JP2006159073A

JP2006159073A - 機能液供給装置、およびこれを備えた液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器

Info

Publication number: JP2006159073A
Application number: JP2004353218A
Authority: JP
Inventors: Yoichi Kurokochi; 陽一黒河内
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2004-12-06
Filing date: 2004-12-06
Publication date: 2006-06-22

Abstract

【課題】本発明は、チューブの総延長を極力短くした機能液供給装置を提供することを課題としている。
【解決手段】機能液供給装置６は、機能液タンク４３と、機能液タンク４３と機能液滴吐出ヘッド３とを接続する機能液供給チューブ４４と、これに介設され大気に面したダイヤフラム７５により弁体７６を開閉動作させて圧力調整する圧力調整弁４６と、を備え、機能液供給チューブ４４は、機能液タンク４３と１次室７０とを接続するタンク側チューブ５８と、２次室７９と機能液滴吐出ヘッド３とを接続するヘッド側チューブ６１とを有し、ヘッド側チューブ６１は、２次室に接続した単一のヘッド側メインチューブ１２１と、複数の機能液滴吐出ヘッドの直近でヘッド側メインチューブから分岐すると共に、複数の機能液滴吐出ヘッドにそれぞれ接続する複数本のヘッド側分岐チューブ１２２と、で構成されている。
【選択図】図１０

Description

本発明は、ワークに機能液を吐出する複数の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給装置、およびこれを備えた液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器に関するものである。

従来、インクジェット記録装置のインクジェットヘッドにインクを供給するインク供給装置（機能液供給装置）が知られている（例えば、特許文献１参照）。この機能液供給装置は、機能液（顔料インク）を内部に貯留する機能液タンク（インクタンク）と、機能液タンクおよび機能液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）を接続する機能液供給チューブと、機能液供給チューブの機能液タンク近傍に介設された二分岐継手とを備え、二分岐継手を介して１個の機能液タンクから２個の機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給するようになっている。この場合、機能液の供給流路は、機能液タンクの近傍（上流側）で１本の機能液供給チューブを共有するようになっており、吐出ヘッドを個々に機能液タンクに配管する場合に比して、簡単に接続できるようになっている。
特開２００３−１１８１８４号公報

ところで、上記のインクジェット記録装置に用いられるインクジェット技術は、液晶表示装置のカラーフィルタおよび有機ＥＬ装置等の製造装置にも応用されており、上記の機能液供給装置をこの種の装置に適用することが考えられる。この場合、機能液としては、有機ＥＬ装置の発光素子材料や、カラーフィルタのフィルタ材料等といった高価なものが考えられ、顔料インクより一層効率的な使用が求められている。

しかし、上記のような機能液供給装置では、機能液タンクの近傍で機能液の流路が分岐されているため、各分岐チューブが長くなり機能液の交換等において、多量の機能液が無駄になると共に、配管の引き廻しに大きなスペースを要し、かつ経路の曲がり部分に配管支持金物が必要となるなど構造が複雑になる問題があった。

本発明は、機能液滴吐出ヘッドに機能液を分岐供給するに際し、チューブの総延長を極力短くすることができる機能液供給装置およびこれを備えた液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを課題とする。

本発明の機能液供給装置は、ワークに機能液を吐出する複数の機能液滴吐出ヘッドに、機能液を供給する機能液タンクと、機能液タンクと複数の機能液滴吐出ヘッドとを接続する機能液供給チューブと、機能液供給チューブに介設され、機能液タンクからバルブハウジング内の１次室に導入した機能液を、バルブハウジング内の２次室を介して複数の機能液滴吐出ヘッドに供給すると共に、大気に面し２次室の１つの面を構成するダイヤフラムにより、大気圧を調整基準圧力として、１次室と２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を開閉動作させて、２次室を圧力調整する圧力調整弁と、を備え、機能液供給チューブは、機能液タンクと１次室とを接続するタンク側チューブと、２次室と機能液滴吐出ヘッドとを接続するヘッド側チューブとを有し、ヘッド側チューブは、２次室に接続した単一のヘッド側メインチューブと、複数の機能液滴吐出ヘッドの直近でヘッド側メインチューブから分岐すると共に、複数の機能液滴吐出ヘッドにそれぞれ接続する複数本のヘッド側分岐チューブと、で構成されていることを特徴とする。

この構成によれば、機能液は、機能液タンクに連なるタンク側チューブおよびこれが接続する圧力調整弁に供給され、この圧力調整弁からヘッド側チューブを経由して、複数の機能液滴吐出ヘッドまで供給される。この場合、ヘッド側チューブは、機能液滴吐出ヘッドの直近でヘッド側分岐チューブに分岐するように構成されているため、機能液タンクから各機能液滴吐出ヘッドに至る供給流路のほとんどを共有することができる。これにより、機能液の交換等において、多量の機能液が無駄になるのを防止することができる。また、ヘッド側分岐チューブの長さが短くなるため、配管の引き廻しに大きなスペースを要することもなく且つ支持金具等も必要としない。更に、圧力調整弁により、機能液タンク側で発生する脈動等が縁切りされ、且つ機能液滴吐出ヘッドへの供給圧力が一定になるため、機能液滴吐出ヘッドの吐出を安定化することができる。

この場合、複数本のヘッド側分岐チューブは、同一の長さに形成されていることが、好ましい。

この構成によれば、複数本のヘッド側分岐チューブ相互間における機能液の圧力損失を同一にすることができる。これにより、複数の機能液滴吐出ヘッドに均一な圧力の機能液を供給することができる。

