JP2009054428A - 吸引装置、吸引システムおよびこれらを備えた液滴吐出装置、並に電気光学装置の製造方法および電気光学装置 - Google Patents

Abstract

【課題】キャップユニット単位で、異なる吸引圧力による吸引処理を同時に行うと共に、スペース効率の向上および構造の単純化を図る。
【解決手段】１以上のヘッドキャップ３０１を搭載した複数のキャップユニット３０３と、各ヘッドキャップ３０１を離接動作させる昇降機構と、複数のキャップユニット３０３に接続され、各ヘッドキャップ３０１から機能液を吸引すると共に相互に吸引圧力が異なる複数の吸引手段と、上流側を各キャップユニット３０３に接続したキャップ側流路１１１、キャップ側流路１１１から分岐して各吸引手段に接続した個別流路１３１から成る複数組の吸引流路と、各吸引流路を選択的に流路切換えする複数の流路切換え手段と、を備えた。
【選択図】図８

Description

本発明は、インクジェット方式の複数の機能液滴吐出ヘッドのノズル面に対し、離接自在に密接する複数のヘッドキャップを備えた吸引装置、吸引システムおよびこれらを備えた液滴吐出装置、並に電気光学装置の製造方法および電気光学装置に関するものである。

従来、１２個の機能液滴吐出ヘッドを搭載した７台のキャリッジユニットに対応して、１２個のヘッドキャップを搭載した７台の吸引ユニット（吸引装置）を備えた吸引システムが知られている（特許文献１参照）。
各吸引装置（吸引ユニット）は、１２個のヘッドキャップをキャッププレートに搭載したキャップユニットと、キャッププレートを介して１２個のヘッドキャップを１２個の機能液滴吐出ヘッドに対し離接させる離接機構と、１２個のヘッドキャップに連なる廃液タンクと、二次側を廃液タンクに接続して廃液タンクに吸引圧力を作用させるイジェクタと、１２個のヘッドキャップと廃液タンクを接続する吸引流路と、を備えている。
各ヘッドキャップを各機能液滴吐出ヘッドに密接させておいて、一次側に圧縮エアーを導入するようにしてイジェクタを駆動すると、廃液タンクのタンク内および吸引流路が負圧になり、１２個のヘッドキャップを介してから１２個の機能液滴吐出ヘッドから機能液の吸引が行われる。また、各ヘッドキャップを各機能液滴吐出ヘッドから僅かに離間させておいて、各機能液滴吐出ヘッドの捨て吐出（フラッシング）を行わせながらイジェクタを駆動することで、捨て吐出を受け得るようになっている。このように、２つの機能により、１２個の機能液滴吐出ヘッドの機能維持および機能回復が行われる。
特開２００５−２５４７９８号公報

このような従来の吸引システムでは、７台の吸引装置（吸引ユニット）がそれぞれ独立しているため、廃液タンクおよびイジェクタも独立に設けられている。このため、スペース効率が悪化すると共に構造が複雑になる問題があった。この場合、７台の吸引装置の廃液タンクおよびイジェクタを単一のものに統合すれば、かかる問題は解消される。
しかし、多数の吐出ノズルから機能液を吸引する吸引圧力と、ヘッドキャップの吐出された機能液を吸引する吸引圧力とでは、前者が高く後者が低いため、上記の構成では、吸引を行う吸引装置と捨て吐出を受ける吸引装置とが混在する運転方法をとる場合、両作業を同時に実施することが不可能になってしまう。

本発明は、キャップユニット単位で、異なる吸引圧力による吸引処理を同時に行うことができると共に、スペース効率の向上および構造の単純化を図ることができる吸引装置、吸引システムおよびこれらを備えた液滴吐出装置、並に電気光学装置の製造方法および電気光学装置を提供することを課題としている。

本発明の吸引装置は、インクジェット方式の複数の機能液滴吐出ヘッドのノズル面に対し、離接自在に密接する複数のヘッドキャップを備えた吸引装置であって、１以上のヘッドキャップを搭載した複数のキャップユニットと、各ヘッドキャップをキャップユニット単位で離接動作させる離接機構と、それぞれが複数のキャップユニットに接続され、キャップユニット単位で各ヘッドキャップから機能液を吸引すると共に相互に吸引圧力が異なる複数の吸引手段と、上流側を各キャップユニットに接続した主流路、および分岐部を介して主流路から分岐し下流側を各吸引手段に接続した複数の個別流路から成る複数組の吸引流路と、各吸引流路の分岐部に介設され、各吸引流路を任意の１の吸引手段に選択的に流路切換えする複数の流路切換え手段と、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、各流路切換え手段により、各吸引流路を任意の１の吸引手段に選択的に流路切換えすることにより、複数のキャップユニットをキャップユニット単位で、相互に吸引圧力が異なる複数の吸引手段と連通させることができる。すなわち、吸引処理において、ヘッドキャップを介して機能液滴吐出ヘッドに、キャップユニット単位で、高低の吸引圧力を選択的に作用させることができる。これにより、複数のキャップユニットに対し、同時並行的に異なる吸引圧力による吸引処理を行うことができる。また、各吸引手段は、複数のキャップユニットの吸引処理を行う構成であるため、キャップユニット単位で吸引手段を設ける場合に比して、その数を少なくすることができ、スペース効率の向上および構造の単純化を図ることができる。

この場合、各吸引手段は、個別流路の下流端が接続された廃液タンクと、一次側に圧縮エアーを導入すると共に二次側を廃液タンクの上部空間に接続したイジェクタと、を有していることが好ましい。

この構成によれば、吸引手段の構造を単純化することができると共に、機能液に対する耐薬品性に優れた構造とすることができる。

この場合、各吸引手段は、一次側圧縮エアーの圧力を調整する圧力調整手段と、圧力調整手段を制御する制御手段と、を更に有していることが好ましい。

この構成によれば、各廃液タンクに導入する吸引のための負圧（吸引圧力）を、機能液の粘性や吸引処理の形態に合わせて簡単に調整することができる。もちろん、異種の機能液を新たに導入する場合や吸引形態を変更する場合等にも、簡単に対応させることができる。なお、圧力調整手段として、レギュレータ（電空レギュレータ）を用いることが、好ましい。

