CN101274531B - 功能液供给装置及液滴喷出装置、以及电光学装置的制造方法、电光学装置及电子设备 - Google Patents

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Abstract

一种功能液供给装置，其特征在于，具备：多个副容器，经由头侧流路向喷墨方式的多个功能液滴喷出头分别供给功能液；单一的容器单元，利用功能液的加压送液，分别向多个副容器补给功能液；功能液流路，由将上游侧连接于容器单元的主流路、将上游侧连接于主流路的分支流路及将上游侧连接于分支流路且将下游侧连接于各副容器的多个支流路构成；多个支流路开闭机构，设置在各支流路中，利用开闭动作将从容器单元加压送液来的功能液向各副容器补给，所述容器单元具有：贮存功能液的一对主容器；连接于一对主容器的加压送液机构；切换机构，将上游侧连接于一对主容器，并且将下游侧连接于主流路，且可交替地切换来自一对主容器的功能液的加压送液。

Description

功能液供给装置及液滴喷出装置、以及电光学装置的制造方法、电光学装置及电子设备
技术领域
本发明涉及将功能液滴向液滴喷出装置的功能液滴喷出头进行供给的功能液供给装置及液滴喷出装置、以及电光学装置的制造方法、电光学装置、及电子设备。
背景技术
目前，作为这种功能液供给装置，已知具备：贮存向功能液滴喷出头供给的功能液的副容器、将功能液向副容器补给的单一的主容器、将这些装置间连接的墨管、由泵及阀等构成并经由墨管在各装置间送出功能液，此外控制送液的送液机构(参照专利文献1)。当从功能液滴喷出头喷出功能液滴，贮存于副容器内的功能液减少时，从主容器向副容器补给功能液(参照特开平11-42771号公报)。
但是，在这样的功能液供给装置中，例如在从副容器接收补给信号的状态下，主容器的功能液残留量减少，有时需要更换主容器。这种情况下，当连续进行描绘处理时，副容器的功能液变无，从而可能成为功能液滴喷出头为空喷出的状态，因此，需要停止描绘处理来更换主容器。即，在单一主容器的结构中，在更换主容器时，需要停止描绘处理，因此存在生产率低下的问题。
发明内容
本发明的课题在于，提供在更换主容器时不必停止功能液滴喷出头的描绘处理的功能液供给这种及液滴喷出装置、以及电光学这种的制造方法、电光学这种及电子设备。
本发明提供一种功能液供给装置，其特征在于，具备：经由头侧流路对喷墨方式的多个功能液滴喷出头分别供给功能液的多个副容器；通过功能液的加压送液来将功能液分别对多个副容器进行补给的单一的容器单元；由将上游侧连接于容器单元的主流路、将上游侧连接于主流路的分支流路及将上游侧连接于分支流路并将下游侧连接于各副容器的多个支流路构成的功能液流路；设于各支流路，通过开闭动作将从容器单元加压送液来的功能液向各副容器补给的多个支流路开闭机构，容器单元具有：贮存功能液的一对主容器；连接于一对主容器的加压送液机构；将上游侧连接于一对主容器并且将下游侧连接于主流路，且能够交替地切换功能液从一对主容器的加压送液的切换机构。
根据该构成，在一主容器的功能液变无时，通过利用切换机构进行容器切换，由此更换一主容器，另一方面，可通过另一主容器进行功能液的供给。由此，可不停止功能液对各副容器的补给而进行主容器的更换。因此，不必停止功能液滴喷出头的描绘处理，从而可提高生产率。
该情况下，优选的是，各支流路开闭机构由不使各支流路的容积变化的可进行开闭的气动阀构成。
根据该构成，可抑制开闭各支流路开闭机构时产生的功能液的脉动。因此，能够抑制脉动传递到功能液滴喷出头，从而可抑制功能液滴喷出头的喷出不良。另外，通过使用气动阀，可抑制通过阀的功能液的温度上升。
该情况下，优选的是，各副容器配置于比对应的功能液滴喷出头高的位置，在各头侧流路设有以大气压基准进行动作、并且将其与功能液滴喷出头之间的压水值维持在规定的容许范围的减压阀。
根据该构成，通过使用减压阀，可高精度地管理功能液滴喷出头的喷嘴面的功能液的压水值。
该情况下，优选的是，还具备将各副容器的功能液补给时的液位控制在上下中间部位置的液位控制机构。
根据该构成，可持续地构成不充满溶液的大的空间(气体容量)。由此，可吸收在副容器的上游侧产生的功能液的脉动，从而可进一步抑制功能液滴喷出头的喷出不良。
该情况下，优选的是，还具备设于主流路、并除去功能液内的微气泡的气泡除去机构。
根据该构成，可抑制功能液内的微气泡造成的大的气泡的发生。因此，能够抑制含有气泡的功能液到达副容器，从而可抑制副容器内的气泡引起的液位误检测。由此，可高精度地进行副容器的液位的调节，可稳定地维持功能液滴喷出头的压水值，因此，能够进一步抑制功能液滴喷出头的喷出不良。
该情况下，优选的是，还具备：设于主流路的下游端部的脱气机构、和与脱气机构连接的脱气流路。
根据该构成，在功能液供给装置整体充填功能液的初期充填时，可将无用的空气适宜地脱气。由此，可简单地排除初期充填时的无用的空气。
该情况下，优选的是，还具备：与各副容器连接并可将各副容器内进行加压的副加压机构、设于各头侧流路并对头侧流路进行开闭的头流路开闭机构、检测到达了各副容器的上限的液位的上限检测机构、控制加压送液机构、各副加压机构、各支流路开闭机构及各头流路开闭机构的送液控制机构，送液控制机构，在上限检测机构检测到了到达各副容器的上限的液位的情况下，使支流路开闭机构进行开放动作，使所述头流路开闭机构进行关闭动作，且将加压送液机构的加压解除，之后，驱动副加压机构，将副容器的功能液回送到主容器。
根据该构成，在因检测通常的液位的传感器发生故障等，副容器中超过功能液溢出的上限而充填了功能液的情况下，可将充填的功能液回送，使功能液的一部分返回主容器。由此，可不废弃过剩供给到副容器的功能液而能够对其适宜进行处理，从而不必进行装置的动作停止等。
该情况下，优选的是，分支流路通过从上游侧端到下游侧端，重复三段由2分支接头及一对连接短管的2分支而构成，并且，以上游侧为下、以下游侧为上进行配置。
根据该构成，由于压力损失及流速(流量)一定，故不必作成复杂的构成，从而可将多个分支构造作成简单的构成。另外，通过以上游侧为下、以下游侧为上，使功能液自下向上流动，因此，可抑制空气残留于分支流量内。
该情况下，优选的是，分支流路，在最下游产生端数时，在最下游段的一对连接短管和其上游段的连接短管之间，通过配管长度调节压力损失。
根据该构成，在最下游段产生了端数时，通过配管长度来进行各分支的压力损失的调节。因此，即使在最下游段产生端数的情况下，也能够使向各副容器的供给量相同。
该情况下，优选的是，分支流路上，与属于最下游段的2分支接头及一对连接短管相比，属于最上游段的2分支接头及一对连接短管粗径地形成。
根据该构成，可极力地减小分支流路中的压力损失。
该情况下，优选的是，2分支接头由T字接头构成。
根据该构成，通过使用廉价的T字接头，可廉价地构成分支流路。
本发明提供一种液滴喷出装置，其特征在于，具备：使喷墨方式的功能液滴喷出头相对于工件移动，同时从功能液滴喷出头对工件喷出功能液滴来进行描绘的描绘机构、和向功能液滴喷出头供给功能液的所述的功能液供给装置。
根据该构成，可不停止本液滴喷出装置的动作而进行主容器的更换，因此，可提高装置的生产率。另外，在利用R、G、B三色功能液进行描绘时，优选设置对应于各色的三组功能液供给装置。
该情况下，优选的是，还具备将内部气氛管理在规定的温度的腔室机构，腔室机构收容描绘机构，并且在将容器单元设于外部的状态下，收容除容器单元以外的功能液滴供给装置。
根据该构成，可不开放腔室机构而进行主容器的更换，因此，可进一步提高装置的生产率。
本发明提供一种电光学装置的制造方法，其特征在于，使用上述的液滴喷出装置，在工件上形成功能液滴的成膜部。
本发明提供一种电光学装置，其特征在于，使用上述的液滴喷出装置在工件上形成功能液滴的成膜部。
