JP2007275795A - 機能液供給装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】機能液への気泡の混入および機能液の変質を抑制しつつ、機能液滴吐出ヘッドへの機能液の供給圧力を一定に保つことができる機能液供給装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供する。
【解決手段】供給流路１０３を介して機能液滴吐出ヘッド７に機能液を供給する機能液供給装置１８において、供給流路１０４に連通すると共に機能液を貯留する密閉型の貯留タンク１１１と、貯留タンク１１１内の機能液上に浮き、且つ浮いた状態で機能液を閉蓋する蓋体１１２と、貯留タンク１１１に連通し、貯留タンク１１１内の圧力を調整する圧力調整手段１０７と、貯留タンク１１１の圧力を検出する圧力検出手段１１３と、圧力検出手１１３段の検出結果に基づいて、貯留タンク１１１内の圧力が一定になるように圧力調整手段１０７を制御する制御手段と、を備えた。
【選択図】図３

Description

本発明は、インクジェットヘッドに代表される機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。

従来、機能液供給装置としてサブタンク内の圧力調整を行い、機能液滴吐出ヘッドへの機能液の送液圧力を最適に制御するものが知られている（特許文献１参照）。この機能液供給装置では、機能液滴吐出ヘッドの移動機構に機能液滴吐出ヘッドと共にサブタンクを搭載しており、サブタンク内を減圧して負圧制御を行うことで機能液滴吐出ヘッドのノズル面とサブタンクの液位とが所定の水頭差となるように調整している。これにより、機能液滴吐出ヘッドから液だれ等が防止されると共に、機能液滴の吐出量を安定させることができる。
特開２００１−２１２９７２号公報

しかし、上記機能液供給装置では、サブタンク内においてエアーと機能液とが直接接触する構成となっており、機能液に気泡が混入し易く、且つ機能液によっては劣化（酸化）が生ずる問題があった。また、移動機構による移動時に液面が波立ち、上記の水頭差が不安定になる問題があった。

本発明は、機能液への気泡の混入および機能液の変質を抑制しつつ、機能液滴吐出ヘッドへの機能液の供給圧力を一定に保つことができる機能液供給装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することをその課題としている。

本発明の機能液供給装置は、機能液滴吐出ヘッドの駆動による液滴吐出に伴って、供給流路を介して機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給装置において、供給流路に連通すると共に機能液を貯留する密閉型の貯留タンクと、貯留タンク内の機能液上に浮き、且つ浮いた状態で機能液を閉蓋する蓋体と、貯留タンクに連通し、貯留タンク内の圧力を調整する圧力調整手段と、貯留タンクの圧力を検出する圧力検出手段と、圧力検出手段の検出結果に基づいて、貯留タンク内の圧力が一定になるように圧力調整手段を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、蓋体が機能液上に浮いた状態で貯留タンクを閉蓋しているため、機能液がエアーに接触する面積を少なくすることができ、機能液に気泡が混入および機能液が変質を極力防止することができる。また、剛体で液面を押えるので、機能液の液面の揺れを防止することができ、圧力調整手段による圧力調整を相俟って、機能液滴吐出ヘッドへの機能液の供給圧力を一定に保つことができる。これにより、機能液滴吐出ヘッドによる機能液吐出の安定化を図ることができる。さらに、従来のタンク構造を大幅に変えることないため、装置コストを削減することができる。

この場合、蓋体は、中空の耐薬品性材料で構成されていることが、好ましい。

この構成によれば、機能液による蓋体の腐食や劣化を防止することができる。また、蓋体は中空に形成されているため、金属等の比重の大きい材料を用いて蓋体を形成することができる。

本発明の他の機能液供給装置は、機能液滴吐出ヘッドの駆動による液滴吐出に伴って、供給流路を介して機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給装置において、供給流路に連通すると共に機能液を貯留する密閉型の貯留タンクと、貯留タンク内の機能液と機能液上の空隙とを液密に仕切る膜体と、貯留タンクに連通し、貯留タンク内の圧力を調整する圧力調整手段と、貯留タンクの圧力を検出する圧力検出手段と、圧力検出手段の検出結果に基づいて、貯留タンク内の圧力が一定になるように圧力調整手段を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、膜体が貯留タンクと機能液面とを液密に仕切るため、機能液がエアーに接触することがない。このため、機能液に気泡が混入することがなく、且つ機能液が変質するのを防止することができる。また、圧力調整手段により、機能液滴吐出ヘッドへの機能液の供給圧力を一定に保つことができる。これにより、機能液滴吐出ヘッドによる機能液吐出の安定化を図ることができる。なお、圧力調整手段による圧力調整は、膜体の伸縮による圧力変動の影響を考慮して行うことが好ましい。

