の流体（液体や、機能材料の粒子が液体に分散又は混合されてなる液状体、ゲルのような流状体、流体として流して噴射できる固体を含む）を噴射したり吐出したりする流体噴射装置に具体化することもできる。例えば、液晶ディスプレイ、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ及び面発光ディスプレイの製造などに用いられる電極材や色材（画素材料）などの材料を分散または溶解のかたちで含む液状体を噴射する液状体噴射装置、バイオチップ製造に用いられる生体有機物を噴射する液体噴射装置、精密ピペットとして用いられ試料となる液体を噴射する液体噴射装置であってもよい。さらに、時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を噴射する液体噴射装置、光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂等の透明樹脂液を基板上に噴射する液体噴射装置、基板などをエッチングするために酸又はアルカリ等のエッチング液を噴射する液体噴射装置、ゲル（例えば物理ゲル）などの流状体を噴射する流状体噴射装置であってもよい。そして、これらのうちいずれか一種の流体噴射装置に用いられる弁装置に本発明を適用できる。なお、「流体」とは、気体のみからなる流体を含まない概念に限定すれば、例えば液体（無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）等を含む）、液状体、流状体などが含まれる。さらに流体は、気体であってもよく、その場合、例えば空気、窒素なども含まれる。

以下、前記実施形態および各変形例から把握される技術的思想を記載する。
（１）流体を貯留する流体貯留手段（２３）から、前記流体を噴射する流体噴射手段（２０）へ供給するための流体供給路（３５）上において、前記流体を一時貯留し、前記流体噴射手段から前記流体の噴射に伴って、前記一時貯留した前記流体が減少する圧力室（４３）と、前記圧力室内の前記流体の減少に伴う負圧を感知して前記流体供給室から前記圧力室への前記流体供給及び非供給を切り換える開閉弁（５７，５９，６０，６６）とを有する弁装置において、前記開閉弁の弁体を閉弁方向へ付勢する第一弾性体と、前記圧力室の壁面の一部を構成するダイアフラム（４２ａ）と、該ダイアフラムに設けられた受圧部材と、該受圧部材を閉弁方向へ付勢する第二弾性体と、を有し、前記受圧部材は、前記圧力室の流体圧と、前記ダイアフラムを挟んで前記圧力室と反対側の圧力との差圧に基づいて前記弁体を前記第一弾性体の付勢力に抗して開弁方向へ変位させて開弁させるとともに、開弁後、前記圧力室へ流体が流入して上昇した流体圧に基づいて前記受圧部材に働く開弁方向の力が弱まることで、前記第一弾性体及び前記第二弾性体の両付勢力により前記弁体が該受圧部材を閉弁方向へ変位させたその変位に基づいて前記開閉弁が閉弁するように構成されており、前記弁体が開弁方向へ最大限移動したエンド位置においても、前記流体供給室から前記第二弾性体の内側へ流入した流体を該内側から外側へ流すための流路を確保する流路確保手段を更に備えたことを特徴とする弁装置。

（２）本発明は、流体噴射装置に着脱可能に取付けて使用される流体収容容器であって、上記発明の前記弁装置を備えていることを要旨とする。これによれば、流体収容容器を流体噴射装置に取り付けることにより、流体噴射装置に弁装置が取り付けられ、該弁装置により上記弁装置の発明と同様の効果を得ることができる。

第一実施形態における記録装置の概略構成を示す平面図。 インク供給システムを示す模式図。 バルブユニット及び記録ヘッドを示す斜視図。 バルブユニットの圧力室を示す側面図。 （ａ）（ｂ）バルブユニットの図３におけるＡ−Ａ線断面図。 （ａ）（ｂ）第二実施形態におけるバルブユニットの断面図。 （ａ）（ｂ）第三実施形態におけるバルブユニットの断面図。