この場合、各吸引手段に接続した個別流路には、個別流路を開閉する流路開閉手段がそれぞれ介設されており、各制御手段は、各キャップユニットにおける吸引圧力が一定になるように、複数の流路開閉手段のうちの開放している流路開閉手段の開放数に応じて、圧力調整手段を制御することが好ましい。

この構成によれば、流路開閉手段により個別流路を開閉することにより、各キャップユニットと各吸引手段の流路接続を開閉することができる。これにより、複数の機能液滴吐出ヘッドにおいて、吸引処理を行うものと行わないものがある場合、各流路開閉手段の開閉によりこれを実行することができると共に、開放している流路開閉手段の開放数に応じて、圧力調整手段を制御することで、各キャップユニット（ヘッドキャップ）における吸引圧力を一定にすることができる。これにより、吸引処理を行う機能液滴吐出ヘッドの数に関係なく、各キャップユニット（ヘッドキャップ）の吸引流量を一定量とすることができる。

この場合、吸引時の各廃液タンクの圧力を検出する圧力検出手段を、更に備え、各制御手段は、廃液タンク内の圧力が開放数に応じた所定の圧力なるように、圧力調整手段を制御することが好ましい。

同様に、吸引より各廃液タンクに流入する機能液流量を検出する流量検出手段を、更に備え、制御手段は、廃液タンクに流入する機能液流量が開放数に応じた所定の流量なるように、圧力調整手段を制御することが好ましい。

これらの構成によれば、いずれのキャップユニット（ヘッドキャップ）においても、吸引圧力が常に一定になるように制御することができ、機能液の種別を考慮しつつ機能液滴吐出ヘッドに対する吸引処理を適切に行うことができる。

これらの場合、複数の吸引手段は、２つの吸引手段で構成されており、一方の吸引手段は、各ヘッドキャップを各機能液滴吐出ヘッドに密接した状態で吸引するためのものであり、他方の吸引手段は、各ヘッドキャップを各機能液滴吐出ヘッドから離間させた状態で吸引するためのものであることが、好ましい。

この構成によれば、例えば一方の吸引手段を、機能液滴吐出ヘッドから機能液を吸引する機能回復用とし、他方の吸引手段を、機能液滴吐出ヘッドから捨て吐出された機能液をヘッドキャップから吸引する機能維持用とすることができる。これにより、各機能液滴吐出ヘッドの目詰り等の状態により、吸引手段を使い分けることができる。

これらの場合、複数の個別流路は、マニホールドにより合流し、合流流路を介して各吸引手段に接続されており、マニホールドは、上端を円板状の蓋体により閉蓋されてロート状に形成され、複数の個別流路の下流端は、周方向に均等配置するようにして蓋体に接続されていることが、好ましい。

この構成によれば、複数の個別流路が、ロート状に形成したマニホールドの蓋体に、周方向に均等配置するように接続されているため、複数の個別流路から合流流路に至る流路において、複数の個別流路の圧力損失を均一にすることができる。すなわち、複数の個別流路の流路長および流路径が同一に構成すれば、吸引手段毎に、これにより吸引される複数のキャップユニットにおける吸引圧力を同一にすることができる。

本発明の吸引システムは、複数の機能液滴吐出ヘッドが、機能液の色別に複数組設けられており、上記した吸引装置を、機能液の色別に複数組を備えたことを特徴とする。

この場合、複数組の吸引装置は、６色の機能液に対応して６組の吸引装置で構成されていることが、好ましい。

これらの場合、キャリッジユニットは、１以上のヘッドキャップを色別に複数組搭載していることが、好ましい。

これらの構成によれば、色別の複数の機能液滴吐出ヘッドに対し、複数のキャップユニットを介して、同時並行的に異なる吸引圧力による吸引処理を行うことができ、各色の機能液滴吐出ヘッドの機能維持および機能回復を適切に行うことができる。

本発明の液滴吐出装置は、ワークに対し、インクジェット方式の複数の機能液滴吐出ヘッドを移動させながら、各機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出させて描画を行なう描画手段と、上記した吸引装置と、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドの機能維持および機能回復を適切に行うことができ、ワーク処理における生産性を向上させることができる。

本発明の他の液滴吐出装置は、ワークに対し、インクジェット方式の複数の機能液滴吐出ヘッドを移動させながら、各機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出させて描画を行なう描画手段と、上記した吸引システムと、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、複数色の機能液を用いて、ワークに描画を行なうことができると共に、色別の機能液滴吐出ヘッドの機能維持および機能回復を適切に行うことができ、ワーク処理における生産性を向上させることができる。

本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。

同様に、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。

この構成によれば、高品質の電気光学装置を効率良く製造することができる。なお、機能材料としては、有機ＥＬ装置の発光材料（Electro-Luminescence発光層・正孔注入層）は元より、液晶表示装置に用いるカラーフィルタのフィルタ材料（フィルタエレメント）、電子放出装置（Field Emission Display, ＦＥＤ）の蛍光材料（蛍光体）、ＰＤＰ（plasma Display Panel）装置の蛍光材料（蛍光体）、電気泳動表示装置の泳動体材料（泳動体）等であって、機能液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）により吐出可能な液体材料を言う。また、電気光学装置（Flat Panel Display, ＦＰＤ）としては、有機ＥＬ装置、液晶表示装置、電子放出装置、ＰＤＰ装置、電気泳動表示装置等がある。

以下、添付の図面を参照して、本発明の機能液供給装置を適用した液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。

図１、図２および図３に示すように、液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース２上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在して、ワークＷをＸ軸方向（主走査方向）に移動させるＸ軸テーブル１１と、複数本の支柱４を介してＸ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された１対（２つ）のＹ軸支持ベース３上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル（移動テーブル）１２と、複数の機能液滴吐出ヘッド１７が搭載された１０個のキャリッジユニット５１と、から成り、１０個のキャリッジユニット５１は、Ｙ軸テーブル１２に移動自在に吊設されている。さらに、液滴吐出装置１は、これらの装置を温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバ６と、チャンバ６を貫通して、チャンバ６の外部から内部の機能液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する機能液供給ユニット７と、を備えている。Ｘ軸テーブル１１およびＹ軸テーブル１２の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動させることにより、機能液供給ユニット７から供給された６色の機能液滴を吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンが描画される。なお、請求項にいう描画手段は、Ｘ軸テーブル１１、Ｙ軸テーブル１２および１０個のキャリッジユニット５１により構成されている。

