CN101396918B - 吸引装置、吸引系统和包括它们的液滴喷出装置、以及电光学装置的制造方法及电光学装置 - Google Patents

Abstract

一种吸引装置，包括多个喷头帽，该多个喷头帽对于喷墨方式的多个功能液滴喷出头的喷嘴面可自由分离接触地紧贴，该吸引装置包括：多个帽单元，搭载了一个以上的所述喷头帽；分离接触机构，使所述各个喷头帽以所述帽单元为单位进行分离接触动作；多个吸引部件，各自连接到所述多个帽单元，以所述帽单元为单位从所述各个喷头帽吸引功能液，并且吸引压力相互不同；多组吸引流路，由将上游侧连接到所述各个帽单元的主流路、和通过分路部分从所述主流路分路并且下游侧连接到所述各个吸引部件的多个单独流路组成；以及多个流路切换部件，夹设在所述各个吸引流路的所述分路部分，将所述各个吸引流路选择性地流路切换到任意一个所述吸引部件。

Description

吸引装置、吸引系统和包括它们的液滴喷出装置、以及电光学装置的制造方法及电光学装置

技术领域

发明涉及一种包括对于喷墨方式的多个功能液滴喷出头的喷嘴面可自由分离接触地紧贴的多个喷头帽(head cap)的吸引装置、吸引系统和包括它们的液滴喷出装置、以及电光学装置的制造方法和电光学装置。

背景技术

以往，已知对应于搭载了12个功能液滴喷出头的7台滑架单元(carriage unit)，包括搭载了12个喷头帽的7台吸引单元(吸引装置)的吸引系统(参照特开2005-254798号公报)。

各个吸引装置(吸引单元)包括：将12个喷头帽搭载在帽板上的帽单元；使12个喷头帽通过帽板对于12个功能液滴喷出头分离接触的分离接触机构；12个喷头帽上成行排列的废液箱；将二次侧连接到废液箱而使吸引压力作用于废液箱的喷出器；以及将12个喷头帽和废液箱连接的吸引流路。

在使各个喷头帽紧贴到各个功能液滴喷出头中，若驱动喷射器以将压缩空气导入到一次侧，则废液箱的箱内部及吸引流路成为负压，通过12个喷头帽从12个功能液滴喷出头吸引功能液。此外，在使各个喷头帽从各个功能液滴喷出头稍稍分离中，通过一边进行各个功能液滴喷出头的废弃喷出(冲洗)一边驱动喷射器，可接受废弃喷出。于是，通过两个功能，进行12个功能液滴喷出头的功能维持和功能恢复。

在这样的以往的吸引系统中，由于7台吸引装置(吸引单元)各自独立，所以废液箱和喷射器也被独立地设置。因此，存在空间效率恶化并且结构复杂的问题。这种情况下，如果将7台吸引装置的废液箱和喷射器整合为一个设备，则这样的问题被消除。

但是，在从多个喷嘴吸引功能液的吸引压力和吸引液滴喷出喷头的喷出的功能液的吸引压力中，由于前者较高而后者较低，所以在上述结构中，在采用了进行吸引的吸引装置和接受废弃喷出的吸引装置混合的运行方法的情况下，不可能同时实施两个作业。

发明内容

本发明的课题是，提供一种可以实现以帽单元为单位，同时进行基于不同的吸引压力的吸引处理，并且提高空间效率和简化结构的吸引装置、吸引系统和包括它们的液滴喷出装置，以及电光学装置的制造方法和电光学装置。

本发明的吸引装置，包括多个喷头帽，该多个喷头帽对于喷墨方式的多个功能液滴喷出头的喷嘴面可自由分离接触地紧贴，该吸引装置包括：多个帽单元，搭载了一个以上的所述喷头帽；分离接触机构，使各个所述喷头帽以所述帽单元为单位进行分离接触动作；多个吸引部件，各自连接到所述多个帽单元，以所述帽单元为单位从各个所述喷头帽吸引功能液，并且吸引压力相互不同；多组吸引流路，由将上游侧连接到各个所述帽单元的主流路、和通过分路部分从所述主流路分路并且下游侧连接到各个所述吸引部件的多个单独流路组成；以及多个流路切换部件，夹设在各个所述吸引流路的所述分路部分，将各个所述吸引流路选择性地流路切换到位于在所述吸引流路中的单独流路的下游侧的任意一个所述吸引部件。

根据该结构，通过各个流路切换部件，将各个吸引流路选择性地流路切换到任意的一个吸引部件，从而可以使多个帽单元以帽单元为单位与吸引压力相互不同的多个吸引部件连通。即，在吸引处理中，可以通过喷头帽对功能液滴喷出头，以帽单元为单位，使高低的吸引压力选择性地作用。由此，对于多个帽单元，可以同时并行地进行利用不同的吸引压力的吸引处理。此外，各个吸引部件是进行多个帽单元的吸引处理的结构，所以与按帽单元为单位来设置吸引部件的情况相比，可以使吸引部件数目少，可以提高空间效率和简化结构。

这种情况下，作为优选，各个吸引部件具有：废液箱，连接了所述单独流路的下游端；以及喷射器，对一次侧导入压缩空气，并且将二次侧连接到所述废液箱的上部空间。

根据该结构，可以简化吸引部件的结构，同时可以成为对功能液的抗药品性优良的结构。

这种情况下，作为优选，各个吸引部件还具有：压力调整部件，调整一次侧压缩空气的压力；以及控制部件，控制压力调整部件。

根据该结构，可以根据功能液的粘性或吸引处理的形态而简单地调整对各个废液箱导入的用于吸引的负压(吸引压力)。当然，在新导入不同种类的功能液的情况或变更吸引形态的情况等中，可以简单地应对。再有，作为压力调整部件，优选使用调节器(电动气动调节器)。

这种情况下，作为优选，在连接了各个吸引部件的单独流路中，分别夹设将单独流路开闭的流路开闭部件，各个控制部件根据多个流路开闭部件中开放的流路开闭部件的开放数目，控制压力调整部件，以使各个帽单元中的吸引压力恒定。

根据该结构，通过利用流路开闭部件开闭单独流路，可以开闭各个帽单元和各个吸引部件之间的流路连接。由此，在多个功能液滴喷出头中，在进行吸引处理和不进行吸引处理的情况下，可以通过各个流路开闭部件的开闭来执行吸引处理，同时根据处于开放的流路开闭部件的开放数目，通过控制压力调整部件，可以使各个帽单元(喷头帽)中的吸引压力恒定。由此，可以与进行吸引处理的功能液滴喷出头的数目无关，使各个帽单元(喷头帽)的吸引流量为恒定量。

这种情况下，作为优选，还包括：压力检测部件，检测吸引时的各个废液箱的压力，各个控制部件控制压力控制部件，以使废液箱内的压力成为与开放数目相对应的规定的压力。

同样地，作为优选，还包括：流量检测部件，检测通过吸引而流入到各个废液箱中的功能液流量，控制部件控制压力控制部件，以使流入到废液箱中的功能液流量成为与开放数目相对应的规定的流量。

根据这些结构，可以进行控制，以在任何一个帽单元(喷头帽)中，吸引压力都始终一定，可以一边考虑功能液的类别，同时适当地进行对功能液滴喷出头的吸引处理。

这些情况下，作为优选，多个吸引部件由两个吸引部件构成，一个吸引部件是用于在使各个喷头帽紧贴各个功能液滴喷出头的状态下吸引的 部件，另一个吸引部件是用于在使各个喷头帽与各个功能液滴喷出头分离的状态下吸引的部件。

根据该结构，例如可以将一个吸引部件用于从功能液滴喷出头吸引功能液的功能恢复，将另一个吸引部件用于从喷头帽吸引从功能液滴喷出头废弃喷出的功能液的功能维持。由此，可以根据各个功能液滴喷出头的堵孔等状态，分开使用吸引部件。

这些情况下，作为优选，多个单独流路通过集流管进行合流，并通过合流流路连接到各个吸引部件，集流管由圆板状的盖体闭盖上端而形成为套管状(ロ—ト状)，多个单独流路的下游端在周方向上均等配置而连接到盖体。

根据该结构，多个单独流路连接到形成为套管状的集流管的盖体，以使其周向上均等配置，所以在从多个单独流路至合流流路的流路中，可以使多个单独流路的压力损失均匀。即，如果使多个单独流路的流路长度和流路直径相同，则对每个吸引部件，可以使通过它吸引的多个帽单元中的吸引压力相同。