この場合、機能液タンクは複数のもので構成されており、タンク側チューブは、複数の機能液タンクに接続した複数本のタンク側個別チューブと、複数の機能液タンクの直近でタンク側個別チューブをつなぎ合わせると共に、１次室に接続する単一のタンク側合流チューブと、で構成されていることが、好ましい。

この構成によれば、機能液は、複数の機能液タンクに連なるタンク側個別チューブおよびこれらが合流するタンク側合流チューブを経由して圧力調整弁および機能液滴吐出ヘッドに供給される。この場合、タンク側チューブは、複数の機能液タンクの直近でヘッド側分岐チューブに分岐するように構成されているため、複数の機能液滴吐出ヘッドは、機能液タンクから圧力調整弁に至る供給流路のほとんどを共有することができる。これにより、機能液の交換等において、多量の機能液が無駄になるのを防止することができる。

この場合、複数本のタンク側個別チューブは、同一の長さに形成されていることが、好ましい。

この構成によれば、複数本のタンク側個別チューブ相互間における機能液の圧力損失を同一にすることができる。これにより、タンク側個別チューブを流れる機能液の流速を複数のタンク側個別チューブ間で均一化することができ、複数の機能液タンクを均一に使用することができる。

本発明の液滴吐出装置は、上記の機能液供給装置と、複数の機能液滴吐出ヘッドをキャリッジに搭載したヘッドユニットと、ワークを搭載すると共に、ヘッドユニットに対してワークを相対的に移動させる移動機構と、を備え、複数の機能液滴吐出ヘッドは、数個の機能液滴吐出ヘッドから成る複数のヘッド群を構成すると共に、キャリッジ上にヘッド群毎にまとめて配設され、複数のヘッド群に対応する複数の機能液供給チューブは、同一の長さになるように、キャリッジ上において取り廻し配管されていることを特徴とする。

この構成によれば、各ヘッド群に対応する機能液供給チューブの長さが同一に形成されるため、各機能液供給チューブで起こる圧力損失を同一にすることができる。このため、異なるヘッド群に属する複数の機能液滴吐出ヘッドに対しても、均一な圧力の機能液を供給することができる。

この場合、圧力調整弁は、キャリッジ上であって複数の機能液滴吐出ヘッドの近傍に配設されていることが、好ましい。

この構成によれば、圧力調整弁と機能液滴吐出ヘッドと接続するヘッド側チューブの長さを短くすることができ、機能液の交換等において、多量の機能液が無駄になるのを防止することができる。また、ヘッド側チューブの長さが短くなる分、経路の曲がり部分に配管支持金物を必要とせず、これを省スペースで引き廻し配管することができる。

この場合、機能液タンクは、キャリッジ上であって圧力調整弁の近傍に配設されていることが、好ましい。

この構成によれば、圧力調整弁と機能液タンクとを接続するタンク側チューブの長さを極端に短くすることができ、機能液の交換等において、多量の機能液が無駄になるのを防止することができる。

本発明の電気光学装置の製造方法は、上記の液滴吐出装置を用い、ワークに機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。

また、本発明の電気光学装置は、上記の液滴吐出装置を用い、ワークに機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。

これらの構成によれば、機能液流路の総延長が極端に短い単純な構造の液滴吐出装置を用いるため、機能液を無駄にすることなく電気光学装置を製造することが可能となる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。

本発明の電子機器は、上記の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。

この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。

以下、添付の図面を参照して、本発明の機能液供給装置を適用した液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、いわゆるフラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれるものであり、機能液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出法により、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。

図１および図２に示すように、液滴吐出装置１は、機台２と、機能液滴吐出ヘッド３を有し、機台２上の全域に広く載置された描画装置４と、描画装置４に接続した機能液供給装置６と、描画装置４に添設するように機台２上に載置したヘッド保守装置５と、を備えている。また、液滴吐出装置１には、図外の制御装置が設けられており、液滴吐出装置１では、機能液供給装置６により描画装置４が機能液の供給を受けながら、制御装置による制御に基づいて、描画装置４がワークＷに対する描画動作を行うと共に、機能液滴吐出ヘッド３に対して、ヘッド保守装置５が適宜保守動作（メンテナンス）を行うようになっている。

描画装置４は、ワークＷを主走査（Ｘ軸方向に移動）させるＸ軸テーブル７およびＸ軸テーブル７に直交するＹ軸テーブル８から成るＸ・Ｙ移動機構１１と、Ｙ軸テーブル８に移動自在に取り付けられたメインキャリッジ１２と、メインキャリッジ１２に垂設され、機能液滴吐出ヘッド３を搭載したヘッドユニット１３と、を有している。

Ｘ軸テーブル７は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するＸ軸モータ（図示省略）駆動のＸ軸スライダ１４を有し、これに吸着テーブル１５およびθテーブル１６等から成るセットテーブル１７を移動自在に搭載して構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル８は、Ｙ軸方向の駆動系を構成するＹ軸モータ（図示省略）駆動のＹ軸スライダ１８を有し、これにヘッドユニット１３を支持する上記のメインキャリッジ１２をＹ軸方向に移動自在に搭載して構成されている。なお、Ｘ軸テーブル７は、Ｘ軸方向に平行に配設されており、機台２上に直接支持されている。一方、Ｙ軸テーブル８は、機台２上に立設した左右の支柱２１に支持されており、Ｘ軸テーブル７およびヘッド保守装置５を跨ぐようにＹ軸方向に延在している（図１および図２参照）。

液滴吐出装置１では、Ｘ軸テーブル７およびＹ軸テーブル８が交わるエリアがワークＷの描画を行う描画エリア２２、Ｙ軸テーブル８およびヘッド保守装置５が交わるエリアが機能液滴吐出ヘッド３に対する機能回復処理を行う保守エリア２３となっており、ワークＷに描画を行う場合には描画エリア２２に、機能回復処理を行う場合には保守エリア２３に、ヘッドユニット１３を臨ませるようになっている。

