CN101396919A - 吸引装置和包括其的液滴喷出装置及电光学装置及其制法 - Google Patents

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Abstract

提供吸引装置和包括其的液滴喷出装置、以及电光学装置及其制法。吸引装置设置在通过多个功能液滴喷出头对工件进行描绘的喷墨方式的液滴喷出装置中，与各功能液滴喷出头的喷嘴面紧贴地吸引功能液，包括：与多个功能液滴喷出头对应的多个喷头帽；具有上游侧被连接到多个喷头帽的多个单独流路、及通过合流部被连接到多个单独流路的下游端的合流流路的吸引流路；插设在各单独流路中对各单独流路进行开闭的多个流路开闭部件；连接合流流路的下游端，由密闭箱构成的废液箱；向一次侧导入压缩空气，并将二次侧连接到废液箱的上部空间的喷射器；对喷射器的一次侧压缩空气的压力进行调整的压力调整部件；和对压力调整部件进行控制的控制部件，控制部件根据开放的流路开闭部件的开放数目，控制压力调整部件，以使多个喷头帽各自的吸引压力恒定。

Description

吸引装置和包括其的液滴喷出装置及电光学装置及其制法
技术领域
本发明涉及包括对喷墨方式的多个功能液滴喷出头的喷嘴面可自由分离接触地密接的多个喷头帽(head cap)的吸引装置、和包括其的液滴喷出装置、以及电光学装置的制造方法和电光学装置。
背景技术
以往，已知对应于装载了12个功能液滴喷出头的7台滑架单元(carriage unit)而包括装载了12个喷头帽的7台吸引单元的吸引装置(参照特开2005-254798号公报)。
各吸引单元包括：将12个喷头帽装载在帽板上的帽单元；使12个喷头帽隔着帽板与12个功能液滴喷出头分离接触的分离接触机构；与12个喷头帽连通的废液箱；将二次侧连接到废液箱而使吸引压力作用于废液箱的喷射器；以及连接12个喷头帽和废液箱的吸引流路。
在使各喷头帽紧贴到各功能液滴喷出头时，若驱动喷射器以将压缩空气导入到一次侧，则废液箱的箱内部及吸引流路成为负压，通过12个喷头帽从12个功能液滴喷出头中吸引功能液。
在这样的吸引装置中，即使在各吸引单元中，12个功能液滴喷出头中有的因为孔眼堵塞而需要进行吸引，有的不需要，但也将它们一并进行吸引处理，所以存在浪费地消耗了功能液的问题。在这样的情况下，考虑在各功能液滴喷出头的单独吸引流路中设置开关阀等，只对需要进行吸引的功能液滴喷出头进行吸引。
但是，推测出：在这样做时，供吸引的功能液滴喷出头的个数变化时，各喷头帽中的吸引力变化(吸引流量变化)了，不可能对于每一个功能液滴喷出头适当地进行吸引。
发明内容
本发明的课题是提供一种即使同时进行吸引处理的喷头帽的数量变化，也能够在各喷头帽中按照相同的吸引压力进行吸引的吸引装置和包括其的液滴喷出装置、以及电光学装置的制造方法和电光学装置。
本发明的吸引装置设置在通过多个功能液滴喷出头对工件进行描绘的喷墨方式的液滴喷出装置中，与各功能液滴喷出头的喷嘴面紧贴地吸引功能液，其特征在于包括：与多个功能液滴喷出头相对应的多个喷头帽；具有上游侧被连接到多个喷头帽的多个单独流路、以及通过合流部分被连接到多个单独流路的下游端的合流流路的吸引流路；插入设置在各单独流路中，对各单独流路进行开闭的多个流路开闭部件；连接合流流路的下游端并由密闭箱构成的废液箱；向一次侧导入压缩空气，并且将二次侧连接到废液箱的上部空间的喷射器；对喷射器的一次侧压缩空气的压力进行调整的压力调整部件；和对压力调整部件进行控制的控制部件，控制部件根据多个流路开闭部件中开放的流路开闭部件的开放数目，控制压力调整部件，以使多个喷头帽中各自的吸引压力为一定。
通过该结构，在多个功能液滴喷出头中有进行吸引处理和不进行吸引处理的喷头时，能够通过各流路开闭部件的开闭来执行，并且根据开放的流路开闭部件的开放数目来控制调节器，从而能够保持各喷头帽中的吸引压力恒定。由此能够保持各喷头帽的吸引流量为一定量，能够对于每一个功能液滴喷出头进行适当的吸引处理，而与进行吸引处理的功能液滴喷出头的数目没有关系。此外，通过使用喷射器作为吸引源，能够构筑对功能液的耐药性优异的系统。
在该情况下，作为优选，还包括对吸引时的各废液箱的压力进行检测的压力检测部件，控制部件控制压力调整部件，以使废液箱内的压力成为与开放数目相对应的规定压力。
同样地，作为优选，还包括流量检测部件，其检测通过吸引而流入到各废液箱中的功能液流量，控制部件控制压力控制部件，以使流入到废液箱中的功能液流量成为与开放数目相对应的规定的流量。
根据这些结构，可以高精度地进行控制，以在任何一个喷头帽中，吸引压力都始终一定，可以一边考虑功能液的类别，同时适当地进行对功能液滴喷出头的吸引处理。
在这些情况下，作为优选，多个功能液滴喷出头装载在一个喷头板上，与此相对应，多个喷头帽装载在一个帽板上。
根据该结构，即使对于装载在一个喷头板上的多个功能液滴喷出头，有进行吸引处理的喷头和不进行吸引处理的喷头，也能够适当地进行吸引处理。
同样地，作为优选，多个功能液滴喷出头装载在多个喷头板上，与此相对应，多个喷头帽装载在多个帽板上。
根据该结构，即使对于装载在多个喷头板上的多个功能液滴喷出头，有进行吸引处理的喷头和不进行吸引处理的喷头，也能够适当地进行吸引处理。
本发明的液滴喷出装置的特征在于，包括：一边使喷墨方式的多个功能液滴喷出头相对于工件移动，一边从各功能液滴喷出头中喷出功能液滴对工件进行描绘的描绘部件；和上述吸引装置。
根据该结构，由于能够适当地进行多个功能液滴喷出头的功能维持和功能恢复，所以能够以高的描绘品质对工件进行处理，能够提高生产率。
本发明的电光学装置的制造方法的特征在于，使用上述液滴喷出装置，在工件上形成由功能液滴形成的成膜部分。
本发明的电光学装置的特征在于，在工件上形成了由功能液滴形成的成膜部分。
根据这些结构，采用能够高效率地进行功能液滴喷出头的功能维持和功能恢复的液滴喷出装置进行制造，能够提高工件的生产率。再有，作为电光学装置(平板显示器；FPD)，考虑滤色器、液晶显示装置、有机EL装置、PDP装置、电子发射装置等。再有，电子发射装置是包括所谓的FED(Field Emission Display；场发射显示器)、SED(Surface-conductionElectron-Emitter Display；表面导电电子发射显示器)装置等的概念。而且，作为电光学装置，考虑包含形成金属布线、形成透镜、形成抗蚀剂和形成光扩散体等的装置。
附图说明
图1是实施方式涉及的液滴喷出装置的立体图。
图2是液滴喷出装置的俯视图。
图3是液滴喷出装置的侧视图。
图4是喷头单元的俯视图。
图5是功能液滴喷出头的外观立体图。
图6是吸引装置的侧视图。
图7是吸引装置的俯视图。
图8是喷头帽的剖视图。
图9是吸引机构的系统图。
图10是液滴喷出装置的主控制系统(控制装置)的框图。
图11是第2实施方式涉及的吸引机构的系统图。
图12是说明滤色器制造工序的流程图。
图13A～图13E是按照制造工序的顺序表示的滤色器的示意剖视图。
图14是表示使用了采用本发明的滤色器的液晶装置的概略结构的主要部分剖视图。
图15是表示使用了采用本发明的滤色器的第2例子的液晶装置的概略结构的主要部分剖视图。
图16是表示使用了采用本发明的滤色器的第3例子的液晶装置的概略结构的主要部分剖视图。
图17是有机EL装置、即显示装置的主要部分剖视图。
图18是说明有机EL装置、即显示装置的制造工序的流程图。
图19是说明无机物围堰(bank)层的形成的工序图。
