JP4962413B2 - 液状体吐出装置、及び液状体吐出方法 - Google Patents

Description

本発明は、液状体を吐出する吐出ノズルを有する吐出ヘッドを備える液状体吐出装置、及び当該液状体吐出装置における液状体吐出方法に関する。

従来から、カラー液晶装置のカラーフィルタ膜などの機能膜を形成する技術として、液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置を用いて、機能膜の材料を含む液状体の液滴を吐出して、被加工物としての基板上の任意の位置に着弾させることで、当該位置に液状体を配置し、配置した液状体を乾燥させて機能膜を形成する技術が知られている。このような膜形成に用いられる液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドは、その吐出ノズルから微小な液滴を選択的に吐出して位置精度良く着弾させることができるため、精密な平面形状及び膜厚を有する膜を形成することができる。

より高機能の機能膜を形成するために、より精密な平面形状及び膜厚の機能膜を実現することが必要になっている。一定の膜厚の機能膜を形成するためには、吐出ノズルからの機能液の吐出量を一定に維持することが必要である。吐出量は、液滴吐出ヘッドが吐出する液滴の大きさ（体積）や、連続吐出する吐出ヘッドが単位時間に吐出する量である。吐出量相当の機能液の重量を吐出重量と表記する。被加工物に向けて液状体を吐出する吐出を描画吐出と表記し、描画吐出を含む略連続した吐出工程を描画吐出工程と表記する。
液状体は、温度によって粘度が変動することが知られている。液状体吐出装置においては、液状体の粘度が変動することによって、液状体の流動抵抗が変動するため、吐出量が変動する可能性がある。すなわち、液状体吐出装置の温度が変動することに起因して、吐出装置からの吐出量が変動するという課題があった。
特許文献１には、液滴吐出装置をチャンバ内に設置して雰囲気の温度を略一定に維持すると共に、吐出重量を測定して、測定結果に拠って吐出量を調整することによって、均一な吐出量を実現する液滴吐出システムが開示されている。

特開２００４−２０９４２９号公報

しかしながら、液状体吐出装置の吐出装置を駆動するための様々な駆動源は、多くの場合熱源となって熱を放出して、吐出装置の温度を変動させる可能性が高い。また、被加工物や吐出装置に供給される液状体のように、熱を発生させない部材は、熱を吸収する可能性があるため、吐出装置の温度を変動させる可能性がある。特許文献１に開示された液滴吐出システムのように、雰囲気の温度を略一定に維持しても、被加工物や液状体を供給し、吐出装置を駆動することによって描画吐出工程を実施する際には、吐出装置や液状体の温度が描画吐出工程を実施する間に変動する可能性があった。描画吐出工程を実施する間に温度が変動することに起因して、描画吐出工程を実施する間に吐出量が変動する可能性がある。同様に、描画吐出工程を実施する際と吐出重量を測定する際とで、吐出装置や液状体の温度が変動する可能性があり、このことに起因して、吐出重量を測定することで得られる吐出量が、必ずしも、描画吐出工程における正確な吐出量ではない可能性があるという課題があった。

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。

本発明にかかる液状体吐出装置は、液状体を吐出する吐出手段と前記液状体が吐出される被吐出物との相対移動を行い、前記被吐出物に所定のパターンを形成する液状体吐出装置であって、前記吐出手段から吐出される前記液状体の吐出量を測定する吐出量測定手段と、前記吐出手段の温度を取得する温度取得手段と、前記吐出手段の温度を調整する温度調整手段と、前記吐出手段の吐出量を調整する吐出量調整手段と、を備え、前記温度取得手段は、前記被吐出物に前記所定のパターンを形成する際の前記吐出手段の温度を取得し、前記温度調整手段は、前記吐出量測定手段により吐出量を測定する際の前記吐出手段の温度を、前記温度取得手段が取得した前記吐出手段の温度に調整することを特徴とする。
本発明にかかる液状体吐出装置は、液状体を吐出する吐出手段と前記液状体が吐出される被吐出物との相対移動を行い、前記被吐出物に所定のパターンを形成する液状体吐出装置であって、前記吐出手段から吐出される前記液状体の吐出量を測定する吐出量測定手段と、前記液状体の温度を取得する温度取得手段と、前記液状体の温度を調整する温度調整手段と、前記吐出手段の吐出量を調整する吐出量調整手段と、を備え、前記温度取得手段は、前記被吐出物に前記所定のパターンを形成する際の前記液状体の温度を取得し、前記温度調整手段は、前記吐出量測定手段により吐出量を測定する際の前記液状体の温度を、前記温度取得手段が取得した前記液状体の温度に調整することを特徴とする。
本発明にかかる液状体吐出装置は、液状体を吐出する吐出手段と前記液状体が吐出される被吐出物との相対移動を行い、前記被吐出物に所定のパターンを形成する液状体吐出装置であって、前記吐出手段から吐出される前記液状体の吐出量を測定する吐出量測定手段と、前記吐出手段又は前記液状体の温度を取得する温度取得手段と、前記吐出手段又は前記液状体の温度を調整する温度調整手段と、前記吐出手段の吐出量を調整する吐出量調整手段と、を備え、前記温度取得手段は、２種類以上の異なる暖機駆動条件において前記吐出手段の暖機駆動を実施することによって、前記所定のパターン形成時の温度を推定し、
前記温度調整手段は、前記吐出手段を暖機駆動させることによって、前記吐出量測定手段により吐出量を測定する際の前記吐出手段の温度又は前記液状体の温度を、推定した温度に調整することを特徴とする。
本発明にかかる液状体吐出装置は、液状体を吐出する吐出手段と前記液状体が吐出される被吐出物との相対移動を行い、前記被吐出物に所定のパターンを形成する液状体吐出装置であって、前記吐出手段から吐出される前記液状体の吐出量を測定する吐出量測定手段と、前記吐出手段を暖機駆動させる暖機駆動条件を求める暖機条件設定手段と、前記吐出手段又は前記液状体の温度を調整する温度調整手段と、前記吐出手段の吐出量を調整する吐出量調整手段と、を備え、前記暖機条件設定手段は、２種類以上の異なる前記暖機駆動条件において前記暖機駆動を実施することによって、前記暖機駆動を実施することで前記吐出手段又は前記液状体の温度が前記所定のパターン形成時の温度となる暖機駆動条件を推定し、前記吐出量測定手段は、推定した暖機駆動条件において暖機駆動を行った後、前記吐出手段から吐出される前記液状体の吐出量を測定することを特徴とする。
本発明にかかる液状体吐出方法は、液状体を吐出する吐出手段と前記液状体が吐出される被吐出物との相対移動を行い、前記被吐出物に所定のパターンを形成する液状体吐出方法であって、前記被吐出物に前記所定のパターンを形成する際の前記吐出手段の温度を取得する温度取得工程と、前記温度取得工程において取得した前記前記吐出手段の温度に、前記吐出手段の温度を調整する温度調整工程と、前記温度調整工程において調整した前記吐出手段の温度において、前記吐出手段から吐出される前記液状体の吐出量を測定する吐出量測定工程と、前記吐出手段の吐出量を調整する吐出量調整工程と、を有することを特徴とする。
本発明にかかる液状体吐出方法は、液状体を吐出する吐出手段と前記液状体が吐出される被吐出物との相対移動を行い、前記被吐出物に所定のパターンを形成する液状体吐出方法であって、前記被吐出物に前記所定のパターンを形成する際の前記液状体の温度を取得する温度取得工程と、前記温度取得工程において取得した前記液状体の温度に、前記液状体の温度を調整する温度調整工程と、前記温度調整工程において調整した前記液状体の温度において、前記吐出手段から吐出される前記液状体の吐出量を測定する吐出量測定工程と、 前記吐出手段の吐出量を調整する吐出量調整工程と、を有する。
［適用例１］本適用例にかかる液状体吐出装置は、液状体を吐出する吐出手段と前記液状体が吐出される被吐出物とを相対移動させ、前記被吐出物に所定のパターンを形成する液状体吐出装置であって、前記吐出手段から吐出される前記液状体の吐出量を測定する吐出量測定手段と、前記吐出手段の前記所定のパターン形成時の温度を取得する温度取得手段と、前記吐出手段の温度を調整する温度調整手段と、前記吐出手段の吐出量を調整する吐出量調整手段と、を備え、前記温度調整手段は、前記吐出量測定手段により吐出量を測定する際の前記吐出手段の温度を前記所定のパターン形成時の温度に調整することを特徴とする。

この液状体吐出装置によれば、温度調整手段は、吐出量測定手段が吐出量を測定する際の吐出手段の温度を、温度取得手段が取得した所定のパターン形成時の温度に調整する。吐出手段からの液状体の単位時間あたりに吐出される量又は吐出される液滴の体積である吐出量は、吐出手段の温度によって影響を受ける。吐出量測定手段による吐出量の測定は、吐出手段の温度が所定のパターン形成時の温度となった状態で実施される。これにより、吐出量の測定を実施する際に、所定のパターン形成時における吐出量が忠実に再現される可能性が高くなり、温度調整手段による吐出手段の温度調整を実施しない場合に比べて、所定のパターン形成時における吐出量をより正確に測定することができる。正確に測定された吐出量に基づいて、吐出量調整手段によって吐出量を調整することで、所定のパターンを形成する際と吐出量を測定する際との、吐出手段の温度の差に起因する吐出量の差を抑制して、正確な吐出量での所定のパターンの形成を実現することができる。
なお、吐出手段の温度としては、吐出手段における液状体が吐出される孔の周囲の温度や、液状体に吐出圧力を加える加圧室の温度や、液状体の流路の温度や、加圧室や流路の外壁面の温度などを、適宜採用することができる。いずれの温度であっても、当該部分の吐出手段による所定のパターン形成時の温度を取得し、吐出量を測定する際における当該部分の温度を、温度取得手段が取得した所定のパターン形成時の温度に調整する。

［適用例２］本適用例にかかる液状体吐出装置は、液状体を吐出する吐出手段と前記液状体が吐出される被吐出物とを相対移動させ、前記被吐出物に所定のパターンを形成する液状体吐出装置であって、前記吐出手段から吐出される前記液状体の吐出量を測定する吐出量測定手段と、前記液状体の前記所定のパターン形成時の温度を取得する温度取得手段と、前記液状体の温度を調整する温度調整手段と、前記吐出手段の吐出量を調整する吐出量調整手段と、を備え、前記温度調整手段は、前記吐出量測定手段により吐出量を測定する際の前記液状体の温度を前記所定のパターン形成時の温度に調整することを特徴とする。

この液状体吐出装置によれば、温度調整手段は、吐出量測定手段が吐出量を測定する際の液状体の温度を、温度取得手段が取得した所定のパターン形成時の温度に調整する。吐出手段からの液状体の単位時間あたりに吐出される量又は吐出される液滴の体積である吐出量は、液状体の温度によって影響を受ける。吐出量測定手段による吐出量の測定は、液状体の温度が所定のパターン形成時の温度となった状態で実施される。これにより、吐出量の測定を実施する際に、所定のパターン形成時における吐出量が忠実に再現される可能性が高くなり、温度調整手段による液状体の温度調整を実施しない場合に比べて、所定のパターン形成時における吐出量をより正確に測定することができる。正確に測定された吐出量に基づいて、吐出量調整手段によって吐出量を調整することで、所定のパターンを形成する際と吐出量を測定する際との、液状体の温度の差に起因する吐出量の差を抑制して、正確な吐出量での所定のパターンの形成を実現することができる。
なお、液状体の温度としては、吐出手段における液状体が吐出される孔に在る液状体の温度や、液状体に吐出圧力を加える加圧室内の液状体の温度や、液状体の流路内の液状体の温度や、吐出手段に供給される直前の液状体の温度などを、適宜採用することができる。いずれの液状体の温度であっても、当該部分の吐出手段による所定のパターン形成時の温度を取得し、吐出手段が所定のパターン形成を開始する時点における当該液状体の温度を、温度取得手段が取得した所定のパターン形成時の温度に調整する。

［適用例３］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記吐出手段は、それぞれのノズル群が１以上の吐出ノズルを有する複数のノズル群を備え、前記吐出量測定手段は、それぞれの前記ノズル群ごとに、前記液状体の吐出量を測定し、前記温度取得手段は、それぞれの前記ノズル群ごとに、前記吐出手段又は前記液状体の前記所定のパターン形成時の温度を取得し、前記温度調整手段は、それぞれの前記ノズル群ごとに、前記吐出手段又は前記液状体の温度を調整し、前記吐出量調整手段は、それぞれの前記ノズル群における吐出量を調整することが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、ノズル群ごとに、所定のパターンを形成する際と吐出量を測定する際との、液状体の温度の差に起因する吐出量の差を抑制して、正確な吐出量での所定のパターンの形成を実現することができる。したがって、液状体吐出装置が備える全ての吐出ノズルについて、一括して吐出量の測定及び吐出量の調整をする場合に比べて、液状体吐出装置が備える吐出ノズルの温度が各吐出ノズル間で異なっている場合であっても、正確な吐出量の測定及び吐出量の調整を実施することができる。

［適用例４］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記ノズル群は、当該ノズル群に含まれるそれぞれの前記吐出ノズルに前記液状体を供給する経路が共通であることが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、液状体を供給する経路が共通である吐出ノズルが一括して吐出量の測定及び吐出量の調整を実施される。液状体を供給する経路が共通である吐出ノズルは、供給される液状体の状態が略同じである可能性が高いため、当該吐出ノズルの近傍及び当該吐出ノズルの近傍の液状体の温度も互いの差が小さい可能性が高い。互いの温度の差が小さい吐出ノズルからなるノズル群について、一括して吐出量の測定及び吐出量の調整を実施することで、吐出量の測定及び吐出量の調整の精度を損なうことなく、個別に実施する場合に比べて吐出量の測定及び吐出量の調整を効率良く実施することができる。

［適用例５］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記ノズル群は、１以上の前記吐出ノズルを有する吐出ヘッド１個が有する吐出ノズルで構成されていることが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、１個の吐出ヘッドが有する吐出ノズルが一括して吐出量の測定及び吐出量の調整を実施される。１個の吐出ヘッドは、移動や吐出の制御などを独立して実施する単位である場合が多い。このため、当該吐出ヘッドにおけるそれぞれの吐出ノズルの近傍及び当該吐出ノズルの近傍の液状体の温度も互いの差が小さい可能性が高い。互いの温度の差が小さい吐出ノズルからなるノズル群について、一括して吐出量の測定及び吐出量の調整を実施することで、吐出量の測定及び吐出量の調整の精度を損なうことなく、個別に実施する場合に比べて吐出量の測定及び吐出量の調整を効率良く実施することができる。

［適用例６］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記ノズル群は、当該ノズル群に含まれるそれぞれの前記吐出ノズルに供給される前記液状体が同じ種類の前記液状体であることが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、供給される液状体が同じ種類である吐出ノズルが一括して吐出量の測定及び吐出量の調整を実施される。供給される液状体が同じ種類である吐出ノズルは、供給される液状体の特性が元々同じものであり、供給される液状体の特性及び状態が共通である可能性が高いため、当該吐出ノズルの近傍及び当該吐出ノズルの近傍の液状体の温度も互いの差が小さい可能性が高い。互いの温度の差が小さい吐出ノズルからなるノズル群について、一括して吐出量の測定及び吐出量の調整を実施することで、吐出量の測定及び吐出量の調整の精度を損なうことなく、個別に実施する場合に比べて吐出量の測定及び吐出量の調整を効率良く実施することができる。

［適用例７］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記温度調整手段は、前記吐出手段を暖機駆動させることによって、前記吐出手段の温度又は前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、吐出手段を暖機駆動させることによって、温度調整装置を別に設けることなく、吐出手段又は液状体の温度を、所定のパターン形成時の温度にすることができる。なお、吐出手段を暖機駆動させている駆動状態は、吐出手段を、液状体を通常の状態で吐出するように駆動させる場合や、液状体を吐出しない程度に駆動させる場合を含む、駆動状態である。

［適用例８］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記温度取得手段は、前記暖機駆動の２種類以上の異なる暖機駆動条件において前記暖機駆動を実施することによって、前記所定のパターン形成時の温度を推定することが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、異なる暖機駆動条件において暖機駆動を実施する。異なる暖機駆動条件において暖機駆動を実施すると、暖機駆動を実施することによる温度変化の状態が暖機駆動条件ごとに互いに異なる。異なる温度変化状態を比較することによって、所定のパターン形成時の温度を推定することができる。

［適用例９］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記暖機駆動の暖機駆動条件を求める暖機条件設定手段をさらに備え、前記暖機条件設定手段は、２種類以上の異なる前記暖機駆動条件において前記暖機駆動を実施することによって、前記暖機駆動を実施することで前記吐出手段又は前記液状体の温度が前記所定のパターン形成時の温度となる前記暖機駆動条件を推定することが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、異なる暖機駆動条件において暖機駆動を実施する。異なる暖機駆動条件において暖機駆動を実施すると、暖機駆動を実施することによる温度変化の状態が暖機駆動条件ごとに互いに異なる。異なる温度変化状態を比較することによって、所定のパターン形成時の温度を推定することができるため、当該温度を実現できる駆動条件として、所定のパターン形成時の温度を実現できる駆動条件を推定することができる。

［適用例１０］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記温度調整手段は、前記吐出手段又は前記液状体の温度を測定する温度測定手段をさらに有し、前記温度測定手段の測定結果に応じて前記吐出手段を暖機駆動させることによって、前記吐出手段又は前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、温度測定手段の測定結果に応じて吐出手段を暖機駆動させることによって、吐出手段又は液状体の温度を調整するため、温度測定手段が実測した吐出手段又は液状体の実際の温度を、確実に所定のパターン形成時の温度に調整することができる。

［適用例１１］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記温度調整手段は、加熱手段又は冷却手段であって、前記吐出手段又は前記液状体を加熱又は冷却することによって、前記吐出手段又は前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、加熱手段又は冷却手段によって、吐出手段又は液状体を加熱又は冷却することにより、吐出手段又は液状体の温度を確実に変えて、確実に所定のパターン形成時の温度に調整することができる。

［適用例１２］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記温度取得手段は、前記所定のパターン形成を開始する時点における前記吐出手段又は前記液状体の温度を２種類以上の異なる温度に調整し、それぞれの温度の場合における前記所定のパターン形成を実施する際の温度変化によって、前記所定のパターン形成時の温度を推定することが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、吐出手段又は液状体の温度が異なる状態で所定のパターン形成を開始する。所定のパターン形成開始時の温度が異なることで、所定のパターン形成を実施する際の吐出手段又は液状体の温度の挙動が互いに異なる。異なる温度変化を比較することによって、所定のパターン形成時の温度を推定することができる。

［適用例１３］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記温度調整手段は、前記吐出手段又は前記液状体の温度を測定する温度測定手段をさらに有し、前記加熱手段又は前記冷却手段は、前記温度測定手段の測定結果に応じて前記吐出手段又は前記液状体を加熱又は冷却することによって、前記吐出手段又は前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することが好ましい。

この液状体吐出装置によれば、温度測定手段の測定結果に応じて、加熱手段又は冷却手段は、吐出手段又は液状体を加熱又は冷却する。このため、温度測定手段が実測した吐出手段又は液状体の実際の温度を、確実に所定のパターン形成時の温度に調整することができる。

［適用例１４］本適用例にかかる液状体吐出方法は、液状体を吐出する吐出手段と前記液状体が吐出される被吐出物とを相対移動させ、前記被吐出物に所定のパターンを形成する液状体吐出方法であって、前記吐出手段の前記所定のパターン形成時の温度を取得する温度取得工程と、前記吐出手段の温度を調整する温度調整工程と、前記吐出手段から吐出される前記液状体の吐出量を測定する吐出量測定工程と、前記吐出手段の吐出量を調整する吐出量調整工程と、を有し、前記温度調整工程では、前記吐出量測定工程を実施する際の前記吐出手段の温度を前記所定のパターン形成時の温度に調整することを特徴とする。