ヘッドユニット１３は、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド３と、ヘッド保持部材（図示省略）を介して機能液滴吐出ヘッド３を搭載するヘッドプレート２４と、を備えている（図９参照）。ヘッドプレート２４は、後述の支持フレーム２５に着脱自在に支持されており、ヘッドユニット１３は、キャリッジ本体２６を介して支持フレーム２５に位置決めして搭載される。なお、詳細は後述するが、支持フレーム２５には、ヘッドユニット１３に並んで、機能液供給装置６のバルブユニット２７およびタンクユニット２８が支持されている（図１および図９参照）。

図３に示すように、機能液滴吐出ヘッド３は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針３１を有する機能液導入部３２と、機能液導入部３２に連なる２連のヘッド基板３３と、ヘッド基板３３の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路（図示省略）が形成されたヘッド本体３４と、を備えている。接続針３１は、図外の機能液供給装置６に接続され、機能液滴吐出ヘッド３のヘッド内流路に機能液を供給する。ヘッド本体３４は、ヘッド内流路に面してピエゾ圧電素子（図示省略）を設けたキャビティ（図示省略）と、吐出ノズル３５が開口したノズル面を有するノズルプレート３６と、を有している。ノズル面３７には、多数（１８０個）の吐出ノズル３５から成るノズル列３８が形成されている。機能液滴吐出ヘッド３を吐出駆動すると、キャビティのポンプ作用により、吐出ノズル３５から機能液滴を吐出する。

図９に示すように、ヘッドプレート２４は、ステンレス等からなる方形の厚板で構成されている。ヘッドプレート２４には、１２個の機能液滴吐出ヘッド３を位置決めし、これを、裏面側からヘッド保持部材（図示省略）を介して固定するための１２個の装着開口（図示省略）が形成されている。１２個の装着開口は、２個ずつ６組に分けられており、各組の装着開口は、一部が重複するように、機能液滴吐出ヘッド３のノズル列３８と直交する方向に（ヘッドプレート２４の長手方向）に位置ずれして形成されている。すなわち、１２個の機能液滴吐出ヘッド３は、２個ずつ６組に分けられ、ノズル列３８と直交する方向において、各組の機能液滴吐出ヘッド３のノズル列３８が一部重複するように、階段状に配置される。この場合、１組２個（数個）の機能液滴吐出ヘッド３によりヘッド群３９が構成され、ヘッドプレート２４（キャリッジ）上にヘッド群３９毎にまとまって配設されている。

なお、各機能液滴吐出ヘッド３に形成された２列のノズル列３８は、４ドット分のピッチを有して配設された多数（１８０個）の吐出ノズル３５によってそれぞれ構成されており、両ノズル列３８は、列方向に２ドット分位置ずれして配設されている。すなわち、各機能液滴吐出ヘッド３には、２列のノズル列３８により、１／２解像度の部分描画ラインが形成されている。このため、同一組の隣接する２個の機能液滴吐出ヘッド３により、それぞれの（１／２解像度の）部分描画ラインが列方向に１ドット分位置ずれするように配設され、１組の機能液滴吐出ヘッド３により、最大解像度の描画ラインが形成される。すなわち、同一組２個の機能液滴吐出ヘッド３は、１／４解像度の各ノズル列３８が相互位置ずれするように配置されている。これにより、他の５組１０個の機能液滴吐出ヘッド３と合わせて、１描画ラインの高解像度のノズル列３８が構成されるようになっている。

メインキャリッジ１２は、図２に示すように、Ｙ軸テーブル８のＹ軸スライダ１８に下側から固定される外観「Ｉ」形の吊設部材４１と、吊設部材４１の下面に取り付けられ、ヘッドユニット１３のθ方向に対する位置補正を行うためのθ回転機構４２と、θ回転機構４２の下方に吊設するよう取り付けたキャリッジ本体２６と、で構成されている。キャリッジ本体２６は、位置決め機構を有する枠状フレーム２９を有し、これに後述の支持フレーム２５を介してヘッドユニット１３が位置決め状態で固定されている。

図９に示すように、機能液供給装置６は、上記の支持フレーム２５にヘッドユニット１３と共に搭載されており、機能液を貯留する複数（１２個）の機能液タンク４３から成るタンクユニット２８と、各機能液タンク４３および各機能液滴吐出ヘッド３を接続する複数（６本）の機能液供給チューブ４４と、各機能液供給チューブ４４を各機能液タンク４３および各機能液滴吐出ヘッド３に接続するための複数（１２個）の接続具４５と、複数の機能液供給チューブ４４に介設した複数（６個）の圧力調整弁４６から成るバルブユニット２７と、を有している。

支持フレーム２５は、略方形の枠状に形成されており、その長手方向に対し、ヘッドユニット１３、バルブユニット２７、タンクユニット２８の順でこれらを位置決め状態で搭載している。なお、支持フレーム２５には、その長辺部分に、一対のハンドル４７が取り付けられており、この一対のハンドル４７を手持ち部位として、支持フレーム２５をメインキャリッジ１２に着脱できるようになっている。

タンクユニット２８は、１２個の機能液タンク４３と、これらを位置決めする１２個のセット部５５を有し、１２個の機能液タンク４３を支持するタンクプレート４８と、各機能液タンク４３を各セット部５５に装着（セット）するためのタンクセット治具５１と、で構成されている。図４に示すように、機能液タンク４３は、カートリッジ形式のものであり、機能液を真空パックした機能液パック５２と、機能液パック５２を収容する樹脂製のカートリッジケース５３と、を有している。なお、機能液パック５２に貯留される機能液は、予め脱気されており、その溶存気体量は略ゼロとなっている。