符号の説明

１１…流体噴射装置としてのプリンタ、１５…キャリッジ、２０…流体噴射手段としての記録ヘッド、２１…バルブユニット、２１Ａ…弁装置としての圧力調整弁、２３…流体供給源（流体貯留手段）としてのインクカートリッジ、２５…加圧ポンプ、３５…流路を構成するインク供給チューブ、４０…フレーム、４０ｆ…突出部、４０ｇ…切欠、４２…フィルム部材、４２ａ…ダイアフラム、４３…圧力室、５１…隔壁、５２…弁孔、５３…基材を構成する蓋体、５３ａ…凸部、５６…流体供給室としてのインク供給室、５７…弁体、５７ｂ…軸部、５９…第一弾性体としてのシールバネ、６０…弁体を構成するシール部材、６０ａ…凸部、６１…弁座、６５…受圧部材、６５ａ…筒状部、６６…第二弾性体（流体圧設定バネ）としての負圧保持バネ、６８…流路確保手段及び溝としての長溝。

Claims (8)

1. 流体供給源から流体噴射手段に流体を供給する流路の途中に設けられる弁装置であって、
   前記流路と上流側で連通する流体供給室と、前記流路と下流側で連通する圧力室とが弁孔を通じて連通状態に区画形成された基材と、
   前記圧力室の壁面の一部を構成して該圧力室の内外の圧力差によって撓み変形可能なダイアフラムと、
   前記ダイアフラムに設けられた受圧部材と、
   前記弁孔を開閉する弁体と、
   前記弁体を閉弁方向へ付勢する第一弾性体と、
   前記弁体の移動方向に伸縮可能でかつ前記弁孔を囲むように一端部が前記基材に接触する状態で前記受圧部材を前記閉弁方向へ付勢する第二弾性体とを備え、
   前記圧力室内の流体の減量による減圧に基づき前記受圧部材が前記第二弾性体を収縮させつつ前記弁体を開弁方向へ変位させることで開弁し、該開弁による前記圧力室内の流体の増圧に基づき前記第一弾性体及び前記第二弾性体の両付勢力が前記受圧部材の開弁方向の力に打ち勝って前記弁体が閉弁方向へ変位することで閉弁する構成であり、
   前記弁体が開弁方向へ最大限移動した開弁状態であっても、前記弁孔を通じて前記第二弾性体の内側へ流入した流体を該内側から外側へ流出させる流路を、前記第一及び第二弾性体の収縮し切るまでの残り収縮量がどちらが多いか否かにかかわらず確保する流路確保手段を更に備えたことを特徴とする弁装置。
2. 前記流路確保手段は、前記基材における前記第二弾性体の一端部が接触する部分に、前記第二弾性体の内側と外側とを連通するように形成された溝又は孔であることを特徴とする請求項１に記載の弁装置。
3. 前記流路確保手段は、前記第二弾性体が収縮し切る前の位置で前記弁体の開弁方向への移動を規制する規制手段であることを特徴とする請求項１に記載の弁装置。
4. 前記規制手段は、前記基材と前記受圧部材とのうち少なくとも一方に設けられた突出部であって、該突出部が前記基材と前記受圧部材のうち該突出部が設けられた側と反対側のものに当接することで、前記弁体の開弁方向への移動を規制することを特徴とする請求項３に記載の弁装置。
5. 前記少なくとも一方の前記突出部は筒状をなし、筒の内外を連通する凹部又は孔を有することを特徴とする請求項４に記載の弁装置。
6. 前記規制手段は、前記開弁方向へ変位する前記弁体を、前記第二弾性体が収縮し切る前に、前記基材に当接させることを特徴とする請求項３に記載の弁装置。
7. 流体供給源と、流体を噴射する流体噴射手段と、前記流体供給源の流体を前記流体噴射手段へ供給するための流路上に設けられた請求項１乃至６のいずれか一項に記載の弁装置とを備えたことを特徴とする流体供給装置。
8. 請求項７に記載の流体供給装置を備えたことを特徴とする流体噴射装置。

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