JP6594488B2

JP6594488B2 - インプリント装置および部品の製造方法

Info

Publication number: JP6594488B2
Application number: JP2018113947A
Authority: JP
Inventors: 義雅荒木; 泰之田村; 昭男齋藤; 誠福原; 裕之尾▲崎▼
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2013-10-04
Filing date: 2018-06-14
Publication date: 2019-10-23
Anticipated expiration: 2034-09-17
Also published as: JP2018160684A

Description

本発明は、液体を吐出する液体吐出ヘッドを備えた液体吐出装置、当該液体吐出ヘッドからの液体の漏れを抑制する方法、インプリント装置および部品の製造方法に関する。

液体吐出ヘッド（以下、単に「ヘッド」と称す）を備えた液体吐出装置が知られている。このような液体吐出装置は、近年、多様な分野で利用されており、例えば、インクジェット記録装置などに利用されている。

ヘッドを備える液体吐出装置では、ヘッド内における液体の圧力が上昇すると、液体がヘッドの吐出口から液体が漏れる。ヘッドから漏れた液体は、液体吐出装置の本体に甚大な影響を与えることがある。このような理由から、ヘッドの内圧を負圧に維持することが求められている。

特許文献１には、密閉された筐体（「収容部」とも呼ばれる）と、筐体内に設置されたインクタンクと、を備える液体吐出装置が開示されている。インクタンクの内部が液体を収容する第１の収容空間を成しており、インクタンクの外側面と筐体の内側面との間の第２の収容空間には空気が封入されている。

また、ヘッドはインクタンクと連通しており、インクタンクに収容された液体がヘッドへ供給される。インクタンクは、可撓性を有する袋状の容器であり、液体の吐出に伴って収容袋の体積が変化する。

また、この液体吐出装置は、第２の収容空間における気体の圧力を調整するレギュレータをさらに備えており、レギュレータが当該気体の圧力を調整することで、インクタンクに収容された液体の圧力が調整される。その結果、ヘッドの内圧が負圧に維持される。

特許文献２には、インクタンクおよび筐体を備えた液体吐出装置が開示されている。また、インクタンクの外側面と筐体の内側面との間には、気体で満たされた浮き袋が設けられており、この浮き袋を浮かせるための液状充填剤が充填されている。

具体的に、インクタンクは筐体の底壁に固定されており、インクタンクの上部に浮き袋が固定されている。浮き袋は液状充填剤中に位置しており、浮き袋に浮力が生じている。

この液体吐出装置では、浮き袋に生じる浮力により、インクタンクの容積を拡大させる方向にインクタンクが付勢されている。付勢力がインクタンクに作用することで、インクタンクおよびヘッドの内圧が負圧に維持される。

特開２００６−１９２７８５号公報特開２００８−１０５３６０号公報

しかしながら、特許文献１に開示される液体吐出装置では、次のような問題があった。

すなわち、空気の体積は温度または圧力の変化に伴って変動しやすい。第２の収容空間には気体が封入されているので、液体吐出装置の周辺の気温または気圧の変化に伴って、第２の収容空間に封入された気体の体積が変動する。その結果、インクタンク内の液体の圧力が変動する可能性がある。

また、インクタンクを成す可撓性部材には、気体の透過を完全に防ぐことができない材質が使用されている。そのため、第２の収容空間に封入された気体がインクタンク内に入り込み、インクタンクに収容された液体中に気泡が生じる。液体中に気泡が生じることで、当該液体の圧力が上昇してしまう。

さらに、第１の収容空間は液体で満たされており、第２の収容空間は気体で満たされている。液体の密度と気体の密度との差は比較的大きいので、筐体に衝撃が加えられた際に、インクタンクが比較的大きく揺動する。インクタンクが揺動することで、インクタンク内の液体の圧力が変動してしまう。

このように、特許文献１に開示される液体吐出装置では、インクタンクに収容された液体の圧力が変動しやすい。そのため、ヘッドの内圧を負圧に維持することが難しく、液体がヘッドから漏れる虞があった。

一方、特許文献２に開示される液体吐出装置では、気体で満たされた浮き袋が液状充填剤中に沈められていなければならない。気体の密度と液状充填剤の密度との差が比較的大きいので、筐体に衝撃が加わった際、浮き袋は比較的大きく揺動する。浮き袋の揺動に伴って収容袋が揺動し、収容袋内の液体の圧力が変動してしまう。その結果、ヘッド内における液体の圧力が変動し、液体がヘッドから漏れる虞があった。

そこで、本発明の目的は、上述した課題に鑑み、ヘッドからの液体の漏れをより抑制することにある。

本発明のインプリント装置は、基板に対して第１の液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口面を有するヘッドと、前記ヘッドへ供給される前記第１の液体を収容し前記ヘッドからの前記第１の液体の吐出に応じて容積が減少する第１の収容空間と、可撓性部材により前記第１の収容空間と隔てられ前記第１の液体と異なる第２の液体を収容する第２の収容空間と、を有する液体収容ユニットと、前記第２の収容空間内の前記第２の液体の圧力を調整する圧力調整手段と、を備え、前記第１の液体が吐出された前記基板に凹凸パターンが形成されたモールドを当接させることによって、前記基板上に前記凹凸パターンに対応するパターンを形成するインプリント装置であって、前記可撓性部材は、前記第１の収容空間側から前記第２の収容空間側に突出した形状を有し、前記第２の収容空間と前記圧力調整手段とを連通する連通手段と、前記連通手段に設けられた第１のバルブと、前記連通手段に設けられた第２のバルブと、をさらに備え、前記液体収容ユニットは、前記第１のバルブと前記第２のバルブとの間で前記圧力調整手段から分離可能であることを特徴とする。

上記各発明では、第２の収容空間が液状充填剤で満たされている。液状充填剤の体積は、気体の体積に比べて温度および圧力の変化の影響を受けにくい。したがって、液体吐出装置の周辺の気温または気圧が変化しても、液状充填剤の体積は変動しにくく、第１の収容空間に収容された液体の圧力の変動が抑制される。

また、第２の収容空間に液状充填剤が充填されるので、可撓性部材は気体とほとんど接しない。したがって、気体は第１の収容空間にほとんど入り込まず、第１の収容空間に収容された液体の圧力の上昇が抑制される。

さらに、第１の収容空間が液体で満たされ第２の収容空間が液状充填剤で満たされる。液体の密度と液状充填剤の密度との差は比較的小さいので、筐体に衝撃が加えられても、可撓性部材はほとんど揺動せず、第１の収容空間に収容された液体の圧力はほとんど変動しない。

加えて、第２の収容空間に充填された液状充填剤の圧力を調整することで第１の収容空間に収容された液体の圧力が調整されるので、浮き袋が液状充填剤中に沈められている必要がない。したがって、浮き袋が筐体内に設けられた場合に比べ、本発明では収容部に衝撃が加えられた際の可撓性部材の揺動が抑制され、第１の収容空間に収容された液体の圧力が変動しにくい。

このように、第１の収容空間に収容された液体の圧力が変動しにくいので、ヘッドの内圧が負圧に維持され、ヘッドからの液体の漏れが抑制される。

本発明によれば、ヘッドからの液体の漏れをより抑制することができる。

本発明の第１の実施形態に係る液体吐出装置の概略図。図１に示される圧力調整手段の一例を説明するための図。図２に示される状態から、可撓性収容袋が縮小した状態を示す図。液状充填剤の圧力を制御する手順を示すフローチャート。第２の実施形態に係る液体吐出装置が備える液体収容ユニットの概略図。本発明の第３の実施形態に係る液体吐出装置の概略図。本発明の第４の実施形態に係る液体吐出装置の概略図。第５の実施形態に係る液体吐出装置が備える液体収容ユニットの概略図。第６の実施形態に係る液体吐出装置が備える液体収容ユニットの概略図。圧力調整手段の一例を示す概略図。圧力調整手段の他の例を示す概略図。本発明の第８の実施形態に係る液体吐出装置の概略図。図１２に示される液体吐出装置の動作を説明するためのフローチャート。本発明の第９の実施形態に係る液体吐出装置の概略図。連通手段の周辺の拡大図。本発明の第１０の実施形態に係る液体吐出装置の概略図。本発明の第１１の実施形態に係る液体吐出装置の概略図。本発明の第１２の実施形態に係る液体吐出装置の概略図。本発明の第１３の実施形態に係る液体吐出装置の概略図。本発明の第１４の実施形態に係る液体吐出装置の概略図。本発明の第１５の実施形態に係る液体吐出装置の概略図。液体が図２１に示される状態から消費された状態の概略図。本発明の第１６の実施形態に係る液体吐出装置の概略図。液体が図２３に示される状態から消費された状態を示す図。本発明の第１７の実施形態に係る液体吐出装置の概略図。液体が図２５に示される状態から消費された状態を示す図。本発明の第１８の実施形態に係るインプリント装置の概略図。

以下、本発明の実施形態について図を参照しながら説明する。

（第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態について、図１ないし図４を用いて説明する。

図１は、本実施形態に係る液体吐出装置の概略図である。図１に示される液体吐出装置は、インクを吐出するインクジェット装置である。

図１に示すように、液体吐出装置１は、ベースプレート２と、ヘッド３と、液体収容ユニット４と、を含む。ベースプレート２には搬送部５が搭載されている。被印字物６は不図示の吸着手段を用いて搬送部５上に吸着される。

液体収容ユニット４は、密閉された筐体７と、筐体７の内部に設けられた可撓性の収容袋８と、を含む。筐体７は、ヘッド３と連通する第１の収容空間と、可撓性の収容袋８を用いて第１の収容空間と隔てられた第２の収容空間と、を含む。第２の収容空間はヘッド３とは連通していない。

本実施形態では、収容袋８の内部空間が第１の収容空間を成しており、収容袋８の外側と筐体７との間の空間が第２の収容空間を成している。

なお、本発明は、第１の収容空間と第２の収容空間とが収容袋８を用いて隔てられた形態に限られず、第１の収容空間と第２の収容空間とが可撓性部材を用いて隔てられていればよい。

