CN1762707B - 液滴喷出装置、电光学装置的制造方法 - Google Patents

液滴喷出装置、电光学装置的制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种液滴喷出装置(1)，其一边使搭载着功能液滴喷头(82)的喷头单元(13)沿主扫描方向相对移动，一边驱动功能液滴喷头(82)向放置在放置台(21)上的工件(W)喷射，在工件(W)上进行描绘，并具有用于检测功能液滴喷头(82)的喷出故障的喷出故障检测单元(17)，喷出故障检测单元(17)带有通过从功能液滴喷头(82)中检测喷出来描绘给定的检测图案的被描绘单元(161)，和拍摄描绘的检测图案并进行图像识别、判断喷出故障的喷出故障判断机构(162)，被描绘单元(161)设置在从放置台(21)脱离主扫描方向的主扫描移动轴上。由此可有效地检测漏点，可削减检测漏点的周期时间。

Description

液滴喷出装置、电光学装置的制造方法
技术领域
本发明涉及一种液滴喷出装置、电光学装置的制造方法、电光学装置及电子设备，其中的液滴喷出装置带有检测向工件喷出功能液的功能液滴喷头是否存在喷出故障的喷出故障检测单元。
背景技术
通过采用功能液滴喷头的液滴喷出方法制造各种产品(例如液晶显示装置的滤色片等)的液滴喷出装置已经公知。液滴喷出装置带有使放置基板(工件)的基板输送台(放置台)向Y轴方向移动的Y轴方向移动机构和使搭载功能液滴喷头的喷头单元向X轴方向移动的X轴方向移动机构。喷头单元的移动区域与基板输送台的移动区域重合的区域就是能在基板上进行描绘的可喷出区域，液滴喷出装置一边使喷头单元和基板相对移动，一边驱动功能液滴喷头喷射，从而可在处于可喷出区域中的基板上描绘给定的描绘图案。
液滴喷出装置中带有用于检测功能液滴喷头的喷嘴是否堵塞的漏点检测单元。漏点检测单元设置在喷头单元的移动区域之下、基板输送台的移动区域以外的地方。漏点检测单元带有使从功能液滴喷头的各喷嘴中喷出检测用功能液滴，并光学检测其有无的受光部、及接受为检测而喷出的功能液的检测用液体接受部，进行漏点检测时，使喷头单元移动到检测用液体接受部的正上方后，驱动功能液滴喷头喷射，从各喷嘴向检测用液体接受部喷出检测用的功能液滴，同时用受光部检测有无从各喷嘴中喷出的功能液滴。
〖专利文献1〗特开2004-202325号公报
因此，为了提高描绘的有效利用率，漏点检测最好在液滴喷出装置不工作时定期进行。即，最好在对放置台更换工件时进行漏点检测，在下一个工件上进行描绘处理之前，确认能从功能液滴喷头中适当地喷出功能液滴。但是，以前的液滴喷出装置中，由于漏点检测单元设置在基板输送台的移动区域以外的位置上，因此如果要在对工件进行描绘处理的间隔期间进行漏点检测，则必须驱动X轴方向移动机构，将处于描绘区域中的喷头单元移动到漏点检测单元处，检测后必须再次驱动X轴方向移动机构，将喷头单元移动到描绘区域。因此，以前的液滴喷出装置进行漏点检测所需的作业周期拉长，对工件的描绘效率降低。
发明内容
因此，本发明的目的在于提供一种可在对工件进行描绘处理的间隔期间有效地进行漏点检测、可削减漏点检测的作业周期的液滴喷出装置、电光学装置的制造方法、电光学装置及电子设备。
本发明提供一种液滴喷出装置，一边使搭载着形成有多个喷嘴的功能液滴喷头的喷头单元相对于放置在放置台上的工件相对移动，一边驱动功能液滴喷头喷射，从喷嘴向所述工件喷出功能液滴，在面对喷头单元的工件上进行描绘，该液滴喷出装置具有用于检测功能液滴喷头的喷出故障的喷出故障检测单元，喷出故障检测单元带有通过来自功能液滴喷头的所有喷嘴的检测喷出来描绘给定的检测图案的被描绘单元、拍摄描绘在被描绘单元上的检测图案，并进行图像识别，判断功能液滴喷头是否存在喷出故障的喷出故障判断机构，被描绘单元设置在放置台的移动轴上。
采用该构成，描绘检测图案的被描绘单元设在从放置台脱离扫描方向的喷头单元的扫描移动轴上，因此利用喷头单元的移动轴，可使喷头单元面对被描绘单元。从而，利用为了在工件上描绘而进行的喷头单元向扫描方向的相对移动，可使喷头单元高效迅速地面对被描绘单元，可削减检测喷出故障所需的时间。由此，可削减整个生产节拍时间，可提高对工件的描绘效率。
此时，最好还带有扫描移动台，该扫描移动台带有支撑放置台和被描绘单元的滑板，使它们相对于喷头单元，沿扫描方向移动。
采用该构成，被描绘单元与放置台支撑在同一个滑板上，因此，如果为了描绘而使滑板沿X轴方向往复移动，则被描绘单元也同样沿X轴方向往复移动。从而，检测功能液滴喷头的喷出故障时，利用放置台相对扫描方向的移动，可使被描绘单元面对喷头单元。
此时，最好还带有扫描移动台，该扫描移动台带有支撑放置台和被描绘单元的滑板，使它们相对喷头单元，沿扫描方向移动，滑板带有可沿扫描方向自由移动地支撑放置台的第一滑板和与第一滑板分别控制，可沿扫描方向自由移动地支撑被描绘单元的第二滑板。
采用该构成，支撑被描绘单元的滑板与支撑放置台的滑板不同，因此可减轻使各滑板移动的负荷。第一滑板和第二滑板可分别沿X轴方向移动，因此可使定期冲洗单元与放置台一起移动，另一方面也可以使放置台和定期冲洗单元分别移动。此时，与从喷头单元离开的放置台的移动同步地使喷出故障检测单元移动，可有效地使喷出故障检测单元面对喷头单元，可迅速地进行喷出故障检测。另外，在工件上描绘时，无需使喷出故障检测单元移动。
此时，最好还带有控制功能液滴喷头和扫描移动台的控制机构，同时在喷头单元的扫描移动轴上设定对放置台更换工件的工件更换位置，设置被描绘单元，以便在放置台向工件更换位置移动途中，被描绘单元面对喷头单元，移动到工件更换位置的被描绘单元面对喷头单元时，控制机构驱动功能液滴喷头喷射，描绘检测图案。
采用该构成，放置台移向工件更换位置途中，可使被描绘单元面对喷头单元，可将检测图案描绘在被描绘单元上。从而，为了描绘检测图案，无需移动喷头单元，利用放置台向工件更换位置的移动，可高效地检测功能液滴喷头的喷出故障。
此时，最好设置喷出故障判断机构，以便放置台到达前述更换位置时，喷出故障判断机构面对被描绘单元，控制机构使通过喷出故障判断机构对喷出故障的判断与工件更换作业同时进行。
采用该构成，由于拍摄检测图案并对功能液滴喷头的喷出故障的判断与工件更换作业同时进行，因此利用工件更换的时间，可有效地检测喷出故障。
此时，最好还带有定期冲洗单元，该定期冲洗单元带有当放置台到达更换位置时，面对喷头单元的定期冲洗箱，接受来自功能液滴喷头的喷嘴的喷出，控制机构驱动功能液滴喷头喷射，且喷射与工件的更换作业同时进行。
采用该构成，向定期冲洗箱的喷出(废弃喷出)与工件的更换同时进行，因此可有效地防止工件更换过程中，功能液滴喷头中产生由于干燥而引起的堵塞。
此时，最好还带有面对喷头单元并用于功能液滴喷头的保养的保养单元、使喷头单元移动，使其面对保养单元的喷头移动机构，控制机构控制保养单元和喷头移动机构，通过喷出故障判断机构判断喷出故障时，使喷头单元面对保养单元，用保养单元对功能液滴喷头进行保养。
采用该构成，判断到功能液滴喷头的喷出故障时，使喷头单元移动到保养单元处，对其进行保养，可使其功能恢复。另外，将保养单元搭载在上述扫描移动台上，可将喷头移动机构兼用作扫描移动台。
此时，最好保养单元是抽吸单元和擦拭单元中的至少一个，抽吸单元对功能液滴喷头进行抽吸，从喷嘴中强制性地排出功能液；擦拭单元擦拭功能液滴喷头的喷嘴面。
采用该构成，搭载作为保养单元的抽吸单元时，从功能液滴喷头的喷嘴中强制性地排出功能液，可消除喷嘴堵塞，同时搭载作为保养单元的擦拭单元时，通过擦拭功能液滴喷头的喷嘴面上的污渍，可消除功能液滴的飞行偏斜。
此时，喷头单元中，多个喷嘴沿与扫描方向交叉的方向连续排列，以便描绘1个描绘线，与用多个喷嘴可描绘的1个描绘线的长度相对应地设定被描绘单元的与扫描方向交叉的方向上的长度。
采用该构成，被描绘单元可接受从喷头单元的所有功能液滴喷头中喷出的功能液，可有效地描绘检测图案。
此时，摄像机构最好带有从上侧面对被描绘单元的摄像机、使摄像机可沿与扫描方向交叉的方向自由移动地支撑前述摄像机的摄像机移动机构。
采用该构成，使从被描绘单元的上侧面对被描绘单元的摄像机向与扫描方向交叉的方向移动，可全方位地拍摄描绘在被描绘单元上的检测图案。
此时，最好在摄像机移动机构上，沿与扫描方向交叉的方向并列地设有2个摄像机。
采用该构成，采用设在摄像机移动机构上的2个摄像机，可有效地拍摄检测图案，可削减拍摄所需的时间。
此时，最好喷出故障检测单元还带有使被描绘单元向扫描方向移动的单元移动机构。
采用该构成，可使被描绘单元向扫描方向移动，因此可沿扫描方向，在被描绘单元上描绘多个检测图案。即，即使在扫描方向上位置错开地描绘多个各检测图案，也可使被描绘单元向扫描方向移动，可抵消位置错开的部分，可适当地对检测图案进行图像识别。
本发明的电光学装置的制造方法采用上述液滴喷出装置，用功能液滴在工件上形成成膜部。本发明的电光学装置采用上述液滴喷出装置，用功能液滴在工件上形成成膜部。