根据该构成，可高效地制造高品质的电光学装置。另外，作为功能材料，有机EL装置的发光材料(Electro-Luminescence发光层、空穴注入层)，本来是用于液晶显示装置的滤色器的滤色器材料(滤色器部件)、电子发射装置(Field Emission Display，FED)的荧光材料(荧光体)、PDP(plasmaDisplay Panel)装置的荧光材料(荧光体)、电泳显示装置的泳动体材料(泳动体)等，可以说是可通过功能液滴喷出头(喷墨头)进行喷出的液体材料。另外，作为电光学装置(Flat Panel Display，FPD)，有有机EL装置、液晶显示装置、电子发射装置、PDP装置、电泳显示装置等。
本发明提供一种电子设备，其特征在于，搭载有通过上述的电光学装置的制造方法制造的电光学装置或上述的电光学装置。
该情况下，作为电子设备，相应的是，搭载有所谓的平板显示器的手机、笔记本电脑之外的各种电子制品。
附图说明
图1是实施方式的液滴喷出装置的立体图；
图2是液滴喷出装置的俯视图；
图3是液滴喷出装置的侧面图；
图4是构成头组的功能液滴喷出头的图；
图5是功能液滴喷出头的外观立体图；
图6是功能液根据装置的配管系统图；
图7A及图7B是表示容器壳体的图；
图8A及图8B是表示8分支流路及作为其变形例的10分支流路的图；
图9是示意性表示副容器周围的剖面图；
图10是对液滴喷出装置的主控制系统进行说明的框图；
图11是说明滤色器制造工序的流程图；
图12A～图12E是按制造顺序表示的滤色器的示意剖面图；
图13是表示使用应用了本发明的滤色器的液晶装置的概略构成的主要部分剖面图；
图14是表示使用应用了本发明的滤色器的第二例的液晶装置的概略构成的主要部分剖面图；
图15是表示使用应用了本发明的滤色器的第三例的液晶装置的概略构成的主要部分剖面图；
图16是作为有机EL装置的显示装置的主要部分剖面图；
图17是说明作为有机EL装置的显示装置的制造工序的流程图；
图18是说明无机物触排层的形成的工序图；
图19是说明有机物触排层的形成的工序图；
图20是说明形成空穴注入/输送层的过程的工序图；
图21是说明形成空穴注入/输送层的状态的工序图；
图22是说明形成蓝色发光层的过程的工序图；
图23是说明形成蓝色发光层的状态的工序图；
图24是说明形成各色发光层的状态的工序图；
图25是说明阴极的形成的工序图；
图26是作为等离子型显示装置(PDP装置)的显示装置的主要部分分解立体图；
图27是作为电子发射装置(FED装置)的显示装置的主要部分剖面图；
图28A是显示装置的电子发射部周围的俯视图，图28B是表示其形成方法的俯视图。
符号说明
1-液滴喷出装置；6-腔室；11-X轴工作台；12-Y轴工作台；17-功能液滴喷出头；51-滑架单元；85-氮气供给设备；101-功能液供给装置；121-副容器；133-容器单元；126-上游侧功能液流路；127-下游侧功能液流路；131-主流路；132-8分支流路；133-支流路；135-气泡除去单元；139-第三开闭阀；149-第四开闭阀；150-减压阀；155-脱气接头；156-脱气流路；157-脱气阀；161-2分支接头；162-连接短管；178-上限检测传感器；181-主容器；183-切换机构；197-控制部；W-工件。
具体实施方式
下面，参照附图说明应用本发明的功能液供给装置的液滴喷出装置。该液滴喷出装置被装入平板显示器的制造生产线，例如使用导入了特殊的墨及发光性树脂液即功能液的功能液滴喷出头，形成液晶显示装置的滤色器及成为有机EL装置的各像素的发光元件等。
如图1、图2及图3所示，液滴喷出装置1包括：X轴工作台11，其配设于被石平板支承的X轴支承座2上，沿成为主扫描方向的X轴方向延伸，使工件W沿X轴方向(主扫描方向)移动；Y轴工作台12，其配设于经由多个支柱4跨X轴工作台11而架设的一对(二个)Y轴支承座3上，沿成为副扫描方向的Y轴方向延伸；8个滑架单元51，其搭载有多个功能液滴喷出头17(省略图示)，8个滑架单元51吊设于Y轴工作台12上。另外，液滴喷出装置1具备：将这些装置收容于温度及湿度被管理的气氛内的腔室(腔室机构)6、和具有贯通腔室6并从腔室6的外部向内部的功能液滴喷出头17供给功能液的三组功能液供给装置101的功能液供给单元7。与X轴工作台11及Y轴工作台12的驱动同步地驱动功能液滴喷出头17喷出，由此喷出自功能液供给单元7供给的R·G·B三色功能液滴，在工件W上描绘规定的描绘图案。另外，本发明所说的描绘机构由X轴工作台11、Y轴工作台12及8个滑架单元51构成。
另外，液滴喷出装置1具备由冲洗单元14、吸引单元15、擦拭单元16、喷出性能检查单元18构成的维护装置5，这些单元供功能液滴喷出头17的保养，实现功能液滴喷出头17的功能维护、功能恢复。另外，构成维护装置5的各单元中，冲洗单元14及喷出性能检查单元18搭载于X轴工作台11上，吸引单元15及擦拭单元16配设于架台上，该架台配设于从X轴工作台11直角延伸，且通过Y轴工作台12使滑架单元51可移动的位置(严格地说，喷出性能检查单元18是后述的载物台单元17搭载于X轴工作台11，拍摄单元78支承于Y轴支承座3)。
冲洗单元14具有一对描绘前冲洗单元71、71和定期冲洗单元72，承受在功能液滴喷出头17的喷出之前及换载工件W时等的描绘处理暂停时进行的功能液滴喷出头17的废弃喷出(冲洗)。吸引单元15具有多个分割吸引单元74，从各功能液滴喷出头17的喷出喷嘴98强制性地吸引功能液，同时进行压盖。擦拭单元16具有擦拭片75，擦拭吸引后的功能液滴喷出头17的喷嘴面97。喷出性能检查单元18具有：载物台单元77，搭载有承受从功能液滴喷出头17喷出的功能液滴的检查片83；和拍摄单元78，通过图像识别来检查载物台单元77上的功能液滴，该检查单元18检查功能液滴喷出头17的喷出性能(喷出的有无及飞行弯曲)。
接着，对液滴喷出装置1的构成要素进行简单地说明。如图2或图3所示，X轴工作台11具备：载置工件W的载置工作台21；将载置工作台21在X轴方向滑动自如地支承的X轴第一滑块22；将上述冲洗单元14及载物台单元77在X轴滑动自如地支承的X轴第二滑块23；沿X轴方向延伸且经由X轴第一滑块22使载置工作台21(工件W)在X方向移动，并且经由X轴第二滑块23使滑架单元14及载物台单元77在X轴方向移动的左右一对X轴线性电动机(省略图示)；与X轴线性电动机并列设置且引导X轴第一滑块22及X轴第二滑块23的移动的一对(两个)X轴公共支承基座24。
载置工作台21具有吸附载置工件W的吸附工作台31、和支承吸附工作台31并用于将载置于吸附工作台31上的工件W的位置在θ轴方向进行修正的θ工作台32等。另外，在载置工作台21的与Y轴方向平行的一对边分别添设上述描绘前的冲洗单元71。
Y轴工作台12具备：分别吊设有8个各滑架单元51的8个桥式构架52、用双柱支承8个桥式构架52的8组Y轴滑块(省略图示)、设于上述一对Y轴支承基座3上且经由8组Y轴滑块使桥式构架52沿Y轴方向移动的一对Y轴线性电动机(省略图示)。另外，Y轴工作台12除经由各滑架单元51在描绘时使功能液滴喷出头17副扫描之外，还使功能液滴喷出头17面临维护装置5(吸引单元15及擦拭单元16)。
当(同步)驱动一对Y轴线性电动机时，各Y轴滑块引导一对Y轴支承基座3，同时在Y轴方向上平行移动。由此，桥式构架52在Y轴方向移动，与此同时，滑架单元51在Y轴方向移动。该情况下，通过控制Y轴线性电动机的驱动，也可以独立个别地移动各滑架单元51，或也可以使8个滑架单元51一体地移动。
另外，在Y轴工作台12的两肋，与其平行地配设有线缆载持体81。两线缆载持体81，一端固定于Y轴支承基座3，同时，另一端固定于各桥式构架52的一个上。该线缆载持体81中收容有各滑架单元51用的线缆类、气管类及功能液流路(后述的下游侧功能液流路127)，