また、液滴吐出装置１は、フラッシングユニット１４、吸引ユニット（吸引システム）１５、ワイピングユニット１６、吐出性能検査ユニット１８から成るメンテナンス装置５を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド１７の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド１７の機能維持・機能回復を図るようになっている。なお、メンテナンス装置５を構成する各ユニットのうち、フラッシングユニット１４および吐出性能検査ユニット１８は、Ｘ軸テーブル１１に搭載され、吸引ユニット１５およびワイピングユニット１６は、Ｘ軸テーブル１１から直角に延び、かつＹ軸テーブル１２によりキャリッジユニット５１が移動可能である位置に配設された架台上に配設されている（厳密には、吐出性能検査ユニット１８は、後述するステージユニット７７がＸ軸テーブル１１に搭載され、カメラユニット７８がＹ軸支持ベース３に支持されている。）。

フラッシングユニット１４は、一対の描画前フラッシングユニット７１,７１と、定期フラッシングユニット７２とを有し、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出直前や、ワークＷの載換え時等の描画処理休止時に行われる、機能液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出（フラッシング）を受ける。吸引ユニット１５は、１０台のキャップユニット３０３を有し、各機能液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル９８から機能液を強制的に吸引すると共に、キャッピングを行う。ワイピングユニット１６は、ワイピングシート７５を有し、吸引後の機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７を拭取る。吐出性能検査ユニット１８は、機能液滴吐出ヘッド１７から吐出された機能液滴を受ける検査シート８３を搭載したステージユニット７７と、ステージユニット７７上の機能液滴を画像認識により検査するカメラユニット７８を有し、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出性能（吐出の有無および飛行曲り）を検査する。

次に、液滴吐出装置１の構成要素について簡単に説明する。図２または図３に示すように、Ｘ軸テーブル１１は、ワークＷをセットするセットテーブル２１と、セットテーブル２１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第１スライダ２２と、上記のフラッシングユニット１４およびステージユニット７７をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第２スライダ２３と、Ｘ軸方向に延在し、Ｘ軸第１スライダ２２を介してセットテーブル２１（ワークＷ）をＸ軸方向に移動させると共に、Ｘ軸第２スライダ２３を介してフラッシングユニット１４およびステージユニット７７をＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｘ軸リニアモータに並設され、Ｘ軸第１スライダ２２およびＸ軸第２スライダ２３の移動を案内する一対（２本）のＸ軸共通支持ベース２４と、を備えている。

セットテーブル２１は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル３１と、吸着テーブル３１を支持し、吸着テーブル３１にセットしたワークＷの位置をθ軸方向に補正するためのθテーブル３２等を有している。また、セットテーブル２１のＹ軸方向と平行な一対の辺には、それぞれ上記の描画前フラッシングユニット７１が添設されている。

Ｙ軸テーブル１２は、１０個の各キャリッジユニット５１をそれぞれ吊設した１０個のブリッジプレート５２と、１０個のブリッジプレート５２を両持ちで支持する１０組のＹ軸スライダ（図示省略）と、上記した一対のＹ軸支持ベース３上に設置され、１０組のＹ軸スライダを介してブリッジプレート５２をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。また、Ｙ軸テーブル１２は、各キャリッジユニット５１を介して描画時に機能液滴吐出ヘッド１７を副走査するほか、機能液滴吐出ヘッド１７をメンテナンス装置５（吸引ユニット１５およびワイピングユニット１６）に臨ませる。

一対のＹ軸リニアモータを（同期して）駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸支持ベース３を案内にして同時にＹ軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート５２がＹ軸方向を移動し、これと共にキャリッジユニット５１がＹ軸方向に移動する。なお、この場合、Ｙ軸リニアモータの駆動を制御することにより、各キャリッジユニット５１を独立させて個別に移動させることも可能であるし、１０個のキャリッジユニット５１を一体として移動させることも可能である。

また、Ｙ軸テーブル１２の両脇には、これに平行にケーブル坦持体８１が配設されている。両ケーブル坦持体８１は、一端がＹ軸支持ベース３に固定されると共に他端が各ブリッジプレート５２の１つに固定されている。このケーブル坦持体８１には、各キャリッジユニット５１用のケーブル類、エアーチューブ類および機能液流路等が収容されている。

各キャリッジユニット５１は、Ｒ・Ｇ・Ｂ・Ｃ・Ｍ・Ｙの６色各２個（計１２個）の機能液滴吐出ヘッド１７と、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７を６個ずつ２群に分けて支持するヘッドプレート５３と、から成るヘッドユニット１３を備えている（図４参照）。また、各キャリッジユニット５１は、ヘッドユニット１３をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構６１と、θ回転機構６１を介して、ヘッドユニット１３をＹ軸テーブル１２（各ブリッジプレート５２）に支持させる吊設部材６２と、を備えている。加えて、各キャリッジユニット５１は、その上部にサブタンク１２１が配設されており（実際には、ブリッジプレート５２上に配設）、このサブタンク１２１から自然水頭を利用し、かつ減圧弁（図示省略）を介して各機能液滴吐出ヘッド１７に機能液が供給されるようになっている。

図５に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針９２を有する機能液導入部９１と、機能液導入部９１に連なる２連のヘッド基板９３と、機能液導入部９１の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体９４と、を備えている。接続針９２は、機能液供給ユニット７に接続され、機能液導入部９１に機能液を供給する。ヘッド本体９４は、キャビティ９５（ピエゾ圧電素子）と、多数の吐出ノズル９８が開口したノズル面９７を有するノズルプレート９６と、で構成されている。機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動すると（ピエゾ圧電素子に電圧が印加され）、キャビティ９５のポンプ作用により、吐出ノズル９８から機能液滴が吐出される。

なお、ノズル面９７には、多数の吐出ノズル９８からなる２つのノズル列９８ｂが相互に平行に形成されている。そして、２つのノズル列９８ｂ同士は、相互に半ノズルピッチ分位置ずれしている。

チャンバ６は、内部温度および湿度を一定に保つように構成されている。すなわち、液滴吐出装置１によるワークＷへの描画は、温度および湿度が一定値に管理された雰囲気中で行われる。そして、チャンバ６の側壁の一部には、メインタンク１８１等を収納するためのタンクキャビネット８４が設けられている。なお、有機ＥＬ装置等を製造する場合には、チャンバ６内を、不活性ガス（窒素ガス）の雰囲気で構成することが好ましい。