图20是说明有机物围堰层的形成的工序图。
图21是说明形成空穴注入/输送层的过程的工序图。
图22是说明形成了空穴注入/输送层的状态的工序图。
图23是说明形成蓝色的发光层的过程的工序图。
图24是说明形成了蓝色的发光层的状态的工序图。
图25是说明形成了各颜色的发光层的状态的工序图。
图26是说明阴极的形成的工序图。
图27是等离子型显示装置(PDP装置)即显示装置的主要部分分解立体图。
图28是电子发射装置(FED装置)即显示装置的主要部分剖视图。
图29A是显示装置的电子发射部分周围的俯视图，图29B是表示其形成方法的俯视图。
图中：1—液滴喷出装置，9—控制装置，15—吸引装置，17—功能液滴喷出头，53—喷头板，97—喷嘴面，201—喷头帽，202—帽板，203—帽单元，225—吸引流路，225a—单独流路，225b—合流部分，225c—合流流路，281—废液箱，327—流量计(流量检测部件)，331—喷射器，333—开闭阀(流路开闭部件)，334—调节器，335—压力传感器，337—吸引部件，508—成膜部分，W—工件。
具体实施方式
以下，参照添加的附图，说明采用了本发明的功能液供给装置的液滴喷出装置。该液滴喷出装置被安装在平板显示器的制造生产线上，例如，使用导入了特殊的油墨或发光性的树脂液即功能液的功能液滴喷出头，形成作为液晶显示装置的滤色器和有机EL装置的各像素的发光元件等。
如图1、图2和图3所示，液滴喷出装置1包括：X轴工作台(table)11，其配置在支撑在石平台上的X轴支撑基座(base)2，在作为主扫描方向的X轴方向上延伸，使工件W在X轴方向(主扫描方向)上移动；Y轴工作台(移动工作台)12，其配置在隔着多跟支柱4以跨越X轴工作台11的一对(两个)Y轴支撑基座3上，在作为副扫描方向的Y轴方向上延伸；以及10个滑架单元51，装载了多个功能液滴喷出头17，10个滑架单元51移动自如地吊设在Y轴工作台12上。
而且，液滴喷出装置1包括：将这些装置容纳在温度和湿度受到管理的气氛内的小室(chamber)6；贯通小室6并具有从小室6的外部对内部的功能液滴喷出头17供给功能液的3组功能液供给装置101的功能液供给单元7；和对这些构成装置都进行总括控制的控制装置9(参照图10)。通过与X轴工作台11和Y轴工作台12驱动同步地对功能液滴喷出头17进行喷出驱动，从而可以喷出从功能液供给单元7供给的R、G、B三色功能液滴，在工件W上描绘规定的描绘图案。
此外，液滴喷出装置1包括由冲洗单元14、多个(10台)吸引装置15、擦净单元16、喷出性能检查单元18构成的维护装置5，在功能液滴喷出头17的保养中利用这些单元，从而实现功能液滴喷出头17的功能维持和功能恢复。再有，在构成维护装置5的各单元中，冲洗单元14和喷出性能检查单元18被装载在X轴工作台11上(严格地说，喷出性能检查单元18将后述的载物台单元77装载在X轴工作台11上，将照相机单元78支撑在Y轴支撑基座3上)。此外，多个(10台)吸引装置15和擦净单元16被设置在台架39上，该台架39从X轴工作台11以直角延伸，并且通过Y轴工作台12设置在滑架单元51可移动的位置上。
冲洗单元14具有一对扫描前冲洗单元71、71；以及定期冲洗单元72，接受在功能液滴喷出头17的喷出之前或工件W的重新设置时等的描绘处理停止时进行的功能液滴喷出头17的废弃喷出(冲洗)。多个(10台)吸引装置15从各功能液滴喷出头17的喷出喷嘴98强制地吸引功能液，同时进行各功能液滴喷出头17的压盖(capping)。擦净单元16具有擦净片75，擦干吸引后的功能液滴喷出头17的喷嘴面97。喷出性能检查单元18具有：装载了接受从功能液滴喷出头17喷出的功能液滴的检查片83的载物台单元77；以及通过图像识别来检查载物台77上的功能液滴的照相机单元78，该喷出性能检查单元检查功能液滴喷出头17的喷出性能(有无喷出和弯曲飞行)。
下面，简单地说明液滴喷出装置1的构成要素。如图2或图3所示，X轴工作台11包括：设置工件W的设置台21；以在X轴方向上自由滑动的方式支撑设置台21的X轴第1滑块22；以在X轴方向上自由滑动的方式支撑上述冲洗单元14和载物台单元77的X轴第2滑块23；在X轴方向上延伸，通过X轴第1滑块22使设置台21(工件W)在X轴方向上移动，同时通过X轴第2滑块23使冲洗单元14和载物台单元77在X轴方向上移动的左右一对的X轴线性电机(省略图示)；以及与X轴线性电机并排设置，引导X轴第1滑块22和X轴第2滑块23的移动的一对(两个)X轴公用支撑基座24。
设置台21具有：吸附设置工件W的吸附台31；以及支撑吸附台31，并用于在θ轴方向上对设置在吸附台31上的工件W的位置进行校正的θ台32等。此外，在与设置台21的Y轴方向平行的一对边上，分别添设了上述描绘前冲洗单元71。
Y轴工作台12包括：分别吊设了各10个滑架单元51的10个桥接板52；以双支撑方式支撑10个桥接板52的10组Y轴滑块(省略图示)；以及设置在上述一对Y轴支撑基座3上，通过10组Y轴滑块使桥接板52在Y轴方向上移动的一对Y轴线性电机(省略图示)。此外，Y轴工作台12除了通过各滑架单元51在描绘时对功能液滴喷出头17进行副扫描以外，还使功能液滴喷出头17面向维护装置5(吸引装置15和擦净单元16)。
(同步)驱动一对Y轴线性电动机时，各Y轴滑块对一对Y轴支撑基座3进行导向，同时在Y轴方向平行移动。由此，桥接板52在Y轴方向移动，与此同时滑架单元51在Y轴方向上移动。再有，这种情况下，通过控制Y轴线性电动机的驱动，从而可以使各滑架单元51独立并单独移动，还可以使10个滑架单元51作为一体来移动。
此外，在Y轴工作台12的两肋上，与其平行地设置电缆保持体81。两个电缆保持体81的一端被固定在Y轴支撑基座3，并且另一端被固定在各桥接板52的一个上。该电缆保持体81中，收纳有各滑架单元51用的电缆类、空气管道类和功能液流路等。
各滑架单元51包括有喷头单元13，该单元由12个功能液滴喷出头17和将12个功能液滴喷出头17分为每组6个的两组来支撑的喷头板53构成(参照图4)。此外，各滑架单元51包括：以可θ校正(θ旋转)的方式支撑喷头单元13的θ旋转机构61；以及通过θ旋转机构61，使喷头单元13被支撑在Y轴工作台12(各桥接板52)上的吊设构件62。另外，各滑架单元51在其上部设置副箱121(实际上，设置在桥接板52上：参照图1)，利用自然水压差，并且通过减压阀(省略图示)从该副箱121对各功能液滴喷出头17供给功能液。
如上所述，12个功能液滴喷出头17，每组6个而被分为两组，从而被支撑在喷头板53上，各组6个功能液滴喷出头17由R色功能液用的2个功能液滴喷出头17、G色功能液用的2个功能液滴喷出头17、和B色功能液用的2个功能液滴喷出头17构成。各颜色的2个功能液滴喷出头17邻接设置，连接实际描绘时使用的多个喷出喷嘴98(后述的有效喷嘴)，构成部分描绘行。并且，2组各自的各颜色的部分描绘行在Y轴方向上间隔相当于2份的部分描绘行的尺寸设置。因此，通过3次主扫描和期间的2次副扫描，对工件W实施希望的配色图案的描绘。
如图5所示，功能液滴喷出头17是所谓的双联喷头，包括：具有双联的连接针92的功能液导入部分91；与功能液导入部分91连接的双联的喷头基板93；以及与功能液导入部分91的下方连接，在内部形成了被功能液填满的喷头内流路的喷头主体94。连接针92被连接到功能液供给单元7(功能液供给装置101)，向功能液导入部分91供给功能液。喷头主体94由模腔(cavity)95(压电元件)和具有开口了多个喷出喷嘴98的喷嘴面97的喷嘴板96构成。在喷出驱动功能液滴喷出头17时(在压电元件上施加电压)，通过模腔95的泵作用，功能液滴从喷出喷嘴98被喷出。