この液状体吐出方法によれば、温度調整工程において、吐出量測定工程を実施する際の吐出手段の温度を、温度取得工程において取得した所定のパターン形成時の温度に調整する。吐出手段からの液状体の単位時間あたりに吐出される量又は吐出される液滴の体積である吐出量は、吐出手段の温度によって影響を受ける。吐出量測定工程における吐出量の測定は、吐出手段の温度が所定のパターン形成時の温度となった状態で実施される。これにより、吐出量測定工程において吐出量の測定を実施する際に、所定のパターン形成時における吐出量が忠実に再現される可能性が高くなり、吐出手段の温度調整を実施しない場合に比べて、所定のパターン形成時における吐出量をより正確に測定することができる。正確に測定された吐出量に基づいて、吐出量調整工程において吐出量を調整することで、所定のパターンを形成する際と吐出量を測定する際との、吐出手段の温度の差に起因する吐出量の差を抑制して、正確な吐出量での所定のパターンの形成を実現することができる。
なお、吐出手段の温度としては、吐出手段における液状体が吐出される孔の周囲の温度や、液状体に吐出圧力を加える加圧室の温度や、液状体の流路の温度や、加圧室や流路の外壁面の温度などを、適宜採用することができる。いずれの温度であっても、当該部分の吐出手段による所定のパターン形成時の温度を取得し、吐出量を測定する際における当該部分の温度を、温度取得手段が取得した所定のパターン形成時の温度に調整する。

［適用例１５］本適用例にかかる液状体吐出方法は、液状体を吐出する吐出手段と前記液状体が吐出される被吐出物とを相対移動させ、前記被吐出物に所定のパターンを形成する液状体吐出方法であって、前記液状体の前記所定のパターン形成時の温度を取得する温度取得工程と、前記液状体の温度を調整する温度調整工程と、前記吐出手段から吐出される前記液状体の吐出量を測定する吐出量測定工程と、前記吐出手段の吐出量を調整する吐出量調整工程と、を有し、前記温度調整工程では、前記吐出量測定工程を実施する際の前記液状体の温度を前記所定のパターン形成時の温度に調整することを特徴とする。

この液状体吐出方法によれば、温度調整工程において、吐出量測定工程を実施する際の液状体の温度を、温度取得工程において取得した所定のパターン形成時の温度に調整する。吐出手段からの液状体の単位時間あたりに吐出される量又は吐出される液滴の体積である吐出量は、吐出される液状体の温度によって影響を受ける。吐出量測定工程における吐出量の測定は、液状体の温度が所定のパターン形成時の温度となった状態で実施される。これにより、吐出量測定工程において吐出量の測定を実施する際に、所定のパターン形成時における吐出量が忠実に再現される可能性が高くなり、吐出手段の温度調整を実施しない場合に比べて、所定のパターン形成時における吐出量をより正確に測定することができる。正確に測定された吐出量に基づいて、吐出量調整工程において吐出量を調整することで、所定のパターンを形成する際と吐出量を測定する際との、吐出手段の温度の差に起因する吐出量の差を抑制して、正確な吐出量での所定のパターンの形成を実現することができる。
なお、液状体の温度としては、吐出手段における液状体が吐出される孔に在る液状体の温度や、液状体に吐出圧力を加える加圧室内の液状体の温度や、液状体の流路内の液状体の温度や、吐出手段に供給される直前の液状体の温度などを、適宜採用することができる。いずれの温度であっても、当該部分の吐出手段による所定のパターン形成時の温度を取得し、吐出手段が所定のパターン形成を開始する時点における当該液状体の温度を、温度取得手段が取得した所定のパターン形成時の温度に調整する。

［適用例１６］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記吐出手段は、それぞれのノズル群が１以上の吐出ノズルを有する複数のノズル群を備え、前記温度取得工程では、それぞれの前記ノズル群ごとに、前記吐出手段又は前記液状体の前記所定のパターン形成時の温度を取得し、前記温度調整工程では、それぞれの前記ノズル群ごとに、前記吐出手段又は前記液状体の温度を調整し、前記吐出量測定工程では、それぞれの前記ノズル群ごとに、前記液状体の吐出量を測定し、前記吐出量調整工程では、それぞれの前記ノズル群における吐出量を調整することが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、ノズル群ごとに、所定のパターンを形成する際と吐出量測定工程において吐出量を測定する際との、液状体の温度の差に起因する吐出量の差を抑制して、正確な吐出量での所定のパターンの形成を実現することができる。したがって、吐出手段が備える全ての吐出ノズルについて、一括して吐出量の測定及び吐出量の調整をする場合に比べて、吐出手段が備える吐出ノズルの温度が各吐出ノズル間で異なっている場合であっても、正確な吐出量の測定及び吐出量の調整を実施することができる。

［適用例１７］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記ノズル群は、当該ノズル群に含まれるそれぞれの前記吐出ノズルに前記液状体を供給する経路が共通であることが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、液状体を供給する経路が共通である吐出ノズルが一括して吐出量の測定及び吐出量の調整を実施される。液状体を供給する経路が共通である吐出ノズルは、供給される液状体の状態が略同じである可能性が高いため、当該吐出ノズルの近傍及び当該吐出ノズルの近傍の液状体の温度も互いの差が小さい可能性が高い。互いの温度の差が小さい吐出ノズルからなるノズル群について、一括して吐出量の測定及び吐出量の調整を実施することで、吐出量の測定及び吐出量の調整の精度を損なうことなく、個別に実施する場合に比べて吐出量の測定及び吐出量の調整を効率良く実施することができる。

［適用例１８］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記ノズル群は、当該ノズル群に含まれるそれぞれの前記吐出ノズルが、１以上の前記吐出ノズルを有する吐出ヘッド１個が有する吐出ノズルであることが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、１個の吐出ヘッドが有する吐出ノズルが一括して吐出量の測定及び吐出量の調整を実施される。１個の吐出ヘッドは、移動や吐出の制御などを独立して実施する単位である場合が多い。このため、当該吐出ヘッドにおけるそれぞれの吐出ノズルの近傍及び当該吐出ノズルの近傍の液状体の温度も互いの差が小さい可能性が高い。互いの温度の差が小さい吐出ノズルからなるノズル群について、一括して吐出量の測定及び吐出量の調整を実施することで、吐出量の測定及び吐出量の調整の精度を損なうことなく、個別に実施する場合に比べて吐出量の測定及び吐出量の調整を効率良く実施することができる。

［適用例１９］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記ノズル群は、当該ノズル群に含まれるそれぞれの前記吐出ノズルに供給される前記液状体が同じ種類の前記液状体であることが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、供給される液状体が同じ種類である吐出ノズルが一括して吐出量の測定及び吐出量の調整を実施される。供給される液状体が同じ種類である吐出ノズルは、供給される液状体の特性が元々同じものであり、供給される液状体の特性及び状態が共通である可能性が高いため、当該吐出ノズルの近傍及び当該吐出ノズルの近傍の液状体の温度も互いの差が小さい可能性が高い。互いの温度の差が小さい吐出ノズルからなるノズル群について、一括して吐出量の測定及び吐出量の調整を実施することで、吐出量の測定及び吐出量の調整の精度を損なうことなく、個別に実施する場合に比べて吐出量の測定及び吐出量の調整を効率良く実施することができる。

［適用例２０］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記温度調整工程では、前記吐出手段を暖機駆動させることによって、前記吐出手段又は前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、吐出手段を暖機駆動させることによって、温度調整装置を別に設けることなく、吐出手段又は液状体の温度を、所定のパターン形成時の温度にすることができる。なお、吐出手段を暖機駆動させている駆動状態は、吐出手段を、液状体を通常の状態で吐出するように駆動させる場合や、液状体を吐出しない程度に駆動させる場合を含む、駆動状態である。

［適用例２１］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記温度取得工程は、第一の暖機駆動条件において前記暖機駆動を実施した後に前記所定のパターンを形成する工程と、前記第一の暖機駆動条件とは異なる第二の暖機駆動条件において前記暖機駆動を実施した後に前記所定のパターンを形成する工程と、を有し、それぞれの工程における前記所定のパターンを形成する際の前記吐出手段又は前記液状体の温度変化によって、前記所定のパターン形成時の温度を推定することが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、異なる暖機駆動条件において暖機駆動を実施した後に所定のパターンを形成する工程を実施する。異なる暖機駆動条件において暖機駆動を実施すると、暖機駆動を実施することによる温度変化の状態及び到達する温度が暖機駆動条件ごとに互いに異なる。したがって、所定のパターンを形成する工程を開始する時点の温度が暖機駆動条件ごとに互いに異なる。開始時の温度が異なる場合の所定のパターンを形成する工程は、温度変化の状態が互いに異なる。異なる温度変化状態を比較することによって、所定のパターン形成時の温度を推定することができる。

［適用例２２］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記暖機駆動の暖機駆動条件を求める暖機条件設定工程をさらに有し、前記暖機条件設定工程は、第一の暖機駆動条件において前記暖機駆動を実施した後に前記所定のパターンを形成する工程と、前記第一の暖機駆動条件とは異なる第二の暖機駆動条件において前記暖機駆動を実施した後に前記所定のパターンを形成する工程と、それぞれの工程における前記所定のパターンを形成する際の前記吐出手段又は前記液状体の温度変化によって、前記暖機駆動を実施することで前記吐出手段又は前記液状体の温度が前記所定のパターン形成時の温度となる前記暖機駆動条件を推定する工程と、を有することが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、異なる暖機駆動条件において暖機駆動を実施した後に所定のパターンを形成する工程を実施する。異なる暖機駆動条件において暖機駆動を実施すると、暖機駆動を実施することによる温度変化の状態及び到達する温度が暖機駆動条件ごとに互いに異なる。したがって、所定のパターンを形成する工程を開始する時点の温度が暖機駆動条件ごとに互いに異なる。開始時の温度が異なる場合の所定のパターンを形成する工程は、温度変化の状態が互いに異なる。異なる温度変化状態を比較することによって、所定のパターン形成時の温度を推定することができるため、当該温度を実現できる駆動条件として、所定のパターン形成時の温度を実現できる駆動条件を推定することができる。

［適用例２３］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記温度調整工程は、前記吐出手段又は前記液状体の温度を測定する温度測定工程を含み、前記温度測定工程における測定結果に応じて前記吐出手段を暖機駆動させることによって、前記吐出手段又は前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、温度測定工程における測定結果に応じて吐出手段を暖機駆動させることによって、吐出手段又は液状体の温度を調整するため、温度測定工程において実測された吐出手段又は液状体の実際の温度を、確実に所定のパターン形成時の温度に調整することができる。

［適用例２４］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記温度調整工程では、前記吐出手段又は前記液状体を加熱又は冷却することによって、前記吐出手段又は前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、吐出手段又は液状体を加熱又は冷却することにより、吐出手段又は液状体の温度を確実に変えて、確実に所定のパターン形成時の温度に調整することができる。

［適用例２５］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記温度取得工程では、前記所定のパターン形成を開始する時点における前記吐出手段又は前記液状体の温度を２種類以上の異なる温度に調整し、それぞれの温度の場合における前記所定のパターン形成を実施する際の温度変化によって、前記所定のパターン形成時の温度を推定することが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、吐出手段又は液状体の温度が異なる状態で所定のパターン形成を開始する。所定のパターン形成開始時の温度が異なることで、所定のパターン形成を実施する際の吐出手段又は液状体の温度の挙動が互いに異なる。異なる温度変化を比較することによって、所定のパターン形成時の温度を推定することができる。

［適用例２６］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記温度調整工程は、前記吐出手段又は前記液状体の温度を測定する温度測定工程をさらに有し、前記温度測定工程における測定結果に応じて前記吐出手段又は前記液状体を加熱又は冷却することによって、前記吐出手段又は前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することが好ましい。

この液状体吐出方法によれば、温度測定工程における測定結果に応じて、吐出手段又は液状体を加熱又は冷却する。このため、温度測定工程において実測した吐出手段又は液状体の実際の温度を、確実に所定のパターン形成時の温度に調整することができる。

以下、液状体吐出装置、液状体吐出方法、電気光学装置の製造装置、電気光学装置の製造方法、電子機器の製造装置、及び電子機器の製造方法の好適な実施の形態について、図面を参照して説明する。実施形態は、液状体吐出装置の一例であるインクジェット方式の液滴吐出装置を用いて、電気光学装置の一例である液晶表示装置を構成するカラーフィルタを有する基板に対してカラーフィルタを構成する色要素膜（フィルタ膜）などを形成する工程を例に説明する。なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。

（第一の実施形態）
本実施形態に係る液状体吐出装置としての液滴吐出装置は、液晶装置の製造ラインに組み込まれており、色要素膜を構成する材料などを含む機能液を吐出可能なインクジェット方式の液滴吐出ヘッドを用い、描画対象物（被加工物）としてのガラス基板などの上に当該機能液を配置することで、カラーフィルタの色要素膜などを形成するものである。

＜液滴吐出法＞
最初に、フィルタ膜などの機能膜の形成に用いられる液滴吐出法について説明する。液滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の材料を精度よく配置できるという利点を有する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式などが挙げられる。
このうち、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって液状の材料を貯留した空間に可撓性を有する材料で形成された部材を介して圧力を与え、この空間から液状材料を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。ピエゾ方式は、液状材料を加熱し発泡させることがないため、材料の組成などへの影響が少なく、駆動電圧を調整することによって液滴の大きさを容易に調整することができるなどの利点を有する。本実施形態では、材料の組成などに影響を与えないため液状材料選択の自由度が高いこと、及び液滴の大きさを容易に調整することができるため液滴の制御性がよいことから、上記ピエゾ方式を用いる。

＜液滴吐出装置＞
次に、液滴吐出装置１の全体構成について、図１及び図２を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置の概略構成を示す平面図である。図２は、液滴吐出装置の概略構成を示す側面図である。

図１、又は図２に示したように、液滴吐出装置１は、液滴吐出ヘッド１７（図３参照）を有する吐出ユニット２と、ワークユニット３と、給液ユニット６０（図７参照）と、検査ユニット４と、メンテナンスユニット５と、吐出装置制御部６（図７参照）とを備えている。

吐出ユニット２は、液状体に相当する機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド１７を６個備えており、当該液滴吐出ヘッド１７をＹ軸方向に移動させると共に移動した位置に保持するためのＹ軸テーブル１２を備えている。ワークユニット３は、液滴吐出ヘッド１７から吐出された液滴の吐出対象であるワークＷを載置するワーク載置台２１を有している。給液ユニット６０は、機能液を貯留する貯留タンク（図示省略）を有し、液滴吐出ヘッド１７への機能液の供給を行う。検査ユニット４は、液滴吐出ヘッド１７からの吐出状態を検査するための、吐出検査ユニット１８及び重量測定ユニット１９を有しており、重量測定ユニット１９にはフラッシングユニット１４が併設されている。メンテナンスユニット５は、液滴吐出ヘッド１７の保守を行う吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６を有している。

吐出装置制御部６は、これら各ユニットなどを総括的に制御する。重量測定ユニット１９、吐出ユニット２、吐出検査ユニット１８、又はメンテナンスユニット５などを用いて実施される重量測定処理、描画処理、吐出検査処理、及びメンテナンス処理などは、吐出装置制御部６が各ユニットなどを制御して実施される。

液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース１Ａを備え、各ユニットなどが、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に配設されている。Ｘ軸テーブル１１は、主走査方向としてのＸ軸方向に延在して、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に配設されており、ワーク載置台２１をＸ軸方向（主走査方向）に移動させる。

吐出ユニット２のＹ軸テーブル１２は、複数本の支柱７Ａを介してＸ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された一対のＹ軸支持ベース７，７の上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在している。吐出ユニット２は、６個の液滴吐出ヘッド１７を有するキャリッジユニット５１を備えている。キャリッジユニット５１は、ブリッジプレート５２に吊設されている。ブリッジプレート５２は、Ｙ軸スライダ（図示省略）を介して、Ｙ軸テーブル１２に、Ｙ軸方向に摺動自在に支持されている。Ｙ軸テーブル１２は、ブリッジプレート５２（キャリッジユニット５１）を、Ｙ軸方向（副走査方向）に移動させる。
Ｘ軸テーブル１１及びＹ軸テーブル１２の駆動と同期して、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動させることによって機能液の液滴を吐出させることで、ワーク載置台２１の上に載置されたワークＷに対して、任意の描画パターンを、機能液によって描画する。

吐出検査ユニット１８は、検査描画ユニット１６１と、撮像ユニット１６２とを有している。検査描画ユニット１６１は、Ｘ軸第２スライダ２３に固定されており、同じくＸ軸第２スライダ２３に固定された重量測定ユニット１９及びフラッシングユニット１４と一体に移動するように構成されている。撮像ユニット１６２は、２個の検査カメラ１６３と、検査カメラ１６３をＹ軸方向にスライド自在に支持するカメラ移動機構１６４と、を有している。

メンテナンスユニット５が備える吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６は、Ｘ軸テーブル１１から外れ、かつＹ軸テーブル１２によりキャリッジユニット５１が移動可能である位置に配設された架台８の上に配設されている。吸引ユニット１５は、キャップユニット１５ａを備え、液滴吐出ヘッド１７のノズル形成面７６ａ（図３参照）を封止して吐出ノズル７８（図３参照）を吸引することによって、液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８から機能液を強制的に排出させる。ワイピングユニット１６は、洗浄液を噴霧したワイピングシート１６ａを有し、吸引後の液滴吐出ヘッド１７のノズル形成面７６ａを拭き取る（ワイピングを行う）ものである。このようにして、吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６は、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７の機能維持又は機能回復を図るための保守作業を実施する。

Ｘ軸テーブル１１は、Ｘ軸第１スライダ２２と、Ｘ軸第２スライダ２３と、左右一対のＸ軸リニアモータ２６，２６と、一対のＸ軸共通支持ベース２４，２４と、を備えている。

Ｘ軸第１スライダ２２には、ワーク載置台２１が取り付けられている。Ｘ軸第１スライダ２２は、Ｘ軸方向に延在するＸ軸共通支持ベース２４に、Ｘ軸方向にスライド自在に支持されている。Ｘ軸第２スライダ２３には、検査描画ユニット１６１と、重量測定ユニット１９と、フラッシングユニット１４とが取り付けられている。Ｘ軸第２スライダ２３は、Ｘ軸方向に延在するＸ軸共通支持ベース２４に、Ｘ軸方向にスライド自在に支持されている。Ｘ軸リニアモータ２６は、Ｘ軸共通支持ベース２４に並設されており、Ｘ軸第１スライダ２２又はＸ軸第２スライダ２３をＸ軸共通支持ベース２４に沿って移動させることによって、ワーク載置台２１（ワーク載置台２１に載置されたワークＷ）又は重量測定ユニット１９などをＸ軸方向に移動させる。Ｘ軸第１スライダ２２とＸ軸第２スライダ２３とは、Ｘ軸リニアモータ２６により個別に駆動可能である。Ｘ軸方向が主走査方向に相当し、Ｙ軸方向が副走査方向に相当する。

ワーク載置台２１は、吸着テーブル３１と、θテーブル３２などを有している。吸着テーブル３１は、載置されたワークＷを吸着固定して保持する。θテーブル３２は、吸着テーブル３１を支持し、吸着テーブル３１にセットしたワークＷの位置をＸ軸方向及びＹ軸方向に直角なＺ軸回りのθ方向にθ補正すると共に、θ補正が完了した方向を維持して保持する。θテーブル３２は、θ駆動モータ５３２を有し、当該θ駆動モータ５３２によって駆動される。

