JP2006082069A

JP2006082069A - 圧力調整弁およびこれを備えた機能液供給機構、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器

Info

Publication number: JP2006082069A
Application number: JP2005004475A
Authority: JP
Inventors: Ryuichi Okada; 隆一岡田
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2004-01-14
Filing date: 2005-01-11
Publication date: 2006-03-30

Abstract

【課題】本発明は、エアーを効率的にトラップし且つ排出可能な圧力調整弁およびこれを備えた機能液供給機構、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題としている。
【解決手段】圧力調整弁７は、機能液タンク９１からバルブハウジング内の１次室１２２に導入した機能液を、バルブハウジング内の２次室１２３を介して機能液滴吐出ヘッド１１に重力供給するとともに、大気に面し２次室１２３の１つの面を構成する円形のダイヤフラム１２５により、大気圧を調整基準圧力として、弁体１２６を開閉動作させて、２次室１２３を圧力調整し、バルブハウジング１２１に形成され、１次室１２２の内部エアーを排出する１次室側エア抜き部１４４と、バルブハウジング１２１に形成され、２次室１２３の内部エアーを排出する２次室側エア抜き部１６９と、を備えている。
【選択図】図７

Description

本発明は、機能液滴吐出ヘッドに供給する機能液の圧力を大気圧を基準調整圧力として調整する圧力調整弁およびこれを備えた機能液供給機構、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。

従来、インクジェット記録装置において、インクジェットヘッドに供給する機能液の圧力を調整する圧力調整弁として、インクタンクに接続した１次室とインクジェットヘッドに接続する２次室とを備えるとともに１次室と２次室を連通するインク流路に弁体を設け、２次室の１の面に設けたダイヤフラムにより弁体を開閉動作させるものが知られている。（例えば、特許文献１参照）。
上記の圧力調整弁は、下端に１次室にインクを導入する導入部を設ける一方、上端に２次室からインクジェットヘッドに給液する供給部を設けることにより、インクを下側から充填させて圧力調整弁内に残る空気（内部エアー）をインクジェットヘッド側に押し出すようにして初期充填できる構成となっている。
特開２００３−２１１７０１号公報

このような従来の圧力調整弁では、エアーをインクジェットヘッド側に送ることにより外部に排出するため、初期充填時においてはエアーを良好に排出できるが、通常の機能液供給過程においては、機能液に混入したエアーがインクジェットヘッド側に流れていき吐出不良を生ずる問題がある。

本発明は、エアーを効率的にトラップし且つ排出可能な圧力調整弁およびこれを備えた機能液供給機構、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題としている。

本発明の圧力調整弁は、機能液タンクからバルブハウジング内の１次室に導入した機能液を、バルブハウジング内の２次室を介して機能液滴吐出ヘッドに重力供給するとともに、大気に面し２次室の１つの面を構成する円形のダイヤフラムにより、大気圧を調整基準圧力として、１次室と２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を開閉動作させて、２次室を圧力調整する圧力調整弁において、バルブハウジングに形成され、１次室の内部エアーを排出する１次室側エア抜き部と、バルブハウジングに形成され、２次室の内部エアーを排出する２次室側エア抜き部と、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、１次室および２次室における機能液は流速が低下するため、これに混入したエアーはその浮力により上昇して、上部にエアー溜まりとして集まる。このため、１次室に集まったエアーは１次室側エア抜き部から圧力調整弁外に効率よく排出することができる。同様に、２次室の上部に集めたエアーも２次室側エア抜き部を介して、外部に効率よく排出することができる。

この場合、１次室および２次室は相互に隣接して配設されるとともにダイヤフラムと同心の略円柱状に形成され、１次室側エア抜き部は１次室の頂部に開口し、２次室側エア抜き部は２次室の頂部に開口していることが、好ましい。

この構成によれば、内部エアーは初期充填後に１次室および２次室の上側に貯留されるため、頂部に設けた各エア抜き部から円滑に排出することができる。また、１次室および２次室はいずれも円柱形状に形成されているため、各室に残る内部エアーを頂部に集めて効率よく排出することができる。

また、この場合、１次室は、２次室側に向かって細くなる円錐台形状に形成されていることが、好ましい。

この場合、ダイヤフラムに対面する２次室の他方の面は、ダイヤフラムの変位形態に倣って、テーパ形状に形成されていることが、好ましい。

これらの構成によれば、１次室は、その頂部側に内部エアーを導くことができるため、完全に内部エアーを排出することができる。しかも、１次室の頂部を２次室から最も遠い位置に配置することができるため、頂部に集めた内部エアーが２次室側に移動して、そのまま機能液滴吐出ヘッドまで流れてしまうのを防止することができる。同様に、２次室もその頂部側に内部エアーを誘導することができるため、２次室から完全に内部エアーを排出することができる。

本発明の機能液供給機構は、機能液を貯留する機能液タンクと、機能液滴吐出ヘッドに接続する上記の圧力調整弁と、上流端部を機能液タンクに接続するとともに下流端部を圧力調整弁に接続する機能液供給流路と、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、機能液タンクの設置高さに基づく水頭圧にかかわらず、圧力調整弁より供給される機能液の圧力を適切に調整することができる。このため、機能液滴吐出ヘッドから機能液が漏れることがなく、且つ機能液の吐出量が安定する。

この場合、エアー流路を介して前記圧力調整弁の１次室側エア抜き部および２次室側エア抜き部に連通するエアー吸引手段を、更に備えたことが、好ましい。

この構成によれば、内部エアーはエアー流路を介しエアー吸引手段によって圧力調整弁から外部に強制的に排出されるため、内部エアーが機能液滴吐出ヘッド側に気泡として流れることがない。

この場合、エアー吸引手段を制御する制御手段を、更に備え、制御手段は、機能液滴吐出ヘッドの吐出休止時にエアー吸引手段を駆動させることが、好ましい。

この構成によれば、エアー吸引動作が機能液滴吐出ヘッドの吐出に影響を与えるのを防止することができる。

この場合、圧力調整弁のバルブ内流路を洗浄する弁洗浄手段を更に備え、弁洗浄手段は、洗浄液をバルブ内流路に供給する洗浄液供給手段と、エアー流路に介設され、エアー吸引手段と洗浄液供給手段とを相互に流路切替えする流路切替バルブと、機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着したキャップを介して、洗浄液を吸引する洗浄液吸引手段と、を有していることが、好ましい。

この構成によれば、流路切替バルブを洗浄液供給手段側に切り替えて洗浄液を圧力調整弁に供給すると同時に、洗浄液吸引手段で機能液滴吐出ヘッド側を吸引することにより、洗浄液供給手段から圧力調整弁に洗浄液を通液してバルブ内流路を洗浄することができる。すなわち、１次室側エア抜き部を１次室への洗浄液供給口とすることができるとともに、２次室側エア抜き部を２次室への洗浄液供給口として活用できる。このため、機能液の交換の際も機能液滴吐出ヘッドを取り外すことなく、圧力調整弁内を簡単に洗浄することができる。