再有，在喷嘴面97中，相互平行地形成有多个喷出喷嘴98组成的两个喷嘴列99、99。而且，两个喷嘴列99之间，位置相互错开半个喷嘴节距。此外，各喷嘴列99的多个(180个)喷出喷嘴98，其两端部的多个(10个)喷出喷嘴98在实际描绘时不使用，在实际描绘时，中央部的160个喷出喷嘴98作为有效喷嘴使用。
以使内部温度和湿度保持一定的方式构成小室6。即，液滴喷出装置1对工件W的描绘在温度和湿度被管理为一定值的气氛中进行。并且，在小室6的侧壁的一部分上，设置有用于容纳与副箱121连接的箱单元122的箱柜(tank cabinet)84。再有，在制造有机EL装置等时，优选将小室6内部用惰性气体(氮气)的气氛构成。
如图1和图2所示，装载了擦净单元16和10台(多个)吸引装置15所设置的区域成为维护区域213，在液滴喷出装置1的运行停止时，10个滑架单元51通过Y轴工作台12移动到10台吸引装置15的位置，对所有功能液滴喷出头17，进行所谓的压盖。另一方面，在运行开始时，对于所有功能液滴喷出头17进行吸引处理，接着以滑架单元51为单位面对擦净单元16进行擦净处理，10台滑架单元51依次移动到X轴工作台11上的描绘区域214。
此外，在运行中，例如由喷出性能检查单元18在从维护区域213侧起第3滑架单元51中检测出喷出不良时，从第1至第3的三个滑架单元移动到描绘区域214侧的3台吸引装置15上，在对应的一个滑架单元51中，通过吸引装置15进行吸引处理，在该期间其他两个滑架单元51进行从各功能液滴喷出头17对吸引装置15的废弃喷出(冲洗)。于是，10个滑架单元51被单独地控制，与此同时，10台吸引装置15也被单独地控制。即，10台吸引装置15构成本装置的吸引系统。
下面，参照图6到图8，说明各吸引装置15。各吸引装置15包括：将与12个功能液滴喷出头17相对应的12个喷头帽201装载在帽板202上的帽单元203；与帽单元203连接的吸引机构204；使帽单元203升降的升降机构206；和调整后述的帽单元203的纵摇(ピツチング)方向和横摇(ヨ-イング)方向的倾斜度的倾斜度调整机构207。
如图6所示，升降机构206具有：通过支撑构件205使喷头帽201升降的升降汽缸311；对升降汽缸311的升降进行导向的一对线性导轨314；以及支撑它们的基座部分341。升降汽缸311使帽单元203在吸引用的紧贴位置、冲洗用的分离位置、喷头单元13的更换或帽单元203的消耗品更换(维护)用的更换位置之间三级地升降。
支撑构件205具有：主体框343、设置在主体框343的上端部且支撑帽单元203的支撑框342、和在支撑框342的正下面的横向上设置的开放框312。在开放框312上设置与后述的12个大气开放阀208一起开放的12个工作爪307，通过与开放框312连结的一对汽缸345、345使大气开放阀208开放(开阀)。
如图6和图7所示，倾斜度调整机构207由在上述的盖板202的四个角上设置的4个高度调整机构313构成，各高度调整机构313具有：穿过支撑框342的调整螺栓、和贯通调整螺栓的轴心将盖板202螺旋啮合在支撑框342上的固定螺栓。即，通过使4根调整螺栓分别正反旋转，调整喷头帽201的纵摇方向和横摇方向的倾斜度，然后将4根固定螺栓螺旋啮合在支撑框342上进行固定，从而进行一连串的倾斜度调整。
如图8所示，喷头帽201具有：由帽集合221和集合基底222组成的帽主体223；和保持帽集合221的帽保持器224。帽集合221由吸收材料保持器231、功能液吸收部件232、功能液吸收部件压板233、密封构件234、和框状压板构件235组成，这些部件通过一对连结螺栓(省略图示)被一体化。此外，在帽集合221和集合基底222之间插入设置液密密封构件237和气密密封构件238(都是O环)，以装在吸收材料保持器231中形成的一对环状槽253内。而且，帽主体223通过从框状压板部件235侧贯通帽集合221螺旋啮合在集合基底222上的安装螺栓242被一体化。
帽保持器224包括：帽保持器主体320；与帽保持器主体320一起保持帽主体223的一对保持挡块321、321；以帽保持器主体320为支撑物将帽主体223向上方弹出的一对紧贴弹簧322、322。并且，在帽保持器主体320的中央部上形成插入同轴接头226和大气开放阀208的开口部分323。
并且，与吸收材料保持器231的沟底连接的功能液流路251通过同轴接头226连接到后述的吸引流路225。此外，大气开放阀208连接到上述的工作爪307，通过一对汽缸345、345使其向下运动进行开阀。再有，通过在吸引操作结束之前开放大气开放阀208，也能够吸引喷头帽201内的功能液。
如上所述，帽单元203按照与喷头单元13的三种颜色(R、G和B)各4个、共计12个功能液滴喷出头17相对应的三种颜色各4个、共计12个喷头帽201被保持在帽板202上的方式来构成。即，装载在帽单元203上的12个喷头帽201与装载在帽单元13上的功能液滴喷出头17具有相同的排列图案，12个喷头帽201相对于12个功能液滴喷出头17同时脱离/接触(参照图4和图7)。
接下来，参照图9说明吸引机构204。吸引机构204与三种颜色(R、G和B)的功能液滴喷出头17相对应，由单独的R色吸引机构204R、G色吸引机构204G和B色吸引机构204B构成。由于各色的吸引机构204R、204G、204B的结构和功能相同，所以在这里以R色吸引机构204R为例在下面进行说明。再有，本实施方式中的各功能液，除了颜色外粘性也不同，通过按照不同的颜色构成吸引结构，可以抑制功能液的浪费的消耗，同时可以对于导入颜色不同的功能液的多个功能液滴喷出头适当地进行功能维持和功能恢复。
如图9所示，R色吸引机构204R具有：通过R色的多个(4个)喷头帽201吸引功能液的吸引部件337、和连接多个喷头帽201和吸引部件337的吸引流路225。
吸引流路225包括：上游侧连接到各喷头帽201上的多个(4个)单独流路225a；各单独流路225a合流的合流部分225b(歧管)；和通过合流部分225b连接到多个单独流路225a的下游侧的合流流路225c。在各单独流路225a中插入设置开闭阀(流路开闭部件)333和单独压力传感器332，开闭阀333和单独压力传感器332分别连接到控制装置9(参照图10)。
合流流路225c设置在合流部分225b和后述的废液箱281之间，其下游端深深地插入到废液箱281的底部附近，以便一直位于废液的液面以下。即，功能液(废液)从通过同轴接头226而连接到喷头帽201的单独流路225a，经过合流部分225b和合流流路225d被吸引到废液箱281中。此外，在合流流路225c的下游侧设置检测被吸引到废液箱281内的功能液(废液)的流量的流量计(流量检测部件：实际上检测流速)327。
吸引部件337包括：上述的流量计327；由所谓的密闭箱构成的废液箱281；一次侧连接到压缩空气供给设备390的喷射器331；上游端连接到废液箱281的上部空间，下游端连接到喷射器331的二次侧的吸引管路328；插入设置在喷射器331和压缩空气供给设备390之间且调整向喷射器331供给的压缩空气的压力的调节器(压力调整部件)334；检测废液箱281的内部压力的压力传感器(压力检测部件)335；和控制调节器334的上述控制装置9。