機能液パック５２は、２枚の長方形の（可撓性の）フィルムシートを重ね合わせて熱溶着した袋状のものに、機能液を供給する樹脂製の供給口５４を取り付けたものである。供給口５４には、パック内に連通する連通開口（図示省略）が形成されている。連通開口は、機能液耐食性を有する弾性材で構成した閉塞部材（図示省略）により閉栓されており、連通開口から空気（酸素）や湿気が侵入することを防止できるようになっている。

タンクプレート４８は、ステンレス等の厚板で略方形に形成されている。図９に示すように、タンクプレート４８には、供給口５４をバルブユニット２７側に向けた機能液タンク４３が、縦置きで着脱自在にセットされる１２個のセット部５５が設けられている。同図に示すように、セット部５５は、支持フレーム２５の短辺方向に一列に並んで配設されている。

タンクセット治具５１は、機能液タンク４３の後面（機能液タンク４３の前面に対向する面）を前方に押し込むことにより、機能液タンク４３を前方にスライドさせてセット部５５にセットするものであり、機能液タンク４３を押し出す押圧レバー５６と、押圧レバー５６を支持する支持部材５７と、を有している。機能液タンク４３のセット位置に合わせて支持部材５７を移動させることにより、押圧レバー５６を各機能液タンク４３に対峙させ、機能液タンク４３を適切にセットできるようになっている。

機能液供給チューブ４４は、各機能液タンク４３および各圧力調整弁４６を接続するタンク側チューブ５８と、各圧力調整弁４６および各機能液滴吐出ヘッド３を接続するヘッド側チューブ５８と、を有している。タンク側チューブ５８およびヘッド側チューブ５８は、機能液に対する耐食性、気体非透過性、防水性等を考慮した積層構造のもので構成されている。例えば、水系の機能液を用いた場合には、内側から順に、ポリエチレン層、接着剤層、エチレンビニルアルコール共重合体層、接着剤層、ポリエチレン層の順に積層した５層構造のチューブを用い、溶剤系の機能液を用いた場合には、内側から順に、エチレンビニルアルコール共重合体層、接着剤層、ポリエチレン層の順に積層した３層構造のチューブを用いる。なお、ポリエチレンは、防水性を有する素材であり、エチレンビニルアルコール共重合体は、有機溶剤に対する耐食性および気体非透過性を有する素材である。機能液供給チューブ４４の詳細については後述する。

図４に示すように、接続具４５は、機能液タンク４３およびタンク側チューブ５８を接続するためのタンク側アダプタ６２と、機能液滴吐出ヘッド３およびヘッド側チューブ６１を接続するためのヘッド側アダプタ６３と、を有している。タンク側アダプタ６２には、軸心に流路を形成した連通針３０が設けられており、連通針３０は、上記した機能液パック５２（連通開口）の閉塞部材（図示省略）を貫いて差し込まれることにより機能液パック５２に接続されている。

バルブユニット２７は、６個の圧力調整弁４６と、６個の圧力調整弁４６を支持する６個のバルブ支持部材５７と、バルブ支持部材５７を介して６個の圧力調整弁４６を支持するバルブプレート６５と、で構成されている（図９参照）。バルブプレート６５には、６個のバルブ支持部材５７が支持フレーム２５の短辺方向に位置ずれした状態で立設され、これらに６個の圧力調整弁４６が支持されている（図９参照）。なお、ヘッドプレート２４、タンクプレート４８およびバルブプレート６５により、本発明の請求項にいうキャリッジが構成されている。また、本発明の請求項にいうヘッドユニットは、支持フレーム２５まで含んだ概念である。

次に、図１を参照して、ヘッド保守装置５について説明する。ヘッド保守装置５は、液滴吐出装置１の非稼働時に、機能液滴吐出ヘッド３のノズル面を封止してノズル３５の乾燥を防止すると共に、機能液滴吐出ヘッド３の吐出ノズル３５から増粘した機能液を吸引除去する保管・吸引ユニット６７と、機能液滴吐出ヘッド３のノズル面３７に付着する汚れを払拭するワイピングユニット６８とを有している。これら両ユニット６７，６８は、機台２上にＸ軸方向に延在するように載置された移動テーブル７１上に搭載され、この移動テーブル７１によってＸ軸方向に移動可能に構成されている。

保管・吸引ユニット６７は、機能液滴吐出ヘッド３の捨て吐出を受けるフラッシングボックスの機能を兼ねる封止キャップ７２と、封止キャップ７２を昇降させるキャップ昇降機構７３と、封止キャップ７２に接続した状態で機能液滴吐出ヘッド３を吸引するエジェクタやポンプ等で構成される吸引機構（図示省略）と、吸引機構で吸引除去した廃液を回収する廃液タンク（図示省略）と、を有している。描画休止時には、機能液滴吐出ヘッド３が移動テーブル７１上の保守エリア２３に移動しており、封止キャップ７２は、機能液滴吐出ヘッド３から僅かに離れた位置で、機能液滴吐出ヘッド３のフラッシング（捨て吐出）を受ける。そして、機能液滴吐出ヘッド３が稼動待機状態になると、封止キャップ７２が完全に上昇して機能液滴吐出ヘッド３のノズル面３７のキャッピングを行い、各機能液滴吐出ヘッド３の全ノズル３５を封止する。続いて、キャッピング状態の機能液滴吐出ヘッド３を再駆動する際には、機能液の増粘によるノズル詰りを防止すべく、必要に応じて吸引機構の駆動を行い、ノズル３５から増粘した機能液を吸引する。なお、この吸引作業は機能液を初期充填する際や機能液交換における液抜きの際にも用いられるがこれらについては後述する。

