CN100410077C - 液滴喷出装置、以及电光装置的制造方法、电光装置和电子设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种液滴喷出装置，包括通过功能液滴喷出头(72)在工件(W)上进行描绘的描绘机构、对功能液滴喷出头(72)进行维护的维护机构(46)，描绘机构具有搭载工件(W)并且使工件(W)在X轴方向移动的X轴台(42)、把功能液滴喷出头(72)搭载在滑架(75)上的多个滑架部件、使多个滑架部件在描绘区(51)和维护区(52)之间移动的Y轴台(43)，Y轴台(43)能使多个滑架部件分别移动。由此，能够不损害更换性和维护性而构成大型头部件。

Description

液滴喷出装置、以及电光装置的制造方法、电光装置和电子设备

技术领域

本发明涉及一边使功能液滴喷出头相对移动，一边向工件上喷出功能液，进行描绘，并且对功能液滴喷出头进行维护的液滴喷出装置、以及电光装置的制造方法、电光装置和电子设备。

背景技术

作为以往的液滴喷出装置，已知有机EL装置或滤色器的制造中使用的喷墨方式的液滴喷出装置(例如参照专利文献1)。该液滴喷出装置包含具有在石平台上搭载有工件即衬底的X轴台、搭载有功能液滴喷出头的Y轴台的描绘装置，并且包含与该描绘装置并列设置、在机台上对功能液滴喷出头进行功能液吸引和擦拭的维护装置。在Y轴台上，可自由移动地垂直设置有主滑架，在该主滑架上支撑着由子滑架(头板)和搭载在子滑架上的12个功能液滴喷出头构成的头部件。

而且，通过X轴台，衬底在主扫描方向(X轴方向)往返移动，与它同步，从各功能液滴喷出头喷出功能液，并且在每次往返移动中，通过Y轴台使头部件(功能液滴喷出头)向副扫描方向(Y轴方向)移动，对衬底的整体区域进行描绘。

而当进行功能液滴喷出头的维护时，通过Y轴台把头部件送入维护装置中，在该状态下，对该头部件进行基于吸引部件的功能液的吸引处理、基于擦拭部件的擦拭处理。此外，当更换由主滑架可装卸自如地支撑的头部件时，使头部件向与维护装置相反一侧的原位置移动，进行更换作业。

专利文献1：特开2003-266673号公报

在这样的以往的液滴喷出装置中，有必要一边使头部件在X轴方向和Y轴方向移动，一边对衬底(工件)进行功能液的喷出，所以当工件为大型时，存在在该处理(节拍时间)中花费时间的问题。这时，考虑到象所谓的行式打印机那样，使用通过全部功能液滴喷出头网罗一个描绘行的头部件。

可是如果这样，当在一部分功能液滴喷出头中产生问题时，有必要把头部件作为整体更换，可以设想更换作业会变得复杂。此外，有必要与头部件对应而设置吸引部件和擦拭部件，从而可以设想维护装置会变得庞大。

发明内容

本发明的课题在于：提供不损害更换性和维护性，就能构成大型头部件的液滴喷出装置、以及电光装置的制造方法、电光装置和电子设备。

本发明的液滴喷出装置具有：相对于面对描绘区的工件，一边使导入有功能液的功能液滴喷出头相对移动，一边向工件上喷出功能液，进行描绘的描绘机构；以及与所述描绘机构并列设置，对面对维护区的所述功能液滴喷出头进行维护的维护机构；其特征在于：描绘机构包括：搭载工件，并且使工件在成为主扫描方向的X轴方向移动的X轴台；把功能液滴喷出头搭载在滑架上的多个滑架部件；以及使多个滑架部件在描绘区和维护区之间移动的Y轴台，其中Y轴台的结构为能使多个滑架部件分别移动，所述各滑架部件具有：由所述Y轴台的滑块支撑的滑架；以及装卸自如地保持在所述滑架上，由所述功能液滴喷出头和搭载它的头板构成的头部件。

根据该结构，通过把功能液滴喷出头搭载在滑架上的多个滑架部件构成描绘行，并且通过Y轴台，使多个滑架部件能分别移动，所以通过排列多个滑架部件，能构成宽幅度(长行)的描绘行，并且能够使滑架部件分别面对维护机构，进行维护处理。此外，通过Y轴台能使滑架部件分别移动到更换区，能对各滑架部件进行功能液滴喷出头的更换等。

因此，能构成不损害更换性和维护性，就形成宽幅度(长行)的描绘行的大型头部件。

这时，优选通过搭载在多个滑架部件上的多个功能液滴喷出头的全部喷出喷嘴，构成与描绘区的描绘宽度对应的1描绘行。

根据该结构，不需要副扫描(向Y轴方向的间歇移动)，能对一个工件进行描绘，能大大缩短对工件的描绘处理的生产节拍时间。

这时，优选Y轴台的驱动源由线性电机构成。

根据该结构，能以单纯的构造，并且以高精度进行对多个滑架部件的各自的移动。

这时，优选各滑架部件具有：由Y轴台的滑块支撑的滑架；以及可装卸自如地保持在滑架上，由功能液滴喷出头和搭载它的头板构成的头部件，维护区兼任在滑架上装卸头部件的更换区。

根据该结构，能利用维护区，容易地进行头部件相对于滑架的装卸，即通过头部件，能容易进行功能液滴喷出头的更换。当由于功能液的性质而使用更换频率高的功能液滴喷出头时，特别有用。

这时，优选在各头板上搭载有多个功能液滴喷出头，多个功能液滴喷出头以给定的配置图案配置为全部喷出喷嘴构成成为描绘行的一部分的部分描绘行，配置图案由在X轴方向和Y轴方向分别把位置错开，按照阶梯状并且配置为单一列的功能液滴喷出头群构成。

同样，优选在各头板中搭载有多个功能液滴喷出头，多个功能液滴喷出头以给定的配置图案配置为全部喷出喷嘴构成成为描绘行的一部分的部分描绘行，配置图案由在X轴方向和Y轴方向分别把位置错开，按阶梯状并且在Y轴方向配置在多列中的功能液滴喷出头群构成。

根据这些结构，能使用标准的喷出喷嘴数的多个功能液滴喷出头，构成描绘行，并且只放弃功能不全的功能液滴喷出头，就能再生头部件，不会损害功能液滴喷出头的成品性。此外，通过采用后者的配置图案，不变更多个滑架部件的整体在Y轴方向的长度，能使X轴方向的宽度变窄，能紧凑构成装置整体。

这时，优选在各滑架部件上分别搭载对功能液滴喷出头供给功能液的功能液容器。

根据该结构，能大大缩短功能液容器和功能液滴喷出头之间的距离，并且能使功能液容器和功能液滴喷出头间的功能液管的配置大大简化。据此，能使来自功能液滴喷出头的功能液的喷出稳定化。此外，优选在功能液容器和功能液滴喷出头之间设置压力调整阀。通过这样，能消除功能液容器和功能液滴喷出头间的液位差压的变动引起的功能液滴喷出头的不稳定的功能液喷出。

这时，优选维护机构具有：从功能液滴喷出头的各喷出喷嘴吸引功能液的吸引部件；以及通过擦拭薄片擦拭吸引后的功能液滴喷出头的喷嘴面的擦拭部件。

根据该结构，通过对功能液滴喷出头进行基于吸引部件的吸引处理和基于擦拭部件的擦拭处理，能把各滑架部件的功能液滴喷出头的喷出功能维持在良好的状态。须指出的是，如果采用吸引部件和擦拭部件与一个滑架部件对应的构造，以滑架部件为单位进行维护处理(吸引处理和擦拭处理)，则即使多个滑架部件的整体大型化，也没必要使维护机构大型化。

本发明的电光装置的制造方法的特征在于：使用所述液滴喷出装置，在工件上形成基于功能液滴的成膜部。

本发明的电光装置的特征在于：使用所述液滴喷出装置，在工件上形成有基于功能液滴的成膜部。

根据这些结构，使用以极高精度并且短时间处理对工件的描绘的液滴喷出装置制造，所以能制造可靠性高的电光装置。须指出的是，作为电光装置(平板显示器)，可以考虑到滤色器、液晶显示装置、有机EL装置、PDP装置、电子发射装置等。须指出的是，电子发射装置是包含FED(FieldEmission Display)或SED(Surface-conduction Electron-Emitter Display)装置的概念。并且，作为电光装置，可以考虑到包含金属布线的形成、透镜的形成、抗蚀剂的形成和光扩散体的形成的装置。

本发明的电子设备的特征在于：搭载有通过所述电光装置的制造方法制造的电光装置或所述电光装置。

这时，作为电子设备，搭载有所谓的平板显示器的移动电话、个人电脑等电气制品相当于它。

附图说明

图1是本发明实施例的描绘系统的平面模式图。

图2是本发明实施例的液滴喷出装置的外观立体图。

图3是本发明实施例的液滴喷出装置的平面图。

图4是本发明实施例的液滴喷出装置的主视图。

图5是本发明实施例的液滴喷出装置的侧视图。

图6是头部件的说明图，是表示头部件的头板周围的图。

图7是功能液滴喷出头的外观立体图。

图8是本实施例的头板的说明图，(a)是头板的外观立体图，(b)是从下方观察头板的图。

图9是说明本实施例的头板的变形例的图，(a)是头板的外观立体图，(b)是从下方观察头板的图。

图10是功能液供给机构的说明图，(a)是压力调整阀周围的说明图，(b)是压力调整阀的剖视图。

图11是角架台周围的外观立体图。

图12是角架台周围的后视图。

图13是分割吸引部件周围的外观立体图。

图14是分割吸引部件周围的侧视图。

图15是擦拭部件周围的外观立体图。

图16是擦拭部件周围的侧视图。

图17是横移动机构的说明图，(a)是表示功能液滴喷出头、和擦拭后并且横移动机构的驱动前的擦拭薄片的位置关系的图，(b)是表示功能液滴喷出头、和擦拭后并且横移动机构的驱动后的擦拭薄片的位置关系的图。

图18是说明描绘装置的主控制系统的框图。

图19是说明定期维护的分割头部件、和分割吸引部件的位置关系的图。

图20是说明定期维护的本实施例的变形例的图，(a)是说明第一分割头部件的擦拭时与分割吸引部件的位置关系的图，(b)是第二分割头部件的擦拭时与分割吸引部件的位置关系的图，(c)是第六分割头部件的擦拭时与分割吸引部件的位置关系的图。

图21是说明头更换时的分割头部件、和分割吸引部件的位置关系的图。

图22是表示第五分割头部件的维护时的分割吸引部件的位置关系的图。

图23是说明滤色器的制造工序的程序流程图。

图24(a)～(e)是按制造工序顺序表示的滤色器的模式剖视图。

图25是表示使用本发明的滤色器的液晶装置的概略结构的主要部分剖视图。

图26是表示使用本发明的滤色器的第二例液晶装置的概略结构的主要部分剖视图。

图27是表示使用本发明的滤色器的第三例液晶装置的概略结构的主要部分剖视图。

图28是有机EL装置即显示装置的主要部分剖视图。

图29是说明有机EL装置即显示装置的制造工序的程序流程图。

图30是说明无机物围堰层的形成的工序图。

图31是说明有机物围堰层的形成的工序图。

图32是说明形成空穴注入/输送层的过程的工序图。

图33是说明形成了空穴注入/输送层的状态的工序图。

图34是说明形成蓝色发光层的过程的工序图。

图35是说明形成了蓝色发光层的状态的工序图。

图36是说明形成了各色发光层的状态的工序图。

图37是说明阴极的形成的工序图。

图38是等离子体型显示装置(PDP装置)即显示装置的主要部分分解立体图。

图39是电子发射装置(FED装置)即显示装置的主要部分剖视图。

图40(a)是表示显示装置的电子发射部周围的平面图，(b)是表示其形成方法的平面图。

图中：3-液滴喷出装置；5-控制装置；41-头部件；42-工件移动机构；43-头移动机构；46-维护机构；51-描绘区；52-维护区；71-分割头部件；72-功能液滴喷出头；73-头板；75-滑架；87-喷嘴面；88-喷出喷嘴；111-θ台；112-吸附台；121-θ固定部；122-θ旋转部；131-台主体；133-支撑底座；201-功能液容器；232-吸引部件；233-擦拭部件；235-部件升降机构；241-冲洗槽；281-擦拭薄片；283-横移动机构；291-薄片供给部件；293-洗净液供给部件；W-工件。

