JP2009056367A - 吸引装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法および電気光学装置 - Google Patents

Abstract

【課題】同時に吸引処理を行うヘッドキャップの数が変わっても、各ヘッドキャップにおいて同一の吸引圧力で吸引を行うことができる吸引装置を提供する。
【解決手段】複数のヘッドキャップ２０１と、複数のヘッドキャップ２０１に接続された複数の個別流路２２５ａ、および複数の個別流路２２５ａに接続された合流流路２２５ｃを有する吸引流路２２５と、各個別流路２２５ａに介設した複数の流路開閉手段３３３と、合流流路２２５ｃに接続された廃液タンク２８１と、二次側を廃液タンク２８１に接続したエジェクタ３３１と、エジェクタ３３１の一次側圧力を調整する圧力調整手段３３４と、圧力調整手段３３４を制御する制御手段９と、を備え、制御手段９は、複数の流路開閉手段３３３のうちの開放している流路開閉手段３３３の開放数に応じて、圧力調整手段３３４を制御する。
【選択図】図９

Description

本発明は、インクジェット方式の複数の機能液滴吐出ヘッドのノズル面に対し、離接自在に密接する複数のヘッドキャップを備えた吸引装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法および電気光学装置に関するものである。

従来、１２個の機能液滴吐出ヘッドを搭載した７台のキャリッジユニットに対応して、１２個のヘッドキャップを搭載した７台の吸引ユニットを備えた吸引装置が知られている（特許文献１参照）。
各吸引ユニットは、１２個のヘッドキャップをキャッププレートに搭載したキャップユニットと、キャッププレートを介して１２個のヘッドキャップを１２個の機能液滴吐出ヘッドに対し離接させる離接機構と、１２個のヘッドキャップに連なる廃液タンクと、二次側を廃液タンクに接続して廃液タンクに吸引圧力を作用させるイジェクタと、１２個のヘッドキャップと廃液タンクを接続する吸引流路と、を備えている。
各ヘッドキャップを各機能液滴吐出ヘッドに密接させておいて、一次側に圧縮エアーを導入するようにしてエジェクタを駆動すると、廃液タンクのタンク内および吸引流路が負圧になり、１２個のヘッドキャップを介してから１２個の機能液滴吐出ヘッドから機能液の吸引が行われる。
特開２００５−２５４７９８号公報

このような吸引装置では、各吸引ユニットにおいて、１２個の機能液滴吐出ヘッドのうち目詰り等により吸引が必要なものと、必要でないものとが生じても、これを一括して吸引処理するため、機能液を無駄に消費してしまう問題がある。かかる場合、各機能液滴吐出ヘッドの個別吸引流路に開閉弁等を設け、吸引が必要な機能液滴吐出ヘッドのみ吸引を行うことが考えられる。
しかし、このようにすると、吸引に供する機能液滴吐出ヘッドの個数が変化すると、各ヘッドキャップにおける吸引力が変化（吸引流量が変化）してしまい、機能液滴吐出ヘッド毎に適切に吸引を行うことが不可能になってしまうことが、推測される。

本発明は、同時に吸引処理を行うヘッドキャップの数が変わっても、各ヘッドキャップにおいて同一の吸引圧力で吸引を行うことができる吸引装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法および電気光学装置を提供することを課題としている。

本発明の吸引装置は、複数の機能液滴吐出ヘッドにより、ワークに描画を行なうインクジェット方式の液滴吐出装置に設けられ、各機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密接して機能液を吸引する吸引装置であって、複数の機能液滴吐出ヘッドの対応する複数のヘッドキャップと、上流側を複数のヘッドキャップに接続された複数の個別流路、および合流部を介して複数の個別流路の下流端に接続された合流流路を有する吸引流路と、各個別流路に介設され、各個別流路を開閉する複数の流路開閉手段と、合流流路の下流端が接続され、密閉タンクで構成された廃液タンクと、一次側に圧縮エアーを導入すると共に二次側を廃液タンクの上部空間に接続したエジェクタと、エジェクタの一次側圧縮エアーの圧力を調整する圧力調整手段と、圧力調整手段を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、複数のヘッドキャップにおけるそれぞれの吸引圧力が一定になるように、複数の流路開閉手段のうちの開放している流路開閉手段の開放数に応じて、圧力調整手段を制御することを特徴とする。

この構成によれば、複数の機能液滴吐出ヘッドにおいて、吸引処理を行うものと行わないものがある場合、各流路開閉手段の開閉によりこれを実行することができると共に、開放している流路開閉手段の開放数に応じて、レギュレータを制御することで、各ヘッドキャップにおける吸引圧力を一定にすることができる。これにより、吸引処理を行う機能液滴吐出ヘッドの数に関係なく、各ヘッドキャップの吸引流量を一定量とすることができ、機能液滴吐出ヘッド毎に適切な吸引処理を行うことができる。また、吸引源としてエジェクタを用いることにより、機能液に対する耐薬品性に優れたシステムを構築することができる。

この場合、吸引時の各廃液タンクの圧力を検出する圧力検出手段を、更に備え、制御手段は、廃液タンク内の圧力が開放数に応じた所定の圧力なるように、圧力調整手段を制御することが、好ましい。

同様に、吸引より各廃液タンクに流入する機能液流量を検出する流量検出手段を、更に備え、制御手段は、廃液タンクに流入する機能液流量が開放数に応じた所定の流量なるように、圧力調整手段を制御することが、好ましい。