喷射器331的二次侧通过吸引管路328与废液箱281连接，并且一次侧通过压缩空气流路329与调节器334连接。即，喷射器331通过压缩空气流路329将压缩空气导入到一次侧，从而在二次侧中产生负压，通过与功能液滴喷出头17紧贴的喷头帽201将功能液吸引到废液箱281中。再有，通过了喷射器331的空气被送入到排气设备389中。
调节器334由电动气压调节器构成，通过控制装置9，对从压缩空气供给设备390供给的压缩空气进行适当减压，提供给喷射器331。即，通过由调节器334调整压缩空气的空气压力，调整喷射器331的二次侧压力(吸引压力：负压)。
接下来，参照图10说明液滴喷出装置1的主控制系统。如图10所示，液滴喷出装置1包括：具有喷头单元13(功能液滴喷出头17)的液滴喷出部分383；具有X轴工作台11并使工件W向X轴方向移动的工件移动部分384；具有Y轴工作台12并使喷头单元13向Y轴方向移动的喷头移动部分388；具有维护部件的各单元的维护部分385；具有功能液供给单元7并给功能液滴喷出头17供给功能液的功能液供给部分386；具有各种传感器，以进行各种检测的检测部分387；具有驱动控制各部分的各种驱动器的驱动部分382；以及连接到各部分，进行液滴喷出装置1整体的控制的控制部分(控制部件)381。并且由该驱动部分382和控制部分381构成控制装置9。
控制部分381包括：用于连接各部件的接口375；具有可临时存储的存储区域，用作控制处理的作业区域的RAM372；具有各种存储区域，存储控制程序或控制数据的ROM373；存储用于在工件W上描绘规定的描绘图案的描绘数据、来自各部件的各种数据等，并且存储用于处理各种数据的程序等的硬盘374；根据ROM373或硬盘374所存储的程序等，对各种数据进行运算处理的CPU371；以及将它们相互连接的总线376。
而且，控制部分381通过接口375输入来自各部件的各种数据，并且根据存储在硬盘374中的(或通过CD-ROM驱动器等依次读出的)程序，使CPU371进行运算处理，将其处理结果通过驱动部分382(各种驱动器)输出到各部件。由此，整个装置受到控制，进行液滴喷出装置1的各种处理。
接下来，说明上述控制装置9对各吸引装置15进行控制的方法。如上所述，实施方式的吸引装置15具有：从功能液滴喷出头17中吸引功能液的吸引功能；接受来自功能液滴喷出头17的废弃喷出的受液功能；和压盖功能液滴喷出头17的压盖功能。压盖功能是防止在装置的非运行时喷出喷嘴98中的功能液干燥的功能，驱动升降机构206，变成使喷头盖201(盖单元203)相对于面向喷头盖201的正上部的功能液滴喷出头17(喷头单元13)紧贴(紧贴位置)的状态。
受液功能是接受用于例如擦净处理等待等的待机状态的功能液滴喷出头17所实施的功能维持的废弃喷出的功能，通过升降机构206使喷头帽201(帽单元203)移动到分离的位置上，接受功能液滴喷出头17的废弃喷出，同时驱动吸引机构204吸引残留在喷头帽201中的功能液。在功能液滴喷出头17的喷出驱动之前开始吸引，以使该情况下的吸引也能够吸引废弃喷出产生的功能液的雾(mist)。
吸引功能是在装置的运行开始时、或者在上述喷出性能检测单元18发现喷出不好的情况下，从功能液滴喷出头17吸引粘度增加了的功能液从而实现功能液滴喷出头17的功能恢复的功能，通过升降机构206使喷头帽201(帽单元203)移动到紧贴位置之后，驱动吸引机构204，通过喷头帽201从功能液滴喷出头17的全部喷出喷嘴98中吸引功能液。
如上所述，因为在各吸引装置15中设置颜色不同的R色吸引机构204R、G色吸引机构204G和B色吸引机构204B，这3色功能液彼此粘性不同，所以在R色吸引机构204R、G色吸引机构204G、B色吸引机构204B中，根据预先通过实验求出的控制表，控制各调节器334以分别达到最佳的吸引压力。此外，通过单独的压力传感器332、压力传感器335和流量计327等监视各吸引动作是否最佳地进行。
再有，基于上述的受液功能的吸引(以弱的吸引力进行的吸引)也根据控制表控制各调节器334以分别达到最佳的吸引压力。同样，在功能液滴喷出头17中初始填充功能液的情况下，为了排除各流路内的气泡，也进行在吸引初期以强的吸引压力进行吸引，在吸引终期以弱的吸引压力进行吸引等的控制(过程控制)。
另一方面，由喷出性能检测单元18进行检查的结果是，在各颜色4个功能液滴喷出头17中，有需要功能恢复的喷头和不需要功能恢复的喷头，在这样的情况下，可以打开需要功能恢复的功能液滴喷出头17的开闭阀333，关闭不需要功能恢复的功能液滴喷出头17的开闭阀333，进行功能液的吸引操作(吸引功能)。并且，在该情况的控制中，即使需要进行吸引的功能液滴喷出头17的个数变化，也可以进行下面的控制，以使各功能液滴喷出头17的吸引压力为一定(各单独的压力传感器332的检测值一定)。
在该情况下，进行吸引操作的吸引压力是预先算出的与开闭阀333的开放数目相对应的最佳吸引压力，在该吸引压力下进行吸引操作。再有，作为优选，最佳吸引压力除了根据开放的开闭阀333的数目外，还根据功能液的粘性来求出控制表。
此外，如上所述，由于在各喷头帽201中设置了分别对应的开闭阀333，所以只打开与要进行吸引操作的功能液滴喷出头17相对应的开闭阀333。与该情况相同，算出开放的开闭阀333的数目，根据控制表求出与该数目相对应的吸引压力。并且，控制装置9根据开闭阀333的开放数目，参照控制表来控制调节器334。由此即使开闭阀333的开放数目变化，由单独的传感器332检测的吸引压力(负压)也为一定。
而且，除了根据该开闭阀333的数目进行压力控制外，还进行调节器334的控制，以使设置在废液箱281内的压力传感器335所检测的吸引压力为规定的压力(控制表)。在该情况下，同样地也一边控制调节器334一边进行吸引操作，以使废液箱281内的吸引压力为与开放的开闭阀333的数目相对应的吸引压力(反馈控制)。由此可以以更高的精度进行压力控制。
再有，在上述吸引操作中，使用根据压力传感器335的检测值，对调节器334进行控制的方法作为控制方法，但是也可以使用如下的方法。
在该控制方法中，代替上述的压力传感器335，由设置在合流流路225c的下游侧的流量计327进行控制。在该情况下，事先算出与流入废液箱281的最佳吸引流量相对应的吸引压力(控制表)。首先，算出与需要进行吸引的功能液滴喷出头17相对应的开闭阀333的开放数目。接下来，由控制部件340来控制调节器334以使流入废液箱281的功能液的流量为与开放的开闭阀333的数目相对应的吸引流量(反馈控制)。该情况与使用单独的压力传感器332的情况相同，在任何一个喷头帽201中都能够将吸引压力控制为一定。作为优选，在该情况下控制表也是根据功能液的粘性求出的。
在这样的结构中，由于能够与不同颜色的粘性不同的功能液相对应地分别调整功能液滴喷出头17的吸引压力，所以能够以适当的压力进行各功能液滴喷出头17的吸引。此外，在各种颜色的吸引机构204中，由于能够与需要进行吸引的功能液滴喷出头17的个数相对应地调整吸引压力，所以能够以一直一定的压力进行功能液的吸引。从而能够抑制功能液的消耗，同时适当地进行各功能液滴喷出头17的功能恢复。
可是，在上述初始填充中，在各单独流路225a中设置液体检测传感器，液体检测传感器检测到功能液时，作为完成了相当的功能液滴喷出头17的初始填充的事实，进行关闭对应的喷头帽201的开闭阀333的控制，从而可以抑制功能液的浪费的消耗。在这样的情况下，也可以根据开闭阀333的开放数目，进行上述控制。
