JP2008086970A - 液状体の供給方法、デバイスの製造方法、配線基板の製造方法、カラーフィルタの製造方法、及び有機ｅｌ装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、機能液の余りを少なくすること、又は複数種の機能液の残量を平均化することで、無駄な生産費用の発生、又は生産効率の低下を抑制することができる、液状体の供給方法、デバイスの製造方法、配線基板の製造方法、カラーフィルタの製造方法、及び有機ＥＬ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明による液状体の供給方法は、配置装置が一定の期間稼働する際、又は一定量の製品を製造する際の液状体の使用量を取得する使用量取得工程と、取得した使用量に対応した量の液状体を配置装置に供給する供給工程と、を有する液状体の供給方法である。また、配線基板の製造方法は、機能液を基材上に配置する液滴吐出装置が一定の期間稼働する際、又は一定数量の配線基板を製造する際の機能液の使用量を取得する使用量取得工程と、機能液の使用量に対応した量の機能液を液滴吐出装置に供給する供給工程と、を有する配線基板の製造方法である。
【選択図】図２０

Description

本発明は、液状体を基材上に配置する配置装置に液状体を供給する液状体の供給方法、液状体を用いて実行するデバイスの製造方法、配線基板の製造方法、カラーフィルタの製造方法、及び有機ＥＬ装置の製造方法に関する。

従来から、有機エレクトロルミネセンス（有機ＥＬ）装置の発光膜やカラー液晶装置のカラーフィルタ膜などの機能膜を形成する技術として、機能膜の材料を含む液状材料を塗布し、当該液状材料を乾燥させて機能膜を形成する技術が知られている。液状材料を所定の位置に所定の量だけ精度良く塗布する技術としてインクジェット法が用いられている。特許文献１には、インクジェット法を用いたフィルタの製造装置及び製造方法が開示されている。特許文献２には、インクジェット法を用いた電気回路の製造装置及び製造方法が開示されている。

また、カラー画像を表示するためには、例えば光の三原色である赤色、緑色、青色のフィルタを各画素ごとに形成する。赤色、緑色、青色のフィルタが形成された画素は、当該色の画素となる。当該赤色、緑色、青色の画素を各１画素以上含みカラー画像を構成する単位（以下、「絵素」と表記する）の中の赤色、緑色、青色の強さを色ごとに変えることによって絵素の色を作り出している。再現できる色域を拡大するために、赤色、緑色、青色のフィルタに加えて他の色のフィルタを形成した多色フィルタが用いられている。多色フィルタには、赤色、緑色、青色に加えて赤色、緑色、青色の補色であるシアン（青緑）、マゼンダ（紫赤）、イエロー（黄色）のフィルタを設けた６色フィルタや、シアン（青緑）、マゼンダ（紫赤）、イエロー（黄色）の３色に緑色を加えた４色補色フィルタなどがある。特許文献３には、様々な多色フィルタ及び多色フィルタを備える電気光学パネルが開示されている。このような多色フィルタを形成するインクジェット装置は、複数の液滴吐出ヘッドを備え、多種類の液状材料を略並行して吐出することで、効率良く多色フィルタを形成している。

特開平１１−２４８９２５号公報 特開平１１−２７４６７１号公報 特開２００２−２８６９２７号公報

しかしながら、機能膜の特性はその厚さや平面積にも依存しているため、形成する機能膜の適切な厚さや平面積は機能膜毎に異なっている。例えば上記した６色フィルタであれば、好適な１絵素を構成するための各色のフィルタの適切な厚さ及び平面積は、各色毎に異なっている。このため、１枚のカラーフィルタ基板を形成するために必要な機能液の量は、各色毎に異なっている。カラーフィルタを製造する際に同量の機能液を供給した場合には、各色毎に補充が必要になる時期が異なるために、頻繁に補充作業を行う必要があった。補充作業においては液滴吐出装置を停止しなければならないため、生産効率が低下するという課題があった。

また、製造する機種の変更などのために、液滴吐出装置が使用する機能液を交換する際に、未使用のまま余りとして廃棄される機能液を多く発生させる場合があった。未使用の機能液を回収する場合であっても、機能液は、液滴吐出装置から好適に吐出できると共に、乾燥して特有の機能を有する膜を形成する液体であって、その多くは、その機能を維持するために、適正な条件下で保管する必要がある。このため、回収しても、再び使用に供するためには、例えば脱気処理のような調整処理を再度行う必要がある場合が多かった。余りを発生させて廃棄したり再調整したりすることで、製造費用が増加するという課題があった。

本発明は、上記課題を解決するものであり、機能液の余りを少なくすること、又は複数種の機能液の残量を平均化することで、無駄な生産費用の発生、又は生産効率の低下を抑制することができる、液状体の供給方法、デバイスの製造方法、配線基板の製造方法、カラーフィルタの製造方法、及び有機ＥＬ装置の製造方法を実現することを目的とする。