洗浄液吸引手段は、機能液滴吐出ヘッドから機能液を吸引する機能液吸引手段を兼ねていることが、好ましい。

この構成によれば、洗浄液吸引手段は機能液吸引手段として兼用できるため、機能液供給機構を省スペース化することができる。また、機能液吸引によって洗浄液吸引手段が汚れることがあっても、洗浄液を流すことにより簡単に洗浄することができる。

本発明の液滴吐出装置は、上記の機能液供給機構と、ワークに対し機能液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッドと、ワークを機能液滴吐出ヘッドに対してＸ軸方向およびＹ軸方向に相対移動させるＸ・Ｙ移動機構と、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドに気泡が混入しない機能液が供給されるため、液滴吐出装置で製造される製品の信頼性を向上させることができる。具体的には、製品の成膜不良、発光不良等を生じることがない。

本発明の電気光学装置の製造方法は、上記の液滴吐出装置を用い、ワークに機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。

また、本発明の電気光学装置は、上記の液滴吐出装置を用い、ワークに機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。

これらの構成によれば、機能液が変質しにくい液滴吐出装置を用いて製造されるため、信頼性の高い電気光学装置を製造することが可能となる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。

本発明の電子機器は、上記の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。

この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。

以上に述べたように、本発明の圧力調整弁およびこれを備えた機能液供給機構、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器によれば、圧力調整弁内の内部エアーが気泡となって機能液滴吐出ヘッド側に流れるのを防止して機能液を安定に供給することができるため、機能液滴の吐出精度を向上させることができる。これにより生産性を向上させることができる。

また、本発明の電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器は、上記の液滴吐出装置を用いて製造されるため、作業の信頼性を高め、効率的にこれらを製造することが可能となる。

以下、添付の図面を参照して、本発明の圧力調整弁およびこれを備えた機能液供給機構６を適用した液滴吐出装置について説明する。本実施形態の液滴吐出装置１は、いわゆるフラットパネルディスプレイの一種である有機ＥＬ装置や液晶表示装置等の製造ラインに組み込まれるものである。本実施形態では主として有機ＥＬ装置形成用の液滴吐出装置について説明する。

図１に示すように、液滴吐出装置１は、機台２と、機台２の上側中央に十字状に配設された、１２個の機能液滴吐出ヘッド１１を有する描画装置３と、機台２上に載せこんだチャンバ装置（図示省略）と、機台２上に描画装置３と並列に設置され機能液滴吐出ヘッド１１の保守等に用いる各種の装置から成るメンテナンス装置５と、機能液を圧力調整弁により圧力調整して描画装置３に供給する機能液供給機構６と、上記の各構成装置を統括的に制御する制御装置１２（制御手段）と、を備えている。

描画装置３、メンテナンス装置５および機能液供給機構６は、チャンバ装置の内に収容されており、ドライエアーや不活性ガスの雰囲気において、外部から搬入されたワークＷに対し、機能液滴吐出ヘッド１１による機能液滴の吐出、すなわち描画を行う。また、液滴吐出装置１の稼動開始時等にあっては機能液滴吐出ヘッド１１の機能回復を図るべく、これをメンテナンス装置５に臨ませる。

描画装置３は、機台２上に設置したＸ・Ｙ移動機構１３を有している。Ｘ・Ｙ移動機構１３は、機能液滴吐出ヘッド１１に対して、ワークＷをＸ軸方向およびＹ軸方向に相対移動させるものであり、ワークＷを搭載するとともにこれをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル５１と、これを跨いで直交するように設置されて、各機能液滴吐出ヘッド１１を搭載するとともにこれをＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブル５２と、を備えている。また、描画装置３には、各機能液滴吐出ヘッド１１の位置認識を行うヘッド認識カメラ（図示省略）や、ワークＷの位置認識を行うための一対のワーク認識カメラ５３、５３等の各種の装置が備えられている。

Ｘ軸テーブル５１は、Ｘ軸方向に延在するメンテナンス装置５と相互に平行になるように機台２に直接設置されており、ワークＷを吸着する吸着テーブル５４および吸着テーブル５４をＺ軸廻りに回転自在に支持するθテーブル５５からなるセットテーブル５６と、セットテーブル５６をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸スライダ５７と、Ｘ軸スライダ５７を駆動するＸ軸モータ（図示省略）とを有している。ワークＷは吸着テーブル５４上に吸着載置され、Ｘ軸スライダ５７を介して主走査方向であるＸ軸方向に往復移動される。

Ｙ軸テーブル５２は、Ｘ軸テーブル５１を挟んで機台２に立設された左右一対の支柱５８と、両支柱５８，５８に掛渡されたＹ軸フレーム５９と、Ｙ軸フレーム５９にスライド自在に支持されるＹ軸スライダ６１と、Ｙ軸スライダ６１を駆動するＹ軸モータ（図示省略）と、Ｙ軸スライダ６１に支持され機能液滴吐出ヘッド１１を搭載するメインキャリッジ６２とを有している。機能液滴吐出ヘッド１１はメインキャリッジ６２とともに、Ｙ軸スライダ６１を介して副走査であるＹ軸方向に往復移動される。

そして、ワークＷに描画を行う場合には、各機能液滴吐出ヘッド１１を所定のワークギャップを存してワークＷに臨ませておいて、Ｘ軸テーブル５１による主走査（ワークＷの往復移動）に同期して、各機能液滴吐出ヘッド１１を吐出駆動させる。また、Ｙ軸テーブル５２により適宜、副走査（機能液滴吐出ヘッド１１の移動）が行われる。この一連の動作により、ワークＷの描画領域に所望の描画が行われる。

また、図２に示すように、メインキャリッジ６２は、Ｙ軸スライダ６１に固定したスライドベース６３と、スライドベース６３に垂設した垂設フレーム６４と、垂設フレーム６４の下部に組み込んだθ軸回転機構６５と、θ軸回転機構６５の下端に設けたキャリッジ本体６６と、を有している。これにより、垂設フレーム６４が、θ軸回転機構６５を介しキャリッジ本体６６をθ軸廻りに回転自在に支持している。

キャリッジ本体６６は、方形枠状のサブキャリッジ６７と、サブキャリッジ６７に装着されるヘッドプレート６８、バルブプレート６９およびタンクプレート７０と、サブキャリッジ６７に対向するとともにθ軸回転機構６５に装着される装着プレート７１と、サブキャリッジ６７と装着プレート７１を連結する複数の連結支柱７２と、を有している。サブキャリッジ６７は、その長手方向に対し、ヘッドプレート６８、バルブプレート６９、タンクプレート７０の順でこれらを搭載している。ヘッドプレート６８には、１２個の機能液滴吐出ヘッド１１その下部を下方に突出させるようにして搭載されている。なお、１２個の機能液滴吐出ヘッド１１はその全ノズル列３３が１描画ラインを構成すべく平面視階段状に配設されている（図１参照）。同様に、バルブプレート６９には１２個の圧力調整弁７が、タンクプレートには１２個の機能液タンク９１が、平面視階段状且つ機能液滴吐出ヘッド１１と直列になるように配設されている。