インクといった液体９は、第１の収容空間すなわち収容袋８の内部に収容されている。収容袋８に収容された液体９がヘッド３へ供給され、ヘッド３の吐出口１０から下方へ吐出される。液体９としては、導電性液体およびＵＶ硬化性液体等の液体を使用することも可能であり、液体９は脱気処理済みであることが望ましい。

収容袋８は、チューブや弁等を介すことなくヘッド３に直接接続されている。弁といった摺動部材が収容袋８とヘッド３との間に使用されていないので、液体９内への微細なゴミの混入が抑制される。

また、液体吐出装置１は、第２の収容空間に充填される液状充填剤１１と、第２の収容空間に充填された液状充填剤１１の圧力を調整する圧力調整手段１２と、をさらに備える。液状充填剤１１は非圧縮性を有する物質であり、例えば、水といった液体や、ゲル状物質を液状充填剤１１として用いることができる。

第２の収容空間すなわち液状充填剤１１が充填される空間は、チューブといった連通手段１３を介して圧力調整手段１２と接続されている。連通手段１３にはバルブ１４、１５が配されており、バルブ１４、１５の間にジョイント１６が配されている。

本実施形態によれば、第２の収容空間に液状充填剤１１が充填される。液体やゲルの体積は、気体の体積に比べて温度および圧力の変化の影響を受けにくい。したがって、液体吐出装置１の周辺の気温または気圧が変化しても、液状充填剤１１の体積はほとんど変動せず、第１の収容空間における液体９の圧力の変動が抑制される。

筐体７の一部がバッファ１７として形成されていてもよい。具体的には、筐体７の壁の一部を可撓性膜とすることで、バッファ１７が形成される。バッファ１７は、液体吐出装置１の動作が停止した場合や、液体吐出装置１の動作中に電源が遮断された場合に機能する。

例えば、気圧や気温の変化に起因して、液状充填剤１１や液体９の体積はわずかながら変化する。バッファ１７が液状充填剤１１や液体９の体積の変化に伴う圧力変動を吸収するので、第１の収容空間における液体９の圧力の変動がより小さく抑制される。

液状充填剤１１の体積は気体の体積と比べて気温または気圧の変化の影響を受けにくいので、本発明は、第２の収容空間に気体を充填した場合に比べて、バッファ１７をより小型化できるという利点を有する。なお、本発明は、バッファ１７が筐体７に設けられた形態に限られず、連通手段１３にバッファ１７が設けられていてもよい。

また、本実施形態によれば、収容袋８に液体９が収容され、かつ収容袋８の外側と筐体７との間の空間に液状充填剤１１が充填されるので、収容袋８は気体とほとんど接しない。したがって、収容袋８に気体がほとんど入り込まず、収容袋８に収容された液体９の圧力の上昇が抑制される。

収容袋８をなす可撓性部材としては、例えばアルミ多層フイルムなどの気体透過性の小さい材料を使用することができる。気体透過性の小さい材料を使用することで、気泡が液状充填剤１１中に発生した場合でも、収容袋８の内部への当該気泡の透過が抑制され、収容袋８の内部における液体９の圧力の上昇を抑制することができる。

さらに、第１の収容空間に液体９が収容され第２の収容空間に液状充填剤１１が充填される。液体９の密度と液状充填剤１１の密度との差は、液体９の密度と気体の密度との差に比べて小さい。第１の収容空間に収容される物質の密度と第２の収容空間に充填される物質の密度との差をより小さくすることで、筐体７に衝撃が加えられた際の収容袋８の揺動を抑制することが可能になる。

例えば、第２の収容空間に気体が充填されている場合、当該気体の密度は液体９の密度に対して無視できるほど小さい。このような場合、当該気体は、液体９を収容する収容袋８の動きに従って筐体７内を移動する。したがって、筐体７に衝撃が加えられた際、当該気体は、収容袋８の動きをほとんど抑制せず、収容袋８は比較的大きく揺動する。

本実施形態では、第１の収容空間に収容される液体９との密度差が比較的小さい液状充填剤１１が第２の収容空間に充填される。したがって、液状充填剤１１は、液体９を収容する収容袋８の動きとは独立して筐体７内を移動する。すなわち、筐体７に衝撃が加えられた際、液状充填剤１１と、液体９を収容する収容袋８とが互いに動きを抑制しあい、収容袋８の揺動が抑制される。

液状充填剤１１は、液体９の密度に対して８０％以上１２０％以下の範囲内の密度を有することが好ましい。この範囲内の密度を有する液状充填剤１１を用いることで、収容袋８の揺動がより効果的に抑制される。

第２の収容空間に気体が充填されている場合、第１の収容空間に収容された液体９と第２の収容空間に充填された気体との密度差は１００％とみなされる。これに対し、液体９の密度に対して８０％以上１２０％以下の範囲内の密度を有する液状充填剤１１を用いることで、密度差は２０％以内になる。その結果、第２の収容空間に気体が充填されている場合と比較して、収容袋８の揺動を５分の１以下に抑制することが可能になる。液状充填剤１１と液体９との密度差が少ないほど、収容袋８は揺動しにくくなる。

加えて、本実施形態では、圧力調整手段１２が第２の収容空間に充填された液状充填剤１１の圧力を調整するので、液状充填剤１１中で浮力が作用する浮き袋が収容袋８に設けられている必要がない。したがって、筐体７の内部における密度の分布のばらつきを小さくすることができ、筐体７に衝撃が加えられた際の収容袋８の揺動を抑制することが可能になる。

収容袋８の揺動が抑制されることで、収容袋８が収容する液体９の圧力変動が抑制される。

以上のように、本実施形態によれば第１の収容空間すなわち収容袋８に収容された液体９の圧力変動が抑制される。したがって、ヘッド３における液体９の圧力変動が抑制され、ヘッドの内圧が負圧に維持される。その結果、ヘッド３からの液体９の漏れ（液漏れ）が抑制される。

本実施形態の一例として、筐体７の容量を４００ｍｌとし、液体９の初期量を約３００ｍｌとし、液状充填剤１１の初期量を約１００ｍｌとすることができる。もちろん、本発明は、これに限られず、筐体７の容量、液体９の初期量および液状充填剤１１の初期量を適宜決定することができる。例えば、筐体７の容量を４００ｍｌとし、液体９の初期量を約４００ｍｌとし、初期状態において液状充填剤１１が第２の収容空間に充填されていなくてもよい。

収容袋８を成す可撓性部材は１０μｍから２００μｍ程度の厚みを有する部材であり、体積に換算すると、大きい場合でも５ｍｌから６ｍｌ程度になると想定される。したがって、収容袋８を成す可撓性部材の体積は液状充填剤１１と液体９の総量に対して１％程度であり十分に小さい。そのため、収容袋８を成す可撓性部材と液状充填剤１１との密度差、および収容袋８を成す可撓性部材と液体９との密度差を無視することが可能である。

例えば、収容袋８に使用される部材として、比較的高い気密性を有するアルミニウム製ラミネートフィルムが挙げられる。ラミネートフィルムの膜厚は通常１０μｍ前後である。アルミニウムの密度は、２．７ｇ／ｃｍ^３であり液状充填剤１１や液体９の密度に対してかなり大きいが、液状充填剤１１および液体９の総量に対する収容袋８の体積比は１％未満であり、収容袋８の密度を無視することが可能である。

筐体７が液体９および液状充填剤１１で満たされているので、収容袋８の揺動を抑制できる。その結果、吐出口１０からの液体９の漏れが抑制される。

液体吐出装置１に液体収容ユニット４が搭載された状態では、連通手段１３に外力が加わり筐体７が比較的大きく揺動する場合がある。また、液体収容ユニット４が液体吐出装置１の内部で移動する場合もある。このような場合であっても、収容袋８の揺動が抑制されるので、ヘッド３からの液体９の漏れが抑制される。

図２は、圧力調整手段１２の一例を説明するための図である。図２に示されるように、圧力調整手段１２は、圧力センサ１８と、ポンプ１９と、バルブ２０と、貯留タンク２１と、制御手段２２と、を備えていてもよい。

圧力センサ１８は、連通手段１３内の液状充填剤１１の圧力を測定する圧力測定手段である。圧力センサ１８を用いて測定される圧力は、液体吐出装置１内の気圧に対する液状充填剤１１の相対圧である。外乱の影響を受けにくくするために、バルブ１５により近い位置に圧力センサ１８を配置することが望ましい。

貯留タンク２１には液状充填剤１１が貯留されている。ポンプ１９は、貯留タンク２１と筐体７との間で液状充填剤１１を移動させる。ポンプ１９の例としては、チューブポンプ、ダイアフラムポンプおよびギヤポンプ等が挙げられる。バルブ２０は、ポンプ１９と貯留タンク２１との間に配されており、通常、閉じられている。

圧力センサ１８は、液状充填剤１１の圧力を測定するとともに、当該圧力に対応する信号を制御手段２２に伝える。制御手段２２は、連通手段１３における液状充填剤１１の圧力に基づいて、バルブ２０およびポンプ１９の動作を制御する。バルブが開いている状態でポンプ１９を駆動することで、液状充填剤１１が貯留タンク２１と筐体７との間を移動し、筐体７の圧力が所定の値に調整される。

次に、液体吐出装置１に動作について、図２ないし図４を用いて説明する。図３は、液体９の消費に伴い収容袋８が図２に示される状態から縮小した状態を示す図である。図４は、圧力センサ１８および制御手段２２を用いた液状充填剤１１の圧力制御を説明するためのフローチャートである。

液体吐出装置１が起動すると、制御手段２２は筐体７の内部における圧力の制御を開始する。

ヘッド３の吐出口１０から液体９を吐出することで、収容袋８が収容する液体９の量は減少し、収容袋８の容積が減少する。バルブ２０が閉じられている状態では筐体７および連通手段１３は密閉されているので、筐体７および連通手段１３の内部の液状充填剤１１の圧力が低下する。