本発明による液状体の供給方法は、液状体を基材上に配置する配置装置における液状体の供給方法であって、配置装置が一定の期間稼働する際、又は一定量の製品を製造する際の液状体の使用量を取得する使用量取得工程と、使用量取得工程で取得した液状体の使用量に対応した量の液状体を配置装置に供給する供給工程と、を有することを特徴とする。

本発明に係る液状体の供給方法によれば、配置装置が一定の期間稼働する際、又は一定量の製品を製造する際の液状体の使用量に対応した量の液状体が、配置装置に供給される。従って、予定された所定の稼働期間又は製品の所定の生産量に対応して、当該稼働期間又は生産量に必要な液状体を、略過不足なく配置装置に供給することができる。これにより、予定された稼働期間又は生産量の製造が完了した際に発生する液状体の余りを抑制することが可能となり、無駄な生産費用の発生を抑制することができる。また、複数種類の液状体のそれぞれが、予定された稼働期間又は生産量の製造が完了した際に残量がほぼ無くなることから、複数種類の液状体について補充が必要になる時期が略一致するため、補充作業の回数を抑制することが可能となり、配置装置を停止させる回数を抑制して、生産効率の低下を抑制することができる。

本発明による液状体の供給方法は、液状体を基材上に配置する複数の配置部を備え、複数種類の液状体を配置する配置装置における液状体の供給方法であって、配置される複数種類の液状体のそれぞれの液状体間の、配置装置における使用量の比率を取得する使用比率取得工程と、使用比率取得工程で取得した液状体間の使用比率に対応した量のそれぞれの液状体を、配置装置に供給する供給工程と、を有することを特徴とする。

本発明に係る液状体の供給方法によれば、吐出される複数種類の液状体のそれぞれの液状体間の、配置装置における使用量の比率を取得して、当該使用比率に対応した量のそれぞれの液状体を、配置装置に供給する。供給された液状体は、それぞれ使用比率に応じた量が使用されてゆくため、それぞれの液状体が略同時に使用し尽くされて、補充が必要になる時期が略一致する。従って、液状体の補充時期を揃えて一度に実行することで、補充作業の回数を抑制することが可能となり、配置装置を停止させる回数を抑制して、生産効率の低下を抑制することができる。

本発明において、液状体の供給方法は、配置装置は、液状体の種類に対応する貯留タンクを備え、供給工程において、使用量に対応した量の液状体、又は使用比率に対応した量の複数種類の液状体のそれぞれの液状体を、貯留タンクに充填することで、液状体を配置装置に供給してもよい。

本発明において、液状体の供給方法は、使用量に対応した容量、又は使用比率に対応した容量を有する貯留タンクを形成する工程をさらに有し、供給工程においては、使用量に対応した容量、又は使用比率に対応した容量を有する貯留タンクに液状体を充填すると共に、当該貯留タンクを配置装置に接続することで、使用量に対応した量の液状体、又は使用比率に対応した量の複数種類の液状体のそれぞれの液状体を、配置装置に供給することが好ましい。

この液状体の供給方法によれば、使用量に対応した容量、又は使用比率に対応した容量を有する貯留タンクに液状体を充填するだけで、使用量に対応した量、又は使用比率に対応した量の液状体を供給することができる。

本発明において、液状体の供給方法は、配置装置が、液状体を液滴として吐出する複数の吐出ノズルを有する液滴吐出装置であって、複数のノズルが略直線状に整列したノズル列を備え、ノズル列毎に同一種類の液状体を吐出することが好ましい。

この液状体の供給方法によれば、複数の吐出ノズルからなるノズル列に同一種類の液状体を吐出させることで、広い面積に短時間で効率良く液滴を吐出させることができる。また、液状体の供給経路は、１本のノズル列あたり１経路を形成すればよいため、多数の供給経路を形成する場合にくらべて、ノズル列を有する液滴吐出ヘッドの構成を簡単にすることができる。

本発明において、液状体の供給方法は、配置装置が、液状体を液滴として吐出する複数の吐出ノズルを有する液滴吐出装置であって、複数のノズルが形成された液滴吐出ヘッドを備え、液滴吐出ヘッド毎に同一種類の前記液状体を吐出することが好ましい。

この液状体の供給方法によれば、複数の吐出ノズルを有する液滴吐出ヘッドに同一種類の液状体を吐出させることで、広い面積に短時間で効率良く液滴を吐出させることができる。また、液状体の供給経路は、１個の液滴吐出ヘッドあたり１経路を形成すればよいため、多数の供給経路を形成する場合にくらべて、液滴吐出ヘッドの構成を簡単にすることができる。