図１及び図２におけるワーク載置台２１の位置が、ワークＷの給除材を行うための給除材位置となっており、未処理のワークＷを吸着テーブル３１に導入（給材）するときや、処理済のワークＷを回収（除材）するときには、吸着テーブル３１をこの位置まで移動させる。当該給除材位置において、ロボットアーム（図示省略）により、吸着テーブル３１に対するワークＷの搬入・搬出（載換え）が行われる。吸着テーブル３１に給材された未処理のワークＷのアライメントは、θテーブル３２及び画像認識ユニット８０を用いて、給除材位置において実施される。

画像認識ユニット８０は、２台のアライメントカメラ８１と、カメラ移動機構８２と、を有している。カメラ移動機構８２は、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に、Ｙ軸方向に延在して、Ｘ軸テーブル１１を跨ぐように配設されている。アライメントカメラ８１は、カメラホルダ（図示省略）を介して、カメラ移動機構８２に、Ｙ軸方向にスライド自在に支持されている。カメラ移動機構８２に支持されたアライメントカメラ８１は、Ｘ軸テーブル１１に上側から臨み、Ｘ軸テーブル１１の上のワーク載置台２１に載置されたワークＷの各基準マーク（アライメントマーク）を画像認識することができる。２台のアライメントカメラ８１は、カメラ移動モータ（図示省略）によって、それぞれ独立してＹ軸方向に移動させられる。

各アライメントカメラ８１は、ワーク載置台２１のＸ軸方向への移動と協働して、カメラ移動機構８２によりＹ軸方向に移動しながら、上記したロボットアームが給材した各種ワークＷのアライメントマークを撮像して、各種ワークＷの位置認識を実施する。そして、このアライメントカメラ８１の撮像結果に基づいて、θテーブル３２によるワークＷのθ補正（アライメント）が実施される。

Ｙ軸テーブル１２は、一対のＹ軸スライダ（図示省略）と、一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。一対のＹ軸リニアモータは、上記した一対のＹ軸支持ベース７，７の上にそれぞれ設置されて、Ｙ軸方向に延在している。一対のＹ軸スライダは、一対のＹ軸支持ベース７，７のそれぞれに各１個ずつ摺動自在に支持されている。一対のＹ軸支持ベース７，７のそれぞれに支持された各１個のＹ軸スライダからなる一対のＹ軸スライダは、吐出ユニット２を構成するキャリッジユニット５１が固定されたブリッジプレート５２を両持ちで支持している。吐出ユニット２を構成するキャリッジユニット５１を固定したブリッジプレート５２は、ブリッジプレート５２を両持ちで支持するＹ軸スライダを介して、一対のＹ軸支持ベース７，７の上に設置されている。

一対のＹ軸リニアモータを（同期して）駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸支持ベース７，７を案内にして同時にＹ軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート５２がＹ軸方向に移動し、ブリッジプレート５２に吊設されたキャリッジユニット５１がＹ軸方向に移動する。

キャリッジユニット５１は、６個の液滴吐出ヘッド１７と、６個の液滴吐出ヘッド１７を３個ずつ２群に分けて支持するキャリッジプレート５３（図４参照）と、を有するヘッドユニット５４（図４参照）を備えている。ヘッドユニット５４は、ヘッド昇降機構（図示省略）を介して、Ｚ軸方向に昇降自在に支持されている。

＜液滴吐出ヘッド＞
次に、図３を参照して、液滴吐出ヘッド１７について説明する。図３は、液滴吐出ヘッドの構成を示す図である。図３（ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図であり、図３（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図であり、図３（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図である。液滴吐出ヘッド１７が、吐出手段に相当する。

図３（ａ）に示したように、液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針７２，７２を有する液体導入部７１と、液体導入部７１の側方に連なるヘッド基板７３と、液体導入部７１に連なるポンプ部７５と、ポンプ部７５に連なるノズルプレート７６と、を備えている。液体導入部７１のそれぞれの接続針７２には、それぞれ配管接続部材が接続されて、当該配管接続部材を介して給液チューブが接続され、給液チューブに接続された給液ユニット６０から機能液が供給される。ヘッド基板７３には、一対のヘッドコネクタ７７，７７が実装されており、当該ヘッドコネクタ７７を介してフレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣケーブル）が接続される。液滴吐出ヘッド１７は、ＦＦＣケーブルを介して吐出装置制御部６と接続されており、ＦＦＣケーブルを介して信号の授受が行われる。ポンプ部７５とノズルプレート７６とにより、方形のヘッド本体７４が構成されている。

ポンプ部７５の基部側、すなわちヘッド本体７４の基部側は、液体導入部７１及びヘッド基板７３を受けるべく方形フランジ状にフランジ部７９が形成されている。このフランジ部７９には、液滴吐出ヘッド１７を固定する小ねじ用のねじ孔（雌ねじ）７９ａが一対形成されている。ヘッド保持用の部材を貫通してねじ孔７９ａに螺合したヘッド止めねじにより、液滴吐出ヘッド１７がヘッド保持用の部材に固定される。

ノズルプレート７６のノズル形成面７６ａには、ノズルプレート７６に形成されており液滴を吐出する吐出ノズル７８から成るノズル列７８Ａが、２本形成されている。２本のノズル列７８Ａは相互に平行に列設されており、各ノズル列７８Ａは、等ピッチで並べた例えば１８０個（図示では模式的に表している）の吐出ノズル７８で構成されている。すなわち、ヘッド本体７４のノズル形成面７６ａには、その中心線を挟んで２本のノズル列７８Ａが配設されている。

液滴吐出ヘッド１７が液滴吐出装置１に取り付けられた状態では、ノズル列７８ＡはＹ軸方向に延在する。２列のノズル列７８Ａをそれぞれ構成する吐出ノズル７８同士は、Ｙ軸方向において、相互に半ノズルピッチずつ位置がずれている。１ノズルピッチは、例えば１４０μｍである。Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれのノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。ノズル列７８Ａにおける吐出ノズル７８のノズルピッチが１４０μｍの場合、当該一直線状に連なる着弾位置の中心間距離は、設計上では、７０μｍである。

図３（ｂ）及び（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド１７は、ノズルプレート７６にポンプ部７５を構成する圧力室プレート１５１が積層されており、圧力室プレート１５１に振動板１５２が積層されている。
圧力室プレート１５１には、液体導入部７１から振動板１５２の液供給孔１５３を経由して供給される機能液が常に充填される液たまり１５５が形成されている。液たまり１５５は、振動板１５２と、ノズルプレート７６と、圧力室プレート１５１の壁とに囲まれた空間である。また、圧力室プレート１５１には、複数のヘッド隔壁１５７によって区切られた圧力室１５８が形成されている。振動板１５２と、ノズルプレート７６と、２個のヘッド隔壁１５７とによって囲まれた空間が圧力室１５８である。

圧力室１５８は吐出ノズル７８のそれぞれに対応して設けられており、圧力室１５８の数と吐出ノズル７８の数とは同じである。圧力室１５８には、２個のヘッド隔壁１５７の間に位置する供給口１５６を介して、液たまり１５５から機能液が供給される。ヘッド隔壁１５７と圧力室１５８と吐出ノズル７８と供給口１５６との組は、液たまり１５５に沿って１列に並んでおり、１列に並んだ吐出ノズル７８がノズル列７８Ａを形成している。図３（ｂ）では図示省略したが、図示した吐出ノズル７８を含むノズル列７８Ａに対して液たまり１５５に関して略対称位置に、１列に並んで配設された吐出ノズル７８がもう一列のノズル列７８Ａを形成しており、対応するヘッド隔壁１５７と圧力室１５８と供給口１５６との組が、１列に並んでいる。

振動板１５２の圧力室１５８を構成する部分には、それぞれ圧電素子１５９の一端が固定されている。圧電素子１５９の他端は、固定板１５４（図９（ｂ）参照）を介して液滴吐出ヘッド１７全体を支持する基台（図示省略）に固定されている。
圧電素子１５９は電極層と圧電材料とを積層した活性部を有し、電極層に駆動電圧を印加することで、活性部が長手方向（図３（ｂ）又は（ｃ）における振動板１５２の厚さ方向）に縮む。活性部が縮むことで、圧電素子１５９の一端が固定された振動板１５２が圧力室１５８と反対側に引張られる力を受ける。振動板１５２が圧力室１５８と反対側に引張られることで、振動板１５２が圧力室１５８の反対側に撓む。これにより、圧力室１５８の容積が増加することから、機能液が液たまり１５５から供給口１５６を経て圧力室１５８に供給される。次に、電極層に印加されていた駆動電圧が解除されると、活性部が元の長さに戻ることで、圧電素子１５９が振動板１５２を押圧する。振動板１５２が押圧されることで、圧力室１５８側に戻る。これにより、圧力室１５８の容積が急激に元に戻る、すなわち増加していた容積が減少することから、圧力室１５８内に充填されていた機能液に圧力が加わり、当該圧力室１５８に連通して形成された吐出ノズル７８から機能液が液滴となって吐出される。機能液が流動する、液たまり１５５、供給口１５６、及び圧力室１５８などが、機能液の流路に相当する。

吐出装置制御部６は、圧電素子１５９への印加電圧の制御、すなわち駆動信号を制御することにより、複数の吐出ノズル７８のそれぞれに対して、機能液の吐出制御を行う。より詳細には、吐出ノズル７８から吐出される液滴の体積や、単位時間あたりに吐出する液滴の数などを変化させることができる。これにより、基板上に着弾した液滴同士の距離や、基板上の一定の面積に着弾させる機能液の量などを変化させることができる。例えば、ノズル列７８Ａに並ぶ複数の吐出ノズル７８の中から、液滴を吐出させる吐出ノズル７８を選択的に使用することにより、ノズル列７８Ａの延在方向では、ノズル列７８Ａの長さの範囲であって吐出ノズル７８のピッチ間隔で、複数の液滴を同時に吐出することができる。ノズル列７８Ａの延在方向と略直交する方向では、基板と吐出ノズル７８とを相対移動させて、当該相対移動方向において、当該吐出ノズル７８が対向可能な、基板の任意の位置に吐出ノズル７８から吐出される液滴を配置することができる。なお、吐出ノズル７８のそれぞれから吐出される液滴の体積は、例えば１ｐｌ〜３００ｐｌ（ピコリットル）の間で可変である。

＜ヘッドユニット＞
次に、吐出ユニット２が備えるヘッドユニット５４の概略構成について、図４を参照して説明する。図４は、ヘッドユニットの概略構成を示す平面図である。図４に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット５４が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。

図４に示したように、ヘッドユニット５４は、キャリッジプレート５３と、キャリッジプレート５３に搭載された６個の液滴吐出ヘッド１７と、を有している。液滴吐出ヘッド１７は、図示省略したヘッド保持部材を介してキャリッジプレート５３に固定されており、ヘッド本体７４がキャリッジプレート５３に形成された孔（図示省略）に遊嵌して、ノズルプレート７６（ヘッド本体７４）が、キャリッジプレート５３の面より突出している。図４は、ノズルプレート７６（ノズル形成面７６ａ）側から見た図である。６個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向に分かれて、それぞれ３個ずつの液滴吐出ヘッド１７を有するヘッド組５５を２群形成している。それぞれの液滴吐出ヘッド１７のノズル列７８ＡはＹ軸方向に延在している。

一つのヘッド組５５が有する３個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において、互いに隣り合う液滴吐出ヘッド１７の、一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８に対して、もう一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８が半ノズルピッチずれて位置するように、位置決めされている。仮に、ヘッド組５５が有する３個の液滴吐出ヘッド１７において、全ての吐出ノズル７８のＸ軸方向の位置を同じにすると、吐出ノズル７８は、Ｙ軸方向に半ノズルピッチの等間隔で並ぶ。すなわち、Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれの液滴吐出ヘッド１７が有するそれぞれのノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において互いに重なるため、Ｘ軸方向に階段状に並んでヘッド組５５を構成している。

ヘッド組５５がそれぞれの吐出ノズル７８から１滴ずつ吐出して形成できる直線を、ノズル組線と表記する。ヘッド組５５とヘッド組５５とのＹ軸方向の相互位置は、それぞれのヘッド組５５において端に位置する吐出ノズル７８が、互いにノズル組線の長さに１ノズルピッチを加えた距離だけ離れている。例えば、２組のヘッド組５５がそれぞれの吐出ノズル７８から１滴ずつ吐出して２本のノズル組線を形成し、Ｙ軸方向にノズル組線の長さに半ノズルピッチを加えた距離だけ移動した位置に、２組のヘッド組５５がそれぞれノズル組線を形成する。このようにすることにより、６個の液滴吐出ヘッド１７が有する２１６０個の吐出ノズル７８から吐出された４３２０個の液滴が等間隔で配置された直線が形成される。

＜吐出検査ユニット＞
次に、吐出検査ユニット１８について、図５を参照して説明する。図５は、検査描画ユニットの全体構成を示す外観斜視図である。図１を参照して説明したように、吐出検査ユニット１８は、検査描画ユニット１６１と、撮像ユニット１６２とを有している。検査描画ユニット１６１は、重量測定ユニット１９及びフラッシングユニット１４と一体に移動するように構成されている。

吐出検査ユニット１８は、吐出ユニット２を構成する全液滴吐出ヘッド１７（の吐出ノズル７８）から機能液が適切に吐出されているか否かを検査するためのものである。検査描画ユニット１６１は、吐出ユニット２を構成するヘッドユニット５４がＹ軸方向においてワーク載置台２１に載置されたワークＷに対向可能な位置にある場合、ヘッドユニット５４が備える全液滴吐出ヘッド１７の全吐出ノズル７８から検査吐出された機能液を受けられるように構成されている。撮像ユニット１６２は、検査描画ユニット１６１に描画された検査パターン（着弾ドットのパターン）を撮像して検査する。上述したように、検査描画ユニット１６１はＸ軸テーブル１１に搭載されている。撮像ユニット１６２はＹ軸テーブル１２の直下で、Ｙ軸支持ベース７に固定されており、Ｘ軸方向においては、検査位置に固定的に設けられている。撮像ユニット１６２が有する２個の検査カメラ１６３は、それぞれ独立してＹ軸方向に移動可能である。

図５に示すように、検査描画ユニット１６１は、検査シート１７１と、検査ステージ１７２と、シート送り手段１７３と、シート送り支持部材１７４と、ユニットベース１７５と、を備えている。検査シート１７１は、液滴吐出ヘッド１７から検査吐出された機能液の液滴を着弾させるための帯状のシートである。検査シート１７１は、液滴吐出装置１において、図１に示したＹ軸方向に延在している。検査ステージ１７２は、液滴吐出装置１において、図１に示したＹ軸方向に延在しており、検査ステージ１７２の上に検査シート１７１が載っている。シート送り手段１７３が、非検査済み部分を検査ステージ１７２に送り込むように、かつ検査シート１７１の検査済み部分を検査ステージ１７２の上から送り出すように、検査シート１７１を移動させる。シート送り手段１７３は、シート送り支持部材１７４に支持されており、シート送り支持部材１７４は、ユニットベース１７５に支持されている。

図２を参照して説明したように、撮像ユニット１６２は、２個の検査カメラ１６３と、検査カメラ１６３をＹ軸方向にスライド自在に支持するカメラ移動機構１６４と、を有している。検査カメラ１６３は、検査シート１７１に検査吐出された着弾ドットを画像認識するもので、Ｘ軸テーブル１１に上側から臨む姿勢で、Ｙ軸支持ベース７に固定されたカメラ移動機構１６４を介して、Ｙ軸方向にスライド自在にＹ軸支持ベース７に支持されている。

検査描画ユニット１６１は、吸着テーブル３１が給除材位置に移動したときに、検査シート１７１が撮像ユニット１６２の検査カメラ１６３に臨む位置に移動して当該位置に位置することが可能である。２個の検査カメラ１６３による撮像結果は、吐出装置制御部６に送信されて画像認識され、この画像認識に基づいて、各液滴吐出ヘッド１７の各吐出ノズル７８が正常に機能液を吐出しているか（ノズル詰まりがないか）否かが判定される。また、着弾した液滴の相対位置が規定された位置であるか否かが判定される。

＜重量測定ユニット＞
次に、重量測定ユニット１９及びフラッシングユニット１４について、図６を参照して説明する。図６は、重量測定ユニットの部分及びフラッシングユニットの部分を含む重量測定ブロックの図である。図６（ａ）は、重量測定ブロックの平面図であり、図６（ｂ）は、重量測定ブロックの側面図である。上述したように、重量測定ユニット１９、フラッシングユニット１４、及び検査描画ユニット１６１が一体に設けられた吐出検査ブロックが、一体に移動するように構成されている。

図６に示すように、重量測定ブロック９１Ａは、２個の重量測定装置９１と、支持フレーム９２とを備えている。支持フレーム９２は、２個の重量測定装置９１を支持しており、支持フレーム９２がＸ軸第２スライダ２３に固定されることによって、重量測定ブロック９１ＡがＸ軸第２スライダ２３に搭載されている。一つの重量測定装置９１が一つのヘッド組５５に対応しており、並列する二つの重量測定装置９１が、一つのヘッドユニット５４に対応している。

重量測定装置９１は、定期フラッシングボックス９３と、受液容器９４と、電子天秤９９（図６（ａ）では受液容器９４の下に隠れている）と、重量測定時フラッシングボックス９５と、機能液吸収材９７と、押えプレート９８と、これらを収容するケース９６と、を有している。定期フラッシングボックス９３と、重量測定時フラッシングボックス９５と、機能液吸収材９７と、押えプレート９８とは、フラッシングユニット１４に含まれる。受液容器９４と、電子天秤９９とは、重量測定ユニット１９に含まれる。

受液容器９４は、ヘッド組５５を構成する３個の液滴吐出ヘッド１７のうち、任意の１個の液滴吐出ヘッド１７のみに対向して、当該液滴吐出ヘッド１７から吐出した機能液を受けることができる大きさである。受液容器９４は、電子天秤９９の上に載っており、電子天秤９９は受液容器９４の重量を測定することで、受液容器９４内に着弾した機能液の重量を測定する。液滴吐出ヘッド１７から吐出した機能液を受けることで増加した受液容器９４の重量が、液滴吐出ヘッド１７から吐出されて受液容器９４内に着弾した機能液の重量である。

重量測定時フラッシングボックス９５は、重量測定時フラッシングボックス９５ａと重量測定時フラッシングボックス９５ｂとが、Ｘ軸方向において受液容器９４を挟んで配置されている。ヘッド組５５を構成する３個の液滴吐出ヘッド１７のうち１個の液滴吐出ヘッド１７が受液容器９４に臨む位置にあるとき、ヘッド組５５を構成する他の２個の液滴吐出ヘッド１７は、重量測定時フラッシングボックス９５ａ又は重量測定時フラッシングボックス９５ｂのいずれかに臨む位置に位置する。重量測定対象の液滴吐出ヘッド１７が受液容器９４に臨んで重量測定のための吐出を実施する時に、測定対象外の液滴吐出ヘッド１７は、重量測定時フラッシングボックス９５ａ又は重量測定時フラッシングボックス９５ｂに臨んで、捨て吐出を実施する。

１個の重量測定装置９１でヘッド組５５の３個の液滴吐出ヘッド１７について重量測定を行うため、１個の液滴吐出ヘッド１７が重量測定吐出を行っている際に、その他の２個の液滴吐出ヘッド１７はその重量測定吐出が終わるのを待つことになるが、その「待ち」状態の液滴吐出ヘッド１７に捨て吐出を行わせることができる。これにより、「待ち」状態の間に吐出ノズル７８が乾燥することを抑制して、「待ち」状態の後に実施する重量測定吐出を良好に行うことができ、適切な測定結果を得ることができる。