采用上述构成，由于采用上述液滴喷出装置，可有效地检测功能液滴喷头的喷出故障，同时可采用正常的功能液滴喷头高精度地形成成膜部，可高效地制造电光学装置。另外，作为电光学装置(设备)可以是液晶显示装置、有机EL(场致发光)装置、电子发射装置、PDP(等离子显示面板)装置及电泳显示装置等。另外，电子发射装置是包含所谓FED(场致发射显示器)装置和SED(表面传导电子发射体显示器)装置的概念。进而，作为电光学装置可以是包含形成金属配线、形成透镜、形成阻挡层及形成光扩散体等的装置。
本发明的电子设备搭载有采用上述的电光学装置的制造方法制造的电光学装置或上述的电光学装置。
此时，作为电子设备，搭载有所谓平板显示器的便携式电话、个人计算机及其它各种电子制品均属于上述电子设备。
附图说明
图1是本发明实施方式的液滴喷出装置的说明图，是放置台(吸附台)处于工件更换位置时的外观立体图。
图2是放置台(吸附台)处于工件更换位置的状态下，除去桥接板后的液滴喷出装置的平面图。
图3是放置台(吸附台)处于工件更换位置时的液滴喷出装置的侧视图。
图4是功能液滴喷头的外观立体图。
图5是喷头板周边的说明图，是从滑架单元的下侧看到的喷头板的平面图。
图6是搭载在喷头单元上的功能液滴喷头的配色图案的说明图。
图7是滤色片的配色图案的说明图，(a)表示条纹排列，(b)表示马赛克排列，(c)表示三角形排列。
图8是用液滴喷出装置进行描绘处理的说明图，(a)是有关第一描绘动作的平面示意图，(b)是有关第二描绘动作的平面示意图，(c)是有关第三描绘动作的平面示意图。
图9是X轴气动滑板周边的外观立体图。
图10是说明描绘装置的主控制系统的框图。
图11是说明滤色片制造工序的流程图。
图12(a)～(e)是依次表示制造工序的滤色片的示意截面图。
图13是表示采用适用本发明的滤色片的液晶装置的基本构成的主要部分截面图。
图14是表示采用适用本发明的滤色片的第二例子的液晶装置的基本构成的主要部分截面图。
图15是表示采用适用本发明的滤色片的第三例子的液晶装置的基本构成的主要部分截面图。
图16是有机EL装置，即显示装置的主要部分截面图。
图17是说明有机EL装置，即显示装置的制造工序的流程图。
图18是说明无机物堤坝层的形成的工序图。
图19是说明有机物堤坝层的形成的工序图。
图20是说明形成空穴注入/传输层的过程的工序图。
图21是说明形成空穴注入/传输层后的状态的工序图。
图22是说明形成蓝色发光层的过程的工序图。
图23是说明形成蓝色发光层后的状态的工序图。
图24是说明形成各色发光层后的状态的工序图。
图25是说明阴极的形成的工序图。
图26是等离子型显示装置(PDP装置)，即显示装置的主要部分的分解立体图。
图27是电子发射装置(FED装置)，即显示装置的主要部分截面图。
图28(a)是表示显示装置的电子发射部周边的平面图，(b)是表示其形成方法的平面图。
图中：1—液滴喷出装置，11—X轴平台，12—Y轴平台，13—喷头单元，14—冲洗单元，15—抽吸单元，16—擦拭单元，17—喷出故障检测单元，18—控制机构，21—放置台，22-X轴气动滑板，82—功能液滴喷头，98—喷嘴，111—描绘前冲洗单元，112—定期冲洗单元，161—被描绘单元，162—摄像单元，171—描绘片，181—检测摄像机，183—摄像机移动机构，W—工件。
具体实施方式
下面参照附图说明适用本发明的液滴喷出装置。该液滴喷出装置组装在所谓平板显示器的生产线中，按照采用功能液滴喷头的液滴喷出法，在工件(基板)上形成构成为液晶显示装置的滤色片及有机EL装置的各像素的发光元件等，其中上述滤色片由R(红)、G(绿)、B(蓝)三色构成。
如图1～图3所示，液滴喷出装置1包括下述部件：设置在X轴支承座2(石平台)上并沿构成主扫描方向的X轴方向延伸，使工件W向X轴方向(主扫描方向)移动的X轴平台11(主扫描移动机构)、设在通过多根支柱4跨越X轴平台11地架设的1对(2个)Y轴支承座3上，沿构成副扫描方向的Y轴方向延伸的Y轴平台12(副扫描移动机构)、由搭载多个功能液滴喷头82(图中未示出)的7个滑架单元81构成，且可沿Y轴方向(副扫描方向)自由移动地支撑在Y轴平台12上的喷头单元13。从而，与X轴平台11及Y轴平台12的驱动同步地驱动功能液滴喷头82喷射，可喷出R、G、B三色功能液滴，在工件W上描绘给定的描绘图案(描绘处理)。
液滴喷出装置1包括冲洗单元14、抽吸单元15、擦拭单元16、喷出故障检测单元17(它们统称为维护机构)，它们用于功能液滴喷头82的保养，用于功能液滴喷头82的功能维持和功能恢复(维护处理)。另外，构成维护机构的各单元中，冲洗单元14和喷出故障检测单元17搭载在X轴平台11上，抽吸单元15和擦拭单元16设置在支架5上，该支架5位于X轴平台11以外，且位于在Y轴平台12的作用下，喷头单元13可移动的位置上。
虽然图中未示出，但液滴喷出装置1中带有控制装置整体的控制机构18，上述描绘处理和维护处理正是基于控制机构18的控制而进行的。
下面说明液滴喷出装置1的构成要素。如图1～3所示，X轴平台11包括放置工件W的放置台21、沿X轴方向可自由滑动地支撑放置台21的X轴气动滑板22、沿X轴方向延伸且通过放置台21使工件W向X轴方向移动的左右一对X轴线性马达(图中未示出)、与X轴线性马达并列设置并引导X轴气动滑板22的移动的一对(2个)X轴导轨23。
放置台21带有吸附放置工件W的吸附台31、支撑吸附台31并用于将放置在吸附台31上的工件W的位置向θ轴方向修正的θ平台32等。如图9所示，吸附台31带有吸附放置工件W的平台主体41、3点支撑平台主体41的3组台支撑部件(图中未示出)、固定在θ平台32上且通过台支撑部件支撑平台主体41的支承座42。平台主体41由厚板状的石板构成，在平面图中形成一边为1800mm的大致正方形。平台主体41的表面上形成多个用于吸附工件W的吸附槽43，并且与上述吸气机构连通的吸附孔(图中未示出)贯穿形成在各吸附槽43中，通过吸附槽43，将足够的吸附力可作用在工件W上。
后述描绘前冲洗单元111与3组台支撑部件一起支撑在支承座42上，描绘前冲洗单元111的一对描绘前冲洗箱121(后述)加设在与平台主体41的Y轴方向平行的一对边上。图中的符号44是指升降机构(图中未示出)的多个升降销(图中未示出)可转动插入的多个松配合孔。向吸附台31供入或移出工件的升降机构装入吸附台31。升降机构支撑在支承座42上，带有可自由升降的多个升降销。使多个升降销从形成在平台主体41上的多个松配合孔44中出没，从图以外的机械手接受未处理的工件W，将其转移给吸附台31，同时将处理完的工件W从放置台21上提升，将其转移给机械手。
如图1和3所示，X轴气动滑板22带有支撑放置台21(θ平台32)的滑板主体51、固定在滑板主体51下部且与一对X轴导轨23啮合的一对(2组4个)啮合部52。冲洗单元14的定期冲洗单元112和喷出故障检测单元17的被描绘单元161(都将在后面描述)与放置台21一起搭载在滑板主体51上。一旦(同步)驱动一对X轴线性马达，一对啮合部52使X轴气动滑板22被一对X轴导轨23引导，在此状态下，X轴气动滑板22沿X轴方向移动，放置在放置台21上的工件W沿X轴方向移动(主扫描移动)。
另外，图2中示出的面前侧位置构成工件W的更换位置，将未处理的工件W导入吸附台31上时及回收处理完的工件W时，使吸附台31移动到该位置为止。图中的符号62是指用于识别工件W的位置的工件校准摄像机，基于工件校准摄像机62的摄像结果，用θ平台32进行工件W的θ修正。
Y轴平台12包括分别穿过构成喷头单元13的7个各滑架单元81(滑架85)并固定的7个桥接板71、用两腿支撑7个桥接板71的7组14个Y轴滑板(图中未示出)、设置在上述一对Y轴支承座3上且通过7组14个Y轴滑板使桥接板71沿Y轴方向移动的一对Y轴线性马达(图中未示出)、与Y轴线性马达并列地设在Y轴支承座3上，支撑7组14个Y轴滑板且引导各Y轴滑板的移动的一对Y轴导轨(图中未示出)。
一旦(同步)驱动一对Y轴线性马达，各Y轴滑板受到一对Y轴导轨的引导，同时向Y轴方向平行移动。由此，桥接板71在两腿支撑的状态下沿Y轴方向移动，同时滑架单元81向Y轴方向移动(副扫描移动)。此时，通过控制Y轴线性马达的驱动，可使各桥接板71(滑架单元81)独立地分别移动，也可以使7个桥接板71全部整体移动。
如图1～3所示，喷头单元13由同样构成的7个滑架单元81沿Y轴方向排列而成。各滑架单元81包括12个功能液滴喷头82(图中未示出)、两个两个地保持12个功能液滴喷头82的6个喷头保持板83、通过6个喷头保持板83(图中未示出)搭载12个功能液滴喷头82的喷头板84、支撑喷头板84的滑架85。
如图4所示，功能液滴喷头82是所谓双联式的，包括带有双联的连接针92的功能液导入部91、与功能液导入部91相连的双联的喷头基板93、与功能液导入部91的下方相连，形成有内部充满功能液的喷头内流路的喷头主体94。连接针92与图以外的功能液罐连接，向功能液导入部91供给功能液。喷头主体94由腔室95(压电元件)、带有供多个喷嘴98开口的喷嘴面97的喷嘴板96构成。一旦驱动功能液滴喷头82喷射，(向压电元件施加电压)通过腔室95的泵作用，从喷嘴98喷出功能液滴。