本发明的吸引系统的特征在于，按功能液的不同颜色设置多组多个功能液滴喷出头，按功能液的不同颜色具有多组上述吸引装置。

这种情况下，作为优选，多组吸引装置对应于6色的功能液，由六组吸引装置构成。

这种情况下，最好是帽单元按不同颜色搭载多组一个以上的喷头帽。

根据这些结构，可以对于按不同颜色的多个功能液滴喷出头，通过多个帽单元，同时并行地进行利用不同的吸引压力的吸引处理，可以适当地进行各个颜色的功能液滴喷出头的功能维持和功能恢复。

本发明的液滴喷出装置的特征在于，包括：描绘部件，一边使喷墨方式的多个功能液滴喷出头相对工件移动，一边从各个功能液滴喷出头喷出功能液滴并进行描绘；以及上述吸引装置。

根据该结构，可以适当地进行功能液滴喷出头的功能维持和功能恢复，可以提高工件处理的生产率。

本发明的其它液滴喷出装置的特征在于，包括：描绘部件，一边使喷墨方式的多个功能液滴喷出头相对工件移动，一边从各个功能液滴喷出头 喷出功能液滴并进行描绘；以及上述吸引系统。

根据该结构，可以使用多色的功能液，在工件上进行描绘，同时可以适当地进行不同颜色的功能液滴喷出头的功能维持和功能恢复，可以提高工件处理的生产率。

本发明的电光学装置的制造方法的特征在于，使用上述液滴喷出装置，在工件上形成功能液滴的成膜部分。

同样地，本发明的电光学装置的特征在于，使用上述液滴喷出装置，在工件上形成功能液滴的成膜部分。

根据该结构，可以高效率地制造高质量的电光学装置。再有，作为功能材料，有机EL装置的发光材料(Electro-Luminescence发光层、空穴注入层)就不用说了，还有用于液晶显示装置的滤色器的滤色器材料(滤色器元件)、电子发射装置(Field Emission Display；场发射显示器，FED)的荧光材料(荧光体)、PDP(plasma Display Panel；等离子体显示板)装置的荧光材料(荧光体)、电泳显示装置的泳动体材料(泳动体)等，指从功能液滴喷出头(喷头)可喷出的液体材料。此外，作为电光学装置(FlatPanel Display，FPD；平板显示器)，具有有机EL装置、液晶显示装置、电子发射装置、PDP装置、电泳显示装置等。

附图说明

图1是实施方式的液滴喷出装置的立体图。

图2是液滴喷出装置的平面图。

图3是液滴喷出装置的侧面图。

图4是构成喷头群的功能液滴喷出头的图。

图5是功能液滴喷出头的外观立体图。

图6是帽单元周围的剖面图。

图7是帽单元的平面图。

图8是吸引单元的配管系统图。

图9是说明液滴喷出装置的主控制系统的方框图。

图10是说明滤色器制造工序的流程图。

图11A～图11E是以制造工序顺序表示的滤色器的示意剖面图。

图12是表示使用了采用本发明的滤色器的液晶装置的概略结构的主要部分剖面图。

图13是表示使用了采用本发明的滤色器的第2例子的液晶装置的概略结构的主要部分剖面图。

图14是表示使用了采用本发明的滤色器的第3例子的液晶装置的概略结构的主要部分剖面图。

图15是有机EL装置即显示装置的主要部分剖面图。

图16是说明有机EL装置即显示装置的制造工序的流程图。

图17是说明无机物围堰(bank)层的形成的工序图。

图18是说明有机物围堰层的形成的工序图。

图19是说明形成空穴注入/输送层的过程的工序图。

图20是说明形成了空穴注入/输送层的状态的工序图。

图21是说明形成蓝色的发光层的过程的工序图。

图22是说明形成了蓝色的发光层的状态的工序图。

图23是说明形成了各个颜色的发光层的状态的工序图。

图24是说明阴极的形成的工序图。

图25是等离子体型显示装置(PDP装置)即显示装置的主要部分分解立体图。

图26是电子发射装置(FED装置)即显示装置的主要部分剖面图。

图27A是显示装置的电子发射部分周围的平面图，图27B是表示其形成方法的平面图。

具体实施方式

以下，参照附图，说明采用了本发明的功能液供给装置的液滴喷出装置。该液滴喷出装置是，被安装在平板显示器的制造生产线上，例如，使用导入了特殊的墨水或发光性的树脂液即功能液的功能液滴喷出头，形成液晶显示装置的滤色器和有机EL装置的作为各个像素的发光元件等的装置。

如图1、图2和图3所示，液滴喷出装置1包括：配置在支承在石平台上的X轴支承基座(base)2，在作为主扫描方向的X轴方向上延长， 使工件W在X轴方向(主扫描方向)上移动的X轴工作台(table)11；配置在通过多个支柱4跨过X轴工作台11的一对(两个)Y轴支承基座3上，在作为副扫描方向的Y轴方向上延长的Y轴工作台(移动工作台)12；以及搭载了多个功能液滴喷出头17的10个滑架单元51，10个滑架单元51移动自由地吊设在Y轴工作台12。而且，液滴喷出装置1包括：将这些装置容纳在温度和湿度受到管理的气氛内的小室(chamber)6；以及贯通小室6，从小室6的外部对内部的功能液滴喷出头17供给功能液的功能液供给单元7。通过与X轴工作台11和Y轴工作台12的驱动同步而使功能液滴喷出头17被喷出驱动，从而使从功能液供给单元7供给的6色的功能液滴被喷出，规定的描绘图案被描绘在工件W上。再有，技术方案所述的描绘部件由X轴工作台11、Y轴工作台12和10个滑架单元51构成。

此外，液滴喷出装置1包括由冲洗单元14、吸引单元(吸引系统)15、擦净单元16、喷出性能检查单元18构成的维护装置5，在功能液滴喷出头17的保养中提供这些单元，从而实现功能液滴喷出头17的功能维持和功能恢复。再有，在构成维护装置5的各个单元中，冲洗单元14和喷出性能检查单元18被搭载在X轴工作台11上，吸引单元15和擦净单元16被设置在从X轴工作台11直角地延长，并且通过Y轴工作台12设置在滑架单元51可移动的位置的台架上(严格地说，喷出性能检查单元18的后述的载物台单元77被搭载在X轴工作台11上，照相机单元78被支承在Y轴支承基座3上)。

冲洗单元14具有一对描绘前冲洗单元71、71；以及定期冲洗单元72，接受在功能液滴喷出头17的喷出之前或工件W的重新设置时等的描绘处理停止时进行的功能液滴喷出头17的废弃喷出(冲洗)。吸引单元15具有10台帽单元303，从各个功能液滴喷出头17的喷嘴98强制地吸引功能液，同时进行压盖(capping)。擦净单元16具有擦净片75，擦干吸引后的功能液滴喷出头17的喷嘴面97。喷出性能检查单元18具有：搭载了接受从功能液滴喷出头17喷出的功能液滴的检查片83的载物台单元77；以及通过图像识别来检查载物台单元77上的功能液滴的照相机单元78，喷出性能检查单元18检查功能液滴喷出头17的喷出性能(有无喷出和弯曲 飞行)。

下面，简单地说明液滴喷出装置1的构成要素。如图2或图3所示，X轴工作台11包括：设置工件W的设置台21；将设置台21在X轴方向上自由滑动地支承的X轴第1滑块22；将上述冲洗单元14和载物台单元77在X轴方向上自由滑动地支承的X轴第2滑块23；在X轴方向上延长，通过X轴第1滑块22使设置台21(工件W)在X轴方向上移动，同时通过X轴第2滑块23使冲洗单元14和载物台单元77在X轴方向上移动的左右一对的X轴线性电机(省略图示)；以及并排设置在X轴线性电机上，引导X轴第1滑块22和X轴第2滑块23的移动的一对(两个)X轴公用支承基座24。

设置台21具有：吸附设置工件W的吸附台31；以及支承吸附台31，用于对吸附台31上设置的工件W的位置在θ轴方向上进行校正的θ台32等。此外，在与设置台21的Y轴方向平行的一对边上，分别添设了上述描绘前冲洗单元71。