此外，在本实施方式中，使用包括具有10个帽单元51的液滴喷出装置1的设备，但是帽单元51的个数和装载在各帽单元51上的功能液滴喷出头17的个数可以是任意的。
接下来，参照图11说明吸引装置15关联的第2实施方式。在该实施方式中，与第1实施方式相同，也与10个帽单元51相对应，具有：10台帽单元203、10台支撑构件205、10台升降机构206，但是吸引机构204与3色功能液滴喷出头17相对应，由3组吸引机构204构成。即，分别在10台帽单元203中，相同颜色各4个喷头帽201连接到对应的吸引机构204。换句话说，在第1实施方式中，给各喷头帽203准备R色吸引机构204R、G色吸引机构204G和B色吸引机构204B，而在第2实施方式中，对于10台帽单元203准备R色吸引机构204R、G色吸引机构204G和B色吸引机构204B。
在该情况下，例如R色吸引机构204R的吸引流路225包括：与10个帽单元203中的R色各4个喷头帽201(共计40个)连接的40个帽侧流路401；对与共用的帽单元203相对应的4个帽侧流路401进行合流的10个帽侧合流部分(歧管)402；上游侧分别连接到10个帽侧合流部分402，下游侧连接到R色用废液箱281的10组箱侧流路403。此外，在各帽侧流路401中插入设置用来单独地对与喷头帽301的连接进行开闭的单独阀404。
各箱侧流路403包括：上游侧连接到10个帽侧合流部分402的10个单独流路225a；对10个单独流路225a进行合流的箱侧合流部分(歧管)225b；和上游侧连接到箱侧合流部分225b、下游侧连接到废液箱281的合流流路225c。即，在各颜色的各帽侧合流部分402中，连接1个单独流路225a，在该1个单独流路225a的帽侧合流部分附近(分支部分)插入设置开闭阀333。
此外，由于由各颜色用的废液箱281和喷射器334构成的吸引部件337与第1实施方式相同，所以在此省略说明。
在该实施方式中，以帽单元(喷头单元13)51为单位，在有进行吸引的帽单元和不进行吸引的帽单元的情况下，与开闭阀333的开放个数相对应，进行与第1实施方式相同的控制(参照第8页第4行～第9页第11行)。再有，各颜色的每一个吸引机构设置2组吸引部件337，可以同时进行吸引用的吸引处理和冲洗用的吸引处理。
再有，这些实施方式使用采用了供给3色(R、G和B)功能液的功能液滴喷出头17的装置，但是供给的功能液的颜色种类和颜色数是任意的，例如，也可以与供给R(红色)、G(绿色)、B(蓝色)、C(青色)、M(品红色)、Y(黄色)或者R、G、B、LR(浅红色)、LG(浅绿色)、LB(浅蓝色)六色的功能液的液滴喷出装置1相对应。在该情况下，可以通过增加废液箱281和吸引机构204的数目进行对应。在该情况下，同样地，如果功能液的粘度相同，就可以由单独的吸引机构进行吸引。
接下来，作为使用本实施方式的液滴喷出装置1制造的电光学装置(平板显示器)，以滤色器、液晶显示装置、有机EL装置、等离子体显示器(PDP装置)、电子发射装置(FED装置、SED装置)、以及在这些显示装置上形成的有源矩阵基板等为例，说明它们的结构及其制造方法。再有，有源矩阵基板是指薄膜晶体管、形成了与薄膜晶体管电连接的电源线、数据线的基板。
首先，说明液晶显示装置和有机EL装置等中装入的滤色器的制造方法。图12是表示滤色器的制造工序的流程图，图13是以制造工序顺序表示的本实施方式的滤色器500(滤色基板500A)的示意剖视图。
首先，如图13A所示，在黑矩阵形成工序(S101)中，在基板(W)501上形成黑矩阵502。黑矩阵502通过金属铬、金属铬和氧化铬的层叠体、或树脂黑等形成。为了形成由金属薄膜组成的黑矩阵502，可以使用溅射法或蒸镀法等。此外，在形成由树脂薄膜组成的黑矩阵502时，可以使用照相凹版印刷法、光刻法、热转印法等。
接着，在围堰形成工序(S102)中，在重叠在黑矩阵502上的状态下形成围堰503。即，如图13B所示，形成由负型的透明感光性树脂组成的抗蚀剂层504，以覆盖基板501和黑矩阵502。然后，在用黑矩阵图案形状所形成的掩膜(mask film)505将其上表面覆盖的状态下进行曝光处理。
进而，如图13C所示，通过对抗蚀剂层504的未曝光部分进行蚀刻处理，从而对抗蚀剂层504进行构图，形成围堰503。再有，在由树脂黑形成黑矩阵时，可将黑矩阵和围堰兼用。
该围堰503和其下面的黑矩阵502成为划分各像素区域507的隔壁部分507b，在后面的着色层形成工序中通过功能液滴喷出头17在形成着色层(成膜部分)508R、508G、508B时规定功能液滴的射中区域。
经过以上的黑矩阵形成工序和围堰形成工序，获得上述滤色器基体500A。
再有，在本实施方式中，作为围堰503的材料，使用涂膜表面为疏液(疏水)性的树脂材料。而且，由于基板(玻璃基板)501的表面有亲液(亲水)性，所以在后述的着色层形成工序中可以自动校正对围堰503(隔壁部分507b)所包围的各像素区域507a内部的液滴的射中位置的偏差。
接着，如图13D所示，在着色层形成工序(S103)中，通过功能液滴喷出头17喷出功能液滴并射到隔壁部分507b所包围的各像素区域507a内。这种情况下，使用功能液滴喷出头17，导入R、G、B、三色的功能液(滤色材料)，进行功能液滴的喷出。再有，作为R、G、B三色的排列模式(pattern)，有直线排列、镶嵌排列和三角形排列。
然后，经过干燥处理(加热等处理)使功能液定影，形成三色的着色层508R、508G、508B。如果形成了着色层508R、508G、508B，则转移到保护膜形成工序(S104)，如图13E所示，形成保护膜509，以覆盖基板501、隔壁部分507b、以及着色层508R、508G、508B的上表面。
即，在基板501的形成了着色层508R、508G、508B的整个面上喷出保护膜用涂敷液后，经过干燥处理而形成保护膜509。
然后，在形成了保护膜509后，滤色器500转移到下个工序的作为透明电极的ITO(Indium Tin Oxide；氧化铟锡)等的贴膜工序。
图14是表示作为使用了上述滤色器500的液晶显示装置一例的无源矩阵型液晶装置(液晶装置)的概略结构的主要部分剖视图。在该液晶装置520中，通过安装液晶驱动用IC、背光灯、支撑体等辅助元件，可获得作为最终制品的透过型液晶显示装置。再有，滤色器500与图13A～图13E所示的滤色器相同，所以在对应的部位附加相同的标号，并省略其说明。
该液晶装置520大致由滤色器500、玻璃基板等组成的对置基板521、以及夹置在它们之间的STN(Super Twisted Nematic；超扭曲向列)液晶组成物构成的液晶层522构成，将滤色器500配置在图14中上侧(观测者侧)。
再有，虽然未图示，但在对置基板521和滤色器500的外面(与液晶层522侧相反侧的面)上分别设置偏振片，而在位于对置基板521侧的偏振片的外侧，设置背光灯。
在滤色器500的保护膜509上(液晶层侧)，在图14中左右方向上以规定的间隔形成多个细长的长条状的第1电极523，并形成第1取向膜524，以覆盖与该第1电极523的滤色器500侧相反侧的面。
另一方面，在对置基板521的面对着滤色器500的面上，在与滤色器500的第1电极523正交的方向上以规定的间隔形成多个细长的长条状的第2电极526，并形成第2取向膜527，以覆盖该第2电极526的液晶层522侧的面。这些第1电极523和第2电极526由ITO等透明导电材料形成。