制御手段２２は、連通手段１３の内部の液状充填剤１１の圧力を圧力センサ１８に測定させる（ステップＳ１）。圧力センサ１８は、液状充填剤１１の測定圧力に対応する信号を制御手段２２に伝える。そして、制御手段２２は、圧力センサ１８から送られた信号に基づいて、ポンプ１９およびバルブ２０の動作を制御する。

具体的には、制御手段２２は、連通手段１３における液状充填剤１１の圧力値が所定の範囲内かどうかを判断する（ステップＳ２）。連通手段１３における液状充填剤１１の圧力値が所定の範囲よりも低いと制御手段２２が判断した場合、制御手段２２は、バルブ２０を開くとともにポンプ１９を駆動する（ステップＳ３）。ポンプ１９が液状充填剤１１を貯留タンク２１から筐体７へ送ることで、筐体７の内部の圧力が上昇する（充填ステップ）。

その後、圧力センサ１８は再び連通手段１３の内部の液状充填剤１１の圧力を測定し（ステップＳ１）、制御手段２２は連通手段１３における液状充填剤１１の圧力値が所定の範囲内かどうかを判断する（ステップＳ２）。連通手段１３における液状充填剤１１の圧力値が所定の範囲内に戻ったと制御手段２２が判断した場合、制御手段２２は、バルブ２０を閉じるとともにポンプ１９を停止する。その結果、貯留タンク２１から筐体７へ液状充填剤１１が送られなくなり、筐体７の内部の圧力上昇が止まる。

このように、制御手段２２が圧力センサ１８を用いて測定された結果に基づいてバルブ２０およびポンプ１９の動作を制御することで、筐体７の内部の圧力が所定の範囲内に調整される（圧力調整ステップ）。

なお、筐体７の内部の圧力が上昇しすぎた場合には、ポンプ１９を用いて液状充填剤１１を筐体７から貯留タンク２１へ輸送する。このようにすることで、筐体７の内部の圧力が下がる。

筐体７の内部の圧力が調整されたところで、制御手段２２は圧力制御を終了するか否かを判断する（ステップＳ４）。圧力制御を終了しないと制御手段２２が判断した場合は、制御手段２２は連通手段１３の内部の液状充填剤１１の圧力を圧力センサ１８に測定させる（ステップＳ１）。

本実施形態によれば、ヘッド３における液体９の圧力が調整されるので、吐出口１０における液体９のメニスカスが良好な状態に保たれる。したがって、ヘッド３の吐出安定性が向上する。

特に、液体９の消費に伴って第２の収容空間に液状充填剤１１が充填されるので、液体９の消費量にかかわらず、ヘッド３における液体９の圧力が維持される。これは、筐体７の容積がより大きい液体吐出装置１に有利に働く。筐体７の容積をより大きくすることで、液体収容ユニット４の交換頻度を下げることが可能になる。

特許文献１に開示される液体吐出装置では、インクタンクの変形量に基づいてインクタンクの体積および液体の消費量を推測し、インクタンクにおける液体の圧力を得ている。インクタンクの変形は一様ではないので、インクタンクの変形量に基づいてインクタンクの体積をより正確に推測することは難しい。インクタンクの体積が正確に得られない場合、インクタンクにおける液体の圧力を所定の値に維持することができず、吐出口１０における液体９のメニスカスが悪化する。その結果、ヘッド３の吐出安定性が低下する。

本実施形態によれば、筐体７が液体９および液状充填剤１１で満たされているので、液状充填剤１１の圧力値を測定するだけで液体９の圧力値が得られる。液状充填剤１１の圧力変化は、収容袋８の変形態様の影響をほとんど受けない。したがって、液状充填剤１１の圧力値を測定することで液体９のより正確な圧力値が得られる。

液体９のより正確な圧力値が得られることで、ヘッド３における液体９の圧力を所望の負圧に保つことができ、吐出口１０における液体９のメニスカスが良好な状態に保たれる。その結果、ヘッド３の吐出安定性が向上する。

本実施形態では、液状充填剤１１や液体９は液状であるため、気体と比較して体積変動が小さく、圧力が急激に変化することが無い。

図３に示すように液体９の消費に伴い収容袋８が縮小すると、液状充填剤１１が筐体７へ補充される。液状充填剤１１と液体９との間の密度差は比較的小さいので、筐体７内における液状充填剤１１と液体９との（体積）比率が変化しても液体９の消費に伴う筐体７内の密度変化は比較的小さい。当該比率の変化に伴う圧力変動を補正する必要がなく、液体吐出装置１を単純化することができる。

（第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態について、図５を用いて説明する。図５は本実施形態に係る液体吐出装置が備える液体収容ユニットの概略図である。なお、第１の実施形態の要素と同じ要素には同じ符号を付し、その説明を省略する。

本実施形態では、図５に示すように、可撓性の収容袋８の内部空間に液状充填剤１１が充填されており、収容袋８の外側と筐体７との間の空間に液体９が充填されている。すなわち、可撓性の収容袋８の内部空間が、液状充填剤１１が充填される第２の収容空間を成しており、収容袋８の外側と筐体７との間の空間が、液体９を収容する第１の収容空間を成している。そして、収容袋８が連通手段１３を介して圧力調整手段１２（図１参照）と連通する。

液体９が吐出口１０から吐出されると、筐体７および連通手段１３の内部の圧力が下がり、圧力が所定の範囲内から外れると液状充填剤１１が収容袋８へ導入される。その結果、筐体７および連通手段１３内の圧力が所定の範囲内に維持される。

その他の構成は第１の実施形態と同じであるため、それらの説明を省略する。本実施形態に係る液体吐出装置１も、第１の実施形態と同様の効果を奏する。

（第３の実施形態）
本発明の第３実施形態について、図６を用いて説明する。図６は、本実施形態に係る液体吐出装置の概略図である。なお、第１の実施形態の要素と同じ要素には同じ符号を付し、その説明を省略する。

液体収容ユニット４は液体吐出装置１の装置本体に対して着脱可能に形成されている。したがって、液体収容ユニット４が破損した場合や収容袋８に収容された液体９がなくなった場合に液体収容ユニット４を交換するだけで、液体吐出装置１は再び使用可能な状態になる。

ジョイント１６は、２つのジョイント部１６ａ、１６ｂに分離可能に形成されている。このようなジョイント１６を連通手段１３に設けることで、連通手段１３は、圧力調整手段１２とバルブ１４との間で圧力調整手段１２から分離可能になる。その結果、液体収容ユニット４を液体吐出装置１の装置本体から着脱することが可能になる。

液体収容ユニット４が液体吐出装置１の本体から取り外される際には、バルブ１４、１５が閉められる。バルブ１４を閉めることで、筐体７の内圧が負圧に維持され、吐出口１０からの液体９の漏れが防止される。バルブ１５を閉めることで、圧力調整手段１２から液状充填剤１１が送られなくなり、液状充填剤１１の漏れが防止される。

その他の構成は第１の実施形態と同じであるため、それらの説明を省略する。

液体収容ユニット４を液体吐出装置１から取り外して液体収容ユニット４を運搬する場合、液体収容ユニット４に振動が加えられる。収容袋８の揺動が抑制されるので、ヘッド３における液体９の圧力変動が抑制される。したがって、液体収容ユニット４のみを運搬する際にも、ヘッド３からの液体９の漏れが抑制される。

本実施形態に係る液体吐出装置１も、第１の実施形態と同様の効果を奏する。

（第４の実施形態）
本発明の第４の実施形態について図７を用いて説明する。図７は、本実施形態に係る液体吐出装置の概略図である。なお、第１の実施形態の要素と同じ要素には同じ符号を付し、その説明を省略する。

本実施形態では、ヘッド３は液体収容ユニット４に固定されておらず、ヘッド３と液体収容ユニット４とを別々に液体吐出装置１の本体に取り付けることが可能である。

図７に示すように、液体吐出装置１は、ヘッド３が搭載されるヘッド搭載部２３を備える。ヘッド３は、吐出口１０に連通する流路に設けられたヘッドフィルタ２４と、当該流路の開口縁に配置されたＯリング２５と、を備える。

液体収容ユニット４は、液体９が収容された第１の収容空間に連通する流路に設けられた容器フィルタ２６と、Ｏリング２５が当接されるＯリング当接部２７と、を備える。Ｏリング２５とＯリング当接部２７とが密着するように液体収容ユニット４をヘッド３に当接させることで、ヘッド３の吐出口１０と液体収容ユニット４の第１の収容空間とが、ヘッドフィルタ２４および容器フィルタ２６を介して連通する。

Ｏリング２５とＯリング当接部２７とが密着することで、ヘッド３と液体収容ユニット４との間の隙間が塞がれる。その結果、ヘッド３および液体収容ユニット４の内部への大気の流入が抑制される。

容器フィルタ２６は、微細な細孔を有する部材であり、容器フィルタ２６の細孔内の液体９のメニスカスと、筐体７内の圧力とが釣り合っている状態である。したがって、液体収容ユニット４がヘッド３に当接していなくても、容器フィルタ２６から液体９は漏れない。

不図示の吸引手段を用いてヘッド３の吐出口１０から液体９を吸い出すことで、液体収容ユニット４内の液体９が容器フィルタ２６およびヘッドフィルタ２４を介してヘッド３に充填される。

（第５の実施形態）
本発明の第５の実施形態について、図８を用いて説明する。図８は、本実施形態に係る液体吐出装置が備える液体収容ユニット４の概略図である。なお、第１の実施形態の要素と同じ要素には同じ符号を付し、その説明を省略する。

図８に示すように、収容袋８は、蛇腹部２８と、蛇腹部２８の一方の開口を塞ぐ蓋部２９と、を含む。蛇腹部２８の他方の開口がヘッド３を用いて塞がれており、ヘッド３の吐出口１０と蛇腹部２８の内部空間とが連通している。