これらの構成によれば、いずれのヘッドキャップにおいても、吸引圧力が常に一定になるように精度良く制御することができ、機能液の種別を考慮しつつ機能液滴吐出ヘッドに対する吸引処理を適切に行うことができる。

これらの場合、複数の機能液滴吐出ヘッドは、単一のヘッドプレートに搭載され、これに対応して複数のヘッドキャップは、単一のキャッププレートに搭載されていることが、好ましい。

この構成によれば、単一のヘッドプレートに搭載されている複数の機能液滴吐出ヘッドに対し、吸引処理を行うものと行わないものとがあっても、吸引処理を適切に行うことができる。

同様に、複数の機能液滴吐出ヘッドは、複数のヘッドプレートに搭載され、これに対応して複数のヘッドキャップは、複数のキャッププレートに搭載されていることが、好ましい。

この構成によれば、複数のヘッドプレートに搭載されている複数の機能液滴吐出ヘッドに対し、吸引処理を行うものと行わないものとがあっても、吸引処理を適切に行うことができる。

本発明の液滴吐出装置は、ワークに対し、インクジェット方式の複数の機能液滴吐出ヘッドを移動させながら、各機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出させて描画を行なう描画手段と、上記した吸引装置と、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、複数の機能液滴吐出ヘッドの機能維持および機能回復を適切に行うことができるため、高い描画品質でワーク処理を行うことができ、生産性を向上させることができる。

本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。

本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。

これらの構成によれば、機能液滴吐出ヘッドの機能維持および機能回復を効率良く行うことができる液滴吐出装置により製造することで、ワークの生産性を向上させることができる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ）やＳＥＤ（Ｓｕｒｆａｃｅ−ｃｏｎｄｕｃｔｉｏｎ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ−Ｅｍｉｔｔｅｒ Ｄｉｓｐｌａｙ）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。

以下、添付の図面を参照して、本発明の機能液供給装置を適用した液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。

図１、図２および図３に示すように、液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース２上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在して、ワークＷをＸ軸方向（主走査方向）に移動させるＸ軸テーブル１１と、複数本の支柱４を介してＸ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された１対（２つ）のＹ軸支持ベース３上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル（移動テーブル）１２と、複数の機能液滴吐出ヘッド１７が搭載された１０個のキャリッジユニット５１と、から成り、１０個のキャリッジユニット５１は、Ｙ軸テーブル１２に移動自在に吊設されている。

さらに、液滴吐出装置１は、これらの装置を温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバ６と、チャンバ６を貫通して、チャンバ６の外部から内部の機能液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する３組の機能液供給装置１０１を有した機能液供給ユニット７と、これら構成装置を統括制御する制御装置９（図１０参照）と、を備えている。Ｘ軸テーブル１１およびＹ軸テーブル１２の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動させることにより、機能液供給ユニット７から供給されたＲ・Ｇ・Ｂ３色の機能液滴を吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンが描画される。

また、液滴吐出装置１は、フラッシングユニット１４、複数（１０台）の吸引装置１５、ワイピングユニット１６、吐出性能検査ユニット１８から成るメンテナンス装置５を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド１７の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド１７の機能維持・機能回復を図るようになっている。なお、メンテナンス装置５を構成する各ユニットのうち、フラッシングユニット１４および吐出性能検査ユニット１８は、Ｘ軸テーブル１１に搭載され（厳密には、吐出性能検査ユニット１８は、後述するステージユニット７７がＸ軸テーブル１１に搭載され、カメラユニット７８がＹ軸支持ベース３に支持されている。）ている。また、複数（１０台）の吸引装置１５およびワイピングユニット１６は、Ｘ軸テーブル１１から直角に延び、かつＹ軸テーブル１２によりキャリッジユニット５１が移動可能である位置に配設された架台３９上に配設されている。

フラッシングユニット１４は、一対の描画前フラッシングユニット７１,７１と、定期フラッシングユニット７２とを有し、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出直前や、ワークＷの載換え時等の描画処理休止時に行われる、機能液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出（フラッシング）を受ける。複数（１０台）の吸引装置１５は、各機能液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル９８から機能液を強制的に吸引すると共に、各機能液滴吐出ヘッド１７のキャッピングを行う。ワイピングユニット１６は、ワイピングシート７５を有し、吸引後の機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７を拭取る。吐出性能検査ユニット１８は、機能液滴吐出ヘッド１７から吐出された機能液滴を受ける検査シート８３を搭載したステージユニット７７と、ステージユニット７７上の機能液滴を画像認識により検査するカメラユニット７８を有し、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出性能（吐出の有無および飛行曲り）を検査する。

次に、液滴吐出装置１の構成要素について簡単に説明する。図２または図３に示すように、Ｘ軸テーブル１１は、ワークＷをセットするセットテーブル２１と、セットテーブル２１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第１スライダ２２と、上記のフラッシングユニット１４およびステージユニット７７をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第２スライダ２３と、Ｘ軸方向に延在し、Ｘ軸第１スライダ２２を介してセットテーブル２１（ワークＷ）をＸ軸方向に移動させると共に、Ｘ軸第２スライダ２３を介してフラッシングユニット１４およびステージユニット７７をＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｘ軸リニアモータに並設され、Ｘ軸第１スライダ２２およびＸ軸第２スライダ２３の移動を案内する一対（２本）のＸ軸共通支持ベース２４と、を備えている。

セットテーブル２１は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル３１と、吸着テーブル３１を支持し、吸着テーブル３１にセットしたワークＷの位置をθ軸方向に補正するためのθテーブル３２等を有している。また、セットテーブル２１のＹ軸方向と平行な一対の辺には、それぞれ上記の描画前フラッシングユニット７１が添設されている。