液晶层522内部设置的隔离物528是用于使液晶层522的厚度(单元间隙)保持一定的构件。此外，密封材料529是用于防止液晶层522内部的液晶组成物向外部漏出的构件。再有，第1电极523的一端作为环绕布线523a延长至密封材料529的外侧。
而且，第1电极523和第2电极526交叉的部分为像素，构成为使滤色器500的着色层508R、508G、508B位于作为该像素的部分。
在通常的制造工序中，在滤色器500中，进行第1电极523的构图和第1取向膜524的涂敷而形成滤色器500侧的部分，并且在与其不同的对置基板521上，进行第2电极526的构图和第2取向膜527的涂敷而形成对置基板521侧的部分。然后，在对置基板521侧的部分中装入隔离物528和密封材料529，在该状态下粘贴滤色器500侧的部分。接着，从密封材料529的灌入口将构成液晶层522的液晶灌入，然后将灌入口封闭。然后，将两个偏振片和背光灯进行层叠。
实施方式的液滴喷出装置1，例如在涂敷用于构成上述单元间隙(cellgap)的隔离物材料(功能液)，同时在对置基板521侧的部分上粘贴滤色器500侧的部分之前，可以在用密封材料529包围的区域中均匀地涂敷液晶(功能液)。此外，还可以用功能液滴喷出头17进行上述密封材料529的印刷。而且，还可以用功能液滴喷出头17进行第1、第2两个取向膜524、527的涂敷。
图15是表示使用了在本实施方式中制造出的滤色器500的液晶装置的第2例子的概略结构的主要部分剖视图。
该液晶装置530与上述液晶装置520较大不同的方面是，将滤色器500配置在图15中下侧(与观测者相反侧)。
该液晶装置530大致构成为：在滤色器500和玻璃基板等组成的对置基板531之间夹置STN液晶组成的液晶层532。再有，虽然未图示，但在对置基板531和滤色器500的外面分别设置偏振片等。
在滤色器500的保护膜509上(液晶层532侧)，在图15中进深方向上以规定的间隔形成多个细长的长条状的第1电极533，并形成第1取向膜534，以覆盖该第1电极533的液晶层532侧的面。
在对置基板531的面对着滤色器500的面上，以规定的间隔形成多个在与滤色器500侧的第1电极533正交的方向上延长的细长的长条状的第2电极536，并形成第2取向膜537，以覆盖该第2电极536的液晶层532侧的面。
在液晶层532中，设置用于将该液晶层532的厚度保持一定的隔离物538，以及用于防止液晶层532内部的液晶组成物向外部漏出的密封材料539。
而且，与上述液晶装置520同样，第1电极533和第2电极536的交叉的部分为像素，构成为使滤色器500的着色层508R、508G、508B位于作为该像素的部位。
图16是表示使用了适用本发明的滤色器500构成液晶装置的第3例子的图，是表示透过型的TFT(Thin Film Transistor；薄膜晶体管)型液晶装置的概略结构的分解立体图。
该液晶装置550将滤色器500配置在图16中的上侧(观测者侧)。
该液晶装置550由滤色器500、与其对置配置的对置基板551、夹置在它们之间的未图示的液晶层、在滤色器500的上面侧(观测者侧)配置的偏振片555、以及在对置基板551的下面侧设置的偏振片(未图示)大致构成。
在滤色器500的保护膜509的表面(对置基板551侧的面)上形成有液晶驱动用的电极556。该电极556由ITO等透明导电材料构成，成为将形成后述的像素电极560的整个区域覆盖的全面电极。此外，在覆盖该电极556的与像素电极560相反侧的面的状态下设有取向膜557。
在对置基板551的与滤色器500对置的面上形成绝缘层558，在该绝缘层558上，扫描线561和信号线562以相互正交的状态被形成。然后，在这些扫描线561和信号线562所包围的区域内形成像素电极560。再有，在实际的液晶装置中，在像素电极560上设有取向膜，但省略了图示。
此外，构成为在像素电极560的缺口部分、扫描线561和信号线562所包围的部分中装入具备源电极、漏电极、半导体和栅电极的薄膜晶体管563。而且，构成为通过对扫描线561和信号线562施加信号而使薄膜晶体管563导通/截止，从而可以进行对像素电极560的导电控制。
再有，上述各例子的液晶装置520、530、550形成了透过型的结构，但也可以是设有反射层或半透过反射层，从而形成为反射型的液晶装置或半透过反射型的液晶装置。
下面，图17是有机EL装置的显示区域(以下，简称为显示装置600)的主要部分剖视图。
该显示装置600按照在基板(W)601上层叠了电路元件部分602、发光元件部分603和阴极604的状态概略构成。
在该显示装置600中，从发光元件部分603发射到基板601侧的光透过电路元件部分602和基板601而射出到观测者侧，并且从发光元件部分603发射到基板601的相反侧的光被阴极604反射后，透过电路元件部分602和基板601被射出到观测者侧。
在电路元件部分602和基板601之间形成由氧化硅膜组成的基底保护膜606，在该基底保护膜606上(发光元件部分603侧)形成有由多晶硅组成的岛状的半导体膜607。在该半导体膜607的左右区域中，通过高浓度阳离子注入而分别形成源区域607a和漏区域607b。而且，阳离子未注入的中央部分成为沟道区域607c。
此外，在电路元件部分602中，形成有覆盖基底保护膜606和半导体膜607的透明的栅极绝缘膜608，在该栅极绝缘膜608上的与半导体膜607的沟道区域607c相对应的位置上，例如形成由Al、Mo、Ta、Ti、W等构成的栅电极609。在该栅电极609和栅极绝缘膜608上，形成透明的第1层间绝缘膜611a和第2层间绝缘膜611b。此外，贯通第1、第2层间绝缘膜611a、611b，形成有分别连通到半导体膜607的源区域607a、漏区域607b的接触孔(contact hole)612a、612b。
然后，在第2层间绝缘膜611b上，由ITO等构成的透明的像素电极613被按照规定的形状构图形成，该像素电极613通过接触孔612a连接到源区域607a。
此外，在第1层间绝缘膜611a上预先设置有电源线614，该电源线614通过接触孔612b连接到漏区域607b。
于是，在电路元件部分602中，分别形成有连接到各像素电极613的驱动用的薄膜晶体管615。
上述发光元件部分603由多个像素电极613上各自层叠的功能层617、配置在各像素电极613和功能层617之间来区分各功能层617的围堰部分618概略构成。
通过这些像素电极613、功能层617和功能层617上设置的阴极604而构成发光元件。再有，像素电极613被构图形成为平面看大致成矩形，在各像素电极613之间形成围堰部分618。
围堰部分618例如由SiO、SiO2、TiO2等无机材料形成的无机物围堰层618a(第1围堰层)、和层叠在该无机物围堰层618a上且由丙烯树脂、聚酰亚胺树脂等耐热性、抗溶剂性优良的抗蚀剂形成的剖面梯形的有机物围堰层618b(第2围堰层)而构成。该围堰部分618的一部分以骑在像素电极613的边缘部分上的状态来形成。
然后，在各围堰部分618之间，形成有对于像素电极613向上方逐渐扩宽的开口部分619。
上述功能层617由在开口部分619内层叠于像素电极613上的状态下形成的空穴注入/输送层617a、形成于该空穴注入/输送层617a上的发光层617b构成。再有，也可以与该发光层617b邻接形成具有其他功能的其他功能层。例如，也可以形成电子输送层。
空穴注入/输送层617a具有从像素电极613侧输送空穴并将其注入到发光层617b的功能。该空穴注入/输送层617a通过将包含空穴注入/输送层形成材料的第1组成物(功能液)喷出而形成。作为空穴注入/输送层形成材料，使用公知的材料。
