CN101357541B - 液滴喷出装置、电光学装置的制造方法以及电光学装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种液滴喷出装置，其为喷墨方式的液滴喷出装置，以搭载一个以上的功能液滴喷出头而成的头单元为供给单元，一边分别对多个所述头单元供给功能液，一边通过多个头单元对工件进行描绘，其具有：罐单元，其通过新旧的功能液罐的更换，对多个头单元连续供给功能液；功能液供给流路，其由上游侧与所述罐单元连接的主流路、以及经由分路部而从主流路分路并使下游侧与多个头单元连接的相同容积的多个单独流路构成；检测机构，其检测更换的所述功能液罐的新功能液是否到达分路部；以及控制机构，其分别控制多个功能液滴喷出头，控制机构中，当检测机构检测新功能液到达分路部后，描绘休止时控制各头单元，对功能液消耗量最大的一个头单元以外的其他头单元进行应对舍弃喷出，以使该其他头单元的功能液消耗量与功能液消耗量最大的一个头单元相同。

Description

液滴喷出装置、电光学装置的制造方法以及电光学装置

技术领域

本发明涉及一种以搭载一个以上的功能液滴喷出头而成的头单元作为供给单元，一边分别对多个所述头单元供给功能液，一边通过多个所述头单元对工件进行描绘的喷墨方式的液滴喷出装置、电光学装置的制造方法以及电光学装置。 

背景技术

以往，虽然不是这种液滴喷出装置，但是作为相对于印刷带进行描绘的六色对应的喷墨打印机已知具有与各色4个的喷墨头一起，由对各色4个喷墨头供给墨的各色2个的中间墨包、对各色2个的中间墨包补给功能液的各色1个的墨盒以及将这些装置之间进行连接的管单元构成的功能液供给装置的结构(参照专利文献1)。另外，墨盒是所谓的主罐，检测液量减少(减液)而进行更换(特开2003-118136号公报)。 

但是，上述以往的喷墨打印机中，由于描绘图案(印刷图像)而使各喷墨头的墨消耗量不同，所以更换墨盒，则新墨到达喷墨头的时间有差别。另一方面，滤色器和有机EL装置的制作使用的喷墨方式的液滴喷出装置中，使用过滤材料和发光材料等特殊功能液(墨)。对此适用上述以往的功能液供给装置，则从任意的功能液滴喷出头喷出旧功能液，从其他功能液滴喷出头喷出新功能液，新旧功能液重复对工件描绘。这时，作为新旧的功能液重复绘制制作批量不同的功能液即因制造精度的问题而黏性等性状不同的功能液。这种情况下，工件上出现色相不均和条纹，存在对作成的工件的描绘品质降低的问题。 

发明内容

本发明课题在于提供一种由功能液罐的更换而产生的新旧功能液的更换时，能够已知描绘品质的降低的液滴喷出装置、电光学装置的制造方法以及电光学装置。 

本发明的液滴喷出装置，其为喷墨方式的液滴喷出装置，以搭载一个以上的功能液滴喷出头而成的头单元为供给单元，一边分别对多个所述头单元供给功能液，一边通过多个所述头单元对工件进行描绘，其特征在于，具有：罐单元，其通过新旧的功能液罐的更换，对所述多个头单元连续供给功能液；功能液供给流路，其由上游侧与所述罐单元连接的主流路、以及经由分路部而从所述主流路分路并使下游侧与所述多个头单元连接的相同容积的多个单独流路构成；检测机构，其检测更换的所述功能液罐的新功能液是否到达所述分路部；以及控制机构，其分别控制所述多个功能液滴喷出头，所述控制机构中，当所述检测机构检测新功能液到达所述分路部后，描绘休止时控制所述各头单元，对功能液消耗量最大的一个所述头单元以外的其他头单元进行应对舍弃喷出，以使该其他头单元的功能液消耗量与功能液消耗量最大的一个头单元相同。 

根据该结构，通过控制机构，新功能液到达分路部后，以使各头单元的功能液消耗量与功能液消耗量最大的一个头单元相同的方式进行应对舍弃喷出( 

て吐出)，从而能够在头单元中使新功能液的到达时间相同。因此，在功能液向多个头单元的导入中能够同时转变新旧功能液，能够常时以性状相同的功能液进行描绘处理。其结果，能够维持对工件的高描绘品质。 

这种情况下，优选新旧的所述功能液罐经由罐流路切换机构与所述主流路连接，所述检测机构由检测所述罐流路切换机构伴随新旧的所述功能液罐的更换而进行的切换的检测器、和从所述传感器的切换检测开始计时新功能液到达所述分路部的时间的计时器构成。 

根据该结构，能够通过传感器和计时器检测更换的功能液罐的新功能液到达分路部。 

这种情况下，优选所述控制机构根据事先由实验求得的控制表格分别控制所述多个头单元。 

根据该结构，参照事先由实验求得的控制表格，从而没必要赶着描绘休止来检测各头单元的功能液消耗量，能够容易进行上述舍弃喷出。 

这种情况下，优选所述控制机构具有根据相对于工件的描绘图案改写所述控制表格的数据的改写机构。 

根据该结构，由于具有改写控制表格的数据的改写机构，从而能够改写控制表格而与因描绘图案不同产生的各头单元的功能液消耗量的不同对应，能够容易进行与多个描绘图案对应的上述舍弃喷出。 

这种情况下，优选在所述各头单元上搭载多个功能液滴喷出头，还具有搭载所述各头单元的多个滑架单元和在副扫描方向上分别使所述多个滑架单元移动的移动台。 

根据该结构，搭载供给没有性状不同的功能液的多个功能液滴喷出头的多个滑架单元进行描绘处理，从而能够作成品质更高的工件。 

本发明的电光学装置的制造方法，使用上述液滴喷出装置，在所述工件上形成由功能液滴构成的成膜部。 

本发明的电光学装置，使用上述液滴喷出装置，在所述工件上形成由功能液滴构成的成膜部。 

根据该结构，能够效率良好地制造高品质的电光学装置。另外，作为功能材料，有机EL装置的发光材料(Electro-Luminescence(电致发光)发光层·空穴注入层)自不必说，用于液晶显示装置的滤色器的过滤材料(过滤元件)、电子放出装置(Field Emission Display(场放电显示器)，FED)的荧光材料(荧光体)、PDP(plasma Display Panel：等离子体显示面板)装置的荧光材料(荧光体)、电泳显示装置的泳动体材料(泳动体)等中，能够被功能液滴喷出头(喷墨头)喷出的液体材料。另外，作为电光学装置(Flat Panel Display(平板显示器)，FPD)具有有机EL装置、液晶显示装置、电子放出装置、电泳显示装置等。 