同図に示すように、ワイピングユニット６８には、ワイピングシート６８ａが繰出し自在且つ巻取り自在に設けられており、繰り出したワイピングシート６８ａを送りながら、且つ移動テーブル７１によりワイピングユニット６８をＸ軸方向に移動させつつ、機能液滴吐出ヘッド３のノズル面３７を拭き取るようになっている。このため、上記吸引動作等により機能液滴吐出ヘッド３のノズル面に付着した機能液が取り除かれ、吐出した機能液滴の飛行曲がり等が防止される。なお、ヘッド保守装置５として、上記の両ユニット６７，６８に加え、機能液滴吐出ヘッド３から吐出された機能液滴の飛行状態を検査する吐出検査ユニット（図示省略）等を、搭載することが好ましい。

ここで、図５ないし図８を参照して、本実施形態の圧力調整弁４６について説明する。圧力調整弁４６は、バルブハウジング６９内に、機能液タンク４３に連なる１次室７０と、機能液滴吐出ヘッド３に連なる２次室７９と、１次室７０および２次室７９を連通する連通流路８０とを形成したものであり、２次室７９の１の面には外部に面してダイヤフラム７５が設けられ、連通流路８０にはダイヤフラム７５により開閉動作する弁体７６が設けられている。機能液タンク４３から１次室７０に導入された機能液は、２次室７９を介して機能液滴吐出ヘッド３に供給されるが、その際、ダイヤフラム７５により大気圧を調整基準圧力として、連通流路８０に設けた弁体７６を開閉動作させることで２次室７９の圧力調整を行うようになっている。

圧力調整弁４６は、図７に示すように、ダイヤフラム７５が鉛直姿勢を為すように縦置きで用いられる。以下、同図に倣って紙面の先方を「上」、手前を「下」、左方を「前」および右方を「後」として説明を進める。なお、図５および図６では、圧力調整弁４６に、これをフレーム等（本実施形態ではバルブ支持部材５７）に取り付けるための取り付けプレート７７、上記のタンク側チューブ５８を繋ぎ込むための流入コネクタ７８（ユニオン継手）および上記のヘッド側チューブ６１を繋ぎ込むための流出コネクタ８１（ユニオン継手）を組み込んだ状態を表している。

バルブハウジング６９は、ハウジング本体８２と、ハウジング本体８２と共に内部に１次室７０を形成した蓋体８３と、ハウジング本体８２と共に内部に２次室７９を形成しハウジング本体８２にダイヤフラム７５を固定するリングプレート８４との３部材で構成され、いずれもステンレス等の耐食性材料で形成されている。蓋体８３およびリングプレート８４は、ハウジング本体８２に対し、前後からリングプレート８４および蓋体８３を重ね、複数本の段付平行ピン（図示省略）でそれぞれ位置決めした後、ねじ止めして組み立てられており、いずれも円形のダイヤフラム７５の中心を通る軸線と同心円となる多角形（８角形）あるいは円形の外観を有している。そして、蓋体８３およびハウジング本体８２は、パッキン８５を介して相互に気密に突合せ接合され、ハウジング本体８２およびリングプレート８４は、ダイヤフラム７５の縁部およびパッキン８５を挟込み込んで相互に気密に突合せ接合されている。

ハウジング本体８２と蓋体８３とで形成された１次室７０は、ダイヤフラム７５と同心となる略円柱形状に形成されており、その開放端を蓋体８３により閉蓋されている。また、ハウジング本体８２の１次室側背面上部に形成した上部ボス部の左部には１次室７０から径方向斜めに延びる流入ポート８６が形成され、流入ポート８６には上記の流入コネクタ７８が接続されている。

図７および図８に示すように、２次室７９は、ダイヤフラム７５とハウジング本体８２に形成した内面壁９１とによって、全体としてダイヤフラム７５を底面とする円錐台形状に形成されている。ダイヤフラム７５は、鉛直姿勢を為して配設され、２次室７９の１つの面を構成している。また、内面壁９１は、２次室７９のダイヤフラム７５の面（１つの面）を除いた各面で構成されており、最大マイナス変形したダイヤフラム７５が接触する形状となっている。

また、内面壁９１のうち円錐台形状の頂面となる端壁９１ａには、ダイヤフラム７５と同心となる上記した連通流路８０の２次室側開口部９２が開口し、内面壁９１のうち円錐台形状のテーパ面となる周壁９１ｂの下側斜面における上下中間部には、後述する流出流路９３の流出開口部９４が形成されている。この場合、２次室側開口部９２は、後述する受圧板付勢ばね９５を収容するばね室を兼ねており、連通流路８０の主流路９６より太径に形成されている。また、流出開口部９４は、２次室側開口部９２に対して鉛直方向下方に位置して配設されており、機能液が２次室側開口部９２から流出開口部９４に円滑に流下するようになっている。さらに、２次室７９の内面壁９１には、２次室側開口部９２を中心として、上下、左右に十字状に延びる流路溝９７が形成されている。

流路溝９７は、その各溝１１５、１１６、１１７の開放部が、最大マイナス変形したダイヤフラム７５に覆われる（主として、受圧板）ことで、機能液やエアーの流路として機能するようになっている。