具体实施方式

下面，参照附图，说明应用了本发明的描绘系统。本实施例的描绘系统组入液晶显示装置等所谓的平板显示器的生产线中，形成由R(红)、G(绿)、B(蓝)三色构成的滤色器的着色层(后面描述细节)。

图1是描绘系统的平面模式图。如图1所示，描绘系统1由3组描绘部件2构成。各描绘部件2分别与R、G、B各色对应，依次把工件W(衬底)导入各描绘部件2中，在工件W上每次形成1色的着色层。

如图1所示，各描绘部件2包括：用于形成着色层的液滴喷出装置3；与液滴喷出装置3并列设置，把工件W搬入搬出的工件搬入搬出装置4；连接在各装置上，控制描绘部件2整体的控制装置5。此外，如图1所示，液滴喷出装置3收藏在室装置6中，室装置6是所谓的热室，在温度管理下收藏液滴喷出装置3整体，从而在一定温度条件下进行对工件W的液滴喷出(描绘)。室装置6具有收藏液滴喷出装置3整体的盒状的室主体11、控制它的控制板(省略图示)、和进行温度管理的空调机12，其中空调机12用于使室主体11内的温度变为一定。虽然省略图示，但是在室主体11的右侧面前方形成成为工件的搬入搬出开口的开关门，当对液滴喷出装置3导入工件W时，通过开关门，能接近收藏在室主体11内的液滴喷出装置3。

液滴喷出装置3具有功能液滴喷出头72(省略图示)，在功能液滴喷出头72(省略图示)中导入把与R、G、B的任意一色对应的功能材料(滤色材料)溶解在功能液溶剂中而成的功能液，在工件W上进行基于功能液滴的描绘。工件搬入搬出装置4具有移放工件W的机械手15，通过机械手1 5把未处理(描绘前)的工件W搬入描绘部件2内，把它导入液滴喷出装置3中，并且把处理完毕(描绘完毕)的工件W从液滴喷出装置3回收，把它搬出到描绘部件2外。机械手15能从所述开关门接近室主体11内的液滴喷出装置3，从开关门把机械手15插入室主体11内，进行工件W相对于液滴喷出装置3的导入和回收。控制装置5由个人电脑等构成，除了装置主体，还具有显示器、CD驱动器或DVD驱动器等各种驱动器。

须指出的是，图中表示的符号18是用于设置干燥装置的设置空间，按照状况，能在描绘部件2内设置使对工件W喷出的功能液的功能液溶剂干燥(气化)的干燥装置。

下面说明作为本发明的主要部分的液滴喷出装置3。如图2～5所示，液滴喷出装置3具有设置在地上的大型公共架台21、配置在公共架台21上的装置主体22。如同图所示，在公共架台21上配置石平台31和角架台32，并且直立设置由两组4个支架34a、34b构成的一对支撑支架33。

如图2～5所示，装置主体22包括：具有功能液滴喷出头72的头部件41；直接设置在石平台31上，具有设置工件W的设置台101，通过设置台101使工件W在X轴方向移动(主扫描)的工件移动机构42(X轴台)；配置在一对支撑支架33上，使头部件41向Y轴方向(副扫描方向)移动的头移动机构43(Y轴台)；在设置台101上配置其主要部，在对设置台101除去和供给工件W时，把工件W举起，并且除去工件W的静电的工件除去和供给机构44；对头部件41(功能液滴喷出头72)供给功能液的功能液供给机构45；在角架台上配置其主要部分，维护头部件41(功能液滴喷出头72)的维护机构46。

此外，虽然未图示，但是装置主体22具有：对各机构供给液体，并且回收不要的液体(功能液和洗净液)的液体供给回收机构；供给用于驱动和控制各机构的压缩空气的空气供给部件；用于设置(吸附)工件W的空气吸引机构等。导入该液滴喷出装置3中的工件W是横放在设置台101上的长1800mm×宽1500mm的透明衬底(玻璃衬底)，预先生成有形成着色层的象素区(后面描述)。

在液滴喷出装置3中，与工件移动机构42的驱动同步，驱动功能液滴喷出头72，从而对工件W的象素区内喷出功能液，对工件W进行描绘处理(液滴喷出处理)。即通过头部件41和工件移动机构42构成描绘机构。而在更换工件等非描绘处理时，驱动头移动机构43，(通过后面描述的滑架75)使头部件41面对维护机构46，通过维护机构46进行功能液滴喷出头72的维护处理。如上所述，液滴喷出装置3收藏在室装置6内，在室装置6内进行包含一系列的描绘处理和维护处理的处理。

须指出的是，如图3所示，基于工件移动机构42的工件W的移动轨迹和基于头移动机构43的头部件41的移动轨迹相交，成为进行描绘处理的描绘区51。此外，基于头移动机构43的头部件41的移动轨迹上的面对维护机构46的区域为进行维护处理的维护区52。此外，维护区52兼作用于更换头部件42的头更换区。工件移动机构42的图示跟前一侧的区域成为对液滴喷出装置3搬入搬出(导入导出)工件W的工件搬入搬出区53，面对该工件搬入搬出区53设置所述工件搬入搬出装置4。

下面，说明液滴喷出装置3的各构成要素。如图2～图5所示，石平台31形成大致长方体，在X轴方向延伸。此外，石平台31具有从中央部向Y轴方向的左右伸出的伸出部31a，在俯视图中构成变形“十”字形。角架台32把角材形成方形，在Y轴方向，与石平台31(的伸出部31a)并列配置。

如这些图所示，一对支撑支架33隔着角架台32并列配置在X轴方向(前后)。各支撑支架33跨石平台31和角架台32的配置范围，在Y轴方向延伸，具有排列在Y轴方向的2组4根支柱61、架在4根支柱61间的柱状支撑构件62。即一对支撑支架33具有4组8根支柱61、两个柱状支撑构件62。各支撑支架33的2组支柱61分别长度不同。而且，为了使2组4根支柱61变为相同的高度，短的1组支柱竖立设置在石平台31的伸出部31a上，长的1组支柱设置在公共架台21上。

柱状支撑构件62由具有同一端面的两个块63a和63b构成。两个块63a和63b由石材构成。块63a与Y轴方向平行地架设在竖立设置于石平台31上的2根支柱61a间。同样，块63b与Y轴方向平行地架设在竖立设置于公共架台21上的2根支柱61b间。即由两根支柱61a和块63a构成支架34a，由两根支柱61b和块63b构成支架34b。这两个块63a和b对于Y轴方向，以端面相互紧挨着的状态下连接，并且固定在支柱61a和b上。而且，由在Y轴方向连续并设的63a和b构成柱状支撑构件62。须指出的是，也可以在各支柱61和柱状支撑构件62之间设置高度调整板66，调整柱状支撑构件62(的上端面)的高度(参照图5)

下面，说明装置主体22的各机构。如图6所示，头部件41由排列配置在Y轴方向的多个(7个)分割头部件71构成。如图5、图6和图8所示，各分割头部件71具有：12个功能液滴喷出头72；支撑12个功能液滴喷出头72的头板73；用于把各功能液滴喷出头72固定在头板73上的12个头保持构件74；支撑在所述头移动机构43上，并且支撑头板73的滑架75。

即由滑架75和支撑在其上的头板73构成滑架部件。滑架部件垂直于头移动机构43的桥板141(后面描述)设置，7个滑架部件能通过头移动机构43，沿Y轴方向(一方向)个别移动。

如图7所示，功能液滴喷出头72是所谓的双联的喷出头，包含：具有双联的连接针82的功能液导入部81；与功能液导入部81连接的双联的头衬底83；与功能液导入部81的下方连接，在内部形成由功能液充满的头内流道的头主体84。连接针82连接在图外的功能液容器201(后面描述)上，对功能液滴喷出头72的头内流道供给功能液。头主体84由腔85(压电元件)、具有喷出喷嘴88开口的喷嘴面87的喷嘴板86构成。在喷嘴面87上形成2列由多个(180个)喷出喷嘴88构成的喷嘴列。如果喷出驱动功能液滴喷出头72，则通过腔85的泵作用，从喷出喷嘴88喷出功能液滴。

如图6和图8所示，头板73由不锈钢等构成的俯视图为平行四边形的厚板构成。在头板73上，形成把12个功能液滴喷出头72定位，通过头保持构件74，从背面一侧固定各功能液滴喷出头72的12个安装开口(省略图示)。形成在各头板73上的12个安装开口以在X轴方向和Y轴方向位置分别错开的状态下，配置为1列。据此，各功能液滴喷出头72固定为喷嘴列与X轴方向平行，并且12个功能液滴喷出头72构成1列的功能液滴喷出头群，配置为阶梯状，从而对于头板73，该喷嘴列的一部分(在Y轴方向)重复。即通过搭载在各分割头部件71上的液滴喷出头群(12个功能液滴喷出头72)的喷嘴列(喷出喷嘴88)，构成一条分割描绘行(部分描绘行)。

如图5所示，滑架75具有：可插拔地支撑头板73的滑架主体91；安装在滑架主体91的上面，用于进行对(头板73的)θ方向的位置修正的θ旋转机构92；通过θ旋转机构92悬挂设置滑架主体91，并且固定和支撑在头移动机构43上的外观“I”形的悬挂设置部件93。

虽然省略图示，但是在滑架主体91上设置用于对头板73定位的定位机构。据此，在头部件41中，7个分割头部件71排列配置在Y轴方向(参照图6)。即在Y轴方向，配置各分割头部件71的功能液滴喷出头72，从而与位于对应的位置关系(同一配置位置)的其它6个功能液滴喷出头72成直线。换言之，通过定位头板73，分别位于对应的位置关系的7个功能液滴喷出头72构成的功能液滴喷出头列以在X轴方向排列12列、在Y轴方向位置错开的状态下配置。

而且，如果排列配置7个分割头部件71，则各分割头部件71的7条分割描绘行在Y轴方向连续，为了构成与工件W的描绘宽度对应的1描绘行，在定位的状态下支撑各头板73。即分割描绘行把1描绘行分割为7个，分配给各分割头部件71，如果排列配置7个分割头部件71，则头板73成直线，形成由7条分割描绘行(12×7个功能液滴喷出头72的喷嘴列)构成的1描绘行。与工件W长边的长度对应而设定1描绘行，从而能与工件W的纵放、横放对应，为1800mm。须指出的是，头部件41(全部分割头部件71)面对描绘区51，形成1描绘行的位置成为头部件41的描绘原位置，在该位置进行工件W的描绘处理。