蓋部２９は、蛇腹部２８に比べて変形しにくい部材である。比較的厚い板状またはシート状の弾性部材を蓋部２９として用いることができる。蓋部２９の密度は、液状充填剤１１や液体９の密度とほぼ同じであることが望ましい。例えば、ポリプロピレン（密度０．９〜０．９２ｇ／ｃｍ^３）を用いて形成された板部材を蓋部２９として用いることがより望ましい。

液体９が吐出口１０から吐出されると、収容袋８の内部に収容された液体９の量が減り、収容袋８の容積が減少する。このとき、蛇腹部２８が縮小する。蓋部２９は蛇腹部２８に比べて変形しにくいので、可撓性の収容袋８の意図しない変形を防ぐことができる。可撓性の収容袋８が意図したとおりに縮小することで、液体９を効率的に消費することが可能になる。

（第６の実施形態）
本発明の第６の実施形態について、図９を用いて説明する。図９は、本実施形態に係る液体吐出装置１が備える液体収容ユニット４の概略図である。なお、第１の実施形態の要素と同じ要素には同じ符号を付し、その説明を省略する。

本実施形態では、図９に示すように、圧力センサ１８は筐体７の内側面に配置されている。したがって、筐体７内における液状充填剤１１の圧力をより正確に測定することができる。

圧力センサ１８として、筐体７の内部の圧力の変動や外力の影響で変形しにくいセンサを用いることが好ましい。このようなセンサを用いることで、筐体７の内側面に配置された圧力センサ１８を、筐体７の壁とみなすことができる。したがって、圧力センサ１８を筐体７の内側面に配置した場合においても、筐体７の内部の圧力を安定的に制御することが可能である。

筐体７の壁と見なされるものは圧力センサ１８に限られず、筐体７の内部の圧力の変動や外力の影響で変形しない部材であれば、筐体７の内側面に配置されることで筐体７の壁と見なされる。

（第７の実施形態）
本発明の第７の実施形態について、図１０を用いて説明する。図１０は、本実施形態に係る液体吐出装置が備える液体収容ユニット４および圧力調整手段１２の概略図である。なお、第１の実施形態の要素と同じ要素には同じ符号を付し、その説明を省略する。

図１０に示されるように、圧力調整手段１２は、大気連通孔３０が形成された貯留タンク２１を備える。貯留タンク２１は、ヘッド３の吐出口面よりも鉛直方向における下方に配置されている。したがって、ヘッド３の吐出口１０における液体９に負圧が作用する。ヘッド３の吐出口面から、貯留タンク２１内に貯留される液状充填剤１１の液面までの、鉛直方向における距離に基づいて、吐出口１０における液体９に作用する圧力値が決まる。

本実施形態では、図２に示される圧力センサ１８、ポンプ１９、バルブ２０および制御手段２２を用いることなく、吐出口１０における液体９の圧力を負圧に維持することができる。

本実施形態において、液体９が吐出されると、収容袋８の容積が減り、筐体７の圧力が低下する。その結果、液状充填剤１１は貯留タンク２１から筐体７へ移動する。液状充填剤１１が筐体７に流入することで、筐体７の内圧が所定の負圧に維持される。

貯留タンク２１は、水平方向に十分な大きさを有していることがより好ましい。貯留タンク２１の水平方向における寸法をより大きくすることで、貯留タンク２１内における液状充填剤１１の液面降下はより小さくなり、当該液面降下に起因する圧力の変化を抑制することが可能である。

図１１は、圧力調整手段１２の他の例を示す概略図である。

図１１に示すように、圧力調整手段１２は、貯留タンク２１を昇降させる昇降手段３１を備えていてもよい。貯留タンク２１を昇降させることで、貯留タンク２１内に貯留される液状充填剤１１の液面が、ヘッド３の吐出口面に対して鉛直方向に変位し、吐出口１０における液体９に作用する圧力の大きさが変わる。

昇降手段３１としては、例えば貯留タンク２１を支持する弾性部材などが挙げられる。液状充填剤１１が貯留タンク２１から筐体７へ移動すると、貯留タンク２１内の液状充填剤１１の液面は貯留タンク２１に対して降下する一方、貯留タンク２１内の液状充填剤１１の重量が減少する。

貯留タンク２１内の液状充填剤１１の重量が減少することで昇降手段３１としての弾性部材にかかる荷重が減少し、貯留タンク２１は当該弾性部材の弾性力により上昇する。液状充填剤１１の移動に伴う液面の降下量と貯留タンク２１の上昇量とが等しくなるように弾性部材のばね定数を設計することで、ヘッド３に対する貯留タンク２１内の液面高さを常に一定にすることが可能になる。

その他の構成は第１の実施形態と同じであるため、それらの説明を省略する。本実施形態に係る液体吐出装置１も、第１の実施形態と同様の効果を奏する
（第８の実施形態）
本発明の第８の実施形態について、図１２および図１３を用いて説明する。図１２は、本実施形態に係る液体吐出装置１の概略図である。図１３は、本実施形態に係る液体吐出装置１の動作を説明するためのフローチャートである。なお、第１の実施形態の要素と同じ要素には同じ符号を付し、その説明を省略する。

図１２に示されるように、液体吐出装置１は、加圧手段としてのピストンポンプ３２を備える。ピストンポンプ３２は駆動機構に連結されており、当該駆動機構が作動することで筐体７に液状充填剤１１を注入し、筐体７の内部を加圧する。ピストンポンプ３２以外の要素は第１の実施形態に係る液体吐出装置１の要素と同じであり、本実施形態に係る液体吐出装置１も第１の実施形態と同様の効果を奏する。

液体９としてインクを用いた場合、吐出口１０におけるインクの粘度が増して、吐出口１０からインクが吐出されなくなることがある。このようなことは、特に、液体吐出装置１を長時間休止した場合に起こりやすい。

また、吐出口１０の付近に気泡が溜まり、液体９が吐出口１０から吐出されなくなることがある。このようなことは、特に、液体吐出装置１を連続して運転した場合に起こりやすい。

ピストンポンプ３２が筐体７に液状充填剤１１を注入することで、粘度が増した液体９や吐出口１０付近の気泡が強制的に吐出口１０から排出される。その結果、増粘した液体９や気泡が吐出口１０から取り除かれ、吐出口１０から液体９が良好に吐出されるようになる。

本実施形態によれば、液体吐出装置１が加圧手段としてのピストンポンプ３２を備えているので、第１の実施形態に係る液体吐出装置１が奏する効果に加え、増粘した液体９や気泡に起因する不吐出を解消することができる。

増粘した液体９や気泡を排出する際の液体吐出装置１の動作を、図１２および図１３を用いて説明する。

まず、バルブ１４およびバルブ１５の少なくとも一方が閉じられ、ピストンポンプ３２を用いて筐体７に液状充填剤１１を注入する。筐体７の内部は非圧縮性を有する液体９や液状充填剤１１で満たされているので、ピストンポンプ３２で注入された液状充填剤１１の体積とほぼ等しい体積の液体９がヘッド３の吐出口１０から押し出される。

液体９を押し出す圧力は、ピストンポンプ３２の大きさと、ピストンポンプ３２に連結された駆動機構が発する力と、で定まる。より大きな力を発するピストンポンプ３２および駆動機構を用いることで、より高い圧力が液体９に作用し、比較的高い粘度を有する液体９をより容易に吐出口１０から押し出すことができる。

バッファ１７を筐体７に設けることで、比較的高い圧力が筐体７の内部の液状充填剤１１に瞬間的に作用しにくくなり、吐出口１０からの大量の液体９の流出を抑制することができる。また、比較的高い圧力が筐体７の内部に瞬間的に作用しにくくなることで、強度が劣る部分の破損を防ぐことができる。

バッファ１７の可動容積が、ピストンポンプ３２を用いて押し出される液状充填剤１１の量よりも小さい場合には、少なくともその差分の量だけ液体９が吐出口１０から押し出される。

バッファ１７の可動容積を、ピストンポンプ３２を用いて押し出される液状充填剤１１の量よりも大きくする場合には、バッファ１７が膨らんだ際の圧力を適正に設計しておく。このようにしておくことで、バッファ１７が膨らむのと同時に筐体７内の圧力が上昇し、液体９が吐出口１０から押し出される。

いずれの場合でも、増粘した液体９や気泡が吐出口１０から排出されることで液体９は吐出口１０を通り易くなる。その結果、ピストンポンプ３２を用いて筐体７に注入された液状充填剤１１の量とほぼ等しい量の液体９が吐出口１０から流れ出す。

ピストンポンプ３２を用いて液状充填剤１１を筐体７に注入したところで、バルブ１４及びバルブ１５が開かれてピストンポンプ３２がゆっくりと元の位置に戻される。バルブ１４およびバルブ１５が開かれることで圧力調整手段１２が筐体７における液状充填剤１１の圧力を調整する。したがって、ピストンポンプ３２を元の位置に比較的ゆっくりと戻すことで筐体７の内圧を所定の負圧に保つことができるので、ヘッド３は吐出を開始することが可能になる。

増粘した液体９や吐出口１０付近の気泡を排出した際、吐出口面に液滴が付着することがある。吐出口面に付着した液滴は、ワイパーブレードを用いて吐出口面を拭く等の周知の方法を用いることで除去される。吐出口面の液滴を除去するのは、バルブ１４及びバルブ１５を開いてピストンポンプ３２を元の位置に戻す前であっても後であっても良い。

ポンプ等の可動機構は一般にその動作に伴ってパーティクルを発生するという問題が有る。本実施形態では、ピストンポンプ３２は液体９に接していないので、ピストンポンプ３２の動作により発生するパーティクルは液状充填剤１１に混入するのみで液体９には混入しない。したがって、液体９の汚染を抑制することができるという利点がある。

流体を加圧する手段としては、タービンポンプ等の流路の圧損に依存して流量が変動するポンプと、駆動量に応じてほぼ一定の流量で液体を輸送するいわゆる容積型ポンプと、が知られている。容積型ポンプの例としては、ピストンポンプ、ギヤポンプ、チューブポンプ、ダイアフラムポンプ等が挙げられる。