この場合、膜体は、膜本体と膜本体の中央部に接着した浮き板とから成り、耐薬品性材料で構成されていることが、好ましい。

この構成によれば、機能液による膜体の腐食や劣化を防止することができ且つ、一部剛体で液面を押えるので、機能液の液面の揺れを防止することができる。また、膜体を膜のみで構成した場合に比して圧力変動が少ないので圧力調整手段による圧力調整を簡易に行うことができる。

この場合、貯留タンク内の液位を検出する液位検出手段と、補給流路を介して貯留タンクに接続され、貯留タンクに補給するための機能液を貯留する機能液タンクと、機能液タンク内の機能液を貯留タンクに送液する機能液送液手段と、を更に備え、制御手段は、機能液送液手段を制御し、液位検出手段の検出結果に基づいて、貯留タンクに機能液の補給を行なうことが、好ましい。

この構成によれば、貯留タンク内の機能液の残量を知ることができと共に、貯留タンク内の機能液の消費に対応して機能液タンクから機能液が貯留タンク内に補給されるので、貯留タンク内に一定の機能液を貯留しておくことができる。

この場合、機能液タンクは密閉タンクで構成されており、機能液送液手段は、機能液タンク内を加圧することで機能液を送液することが、好ましい。

この構成によれば、簡単な構造で機能液の補給を行うことができると共に、ポンプ等を用いた場合に比して、エアーの混入等の不具合を制御することができる。なお、機能液タンクも、上記の貯留タンクと同様のタンク構成とすることが、より好ましい。

この場合、補給流路を開閉する流入バルブと、供給流路を開閉する流出バルブとを、更に備え、制御手段は、流入バルブおよび流出バルブを制御し、流入バルブを「開」とし流出バルブを「閉」として機能液の補給を行い、機能液の補給後、流入バルブを「閉」とし、貯留タンクの圧力調整を行なった後、流出バルブを「開」とすることが、好ましい。

この構成によれば、貯留タンクに機能液の補給を行う場合、流出バルブが閉じられているため、補給圧が機能液吐出ヘッドに加わることがなく、機能液滴吐出ヘッドの液だれ等を有効に防止することができる。また、流出バルブおよび流入バルブを閉じた状態で貯留タンク内の圧力調整を行うため、その後、流出バルブを開放したときに、機能液滴吐出ヘッドの液だれ等を防止することができると共に、機能液滴吐出ヘッドを瞬時に吐出待機状態とすることができる。なお、機能液の補給は、機能液滴吐出ヘッドの休止時に行うことが好ましい。

本発明の液滴吐出装置は、上記した機能液供給装置と、機能液滴吐出ヘッドと、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、機能液の管理を良好に行うことができると共に、機能液滴吐出ヘッドの機能液吐出を安定化させることができ、生産性を向上させることができる。

本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。

本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。

これらの構成によれば、ワーク処理に関し、品質の向上と生産性の向上とを両立させることができる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。

本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を、搭載したことを特徴とする。

この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。

以下、添付の図面を参照して、本発明の実施形態に係る機能液供給装置およびこれを備える液滴吐出装置について説明する。液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれるものであり、インクジェットヘッドである機能液滴吐出ヘッドを用いた印刷技術（インクジェット法）により、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。

図１に示すように、液滴吐出装置１は、機台２と、機台２上の全域に広く載置され、機能液滴吐出ヘッド１７を搭載した描画装置３と、機台２上で描画装置３に添設されたメンテナンス装置４と、を備え、メンテナンス装置４により機能液滴吐出ヘッド１７のメンテナンス処理（機能維持・回復）を行うと共に、描画装置３により基板Ｗ（ワーク）上に機能液を吐出させる描画動作を行うようにしている。また、液滴吐出装置１は、各構成部品へ駆動・制御用の圧縮エアーを供給するエアー制御装置（図示省略）や、パソコン等で構成され、液滴吐出装置１の各部を制御する制御装置５（図３参照）を、備えている。