须指出的是，如果搭载在头板73上的各功能液滴喷出头72的喷嘴列(喷出喷嘴88)在Y轴方向连续，能形成分割描绘行，则头板73中的功能液滴喷出头72的配置方法能任意设定。在本实施例中，在头板73上配置12个功能液滴喷出头72，从而喷嘴列的一部分在Y轴方向重复，但是也可以把12个功能液滴喷出头72配置为使喷嘴列不重复，通过12个功能液滴喷出头72的全部喷出喷嘴88构成1描绘行。此外，如图9所示，可以把12个功能液滴喷出头72分为2组(多列)配置。如果把多个功能液滴喷出头72分割为多列配置，就能减小X轴方向的头板73的宽度。同样如果能形成1描绘行，就能任意设定分割头部件71的配置。此外，当然就能按照实际情况任意设定各分割头部件71上搭载的功能液滴喷出头72的个数、分割头部件71数目等。

如图2～图5所示，工件移动机构42具有：设置工件W的设置台101；把设置台101支撑为在X轴方向可以自由滑动的X轴气动滑块102；在X轴方向延伸，通过设置台101使工件W在X轴方向移动的左右一对X轴线性电机103；与X轴线性电机103并列设置，引导X轴气动滑块102的移动的一对X轴导轨(省略图示)；用于把握设置台101的位置的X轴线性标尺104(省略图示)。

如图4和图5所示，设置台101是在由X轴气动滑块102支撑的θ台111上层叠吸附设置工件W的吸附台112而成的。θ台111具有固定在X轴气动滑块102上的θ固定部121(台底座)；支撑吸附台112，并且由θ固定部121支撑为能(在θ轴方向)旋转的θ旋转部122(旋转台)。通过吸附台112，通过使工件W在θ轴方向转动，微调(修正)工件W的θ位置。须指出的是，在θ固定部121上支撑后面描述的维护机构46的冲洗部件231。

吸附台112具有：吸附设置工件W的台主体131；支撑台主体131的3组台支撑构件132；固定在θ台111上，通过台支撑构件132支撑台主体131的支撑底座133。台主体131由厚板状的石平板构成，在俯视图中形成大致正方形。台主体131的一边配合工件W的长边的长度，形成为1800mm，能把工件W以纵放和横放的任意方向设置。如图2和图3所示，在台主体13 1的表面形成多个用于吸引工件W的吸引沟134。而且，在各吸引沟134中形成与所述空气吸引机构连接的吸引孔(省略图示)，通过吸引沟134能对工件W作用充分的吸引力。

3组台支撑构件132在3点支撑台主体131，从而θ台111的旋转轴(θ轴)、台主体131的重心一致。细节将在后面描述，但是在吸附台112中组入工件除去和供给机构44的举起机构161和预对齐机构171。而且，在支撑底座133上配置举起机构161和预对齐机构171的主要部分，并且在台主体131上排列形成用于贯通举起机构161的多个举起销162的通孔135。

X轴线性电机103、一对X轴导轨、X轴线性标尺104直接安放在所述石平板31上。如果(同步)驱动一对X轴线性电机103，则一边在一对X轴导轨上引导，一边使X轴气动滑块102在X轴方向移动，设置在设置台101上的工件W向X轴方向移动。此外，在一对X轴导轨之间并列设置X轴线性标尺104，根据该X轴线性标尺104，计算功能液滴喷出头72的喷出定时。须指出的是，一对X轴线性电机103、一对X轴导轨、X轴线性标尺104收藏在一对X轴收藏盒105内。

如图2～图5所示，头移动机构43架设在描绘区51和维护区52上，并且使头部件41在描绘区51和维护区52之间移动。头移动机构43具有：一个一个支撑所述7个分割头部件71的7个桥板141；为了使7个桥板141排列在Y轴方向，双支撑它的7组Y轴滑块142；在Y轴方向延伸，通过7组Y轴滑块142使7个桥板141在Y轴方向移动的一对Y轴线性电机143；在Y轴方向延伸，引导7个桥板141的移动的一对Y轴导轨144(LM导轨)；通过滑架75检测头部件41(功能液滴喷出头72)的移动位置的Y轴线性标尺146(省略图示)。

如图5所示，在桥板141上形成把滑架75定位的插通开口(省略图示)，桥板141把滑架75(悬挂设置部件93)插在插通开口中，并将其固定。此外，在各桥板141上搭载有驱动对应的分割头部件71的功能液滴喷出头72的头用电气装置145(参照图2和图3)。7个头用电气装置145配置为交错状，从而相邻的桥板的头用电气装置145彼此不干涉，能高效配置桥板141。

一对Y轴线性电机143和一对Y轴导轨144在所述一对支撑支架33的柱状支撑构件62上分别直接设置各一个。此外，Y轴线性标尺146直接配置在一对柱状支撑构件62中的一方上。在本实施例的头移动机构43中，驱动一对Y轴线性电机143，使7组Y轴滑块142同时在Y轴方向移动，从而能把由7个分割头部件71构成的头部件41作为一体并(在形成1描绘行的状态下)在Y轴方向移动。而通过有选择地驱动一对Y轴线性电机143，也能使7组Y轴滑块142分别独立移动，使各分割头部件71个别向Y轴方向移动。

须指出的是，如图5所示，在各柱状支撑构件62上，在其侧面向外固定一对支架151，在一对支架151上支撑Y轴收藏盒152。即与一对柱状支撑构件62并列配置一对Y轴收藏盒152。在一对Y轴收藏盒152上，分为两组收藏与能独立移动的7个分割头部件71对应，使各分割头部件71(头用电气装置145)上连接的管子或电缆类能跟踪各分割头部件71的移动而收藏的7个Y轴电缆支架153。这时，希望与分为两组配置的7个头用电气装置145对应，把7个Y轴电缆支架153分为2组(4个和3个)。

这里，说明一系列的描绘处理。在描绘处理之前，首先驱动头移动机构43，使头部件41向描绘区51(描绘原位置)移动。另一方面，使用工件搬入搬出装置4，向位于工件搬入搬出区53的设置台101导入未处理的工件W。如果在设置台101上设置工件W，工件移动机构42就驱动，使工件W前往主扫描(X轴)方向。与该工件W的前往同步，有选择地驱动功能液滴喷出头72，进行对工件W的功能液的选择性喷出动作(描绘处理)。

如上所述，头部件41的1描绘行配合工件W的长边长度形成，所以与工件W的纵放和横放无关，通过工件W的一次前往，能结束对1个工件W的描绘处理。工件W的一次前往后，继续驱动工件移动机构42，使工件W返回，把描绘处理完毕的工件W移动到工件搬入搬出区53。然后，通过工件搬入搬出装置4从设置台101回收处理完毕的工件W。

在本实施例中，为对于头部件41，使工件W直接移动的结构，但是也可以采用相对于固定的工件W，使头部件41移动的结构。此外，也可以采用不仅在工件W的前往时，在返回时也进行功能液滴喷出头72的喷出驱动，在1次往返中使描绘处理结束的结构。也能使用1描绘行比工件W的一边(描绘宽度)还短的头部件41进行描绘处理。这时通过交替进行一边使工件W移动一边进行1描绘行的描绘的主扫描、在主扫描后使头部件41在Y轴方向移动一描绘行的副扫描，进行描绘处理。

须指出的是，如上所述，工件移动机构42的X轴线性电机103、X轴导轨、X轴线性标尺104直接支撑在石平板31上。此外，头移动机构43的Y轴线性电机143、Y轴导轨144、Y轴线性标尺146直接支撑在由石材构成的柱状支撑构件62上。这样，通过在容易达到高平面度并且热膨胀率小的石材上设置头移动机构43和工件移动机构42的主要部分，能以高精度使工件W和头部件41移动，能以高精度对工件W进行描绘处理。

下面，说明工件除去和供给机构44。工件除去和供给机构44把搬入到工件搬入搬出区53中的未处理的工件W设置(导入)在设置台101上，并且从设置台101回收处理完毕的工件W，具有举起机构161、预对齐机构171、除静电机构181。

如图4和图5所示，举起机构161具有排列配置在X轴方向和Y轴方向，从形成在吸附台112(台主体131)上的通孔135出没的多个举起销162。而且，当把未处理的工件W安放在设置台101上时，从吸附台112使(多个)举起销162突出，从上述的工件搬入搬出装置4的机械手1 5取得工件W后，使举起销162没入吸附台112中。而从吸附台112回收工件W时，使没入吸附台112中的举起销162上升，使工件W从吸附台112举起(离开)。机械手15从下方面对举起的工件W，从吸附台112回收工件W。

如图2～图5所示，预对齐机构171是把由举起机构161安放到吸附台112上的未处理的工件W对于台主体131定位(对齐)的机构，具有：通过用一对X夹持构件(省略图示)夹住工件W的前后端，进行工件W的前后方向(X轴方向)的定位的X轴定位部件1 72；通过用2组Y夹持构件(省略图示)夹住工件W的左右端，进行工件W的左右方向(Y轴方向)的定位的Y轴定位部件174。

除静电机构181通过照射软X射线，除去在工件W的背面剥离带电的静电，例如由离子发生器构成。除静电机构181面对工件搬入搬出区53配置，面对从机械手15移动到举起机构161的工件W、或从吸附台112举起(离开)的工件W，高效除去工件W的静电。

下面，说明功能液供给机构45。功能液供给机构45由与7个分割头部件71对应的7个功能液供给部件190构成，各功能液供给部件190向对应的分割头部件71供给功能液(参照图2和图3)。各功能液供给部件190包含：具有储藏功能液的多个(12个)功能液容器201的容器部件191；连接各功能液容器201和各功能液喷出头72的多个(12个)功能液供给管193；具有设置在多个功能液供给管193之间的多个(12个)压力调整阀211的阀部件192。

如图2和图3所示，容器部件191配置在所述桥板141上，从而隔着所述插通开口，与头用电气装置145对峙。设置在容器部件191上的12个功能液容器201分别(通过12个功能液供给管193)连接在分割头部件71上所搭载的12个功能液滴喷出头72上。须指出的是，功能液容器201是在树脂制的墨盒205中收藏有真空包装功能液的功能液包装206的盒形式，在功能液包装中存储预先脱气的功能液(参照图10)。

如图6所示，阀部件192具有：12个压力调整阀211、把12个压力调整阀211固定在头板73上的12个阀固定构件212。如图10所示，压力调整阀211在阀室224内形成与功能液容器201连接的1次室221、与功能液滴喷出头72连接的2次室222、连通1次室221和2次室222的连通流道223。在2次室222的一个面上，面对外部设置隔膜225，在连通流道223上设置通过隔膜225进行开关动作的阀体226。从功能液容器201导入1次室221的功能液通过2次室222提供给功能液滴喷出头72，但是这时隔膜225以给定的调整基准压力(这里为大气压)变位。据此，连通流道223上设置的阀体226开关工作，调整2次室222内的压力，使2次室222的功能液压力稍微变为负压。

通过在功能液容器201和功能液滴喷出头72之间设置这样的压力调整阀211，不影响功能液容器201的液位差，能稳定对功能液滴喷出头72供给功能液。即通过功能液滴喷出头72(喷嘴面87)的位置和压力调整阀211(隔膜225的中心)的位置的高低差，决定功能液的供给压力，通过使该高低差为给定值，能够使功能液的供给压力保持给定压力。须指出的是，阀体226关闭时，1次室221和2次室222切断，压力调整阀211具有吸收功能液容器1侧(1次一侧)产生的脉动等的缓冲器功能。