図７および図８に示すように、ハウジング本体８２には、１次室７０と２次室７９とを連通する上記の連通流路８０が形成されている。連通流路８０は、主流路９６と、これに連なる２次室側開口部９２とで構成されている。これら１次室７０、２次室７９および連通流路８０は、いずれもダイヤフラム７５と同心の円形断面を有している。ただし、主流路９６は、後述する弁体７６の軸部１０３がスライド自在に収容される円形断面の軸遊挿部１０４と、軸遊挿部１０４から径方向四方に延びる十字状断面の流路部１０５とで構成されている（図６（ｂ）参照）。

ダイヤフラム７５は、樹脂フィルムで構成したダイヤフラム本体１０７と、ダイヤフラム本体１０７の内側に貼着した樹脂製の受圧板１０８とで構成されている。受圧板１０８は、ダイヤフラム本体１０７と同心の円板状に、且つダイヤフラム本体１０７に対し十分に小さい径に形成されており、その中央に後述する弁体７６の軸部１０３が当接する。

弁体７６は、円板状の弁体本体１１１と、弁体本体１１１の中心から断面横「Ｔ」字状を為すように一方向に延びる軸部１０３と、弁体本体１１１の軸部１０３側（前面）に設けた（接着した）環状のバルブシール１１２とで構成されている。弁体本体１１１および軸部１０３は、ステンレス等の耐食材料で一体に形成されている。バルブシール１１２は、例えば軟質のシリコンゴムで環状に形成されている。このため、弁体７６の閉弁時には、弁座となる連通流路８０の開口縁にバルブシール１１２が強く当接して、連通流路８０が１次室７０側から液密に閉塞される。

軸部１０３は、連通流路８０（の主流路９６）にスライド自在に遊嵌され、閉弁状態でその先端（前端）が中立位置にあるダイヤフラム７５の受圧板１０８に当接する。すなわち、ダイヤフラム７５が外部に向かって膨出するプラス変形の状態では、軸部１０３の前端と受圧板１０８との間には所定の間隙が生じており、この状態からダイヤフラム７５がマイナス側に変形してゆくと、中立状態で軸部１０３の前端と受圧板１０８とが当接し、さらにダイヤフラム７５のマイナス変形がすすむと、受圧板１０８が軸部１０３を介して弁体本体１１１を押し開弁させることになる。

弁体７６の背面と１次室７０の壁体１１３との間には、弁体７６を２次室７９側、すなわち閉弁方向に付勢する弁体付勢ばね１１４が介設されている。同様に、受圧板１０８と内面壁９１の間には、受圧板１０８を介してダイヤフラム本体１０７を外部に向かって付勢する受圧板付勢ばね９５が介設されている。この場合、弁体付勢ばね１１４は、弁体７６の背面に加わる機能液タンク４３の水頭を補完するものであり、機能液タンク４３の水頭とこの弁体付勢ばね１１４のばね力により、弁体７６が閉塞方向に押圧される。一方、受圧板付勢ばね９５は、ダイヤフラム７５のプラス変形を補完するものであり、大気圧に対し２次室７９が負圧になるように作用する。

圧力調整弁４６は、大気圧と機能液滴吐出ヘッド３に連なる２次室７９との圧力バランスによりダイヤフラム７５（およびこれが当接する弁体７６）が変形（進退）することで開閉し、２次室７９側を所定の圧力まで減圧するようにしている。その際、弁体付勢ばね１１４および受圧板付勢ばね９５に力が分散して作用し、且つ軟質シリコンゴムのバルブシール１１２（の弾性力）により、弁体７６は極めてゆっくり開閉動作する。このため、弁体７６の開閉による圧力変動（キャビテーション）が抑制され、機能液滴吐出ヘッド３の吐出駆動に影響を与えないようになっている。もちろん、機能液タンク４３側（１次室７０側）で発生する脈動等も、弁体７６で縁切りされるため、これを吸収する（ダンパー機能）ことができる。

次に、図９および図１０を参照して、機能液供給チューブ４４の詳細について説明する。支持フレーム２５には、上記したように、図９の紙面左側から１２個の機能液滴吐出ヘッド３を搭載するヘッドプレート２４と、６個の圧力調整弁４６を搭載するバルブプレート６５と、１２個の機能液タンク４３を搭載するタンクプレート４８と、がそれぞれ固定されている。この場合、２個の機能液滴吐出ヘッド３、１個の圧力調整弁４６および２個の機能液タンク４３を１組として、これらは機能液供給チューブ４４によって接続されている。すなわち、２個の機能液タンクがタンク群４０として、また、２個の機能液滴吐出ヘッド３がヘッド群３９として、まとまって配設されている。

図９および図１０に示すように、機能液供給チューブ４４のヘッド側チューブ６１は、圧力調整弁４６の２次室７９、すなわち流出コネクタ８１に接続した単一のヘッド側メインチューブ１２１と、機能液滴吐出ヘッド３の直近で、第１二分岐継手１２４（Ｙ字継手）によりヘッド側メインチューブ１２１から分岐すると共に２個の機能液滴吐出ヘッド３に接続する２本（複数本）のヘッド側分岐チューブ１２２と、で構成されている。各ヘッド側分岐チューブ１２２は、機能液滴吐出ヘッド３が２本の接続針３１を有することから、接続針３１の近傍で、第２二分岐継手１２５（Ｙ字継手）により２本の接続チューブ１２８に分岐している。

２本のヘッド側分岐チューブ１２２は同一の長さに形成され、同様に計４本の接続チューブ１２８も同一の長さに形成されている。このため、両ヘッド側分岐チューブ１２２を流れる機能液には同一の圧力損失を生じるようになっている。これにより、２本のヘッド側分岐チューブ１２２間で、これらを流れる機能液の圧力を均一にすることができ、２個の機能液滴吐出ヘッド３に均一な圧力の機能液を供給できるようになっている。なお、各圧力調整弁４６と各機能液滴吐出ヘッド３との離間距離は一定であるため、ヘッド側チューブ６１をユニット化しておくことも可能である。