機能液滴吐出ヘッド１１は、機能液滴を吐出する多数（例えば１８０個）のノズル３２をそのノズル面３１に有しており、それら多数のノズル３２が２列のノズル列３３を形成している（図１参照）。具体的には、機能液滴吐出ヘッド１１は、これらのノズル列３３に対応した一対のヘッド内流路（図示省略）と、ヘッド内流路に面して設けられたキャビティ（ピエゾ圧電素子）（図示省略）と、ヘッド内流路に連なる一対の導入口部３４（図３参照）と、を有している。ノズル吸引による初期充填工程において、機能液は機能液滴吐出ヘッド１１の各導入口部３４から導入されて、ヘッド内流路に満たされる。そして機能液滴吐出ヘッド１１が吐出駆動すれば、キャビティがポンプ作用を発揮してヘッド内流路の機能液をノズル３２から吐出させる（機能液滴の吐出）。これにより、機能液滴吐出ヘッド１１では機能液が消費され、それに伴いヘッド内流路には新たな機能液が機能液供給機構６から供給される。

次に、図１を参照して、メンテナンス装置５について説明する。メンテナンス装置５は、液滴吐出装置１の非稼働時に、機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面３１を封止してノズル３２の乾燥を防止する保管ユニット２１と、機能液滴吐出ヘッド１１のノズル３２から増粘した機能液を吸引除去する吸引ユニット２２（機能液吸引手段、洗浄液吸引手段）と、機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面３１に付着する汚れを払拭するワイピングユニット２３とを有している。これら各ユニットは、機台２上にＸ軸方向に延在するように載置された移動テーブル２４上に搭載され、この移動テーブル２４によってＸ軸方向に移動可能に構成されている。

保管ユニット２１は、機能液滴吐出ヘッド１１の捨て吐出を受けるフラッシングボックスの機能を兼ねる封止キャップ２５を有しており、封止キャップ２５はこれを昇降させる昇降機構２６を介して移動テーブル２４に取り付けられている。液滴吐出装置１の非稼働時には、機能液滴吐出ヘッド１１は移動テーブル２４上のメンテナンス位置４２に移動しており、これに対し封止キャップ２５を上昇させて機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面３１に密着させる。すなわち、機能液滴吐出ヘッド１１の全ノズル３２を封止し、各ノズル３２における機能液滴の乾燥を防止する。また、描画休止時には、封止キャップ２５を機能液滴吐出ヘッド１１から僅かに下降させ、機能液滴吐出ヘッド１１のフラッシング（捨て吐出）を受けるようにしている。これにより機能液の増粘を抑制していわゆるノズル詰りが防止される。

吸引ユニット２２は、機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面３１に直接密着する吸引キャップ８１と、吸引キャップ８１を介して吸引除去した廃液を回収する廃液タンク８２と、上流端を吸引キャップ８１に接続され下流端を廃液タンク８２に接続した廃液流路８３と、廃液流路８３の途中に設けられた吸引ポンプ８４と、廃液流路８３を流れる液体を検出する流体検出センサ８５と、吸引キャップ８１を昇降させるキャップ昇降機構８６と、を有している（図９参照）。吸引キャップ８１はキャップ昇降機構８６を介して移動テーブル２４に取り付けられている。稼動開始時や機能液の初期充填時に機能液滴吐出ヘッド１１はメンテナンス位置４２に臨み、上記のキャップ昇降機構８６が吸引キャップ８１を上昇させ機能液滴吐出ヘッド１１に密着させると同時に吸引ポンプ８４が駆動してノズル３２から増粘した機能液や充填のための機能液を吸引する。なお、流体検出センサ８５は吸引ポンプ８４の駆動停止のトリガとして機能する。

図１に示すように、ワイピングユニット２３には、ワイピングシート４１が繰り出し自在且つ巻取り自在に設けられており、繰り出したワイピングシート４１を送りながら、且つ移動テーブル２４によりワイピングユニット２３をＸ軸方向に移動させながら、機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面３１を拭き取るようになっている。このため、上記吸引動作等により機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面３１に付着した機能液が取り除かれ、機能液滴吐出時の飛行曲がり等が防止される。なお、メンテナンス装置５として、上記の各ユニットに加え、機能液滴吐出ヘッド１１から吐出された機能液滴の飛行状態を検査する吐出検査ユニット（図示省略）等を、搭載することが好ましい。

次に図２を参照しながら、本実施形態の機能液供給機構６について説明する。機能液供給機構６は、各機能液滴吐出ヘッド１１に１対１で対応した、１２個の機能液タンク９１と、１２個の圧力調整弁７と、これら各機能液タンク９１および各圧力調整弁７を接続する１２本のタンク側チューブ９２と、各圧力調整弁７および各機能液滴吐出ヘッド１１を接続する１２本のヘッド側チューブ９３と、を有している（同図示では圧力調整弁７および機能液タンク９１を各１個のみ示している）。この場合、機能液タンク９１が最も高い位置に、機能液滴吐出ヘッド１１が最も低い位置に配設されており、機能液タンク９１の機能液は、タンク側チューブ９２、圧力調整弁７、ヘッド側チューブ９３の順に流れて機能液滴吐出ヘッド１１に供給される。すなわち、機能液タンク９１の機能液は、圧力調整弁７により所定の圧力に減圧されて機能液滴吐出ヘッド１１に供給される。また、詳細は後述するが、機能液供給機構６には、圧力調整弁７にトラップされた内部エアーを強制的に排出するためのエアー吸引手段８および弁洗浄手段９が組み込まれている。

図３に示すように、機能液タンク９１は、カートリッジ形式のものであり、予め脱気した機能液を内部に貯留する機能液パック９４と、機能液パック９４を収容する略方形のカートリッジケース９５と、を有している。機能液パック９４は、方形の２枚のフィルムシート９６を重ね合わせて熱融着した袋状のものに、円筒形状の樹脂製の供給口９７を設けたものである。この機能液パック９４は機能液を気密状態で貯留できるとともに、機能液の減少に伴い変形し、機能液を最後まで使い切ることができるようになっている。また、供給口９７の軸心は、機能液パック内部に連通する開口部９８となっており、開口部９８の端部は機能液耐食性、気体非透過性および防水性を有する弾性体９９によって閉栓されている。これにより機能液パック９４内部に周囲エアーや湿気が侵入して、機能液が劣化するのを防止している。なお、フィルムシート９６についても、機能液耐食性、気体非透過性および防水性を有するように、複数の素材で積層構造をとることが好ましい。