図１および図２に示すように、ワイピングユニット１６と１０台（複数）のキャップユニット３０３を搭載した吸引ユニット１５とが配設された領域は、メンテナンスエリア２１３となっており、液滴吐出装置１の稼動停止時には、Ｙ軸テーブル１２により１０個のキャリッジユニット５１が吸引ユニット１５（１０台のキャップユニット３０３）の位置まで移動し、全機能液滴吐出ヘッド１７に対し、いわゆるキャッピングが行われる。一方、稼動開始時には、全機能液滴吐出ヘッド１７に対し、吸引処理が行なわれ、続いてキャリッジユニット５１単位でワイピング処理が行なわれ、１０台のキャリッジユニット５１は順次、Ｘ軸テーブル１１上の描画エリア２１４に移動する。

また、稼動中に、例えばメンテナンスエリア２１３側から３つ目のキャリッジユニット５１に吐出不良が検出されると、１つ目から３つ目までの３つのキャリッジユニット５１が描画エリア２１４側の３台のキャップユニット３０３上に移動し、該当する１のキャリッジユニット５１には、キャップユニット３０３による吸引処理が行なわれ、その間他の２つのキャリッジユニット５１では、各機能液滴吐出ヘッド１７からキャップユニット３０３に捨て吐出（フラッシング）が行われる。このように、１０個のキャリッジユニット５１は個別に制御されており、これに合わせて１０個のキャップユニット３０３それぞれにおいて、適切な処理を行うことができる。

次に、図６および図７を参照して、吸引ユニット１５について説明する。吸引ユニット１５は、各１２個の機能液滴吐出ヘッド１７に対応する１２個のヘッドキャップ３０１を、キャッププレート３０２に配置した１０台のキャップユニット３０３と、各キャップユニット３０３をそれぞれ支持する１０台の支持部材３０５と、支持部材３０５を介して各キャップユニット３０３を昇降させる１０台の昇降機構（離接機構）３０６と、各ヘッドキャップ３０１に連なると共に、６色の機能液滴吐出ヘッド１７に対応した６組の吸引機構１００（図８参照）と、を備えている。
また、吸引ユニット１５は、後述する圧力制御機構１０３等に制御用の圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給設備８５と、各部から排気を行うための排気設備８７と、後述する廃液タンク１０１に接続され、貯留された機能液を廃液する機能液廃液設備８９と、を備えている。なお、請求項にいう吸引装置は、キャップユニット３０３（１色の機能液滴吐出ヘッド１７に対応したヘッドキャップ３０１）、支持部材３０５、昇降機構３０６および当該１色に対応した吸引機構１００で構成されている。すなわち、本実施形態においては、各吸引装置は、共通の支持部材３０５および昇降機構３０６を有し、キャップユニット３０３単位で離接動作を行うように構成されている。

図６に示すように、昇降機構３０６は、支持部材３０５を介してヘッドキャップ３０１を直接昇降させる昇降シリンダ３１１と、昇降シリンダ３１１による昇降をガイドする一対のリニアガイド３１４と、これらを支持するベース部３４１と、を有している。昇降シリンダ３１１は、ヘッドユニット１３の交換時にヘッドキャップ３０１を大きく下降させると共に、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７からヘッドキャップ３０１を離接させるものである。すなわち、昇降シリンダ３１１は、吸引用の密接位置と、フラッシング用の離間位置と、ヘッドユニット１３の交換やキャップユニット３０３の消耗品交換（メンテナンス）用の交換位置との間でキャップユニット３０３を３段階に昇降させる。

支持部材３０５は、上端にキャップユニット３０３を支持する支持フレーム３４２を有する支持部材本体３４３と、１２個のヘッドキャップ３０１の大気開放弁（図示省略）を一括して開放するための大気開放フレーム３１２と、大気開放フレーム３１２を下動させる一対のエアーシリンダ３１３,３１３と、を有している。

図７に示すように、キャップユニット３０３は、１２個のヘッドキャップ３０１とこれを搭載したキャッププレート３０２とから成り、１２個のヘッドキャップ３０１は、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７と同じ並びで且つ同じ傾き姿勢で、キャッププレート３０２に搭載されている。

上記したように各キャップユニット３０３は、ヘッドユニット１３の各色２個、計１２個の機能液滴吐出ヘッド１７に対応して、各色２個、計１２個のヘッドキャップ３０１を有している。本実施形態の吸引機構１００は、この色別に吸引処理を行なえるようになっている。すなわち、図８に示すように、各ヘッドキャップ３０１には、６色の機能液滴吐出ヘッド１７に対応して、別個独立の６組の吸引機構１００が接続されている。

ここで、各吸引機構１００の構成および機能は同じであるため、吸引機構１００について、Ｒ色の吸引機構１００を例に挙げ説明する。図８に示すように、Ｒ色の吸引機構１００は、Ｒ色の機能液を廃液する一対の廃液タンク１０１と、各ヘッドキャップ３０１（Ｒ色）と一対の廃液タンク１０１を接続する機能液吸引流路１０２と、一対の廃液タンク１０１に接続されると共に、各廃液タンク１０１の内部圧力を制御する一対の圧力制御機構１０３と、を備えている。圧力制御機構１０３により、廃液タンク１０１の内部圧力が個別に調整され、これにより、機能液吸引流路１０２を介して各ヘッドキャップ３０１が負圧（吸引）に制御される。

機能液吸引流路１０２は、１０個のキャップユニット３０３におけるＲ色の各２個の各ヘッドキャップ３０１（計２０個）に接続した２０本のキャップ側流路（主流路）１１１と、共通のキャップユニット３０３に対応する２本のキャップ側流路１１１を合流する１０個のキャップ側合流部１１２と、上流側を、１０個のキャップ側合流部１１２にそれぞれ接続し、下流側を一対の廃液タンク１０１,１０１に接続した２組のタンク側流路１１３と、を備えている。また、各キャップ側流路１１１には、ヘッドキャップ３０１への接続を個別に開閉するための個別バルブ１１４が介設されている。なお、請求項にいう吸引流路は、１のキャップユニットに接続した２本のキャップ側流路１１１、その下流側に位置する１個のキャップ側合流部１１２、およびそのさらに下流側に位置する２組のタンク側流路１１３の、後述する２本の個別流路１３１にて構成されている。