附图说明

图1是实施方式的液滴喷出装置的立体图。 

图2是液滴喷出装置的俯视图。 

图3是液滴喷出装置的侧视图。 

图4是构成头组的功能液滴喷出头的图。 

图5是功能液滴喷出头的外观立体图。 

图6是功能液供给装置的配管系统图。 

图7是说明液滴喷出装置的主控制系统的方块图。 

图8是表示主罐的供给切换的、各头单元间的新功能液的到达时间的差值的图。 

图9A和9B是表示应对舍弃喷出下的功能液消耗量的调整的图。 

图10是说明滤色器制造工序的流程图。 

图11A～图11E是按照制造工序顺序表示的滤色器的模式剖面图。 

图12是表示使用适用本发明的滤色器的液晶装置的概略结构的主要部分剖面图。 

图13是表示使用适用本发明的滤色器的第二实施例的液晶装置的概略结构的主要部分剖面图。 

图14是表示使用适用本发明的滤色器的第三实施例的液晶装置的概略结构的分解立体图。 

图15是作为有机EL装置的显示装置的主要部分剖面图。 

图16是说明有机EL装置的显示装置的制造工序的流程图。 

图17是说明无机物堆积物层的形成的工序图。 

图18是说明有机物堆积物层的形成的工序图。 

图19是说明形成空穴注入/输送层的过程的工序图。 

图20是说明形成空穴注入/输送层后的状态的工序图。 

图21是说明形成蓝色的发光层的过程的工序图。 

图22是说明形成蓝色的发光层的状态的工序图。 

图23是说明各色的发光层的状态的工序图。 

图24是说明阴极的形成的工序图。 

图25是作为等离子体型显示装置(PDP装置)的显示装置的主要部分分解立体图。 

图26是作为电子放出装置(FED装置)的显示装置的主要部分剖面图。 

图27A是绕显示装置的电子放出部的俯视图，图27B是表示其形成方法的俯视图。 

附图标记说明 

1、液滴喷出装置 

12、Y轴工作台 

13、头单元 

17、功能液滴喷出头 

51、滑架单元 

121、副罐 

122、罐单元 

126、上游侧功能液流路 

127、下游侧功能液流路 

131、主流路 

132、分路部 

133、支流路 

140、到达检测机构 

141、传感器 

181、主罐 

183、切换机构 

197、控制部 

W、工件 

具体实施方式

以下参照附图说明使用本发明的功能液供给装置的液滴喷出装置。该液滴喷出装置装入平板显示器的制造线，例如使用导入作为特殊的墨和发光性的树脂液的功能液的功能液滴喷出头，形成作为液晶显示装置的滤色器和阴有机EL装置的各图像等的发光元件等。 

如图1、2和3所示，液滴喷出装置1具有：配设在支承于石基盘上的X轴支承基台2上，在作为主扫描方向的X轴方向上延伸，使工件W在X轴方向(主扫描方向)上移动的X轴工作台11；配设在经由多根支柱4而跨过X轴工作台11而架设的一对(两个)Y轴支承基台3上，在作为副扫描方向的Y轴方向上延伸的Y轴工作台(移动台)12；搭载多个功能液滴喷出头17(图示省略)的10个滑架单元51，其中10个滑架单元51能够移动地吊设在Y轴工作台12上。另外，液滴喷出装置1具有： 将这些装置收容在温度和湿度被管理的气体内的腔室6、和具有贯通腔室6而从腔室6的外部向内部的功能液滴喷出头17供给功能液的3组的功能液供给装置101的功能液供给单元7。与X轴工作台11和Y轴工作台2的驱动同步地使功能液滴喷出头17喷出驱动，从而使从功能液供给单元17供给的R·G·B三色的功能液滴喷出，对工件W绘制规定的描绘图案。 

另外，液滴喷出装置1具有由冲洗单元14、吸引单元15、擦拭单元16、喷出性能检测单元18构成的维修装置5，这些单元供给功能液滴喷出头17的保养，能够实现功能液滴喷出头17的功能维持和功能恢复。另外，构成维修装置5的各单元中冲洗单元14和喷出性能检测单元18搭载于X轴工作台11上，吸引单元15和擦拭单元16配设在架台上，该架体配设在从X轴工作台11垂直延伸，并且通过Y轴工作台12能够使滑架单元51移动的位置上(严格地说，喷出性能检测单元18中，后述的工作台单元77搭载于X轴工作台11上，摄像单元78支承于Y轴支承基台3上)。 

冲洗单元14具有一对描绘前冲洗单元71、71和定期冲洗单元72，接受在功能液滴喷出头17的喷出前或工件W的置换时等描绘休止时进行的功能液滴喷出头17的舍弃喷出(冲洗)。吸引单元15具有多个分割吸引单元74，从各功能液滴喷出头17的喷嘴98强制性吸引功能液，并且进行压盖(capping)。擦拭单元16具有擦拭板75，擦去吸引后的功能液滴喷出头17的喷嘴面97。喷出性能检测单元18具有搭载接受从功能液滴喷出头17喷出的功能液滴的检测板83的工作台单元77；和通过图像识别检测工作台单元77上的功能液滴的摄像单元78，检测功能液滴喷出头17的喷出性能(喷出的有无和飞行弯曲)。 

接着，简单说明液滴喷出装置1的构成要素。如图2或3所示，X轴工作台11具有：设置工件W的设置台21；在X轴方向滑动自如地支承设置台21的X轴第一滑块22；在X轴方向滑动自如地支承上述冲洗单元14和工作台单元77的X轴第二滑块23；在X轴方向延伸、经由X轴第一滑块22而使设置台21(工件W)在X轴方向移动并且经由X轴第二滑块23使冲洗单元14和工作台单元77在X轴方向移动的左右一对的X轴线性电机(省略图示)；在X轴线性电机上并列设置、引导X轴第一滑块22和X轴第二滑块23的移动的一对(两根)X轴共用支承基台24。 

设置台21具有吸附工件W的吸附台31和用于支承吸附台31并对设于吸附台31上的工件W的位置在θ轴方向修正的θ台32等。另外，在设置台21的Y轴方向平行的一对边上分别添设上述的描绘前冲洗单元71。 

Y轴工作台12具有：分别吊设10个各滑架单元51的10个桥板52；由两端支承10个桥板52的10组Y轴滑块(图示省略)；配置在上述的一对Y轴支承基台3上、经由10组Y轴滑块而使桥板52在Y轴方向移动的一对Y轴线性电机(图示省略)。另外，Y轴工作台12除了经由各滑架单元51而在描绘时对功能液滴喷出头17进行副扫描外，还使功能液滴喷出头17近邻维修装置5(吸引单元15和擦拭单元16)。 

驱动一对Y轴线性电机(同步)，则各Y轴滑块对一对Y轴支承基台3进行引导，并且同步地在Y轴方向平行移动。由此，桥板52在Y轴方向移动，与此同时滑架单元51在Y轴方向移动。另外，也能够通过控制Y轴线性电机的驱动，从而使各滑架单元51独立而分别移动，并且能够使10个滑架单元51一体移动。 