Ｙ軸テーブル１２は、１０個の各キャリッジユニット５１をそれぞれ吊設した１０個のブリッジプレート５２と、１０個のブリッジプレート５２を両持ちで支持する１０組のＹ軸スライダ（図示省略）と、上記した一対のＹ軸支持ベース３上に設置され、１０組のＹ軸スライダを介してブリッジプレート５２をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。また、Ｙ軸テーブル１２は、各キャリッジユニット５１を介して描画時に機能液滴吐出ヘッド１７を副走査するほか、機能液滴吐出ヘッド１７をメンテナンス装置５（吸引装置１５およびワイピングユニット１６）に臨ませる。

一対のＹ軸リニアモータを（同期して）駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸支持ベース３を案内にして同時にＹ軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート５２がＹ軸方向を移動し、これと共にキャリッジユニット５１がＹ軸方向に移動する。なお、この場合、Ｙ軸リニアモータの駆動を制御することにより、各キャリッジユニット５１を独立させて個別に移動させることも可能であるし、１０個のキャリッジユニット５１を一体として移動させることも可能である。

また、Ｙ軸テーブル１２の両脇には、これに平行にケーブル坦持体８１が配設されている。両ケーブル坦持体８１は、一端がＹ軸支持ベース３に固定されると共に他端が各ブリッジプレート５２の１つに固定されている。このケーブル坦持体８１には、各キャリッジユニット５１用のケーブル類、エアーチューブ類および機能液流路等が収容されている。

各キャリッジユニット５１は、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７と、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７を６個ずつ２群に分けて支持するヘッドプレート５３と、から成るヘッドユニット１３を備えている（図４参照）。また、各キャリッジユニット５１は、ヘッドユニット１３をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構６１と、θ回転機構６１を介して、ヘッドユニット１３をＹ軸テーブル１２（各ブリッジプレート５２）に支持させる吊設部材６２と、を備えている。加えて、各キャリッジユニット５１は、その上部にサブタンク１２１が配設されており（実際には、ブリッジプレート５２上に配設：図１参照）、このサブタンク１２１から自然水頭を利用し且つ減圧弁（図示省略）を介して、各機能液滴吐出ヘッド１７に機能液が供給されるようになっている。

上述したように、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７は、６個ずつ２群に分けてヘッドプレート５３に支持されており、各群６個の機能液滴吐出ヘッド１７は、Ｒ色機能液用の２個の機能液滴吐出ヘッド１７と、Ｇ色機能液用の２個の機能液滴吐出ヘッド１７と、Ｂ色機能液用の２個の機能液滴吐出ヘッド１７と、で構成されている。各色２個の機能液滴吐出ヘッド１７は、隣接して配設され、実描画に使用する多数の吐出ノズル９８（後述する有効ノズル）が連続し、部分描画ラインを構成している。そして、２群相互の各色部分描画ラインは、２つ分の部分描画ラインに相当する寸法分Ｙ軸方向に離間して配設されている。このため、ワークＷに対し、３回の主査走とその間の２回の副査走により、所望の配色パターンの描画を実施するようになっている。

図５に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針９２を有する機能液導入部９１と、機能液導入部９１に連なる２連のヘッド基板９３と、機能液導入部９１の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体９４と、を備えている。接続針９２は、機能液供給ユニット７（機能液供給装置１０１）に接続され、機能液導入部９１に機能液を供給する。ヘッド本体９４は、キャビティ９５（ピエゾ圧電素子）と、多数の吐出ノズル９８が開口したノズル面９７を有するノズルプレート９６と、で構成されている。機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動すると（ピエゾ圧電素子に電圧が印加され）、キャビティ９５のポンプ作用により、吐出ノズル９８から機能液滴が吐出される。

なお、ノズル面９７には、多数の吐出ノズル９８からなる２つのノズル列９９，９９が相互に平行に形成されている。そして、２つのノズル列９９同士は、相互に半ノズルピッチ分位置ずれしている。また、各ノズル列９９の多数（１８０個）の吐出ノズル９８は、その両端部の複数（１０個）の吐出ノズル９８を実描画に使用せず、実描画では、中央部の１６０個の吐出ノズル９８を有効ノズルとして、これを使うようになっている。

チャンバ６は、内部温度および湿度を一定に保つように構成されている。すなわち、液滴吐出装置１によるワークＷへの描画は、温度および湿度が一定値に管理された雰囲気中で行われる。そして、チャンバ６の側壁の一部には、上記のサブタンク１２１に連なるタンクユニット１２２を収納するための、タンクキャビネット８４が設けられている。なお、有機ＥＬ装置等を製造する場合には、チャンバ６内を、不活性ガス（窒素ガス）の雰囲気で構成することが好ましい。

図１および図２に示すように、ワイピングユニット１６と１０台（複数）の吸引装置１５とが配設された領域は、メンテナンスエリア２１３となっており、液滴吐出装置１の稼動停止時には、Ｙ軸テーブル１２により１０個のキャリッジユニット５１が１０台の吸引装置１５の位置まで移動し、全機能液滴吐出ヘッド１７に対し、いわゆるキャッピングが行われる。一方、稼動開始時には、全機能液滴吐出ヘッド１７に対し、吸引処理が行なわれ、続いてキャリッジユニット５１単位でワイピングユニット１６に臨んでワイピング処理が行なわれ、１０台のキャリッジユニット５１は順次、Ｘ軸テーブル１１上の描画エリア２１４に移動する。