各滑架单元51具备由12个功能液滴喷出头17、和将12个功能液滴喷出头17每6个一组分2组支承的滑架构架53构成的头单元13(参照图4)。另外，各滑架单元51具备可θ修正(θ旋转)地支承头单元13的θ旋转机构61、和经由θ旋转机构61将头单元13支承于Y轴工作台12(各桥式构架52)的吊设部件62。而且，各滑架单元51在其上部配设有后述的副容器1(实际上配设于桥式构架52上)，从该副容器121向各功能液滴喷出头17供给功能液。
如图5所示，功能液滴喷出头17为所谓的双联式，其具备：具有双联的连接针92的功能液导入部91、与功能液导入部91相连的双联的头基板93、与功能液导入部91的下方连通并在内部形成有由功能液充满的头内流路的头主体94。连接针92与功能液供给单元7连接，将功能液向功能液导入部91供给。头主体94由内腔95(压电元件)、和具有多个喷出喷嘴98开口而成的喷嘴面97的喷嘴板96构成。当驱动液滴喷出头17喷出(对压电元件施加电压)时，通过内腔95的泵作用，从喷出喷嘴98喷出功能液滴。
另外，在喷嘴面97上彼此平行地形成有由多个喷出喷嘴98构成的两个喷嘴列98b。而且，两个喷嘴列98b彼此之间彼此错开半喷嘴间距的量。
腔室6将内部温度及湿度保持恒定地构成。即，液滴喷出装置1对工件W的描绘在将温度及湿度管理在恒定值的气氛中进行。而且，在腔室6的侧壁的局部设有用于收纳后述的容器单元122的容器壳体84。另外，在制造有机EL装置等时，优选腔室6内由惰性气体(氮气)气氛构成。
其次，参照图1及图6～图9说明功能液供给单元7。功能液供给单元7具备对应于R、G、B三色的三组功能液供给装置101。另外，功能液供给单元7具备：供给后述的主容器181及副容器121等的控制用的压缩氮气的氮气供给设备85、和供给各种开闭阀的控制用的压缩空气的压缩空气供给设备86、用于从各部分进行排气的排气设备87、连接于后述的气泡除去单元135的真空设备89。三组功能液供给装置101与分别对应于R、G、B三色的功能液滴喷出头17连接，由此，对各色的功能液滴喷出头17供给对应的颜色的功能液。
如图6所示，各功能液供给装置101具备：构成功能液的供给源的具有二个主容器181、181的容器单元122；对应于各滑架单元51设置的8个副容器121；将容器单元122和8个副容器121连接的上游侧功能液流路(功能液流路)126；将各副容器121和各功能液滴喷出头17连接的8组下游侧功能液流路(头侧流路)127。
各主容器181内的功能液由来自与其连接的氮气供给设备85的压缩氮气加压，经由上游侧功能液流路126选择性供给向8g副容器121。此时，利用压缩空气供给设备86的压缩空气对各种开闭阀进行开闭控制。同时，各副容器121经由排气设备87向大气开放，容纳必要量的功能液。各副容器121的功能液通过与之连通的功能液滴喷出头17的驱动来维持规定的压水压，同时经由下游侧功能液流路127向功能液滴喷出头17进行供给。详细后述，在来自各副容器121的功能液回送时，压缩氮气被供给向各副容器121，另一方面，各主容器181经由排气设备87向大气开放(实际上为负压控制)。另外，本发明中所说的加压送液机构及副加压机构由氮气供给设备85构成。
容器单元122具备：成为功能液的供给源的一对主容器181、181；分别测定一对主容器181、181的重量的一对重量测定装置182、182；与一对主容器181、181连接并且与上游侧功能液流路126连接的切换机构(切换机构)183。各主容器181构成为，与氮气供给设备85及排气设备87连接，可进行压送功能液时的加压控制及回送功能液时的负压控制(相当于大气开放)地构成。
切换机构183具备：与一对主容器181、181连接的一对容器流路186、186；在上游侧连接一对容器流路186、186，并且在下游侧连接有上游侧功能液流路126的容器流路接头187；设置于各容器流路186、186的容器开闭阀188。通过将一容器开闭阀188开阀，将另一容器开闭阀188闭阀，在一对主容器181、181之间交替地切换对上游侧功能液流路126的连接。
重量测定装置182例如由测力传感器等构成，当主容器181内的功能液消耗而达到规定重量时，发出促使其更换的警报。另外，在各容器流路186上设有气泡检测传感器189(由两个光传感器构成)，在一主容器181达到规定重量后，该气泡检测传感器189检测气泡，将流路切换到另一主容器181(自动或手动)。另外，代替重量测定装置182，也可以由液位检测传感器或气泡检测传感器等发出警报。
这样，在利用重量测定装置182及气泡检测传感器189判断一主容器181要更换的情况下，通过经由切换机构183将向上游侧功能液流路126的连接切换到向另一主容器181，可通过另一主容器181向副容器121进行补给。即，在更换一主容器181时，可通过另一主容器181继续进行对副容器121的补给。由此，在更换主容器181时，可不必停止功能液滴喷出头17的描绘处理而提高生产率。
上游侧功能液流路126，自上游侧起，具备：将上游侧连接于容器单元122的主流路131；将上游侧连接于主流路131的8分支流路(分支流路)132；将上游侧连接于8分支流路132且将下游侧连接于副容器121的8条支流路133。从容器单元122供给的功能液由8分支流路132分流并供给向各副容器121。
另外，在主流路131上，自上游侧起，分别设有气泡除去单元(气泡除去机构)135、第一开闭阀136、脱气单元137、第二开闭阀138。另外，在各8分支流路132，在各副容器121附近分别设有第三开闭阀(支流路开闭机构)139。
各下游侧功能液流路127自上游侧起，包括：将上游侧连接于各副容器121的头侧主流路146；将上游侧连接于头侧主流路146的4分支流路147；将上游侧连接于4分支流路147的多个单独流路148。由此，功能液被从各副容器121向四方分支，连接于各自的功能液滴喷出头17。即，通过上游侧功能液流路126的8分支、和下游侧功能液流路127的4分支将功能液向8×4个功能液滴喷出头17供给。除此以外，功能液供给单元7由于具有由R、G、B这三组功能液供给装置102，故将功能液向8×12个功能液滴喷出头17供给。另外，在头侧主流路146上设置有第四开闭阀(头流路开闭机构)149及减压阀150。
在气泡除去单元135上连接有上述真空设备89，其真空吸引由气体透过膜隔开的内部流路，经由气体透过膜使气泡从内部流路的功能液透过而将其除去。由于具备这样的气泡除去单元135，从而可抑制功能液内的微气泡引起的大的气泡产生。因此，可抑制含有气泡的功能液到达副容器121，且可在副容器121内抑制后述的液位检测传感器177的液位误检测。由此，可进行功能液的严格的液位检测，可将功能液滴喷出头17的压水值稳定地维持，因此，能够抑制功能液滴喷出头17的喷出不良。另外，由于排气除去单元135是消耗品，故优选准备预备的气泡除去单元135以迅速地进行更换(参照图6)。
脱气单元137具有：设于主流路131的脱气接头(脱气机构)155；由开闭阀及气泡检测传感器构成的脱气阀(脱气机构)157；与脱气阀157连通的脱气流路156；设于脱气流路156的下游端的贮液容器158。脱气单元137在向功能液供给装置101初期充填功能液时发挥作用，在从主容器181送出功能液时，将脱气阀157开阀，且将第二开闭阀138闭阀，排出主流路131内的空气。然后，脱气阀157在检测到气泡时(很少时间)将脱气阀157闭阀，且将第二开闭阀138开阀，结束脱气。另外，本发明所说的脱气机构由脱气接头155及脱气阀157构成。