另外，Y轴工作台12的两肋上与其平行配置线缆保持体81。两个线缆保持体81一端固定在Y轴支承基台3上并且另一端固定在桥板52的一个上。该线缆保持体81上收容各滑架单元51用的线缆类、空气管类和功能液流路(后述的10根支流路133)等。 

各滑架单元51具有由12个功能液滴喷出头17和将12个功能液滴喷出头17每六个分为2组进行支承的头板53构成的头单元13(参照图4)。另外，各滑架单元51具有能够θ修正(θ旋转)地支承头单元13的θ旋转机构61和经由θ旋转机构61而将头单元13支承在Y轴工作台12(各桥板52)上的吊设部件62。另外，各滑架单元51中，其上部配设后述的副罐121(实际上，配设在桥板52上)，从该副罐121利用自然水头对各功能液滴喷出头17供给功能液。 

如图5所示，功能液滴喷出头17是所谓的双联结构，具有：具有双联的连接针92的功能液导入部91；与功能液导入部91相连的双联的头基板93；与功能液导入部91的下方相连、并且形成内部满载功能液的头内流路的头主体94。连接针92与功能液供给单元7(功能液供给装置101)连接，对功能液导入部91供给功能液。头主体94由内腔95(PIEZO压电 元件)和具有开设有多个喷嘴98的喷嘴面97的喷嘴板96构成。当对功能液滴喷出头17进行喷出驱动(对PIEZO压电元件施加电压)时，通过内腔95的泵作用从喷嘴98喷出功能液滴。 

另外，喷嘴面97上相互平行形成由多个喷嘴98构成的两个喷嘴组98b。并且，两个喷嘴组98b彼此相互错开半个喷嘴的间距量。 

腔室6将内部温度和湿度保持一定构成。即，利用液滴喷出装置1对工件W进行的描绘在温度和湿度被管理在一定值的气体中进行。并且，在腔室6的侧壁的一部分上设有用于收纳罐单元122等的罐箱84。另外，在制作有机EL装置等的情况下，优选腔室6内由惰性气体(氮气)的气氛环境构成。 

接着，参照图1和图6说明功能液供给单元7。功能液供给单元7具有供给R·G·B三色的功能液的三组功能液供给装置101。另外，功能液供给单元7具有：对后述的主罐181等供给控制用的压缩氮气的氮气供给设备85；供给各种开闭阀的控制用的压缩空气的压缩空气供给设备86；从各部分进行气体排气的气体排气设备87；与后述的气泡除去单元135连接的真空设备89。3组的功能液供给装置101分别与对应于R·G·B三色的功能液滴喷出头17连接，由此，对各色的功能液滴喷出头17供给对应的色的功能液。 

如图6所示，各色的功能液供给装置101具有：具有构成功能液的供给源的两个主罐(功能液罐)181、181的罐单元122；与各滑架单元151对应设置的10个副罐121；连接罐单元122和10个副罐121的上游侧功能液流路126；连接各副罐121和各功能液滴喷出头17的10组的下游侧功能液流路127。 

各主罐181、181内的功能液通过来自与其连接的氮气供给设备85的压缩氮气加压，经由上游侧功能液流路126而选择性地供给10个副罐121。这时，通过压缩空气供给设备86的压缩空气对各种开闭阀进行开闭控制。另外同时，各副罐121经由气体排气设备87而向大气开放，收容必要量的功能液。各副罐121的功能液通过与其相连的功能液滴喷出头17的驱动而一边维持规定的水头压，一边经由下游侧功能液流路127而供给功能液滴喷出头17。 

罐单元122具有：构成功能液的供给源的一对主罐181、181；分别测量一对主罐181、181的一对重量测量装置182、182；与一对主罐181、181连接并且与上游侧功能液流路126连接的切换机构(罐流路切换机构)183。各主罐181上连接氮气供给设备85，形成为当压送功能液时能够加压控制。 

切换机构183具有：与一对主罐181、181连接的一对罐流路186、186；上游侧连接一对罐流路186、186，并且下游侧连接上游侧功能液流路126的罐流路接头187；设置于各罐流路186、186中的罐开闭阀188。将一方的罐开闭阀188打开，将另一方的罐开闭阀188关闭，从而对上游侧功能液流路126的连接在一对主罐181、181之间交替切换。 

重量测量装置182例如由测力传感器构成，当主罐181内功能液被消耗，形成规定的重量，则发出促进更换的警报。另外，在各罐流路186中设置起泡检测传感器189(由两个光传感器构成)，一方的主罐181变为规定的重量后，该起泡检测传感器189检测气泡后，切换到另一方的主罐181(自动或手动)。另外，也可以代替重量测量装置182，而通过液位检测传感器或气泡检测传感器等发出警报。 

即，罐单元122使用一对主罐181、181，通过切换一对主罐181、181的供给，而判断为一方的主罐181需要更换时，由另一方的主罐181进行供给，其间，通过更换一方的主罐181，而能够不使本液滴喷出装置的作业停止而持续供给功能液。另外，以后，从切换前的主罐181供给的功能液表记为旧功能液，将从切换后的主罐181供给的功能液表记为新功能液。 

上游侧功能液流路126自上游侧开始具有：上游侧与头单元122连接的主流路131；经由分路部132而从主流路131分流为10方，并使下游侧与副罐121连接的10个支流路133。从罐单元122供给的功能液通过分路路132分流为10份而供给各副罐121。另外，发明方式中所记载的单独流路由支流路133、副罐121以及下游侧功能液流路127构成，发明方式所记载的功能液供给流路由上游侧功能液流路126、10个副罐12以及10组下游侧功能液流路127构成。 

另外，在主流路131上自上游侧开始分别设置气泡除去单元135、第一开闭阀136、空气抽出单元137、第二开闭阀138。另外，各支流路133 上分别设置位于各副罐121附近的第三开闭阀139。另外，还设置有在主罐181、181的切换时检测新功能液到达分路部132的到达检测机构(检测机构)140。 

各下游侧功能液流路127自上游侧构成有：将上游侧与各主罐121连接的头侧主流路146；将上游侧与头侧主流路146连接的四分支流路147；上游侧与四分支流路147连接的多个头侧支流路148。由此，功能液从各副罐121分路为四份，分别连接功能液滴喷出头17。即，通过上游侧功能液流路126的10分路和下游侧功能液流路127的四分路，对10×4个功能液滴喷出头17供给功能液。另外，功能液供给单元7按R·G·B具有三组功能液供给装置101，所以对10×12个功能液滴喷出头17供给功能液。另外，在头侧主流路146上设置第四开闭阀149和减压阀150。 

气泡除去单元135上连接上述的真空设备89，对由气体透过膜隔开的内部流路进行真空抽吸，经由气体透过膜从内部流路的功能液使气泡透过除去。另外，由于气泡除去单元135为消耗品，所以优选事先准备备用的气泡除去单元135，以迅速地进行更换(参照图6)。 