機能液供給チューブ４４のタンク側チューブ５８は、２個（複数）の機能液タンク４３に接続した２本（複数本）のタンク側個別チューブ１３１と、複数の機能液タンク４３の直近で、第３二分岐継手１２６（Ｙ字継手）によりタンク側個別チューブ１３１をつなぎ合わせると共に圧力調整弁４６の１次室７２、すなわち流入コネクタ７８に接続する単一のタンク側合流チューブ１３２と、で構成されている。２本のタンク側個別チューブ１３１は、同一の長さに形成されており、これらを通る機能液に同一の圧力損失を生じる。これにより、２本のタンク側個別チューブ１３１を通る機能液の流速が均一になって、２個の機能液タンク４３を均一に使用できるようになっている。なお、２本のタンク側個別チューブ１３１は、いわゆるマニホールドとして機能する。よって、これを継手一体のもので形成してもよい。

タンク側合流チューブ１３２は、ヘッド群３９に対応する圧力調整弁４６と機能液タンク４３との離間距離がヘッド群３９毎に異なるため、異なる弛みをもって支持フレーム２５上に配管されている。すなわち、計６本のタンク側合流チューブ１３２の長さが同一となるように、同図中手前のタンク側チューブ５８Ａは、機能液タンク４３Ａから遠い距離に配設されるヘッド群３９Ａ（圧力調整弁４６Ａ）に対応しており、直線的に最短となるように配管されている。一方、同図中先方のタンク側チューブ５８Ｃは、機能液タンク４３Ｃから近い距離に配設されるヘッド群３９Ｃ（圧力調整弁４６Ｃ）に対応しており、十分な弛みを持って配管されている。また、同図中中央のタンク側チューブ５８Ｂは、これらの中間の距離で配設されるヘッド群３９Ｂ（圧力調整弁４６Ｂ）に対応しており、若干の弛みを持って配管されている。これらの構成をとることにより、各タンク側チューブ５８Ａ、５８Ｂ、５８Ｃをヘッド群３９の配設位置にかかわらずの同一の長さに構成することができる。これにより、異なるヘッド群３９に属する機能液滴吐出ヘッド３にも、均一な圧力の機能液を供給することができる。

図１１（ａ）に模式的に示すように、機能液供給チューブ４４は、具体的には、タンク側個別チューブ１３１がそれぞれ２０ｍｍ、タンク側合流チューブ１３２が８０ｍｍ、ヘッド側メインチューブ１２１が６０ｍｍ、ヘッド側分岐チューブ１２２（の本体部分）がそれぞれ２０ｍｍ、接続チューブ１２８がそれぞれ２０ｍｍで構成され、その総延長を３００ｍｍとしている。このように、タンク側チューブ５８およびヘッド側チューブ６１が短く構成されているため、両チューブ５８，６１の引き回し用のスペースを必要とせず、且つ両チューブ５８，６１の経路の曲がり部分を固定具等（配管支持金物）で固定する必要がない。なお、本実施形態では、２個の機能液タンク４３を共有するようにしているが、それより多くの機能液タンク４３を共有するようにしてもよい。これにより、機能液供給チューブ４４の総延長をより一層短くすることができ、且つ機能液タンク４３の交換を一括して行うことができる。また、各継手はＹ字継手で構成されているが、Ｔ字継手であってもよい。

本実施形態によれば、機能液供給チューブ４４の総延長を極力短くすることができ、機能液の交換等において機能液の無駄を防止することができる。また、圧力調整弁４６を２個の機能液滴吐出ヘッド３で共有することで、圧力調整弁４６の個数を削減することができると共に、キャリッジ本体２６の重量軽減やキャリッジ本体２６上の省スペース化を図ることができる。

次に、図１１（ｂ）を参照して、機能液供給チューブ４４の第２実施形態について説明する（継手の説明は省略）。第２実施形態の機能液供給チューブ４４Ｄは、１個の機能液タンク４３から２個の圧力調整弁４６を介して、４個の機能液滴吐出ヘッド３に機能液を供給するようにしている。すなわち、機能液供給チューブ４４Ｄのタンク側チューブ５８は、機能液タンク４３に接続するタンク側合流チューブ１３２と、圧力調整弁４６の近傍で分岐した２本のタンク側個別チューブ１３１と、で構成されている。また、機能液供給チューブ４４のヘッド側チューブ６１は、第１実施形態のものと同じ構成となっている。このような構成をとることにより、１個の機能液タンク４６からも複数の機能液滴吐出ヘッド３に機能液を供給することができる。

この場合、タンク側合流チューブ１３２が８０ｍｍ、タンク側個別チューブ１３１がそれぞれ２０ｍｍ、ヘッド側メインチューブ１２１が６０ｍｍ、ヘッド側分岐チューブ１２２（の本体部分）が２０ｍｍ、接続チューブ１２８が２０ｍｍで構成され、その総延長を４８０ｍｍとしている。これにより、機能液供給チューブ４４の総延長を極端に短くすることができる。特に、機能液の消費量が少ない場合には、単一の機能液タンク４３を４個の機能液滴吐出ヘッド３で共有することにより、キャリッジ本体２６の重量やスペースを少なくすることができる。なお、機能液滴吐出ヘッド３および圧力調整弁４６の数は、上記の構成に限るものではなく、それ以上であってもよい。

次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、更にこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、及び薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板を言う。

先ず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１２は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１３は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１３（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。

続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１３（ｂ）に示すように、基板５０１及びブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１３（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において液滴吐出ヘッド３により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。