如图6所示，12个阀固定构件212仿照在Y轴方向错开位置的分割头部件71的功能液滴喷出头72，在Y轴方向错开位置，配置在头板73上。通过这样仿照功能液滴喷出头72的配置而配置压力调整阀211，能使功能液滴喷出头72和压力调整阀211之间的功能液供给管193的长度一定，能对各功能液滴喷出头72供给大致同一供给压力的功能液。

须指出的是，在本实施例中，在桥板141上配置容器部件191，但是也可以搭载在头板73上。这时，能缩短从功能液容器201到功能液滴喷出头72的功能液供给管193(功能液流道)的长度，能高效利用功能液。此外，阀部件192的设置位置也不局限于头板73上，也能按照实情设置在桥板141上。

下面，说明维护机构46。维护机构46以功能液滴喷出头72的维护为主要目的，具有：冲洗部件231、吸引部件232、擦拭部件233、部件升降机构235。如图5所示，冲洗部件231并设在设置台101上。吸引部件232、擦拭部件233、部件升降机构235支撑在角架台32上(参照图2～4、图11、图12)。

须指出的是，作为维护机构46，除了所述各部件，还希望设置检查从功能液滴喷出头72喷出的功能液滴的飞行状态的喷出检查部件、测定从功能液滴喷出头72喷出的功能液滴的重量的重量测定部件等。

冲洗部件231用于接收冲洗动作、即由功能液滴喷出头72的预备喷出(抛弃喷出)喷出的功能液，特别是，用于接收即将向工件W喷出功能液之前进行的喷出前冲洗动作所喷出的功能液。如图5所示，冲洗部件231由以下部分构成：沿着设置台101配置，接收功能液的冲洗槽241；固定在所述θ台111的θ固定部121上，支撑冲洗槽241的槽支撑构件242。

冲洗槽241形成俯视图为长方形的箱状，在其底面铺设吸收功能液的吸收材料(省略图示)。冲洗槽241的短边与头部件41的X轴方向的长度对应形成，冲洗槽241的长边与台主体131的一边长度(1描绘行的长度)一致形成。即冲洗槽241包含头部件41，能一次接收从搭载在头部件41上的全部功能液滴喷出头72冲洗的功能液。

槽支撑构件242沿着设置台101(吸附台112)的与X轴正交并且位于与所述工件搬入搬出区53相反一侧(图示后方)的边，支撑冲洗槽241。即沿着与吸附台112的成为工件前往时的顶端一侧的边配置冲洗槽241，所以如果工件W沿X轴方向前往，则头部件41面对冲洗部件231后，就变为面对工件W。因此，只为了喷出前的冲洗，不需要使头部件41移动，并且在面对工件W之前，能进行喷出前的冲洗。此外，对设置台101导入和回收工件W时，冲洗槽241位于工件搬入搬出区53的后方一侧，所以不会成为工件W的导入和回收时的障碍。须指出的是，如果使设置台101面对工件搬入搬出区53，则冲洗槽241支撑为面对描绘区51，位于头部件41的正下方(参照图5)。

槽支撑构件242支撑冲洗槽241，从而使冲洗槽241的上端面与吸附台112上设置的工件W的表面大致变为同一平面。这样通过把冲洗槽241支撑为与吸附台112大致同一平面，冲洗槽241与头部件41不干涉，并且能在冲洗槽中高效接收由冲洗喷出的功能液。

如上所述，本实施例是只在工件W的前往时使功能液滴喷出头72喷出驱动的结构，但是在工件W的返回时也使功能液滴喷出头72喷出时，最好设置一对冲洗槽，沿着设置台101的与X轴正交的2边，配置它。据此，能在伴随着工件W的往返移动的喷出驱动前进行冲洗。

须指出的是，冲洗动作除了所述喷出前的冲洗，还有象工件W的更换时那样，在暂时停止对工件W的描绘时定期进行的冲洗，在本实施例中，由定期冲洗喷出的功能液由后面描述的吸引部件232接收。

吸引部件232吸引功能液滴喷出头72，从功能液滴喷出头72强制排出功能液。基于吸引部件232的对功能液滴喷出头72的吸引除了为了消除和防止功能液滴喷出头72的喷嘴堵塞而进行外，还在新设置液滴喷出装置3时、进行功能液滴喷出头72的头更换时等，为了对从功能液容器201到功能液滴喷出头72的功能液流道填充功能液而进行。

如图2～图4、图11、图12所示，吸引部件232在Y轴方向与擦拭部件233相邻配置，面对维护区52。吸引部件232与构成头部件41的7个分割头部件71对应构成。即吸引部件232具有以分割头部件71为单位进行吸引的7个分割吸引部件251。7个分割吸引部件251以仿照构成头部件41的7个分割头部件71的配置，排列配置在Y轴方向的状态配置。

如图13和图14所示，7个分割吸引部件251通过所述部件升降机构235的升降机构351(后面描述)支撑为能分别升降。如这些图所示，各分割吸引部件251具有：从下方面对分割头部件71，具有与功能液滴喷出头72的喷嘴面87紧贴的帽261的帽部件252；支撑帽部件252的帽支撑构件253；组入帽支撑构件253中，通过帽支撑构件253使帽部件252升降的帽升降机构254；通过紧贴的帽261对功能液滴喷出头72作用吸引力的吸引部件(省略图示)。

如图13和图14所示，帽部件252与分割头部件71上搭载的功能液滴喷出头72的排列相对应，在帽底座262上配置12个帽261。即在吸引部件232上仿照头部件41的功能液滴喷出头72的配置图案，配置12×7个(84个)帽261，能使对应的帽261紧贴头部件41的全部功能液滴喷出头72。虽然省略图示，但是在各帽261上设置大气开放阀，通过在吸引动作的最后阶段打开大气开放阀，能吸引残留在帽261内的功能液。

如图13和图14所示，帽支撑构件253具有：支撑帽部件252的帽支撑板265、把帽支撑板265支撑为能在上下方向滑动的帽支架266、支撑帽支架266的帽支撑底座267。须指出的是，在帽支撑板265的下表面固定有用于开关帽261的大气开放阀(省略图示)的一对气缸268。

如图14所示，帽升降机构254具有：配置在帽支架266的上方，通过帽支撑板265把帽部件252支撑为能自由升降的第一升降气缸271；配置在帽支架266的下方，通过第一升降气缸271把帽部件252支撑为可自由升降的第二升降气缸272。第一升降气缸271和第二升降气缸272由彼此行程不同的气缸构成，第二升降气缸272的行程比第一升降气缸271的行程长。而且，通过有选择地驱动第一和第二升降气缸271、272，帽部件252的上升位置切换为帽261紧贴功能液滴喷出头72的第一位置、比第一位置稍低(2～3mm左右)的第二位置中的任意一方。具体而言，如果驱动第一升降气缸271，就能使帽部件252从给定的下降端位置移动到第一位置，如果驱动第二升降气缸272，就能使帽部件252移动到第二位置。

吸引机构具有：对分割头部件71的12个功能液滴喷出头72作用吸引力的单一喷射器；连接12个帽261和喷射器的吸引管(都省略图示)。喷射器通过空气供给管(省略图示)连接在所述空气供给机构上。连接在喷射器上的1条吸引管通过顶管(省略图示)分支为多个(12根)分支吸引管(省略图示)，连接在各帽261上。在吸引管上设置液体供给回收机构的再利用容器(后面描述)，由喷射器吸引的功能液存储在再利用容器中。须指出的是，虽然在同一图中省略，但是在各分支吸引管的帽261的附近，从帽261一侧按顺序分别设置检测功能液的有无的液体传感器276、检测各分支吸引管内的压力的压力传感器277(都参照图18)、用于开关各分支吸引管的吸引用阀。

下面说明各分割吸引部件251的吸引动作。在吸引动作前，驱动头移动机构43，使头部件41移动到维护区52，使各分割头部件71中的一个面对分割吸引部件251。接着驱动帽升降机构254，使帽部件252移动到第一位置。据此，对应的帽261与面对分割吸引部件251的分割头部件71的全部功能液滴喷出头72紧贴。接着，从空气供给机构向喷射器供给压缩空气，通过帽261进行功能液滴喷出头72的吸引。从各功能液滴喷出头72吸引一定量的功能液后，则停止对喷射器的压缩空气的供给。然后，如果功能液滴喷出头72的吸引结束，就驱动帽升降机构254，使帽部件252移动到下降端位置，使帽261从功能液滴喷出头72离开。

须指出的是，在功能液的吸引中，根据液体传感器276和压力传感器277的检测信号，进行吸引动作的监视，能检测各帽261的吸引不良。此外，通过根据液体传感器276和压力传感器277的检测结果，开关所述吸引用阀，能使从各功能液滴喷出头72吸引的功能液量大致一定，能防止由于吸引动作而过多吸引功能液。

吸引部件232不仅用于所述功能液滴喷出头72的吸引，也接收定期冲洗的功能液。即吸引部件232的各帽261兼任冲洗槽的角色，由对应的帽261接收在定期冲洗中各功能液滴喷出头72喷出的功能液。这时驱动帽升降机构254，使帽部件252上升到第二位置。据此，帽261在稍微(2～3mm)离开功能液滴喷出头72的喷嘴面87的状态下支撑，高效地以帽261接收定期冲洗的功能液。

此外，吸引部件232能在液滴喷出装置3的非描绘处理等时，在保管功能液滴喷出头72时使用。这时，使头部件41面对维护区52后，驱动帽升降机构254，使帽部件252移动到第一位置。据此，帽261与功能液滴喷出头72的喷嘴面87紧贴，密封(封口)喷嘴面87，防止功能液滴喷出头72(喷出喷嘴88)的干燥。

下面说明擦拭部件233。擦拭部件233通过功能液滴喷出头72的吸引等，使用擦拭薄片281擦去(擦拭)功能液附着污染的各功能液滴喷出头72的喷嘴面87。如图2～4、图11、图12所示，擦拭部件233配置在所述部件升降机构235的描绘区51和吸引部件232之间、即维护区52的描绘区51一侧。通过这样的配置，擦拭部件233能依次面对结束吸引处理、向描绘区51移动的头部件41(分割头部件71)，对功能液滴喷出头72进行擦拭处理。

如图15和图16所示，擦拭部件233具有：配置有主要部分的部件主体282、把部件主体282支撑为在X轴方向自由滑动的横移动机构283。部件主体282具有：一边抽出缠绕为卷状的擦拭薄片281一边卷绕的薄片供给部件291；从功能液滴喷出头72的下方面对，用擦拭薄片281擦拭喷嘴面87的擦去部件292；对抽出的擦拭薄片281散布洗净液的洗净液供给部件293；支撑它们的擦拭框架294。须指出的是，对擦拭薄片281供给的洗净液是挥发性比较高的功能液的溶剂，能高效除去附着在功能液滴喷出头72的喷嘴面87上的功能液。

擦拭框架294具有：方形的擦拭底座301；与X轴方向平行地直立设置在擦拭底座301上的一对侧框302。在一对侧框302的左侧(描绘区一侧)配置薄片供给部件291，在右侧(吸引部件232一侧)配置擦去部件292。此外，在侧框302上支撑洗净液供给部件293，从而面对从薄片供给部件291输送给擦去部件292的擦拭薄片281。

如图15和图16所示，薄片供给部件291具有：装填卷状的擦拭薄片281，把擦拭薄片281(在其延伸方向)抽出的图示上方的抽出卷轴311；卷绕抽出的擦拭薄片281的图示下方的卷绕卷轴312；使卷绕卷轴312旋转的卷绕电机313；把卷绕电机313的动力传递给卷绕卷轴312的动力传递机构314；把来自抽出卷轴311的擦拭薄片281向擦去部件292输送的中间辊315。