由于具有这样的脱气单元137，从而在初期充填时可适宜地将无用的空气脱气。由此，能够简单地排出初期充填时的无用的空气。另外，在再利用流到贮液容器158的功能液时，将贮液容器158与各色对应地设置三个，在不再利用时，将贮液容器158设置一个。
设于各副容器121的上游侧及下游侧附近的第三开闭阀139及第四开闭阀149由不改变容积地可开闭的气动阀(air operate valve)构成，能够抑制将开闭阀进行开闭时产生的功能液的脉动。因此，能够抑制脉动传递给功能液滴喷出头17，能够抑制功能液滴喷出头17的喷出不良。另外，这样的开闭阀优选例如由隔膜式的气动阀构成。由此，可慢慢地进行开闭阀的开闭，因此，容易地形成可不改变容积地进行开闭的结构。另外，通过使用气动阀，除防暴功能之外，还可以抑制通过开闭阀的功能液的温度上升。
8分支流路132通过从上游侧端到下游侧端，重复三段利用T字接头形成的2分支接头161、和连接于2分支接头161的下游侧的一对连接短管162形成的2分支而构成(参照图8A)。8分支流路132以上游侧为下、下游侧为上地配置，且以由容器单元122供给的功能液从下向上流动的方式而构成。通过使用这样的8分支流路132，在8分支流路132的下游端，压力损失相同，因此，可使8条支流路133的流速(流量)恒定。另外，通过以上游侧为下、以下游侧为上，功能液从下向上流动，因此，能够抑制空气残留在8分支流路132内。进而通过使用廉价的T字接头来作为2分支接头161，可将8分支流路132作成廉价的构成。
8分支流路132上，与属于最下游段的2分支接头161及一对连接短管162、162相比，属于最上游段的2分支接头161及一对连接短管162、162形成为大径。由此，能够极力减小8分支流路132中的压力损失。
另外，由于本实施方式中为8分支的分支流路，故不会有端数产生，但有端数产生时，例如为10分支(10分支流路)的情况下，对于6方的分支，将三个2分支接头161和3条连接短管162连通，与之相对，对于另4方的分支，将四个2分支接头161和4条连接短管162连通(参照图8B)。此时，6方的分支和另4方的分支的流路长度产生差异时，由于功能液向副容器121的流量不同，故在最下游段的一对连接短管162、162(另4方的分支)和其上游段的连接短管162(6方的分支)之间，通过配管长度来调节压力损失。
另外，各下游侧功能液流路127的4分支流路147也优选为与上述的8分支流路132同样的构成。但是，该情况下，优选以4分支流路147的上游侧为上，以下游侧为下。由此，即使气泡混入到下游侧功能液流路127，也能够使气泡脱离副容器121侧。
减压阀150在大气压基准下动作，同时将与其对应的功能液滴喷出头17之间的压水值维持在规定的容许范围。通过使用该减压阀150，可高精度地管理功能液滴喷出头17的喷嘴面97中的功能液的压水值。
如图9所示，副容器121具备：贮存功能液的副容器主体171；如活动盖状浮在副容器主体171上的盖体浮子172；设于副容器主体171的侧方的透明的旁通管176；面临旁通管176并检测贮存的功能液的液位的液位检测机构173；设于副容器主体171的侧方下部的液压传感器174。另外，副容器121在副容器主体171的上部连接有氮气供给设备85及排气设备87(参照图6)，副容器主体171的内部构成为从主容器181送液时的大气开放及可对主容器181进行加压控制。除此以外，在副容器主体171的下方设有连接支流路133的流入接头163及连接头侧主流路146的流出接头164，功能液构成为从副容器主体171的下方流入，从下方流出。
液位检测机构173具备：面临旁通管176，检测达到上限的功能液的液位的上限检测传感器(上限检测机构)178；配设于上下中间位置并检测补给时的功能液的液位的液位检测传感器177；检测达到下线的功能液的液位的下限检测传感器179。上限检测传感器178为防止副容器121的溢出而设置，在上限检测传感器178检测到上限液位时，停止从主容器181的送液。另一方面，下限检测传感器179为防止副容器121变空而设置，在下限检测传感器179检测到下限液位时，结束现实刻的工件W的描绘，使液滴喷出装置1停止。
另外，在上限检测传感器178检测到上限液位时，之后进行使副容器121的功能液返回主容器181的回送动作。该回送动作在将第四开闭阀149闭阀同时将第三开闭阀139开阀，且解除(负压控制)对主容器181的加压后，将副容器121内加压(加压控制)，使功能液回流。然后，在液位检测传感器177检测到液位时，结束回送动作。通过这样的回送动作，可不废弃过剩供给到副容器121的功能液地适宜进行处理。
液位检测传感器177是检测考虑了功能液滴喷出头17的理想的压水值的液位的传感器，当由液位检测传感器177检测功能液的液位时，与后述的控制部197协动，判断满液或者减液。即，从液位检测传感器177之上有液位的状态，通过喷出动作减少功能液，当由液位检测传感器177检测液位时，判断为减液。另外，从液位检测传感器177之下有液位的状态，通过补给动作增加功能液，在由液位检测传感器177检测到液位后，经过一定时间后判断为满液。利用这样的液位检测传感器177将副容器121内的功能液的液位控制在上下中间部位置。这样，通过将功能液的液位控制在副容器121的上下中间部位置，可在副容器121内持续地构成不充满功能液的大的空间(气体容量)。由此，可吸收在副容器121的上游侧产生的功能液的脉动，从而可抑制功能液滴喷出头17的喷出不良。
如图7所示，从各功能液供给装置101的容器单元122到8分支流路132的各构成要素被收纳于在腔室6的侧壁配设的容器壳体84(参照图1)。如图7所示，容器壳体84具备：收纳有各容器单元122的主容器收纳部111、配设于主容器收纳部111的上方并收纳有各气泡除去单元135的单元收纳部112、临设于单元收纳部112并收纳有各8分支流路132的分支流路收纳部113。
主容器收纳部111的其开闭扇105a在腔室6的外侧开闭，图中未图示，单元收纳部112及分支流路收纳部113的开闭扇防暴向腔室6的内侧开闭。即，各气泡除去单元135及各8分支流路132配设于腔室6内，各容器单元122配设于腔室6外。因此，容器单元122不将腔室6内进行大气置换，而可更换地构成该主容器181。这样，通过在腔室6外配设容器单元122，在更换主容器181时不用将腔室6开放。由此，每次更换主容器181时不会破坏腔室6内的气氛。即，不必再度进行温度及湿度的调节(在设定腔室6内为惰性气氛时，定向其他不会泄漏到外部)，可容易地进行主容器181的更换，因此，可提高装置的生产率。
其次，参照图10说明液滴喷出装置1的主控制系统。如图10所示，液滴喷出装置1具备：具有头单元13(功能液滴喷出头17)的液滴喷出部191；具有X轴工作台11，由于使工件W向X轴方向移动的工件移动部192；具有Y轴工作台12，由于使头单元13向Y轴方向移动的头移动部193；具有维护装置的各单元的维护部194；具有功能液供给单元7，将功能液向功能液滴喷出头17供给的功能液供给部198；具有各种传感器，进行各种检测的检测部195；驱动控制各部的具有各种驱动器的驱动部196；与各部连接并江西国内液滴喷出装置1的整体控制的控制部(送液控制机构及液位控制机构)197。
控制部197具备：用于连接各装置的接口201、具有可暂时存储的存储区域并作为用于进行控制处理的作业区域使用的RAM202、具有各种存储区域并存储控制程序及控制数据的ROM203、存储用于对工件W描绘规定的描绘图案的描绘数据及来自各装置的各种数据等同时存储用于处理各种数据的程序等的硬盘204、根据存储于ROM203及硬盘204的程序等对各种数据进行运算处理的CPU205、将上述部件彼此连接的总线206。
而且，控制部197经由接口201输入来自各装置的各种数据，同时根据存储于硬盘204(或通过CD-ROM驱动器等顺序读出)的程序使CPU205进行运算处理，经由驱动部196(各种驱动器)将该处理结果输出到各装置。由此，控制机构整体并进行液滴喷出装置1的各种处理。