另外，形成在喷嘴面97上的多个喷嘴98等间距(间隔2点间距)地排列，由180个喷嘴98构成的分割喷嘴列98b形成2列。2列分割喷嘴列98b之间位置相互错开1点间距。即，功能液滴喷头82中，由2列分割的喷嘴列98b形成间隔1点间距的喷嘴列98a，可进行1点间距(高分辨率)的描绘。
6个各喷头保持板83由不锈钢等厚板形成平面图中的长方形，与其纵向并列地设有2个安装开口(图中未示出)，该开口用于分别定位安装2个功能液滴喷头82。2个安装开口隔开6个喷头的喷嘴列间距地形成。
如图5所示，喷头板84由不锈钢等厚板形成平面图中的大致平行四边形。喷头板84上设有用于定位安装喷头保持板83的开口(图中未示出)，6个喷头保持板83沿(功能液滴喷头82的喷嘴列方向)位置仅错开大致1个喷头的喷嘴列长度L地阶梯状设置。由此，搭载在各喷头板84上的12个功能液滴喷头82的喷嘴列98a在Y轴方向上连续(部分重叠)，形成1个分割描绘线。
滑架85包括可进行θ修正(θ旋转)地支撑喷头板84的θ旋转机构101、通过θ旋转机构101将喷头板84支撑在Y轴平台12(各桥接板71)上的吊设部件102。θ旋转机构101支撑喷头板84，使得分割描绘线与Y轴方向平行。虽然图中未示出，但通过θ旋转机构101使喷头板84升降的喷头升降机构(图中未示出)装入吊设部件102中，可调整喷头板84(功能液滴喷头82的喷嘴面97)的高度位置。
7个各滑架85分别支撑在7个各桥接板71上，7个滑架单元81沿Y轴方向排列，构成喷头单元13。喷头单元13中，12×7个的全部功能液滴喷头82沿Y轴方向连续，各滑架单元81的7个分割描绘线沿Y轴方向连续，形成1个描绘线。图2中的X轴平台11的图示靠左(支架5侧)的位置构成喷头单元13的初始位置，从该位置开始对工件W进行描绘处理。
因此，搭载在喷头单元13上的12×7个功能液滴喷头82对应于R、G、B三色的每种功能液，可在工件W上描绘由三色功能液构成的描绘图案。图6示出了本实施方式的喷头单元13中的功能液滴喷头82的配色图案的说明图。如图所示，喷头单元13中的功能液滴喷头82的配色图案相对于沿Y轴方向连续的12×7个功能液滴喷头82，以给定的顺序(在本实施方式中，从图示右侧以R、G、B的顺序)反复，使R、G、B三色一一对应，7个各滑架单元81中的功能液滴喷头82的配色图案完全相同。
从而，如果使喷头单元13副扫描移动2个喷头的喷嘴列长度，则可使R、G、B三色的功能液滴喷头82面临移动方向第3个以下的功能液滴喷头82(副扫描移动前)所处的区域，在该区域内可描绘由三色构成的描绘图案。本实施方式中，设定1个描绘线的长度，以2个喷头喷嘴列长度的副扫描移动可完成对(1个)工件W的描绘处理。具体地说，1个描绘线的长度是基于可放置在放置台21上的工件W的最大宽度而设定的，构成对最大宽度的工件W，以1次主扫描移动可描绘的(最小数n个的)喷嘴列长度+2个喷头的喷嘴列长度的长度(即，(n+2)×L)。另外，本实施方式中，n＝82。
另外，由于将喷头保持板83设为功能液的颜色数(3色)的整数倍个(6个)，因此，保持在同一个喷头保持板83上的2个功能液滴喷头82中，同一色的功能液相对应。由此，功能液罐与各功能液滴喷头82之间的配管连接可比较简单。
下面参照图8，以制造液晶显示装置的滤色片时为例，说明液滴喷出装置1中的一连串描绘处理。详细情况将在后面描述，滤色片600包括透光性的(透明)基板601、在工件W上沿X轴方向和Y轴方向矩阵状排列的多个像素区域(滤色片元件)607a、形成在像素区域607a上的R、G、B三色着色层608(608R、608G、608B)、分隔各像素区域607a的遮光性堤坝603(参照图8、图12等)。描绘处理中，植入堤坝603的基板601作为工件W被导入，向各像素区域607a内喷出对应的R、G、B三色的每1种颜色的功能液，在工件W上描绘给定的描绘图案。
另外，滤色片的配色图案可以是条纹排列，即在Y轴方向上并列的像素区域607a的所有横列均同色，而在X轴方向上使R、G、B三色反复排列，也可以是马赛克排列，即在X轴方向和Y轴方向上并列的纵列和横列的连续3个像素区域607a构成互不相同的R、G、B三色，也可以是三角形排列，即多个像素区域607a锯齿状(各错开半个间距)排列，相邻并列的3个像素区域607a构成互不相同的R、G、B三色，但此处仅说明制造条纹排列的滤色片时的情况(参照图7)。
从工件更换位置移动工件W(吸附台31)之后进行描绘处理，首先开始第一描绘动作。第一描绘动作中，如上所述地驱动X轴平台11，通过放置台21移出工件W，同时与其同步地驱动处于初始位置的喷头单元13的功能液滴喷头82选择性地喷射，向工件W喷出功能液。工件W的移出结束后，驱动Y轴平台12，使喷头单元13向Y轴方向微量移动。此后，再次同步进行X轴平台11的驱动和驱动功能液滴喷头82的选择性喷出，向移回的工件喷出功能液。工件W的移回结束后，进一步驱动Y轴平台12，使喷头单元13向Y轴方向微量移动，同时再次反复进行上述一连串动作，第一描绘动作结束。
如图8(a)所示，喷头单元13的1个描绘线与矩阵状地形成在工件W上的像素区域607a的纵列垂直，功能液滴喷头82面对各像素区域列。而且，喷头单元13处于初始位置时，喷头单元13的(对应于R、G)图中右端的2个功能液滴喷头82(在图2中位于左端)从图中最右端的像素区域列再向右侧移出。上述第一描绘动作完成后，各功能液滴喷头82面对各列，向像素区域607a喷出功能液，该像素区域607a所对应的颜色与该功能液滴喷头82所对应的颜色同色。
第一描绘动作结束后，驱动Y轴平台12，喷头单元13向Y轴方向仅移动大致1个喷头喷嘴列的长度L。由此，对应于B色的功能液滴喷头82面对第一描绘动作时对应于R色的功能液滴喷头82所处的位置，对应于R色的功能液滴喷头82面对G色所对应的位置，对应于G色的功能液滴喷头82面对B色所对应的位置。接着进行第二描绘动作，与第一描绘动作相同，随着工件W的往复移动，反复2次驱动功能液滴喷头82喷射。如图8(b)所示，第二描绘动作中，向在第一描绘动作中喷出R色的像素区域列喷出B色功能液，向喷出G色的像素区域列喷出R色功能液，向喷出B色的像素区域列喷出G色功能液。
第二描绘动作结束后，驱动Y轴平台12，喷头单元13进一步向Y轴方向移动大致1个喷头喷嘴列的长度。由此，对应于G色的功能液滴喷头82面对第一描绘动作时对应于R色的功能液滴喷头82所处的位置，对应于B色的功能液滴喷头82面对G色所对应的位置，对应于R色的功能液滴喷头82面对B色所对应的位置。此后进行第三描绘动作，与第一描绘动作和第二描绘动作相同，使工件W往复移动2次。由此，向各像素区域列的所有像素区域607a喷出R、G、B全色的功能液，对工件W的描绘处理结束。描绘处理结束时，喷头单元13的(对应于G、B)图中左端的2个功能液滴喷头82(在图2中位于右端)从图中最左端的像素区域列进一步向左侧移出(参照图8(c))。
本实施方式中，由于在Y轴方向上连续的12×7个功能液滴喷头82的配色图案构成R、G、B不同的三色反复图案，因此仅移动2个喷头的喷嘴列长度(2L)，即可在工件W的整个像素区域607a上喷出全色的功能液。由于不会向同一列像素区域607a(条纹排列时，对于横列的像素区域607a也是一样)同时喷出R、G、B三色功能液，因此即使例如(由于飞行偏斜等原因)功能液击打在堤坝603上，(由于时间差，堤坝603上的功能液干燥了)也很难产生混色，可制成高精度的滤色片。
本实施方式中，通过使喷头单元13两次往复移动，对各像素区域607a进行描绘处理，其次数可根据情况任意设定。
下面依次说明构成维护机构的冲洗单元14、抽吸单元15、擦拭单元16和喷出故障检测单元17。冲洗单元14用于接受从功能液滴喷头82的全部喷嘴98中通过废弃喷出(冲洗)而喷出的功能液滴，冲洗单元14由描绘前冲洗单元111和定期冲洗单元112构成。
描绘前冲洗单元111用于在使功能液喷到工件W上之前，驱动喷头单元13的全部功能液滴喷头82喷射，并接受描绘前冲洗的功能液，由接受功能液的一对描绘前冲洗箱121和将一对各描绘前冲洗箱121支撑在吸附台31(支承座42)上的一对箱支撑部件(图中未示出)构成(参照图1～3、9)。各描绘前冲洗箱121形成在Y轴方向上较长的在平面图中为长方形的细长箱状，其底部铺设有吸收功能液的吸收材料123。由于各描绘前冲洗箱121通过箱支撑部件被支撑在吸附台31上，因此(通过θ平台)进行θ修正，使吸附台31旋转时，各描绘前冲洗箱121与其一起旋转。
一对的各箱支撑部件支撑各描绘前冲洗箱121，使得各描绘前冲洗箱121沿吸附台31的与Y轴方向平行的一对边(周边)，从吸附台31上伸出。即，描绘前冲洗箱121夹着吸附台31的前后地设置，一旦工件W沿X轴方向往复移动，喷头单元13的功能液滴喷头82可在面对工件W之前，依次面对描绘前冲洗箱121，进行描绘前冲洗。
此时，描绘前冲洗箱的长边的长度与上述喷头单元13的1个描绘线的长度+2个喷头的喷嘴列长度((n+4)×L)大致相同，以便在描绘处理中接受来自全部功能液滴喷头82的废弃喷出。即，本实施方式的描绘处理中，通过使喷头单元13向Y轴方向移动功能液滴喷头82的2个喷头的长度，使描绘前冲洗箱对应于1个描绘线的长度+2个喷头的喷嘴列长的长度，则对于描绘处理中处于任何位置的功能液滴喷头82，均可覆盖其Y轴方向上的喷出范围。由此，可从功能液滴喷头82中稳定地喷出功能液滴，在工件W上进行高精度的描绘处理。
