JP2008104916A - 液滴吐出装置、重量測定方法、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液滴吐出装置1は、Y軸方向に配列した複数のキャリッジユニット21と、キャリッジユニット21ごとに設けらたヘッドユニット61と、各ヘッドユニット61に搭載された複数の液滴吐出ヘッドから吐出される液状体を受けて、その重量を液滴吐出ヘッドごとに測定する重量測定機構91と、ワークとしての基板Wと重量測定機構91とをそれぞれ独立してX軸方向に移動させるX軸テーブル22と、複数のキャリッジユニット21をそれぞれ独立してY軸方向に移動させるY軸テーブル23と、を備えた。X軸テーブル22によって、各キャリッジユニット21が描画領域31における配列状態を維持して重量測定領域33に配置される。
【選択図】図1
Description
まず、本実施形態の液滴吐出装置について図1から図6に基づいて説明する。図1は液滴吐出装置の構造を示す概略平面図、図2は液滴吐出装置の構造を示す概略側面図である。
図8は、カラーフィルタの製造方法を示す概略図である。本実施形態のカラーフィルタの製造方法は、上記液滴吐出装置1を用い後述する液状体の吐出方法を適用した。なお、図8において、破線で示した各液滴吐出ヘッド62のY軸方向の幅は、有効ノズルから液状体を吐出可能な領域の幅を示すものである。
次に、本実施形態の重量測定方法を適用した液状体の吐出方法について図9に基づいて説明する。図9は、液状体の吐出方法を示すフローチャートである。
(1)上記実施形態の液滴吐出装置1は、X軸テーブル22を駆動制御することによって、描画領域31に配列した状態のままの複数のキャリッジユニット21と重量測定機構91とを対向配置することができる。したがって、実際に基板Wに対して液状体を吐出する際の複数のキャリッジユニット21の配列を変えることなく、搭載された複数の液滴吐出ヘッド62から吐出される液状体の重量を測定することができる。すなわち、複数のキャリッジユニット21を分割して重量測定を行う場合に比べて、実際に液状体を吐出描画するキャリッジユニット21の配列状態で液状体の重量を適正に測定することが可能な重量測定機構91を備えた液滴吐出装置1を提供することができる。
Claims (12)
- ワークと吐出ヘッドとを対向させて相対移動させる主走査に伴って、前記ワーク上に前記吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出描画する液滴吐出装置であって、
複数の前記吐出ヘッドが搭載された複数のキャリッジと、
前記吐出ヘッドごとに吐出された液状体の重量を測定する重量測定機構と、
前記重量測定機構と前記ワークとをそれぞれ独立して前記主走査の方向に移動させる主走査移動機構とを備え、
前記重量測定機構が前記複数のキャリッジに搭載された前記複数の前記吐出ヘッドによって吐出描画可能な描画領域に沿って前記主走査の方向と直交する方向に配設されたことを特徴とする液滴吐出装置。 - 前記重量測定機構には、前記複数のキャリッジに対応して少なくとも同数の重量測定装置を備えたことを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出装置。
- 前記重量測定機構には、前記複数のキャリッジごとに設けられ少なくとも1つの前記吐出ヘッドから吐出される前記液滴を受けることが可能な第1液滴受け部と、
前記複数のキャリッジに搭載された前記複数の吐出ヘッドの配置に対応して、前記第1液滴受け部を囲うように設けられた第2液滴受け部と、を備えたことを特徴とする請求項1または2に記載の液滴吐出装置。 - 複数のキャリッジに搭載された複数の吐出ヘッドから吐出される液状体の重量を測定する重量測定方法であって、
前記複数のキャリッジを描画領域における配列状態を維持して重量測定領域に配置する配置工程と、
前記複数のキャリッジに搭載された各吐出ヘッドから前記液状体を液滴として吐出し、前記各吐出ヘッドごとに吐出された前記液状体の重量を計測する計測工程と、
を備えたことを特徴とする重量測定方法。 - 前記計測工程では、計測可能となる吐出数を設定して前記液滴を吐出することを特徴とする請求項4に記載の重量測定方法。
- 前記計測工程で得られた前記各吐出ヘッドごとに吐出された前記液状体の重量と、前記吐出ヘッドから吐出しようとする所望の液状体の重量とを比較して、その差が所定の範囲内に入っているか否かを判定する判定工程をさらに備え、
前記判定工程で否となった場合には、前記各吐出ヘッドのメンテナンスをするメンテナンス工程を行うことを特徴とする請求項5に記載の重量測定方法。 - 前記計測工程では、前記複数の吐出ヘッドのうち測定対象以外の前記吐出ヘッドからも前記液滴を吐出することを特徴とする請求項4ないし6のいずれか一項に記載の重量測定方法。
- 複数のキャリッジに搭載された複数の吐出ヘッドから液状体をワークに対して吐出描画する液状体の吐出方法であって、
前記複数のキャリッジを描画領域における配列状態を維持して重量測定領域に配置する配置工程と、
前記複数のキャリッジに搭載された各吐出ヘッドから前記液状体を液滴として吐出し、前記各吐出ヘッドごとに吐出された前記液状体の重量を計測する計測工程と、
前記計測工程で得られた前記液状体の重量情報を基に、前記各吐出ヘッドから吐出される前記液滴の吐出量を調整する調整工程と、
前記ワークの所望の領域に前記各吐出ヘッドから前記液滴を吐出描画する吐出工程と、を備えたことを特徴とする液状体の吐出方法。 - 前記計測工程では、計測可能となる吐出数を設定して前記液滴を吐出することを特徴とする請求項8に記載の液状体の吐出方法。
- 前記計測工程で得られた前記各吐出ヘッドごとに吐出された前記液状体の重量と、前記吐出ヘッドから吐出しようとする所望の液状体の重量とを比較して、その差が所定の範囲内に有るか否かを判定する判定工程をさらに備え、