本発明によるデバイスの製造方法は、デバイスを構成する材料を含む機能液を基材上に配置してデバイスを形成するデバイスの製造方法であって、機能液を基材上に配置する液滴吐出装置が一定の期間稼働する際、又は一定数量のデバイスを製造する際の機能液の使用量を取得する使用量取得工程と、使用量取得工程で取得した機能液の使用量に対応した量の機能液を液滴吐出装置に供給する供給工程と、を有することを特徴とする。

本発明に係るデバイスの製造方法によれば、液滴吐出装置が一定の期間稼働する際、又は一定数量のデバイスを製造する際の機能液の使用量に対応した量の機能液が、液滴吐出装置に供給される。従って、予定された所定の稼働期間又はデバイスの所定の生産量に対応して、当該稼働期間又は生産量に必要な機能液を、略過不足なく液滴吐出装置に供給することができる。これにより、予定された稼働期間又は生産量の製造が完了した際に発生する機能液の余りを抑制することが可能となり、無駄な生産費用の発生を抑制することができる。また、複数種類の機能液のそれぞれが、予定された稼働期間又は生産量の製造が完了した際に残量がほぼ無くなることから、複数種類の機能液について補充が必要になる時期が略一致するため、補充作業の回数を抑制することが可能となり、液滴吐出装置を停止させる回数を抑制して、生産効率の低下を抑制することができる。

本発明によるデバイスの製造方法は、デバイスを構成する材料を含む複数種類の機能液を基材上に配置してデバイスを形成するデバイスの製造方法であって、配置される複数種類の機能液のそれぞれの機能液間の、機能液を基材上に配置する液滴吐出装置における使用量の比率を取得する使用比率取得工程と、使用比率取得工程で取得した機能液間の使用比率に対応した量のそれぞれの機能液を、液滴吐出装置に供給する供給工程と、を有することを特徴とする。

本発明に係るデバイスの製造方法によれば、吐出される複数種類の機能液のそれぞれの機能液間の、液滴吐出装置における使用量の比率を取得して、当該使用比率に対応した量のそれぞれの機能液を、液滴吐出装置に供給する。供給された機能液は、それぞれ使用比率に応じた量が使用されてゆくため、それぞれの機能液が略同時に使用し尽くされて、補充が必要になる時期が略一致する。従って、機能液の補充時期を揃えて一度に実行することで、補充作業の回数を抑制することが可能となり、液滴吐出装置を停止させる回数を抑制して、生産効率の低下を抑制することができる。

本発明において、デバイスの製造方法は、液滴吐出装置が、機能液の種類に対応する貯留タンクを備え、供給工程においては、使用量に対応した量の機能液、又は使用比率に対応した量の複数種類の機能液のそれぞれの機能液を、貯留タンクに充填することで、機能液を液滴吐出装置に供給してもよい。

本発明において、デバイスの製造方法は、使用量に対応した容量、又は使用比率に対応した容量を有する貯留タンクを形成する工程をさらに有し、供給工程においては、使用量に対応した容量、又は使用比率に対応した容量を有する貯留タンクに機能液を充填すると共に、当該貯留タンクを液滴吐出装置に接続することで、使用量に対応した量の機能液、又は使用比率に対応した量のそれぞれの機能液を、液滴吐出装置に供給することが好ましい。

このデバイスの製造方法によれば、使用量に対応した容量、又は使用比率に対応した容量を有する貯留タンクに機能液を充填するだけで、使用量に対応した量、又は使用比率に対応した量の機能液を供給することができる。

本発明において、デバイスの製造方法は、液滴吐出装置が、ノズルが略直線状に整列したノズル列を有し、ノズル列毎に同一種類の機能液を吐出することが好ましい。

このデバイスの製造方法によれば、複数の吐出ノズルを有するノズル列に同一種類の機能液を吐出させることで、広い面積に短時間で効率良く液滴を吐出させることができる。また、機能液の供給経路は、１本のノズル列あたり１経路を形成すればよいため、多数の供給経路を形成する場合にくらべて、ノズル列を有する液滴吐出ヘッドの構成を簡単にすることができる。

本発明において、デバイスの製造方法は、液滴吐出装置が、複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドを備え、液滴吐出ヘッド毎に同一種類の機能液を吐出することが好ましい。

このデバイスの製造方法によれば、複数の吐出ノズルを有する液滴吐出ヘッドに同一種類の機能液を吐出させることで、広い面積に短時間で効率良く液滴を吐出させることができる。また、機能液の供給経路は、１個の液滴吐出ヘッドあたり１経路を形成すればよいため、多数の供給経路を形成する場合にくらべて、液滴吐出ヘッドの構成を簡単にすることができる。

本発明による配線基板の製造方法は、配線基板を構成する材料を含む機能液を基材上に配置して配線基板を形成する配線基板の製造方法であって、機能液を基材上に配置する液滴吐出装置が一定の期間稼働する際、又は一定数量の配線基板を製造する際の機能液の使用量を取得する使用量取得工程と、使用量取得工程で取得した機能液の使用量に対応した量の機能液を液滴吐出装置に供給する供給工程と、を有することを特徴とする。