在位于侧框302的外侧的抽出卷轴311的轴端一方，设置以抵抗卷绕电机313的方式制动旋转的扭矩限制器316，能对抽出的擦拭薄片281付与一定的张力。卷绕电机313由齿轮电动机构成，固定在侧框302上。动力传递机构314具有：固定在卷绕电机313的输出端上的驱动皮带轮317；固定在卷绕卷轴312的轴端的从动皮带轮318；悬挂在两皮带轮317、318之间的同步皮带319。如果卷绕电机313驱动，则通过自身的减速齿轮列，同步皮带319移动，对卷绕卷轴312传递动力。在中间辊315的轴端设置速度检测器320(参照图18)，检测擦拭薄片281的输送速度。抽出卷轴311、卷绕卷轴312、中间辊315以其轴线与擦拭薄片281的宽度方向、即X轴方向平行的方式双支撑在侧框302上，并且轴支撑为能自由旋转。即擦拭薄片281向与擦拭薄片281的宽度方向(X轴方向)正交的方向抽出输送。

如图15和图16所示，擦去部件292包含：具有与擦拭薄片281的宽度对应的轴向长度，使擦拭薄片281与功能液滴喷出头72的喷嘴面87接触的擦拭辊321；双支撑擦拭辊321的一对轴承构件322；通过一对轴承构件322使擦拭辊321升降的辊升降机构323；支撑它们，并且固定在侧框302上的“L”字状的一对轴承框324。把从抽出卷轴311抽出的擦拭薄片281经过中间辊315，围绕擦拭辊321回转，卷绕到卷绕卷轴312。

擦拭辊321是自由旋转辊，在使轴线与X轴方向一致的状态下，可自由旋转地轴支撑在一对轴承构件322上。即擦拭辊321支撑为与头部件41上搭载的功能液滴喷出头72的喷嘴列正交，在喷嘴列方向(纵擦)擦拭喷嘴面87。这时，为了防止功能液滴喷出头72的喷嘴面87的损伤，最好用具有柔软性和弹性的橡胶等构成擦拭辊321。辊升降机构323具有固定在一对侧框302上的一对辊升降气缸325，把一对轴承构件322支撑为能自由升降。即如果驱动辊升降气缸325，则通过轴承构件322，擦拭辊321上升到能接触头部件41的功能液滴喷出头72的喷嘴面87的给定擦拭高度位置。

如图15和图16所示，洗净液供给部件293具有：由喷雾喷嘴构成，连接在后面描述的洗净液容器上的多个洗净液喷嘴33 1；悬挂在一对侧框302上，支撑多个洗净液喷嘴331的喷嘴支撑构件332。喷嘴支撑构件332设置在中间辊315和擦拭辊321之间，并且由一对侧框302双支撑，从而与X轴方向(擦拭薄片281的宽度方向)平行。面对从中间辊315输送给擦拭辊321的擦拭薄片281配置多个洗净液喷嘴331。这时，希望在X轴方向均匀配置多个洗净液喷嘴331，从而把洗净液对擦拭薄片281的宽度整体均匀地喷雾。须指出的是，在本实施例中，对擦拭薄片281宽度整体供给洗净液，所以具备多个洗净液喷嘴331，但是通过设置使洗净液喷嘴331在擦拭薄片281的宽度方向移动的喷嘴移动机构，也能以单一的结构构成洗净液喷嘴331。

横移动机构283通过部件主体282使擦拭薄片281整体在其宽度方向(X轴方向)移动。如上所述，功能液滴喷出头72通过头保持构件74安装在头板73上，在与喷嘴列正交的X轴方向相邻的功能液滴喷出头72间具有间隙(参照图8)。因此，沿着喷嘴列方向，进行功能液滴喷出头72的擦拭，则在擦拭薄片281上，污染物附着为带状(参照图17(a))。即相当于功能液滴喷出头72间的间隙的部分在擦拭中不使用，只有擦拭薄片281的一部分用于擦拭。因此，设置横移动机构283，通过将进行了擦拭、污染物附着为带状的擦拭薄片281在X轴方向横移动，使擦拭薄片281对于功能液滴喷出头72的擦拭位置不同，从而能有效利用所述间隙部分的擦拭薄片281(参照图17(b))。须指出的是，代替横移动机构283，采用设置使头部件41(分割头部件71)向X轴方向移动的机构，使它对于擦拭薄片281横移动的结构，也能取得同样的效果。

如图15和图16所示，横移动机构283包括：把部件主体282支撑为能在X轴方向自由滑动的2组4个横移动滑块343；使2组4个横移动滑块343在X轴方向移动的横移动滚珠丝杠342；使横移动滚珠丝杠342正反旋转的横移动电机341；在X轴方向延伸，引导横移动滑块343的移动的一对横移动到轨344；固定在所述部件升降机构235(底板352)上，支撑它们的横移动底座345。如果横移动电机341驱动，则横移动滑块343通过横移动滚珠丝杠342在X轴方向(正反)移动，相对于横移动底座345，部件主体282在X轴方向移动。

在本实施例中，在X轴方向相邻的功能液滴喷出头72间的间隙大致变为与喷嘴列正交的功能液滴喷出头72的一个短边的长度，由横移动机构283移动的距离设定为功能液滴喷出头72的一个短边的长度。即、使其移动X轴方向的功能液滴喷出头72的配置间隔的半间隔。可是，能按照功能液或擦拭薄片281的种类或X轴方向的功能液滴喷出头72的配置间隔变更该值。须指出的是，本实施例的横移动机构283用电机的驱动使部件主体282滑动，但是也可以代替电机的驱动，使用无杆气缸等空气驱动。

这里，说明擦拭部件233的一系列动作。首先，驱动洗净液供给部件293，从洗净液喷嘴331把洗净液喷雾，对擦拭薄片281供给洗净液。另一方面，驱动辊升降气缸325，使擦拭辊321上升到擦拭高度位置。接着驱动卷绕电机313，把含浸有洗净液的擦拭薄片281输送给擦拭辊321。如果含浸有洗净液的擦拭薄片281输送到擦拭辊321，则停止卷绕电机313的驱动。据此，头部件41在使搭载的功能液滴喷出头72的喷嘴面87接触(按压)含浸有洗净液的擦拭薄片281的状态下，在维护区52中移动。即对于擦拭薄片281，功能液滴喷出头72的喷嘴面滑动，由擦拭薄片281擦拭功能液滴喷出头72的喷嘴面87。

详细内容将在后面描述，但是在本实施例中，为用分割头部件71为单位进行擦拭的结构，通过使7个分割头部件71一个一个按顺序面对擦拭部件233，连续擦拭分割头部件71上搭载的功能液滴喷出头72。因此，在该擦拭部件233中，用未使用的擦拭薄片281擦拭给定个分割头部件71后，驱动横移动机构283，使擦拭薄片281向X轴方向移动。然后再擦拭给定个分割头部件71后，驱动卷绕电机313，输送使用完毕的擦拭薄片281。

下面，说明部件升降机构235。所述维护区52不仅在功能液滴喷出头72的维护中使用，也兼任吸引部件232或擦拭部件233的维护、用于更换滑架75上搭载的头板73(更换头)的作业区。因此，部件升降机构235使吸引部件232和擦拭部件233从维护功能液滴喷出头72的给定维护位置(接近位置)下降到给定的避开位置，从而在吸引部件232和擦拭部件233上确保作业区。

如图11和图12所示，部件升降机构235具有支撑吸引部件232的7个分割吸引部件251以及擦拭部件233中的任意一个的8个升降机构351，能使它们在维护位置和避开位置之间分别独立升降。如图13～图16所示，升降机构351具有：架设在所述角架台32上的底板352；固定在底板352上，把分割吸引部件251或擦拭部件233支撑为可自由升降的部件升降气缸353；引导分割吸引部件251或擦拭部件233的升降移动的一对部件升降引导器354。

部件升降气缸353贯通底板352，气缸主体固定在底板352的下表面中央位置，活塞杆固定在分割吸引部件251或擦拭部件233上。基于部件升降气缸353的升降行程设定为200～400mm。部件升降引导器354由以下部分构成：贯通底板352，把上端固定在(引导的)分割吸引部件251或擦拭部件233上的一对导轴355；与一对导轴355可自由滑动地配合，并且固定在底板352上的一对带凸缘的线性衬套356。一对导轴355以部件升降气缸353为中心对称配置，能稳定引导分割吸引部件251或擦拭部件233。

通常，部件升降机构235把吸引部件232和擦拭部件233支撑在维护位置，只在进行吸引部件232和擦拭部件233或头的更换时，使它们下降到避开位置。

液体供给回收机构由以下部分构成：把来自维护机构46的冲洗部件231的废液回收到废液容器中的废液回收系统；把由吸引部件232吸引的功能液和对吸引部件232喷出的功能液回收到再利用容器中的功能液回收系统；具有洗净液容器，对擦拭部件233供给洗净液的洗净液供给系统(都省略图示)。须指出的是，在装置主体22中配置废液回收系统的废液容器、功能液回收系统的再利用容器、集中收藏洗净液供给系统的洗净液容器的容器柜。

下面参照图18说明液滴喷出装置3的主控制系统。如图18所示，液滴喷出装置3包括：具有头部件41(功能液滴喷出头72)和工件移动机构42的描绘部361；具有头移动机构43的头移动部362；具有工件除去和供给机构44的工件除去和供给部363；具有维护机构46的维护部364；具有各种传感器，进行各种检测的检测部365；驱动各部的驱动部366；连接在各部上，进行液滴喷出装置3整体的控制的控制部367(控制装置5)。

在控制部367中设置有：用于连接各机构的接口371；具有能暂时存储的存储区，作为用于控制处理的作业区使用的RAM372；具有各种存储区，存储控制程序或控制数据的ROM373；存储用于对工件W进行描绘的描绘数据、来自各机构的各种数据等，并且存储用于处理各种数据的程序等的硬盘374；按照ROM373或硬盘374中存储的程序等，演算处理各种数据的CPU375；彼此连接它们的总线276。

而且，控制部367通过接口371输入来自各机构的各种数据，并且按照存储在硬盘374中(或由CD-ROM驱动器依次读出)的程序，使CPU375进行演算处理，把处理结果向各机构输出，控制装置整体。

下面，参照图19～图21，以进行头部件41的维护时为例，说明液滴喷出装置3的控制。在头部件41的维护中，包含为了谋求搭载的功能液滴喷出头72的功能维持和功能恢复，在工件W的更换时定期进行的定期维护；更换分割头部件71的头板73的头更换。这里在说明定期维护的控制流程后，说明头更换的控制流程。须指出的是，为了便于说明，从图示左侧开始，头部件41的7个分割头部件71为第1～第7分割头部件71a～g。同样，吸引部件232的7个分割吸引部件251从图示左侧开始，为第1～第7分割吸引部件251a～g。

定期维护是对头部件41的全部功能液滴喷出头72，使用吸引部件232吸引后，使用擦拭部件233擦拭的操作。如图19(b)所示，在定期维护的控制流程中，首先驱动头移动机构43，把构成头部件41的7个分割头部件71移动到维护区52，并且使它们分别面对分割吸引部件251。接着驱动7个帽升降机构254，使7个帽部件252移动到第一位置，使对应的帽261紧贴头部件41的全部功能液滴喷出头72。接着，对全部分割吸引部件251的喷射器供给压缩空气，吸引头部件41的全部功能液滴喷出头72。