定期フラッシングボックス９３は、定期フラッシング時に捨て吐出された機能液を受けるものである。
重量測定時フラッシングボックス９５及び定期フラッシングボックス９３内には、機能液吸収材９７が、その両長辺部を一対の押えプレート９８により押え付けた状態で敷設されている。なお、受液容器９４は、各液滴吐出ヘッド１７に対し、ノズル列単位で機能液を受け得る大きさに形成されている。

電子天秤９９は、受液容器９４に吐出された機能液の重量を測定し、測定結果を吐出装置制御部６に出力する。吐出装置制御部６は、電子天秤９９から入力した測定結果に基づいて、ヘッドドライバ１７ｄ（図７参照）から液滴吐出ヘッド１７に印加する駆動電力（電圧値）を制御する。

＜液滴吐出装置の電気的構成＞
次に、上述したような構成を有する液滴吐出装置１を駆動するための電気的構成について、図７を参照して説明する。図７は、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図である。液滴吐出装置１は、制御装置６５を介してデータの入力や、稼働開始や停止などの制御指令の入力を行うことで、制御される。制御装置６５は、演算処理を行うホストコンピュータ６６と、液滴吐出装置１に情報を入出力するための入出力装置６８とを有し、インタフェイス（Ｉ／Ｆ）６７を介して吐出装置制御部６と接続されている。入出力装置６８は、情報を入力可能なキーボード、記録媒体を介して情報を入出力する外部入出力装置、外部入出力装置を介して入力された情報を保存しておく記録部、モニタ装置などである。

液滴吐出装置１の吐出装置制御部６は、インタフェイス（Ｉ／Ｆ）４７と、ＣＰＵ（Central Processing Unit）４４と、ＲＯＭ（Read Only Memory）４５と、ＲＡＭ（Random Access Memory）４６と、ハードディスク４８と、を有している。また、ヘッドドライバ１７ｄと、駆動機構ドライバ４０ｄと、給液ドライバ６０ｄと、メンテナンスドライバ５ｄと、検査ドライバ４ｄと、検出部インタフェイス（Ｉ／Ｆ）４３と、を有している。これらは、データバス４９を介して互いに電気的に接続されている。

インタフェイス４７は、制御装置６５とデータの授受を行い、ＣＰＵ４４は、制御装置６５からの指令に基づいて各種演算処理を行い、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する制御信号を出力する。ＲＡＭ４６は、ＣＰＵ４４からの指令に従って、制御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを一時的に保存する。ＲＯＭ４５は、ＣＰＵ４４が各種演算処理を行うためのルーチン等を記憶している。ハードディスク４８は、制御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを保存したり、ＣＰＵ４４が各種演算処理を行うためのルーチン等を記憶したりしている。

ヘッドドライバ１７ｄには、吐出ユニット２を構成する液滴吐出ヘッド１７が接続されている。ヘッドドライバ１７ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って液滴吐出ヘッド１７を駆動して、機能液の液滴を吐出させる。駆動機構ドライバ４０ｄには、Ｙ軸テーブル１２のヘッド移動モータと、Ｘ軸テーブル１１のＸ軸リニアモータ２６と、各種駆動源を有する各種駆動機構を含む駆動機構４１とが接続されている。各種駆動機構は、上記した、アライメントカメラ８１を移動するためのカメラ移動モータや、θテーブル３２のθ駆動モータ５３２などである。駆動機構ドライバ４０ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って上記モータなどを駆動して、液滴吐出ヘッド１７とワークＷとを相対移動させてワークＷの任意の位置と液滴吐出ヘッド１７とを対向させ、ヘッドドライバ１７ｄと協働して、ワークＷ上の任意の位置に機能液の液滴を着弾させる。

メンテナンスドライバ５ｄには、メンテナンスユニット５の吸引ユニット１５と、ワイピングユニット１６とが接続されている。メンテナンスドライバ５ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、吸引ユニット１５、又はワイピングユニット１６を駆動して、液滴吐出ヘッド１７の保守作業を実施させる。

検査ドライバ４ｄには、検査ユニット４の吐出検査ユニット１８と、重量測定ユニット１９とが接続されている。検査ドライバ４ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、吐出検査ユニット１８、又は重量測定ユニット１９を駆動して、吐出重量や吐出の可否や着弾位置精度などの、液滴吐出ヘッド１７の吐出状態の検査を実施させる。
なお、本実施形態における吐出重量は、液滴吐出ヘッド１７が吐出する機能液の液滴一滴の重量である。液滴吐出ヘッド１７が吐出する機能液の液滴一滴の大きさ（体積）は、吐出量と表記する。吐出重量と吐出量とは、同じ量を重量又は体積で表す場合のそれぞれの呼称である。

給液ドライバ６０ｄには、給液ユニット６０が接続されている。給液ドライバ６０ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って給液ユニット６０を駆動して、液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する。検出部インタフェイス４３には、液滴吐出ヘッド１７の温度を測定するヘッド温度センサ１４２などの各種センサを含む検出部４２が接続されている。検出部４２の各センサによって検出された検出情報が検出部インタフェイス４３を介してＣＰＵ４４に伝達される。
なお、液滴吐出ヘッド１７の温度としては、液滴吐出ヘッド１７の部分であって、当該部分の温度の変動が、液滴吐出ヘッド１７が吐出する液滴の重量の変動に関連付けて測定可能な部分の温度を用いる。例えばポンプ部７５の外壁面の温度や、ノズルプレート７６の温度や、振動板１５２の圧力室１５８を構成する部分の温度などのいずれかを用いることができる。ヘッド温度センサ１４２は、例えば接触式の温度センサであって、これらのいずれかに接触して、これらの温度のいずれかを測定可能な位置に配設されている。

＜機能液の吐出＞
次に、液滴吐出装置１における吐出制御方法について、図８を参照して説明する。図８は、液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図である。

上述したように、液滴吐出装置１は、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する制御信号を出力するＣＰＵ４４と、液滴吐出ヘッド１７の電気的な駆動制御を行うヘッドドライバ１７ｄとを備えている。
図８に示すように、ヘッドドライバ１７ｄは、ＦＦＣケーブルを介して各液滴吐出ヘッド１７と電気的に接続されている。また、液滴吐出ヘッド１７は、吐出ノズル７８（図３参照）ごとに設けられた圧電素子１５９に対応して、シフトレジスタ（ＳＬ）８５と、ラッチ回路（ＬＡＴ）８６と、レベルシフタ（ＬＳ）８７と、スイッチ（ＳＷ）８８とを備えている。

液滴吐出装置１における吐出制御は次のように行われる。最初に、ＣＰＵ４４がワークＷなどの描画対象物における機能液の配置パターンをデータ化したドットパターンデータをヘッドドライバ１７ｄに伝送する。そして、ヘッドドライバ１７ｄは、ドットパターンデータをデコードして吐出ノズル７８ごとのＯＮ／ＯＦＦ（吐出／非吐出）情報であるノズルデータを生成する。ノズルデータは、シリアル信号（ＳＩ）化されて、クロック信号（ＣＫ）に同期して各シフトレジスタ８５に伝送される。

シフトレジスタ８５に伝送されたノズルデータは、ラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路８６に入力されるタイミングでラッチされ、さらにレベルシフタ８７でスイッチ８８用のゲート信号に変換される。即ち、ノズルデータが「ＯＮ」の場合にはスイッチ８８が開いて圧電素子１５９に駆動信号（ＣＯＭ）が供給され、ノズルデータが「ＯＦＦ」の場合にはスイッチ８８が閉じられて圧電素子１５９に駆動信号（ＣＯＭ）は供給されないことになる。そして、「ＯＮ」に対応する吐出ノズル７８からは機能液が液滴となって吐出され、吐出された機能液の液滴がワークＷなどの描画対象物の上に着弾して、描画対象物の上に機能液が配置される。

＜駆動波形＞
次に、圧電素子１５９に印加する駆動信号の駆動波形、及び当該駆動波形の駆動信号を印加された圧電素子１５９の動作による吐出動作について、図９を参照して説明する。図９は、駆動波形の基本波形及び駆動波形に対応した圧電素子の動作を示す図である。図９（ａ）は、圧電素子に印加する駆動信号の駆動波形の基本波形を示す図であり、図９（ｂ）は、駆動波形に対応した圧電素子の動作による液滴吐出ヘッドの吐出動作を示す模式断面図である。

図９（ａ）に示すように、駆動信号を印加する前の待機状態では、圧電素子１５９には一定の電圧が印加されている（図９（ａ）のＡ）。この電圧を中間電位と表記する。描画を実施する際は、描画開始前に、圧電素子１５９に印加する電圧を中間電位に引き上げ、描画終了後に、グランドレベルに戻す。
図９（ｂ）に示すように、圧電素子１５９を中間電位に維持した待機状態では、圧電素子１５９がわずかに縮んで振動板１５２が圧電素子１５９の側に引張られることで、振動板１５２が圧力室１５８の反対側に撓んでいる（図９（ｂ）のＡ）。

駆動周期の最初の工程は、圧電素子１５９に印加する電圧を、中間電位から始まって、高電位に引き上げる（図９（ａ）のＢ）。圧電素子１５９に印加される電圧が高くなることで、圧電素子１５９がさらに縮んで、振動板１５２が圧力室１５８と反対側に引張られる力を受ける。振動板１５２が圧力室１５８と反対側に引張られることで、可撓性を有する材料で形成された振動板１５２が圧力室１５８の反対側に撓む。これにより、圧力室１５８の容積が増加することから、機能液が液たまり１５５から供給口１５６を経て圧力室１５８に供給される（図９（ｂ）のＢ）。この工程を、昇圧給液工程と表記する。昇圧給液工程では、吐出ノズル７８から空気が圧力室に入り込まないように、圧電素子１５９をゆっくり変位させる。圧電素子１５９に印加される高電位の電圧が、液滴吐出ヘッド１７を駆動するために印加される駆動電圧に相当する。

昇圧給液工程後、圧電素子１５９に印加する電圧を高電位に保った状態を維持する。この状態を、吐出前待機状態と表記する（図９（ａ）のＣ）。圧電素子１５９を構成する圧電材料は、電圧変動がなくなっても機械的に振動しているため、その機械振動が収まるまで待機する工程が、吐出前待機状態である。

機械振動が収まる時間だけ吐出前待機状態を維持した後、圧電素子１５９に印加する電圧を、一気に降圧させる（図９（ａ）のＤ）。圧電素子１５９に印加する電圧を、一気に降圧させることによって、圧電素子１５９の変位が一気に零になり、圧力室１５８は急激に狭くなり、圧力室１５８の内部に充填されていた機能液が、吐出ノズル７８から吐出される（図９（ｂ）のＤ）。この工程を、降圧吐出工程と表記する。
高電位の電圧値によって、圧電素子１５９が縮む量が異なるため、圧力室１５８の容積が増加する量も異なる。このため、当該高電位の電圧値を変えることによって、圧力室１５８に充填されて吐出される機能液の量、すなわち液滴吐出ヘッド１７からの吐出量を調整することができる。

降圧吐出工程の次に、圧電素子１５９に印加する電圧を低電位に保った状態を維持する。この状態を、吐出後待機状態と表記する（図９（ａ）のＥ）。圧電素子１５９の機械振動が収まる時間だけ低電位状態を維持する工程が、吐出後待機状態である。
圧電素子１５９の機械振動が収まる時間だけ吐出後待機状態を維持した後、圧電素子１５９に印加する電圧を中間電位に引き上げて（図９（ａ）のＦ）、再び待機状態（中間電位）にする。

＜液晶表示パネルの構成＞
次に、液滴吐出装置１を用いて機能膜を形成する電気光学装置としての液晶装置の一例である液晶表示パネルについて説明する。液晶表示パネル２００（図１０参照）は、液晶装置の一例であり、カラーフィルタの一例である液晶表示パネル用のカラーフィルタを備える液晶表示パネルである。
最初に、液晶表示パネル２００の構成について、図１０を参照して説明する。図１０は、液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図である。図１０に示した液晶表示パネル２００は、駆動素子として薄膜トランジスタ（ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子）を用いるアクティブマトリックス方式の液晶装置であり、図示省略したバックライトを用いる透過型の液晶装置である。

図１０に示すように、液晶表示パネル２００は、ＴＦＴ素子２１５を有する素子基板２１０と、対向電極２０７を有する対向基板２２０と、シール材（図示省略）によって接着された素子基板２１０と対向基板２２０との隙間に充填された液晶２３０（図１５（ｋ）参照）とを備えている。貼り合わされた素子基板２１０と、対向基板２２０とには、互いに貼り合わされた面の反対側の面に、それぞれ偏光板２３１と偏光板２３２とが、配設されている。

素子基板２１０は、ガラス基板２１１の対向基板２２０と対向する面に、ＴＦＴ素子２１５や、導電性を有する画素電極２１７や走査線２１２や信号線２１４が、形成されている。これらの素子や導電性を有する膜の間を埋めるように、絶縁層２１６が形成されており、走査線２１２及び信号線２１４は、絶縁層２１６の部分を挟んで互いに交差する状態で形成されている。走査線２１２と信号線２１４とは、絶縁層２１６の部分を間に挟むことで互いに絶縁されている。これらの走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた領域内には画素電極２１７が形成されている。画素電極２１７は方形状の一部の角部分が方形状に欠けた形状をしている。画素電極２１７の切欠部と走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体部、及びゲート電極を具備するＴＦＴ素子２１５が組み込まれて構成されている。走査線２１２と信号線２１４に信号を印加することによってＴＦＴ素子２１５をオン・オフして画素電極２１７への通電制御を実施する。

素子基板２１０の液晶２３０と接する面には、上記した走査線２１２や信号線２１４や画素電極２１７が形成された領域全体を覆う配向膜２１８が設けられている。

対向基板２２０は、ガラス基板２０１の素子基板２１０と対向する面に、カラーフィルタ（以降、「ＣＦ」と表記する。）層２０８が形成されている。ＣＦ層２０８は、隔壁２０４と、赤色フィルタ膜２０５Ｒと、緑色フィルタ膜２０５Ｇと、青色フィルタ膜２０５Ｂとを有している。ガラス基板２０１上に、格子状に隔壁２０４を構成するブラックマトリックス２０２が形成され、ブラックマトリックス２０２の上にバンク２０３が形成されている。ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成された隔壁２０４によって、方形のフィルタ膜領域２２５が形成されている。フィルタ膜領域２２５には、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂが形成されている。赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂは、それぞれ上述した画素電極２１７のそれぞれと対向する位置及び形状に形成されている。

ＣＦ層２０８の上（素子基板２１０側）には、平坦化膜２０６が設けられている。平坦化膜２０６の上には、ＩＴＯなどの透明な導電性材料で形成された対向電極２０７が設けられている。平坦化膜２０６を設けることによって、対向電極２０７を形成する面を略平坦な面にしている。対向電極２０７は、上述した画素電極２１７が形成された領域全体を覆う大きさの連続した膜である。対向電極２０７は、図示省略した導通部を介して、素子基板２１０に形成された配線に接続されている。

対向基板２２０の液晶２３０と接する面には、画素電極２１７の全面を覆う配向膜２２８が設けられている。液晶２３０は、素子基板２１０と対向基板２２０とが貼り合わされた状態において、対向基板２２０の配向膜２２８と、素子基板２１０の配向膜２１８と、対向基板２２０と素子基板２１０とを貼り合わせるシール材とに囲まれた空間に充填されている。

なお、液晶表示パネル２００は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。

＜マザー対向基板＞
次に、マザー対向基板２０１Ａについて、図１１を参照して説明する。対向基板２２０は、分割されてガラス基板２０１となるマザー対向基板２０１Ａの上に上述したＣＦ層２０８などを形成した後、マザー対向基板２０１Ａを個別の対向基板２２０（ガラス基板２０１）に分割して形成される。図１１（ａ）は、対向基板の平面構造を模式的に示す平面であり、図１１（ｂ）は、マザー対向基板の平面構造を模式的に示す平面図である。なお、本実施形態においては、マザー対向基板２０１Ａの上にＣＦ層２０８などを形成したものや、ＣＦ層２０８などを形成する途中の状態のものも、マザー対向基板２０１Ａと表記する。

対向基板２２０は、厚みおよそ１．０ｍｍの透明な石英ガラスからなるガラス基板２０１を用いて形成されている。図１１（ａ）に示すように、対向基板２２０は、ガラス基板２０１の周囲の僅かな額縁領域を除く部分に、ＣＦ層２０８が形成されている。ＣＦ層２０８は、方形状のガラス基板２０１の表面に複数のフィルタ膜領域２２５をドットパターン状、本実施形態ではドット・マトリクス状に形成し、当該フィルタ膜領域２２５にフィルタ膜２０５を形成することによって形成されている。ガラス基板２０１のＣＦ層２０８が形成される領域にかからない位置には、図示省略したアライメントマークが形成されている。アライメントマークは、ＣＦ層２０８などを形成する諸工程を実行するためにガラス基板２０１を、液滴吐出装置１などの製造装置に取り付ける際などに位置決め用の基準マークとして用いられる。

図１１（ｂ）に示すように、マザー対向基板２０１Ａには、対向基板２２０のＣＦ層２０８が、分割されてガラス基板２０１となる部分のそれぞれに形成されている。

＜カラーフィルタ＞
次に、対向基板２２０に形成されているＣＦ層２０８及びＣＦ層２０８におけるフィルタ膜２０５（赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂ）の配列について、図１２を参照して説明する。図１２は、３色カラーフィルタのフィルタ膜の配列例を示す模式平面図である。

図１２に示すように、フィルタ膜２０５は、透光性のない樹脂材料によって格子状のパターンに形成された隔壁２０４によって区画されてドット・マトリクス状に並んだ複数の例えば方形状のフィルタ膜領域２２５を色材で埋めることによって形成される。例えば、フィルタ膜２０５を構成する色材を含む機能液をフィルタ膜領域２２５に充填し、当該機能液の溶媒を蒸発させて機能液を乾燥させることで、フィルタ膜領域２２５を埋める膜状のフィルタ膜２０５を形成する。

３色カラーフィルタにおける赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂの配列としては、例えば、ストライプ配列、モザイク配列、デルタ配列などが知られている。ストライプ配列は、図１２（ａ）に示したように、マトリクスの縦列が全て同色の赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂになる配列である。モザイク配列は、図１２（ｂ）に示したように、横方向の各行ごとにフィルタ膜２０５一つ分だけ色をずらした配列で、３色フィルタの場合、縦横の直線上に並んだ任意の３つのフィルタ膜２０５が３色となる配列である。デルタ配列は、図１２（ｃ）に示したように、フィルタ膜２０５の配置を段違いにし、３色フィルタの場合、任意の隣接する３つのフィルタ膜２０５が異なる色となる配色である。

図１２（ａ）、（ｂ）、又は（ｃ）に示した３色フィルタにおいて、フィルタ膜２０５は、それぞれが、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）のうちのいずれか１色の色材によって形成されている。隣り合って形成された赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂを各１個ずつ含むフィルタ膜２０５の組で、画像を構成する最小単位である絵素のフィルタ（以降、「絵素フィルタ２５４」と表記する。）を形成している。一つの絵素フィルタ２５４内の赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂのいずれか一つ又はそれらの組み合わせに光を選択的に通過させることにより、さらに、通過させる光の光量を調整することによりフルカラー表示を行う。

＜液晶表示パネルの形成＞
次に、液晶表示パネル２００を形成する工程について、図１３、図１４、及び図１５を参照して説明する。図１３は、液晶表示パネルを形成する過程を示すフローチャートである。図１４は、液晶表示パネルを形成する過程におけるフィルタ膜を形成する工程などを示す断面図であり、図１５は、液晶表示パネルを形成する過程における配向膜を形成する工程などを示す断面図である。液晶表示パネル２００は、それぞれ別々に形成した素子基板２１０と対向基板２２０とを、貼り合わせて形成する。