在此，对向功能液滴喷出头17供给功能液的动作进行说明。该动作在各主容器181及各副容器121中贮存功能液，并且在各流路中充填功能液的状态下进行。而且，通过氮气供给设备85对连接于上游侧功能液流路126的一主容器181进行加压。
首先，在将设于副容器121的上游侧的第三开闭阀139闭阀的状态下，驱动功能液滴喷出头17进行功能液滴的喷出。由于将第三开闭阀139开阀，故来自主容器181的压力被切断，通过功能液滴喷出头17的泵作用，功能液被从各副容器121向各功能液滴喷出头17送液。另外，功能液滴喷出头17的喷嘴面97的压水值通过设于下游侧功能液流路127的减压阀150最终进行调节。
其次，对功能液向副容器121的补给进行说明。通过向功能液滴喷出头17的喷出动作，当副容器121内的功能液减少一定量时，由液位检测机构173判断为减液状态。在判断为减液状态时，将第三开闭阀139闭阀，从主容器181向副容器121补给功能液。由于主容器181被加压，故通过将第三开闭阀开阀，将主容器181的功能液自动地向副容器121送液。而此时，功能液滴喷出头17的喷出动作继续进行。
从主容器181向副容器121送出功能液，当副容器121内的功能液贮存了一定量时，通过液位检测机构173判断为副容器121内为满液状态。当判断为满液状态时，将第三开闭阀139闭阀，结束补给动作。另外，上述的功能液的回送动作也通过上述的控制系统进行。
其次，对在连接于上游侧功能液流路126的主容器181中无功能液时的应对动作进行说明，若重复对副容器121的补给动作，则主容器181内的功能液减少，通过对应的重量测定装置182，判断为主容器181需要更换。当判断为主容器181要更换时，通过前后机构183将对上游侧功能液流路126的连接从要更换的主容器181切换到另一主容器181(满液状态的主容器181)。而且，通过另一主容器181进行对副容器121的补给动作。此时，可更换要更换的主容器181，从而可不停止对副容器121的供给动作(功能液滴喷出头17的喷出驱动)而进行主容器181的更换。
根据以上的构成，在一主容器181的功能液变无时，通过利用切换机构183进行容器切换，来更换一主容器181，另一方面，可通过利用主容器181来进行功能液的供给。由此，可不停止对各副容器121的功能液补给而进行主容器181的更换。因此，可不必停止功能液滴喷出头17的描绘处理，从而可提高生产率。
另外，在本实施方式中，使用具备8个滑架单元51的液滴喷出装置1的构成，但滑架单元51的个数是任意的。
其次，作为使用本实施方式的液滴喷出装置1制造的电光学装置(平板显示器)，以滤色器、液晶显示装置、有机EL装置、等离子显示器(PDP装置)、电子发射装置(FED装置、SED装置)、形成于这些显示装置上的有源矩阵基板等为例，对这些构造及其制造方法进行说明。另外，有源矩阵基板是形成有薄膜晶体管及与薄膜晶体管电连接的源极线、数据线的基板。
首先，对装入液晶显示装置及有机EL装置等的滤色器的制造方法进行说明。图11是表示滤色器的制造工序的流程图，图12A～图12E是按制造工序的顺序表示的本实施方式的滤色器500(过滤器基体500A)的示意剖面图。
首先，在黑矩阵形成工序(S101)中，如图12A所示，在基板(W)501上形成黑矩阵502。黑矩阵502由金属铬、金属铬和氧化铬的层叠体、或树脂黑等形成。要形成由金属薄膜构成的黑矩阵502，可使用溅射法或蒸镀法等。另外，在形成由树脂薄膜构成的黑矩阵502时，可使用照相凹版印刷法、光致抗蚀剂法、热转印法等。
接着，在触排形成工序(S102)中，以重叠于黑矩阵502上的状态形成触排503。即，首先如图12B所示，按照覆盖基板501及黑矩阵502的方式形成由负型透明感光性树脂构成的抗蚀剂层504。然后，以其上面由形成为矩阵图案形状的掩模薄膜505包覆的状态进行曝光处理。
进而如图12C所示，通过对抗蚀剂层504的未曝光部分进行蚀刻处理，构图抗蚀剂层504，形成触排503。另外，在由树脂黑形成黑矩阵时，可兼用黑矩阵和触排。
该触排503和其下的黑矩阵502为区划各像素区域507a的区划壁部507b，在之后的着色层形成工序中，在利用功能液滴喷出17形成着色层(成膜部)508R、508G、508B时规定功能液滴的命中区域。
经由以上的黑矩阵形成工序及触排形成工序，得到上述的滤色器基板500A。
另外，在本实施方式中，作为触排503的材料，使用涂膜表面为疏液(疏水)性的树脂材料。而且，由于基板(玻璃基板)501的表面为亲液(亲水)性，故在后述的着色层形成工序中，可自动修正液滴向被触排503(区划壁部507b)包围的各像素区域507a内的命中位置的偏差。
其次，在着色层形成工序(S103)中，如图12D所示，利用功能液滴喷出头17喷出功能液滴，使其命中由区划壁部507b包围的各像素区域507a内。该情况下，使用功能液滴喷出头17导入R、G、B三色功能液(滤色器材料)，进行功能液滴的喷出。另外，作为R、G、B三色排列图案，有条纹排列、马赛克排列及三角排列等。
之后，经由干燥处理(加热等处理)将功能液定影，形成三色着色层508R、508G、508B。若要形成着色层508R、508G、508B，则转移到保护膜形成工序(S104)，如图12E所示，按照覆盖基板501、区划壁部507、及着色层508R、508G、508B的上面的方式形成保护膜509。
即，在基板501的形成有着色层508R、508G、508B的整个面上喷出保护膜用涂敷液后，经由干燥处理形成保护膜509。
并且，在形成保护膜509之后，滤色器500转移到下一工序的成为透明电极的ITO(Indium Tin Oxide)等的加膜工序。
图13是表示使用了上述的滤色器500的作为液晶显示装置之一例的无源矩阵形液晶装置(液晶装置)的概略构成的主要部分剖面图。通过在该液晶装置502上安装液晶驱动用IC、背光灯、支承体等附带要素，得到作为最终制品的透射形液晶显示装置。另外，滤色器500与图12所示的相同，故对应的部位使用同一符号，省略其说明。
该液晶装置520大致由滤色器500、由玻璃基板等构成的对置基板521、及夹在它们之间的由STN(Super Twisted Nematic)液晶组成物构成的液晶层522构成，将滤色器500配置于图中上侧(观测者侧)。
另外，图中未图示，在对置基板521及滤色器500的外面(液晶层522侧的相反侧的面)分别配置偏振板，另外，在位于对置基板521侧的偏振板的外侧配置有背光灯。
在滤色器500的保护膜509上(液晶层侧)，按照规定间隔形成有多个图13中在左右方向为长条的短片状的第一电极523，按照覆盖该第一电极523的滤色器500侧的相反侧的面的方式形成有第一取向膜524。
另一方面，在对置基板521的与滤色器500对置的面上，按照规定间隔形成有多个在与滤色器500的第一电极523正交的方向为长条的短片状的第二电极526，且按照覆盖该第二电极526的液晶层522侧的面的方式形成有第二取向膜527。这些第一电极523及第二电极526通过ITO等透明导电材料形成。
设于液晶层522内的衬垫528是用于将液晶层522的厚度(晶格间隙)保持一定的部件。另外，密封材料529是用于防止液晶层522内的液晶组成物漏出到外部的部件。另外，第一电极523的一端部作为绕入配线523a延伸到密封材料529的外侧。
而且，第一电极523和第二电极526交叉的部分是像素，在成为该像素的部分设置滤色器500的着色层508R、508G、508B。