また、稼動中に、例えば吐出性能検査ユニット１８により、メンテナンスエリア２１３側から３つ目のキャリッジユニット５１に吐出不良が検出されると、１つ目から３つ目までの３つのキャリッジユニットが描画エリア２１４側の３台の吸引装置１５上に移動し、該当する１のキャリッジユニット５１には、吸引装置１５による吸引処理が行なわれ、その間、他の２つのキャリッジユニット５１では、各機能液滴吐出ヘッド１７から吸引装置１５に捨て吐出（フラッシング）が行われる。このように、１０個のキャリッジユニット５１が個別に制御され、これに合わせて１０台の吸引装置１５も個別に制御される。すなわち、１０台の吸引装置１５は、本装置の吸引システムを構成している。

次に、図６ないし図８を参照して、各吸引装置１５について説明する。各吸引装置１５は、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７に対応する１２個のヘッドキャップ２０１をキャッププレート２０２に搭載したキャップユニット２０３と、キャップユニット２０３に連なる吸引機構２０４と、キャップユニット２０３を昇降させる昇降機構２０６と、後述するキャップユニット２０３のピッチング方向およびヨーイング方向の傾きを調整する傾き調整機構２０７と、を備えている。

図６に示すように、昇降機構２０６は、支持部材２０５を介してヘッドキャップ２０１を昇降させる昇降シリンダ３１１と、昇降シリンダ３１１による昇降をガイドする一対のリニアガイド３１４と、これらを支持するベース部３４１と、を有している。昇降シリンダ３１１は、吸引用の密接位置と、フラッシング用の離間位置と、ヘッドユニット１３の交換やキャップユニット２０３の消耗品交換（メンテナンス）用の交換位置との間でキャップユニット２０３を３段階に昇降させる。

支持部材２０５は、本体フレーム３４３と、本体フレーム３４３の上端部に設けられ、キャップユニット２０３を支持する支持フレーム３４２と、支持フレーム３４２の直下の水平に配設した開放フレーム３１２を有している。開放フレーム３１２には、後述する１２個の大気開放弁２０８を一括して開放する１２個の作動爪３０７が設けられており、開放フレーム３１２に連結した一対のエアーシリンダ３４５、３４５を介して大気開放弁２０８を開放（開弁）させるようになっている。

図６および図７に示すように、傾き調整機構２０７は、上記のキャッププレート２０２の四隅に設けられた４個の高さ調整機構３１３から構成されており、各高さ調整機構３１３は、支持フレーム３４２突き当てられる調整ねじと、調整ねじの軸心を貫通してキャッププレート２０２を支持フレーム３４２に螺合する固定ねじと、を有している。すなわち、４本の調整ねじをそれぞれ正逆回転させることにより、ヘッドキャップ２０1のピッチング方向およびヨーイング方向の傾きを調整した後、４本の固定ねじを支持フレーム３４２に螺合して固定を行うことにより、一連の傾き調整を行うことようになっている。

図８に示すように、ヘッドキャップ２０１は、キャップアッセンブリ２２１とアッセンブリベース２２２からなるキャップ本体２２３と、キャップアッセンブリ２２１を保持するキャップホルダ２２４とを有している。キャップアッセンブリ２２１は、吸収材ホルダ２３１と、機能液吸収材２３２と、機能液吸収材押さえ２３３と、シール部材２３４と、枠状押さえ部材２３５と、から成り、これらは一対の締結ねじ（図示省略）で一体化されている。また、キャップアッセンブリ２２１とアッセンブリベース２２２との間には、吸収材ホルダ２３１に形成されている一対の環状溝２５３に装着するようにして、液密シール部材２３７および気密シール部材２３８（共にＯリング）が介設されている。さらに、キャップ本体２２３は、枠状押さえ部材２３５側からキャップアッセンブリ２２１を貫通してアッセンブリベース２２２に螺合した取付ねじ２４２により、一体化されている。

キャップホルダ２２４は、キャップホルダ本体３２０と、キャップホルダ本体３２０と共にキャップ本体２２３を保持する一対の保持ブロック３２１,３２１と、キャップホルダ本体３２０を受けとしてキャップ本体２２３を上方に付勢する一対の密接ばね３２２，３２２と、を備えている。そして、キャップホルダ本体３２０の中央部には、ユニオン継手２２６および大気開放弁２０８が挿入する開口部３２３が形成されている。

そして、吸収材ホルダ２３１の溝底に連なる機能液流路２５１は、ユニオン継手２２６を介して、後述する吸引流路２２５に接続されている。また、大気開放弁２０８は、上記した作動爪３０７に連結されており、一対のエアーシリンダ３４５、３４５によりこれを下動させることで開弁する。なお、吸引動作の終了直前に大気開放弁２０８を開放することで、ヘッドキャップ２０１内の機能液も吸引できるようになっている。

上記したようにキャップユニット２０３は、ヘッドユニット１３の３色（Ｒ、ＧおよびＢ）各４個、計１２個の機能液滴吐出ヘッド１７に対応した３色各４個、計１２個のヘッドキャップ２０１が、キャッププレート２０２に保持されて、構成されている。すなわち、キャップユニット２０３に搭載された１２個のヘッドキャップ２０１は、ヘッドユニット１３に搭載された機能液滴吐出ヘッド１７と同じ配列パターンとなっており、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７に対し、１２個のヘッドキャップ２０１が同時に離接するようになっている（図４および図７参照）。