Y轴工作台12包括：分别吊设了10个各滑架单元51的10个桥接板52；以双支承方式支承10个桥接板52的10组Y轴滑块(省略图示)；以及设置在上述一对Y轴支承基座3上，通过10组Y轴滑块使桥接板52在Y轴方向移动的一对Y轴线性电机(省略图示)。此外，Y轴工作台12除了通过各个滑架单元51在描绘时对功能液滴喷出头17进行副扫描以外，还使功能液滴喷出头17面向维护装置5(吸引单元15和擦净单元16)。

(同步)驱动一对Y轴线性电机时，各个Y轴滑块将一对Y轴支承基座3作为导向，同时在Y轴方向平行移动。由此，桥接板52在Y轴方向移动，与此同时滑架单元51在Y轴方向上移动。再有，这种情况下，通过控制Y轴线性电机的驱动，可以使各个滑架单元51独立而单独地移动，还可以使10个滑架单元51作为一体来移动。

此外，在Y轴工作台12的两肋，与其平行地设置缆线保持体81。两个缆线保持体81的一端被固定在Y轴支承基座3，同时另一端被固定在各个桥接板52的一个上。该缆线保持体81中，收容各个滑架单元51用的缆线类、气管类和功能液流路等。

各个滑架单元51包括喷头单元13，该喷头单元13由R、G、B、C、 M、Y的6色的各两个(计12个)的功能液滴喷出头17和将12个功能液滴喷出头17分为每组6个的两组来支承的喷头板53构成(参照图4)。此外，各个滑架单元51包括：将喷头单元13可θ校正(θ旋转)地支承的θ旋转机构61；以及通过θ旋转机构61，使喷头单元13被支承在Y轴工作台12(各个桥接板52)上的吊设构件62。另外，各个滑架单元51在其上部设置副箱121(实际上，设置在桥接板52上)，从该副箱121利用自然水压差，并且通过减压阀(省略图示)对各个功能液滴喷出头17供给功能液。

如图5所示，功能液滴喷出头17是所谓的双联喷头，包括：具有双联的连接针92的功能液导入部分91；与功能液导入部分91连接的双联的喷头基板93；以及与功能液导入部分91的下方连接，在内部形成了被功能液填满的喷头内流路的喷头本体94。连接针92被连接到功能液供给单元7，向功能液导入部分91供给功能液。喷头本体94由模腔(cavity)95(压电元件)和具有开口了多个喷嘴98的喷嘴面97的喷嘴板96构成。喷出驱动功能液滴喷出头17时(压电元件上被施加电压)，通过模腔95的泵作用，功能液滴从喷嘴98被喷出。

再有，在喷嘴面97中，相互平行地形成多个喷嘴98组成的两个喷嘴排98b。而且，两个喷嘴排98b之间，相互错开半个喷嘴节距位置。

构成小室6，以使内部温度和湿度保持一定。即，液滴喷出装置1的对工件W的描绘在温度和湿度被管理为恒定值的气氛中进行。并且，在小室6的侧壁的一部分上，设置用于容纳主箱181等的箱柜(tank cabinet)84。再有，在制造有机EL装置等时，优选将小室6内部用惰性气体(氮气)的气氛构成。

如图1和图2所示，搭载了擦净单元16和10台(多个)的帽单元303的吸引单元15所设置的区域成为维护区域213，在液滴喷出装置1的运行停止时，10个滑架单元51通过Y轴工作台12移动到吸引单元15(10台的帽单元303)的位置，对所有功能液滴喷出头17，进行所谓的压盖。另一方面，在运行开始时，对于所有功能液滴喷出头17，进行吸引处理，接着以滑架单元51为单位进行擦净处理，10台滑架单元51依次移动到X轴工作台11上的描绘区域214。

此外，在运行中，例如从维护区域213侧起第3滑架单元51中被检测出喷出不良时，从第1至第3的三个滑架单元51移动到描绘区域214侧的3台帽单元303上，在对应的一个滑架单元51中，通过帽单元303进行吸引处理，在该期间其他两个滑架单元51中，从各个功能液滴喷出头17对帽单元303进行废弃喷出(冲洗)。于是，10个滑架单元51被单独地控制，与此同时，在10个帽单元303的各个中，可以进行合适的处理。

下面，参照图6和图7，说明吸引单元15。吸引单元15包括：将与各12个功能液滴喷出头17对应的12个喷头帽301配置在帽板302上的10台帽单元303；分别支承各个帽单元303的10台支承构件305；通过支承构件305使各个帽单元303升降的10台升降机构(分离接触机构)306；以及在各个喷头帽301中成行排列，同时与6色的功能液滴喷出头17对应的6组吸引机构100(参照图8)。

此外，吸引单元15包括：对后述的压力控制机构103等供给控制用压缩空气的压缩空气供给设备85；从各个部分进行排气的排气设备87；以及连接到后述的废液箱101，使存留的功能液成为废液的功能液废液设备89。再有，技术方案所述的吸引装置由帽单元303(与1色的功能液滴喷出头17对应的喷头帽301)、支承构件305、升降机构306和与该1色对应的吸引机构100构成。即，在本实施方式中，各个吸引装置具有公用的支承构件305和升降机构306，以帽单元303为单位进行分离接触动作。

如图6所示，升降机构306具有：通过支承构件305使喷头帽301直接升降的升降汽缸311；对升降汽缸311的升降进行导向的一对线性导轨314；以及支承它们的基座部分341。升降汽缸311在交换喷头单元13时使喷头帽301较大地下降，同时使喷头帽301从功能液滴喷出头17的喷嘴面97分离接触。即，升降汽缸311使帽单元303在吸引用的紧贴位置、冲洗用的分离位置、喷头单元13的更换或帽单元303的消耗品更换(维护)用的更换位置之间三级升降。

支承构件305具有：在上端具有支承帽单元303的支承臂342的支承构件本体343；用于将12个喷头帽301的大气开放阀(省略图示)一起开放的大气开放框架312；以及使大气开放框架312下降的一对汽缸313、 313。

如图7所示，帽单元303由12个喷头帽301和搭载它们的帽板302构成，12个喷头帽301以与12个功能液滴喷出头17相同的排列且相同倾斜姿态，被搭载在帽板302。

如上所述，各个帽单元303对应于喷头单元13的各颜色两个、共计12个的功能液滴喷出头17，具有各颜色两个、共计12个喷头帽301。本实施方式的吸引机构100对该不同颜色进行吸引处理。即，如图8所示，在各个喷头帽301中，对应于6颜色的功能液滴喷出头17，连接各自独立的6组吸引机构100。

这里，各个吸引机构100的结构和功能相同，所以对于吸引机构100，举例说明R色的吸引机构100。如图8所示，R色的吸引机构100包括：使R色的功能液为废液的一对废液箱101；连接各个喷头帽301(R色)和一对废液箱101的功能液吸引流路102；以及连接到一对废液箱101，并且控制各个废液箱101的内部压力的一对压力控制机构103。通过压力控制机构103，废液箱101的内部压力被单独地调整，由此，通过功能液吸引流路102，各个喷头帽301被控制为负压(吸引)。

功能液吸引流路102包括：连接到10个帽单元303中的R色的各两个喷头帽301(共计20个)的20个帽侧流路(主流路)111；将与公用的帽单元303对应的两个帽侧流路111进行合流的10个帽侧合流部分112；以及将上游侧分别连接到10个帽侧合流部分112，将下游侧连接到一对废液箱101、101的2组箱侧流路113。此外，在各个帽侧流路111中，插入夹设用于单独地开闭对喷头帽301的连接的单独阀114。再有，技术方案的吸引流路由连接到一个帽单元的两个帽侧流路111、位于该流路下游侧的一个帽侧合流部分112、以及位于该流路的更下游侧的2组箱侧流路113的后述两个单独流路131构成。

各个箱侧流路113包括：将上游侧连接到10个帽侧合流部分112的10个单独流路131；将10个单独流路131进行合流的箱侧合流部分(集流管)132；以及将上游侧连接到箱侧合流部分132，将下游侧连接到废液箱101的合流流路133。即，在各个帽侧合流部分112上，连接了2组箱侧流路113的两个单独流路131。在该两个单独流路131的帽侧合流部分 112附近(分路部分)，分别夹设切换阀134，可以将对位于它上游侧的喷头帽301的流路连接在位于各个单独流路131的下游侧的一对废液箱101间切换。此外，在各个合流流路133中，夹设用于检测流入到各个废液箱101中的功能液的流量的流量计(流量检测部件)135。再有，各个切换阀134是简单的开闭阀，通过使一方为‘开’，另一方为‘闭’，构成流路切换部件。此外，通过使两方为‘闭’，可以阻塞对喷头帽301的流路连接。而且，合流流路133的前端被深深插入至废液箱101的底面附近。而且，技术方案的流路开闭部件由切换阀134构成。再有，在本实施方式中，由切换阀134构成流路切换部件和流路开闭部件，但也可以将流路切换部件和流路开闭部件通过各自的开闭阀构成。