図１３に示したステップＳ１からステップＳ５を実行することで、対向基板２２０を形成する。
ステップＳ１では、ガラス基板２０１の上に、フィルタ膜領域２２５を区画形成するための隔壁部を形成する。隔壁部は、ブラックマトリックス２０２を格子状に形成し、その上にバンク２０３を形成して、ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成された隔壁２０４を格子状に配置することによって形成する。これにより、図１４（ａ）に示すように、ガラス基板２０１の表面に、隔壁２０４によって区画された方形のフィルタ膜領域２２５が形成される。

次に、図１３のステップＳ２では、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂを形成して、ＣＦ層２０８を形成する。赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂは、フィルタ膜領域２２５に、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂを構成する材料を含む機能液をそれぞれ充填して、当該機能液を乾燥させることによって形成する。

より詳細には、図１４（ｂ）に示すように、隔壁２０４によって区画されたフィルタ膜領域２２５が形成されたガラス基板２０１の表面に赤色吐出ヘッド１７Ｒを対向させる。当該赤色吐出ヘッド１７Ｒが有する吐出ノズル７８から、赤色フィルタ膜２０５Ｒを形成するべきフィルタ膜領域２２５Ｒに向けて、赤色機能液２５２Ｒを吐出することによって、フィルタ膜領域２２５Ｒに赤色機能液２５２Ｒを配置する。同時に、ガラス基板２０１に対して赤色吐出ヘッド１７Ｒを矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２０１に形成された全てのフィルタ膜領域２２５Ｒに赤色機能液２５２Ｒを配置する。配置した赤色機能液２５２Ｒを乾燥させることによって、図１４（ｃ）に示すように、フィルタ膜領域２２５Ｒに赤色フィルタ膜２０５Ｒを形成する。

同様にして、図１４（ｂ）に示した、緑色フィルタ膜２０５Ｇ又は青色フィルタ膜２０５Ｂを形成するべきフィルタ膜領域２２５Ｇ又はフィルタ膜領域２２５Ｂに、図１４（ｃ）に示すように、緑色機能液２５２Ｇ又は青色機能液２５２Ｂを配置する。緑色機能液２５２Ｇ及び青色機能液２５２Ｂを乾燥させることによって、図１４（ｄ）に示すように、フィルタ膜領域２２５Ｇ及びフィルタ膜領域２２５Ｂに緑色フィルタ膜２０５Ｇ又は青色フィルタ膜２０５Ｂを形成する。赤色フィルタ膜２０５Ｒと合わせて、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂからなる３色カラーフィルタが形成される。

次に、図１３のステップＳ３では、平坦化層を形成する。図１４（ｅ）に示すように、ＣＦ層２０８を構成する赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、青色フィルタ膜２０５Ｂ、及び隔壁２０４の上に、平坦化層としての平坦化膜２０６を形成する。平坦化膜２０６は、少なくともＣＦ層２０８の全面を覆う領域に形成する。平坦化膜２０６を設けることによって、対向電極２０７を形成する面を略平坦な面にしている。
次に、図１３のステップＳ４では、対向電極２０７を形成する。図１４（ｆ）に示すように、平坦化膜２０６の上の、少なくともＣＦ層２０８のフィルタ膜２０５が形成された領域の全面を覆う領域に、透明な導電材料を用いて、薄膜を形成する。この薄膜が、上述した対向電極２０７である。

次に、図１３のステップＳ５では、対向電極２０７の上に、対向基板２２０の配向膜２２８を形成する。配向膜２２８は、少なくともＣＦ層２０８の全面を覆う領域に形成する。
図１５（ｇ）に示すように、対向電極２０７が形成されたガラス基板２０１の表面に液滴吐出ヘッド１７を対向させて、液滴吐出ヘッド１７からガラス基板２０１の表面に向けて配向膜液２４２を吐出する。同時に、ガラス基板２０１に対して液滴吐出ヘッド１７を矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２０１の配向膜２２８を形成する領域の全面に配向膜液２４２を配置する。配置された配向膜液２４２を乾燥させることで、図１５（ｈ）に示すように、配向膜２２８を形成する。ステップＳ５を実施して、対向基板２２０が形成される。

図１３に示したステップＳ６からステップＳ８を実行することで、素子基板２１０を形成する。
ステップＳ６では、ガラス基板２１１の上に導電層や絶縁層や半導体層を形成することで、ＴＦＴ素子２１５などの素子や、走査線２１２や、信号線２１４や、絶縁層２１６などを形成する。走査線２１２及び信号線２１４は、素子基板２１０と対向基板２２０とが、貼り合わされた状態で、隔壁２０４に対向する位置に、即ち画素の周辺の位置に形成する。ＴＦＴ素子２１５は、画素の端に位置するように形成し、１画素に少なくとも１個のＴＦＴ素子２１５を形成する。

次に、ステップＳ７では、画素電極２１７を形成する。画素電極２１７は、素子基板２１０と対向基板２２０とが、貼り合わされた状態で、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂに対向する位置に、形成する。画素電極２１７は、ＴＦＴ素子２１５のドレイン電極と電気的に接続させる。

次に、ステップＳ８では、画素電極２１７などの上に、素子基板２１０の配向膜２１８を形成する。配向膜２１８は、少なくとも全ての画素電極２１７の全面を覆う領域に形成する。
図１５（ｉ）に示すように、画素電極２１７が形成されたガラス基板２１１の表面に液滴吐出ヘッド１７を対向させて、液滴吐出ヘッド１７からガラス基板２１１の表面に向けて配向膜液２４２を吐出する。同時に、ガラス基板２１１に対して液滴吐出ヘッド１７を矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２１１の配向膜２１８を形成する領域の全面に配向膜液２４２を配置する。配置された配向膜液２４２を乾燥させることで、図１５（ｊ）に示すように、配向膜２１８を形成する。ステップＳ８を実施して、素子基板２１０が形成される。

次に、図１３のステップＳ９では、形成された対向基板２２０と素子基板２１０とを貼り合わせて、図１５（ｋ）に示すように、間に液晶２３０を充填する。さらに、偏光板２３１と偏光板２３２とを貼りつけるなどして、液晶表示パネル２００を組立てる。複数のガラス基板２０１やガラス基板２１１からなるマザー基板に、複数の対向基板２２０や素子基板２１０を形成する場合には、複数の液晶表示パネル２００が形成されたマザー基板を個別の液晶表示パネル２００に分割する。あるいは、マザー対向基板２０１Ａやマザー素子基板を、対向基板２２０や素子基板２１０に分割する工程を実施した後にステップＳ９を実施する。ステップＳ９を実施して、液晶表示パネル２００を形成する工程を終了する。

＜配線基板の構成＞
次に、液滴吐出装置１を用いて機能液を配置して機能膜を形成する対象物の一例として、金属配線を形成する配線基板について、図１６を参照して説明する。図１６は配線基板のマザー基板を示す概略平面図である。
図１６に示すように、配線基板２７０は、半導体装置（ＩＣ）を平面実装する回路基板であり、ＩＣの入出力電極（バンプ）に対応して配置された導電性材料からなる配線としての入力配線２７１及び出力配線２７３と、絶縁膜２７７とにより構成されている。絶縁膜２７７は、二点鎖線で示した外形２７６の内側であって、二点鎖線で示した実装領域２７５以外の部分に形成されており、入力端子部２７２及び出力端子部２７４を避けると共に、実装領域２７５の内側に入力配線２７１と出力配線２７３のそれぞれの一部が露出するように複数の入力配線２７１及び出力配線２７３を覆っている。配線基板２７０は、マザー基板２７０Ａ上に、複数の配線基板２７０がマトリクス状に形成される。当該マザー基板２７０Ａを分割することによって、個別の配線基板２７０がり取り出される。マザー基板２７０Ａは、絶縁基板としてリジットなガラス基板、セラミック基板、ガラスエポキシ樹脂基板の他、フレキシブルな樹脂基板を用いることができる。分割方法としては、スクライブ、ダイシング、レーザーカット、プレスなどがマザー基板２７０Ａの材料に応じて選択できる。

本実施形態では、上述した液滴吐出装置１を用いた液滴吐出法により、導電性材料からなる入力配線２７１及び出力配線２７３や絶縁性材料からなる絶縁膜２７７を形成する。液滴吐出法を用いることで、各材料の無駄を省いて配線や絶縁膜を形成することができる。また、フォトリソグラフィ法に比べてパターン形成するための露光用マスクや現像、エッチングなどの工程を必要としないので、マザー基板２７０Ａのサイズによらず工程を簡略化することができる。

液滴吐出装置１から吐出する機能液に含まれる導電性材料としては、例えば金、銀、銅、アルミニウム、パラジウム、及びニッケルのうちの少なくともいずれか１つを含有する金属微粒子の他、これらの酸化物、並びに導電性ポリマーや超電導体の微粒子などが用いられる。これらの導電性微粒子は分散性を向上させるために表面に有機物などをコーティングして使うこともできる。導電性微粒子の粒径は１ｎｍ以上１．０μｍ以下であることが好ましい。１．０μｍより大きいと液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８に目詰まりが生じるおそれがある。また、１ｎｍより小さいと導電性微粒子に対するコーティング剤の体積比が大きくなり、得られる膜中の有機物の割合が過多となる。

分散媒としては、上記の導電性微粒子を分散できるもので凝集を起こさないものであれば特に限定されない。例えば、水の他に、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノールなどのアルコール類、ｎ−ヘプタン、ｎ−オクタン、デカン、ドデカン、テトラデカン、トルエン、キシレン、シメン、デュレン、インデン、ジペンテン、テトラヒドロナフタレン、デカヒドロナフタレン、シクロヘキシルベンゼンなどの炭化水素系化合物、またエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、１，２−ジメトキシエタン、ビス（２−メトキシエチル）エーテル、ｐ−ジオキサンなどのエーテル系化合物、さらにプロピレンカーボネート、γ−ブチロラクトン、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、シクロヘキサノンなどの極性化合物を例示できる。これらのうち、微粒子の分散性と分散液の安定性、また液滴吐出法への適用の容易さの点で、水、アルコール類、炭化水素系化合物、エーテル系化合物が好ましく、より好ましい分散媒としては、水、炭化水素系化合物を挙げることができる。

上記導電性微粒子の分散液（機能液）の表面張力は０．０２Ｎ／ｍ以上０．０７Ｎ／ｍ以下の範囲内であることが好ましい。液滴吐出法により機能液を吐出する際、表面張力が０．０２Ｎ／ｍ未満であると、機能液のノズル形成面７６ａに対する濡れ性が増大するため飛行曲りが生じやすくなり、０．０７Ｎ／ｍを超えると吐出ノズル７８の先端でのメニスカスの形状が安定しないため吐出量や吐出タイミングの制御が困難になる。表面張力を調整するため、上記分散液には、マザー基板２７０Ａとの接触角を大きく低下させない範囲で、フッ素系、シリコーン系、ノニオン系などの表面張力調節剤を微量添加するとよい。ノニオン系表面張力調節剤は、機能液のマザー基板２７０Ａへの濡れ性を向上させ、膜のレベリング性を改良し、膜の微細な凹凸の発生などの防止に役立つものである。上記表面張力調節剤は、必要に応じて、アルコール、エーテル、エステル、ケトンなどの有機化合物を含んでもよい。

上記分散液の粘度は、１ｍＰａ・ｓ以上５０ｍＰａ・ｓ以下であることが好ましい。液滴吐出法を用いて機能液を液滴として吐出する際、粘度が１ｍＰａ・ｓより小さい場合には吐出ノズル７８周辺部が機能液の流出により汚染されやすく、また粘度が５０ｍＰａ・ｓより大きい場合は、吐出ノズル７８のノズル孔での目詰まり頻度が高くなり円滑な液滴の吐出が困難となる。分散液の粘度は、分散液の温度が変わることによって変動するため、分散液の温度は略一定に保たれることが好ましい。

＜機能液配置＞
次に、液滴吐出装置１が有する液滴吐出ヘッド１７から機能液を吐出して、マザー対向基板２０１ＡにおけるＣＦ層２０８のフィルタ膜領域２２５などに機能液を配置するための工程について、図１７を参照して説明する。図１７は、機能液を配置する工程を示すフローチャートである。

図１７のステップＳ２１では、予め求められた描画中飽和温度を取得する。描画中飽和温度は、液滴吐出装置１が有する液滴吐出ヘッド１７からマザー対向基板２０１Ａなどに向けて機能液を吐出する描画吐出を実施している際に、液滴吐出ヘッド１７が駆動することによって液滴吐出ヘッド１７の温度が変化し、駆動を継続することによって略一定になった状態での温度である。描画中飽和温度は、吐出ユニット２が備える１２列のノズル列７８Ａについて、それぞれ個別に求められたデータが取得される。この場合のノズル列７８Ａが、ノズル群に相当する。

上述したように、液滴吐出ヘッド１７の温度としては、液滴吐出ヘッド１７の部分であって、当該部分の温度の変動が、液滴吐出ヘッド１７が吐出する液滴の重量の変動に関連付けて測定可能な部分の温度を用いる。例えばポンプ部７５の外壁面の温度や、ノズルプレート７６の温度や、振動板１５２の圧力室１５８を構成する部分の温度などのいずれかを用いることができる。
ポンプ部７５の外壁面や、振動板１５２の圧力室１５８を構成する部分の温度は、当該部分にヘッド温度センサ１４２を配設して測定することができる。振動板１５２の圧力室１５８を構成する部分の温度は、圧電素子１５９を構成する圧電材料を温度センサとして利用して測定することもできる。ポンプ部７５の外壁面や、ノズルプレート７６の温度は、非接触の赤外線温度センサを用いて離れた位置から測定することもできる。

描画中飽和温度は、例えば制御装置６５の入出力装置６８などから入力し、吐出装置制御部６のＲＡＭ４６やハードディスク４８に記憶する。この場合の制御装置６５の入出力装置６８などが、温度取得手段に相当する。

次に、ステップＳ２２では、暖機駆動を実施する。暖機駆動の駆動条件は、到達するべき描画中飽和温度に対応して、それぞれの温度ごとに予め求められて入力され、吐出装置制御部６のＲＡＭ４６やハードディスク４８などに記憶されている駆動条件を用いる。描画中飽和温度は、吐出ユニット２が備える１２列のノズル列７８Ａについて、それぞれ個別に求められているため、駆動条件は、吐出ユニット２が備える１２列のノズル列７８Ａのそれぞれの描画中飽和温度に対応した、それぞれ個別の駆動条件が用いられる。
吐出装置制御部６が、当該駆動条件で液滴吐出ヘッド１７を駆動させることによって、暖機駆動を実施する。この場合、吐出装置制御部６が、温度調整手段に相当する。

次に、ステップＳ２３では、吐出重量の測定を実施する。
重量測定の開始に際して、Ｘ軸リニアモータ２６によってＸ軸第２スライダ２３をＸ軸方向に移動させると共に、Ｙ軸リニアモータによってヘッドユニット５４をＹ軸方向に移動させる。この操作によって、Ｘ軸第２スライダ２３に固定された各重量測定装置９１の各受液容器９４を、ヘッドユニット５４の各ヘッド組５５の１番目の液滴吐出ヘッド１７に臨ませる。
次に、各受液容器９４に向けて、各ヘッド組５５の１番目の液滴吐出ヘッド１７の一列のノズル列７８Ａにおける全ノズルから、重量測定吐出を実施する。このとき、各ヘッド組５５の２番目及び３番目の液滴吐出ヘッド１７は、重量測定時フラッシングボックス９５に対向しており、重量測定時フラッシングボックス９５に向けて捨て吐出を実施する。予め定めた所定量の重量測定吐出が終わると、電子天秤９９により、受液容器９４に着弾した吐出液滴の重量の測定を行う。
ヘッド組５５の吐出重量測定は、ヘッド組５５が備える３個の液滴吐出ヘッド１７が有する６列のノズル列７８Ａについて、それぞれ吐出重量を測定する。重量測定装置９１を備える重量測定ユニット１９が、吐出量測定手段に相当する。

次に、ステップＳ２４では、ステップＳ２３で測定された吐出重量を規定の吐出重量と比較し、規定の吐出重量からのずれ量に対応して、吐出量を調整する。吐出量は、図９を参照して説明したように、圧電素子１５９に印加する駆動信号の駆動波形における高電位の電圧値（駆動電圧）を変えることによって、圧力室１５８に充填されて吐出される機能液の量を調整することで、調整することができる。あるいは、降圧吐出工程の時間や低電位の電圧値を調整することでも、調整することができるし、昇圧給液工程の時間や、吐出前待機状態の時間を調整することでも、調整することができる。

吐出量の調整は、吐出ユニット２が備える１２列のノズル列７８Ａについて、それぞれ実施する。ヘッドドライバ１７ｄから液滴吐出ヘッド１７に印加される駆動信号の駆動電圧値は、ＲＯＭ４５などに記憶されたプログラムで制御されるＣＰＵ４４によって調整される。この場合のＣＰＵ４４が、吐出量調整手段に相当する。

次に、ステップＳ２５では、ステップＳ２４で吐出量が調整された液滴吐出ヘッド１７からフィルタ膜領域２２５などに向けて、機能液を吐出する描画吐出を実施する。
ステップＳ２５の描画吐出を実施して、機能液を配置する工程を終了する。
なお、描画吐出が終了したマザー対向基板２０１Ａなどの加工対象物を、新たな加工対象物と交換する際は、液滴吐出ヘッド１７は休止状態であり、描画吐出を実施している際の液滴吐出ヘッド１７の温度が維持されない可能性がある。したがって、加工対象物の交換の間などのように、描画吐出の間に液滴吐出ヘッド１７が休止している場合には、ヘッド温度の変化を抑制するために、液滴吐出ヘッド１７の暖機駆動を実施することが好ましい。

＜暖機駆動の駆動条件の設定＞
次に、液滴吐出ヘッド１７における暖機駆動の駆動条件の設定方法について、図１８を参照して説明する。図１８（ａ）は、吐出重量（吐出量）とヘッド温度との関係を示すグラフであり、図１８（ｂ）は、描画吐出を実施している時間とヘッド温度との関係を示すグラフであり、図１８（ｃ）は、暖機駆動及び描画吐出を実施している時間とヘッド温度との関係を示すグラフであり、図１８（ｄ）は、暖機駆動電圧を推定する方法を示すグラフである。

図１８（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド１７の吐出量は、液滴吐出ヘッド１７のヘッド温度に依存する。上述したように、液滴吐出ヘッド１７のヘッド温度としては、液滴吐出ヘッド１７の部分であって、当該部分の温度の変動が、液滴吐出ヘッド１７が吐出する液滴の重量の変動に関連付けて測定可能であって、温度図１８（ａ）に示すような関係が得られる部分の温度を用いる。