发光层617b发出红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)任何一种的光，通过将包含发光层形成材料(发光材料)的第2组成物(功能液)喷出而形成。作为第2组成物的溶剂(非极性溶剂)，优选使用对于空穴注入/输送层617a而言不溶解的公知的材料，通过将这样的非极性溶剂用于发光层617b的第2组成物，可以形成发光层617b而不使空穴注入/输送层617a再溶解。
而且，发光层617b构成为：从空穴注入/输送层617a注入的空穴与从阴极604注入的电子在发光层中再结合而发光。
阴极604按照覆盖发光元件部分603的整个面的状态形成，与像素电极613成对而具有在功能层617中流过电流的作用。再有，在该阴极604的上部配置了未图示的密封构件。
下面，参照图18～图26说明上述显示装置600的制造工序。
如图18所示，该显示装置600经过围堰部分形成工序(S111)、表面处理工序(S112)、空穴注入/输送层形成工序(S113)、发光层形成工序(S114)、以及对置电极形成工序(S115)来制造。再有，制造工序不限于例示的工序，根据需要，有时除去其他工序，或有时追加其他工序。
首先，在围堰部分形成工序(S111)中，如图19所示，在第2层间绝缘膜611b上形成无机物围堰层618a。该无机物围堰层618a是在形成位置形成了无机物膜后，通过将该无机物膜利用光刻技术等进行构图而形成的。此时，无机物围堰层618a的一部分，以与像素电极613的边缘部分重叠的方式形成。
若形成了无机物围堰层618a，则如图20所示，在无机物围堰层618a上形成有机物围堰层618b。该有机物围堰层618b也与无机物围堰层618a同样地利用光刻技术等进行构图而形成。
由此，形成了围堰部分618。伴随该形成工序，在各围堰部分618之间，形成相对于像素电极613而言在上方开口的开口部分619。该开口部分619规定像素区域。
在表面处理工序(S112)中，进行亲液化处理和疏液化处理。进行亲液化处理的区域是无机物围堰层618a的第1层叠部分618aa和像素电极613的电极面613a，这些区域例如通过将氧作为处理气体的等离子体处理而被表面处理为亲液性。该等离子体处理还兼用作像素电极613即ITO的清洗等。
此外，疏液化处理对有机物围堰层618b的壁面618s和有机物围堰层618b的上表面618t实施，通过例如将四氟化甲烷作为处理气体的等离子体处理而进行表面氟化处理(处理为疏液性)。
通过进行该表面处理工序，在使用功能液滴喷出头17形成功能层617时，可以使功能液滴更可靠地射中像素区域。此外，可防止已射到像素区域中的功能液滴从开口部分619溢出。
然后，通过经过以上工序，获得显示装置基体600A。该显示装置基体600A被装载在图1所示的液滴喷出装置1的设置台21上，进行以下的空穴注入/输送层形成工序(S113)和发光层形成工序(S114)。
如图21所示，在空穴注入/输送层形成工序(S113)中，将包含空穴注入/输送层形成材料的第1组成物从功能液滴喷出头17喷出到像素区域即各开口部分619内。然后，如图22所示，进行干燥处理和热处理，使第1组成物所包含的极性溶剂蒸发，在像素电极(电极面613a)613上形成空穴注入/输送层617a。
下面说明发光层形成工序(S114)。在该发光层形成工序中，如上所述，为了防止空穴注入/输送层617a的再溶解，作为发光层形成时使用的第2组成物的溶剂，使用对于空穴注入/输送层617a而言不溶解的非极性溶剂。
但是，在另一方面，空穴注入/输送层617a对于非极性溶剂的亲和性较低，所以即使将包含非极性溶剂的第2组成物喷出到空穴注入/输送层617a上，也担心不能使空穴注入/输送层617a和发光层617b紧贴，或者不能均匀地涂敷发光层617b。
因此，为了提高空穴注入/输送层617a对于非极性溶剂以及发光层形成材料的表面亲和性，优选是在发光层形成之前进行表面处理(表面改性处理)。该表面处理通过将发光层形成时使用的与第2组成物的非极性溶剂相同的溶剂或与其类似的溶剂即表面改性材料涂敷在空穴注入/输送层617a上，并使其干燥来进行。
通过实施这样的处理，空穴注入/输送层617a的表面不容易溶合在非极性溶剂中，在其后的工序中，可以将包含发光层形成材料的第2组成物均匀地涂敷在空穴注入/输送层617a上。
接着，如图23所示，将含有与各种颜色中任何一个(在图23的例子中为蓝色(B))相对应的发光层形成材料的第2组成物作为功能液滴在像素区域(开口部分619)内灌入规定量。像素区域内所灌入的第2组成物在空穴注入/输送层617a上扩展而填满开口部分619内部。再有，即使在第2组成物万一从像素区域漏到外部而射中了围堰部分618的上表面618t的情况下，由于该上表面618t如上所述进行了疏液处理，所以第2组成物也容易滚入到开口部分619内部。
然后，通过进行干燥工序等，将喷出后的第2组成物进行干燥处理，使第2组成物中包含的非极性溶剂蒸发，如图24所示，在空穴注入/输送层617a上形成发光层617b。图24的情况下，形成有与蓝色(B)相对应的发光层617b。
同样地，使用功能液滴喷出头17，如图25所示，依次进行与上述蓝色(B)相对应的发光层617b的情况同样的工序，形成与其他颜色(红色(R)的绿色(G))相对应的发光层617b。再有，发光层617b的形成顺序不限于例示的顺序，也可以按任何的顺序形成。例如，也可以按照发光层形成材料来决定形成的顺序。此外，作为R、G、B三色的排列模式，有直线排列、镶嵌排列和三角形排列等。
如上所述，在像素电极613上形成功能层617，即空穴注入/输送层617a和发光层617b。然后，转移到对置电极形成工序(S115)。
在对置电极形成工序(S115)中，如图26所示，在发光层617b和有机物围堰层618b的整个面上，例如通过蒸镀法、溅射法、CVD法等形成阴极604(对置电极)。在本实施方式中，该阴极604例如通过层叠钙层和铝层而构成。
在该阴极604的上部，适当设有作为电极的Al膜、Ag膜或用于防止其氧化的SiO2、SiN等的保护层。
由此形成了阴极604之后，通过进行将该阴极604的上部利用密封构件进行密封的密封处理和布线处理等的其他处理，从而获得显示装置600。
下面，图27是等离子体型显示装置(PDP装置；以下，简称为显示装置700)的主要部分分解立体图。再有，在图27中以切除其一部分的状态表示了显示装置700。
该显示装置700包含相互对置配置的第1基板701、第2基板702、以及在它们之间形成的放电显示部分703而概略构成。放电显示部分703由多个放电室705构成。在这些多个放电室705中，配置为：红色放电室705R、绿色放电室705G、蓝色放电室705B三个放电室705作为组而构成一个像素。
在第1基板701的上面以规定的间隔网状地形成地址电极706，并形成电介质层707，以覆盖该地址电极706和第1基板701的上表面。在电介质层707上，以位于各地址电极706之间且沿各地址电极706的方式直立设置有隔壁708。该隔壁708如图所示，包括在地址电极706的宽度方向两侧延伸的部分和在与地址电极706正交的方向延伸设置的未图示的部分。
而且，通过该隔壁708隔开的区域成为放电室705。