カートリッジケース９５は、樹脂等で扁平な箱状に形成され、前端の開口部９８には機能液パック９４の供給口９７が係止する係止溝（図示省略）が形成されており、内部に収容された機能液パック９４は、その供給口９７を外側に突出させた状態で係止溝に係止されている。そして、機能液パック９４の供給口９７とタンク側チューブ９２とは、専用の接続具１０１を介して接続されている。

図４に示すように、接続具１０１は、タンク側チューブ９２に直接接続されるチューブ接続部１０２と、機能液タンク９１に接続されるタンク接続部１０３と、これらを支持する接続具スタンド１０４と、を有しており、両接続部１０２、１０３の内部には機能液パック９４からタンク側チューブ９２に機能液を供給する流路が形成されている。チューブ接続部１０２は、ねじ接合の継手で構成され、タンク接続部１０３は、軸心に流路を形成した接続針１０８で構成されている。

接続針１０８は、先端が鋭利に形成されており、この先端部分には内部流路（図示省略）に連なる微小な複数の流入孔（図示省略）を形成されている。すなわち、接続針１０８は、上記した供給口９７のゴム栓９９を貫いて差し込まれることにより機能液パック９４に接続され、機能液パック９４から機能液を流出させて流路を形成する。

タンク側チューブ９２およびヘッド側チューブ９３は、上記した機能液パック９４と同様に、機能液に対する耐食性、気体非透過性、防水性等を考慮した積層構造のもので構成されている。例えば、水系の機能液を用いた場合には、内側から順に、ポリエチレン層、接着剤層、エチレンビニルアルコール共重合体層、接着剤層、ポリエチレン層の順に積層した５層構造のチューブを用い、溶剤系の機能液を用いた場合には、内側から順に、エチレンビニルアルコール共重合体層、接着剤層、ポリエチレン層の順に積層した３層構造のチューブを用いる。なお、ポリエチレンは、防水性を有する素材であり、エチレンビニルアルコール共重合体は、気体非透過性を有する素材である。

次に図５を参照しながら、本実施形態の圧力調整弁７について詳細に説明する。圧力調整弁７は、バルブハウジング１２１内に、機能液タンク９１に連なる１次室１２２と、機能液滴吐出ヘッド１１に連なる２次室１２３と、１次室１２２および２次室１２３を連通する連通流路１２４とを形成したものであり、２次室１２３の１の面には外部に面してダイヤフラム１２５が設けられ、連通流路１２４にはダイヤフラム１２５により開閉動作する弁体１２６が設けられている。機能液タンク９１から１次室１２２に導入された機能液は、２次室１２３を介して機能液滴吐出ヘッド１１に供給されるが、その際、ダイヤフラム１２５により大気圧を調整基準圧力として、連通流路１２４に設けた弁体１２６を開閉動作させることで２次室１２３の圧力調整を行うようになっている。

この圧力調整弁７は、図６（ａ）に示すように縦置きで用いられるため、以下、同図に倣って紙面の先方を「上」、手前を「下」、左方を「前」および右方を「後」として説明を進める。なお、これらの図は、圧力調整弁７に、これをフレーム等に取り付けるための取付プレート１２７、上記のタンク側チューブ９２を繋ぎ込むための流入コネクタ１２８（ユニオン継手）および上記のヘッド側チューブ９３を繋ぎ込むための流出コネクタ１２９（ユニオン継手）を組み込んだ状態を表している。

図７（ａ）に示すように、バルブハウジング１２１は、内部に１次室１２２を形成した１次室ハウジング１４１と、内部に２次室１２３を形成した２次室ハウジング１６１と、２次室ハウジング１６１にダイヤフラム１２５を固定するリングプレート１３１との３部材で構成され、いずれもステンレス等の耐食性材料で形成されている。１次室ハウジング１４１、２次室ハウジング１６１およびリングプレート１３１は、２次室ハウジング１６１に対し、前後からリングプレート１３１および１次室ハウジング１４１を重ね、複数本の段付平行ピン等でそれぞれ位置決めした後、ねじ止めするようにして組み立てられており、いずれも円形のダイヤフラム１２５の中心を通る軸線と同心円となる外観を有している。そして、１次室ハウジング１４１および２次室ハウジング１６１は、Ｏリング１３３を介して相互に気密に突合せ接合され、２次室ハウジング１６１およびリングプレート１３１は、ダイヤフラム１２５の縁部およびパッキン１３４を挟込み込んで相互に気密に突合せ接合されている。なお、１次室ハウジング１４１および２次室ハウジング１６１は、一体に形成することも可能である。

１次室ハウジング１４１には、ダイヤフラム１２５と同心となる円錐台（略円筒）形状の１次室１２２が形成されおり、１次室１２２の内周壁１４２は、後方に向かって僅かに拡開するテーパ面となっている。また、１次室１２２ハウジングの背面上部に形成した上部ボス部１１３には、機能液タンク９１に連なる流入ポート１４３および１次室エアー抜きポート１４４（１次室側エア抜き部）が形成されている。１次室エアー抜きポート１４４は、上下方向に延在しており、１次室１２２に開口した１次室エアー抜き口１４５は、エアー溜りとなる１次室１２２の後部内周面の頂部１５２に開口している。なお、図示の１次室エアー抜きポート１４４には、メクラ蓋１４６が螺合しているが、エアーチューブ１８１を接続する場合には、このメクラ蓋１４６に代えてコネクタ（継手）が螺合されることになる。

図５（ａ）に示すように、流入ポート１４３は、１次室ハウジング１４１の外周面に開口した流入口１４７と、１次室１２２の上端部１５３に開口した１次室側開口１４９、これらを連通する流入流路１４８とから成り、流入流路１４８は、所定の下り勾配となるように周方向斜めに形成されている。流入口１４７には、流入流路１４８の軸線方向から流入コネクタ１２８が螺合しており、この流入コネクタ１２８を介して上記のタンク側チューブ９２が接続されている。流入コネクタ１２８の内部流路は、下流端１５４で拡開形成されており、内部流路に段部が生じないように且つ機能液の流速に大きな変化が生じないようになっている。１次室側開口１４９は、上記の１次室エアー抜き口１４５に隣接した位置、すなわち１次室１２２の頂部１５２を周方向に外れた位置に開口している。機能液タンク９１から流入する機能液は、流入流路１４８の勾配に従って斜めに流下し、１次室側開口１４９から１次室１２２の内周壁１４２に沿って１次室１２２に流入する。なお、上記の１次室１２２の体積は２次室１２３の体積に比して十分に小さくなっており、１次室１２２には機能液溜まりが生じにくくなっている。

２次室ハウジング１６１と密接する１次室１２２ハウジングの前面には、１次室１２２の外側に位置して断面矩形の第１環状溝１５０が形成され、この第１環状溝１５０に上記のＯリング１３３が挿填されている（図６（ａ）参照）。また、１次室ハウジング１４１の下部は、弓形に切り欠かれており、この欠損部分には、後述する流出コネクタ１２９が配設されている（図６（ａ）参照）。