図１８（ｂ）に示すように、描画吐出を実施している液滴吐出ヘッド１７の温度は、描画吐出の実施時間と共に上昇して、描画中飽和温度ＨＭ℃になって略安定する。
図８を参照して説明したように、シフトレジスタ８５に伝送されたノズルデータは、ラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路８６に入力されるタイミングでラッチされ、さらにレベルシフタ８７でスイッチ８８用のゲート信号に変換される。ノズルデータが「ＯＮ」の場合にはスイッチ８８が開いて圧電素子１５９に駆動信号（ＣＯＭ）が供給され、対応する吐出ノズル７８からは機能液が液滴となって吐出される。吐出ノズル７８において、ラッチされた回数に対する機能液が液滴となって吐出される回数を、吐出ノズルの「吐出率」と表記する。液滴吐出ヘッド１７が有する全ての吐出ノズル７８の吐出率の平均値を、液滴吐出ヘッド１７の吐出率と表記する。ノズル列７８Ａが有する全ての吐出ノズル７８の吐出率の平均値を、ノズル列７８Ａの吐出率と表記し、複数の吐出ノズル７８からなるノズル群が有する全ての吐出ノズル７８の吐出率の平均値を、当該ノズル群の吐出率と表記する。
描画する形状は様々であり、描画吐出を実施している液滴吐出ヘッド１７の吐出率は、描画する形状によって異なっている。液滴吐出ヘッド１７の吐出率が異なると、圧電素子１５９や圧電素子１５９の駆動回路などの稼働状態が異なるため、描画中飽和温度ＨＭ℃も、それぞれの吐出率に対応した、異なる値となる。

図１８（ｃ）に示すように、暖機駆動を実施することなく、時点Ｓにおいて描画吐出を開始すると、描画吐出を実施している液滴吐出ヘッド１７の温度は、図１８（ｂ）に示した場合と同様に、一定時間の描画吐出後に、概ね描画中飽和温度ＨＭ℃になって、略安定する。
適正な吐出量が得られる設計上の駆動電圧のａ％の駆動電圧である駆動電圧ａで暖機駆動をすると、ヘッド温度はＨａ℃に収束し、時点Ｓにおけるヘッド温度は、Ｈａ℃となる。Ｈａ℃のヘッド温度で描画吐出を開始すると、図１８（ｃ）にａ０と表記した温度上昇曲線でヘッド温度が上昇して、略描画中飽和温度ＨＭ℃になって略安定する。曲線ａ０の、時点Ｓにおける傾きを傾きａ１と表記する。
適正な吐出量が得られる設計上の駆動電圧のｂ％の駆動電圧である駆動電圧ｂで暖機駆動をすると、ヘッド温度はＨｂ℃に収束し、時点Ｓにおけるヘッド温度は、Ｈｂ℃となる。Ｈｂ℃のヘッド温度で描画吐出を開始すると、図１８（ｃ）にｂ０と表記した温度下降曲線でヘッド温度が下降して、略描画中飽和温度ＨＭ℃になって略安定する。曲線ｂ０の、時点Ｓにおける傾きを傾きｂ１と表記する。

図１８（ｄ）に示すように、縦軸に傾き、横軸に暖機駆動電圧をとって、（ａ，ａ１）点及び（ｂ，ｂ１）点を通る直線が横軸と交わる点、すなわち傾きが０になる場合の暖機駆動電圧の値Ｍを求める。
図１８（ｃ）に示すように、適正な吐出量が得られる設計上の駆動電圧のＭ％の駆動電圧である駆動電圧をＭで暖機駆動を実施すると、ヘッド温度はＨＭ℃に収束し、時点Ｓにおけるヘッド温度は、描画中飽和温度ＨＭ℃となると推定される。描画中飽和温度ＨＭ℃のヘッド温度で描画吐出を開始すると、描画吐出の間に液滴吐出ヘッド１７の温度が変動する可能性はほとんどないため、描画吐出開始時から液滴吐出ヘッド１７の温度は略安定している。
駆動電圧をＭで暖機駆動を実施して、到達する液滴吐出ヘッド１７の温度が描画中飽和温度ＨＭ℃とは異なっていた場合には、暖機駆動の駆動電圧をＭから微調整して、当該駆動電圧を用いて再度暖機駆動を行い、描画中飽和温度ＨＭ℃が得られる適切な暖機駆動の駆動電圧を求める。

第一の実施形態によれば、以下に記載する効果が得られる。
（１）吐出重量測定に先立って暖機駆動を実施して、吐出重量測定を実施する際の液滴吐出ヘッド１７の温度を描画中飽和温度に調整することによって、吐出重量測定を実施する間の液滴吐出ヘッド１７の温度を、描画中の温度と略同一にすることができる。これにより、吐出重量測定時の液滴吐出ヘッド１７の温度と、描画吐出時の液滴吐出ヘッド１７の温度と、の差に起因して生ずる可能性がある吐出重量の測定誤差を抑制することができる。

（２）駆動電圧ａ又は駆動電圧ｂで暖機駆動を実施し、描画吐出開始時点のヘッド温度の上昇又は下降曲線の傾きから、暖機駆動によってヘッド温度を描画中飽和温度ＨＭ℃にすることができる駆動電圧を推定している。これにより、実際に描画吐出を実施することによって暖機駆動の駆動電圧を求める場合に比べて、駆動電圧を求める時間を短縮することができる。駆動電圧を求めるために消費する機能液や被加工部材の消費も抑制することができる。

（３）描画中飽和温度の測定、ヘッド温度の調整、吐出重量の測定、及び測定結果に対応する吐出量の調整を、ノズル列７８Ａごとに実施している。これにより、吐出ユニット２におけるノズル列７８Ａごとの温度のばらつきが存在しても、当該ばらつきを是正して、ノズル列７８Ａごとの温度のばらつきによる影響を抑制した吐出重量の測定及び吐出量の調整を実施することができる。

（４）描画中飽和温度の測定、ヘッド温度の調整、吐出重量の測定、及び測定結果に対応する吐出量の調整を、ノズル列７８Ａごとに実施している。これにより、個別の吐出ノズル７８ごとに実施する場合に比べて、効率良く描画中飽和温度の測定、ヘッド温度の調整、吐出重量の測定、及び測定結果に対応する吐出量の調整を実施することができる。一列のノズル列が有する吐出ノズル７８には、共通の液たまり１５５を介して機能液が供給されるため、ノズル列が有する吐出ノズル７８は、給液ユニット６０から液たまり１５５に至る機能液の供給経路が共通である。このため、供給される機能液の条件が略均等であり、ノズル列が有する吐出ノズル７８間の温度のばらつきも小さいと考えられる。

（５）暖機駆動は、暖機駆動を実施することによってヘッド温度を描画中飽和温度ＨＭ℃にすることができる駆動電圧で実施している。このため、暖機駆動を実施すると、液滴吐出ヘッド１７のヘッドの温度は、少なくとも描画中飽和温度ＨＭ℃に近づく方向に変化する。したがって、暖機駆動を実施する時間の長さによって過剰にヘッド温度を変動させる可能性を非常に小さくすることができる。

（第二の実施形態）
次に、液状体吐出装置、液状体吐出方法、電気光学装置の製造装置、電気光学装置の製造方法、電子機器の製造装置、及び電子機器の製造方法の第二の実施形態について、説明する。本実施形態に係る液状体吐出装置としての液滴吐出装置は、第一の実施形態と同様に、液晶装置の製造ラインに組み込まれているものである。この液滴吐出装置は、色要素膜を構成する材料などを含む機能液を吐出可能なインクジェット方式の液滴吐出ヘッドを用い、描画対象物（被加工物）としてのガラス基板などの上に当該機能液を配置することで、カラーフィルタの色要素膜などの機能膜を形成する。
本実施形態の液滴吐出装置３０１（図２０参照）は、第一の実施形態の液滴吐出装置１と基本的な構成及び機能は共通である。液滴吐出装置３０１の液滴吐出装置１と異なる構成、及び液滴吐出装置３０１を用いてフィルタ膜２０５を形成する描画工程について説明する。

＜液滴吐出ヘッド、及び温度調整ユニットの取り付け＞
最初に、吐出ユニット３０２（図２０参照）が有するヘッドユニット３５４における、液滴吐出ヘッド１７のキャリッジプレート５３への取付構造、及び温度調整ユニット１１０の取付構造について、図１９を参照して説明する。図１９は、液滴吐出ヘッド、及び温度調整ユニットのキャリッジプレートへの取付構造を示す図である。図１９（ａ）は、キャリッジプレートに取り付けられた液滴吐出ヘッド及び温度調整ユニットをノズルプレート側からみた平面図であり、図１９（ｂ）は、図１９（ａ）にＡ−Ａで示した断面の断面図である。図１９（ｃ）は、キャリッジプレートに取り付けられた液滴吐出ヘッド及び温度調整ユニットの側面図であり、図１９（ｄ）は、キャリッジプレートに取り付けられた温度調整ユニットの側面図であり、図１９（ｅ）は、温度調整ユニットの端子基板の平面図である。

図１９（ａ）、（ｂ）、及び（ｃ）に示したように、液滴吐出ヘッド１７は、主ヘッド保持部材１０２及び副ヘッド保持部材１０３を介して、キャリッジプレート５３に取り付けられている。主ヘッド保持部材１０２及び副ヘッド保持部材１０３は、液滴吐出ヘッド１７をキャリッジプレート５３に精度良く位置決めすると共に、キャリッジプレート５３への着脱を容易にするためのものである。
キャリッジプレート５３にはヘッド開口５３ａが形成されており、主ヘッド保持部材１０２がヘッド開口５３ａを略覆うように、キャリッジプレート５３に固定されている。主ヘッド保持部材１０２は、主ヘッド保持部材１０２に形成された孔を貫通してキャリッジプレート５３に形成されたねじ孔に螺合した３本の保持部材ねじ１０８により、キャリッジプレート５３に固定されている。以降、主ヘッド保持部材１０２がセットされた側を「裏面側」と表記し、反対側を「表面側」と表記する。

主ヘッド保持部材１０２にはフランジ開口１０２ａが形成されており、副ヘッド保持部材１０３は、その長辺方向の両端部でフランジ開口１０２ａを跨ぐようにして、主ヘッド保持部材１０２の裏面側に固定されている。副ヘッド保持部材１０３は、副ヘッド保持部材１０３に形成された孔を貫通して主ヘッド保持部材１０２に形成されたねじ孔に螺合した２本の保持部材ねじ１０８により、主ヘッド保持部材１０２に固定されている。

副ヘッド保持部材１０３は、ステンレスなどで構成されており、略長方形の平板状に形成されている。副ヘッド保持部材１０３には、その中央に液滴吐出ヘッド１７のヘッド本体７４が挿通する方形のヘッド本体開口１０３ｄが形成されている。上記したように、副ヘッド保持部材１０３は、フランジ開口１０２ａを跨ぐようにして主ヘッド保持部材１０２の裏面側にセットされている。これに対し液滴吐出ヘッド１７は、そのヘッド本体７４をヘッド本体開口１０３ｄに挿通してヘッド本体７４を副ヘッド保持部材１０３の裏面側に突出させるようにして、主ヘッド保持部材１０２の表面側からセットされている。液滴吐出ヘッド１７は、副ヘッド保持部材１０３に形成された孔を貫通してフランジ部７９（図３参照）に形成されたねじ孔７９ａ（図３参照）に螺合した２本のヘッド止めねじ１０７により、副ヘッド保持部材１０３に固定されている。

副ヘッド保持部材１０３のヘッド本体開口１０３ｄの周囲には、上記したねじ孔７９ａに対応する２つの貫通孔、及びヘッド本体開口１０３ｄの中心線上において第一調整穴１０３ａと第二調整穴１０３ｂとが形成されている。第一調整穴１０３ａ及び第二調整穴１０３ｂは、位置補正用の調整ピンが係合される部位である。

また、ヘッド本体開口１０３ｄの中心線上において、第一調整穴１０３ａ又は第二調整穴１０３ｂのヘッド本体開口１０３ｄの反対側には、それぞれ接着剤孔１０３ｃが、ヘッド本体開口１０３ｄに関して略対称位置に形成されている。各接着剤孔１０３ｃは副ヘッド保持部材１０３の横断方向に延びる長孔となっている。接着剤孔１０３ｃに接着剤を注入して、当該接着剤（図示省略）によって副ヘッド保持部材１０３を主ヘッド保持部材１０２に接着固定する。
１個の液滴吐出ヘッド１７に対応して、２個の温度調整ユニット１１０が取り付けられている。温度調整ユニット１１０は、ヘッド本体７４における液滴吐出ヘッド１７のノズル列７８Ａ（図３参照）の延在方向に延在する外面に沿って固定されている。

図１９（ｄ）に示したように、温度調整ユニット１１０は、温度調整素子１１１と端子基板１１２とを有している。端子基板１１２は、ベースフィルム１１６と伝熱パターン１１４とカバーフィルム１１７とが、伝熱パターン１１４を中に挟む状態で積層されて形成されている。ベースフィルム１１６及びカバーフィルム１１７は、例えばポリイミドのような、可撓性に富む材料で形成されている。伝熱パターン１１４は、例えば銅のような熱伝導率が高い材料で、曲げ変形可能な箔状又は薄板状の形状に形成されている。
伝熱パターン１１４におけるカバーフィルム１１７によって覆われておらず露出した部分が、液滴吐出ヘッド１７のヘッド本体７４の外壁に熱伝導性に富む材料で形成された接着剤を用いて接着されている。ベースフィルム１１６における図１９（ｅ）に示した開口部１１６ａの部分で露出した伝熱パターン１１４には、温度調整素子１１１が固定されている。温度調整素子１１１は、フレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣケーブル）（図示省略）によって、電気的に吐出装置制御部３０６（図２０参照）に接続されている。ＦＦＣケーブルを介して、吐出装置制御部３０６から温度調整素子１１１に制御信号が送られることによって、温度調整素子１１１の温度が制御される。
温度調整素子１１１から、温度調整素子１１１に固定された端子基板１１２の伝熱パターン１１４を介して、伝熱パターン１１４が接着されている液滴吐出ヘッド１７のヘッド本体７４の外壁に熱エネルギが伝導される、又は液滴吐出ヘッド１７から熱エネルギが奪われる。これによって、液滴吐出ヘッド１７の温度が調整される。図３を参照して説明したように、ヘッド本体７４の当該外壁の内側には、圧力室１５８が形成されており、外壁が温度調整されることで、圧力室１５８や、ノズルプレート７６の圧力室１５８に臨む部分や、圧力室１５８内の機能液などが、温度調整される。温度調整素子１１１としては、例えばペルチェ素子を用いる。ペルチェ素子は、印加する電圧の極性を変えるだけで加熱素子又は冷却素子として機能する。

図１９（ｅ）に示したように、伝熱パターン１１４は、伝熱基部１１４ａと、端子部１１４ｂとを有している。伝熱基部１１４ａと端子部１１４ｂとの境界部分には、複数の調整孔１１５が形成されている。
伝熱基部１１４ａは、片面がカバーフィルム１１７に覆われており、もう一面は、周辺部分がベースフィルム１１６に覆われており、ベースフィルム１１６の開口部１１６ａの部分が露出している。この伝熱基部１１４ａの露出部分に、温度調整素子１１１が、熱伝導可能に接続される。

端子部１１４ｂは、片面が伝熱基部１１４ａと共にベースフィルム１１６に覆われている。もう片面は、カバーフィルム１１７が、伝熱基部１１４ａから調整孔１１５の途中の部分までを覆っており、端子部１１４ｂは露出している。露出した端子部１１４ｂがヘッド本体７４の外壁に熱伝導可能に接続される。
伝熱基部１１４ａと端子部１１４ｂとの境界部分に形成されている複数の調整孔１１５のそれぞれにおいて、調整孔１１５の幅を変えることによって、伝熱基部１１４ａと端子部１１４ｂとの境界部分の幅、及び伝熱基部１１４ａと端子部１１４ｂとを連結する部分の配置を調整することができる。伝熱基部１１４ａと端子部１１４ｂとを連結する部分の配置を調整することにより、単位時間当たりに伝わる熱量をノズル列における吐出ノズルの配列方向において異ならせることができる。

＜液滴吐出装置の電気的構成＞
次に、上述したような構成を有する液滴吐出装置３０１を駆動するための電気的構成について、図２０を参照して説明する。図２０は、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図である。液滴吐出装置３０１は、第一の実施形態における液滴吐出装置１と同様に、制御装置６５を介してデータの入力や、稼働開始や停止などの制御指令の入力を行うことで、制御される。

図２０に示したように、液滴吐出装置３０１の吐出装置制御部３０６は、温調素子ドライバ１１１ｄを備えており、その他は、液滴吐出装置１の吐出装置制御部６と基本的に同様の構成を有している。

温調素子ドライバ１１１ｄには、温度調整ユニット１１０の温度調整素子１１１が接続されている。温調素子ドライバ１１１ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、温度調整素子１１１を駆動して、液滴吐出ヘッド１７の温度を調整する。

検出部インタフェイス４３には、液滴吐出ヘッド１７の温度を測定するヘッド温度センサ１４２などの各種センサを有する検出部４２が接続されている。検出部４２の各センサによって検出された検出情報が、検出部インタフェイス４３を介してＣＰＵ４４に伝達される。

＜機能液配置＞
次に、液滴吐出装置３０１が有する液滴吐出ヘッド１７から機能液を吐出して、マザー対向基板２０１ＡにおけるＣＦ層２０８のフィルタ膜領域２２５などに機能液を配置するための工程について、図２１を参照して説明する。図２１は、機能液を配置する工程を示すフローチャートである。

図２１のステップＳ３１では、予め求められた描画中飽和温度を取得する。描画中飽和温度は、液滴吐出装置３０１が有する液滴吐出ヘッド１７からマザー対向基板２０１Ａなどに向けて機能液を吐出する描画吐出を実施している際に、液滴吐出ヘッド１７が駆動することによって液滴吐出ヘッド１７の温度が変化し、描画吐出のための駆動を継続することによって略一定になった状態での温度である。描画中飽和温度は、吐出ユニット３０２が備える１２０列のノズル列７８Ａについて、それぞれ個別に求められたデータが取得される。この場合のノズル列７８Ａが、ノズル群に相当する。

ここで、液滴吐出ヘッド１７の温度としては、液滴吐出ヘッド１７の部分であって、当該部分の温度の変動が、液滴吐出ヘッド１７が吐出する液滴の重量の変動に関連付けて測定可能な部分の温度を用いる。例えばポンプ部７５の外壁面の端子基板１１２が当接していない部分の温度や、ノズルプレート７６の温度や、振動板１５２の圧力室１５８を構成する部分の温度などのいずれかを用いることができる。
ポンプ部７５の外壁面や、振動板１５２の圧力室１５８を構成する部分の温度は、当該部分に温度センサを配設して測定することができる。振動板１５２の圧力室１５８を構成する部分の温度は、圧電素子１５９を構成する圧電材料を温度センサとして利用して測定することもできる。ポンプ部７５の外壁面や、ノズルプレート７６の温度は、非接触の赤外線温度センサを用いて離れた位置から測定することもできる。

描画中飽和温度は、例えば制御装置６５の入出力装置６８などから入力し、吐出装置制御部３０６のＲＡＭ４６やハードディスク４８に記憶する。この場合の制御装置６５の入出力装置６８などが、温度取得手段に相当する。

次に、ステップＳ３２では、液滴吐出ヘッド１７のヘッド温度を調整する。上述したように、吐出装置制御部３０６によって、温度調整ユニット１１０の温度調整素子１１１の温度を制御して、液滴吐出ヘッド１７の温度を調整することが可能であり、温度調整ユニット１１０を用いて液滴吐出ヘッド１７の温度を描画中飽和温度に調整する。
より詳細には、液滴吐出ヘッド１７においてその部分の温度をヘッド温度の描画中飽和温度をとした部分の温度と、温度調整素子１１１の温度との相互関係を予め求めて、ヘッド温度と温度調整素子１１１との温度関係テーブルを作成し、吐出装置制御部３０６のＲＡＭ４６やハードディスク４８に記憶しておく。次に、ステップＳ３１で入力された描画中飽和温度を温度関係テーブルに照らして、描画中飽和温度に対応する温度調整素子１１１の温度を求める。次に、温度調整素子１１１の温度を、求めた描画中飽和温度に対応する温度調整素子１１１の温度に調整する。