虽然图中未示出，但使描绘前冲洗箱121升降的箱升降机构装入各箱支撑部件中，描绘处理时，即接受喷出前冲洗时，使各描绘前冲洗箱121的上端面与放置在吸附台31上的工件W的表面高度一致的位置上支撑它，同时，非描绘处理时，使各描绘前冲洗箱121的上端面低于放置在吸附台31的上面(放置面)的高度的位置(待机位置)上支撑它。由此，描绘前冲洗的功能液不会向外部飞散，可被描绘前冲洗箱121接受，同时，描绘前冲洗箱121不会妨碍在非描绘时进行的工件W更换作业。另外，考虑到吸收材料123的膨胀等，上升时描绘前冲洗箱121的上端面的位置可处于比工件表面低一些的位置。此外，不一定必须要设置箱升降机构，根据情况设置即可。
如图1～3和图9所示，定期冲洗单元112用于象更换工件W时等那样的暂时中止描绘处理时，驱动喷头单元13的全部功能液滴喷头82喷射，接受定期冲洗的功能液，它带有接受功能液的定期冲洗箱131、搭载在上述X轴气动滑板22上，可调整高度地支撑定期冲洗箱131的两端的一对箱支柱部件132。
定期冲洗箱131的上面开放，形成在Y轴方向上较长的平面图中为方形的箱状。定期冲洗箱131的大小可包含搭载在喷头单元13上的全部12×7个功能液滴喷头82，可同时定期冲洗喷头单元13的全部功能液滴喷头82。具体地说，与描绘前冲洗箱121同样，定期冲洗箱131的长边的长度与1个描绘线的长度+2个喷头的喷嘴列长的长度((n+4)×L)相对应地设定，设定的短边的长度大致对应于上述平面图中平行四边形的喷头板84的高度(X轴方向的长度)。如图9所示，沿Y轴方向延伸的多个(3个)凸棱133突设在定期冲洗箱131的底面上，上述凸棱133上设有吸收功能液的片状的吸收片材134。吸收片材134的上端面与定期冲洗箱131的上端面几乎一致。
箱支柱部件132支撑定期冲洗箱131，使得定期冲洗箱131的上端面所处的位置稍稍低于(2～3mm的程度)搭载在喷头单元13上的功能液滴喷头82的喷嘴面97的高度位置。箱支柱部件132与放置台21一起被固定在X轴气动滑板22的滑板主体51上，一旦X轴气动滑板22移动，通过箱架，定期冲洗箱131也沿X轴方向移动。箱支柱部件132在放置台21的后方位置上支撑定期冲洗箱131，如果使X轴气动滑板22移动，使吸附台31处于工件更换位置，则定期冲洗箱131面对喷头单元13，可接受定期冲洗的功能液。
虽然图中未示出，但定期冲洗箱131上设有用于防止吸收片材134的弯曲及挠曲的防弯曲机构。本实施方式中，由于吸收片材134与功能液滴喷头82的喷嘴面97之间的间隙很小，因此如果吸收片材134在处于上弯的状态下吸收(定期冲洗的)功能液，则被功能液浸润的吸收片材134可能会妨碍功能液滴喷头82的喷嘴面97。因此，本实施方式中，在定期冲洗箱131上设置了防弯曲机构，防止吸收片材134弯曲，从而防止吸收片材134接触功能液滴喷头82的喷嘴面97。
抽吸单元15对功能液滴喷头82进行抽吸，从功能液滴喷头82的喷嘴98中强制性地排出功能液。如图2所示，抽吸单元15与喷头单元13，即7个滑架单元81相对应地构成，同样构成的7个分割抽吸单元141排列在上述支架5上。各分割抽吸单元141包括从下侧面对要进行抽吸的滑架单元81的盖帽单元142、使盖帽单元142升降，使盖帽远离或接近功能液滴喷头82(喷嘴面97)的盖帽升降机构(图中未示出)、通过紧密附着的盖帽143，使吸引力作用在各功能液滴喷头82上的抽吸机构(抽除器：图中未示出)，其中上述盖帽单元142使对应的12个各盖帽143分别紧密附着在搭载于滑架单元81上的12个各功能液滴喷头82的喷嘴面97上。
除了为消除或防止功能液滴喷头82(喷嘴98)的堵塞而抽吸功能液以外，新设置液滴喷出装置1时及对功能液滴喷头82更换喷头时，为使功能液填充到从功能液罐至功能液滴喷头82的功能液流路中也要抽吸功能液。而且，当液滴喷出装置1不工作时，抽吸单元15的盖帽143还用于保养功能液滴喷头82。此时，使喷头单元13面对抽吸单元15，使盖帽143紧密附着在功能液滴喷头82的喷嘴面97上，封闭喷嘴面97，防止功能液滴喷头82(喷嘴98)干燥。
进而，抽吸单元15的盖帽143具有接受由于功能液滴喷头82的废弃喷出(预喷射)而喷出的功能液的冲洗箱的功能，仅对正面对抽吸单元15的部分滑架单元81进行抽吸时，从不进行抽吸的其它滑架单元81向盖帽143进行废弃喷出。此时，盖帽升降机构使盖帽143移动到其上面稍稍离开功能液滴喷头82的喷嘴面97的位置。
擦拭单元16用喷雾喷出清洗液的擦拭片151擦洗功能液滴喷头82的喷嘴面97(进行擦拭)，包括一边拉出卷成卷状的擦拭片151，一边缠绕起来的缠绕单元152、将清洗液分布在拉出的擦拭片151上的清洗液供给单元153、用分布清洗液后的擦拭片151擦洗喷嘴面97的擦洗单元154(参照图2)。在用抽吸单元15抽吸后进行擦拭动作，擦去附着在喷嘴面97上的污渍。因此，擦拭单元16比抽吸单元15更靠近X轴平台11侧，面对用抽吸单元15抽吸后回到初始位置的喷头单元13(各滑架单元81)，可高效地进行擦拭动作。
虽然图中未示出，但抽吸单元15的各分割抽吸单元141和擦拭单元16可自由升降地支撑在单元升降机构上，通过使上述单元15(141)、16下降至给定的退避位置，可确保上述单元15(141)、16的维护及更换搭载在滑架单元81上的喷头板84(更换喷头)的作业区域位于单元15(141)、16上。
如图1～3和图9所示，喷出故障检测单元17用于检测是否从搭载在喷头单元13上的全部功能液滴喷头82(的喷嘴98)中正确地喷出功能液，包括接受来自喷头单元13的全部功能液滴喷头82的全部喷嘴98中的检测喷出的功能液，并描绘给定的检测图案的被描绘单元161、拍摄并检测描绘在被描绘单元161上的检测图案的摄像单元162。
被描绘单元161包括接受来自功能液滴喷头82的检测喷出，缠绕成卷状，并描绘上检测图案的长条状描绘片171(卷筒纸等)、一边拉出描绘片171一边缠绕起来的缠绕机构172、支撑缠绕机构172的缠绕支撑部件173、支撑缠绕支撑部件173的单元支座174。缠绕机构172带有装填有描绘片171，拉出描绘片171的拉出卷轴175、将拉出的描绘片171缠绕起来的缠绕卷轴176、使缠绕卷轴176旋转的缠绕马达(齿轮传动马达：图中未示出)。拉出的描绘片171在曝露在外部的状态下沿Y轴方向水平行进，被缠绕卷轴176缠绕起来，该描绘片171的水平行进部构成承受检测图案的被描绘部。设定水平行进部沿Y轴方向的长边的长度，使其可承受来自喷头单元的全部功能液滴喷头82的检测喷出，与本实施方式中的描绘前冲洗箱121和定期冲洗箱131同样，对应于1个描绘线的长度+2个喷头的喷嘴列长的长度地设定。
另外，不是每描绘一次检测图案就缠绕描绘片171，而是在拉出的描绘片171上给定次数地描绘检测图案后，缠绕描绘片171。此时，相对于前一次描绘的检测图案，下一次描绘的检测图案沿X轴方向位置稍稍错开地描绘，使得各次检测喷出形成的检测图案不重合。因此，当(描绘了给定次数的检测图案后的)描绘片171上满满地描绘上检测图案后，驱动缠绕马达，将描绘完的描绘片171缠绕起来，同时拉出新的描绘片171。本实施方式中，描绘片171的缠绕是通过驱动马达自动进行的，但(缠绕的频率低时)也可以设置手动缠绕机构，通过手动进行。
本实施方式中，将卷成卷状的描绘片171用作检测图案的描绘对象，但也可以采用检测图案用玻璃基板等代替。此时，适当地更换玻璃基板，描绘完的玻璃基板洗净后可重复利用。
单元支座174位于放置台21与定期冲洗单元112之间，被支撑在滑板主体51上，缠绕支撑部件173在位于定期冲洗箱131侧的一个描绘前冲洗箱121与定期冲洗箱131之间，支撑缠绕机构172。从而，描绘处理结束后，(为了更换工件W)使吸附台31移动到工件更换位置，定期冲洗箱131面对喷头单元13，起先被拉出的描绘片171面对喷头单元13，可在描绘片171上描绘检测图案。
如图3所示，摄像单元162支撑在上述Y轴支承座3上，带有从上方面对X轴平台11，拍摄描绘在描绘片171上的检测图案的2个检测摄像机181、保持2个检测摄像机181的摄像机支架182、固定在Y轴支承座3上，通过摄像机支架182，沿Y轴方向可自由滑动地支撑2个检测摄像机181的摄像机移动机构183、通过摄像机移动机构183使检测摄像机沿Y轴方向移动的摄像机移动马达(图中未示出)。2个检测摄像机181分别拍摄描绘在描绘片171上的检测图案的一半。例如，2个检测摄像机181仅隔开喷头单元13的1个描绘线的长度的大约一半的距离地设置，在此状态下，使2个检测摄像机移动，用左侧的检测摄像机181拍摄检测图案的左半边，用右侧的检测摄像机181拍摄检测图案的右半边。由此，可在短时间内高效地拍摄(扫描)检测图案，可削减检测功能液滴喷头82的喷出故障所需的时间。