本発明は、加圧手段としてピストンポンプ３２を用いた形態に限られない。加圧手段として容積型ポンプを用いることが望ましい。容積型ポンプを用いることで、より高い圧力で液状充填剤１１を加圧しつつ、必要量以上の液体９の排出を抑制することが可能であるという利点がある。

特許文献２には、浮き袋内に空気を供給することによりノズル内の増粘した液体を排出するメンテナンス方法が開示されている。より具体的には、空気が浮き袋内に供給されることで、浮き袋内の気体の圧力が高まるとともに浮き袋が膨張する。その結果、増粘したインクがノズルから排出される。

しかしながら、特許文献２に開示されるメンテナンス方法では、浮き袋内への空気の供給を停止しても、ノズルからのインクの排出を瞬時に停止させることができない。なぜなら、浮き袋内の気体の圧力が高まっているためである。したがって、所望の量よりも多くのインクを排出してしまう虞がある。

本実施形態に係る液体吐出装置１では、加圧手段の加圧圧力に応じて吐出口１０における増粘した液体９や気泡等を排出することができる。その際、排出される液体９の量は、加圧手段が送りだす液状充填剤１１の量とほぼ等しい。したがって、排出させる液体９の量をより正確に調整することができる。

（第９の実施形態）
本発明の第９の実施形態について図１４および図１５を用いて説明する。図１４は、本実施形態に係る液体吐出装置１の概略図である。なお、第１ないし第８の実施形態の要素と同じ要素には同じ符号を付し、その説明を省略する。

図１４に示されるように、液体吐出装置１は、加圧手段としての押圧機構３３を備える。押圧機構３３は、バッファ１７の可撓性膜を押す。その他の点では、第８の実施形態と同じであり、本実施形態に係る液体吐出装置１も、第１の実施形態と同様の効果を奏する。

押圧機構３３がバッファ１７の可撓性膜を押している状態では、バッファ１７は殆ど機能しない。したがって、筐体７へ液状充填剤１１を送るだけで筐体７内の液状充填剤１１の圧力を高めることができ、吐出口１０における気泡や増粘したインク等を強力に押し出すことができる。

図１５（ａ）は、圧力調整手段１２および連通手段１３の拡大図である。図１５（ａ）に示すように、筐体７と圧力調整手段１２とを結ぶ連通手段１３にオリフィス３４が設けられていても良い。

オリフィス３４を連通手段１３に設けることで、バルブ１４およびバルブ１５を閉じなくても、筐体７の内部の液状充填剤１１が圧力調整手段１２へ向かって流れにくくなる。したがって、押圧機構３３を用いてバッファ１７の可撓性膜を急速に押すことで、筐体７の内部の圧力が高まり、気泡や増粘したインク等が吐出口１０から押し出される。

なお、オリフィス３４は、液状充填剤１１を圧力調整手段１２から筐体７へ向かって流れにくくする。しかし、ヘッド３を駆動して液体９を吐出する際の液状充填剤１１の単位時間当たりの流量は、押圧機構３３を急速に動かした場合の流量に比べてはるかに小さい。そのため、液状充填剤１１を圧力調整手段１２から筐体７へ向かう流れに関するオリフィス３４の流抵抗は、無視することができる。

オリフィス３４の流抵抗が悪影響を与えないようにオリフィス３４の大きさを最適化しておくことがより好ましい。

図１５（ｂ）は、圧力調整手段１２および連通手段１３の他の例を示す拡大図である。バルブ１５（図１５（ａ）参照）に代えて、オリフィス付きバルブ３５を連通手段１３に設けても良い。オリフィス付きバルブ３５は、閉じた場合にバルブとして機能して、閉じていないときにはオリフィスとして機能する。

（第１０の実施形態）
本発明に係る第１０の実施形態について図１６を用いて説明する。図１６は、本実施形態に係る液体吐出装置の概略図である。なお、第１の実施形態の要素と同じ要素には同じ符号を付し、その説明を省略する。

図１６に示されるように、液体吐出装置１は、液状充填剤１１に含まれている気体を取り除く脱気装置３６と、ポンプ３７と、温調装置３８と、を備えている。そして、液状充填剤１１が、筐体７、脱気装置３６および温調装置３８を循環する。温調装置３８と液体収容ユニット４とを連通する連通手段にはバルブ３９、４０およびジョイント４１が設けられている。

本実施形態によれば、脱気され温度調整された液状充填剤１１が筐体７に供給されるので、可撓性の収容袋８内の液体９の温度が一定に保たれるとともに、筐体７の内部に気泡が生じにくくなる。したがって、収容袋８をなす可撓性部材は、ガスバリア性を必要としない。

また、ガスバリア性の低い可撓性部材を用いて収容袋８を形成することで、液体９中に生じた気泡は収容袋８を透過して液状充填剤１１へ移動する。脱気されていない液体９を用いても液体９に気泡が残らないので、ヘッド３の吐出性能の安定性を高めることができる。その結果、液体吐出装置１の長時間の連続運転が可能となる。これは、殊に高い信頼性を要求される産業用インクジェット装置に適している。

なお、液体９で発生し液状充填剤１１へ移動した気泡は、脱気装置３６を用いて液状充填剤１１から取り除かれる。

収容袋８をなす可撓性部材は比較的低いガスバリア性を有する部材で良い。また、液状充填剤１１が収容袋８の揺動を抑制するので、薄く柔軟な材質を用いて収容袋８を形成することが可能である。例として、厚さ５μｍ程度のポリエチレンフィルム等を用いることも可能となる。

薄くガスバリア性が低いフイルムは、気体分子だけでなく液状充填剤１１や液体９等の成分の分子も微量透過するおそれがある。液状成分の透過に対しては、液状充填剤１１の主成分として液体９と同じもの又は液体９の主要な成分を用いればよい。分子が相互に透過することにより液体９の成分の組成比率が変化するが、透過する分子の量は微量であるから液体９の組成比率の変化は極めて小さく、無視しうる。

なお、図示した例では可撓性の収容袋８のほぼ全体がフイルムで構成されているが、一部を剛性の高い材料、例えばステンレス板等で構成しても良い。ステンレス板等を用いることで、可撓性の収容袋８の形状が安定し、筐体７を小型化できるとともに、可撓性のフイルムが十分な強度を有していない場合でも液体９を充填するとき等における収容袋８の破損を抑制することができる。

ステンレス板の密度は液体９の密度と比べて大きいかもしれないが、ステンレス板を非可撓性の筐体７に対して非可動に固定しておけば、ステンレス板の密度と液体９の密度との差に起因する影響が抑制される。

増粘した液体９などを排出する際には、バルブ１４又はバルブ１５を閉じポンプ３７を動作させればよい。ポンプ３７が加圧手段として働き、筐体７の内部の圧力を高めるとともに増粘した液体９をヘッド３から排出する。ポンプ３７を所定の量だけ動作させた後、バルブ１４又はバルブ１５が再び開けられる。

ポンプ３７としては、チューブポンプ、ギヤポンプ等が適用可能である。これらのポンプは比較的簡単な構造で、回転角に応じてほぼ一定量の流体を輸送できるという利点がある。これらのポンプを用いた場合、ポンプの動作に伴ってパーティクルが発生するが、本実施形態では発生したパーティクルは液状充填剤１１に混入するのみで、液体９に混入しない。したがって、液体９の汚染が生じることはない。

他の例として、以下に記すものも適用可能である。

液状充填剤１１を加圧して増粘した液体９等を押し出す際には、圧力調整手段１２と液体収容ユニット４との間の液状充填剤１１の流動を制限する必要がある。流動制限手段として、停止状態にある圧力調整手段１２を用いることもできる。

一例として、第１の実施形態に係る液体吐出装置１（図２参照）が備える圧力調整手段１２を用いる場合、ポンプ１９の動作を停止することで、液状充填剤１１の流動を制限することができる。さらに、制御手段２２を用いた負圧制御を停止しポンプ１９を駆動することで、筐体７の内部の液状充填剤１１を加圧することができる。

（第１１の実施形態）
本発明の第１１の実施形態について図１７を用いて説明する。図１７は、本実施形態に係る液体吐出装置の概略図である。なお、第１の実施形態の要素と同じ要素には同じ符号を付し、その説明を省略する。

図１７に示されるように、筐体７は、第１および第２の収容空間を含む本体部７ａと、ヘッド３の液体吐出方向（下方）とは反対の方向へ本体部７ａから突出する中空の突出部７ｂを含む。突出部７ｂは第２の収容空間と連通しており、液状充填剤１１と気体とを収容している。圧力調整手段１２は、液面位置制御機構４２と、気体圧力制御機構４３と、を含む。

液面位置制御機構４２は、貯留タンク４４と、送液手段４５と、液面位置センサ４６と、を含む。貯留タンク４４は、液状充填剤１１を貯留する。送液手段４５は、筐体７と貯留タンク４４との間で液状充填剤１１を輸送する。液面位置センサ４６は、突出部７ｂにおける液状充填剤１１の液面の位置を検出する。送液手段４５は、液面位置センサ４６を用いて測定された突出部７ｂにおける液状充填剤１１の液面の位置に基づいて作動する。

送液手段４５と筐体７とを接続する充填剤連通手段４７にはバルブ４８、４９およびジョイント５０が設けられている。充填剤連通手段４７はバルブ４８、４９を閉じた状態でジョイント５０を境に分離可能である。貯留タンク４４には大気連通穴５１が設けられている。

気体圧力制御機構４３は、レギュレータ５２とポンプ５３と圧力センサ５４とを含む。圧力センサ５４は、レギュレータ５２と突出部７ｂとを接続する気体連通手段５５内に設けられており、液体吐出装置１内の気圧に対する気体連通手段５５内の相対圧を測定する。外乱の影響を受けにくくするために、圧力センサ５４をバルブ５７により近い位置に配置することが望ましい。

不図示の制御手段がレギュレータ５２とポンプ５３とを駆動する。圧力センサ５４を用いて測定された圧力に対応する電気信号に基づいてレギュレータ５２とポンプ５３とが作動することで、気体連通手段５５および突出部７ｂの内部における気体の圧力を制御する。