在通常的制造工序中，在滤色器500上进行第一电极523的构图及第一取向膜524的涂敷，制作滤色器500侧的部分，同时，在与其不同的对置基板521上进行第二电极526的构图及第二取向膜527的涂敷，制作对置基板521侧的部分。之后，在对置基板521侧的部分设置衬垫528及密封材料529，并在该状态下粘贴滤色器500侧的部分。其次，从密封材料529注入口注入构成液晶层522的液晶，并将注入口密封。然后，层叠两偏振板及背光灯。
实施方式的液滴喷出装置1中，例如涂敷构成上述晶格间隙的衬垫材料(功能液)，同时在对置基板521侧的部分粘贴滤色器500侧的部分之前，可在由密封材料529包围的区域均匀地涂敷液晶(功能液)。另外，也可以用功能液滴喷出头17进行上述的密封材料529的印刷。另外，也可以用功能液滴喷出头17进行第一、第二取向膜524、527的涂敷。
图14是表示使用了本实施方式中制造的滤色器500的液晶装置的第二例的概略构成的主要部分剖面图。
该液晶装置530与上述液晶装置520的最大不同点是，将滤色器500配置在了图中下侧(观测者侧的相反侧)。
该液晶装置530通过在滤色器500和由玻璃基板等构成的对置基板531之间加持由SIN液晶构成的液晶层532而概略构成。另外，图中未图示，在对置基板531及滤色器500的外面分别配置有偏振板等。
在滤色器500的保护膜509上(液晶层523侧)，按照规定间隔形成有多个在图中进深方向为长条的短片状的第一电极533，按照覆盖该第一电极533的液晶层532侧的面的方式形成有第一取向膜534。
在对置基板531的与滤色器500对置的面上，按照规定间隔形成有向与滤色器500侧的第一电极533正交的方向延伸的多个短片状的第二电极536，且按照覆盖该第二电极536的液晶层532侧的面的方式形成第二取向膜537。
在液晶层532上设有用于将该液晶层532的厚度保持在一定的衬垫538、和用于防止液晶层532内的液晶组成物漏出到外部的密封材料539。
而且，与上述的液晶装置520相同，第一电极533和第二电极536交叉的部分是像素，在成为该像素的部位设置滤色器500的着色层508R、508G、508B。
图15表示使用应用了本发明的滤色器500构成液晶装置的第三例，是表示透射形TFT(Thin Film Transistor)型液晶装置的概略构成的分解立体图。
该液晶装置550是将滤色器500配置于图中上侧(观测者侧)的装置。
该液晶装置550大致由滤色器500、按照与之对置的方式配置的对置基板551、夹在它们之间的未图示的液晶层、配置于滤色器500的上面侧(观测者侧)的偏振板555、配设于对置基板551的下面侧的偏振板(未图示)构成。
在滤色器500的保护膜509的表面(对置基板551侧的面)形成有液晶驱动用的电极556。该电极556由ITO等透明导电材料构成，成为覆盖形成后述的像素电极560的整个区域的全面电极。另外，以覆盖该电极556的像素电极560的相反侧的面的状态设有取向膜557。
在对置基板551的与滤色器500对置的面上形成有绝缘层558，在该绝缘层558上，以彼此正交的状态形成有扫描线561及信号线562。而且，在被这些扫描线561和信号线563包围的区域内形成有像素电极560。另外，在实际的液晶装置中，在像素电极560上设置取向膜，但省略图示。
另外，在被像素电极560的切口部和扫描线561和信号线562包围的部分装入具备源电极、漏电极、半导体、及栅电极的薄膜晶体管563。而且，通过对扫描线561和信号线562施加信号，对薄膜晶体管563进行开闭，从而可对像素电极560进行通电控制。
另外，上述各例的液晶装置520、530、550为透射形的构成，但也可以设置反射层或半透射反射模而作成反射型的液晶装置或半透射反射型的液晶装置。
其次，图16是有机EL装置的显示区域(下面简单称作显示装置600)的主要部分剖面图。
该显示装置600是以在基板(W)601上层叠了电路元件部602、发光元件部603及阴极604的状态而概略构成。
在该显示装置600上，从发光元件部603向基板601侧发出的光透过电路元件部602及基板601向观测者侧射出，同时，从发光元件部603向基板601的相反侧发出的光由阴极604反射，之后透过电路元件部602及基板601而射向观测者侧。
在电路元件部602和基板601之间形成有由氧化硅膜构成的基底保护膜606，且在该基底保护膜606上(发光元件部603侧)形成有由多晶硅构成的岛状的半导体膜607。在该半导体膜607的左右区域，通过打入高浓度的阳离子而分别形成源极区域607a及漏极区域607b。而且，未打入阳离子的中央部成为沟道区域607c。
另外，在电路元件部602上形成有覆盖基底保护膜606及半导体膜607的透明的栅极绝缘膜608，且在栅极绝缘膜608上的与半导体膜607的沟道区域607c对应的位置形成有例如由Al、Mo、Ta、Ti、W等构成的栅极电极609。在该栅极电极609及栅极绝缘膜608上形成有透明的第一层间绝缘膜611a和第二层间绝缘膜611b。另外，贯通第一、第二层间绝缘膜611a、611b而形成有分别连通于半导体膜607的源极区域607a、漏极区域607b的接触孔(612a、612b)。
而且，在第二层间绝缘膜611b上，构图为规定形状地形成有由ITO等构成的透明的像素电极613，该像素电极613通过接触孔612a与源极区域607a连接。
另外，在第一层间绝缘膜611a上配设有电源线614，该电源线614通过接触孔612a与漏极区域607b连接。
这样，在电路元件部602上分别形成有与各像素电极613连接的驱动用薄膜晶体管615。
上述发光元件部603大致由层叠于多个像素电极613的每一个上的功能层617、和设于各像素电极613及功能层617之间并区划各功能层617的触排部618构成。
由这些像素电极613、功能层617、及配设于功能层617上的阴极604构成发光元件。另外，像素电极613被构图成平面看大致矩形状地形成，且在各像素613之间形成有触排部618。
触排部618由无机物触排层618a(第一触排层)和有机物触排层618b(第二触排层)构成，其中无机物触排层由例如SiO、SiO2、TiO2等无机材料形成，有机物触排层层叠于无机物触排层618a上，为截面台形状，由丙烯树脂、聚酰亚胺树脂等耐热性、耐溶剂性优良的抗蚀剂形成。该触排部618的局部以置于像素电极613的周缘部上的状态形成。
而且，在各触排部618之间形成有相对于像素电极613向上方逐渐扩展的开口部619。
上述功能层617由在开口部619内以层叠状态形成于像素电极613上的空穴注入/输送层617a、和形成于该空穴注入/输送层617a上的发光层617b构成。另外，与该发光层617b邻接，还可以形成具有其它功能的其它功能层。例如也可以形成电子输送层。
空穴注入/输送层617a具有从像素电极613侧输送空穴并将其注入到发光层617b的功能。该空穴注入/输送层617a可通过喷出含有空穴注入/输送层形成材料的第一组成物(功能液)而形成。作为空穴注入/输送层形成的材料，使用公知的材料。
发光层617b是红色(R)、绿色(G)、或蓝色(B)任一个发光的发光层，通过喷出含有发光层形成材料(发光材料)的第二组成物(功能液)而形成。作为第二组成物的溶剂(非极性溶剂)，优选使用对于空穴注入/输送层617a不溶的公知的材料，通过将这种非极性溶剂用于发光层617b的第二组成物，可不使空穴注入/输送层617a再溶融地形成发光层617b。
而且，在发光层617b上，从空穴注入/输送层617a注入的空穴和从阴极604注入的电子在发光层再结合而发光。
阴极604以覆盖发光元件部603的整个面的状态而形成，与像素电极613成对地实现在功能层617上流过电流的功能。另外，在该阴极604的上部配置未图示的密封部件。
其次，参照图17～图25说明上述显示装置600的制造工序。