设置摄像单元162，使得当吸附台31处于工件更换位置时，2个检测摄像机181面对描绘片171，本实施方式中，在工件更换过程中拍摄检测图案。此后，将2个检测摄像机181获得的拍摄结果发送给控制机构18，进行图像识别，基于该图像识别，判断各功能液滴喷头82的各喷嘴98是否能正常喷出功能液(喷嘴是否堵塞)，该判断也在工件更换过程中进行。即，喷出故障检测单元17由摄像单元162和控制机构18构成。
虽然图中未示出，但使缠绕机构172整体向X轴方向(微量)移动的单元移动机构设在单元支座174与缠绕支撑部件173之间。如上所述，描绘在描绘片171上的检测图案的描绘位置沿X轴方向位置错开，对应于检测图案的描绘位置地使缠绕机构172向X轴方向移动，在X轴方向上，可使检测图案确实面对固定的摄像单元(2个检测摄像机181)。
采用该喷出故障检测单元17，对构成喷头单元13的各滑架单元81进行位置修正，也可以进行初期的喷头校准，使得各分割描绘线构成1个描绘线。
下面参照图10，说明液滴喷出装置1的主控制系统。如图所示，液滴喷出装置1包括带有喷头单元13(功能液滴喷头82)的液滴喷出部191、带有X轴平台11并使工件向X轴方向移动的工件移动部192、带有Y轴平台12并使喷头单元13向Y轴方向移动的喷头移动部193、带有维护机构的各单元的维护部194、带有各种传感器，进行各种检测的检测部195、带有驱动控制各部件的各种驱动器的驱动部196、与各部件连接，控制整个液滴喷出装置1的控制部197(控制机构18)。
控制部197中包括用于连接各机构的接口201、带有可暂时存储的存储区并用作控制处理的作业区域的RAM202、带有各种存储区并存储控制程序和控制数据的ROM203、存储要在工件W上描绘给定的描绘图案的描绘数据及来自各机构的各种数据等，同时存储用于处理各种数据的程序等的硬盘204、按照存储在ROM203和硬盘204中的程序等，对各种数据进行计算处理的CPU205、相互连接上述部件的总线206。
控制部197通过接口201输入来自各机构的各种数据，同时按照存储在硬盘204中(通过CD—ROM驱动器等依次读取)的程序，在CPU205中计算处理，将其处理结果通过驱动部196(各种驱动器)输出到各机构。由此控制整个装置，进行液滴喷出装置1的各种处理。
下面说明从将未处理的工件W导入放置台21(吸附台31)开始直到更换为下一个工件W为止的液滴喷出装置1的一连串动作。通过图外的机械手(工件移入移出装置)将工件W搬入处于工件更换位置的吸附台31上，控制部197驱动工件校准摄像机62，对工件W进行拍摄，同时对该拍摄结果进行图像识别。此后，基于该图像识别，驱动θ平台32，对工件W的位置进行(θ)修正。(其间，喷头单元13面对定期冲洗单元112，进行功能液滴喷头82的定期冲洗。)
对工件W的位置修正结束后，控制部197(停止定期冲洗)驱动X轴平台11，使吸附台31从工件更换位置向喷头单元13侧移动，开始上述一连串的描绘处理。此时，本实施方式中，将吸附台31和增设的一对描绘前冲洗箱121所需的区域设定为进行描绘处理的描绘区域。一连串的描绘处理中，驱动控制X轴平台11，使得喷头单元13处于该描绘区域内，使吸附台31(工件W)往复移动。从而，描绘前冲洗箱121、工件W依次面对描绘处理中的喷头单元13，描绘前冲洗之后，对工件进行描绘，同时由于不参与描绘处理的定期冲洗单元112和喷出故障检测单元17不面对描绘处理中的喷头单元13，因此可高效且适当地进行描绘处理。
向工件W喷出功能液结束后，描绘处理(上述第三描绘动作中的工件W的第二次移回)结束后，持续驱动X轴平台11，使工件W移动到工件更换位置为止。此时，控制部197在给定的时刻，驱动喷头单元13的全部功能液滴喷头82喷射，从全部功能液滴喷头82中进行检测喷出。由此，在工件W的移动过程中，在面对喷头单元13(全部功能液滴喷头82)的喷出故障检测单元17的描绘片171上描绘检测图案。由于本实施方式中，利用描绘处理结束后直至工件更换位置的工件W的移动动作，在描绘片171上描绘检测图案，因此为了检测喷出，无需移动喷头单元13，可高效地描绘检测图案。
一旦工件W(吸附台31)到达工件更换位置，控制部197停止驱动X轴平台11，同时驱动Y轴平台12，使喷头单元13回到初始位置。此后，驱动喷头单元13的全部功能液滴喷头82喷射，向位于喷头单元13之下的定期冲洗箱131进行定期冲洗，同时持续定期冲洗，采用图外的机械手回收处理完的工件W，并将未处理的工件W导入放置台21上。
一方面，一旦工件W到达工件更换位置，控制部197驱动移动马达，使2个检测摄像机181向X轴方向移动，用2个检测摄像机181拍摄描绘在描绘片171上的检测图案。此后，对拍摄结果进行图像识别，判断喷头单元13的各功能液滴喷头82是否产生了喷出故障。此处，如果判定全部的功能液滴喷头82正常地喷出功能液滴，则结束喷出故障检测。此后，工件W的更换结束后，停止定期冲洗，同时为了新的描绘处理而驱动X轴平台11，使放置台21向喷头单元13侧移动。
另一方面，如果判定存在有喷出故障的功能液滴喷头82，则进行功能液滴喷头82的维护处理。具体地说，使带有喷出故障的功能液滴喷头82的滑架单元81面对抽吸单元15(分割抽吸单元141)，对有喷出故障的功能液滴喷头82进行抽吸后，进而使滑架单元81面对擦拭单元16，进行擦拭处理。此时，本实施方式中，由于喷头单元13的初始位置靠近抽吸单元15(及擦拭单元16)地设置，因此判定有喷出故障时，可使处于初始位置的喷头单元13迅速地面对抽吸单元15，进行维护处理。
本实施方式的喷头单元13由7个滑架单元81构成，可使其独立地移动，因此，判定存在有喷出故障的功能液滴喷头82时，不必使全部7个滑架单元81都面对抽吸单元15或擦拭单元16。例如，当检测出图2中，图中从左侧第三个滑架单元81的功能液滴喷头82存在喷出故障时，可使从左侧的第一至第三个滑架单元81面对抽吸单元15即可。此后，仅对从左侧的第三个滑架单元81进行抽吸。此时，可对留在初始位置上的滑架单元81的功能液滴喷头82继续进行定期冲洗，同时在与各功能液滴喷头82分离的状态下，使抽吸单元15的各盖帽143面对正对着抽吸单元15的正常的滑架单元81，对各盖帽143进行冲洗动作。
此后，对存在有喷出故障的功能液滴喷头82的滑架单元81的一连串的维护处理结束后，被移动到抽吸单元15处的滑架单元81回到初始位置后，驱动X轴平台11，使喷出故障检测单元17的描绘片171面对喷头单元13，在描绘片171上再次描绘检测图案。此后重复与上述一连串动作大致相同的动作，使喷头单元13处于初始位置，进行定期冲洗的同时，确认功能液滴喷头82的喷出故障是否复原。
本实施方式的液滴喷出装置1中，与更换工件W同时地拍摄检测图案，并基于此判断喷出故障，因此可有效地利用工件W的更换时间，可削减整个生产节拍时间。此后，工件W的描绘处理结束后，在对新的未处理的工件W开始描绘处理之前，检测喷头单元13的全部功能液滴喷头82是否产生了喷出故障，因此可提高制造的有效利用率。
本实施方式的液滴喷出装置1中，吸附台31一旦处于工件更换位置，则定期冲洗箱131面对喷头单元13，在工件W的更换过程中可继续进行定期冲洗。从而，可有效地防止(也包含功能液滴喷头82的喷出故障检测过程)工件W的更换过程中，功能液滴喷头82的喷嘴98堵塞，同时可保持从各功能液滴喷头82喷出的功能液量稳定的状态。特别是，定期冲洗箱131设置在放置台21的移动轴上，因此(为了开始新的描绘处理)可在使工件W从工件更换位置移动之前持续进行定期冲洗，将功能液滴喷头82维持在适当的状态。
本实施方式中，与描绘前冲洗箱121同样，使定期冲洗箱131和被描绘单元161的描绘片171的水平行进部的长度对应于描绘处理中喷头单元13的功能液喷出范围，形成1个描绘线的长度+2个喷头的喷嘴列的长度。在从描绘处理的结束位置直到下一次描绘处理的开始位置，即初始位置为止，在使喷头单元13移动的移动中，也可以进行定期冲洗。这样可进一步缩短功能液滴喷头82的驱动停止时间，可有效地防止功能液滴喷头82的喷嘴堵塞。
一边使喷头单元13向副扫描方向移动，一边进行描绘处理时，即从喷头单元13的初始位置开始第奇数次的描绘处理，从第奇数次的描绘处理的结束位置开始第偶数次的描绘处理(第奇数次的描绘处理与第偶数次的描绘处理向相反方向进行)时，无论喷头单元处于第奇数次还是第偶数次的描绘开始位置，均可进行定期冲洗。
另外，可使定期冲洗箱131和被描绘单元161的描绘片171的水平行进部的长度对应于1个描绘线的长度地形成。此时，定期冲洗箱131设置在X轴气动滑板22上，以便接受工件更换过程中的定期冲洗，并面对位于初始位置的喷头单元13(靠近抽吸单元15侧)。另一方面，被描绘单元161设置在X轴气动滑板22上，描绘处理结束后，直到工件W处于工件更换位置期间，被描绘单元161面对喷头单元13，对应于第三描绘处理动作中的第二次工件W移回时的喷头单元13的位置。
本实施方式中，放置台21、定期冲洗单元112和喷出故障检测单元17搭载在同一X轴气动滑板22(滑板主体51)上，但也可以(分割滑板主体51)设置2个被X轴线性马达驱动，沿X轴方向可独立滑动的滑板，放置台21搭载在一个滑板上，定期冲洗单元112和喷出故障检测单元17的被描绘单元161搭载在另一个滑板上。此时，放置台21从工件更换位置开始移动时及放置台21移动到工件更换位置时，控制X轴线性马达，使两个滑板整体移动。另一方面，描绘处理时，控制X轴线性马达，仅使搭载放置台21的滑板往复移动，进行描绘前冲洗及对工件W进行描绘。