気体連通手段５５にはバルブ５６、５７およびジョイント５８が設けられており、気体連通手段５５はバルブ５６、５７を閉じた状態でジョイント５８を境に分離可能である。気体連通手段５５は、気体を連通するように構成されていればよく、気体連通手段５５の内径は充填剤連通手段４７よりも小さくてよい。

ジョイント５０を境に充填剤連通手段４７を分離し、ジョイント５０を境に気体連通手段５５を分離することで、液体収容ユニット４は液体吐出装置１の装置本体から取り外し可能な状態になる。

液体吐出装置１を起動させることで、気体圧力制御機構４３は圧力制御を開始する。気体連通手段５５は突出部７ｂと連通しており、気体連通手段５５内の気体の圧力を制御することで、突出部７ｂにおける気体の圧力が制御される。

突出部７ｂにおける気体の圧力を制御することで、筐体７における液状充填剤１１の圧力が制御され、収容袋８における液体９の圧力が制御される。その結果、ヘッド３内における内圧が所定範囲内に制御される。

ヘッド３の吐出口１０から液体９が吐出されると、可撓性の収容袋８の内部の液体９が消費され、可撓性の収容袋８の容積が縮小する。そして、突出部７ｂの液面位置が下がる。

液面位置センサ４６を用いて、突出部７ｂの液面位置が所定の位置よりも低下したことが検出されると、不図示の制御手段は、バルブ４８、４９を開き、送液手段４５を駆動する。その結果、貯留タンク４４から筐体７へ充填剤連通手段４７を介して液状充填剤１１が送られる。

液状充填剤１１が筐体７へ送られることで突出部７ｂの液面位置が上がる。液面位置が所定範囲内に入ったことを液面位置センサ４６が検出することで、不図示の制御手段は送液手段４５を停止する。

このように液面位置制御機構４２が作動することで、突出部７ｂの液面位置は所定範囲内に制御される。

突出部７ｂと気体連通手段５５との間には気液分離膜５９が設けられている。気液分離膜５９は、気体を通すが液体を通さない。

液面位置制御機構４２が故障した場合、貯留タンク４４から筐体７内に充填剤連通手段４７を介して液状充填剤１１が過剰に送られる場合がある。この場合、突出部７ｂ内の液状充填剤１１が気液分離膜５９に接する。気液分離膜５９は液体を通さないので、気体連通手段５５への液状充填剤１１の流入が抑制される。

突出部７ｂの突出方向と交わる（例えば、直交する）切断面（以下、単に「切断面」と称する）に関して、突出部７ｂの内部の断面積は、本体部７ａの内部の断面積の最大値よりも小さい。突出部７ｂの内部空間は、気体の圧力を制御可能な程度の大きさであればよい。もちろん、図１７において、紙面奥行き方向における突出部７ｂの寸法が小型化されていてもよい。

液体収容ユニット４を液体吐出装置１の装置本体から取り外して液体収容ユニット４を運搬する場合を想定する。

この場合、突出部７ｂの断面積が本体部７ａの断面積の最大値よりも小さいので、突出部７ｂに発生する液状充填剤１１の波を比較的小さくすることができる。したがって、収容袋８の振動が抑制され、ヘッド３にかかる負圧の変動が抑制される。その結果、ヘッド３の吐出口１０から液体９が垂れるのをより抑制することができる。

また、液体収容ユニット４が液体吐出装置１の装置本体に搭載された状態を想定する。この状態では、気体連通手段５５と充填剤連通手段４７に外力が加わり液体収容ユニット４が振動することがある。

また、突出部７ｂの断面積が本体部７ａの断面積の最大値よりも小さいので、突出部７ｂに発生する液状充填剤１１の波を比較的小さくすることができる。したがって、収容袋８の振動が抑制され、ヘッド３にかかる負圧の変動が抑制される。その結果、吐出口１０から液体９を吐出する際の吐出安定性を確保することができる。

また、筐体７に連結された気体連通手段５５内には気体が入っているが、気体の密度は液体の密度と比べて小さい。気体の密度が十分に小さいので、気体連通手段５５内の気体は十分に軽い。したがって、気体連通手段５５の振動に起因して気体連通手段５５内の気体に加速度が加わっても、突出部７ｂの液状充填剤１１に当該気体から加わる力は小さい。そのため、液状充填剤１１はほとんど振動することがなく、負圧の変動が抑制される。

加えて、気体は圧縮性を有する。突出部７ｂと気体連通手段５５内の気体は、圧縮または膨張することで緩衝物として機能し、液状充填剤１１の振動が抑制される。その結果、収容袋８の振動が抑制され、吐出口１０から液体９を吐出する際の吐出安定性を確保することができる。

液体収容ユニット４は、液体吐出装置１の装置本体に搭載され、液体吐出装置１内で移動する場合がある。この場合であっても、突出部７ｂ内の液状充填剤１１に生じる波は比較的小さいので、収容袋８の振動が抑制される。したがって、ヘッド３にかかる負圧の変動が抑制され、ヘッド３の吐出口１０から液体９が垂れるのを抑制することができる。

ここで、液体収容ユニット４を運搬する際に、振動する液体収容ユニット４に対して液状充填剤１１が共振しない条件について考える。

切断面における突出部７ｂの内部の最大寸法をＬ、液体収容ユニット４を運搬する際に液体収容ユニット４に加わる振動の周波数をｆ、重力加速度をｇ、円周率をπとする。この場合、重力波の式によれば、以下の式を満たすとき、液状充填剤１１は共振しない。
Ｌ＜ｇ／（２πｆ^２）
上記式を満たすように周波数ｆに対して最大寸法Ｌを設計することで、突出部７ｂにおける液状充填剤１１の波立ちがさらに抑制される。例えば、液体収容ユニット４を運搬する際に液体収容ユニット４に加わる振動の周波数を５Ｈｚとすると、最大寸法Ｌは６２ｍｍ以下となる。

（第１２の実施形態）
本発明の第１２の実施形態について図１８を用いて説明する。図１８は、本実施形態に係る液体吐出装置の概略図である。なお、第１ないし第１１の実施形態の要素と同じ要素には同じ符号を付し、その説明を省略する。

図１８に示されるように、圧力調整手段１２は、液状充填剤１１と気体とを収容する補助容器６０と、補助容器６０における液面の位置を制御する液面位置制御機構４２と、補助容器６０における気体の圧力を制御する気体圧力制御機構４３と、を備えている。筐体７と補助容器６０とは第２の充填剤連通手段６１を用いて互いに接続されており、液状充填剤１１は筐体７と補助容器６０との間を行き来可能である。

第２の充填剤連通手段６１には、バルブ６２、６３およびジョイント６４が設けられており、第２の充填剤連通手段６１はバルブ６２、６３を閉じた状態でジョイント６４を境に分離可能である。ジョイント６４を境に第２の充填剤連通手段６１を分離することで、液体収容ユニット４は液体吐出装置１の装置本体から取り外される状態になる。バルブ６２は、液体収容ユニット４が搭載された液体吐出装置１を移動させる際に閉められてもよい。

ヘッド３の液体吐出方向と交わる（例えば、直交する）切断面に関し、補助容器６０の断面積は、筐体７内の断面積の最大値より小さい。補助容器６０は気体の圧力を制御可能な程度の大きさであればよい。もちろん、図１８において、紙面奥行き方向における補助容器６０の寸法が小型化されていてもよい。

気体連通手段５５は、気体を連通するように構成されていればよく、気体連通手段５５の内径は第１および第２の充填剤連通手段４７、６１よりも小さくてよい。

液面位置制御機構４２は、貯留タンク４４と送液手段４５と液面位置センサ４６とを含む。液面位置センサ４６は、補助容器６０における液状充填剤１１の液面の位置を検出する。送液手段４５は、液面位置センサ４６を用いて測定された補助容器６０における液状充填剤１１の液面の位置に基づいて作動する。

送液手段４５が作動することで、液状充填剤１１が貯留タンク４４から補助容器６０へ送られ、補助容器６０における液状充填剤１１の液面の位置が上昇する。その結果、補助容器６０における液状充填剤１１の液面が所定の位置に保たれる。

気体圧力制御機構４３は、レギュレータ５２とポンプ５３と圧力センサ５４とを含む。圧力センサ５４は気体連通手段５５内に設けられている。圧力センサ５４は、液体吐出装置１内の気圧に対する気体連通手段５５内の相対圧を測定する。

液体吐出装置１を起動させることで、気体圧力制御機構４３は圧力制御を開始する。圧力センサ５４を用いて測定された圧力に対応する電気信号に基づいて、不図示の制御手段がレギュレータ５２とポンプ５３を制御して気体連通手段５５内の気体の圧力を制御する。

気体連通手段５５は補助容器６０と連通しており、気体連通手段５５における気体の圧力を制御することで、補助容器６０における気体の圧力が制御される。そして、補助容器６０における気体の圧力を制御することで、補助容器６０および筐体７における液状充填剤１１の圧力が制御される。液状充填剤１１の圧力を制御することで、収容袋８の内部の圧力が制御され、ヘッド３内の圧力が所定範囲内に制御される。

圧力センサ５４は、外乱の影響を受けにくくするために気液分離膜５９により近い位置に配置することが望ましい。

ヘッド３の吐出口１０から液体９が吐出されると、可撓性の収容袋８の内部の液体９が消費され、可撓性の収容袋８の容積が縮小する。その結果、液状充填剤１１が補助容器６０から筐体７へ流、補助容器６０の液面位置が下がる。

液面位置センサ４６を用いて、補助容器６０の液面位置が所定の位置よりも低下したことが検出されると、不図示の制御手段は送液手段４５を駆動する。その結果、貯留タンク４４から補助容器６０内に第１の充填剤連通手段４７を介して液状充填剤１１が送られる。