如图17所示，该显示装置600经由触排部形成工序(S111)、表面处理工序(S112)、空穴注入/输送层形成工序(S113)、发光层形成工序(S114)、及对置电极形成工序(S115)制造。另外，制造工序不限于示例，根据需要，除其它工序的情况，有时也还有追加的情况。
首先，在触排部形成工序(S111)中，如图18所示，在第二层间绝缘膜611b上形成无机物触排层618a。该无机物触排层618a在通过在形成位置形成无机物膜之后，利用光刻技术对该无机物膜极性构图而形成。此时，无机物触排层618a的一部分与像素电极613的周缘部重叠而形成。
若要形成无机物触排层618a，如图19所示，在无机物触排层618a上形成有机物触排层618b。该有机物触排层618b也与无机物触排层618a相同，通过用光刻技术等进行构图而形成。
这样形成触排部618。伴随于此，在各触排部618之间形成相对于像素电极613向上方开口的开口部619。该开口部619规定像素区域。
在表面处理工序(S112)中，进行亲液化处理及疏液化处理。实施疏液化处理的区域是无机物触排层618a的第一层叠部618aa及像素电极613的电极面613a，这些区域例如通过以氧气为处理气体的等离子处理亲液性地进行表面处理。该等离子处理也兼具作为像素电极613的ITO清洗等。
另外，疏液化处理对有机物触排层618b的壁面618s及有机物触排层618b的上面618t实施，例如通过以四氟化甲烷为处理气体的等离子处理对表面进行氟化处理(疏液性处理)。
通过进行该表面处理工序，在使用功能液滴喷出头17形成功能层617时，能够使功能液滴可靠地命中像素区域，另外，可防止命中了像素区域的功能液滴从开口部619溢出。
而且，经由以上的工序得到显示装置基板600A。该显示装置基板600A载置于图1所示的液滴喷出装置1的载置工作台21上，进行以下的空穴注入/输送层形成工序(S113)及发光层形成工序(S114)。
如图20所示，在空穴注入/输送层形成工序(S113)中，从功能液滴喷出头17将含有空穴注入/输送层形成材料的第一组成物喷出到作为像素区域的各开口部619内。之后，如图21所示，进行干燥处理及热处理，使第一组成物中所含的极性溶剂蒸发，在像素区域(电极面613a)613上形成空穴注入/输送层617a。
其次，对发光层形成工序(S114)进行说明。该发光层形成工序中，如上所述，为防止空穴注入/输送层617a的再溶融，使用相对于空穴注入/输送层617a不溶的非极性溶剂作为形成发光层时使用的第二组成物的溶剂。
但是，另一方面，由于空穴注入/输送层617a相对于非极性溶剂的亲和性低，故即使含有非极性溶剂的第二组成物喷出到空穴注入/输送层617a上，空穴注入/输送层617a和发光层617b也可能不能粘合，或可能不能均匀地涂敷发光层617b。
因此，为提高空穴注入/输送层617a的表面相对于非极性溶剂以及发光层形成材料的亲和性，优选在形成发光层之前进行表面处理(表面改质处理)。该表面处理通过将与形成发光层时使用的第二组成物的非极性溶剂相同的溶剂或与之类似的溶剂即表面改质材料涂敷于空穴注入/输送层617a上并使其干燥而进行。
通过实施这样的处理，空穴注入/输送层617a的表面容易被非极性溶剂侵入，在之后的工序中，可将含有发光层形成材料的第二组成物均匀涂敷于空穴注入/输送层617a上。
其次，如图22所示，将含有与各色中任一色(图22的例子中为蓝色(B))对应的发光层形成材料的第二组成物作为功能液滴向像素区域(开口部619)内打入规定量。打入到像素区域内的第二组成物在空穴注入/输送层617a上扩散，充满开口部619内。另外，在万一第二组成物脱离像素区域而命中触排部618的上面618t上的情况下，该上面618t也如上那样极性疏液处理，因此，第二组成物容易进入开口部619内。
之后，通过进行干燥工序等，将喷出后的第二组成物进行干燥处理，使第二组成物中所含的非进行溶剂蒸发，如图23所示，在空穴注入/输送层617a上形成发光层617b。在图23的情况下，形成对应于蓝色(B)的发光层617b。
同样，使用功能液滴喷出头17，如图24所示，顺序进行与对应于上述的蓝色(B)的发光层617b的情况相同的工序，形成与其它颜色(红色(R)及绿色(G))对应的发光层617b。另外，发光层617b的形成顺序不限于示例的顺序，可以以任意顺序形成。例如也可以根据发光层形成材料来决定形成的顺序。另外，作为R、G、B三色排列图案，有条纹排列、马赛克排列及三角排列等。
如上，在像素电极613上形成功能层617即空穴注入/输送层617a及发光层617b。然后，转移到对置电极形成工序(S115)。
在对置电极形成工序(S115)中，如图25所示，在发光层617及有机物触排层618b的整个面上，利用例如蒸镀法、溅射法、CVD法等形成阴极604(对置电极)。该阴极604在本实施方式中例如通过层叠钙层和铝层而构成。
在该阴极604的上部适宜设置作为电极的Al膜、Ag膜、及由于防止其氧化的SiO2、SiN等保护膜。
在这样形成阴极604后，实施利用密封部件将该阴极604的上部密封的密封工序及配线处理等其它处理等，得到显示装置600。
其次，图26是等离子型显示装置(PDP装置：下面简称为显示装置700)的主要部分分解立体图。另外，图26中，将显示装置700以将其局部切口的状态显示。
该显示装置700含有彼此对置地配置的第一基板701、第二基板702、及形成于它们之间的放电显示部703而大致构成。放电显示部703由多个放电室705构成。这些多个放电室705中，红色放电室705R、绿色放电室705G、蓝色放电室705B这三个放电室705成一组，构成一个像素。
在第一基板701的上面，以规定间隔条纹状地形成地址电极706，并按照覆盖该地址电极706和第一基板701的上面的方式形成电介质层707。在电介质层707上立设有隔壁708，使其位于各地址电极706之间，且沿着各地址电极706。该隔壁708如图所示，包含向地址电极706的宽度方向两侧延伸的方式、和向与地址电极706正交的方向延伸的未图示的方式。
而且，由该隔壁708隔开的区域成为放电室705。
在放电室705内配置有荧光体709。荧光体709发出红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)中任一色的荧光，在红色放电室705R的底部配置有红色荧光体709R、在绿色放电室705G的底部配置有绿色荧光体708G、在蓝色放电室705B的底部配置有蓝色荧光体709B。
在第二基板702的图中下侧的面上，在与上述地址电极706正交的方向以规定间隔条纹状地形成有多个显示电极711。而且，按照将它们覆盖的方式形成有电介质层712及由MgO等构成的保护膜713。
第一基板701和第二基板702以地址电极706和显示电极711彼此正交的状态对置粘贴。另外，上述地址电极706和显示电极711与未图示的交流电源连接。
而且，通过对各电极706、711通电，在放电显示部703激励荧光体709发光，从而可进行彩色显示。
在本实施方式中，使用图1所示的液滴喷出装置1可形成上述地址电极706、显示电极711、及荧光体709。下面，示例第一基板701的地址电极706的形成工序。
该情况下，以在液滴喷出装置1的载置工作台21上载置了第一基板701的状态进行以下工序。
首先，通过功能液滴喷出头17使含有导电膜配线形成用材料的液体材料(功能液)作为功能液滴命中地址电极形成区域。该液体材料是作为导电膜配线形成用材料的在分散剂中分散了金属等导电性微粒的材料。作为该导电性微粒，使用含金、银、铜、钯、或镍等的金属微粒、或导电性聚合物等。
对成为补充对象的所有的地址电极形成区域补充液体材料的工序结束后，将喷出后的液体材料干燥，使液体材料中所含的分散剂蒸发，由此形成地址电极706。