箱侧合流部分132由通过圆板状的盖体阻塞上端的套管状地形成的圆盘状集流管构成。10个单独流路131的下游端连接到盖体，以使其在圆盘状集流管的周向上均等配置。

通过这样的结构，多个单独流路131连接到套管状形成的集流管的盖体，以使其周向均等配置，所以在从多个单独流路131至合流流路133的流路中，可以使多个单独流路131的压力损失均匀。即，如果多个单独流路131的流路长度和流路直径相同地构成，则对每个废液箱101，可以使由它所吸引的10台帽单元303中的负压(吸引力)相同。

废液箱101包括：由所谓的密闭箱构成的箱本体141；连接到箱本体141的上部空间，检测内部压力的压力计(压力检测部件)142；以及检测对设置在箱本体141侧面的贮存的功能液的液位的液位检测部件143。此外，在废液箱101中，连接了使贮存的功能液为废液的功能液废液设备89。其细节后面论述，但它基于由压力计142检测出的内部压力进行废液箱101内部的压力控制。

液位检测部件143检测所贮存的功能液的液位，从而检测箱本体141的满液状态和缺液状态。在功能液的液位通过吸引处理而上升至上限液位时(满液状态)，将夹设在功能液废液设备89侧的流路中的废液开闭阀151开放，在功能液废液设备89中使功能液成为废液。再有，在本实施方式中，在检测出满液状态后，在吸引单元15的非驱动时打开废液开闭阀151。此外，在检测下限液位时，关闭废液开闭阀151。由此，合流流路133的 前端始终维持被插入功能液的状态。

压力控制机构103包括：将上游侧连接到箱本体141的上部空间的连通流路161；连接到连通流路161、压缩空气供给设备85和排气设备87的喷射器162；夹设在喷射器162和压缩空气供给设备85之间的流路中，调整对喷射器162供给的压缩空气的压力的电动气动调节器(压力调整部件)163；以及与电动气动调节器163相邻而夹设的流量传感器164。即，喷射器162从压缩空气供给设备85向一次侧导入压缩空气，同时将二次侧连接到废液箱101的上部空间。压力通过电动气动调节器163被调整，通过喷射器162所供给的压缩空气的伴随流，以连通流路161中的空气被拉到排气设备87侧的方式，箱本体141的内部被减压。即，各废液箱101通过压力控制机构103被分别调整压力。再有，一对废液箱101通过喷射器162(电动气动调节器163)的压力控制，构成吸引用的第1废液箱101a和冲洗用的第2废液箱101b。

下面，参照图9，说明液滴喷出装置1的主控制系统。如图9所示，液滴喷出装置1包括：具有喷头单元13(功能液滴喷出头17)的液滴喷出部分191；具有X轴工作台11，使工件W向X轴方向移动的工件移动部分192；具有Y轴工作台12，使喷头单元13向Y轴方向移动的喷头移动部分193；具有维护部件的各个单元的维护部分194；具有功能液供给单元7，对功能液滴喷出头17供给功能液的功能液供给部分198；具有各种传感器，进行各种检测的检测部分195；具有驱动控制各个部分的各种驱动器的驱动部分196；以及连接到各个部分，进行液滴喷出装置1整体的控制的控制部分(控制部件)197。

控制部分197包括：用于连接各个部件的接口201；具有可临时存储的存储区域，作为用于控制处理的作业区域而被使用的RAM202；具有各种存储区域，存储控制程序或控制数据的ROM203；存储用于在工件W上描绘规定的描绘图案的描绘数据、来自各个部件的各种数据等，同时存储用于处理各种数据的程序等的硬盘204；根据ROM203或硬盘204所存储的程序等，对各种数据进行运算处理的CPU205；以及将它们相互连接的总线206。

而且，控制部分197通过接口201输入来自各个部件的各种数据，根 据硬盘204所存储的(或通过CD-ROM驱动器等依次读出的)程序使CPU205进行运算处理，将其处理结果通过驱动部分196(各种驱动器)输出到各个部件。由此，整个装置受到控制，进行液滴喷出装置1的各种处理。

这里，说明由吸引单元15进行的吸引用的吸引处理和冲洗用的吸引处理的同时并行处理。在该同时并行处理中，对于各个滑架单元51(功能液滴喷出头17)，在吸引用的吸引处理和冲洗用的吸引处理中同时进行期望的处理。基本上，吸引用的吸引为高压吸引(负压大)，冲洗用的吸引为低压吸引(负压小)。这里，作为一个例子，在10个滑架单元51中，假设对5个滑架单元51进行冲洗，对其他5个滑架单元51进行吸引。

在进行吸引用的吸引处理的滑架单元51中，通过对应的升降机构306将帽单元303移动到紧贴位置，同时控制切换阀134，将对该帽单元303的流路连接切换到吸引用的第1废液箱101a(第1废液箱101a侧的箱侧流路113)。

在进行冲洗用的吸引处理的5个滑架单元51中，通过对应的升降机构306将5个帽单元303移动到分离位置，同时控制切换阀134，将对该帽单元303的流路连接切换到冲洗用的第2废液箱101b(第2废液箱101b侧的箱侧流路113)。

在它们的状态下，进行同时并行处理。在进行吸引的5个滑架单元51中，通过压力控制机构103，第1废液箱101a被调整到适合吸引处理的压力，在紧贴滑架单元51的状态下多个(5个)帽单元303被成为负压(吸引)。在该吸引动作中，有将功能液初始填充到功能液滴喷出头17的情况的吸引、或用于通常的功能恢复的吸引，这些吸引动作通过由实验求得的最佳吸引压力来进行。特别地，还进行在上述初始填充中，为了排除流路内的气泡，吸引初期以较强的吸引力进行吸引，吸引终期以较弱的吸引力进行吸引等的控制(工艺控制)。

另一方面，在进行冲洗的5个滑架单元51中，通过功能液滴喷出头17进行废弃喷出，同时通过压力控制机构103将第2废液箱101b调整到适合冲洗的压力，在对滑架单元51分离的状态下进行多个(5个)帽单元303的吸引。这种情况下的吸引，除了通过冲洗吸引喷头帽301中留存的 功能液以外，冲洗产生的功能液滴的雾(mist)也与周围空气一起吸引到喷头帽301中。因此，在开始吸引机构100的吸引动作后(数秒后)，开始冲洗，在结束冲洗后(数秒后)，结束吸引动作。此外，吸引压(负压)设为，从喷头帽301的功能液吸收材料可吸引功能液，并且构成喷嘴98的弯月形(meniscus)的功能液不因周围空气的流动而干燥的程度。

于是，通过一对切换阀134、134，将功能液吸引流路102选择性流路切换到任意一个废液箱101，从而可以使多个帽单元303以帽单元303为单位与吸引压力相互不同的多个废液箱101连通。即，在吸引处理中，可以通过喷头帽301对功能液滴喷出头17以帽单元303为单位，使高低的吸引压力选择性地作用。由此，可以对于多个帽单元303，同时并行地进行不同吸引压力的吸引处理。此外，各个吸引部件(废液箱101和压力控制机构103)为进行多个帽单元303的吸引处理的机构，所以与以帽单元303为单位来设置吸引部件的情况相比，可以减少该部件的数目，可以提高空间效率和简化结构。

此外，通过将各个吸引部件由废液箱101和喷射器162构成，可以简化吸引部件的结构，同时可以成为在对于功能液的抗药品性上良好的结构。

而且，各个吸引部件具有用于调整对喷射器162供给压缩空气的压力的电动气动调节器163，通过控制部分197控制电动气动调节器163，可以配合功能液的粘性或吸引处理的形态而简单地调整用于导入到各个废液箱101的吸引的负压(吸引压力)。当然，在重新导入不同种类的功能液的情况或变更吸引形态的情况等中，也可以简单地应对。