以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。

次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１３（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド３によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド３を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１３（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。

図１４は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１３に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。

この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、及び、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１４において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。

液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。

実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド３で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド３で行うことも可能である。

図１５は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。

液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

図１６は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。

この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。

対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１及び信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。

また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。

なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。

次に、図１７は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。

この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３及び陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。

回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａ及びドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。

また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６及び半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９及びゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。

そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第1層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。

このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。

上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３及び機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、及び、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。

バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。

上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。

発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、又は青色（Ｂ）の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。

そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。

陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。

次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１８〜図２６を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１８に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、及び対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。

まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１９に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図２０に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。

表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａ及び画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓ及び有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド３を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。

そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル１７に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）及び発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。

図２１に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド３から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２２に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入/輸送層６１７ａを形成する。

次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。

そして次に、図２３に示すように、各色のうちの何れか（図２３の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。

その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２４に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。

同様に、機能液滴吐出ヘッド３を用い、図２５に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）及び緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａ及び発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。

対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２６に示すように、発光層６１７ｂ及び有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ₂、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。

このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。

次に、図２７は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、及びこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。

第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。

放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。

第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、及びＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。

本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、及び蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル１４に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド３により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。

補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。

ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１及び蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を液滴吐出ヘッド３から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。

次に、図２８は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、及びこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。

第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。

第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。

そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。

この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。

第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２９（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２９（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。

また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。

液滴吐出装置の平面模式図である。液滴吐出装置の側面模式図である。機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。機能液供給装置の側面模式図である。圧力調整弁の外観斜視図である。圧力調整弁の背面図（ａ）、および正面図（ｂ）である。圧力調整弁を流入ポートの軸線方向に切断した縦断面図である。圧力調整弁を流出ポートの軸線方向に切断した縦断面図である。支持フレームの平面図である。機能液供給チューブの説明図である。（ａ）第１実施形態の機能液供給装置の模式図、（ｂ）第２実施形態の機能液供給装置の模式図である。カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。無機物バンク層の形成を説明する工程図である。有機物バンク層の形成を説明する工程図である。正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。陰極の形成を説明する工程図である。プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。

符号の説明

Ｗワーク１液滴吐出装置
３機能液滴吐出ヘッド６機能液供給装置
１３ヘッドユニット２５支持フレーム
２６キャリッジ本体４３機能液タンク
４４機能液供給チューブ４６圧力調整弁
５８タンク側チューブ６１ヘッド側チューブ
７１バルブハウジング７２１次室
７３２次室７４連通流路
７５ダイヤフラム７６弁体
１２１ヘッド側メインチューブ１２２ヘッド側分岐チューブ
１３１タンク側個別チューブ１３２タンク側合流チューブ

Claims

ワークに機能液を吐出する複数の機能液滴吐出ヘッドに前記機能液を供給する機能液タンクと、
前記機能液タンクと前記複数の機能液滴吐出ヘッドとを接続する機能液供給チューブと、
前記機能液供給チューブに介設され、前記機能液タンクからバルブハウジング内の１次室に導入した機能液を、前記バルブハウジング内の２次室を介して前記複数の機能液滴吐出ヘッドに供給すると共に、大気に面し前記２次室の１つの面を構成するダイヤフラムにより、大気圧を調整基準圧力として、前記１次室と前記２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を開閉動作させて、前記２次室を圧力調整する圧力調整弁と、を備え、
前記機能液供給チューブは、前記機能液タンクと前記１次室とを接続するタンク側チューブと、前記２次室と前記機能液滴吐出ヘッドとを接続するヘッド側チューブとを有し、
前記ヘッド側チューブは、前記２次室に接続した単一のヘッド側メインチューブと、前記複数の機能液滴吐出ヘッドの直近で前記ヘッド側メインチューブから分岐すると共に、前記複数の機能液滴吐出ヘッドにそれぞれ接続する複数本のヘッド側分岐チューブと、で構成されていることを特徴とする機能液供給装置。
前記複数本のヘッド側分岐チューブは、同一の長さに形成されていることを特徴とする請求項１に記載の機能液供給装置。
前記機能液タンクは複数のもので構成されており、
前記タンク側チューブは、複数の前記機能液タンクにそれぞれ接続した複数本のタンク側個別チューブと、前記複数の機能液タンクの直近で前記タンク側個別チューブをつなぎ合わせると共に、前記１次室に接続する単一のタンク側合流チューブと、で構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の機能液供給装置。
前記複数本のタンク側個別チューブは、同一の長さに形成されていることを特徴とする請求項３に記載の機能液供給装置。
請求項３または４に記載の機能液供給装置と、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドをキャリッジに搭載したヘッドユニットと、
前記ワークを搭載すると共に、前記ヘッドユニットに対して前記ワークを相対的に移動させる移動機構と、を備え、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドは、数個の前記機能液滴吐出ヘッドから成る複数のヘッド群を構成すると共に、前記キャリッジ上に前記ヘッド群毎にまとめて配設され、
前記複数のヘッド群に対応する複数の機能液供給チューブは、同一の長さになるように、前記キャリッジ上において取り廻し配管されていることを特徴とする液滴吐出装置。
前記圧力調整弁は、前記キャリッジ上であって前記複数の機能液滴吐出ヘッドの近傍に配設されていることを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出装置。
前記機能液タンクは、前記キャリッジ上であって前記圧力調整弁の近傍に配設されていることを特徴とする請求項５または６に記載の液滴吐出装置。
請求項５ないし７のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワークに前記機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
請求項５ないし７のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワークに前記機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
請求項８に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項９に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。