空气抽出单元137具有：设置在主流路131上的空气抽出接头155；由开闭阀和起泡检测传感器构成的空气抽出阀157；与空气抽出阀157相连的空气抽出流路156；设于空气抽出流路156的下游端的储液罐158。空气抽出单元137在初始对功能液供给装置101填充功能液时起作用，当从主罐181进行功能液的送液时，将空气抽出阀157打开并且将第二开闭阀138关闭，排出主流路131内的空气。并且，空气抽出阀157检测到气泡时(隔开少量时间)，则打开空气抽出阀157并且关闭第二开闭阀138而结束空气抽出。另外，再利用流入储液罐158的功能液的情况下，储液罐158与各色对应而为三个，不进行再利用的情况下，储液罐158为一个。 

到达检测机构140由检测切换机构183的一对罐开闭阀188、188的切换的传感器141和根据传感器141的切换检测而对新功能液到达分支部132的时间进行计时的计时器(实际上是后述的控制部197的内部模块)构成。事先测量从罐开闭阀188到分支部132的到达时间，当传感器141的检测经过规定时间，则确定为新功能液到达分支部132。 

减压阀150以大气压基准进行动作并且将其与功能液滴喷出头17之 间的水头值维持在规定的容许范围。通过采用该减压阀150，能够精度良好地管理功能液滴喷出头17的喷嘴面97的功能液的水头值。 

副罐121储存供给各4个功能液滴喷出头17的功能液。副罐121具有检测被储存的功能液的液位的液位检测机构，功能液的液位维持在一定的高度而同时进行供给。通过功能液滴喷出头17的喷出驱动，功能液的液位下降到下限液位(减液状态)，打开第三开闭阀139，从主罐181供给功能液，当由主罐181供给的功能液的液位上升到上限液位，则第三开闭阀139关闭，停止从主罐181进行供给。 

接着，参照图7说明液滴喷出装置1的主控制系统。如图7所示，液滴喷出装置1具有：具有头单元13(功能液滴喷出头17)的液滴喷出部191；具有X轴工作台并使工件W向X轴方向移动的工件移动部192；具有Y轴工作台12并使头单元13向Y轴方向移动的头移动部193；具有维修机构的各单元的维修部194；具有功能液供给单元7并对功能液滴喷出头17供给功能液的功能液供给部198；具有各种传感器并且进行各种检测的检测部195；具有驱动控制各部分的各种驱动器的驱动部196；与各部分连接并且进行液滴喷出装置1整体的控制的控制部(控制机构)197。 

控制部197中含有：用于连接各机构的接口201；具有能够临时进行存储的存储区域并作为用于控制处理的作业区域使用的RAM 202；具有各种存储区域并存储控制程序和控制数据的ROM 203；存储在工件W上绘制规定的描绘图案的描绘数据和来自各机构的各种数据等并存储用于处理各种数据的程序等的硬盘204；根据存储在ROM 203和硬盘204中的程序等对各种数据进行运算处理的CPU 205；以及将它们相互连接的总线206。 

并且，控制部197将来自各机构的各种数据经由接口201而输入，并且根据存储在硬盘204中(或者通过CD-ROM驱动器等顺次读出)的程序而使CPU 205进行运算处理，将其处理结果经由驱动部196(各种驱动器)输出给各机构。由此，控制装置整体，进行液滴喷出装置1的各种处理。 

在此说明对功能液滴喷出头17的功能液供给动作。该动作将功能液存储在各主罐181和各副罐121中，并且在各流路中填充功能液的状态下 进行。另外，通过氮气供给设备85对与上游侧功能液流路126连接的一方的主罐181进行加压。 

首先，将设置于副罐121的上游侧的第三开闭阀139关闭的状态下驱动功能液滴喷出头17而进行功能液滴喷的喷出。由于第三开闭阀1关闭，所以来自主罐181的压力被切断，通过功能液滴喷出头17的泵作用而从各副罐121将功能液向各功能液滴喷出头17送液。另外，功能液滴喷出头17的喷嘴面97的水头值通过设置于下游侧功能液流路127上的减压阀150进行最终调整。 

接着，说明对副罐121的功能液的补给。通过功能液滴喷出头17的喷出动作，使副罐121内的功能液减少一定量，则判断为减液状态。当判断为减液状态的情况下，打开第三开闭阀139，从主罐181对副罐121补给功能液。主罐181被加压，所以通过打开第三开闭阀139而使主罐181的功能液自动向副罐121送液。另外，这时，功能液滴喷出头17的喷出动作能够继续进行。 

从主罐181向副罐121进行功能液的送液，副罐121内的功能液储存一定量时，则判断副罐121内为满液状态。当判断为满液状态，则关闭第三开闭阀139，结束补给动作。 

接着，说明在与上游侧功能液流路126连接的主罐181中储存的功能液没有时的应对动作。反复进行向副罐121的补给动作，则主罐181内的功能液减少，通过对应的重量测量装置182来判断主罐181为需要更换。当判断为主罐181为需要更换，则通过切换机构183使向上游侧功能液流路126的连接从需要更换的主罐181向其他主罐181(满液状态的主罐181)切换(供给切换)。然后，通过其他主罐181的新功能液进行向副罐121的补给。 

然而，如果进行上述的各主罐181、181的供给切换，则在每个描绘处理的功能液消耗量多的头单元131和每个描绘处理的功能液消耗量少的头单元13之间，新功能液的到达时刻产生差别(参照图8和图9A)。因此，在此说明为了解决这样的不良情况而通过各头单元13进行的应对动作。 

当进行主罐181、181的供给切换，新功能液到达分支部132时，到 达检测机构140检测新功能液的到达。检测出到达后，每逢描绘处理，除描绘休止状态下在维修中的通常舍弃喷出之外，为了使各头单元13间新功能液的到达时刻相同而进行应对舍弃喷出。即，在应对舍弃喷出中，为了使各头单元13间功能液消耗量相同，使功能液消耗量与一个描绘处理的功能液消耗量(包括维修的功能液消耗量)最大的一个头单元13吻合，以其差值的量对其他头单元13进行舍弃喷出(参照图9B)。这样，每逢描绘休止，则进行舍弃喷出以使各头单元13间功能液消耗量相同，从而在各头单元13中能够使新功能液的到达时刻相同。因此，功能液对多个头单元13的导入中，能够同时转变新旧的功能液，能够以常时性状相同的功能液进行描绘处理。另外，该应对舍弃喷出在新功能液到达各头单元13之前(要到达的时间之前)进行。 

另外，各头单元13的应对舍弃喷出根据形成在控制部197上(严密地说ROM 203和硬盘204上)的控制表格而进行。也可以每逢描绘处理则测量各头单元13的功能液消耗量，根据其测量结果，控制各头单元13的应对舍弃喷出，但是本实施方式中，使用预先由试验求得的控制表格控制各头单元13的应对舍弃喷出。由此，没必要每逢描绘处理时或描绘休止时都检测各头单元13的功能液消耗量，而能够容易地进行各头单元13的应对舍弃喷出。 