而且，通过一个吸引部件(第1废液箱101a和其压力控制机构103)在将各个喷头帽301紧密连接到各个功能液滴喷出头17的状态下进行吸引，另一个吸引部件(第2废液箱101b和其压力控制机构103)在将各个喷头帽301从各个功能液滴喷出头17分离的状态下进行吸引，可以将一个吸引部件用于从功能液滴喷出头17吸引功能液的功能恢复，将另一个吸引部件用于从喷头帽301吸引由功能液滴喷出头17废弃喷出的功能液的功能维持。由此，可以根据各个功能液滴喷出头17的堵孔等状态，分开使用吸引部件。

再有，作为一例，表记了对5个滑架单元51进行吸引用的吸引处理，在其他5个滑架单元51上进行冲洗用的吸引处理，但如上所述，对于各个滑架单元51的吸引处理的选择，可以由一对切换阀134进行。各个废液箱101的适合压力(冲洗用的适合压力或吸引用的适合压力)根据流路连接的喷头帽301的数目而不同，所以电动气动调节器163的各个废液箱101的压力控制基于切换阀134的开闭(开放数)和压力计142的检测值进行。再有，进行吸引还是进行冲洗，基于上述喷出性能检查单元18的检查结果来决定。

首先，根据通过切换阀134流路连接到该废液箱101的帽单元303的数目计算所流路连接的喷头帽301的数目(进行压力控制的废液箱101的箱侧流路113所连接的切换阀134的开放数×2)。从算出的喷头帽301中，根据预先由实验获得的系数表而求适合压力。然后，控制(反馈控制)电动气动调节器163，以使压力计142检测出的废液箱101的压力成为适合压力。

于是，根据切换阀134的开放数，通过控制电动气动调节器163，可以使各个帽单元303(喷头帽301)中的吸引压力恒定。由此，可以使各个帽单元303(喷头帽301)的吸引流量为一定量，而与进行吸引处理的功能液滴喷出头17的数目没有关系。此外，通过基于压力计142的检测值控制电动气动调节器163，在任何一个帽单元303(喷头帽301)中，都可以进行控制，以使吸引压力始终一定，可以一边考虑功能液的类别一边适当地进行对功能液滴喷出头17的吸引处理。再有，系数表除了喷头帽301的数目以外，优选是基于功能液的粘性而被设定适合压力。

再有，在上述吸引动作例子中，作为控制方法，使用了基于压力计142的检测值，控制电动气动调节器163的方法，但也可以使用以下的控制方法。

在该其他控制方法中，使用流量计135进行电动气动调节器163的控制。求适合流量，调整(反馈控制)电动气动调节器163的压力控制，以使流入到废液箱101的功能液流量为适合流量。

根据该结构，通过基于流量计135进行电动气动调节器163的控制，与使用压力计142的情况同样，可以进行控制，以在任何一个帽单元303 (喷头帽301)中，吸引压力始终恒定，可以一边考虑功能液的类别一边适当地进行对功能液滴喷出头17的吸引处理。

再有，在本实施方式中，使用包括了10个滑架单元51的液滴喷出装置1，但滑架单元51的个数和各个滑架单元51所搭载的功能液滴喷出头17的个数是任意的。

此外，在本实施方式中，使用了被供给R(红色)、G(绿色)、B(蓝色)、C(青色)、M(品红色)、Y(黄色)的6颜色的功能液的功能液滴喷出头17，但所供给的功能液的颜色数、颜色种类是任意的，例如，在供给RGB三色或单色、供给R、G、B、LR(浅红色)、LG(浅绿色)、LB(浅蓝色)6色的功能液的液滴喷出装置1中也可以使用本发明。而且，在本实施方式中，使用10组吸引装置，但其数目是任意的，也可以使用仅包括单一的吸引装置的吸引装置。而且，在本实施方式中，对应于10个滑架单元51，包括10台帽单元303，但是也可以例如在各个帽单元303上搭载单一的喷头帽301，对应于10×12个功能液滴喷出头17，使用10×12台帽单元303。在这样的情况下，需要有支承各个帽单元303的10×12台支承构件305、以及通过支承机构305升降各个帽单元303的10×12台升降机构306。根据这样的结构，在同时并行处理中，在各个功能液滴喷出头17(各个喷头帽301)中，可以选择进行吸引还是进行冲洗。

下面，作为使用本实施方式的液滴喷出装置1制造的电光学装置(平板显示器)，以滤色器、液晶显示装置、有机EL装置、等离子体显示器(PDP装置)、电子发射装置(FED装置、SED装置)、而且在这些显示装置上形成的有源矩阵基板等为例，说明它们的结构及其制造方法。再有，有源矩阵基板是指薄膜晶体管、形成了电连接到薄膜晶体管的电源线、数据线的基板。

首先，说明液晶显示装置和有机EL装置等中所装入的滤色器的制造方法。图10是表示滤色器的制造工序的流程图，图11A～图11E是以制造工序顺序表示的本实施方式的滤色器500(滤色基板500A)的示意剖面图。

首先，如图11A所示，在黑矩阵形成工序(S101)中，在基板(W)501上形成黑矩阵502。黑矩阵502通过金属铬、金属铬和氧化铬的层叠体、或树脂黑矩阵等形成。在形成金属薄膜组成的黑矩阵502中，可以使 用溅射法或镀敷法等。而在形成树脂薄膜组成的黑矩阵502时，可以使用照相凹版印刷法、光刻法、热转印法等。

接着，在围堰形成工序(S102)中，在重叠在黑矩阵502上的状态下形成围堰503。即，如图11B所示，形成负型的透明的感光性树脂组成的抗蚀剂层504，以覆盖基板501和黑矩阵502。然后，在将其上面用黑矩阵图案形状所形成的掩膜(mask film)505覆盖的状态下进行曝光处理。

进而，如图11C所示，通过对抗蚀剂层504的未曝光部分进行蚀刻处理，从而对抗蚀剂层504进行构图，形成围堰503。再有，在由树脂黑矩阵形成黑矩阵时，可将黑矩阵和围堰兼用。

该围堰503和其下面的黑矩阵502成为划分各个像素区域507的隔壁部分507b，在后面的着色层形成工序中通过功能液滴喷出头17在形成着色层(成膜部分)508R、508G、508B、508C、508M、508Y时规定功能液滴的射中区域。

经过以上的黑矩阵形成工序和围堰形成工序，获得上述滤色器基体500A。

再有，在本实施方式中，作为围堰503的材料，使用涂膜表面为疏液(疏水)性的树脂材料。而且，由于基板(玻璃基板)501的表面有亲液(亲水)性，所以在后述的着色层形成工序中可以自动校正对围堰503(隔壁部分507b)所包围的各个像素区域507a内部的液滴的射中位置的偏差。

接着，在着色层形成工序(S103)中，如图11D所示，通过功能液滴喷出头17喷出功能液滴而使隔壁部分507b所包围的各个像素区域507a内被射中。这种情况下，使用功能液滴喷出头17，导入R、G、B、C、M、Y的6色功能液(滤色材料)，进行功能液滴的喷出。再有，作为R、G、B、C、M、Y的6色排列模式(pattern)，有直线排列、镶嵌排列和三角形排列。

然后，经过干燥处理(加热等处理)使功能液定影，形成6色的着色层508R、508G、508B、508C、508M、508Y。如果形成着色层508R、508G、508B、508C、508M、508Y，则转移到保护膜形成工序(S104)，如图11E所示，形成保护膜509，以覆盖基板501、隔壁部分507b、以及着色层508R、508G、508B、508C、508M、508Y的上面。

即，在形成了基板501的着色层508R、508G、508B、508C、508M、508Y的整个面上保护膜用涂敷液被喷出后，经过干燥处理而形成保护膜509。

然后，在形成了保护膜509后，滤色器500转移到下个工序的作为透明电极的ITO(Indium Tin Oxide)等的贴膜工序。

图12是表示作为使用了上述滤色器500的液晶显示装置一例的无源矩阵型液晶装置(液晶装置)的概略结构的主要部分剖面图。在该液晶装置520中，通过安装液晶驱动用IC、背光、支承体等辅助元件，可获得作为最终制品的透过型液晶显示装置。再有，滤色器500与图11A～图11E所示的滤色器相同，所以在对应的部位附加相同的标号，并省略其说明。

该液晶装置520由滤色器500、玻璃基板等组成的对置基板521、以及被夹置在它们之间的STN(Super Twisted Nematic)液晶组成物构成的液晶层522概略构成，将滤色器500配置在图12中上侧(观测者侧)。