上述したように、温度調整ユニット１１０は、１個の液滴吐出ヘッド１７に対して２個配設されており、それぞれの温度調整ユニット１１０は、液滴吐出ヘッド１７のノズル列７８Ａに沿うように固定されている。このため、温度調整ユニット１１０を用いて、ノズル列７８Ａごとに温度を調整することができる。描画中飽和温度は、吐出ユニット３０２が備える１２０列のノズル列７８Ａについて、それぞれ個別に求められており、描画中飽和温度に対応する温度調整素子１１１の温度は、吐出ユニット３０２が備える１２０列のノズル列７８Ａのそれぞれの描画中飽和温度に対応した、それぞれ個別の温度が用いられる。
吐出装置制御部３０６及び温度調整ユニット１１０が、温度調整手段に相当し、加熱手段又は冷却手段にも相当する。

次に、ステップＳ３３では、吐出重量の測定を実施する。重量測定の開始に際して、Ｘ軸リニアモータ２６によってＸ軸第２スライダ２３をＸ軸方向に移動させると共に、Ｙ軸リニアモータによってヘッドユニット３５４をＹ軸方向に移動させる。この操作によって、Ｘ軸第２スライダ２３に固定された各重量測定装置９１の各受液容器９４を、ヘッドユニット３５４の各ヘッド組５５の１番目の液滴吐出ヘッド１７に臨ませる。
次に、各受液容器９４に向けて、各ヘッド組５５の１番目の液滴吐出ヘッド１７の一列のノズル列７８Ａにおける全ノズルから、重量測定吐出を実施する。このとき、各ヘッド組５５の２番目及び３番目の液滴吐出ヘッド１７は、重量測定時フラッシングボックス９５に対向しており、重量測定時フラッシングボックス９５に向けて捨て吐出を実施する。予め定めた所定数の液滴の重量測定吐出が終わると、電子天秤９９により、受液容器９４に着弾した吐出液滴の重量の測定を行う。

ヘッド組５５の吐出重量測定は、ヘッド組５５が備える３個の液滴吐出ヘッド１７が有する６列のノズル列７８Ａについて、それぞれ吐出重量を測定する。上述したように、液滴吐出装置３０１は、２組のヘッド組５５を有するヘッドユニット３５４を１０個備えており、２個の重量測定ユニット１９を有する重量測定ブロック９１Ａを１０個備えている。１個の重量測定ユニット１９によって、１組のヘッド組５５が有する６列のノズル列７８Ａについての吐出重量測定を実施することで、液滴吐出装置３０１が有する１２０列のノズル列７８Ａについての吐出重量測定を実施することができる。重量測定装置９１を備える重量測定ユニット１９が、吐出量測定手段に相当する。

次に、ステップＳ３４では、ステップＳ３３で測定された吐出重量を規定の吐出重量と比較し、規定の吐出重量からのずれ量に対応して、吐出量を調整する。吐出量は、図９を参照して説明したように、圧電素子１５９に印加する駆動信号の駆動波形における高電位の電圧値（駆動電圧）を変えることによって、圧力室１５８に充填されて吐出される機能液の量を調整することで、調整することができる。あるいは、降圧吐出工程の時間や低電位の電圧値を調整することでも、調整することができるし、昇圧給液工程の時間や、吐出前待機状態の時間を調整することでも、調整することができる。

吐出量の調整は、吐出ユニット３０２が備える１２０列のノズル列７８Ａについて、それぞれ実施する。ヘッドドライバ１７ｄから液滴吐出ヘッド１７に印加される駆動信号の駆動電圧値は、ＲＯＭ４５などに記憶されたプログラムで制御されるＣＰＵ４４によって調整される。この場合のＣＰＵ４４が、吐出量調整手段に相当する。

次に、ステップＳ３５では、ステップＳ３４で吐出量が調整された液滴吐出ヘッド１７からフィルタ膜領域２２５などに向けて、機能液を吐出する描画吐出を実施する。
ステップＳ３５の描画吐出を実施して、機能液を配置する工程を終了する。
なお、描画吐出が終了したマザー対向基板２０１Ａなどの加工対象物を、新たな加工対象物と交換する際は、液滴吐出ヘッド１７は休止状態であり、描画吐出を実施している際の液滴吐出ヘッド１７の温度が維持されない可能性がある。したがって、加工対象物の交換の間などのように、描画吐出の間に液滴吐出ヘッド１７が休止している場合には、その間は、温度調整ユニット１１０を稼働させて、液滴吐出ヘッド１７のヘッド温度調整を実施することが好ましい。

＜他の温度調整ユニット、及び他の温度調整ユニットの取り付け＞
次に、温度調整ユニット１１０とは異なる温度調整ユニット３１０の構成、及び温度調整ユニット３１０を有するヘッドユニット３７４における液滴吐出ヘッド１７のキャリッジプレート５３への取付構造及び温度調整ユニット３１０の取付構造について、図２２を参照して説明する。図２２は、温度調整ユニットの構成、並びに液滴吐出ヘッド、及び温度調整ユニットのキャリッジプレートへの取付構造を示す図である。図２２（ａ）は、温度調整ユニットの端子基板の平面図であり、図２２（ｂ）は、キャリッジプレートに取り付けられた液滴吐出ヘッド及び温度調整ユニットの側面図であり、図２２（ｃ）は、キャリッジプレートに取り付けられた液滴吐出ヘッド及び温度調整ユニットをノズルプレート側からみた平面図である。

図２２（ａ）及び（ｂ）に示したように、温度調整ユニット３１０は、温度調整素子３１１と端子基板３１２とを有している。端子基板３１２は、ベースフィルム３１６と伝熱パターン３１４とカバーフィルム３１７とが、伝熱パターン３１４を中に挟む状態で積層されて形成されている。ベースフィルム３１６及びカバーフィルム３１７は、例えばポリイミドのような、可撓性に富む材料で形成されている。伝熱パターン３１４は、例えば銅のような熱伝導率が高い材料で、曲げ変形可能な形状に形成されている。

伝熱パターン３１４におけるカバーフィルム３１７によって覆われておらず露出した部分が、液滴吐出ヘッド１７のヘッド本体７４の外壁に、熱伝導性に富む材料で形成された接着剤を用いて接着されている。ベースフィルム３１６におけ開口部３１６ａの部分で露出した伝熱パターン３１４には、温度調整素子３１１が熱伝導性に富む材料で形成された接着剤を用いて接着されて固定されている。端子基板３１２は、複数の伝熱パターン３１４を有しており、伝熱パターン３１４のそれぞれに、温度調整素子３１１が固定されている。
温度調整素子３１１は、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）によって、温度調整素子１１１と同様に、電気的に吐出装置制御部３０６（図２０参照）と同様の吐出装置制御部に接続されており、吐出装置制御部によって温度が制御される。複数の温度調整素子３１１は、それぞれ独立して温度を制御される。
吐出装置制御部及び温度調整ユニット３１０が、温度調整手段に相当し、加熱手段又は冷却手段にも相当する。

温度調整素子３１１によって、温度調整素子３１１が固定された伝熱パターン３１４が温度調整され、伝熱パターン３１４が接着されているヘッド本体７４の外壁が温度調整される。図３を参照して説明したように、当該外壁の内側には、圧力室１５８が形成されており、外壁が温度調整されることで、圧力室１５８や、ノズルプレート７６の圧力室１５８に臨む部分や、圧力室１５８内の機能液などが、温度調整される。

図２２（ｃ）に示したように、ヘッドユニット３７４における液滴吐出ヘッド１７のキャリッジプレート５３への取り付けは、図１９を参照して説明したヘッドユニット３５４における液滴吐出ヘッド１７のキャリッジプレート５３への取り付けと同様である。
ヘッドユニット３７４における温度調整ユニット３１０のキャリッジプレート５３への取り付けは、図１９を参照して説明したヘッドユニット３５４における温度調整ユニット１１０のキャリッジプレート５３への取り付けと同様である。

＜電子機器＞
次に、液滴吐出装置１又は液滴吐出装置３０１を用いて機能液を配置して機能膜を形成する対象物の一例として、電子機器について、図２３を参照して説明する。本実施形態の電子機器は、第一の実施形態で説明した液晶表示パネル２００のような液晶表示装置を備えた電子機器である。本実施形態の電子機器の具体例について説明する。

図２３は、電子機器の一例である大型液晶テレビを示す外観斜視図である。図２３に示すように、電子機器の一例である大型液晶テレビ４００は、表示部４０１を備えている。表示部４０１は、第一の実施形態で説明した液晶表示パネル２００のような液晶表示装置を表示手段として搭載している。

第二の実施形態によれば、第一の実施形態によって得られる効果に加えて、以下に記載する効果が得られる。
（１）ヘッドユニット３５４及びヘッドユニット３７４は、温度調整ユニット１１０又は温度調整ユニット３１０を備えている。このため、液滴吐出装置３０１は、温度調整ユニット１１０又は温度調整ユニット３１０を用いて液滴吐出ヘッド１７の温度を描画中飽和温度に調整することができる。

（２）温度調整ユニット１１０及び温度調整ユニット３１０は、２列のノズル列７８Ａを備える１個の液滴吐出ヘッド１７に対して、それぞれ２個配設されており、ノズル列７８Ａの延在方向に略並行な外壁の温度を調整可能に固定されている。この構成により、温度調整ユニット１１０又は温度調整ユニット３１０を用いて、ノズル列７８Ａごとに温度を調整することができる。

（３）温度調整ユニット３１０の端子基板３１２は、複数の伝熱パターン３１４を有しており、伝熱パターン３１４のそれぞれに、温度調整素子３１１が固定されている。これにより、伝熱パターン３１４ごとに独立して温度を調整することができる。したがって、伝熱パターン３１４が対応する範囲の個別の吐出ノズル７８又は複数の吐出ノズル７８ごとに、独立して温度を調整することができる。

（４）温度調整ユニット１１０及び温度調整ユニット３１０は、可撓性を有する端子基板１１２又は端子基板３１２を介して、液滴吐出ヘッド１７と熱伝導可能に接続されている。このため、温度調整ユニット１１０及び温度調整ユニット３１０を液滴吐出ヘッド１７に対して厳密に位置合わせすることを必要とせず、温度調整ユニット１１０及び温度調整ユニット３１０を、容易にヘッドユニット３５４又はヘッドユニット３７４に取り付けることができる。

以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。

（変形例１）前記実施形態においては、吐出手段としての液滴吐出ヘッド１７におけるヘッド温度の所定のパターン形成時の温度としての描画中飽和温度を求め、吐出重量測定に先立って、描画中飽和温度になるように、ヘッド温度を調整していた。しかし、所定のパターン形成時の温度を求め、吐出重量測定に先立って、所定のパターン形成時の温度になるように、温度を調整する対象は吐出手段の温度に限らない。液状体の所定のパターン形成時の温度を求め、吐出重量測定に先立って、液状体の温度を所定のパターン形成時の温度になるように調整してもよい。液状体の温度が変動すると、液状体の粘度が変動する。吐出量（吐出重量）は吐出される液状体の粘度の影響を受ける。液状体の温度を調整して、重量測定時の液状体の温度を所定のパターン形成時の液状体の温度に調整することによって、重量測定時における液状体の温度と所定のパターン形成時の液状体の温度との差異に起因する吐出重量の変化を抑制できるため、重量測定時に、所定のパターン形成時の吐出重量を忠実に再現することができる。これにより、正確な吐出重量を測定することができる。

（変形例２）前記実施形態においては、ノズル群としてのノズル列７８Ａごとに、描画中飽和温度を求めたり、温度を調整したり、吐出重量を測定したり、吐出量を調整したりしていたが、ノズル群がノズル列７８Ａであることは必須ではない。ノズル群は、当該ノズル群に含まれる吐出ノズルの温度のばらつきに起因する吐出量のばらつきが、描画された機能膜の特性などに影響を及ぼさない程度の範囲にあれば、どのような吐出ノズルの集合であってもよい。例えば、液滴吐出ヘッド１７のような１個の吐出ヘッドに含まれる吐出ノズルが一つのノズル群であってもよいし、図１４を参照して説明した赤色吐出ヘッド１７Ｒなどが有する吐出ノズル７８のように、同一の機能液を吐出する吐出ノズルが一つのノズル群であってもよい。吐出ノズルごとに温度のばらつきが大きい場合には、単独の吐出ノズルが一つのノズル群であってもよいし、液状体吐出装置が有する全ての吐出ノズルにおいて温度のばらつきが小さい場合には、液状体吐出装置が有する全ての吐出ノズルが一つのノズル群であってもよい。
なお、ここでの吐出ノズルの温度は、例えば液滴吐出ヘッド１７では、圧力室１５８の外壁面の温度や、ノズルプレート７６の吐出ノズル７８の周囲の温度や、振動板１５２の圧力室１５８を構成する部分の温度などである。あるいは、圧力室１５８内の機能液の温度や、吐出ノズル７８内の機能液の温度や、吐出ノズル７８から吐出されつつある又は吐出された直後の機能液の温度などである。

（変形例３）前記第一の実施形態においては、ヘッド温度センサ１４２を用いて描画中飽和温度を測定していた。しかし、所定のパターン形成時の温度としての描画中飽和温度を実際に測定することは必須ではない。描画中飽和温度は、推定して求めてもよい。描画中飽和温度は、例えば、図１８を参照して説明した暖機駆動の駆動条件を推定して求める方法と同様にして推定することができる。

図１８（ｃ）に示すように、暖機駆動を実施することなく、時点Ｓにおいて描画吐出を開始すると、描画吐出を実施している液滴吐出ヘッド１７の温度は、図１８（ｂ）に示した場合と同様に、一定時間の描画吐出後に、概ね描画中飽和温度ＨＭ℃になって、略安定する。
適正な吐出量が得られる設計上の駆動電圧のａ％の駆動電圧である駆動電圧ａで暖機駆動をすると、ヘッド温度はＨａ℃に収束し、時点Ｓにおけるヘッド温度は、Ｈａ℃となる。Ｈａ℃のヘッド温度で描画吐出を開始すると、図１８（ｃ）にａ０と表記した温度上昇曲線でヘッド温度が上昇して、略描画中飽和温度ＨＭ℃になって略安定する。曲線ａ０の、時点Ｓにおける傾きを傾きａ１と表記する。
適正な吐出量が得られる設計上の駆動電圧のｂ％の駆動電圧である駆動電圧ｂで暖機駆動をすると、ヘッド温度はＨｂ℃に収束し、時点Ｓにおけるヘッド温度は、Ｈｂ℃となる。Ｈｂ℃のヘッド温度で描画吐出を開始すると、図１８（ｃ）にｂ０と表記した温度下降曲線でヘッド温度が下降して、略描画中飽和温度ＨＭ℃になって略安定する。曲線ｂ０の、時点Ｓにおける傾きを傾きｂ１と表記する。

図１８（ｄ）を参照して説明した方法と同様に、縦軸に傾き、横軸に暖機駆動の結果収束する液滴吐出ヘッド１７の温度をとって、（ａ，Ｈａ）点及び（ｂ，Ｈｂ）点を通る直線が横軸と交わる点、すなわち傾きが０になる液滴吐出ヘッド１７の温度の値を求める。当該温度が、描画中飽和温度であると推定する。当該温度が、描画中飽和温度であるか否かは、液滴吐出ヘッド１７の温度を当該温度に調整して、描画吐出を開始することで検証できる。当該温度が、描画中飽和温度であれば、当該温度で描画吐出を開始すると、描画吐出の間に液滴吐出ヘッド１７の温度が変動する可能性はほとんどない。このため、当該温度で描画吐出を開始して、描画吐出開始時から液滴吐出ヘッド１７の温度が略安定している場合には、当該温度が描画中飽和温度である。この場合、液滴吐出ヘッド１７の駆動条件を制御することによって描画中飽和温度を推定する吐出装置制御部６が、温度取得手段に相当する。

（変形例４）前記実施形態においては、予め描画中飽和温度を求め、機能液を配置するための工程においては、予め求められた描画中飽和温度を取得していた。しかし、所定のパターン形成時の温度としての描画中飽和温度を予め求めることは必須ではない。予め求めた所定のパターン形成時の温度を取得する工程に代えて、所定のパターン形成時の温度を測定又は描画中の各ノズル、液滴吐出ヘッド、あるいは、それらを含む液状体吐出装置の駆動条件から温度変化を推定することによって所定のパターン形成時の温度を取得する工程を実施してもよい。

（変形例５）前記第一の実施形態においては、暖機駆動を実施することによって液滴吐出ヘッド１７の温度が描画中飽和温度となる駆動条件を求めて、当該駆動条件で暖機駆動を実施していたが、液滴吐出ヘッド１７の温度が描画中飽和温度となる駆動条件を求めることは必須ではない。暖機駆動を実施しながら液滴吐出ヘッド１７の温度を測定するヘッド温度センサ１４２のような温度センサを用いて液滴吐出ヘッド１７の温度を測定し、測定結果に対応して暖機駆動を制御してもよい。この場合のヘッド温度センサ１４２が、温度調整手段が有する温度測定手段に相当する。

（変形例６）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７の描画中飽和温度を求め、当該描画中飽和温度を指標にして、液滴吐出ヘッド１７の温度を当該描画中飽和温度にできる暖機駆動の駆動条件を求めていたが、描画中飽和温度を指標にすることは必須ではない。上述した変形例２と同様にして、液滴吐出ヘッド１７の温度が描画中飽和温度となる駆動条件を推定し、当該駆動条件を指標としてもよい。当該駆動条件で暖機駆動を実施することによって、描画中飽和温度を実現したと推定してもよい。

（変形例７）前記第二の実施形態においては、ヘッド温度センサ１４２を用いて描画中飽和温度を測定していた。しかし、所定のパターン形成時の温度としての描画中飽和温度を実際に測定することは必須ではない。変形例２で説明した例と同様に、描画中飽和温度を推定してもよい。例えば、図１８を参照して説明した暖機駆動の駆動条件を推定して求める方法と同様にして推定することができる。

図１８（ｃ）に示すように、温度調整を実施することなく、時点Ｓにおいて描画吐出を開始すると、描画吐出を実施している液滴吐出ヘッド１７の温度は、図１８（ｂ）に示した場合と同様に、一定時間の描画吐出後に、概ね描画中飽和温度ＨＭ℃になって、略安定する。
例えば温度調整ユニット１１０を稼働させて液滴吐出ヘッド１７のヘッド温度を、Ｈａ℃に加熱又は冷却する。上述したように、Ｈａ℃のヘッド温度で描画吐出を開始すると、図１８（ｃ）にａ０と表記した温度上昇曲線でヘッド温度が上昇して、略描画中飽和温度ＨＭ℃になって略安定する。曲線ａ０の、時点Ｓにおける傾きを傾きａ１と表記する。
同様に、温度調整ユニット１１０を稼働させて液滴吐出ヘッド１７のヘッド温度を、Ｈｂ℃に加熱又は冷却する。上述したように、Ｈｂ℃のヘッド温度で描画吐出を開始すると、図１８（ｃ）にｂ０と表記した温度下降曲線でヘッド温度が下降して、略描画中飽和温度ＨＭ℃になって略安定する。曲線ｂ０の、時点Ｓにおける傾きを傾きｂ１と表記する。

図１８（ｄ）を参照して説明した方法と同様に、縦軸に傾き、横軸に暖機駆動の結果収束する液滴吐出ヘッド１７の温度をとって、（ａ，Ｈａ）点及び（ｂ，Ｈｂ）点を通る直線が横軸と交わる点、すなわち傾きが０になる液滴吐出ヘッド１７の温度の値を求める。当該温度が、描画中飽和温度であると推定する。当該温度が、描画中飽和温度であるか否かは、液滴吐出ヘッド１７の温度を当該温度に調整して、描画吐出を開始することで検証できる。当該温度が、描画中飽和温度であれば、当該温度で描画吐出を開始すると、描画吐出の間に液滴吐出ヘッド１７の温度が変動する可能性はほとんどない。このため、当該温度で描画吐出を開始して、描画吐出開始時から液滴吐出ヘッド１７の温度が略安定している場合には、当該温度が描画中飽和温度である。この場合、液滴吐出ヘッド１７の駆動条件を制御することによって描画中飽和温度を推定する吐出装置制御部３０６が、温度取得手段に相当する。