在放电室705内部配置荧光体709。荧光体709是发出红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)中的任何一个颜色的荧光的荧光体，所以在红色放电室705R的底部配置有红色荧光体709R，在绿色放电室705G的底部配置有绿色荧光体709G，在蓝色放电室705B的底部配置有蓝色荧光体709B。
在第2基板702的图27中下侧的面上，在与上述地址电极706正交的方向上以规定的间隔网状地形成多个显示电极711。而且，形成由电介质层712和MgO等构成的保护膜713，以覆盖它们。
第1基板701和第2基板702在地址电极706和显示电极711相互垂直的状态下被对置粘结。再有，上述地址电极706和显示电极711被连接到未图示的交流电源。
然后，通过对各电极706、711通电，放电显示部分703中的荧光体709激励发光，可进行彩色显示。
在本实施方式中，可以使用图1所示的液滴喷出装置1形成上述地址电极706、显示电极711以及荧光体709。以下，例示第1基板701中的地址电极706的形成工序。
这种情况下，在将第1基板701装载在液滴喷出装置1的设置台21上的状态下进行以下工序。
首先，通过功能液滴喷出头17，使含有导电膜布线形成用材料的液体材料(功能液)作为功能液滴射中地址电极形成区域。作为导电膜布线形成用材料，该液体材料是将金属等的导电性微粒分散在分散剂中的液体材料。作为该导电性微粒，使用包含金、银、铜、钯、或镍等的金属微粒，或导电性聚合物等。
如果对于作为补充对象的所有地址电极形成区域的液体材料的补充结束了，则通过对喷出后的液体材料进行干燥处理，并使液体材料中所包含的分散剂蒸发而形成地址电极706。
可是，虽然上述中例示了地址电极706的形成，但对于上述显示电极711和荧光体709，也可以经过上述各工序而形成。
在形成显示电极711时，与地址电极706的情况同样，使含有导电膜布线形成用材料的液体材料(功能液)作为功能液滴射中显示电极形成区域。
此外，在形成荧光体709时，将包含了与各颜色(R、G、B)相对应的荧光材料的液体材料(功能液)从功能液滴喷出头17作为液滴喷出，射中对应的颜色的放电室705内部。
下面，图28是电子发射装置(也称为FED装置或SED装置；以下简称为显示装置800)的主要部分剖视图。再有，在图28中将其一部分作为剖面来表示显示装置800。
该显示装置800大致构成为：包括相互对置配置的第1基板801、第2基板802、以及在它们之间形成的电场发射显示部分803。电场发射显示部分803由矩阵状配置的多个电子发射部分805构成。
在第1基板801的上表面，构成阴极电极806的第1元件电极806a和第2元件电极806b以相互正交的方式形成。此外，在由第1元件电极806a和第2元件电极806b隔开的部分中，形成有形成了间隙808的导电膜807。即，由第1元件电极806a、第2元件电极806b和导电膜807构成多个电子发射部分805。导电膜807例如由氧化钯(PdO)等构成，而间隙808在将导电膜807进行成膜后，以发泡等方式形成。
在第2基板802的下表面上形成有与阴极电极806相对的阳极电极809。在阳极电极809的下表面上形成方格状的围堰部分811，在由该围堰部分811包围的向下的各开口部分812中配置荧光体813，以使其与电子发射部分805相对应。荧光体813是发出红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)中任何一种颜色的荧光的荧光体，在各开口部分812中，红色荧光体813R、绿色荧光体813G和蓝色荧光体813B按上述规定的图形配置。
然后，这样构成的第1基板801和第2基板802存有微小的间隙而被粘结。在该显示装置800中，通过导电膜(间隙808)807，将从阴极即第1元件电极806a或第2元件电极806b飞出的电子对准在阳极即阳极电极809上形成的荧光体813而激励发光，从而可进行彩色显示。
这种情况下，也与其他实施方式同样，可以使用液滴喷出装置1形成第1元件电极806a、第2元件电极806b、导电膜807和阳极电极809，同时可以使用液滴喷出装置1形成各种颜色的荧光体813R、813G、813B。
第1元件电极806a、第2元件电极806b和导电膜807具有图29A所示的平面形状，在对它们进行成膜时，如图29B所示，将预先形成了第1元件电极806a、第2元件电极806b和导电膜807的部分保留，从而形成围堰部分BB(光刻法)。接着，在由围堰部分BB构成的沟槽部分内，形成第1元件电极806a和第2元件电极806b(液滴喷出装置1的喷墨法)，并使该溶剂干燥而进行了成膜后，形成导电膜807(液滴喷出装置1的喷墨法)。然后，在将导电膜807成膜后，去除围堰部分BB(研磨剥离处理)，进行到上述的发泡处理。再有，与上述有机EL装置的情况同样，优选进行对于第1基板801和第2基板802的亲液化处理，或对于围堰部分811、BB的疏液化处理。
此外，作为其他电光学装置，可考虑金属布线形成、透镜形成、抗蚀剂形成和光扩散体形成等的装置。通过将上述的液滴喷出装置1用于各种电光学装置(器件)的制造，可以高效率地制造各种电光学装置。

Claims (8)

1.一种吸引装置，其设置在通过多个功能液滴喷出头对工件进行描绘的喷墨方式的液滴喷出装置中，与所述各功能液滴喷出头的喷嘴面紧贴地吸引功能液，该吸引装置包括：
与所述多个功能液滴喷出头相对应的多个喷头帽；
吸引流路，其具有上游侧被连接到所述多个喷头帽的多个单独流路、以及通过合流部分被连接到所述多个单独流路的下游端的合流流路；
插入设置在所述各单独流路中，并对所述各单独流路进行开闭的多个流路开闭部件；
连接所述合流流路的下游端且由密闭箱构成的废液箱；
向一次侧导入压缩空气、并且将二次侧连接到所述废液箱的上部空间的喷射器；
对所述喷射器的所述一次侧压缩空气的压力进行调整的压力调整部件；和
对所述压力调整部件进行控制的控制部件，
所述控制部件根据所述多个流路开闭部件中开放的所述流路开闭部件的开放数目，控制所述压力调整部件，以使所述多个喷头帽各自的吸引压力恒定。
2.根据权利要求1所述的吸引装置，其特征在于，
该吸引装置还包括对吸引时的所述各废液箱的压力进行检测的压力检测部件，
所述控制部件控制所述压力调整部件，以使所述废液箱内的压力成为与所述开放数目相对应的规定压力。
3.根据权利要求1所述的吸引装置，其特征在于，
该吸引装置还包括流量检测部件，其检测通过吸引而流入到所述各废液箱中的功能液流量，
所述控制部件控制所述压力控制部件，以使流入到所述废液箱中的功能液流量成为与所述开放数目相对应的规定的流量。
4.根据权利要求1到3中任何一项所述的吸引装置，其特征在于，
所述多个功能液滴喷出头装载在一个喷头板上，
与此相对应，所述多个喷头帽装载在一个帽板上。
5.根据权利要求1到3中任何一项所述的吸引装置，其特征在于，
所述多个功能液滴喷出头装载在多个喷头板上，
与此相对应，所述多个喷头帽装载在多个帽板上。
6.一种液滴喷出装置，其包括：
描绘部件，其一边使喷墨方式的多个功能液滴喷出头相对于工件移动，一边从所述各功能液滴喷出头中喷出功能液滴对工件进行描绘；和
权利要求1到5中任何一项所述的吸引装置。
7.一种电光学装置的制造方法，其中使用权利要求6所述的液滴喷出装置，在所述工件上形成由功能液滴形成的成膜部分。
8.一种电光学装置，其使用权利要求6所述的液滴喷出装置，在所述工件上形成了由功能液滴形成的成膜部分。
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