各タンク側流路１１３は、上流側を１０個のキャップ側合流部１１２に接続した１０本の個別流路１３１と、１０本の個別流路１３１を合流するタンク側合流部（マニホールド）１３２と、上流側をタンク側合流部１３２に接続し、下流側を廃液タンク１０１に接続した合流流路１３３と、を備えている。すなわち、各キャップ側合流部１１２には、２組のタンク側流路１１３における２本の個別流路１３１が接続されている。当該２本の個別流路１３１のキャップ側合流部１１２近傍（分岐部）には、それぞれ切換バルブ１３４が介設されており、その上流側に位置するヘッドキャップ３０１への流路接続を、各個別流路１３１の下流側に位置する一対の廃液タンク１０１間で切り替えることができる。また、各合流流路１３３には、各廃液タンク１０１に流入する機能液の流量を検出する流量計（流量検出手段）１３５が介設されている。なお、各切換バルブ１３４は、単なる開閉弁であり、一方を「開」、他方を「閉」とすることで、流路切換え手段が構成されている。また、両方を「閉」とすることで、ヘッドキャップ３０１への流路接続を閉塞することができる。さらに、合流流路１３３の先端は、廃液タンク１０１の底面近傍まで深く挿入されている。またさらに、請求項にいう流路開閉手段は、切換バルブ１３４で構成されている。なお、本実施形態においては、切換バルブ１３４により流路切換え手段と流路開閉手段とが構成されているが、流路切換え手段と流路開閉手段を別々の開閉バルブによって構成するようにしても良い。

タンク側合流部１３２は、上端を円板状の蓋体により閉塞されたロート状に形成された円盤状マニホールドで構成されている。１０本の個別流路１３１の下流端は、円盤状マニホールドの周方向に均等配置するように、蓋体に接続されている。

このような構成により、複数の個別流路１３１が、ロート状に形成したマニホールドの蓋体に、周方向に均等配置するように接続されているため、複数の個別流路１３１から合流流路１３３に至る流路において、複数の個別流路１３１の圧力損失を均一にすることができる。すなわち、複数の個別流路１３１の流路長および流路径が同一に構成すれば、廃液タンク１０１毎に、これにより吸引される１０台のキャップユニット３０３における負圧（吸引力）を同一にすることができる。

廃液タンク１０１は、いわゆる密閉タンクで構成されたタンク本体１４１と、タンク本体１４１の上部空間に接続され、内部圧力を検出する圧力計（圧力検出手段）１４２と、タンク本体１４１の側方に配設され貯留された機能液の液位を検出する液位検出手段１４３と、を備えている。また、廃液タンク１０１には、貯留した機能液を廃液する機能液廃液設備８９が接続されている。詳細は後述するが、圧力計１４２により検出した内部圧力に基いて廃液タンク１０１内の圧力制御が行われる。

液位検出手段１４３は、貯留された機能液の液位を検出して、タンク本体１４１の満液状態および減液状態を検出するものである。吸引処理により機能液の液位が上限液位まで上昇すると（満液状態）、機能液廃液設備８９側の流路に介設された廃液開閉弁１５１を開放し機能液廃液設備８９に機能液を廃液する。なお、本実施形態においては、満液状態を検出した後であって、吸引ユニット１５の非駆動時に廃液開閉弁１５１を開弁する。また、下限液位を検出すると、廃液開閉弁１５１を閉弁する。これにより、合流流路１３３の先端が常に機能液に挿入されている状態を維持する。

圧力制御機構１０３は、上流側をタンク本体１４１の上部空間に接続した連通流路１６１と、連通流路１６１、圧縮エアー供給設備８５および排気設備８７に接続されたイジェクタ１６２と、イジェクタ１６２と圧縮エアー供給設備８５の間の流路に介設され、イジェクタ１６２に供給される圧縮エアーの圧力を調整する電空レギュレータ（圧力調整手段）１６３と、電空レギュレータ１６３に隣接して介設された流量センサ１６４と、を備えている。すなわち、イジェクタ１６２は、圧縮エアー供給設備８５から一次側に圧縮エアーを導入すると共に、二次側を廃液タンク１０１の上部空間に接続している。電空レギュレータ１６３により圧力が調整され、イジェクタ１６２に供給された圧縮エアーの随伴流によって、連通流路１６１中のエアーが排気設備８７側に引っ張られる形で、タンク本体１４１の内部が減圧される。すなわち、各廃液タンク１０１は、圧力制御機構１０３により個別に圧力調整される。なお、一対の廃液タンク１０１は、イジェクタ１６２（電空レギュレータ１６３）の圧力制御により、吸引用の第１廃液タンク１０１ａと、フラッシング用の第２廃液タンク１０１ｂとを構成している。

次に、図９を参照して、液滴吐出装置１の主制御系について説明する。同図に示すように、液滴吐出装置１は、ヘッドユニット１３（機能液滴吐出ヘッド１７）を有する液滴吐出部１９１と、Ｘ軸テーブル１１を有し、ワークＷをＸ軸方向へ移動させるためのワーク移動部１９２と、Ｙ軸テーブル１２を有し、ヘッドユニット１３をＹ軸方向へ移動させるヘッド移動部１９３と、メンテナンス手段の各ユニットを有するメンテナンス部１９４と、機能液供給ユニット７を有し、機能液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する機能液供給部１９８と、各種センサを有し、各種検出を行う検出部１９５と、各部を駆動制御する各種ドライバを有する駆動部１９６と、各部に接続され、液滴吐出装置１全体の制御を行う制御部（制御手段）１９７と、を備えている。

制御部１９７には、各手段を接続するためのインタフェース２０１と、一時的に記憶可能な記憶領域を有し、制御処理のための作業領域として使用されるＲＡＭ２０２と、各種記憶領域を有し、制御プログラムや制御データを記憶するＲＯＭ２０３と、ワークＷに所定の描画パターンを描画するための描画データや、各手段からの各種データ等を記憶すると共に、各種データを処理するためのプログラム等を記憶するハードディスク２０４と、ＲＯＭ２０３やハードディスク２０４に記憶されたプログラム等に従い、各種データを演算処理するＣＰＵ２０５と、これらを互いに接続するバス２０６と、が備えられている。