（変形例８）前記第二の実施形態においては、温度調整素子１１１の温度を、予め求めた液滴吐出ヘッド１７の描画中飽和温度に対応する温度調整素子１１１の温度に調整することによって、液滴吐出ヘッド１７の温度を描画中飽和温度に調整していた。しかし、液滴吐出ヘッド１７の描画中飽和温度に対応する温度調整素子１１１の温度を求めることは必須ではない。液滴吐出ヘッド１７の温度を測定するヘッド温度センサ１４２のような温度センサを用いて液滴吐出ヘッド１７の温度を測定しながら、測定結果に対応して温度調整素子１１１の温度を制御してもよい。液滴吐出ヘッド１７の温度の測定値を描画中飽和温度に調整するため、液滴吐出ヘッド１７の温度をより正確に描画中飽和温度に調整することができる。この場合のヘッド温度センサ１４２が、温度調整手段が有する温度測定手段に相当する。

（変形例９）前記実施形態においては、ヘッド温度センサ１４２は、例えば接触式の温度センサであって、例えばポンプ部７５の外壁面や、ノズルプレート７６や、振動板１５２の圧力室１５８を構成する部分などのいずれかに接触して、これらの温度のいずれかを測定していた。しかし、ヘッド温度センサが接触式の温度センサであることは必須ではない。ヘッド温度センサは、非接触の赤外線温度センサなどを用いてもよい。

（変形例１０）前記実施形態においては、暖機駆動の駆動条件として駆動電圧を規定していたが、暖機駆動の駆動条件として規定して、駆動条件を変えるために調整するのは駆動電圧に限らない。図９を参照して説明した駆動波形の様々な要素を変えることで、吐出量を調整することが可能であり、液滴吐出ヘッドの温度を調整することも可能である。

（変形例１１）前記実施形態においては、液滴吐出装置１及び液滴吐出装置３０１は、液滴吐出ヘッド１７の吐出量を測定する装置として、吐出された機能液の重量を測定する重量測定装置９１を備えていたが、吐出重量を測定することによって吐出量を測定することは必須ではない。例えば、光学的な方法によって液滴の大きさや体積を求めることにより、吐出量を測定してもよい。飛行中の液滴の大きさや、対象物に着弾した直後の液滴の形状及び大きさや、対象物に着弾して広がった液滴の大きさなどを光学的に測定することによって、液滴の体積を求めることにより、吐出量を測定してもよい。

（変形例１２）前記実施形態においては、液滴吐出装置１のヘッドユニット５４や液滴吐出装置３０１のヘッドユニット３５４は６個の液滴吐出ヘッド１７を備えていたが、ヘッドユニットが備える液滴吐出ヘッドの数は、６個に限らない。ヘッドユニットは、何個の液滴吐出ヘッドを備えていてもよい。

（変形例１３）前記実施形態においては、液状体吐出装置としての液滴吐出装置１は１組のヘッドユニット５４を備えており、液滴吐出装置３０１は１組のヘッドユニット３５４を備えていたが、液状体吐出装置が備えるヘッドユニットは１組に限らない。液状体吐出装置は、何組のヘッドユニットを備えていてもよい。

（変形例１４）前記実施形態においては、温度調整素子１１１又は温度調整素子３１１と液滴吐出ヘッド１７との間で熱を伝える伝熱部材としての伝熱パターン１１４又は伝熱パターン３１４は、金属材料が箔状又は薄板状の形状に形成されたものをフィルムに挟んで基板状に形成されていたが、伝熱部材の形態は基板状のものに限らない。吐出ヘッドに接触させて熱を伝導させることが可能であれば、どのような形状であってもよい。伝熱部材を構成する材料も、熱伝導率が高い材料であれば、どのような材料であってもよい。

（変形例１５）前記実施形態においては、温度調整素子１１１又は温度調整素子３１１と液滴吐出ヘッド１７との間で熱を伝える伝熱部材としての伝熱パターン１１４又は伝熱パターン３１４は、金属材料が箔状又は薄板状の形状に形成されたものをフィルムに挟んで基板状に形成されていたが、伝熱部材が金属などの固体であることは必須ではない。温度調整素子と液滴吐出ヘッドとの間に液状体の流路を設け、当該流路に液状体を循環させることによって、熱を伝える構成であってもよい。

（変形例１６）前記実施形態においては、温度調整素子１１１又は温度調整素子３１１と液滴吐出ヘッド１７との間で熱を伝える伝熱部材としての伝熱パターン１１４又は伝熱パターン３１４は、液滴吐出ヘッド１７のヘッド本体７４の外壁に熱伝導性に富む材料で形成された接着剤を用いて接着されていた。しかし、伝熱部材を吐出ヘッドに固定するために接着剤を用いることは必須ではない。熱伝導が良好に行えればどのような固着方法であってもよい。温度調整素子と伝熱部材との接続も、熱伝導が良好に行えればどのような接続方法であってもよい。

（変形例１７）前記実施形態においては、液晶表示パネル２００のフィルタ膜２０５を形成する際の描画吐出について説明したが、形成する膜は、フィルタ膜に限らない。形成する膜は、液晶表示装置の画素電極膜や配向膜や対向電極膜や、カラーフィルタなどを保護するためなどに設けるオーバーコート膜などであってもよい。
形成する膜を有する装置、又は形成過程において膜を形成する必要がある装置も、液晶表示装置に限らない。上述したような膜を有する装置、又は形成過程において上記したような膜を形成する必要がある装置であれば、どのような装置であってもよい。例えば、有機ＥＬ表示装置にも適用できる。有機ＥＬ表示装置を製造する際に上述した液滴吐出装置を用いて形成する機能膜は、有機ＥＬ表示装置の正極電極膜や陰極電極膜、フォトエッチングなどによってパターンを形成するための膜や、フォトエッチングなどのフォトレジスト膜などであってもよい。

（変形例１８）前記実施形態においては、液滴吐出装置１を使用して機能液を配置することで描画を実施する描画対象物の一例として、電気光学装置の一例であるカラーフィルタを備える液晶表示パネル２００について説明した。また、導電性材料からなる配線を有する配線基板２７０について説明した。しかし、描画対象物は電気光学装置や配線基板に限らない。上述した液状体吐出装置及び液状体吐出方法は、製造に際して様々な液状体を配置して加工を実施する様々な加工対象物を加工するための製造装置、及び製造方法として利用できる。例えば、半導体ウェハ、及び液状の導電材料を吐出する半導体装置の配線導電膜の加工方法又は加工装置、半導体ウェハ、及び液状の絶縁材料を吐出する半導体装置の絶縁層の加工方法又は加工装置などとして、利用することもできる。

（変形例１９）前記実施形態においては、液晶表示パネル２００が備えるＣＦ層２０８は、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂの３色のフィルタ膜を有する３色フィルタであったが、カラーフィルタは、さらに多くの種類のフィルタ膜を有する多色のカラーフィルタであってもよい。多色のカラーフィルタとしては、例えば、赤色、緑色、青色に加えて赤色、緑色、青色の補色のシアン（青緑）、マゼンタ（紫赤）、イエロー（黄色）の有機ＥＬ素子を有する６色カラーフィルタや、シアン（青緑）、マゼンタ（紫赤）、イエロー（黄色）の３色に緑色を加えた４色カラーフィルタなどがあげられる。

（変形例２０）前記実施形態においては、膜形成区画、機能膜区画、又は色要素領域としてのフィルタ膜領域２２５などは長方形であったが、膜形成区画、機能膜区画、又は色要素領域が長方形であることは必須ではない。近年、表示特性を向上させるために、画素の形状が長方形とは異なる表示装置も考案されている。膜形成区画、機能膜区画、又は色要素領域の形状は、形状が長方形とは異なる画素などを形成することができる形状のものであってもよい。

（変形例２１）前記実施形態においては、一つの膜形成領域、機能膜領域、又はフィルタ領域膜においては、膜形成区画、機能膜区画、又は色要素領域としてのフィルタ膜領域２２５などは同じ大きさ及び形状であった。しかし、一つの膜形成領域、機能膜領域、又はフィルタ領域膜においては、膜形成区画、機能膜区画、又は色要素領域が単一の大きさ及び形状であることは必須ではない。例えば、４色カラーフィルタにおける表示の最小単位を構成する色要素の各色の大きさを光源の特性に合わせて異ならせたような、異なる大きさの膜形成区画、機能膜区画、又は色要素領域を有する膜形成領域、機能膜領域、又はフィルタ領域膜であってもよい。

（変形例２２）前記実施形態においては、液滴吐出装置１及び液滴吐出装置３０１は、マザー対向基板２０１Ａなどを載置したワーク載置台２１を主走査方向に移動させると共に、液滴吐出ヘッド１７から機能液を吐出させることによって機能液を配置していた。また、ヘッドユニット５４又はヘッドユニット３５４を副走査方向に移動することによって、マザー対向基板２０１Ａなどに対する液滴吐出ヘッド１７（吐出ノズル７８）の位置を合わせこんでいた。しかし、配置ヘッドとしての液滴吐出ヘッドとマザー基板との、主走査方向の相対移動をマザー基板を移動させることで実施することも、副走査方向の相対移動を吐出ヘッドを移動させることで実施することも、必須ではない。
吐出ヘッドとマザー基板との、主走査方向の相対移動を吐出ヘッドを主走査方向に移動させることで実施してもよい。吐出ヘッドとマザー基板との、副走査方向の相対移動をマザー基板を副走査方向に移動させることで実施してもよい。あるいは、吐出ヘッドとマザー基板との、主走査方向及び副走査方向の相対移動を、吐出ヘッド、又はマザー基板のどちらか一方を、主走査方向及び副走査方向に移動させることで実施してもよいし、吐出ヘッド、又はマザー基板の両方を、主走査方向及び副走査方向に移動させることで実施してもよい。

（変形例２３）前記実施形態においては、機能液をマザー対向基板２０１Ａなどに配置する液状体吐出装置として、インクジェット方式の液滴吐出ヘッド１７を備える液滴吐出装置１又は液滴吐出装置３０１を例に説明したが、液状体吐出装置が液滴吐出装置であることは必須ではない。液状体吐出装置としては、例えば、ディスペンサを備える吐出装置なども用いることができる。大面積の膜形成区画に大量の膜材料を配置する必要がある場合には、液滴吐出ヘッドより単位時間あたりの吐出量が多いディスペンサを用いることが有用である。

第一の実施形態における液滴吐出装置の概略構成を示す平面図。 液滴吐出装置の概略構成を示す側面図。 （ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図。（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図。（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図。 ヘッドユニットの概略構成を示す平面図。 検査描画ユニットの全体構成を示す外観斜視図。 （ａ）は、重量測定ユニットの部分及びフラッシングユニットの部分を含む重量測定ブロックの平面図。（ｂ）は、重量測定ブロックの側面図。 液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図。 液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図。 （ａ）は、圧電素子に印加する駆動信号の駆動波形の基本波形を示す図。（ｂ）は、駆動波形に対応した圧電素子の動作による液滴吐出ヘッドの吐出動作を示す模式断面図。 液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図。 （ａ）は、対向基板の平面構造を模式的に示す平面図。（ｂ）は、マザー対向基板の平面構造を模式的に示す平面図。 ３色カラーフィルタのフィルタ膜の配列例を示す模式平面図。 液晶表示パネルを形成する過程を示すフローチャート。 液晶表示パネルを形成する過程におけるフィルタ膜を形成する工程などを示す断面図。 液晶表示パネルを形成する過程における配向膜を形成する工程などを示す断面図。 配線基板のマザー基板を示す概略平面図。 機能液を配置する工程を示すフローチャート。 （ａ）は、吐出量とヘッド温度との関係を示すグラフ。（ｂ）は、描画吐出を実施している時間とヘッド温度との関係を示すグラフ。（ｃ）は、暖機駆動及び描画吐出を実施している時間とヘッド温度との関係を示すグラフ。（ｄ）は、暖機駆動電圧を推定する方法を示すグラフ。 （ａ）は、キャリッジプレートに取り付けられた液滴吐出ヘッド及び温度調整ユニットをノズルプレート側からみた平面図。（ｂ）は、（ａ）にＡ−Ａで示した断面の断面図。（ｃ）は、キャリッジプレートに取り付けられた液滴吐出ヘッド及び温度調整ユニットの側面図。（ｄ）は、キャリッジプレートに取り付けられた温度調整ユニットの側面図。（ｅ）は、温度調整ユニットの端子基板の平面図。 液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図。 機能液を配置する工程を示すフローチャート。 （ａ）は、温度調整ユニットの端子基板の平面図。（ｂ）は、キャリッジプレートに取り付けられた液滴吐出ヘッド及び温度調整ユニットの側面図。（ｃ）は、キャリッジプレートに取り付けられた液滴吐出ヘッド及び温度調整ユニットをノズルプレート側からみた平面図。 電子機器の一例である大型液晶テレビを示す外観斜視図。

符号の説明

１，３０１…液滴吐出装置、６，３０６…吐出装置制御部、１７…液滴吐出ヘッド、１９…重量測定ユニット、４４…ＣＰＵ、４５…ＲＯＭ、４６…ＲＡＭ、５３…キャリッジプレート、５４…ヘッドユニット、６８…入出力装置、７４…ヘッド本体、７５…ポンプ部、７６…ノズルプレート、７８…吐出ノズル、７８Ａ…ノズル列、９１…重量測定装置、１１０…温度調整ユニット、１１１…温度調整素子、１１２…端子基板、１１４…伝熱パターン、１４２…ヘッド温度センサ、１５１…圧力室プレート、１５２…振動板、１５８…圧力室、１５９…圧電素子、２００…液晶表示パネル、２０１Ａ…マザー対向基板、２０５…フィルタ膜、２１８…配向膜、３１０…温度調整ユニット、３１１…温度調整素子、３１２…端子基板、４００…大型液晶テレビ、４０１…表示部。

Claims (12)

1. 液状体を吐出する吐出手段と前記液状体が吐出される被吐出物との相対移動を行い、前記被吐出物に所定のパターンを形成する液状体吐出装置であって、
   前記吐出手段から吐出される前記液状体の吐出量を測定する吐出量測定手段と、
   前記吐出手段又は前記液状体の温度を取得する温度取得手段と、
   前記吐出手段又は前記液状体の温度を調整する温度調整手段と、
   前記吐出手段の吐出量を調整する吐出量調整手段と、を備え、
   前記温度取得手段は、２以上の異なる駆動条件において前記吐出手段の駆動を実施することによって、前記所定のパターン形成時の温度を推定し、
   前記温度調整手段は、前記吐出手段を駆動させることによって、前記吐出量測定手段により吐出量を測定する際の前記吐出手段の温度又は前記液状体の温度を、推定した温度に調整することを特徴とする液状体吐出装置。
2. 液状体を吐出する吐出手段と前記液状体が吐出される被吐出物との相対移動を行い、前記被吐出物に所定のパターンを形成する液状体吐出方法であって、
   第一の駆動条件において駆動した後に前記所定のパターンを形成する工程と、前記第一の駆動条件とは異なる第二の駆動条件において駆動した後に前記所定のパターンを形成する工程と、を有し、
   それぞれの工程における前記所定のパターンを形成する際の前記吐出手段又は前記液状体の温度変化によって、前記所定のパターン形成時の前記吐出手段の温度を推定し取得する温度取得工程と、
   前記温度取得工程において取得した前記前記吐出手段の温度に、前記吐出手段の温度を調整する温度調整工程と、
   前記温度調整工程において調整した前記吐出手段の温度において、前記吐出手段から吐出される前記液状体の吐出量を測定する吐出量測定工程と、
   前記吐出手段の吐出量を調整する吐出量調整工程と、を有することを特徴とする液状体吐出方法。
3. 液状体を吐出する吐出手段と前記液状体が吐出される被吐出物との相対移動を行い、前記被吐出物に所定のパターンを形成する液状体吐出方法であって、
   第一の駆動条件において駆動した後に前記所定のパターンを形成する工程と、前記第一の駆動条件とは異なる第二の駆動条件において駆動した後に前記所定のパターンを形成する工程と、を有し、
   それぞれの工程における前記所定のパターンを形成する際の前記吐出手段又は前記液状体の温度変化によって、前記所定のパターン形成時の前記液状体の温度を推定し取得する温度取得工程と、
   前記温度取得工程において取得した前記液状体の温度に、前記液状体の温度を調整する温度調整工程と、
   前記温度調整工程において調整した前記液状体の温度において、前記吐出手段から吐出される前記液状体の吐出量を測定する吐出量測定工程と、
   前記吐出手段の吐出量を調整する吐出量調整工程と、を有することを特徴とする液状体吐出方法。
4. 前記吐出手段は、それぞれのノズル群が１以上の吐出ノズルを有する複数のノズル群を備え、
   前記温度取得工程では、それぞれの前記ノズル群ごとに、前記吐出手段又は前記液状体の前記所定のパターン形成時の温度を取得し、
   前記温度調整工程では、それぞれの前記ノズル群ごとに、前記吐出手段又は前記液状体の温度を調整し、
   前記吐出量測定工程では、それぞれの前記ノズル群ごとに、前記液状体の吐出量を測定し、
   前記吐出量調整工程では、それぞれの前記ノズル群における吐出量を調整することを特徴とする、請求項２又は３に記載の液状体吐出方法。
5. 前記ノズル群は、当該ノズル群に含まれるそれぞれの前記吐出ノズルに前記液状体を供給する経路が共通であることを特徴とする、請求項４に記載の液状体吐出方法。
6. 前記ノズル群は、当該ノズル群に含まれるそれぞれの前記吐出ノズルが、１以上の前記吐出ノズルを有する吐出ヘッド１個が有する吐出ノズルであることを特徴とする、請求項４に記載の液状体吐出方法。
7. 前記ノズル群は、当該ノズル群に含まれるそれぞれの前記吐出ノズルに供給される前記液状体が同じの前記液状体であることを特徴とする、請求項４に記載の液状体吐出方法。
8. 前記温度調整工程において、前記吐出手段を駆動させることによって、前記吐出手段又は前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することを特徴とする、請求項２乃至７のいずれか一項に記載の液状体吐出方法。
9. 前記温度調整工程は、前記吐出手段又は前記液状体の温度を測定する温度測定工程を含み、前記温度測定工程における測定結果に応じて前記吐出手段を駆動させることによって、前記吐出手段又は前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することを特徴とする、請求項８に記載の液状体吐出方法。
10. 前記温度調整工程では、前記吐出手段又は前記液状体を加熱又は冷却することによって、前記吐出手段又は前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することを特徴とする、請求項２乃至７のいずれか一項に記載の液状体吐出方法。
11. 前記温度取得工程では、前記所定のパターン形成を開始する時点における前記吐出手段又は前記液状体の温度を２以上の異なる温度に調整し、それぞれの温度の場合における前記所定のパターン形成を実施する際の温度変化によって、前記所定のパターン形成時の温度を推定することを特徴とする、請求項１０に記載の液状体吐出方法。
12. 前記温度調整工程は、前記吐出手段又は前記液状体の温度を測定する温度測定工程をさらに有し、前記温度測定工程における測定結果に応じて前記吐出手段又は前記液状体を加熱又は冷却することによって、前記吐出手段又は前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することを特徴とする、請求項１０に記載の液状体吐出方法。

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