次に、図９を参照して、吸引機構２０４について説明する。吸引機構２０４は、３色（Ｒ、ＧおよびＢ）の機能液滴吐出ヘッド１７に対応して、個別のＲ色吸引機構２０４Ｒ、Ｇ色吸引機構２０４ＧおよびＢ色吸引機構２０４Ｂとで構成されている。各色の吸引機構２０４Ｒ、２０４Ｇ、２０４Ｂは、その構成および機能は同一であるため、ここでは、Ｒ色吸引機構２０４Ｒを例に挙げ以下に説明する。なお、本実施形態における各機能液は、色彩に加え粘性が異なるものともなっており、色別に吸引機構を構成することにより、機能液の無駄な消費を抑制しつつ、色違いの機能液を導入する複数の機能液滴吐出ヘッドに対し、機能維持および機能回復を適切に行うことができるようになっている。

図９に示すように、Ｒ色吸引機構２０４Ｒは、Ｒ色の複数（４個）のヘッドキャップ２０１を介して機能液を吸引する吸引手段３３７と、複数のヘッドキャップ２０１と吸引手段３３７とを接続する吸引流路２２５と、を有している。

吸引流路２２５は、上流側を各ヘッドキャップ２０１に接続した複数（４本）の個別流路２２５ａと、各個別流路２２５ａが合流する合流部２２５ｂ（マニホールド）と、合流部２２５ｂを介して複数の個別流路２２５ａの下流側に接続された合流流路２２５ｃとから構成されている。各個別流路２２５ａには、開閉バルブ（流路開閉手段）３３３および個別圧力センサ３３２が介設されており、開閉バルブ３３３および個別圧力センサ３３２は、制御装置９にそれぞれ接続されている（図１０参照）。

合流流路２２５ｃは、合流部２２５ｂと後述する廃液タンク２８１との間に設けられており、その下流端は、常に廃液の液面下に位置するように廃液タンク２８１の底部付近まで深く挿入されている。すなわち、機能液（廃液）は、ユニオン継手２２６を介してヘッドキャップ２０１に接続された個別流路２２５ａから合流部２２５ｂおよび合流流路２２５ｃを経て廃液タンク２８１に吸引される。また、合流流路２２５ｃの下流側には、廃液タンク２８１内に吸引される機能液（廃液）の流量を測定する流量計（流量検出手段：実際には流速を検出）３２７が設けられている。

吸引手段３３７は、上記した流量計３２７と、いわゆる密閉タンクで構成した廃液タンク２８１と、一次側を圧縮エアー供給設備３９０に接続したエジェクタ３３１と、上流端を廃液タンク２８１の上部空間に接続し下流端をエジェクタ３３１の二次側に接続した吸引管路３２８と、エジェクタ３３１と圧縮エアー供給設備３９０との間に介設され、エジェクタ３３１に供給される圧縮エアーの圧力を調整するレギュレータ（圧力調整手段）３３４と、廃液タンク２８１の内部圧力を検出する圧力センサ（圧力検出手段）３３５と、レギュレータ３３４を制御する上記の制御装置９と、を備えている。

エジェクタ３３１は、その二次側を吸引管路３２８を介して廃液タンク２８１と接続されると共に、一次側を圧縮エアー流路３２９を介してレギュレータ３３４と接続されている。すなわち、エジェクタ３３１は、圧縮エアー流路３２９を介して一次側に圧縮エアーを導入することで、二次側に負圧を発生させ、廃液タンク２８１に、機能液滴吐出ヘッド１７に密接しているヘッドキャップ２０１を介して機能液を吸引する。なお、エジェクタ３３１を通過したエアーは、排気設備３８９に送り込まれる。

レギュレータ３３４は、電空レギュレータで構成されており、制御装置９を介して、圧縮エアー供給設備３９０から供給される圧縮エアーを適宜減圧し、エジェクタ３３１に供給する。すなわち、レギュレータ３３４により圧縮エアーのエアー圧が調整されることにより、エジェクタ３３１の二次側圧力（吸引圧力：負圧）が調整されるようになっている。

次に、図１０を参照して、液滴吐出装置１の主制御系について説明する。同図に示すように、液滴吐出装置１は、ヘッドユニット１３（機能液滴吐出ヘッド１７）を有する液滴吐出部３８３と、Ｘ軸テーブル１１を有し、ワークＷをＸ軸方向へ移動させるためのワーク移動部３８４と、Ｙ軸テーブル１２を有し、ヘッドユニット１３をＹ軸方向へ移動させるヘッド移動部３８８と、メンテナンス手段の各ユニットを有するメンテナンス部３８５と、機能液供給ユニット７を有し、機能液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する機能液供給部３８６と、各種センサを有し、各種検出を行う検出部３８７と、各部を駆動制御する各種ドライバを有する駆動部３８２と、各部に接続され、液滴吐出装置１全体の制御を行う制御部３８１と、を備えている。そして、この駆動部３８２と制御部３８１とにより制御装置９が構成されている。

制御部３８１には、各手段を接続するためのインタフェース３７５と、一時的に記憶可能な記憶領域を有し、制御処理のための作業領域として使用されるＲＡＭ３７２と、各種記憶領域を有し、制御プログラムや制御データを記憶するＲＯＭ３７３と、ワークＷに所定の描画パターンを描画するための描画データや、各手段からの各種データ等を記憶すると共に、各種データを処理するためのプログラム等を記憶するハードディスク３７４と、ＲＯＭ３７３やハードディスク３７４に記憶されたプログラム等に従い、各種データを演算処理するＣＰＵ３７１と、これらを互いに接続するバス３７６と、が備えられている。