２次室ハウジング１６１には、図６（ａ）に示すように、ダイヤフラム１２５を取り付けるための前面を開放した円錐台（略円筒）形状の主室１６３と、主室１６３の後方に連なり、主室１６３側に拡開した円錐台形状のばね室１６４と、ばね室１６４と１次室１２２を連通する上記の連通流路１２４とが形成されている。また、これら主室１６３、ばね室１６４および連通流路１２４は、いずれもダイヤフラム１２５と同心の円形断面を有している。ただし、連通流路１２４は、後述する弁体１２６の軸部１１７がスライド自在に収容される円形断面の軸遊挿部１６５と、軸遊挿部１６５から径方向四方に延びる十字状断面の流路部１６６とで構成されている。また、２次室ハウジング１６１の前面には、後述するパッキン１３４用の固定溝１６７に対面する環状の浅溝１６８が形成されている。なお、パッキン１３４自体が弾性を有しているため、浅溝１６８は必ずしも形成する必要はない。

主室１６３の内周壁１６２は、ダイヤフラム１２５のマイナス変形に倣うように前方に向かって大きく拡開するテーパ面１７６となっており、このテーパ面１７６に臨むように２次室エアー抜きポート１６９（２次室側エア抜き部）および流出ポート１７１が上下に形成されている。２次室エアー抜きポート１６９は、２次室ハウジング１６１の背面上部（後面上部）に形成した傾斜ボス部１７７に形成され、上下方向に幾分傾斜して延在している。２次室１２３に開口した２次室エアー抜きポート１６９の２次室エアー抜き口（孔）１７３は、エアー溜りとなる２次室１２３の前部内周面のテーパ面１７６を含む頂部１７４に開口している。この場合も、図示の２次室エアー抜きポート１６９には、メクラ蓋１４６が螺合しているが、エアーチューブ１８１を接続する場合には、このメクラ蓋１４６に代えてコネクタ（継手）（図示省略）が螺合されることになる。

図６（ａ）に示すように、流出ポート１７１は、２次室ハウジング１６１の背面下部に位置する傾斜ボス部１７７に形成されおり、２次室ハウジング１６１の背面下部に開口した流出口１７８と、２次室１２３の下端部１７５（谷底）に開口した２次室側開口１７９と、これらを連通する流出流路１８０とで構成されている。流出流路１８０は、テーパ面１７６に略直交して所定の下り勾配となるように、前後方向斜めに形成されている。流出口１７８は、流出流路１８０の軸線方向から流出コネクタ１２９が螺合しており、この流出コネクタ１２９を介して上記のヘッド側チューブ９３が接続されている。流出コネクタ１２９の内部流路は、上流端１５５で拡開形成されており、内部流路に段部が生じないように且つ機能液の流速に大きな変化が生じないようになっている。２次室側開口１７９は、２次室１２３の谷部１５８を含むテーパ面１７６に対し斜面幅いっぱいに開口している。２次室１２３から流出する機能液は、２次室側開口１７９から流出流路１８０の勾配に従って斜めに流下し、機能液滴吐出ヘッド１１側に流出する。

図５（ｂ）に示すように、リングプレート１３１は、２次室ハウジング１６１の前面との間にダイヤフラム１２５を挟持固定するものであり、２次室側の内面には、ダイヤフラム１２５の縁部に接するパッキン１３４用の固定溝１６７が形成されている。

ダイヤフラム１２５は、樹脂フィルム１１４で構成したダイヤフラム本体１１５と、ダイヤフラム本体１１５の内側に貼着した樹脂性の受圧板１１６とで構成されている。受圧板１１６は、ダイヤフラム本体１１５と同心の円板状に、且つダイヤフラム本体１１５に対し十分に小さい径に形成されており、その中央に後述する弁体１２６の軸部１１７が当接する。ダイヤフラム本体１１５は、耐熱ＰＰ（ポリプロピレン）と特殊ＰＰとシリカを蒸着したＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）とを積層して構成されており、２次室ハウジング１６１の前面と同径の円形に形成されている。ダイヤフラム１２５は、これに外側から添設したパッキン１３４と共にリングプレート１３１により２次室ハウジング１６１の前面に気密に固定される。なお、受圧板１１６は、ダイヤフラム１２５の外側に設けてもよいが、後述する弁体１２６の軸部１１７が離接を繰り返すため、ダイヤフラム１２５の損傷を防止すべく本実施形態では内側に設けている。

図６（ａ）に示すように、弁体１２６は、円板状の弁体本体２０１と、弁体本体２０１の中心から断面横「Ｔ」字状を為すように一方向に延びる軸部１１７と、弁体本体２０１の軸部１１７側（前面）に設けた（接着した）環状のバルブシール２０２とで構成されている。弁体本体２０１および軸部１１７は、ステンレス等の耐食材料で一体に形成されており、弁体本体２０１の前面には、軸部１１７の外側に位置して環状の小突起２０３が形成されている（図５（ｂ）参照）。バルブシール２０２は、例えば軟質のシリコンゴムで構成され、その前面には、上記の小突起２０３に対応して、環状の突起となるシール突起２０４が突設されている。このため、弁体１２６の閉弁時には、弁座となる２次室ハウジング１６１の背面、すなわち連通流路１２４の開口縁（図示省略）にシール突起２０４が強く当接して、連通流路１２４が１次室１２２側から液密に閉塞される。

軸部１１７は、連通流路１２４にスライド自在に遊嵌され、閉弁状態でその先端（前端）が中立位置にあるダイヤフラム１２５の受圧板１１６に当接する。すなわち、ダイヤフラム１２５が外部に向かって膨出するプラス変形の状態では、軸部１１７の前端と受圧板１１６との間には所定の間隙が生じており、この状態からダイヤフラム１２５がマイナス側に変形してゆくと、リングプレート１３１と平行な中立状態で軸部１１７の前端と受圧板１１６とが当接し、さらにダイヤフラム１２５のマイナス変形がすすむと、受圧板１１６が軸部１１７を介して弁体本体２０１を押し開弁させることになる。したがって、２次室１２３の容積のうち、ダイヤフラム１２５がプラス変形から中立状態となる容積分は、１次室側の圧力を一切受けることなく、機能液の供給が為される。

一方、弁体１２６の背面と１次室１２２の後面壁との間の間には、弁体１２６を２次室側、すなわち閉弁方向に付勢する弁体付勢ばね２０６が介設されている。同様に、受圧板１１６と２次室１２３のばね室１６４との間には、受圧板１１６を介してダイヤフラム本体１１５を外部に向かって付勢する受圧板付勢ばね２０７が介設されている。この場合、弁体付勢ばね２０６は、弁体１２６の背面に加わる機能液タンク９１の水頭を補完するものであり、機能液タンク９１の水頭とこの弁体付勢ばね２０６のばね力により、弁体１２６が閉塞方向に押圧される。一方、受圧板付勢ばね２０７は、ダイヤフラム１２５のプラス変形を補完するものであり、大気圧に対し２次室１２３が僅かに負圧になるように作用する。