但是，上述示例了地址电极706的形成，但对于上述显示电极711及荧光体709而言，也可以经由上述各工序形成。
在形成显示电极711时，与地址电极706的情况相同，使含有导电膜配线形成用材料的液体材料(功能液)作为功能液滴命中显示电极形成区域。
另外，在形成荧光体709时，将含有与各色(R、G、B)对应的荧光材料的液体材料(功能液)作为液滴从功能液滴喷出头17喷出，使其命中对应的颜色的放电室705内。
其次，图27是电子发射装置(也称作FED装置或SED装置：下面简称为显示装置800)的主要部分剖面图。另外，图27中，将显示装置800切断其局部进行显示。
该显示装置800包含彼此对置地配置的第一基板801、第二基板802、及形成于它们之间的电场放电显示部803而大致构成。电场放电显示部803由矩阵状配置的多个电子发射部805构成。
在第一基板801的上面，将构成阴极电极806的第一元件电极806a及第二元件电极806b按照彼此正交的方式形成。另外，在由第一元件电极806a及第二元件电极806b隔开的部分形成有形成了间隙808的导电性膜807。即，由第一元件电极806a、第二元件电极806b及导电性膜807构成多个电子放电部805。导电性膜807例如由氧化钯(PdO)等构成，另外，间隙808在成膜了导电性膜807之后通过成形等而形成。
在第二基板802的下面形成有与阴极电极806对置的阳极电极809。在阳极电极809的下面形成有格子状的触排部811，且在由该触排部811包围的向下的各开口部812处，按照与电子发射部805对应的方式配置有荧光体813。荧光体813是发出红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)中任一色的荧光的荧光体，在各开口部812处，以上述规定的图案配置有红色荧光体813R、绿色荧光体813G及蓝色荧光体813B。
然后，这样构成的第一基板801和第二基板802以微小间隙粘合。在该显示装置800上，经由导电性膜(间隙808)807使自作为阴极的第一元件电极806a或第二元件电极806b飞出的电子接触作为阳极的阳极电极809上形成的荧光体813而激励发光，从而可进行彩色显示。
该情况下，也与其它实施方式相同，可使用液滴喷出装置1形成第一元件电极806a、第二元件电极806b、导电性膜807及阳极电极809，同时可使用液滴喷出装置1形成各色的荧光体813R、813G、813B。
第一元件电极806a、第二元件电极806b及导电性膜807具有图28A所示的平面形状，在将它们进行成膜时，如图28B所示，预先残留制作第一元件电极806a、第二元件电极806b及导电性膜807的部分，形成触排部BB(光刻法)。其次，在由触排部BB构成的槽部分形成第一元件电极806a及第二元件电极806b(液滴喷出装置装置1的喷墨法)，在使该溶剂干燥并进行成膜后，形成导电性膜807(液滴喷出装置1的喷墨法)。然后，在成膜导电性膜807后，去除触排部BB(灰化剥离处理)，转移到上述的成形处理。另外，与上述有机EL装置的情况相同，优选对第一基板801及第二基板802进行亲液化处理、或对触排部811、BB进行疏液化处理。
另外，作为其它电光学装置，考虑金属配线形成、透镜形成、抗蚀剂形成及光扩散体形成等的装置。通过在各种电光学装置(器件)的制造中使用上述的液滴喷出装置1，可高效地制造各种电光学装置。

Claims (14)

1.一种功能液供给装置，其特征在于，具备：
副容器，经由头侧流路向功能液滴喷出头供给功能液；
容器单元，向所述副容器补给功能液；
功能液流路，由使上游侧与所述容器单元连通的主流路、使上游侧与所述主流路连通的分支流路及使上游侧与所述分支流路连通且使下游侧与所述副容器连通的支流路构成；
支流路开闭机构，设置于所述支流路，利用开闭动作将从所述容器单元送液来的功能液向所述副容器补给；
送液控制机构，控制所述容器单元，
所述容器单元具有：
贮存功能液的一对主容器；
使所述一对主容器连通的加压送液机构；
切换机构，其由使上游侧与所述一对主容器连通，并且使下游侧与所述主流路连通的一对容器流路及设置于所述一对容器流路的一对容器开闭阀构成，切换从所述一对主容器向所述主流路的功能液的流路；
一对重量测定装置，测定所述一对主容器的重量；
一对气泡检测传感器，设置于所述一对容器流路并检测流过所述一对容器流路的功能液中的气泡，
所述送液控制机构根据所述一对重量测定装置的测定结果及所述一对气泡检测传感器的检测结果，判断是否切换所述流路，
当一方的所述主容器的功能液补给到所述副容器而成为规定的重量，且在与所述一方的主容器连通的所述容器流路中检测到气泡的情况下，利用所述切换机构，将所述流路切换到与另一方的所述主容器连通的所述容器流路上。
2.如权利要求1所述的功能液供给装置，其特征在于，
所述支流路开闭机构由不使所述支流路的容积变化的、可开闭的气动阀构成。
3.如权利要求1所述的功能液供给装置，其特征在于，
所述副容器配置于比对应的所述功能液滴喷出头高的位置，
在所述头侧流路上设置有以大气压基准进行动作、并且与所述功能液滴喷出头之间的压水值维持在规定的容许范围的减压阀。
4.如权利要求1所述的功能液供给装置，其特征在于，
还具备将所述副容器的功能液补给时的液位控制在上下中间部位置的液位控制机构。
5.如权利要求1所述的功能液供给装置，其特征在于，
还具备设置于所述主流路、并除去功能液内的微气泡的气泡除去机构。
6.如权利要求1所述的功能液供给装置，其特征在于，
还具备：设置于所述主流路的下游端部的脱气机构、和
与所述脱气机构连接的脱气流路。
7.如权利要求1所述的功能液供给装置，其特征在于，还具备：
副加压机构，与所述副容器连接并可将所述副容器内加压；
头流路开闭机构，设置于所述头侧流路、并开闭所述头侧流路；
上限检测机构，检测到达了所述副容器的上限的液位；
送液控制机构，控制所述加压送液机构、所述副加压机构、所述支流路开闭机构及所述头流路开闭机构，
所述送液控制机构在所述上限检测机构检测到了到达所述副容器的上限的液位的情况下，使所述支流路开闭机构执行开放动作，使所述头流路开闭机构执行关闭动作，并且解除所述加压送液机构的加压，然后，驱动所述副加压机构，将所述副容器的功能液回送到所述主容器。
8.如权利要求1所述的功能液供给装置，其特征在于，
所述分支流路从上游侧端至下游侧端，在多段上重复由2分支接头及一对连接短管形成的2分支地构成，并且，
以上游侧为下、以下游侧为上地配置。
9.如权利要求8所述的功能液供给装置，其特征在于，
所述分支流路，在最下游段产生端数的情况下，在最下游段的所述一对连接短管和其上游段的所述连接短管之间，以配管长度调整压力损失。
10.如权利要求8所述的功能液供给装置，其特征在于，
所述分支流路上，与属于最下游段的所述2分支接头及所述一对连接短管相比，属于最上游段的所述2分支接头及所述一对连接短管形成为大径。
11.如权利要求8所述的功能液供给装置，其特征在于，
所述2分支接头由T字接头构成。
12.一种液滴喷出装置，其特征在于，具备：
描绘机构，使喷墨方式的功能液滴喷出头相对于工件移动，同时从所述功能液滴喷出头向工件喷出功能液滴来进行描绘；和
向所述功能液滴喷出头供给功能液的权利要求1～11中任一项所述的功能液供给装置。
13.如权利要求12所述的液滴喷出装置，其特征在于，
还具备将内部气氛管理在规定的温度的腔室机构，
所述腔室机构收容所述描绘机构，并且在将所述容器单元设置于外部的状态下，收容除所述容器单元以外的所述功能液供给装置。
14.一种电光学装置的制造方法，其特征在于，
使用权利要求12所述的液滴喷出装置，在所述工件上利用功能液滴形成成膜部。
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