そして、制御部３８１は、各手段からの各種データを、インタフェース３７５を介して入力すると共に、ハードディスク３７４に記憶された（または、ＣＤ−ＲＯＭドライブ等により順次読み出される）プログラムに従ってＣＰＵ３７１に演算処理させ、その処理結果を、駆動部３８２（各種ドライバ）を介して各手段に出力する。これにより、装置全体が制御され、液滴吐出装置１の各種処理が行われる。

次に、上記の制御装置９による各吸引装置１５の制御方法について説明する。上述したように実施形態の吸引装置１５は、機能液滴吐出ヘッド１７から機能液を吸引する吸引機能と、機能液滴吐出ヘッド１７からの捨て吐出を受ける受液機能と、機能液滴吐出ヘッド１７をキャッピングするキャッピング機能と、を有している。キャッピング機能は、装置の非稼動時に吐出ノズル９８における機能液の乾燥を防止するものであり、ヘッドキャップ２０１（キャップユニット２０３）の直上部に臨んだ機能液滴吐出ヘッド１７（ヘッドユニット１３）に対し、昇降機構２０６を駆動してヘッドキャップ２０１を密接（密接位置）させた状態とする。

受液機能は、例えばワイピング処理待ち等の待機状態の機能液滴吐出ヘッド１７が実施する機能維持のための捨て吐出を受けるものであり、昇降機構２０６によりヘッドキャップ２０１（キャップユニット２０３）を離間位置に移動させ、機能液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出を受けると共に、吸引機構２０４を駆動しヘッドキャップ２０１に溜まった機能液を吸引する。この場合の吸引は、捨て吐出により生ずる機能液のミストも吸引できるように、吸引機構２０４の駆動を機能液滴吐出ヘッド１７の吐出駆動の直前から開始するようになっている。

吸引機能は、装置の稼動開始時や、上記の吐出性能検査ユニット１８により吐出不良が発見された場合に、機能液滴吐出ヘッド１７から増粘した機能液を吸引して機能液滴吐出ヘッド１７の機能回復を図るものであり、昇降機構２０６によりヘッドキャップ２０１（キャップユニット２０３）を密接位置に移動させた後、吸引機構２０４を駆動し、ヘッドキャップ２０１を介して機能液滴吐出ヘッド１７の全吐出ノズル９８から機能液を吸引する。

上述したように、各吸引装置１５では、色別にＲ色吸引機構２０４Ｒ、Ｇ色吸引機構２０４ＧおよびＢ色吸引機構２０４Ｂが設けられており、これら３色の機能液は相互に粘性が異なるため、Ｒ色吸引機構２０４Ｒ、Ｇ色吸引機構２０４Ｇ、Ｂ色吸引機構２０４Ｂにおいて、予め実験で求めておいた制御テーブルに基づいて、それぞれのレギュレータ３３４が個別に最適の吸引圧力になるように制御されている。また、各吸引動作が最適に行われているか否かを、個別圧力センサ３３２、圧力センサ３３５および流量計３２７等により監視するようになっている。

なお、上述の受液機能に基づく吸引（弱い吸引力で吸引）も、制御テーブルに基づいて、それぞれのレギュレータ３３４が個別に最適の吸引圧力になるように制御されている。同様に、機能液滴吐出ヘッド１７に機能液を初期充填する場合においては、各流路内の気泡排除のため、吸引初期は強い吸引圧力で吸引を行ない、吸引終期は弱い吸引圧力で吸引を行なう等の制御（プロセス制御）も行うようになっている。

一方、各色４個の機能液滴吐出ヘッド１７において、吐出性能検査ユニット１８による検査の結果、機能回復を要するものと、要しないものとが生じ、かかる場合には、機能回復を要する機能液滴吐出ヘッド１７の開閉バルブ３３３を開弁し、要しないものは、開閉バルブ３３３を閉弁して機能液の吸引動作を行なうことも可能である（吸引機能）。そして、この場合の制御では、吸引要の機能液滴吐出ヘッド１７の個数が変わっても、各機能液滴吐出ヘッド１７の吸引圧力が一定（各個別圧力センサ３３２の検出値が一定）となるように、以下の制御を行なうようになっている。

この場合、吸引動作を行う吸引圧力は、予め開閉バルブ３３３の開放数に応じた最適吸引圧力が算出され、その吸引圧力で吸引動作を行なうようになっている。なお、最適吸引圧力は、開放している開閉バルブ３３３の数に加え、機能液の粘性に基づいて制御テーブルが求められていることが好ましい。

また、上記したように各ヘッドキャップ２０１には、それぞれ対応する開閉バルブ３３３が配設されているため、吸引動作を要する機能液滴吐出ヘッド１７に対応する開閉バルブ３３３のみを開弁する。この場合も同様に、開放されている開閉バルブ３３３の数を算出して、その数に対応した吸引圧力を制御テーブルから求める。そして、制御装置９は、開閉バルブ３３３の開放数から制御テーブルを参酌してレギュレータ３３４を制御する。これにより、開閉バルブ３３３の開放数が変化しても、個別圧力センサ３３２により検出される吸引圧力（負圧）が一定となる。

さらに、この開閉バルブ３３３の数による圧力制御に加え、廃液タンク２８１内に配設した圧力センサ３３５により検出された吸引圧力が、所定の圧力（制御テーブル）になるようにレギュレータ３３４の制御を行なう。この場合も同様に、廃液タンク２８１内の吸引圧力が、開放した開閉バルブ３３３の数に対応した吸引圧力になるようにレギュレータ３３４を制御しながら吸引動作を行うようにする（フィードバック制御）。これにより、更に精度の高い圧力制御が可能になる。