本实施方式中，使工件W向主扫描方向移动，使喷头单元13向副扫描方向移动，但也可以使喷头单元13向主扫描方向移动，而使工件W向副扫描方向移动。还可以固定工件W，使喷头单元13向主扫描方向和副扫描方向移动。无论何种情况，通过效仿上述配置，在主扫描移动轴上设置冲洗单元14和喷出故障检测单元17，均可有效地进行冲洗和喷出故障检测。
另外，本发明并不仅限于上述实施方式，只要不脱离本发明的宗旨，就落入本发明的适用范围内。
下面，作为采用本实施方式的液滴喷出装置1制造的电光学装置(平板显示器)，以滤色片、液晶显示装置、有机EL装置、等离子显示器(PDP装置)、电子发射装置(FED装置、SED装置)，进而以上述显示装置中形成的有源矩阵基板等为例，说明上述装置的构造及其制造方法。另外，所谓有源矩阵基板是指形成有薄膜晶体管及与薄膜晶体管电连接的电源线、数据线的基板。
首先说明装入液晶显示装置和有机EL装置等的滤色片的制造方法。图11是表示滤色片的制造工序的流程图，图12是依次表示制造工序的本实施方式的滤色片600(滤色片基体600A)的示意截面图。
首先如图12(a)所示，在黑底(black matrix)形成工序(S101)中，在基板(W)601上形成黑底602。黑底602由金属铬、金属铬与氧化铬的叠合体或树脂黑等形成。形成由金属薄膜制成的黑底602时，可采用溅射法及蒸镀法等。形成由树脂薄膜制成的黑底602时，可采用凹版印刷法、感光胶法、热转印法等。
接着，在堤坝形成工序(S102)中，以重叠的状态在黑底602上形成堤坝603。即，首先如图12(b)所示，覆盖基板601和黑底602地形成由阴性的透明感光树脂制成的阻挡层604。此后，在用形成矩阵图案形状的掩膜605覆盖其上面的状态下进行曝光处理。
进而如图12(c)所示，通过对阻挡层604的未曝光部分进行腐蚀处理而使阻挡层604图案化，形成堤坝603。另外，用树脂黑形成黑底时，可兼用作黑底与堤坝。
该堤坝603与其下的黑底602构成划分各像素区域607a的划分壁607b，在后面的着色层形成工序中，用功能液滴喷头82形成着色层(成膜部)608R、608G、608B时，限定功能液滴的击打区域。
经过上述黑底形成工序和堤坝形成工序，可得到上述滤色片基体600A。
本实施方式中，采用使涂膜表面呈疏液(疏水)性的树脂材料作为堤坝603的材料。由于基板(玻璃基板)601的表面具有亲液(亲水)性，因此在后述着色层形成工序中，液滴向被堤坝603(划分壁607b)围起来的各像素区域607a内击打的位置精度可提高。
接着如图12(d)所示，在着色层形成工序中，用功能液滴喷头82喷出功能液滴，使其击打在被划分壁607b围起来的各像素区域607a内。此时，采用功能液滴喷头82导入R、G、B三色功能液(滤色片材料)，喷出功能液滴。另外，作为R、G、B三色的排列图案可采用条纹排列、马赛克排列及三角形排列等。
此后，经过干燥处理(加热等处理)，使功能液固定，形成三色的着色层608R、608G、608B后进入保护膜形成工序(S104)，如图12(e)所示，覆盖基板601、划分壁607b、着色层608R、608G、608B的上面地形成保护膜609。
即，在基板601的形成有着色层608R、608G、608B的整个面上喷出保护膜用涂布液后，经过干燥处理，形成保护膜609。
形成保护膜609后，滤色片600进入下一个工序的构成透明电极的ITO(氧化铟锡)等的加膜工序。
图13是表示作为采用上述滤色片600的液晶显示装置的一例的无源矩阵型液晶装置的基本构成的主要部分截面图。该液晶装置620中装入液晶驱动用IC、背灯、支撑体等附加元件，得到作为最终产品的透过型液晶显示装置。另外，由于滤色片600与图12所示的相同，因此对应的部位用同一符号表示，并不再赘述。
该液晶装置620大致由滤色片600、由玻璃基板等制成的相对基板621、及由夹在其间的STN(超级扭转向列)液晶组合物制成的液晶层622构成，滤色片600设在图中上侧(观看者一侧)。
虽然图中未示出，但相对基板621和滤色片600的外面(与液晶层622侧相反侧的一面)分别设有偏光板，而且在位于相对基板621侧的偏光板的外侧设有背灯。
在滤色片600的保护膜609上(液晶层侧)，在图13中的左右方向上以一定间隔形成多个的长的长方形的第一电极623，覆盖与该第一电极623的滤色片600侧相反侧的面地形成第一定向膜624。
另一方面，在相对基板621中的与滤色片600相对的表面上，沿与滤色片600的第一电极623垂直的方向，以给定间隔形成多个长的长方形的第二电极626，覆盖该第二电极626的液晶层622侧的表面地形成第二定向膜627。上述第一电极623和第二电极626由ITO等透明导电材料形成。
设在液晶层622内的隔板628是用于使液晶层622的厚度(小室的间隙)保持一定的部件。而密封材料629是防止液晶层622内的液晶组合物向外部泄漏的部件。且第一电极623的一端作为引导配线623a延伸至密封材料629的外侧。
第一电极623与第二电极626交叉的部分即为像素，滤色片600的着色层608R、608G、608B位于构成该像素的部分上。
在通常的制造工序中，在滤色片600上进行第一电极623的图案化并涂布第一定向膜624，制成滤色片600侧的部分，同时，在另外的相对基板621上进行第二电极626的图案化并涂布第二定向膜627，制成相对基板621侧的部分。此后，将隔板628和密封材料629装入相对基板621侧的部分中，在此状态下，使滤色片600侧的部分贴合。接着，从密封材料629的注入口注入构成液晶层622的液晶，并封闭注入口。此后，叠加两个偏光板和背灯。
本实施方式的液滴喷出装置1在涂布例如构成上述小室间隙的隔离材料(功能液)，同时将滤色片600侧的部分贴合在相对基板621侧的部分上之前，可将液晶(功能液)均匀地涂布在被密封材料629围起来的区域中。而且，上述密封材料629的印刷也可以通过功能液滴喷头82来完成。进而，第一、第二两个定向膜624、627的涂布也可以通过功能液滴喷头82来完成。
图14是表示采用本实施方式中制造的滤色片600的液晶装置的第二例子的基本构成的主要部分截面图。
该液晶装置630与上述液晶装置620的不同之处在于滤色片600设置在图中的下侧(与观看者侧相反的一侧)。
在滤色片600与由玻璃基板等构成的相对基板631之间夹着由STN液晶构成的液晶层632，从而大致构成该液晶装置630。另外，虽然图中未示出，但在相对基板631和滤色片600的外面分别设有偏光板等。
在滤色片600的保护膜609上(液晶层632侧)，沿图中指向纸面的方向，以给定间隔形成多个长的长方形的第一电极633，覆盖该第一电极633的液晶层632侧的表面地形成第一定向膜634。
在相对基板631的与滤色片600相对的表面上，以给定间隔形成沿与滤色片600侧的第一电极633垂直的方向延伸的多个长方形的第二电极636，覆盖该第二电极636的液晶层632侧的表面地形成第二定向膜637。
在液晶层632上设置用于使该液晶层632的厚度保持一定的隔板638和用于防止液晶层632内的液晶组合物向外部泄漏的密封材料639。
与上述液晶装置620同样地，第一电极633与第二电极636交叉的部分即为像素，滤色片600的着色层608R、608G、608B位于构成该像素的部位上。
图15是表示采用适用本发明的滤色片600构成液晶装置的第三例子，是表示透过型的TFT(薄膜晶体管)型液晶装置的基本构成的分解立体图。
该液晶装置650中，滤色片600设置在图中的上侧(观看者侧)。
该液晶装置650由滤色片600、与其相对设置的相对基板651、夹着它们中间的图中未示出的液晶层、设在滤色片600的上面侧(观看者侧)的偏光板655、设在相对基板651的下面侧的偏光板(图中未示出)构成。
在滤色片600的保护膜609的表面(相对基板651侧的表面)上形成驱动液晶用的电极656。该电极656由ITO等透明导电材料制成，构成覆盖形成有后述像素电极660的整个区域的全面电极。在覆盖该电极656的与像素电极660相反侧的表面的状态下，设置定向膜657。
在相对基板651的与滤色片600相对的表面上形成绝缘层658，扫描线661及信号线662相互垂直地形成在该绝缘层658上。此后，在被上述扫描线661和信号线662围起来的区域内形成像素电极660。另外，实际的液晶装置中，在像素电极660上设有定向膜，但图中未示出。
将带有源电极、漏电极、半导体及门电极的薄膜晶体管663装入像素电极660的切口部和被扫描线661及信号线662围起来的部分中。此后，向扫描线661和信号线662施加信号，使薄膜晶体管663接通或断开，可控制向像素电极660的通电。
上述各例中的液晶装置620、630、650为透过型的结构，但也可以设置反射层或半透过反射层，形成反射型的液晶装置或半透过反射型的液晶装置。
图16是有机EL装置的显示区域(以下简称为显示装置700)的主要部分截面图。