第１の充填剤連通手段４７にバルブが設けられていてもよく、この場合、不図示の制御手段は当該バルブを開いてから送液手段４５を駆動する。

液状充填剤１１が貯留タンク４４から補助容器６０へ送られることで、補助容器６０の液面位置が上がる。液面位置が所定範囲内に入ったことを液面位置センサ４６が検出することで、不図示の制御手段は送液手段４５を停止する。

このように液面位置制御機構４２が作動することで、補助容器６０の液面位置は所定範囲内に制御される。

補助容器６０と気体連通手段５５との間には、気液分離膜５９が設けられている。気液分離膜５９は、気体を通すが液体を通さない。

液面位置制御機構４２が故障した場合、貯留タンク４４から補助容器６０内に充填剤連通手段４７を介して液状充填剤１１が過剰に送られる場合がある。この場合、補助容器６０内の液状充填剤１１が気液分離膜５９に接する。気液分離膜５９は液体を通さないので、気体連通手段５５への液状充填剤１１の流入が抑制される。

この場合、筐体７内の密度は略均一であるため、可撓性の収容袋８の振動が抑制される。したがって、ヘッド３にかかる負圧の変動を抑制することが可能であり、ヘッド３の吐出口１０から液体９が垂れるのを抑制することができる。

気体連通手段５５または充填剤連通手段４７に外力が加わり液体収容ユニット４が振動しても、筐体７の内部の密度は略均一なので、可撓性の収容袋８の振動が抑制される。したがって、ヘッド３にかかる負圧の変動が抑制される。

また、補助容器６０や気体連通手段５５の内部には気体が入っているが、気体の密度は液体の密度と比べて小さい。気体の密度が十分に小さいので、気体連通手段５５内の気体は十分に軽い。したがって、気体連通手段５５の振動に起因して気体連通手段５５内の気体に加速度が加わっても、補助容器６０の液状充填剤１１に当該気体から加わる力は小さい。そのため、液状充填剤１１はほとんど振動することがなく、負圧の変動が抑制される。

加えて、気体は圧縮性を有する。補助容器６０と気体連通手段５５内の気体は、圧縮または膨張することで緩衝物として機能し、液状充填剤１１の振動が抑制される。その結果、収容袋８の振動が抑制され、吐出口１０から液体９を吐出する際の吐出安定性を確保することができる。

液体収容ユニット４が液体吐出装置１の本体に搭載されている場合に液体収容ユニット４が液体吐出装置１内で移動しても、筐体７内の密度は略均一なので、可撓性の収容袋８の振動を抑制できる。したがって、ヘッド３にかかる負圧の変動を抑制することが可能であり、ヘッド３の吐出口１０から液体９が垂れるのを抑制することができる。

（第１３の実施形態）
本発明の第１３の実施形態について図１９を用いて説明する。図１９は、本実施形態に係る液体吐出装置の概略である。なお、第１ないし第１１の実施形態の要素と同じ要素には同じ符号を付し、その説明を省略する。

図１９に示されるように、圧力調整手段１２は、気体圧力制御機構４３を備える。本実施形態に係る気体圧力制御機構４３は、第１１の実施形態に係る気体圧力制御機構４３（図１７参照）に比べて液体収容ユニット４に近いところに配置されている。

また、圧力調整手段１２は、第２の気体連通手段６５を介して突出部７ｂに接続された気体バッファ部６６を備える。

第２の気体連通手段６５にはバルブ６７、６８およびジョイント６９が設けられており、第２の気体連通手段６５はバルブ６７、６８を閉じた状態でジョイント６９を境に分離可能である。ジョイント６９を境に第２の気体連通手段６５を分離することで、液体収容ユニット４は液体吐出装置１の装置本体から取り外し可能な状態になる。

他の構成要素については、第１１の実施形態（図１７参照）と同じであるので、ここではそれらの説明を省略する。本実施形態に係る液体吐出装置１も、第１および第１１の実施形態と同様の効果を奏する。

気体バッファ部６６内の気体は緩衝物として機能する。したがって、第１の気体連通手段５５（図１７等参照）と充填剤連通手段４７とに外力が加わり液体収容ユニット４が振動しても、液状充填剤１１の振動が抑制される。その結果、ヘッド３の吐出口１０にかかる負圧の変動を抑制でき、吐出口１０から液体９を吐出する場合の吐出安定性を確保することができる。

液体収容ユニット４が液体吐出装置１の装置本体内で移動しても、気体バッファ部６６内の気体が緩衝物として機能することで、液状充填剤１１の振動が抑制される。したがって、可撓性の収容袋８の振動が抑制され、ヘッド３にかかる負圧の変動を抑制することが可能であり、ヘッド３の吐出口１０から液体９が垂れるのを抑制することができる。

（第１４の実施形態）
本発明の第１４の実施形態について図２０を用いて説明する。図２０は、本実施形態に係る液体吐出装置の概略図である。なお、第１ないし第１２の実施形態の要素と同じ要素には同じ符号を付し、その説明を省略する。

本実施形態では、水系のインクが液状充填剤１１として用いられている。

図２０に示されるように、ポンプ５３は第１の気体連通手段５５を介して補助容器６０に連通している。第２の気体連通手段６５は不図示の気体供給部と補助容器６０とを連通しており、第２の気体連通手段６５の途中にレギュレータ５２が設けられている。

第２の気体連通手段６５には、酸素を含まない気体、例えば窒素が供給される。第２の気体連通手段６５を介して補助容器６０に供給された気体は、第１の気体連通手段５５を介してポンプ５３へ送られ、ポンプ５３から排出される。

酸素は、酸素以外の他の気体と比較して水へ溶けやすいことが知られている。したがって、補助容器６０に酸素を比較的多く含む気体が水系のインクに接触すると、酸素が水系のインク中に溶け、筐体７の内部で気泡が生じることがある。

本実施形態では、補助容器６０に酸素を含まない気体、例えば窒素を供給することで、補助容器６０の内部の酸素濃度が低下する。その結果、補助容器６０の内部の気体は液状充填剤１１に溶けにくくなり、液状充填剤１１の溶在気体量が減少する。

液状充填剤１１の溶在気体量が減少することで、補助容器６０および筐体７の内部に気泡が発生しにくくなり、筐体７が液状充填剤１１で満たされた状態が維持される。したがって、筐体７内の密度を略均一に維持することが可能となり、収容袋８の振動を抑制でき、ヘッド３における負圧の変動を抑制できる。その結果、吐出口１０からの液体９の漏れが抑制される。

その他の構成は第１２の実施形態と同じであるため、それらの説明を省略する。本実施形態に係る液体吐出装置１も、第１２の実施形態と同様の効果を奏する。

（第１５の実施形態）
本発明の第１５の実施形態について図２１および図２２を用いて説明する。図２１は本実施形態に係る液体吐出装置１の概略図であり、図２２は液体９が図２１に示される状態から消費された状態の概略図である。なお、第１の実施形態の要素と同じ要素には同じ符号を付し、その説明を省略する。

図２１に示されるように、本実施形態に係る液体吐出装置１は、可撓性の収容袋８（図１等参照）に代えて、可撓性膜７０を備えている。可撓性膜７０は、蛇腹を備えていない。

可撓性膜７０は、筐体７の内部空間を、ヘッド３の吐出口１０に連通する第１の収容空間と、ヘッド３の吐出口１０に連通しない第２の収容空間と、に分けている。第１の収容空間に液体９が収容されており、吐出口１０から液体９が吐出される。第２の収容空間は圧力調整手段１２と連通しており、第２の収容空間に液状充填剤１１が充填されている。

図２２に示されるように、液体９の消費に伴って可撓性膜７０が変形し、第１の収容空間が縮小するとともに第２の収容空間が拡大する。圧力調整手段１２を用いて第２の収容空間内の液状充填剤１１の圧力を調整することで、筐体７における圧力が所定の圧力に保たれる。その結果、ヘッド３における圧力が維持され、吐出口１０からの液体９の漏れが抑制される。

蛇腹を備えない可撓性膜７０を用いることで、液体収容ユニット４の構造を単純化でき、液体収容ユニット４の製造コストを削減することが可能になる。

（第１６の実施形態）
本発明の第１６の実施形態について図２３及び図２４を用いて説明する。なお、本実形態は、前述した実施形態１５と共通する構成を有しており、共通する部分の説明を一部省略する。以下相違点について詳細に説明する。

図２３は本実施形態に係る液体吐出装置１の概略図であり、図２４は液体９が図２３に示される状態から消費された状態を示す図（概略図）である。

本実施例では、液状充填剤１１の密度は、液体９の密度よりも小さく構成されている。

液状充填剤１１は、液体９よりも密度が小さいため、筐体７内において図２３における上方向となる充填剤補給部８５側に集まりやすくなる。一方、液体９は液状充填剤１１よりも密度が大きいため、図２３における下方向となるヘッド３側に集まりやすくなる。

図２４に示すように、筐体７の底部には、ヘッド３に液体を供給する液体供給部８６が設けられている。液体９の消費に伴い、可撓性膜７０が変形するが、密度が比較的に大きい液体９が筐体の下方に集まる。その結果、液体供給部８６の一部が可撓性膜７０によって覆われてしまうことが軽減され、流路抵抗の増大を防ぐことができる。従って、ヘッド３からの液体の吐出性能も劣化しにくく、液体吐出の安定性が向上する。

（第１７の実施形態）
本発明の第１７の実施形態について図２５及び図２６を用いて説明する。なお、本実形態は、前述した実施形態１５または１６と共通する構成を有しており、共通する部分の説明を一部省略する。以下相違点について詳細に説明する。

図２５は本実施形態に係る液体吐出装置１の概略図であり、図２６は液体９が図２５に示される状態から消費された状態を示す図（概略図）である。

図２５または２６に示すように、本実施例では、筐体７は、第１の収容空間（液体９）に面する側面においてヘッド３まで延びる液体流路８７が形成されている。

具体的には、液体流路８７は、筐体７の内側面において溝状に形成され、ヘッド３に連通されている。なお、液体流路８７を垂直方向に沿って配置してもよく、垂直方向に対して少し傾斜して配置してもよい。また、液体流路８７は、筐体７の内壁面の一部を凹ませて溝として形成してもよく、内壁面上に複数のリブを設けリブ間の部分を流路としても良い。