前記判定工程で否となった場合には、前記各吐出ヘッドのメンテナンスをするメンテナンス工程を行うことを特徴とする請求項9に記載の液状体の吐出方法。 - 前記計測工程では、前記複数の吐出ヘッドのうち測定対象以外の前記吐出ヘッドからも前記液滴を吐出することを特徴とする請求項8ないし10のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
- 基板上に区画形成された複数の着色領域に少なくとも3色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、
請求項8ないし11のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用い、少なくとも3色の着色層形成材料を含む液状体を前記複数の着色領域に吐出描画する描画工程と、
吐出描画された前記液状体を固化して、前記少なくとも3色の着色層を形成する固化工程とを備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018062463A1 (ja) * | 2016-09-30 | 2018-04-05 | 武蔵エンジニアリング株式会社 | 作業装置および作業方法 |
JP2020023142A (ja) * | 2018-07-31 | 2020-02-13 | ローランドディー.ジー.株式会社 | インクジェットヘッドのクリーニングユニットおよびクリーニングシステム |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101243338B1 (ko) * | 2010-10-29 | 2013-03-13 | 한국항공대학교산학협력단 | 분사 장치의 액적 분산도 평가를 위한 분무 질량 플럭스 측정 장치 및 그 측정 방법 |
EP2474404B1 (en) * | 2011-01-06 | 2014-12-03 | LUXeXcel Holding B.V. | Print head, upgrade kit for a conventional inkjet printer, printer and method for printing optical structures |
TWI686312B (zh) * | 2014-09-02 | 2020-03-01 | 美商凱特伊夫公司 | 製造電子產品的薄膜疊層的方法 |
CN112924152B (zh) * | 2021-02-10 | 2022-07-19 | 温州职业技术学院 | 微滴管测试装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5574485A (en) | 1994-10-13 | 1996-11-12 | Xerox Corporation | Ultrasonic liquid wiper for ink jet printhead maintenance |
JPH11248927A (ja) | 1998-03-03 | 1999-09-17 | Seiko Epson Corp | フィルター製造装置とフィルター製造装置におけるインク重量測定方法 |
JP4378950B2 (ja) * | 2002-12-24 | 2009-12-09 | セイコーエプソン株式会社 | 液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法 |
JP2004209429A (ja) | 2003-01-07 | 2004-07-29 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出システム、液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法、液滴吐出ヘッドの吐出量適正化方法、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器 |
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JP2006076067A (ja) * | 2004-09-08 | 2006-03-23 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器 |
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018062463A1 (ja) * | 2016-09-30 | 2018-04-05 | 武蔵エンジニアリング株式会社 | 作業装置および作業方法 |
JPWO2018062463A1 (ja) * | 2016-09-30 | 2019-07-18 | 武蔵エンジニアリング株式会社 | 作業装置および作業方法 |
JP6995374B2 (ja) | 2016-09-30 | 2022-01-14 | 武蔵エンジニアリング株式会社 | 作業装置および作業方法 |
JP2020023142A (ja) * | 2018-07-31 | 2020-02-13 | ローランドディー.ジー.株式会社 | インクジェットヘッドのクリーニングユニットおよびクリーニングシステム |
US11511541B2 (en) | 2018-07-31 | 2022-11-29 | Roland Dg Corporation | Inkjet head cleaning unit and cleaning system |
JP7387262B2 (ja) | 2018-07-31 | 2023-11-28 | ローランドディー.ジー.株式会社 | インクジェットヘッドのクリーニングユニットおよびクリーニングシステム |
Also Published As
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