如果全部功能液滴喷出头72的吸引结束，则驱动第一分割吸引部件251a的帽升降机构254，使帽261离开第一分割头部件71a的功能液滴喷出头72。接着，驱动头移动机构43，使第一分割头部件71a向描绘区51一侧移动，并且驱动擦拭部件233，对第一分割头部件71a的全部功能液滴喷出头72进行擦拭。这时第2～第7分割头部件71b～g在通过第2～第7分割吸引部件251b～g的帽261密封(封口)所搭载的功能液滴喷出头72的状态下待机。据此，能防止正在待机的功能液滴喷出头72(的喷出喷嘴88)干燥、堵塞。

如果对于第一分割头部件71a的擦拭接近结束，就驱动第二分割吸引部件25 1b的帽升降机构254，使帽261离开正在待机的第二分割头部件71b的功能液滴喷出头72。然后，如果第一分割头部件71a的擦拭结束，就控制头移动机构43的驱动，使第一分割头部件71a移动到描绘区51，并且驱动擦拭部件233的横移动机构283，使擦拭薄片281向X轴方向移动。接着，使第二分割头部件71b向描绘区51一侧移动，进行第二分割头部件71b的擦拭(参照图19(c))。

在第二分割头部件71b的擦拭即将结束之前，驱动第三分割吸引部件25 1c的帽升降机构254，使帽261离开正在待机的第三分割头部件71c。如果第二分割头部件71b的擦拭结束，就控制头移动机构43的驱动，使第二分割头部件71b移动到描绘区51中，并且驱动擦拭部件233的薄片供给部件291(卷绕电机313)，抽出并输送擦拭薄片281，把含浸有洗净液的未使用的擦拭薄片281提供给擦拭部件292(擦拭辊321)。

然后，驱动头移动机构43，进行第三分割头部件71c的擦拭。以下，对正在待机的第4～第7分割头部件71d～g也重复同样的动作，按第4～第7分割头部件71d～g的顺序进行向擦拭和描绘区51的移动。

而在全部分割头部件71的擦拭结束前，输送到描绘区51中的(正在待机的)分割头部件71的功能液滴喷出头72以给定间隔定期喷出驱动，进行冲洗动作。这时设置台101为了工件的更换，面对工件搬入搬出区53，在描绘区51中，正在待机的分割头部件71面对冲洗槽241的正上部进行冲洗。

须指出的是，在本实施例中，在封口的状态下使擦拭前的分割头部件71待机，但是也可以向帽261，一边以给定间隔定期进行冲洗(进行帽内冲洗)，一边待机。这时，在帽261离开第1分割头部件71a时，驱动第2～第7分割吸引部件251b～g的帽升降机构254，使第2～第7分割吸引部件251b～g的帽261移动到第二位置。

当然，当象使用挥发性极低的功能液时那样，用于擦拭的待机时间对功能液滴喷出头72的喷出性能几乎没有影响时，正在待机的封口或帽内冲洗就没必要。这时，在擦拭的待机中没必要进行封口或帽内冲洗，所以可以用低于7个的分割吸引部件251构成吸引部件232。尤其是，当进行定期维护的频率低时，分割吸引部件251的减少对整体的生产节拍时间的影响小，能用单一的分割吸引部件251构成吸引部件232。相反，当频繁进行定期维护时，用于擦拭的待机时间对整体的处理时间产生影响，所以为了削减待机时间，可以设置多个擦拭部件233。

此外，如图19所示，在本实施例中，擦拭前的分割头部件71在等待擦拭时不移动，停留在进行吸引的位置，但是也可以每当先进行的分割头部件71的擦拭结束时，依次移动到描绘区51一侧(擦拭部件233一侧)相邻的分割吸引部件251的帽部件252。

下面，参照图20具体说明。如图20(a)所示，(面对第一分割吸引部件251的)第1分割头部件71a如果移动到擦拭部件233，就使第2～第7分割头部件71b～g移动到第1～第6分割吸引部件251a～f。然后如图20(b)所示，如果第1分割头部件71a的擦拭结束，面对第一分割吸引部件251的第二分割头部件71b移动到擦拭部件233，则使第3～第7分割头部件71c～g移动到第1～第5分割吸引部件251a～f。须指出的是，这时，结束了擦拭的分割头部件71向描绘区51移动。这样，伴随着(先进行擦拭的)分割头部件71向擦拭部件233的移动，使正在待机的分割头部件71向相邻的擦拭部件233一侧的分割吸引部件移动，能缩短头部件41(全部分割头部件71)的擦拭所需的时间。

在本实施例中，如果一个分割头部件71的擦拭结束，就使擦拭薄片281横移动，但是可以按照实际情况(功能液的种类等)适当设定横移动的定时。例如，也可以在进行2个分割头部件71的擦拭后，使擦拭薄片281横移动，进行2个分割头部件71的擦拭后，输送擦拭薄片281。此外，也可以在各分割头部件71的头板73等上设置检测擦拭薄片281的污染情形的污染检测部件(省略图示)，按照擦拭薄片281的污染情形，横向输送擦拭薄片281。这时，可以用反射型的光电传感器、相机等构成污染检测机构。

须指出的是，在定期维护中，对于构成头部件41的全部分割头部件71进行吸引和擦拭，但是当然可以只对任意的一个分割头部件71进行吸引和擦拭。这时驱动头移动机构43，从而使进行吸引和擦拭的分割头部件71面对第一分割吸引部件251a。

下面，说明头更换的控制流程。在本实施例中，擦拭部件233的上方，即、最接近描绘区51的维护区52的上方成为用于进行头更换的头更换区，首先驱动头移动机构43，使进行头更换的分割头部件71移动到擦拭部件233。然后驱动支撑擦拭部件233的部件升降机构235的升降机构351，使它移动到所述避开位置。据此，在擦拭部件233的上方生成作业空间，能高效进行头的更换。如果头的更换结束，就再度驱动所述升降机构351，使擦拭部件233和第1分割吸引部件251上升到维护位置。须指出的是，为了更有效确保作业空间，希望使与擦拭部件233相邻的第1分割头部件71也移动到避开位置。

以更换第5分割头部件71的头板73时为例，具体说明头更换的一系列流程。如图21(b)所示，首先驱动头移动机构43，使第5～第7分割头部件71e～g到达维护区52，使第5分割头部件71e面对擦拭部件233，并且使第6、7分割头部件71f、g面对第2、第3分割吸引部件251b、c。然后，如图21(c)所示，驱动升降机构351，使擦拭部件233和第1分割吸引部件251移动到避开位置。须指出的是，第6、7分割头部件71f、g的移动位置并不局限于此，例如可以它们移动，从而面对第6、7分割吸引部件251f、g(参照图21(c’))。

在头更换的作业中，为了防止作业外的分割头部件71的功能液滴喷出头72的干燥和堵塞，对作业外的分割头部件71进行封口或(定期)冲洗。即驱动第6、7分割头部件71f、g面对的分割吸引部件251(这里为第2、3分割吸引部件251b、c)的帽升降机构254，使帽部件252移动到第一位置或第二位置。然后在第1～第4分割头部件71a～d中，面对冲洗槽241，进行冲洗，而在第6、7分割头部件71f、g中，进行封口或帽内冲洗。

如果头更换作业结束，就驱动第6、7分割头部件71f、g面对的分割吸引部件251的帽升降机构254，使位于第一位置或第二位置的帽部件252下降到下降端位置，并且驱动所述升降机构351，擦拭部件233和第一分割吸引部件251上升到维护位置。

须指出的是，在本实施例中，在更换头时，一部分分割头部件71残留在描绘区51中，但是也可以采用使头部件41的全部分割头部件71移动到维护区52中的结构。这时，7个分割头部件71面对对应的分割吸引部件251。而且，对除了进行作业的分割头部件71(这里，为第5分割头部件71e)的6个分割头部件71进行封口，或进行帽内冲洗。

此外，当维护吸引部件232的各分割吸引部件251或擦拭部件233时，不执行进行维护的部件自身的避开，而把与它相邻的部件(各分割吸引部件251或擦拭部件233)移动到避开位置。当进行第1～第6分割吸引部件251a～f的维护时，使与进行维护的分割吸引部件251相邻的两侧部件移动到避开位置(参照图22)。

这样，在控制部367中，通过综合控制各机构，能使它们协作，进行各种处理。

下面，作为使用本实施例的液滴喷出装置3制造的电光装置(平板显示器)，以滤色器、液晶显示装置、有机EL装置、等离子体显示器(PDP装置)、电子发射装置(FED装置、SED装置)、形成在这些显示装置上的有源矩阵衬底为例，说明这些构造及其制造方法。须指出的是，有源矩阵衬底是指形成有薄膜晶体管、电连接在薄膜晶体管上的源线、数据线的衬底。

首先，说明组入液晶显示装置或有机EL装置中的滤色器的制造方法。图23是表示滤色器的制造工序的流程图，图24是按照制造工序顺序表示的本实施例的滤色器600(滤色器基体600A)的模式剖视图。

首先，在黑底形成工序(S101)中，如图24(a)所示，在衬底(W)601上形成黑底602。黑底602由金属铬、金属铬和氧化铬的层叠体或树脂黑等形成。为了形成由金属薄膜构成的黑底602，能使用溅射法和蒸镀法等。此外，在形成由树脂薄膜构成的黑底602时，能使用照相凹板印刷法、光刻法、热复制法等。

接着，在围堰形成工序(S102)中，在重叠在黑底602的状态下形成围堰603。即首先如图24(b)所示，覆盖衬底601和黑底602而形成由负片型透明感光性树脂构成的抗蚀剂层604。然后，在用形成有矩阵图案形状的掩模薄膜605覆盖其上表面的状态下，进行曝光处理。

如图24(c)所示，通过对抗蚀剂层604的未曝光进行蚀刻处理，对抗蚀剂层604构图，形成围堰603。须指出的是，当通过树脂黑形成黑底时，能兼用黑底和围堰。

围堰603和其下的黑底602成为划分各象素区607a的划分壁部607b，在以后的着色层形成工序中，在通过功能液滴喷出头72形成着色层(成膜部)608R、608G、608B时，规定功能液滴的落下区域。

经过以上的黑底形成工序和围堰形成工序，取得所述滤色器基体600A。

须指出的是，在本实施例中，作为围堰603的材料，使用涂膜表面变为疏液(疏水)性的树脂材料。而且，衬底(玻璃衬底)601的表面是亲液(亲水)性的，所以在后面描述的着色层形成工序中，对由围堰603(划分壁部607b)包围的各象素区607a内的液滴落下位置精度提高。

接着，在着色层形成工序中(S103)中，如图24(d)所示，通过功能液滴喷出头72喷出功能液滴，使其落在由划分壁部607b包围的象素区607a中。这时，使用功能液滴喷出头72导入R、G、B等3色的功能液(滤色器材料)，进行功能液滴的喷出。须指出的是，作为R、G、B三色的排列图案，有条纹排列、镶嵌排列和三角排列。

然后，经过干燥处理(加热等处理)，使功能液固定，形成3色的着色层608R、608G、608B。如果形成着色层608R、608G、608B，就转移到保护膜形成工序(S104)，如图24(e)所示，覆盖衬底601、划分壁部607b、着色层608R、608G、608B的上表面形成保护膜609。

即对衬底601的形成有着色层608R、608G、608B的面整体喷出保护膜用涂敷液后，经过干燥处理，形成保护膜609。

然后，形成保护膜609后，滤色器600转移到下一工序的成为透明电极等的ITO(Indium Tin Oxide)等膜的附加工序。

图25表示作为使用所述滤色器600的液晶显示装置的一例的无源矩阵型液晶装置(液晶装置)的概略结构的主要部分剖视图。在液晶装置620上安装液晶驱动用IC、背光、支撑体等附带要素，取得作为最终制品的透射型液晶显示装置。须指出的是，滤色器600与图24所示的滤色器相同，所以对于对应的部位付与相同的符号，省略说明。