在基板(W)701上叠加电路元件部702、发光元件部703及阴极704的状态下，构成该显示装置700。
该显示装置700中，从发光元件部703射向基板701侧的光透过电路元件部702和基板701，向观看者侧射出，同时从发光元件部703射向基板701的相反侧的光被阴极704反射后，透过电路元件部702及基板701，向观看者侧射出。
由硅氧化膜构成的衬底保护膜706形成在电路元件部702与基板701之间，在该衬底保护膜706上(发光元件部703侧)形成由多结晶硅构成的岛状的半导体膜707。在该半导体膜707左右的区域中，通过高浓度阳离子射入分别形成电源区域707a及漏极区域707b。没有阳离子射入的中央部构成信道区域707c。
覆盖衬底保护膜706及半导体膜707的透明门绝缘膜708形成在电路元件部702中，由例如Al、Mo、Ta、Ti、W等构成的门电极709形成在该门绝缘膜708上的半导体膜707的对应于信道区域707c的位置上。透明的第一层间绝缘膜711a和第二层间绝缘膜711b形成在该门电极709及门绝缘膜708上。贯穿第一、第二层间绝缘膜711a、711b，形成分别与半导体膜707的电源区域707a、漏极区域707b连通的接触孔712a、712b。
使由ITO等构成的透明的像素电极713图案化形成给定形状，并形成在第二层间绝缘膜711b上，该像素电极713通过接触孔712a与电源区域707a连接。
电源线714设在第一层间绝缘膜711a上，该电源线714通过接触孔712b与漏极区域707b相连。
由此，与各像素电极713连接的驱动用薄膜晶体管715分别形成在电路元件部702上。
上述发光元件部703由分别叠加在多个像素电极713上的功能层717、设在各像素电极713与功能层717之间，划分各功能层717的堤坝部718构成。
上述像素电极713、功能层717及设在功能层717上的阴极704构成发光元件。另外，使像素电极713图案化，在平面图中大致呈矩形，在各像素电极713之间形成堤坝部718。
堤坝部718由利用例如SiO、SiO2、TiO2等无机材料形成的无机物堤坝层718a(第一堤坝层)、叠加在该无机物堤坝层718a上，由丙烯树脂、聚酰亚胺树脂等耐热性、耐溶媒性优良的阻挡层形成的截面为梯形的有机物堤坝层718b(第二堤坝层)构成。该堤坝部718的一部分跨在像素电极713的周边部上地形成。
相对像素电极713，朝向上方逐渐张开的开口部719形成在各堤坝部718之间。
上述功能层717由在开口部719内，以叠加状态形成在像素电极713上的空穴注入/传输层717a、形成在该空穴注入/传输层717a上的发光层717b构成。另外，也可以与该发光层717b相邻地再形成具有其它功能的另外的功能层。例如，也可以形成电子传输层。
空穴注入/传输层717a具有从像素电极713侧传输空穴，注入发光层717b的功能。通过喷出包含空穴注入/传输层形成材料的第一组合物(功能液)来形成该空穴注入/传输层717a。空穴注入/传输层形成材料可采用公知材料。
发光层717b发出红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)之中一种颜色的光，通过喷出包含发光层形成材料(发光材料)的第二组合物(功能液)来形成发光层717b。第二组合物的溶媒(非极性溶媒)可采用与空穴注入/传输层717a不相溶的公知材料，将上述非极性溶媒用作发光层717b的第二组合物，可不使空穴注入/传输层717a再溶解地形成发光层717b。
从空穴注入/传输层717a注入的空穴和从阴极704注入的电子在发光层中再结合并发光，从而构成发光层717b。
在覆盖发光元件部703的整个表面的状态下形成阴极704，与像素电极713形成一对，起到电流流向功能层717的作用。另外，该阴极704的上部设有图中未示出的封闭部件。
下面参照图17～图25，说明上述显示装置700的制造工序。
如图17所示，经过堤坝部形成工序(S111)、表面处理工序(S112)、空穴注入/传输层形成工序(S113)、发光层形成工序(S114)及相对电极形成工序(S115)，制成该显示装置700。另外，制造工序并不仅限于举例示出的形式，可根据情况，除去或追加其它工序。
首先如图18所示，在堤坝部形成工序(S111)中，在第二层间绝缘膜711b上形成无机物堤坝层718a。在形成位置上形成无机物膜后，通过光刻技术等使该无机物膜图案化，形成该无机物堤坝层718a。此时，无机物堤坝层718a的一部分与像素电极713的周边部重叠。
如图19所示，无机物堤坝层718a形成后，在无机物堤坝层718a上形成有机物堤坝层718b。该有机物堤坝层718b也与无机物堤坝层718a同样，可通过光刻技术等形成图案化。
由此形成堤坝部718。随之在各堤坝部718之间形成相对像素电极713，向上方开口的开口部719。该开口部719限定像素区域。
在表面处理工序(S112)中进行亲液化处理及疏液化处理。实施亲液化处理的区域是无机物堤坝层718a的第一叠加部718aa及像素电极713的电极面173a，对上述区域进行以例如氧气为处理气体的等离子处理，表面处理后表现为亲液性。该等离子处理兼用于像素电极713，即ITO的清洗。
而对有机物堤坝层718b的壁面718s及有机物堤坝层718b的上表面718t进行疏液化处理，以例如四氟化甲烷为处理气体进行等离子处理，表面被氟化处理(处理成疏液性)。
通过该表面处理工序，用功能液滴喷头82形成功能层717时，可使功能液滴更确实地击打在像素区域，而且可防止击打在像素区域中的功能液滴从开口部719溢出。
经过上述工序，得到显示装置基体700A。该显示装置基体700A放置在图1所示的液滴喷出装置1的放置台21上，进行下述空穴注入/传输层形成工序(S113)及发光层形成工序(S114)。
如图20所示，在空穴注入/传输层形成工序(S113)中，从功能液滴喷头82向像素区域，即各开口部719内喷出包含空穴注入/传输层形成材料的第一组合物。此后如图21所示，进行干燥处理及热处理，使包含在第一组合物中的极性溶媒蒸发，在像素电极(电极面713a)713上形成空穴注入/传输层717a。
下面说明发光层形成工序(S114)。该发光层形成工序中，如上所述，为了防止空穴注入/传输层717a的再溶解，采用相对空穴注入/传输层717a不溶的非极性溶媒作为形成发光层时采用的第二组合物的溶媒。
但是另一方面，由于空穴注入/传输层717a相对非极性溶媒的亲和性差，因此即使包含非极性溶媒的第二组合物喷到空穴注入/传输层717a上，空穴注入/传输层717a也不会与发光层717b紧密结合，恐怕发光层717b无法均匀地涂布。
因此，为了提高空穴注入/传输层717a的表面相对于非极性溶媒和发光层形成材料的亲和性，最好在形成发光层之前进行表面处理(表面改性处理)。该表面处理将与形成发光层时采用的第二组合物的非极性溶媒相同的溶媒或与之类似的溶媒，即表面改性材料涂布在空穴注入/传输层717a上，并使其干燥。
经过上述处理，空穴注入/传输层717a的表面容易与非极性溶媒溶合，在此后的工序中，可将包含发光层形成材料的第二组合物均匀地涂布在空穴注入/传输层717a上。
接着如图22所示，将包含对应于各色中的一种(在图22的例子中是蓝色(B))的发光层形成材料的第二组合物作为功能液滴，一定量地注入像素区域(开口部719)内。注入像素区域内的第二组合物在空穴注入/传输层717a上充满开口部719内。即使万一第二组合物击打在像素区域以外的堤坝部718的上表面718t上，由于该上表面718t实施了上述疏液处理，因此第二组合物也会容易地进入开口部719内。
此后，进行干燥工序等处理，对喷出后的第二组合物进行干燥处理，使包含在第二组合物中的非极性溶媒蒸发，如图23所示，在空穴注入/传输层717a上形成发光层717b。该图示出了形成对应于蓝色(B)的发光层717b。
如图24所示，依次执行与对应于上述蓝色(B)的发光层717b时相同的工序，同样采用功能液滴喷头82形成对应于其它颜色(红色(R)和绿色(G))的发光层717b。另外，发光层717b的形成顺序并不仅限于举例示出的顺序，可以各种顺序形成。例如，可以按照发光层形成材料确定形成顺序。而且，R、G、B三色的排列图案可以是条纹排列、马赛克排列及三角形排列等。
如上所述，在像素电极713上形成功能层717，即空穴注入/传输层717a和发光层717b。此后进入相对电极形成工序(S115)。
如图25所示，相对电极形成工序(S115)中，通过例如蒸镀法、溅射法、CVD法等，在发光层717b及有机物堤坝层718b的整个表面上形成阴极704(相对电极)。在本实施方式中，叠加例如钙层和铝层来构成该阴极704。
可在该阴极704的上部适当地设置作为电极的Al膜、Ag膜及用于防止其氧化的SiO2、SiN等的保护层。
形成阴极704后，实施用封闭部件封闭该阴极704的上部的封闭处理和配线处理等其它处理，从而得到显示装置700。
图26是等离子型显示装置(PDP装置：以下简称为显示装置800)的主要部分的分解立体图。该图用切去一部分的状态表示显示装置800。