描画装置３は、Ｘ軸テーブル１２およびＸ軸テーブル１２に直交するＹ軸テーブル１３から成るＸＹ移動機構１１と、Ｙ軸テーブル１３に移動自在に取り付けられたキャリッジ１４と、キャリッジ１４に垂設し、機能液滴吐出ヘッド１７が搭載されたヘッドユニット１５と、機能液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する機能液供給装置１８と、を有している。一方、基板Ｗは、Ｘ軸テーブル１２の端部に臨む一対の基板認識カメラ（図示省略）により、Ｘ軸テーブル１２に位置決めされた状態で搭載されている。

Ｘ軸テーブル１２は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＸ軸スライダ２１を有し、これに吸着テーブル２３および基板θテーブル２４等から成るセットテーブル２２を移動自在に搭載して、構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル１３は、Ｙ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＹ軸スライダ３１を有し、これに上記のキャリッジ１４を介してヘッドユニット１５を移動自在に搭載して、構成されている。Ｘ軸テーブル１２は、機台２上に直接支持される一方、Ｙ軸テーブル１３は、機台２上に立設した左右の支柱３２に支持されており、Ｘ軸テーブル１２とメンテナンス装置４とを跨ぐように延在している。

そして、Ｙ軸テーブル１３は、これに搭載したヘッドユニット１５を、Ｘ軸テーブル１２の直上部に位置する描画エリア９１と、メンテナンス装置４の直上部に位置するメンテナンスエリア９２との相互間で、適宜移動させる。すなわち、Ｙ軸テーブル１３は、Ｘ軸テーブル１２に導入した基板Ｗに描画動作を行う場合には、ヘッドユニット１５を描画エリア９１に臨ませ、機能液滴吐出ヘッド１７のメンテナンス処理を行う場合には、ヘッドユニット１５をメンテナンスエリア９２に臨ませる。

ヘッドユニット１５は、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７（図面上は１つのみ記載）と、これを位置決めして装着するヘッドプレート１６と、から構成されている。１２個の機能液滴吐出ヘッド１７は、ヘッドプレート１６を介してキャリッジ１４に搭載されている。

図２に示すように、各機能液滴吐出ヘッド１７は、インクジェット方式で機能液を吐出するものであって、機能液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する２連の接続針４２と、接続針４２を有する機能液導入部４１と、機能液導入部４１の側方に連なり、制御装置５に接続される２連のコネクタ５６を備えるヘッド基板４３と、機能液導入部４１の下方（同図では上方）に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体４４とを備えている。

ヘッド本体４４は、ピエゾ素子等で構成されたポンプ部５１と、２本のノズル列５４を相互に平行に形成したノズル面５３を有するノズルプレート５２と、を更に備えている。各ノズル列５４は、複数の吐出ノズル５５が等ピッチで並べられて構成されている。そして、コネクタ５６を介してポンプ部５１に駆動波形を印加することにより、各吐出ノズル５５から機能液が吐出される。また、機能液供給装置１８は、機能液の供給圧力を一定に保った状態で、機能液滴吐出ヘッド１７へ機能液の供給を行っている（詳細は後述する）。

このように構成された描画装置３は、基板Ｗを載置したセットテーブル２２がＸ軸方向に移動するのに同期して、機能液滴吐出ヘッド１７を駆動させて基板Ｗに機能液を吐出して主走査を行う。次にＹ軸方向にヘッドユニット１５が移動しＹ軸方向の副走査を行う。その後、基板ＷをＸ軸方向に復動させ、同期して機能液滴吐出ヘッド１７を駆動することで再度主走査を行う。以上の動作を繰り返し行うことで基板Ｗに所望の描画を行う。

メンテナンス装置４は、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル５５から機能液を吸引する吸引装置６１と、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面５３に付着した機能液等の汚れをワイピング処理により除去するワイピング装置６２と、を備えている。吸引装置６１とワイピング装置６２とは、ヘッドユニット１５の移動軌跡上（Ｙ軸方向）にワイピング装置６２、吸引装置６１の順に横並びに配設され、吸引装置６１の吸引動作の後、ワイピング装置６２に臨み、ここでワイピング処理を行った後、描画装置３に導入される。