该液晶装置620大致由滤色器600、由玻璃衬底等构成的对置衬底621、夹在它们之间的由STN(Super Twisted Nematic)液晶组成物构成的液晶层622构成，把滤色器600配置在图中上方(观察者一侧)。

须指出的是，虽然未图示，但是在对置衬底621和滤色器600的外表面(与液晶层622一侧相反一侧的面)分别配置偏振片，此外在位于对置衬底621侧的偏振片的外侧配置背光。

在滤色器600的保护膜609(液晶层一侧)上，以给定间隔形成多个在图25中的左右方向长的长方形的第一电极623，并覆盖该第一电极623的与滤色器600相反一侧的面而形成第一定向膜624。

而在对置衬底621的与滤色器600相对的面上，以给定间隔形成多个在与滤色器600的第一电极623正交的方向长的长方形的第二电极626，并覆盖该第二电极626的液晶层622一侧的面而形成第二定向膜627。第一电极623和第二电极626由ITO等透明导电材料形成。

设置在液晶层622内的隔离块628是用于把液晶层622的厚度(单元间隔)保持一定的构件。此外，密封材料629用于防止液晶层622内的液晶组成物向外部泄漏的构件。须指出的是，第一电极623的一端部作为包围布线623a延伸到密封材料629的外侧。

而且，第一电极623和第二电极626交叉的部分是象素，滤色器600的着色层608R、608G、608B位于该成为象素的部分。

在通常的制造工序中，在滤色器600上进行第一电极623的构图和第一定向膜624的涂敷，生成滤色器600一侧的部分，并且在与它不同的对置衬底621上进行第二电极626的构图和第二定向膜627的涂敷，生成对置衬底621一侧的部分。然后，在对置衬底621一侧的部分中生成隔离块628和密封材料629，在该状态下粘贴滤色器600一侧的部分。接着，从密封材料629的注入口注入构成液晶层622的液晶，密封注入口。然后，层叠两个偏振片和背光。

实施例的液滴喷出装置3在涂敷例如构成所述单元间隔的隔离材料(功能液)，并且在对置衬底621一侧的部分粘贴滤色器600一侧的部分之前，能对由密封材料629包围的区域均匀涂敷液晶(功能液)。此外，能用功能液滴喷出头72进行所述密封材料629的印刷。也能用功能液滴喷出头72进行第一和第二定向膜624、627的涂敷。

图26是表示使用本实施例中制造的滤色器600的液晶装置的第二例的概略结构的主要部分剖视图。

该液晶装置630与所述液晶装置620的巨大不同点在于：在图中下方(与观测者一侧相反的一侧)配置滤色器600。

该液晶装置630在滤色器600和由玻璃衬底等构成的对置衬底631之间夹着由STN液晶构成的液晶层632。须指出的是，虽然未图示，但是在对置衬底631和滤色器600的外表面分别配置偏振片。

在滤色器600的保护膜609上(液晶层632一侧)，以给定间隔形成多个在图中向里的方向长的长方形的第一电极633，并覆盖该第一电极633的液晶层632一侧的面而形成第一定向膜634。

在对置衬底63 1的与滤色器600相对的面上，以给定间隔形成多个在与滤色器600一侧的第一电极633正交的方向延伸的多个长方形的第二电极636，并覆盖该第二电极636的液晶层632一侧的面而形成第二定向膜637。

在液晶层632中设置有用于把液晶层632的厚度保持一定的隔离块638、用于防止液晶层632内的液晶组成物向外部泄漏的密封材料639。

而且，与所述液晶装置620同样，第一电极633和第二电极636交叉的部分是象素，滤色器600的着色层608R、608G、608B位于成为象素的部位。

图27是表示使用应用了本发明的滤色器600构成液晶装置的第三例，是表示透射型的TFT(Thin Film Transistor)型液晶装置的概略结构的分解立体图。

该液晶装置650将滤色器600配置在图中上侧(观察者一侧)。

该液晶装置650大致由滤色器600、与它相对配置的对置衬底651、夹在它们之间的未图示的液晶层、配置在滤色器600的上表面一侧(观察者一侧)的偏振片655、配置在对置衬底651的下表面一侧的偏振片(未图示)构成。

在滤色器600的保护膜609的表面(对置衬底651一侧的面)形成液晶驱动用的电极656。该电极656由ITO等透明导电材料构成，成为覆盖形成后面描述的象素电极660的区域整体的全面电极。此外，在覆盖该电极656的与象素电极660相反一侧的面的状态下，设置定向膜657。

在对置衬底651的与滤色器600相对的面上形成有绝缘层658，在绝缘层658上，以彼此正交的状态形成扫描线661和信号线662。而且，在由这些扫描线661和信号线662包围的区域内形成象素电极660。须指出的是，在实际的液晶装置中，在象素电极660上设置定向膜，但是省略图示。

此外，在由象素电极660的切口部、扫描线661和信号线662包围的部分组入具有源极、漏极、半导体、栅极的薄膜晶体管663。而且，通过对扫描线661和信号线662外加信号，使薄膜晶体管663导通和断开，能进行对象素电极660的通电控制。

须指出的是，所述各例的液晶装置620、630、650为透射型结构，但是也可以设置反射层或半透半反层，形成反射型的液晶装置或半透半反型的液晶装置。

图28是有机EL装置的显示区(以下只称作显示装置700)的主要部分剖视图。

该显示装置700以在衬底(W)701上层叠电路元件部702、发光元件部703和阴极704的状态构成。

在该显示装置700中，从发光元件部703向衬底701一侧发出的光透过电路元件部702和衬底701，出射到观测者一侧，并且从发光元件部703向衬底701的相反一侧发出的光由阴极704反射后，透射电路元件部702和衬底701，出射到观测者一侧。

在电路元件部702和衬底701之间形成由氧化硅膜构成的底层保护膜706，在底层保护膜706上(发光元件部703一侧)形成由多晶硅构成的岛状的半导体膜707。在该半导体膜707的左右的区域中，分别通过高浓度阳离子注入形成源区707a和漏区707b。而且，未注入阳离子的中央部成为沟道区707c。

此外，在电路元件部702上形成覆盖底层保护膜706和半导体膜707的透明的栅绝缘膜708，在该栅绝缘膜708上的与半导体膜707的沟道区707c对应的位置形成例如由Al、Mo、Ta、Ti、W等构成的栅极709。在该栅极709和栅绝缘膜708上形成透明的第一层间绝缘膜711a和第二层间绝缘膜711b。此外，贯通第一、第二层间绝缘膜711a、711b，在半导体膜707的源区707a、漏区707b上形成分别连通的接触孔712a、712b。

然后，在第二层间绝缘膜711b上形成由ITO等构成的透明的象素电极713，构图为给定的形状，该象素电极713通过接触孔712a连接在源区707a上。

此外在第一层间绝缘膜711a上配置电源线714，该电源线714通过接触孔712b连接在漏区707b上。

这样在电路元件部702上分别形成连接在各象素电极713上的驱动用的薄膜晶体管715。

所述发光元件部703大致由层叠在多个象素电极713上的功能层717、设置在各象素电极713和功能层717之间并且划分各功能层717的围堰部718构成。

由这些象素电极713、功能层717、配置在功能层717上的阴极704构成发光元件。须指出的是，以俯视呈大致矩形构图形成象素电极713，在各象素电极713之间形成围堰部718。

围堰部718由以下部分构成：例如由SiO、SiO₂、TiO₂等无机材料形成的无机物围堰层718a(第一围堰层)；层叠在该无机物围堰层718a上，并且由丙烯酸树脂、聚酰亚胺等耐热性、耐溶剂性优异的抗蚀剂形成的截面梯形的有机物围堰层718b(第二围堰层)。该围堰部718的一部分在骑到象素电极713的周缘部上的状态下形成。

而且，在各围堰部718之间形成对于象素电极713，向上方逐渐扩大的开口部719。

所述功能层717由在开口部719内以层叠状态形成在象素电极713上的空穴注入/输送层717a、形成在该空穴注入/输送层717a上的发光层717b构成。须指出的是，还可以与该发光层717b相邻形成具有其它功能的其它功能层。例如也能形成电子输送层。

空穴注入/输送层717a具有从象素电极713一侧输送空穴，向发光层717b注入的功能。通过喷出包含空穴注入/输送层形成材料的第一组成物(功能液)，形成该空穴注入/输送层717a。作为空穴注入/输送层形成材料，使用公知的材料。

发光层717b发出红色(R)、绿色(G)、或蓝色(B)的任意光，通过喷出包含发光层形成材料(发光材料)的第二组成物(功能液)形成。作为第二组成物的溶剂(非极性溶剂)，最好使用对空穴注入/输送层717a不溶解的公知的材料，通过在发光层717b的第二组成物中使用这样的非极性溶剂，不会再溶解空穴注入/输送层717a，能形成发光层717b。

然后，在发光层717b中，从空穴注入/输送层717a注入的空穴、从阴极704注入的电子在发光层中再结合，发光。

在覆盖发光元件部703的全面的状态下形成阴极704，与象素电极713成对，实现使电流流向功能层717的作用。须指出的是，在该阴极704的上部配置未图示的密封构件。

下面，参照图29～图37说明所述显示装置700的制造工序。

该显示装置700如图29所示，经过围堰部形成工序(S111)、表面处理工序(S112)、空穴注入/输送层形成工序(S113)、发光层形成工序(S114)、对置电极形成工序(S115)制造。须指出的是，制造工序并不局限于例示的工序，按照必要，有时除去其它工序，有时追加。

首先，在围堰部形成工序(S111)中，如图30所示，在第二层间绝缘膜711b上形成无机物围堰层718a。在形成位置形成无机物膜后，通过光刻技术对该无机物膜构图，从而形成该无机物围堰层718a。这时无机物围堰层718a的一部分与象素电极713的周缘部重叠形成。

如果形成了无机物围堰层718a，则如图31所示，在无机物围堰层718a上形成有机物围堰层718b。该有机物围堰层718b也与无机物围堰层718a同样，通过光刻技术构图形成。

这样就形成围堰部718。此外，伴随着此，在各围堰部718间形成对于象素电极713向上方开口的开口部719。该开口部719规定象素区。

在表面处理工序(S112)中，进行亲液化处理和疏液化处理。进行亲液化处理的区域是无机物围堰层718a的第一层叠部718aa和象素电极713的电极面713a，通过以氧气为处理气体的等离子体处理把这些区域表面处理为亲液性。该等离子体处理也兼任作为象素电极713的ITO的洗净。

此外，疏液化处理对有机物围堰层718b的壁面718s和有机物围堰层718b的上表面718t进行，例如通过以四氟甲烷为处理气体的等离子体处理，把表面氟化(处理为疏液性)。

通过进行该表面处理工序，在使用功能液滴喷出头72形成功能层717时，能使功能液滴更可靠地落在象素区中，此外能防止落在象素区中的功能液滴从开口部719溢出。

而且，经过以上的工序，取得显示装置基体700A。把该显示装置基体700A安放在图1所示的液滴喷出装置3的设置台101上，进行以下的空穴注入/输送层形成工序(S113)、发光层形成工序(S114)。