なお、上記吸引動作では、制御方法として圧力センサ３３５の検出値に基づいて、レギュレータ３３４を制御する方法を用いたが、次のような制御方法を用いてもよい。

この制御方法では、上記した圧力センサ３３５に代えて、合流流路２２５ｃの下流側に配設された流量計３２７によって制御する。この場合、廃液タンク２８１に流入する最適吸引流量に対応した吸引圧力を予め算出しておく（制御テーブル）。まず、吸引を要する機能液滴吐出ヘッド１７に対応する開閉バルブ３３３の開放数を算出する。続いて、廃液タンク２８１に流入する機能液の流量が、開放した開閉バルブ３３３の数に対応した吸引流量になるように制御手段３４０でレギュレータ３３４を制御する（フィードバック制御）。この場合も個別圧力センサ３３２を用いた場合と同様、いずれのヘッドキャップ２０１においても、吸引圧力が一定になるように制御することができる。この場合も制御テーブルは、機能液の粘性に基づいて求められていることがさらに好ましい。

このような構成では、色別の粘性の異なる機能液に対応して、機能液滴吐出ヘッド１７の吸引圧力を個々に調整することができるため、それぞれの機能液滴吐出ヘッド１７の吸引を適切な圧力で行うことができる。また、各色の吸引機構２０４において、吸引を要する機能液滴吐出ヘッド１７の個数に対応して、吸引圧力を調整することができるため、常に一定の圧力で機能液吸引を行うことができる。したがって、各機能液滴吐出ヘッド１７の機能回復を、機能液の消費を抑制しつつ適切に行うことができる。

ところで、上記の初期充填において、各個別流路２２５ａに液体検出センサを設け、液体検出センサが機能液へ検出したときに、該当する機能液滴吐出ヘッド１７の初期充填を完了したものとして、対応するヘッドキャップ２０１の開閉バルブ３３３を閉弁する制御を行うようにし、機能液の無駄な消費を抑制することが可能である。かかる場合にも、開閉バルブ３３３を開放数に基づいて、上記の制御を行うことが可能である。

また、本実施形態においては、１０個のキャリッジユニット５１を備えた液滴吐出装置１を備えたものを使用しているが、キャリッジユニット５１の個数および各キャリッジユニット５１に搭載される機能液滴吐出ヘッド１７の個数は任意である。

次に、図１１を参照して、吸引装置１５関連の第２実施形態について説明する。この実施形態では、第１実施形態と同様に、１０個のキャリッジユニット５１に対応して１０台のキャップユニット２０３と、１０台の支持部材２０５と、１０台の昇降機構２０６とを備えているが、吸引機構２０４は、３色の機能液滴吐出ヘッド１７に対応して３組の吸引機構２０４で構成されている。すなわち、１０台のキャップユニット２０３のそれぞれにおいて、同色各４個のヘッドキャップ２０１が対応する吸引機構２０４に接続されている。言い換えれば、各キャップユニット２０３に、Ｒ色吸引機構２０４Ｒ、Ｇ色吸引機構２０４ＧおよびＢ色吸引機構２０４Ｂが用意されている第１実施形態に対し、第２実施形態は、１０台のキャップユニット２０３に対し、Ｒ色吸引機構２０４Ｒ、Ｇ色吸引機構２０４ＧおよびＢ色吸引機構２０４Ｂが用意されている。

この場合、例えばＲ色吸引機構２０４Ｒの吸引流路２２５は、１０個のキャップユニット２０３におけるＲ色の各４個の各ヘッドキャップ２０１（計４０個）に接続した４０本のキャップ側流路４０１と、共通のキャップユニット２０３に対応する４本のキャップ側流路４０１を合流する１０個のキャップ側合流部（マニホールド）４０２と、上流側を、１０個のキャップ側合流部４０２にそれぞれ接続し、下流側をＲ色用の廃液タンク２８１に接続した１０組のタンク側流路４０３と、を備えている。また、各キャップ側流路４０１には、ヘッドキャップ３０１への接続を個別に開閉するための個別バルブ４０４が介設されている。

各タンク側流路４０３は、上流側を１０個のキャップ側合流部４０２に接続した１０本の個別流路２２５ａと、１０本の個別流路２２５ａを合流するタンク側合流部（マニホールド）２２５ｂと、上流側をタンク側合流部２２５ｂに接続し、下流側を廃液タンク２８１に接続した合流流路２２５ｃと、を備えている。すなわち、各色の各キャップ側合流部４０２には、１本の個別流路２２５ａが接続され、この１本の個別流路２２５ａのキャップ側合流部近傍（分岐部）には、開閉バルブ３３３が介設されている。

また、各色用の廃液タンク２８１やエジェクタ３３４で構成される吸引手段３３７は、第１実施形態と同一のものであるため、ここでは説明を省略する。

この実施形態にあっても、キャリッジユニット（ヘッドユニット１３）５１単位で、吸引を行うものと行わないものとが生じた場合、開閉バルブ３３３の開放個数に応じて、第１実施形態と同様の制御を行うようになっている（段落［００６０］ないし［００６５］参照）。なお、各色の吸引機構毎に、吸引手段３３７を２組設け、吸引用の吸引処理とフラッシング用の吸引処理の同時並行処理を行うようにしてもよい。