另外，多个头单元13的一个描绘处理的功能液消耗量因描绘处理用的描绘图案而不同。因此，控制部197根据描绘图案(印刷图像)而改写控制表格。即，为了与描绘处理用的描绘图案对应，而改写与描绘图案对应的控制表格，从而能够容易地进行与多个描绘图案对应的流路切换。另外，发明内容中所述的改写机构如此由控制部197构成。 

根据以上的结构，通过控制部197进行舍弃喷出而使各头单元13的功能液消耗量与功能液消耗量最大的一个头单元13相同，从而在各头单元13中能够使新功能液的到达时刻相同。因此，在功能液对多个头单元13的导入中能够同时转换新旧功能液，能够总是通过性状相同的功能液进行描绘处理。结果，能够维持对工件W的高的描绘品质。 

另外，在本实施方式中，使用具有包括10个滑架单元51的液滴喷出装置1，但是滑架单元51的个数是任意的。 

接着，作为使用本实施方式的液滴喷出装置1制造的电光学装置(平板显示器)以滤色器、液晶显示装置、有机EL装置、等离子体显示器(PDP装置)、电子放出装置(FED装置、SED装置)、还有形成在这些显示装置中的有源矩阵基板等为例说明了它们的结构及其制造方法。另外，有源矩阵基板是指形成薄膜晶体管、以及与薄膜晶体管电气连接的源极、数据线的基板。 

首先，说明组装在液晶显示装置或有机EL装置等中的滤色器的制造方法。图10是表示滤色器的制造工序的流程图，图11A～图11E是按照制造工序顺序表示的本实施方式的滤色器500(过滤器基体500A)的模式剖面图。 

首先，有源矩阵形成工序(S101)中，如图11A所示，在基板(W)501上形成黑矩阵502。黑矩阵502通过金属铬、金属铬和氧化铬的层叠体或者树脂黑体等构成。为了形成由金属薄膜构成的黑矩阵502，能够使用溅射法或蒸镀法等。另外，在形成由树脂薄膜构成的黑矩阵502的情况下，能够采用凹版印刷法、光致抗蚀法、热转印法等。 

接着，在围堰形成工序(S102)中，以与黑矩阵502上重叠的状态形成围堰503。即，首先如图11B所示，覆盖基板501和黑矩阵502而形成由负型的透明感光性树脂构成的抗蚀剂层504。并且，在使其上表面由形成矩阵图案形状的掩膜薄膜505被覆的状态下进行曝光处理。 

另外，如图11C所示，通过对蚀刻抗蚀剂层504的未曝光部分进行蚀刻处理而对抗蚀剂层504进行构图，形成围堰503。另外，通过树脂黑体而形成黑矩阵的情况下，能够兼用作黑矩阵和围堰。 

该围堰503和其下方的黑矩阵502成为划分各像素区域507a的划分壁部507b，在以后的着色层形成工序中在通过功能液滴喷出头17形成着色层(成膜部)508R、508G、508B时规定功能液滴的滴落区域。 

经由以上的黑矩阵形成工序和围堰形成工序，而得到上过滤器基体500A。 

另外，本实施方式中，作为围堰503的材料使用涂膜表面具有疏液性(疏水性)的树脂材料。并且，基板(玻璃基板)501的表面具有亲液性(亲水性)，所以在后述的着色层形成工序中能够自动修正液滴对由围堰 503(划分壁部507b)包围的各像素区域507a内的滴落位置的不均。 

接着，在着色层形成工序(S103)中，如图11D所示，通过功能液滴喷出头17而喷出功能液滴，滴落在由划分壁部507b包围的各像素区域507a内。这种情况下，使用功能液滴喷出头17，导入R·G·B的三色的功能液(过滤器材料)，进行功能液滴的喷出。另外，作为R·G·B的三色的排列图案有条形排列、马赛克排列和三角排列等。 

之后，经由干燥处理(加热等处理)使功能液定附，形成三色的着色层508R、508G、508B。若形成着色层508R、508G、508B，则进行保护膜形成工序(S104)，如图11E所示，覆盖基板501、划分壁部507b、以及着色层508R、508G、508B的上表面而形成保护膜509。 

即，对基板501的形成着色层508R、508G、508B的面整体上喷出保护膜用涂覆液后，经由干燥处理形成保护膜509。 

并且，形成保护膜509后，滤色器500移向下一个工序的形成透明电极的ITO(Indium Tin Oxide：铟锡氧化物)等粘膜工序。 

图12是表示作为使用上述滤色器500的液晶显示装置的无源矩阵型液晶装置(液晶装置)的概略结构的主要部分剖面图。该液晶装置520上安装液晶驱动用IC、背灯、支承体等附带要素，从而得到作为最终产品的透明型液晶显示装置。另外，滤色器500是与图11所示的相同的部件，对应的部位使用相同的附图标记，其说明省略。 

该液晶装置502大致由滤色器500、由玻璃基板等构成的对置基板521、以及夹持在它们之间的STN(Super Twisted Nematic：超扭曲向列)液晶组成物构成的液晶层522构成，滤色器500配置在图中上侧(观测者侧)。 

另外，如未图示的，对置基板521和滤色器500的外面(液晶层522侧的相反侧的面上)分别配置偏光板，另外在位于对置基板521侧的偏光板的外侧配设背灯。 

在滤色器500的保护膜509上(液晶层侧)上在图12中以规定间隔形成多个左右方向上形成得长的短条状的第一电极523，覆盖该第一电极523的滤色器500侧的相反侧的面而形成第一取向膜524。 

另一方面，在对置基板521的与滤色器500相对的面上，以规定间隔 形成多个在与滤色器500的第一电极523垂直的方向上形成得长的短条状的第二电极526，覆盖该第二电极526的液晶层522侧的面而形成第二取向膜527。这些第一电极523和第二电极526通过ITO等透明导电材料形成。 

设于液晶层522内的垫片528是用于将液晶层522的厚度(元件间隙：cell gap)保持一定的部件。另外，密封件529是用于防止液晶层522内的液晶组成物向外部泄漏的部件。另外，第一电极523的一端部作为回绕配线523a延伸到密封件529的外侧。 

并且，第一电极523和第二电极526交叉的部分是像素，该成为像素的部分位于滤色器500的着色层508R、508G、508B而构成。 

通常的制造工序中，滤色器500上进行第一电极523的构图和第一取向膜524的涂敷而作成滤色器500侧的部分，并且与此独立地在对置基板521上进行第二电极526的构图和第二取向膜527的涂敷而作成对置基板521侧的部分。之后，在对置基板521侧的部分上放入垫片528和反面材料529，该状态下粘合滤色器500侧的部分。接着，从密封件529的注入口注入构成液晶层522的液晶，闭上注入口。之后，层叠两个偏光板和背灯。 