如图32所示，在空穴注入/输送层形成工序(S113)中，从功能液滴喷出头72对象素区即各开口部719内喷出包含空穴注入/输送层形成材料的第一组成物。然后，如图33所示，进行干燥处理和热处理，使第一组成物中包含的极性溶剂蒸发，在象素电极713(电极面713a)上形成空穴注入/输送层717a。

接着说明发光层形成工序(S114)。该发光层形成工序中，如上所述，为了防止空穴注入/输送层717a的再溶解，作为形成发光层时使用的第二组成物的溶剂，使用对于空穴注入/输送层717a不溶解的非极性溶剂。

可是，空穴注入/输送层717a对于非极性溶剂的亲和性低，所以，即使对空穴注入/输送层717a上喷出包含非极性溶剂的第二组成物，也无法使空穴注入/输送层717a和发光层717b紧贴，或者有可能无法均匀涂敷发光层717b。

因此，为了提高空穴注入/输送层717a对于非极性溶剂以及发光层形成材料的表面亲和性，希望在形成发光层前进行表面处理(表面改性处理)。通过在空穴注入/输送层717a上涂敷与形成发光层时使用的第二组成物的非极性溶剂相同的溶剂或类似于它的溶剂即表面改性材料，使它干燥，进行该表面处理。

通过进行这样的处理，空穴注入/输送层717a的表面变得对非极性溶剂容易亲和，在此后的工序中，能对空穴注入/输送层717a均匀涂敷包含发光层形成材料的第二组成物。

然后，如图34所示，把包含与各色中的任意(在图35的例子中，为蓝色(B))对应的发光层形成材料的第二组成物作为功能液滴，对象素区(开口部719)内注入给定量。注入象素区内的第二组成物在空穴注入/输送层717a上扩散，充满开口部719内。须指出的是，万一第二组成物偏离象素区，落在围堰部718的上表面718t上时，因为该上表面718t如上所述进行了疏液处理，所以第二组成物也容易滚落进入开口部719内。

然后，通过进行干燥工序等，对喷出后的第二组成物进行干燥处理，使第二组成物中包含的非极性溶剂蒸发，如图35所示，在空穴注入/输送层717a上形成发光层717b。在该图的情况下，形成与蓝色(B)对应的发光层717b。

同样，使用功能液滴喷出头72，如图36所示，依次进行与所述蓝色(B)所对应的发光层717b时同样的工序，形成与其它颜色(红色(R)和绿色(G))对应的发光层717b。须指出的是，发光层717b的形成顺序并不局限于例示的顺序，可以用任意的顺序形成。例如能按照发光层的形成材料决定形成的顺序。作为R、G、B三色的排列图案，有条纹排列、镶嵌排列和三角排列。

如上所述，在象素电极713上形成功能层717、即空穴注入/输送层717a和发光层717b。然后转移到对置电极形成工序(S115)。

在对置电极形成工序(S115)中，如图37所示，在发光层717b和有机物围堰层718b的全面上，通过例如蒸镀法、溅射法、CVD法等形成阴极704(对置电极)。阴极704在本实施例中，由钙层和铝层层叠构成。

在阴极704的上部，适当设置作为电极的Al膜、Ag膜、用于防止其氧化的SiO₂、SiN等保护层。

这样形成阴极704后，进行通过密封构件密封该阴极704的上部的密封处理和布线处理等其它处理，取得显示装置700。

下面，图38是等离子体型显示装置(PDP装置，以下只称作显示装置800)的主要部分分解立体图。须指出的是，在图38中，以切掉其一部分的状态表示显示装置800。

该显示装置800大致包含彼此相对配置的第一衬底801、第二衬底802、形成在它们之间的放电显示部803。放电显示部803由多个放电室805构成。多个放电室805中，红色放电室805R、绿色放电室805G、蓝色放电室805B等三个放电室805成为组，构成一个象素。

在第一衬底801的上表面以给定间隔把地址电极806形成条纹状，覆盖该地址电极806和第一衬底801的上表面而形成介质层807。在介质层807上设置隔壁808，使其位于各地址电极806之间，并且沿着各地址电极806。该隔壁808如图所示，包含如图所示在地址电极806的宽度方向两侧延伸的部分、在与地址电极806正交的方向延伸的未图示的部分。

而且，由该隔壁808隔离的区域成为放电室805。

在放电室805内配置有荧光体809。荧光体809发出红色(R)、绿色(G)、或蓝色(B)的任意光，在红色放电室805R的底部形成红色荧光体809R，在绿色放电室805G的底部形成绿色荧光体809G，在蓝色放电室805B的底部形成蓝色荧光体809B。

在第二衬底802的图中下侧的面上，在与所述地址电极806正交的方向，以给定间隔把多个显示电极形成条纹状。而且，覆盖它们而形成由介质层812、MgO等构成的保护层813。

第一衬底801和第二衬底802在地址电极806和显示电极811彼此正交的状态下对向贴在一起。须指出的是，所述地址电极806和显示电极811连接在未图示的交流电源上。

而且，通过对各电极806、811通电，在放电显示部803中，荧光体809激励发光，能显示彩色。

在本实施例中，能使用图1所示的液滴喷出装置3形成所述地址电极806、显示电极811和荧光体809。下面，举例表示第一衬底801的地址电极806的形成工序。

这时，在把第一衬底801放在液滴喷出装置3的设置台101上的状态下，进行以下的工序。

首先，通过功能液滴喷出头72，把含有导电膜布线形成用材料的液体材料(功能液)作为功能液滴，落在地址电极形成区中。该液体材料作为导电膜布线形成用材料，把金属等导电性微粒分散在分散剂中。作为该导电性微粒，使用含有金、银、铜、钯、或镍等的金属微粒、导电性聚合物等。

关于成为补充对象的全部地址电极形成区，如果液体材料的补充结束，就把喷出后的液体材料进行干燥处理，通过使液体材料中包含的分散剂蒸发，形成地址电极806。

虽然在上述说明中举例表示了地址电极806的形成，但是关于所述显示电极811和荧光体809，也能通过所述各工序形成。

在形成显示电极811时，与地址电极806的情况同样，把含有导电膜布线形成用材料的液体材料(功能液)作为功能液滴，落在地址电极形成区中。

此外，在形成荧光体809时，从功能液滴喷出头72把包含与各色(R、G、B)对应的荧光材料的液体材料(功能液)作为液滴喷出，落在对应的放电室805内。

图39是电子发射装置(也称作FED装置或SED装置：以下只称作显示装置900)的主要部分剖视图。须指出的是，在图39中，使其一部分为截面表示显示装置900。

该显示装置900包含：彼此相对配置的第一衬底901、第二衬底902、形成在它们之间的场致发射显示部903。场致发射显示部903由配置为矩阵状的多个电子发射部905构成。

在第一衬底901的上表面，彼此正交形成构成阴极906的第一元件电极906a和第二元件电极906b。此外，在由第一元件电极906a和第二元件电极906b划分的部分形成具有间隔908的导电性膜907。即由第一元件电极906a、第二元件电极906b和导电性膜907构成多个电子发射部905。导电性膜907由氧化钯(PdO)等构成，此外，在形成导电性膜907后，通过成形(forming)形成间隔908。

在第二衬底902的下表面形成与阴极906对峙的阳极909。在阳极909的下表面形成格子状的围堰部911，在由围堰部911包围的向下的各开口部912中，与电子发射部905对应配置荧光体913。荧光体913发出红色(R)、绿色(G)、或蓝色(B)的任意颜色的荧光，在各开口部912中以所述给定的图案配置红色荧光体913R、绿色荧光体913G、蓝色荧光体913B。

然后，把这样构成的第一衬底901和第二衬底902以微小的间隙贴在一起。在显示装置900中，通过导电性膜(间隔908)907，使从阴极即第一元件电极906a或第二元件电极906b飞出的电子撞击阳极909上所形成的荧光体913，激励发光，从而能显示彩色。

这时与其它实施例同样，能使用液滴喷出装置3形成第一元件电极906a、第二元件电极906b、导电性膜907和阳极909，并且能使用液滴喷出装置3形成各色荧光体913R、913G、913B。

第一元件电极906a、第二元件电极906b、导电性膜907具有图40(a)所示的平面形状，在形成它们时，如图40(b)所示，预先残留形成第一元件电极906a、第二元件电极906b、导电性膜907的部分，形成围堰部BB(光刻法)。接着在由围堰部BB构成的沟部分形成第一元件电极906a、第二元件电极906b(基于液滴喷出装置3的喷墨法)，使溶剂干燥，进行成膜后，形成导电性膜907(基于液滴喷出装置3的喷墨法)。然后，形成导电性膜907后，除去围堰部BB(灰化剥离处理)，转移到所述的成形(forming)处理。须指出的是，与所述有机EL装置时同样，希望进行对第一衬底901以及第二衬底902的亲液化处理、对围堰部911、BB的疏液化处理。

此外，作为其它电光装置，可以考虑到金属布线的形成、透镜的形成、抗蚀剂的形成和光扩散体的形成等的装置。通过在各种电光装置(器件)的制造中使用所述液滴喷出装置3，能高效制造各种电光装置。

Claims (8)

1. 一种液滴喷出装置，具有：相对于面对描绘区的工件，一边使导入有功能液的功能液滴喷出头相对移动，一边向工件上喷出功能液，进行描绘的描绘机构；以及与所述描绘机构并列设置，对面对维护区的所述功能液滴喷出头进行维护的维护机构；其特征在于：

所述描绘机构包括：搭载工件，并且使工件沿作为主扫描方向的X轴方向移动的X轴台；

把所述功能液滴喷出头搭载在滑架上的多个滑架部件；以及

使所述多个滑架部件在所述描绘区和所述维护区之间移动的Y轴台，

其中，所述Y轴台的结构为能使所述多个滑架部件分别移动，

所述各滑架部件具有：由所述Y轴台的滑块支撑的滑架；以及

装卸自如地保持在所述滑架上，由所述功能液滴喷出头和搭载它的头板构成的头部件。

2. 根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于：

通过搭载在所述多个滑架部件上的多个所述功能液滴喷出头的全部喷出喷嘴，构成与所述描绘区的描绘宽度对应的1描绘行。

3. 根据权利要求1或2所述的液滴喷出装置，其特征在于：

所述Y轴台的驱动源由线性电机构成。

4. 根据权利要求2所述的液滴喷出装置，其特征在于：

所述维护区兼作在所述滑架上装卸所述头部件的更换区。

5. 根据权利要求4所述的液滴喷出装置，其特征在于：

在所述各头板上搭载有多个所述功能液滴喷出头；

所述多个功能液滴喷出头以给定的配置图案配置为全部喷出喷嘴构成作为所述描绘行的一部分的部分描绘行；

所述配置图案由在X轴方向和Y轴方向分别把位置错开，按阶梯状并且以单一列配置的功能液滴喷出头群构成。

6. 根据权利要求4所述的液滴喷出装置，其特征在于：

在所述各头板上搭载有多个所述功能液滴喷出头；

所述多个功能液滴喷出头以给定的配置图案配置为全部喷出喷嘴构成作为所述描绘行的一部分的部分描绘行；

所述配置图案由在X轴方向和Y轴方向分别把位置错开，按阶梯状并且在Y轴方向配置为多列的功能液滴喷出头群构成。

7. 根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于：

在所述各滑架部件上分别搭载有向所述功能液滴喷出头供给功能液的功能液容器。

8. 根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于：

所述维护机构具有：从所述功能液滴喷出头的各喷出喷嘴吸引功能液的吸引部件；以及

通过擦拭薄片擦拭吸引后的所述功能液滴喷出头的喷嘴面的擦拭部件。

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