次に、図３を参照して第１実施形態に係る機能液供給装置１８について説明する。機能液供給装置１８は、供給チューブ（供給流路）１０４を介して各機能液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給するサブタンク１０２と、補給チューブ（補給流路）１０３を介してサブタンク１０２に機能液を選択的に補給するメインタンク１０１と、サブタンク１０２から各機能液滴吐出ヘッド１７への機能液の供給圧力およびメインタンク１０１からサブタンク１０２への機能液の送液圧力を調整する圧力制御ユニット１０７と、構成装置を制御する制御手段と、を備えている。この場合の制御手段は単体で設けてもよいが、本実施形態のものは上記の制御装置５に組み込まれている。なお、機能液供給装置１８の機能液供給系は、サブタンク１０２から６系統に分岐し、Ｔ字継手（図示省略）を介してさらに１２系統に分岐して１２個の機能液滴吐出ヘッド１７に接続されているが、同図ではそのうちの１系統のみ図示している。

サブタンク１０２の前後に位置して、各補給チューブ１０３には流入バルブ１０５が介設され、各供給チューブ１０４には流出バルブ１０６が介設されている。流入バルブ１０５および流出バルブ１０６は、電磁弁等で構成されており、制御装置５により開閉制御されるようになっている。各サブタンク１０２は、圧力制御ユニット１０７により、対応する機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面５３における圧力が適切な水頭圧となるように管理（負圧制御）されており、機能液滴吐出ヘッド１７の駆動に応じて機能液を一定の圧力で供給する。これにより、機能液滴吐出ヘッド１７からの液だれが防止されると共に、設計上の機能液吐出が可能となる。一方、各サブタンク１０２の機能液量が少なくなると、メインタンク１０１から機能液の補給が行われる。

圧力制御ユニット１０７は、レギュレータや各種エアーバルブを内蔵し、メインタンク１０１に接続された正圧制御部１４１と、サブタンク１０２に接続された負圧制御部１４２と、を有している。正圧制御部１４１は、正圧エアー源として工場内の圧縮エアー配管（圧縮エアー設備）等に接続されており、メインタンク１０１内の機能液をサブタンク１０２に加圧送液するための圧縮エアーを供給する。すなわち、正圧制御部１４１は、機能液をメインタンク１０１からサブタンク１０２にポンプアップする揚程および揚液量に相当する圧力および流量の圧縮エアーを、メインタンク１０１に供給する。

一方、負圧制御部１４２は、負圧エアー源として工場内の真空配管（真空設備）等に接続されており、エアーオペレートバルブ等を介して、サブタンク１０２内を減圧して所定の負圧に維持する。本実施形態のものでは、サブタンク１０２の液位と機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面５３との水頭差が−２５ｍｍＨｇとなるように、サブタンク１０２内の圧力を減圧制御する。なお、真空設備が利用できない場合には、負圧制御部１４２にイジェクターを設け、このイジェクターの一次側に圧縮エアーを導入し、イジェクターの２次側から負圧を得ることも可能である。

サブタンク１０２は、上記のキャリッジ１４に搭載され、機能液を貯留する密閉型の貯留タンク１１１と、貯留タンク１１１内の機能液面上に浮き、且つ浮いた状態で機能液を閉蓋する蓋体１１２と、貯留タンク１１１内の機能液の液圧を検出する圧力センサ（圧力検出手段）１１３と、蓋体１１２により仕切られた貯留タンク１１１の略上半部および略下半部を接続するように上下に伸びる液位検出管路１１４と、液位検出管路１１４において貯留タンク１１１内の機能液の液位を検出する液位検出センサ（液位検出手段）１１５と、を備えている。貯留タンク１１１内は、蓋体１１２により、圧力調整が行われる圧力調整空間と機能液が満たされる貯留空間として上下に仕切られている。つまり、貯留タンク１１１内の機能液の液面が、機能液滴吐出ヘッド１７への機能液の供給により下降する場合や、メインタンク１０１からの補給により上昇する場合に、蓋体１１２により仕切られる圧力調整空間と貯留空間の広さが変動する構成となっている。