再有，虽然未图示，但在对置基板521和滤色器500的外面(与液晶层522侧相反侧的面)上分别设置偏振板，而在位于对置基板521侧的偏振板的外侧，设置背光。

滤色器500的保护膜509上(液晶层侧)，在图12中左右方向上以规定的间隔形成多个长的狭条状的第1电极523，并形成第1取向膜524，以覆盖与该第1电极523的滤色器500侧相反侧的面。

另一方面，在相对着对置基板521的滤色器500的面上，在与滤色器500的第1电极523正交的方向上以规定的间隔形成多个长的狭条状的第2电极526，并形成第2取向膜527，以覆盖该第2电极526的液晶层522侧的面。这些第1电极523和第2电极526由ITO等透明导电材料形成。

液晶层522内部设置的隔板528是用于使液晶层522的厚度(单元间隙)保持一定的构件。此外，密封材料529是用于防止液晶层522内部的液晶组成物向外部漏出的构件。再有，第1电极523的一端作为环绕布线523a延长至密封材料529的外侧。

而且，第1电极523和第2电极526交叉的部分为像素，构成为使滤色器500的着色层508R、508G、508B、508C、508M、508Y位于作为该像素的部分。

在通常的制造工序中，在滤色器500中，进行第1电极523的构图和第1取向膜524的涂敷而形成滤色器500侧的部分，同时在与其不同的对置基板521上，进行第2电极526的构图和第2取向膜527的涂敷而形成对置基板521侧的部分。然后，在对置基板521侧的部分中装入隔板528和密封材料529，在该状态下粘贴滤色器500侧的部分。接着，从密封材料529的灌入口将构成液晶层522的液晶灌入，并将灌入口封闭。然后，将两个偏振板和背光进行层叠。

实施方式的液滴喷出装置1，例如在涂敷用于构成上述单元间隙(cellgap)的隔板材料(功能液)，同时在对置基板521侧的部分上粘贴滤色器500侧的部分之前，在用密封材料529包围的区域中可均匀地涂敷液晶(功能液)。此外，还可以用功能液滴喷出头17进行上述密封材料529的印刷。而且，还可以用功能液滴喷出头17进行第1、第2两个取向膜524、527的涂敷。

图13是表示使用了在本实施方式中制造出的滤色器500的液晶装置的第2例子的概略结构的主要部分剖面图。

该液晶装置530与上述液晶装置520较大不同的方面是，将滤色器500配置在图13中下侧(与观测者相反侧)。

在滤色器500和玻璃基板等组成的对置基板531之间夹置STN液晶组成的液晶层532而概略构成该液晶装置530。再有，虽然未图示，但在对置基板531和滤色器500的外面分别设置偏振板等。

滤色器500的保护膜509上(液晶层532侧)，在图13中进深方向上以规定的间隔形成多个长的狭条状的第1电极533，并形成第1取向膜534，以覆盖该第1电极533的液晶层532侧的面。

在相对着对置基板531的滤色器500的面上，以规定的间隔形成多个在与滤色器500的第1电极533正交的方向上延长的长的狭条状的第2电极536，并形成第2取向膜537，以覆盖该第2电极536的液晶层532侧的面。

在液晶层532中，设置用于将该液晶层532的厚度保持恒定的隔板538，以及用于防止液晶层532内部的液晶组成物向外部漏出的密封材料539。

而且，与上述液晶装置520同样，第1电极533和第2电极536的交叉的部分为像素，构成为使滤色器500的着色层508R、508G、508B、508C、508M、508Y位于作为该像素的部位。

图14是表示使用了适用本发明的滤色器500构成液晶装置的第3例子的图，是表示透过型的TFT(Thin Film Transistor；薄膜晶体管)型液晶装置的概略结构的分解立体图。

该液晶装置550将滤色器500配置在图14中上侧(观测者侧)。

该液晶装置550由滤色器500、与其对置配置的对置基板551、在它们之间夹置的未图示的液晶层、滤色器500的上面侧(观测者侧)所配置的偏振板555、以及在对置基板551的下面侧所设置的偏振板(未图示)概略构成。

在滤色器500的保护膜509的表面(对置基板551侧的面)形成有液晶驱动用的电极556。该电极556由ITO等透明导电材料构成，成为将形成后述的像素电极560的整个区域覆盖的全面电极。此外，在将与该电极556的像素电极560相反侧的面覆盖的状态下设有取向膜557。

在与对置基板551的滤色器500对置的面上形成有绝缘层558，在该绝缘层558上，扫描线561和信号线562以相互正交的状态被形成。然后，在这些扫描线561和信号线562所包围的区域内形成有像素电极560。再有，在实际的液晶装置中，在像素电极560上设有取向膜，但省略了图示。

此外，在像素电极560的缺口部分、扫描线561和信号线562所包围的部分中，装入构成有具备源极、漏极、半导体和栅极的薄膜晶体管563。而且，构成为通过对扫描线561和信号线562施加信号而使薄膜晶体管563导通/截止，从而可以进行对像素电极560的导电控制。

再有，上述各个例子的液晶装置520、530、550形成了透过型的结构，但也可以是设有反射层或半透过反射层，从而形成为反射型的液晶装置或半透过反射型的液晶装置。

下面，图15是有机EL装置的显示区域(以下，简称为显示装置600)的主要部分剖面图。

该显示装置600以在基板(W)601上层叠了电路元件部分602、发光元件部分603和阴极604的状态下概略构成。

在该显示装置600中，从发光元件部分603发射到基板601侧的光透过电路元件部分602和基板601而射出到观测者侧，同时从发光元件部分603发射到基板601的相反侧的光通过阴极604被反射后，透过电路元件602和基板601被射出到观测者侧。

在电路元件部分602和基板601之间形成由氧化硅膜组成的基底保护膜606，在该基底保护膜606上(发光元件部分603侧)形成有多晶硅组成的岛状的半导体膜607。在该半导体膜607的左右区域中，通过高浓度阳离子注入而分别形成有源区域607a和漏区域607b。而且，阳离子未注入的中央部分成为沟道区域607c。

此外，在电路元件部分602中，形成有覆盖基底保护膜606和半导体膜607的透明的绝缘栅膜608，在该绝缘栅膜608上的半导体膜607的沟道区域607c所对应的位置，例如形成有Al、Mo、Ta、Ti、W等构成的栅极609。在该栅极609和绝缘栅膜608上，形成有透明的第1层间绝缘膜611a和第2层间绝缘膜611b。此外，贯通第1、第2层间绝缘膜611a、611b，形成有分别连通到半导体膜607的源区域607a、漏区域607b的接触孔(contact hole)612a、612b。

然后，在第2层间绝缘膜611b上，ITO等组成的透明的像素电极613被按照规定的形状构图形成，该像素电极613通过接触孔612a连接到源区域607a。

此外，在第1层间绝缘膜611a上预先设置有电源线614，该电源线614通过接触孔612b连接到漏区域607b。

于是，在电路元件部分602中，分别形成有连接到各个像素电极613的驱动用的薄膜晶体管615。

上述发光元件部分603由多个像素电极613上各自层叠的功能层617、配置在各个像素电极613和功能层617之间来区分各个功能层617的围堰部分618概略构成。

通过这些像素电极613、功能层617和功能层617上设置的阴极604而构成发光元件。再有，像素电极613被构图为平面看大致矩形而形成，在各个像素电极613之间形成有围堰部分618。

围堰部分618例如由SiO、SiO₂、TiO₂等无机材料形成的无机物围堰 层618a(第1围堰层)，层叠在该无机物围堰层618a上、由丙烯酸树脂、聚酰亚胺树脂等耐热性、抗溶剂性优良的抗蚀剂形成的剖面梯形的有机物围堰层618b(第2围堰层)而构成。该围堰部分618的一部分以骑在像素电极613的边缘部分的状态来形成。

然后，在各个围堰部分618之间，形成有对于像素电极613向上方逐渐扩宽的开口部分619。

上述功能层617由在开口部分619内像素电极613上层叠状态下形成的空穴注入/输送层617a、该空穴注入/输送层617a上形成的发光层617b构成。再有，也可以形成有与该发光层617b相邻而具有其他功能的其他功能层。例如，也可以形成电子输送层。

空穴注入/输送层617a具有从像素电极613侧输送空穴并将其注入到发光层617b的功能。该空穴注入/输送层617a通过将包含空穴注入/输送层形成材料的第1组成物(功能液)喷出而形成。作为空穴注入/输送层形成材料，采用公知的材料。