实施方式的液滴喷出装置1能够例如涂覆构成上述的元件间隙的垫片材料(功能液)并且在对置基板521侧的部分粘合滤色器500侧的部分之前，在由密封件529包围的区域上均一地涂覆液晶(功能液)。另外，也能够通过功能液滴喷出头17进行上述密封件529的印刷。另外，第一/第二取向膜524、527的涂覆也能够由功能液滴喷出头17进行。 

图13是表示本实施方式制造的使用滤色器500的液晶装置的第二实施例的概略结构的主要部分剖面图。 

该液晶装置530与上述液晶装置520的较大区别点是，滤色器500配置在图中下侧(观测者侧的相反侧)。 

该液晶装置530通过在滤色器500和玻璃基板等构成的对置基板531之间夹持由STN液晶所构成的液晶层532而大致形成。另外，如未图示的，在对置基板531和滤色器500的外面分别配设偏光板等。 

在滤色器500的保护膜509上(液晶层532侧)以规定间隔形成多个 在图中朝里方向上形成得长的短条状的第一电极533，覆盖该第一电极533的液晶层532侧的面而形成第一取向膜534。 

对置基板531的与滤色器500相对的面上以规定间隔形成多个在与滤色器500侧的第一电极533正交的方向上延伸的多个短条状的第二电极536，覆盖该第二电极536的液晶层532侧的面而形成第二取向膜537。 

液晶层532上设有将该液晶层532的厚度保持一定的垫片538和用于防止液晶层532内的液晶组成物向外部露出的密封件539。 

并且，与上述液晶装置520同样地，第一电极533和第二电极536的交叉的部分是像素，滤色器500的着色层508R、508G、508B位于成为该像素的部位上而构成。 

图14是表示使用适用本发明的滤色器500而构成液晶装置的第三实施例的结构中，表示透过型的TFT(Thin Film Transistor：薄膜晶体管)型液晶装置的概略结构的分解立体图。 

该液晶装置550将滤色器500配置在图中上侧(观测者侧)。 

该液晶装置550大致由滤色器500、与其相对配置的对置基板551、夹持在它们之间的未图示的液晶层、配置在滤色器500的上面侧(观测者侧)的偏光板555和配设在对置基板551的下表面侧的偏光板(未图示)构成。 

滤色器500的保护膜509的表面(对置基板551侧的面)上形成液晶驱动用的电极556。该电极556由ITO等透明导电材料构成，构成覆盖形成后述的像素电极560的区域整体的整面电极。另外，以覆盖该电极556的像素电极560的相反侧的面的状态下设置取向膜557。 

对置基板551的与滤色器500相对的面上形成绝缘层558，该绝缘层558上形成相互垂直状态下的扫描线561和信号线562。并且，该扫描线561和信号线562所包围的区域中形成像素电极560。另外，实际的液晶装置中，在像素电极560之上形成取向膜，但是这里省略图示。 

另外，在由像素电极560的切口部和扫描线561和信号线562包围的部分上组装具有源极、漏极、半导体和栅极的薄膜晶体管563而构成。并且，透过对扫描线561和信号线562施加信号而使薄膜晶体管563导通和关闭，能够进行对像素电极560的通电控制。 

另外，上述各实施例的液晶装置520、530、550形成透明型的结构，但是也可以设置反射层或半透过反射层，而形成反射型的液晶装置或半透过反射型的液晶装置。 

接着，图15是表示有机EL装置的显示区域(以下单称为显示装置600)的主要部分剖面图。 

该显示装置600以在基板(W)601上层叠电路元件部602、发光元件部603和阴极604的状态而大致构成。 

该显示装置600中，从发光元件部603向基板601侧发出的光透过电路元件部602和基板601而向观测者侧射出，并且从发光元件部603向基板601的相反侧发出的光被阴极604反射后，透过电路元件部602和基板601而向观测者侧射出。 

在电路元件部602和基板601之间形成由硅氧化膜构成的基底保护膜606。该基底保护膜606上(发光元件部603侧)形成由多晶硅构成的岛状的半导体膜607。该半导体膜607的左右区域上分别通过高浓度阳离子打入而形成源极区域607a和漏极区域607b。并且，未激入阳离子的中央部成为沟道区域607c。 

另外，电路元件部602上形成覆盖基底保护膜606和半导体膜607的透明的栅极绝缘膜608，该栅极绝缘膜608上的半导体膜607的与沟道区域607c对应的位置上形成例如由Al、Mo、Ta、Ti、W等构成的栅极609。该栅极609和栅极绝缘膜608上形成透明的第一层间绝缘膜611a和第二层间绝缘膜611b。另外，形成分别贯通第一、第二层间绝缘膜611a、611b而与半导体膜607的源极区域607a、漏极区域607b连通的接触孔612a、612b。 

并且，在第二层间绝缘膜611b上以规定形状构图形成由ITO等构成的透明的像素电极613，该像素电极613通过接触孔612a与源极区域607a连接。 

另外，在第一层间绝缘膜611a上配设电源线614，该电源线614通过接触孔612b与漏极区域607b连接。 

这样，在电路元件部602上分别形成与各像素电极613连接的驱动用的薄膜晶体管615。 

上述发光元件部603大致由层叠在多个像素电极613上的各个功能层617和设于各像素电极613和功能层617之间而划分各功能层617的围堰部618构成。 

由这些像素电极613、功能层617以及配设在功能层617上的阴极604构成发光元件。另外，像素电极613被构图形成平面看大致矩形状，在各像素电极613之间形成围堰部618。 

围堰部618由例如通过SiO、SiO₂、TiO₂等无机材料构成的无机物围堰层618a(第一围堰层)和层叠在该无机物围堰层618a上的由丙烯酸树脂、聚酰亚胺树脂等耐热性、耐溶剂性优良的抗蚀剂形成的剖面梯形状的有机物围堰层618b(第二围堰层)构成。该围堰部618的一部分以搭载于像素电极613的周缘部上的状态形成。 

并且，在各围堰部618之间形成相对于像素电极613朝向上方而逐渐打开的开口部619。 

上述功能层617由在开口部619内以层叠在像素电极613上的状态形成的空穴注入/输送层617a、和形成在该空穴注入/输送层617a上的发光层617b构成。另外，也可以形成与该发光层617b相邻而具有其他功能的其他功能层。例如也可以形成电子输送层。 

空穴注入/输送层617a具有从像素电极613侧输送空穴而注入发光层617b中的功能。该空穴注入/输送层617a通过喷出含有空穴注入/输送层形成材料的第一组成物(功能液)而形成。作为空穴注入/输送层形成材料适用公知的材料。 

发光层617b发出红(R)、绿(G)或篮(B)任一种光，所以通过喷出含有发光层形成材料(发光材料)的第二组成物(功能液)而形成。作为，第二组成物的溶剂(非极性溶剂)优选使用对空穴注入/输送层617a不溶的公知材料，通过使用在发光层617b的第二组成物中使用这样的非极性溶剂，从而能够不使空穴注入/输送层617a再溶解而形成发光层617b。 