詳細は後述するが、圧力調整弁７は、大気圧と機能液滴吐出ヘッド１１に連なる２次室１２３と圧力バランスにより弁体１２６が進退して開閉するが、その際、弁体付勢ばね２０６および受圧板付勢ばね２０７に力が分散して作用し、且つ軟質シリコンゴムのバルブシール２０２（の弾性力）により、弁体１２６は極めてゆっくり開閉動作する。このため、弁体１２６の開閉による圧力変動（キャビテーション）が抑制され、機能液滴吐出ヘッド１１の吐出駆動に影響を与えないようになっている。もちろん、機能液タンク側（１次側）で発生する脈動等も、弁体１２６で縁切りされるため、これを吸収する（ダンパー機能）ことができる。

図５および図６に示すように、取付プレート１２７は、ステンレス板で構成されており、２次室ハウジング１６１の側部背面に固定されている。取付プレート１２７の両面には、その上下中間位置にダイヤフラム１２５の中心位置を示す線状のマーク２０８が刻設されており、このマーク２０８により、機能液滴吐出ヘッド１１に対し圧力調整弁７を所定の高低差を持って設置するときの指標としている。また、図中の符号２０９は、取付プレート１２７のマーク２０８とダイヤフラム１２５の中心位置とを位置合わせするための長孔であり、取付プレート１２７はこの位置合わせを行った後、バルブハウジング１２１に固定される。なお、圧力調整弁７は、マーク２０８を基準に、バルブプレート６９に鉛直に設置されたバルブスタンド７３に取り付けられている。

次に、図８を参照して、圧力調整弁７の動作原理について説明する。１次室１２２には、機能液タンク９１に貯留した機能液の液位に基づく水頭（設計上は、機能液パックの供給口９７の中心軸と１次室１２２の中心軸との間の水頭差）が作用しており、この水頭に基づく圧力と弁体付勢ばね２０６のばね力とが、弁体１２６の閉弁力として作用する。
すなわち、水頭に基づく単位面積当たりの圧力をＰ１とし、弁体本体２０１の背面の面積をＳ１とし、弁体付勢ばね２０６のばね力をＷ１としたときに、１次室１２２側から弁体１２６に作用する力Ｆ１は、
Ｆ１＝（Ｐ１×Ｓ１）＋Ｗ１
となる。なお、Ｗ１は、バルブシール２０２の弾性力を考慮した値となっており、ここでは、ばね力とバルブシール２０２の弾性力（付勢力）との合計をＷ１としている。
一方、２次室１２３側から弁体１２６に作用する力：Ｆ２は、２次室１２３の内圧をＰ２とし、ダイヤフラム１２５の面積をＳ２とし、受圧板付勢ばね２０７のばね力をＷ２としたときに、
Ｆ２＝（Ｐ２×Ｓ２）−Ｗ２
となる。なお、Ｐ１およびＰ２は、ゲージ圧力である。また、ダイヤフラム１７５の中心径Ｄは、ダイヤフラム本体１１５の外径および受圧板１１６の外径の平均径であり、Ｓ２＝（Ｄ／２）×（Ｄ／２）×πで表される。

弁体１２６は、Ｆ２＞Ｆ１の状態で開弁動作し、Ｆ１＞Ｆ２の状態で閉弁動作する。本実施形態では、Ｗ１はおよびＷ２は、実験的に決定され、Ｓ１は、Ｗ１に基づいて設定される。そして、略大気圧を基準調整圧力として弁体１２６が開閉するように、上記の関係に従って、ダイヤフラム１７５の中心径Ｄをさらに求め、ダイヤフラム本体１１５の外径および受圧板１１６の外径を設定するようになっている。

すなわち、ダイヤフラム１２５がプラス変形の状態から、機能液滴吐出ヘッド１１により機能液が消費（吐出）され、２次室の負圧が増すと、ダイヤフラム１２５が大気圧に押されて中立状態からマイナス変形に移行する。これにより、受圧板１１６を介して弁体１２６が押されてゆっくり開弁する。弁体１２６が開弁すると、連通流路１２４を介して１次室１２２から２次室１２３に機能液が流入する。これにより２次室１２３の圧力が増し、弁体１２６がゆっくりと閉弁する。そして、弁体１２６の閉弁後も大気圧に抗して受圧板付勢ばね２０７が作用してゆき、ダイヤフラム１２５をプラス変形させると共に、２次室１２３内の機能液圧力を僅かに負圧状態にさせる。上記の動作をゆっくり繰り返すことにより、２次室１２３をほぼ一定の圧力に維持したまま、機能液が供給される。

同様に、機能液の初期充填においても、機能液滴吐出ヘッド１１側からの機能液の強制吸引により上記の動作が為され、バルブ内流路に機能液が充填される。なお、２次室１２３内の機能液の圧力は、受圧板付勢ばね２０７により大気圧よりも低い圧力に維持されている。このため、機能液滴吐出ヘッド１１（ノズル）の位置と、圧力調整弁７（ダイヤフラム１２５の中心）の位置との高低差を一定の値にしておくことにより、機能液滴吐出ヘッド１１からの液垂が防止されている。

このように、実施形態の圧力調整弁７は、大気圧を調整基準圧力として弁体１２６が開閉する構造であるため、１次室１２２側が極端に高い圧力とならない限り、一定の低い圧力で機能液を機能液滴吐出ヘッド１１に供給することができる。すなわち、機能液タンク９１の水頭に影響されることなく、機能液の機能液滴吐出ヘッド１１への供給を安定に行うことができる。

また、実施形態の圧力調整弁７では、流入流路１４８が頂部１５２近傍（頂部１５２を周方向に外れた位置）に設けられ、流出流路１８０が２次室１２３の下端部１７５（谷底）に設けられることにより、圧力調整弁７内を機能液が重力に従って流れ、弁内に機能液溜まりが生じない。また、２次室１２３は円錐台形状に形成されているため、機能液を下端部１７５（谷底）に集めやすくなっている。これにより、２次室に機能液溜まりが生ずるのを物理的に回避している。

なお、実施形態の圧力調整弁７は、初期充填時のおける気泡の発生防止の観点からも考慮がなされている。すなわち、流入流路１４８および流出流路１８０をそれぞれ下り勾配に形成することにより、充填機能液の流速を低く抑え、内部エアーと充填機能液とが攪拌して、機能液に気泡が混入するのを防止している。また、１次室１２２側開口は１次室１２２の頂部１５２を周方向に外れた位置に設けられていることから、機能液は１次室１２２の内壁伝いに流下する。これにより、充填機能液が内部エアーと攪拌して気泡を生ずることがない。さらに、２次室１２３の主室１６３およびばね室１６４を拡開した円錐台形の形状とすることにより、連通流路１２４から２次室１２３に流入する機能液を内壁伝いに流下させて、気泡の発生防止を徹底している。