なお、これら実施形態は、３色（Ｒ、ＧおよびＢ）の機能液が供給される機能液滴吐出ヘッド１７を用いたものを使用しているが、供給される機能液の色種および色数は任意であり、例えばＲ（レッド）、Ｇ（グリーン）、Ｂ（ブルー）、Ｃ（シアン）、Ｍ（マゼンタ）、Ｙ（イエロー）やＲ、Ｇ、Ｂ、ＬＲ（ライトレッド）、ＬＧ（ライトグリーン）、ＬＢ（ライトブルー）６色の機能液を供給する液滴吐出装置１に対応することも可能である。この場合、廃液タンク２８１および吸引機構２０４の数を増やすことで、対応することが可能となる。この場合も同様に、機能液の粘度が同一であれば、単一の吸引機構で吸引することができる。

次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。

まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１２は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１３は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１３（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。

続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１３（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１３（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１７により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。

以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。

次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１３（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１３（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。

図１４は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１３に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。

この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１４において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。

液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。

実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。

図１５は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。

液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

図１６は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。

この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。

対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。

また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。

なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。

次に、図１７は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。

この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。

回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。

また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。

そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。

このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。

上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。

バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。

上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。

発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。

そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。

陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。

次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１８〜図２６を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１８に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。

まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１９に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図２０に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。

表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。

そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。

図２１に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１７から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２２に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。

次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。

そして次に、図２３に示すように、各色のうちのいずれか（図２３の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。

その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２４に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。

同様に、機能液滴吐出ヘッド１７を用い、図２５に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。

対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２６に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ₂、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。

このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。

次に、図２７は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。

第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。

放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。

第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。

本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１７により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。

補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。

ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。

次に、図２８は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。

第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。

第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。

そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。

この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。

第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２９（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２９（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。

また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。

実施形態に係る液滴吐出装置の斜視図である。 液滴吐出装置の平面図である。 液滴吐出装置の側面図である。 ヘッドユニットの平面図である。 機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。 吸引装置の側面図である。 吸引装置の平面図である。 ヘッドキャップの断面図である。 吸引機構の系統図である。 液滴吐出装置の主制御系（制御装置）のブロック図である。 第２実施形態に係る吸引機構の系統図である。 カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。 （ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。 有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。 無機物バンク層の形成を説明する工程図である。 有機物バンク層の形成を説明する工程図である。 正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。 正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。 青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。 青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 陰極の形成を説明する工程図である。 プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。 電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。 表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。

符号の説明

１…液滴吐出装置 ９…制御装置 １５…吸引装置 １７…機能液滴吐出ヘッド ５３…ヘッドプレート ９７…ノズル面 ２０１…ヘッドキャップ ２０２…キャッププレート ２０３…キャップユニット ２２５…吸引流路 ２２５ａ…個別流路 ２２５ｂ…合流部 ２２５ｃ…合流流路 ２８１…廃液タンク ３２７…流量計（流量検出手段） ３３１…エジェクタ ３３３…開閉バルブ（流路開閉手段） ３３４…レギュレータ ３３５…圧力センサ ３３７…吸引手段 ５０８・・・成膜部 Ｗ…ワーク

Claims (8)

1. 複数の機能液滴吐出ヘッドにより、ワークに描画を行なうインクジェット方式の液滴吐出装置に設けられ、前記各機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密接して機能液を吸引する吸引装置であって、
   前記複数の機能液滴吐出ヘッドの対応する複数のヘッドキャップと、
   上流側を前記複数のヘッドキャップに接続された複数の個別流路、および合流部を介して前記複数の個別流路の下流端に接続された合流流路を有する吸引流路と、
   前記各個別流路に介設され、前記各個別流路を開閉する複数の流路開閉手段と、
   前記合流流路の下流端が接続され、密閉タンクで構成された廃液タンクと、
   一次側に圧縮エアーを導入すると共に二次側を前記廃液タンクの上部空間に接続したエジェクタと、
   前記エジェクタの前記一次側圧縮エアーの圧力を調整する圧力調整手段と、
   前記圧力調整手段を制御する制御手段と、を備え、
   前記制御手段は、前記複数のヘッドキャップにおけるそれぞれの吸引圧力が一定になるように、前記複数の流路開閉手段のうちの開放している前記流路開閉手段の開放数に応じて、前記圧力調整手段を制御することを特徴とする吸引装置。
2. 吸引時の前記各廃液タンクの圧力を検出する圧力検出手段を、更に備え、
   前記制御手段は、前記廃液タンク内の圧力が前記開放数に応じた所定の圧力なるように、前記圧力調整手段を制御することを特徴とする請求項１に記載の吸引装置。
3. 吸引より前記各廃液タンクに流入する機能液流量を検出する流量検出手段を、更に備え、
   前記制御手段は、前記廃液タンクに流入する機能液流量が前記開放数に応じた所定の流量なるように、前記圧力調整手段を制御することを特徴とする請求項１に記載の吸引装置。
4. 前記複数の機能液滴吐出ヘッドは、単一のヘッドプレートに搭載され、
   これに対応して前記複数のヘッドキャップは、単一のキャッププレートに搭載されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の吸引装置。
5. 前記複数の機能液滴吐出ヘッドは、複数のヘッドプレートに搭載され、
   これに対応して前記複数のヘッドキャップは、複数のキャッププレートに搭載されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の吸引装置。
6. ワークに対し、インクジェット方式の複数の機能液滴吐出ヘッドを移動させながら、前記各機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出させて描画を行なう描画手段と、
   請求項１ないし５のいずれかに記載された吸引装置と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
7. 請求項６に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
8. 請求項６に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。

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