そして、制御部１９７は、各手段からの各種データを、インタフェース２０１を介して入力すると共に、ハードディスク２０４に記憶された（または、ＣＤ−ＲＯＭドライブ等により順次読み出される）プログラムに従ってＣＰＵ２０５に演算処理させ、その処理結果を、駆動部１９６（各種ドライバ）を介して各手段に出力する。これにより、装置全体が制御され、液滴吐出装置１の各種処理が行われる。

ここで、吸引ユニット１５によって行われる吸引用の吸引処理とフラッシング用の吸引処理の同時並行処理について説明する。この同時並行処理では、各キャリッジユニット５１（機能液滴吐出ヘッド１７）に対し、吸引用の吸引処理およびフラッシング用の吸引処理のうち所望の処理を同時に行う。基本的には、吸引用の吸引は高圧吸引（負圧大）であり、フラッシング用の吸引は低圧吸引（負圧小）である。ここでは、１例として、１０個のキャリッジユニット５１のうち、５個のキャリッジユニット５１に対しフラッシングを行い、他５個のキャリッジユニット５１に対し吸引を行うものとする。

吸引用の吸引処理を行うキャリッジユニット５１では、対応する昇降機構３０６によりキャップユニット３０３を密接位置に移動すると共に、切換バルブ１３４を制御して、当該キャップユニット３０３への流路接続を吸引用の第１廃液タンク１０１ａ（第１廃液タンク１０１ａ側のタンク側流路１１３）に切り替える。

フラッシング用の吸引処理を行う５個のキャリッジユニット５１では、対応する昇降機構３０６により５個のキャップユニット３０３を離間位置に移動すると共に、切換バルブ１３４を制御して、当該キャップユニット３０３への流路接続をフラッシング用の第２廃液タンク１０１ｂ（第２廃液タンク１０１ｂ側のタンク側流路１１３）に切り換える。

これらの状態で、同時並行処理を行う。吸引を行う５個のキャリッジユニット５１では、圧力制御機構１０３により第１廃液タンク１０１ａが吸引処理に適した圧力に調整され、キャリッジユニット５１に密着した状態で複数の（５個の）キャップユニット３０３が負圧（吸引）される。この吸引動作では、機能液を機能液滴吐出ヘッド１７に初期充填する場合の吸引や、通常の機能回復のための吸引があり、これらは、実験により求めた最良の吸引圧力により吸引動作を行うようになっている。特に、上記の初期充填では、流路内の気泡排除のため、吸引初期は強い吸引力で吸引を行い、吸引終期は弱い吸引力で吸引を行う等の制御（プロセス制御）も行うようになっている。

一方、フラッシングを行う５個のキャリッジユニット５１では、機能液滴吐出ヘッド１７により捨て吐出を行うと共に、圧力制御機構１０３により第２廃液タンク１０１ｂがフラッシングに適した圧力に調整され、キャリッジユニット５１に離間した状態で複数の（５個の）キャップユニット３０３の吸引が行われる。この場合の吸引は、フラッシングによりヘッドキャップ３０１に溜まった機能液を吸引することの他、フラッシングより生ずる機能液滴のミストも周囲エアーと共にヘッドキャップ３０１に吸引するようになっている。このため、吸引機構１００による吸引動作を開始した後（数秒後）、フラッシングを開始し、フラッシングを終了した後（数秒後）、吸引動作を終了する。また、吸引圧（負圧）は、ヘッドキャップ３０１の機能液吸収材から機能液を吸引可能であって、且つ周囲エアーの流れにより、吐出ノズル９８のメニスカスを構成する機能液が乾燥しない程度のものとしている。

このように、一対の切換バルブ１３４,１３４により、機能液吸引流路１０２を任意の１の廃液タンク１０１に選択的に流路切換えすることにより、複数のキャップユニット３０３をキャップユニット３０３単位で、相互に吸引圧力が異なる複数の廃液タンク１０１と連通させることができる。すなわち、吸引処理において、ヘッドキャップ３０１を介して機能液滴吐出ヘッド１７に、キャップユニット３０３単位で、高低の吸引圧力を選択的に作用させることができる。これにより、複数のキャップユニット３０３に対し、同時並行的に異なる吸引圧力による吸引処理を行うことができる。また、各吸引手段（廃液タンク１０１および圧力制御機構１０３）は、複数のキャップユニット３０３の吸引処理を行う構成であるため、キャップユニット３０３単位で吸引手段を設ける場合に比して、その数を少なくすることができ、スペース効率の向上および構造の単純化を図ることができる。

また、各吸引手段を、廃液タンク１０１およびイジェクタ１６２で構成することにより、吸引手段の構造を単純化することができると共に、機能液に対する耐薬品性に優れた構造とすることができる。

さらに、各吸引手段が、イジェクタ１６２に供給される圧縮エアーの圧力を調整する電空レギュレータ１６３を有し、制御部１９７によって電空レギュレータ１６３を制御することにより 各廃液タンク１０１に導入する吸引のための負圧（吸引圧力）を、機能液の粘性や吸引処理の形態に合わせて簡単に調整することができる。もちろん、異種の機能液を新たに導入する場合や吸引形態を変更する場合等にも、簡単に対応させることができる。

またさらに、一方の吸引手段（第１廃液タンク１０１ａおよびその圧力制御機構１０３）は、各ヘッドキャップ３０１を各機能液滴吐出ヘッド１７に密接した状態で吸引し、他方の吸引手段（第２廃液タンク１０１ｂおよびその圧力制御機構１０３）は、各ヘッドキャップ３０１を各機能液滴吐出ヘッド１７から離間させた状態で吸引するためのものであることで、一方の吸引手段を、機能液滴吐出ヘッド１７から機能液を吸引する機能回復用とし、他方の吸引手段を、機能液滴吐出ヘッド１７から捨て吐出された機能液をヘッドキャップ３０１から吸引する機能維持用とすることができる。これにより、各機能液滴吐出ヘッド１７の目詰り等の状態により、吸引手段を使い分けることができる。

なお、一例として、５個のキャリッジユニット５１に対し吸引用の吸引処理を行い、他５個のキャリッジユニット５１にフラッシング用の吸引処理を行うものを表記したが、上記したように、各キャリッジユニット５１に対する吸引処理の選択は、一対の切換バルブ１３４により行うことができる。各廃液タンク１０１による適正圧力（フラッシング用の適正圧力もしくは吸引用の適正圧力）は、流路接続されたヘッドキャップ３０１の数に応じて異なるため、電空レギュレータ１６３による各廃液タンク１０１の圧力制御は、切換バルブ１３４の開閉（開放数）および圧力計１４２の検出値に基づいて行われる。なお、吸引するかフラッシングするかは、上記の吐出性能検査ユニット１８の検査結果に基づいて決定される。