貯留タンク１１１は、ステンレス等の耐食性材料でボックス状に形成されており、上蓋となる密閉蓋１２１と、機能液が貯留されるタンク本体１２２と、から構成されている。タンク本体１２２の開口部周縁にはフランジ部１２３が形成され、密閉蓋１２１は、周縁がフランジ部と略同一形状となるように板状に形成されている。そして、フランジ部１２３とフランジ部１２３に対応する密閉蓋１２１の周縁部には、パッキンが介設され、このパッキンを介して密閉蓋１２１がタンク本体１２２に気密に閉蓋されている。

そして、貯留タンク１１１内は、液面の上昇端位置より上方に位置して、１側壁に吸引口１２５が形成されており、圧力調整空間は、吸引口１２５および制御エアー配管１４３を介して負圧制御部１４２に連通している。また、液面の下降端位置より下方に位置して、対向する両側壁の一方に流入口１２６が形成され、他方に流出口１２７が形成されており、貯留空間は、流出口１２７および供給チューブ１０４を介して機能液滴吐出ヘッド１７に連通し、流入口１２６および補給チューブ１０３を介してメインタンク１０１に連通している。

圧力センサ１１３は、貯留タンク１１１内において液面の下降端位置より下方に位置して、貯留空間に臨むように貯留タンク１１１の１側壁に設けられており、圧力センサ１１３は制御装置５に接続されている。このように、圧力センサ１１３は、液面の下降端位置より下方に位置するため、蓋体１１２が下降してきても接触することが無い。なお、圧力センサ１１３は、貯留タンク１１１内の、液面の上昇端位置より上方に位置して、圧力調整空間に臨む構成としてもよい。

液位検出管路１１４は、貯留タンク１１１内の圧力調整空間と貯留空間とを接続しており、貯留空間から機能液が流れ込む構成となっている。そして、液位検出管路１１４に設けた液位検出センサ１１５により、液面の上昇端位置および下降端位置を検出されることで、貯留タンク１１１内の機能液の貯留量が管理されるようになっている。

液位検出センサ１１５は、液位検出管路１１４の液面の上昇端位置に臨む高位検出センサ１１５ａと、液位検出管路１１４の液面の下降端位置に臨む低位検出センサ１１５ｂと、から構成され、各検出センサ１１５ａ、１１５ｂは、それぞれ制御装置５に接続されている。そして、液位検出管路１１４に満たされた機能液の液面が機能液の流入・流出により高位検出センサ１１５ａおよび低位検出センサ１１５ｂとの間を上昇・下降し、貯留タンク１１１内に貯留された機能液の満液状態および減液状態が検出される構成となっている。液位検出センサ１１５の検出結果は、制御装置５に出力され、液位検出センサ１１５が機能液の減液状態を検出するとメインタンク１０１から貯留タンク１１１（サブタンク１０２）へ機能液の補給が行われると共に、機能液の満液状態を検出したところで補給が停止される。この構成により、貯留タンク１１１内に一定の機能液を貯留しておくことができる。

蓋体１１２は、機能液上に浮くいわゆる落し蓋であり、内部を中空にしたステンレス等の耐食性材料で構成され、周囲にわずかな間隙を存してタンク本体１２２の内側に収まるように形成されている。これにより、蓋体１１２は、比重の大きいステンレス等を材料に用いてもタンク本体１２２の内部において液面上を浮き、液面とエアーとが直接接触する面積を減らすよう作用する。なお、蓋体１１２は、ステンレス等に代えてフッ素系材料で構成してもよい。もちろん、蓋体１１２を、比重が小さい中実材料で構成することがより好ましい。

メインタンク１０１は、多量（３Ｌ）の機能液を貯留する密閉タンク（圧力タンク）で構成され、機台２内部の収容室（図示省略）に配設されている。メインタンク１０１には、補給チューブ１０３が先端部を機能液に深く浸漬した状態で接続され、また機能液の上部空間には、圧力制御ユニット１０７の正圧制御部１４１に連通する圧縮エアー配管が接続されている。上述したようにメインタンク１０１内の機能液は圧縮エアーにより、各サブタンク１０２に圧力送液される。また、このタンク構成に代えて蓋体１１２を浮かせたサブタンク１０２と同様のタンク構成としてもよい。この構成にすることで、サブタンク１０２に供給する前にエアーの接触を防止するので、さらに機能液への気泡の混入および機能液の変質を防止することができる。