并且，在发光层617b中，从空穴注入/输送层617a注入的空穴和从阴极604注入的电子在发光层再结合而发光。 

阴极604以覆盖发光元件部603的整个面的状态形成，与像素电极613成对而起到在功能层617中流动电流的作用。另外，该阴极604的上部配 置未图示的封固部件。 

接着，参照图16～24说明上述的显示装置600的制造工序。 

该显示装置600如图16所示，经由围堰部形成工序(S111)、表面处理工序(S112)、空穴注入/输送层形成工序(S113)、发光层形成工序(S114)以及对置电极形成工序(S115)而制造。另外，制造工序不限于例示的方式，也可以根据需要删除或追加其他工序。 

首先，在围堰部形成工序(S111)中，如图17所示，在第二层间绝缘膜611b上形成无机物围堰层618a。该无机物围堰层618a通过在形成位置上形成无机物膜后，将该无机物膜通过光刻技术等构图而形成。这时，无机物围堰层618的一部分与像素电极613的周缘部重叠形成。 

若形成无机物围堰层618a，则如图18所示，在无机物围堰层618a上形成有机物围堰层618b。该有机物围堰层618b也与无机物围堰层618a同样地由光刻技术等构图形成。 

这样地形成围堰部618。另外，伴随此，在各围堰部618之间形成相对于像素电极613而向上方开口的开口部619。该开口部619规定像素区域。 

在表面处理工序(S112)中，进行亲液化处理和疏液化处理。实施亲液化处理的区域是无机物围堰层618a的第一层叠部618aa和像素电极613的电极面613a，这些区域例如通过以氧为处理气体的等离子体处理来进行亲液性表面处理。该等离子体处理还兼作像素电极613即ITO的洗净等。 

另外，疏液化处理对有机物围堰层618b的壁面618s和有机物围堰层618b的上面618t设施，例如通过以四氟甲烷为处理气体的等离子体处理对表面实施氟化处理(疏液性处理)。 

通过进行该表面处理工序，使用功能液滴喷出头17形成功能液层617时，能够使功能液滴更可靠地滴落在像素区域上，另外，能够防止滴落在像素区域上的功能液滴从开口部619溢出。 

并且，经由以上的工序，从而得到显示装置基体600A。该显示装置基体600A载置于图1所示的液滴喷出装置1的设置台21上，进行以下的空穴注入/输送层形成工序(S113)和发光层形成工序(S114)。 

如图19所示，在空穴注入/输送层形成工序(S113)中，从功能液滴 喷出头17将含有空穴注入/输送层形成材料的第一组成物向作为像素区域的各开口部619喷出。之后，如图20所示，进行干燥处理和热处理，使含于第一组成物中的极性溶剂蒸发，在像素电极(电极面613a)613上形成空穴注入/输送层617a。 

接着说明发光层形成工序(S114)。该发光层形成工序中，如上所述，为了防止空穴注入/输送层617a的再溶解，作为用于发光层形成时的第二组成物的溶剂使用对空穴注入/输送层617a不溶的非极性溶剂。 

但是另一方面，空穴注入/输送层617a中，对非极性溶剂的亲和性低，所以即使将含有非极性溶剂的第二组成物向空穴注入/输送层617a喷出，也会有不能够使空穴注入/输送层617a和发光层617b密接，或者不能均一地涂覆发光层617b的可能性。 

因此，为了提高空穴注入/输送层617a对非极性溶剂和发光层形成材料的表面亲和性，优选在发光层形成前进行表面处理(表面改性处理)。该表面处理通过将与发光层形成时使用的第二组成物的非极性溶剂相同的溶剂或与其类似的溶剂的表面改性材料涂覆在空穴注入/输送层617a上，使其干燥而进行。 

通过实施这样的处理，能够使空穴注入/输送层617a的表面溶合于非极性溶剂，在之后的工序中，能够将含有发光层形成材料的第二组成物均一地涂覆在空穴注入/输送层617a上。 

然后接着，如图21所示，将含有与各色的任一种(图21的例子中为蓝色(B))对应的发光层形成材料的第二组成物作为功能液滴以规定量激入像素区域(开口部619)中。打入像素区域内的第二组成物在空穴注入/输送层617a上扩展而填满开口部619内。另外，即使一旦第二组成物从像素区域剥离而滴落在围堰部618的上表面618t上的情况下，该上表面618t由于向上述那样被实施疏液处理，所以第二组成物容易滚入开口部619内。 

之后，通过进行干燥工序等，对喷出后的第二组成物进行干燥处理，使含于第二组成物中的非极性溶剂蒸发，如图22所示，在空穴注入/输送层671a上形成发光层617b。图22的情况下，形成与蓝色(B)对应的发光层617b。 

同样地，使用功能液滴喷出头17，如图23所示，顺次进行与上述的蓝色(B)对应的发光层617b的情况相同的工序，形成与其他色(红色(R)和绿色(G))对应的发光层617b。另外，发光层617b的形成顺序不限于例示的顺序，可以以任意顺序形成。例如，也可以根据发光层形成材料决定形成的顺序。另外，作为R·G·B的三色排列图案有条纹排列、马赛克排列和三角排列等。 

如以上所述，在像素电极613上形成功能层617、即空穴注入/输送层617a和发光层617b。然后，向对置电极形成工序(S115)移进。 

在对置电极形成工序(S115)中，如图24所示，在发光层617b和有机物围堰层618b的整个面上例如以蒸镀法、溅射法、CVD法等形成阴极604(对置电极)。该阴极604在本实施方式中例如层叠钙层和铝层而构成。 

在阴极604的上部适宜设置作为电极的Al膜、Ag膜和用于防止氧化的SiO2、SiN等保护层。 

接着，图25是等离子体型显示装置(PDP装置：以下单称为显示装置70)的主要部分分解立体图。另外，图25中显示装置700在切开其一部分的状态下表示。 

该显示装置700大致含有相互对向配置的第一基板701、第二基板702以及形成在它们之间的放电显示部703而构成。放电显示部703由多个放电室705构成。这些多个放电室705中红色放电室705R、绿色放电室705G、蓝色放电室705B的三个放电室705为成组配置构成一个像素。 

第一基板701的上表面以规定间隔形成条纹状的地址电极706，覆盖该地址电极706和第一基板701的上表面而形成介电体层707。在介电体层707上竖立设置分隔壁708，该隔壁708位于各地址电极706之间且沿着各地址电极706设置。该分隔壁708包括如图所示在地址电极706的宽度方向两侧延伸的结构和在与地址电极706垂直的方向上延伸的未图示的结构。 

并且，由该分隔壁708分隔的区域形成放电室705。 

在放电室705内配置荧光体709。荧光体709发出红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)的任一种色的荧光，所以在分别在红色放电室705R的底部配置红色荧光体709R，在绿色放电室705G的底部配置绿色荧光体709G，在 蓝色放电室705B的底部配置蓝色荧光体709B。 