まず、切換バルブ１３４により当該廃液タンク１０１に流路接続されたキャップユニット３０３の数から流路接続されたヘッドキャップ３０１の数を算出する（圧力制御する廃液タンク１０１のタンク側流路１１３に接続された切換バルブ１３４の開放数×２）。算出されたヘッドキャップ３０１から、予め実験で得られた係数テーブルにより適正圧力を求める。その後、圧力計１４２により検出した廃液タンク１０１の圧力が適正圧力となるように電空レギュレータ１６３を制御する（フィードバック制御）。

このように、切換バルブ１３４の開放数に応じて、電空レギュレータ１６３を制御することで、各キャップユニット３０３（ヘッドキャップ３０１）における吸引圧力を一定にすることができる。これにより、吸引処理を行う機能液滴吐出ヘッド１７の数に関係なく、各キャップユニット３０３（ヘッドキャップ３０１）の吸引流量を一定量とすることができる。また、圧力計１４２の検出値に基づいて電空レギュレータ１６３を制御することにより、いずれのキャップユニット３０３（ヘッドキャップ３０１）においても、吸引圧力が常に一定になるように制御することができ、機能液の種別を考慮しつつ機能液滴吐出ヘッド１７に対する吸引処理を適切に行うことができる。なお、係数テーブルは、ヘッドキャップ３０１の数に加え、機能液の粘性に基づいて適正圧力が設定されていることが好ましい。

なお、上記吸引動作例では、制御方法として、圧力計１４２の検出値に基づいて、電空レギュレータ１６３を制御する方法を用いたが、次のような制御方法を用いても良い。

本別制御方法では、流量計１３５を用いて電空レギュレータ１６３の制御を行う。適正流量を求め、廃液タンク１０１に流入する機能液流量が適正流量になるよう電空レギュレータ１６３の圧力制御を調整する（フィードバック制御）。

この構成によれば、流量計１３５に基づいて電空レギュレータ１６３の制御することにより、圧力計１４２を用いた場合と同様、いずれのキャップユニット３０３（ヘッドキャップ３０１）においても、吸引圧力が常に一定になるように制御することができ、機能液の種別を考慮しつつ機能液滴吐出ヘッド１７に対する吸引処理を適切に行うことができる。

なお、本実施形態においては、１０個のキャリッジユニット５１を備えた液滴吐出装置１を備えたものを使用しているが、キャリッジユニット５１の個数および各キャリッジユニット５１に搭載される機能液滴吐出ヘッド１７の個数は任意である。

また、本実施形態においては、Ｒ（レッド）、Ｇ（グリーン）、Ｂ（ブルー）、Ｃ（シアン）、Ｍ（マゼンダ）、Ｙ（イエロー）の６色の機能液が供給される機能液滴吐出ヘッド１７を用いたものを使用しているが、供給される機能液の色数、色種は任意であり、例えば、ＲＧＢ３色や単色、Ｒ・Ｇ・Ｂ・ＬＲ（ライトレット）・ＬＧ（ライトグリーン）・ＬＢ（ライトブルー）６色の機能液を供給する液滴吐出装置１に本発明を用いても良い。さらに、本実施形態では、１０組の吸引装置を用いているが、その数は任意であり、単一の吸引装置のみ備えたものを使用しても良い。またさらに、本実施形態においては、１０個のキャリッジユニット５１に対応して１０台のキャップユニット３０３を備えているが、例えば、各キャップユニット３０３に単一のヘッドキャップ３０１を搭載し、１０×１２個の機能液滴吐出ヘッド１７に対応して１０×１２台のキャップユニット３０３を用いても良い。かかる場合には、各キャップユニット３０３を支持する１０×１２台の支持部材３０５と、支持機構３０５を介して各キャップユニット３０３を昇降する１０×１２台の昇降機構３０６を有する必要がある。このような構成によれば、同時並行処理にて、各機能液滴吐出ヘッド１７（各ヘッドキャップ３０１）において、吸引するか、フラッシングするかを選択することができる。

次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。

まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１０は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１１は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１１（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。

続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１１（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１１（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１７により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂ、５０８Ｃ，５０８Ｍ，５０８Ｙを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。

以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。

次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１１（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂ・Ｃ・Ｍ・Ｙの６色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂ・Ｃ・Ｍ・Ｙの６色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、６色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂ、５０８Ｃ，５０８Ｍ、５０８Ｙを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂ、５０８Ｃ，５０８Ｍ、５０８Ｙを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１１（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂ、５０８Ｃ，５０８Ｍ、５０８Ｙの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂ、５０８Ｃ，５０８Ｍ、５０８Ｙが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。

図１２は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１１に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。

この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１２において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。

液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂ、５０８Ｃ，５０８Ｍ、５０８Ｙが位置するように構成されている。

通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。

実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。

図１３は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。

液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂ、５０８Ｃ，５０８Ｍ、５０８Ｙが位置するように構成されている。

図１４は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。

この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。

対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。

また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。

なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。

次に、図１５は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。

この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。

回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。

また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。

そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。

このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。

上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。

バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。

上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。

発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）、シアン色（Ｃ）、マゼンダ色（Ｍ）またはイエロー色（Ｙ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。

そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。

陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。

次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１６〜図２４を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１６に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。

まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１７に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１８に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。

表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。

そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。

図１９に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１７から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２０に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。

次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。

そして次に、図２１に示すように、各色のうちのいずれか（図２１の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。

その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２２に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。

同様に、機能液滴吐出ヘッド１７を用い、図２３に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、シアン色（Ｃ）、マゼンダ色（Ｍ）およびイエロー色（Ｙ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。

以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。

対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２４に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ₂、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。

このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。

次に、図２５は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂ、シアン色放電室７０５Ｃ、マゼンダ色放電室７０５Ｍ、イエロー色放電室７０５Ｙの６つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。

第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。

放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）、シアン（Ｃ）、マゼンダ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが、シアン色放電室７０５Ｃの底部にはシアン色蛍光体７０９Ｃが、マゼンダ色放電室７０５Ｍにはマゼンダ色蛍光体７０９Ｍが、イエロー色放電室７０５Ｙにはイエロー蛍光体７０９Ｙが、各々配置されている。