以下、制御装置５による本発明に係る第１実施形態の機能液供給装置１８の供給動作について説明する。機能液滴吐出ヘッド１７の駆動によりサブタンク１０２内の機能液が消費され、液位検出センサ１１５により機能液の減液状態が検出されると、流出バルブ１０６を閉じると共に流入バルブ１０５を開き、続いて機能液の満量状態が検出されるまでサブタンク１０２に機能液が補給される。機能液の補給が完了すると、流入バルブ１０５が閉じられ、続いて圧力制御ユニット１０７が駆動し、サブタンク１０２内を所定の圧力に制御する。具体的には、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面５３との水頭差が−２５ｍｍＨｇとなるように、圧力センサ１１３の位置における圧力を予め実験等により求めておいて、この目標圧力を制御装置５に記憶しておく。そして、制御装置５は、圧力センサ１１３の検出結果が目標圧力になるように、圧力制御ユニット１０７の負圧制御部１４２を制御する。このようにして、サブタンク１０２内の圧力調整が完了したら、流出バルブ１０６を開いて機能液滴吐出ヘッド１７の吐出待機状態とする。なお、高位検出センサ１１５ａによる満液状態の検出に代えて、機能液の補給をタイマー制御により行い、流入バルブ１０５が閉塞するようにしてもよい。

以上説明したとおり、第１実施形態の機能液供給装置１８によれば、蓋体１１２が機能液上に浮いた状態で貯留タンク１１１を閉蓋しているため、機能液がエアーに接触する面積を少なくすることができ、機能液に気泡が混入および機能液が変質を極力防止することができる。また、剛体で液面を押えるので、機能液の液面の揺れを防止することができ、圧力制御ユニット１０７による圧力調整を相俟って、機能液滴吐出ヘッド１７への機能液の供給圧力を一定に保つことができる。これにより、機能液滴吐出ヘッド１７による機能液吐出の安定化を図ることができる。

次に、図４を参照して、第２実施形態に係る機能液供給装置１８について説明する。基本的には、第１実施形態と同様の構成であるため異なる部分について説明する。本実施形態では、第１実施形態の蓋体１１２に代えて、貯留タンク１１１に貯留タンク１１１内の圧力調整空間と貯留空間とを液密に仕切る膜体１１６が設けられている。

膜体１１６は、フッ素ゴム等の耐薬品性材料で構成されており、貯留タンク１１１の内周面に液密に接着されている。そして、機能液滴吐出ヘッド１７へ機能液の供給する場合や、メインタンク１０１からの補給する場合や機能液の消費により、膜体１１６が伸縮し、膜体１１６により仕切られる圧力調整空間と貯留空間の広さが変動する構成となっている。なお、本実施形態での圧力調整は、膜体の伸縮による圧力変動の影響を考慮して行われることは、いうまでもない。

第２実施形態の機能液供給装置１８によれば、膜体１１６が貯留タンク１１１と機能液面とを液密に仕切るため、機能液がエアーに接触することがない。このため、機能液に気泡が混入することがなく、且つ機能液が変質するのを防止することができる。また、圧力制御ユニット１０７により、機能液滴吐出ヘッド１７への機能液の供給圧力を一定に保つことができる。これにより、機能液滴吐出ヘッド１７による機能液吐出の安定化を図ることができる。

なお、上記膜体１１６は、膜体本体１３１と中央部に接着した浮き板１３２とで構成してもよい（図５参照）。この構成により、一部剛体で液面を押えるので、機能液の液面の揺れを防止することができる。また、膜体１１６を膜のみで構成した場合に比して圧力変動が少ないので圧力調整を簡易に行うことができる。

次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。

まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図６は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図７は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図７（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。

続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図７（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図７（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１７により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。

以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。

次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図７（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図７（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。

図８は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図７に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。

この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図８において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。

液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。

実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。

図９は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。

液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

図１０は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。

この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。

対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。

また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。

なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。

次に、図１１は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。

この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。

回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。

また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。

そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。

このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。

上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。

バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。

上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。

発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。

そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。

陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。

次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１２〜図２０を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１２に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。

まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１３に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１４に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。

表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。

そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル２２に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。

図１５に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１７から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図１６に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。

次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。

そして次に、図１７に示すように、各色のうちのいずれか（図１７の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。

その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図１８に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。

同様に、機能液滴吐出ヘッド１７を用い、図１９に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。

対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２０に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ₂、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。

このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。

次に、図２１は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。

第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。

放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。

第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。

本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル２２に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１７により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。

補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。

ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。

次に、図２２は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。

第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。

第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。

そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。

この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。

第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２３（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２３（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。

また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。

液滴吐出装置の平面模式図である。 機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。 第１実施形態に係る機能液供給装置の側面模式図である。 第２実施形態に係る機能液供給装置の側面模式図である。 第２実施形態に係る膜体を膜体本体と浮き板とで構成した機能液供給装置の側面模式図である。 カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。 （ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。 有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。 無機物バンク層の形成を説明する工程図である。 有機物バンク層の形成を説明する工程図である。 正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。 正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。 青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。 青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 陰極の形成を説明する工程図である。 プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。 電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。 表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。

符号の説明

１…液滴吐出装置 ５…制御装置 １７…機能液滴吐出ヘッド １８…機能液供給装置 １０１…メインタンク １０４…供給チューブ １０５…流入バルブ １０６…流出バルブ １０７…圧力制御ユニット １１１…貯留タンク １１２…蓋体 １１３…圧力センサ １１５…液位検出センサ １１６…膜体 Ｗ…ワーク ５０８…着色層（成膜部）

Claims (11)

1. 機能液滴吐出ヘッドの駆動による液滴吐出に伴って、供給流路を介して前記機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給装置において、
   前記供給流路に連通すると共に前記機能液を貯留する密閉型の貯留タンクと、
   前記貯留タンク内の機能液上に浮き、且つ浮いた状態で前記機能液を閉蓋する蓋体と、
   前記貯留タンクに連通し、前記貯留タンク内の圧力を調整する圧力調整手段と、
   前記貯留タンクの圧力を検出する圧力検出手段と、
   前記圧力検出手段の検出結果に基づいて、前記貯留タンク内の圧力が一定になるように前記圧力調整手段を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする機能液供給装置。
2. 前記蓋体は、中空の耐薬品性材料で構成されていることを特徴とする請求項１に記載の機能液供給装置。
3. 機能液滴吐出ヘッドの駆動による液滴吐出に伴って、供給流路を介して前記機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給装置において、
   前記供給流路に連通すると共に前記機能液を貯留する密閉型の貯留タンクと、
   前記貯留タンク内の機能液と機能液上の空隙とを液密に仕切る膜体と、
   前記貯留タンクに連通し、前記貯留タンク内の圧力を調整する圧力調整手段と、
   前記貯留タンクの圧力を検出する圧力検出手段と、
   前記圧力検出手段の検出結果に基づいて、前記貯留タンク内の圧力が一定になるように前記圧力調整手段を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする機能液供給装置。
4. 前記膜体は、膜本体と膜本体の中央部に接着した浮き板とから成り、耐薬品性材料で構成されていることを特徴とする請求項３に記載の機能液供給装置。
5. 前記貯留タンク内の液位を検出する液位検出手段と、
   補給流路を介して前記貯留タンクに接続され、前記貯留タンクに補給するための機能液を貯留する機能液タンクと、
   前記機能液タンク内の機能液を前記貯留タンクに送液する機能液送液手段と、を更に備え、
   前記制御手段は、前記機能液送液手段を制御し、前記液位検出手段の検出結果に基づいて、前記貯留タンクに機能液の補給を行なうことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の機能液供給装置。
6. 前記機能液タンクは密閉タンクで構成されており、
   前記機能液送液手段は、前記機能液タンク内を加圧することで機能液を送液することを特徴とする請求項５に記載の機能液供給装置。
7. 前記補給流路を開閉する流入バルブと、前記供給流路を開閉する流出バルブとを、更に備え、
   前記制御手段は、前記流入バルブおよび前記流出バルブを制御し、前記流入バルブを「開」とし前記流出バルブを「閉」として機能液の補給を行い、機能液の補給後、前記流入バルブを「閉」とし、前記貯留タンクの圧力調整を行なった後、前記流出バルブを「開」とすることを特徴とする請求項５または６に記載の機能液供給装置。
8. 請求項１ないし７のいずれかに記載の機能液供給装置と、
   前記機能液滴吐出ヘッドと、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
9. 請求項８に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
10. 請求項８に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
11. 請求項９に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１０に記載の電気光学装置を、搭載したことを特徴とする電子機器。

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