发光层617b发光为红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)、青色(C)、品红色(M)或黄色(Y)的任何一个，通过将包含发光层形成材料(发光材料)的第2组成物(功能液)喷出而形成。作为第2组成物的溶剂(非极性溶剂)，优选使用对于空穴注入/输送层617a不溶解的公知的材料，通过将这样的非极性溶剂用于发光层617b的第2组成物，可以形成发光层617b而不使空穴注入/输送层617a再溶解。

而且，在发光层617b中，构成为从空穴注入/输送层617a注入了空穴，从阴极604所注入的电子在发光层中再结合而发光。

阴极604在覆盖发光元件部分603的整个面的状态下被形成，与像素电极613成对而具有在功能层617中流过电流的作用。再有，在该阴极604的上部配置了未图示的密封构件。

下面，参照图16～图24说明上述显示装置600的制造工序。

如图16所示，该显示装置600经过围堰部分形成工序(S111)、表面处理工序(S112)、空穴注入/输送层形成工序(S113)、发光层形成工序(S114)、以及对置电极形成工序(S115)来制造。再有，制造工序不限于例示的工序，根据需要，有时除去其他工序，或有时追加其他工序。

首先，在围堰部分形成工序(S111)中，如图17所示，在第2层间绝缘膜611b上形成无机物围堰层618a。该无机物围堰层618a在形成位置形成了无机物膜后，通过将该无机物膜利用光刻技术等进行构图而形成。此时，形成无机物围堰层618a的一部分，以使其与像素电极613的边缘部分重叠。

如果形成了无机物围堰层618a，则如图18所示，在无机物围堰层618a上形成有机物围堰层618b。该有机物围堰层618b也与无机物围堰层618a同样地利用光刻技术等进行构图而形成。

由此，形成了围堰部分618。伴随该形成，在各个围堰部分618间，形成对于像素电极613在上方开口的开口部分619。该开口部分619规定像素区域。

在表面处理工序(S112)中，进行亲液化处理和疏液化处理。进行亲液化处理的区域是无机物围堰层618a的第1层叠部分618aa和像素电极613的电极面613a，这些区域例如通过将氧作为处理气体的等离子体处理而被亲液性地表面处理。该等离子体处理还兼用作像素电极613的ITO的清洗等。

此外，疏液化处理对有机物围堰层618b的壁面618s和有机物围堰层618b的上面618t实施，通过例如将四氟化甲烷作为处理气体的等离子体处理而进行表面氟化处理(疏液性地处理)。

通过进行该表面处理工序，在使用功能液滴喷出头17形成功能层617时，可以使功能液滴更可靠地射中像素区域。此外，可防止已射中像素区域的功能液滴从开口部分619溢出。

然后，通过经过以上工序，获得显示装置基体600A。该显示装置基体600A被搭载在图1所示的液滴喷出装置1的设置台21上，进行以下的空穴注入/输送层形成工序(S113)和发光层形成工序(S114)。

如图19所示，在空穴注入/输送层形成工序(S113)中，将包含空穴注入/输送层形成材料的第1组成物从功能液滴喷出头17喷出到像素区域即各个开口部分619内。然后，如图20所示，进行干燥处理和热处理，使第1组成物所包含的极性溶剂蒸发，在像素电极(电极面613a)613上形成空穴注入/输送层617a。

下面说明发光层形成工序(S114)。在该发光层形成工序中，如上所述，为了防止空穴注入/输送层617a的再溶解，作为发光层形成时使用的第2组成物的溶剂，使用对于空穴注入/输送层617a不溶解的非极性溶剂。

但是，在另一方面，空穴注入/输送层617a对于非极性溶剂的亲和性较低，所以即使将包含非极性溶剂的第2组成物喷出到空穴注入/输送层617a上，也担心不能使空穴注入/输送层617a和发光层617b紧贴，或者不能均匀地涂敷发光层617b。

因此，为了提高空穴注入/输送层617a对于非极性溶剂以及发光层形成材料的表面亲和性，优选是在发光层形成之前进行表面处理(表面改良处理)。该表面处理通过将发光层形成时使用的与第2组成物的非极性溶剂相同的溶剂或与其类似的溶剂即表面改良材料涂敷在空穴注入/输送层617a上，并使其干燥来进行。

通过实施这样的处理，空穴注入/输送层617a的表面不容易溶合在非极性溶剂中，在其后的工序中，可以将包含发光层形成材料的第2组成物均匀地涂敷在空穴注入/输送层617a上。

接着，如图21所示，将含有与各种颜色中任何一个(在图21的例子中为蓝色(B))对应的发光层形成材料的第2组成物作为功能液滴在像素区域(开口部分619)内灌入规定量。像素区域内所灌入的第2组成物在空穴注入/输送层617a上扩大而填满开口部分619内部。再有，即使在第2组成物万一从像素区域漏到外部而射中了围堰部分618的上表面618t的情况下，该上表面618t如上所述进行了疏液处理，所以第2组成物也容易滚入到开口部分619内部。

然后，通过进行干燥工序等，将喷出后的第2组成物进行干燥处理，使第2组成物所包含的非极性溶剂蒸发，如图22所示，在空穴注入/输送层617a上形成发光层617b。图22的情况下，形成有与蓝色(B)对应的发光层617b。

同样地，使用功能液滴喷出头17，如图23所示，依次进行与上述蓝色(B)对应的发光层617b的情况同样的工序，形成与其他颜色(红色(R)、绿色(G)、青色(C)、品红色(M)和黄色(Y))对应的发光层617b。再有，发光层617b的形成顺序不限于例示的顺序，也可以按任何的顺序 形成。例如，也可以按照发光层形成材料决定形成的顺序。

如上所述，在像素电极613上形成功能层617，即空穴注入/输送层617a和发光层617b。然后，转移到对置电极形成工序(S115)。

在对置电极形成工序(S115)中，如图24所示，在发光层617b和有机物围堰层618b的整个面上，例如通过镀敷法、溅射法、CVD法等形成阴极604(对置电极)。在本实施方式中，该阴极604例如层叠了钙层和铝层而构成。

在该阴极604的上部，适当设有作为电极的Al膜、Ag膜或用于防止其氧化的SiO2、SiN等的保护层。

由此形成了阴极604后，通过进行将该阴极604的上部利用密封构件进行密封的密封处理和布线处理等的其他处理，获得显示装置600。

下面，图25是等离子体型显示装置(PDP装置；以下，简称为显示装置700)的主要部分分解立体图。再有，在图25中以切除其一部分的状态表示了显示装置700。

该显示装置700包含相互对置配置的第1基板701、第2基板702，以及在它们之间形成的放电显示部分703而概略构成。放电显示部分703由多个放电室705构成。在这些多个放电室705中，红色放电室705R、绿色放电室705G、蓝色放电室705B、青色放电室705C、品红色放电室705M、黄色放电室705Y的六个放电室705作为组而配置为构成一个像素。

在第1基板701的上面以规定的间隔网状地形成地址电极706，并形成有电介质层707，以覆盖该地址电极706和第1基板701的上面。在电介质层707上，位于各个地址电极706之间，并且沿各个地址电极706直立设置隔壁708。该隔壁708如图所示，包括在地址电极706的宽度方向两侧延长的部分和在与地址电极706正交的方向延长设置的未图示的部分。

而且，通过该隔壁708隔开的区域成为放电室705。

放电室705内部配置有荧光体709。荧光体709是发出红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)、青色(C)、品红色(M)、黄色(Y)的任何一个颜色的荧光的荧光体，所以在红色放电室705R的底部配置有红色荧光体709R，在绿色放电室705G的底部配置有绿色荧光体709G，在蓝色放电 室705B的底部配置有蓝色荧光体709B，在青色放电室705C的底部配置有青色荧光体709C，在品红色放电室705M的底部配置有品红色荧光体709M，在黄色放电室705Y的底部配置有黄色荧光体709Y。

在第2基板702的图25中下侧的面上，在与上述地址电极706正交的方向上以规定的间隔网状地形成有多个显示电极711。而且，形成有电介质层712和MgO等构成的保护膜713，以覆盖它们。

第1基板701和第2基板702在地址电极706和显示电极711相互正交的状态下被对置粘结。再有，上述地址电极706和显示电极711被连接到未图示的交流电源。

然后，通过对各个电极706、711通电，在放电显示部分703中荧光体709激励发光，可进行彩色显示。

在本实施方式中，可以使用图1所示的液滴喷出装置1形成上述地址电极706、显示电极711、以及荧光体709。以下，例示在第1基板701中的地址电极706的形成工序。