第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。

本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１７により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。

補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。

ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ，Ｃ，Ｍ，Ｙ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。

次に、図２６は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。

第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。

第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）、シアン（Ｃ）、マゼンダ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂ、並びにシアン色蛍光体、マゼンダ色蛍光体およびイエロー色蛍光体が、箇所所定のパターンで配置されている（シアン、マゼンダ、イエローについては図示省略）。

そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。

この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ，Ｃ，Ｍ，Ｙ）の蛍光体８１３を、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。

第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２７（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２７（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。

また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。

実施形態に係る液滴吐出装置の斜視図である。 液滴吐出装置の平面図である。 液滴吐出装置の側面図である。 ヘッド群を構成する機能液滴吐出ヘッドの図である。 機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。 キャップユニット周りの断面図である。 キャップユニットの平面図である。 吸引ユニットの配管系統図である。 液滴吐出装置の主制御系について説明したブロック図である。 カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。 （ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。 有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。 無機物バンク層の形成を説明する工程図である。 有機物バンク層の形成を説明する工程図である。 正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。 正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。 青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。 青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 陰極の形成を説明する工程図である。 プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。 電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。 表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。

符号の説明

１：液滴吐出装置、 １１：Ｘ軸テーブル、 １２：Ｙ軸テーブル、 １５：吸引ユニット、 １７：機能液滴吐出ヘッド、 ５１：キャリッジユニット、 ９７：ノズル面、 １００：吸引機構、 １０１：廃液タンク、 １０１ａ：第１廃液タンク、 １０１ｂ：第２廃液タンク、 １１１：キャップ側流路、 １１２：キャップ側合流部、 １３１：個別流路、 １３２：タンク側合流部、 １３３：合流流路、 １３４：切換バルブ、 １３５：流量計、 １４２：圧力計、 １６２：イジェクタ、 １６３：電空レギュレータ、 １９７：制御部、 ３０１：ヘッドキャップ、 ３０２：キャッププレート． ３０３：キャップユニット、 ３０５：支持部材、 ３０６：昇降機構、 Ｗ：ワーク

Claims (15)

1. インクジェット方式の複数の機能液滴吐出ヘッドのノズル面に対し、離接自在に密接する複数のヘッドキャップを備えた吸引装置であって、
   １以上の前記ヘッドキャップを搭載した複数のキャップユニットと、
   前記各ヘッドキャップを前記キャップユニット単位で離接動作させる離接機構と、
   それぞれが前記複数のキャップユニットに接続され、前記キャップユニット単位で前記各ヘッドキャップから機能液を吸引すると共に相互に吸引圧力が異なる複数の吸引手段と、
   上流側を前記各キャップユニットに接続した主流路、および分岐部を介して前記主流路から分岐し下流側を前記各吸引手段に接続した複数の個別流路から成る複数組の吸引流路と、
   前記各吸引流路の前記分岐部に介設され、前記各吸引流路を任意の１の前記吸引手段に選択的に流路切換えする複数の流路切換え手段と、を備えたことを特徴とする吸引装置。
2. 前記各吸引手段は、前記個別流路の下流端が接続された廃液タンクと、
   一次側に圧縮エアーを導入すると共に二次側を前記廃液タンクの上部空間に接続したイジェクタと、を有していることを特徴とする請求項１に記載の吸引装置。
3. 前記各吸引手段は、前記一次側圧縮エアーの圧力を調整する圧力調整手段と、
   前記圧力調整手段を制御する制御手段と、を更に有していることを特徴とする請求項２に記載の吸引装置。
4. 前記各吸引手段を接続した前記個別流路には、前記個別流路を開閉する流路開閉手段がそれぞれ介設されており、
   前記各制御手段は、前記各キャップユニットにおける吸引圧力が一定になるように、前記複数の流路開閉手段のうちの開放している前記流路開閉手段の開放数に応じて、前記圧力調整手段を制御することを特徴とする請求項３に記載の吸引装置。
5. 吸引時の前記各廃液タンクの圧力を検出する圧力検出手段を、更に備え、
   前記各制御手段は、前記廃液タンク内の圧力が前記開放数に応じた所定の圧力なるように、前記圧力制御手段を制御することを特徴とする請求項４に記載の吸引装置。
6. 吸引より前記各廃液タンクに流入する機能液流量を検出する流量検出手段を、更に備え、
   前記制御手段は、前記廃液タンクに流入する機能液流量が前記開放数に応じた所定の流量なるように、前記圧力制御手段を制御することを特徴とする請求項４に記載の吸引装置。
7. 前記複数の吸引手段は、２つの吸引手段で構成されており、
   一方の前記吸引手段は、前記各ヘッドキャップを前記各機能液滴吐出ヘッドに密接した状態で吸引するためのものであり、
   他方の前記吸引手段は、前記各ヘッドキャップを前記各機能液滴吐出ヘッドから離間させた状態で吸引するためのものであることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の吸引装置。
8. 前記複数の個別流路は、マニホールドにより合流し、合流流路を介して前記各吸引手段に接続されており、
   前記マニホールドは、上端を円板状の蓋体により閉蓋されてロート状に形成され、前記複数の個別流路の下流端は、周方向に均等配置するようにして前記蓋体に接続されていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の吸引装置。
9. 前記複数の機能液滴吐出ヘッドが、機能液の色別に複数組設けられており、
   請求項１ないし８のいずれかに記載された吸引装置を、機能液の色別に複数組を備えたことを特徴とする吸引システム。
10. 前記複数組の吸引装置は、６色の機能液に対応して６組の吸引装置で構成されていることを特徴とする請求項９に記載の吸引システム。
11. 前記キャリッジユニットは、１以上の前記ヘッドキャップを色別に複数組搭載していることを特徴とする請求項９または１０に記載の吸引システム。
12. ワークに対し、インクジェット方式の複数の機能液滴吐出ヘッドを移動させながら、前記各機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出させて描画を行なう描画手段と、
    請求項１ないし８のいずれかに記載された吸引装置と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
13. ワークに対し、インクジェット方式の複数の機能液滴吐出ヘッドを移動させながら、前記各機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出させて描画を行なう描画手段と、
    請求項９ないし１１のいずれかに記載の吸引システムと、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
14. 請求項１２または１３に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
15. 請求項１２または１３に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。

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