上記のように構成される機能液供給機構６によって、機能液は、図４に示す経路で機能液滴吐出ヘッド１１まで供給される。すなわち、タンク側チューブ９２は、その上流端部１５７を上記の接続具に水平に接続するとともに、その下流端部１５６を下方に傾けて圧力調整弁７の流入コネクタ１２８に接続する。一方、ヘッド側チューブ９３は、その上流端部を圧力調整弁７の流出コネクタ１２９に接続するとともに、その下流端部を下方に向けて機能液滴吐出ヘッド１１に接続されている。このように、機能液パックから機能液滴吐出ヘッド１１に至る機能液供給流路１４は全体として機能液滴吐出ヘッド１１側に傾斜して形成されているため、流路全体としても機能液溜まりが生じにくくなっている。

次に、エアー吸引手段８および弁洗浄手段９について説明する。図９に示すように、エアー吸引手段８は、上記の１次室エアー抜きポート１４４および２次室エアー抜きポート１６９に接続したエアーチューブ１８１（エアー流路）と、エアーチューブ１８１を介して弁内のエアーを吸引する真空ポンプ１８２と、真空ポンプ１８２と圧力調整弁７との間に介設した回収タンク１８３とで構成されている。エアーチューブ１８１は圧力調整弁７と回収タンク１８３とを接続する第１チューブ１８４と、回収タンク１８３と真空ポンプ１８２とを接続する第２チューブ１８５とで構成されている。第１チューブ１８４の下流端は回収タンク１８３の機能液内に埋没するように挿入され、第２チューブ１８５の上流端は回収タンク１８３の上部空間に開放されている。真空ポンプ１８２が起動すると、第１チューブ１８４を介して圧力調整弁７内のエアーとともに機能液が吸引される。また、吸引されたエアー混じりの機能液は、回収タンク１８３により気・液分離される。

弁洗浄手段９は、洗浄液を貯留する洗浄液タンク１８６（洗浄液供給手段）と、エアーチューブ１８１（第１チューブ１８４）の途中に設けた流路切替バルブ１８７と、洗浄液タンク１８６と流路切替バルブ１８７とを接続する洗浄液チューブ１８８（洗浄液流路）と、洗浄液チューブ１８８の途中に設けられた洗浄液バルブ１８９と、を有している。密閉タンクで構成した洗浄液タンク１８６には、圧縮エアーを供給する加圧ポンプ１９０が接続されており、圧力調整弁７に洗浄液を加圧送液できるようになっている。流路切替バルブ１８７は、いわゆる三方弁であり、エアー吸引手段８のエアー流路１８１（エアーチューブ）が圧力調整弁７と連通する状態と、弁洗浄手段９の洗浄液流路（洗浄液チューブ１８８）が圧力調整弁７と連通する状態と、を切り替える。同様に、洗浄液バルブ１８９は、三方弁で構成されており、洗浄液流路を開閉可能に構成されるとともに、圧力調整弁側を大気に開放可能に構成されている。

実施形態の弁洗浄手段９は、上記の洗浄液を圧力調整弁７に供給する側の機構と、この供給した洗浄液を機能液滴吐出ヘッド１１のノズルから吸引する機構とで構成され、後者の吸引する機構は上記の吸引ユニット２２が兼用している。すなわち、上記の加圧ポンプ１９０と吸引ユニット２２の吸引ポンプ８４とにより、圧力調整弁内のバルブ内流路と機能液滴吐出ヘッド１１のヘッド内流路に洗浄液を通液してこれらを洗浄するようにしている。

次にエアー吸引手段８によるエアー排出動作および弁洗浄手段９による洗浄動作について説明する。上述したように、液滴吐出装置１は、制御装置１２（制御手段）によって全体の制御が行われており、図９に示すように、エアー吸引手段８の真空ポンプ１８２と、弁洗浄手段９の流路切替バルブ１８７と、洗浄液バルブ１８９と、加圧ポンプ１９０とが制御装置１２に接続されている。また、制御装置１２には、吸引ポンプ８４および流体検出センサ８５が接続されている。制御装置１２は、液滴吐出装置１の各構成装置を直接的に、または各種のドライバを介して間接的に、統括制御する制御部４５と、これら各構成装置の駆動を直接に担うドライバ群（図示省略）と、を有している。

制御部４５は、マイクロプロセッサで構成されるＣＰＵ４６と、各種制御プログラムを記憶しているＲＯＭ４７と、主記憶装置となるＲＡＭ４８と、各種ソフトウェアが格納されるＨＤＤ（図示省略）（ハードディスクドライブ）と、それらをドライバ群に連絡する周辺制御回路４９と、を備えており、これらは互いに内部バス５０により接続されている。

まず、エアー排出動作の制御部４５による制御について説明する。制御部４５は、機能液滴吐出ヘッド１１が非吐出状態であることを確認した後、流路切替バルブ１８７を真空ポンプ１８２側に切替え、真空ポンプ１８２を駆動する。これにより、圧力調整弁７の内部エアーは真空ポンプ１８２の吸引力によって圧力調整弁７から排出されて、エアーチューブ１８１を介し回収タンク１８３に回収される。この制御はタイマー制御となっており、真空ポンプ１８２は数秒間駆動した後、停止し、エアー排出動作を終了させる。なお、このエアー排出動作は、所定回数の機能液滴の吐出の後に自動的に行うように設定されているが、初期充填後においても任意に実行できるように設定しておくことが好ましい。

次に、洗浄動作の制御部４５による制御について説明する。制御部４５は、吸引動作と同様に、Ｘ・Ｙ移動機構１３を駆動して、機能液滴吐出ヘッド１１をメンテナンス位置４２に移動させるとともに、移動テーブル２４を駆動して機能液滴吐出ヘッド１１の直下に吸引キャップ８１を移動させる。ここで、キャップ昇降機構８６を駆動させて吸引キャップ８１を機能液滴吐出ヘッド１１のノズル面３１に密着させる。（この場合、機能液タンク９１と圧力調整弁７とを接続する流入コネクタ１２８を圧力調整弁７から取り外し、メクラ蓋（図示省略）で流入流路１４８を閉塞しておく。）この状態で、制御部４５は、洗浄液バルブ１８９を開弁し、加圧ポンプ１９０を駆動するとともに、吸引ポンプ８４を駆動させる。これにより、加圧ポンプ１９０の圧力と吸引ポンプ８４の吸引力が相互に作用して圧力調整弁内に洗浄液が勢い良く通液される。これらの制御はエアー排出動作と同様に、タイマー制御になっており、制御部４５は、洗浄設定時間両ポンプ８４、１９４を駆動した後に加圧ポンプ１９０を停止させる。次に、吸引ポンプ８４を駆動したまま洗浄液バルブ１８９を大気開放状態に切り替え、エアーチューブ１８１を介して圧力調整弁７内および機能液滴吐出ヘッド１１内にエアーを導入する。そして、エアーを導入して流体検出センサ８５が液無しを検出後、吸引ポンプ８４を停止して洗浄動作を終了する。なお、機能液タンクを接続具から取り外して、機能液タンク９１と同形状の洗浄液タンクを取り付け、吸引ポンプ８４を駆動することによっても圧力調整弁７を洗浄することが可能である。