该显示装置800由相对设置的第一基板801、第二基板802、及形成在它们之间的放电显示部803构成。放电显示部803由多个放电室805构成。上述多个放电室805之中，红色放电室805R、绿色放电室805G、蓝色放电室805B这3个放电室805构成1组，构成1个像素。
地址电极806以给定间隔呈条纹状地形成在第一基板801的上面，覆盖该地址电极806和第一基板801的上面地形成介电体层807。隔壁808位于各地址电极806之间且沿着各地址电极806地竖立在介电体层807上。该隔壁808包含如图所示地向地址电极806的横向两侧延伸的部分和向与地址电极806垂直的方向延伸的图中未示出的部分。
被该隔壁808划分的区域构成放电室805。
荧光体809设置在放电室805内。荧光体809发出红(R)、绿(G)、蓝(B)之中一种颜色的荧光，将红色荧光体809R设在红色放电室805R的底部，将绿色荧光体809G设在绿色放电室805G的底部，将蓝色荧光体809B设在蓝色放电室805B的底部。
多个显示电极811沿与上述地址电极806垂直的方向，以给定间隔条纹状地形成在第二基板802的图中下侧的表面上。此后，覆盖它们地形成由介电体层812及MgO等构成的保护膜813。
第一基板801和第二基板802在地址电极806与显示电极811相互垂直的状态下相对贴合。另外，上述地址电极806与显示电极811与图中未示出的交流电源连接。
通过向各电极806、811通电，在放电显示部803中，荧光体809激励发光，可显示颜色。
本实施方式中，可采用图1所示的液滴喷出装置1形成上述地址电极806、显示电极811及荧光体809。下面以第一基板801中的地址电极806的形成工序为例说明。
此时，将第一基板801放置在液滴喷出装置1的放置台21上，在此状态下进行下述工序。
首先，功能液滴喷头82使包含导电膜配线形成材料的液体材料(功能液)击打在地址电极形成区域中，作为功能液滴。该液体材料作为导电膜配线形成材料是将金属等导电性微粒分散在分散介质中。作为该导电性微粒可采用含有金、银、铜、钯或镍等的金属微粒及导电性聚合物等。
向构成补充对象的全部地址电极形成区域补充液体材料结束后，对喷出后的液体材料进行干燥处理，使包含在液体材料中的分散介质蒸发，从而形成地址电极806。
上面举例示出了地址电极806的形成，上述显示电极811及荧光体809也可以通过上述各工序形成。
形成显示电极811时，与地址电极806的情况同样，使包含导电膜配线形成材料的液体材料(功能液)击打在显示电极形成区域中，作为功能液滴。
形成荧光体809时，从功能液滴喷头82中喷出包含对应于各色(R、G、B)的荧光材料的液体材料(功能液)作为液滴，并使其击打在对应颜色的放电室805内。
图27是电子发射装置(又称为FED装置或SED装置：以下简称为显示装置900)的主要部分截面图。该图中以其一部分为剖面地示出了显示装置900。
该显示装置900包含相对设置的第一基板901、第二基板902、及形成在它们之间的电场发射显示部903。电场发射显示部903由矩阵状排列的多个电子发射部905构成。
构成负电极906的第一元件电极906a和第二元件电极906b相互垂直地形成在第一基板901的上面。而且，形成间隙908的导电性膜907形成在被第一元件电极906a和第二元件电极906b分隔的部分中。即，由第一元件电极906a、第二元件电极906b及导电性膜907构成多个电子发射部905。导电性膜907由例如氧化钯(PdO)等构成，而间隙908是在导电性膜907成膜后，通过冲压等形成。
与负电极906相对的正电极909形成在第二基板902的下面。在正电极909的下面形成格子状的堤坝部911，荧光体913与电子发射部905相对应地设置在被该堤坝部911围起来的向下的各开口部912中。荧光体913发出红(R)、绿(G)、蓝(B)中一种颜色的荧光，红色荧光体913R、绿色荧光体913G、蓝色荧光体913B按照上述给定图案设置在各开口部912中。
上述构成的第一基板901和第二基板902隔开微小间隙地贴合。该显示装置900中，通过导电性膜(间隙908)907，从阴极，即第一元件电极906a或第二元件电极906b飞出的电子触及形成在阳极，即正电极909上的荧光体913，并激励发光，可显示颜色。
此时与其它实施方式同样，可采用液滴喷出装置1形成第一元件电极906a、第二元件电极906b、导电性膜907及正电极909，同时可用液滴喷出装置1形成各色的荧光体913R、913G、913B。
第一元件电极906a、第二元件电极906b及导电性膜907具有图28(a)所示的平面形状，使它们成膜时，如图28(b)所示，预先留出形成第一元件电极906a、第二元件电极906b和导电性膜907的部分，形成堤坝部BB(光刻法)。接着，第一元件电极906a和第二元件电极906b形成(用液滴喷出装置1通过喷墨方法)在由堤坝部BB构成的槽部分中，使其溶剂干燥成膜后，形成导电性膜907(用液滴喷出装置1通过喷墨方法)。此后，导电性膜907成膜后，除去堤坝部BB(剥离处理)，进入上述冲压处理。另外，与上述有机EL装置的情况一样，最好对第一基板901和第二基板902进行亲液化处理并对堤坝部911、BB进行疏液化处理。
而且，作为其它电光学装置还有形成金属配线、形成透镜、形成阻挡层及形成光扩散体等的装置。在制造各种电光学装置(设备)时采用上述液滴喷出装置1，可有效地制造各种电光学装置。

Claims (12)

1.一种液滴喷出装置，一边使搭载着形成有多个喷嘴的功能液滴喷头的喷头单元相对于放置在放置台上的工件相对移动，一边驱动前述功能液滴喷头喷射，从前述喷嘴向前述工件喷出功能液滴，在面对前述喷头单元的前述工件上进行描绘，其特征在于，
该液滴喷出装置具有用于检测前述功能液滴喷头的喷出故障的喷出故障检测单元，
前述喷出故障检测单元具有：
通过来自前述功能液滴喷头的所有喷嘴的检测喷出来描绘给定的检测图案的被描绘单元；以及
拍摄描绘在前述被描绘单元上的前述检测图案，并进行图像识别，判断前述功能液滴喷头是否存在喷出故障的喷出故障判断机构，
前述液滴喷出装置还具有扫描移动台，该扫描移动台带有支撑前述放置台、前述被描绘单元和定期冲洗单元的滑板，并使它们移动，
前述被描绘单元在前述放置台的移动轴上设置于前述放置台和前述定期冲洗单元之间。
2.如权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，前述滑板带有：
可自由移动地支撑前述放置台的第一滑板；和
与前述第一滑板分别控制，可自由移动地支撑前述被描绘单元的第二滑板。
3.如权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，还带有控制前述功能液滴喷头和前述扫描移动台的控制机构，并且在前述移动轴上设定对前述放置台更换前述工件的工件更换位置，设置前述被描绘单元，以便在前述放置台向前述工件更换位置移动途中，前述被描绘单元面对前述喷头单元。
4.如权利要求3所述的液滴喷出装置，其特征在于，设置前述喷出故障判断机构，以便前述放置台到达前述更换位置时，前述喷出故障判断机构面对前述被描绘单元，前述控制机构使前述喷出故障判断机构对前述喷出故障的判断与前述工件的更换作业同时进行。
5.如权利要求3所述的液滴喷出装置，其特征在于，还带有定期冲洗单元，该定期冲洗单元带有当前述放置台到达前述更换位置时面对前述喷头单元的定期冲洗箱，接受来自前述功能液滴喷头的喷嘴的喷出，前述控制机构驱动前述功能液滴喷头喷射，且前述喷射与前述工件的更换作业同时进行。
6.如权利要求3～5之一所述的液滴喷出装置，其特征在于，还带有：
用于前述功能液滴喷头的保养的保养单元；以及
使前述喷头单元移动，使前述功能液滴喷头面对前述保养单元的喷头移动机构，
前述控制机构控制前述保养单元和前述喷头移动机构，当通过前述喷出故障判断机构判断到前述喷出故障时，使前述喷头单元面对前述保养单元，用前述保养单元对前述功能液滴喷头进行保养。
7.如权利要求6所述的液滴喷出装置，其特征在于，前述保养单元是抽吸单元和擦拭单元中的至少一个，抽吸单元对前述功能液滴喷头进行抽吸，从前述喷嘴中强制性地排出前述功能液；擦拭单元擦拭前述功能液滴喷头的喷嘴面。
8.如权利要求1～5之一所述的液滴喷出装置，其特征在于，前述喷头单元中，前述多个喷嘴沿Y轴方向连续排列，以便描绘1个描绘线，与前述1个描绘线的长度相对应地设定前述被描绘单元的前述Y轴方向上的长度。
9.如权利要求8所述的液滴喷出装置，其特征在于，前述喷出故障判断机构带有从上侧面对前述被描绘单元的摄像机、可沿前述Y轴方向自由移动地支撑前述摄像机的摄像机移动机构。
10.如权利要求9所述的液滴喷出装置，其特征在于，在前述摄像机移动机构上，沿前述Y轴方向并列地设有2个前述摄像机。
11.如权利要求1～5之一所述的液滴喷出装置，其特征在于，前述喷出故障检测单元还带有使前述被描绘单元向X轴方向移动的单元移动机构。
12.一种电光学装置的制造方法，其特征在于，采用权利要求1～11之一所述的液滴喷出装置，由功能液滴在前述工件上形成成膜部。
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