図２６に示すように、液体９の消費に伴い、可撓性膜７０が変形する。可撓性膜７０の一部が筐体７に近付き（接触し）、液体９が通過可能な流路が狭くなっても、筐体７に設けられた液体流路８７を通して、（上方の）液体９をヘッド３側へスムーズに供給することができる。従って、流路抵抗の増大を防ぐと共に、ヘッド３からの液体の吐出性能が劣化しにくく、液体吐出の安定性が向上する。

（第１８の実施形態）
本発明の第１８の実施形態について図２７を用いて説明する。なお、本実形態は、前述した実施形態１５と共通する構成を有しており、共通する部分の説明を一部省略する。以下相違点について詳細に説明する。

図２７に示すように、本発明のインプリント装置７５は、主に液体吐出装置１を備えている。一方、液体吐出装置は、主にヘッド３、レジスト収容ユニット８４、圧力調整手段１２を備えている。

また、レジスト収容ユニット８４の第１の収容空間には光硬化性のレジスト７６が収容されている。第１の収容空間に連通されているヘッド３によってレジスト７６が後述するウェハー７７（基板）の表面に吐出される。

なお、本実施例では、光硬化性のレジスト７６は、光硬化性樹脂で構成されるが、他の光硬化性を有する物質（流体）で構成されてもよい。

また、本実施例のインプリント装置７５には、一方の表面側に溝状の微細パターン（凹凸パターン）が形成されたモールド７８と、モールド７８を移動するモールド移動部８０と、モールド移動部８０を介してモールド７８を支持するモールド支持部８１とを備えている。モールド７８は光透過性を有する石英材質で構成されており、モールド移動部８０によって上下方向に移動可能に構成されている。なお、モールド移動部８０およびモールド支持部８１は本発明のパターン形成手段を構成するものである。

本実施例のインプリント装置７５には、モールド７８を隔ててウェハー７７（基板）に吐出されたレジスト７６（パターン）に紫外線を照射する露光ユニット７９（光照射手段）が設けられている。露光ユニット７９は、露光ユニット支持部８２によってモールド７８の上方に支持されている。

以下、本実施例のインプリント装置７５を用いてウェハー７７の表面にパターンを形成する工程について説明する。

まず、ヘッド３からウェハー７７に吐出されたレジスト７６が、ウェハー７７上に塗布されて所定のパターンに形成される。

レジスト７６（パターン）が塗布（形成）されたウェハー７７が、ウェハー搬送部８３（移動手段）によってモールド７８の下方に移動される。

そして、モールド移動部８０によってモールド７８を下方に降下させ、ウェハー７７の上面に形成されたレジスト７６（パターン）にモールド７８を押し当てる。この押圧動作により、レジスト７６がモールド７８の微細パターン（溝）に充填される。

レジスト７６が微細パターンに充填された後に、モールド７８を通して露光ユニット７９から紫外線をレジスト７６に照射することにより、レジスト７６からなるパターンが形成される。

パターンが形成された後に、モールド移動部８０によってモールド７８を上昇させ、形成されたパターンからモールド７８を取外し、インプリント装置７５によるウェハー基板上のパターンの形成工程が終了する。

インプリント装置７５のヘッド３内の負圧は、第１の収容空間内のレジスト７６と第２の収容空間内の液状充填材１１を通じて、圧力調整手段１２により制御（維持）されている。これにより、大容量のレジスト収容ユニット８４内の圧力の変動を抑制することが可能となる。その結果、インプリント装置７５において、ヘッド３の吐出口１０からレジスト７６が垂れるのを抑制することができる。

なお、本実施例のインプリント装置に、前述した各実施例の液体吐出装置の構成を適宜に適用することができる。

また、本発明のインプリント装置を、例えば、半導体集積回路素子や液晶表示素子などのデバイスを製造する半導体製造装置に適用することができる。

本発明のインプリント装置を用いて、部品を製造する部品の製造方法は、インプリント装置７５を用いて基板（ウェハー、ガラスプレート、フィルム状基板）にパターンを形成する工程と、パターンが形成された基板を処理する処理工程と、を有することができる。

また、基板を処理する処理工程として、基板をエッチングするエッチング処理が挙げられる。

なお、パターンドメディア（記録媒体）や光学素子などのデバイス（部品）を製造する場合は、エッチング処理以外の加工処理が好ましい。

本発明の部品の製造方法によれば、従来の部品製造方法に比べ、部品の性能・品質・生産性が向上し、生産コストを削減することもできる。

１液体吐出装置
３ヘッド
４液体収容ユニット
７筐体
８可撓性の収容袋
９液体
１１液状充填剤
１２圧力調整手段
７５ナノインプリント装置
７６レジスト
７７ウェハー
７８モールド
７９露光ユニット
８２露光ユニット支持部
８４レジスト収容ユニット
８５充填剤補給部
８６液体供給部
８７液体流路

Claims

基板に対して第１の液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口面を有するヘッドと、
前記ヘッドへ供給される前記第１の液体を収容し前記ヘッドからの前記第１の液体の吐出に応じて容積が減少する第１の収容空間と、可撓性部材により前記第１の収容空間と隔てられ前記第１の液体と異なる第２の液体を収容する第２の収容空間と、を有する液体収容ユニットと、
前記第２の収容空間内の前記第２の液体の圧力を調整する圧力調整手段と、を備え、
前記第１の液体が吐出された前記基板に凹凸パターンが形成されたモールドを当接させることによって、前記基板上に前記凹凸パターンに対応するパターンを形成するインプリント装置であって、
前記可撓性部材は、前記第１の収容空間側から前記第２の収容空間側に突出した形状を有し、
前記第２の収容空間と前記圧力調整手段とを連通する連通手段と、
前記連通手段に設けられた第１のバルブと、
前記連通手段に設けられた第２のバルブと、をさらに備え、
前記液体収容ユニットは、前記第１のバルブと前記第２のバルブとの間で前記圧力調整手段から分離可能であることを特徴とするインプリント装置。
基板に対して第１の液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口面を有するヘッドと、
前記ヘッドへ供給される前記第１の液体を収容し前記ヘッドからの前記第１の液体の吐出に応じて容積が減少する第１の収容空間と、可撓性部材により前記第１の収容空間と隔てられ前記第１の液体と異なる第２の液体を収容する第２の収容空間と、を有する液体収容ユニットと、
前記第２の収容空間内の前記第２の液体の圧力を調整する圧力調整手段と、を備え、
前記第１の液体が吐出された前記基板に凹凸パターンが形成されたモールドを当接させることによって、前記基板上に前記凹凸パターンに対応するパターンを形成するインプリント装置であって、
前記可撓性部材は、前記第１の収容空間側から前記第２の収容空間側に突出した形状を有し、前記第２の液体の密度は、前記第１の液体の密度に対して８０％以上１２０％以下の範囲内であることを特徴とするインプリント装置。
基板に対して第１の液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口面を有するヘッドと、
前記ヘッドへ供給される前記第１の液体を収容し前記ヘッドからの前記第１の液体の吐出に応じて容積が減少する第１の収容空間と、可撓性部材により前記第１の収容空間と隔てられ前記第１の液体と異なる第２の液体を収容する第２の収容空間と、を有する液体収容ユニットと、
前記第２の収容空間内の前記第２の液体の圧力を調整する圧力調整手段と、を備え、
前記第１の液体が吐出された前記基板に凹凸パターンが形成されたモールドを当接させることによって、前記基板上に前記凹凸パターンに対応するパターンを形成するインプリント装置であって、
前記可撓性部材は、前記第１の収容空間側から前記第２の収容空間側に突出した形状を有し、前記第２の液体の密度は、前記第１の液体の密度よりも小さいことを特徴とするインプリント装置。
基板に対して第１の液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口面を有するヘッドと、
前記ヘッドへ供給される前記第１の液体を収容し前記ヘッドからの前記第１の液体の吐出に応じて容積が減少する第１の収容空間と、可撓性部材により前記第１の収容空間と隔てられ前記第１の液体と異なる第２の液体を収容する第２の収容空間と、を有する液体収容ユニットと、
前記第２の収容空間内の前記第２の液体の圧力を調整する圧力調整手段と、を備え、
前記第１の液体が吐出された前記基板に凹凸パターンが形成されたモールドを当接させることによって、前記基板上に前記凹凸パターンに対応するパターンを形成するインプリント装置であって、
前記可撓性部材は、前記第１の収容空間側から前記第２の収容空間側に突出した形状を有し、前記第１の収容空間の内側面に溝状の液体流路が配置されていることを特徴とするインプリント装置。
前記可撓性部材は、前記第１の収容空間が収容する前記第１の液体の量が減るに従い、前記第１の収容空間側から前記第２の収容空間側に突出した形状から、前記第２の収容空間側から前記第１の収容空間側に突出した形状へと変化する請求項１ないし４のいずれか１項に記載のインプリント装置。
前記圧力調整手段は、大気と連通する大気連通口が設けられ、前記第２の収容空間へ供給される前記第２の液体を収容するタンクを有し、
前記タンク内の前記第２の液体の液面は、鉛直方向において前記吐出口面の下方に位置する請求項１ないし５のいずれか１項に記載のインプリント装置。
前記ヘッドは前記液体収容ユニットに固定されている請求項１ないし６のいずれか１項に記載のインプリント装置。
前記第１の液体が吐出された前記基板を前記モールドと対向する位置へ移動させる移動手段をさらに備える請求項１ないし７のいずれか１項に記載のインプリント装置。
前記第１の液体は光硬化性を有する液体であり、
前記基板上に形成された前記パターンに光を照射して当該パターンを硬化させる光照射手段をさらに備える請求項１ないし８のいずれか１項に記載のインプリント装置。
前記可撓性部材は可撓性膜である請求項１ないし９のいずれか１項に記載のインプリント装置。
前記可撓性膜は蛇腹を備えていない膜である請求項１０に記載のインプリント装置。