这种情况下，在将第1基板701搭载在液滴喷出装置1的设置台21上的状态下进行以下工序。

首先，通过功能液滴喷出头17，使含有导电膜布线形成用材料的液体材料(功能液)作为功能液滴射中地址电极形成区域。作为导电膜布线形成用材料，该液体材料是将金属等的导电性微粒分散在分散剂中的液体材料。作为该导电性微粒，使用包含金、银、铜、钯、或镍等的金属微粒，或导电性聚合物等。

如果对于作为补充对象的所有地址电极形成区域的液体材料的补充结束，则通过对喷出后的液体材料进行干燥处理，并使液体材料中所包含的分散剂蒸发而形成地址电极706。

可是，虽然上述中例示了地址电极706的形成，但对于上述显示电极711和荧光体709，也可以经过上述各个工序而形成。

在形成显示电极711时，与地址电极706的情况同样，使含有导电膜布线形成用材料的液体材料(功能液)作为功能液滴射中显示电极形成区域。

此外，在形成荧光体709时，将包含了与各个颜色(R、G、B、C、 M、Y)对应的荧光材料的液体材料(功能液)从功能液滴喷出头17作为液滴喷出，射中对应的颜色的放电室705内部。

下面，图26是电子发射装置(也称为FED装置或SED装置；以下简称为显示装置800)的主要部分剖面图。再有，在图26中将其一部分作为剖面来表示显示装置800。

该显示装置800包括相互对置配置的第1基板801、第2基板802、以及在它们之间形成的电场发射显示部分803而概略构成。电场发射显示部分803由矩阵状配置的多个电子发射部分805构成。

在第1基板801的上面，构成阴极电极806的第1元件电极806a和第2元件电极806b以相互正交的方式而形成。此外，在由第1元件电极806a和第2元件电极806b隔开的部分中，形成有形成了间隙808的导电膜807。即，由第1元件电极806a、第2元件电极806b和导电膜807构成多个电子发射部分805。导电膜807例如由氧化钯(PdO)等构成，而间隙808在将导电膜807进行成膜后，以发泡等方式形成。

在第2基板802的下表面上，形成有与阴极电极806相对的阳极电极809。在阳极电极809的下面，形成方格状的围堰部分811，在由该围堰部分811包围的向下的各个开口部分812中，配置有荧光体813，以使其与电子发射部分805对应。荧光体813发出红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)、青色(C)、品红色(M)、黄色(Y)的任何一个颜色的荧光的荧光体，在各个开口部分812中，红色荧光体813R、绿色荧光体813G和蓝色荧光体813B、以及青色荧光体、品红色荧光体和黄色荧光体按部位规定的图形配置(对于青色、品红色、黄色省略图示)。

然后，这样构成的第1基板801和第2基板802存有微小的间隙而被粘结。在该显示装置800中，通过导电膜(间隙808)807，将从阴极即第1元件电极806a或第2元件电极806b飞出的电子对准在阳极即阳极电极809上形成的荧光体813而激励发光，可进行彩色显示。

这种情况下，也与其他实施方式同样，可以使用液滴喷出装置1形成第1元件电极806a、第2元件电极806b、导电膜807和阳极电极809，同时可以使用液滴喷出装置1形成各个颜色(R、G、B、C、M、Y)的荧光体813。

第1元件电极806a、第2元件电极806b和导电膜807具有图27A所示的平面形状，在对它们进行成膜时，如图27B所示，将预先形成了第1元件电极806a、第2元件电极806b和导电膜807的部分保留，从而形成围堰部分BB(光刻法)。接着，在由围堰部分BB构成的沟部分中，形成第1元件电极806a和第2元件电极806b(液滴喷出装置1的喷墨法)，并使该溶剂干燥而进行了成膜后，形成导电膜807(液滴喷出装置1的喷墨法)。然后，在将导电膜807成膜后，取除围堰部分BB(研磨剥离处理)，转移到上述成形处理。再有，与上述有机EL装置的情况同样，优选进行对于第1基板801和第2基板802的亲液化处理，或对于围堰部分811、BB的疏液化处理。

此外，作为其他电光学装置，可考虑金属布线形成、透镜形成、抗蚀剂形成和光扩散体形成等的装置。通过将上述液滴喷出装置1用于各种电光学装置(器件)的制造，可以高效率地制造各种电光学装置。

Claims (14)

1.一种吸引装置，包括多个喷头帽，该多个喷头帽对于喷墨方式的多个功能液滴喷出头的喷嘴面可自由分离接触地紧贴，

该吸引装置包括：

多个帽单元，搭载了一个以上的所述喷头帽；

分离接触机构，使各个所述喷头帽以所述帽单元为单位进行分离接触动作；

多个吸引部件，各自连接到所述多个帽单元，以所述帽单元为单位从各个所述喷头帽吸引功能液，并且吸引压力相互不同；

多组吸引流路，由将上游侧连接到各个所述帽单元的主流路、和通过分路部分从所述主流路分路并且下游侧连接到各个所述吸引部件的多个单独流路组成；以及

多个流路切换部件，夹设在各个所述吸引流路的所述分路部分，将各个所述吸引流路选择性地流路切换到位于在所述吸引流路中的单独流路的下游侧的任意一个所述吸引部件。

2.如权利要求1所述的吸引装置，其特征在于，

各个所述吸引部件具有：

废液箱，连接了所述单独流路的下游端；以及

喷射器，对一次侧导入压缩空气，并且将二次侧连接到所述废液箱的上部空间。

3.如权利要求2所述的吸引装置，其特征在于，

各个所述吸引部件还具有：

压力调整部件，调整所述一次侧压缩空气的压力；以及

控制部件，控制所述压力调整部件。

4.如权利要求3所述的吸引装置，其特征在于，

在连接了各个所述吸引部件的所述单独流路中，分别夹设将所述单独流路开闭的流路开闭部件，

各个所述控制部件根据多个所述流路开闭部件中开放的所述流路开闭部件的开放数，控制所述压力调整部件，以使各个所述帽单元中的吸引压力恒定。

5.如权利要求4所述的吸引装置，其特征在于，

还包括压力检测部件，检测吸引时的各个所述废液箱的压力，

各个所述控制部件控制所述压力控制部件，以使所述废液箱内的压力成为与所述开放数对应的规定的压力。

6.如权利要求4所述的吸引装置，其特征在于，

还包括流量检测部件，检测通过吸引而流入到各个所述废液箱中的功能液流量，

所述控制部件控制所述压力控制部件，以使流入到所述废液箱中的功能液流量成为与所述开放数对应的规定的流量。

7.如权利要求1至6中任一项所述的吸引装置，其特征在于，

所述多个吸引部件由两个吸引部件构成，

一个所述吸引部件是用于在使各个所述喷头帽紧贴各个所述功能液滴喷出头的状态下吸引的部件，

另一个所述吸引部件是用于在使各个所述喷头帽与各个所述功能液滴喷出头分离的状态下吸引的部件。

8.如权利要求1至6中任一项所述的吸引装置，其特征在于，

所述多个单独流路通过集流管进行合流，并通过合流流路连接到各个所述吸引部件，

所述集流管由圆板状的盖体闭盖上端而形成为套管状，所述多个单独流路的下游端在周方向上均等配置而连接到所述盖体。

9.一种吸引系统，其中按功能液的不同颜色设置有多组多个所述功能液滴喷出头，

按功能液的不同颜色具有多组如权利要求1至8中任一项所述的吸引装置。

10.如权利要求9所述的吸引系统，其特征在于，

所述多组吸引装置对应于6色的功能液，由六组吸引装置构成。

11.如权利要求9或10所述的吸引系统，其特征在于，

所述帽单元按不同颜色搭载多组一个以上的所述喷头帽。

12.一种液滴喷出装置，包括；

描绘部件，一边使喷墨方式的多个功能液滴喷出头相对工件移动，一边从各个所述功能液滴喷出头喷出功能液滴并进行描绘；以及

如权利要求1至8中任一项所述的吸引装置。

13.一种液滴喷出装置，包括：

描绘部件，一边使喷墨方式的多个功能液滴喷出头相对工件移动，一边从各个所述功能液滴喷出头喷出功能液滴并进行描绘；以及

如权利要求9至11中任一项所述的吸引系统。

14.一种电光学装置的制造方法，其特征在于，

使用如权利要求12或13所述的液滴喷出装置，在所述工件上形成功能液滴的成膜部分。

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