在第二基板702的图中下侧的面上以规定间隔在与上述地址电极706垂直的方向上以条纹状形成多个显示电极711。然后覆盖它们而形成由介电体层712以及MgO等构成的保护膜713。 

第一基板701和第二基板702在地址电极706和显示电极711相互正交的状态下相对而粘合。另外，上述地址电极706和显示电极711与未图示的交流电源连接。 

然后，对各电极706、711通电，从而在放电显示部703中荧光体709激励放电，能够显示颜色。 

本实施方式中，上述地址电极706、显示电极711和荧光体709能够采用图1所示的液滴喷出装置1形成。以下，例示第一基板701的地址电极706。 

这种情况下，以将第一基板701载置于液滴喷出装置1的设置台21上的状态下进行以下工序。 

首先，通过功能液滴喷出头17使含有导电膜配线形成用材料的液体材料(功能液)作为功能液滴而滴落在地址电极形成区域上。该液体材料作为导电膜配线形成用材料是将金属等导电性微粒子分散在分散介质上。作为该导电性微粒子使用含有金、银、铜、钯或镍等的金属微粒子或导电性聚合物。 

关于作为补给对象的全部的地址电极形成区域，当液体材料的补给结束，则对喷出后的液体材料进行干燥处理，使含于液体材料中的分散介质蒸发而形成地址电极706。 

然而，上述中例示了地址电极706，但是关于上述显示电极711和荧光体709也可以经由上述各工序而形成。 

在形成显示电极711的情况下，与地址电极706的情况同样地，以含有导电膜配线形成用材料的液体材料(功能液)作为功能液滴而滴落在显示电极形成区域上。 

另外，荧光体709的形成的情况下，将包含与各色(R，G，B)对应的荧光材料的液体材料(功能液)作为液滴从功能液滴喷出头17喷出，滴落在对应的颜色的放电室705内。 

接着，图26是电子放出装置(也称FED装置或SED装置：以下单称为显示装置800)的主要部分剖面图。另外，图26中显示装置800以其一部分形成剖面显示。 

该显示装置800大致含有相互对向配置的第一基板801、第二基板802以及形成在它们之间的电场放出显示部803而构成。电场放出显示部803由配置成矩阵状的多个电子放出部805构成。 

在第一基板801的上表面以相互正交的方式形成构成阴电极806的第一元件电极806a和第二元件电极806b。另外，由第一元件电极806a和第二元件电极806b隔开的部分上形成构成间隙(gap)808的导电性膜807。即，通过第一元件电极806a、第二元件电极806b和导电性膜807构成多个电子放出部805。导电性膜807例如由氧化钯(PdO)等构成，另外间隙808在形成导电性膜807后通过成形工序而形成。 

在第二基板802的下表面形成与阴电极806对置的阳电极809。阳电极809的下表面形成格子状的围堰部811，由该围堰部811围成的朝下的各开口部812上与电子放出部805对应而配置荧光体813。荧光体813发出红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)的任一种色彩的荧光，在各开口部812上以上述规定的图案配置红色荧光体813R、绿色荧光体813G以及蓝色荧光体813B。 

并且，这样形成的第一基板801和第二基板802存在微小空隙而粘合。该显示装置800中，经由导电性膜(间隙808)807而从作为阴极的第一元件电极806a或第二元件电极806b飞出的电子与形成在作为阳极的阳电极809上的荧光体813抵碰而激励发光，能够显示颜色。 

这种情况下，也与其他实施方式同样地，能够采用液滴喷出装置1形成第一元件电极806a、第二元件电极806b、导电性膜807移进阳电极809，并且能够使用液滴喷出装置1形成各色的荧光体813R、813G、813B。 

第一元件电极806a、第二元件电极806b以及导电性膜807具有图27A所示的平面形状，在将他们成膜的情况下，如图27B所示，事先留出制作有第一元件电极806a、第二元件电极806b和导电性膜807的部分，而形成围堰部BB(光刻法)。接着，在通过围堰部BB形成的槽部分上形成第一元件电极806a和第二元件电极806b(利用液滴喷出装置1的喷墨法)， 将其溶剂干燥而进行成膜后，形成导电性膜807(利用液滴喷出装置1的喷墨法)。然后，形成导电性膜807后，除去围堰部BB(灰化剥离处理)、移动到上述成形处理。另外，与上述有机EL装置的情况同样地，优选对第一基板801和第二基板802进行亲液化处理，对围堰部811、BB进行疏液化处理。 

另外，作为其他电光学装置考虑到金属配线形成、透镜形成、抗蚀剂形成以及光扩散体形成等的装置。上述的液滴喷出装置1用于各种电光学装置(设备)，从而能够有效地制造各种电光学装置。 

Claims (7)

1.一种液滴喷出装置，其为喷墨方式的液滴喷出装置，以搭载一个以上的功能液滴喷出头而成的头单元作为供给单元，一边分别对多个所述头单元供给功能液，一边通过多个所述头单元对工件进行描绘，其特征在于，具有：

罐单元，其通过新旧的功能液罐的更换，对所述多个头单元连续供给功能液；

功能液供给流路，其包括：上游侧与所述罐单元连接的主流路、以及经由分路部而从所述主流路分路并使下游侧与所述多个头单元连接的相同容积的多个单独流路；

检测机构，其检测更换的所述功能液罐的新功能液是否到达所述分路部；以及

控制机构，其分别控制所述多个功能液滴喷出头，

所述控制机构中，当所述检测机构检测到新功能液到达所述分路部后，描绘休止时控制所述各头单元，对功能液消耗量最大的一个所述头单元以外的其他头单元进行应对舍弃喷出，以使该其他的头单元的功能液消耗量与功能液消耗量最大的一个头单元相同。

2.如权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，

新旧的所述功能液罐经由罐流路切换机构与所述主流路连接，

所述检测机构包括：传感器，其对伴随新旧的所述功能液罐的更换而切换的所述罐流路切换机构的切换进行检测；和计时器，其由所述传感器的进行切换检测，对新功能液到达所述分路部的时间进行计时。

3.如权利要求1或2所述的液滴喷出装置，其特征在于，

所述控制机构根据事先由实验求得的控制表格分别控制所述多个头单元。

4.如权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，

所述控制机构具有改写机构，该改写机构根据相对于工件的描绘图案而改写所述控制表格的数据。

5.如权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，

在所述各头单元上搭载多个功能液滴喷出头，且

所述液滴喷出装置还具有：搭载所述各头单元的多个滑架单元、和在副扫描方向上分别使所述多个滑架单元移动的移动台。

6.一种电光学装置的制造方法，其特征在于，

使用权利要求1～5中任一项所述的液滴喷出装置，在所述工件上形成由功能液滴构成的成膜部。

7.一种电光学装置，其特征在于，

使用权利要求1～5任一项所述的液滴喷出装置，在所述工件上形成由功能液滴构成的成膜部。

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