次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、更にこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、及び薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板を言う。

先ず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１０は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１１は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１１（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。

続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１１（ｂ）に示すように、基板５０１及びブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１１（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において液滴吐出ヘッド１１により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。

以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。

次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１１（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１１によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１１を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１１（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。

図１２は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１１に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。

この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、及び、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１２において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。

液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。

実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１１で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１１で行うことも可能である。

図１３は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。

液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

図１４は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。

この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。

対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１及び信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。

また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。

なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。

次に、図１５は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。

この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３及び陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。

回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａ及びドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。

また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６及び半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９及びゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。

そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。

このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。

上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３及び機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、及び、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。

バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。

上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。

発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、又は青色（Ｂ）の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。

そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。

陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。

次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１６〜図２４を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１６に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、及び対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。

まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１７に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１８に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。

表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａ及び画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓ及び有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１１を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。

そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル５６に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）及び発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。

図１９に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１１から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図１９に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入/輸送層６１７ａを形成する。

次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。

そして次に、図２１に示すように、各色のうちの何れか（図２１の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。

その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２２に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。

同様に、機能液滴吐出ヘッド１１を用い、図２３に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）及び緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａ及び発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。

対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２４に示すように、発光層６１７ｂ及び有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ₂、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。

このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。

次に、図２５は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、及びこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。

第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。

放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。

第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、及びＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。

本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、及び蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル５６に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１１により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。

補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。

ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１及び蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を液滴吐出ヘッド１１から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。

次に、図２６は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、及びこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。

第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。

第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。

そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。

この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。

第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２７（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２７（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。

また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。

液滴吐出装置の平面模式図である。液滴吐出装置の側面模式図である。機能液パックから機能液滴吐出ヘッドに至る機能液流路を示す側面模式図である。圧力調整弁廻りの機能液流路を示す側面模式図である。圧力調整弁の外観斜視図である。（ａ）は圧力調整弁の縦断面図、（ｂ）は圧力調整弁の正面図である。（ａ）は圧力調整弁の縦断面図、（ｂ）は１次室周りの拡大断面図である。圧力調整弁の動作原理を説明する説明図である。機能液供給機構の構成を示す回路図である。カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。無機物バンク層の形成を説明する工程図である。有機物バンク層の形成を説明する工程図である。正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。陰極の形成を説明する工程図である。プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。

符号の説明

１液滴吐出装置７圧力調整弁
８エアー吸引手段９弁洗浄手段
１１機能液滴吐出１２ヘッド制御手段
１３Ｘ・Ｙ移動機構２２機能液吸引手段（洗浄液吸引手段）
３１ノズル面８１キャップ
９１機能液タンク１２１バルブハウジング
１２２１次室１２３２次室
１２５ダイヤフラム１２４連通流路
１４４１次室側エア抜き部１５２頂部
１６９２次室側エア抜き部１７４頂部
１８６洗浄液供給手段１８７流路切替バルブ
Ｗワーク

Claims

機能液タンクからバルブハウジング内の１次室に導入した機能液を、バルブハウジング内の２次室を介して機能液滴吐出ヘッドに重力供給するとともに、
大気に面し前記２次室の１つの面を構成する円形のダイヤフラムにより、大気圧を調整基準圧力として、前記１次室と前記２次室とを連通する連通流路に設けた弁体を開閉動作させて、前記２次室を圧力調整する圧力調整弁において、
前記バルブハウジングに形成され、前記１次室の内部エアーを排出する１次室側エア抜き部と、
前記バルブハウジングに形成され、前記２次室の内部エアーを排出する２次室側エア抜き部と、を備えたことを特徴とする圧力調整弁。
前記１次室および前記２次室は相互に隣接して配設されるとともに前記ダイヤフラムと同心の略円柱状に形成され、
前記１次室側エア抜き部は前記１次室の頂部に開口し、前記２次室側エア抜き部は前記２次室の頂部に開口していることを特徴とする請求項１に記載の圧力調整弁。
前記１次室は、前記２次室側に向かって細くなる円錐台形状に形成されていることを特徴とする請求項２に記載の圧力調整弁。
前記ダイヤフラムに対面する前記２次室の他方の面は、前記ダイヤフラムの変位形態に倣って、テーパ形状に形成されていることを特徴とする請求項２または３に記載の圧力調整弁。
機能液を貯留する前記機能液タンクと、
前記機能液滴吐出ヘッドに接続する請求項１ないし４のいずれかに記載の圧力調整弁と、
上流端部を前記機能液タンクに接続するとともに下流端部を前記圧力調整弁に接続する機能液供給流路と、を備えたことを特徴とする機能液供給機構。
エアー流路を介して前記圧力調整弁の前記１次室側エア抜き部および前記２次室側エア抜き部に連通するエアー吸引手段を、更に備えたことを特徴とする請求項５に記載の機能液供給機構。
前記エアー吸引手段を制御する制御手段を、更に備え、
前記制御手段は、前記機能液滴吐出ヘッドの吐出休止時に前記エアー吸引手段を駆動させることを特徴とする請求項６に記載の機能液供給機構。
前記圧力調整弁のバルブ内流路を洗浄する弁洗浄手段を更に備え、
前記弁洗浄手段は、洗浄液を前記バルブ内流路に供給する洗浄液供給手段と、
前記エアー流路に介設され、前記エアー吸引手段と前記洗浄液供給手段とを相互に流路切替えする流路切替バルブと、
前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着したキャップを介して、前記洗浄液を吸引する洗浄液吸引手段と、を有していることを特徴とする請求項６または７に記載の機能液供給機構。
前記洗浄液吸引手段は、前記機能液滴吐出ヘッドから機能液を吸引する機能液吸引手段を兼ねていることを特徴とする請求項８に記載の機能液供給機構。
請求項５ないし９のいずれかに記載の機能液供給機構と、
ワークに対し機能液滴を吐出する前記機能液滴吐出ヘッドと、
前記ワークを前記機能液滴吐出ヘッドに対してＸ軸方向およびＹ軸方向に相対移動させるＸ・Ｙ移動機構と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
請求項１０に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワークに前記機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
請求項１０に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワークに前記機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
請求項１１に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１２に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。