本発明に係る配線基板の製造方法によれば、液滴吐出装置が一定の期間稼働する際、又は一定数量の配線基板を製造する際の機能液の使用量に対応した量の機能液が、液滴吐出装置に供給される。従って、予定された所定の稼働期間又は配線基板の所定の生産量に対応して、当該稼働期間又は生産量に必要な機能液を、略過不足なく液滴吐出装置に供給することができる。これにより、予定された稼働期間又は生産量の製造が完了した際に発生する機能液の余りを抑制することが可能となり、無駄な生産費用の発生を抑制することができる。また、複数種類の機能液のそれぞれが、予定された稼働期間又は生産量の製造が完了した時点で、残量がほぼ無くなることから、複数種類の機能液について補充が必要になる時期が略一致するため、補充作業の回数を抑制することが可能となり、液滴吐出装置を停止させる回数を抑制して、生産効率の低下を抑制することができる。

本発明による配線基板の製造方法は、配線基板を構成する材料を含む機能液を基材上に配置して配線基板を形成する配線基板の製造方法であって、配置される複数種類の機能液のそれぞれの機能液間の、機能液を基材上に配置する液滴吐出装置における使用量の比率を取得する使用比率取得工程と、使用比率取得工程で取得した機能液間の使用比率に対応した量のそれぞれの機能液を、液滴吐出装置に供給する供給工程と、を有することを特徴とする。

本発明に係る配線基板の製造方法によれば、吐出される複数種類の機能液のそれぞれの機能液間の、液滴吐出装置における使用量の比率を取得して、当該使用比率に対応した量のそれぞれの機能液を、液滴吐出装置に供給する。供給された機能液は、それぞれ使用比率に応じた量が使用されてゆくため、それぞれの機能液が略同時に使用し尽くされて、補充が必要になる時期が略一致する。従って、機能液の補充時期を揃えて一度に実行することで、補充作業の回数を抑制することが可能となり、液滴吐出装置を停止させる回数を抑制して、生産効率の低下を抑制することができる。

本発明において、配線基板の製造方法は、液滴吐出装置が、機能液の種類に対応する貯留タンクを備え、供給工程においては、使用量に対応した量の機能液、又は使用比率に対応した量の複数種類の機能液のそれぞれの機能液を、貯留タンクに充填することで、機能液を液滴吐出装置に供給してもよい。

本発明において、配線基板の製造方法は、使用量に対応した容量、又は使用比率に対応した容量を有する貯留タンクを形成する工程をさらに有し、供給工程においては、使用量に対応した容量、又は使用比率に対応した容量を有する貯留タンクに機能液を充填すると共に、当該貯留タンクを液滴吐出装置に接続することで、使用量に対応した量の機能液、又は使用比率に対応した量のそれぞれの機能液を、液滴吐出装置に供給することが好ましい。

この配線基板の製造方法によれば、使用量に対応した容量、又は使用比率に対応した容量を有する貯留タンクに機能液を充填するだけで、使用量に対応した量、又は使用比率に対応した量の機能液を供給することができる。

本発明において、配線基板の製造方法は、液滴吐出装置が、ノズルが略直線状に整列したノズル列を有し、ノズル列毎に同一種類の機能液を吐出することが好ましい。

この配線基板の製造方法によれば、複数の吐出ノズルを有するノズル列に同一種類の機能液を吐出させることで、広い面積に短時間で効率良く液滴を吐出させることができる。また、機能液の供給経路は、１本のノズル列あたり１経路を形成すればよいため、多数の供給経路を形成する場合にくらべて、ノズル列を有する液滴吐出ヘッドの構成を簡単にすることができる。

本発明において、配線基板の製造方法は、液滴吐出装置が、複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドを備え、液滴吐出ヘッド毎に同一種類の機能液を吐出することが好ましい。

この配線基板の製造方法によれば、複数の吐出ノズルを有する液滴吐出ヘッドに同一種類の機能液を吐出させることで、広い面積に短時間で効率良く液滴を吐出させることができる。また、機能液の供給経路は、１個の液滴吐出ヘッドあたり１経路を形成すればよいため、多数の供給経路を形成する場合にくらべて、液滴吐出ヘッドの構成を簡単にすることができる。

本発明において、配線基板の製造方法は、機能液が、配線を形成する導電性材料を含む機能液であることが好ましい。

この配線基板の製造方法によれば、導電性材料の余りを抑制することが可能となり、無駄な生産費用の発生を抑制することができる。また、複数種類の導電性材料を使用する際にも、補充作業の回数を抑制することが可能となり、液滴吐出装置を停止させる回数を抑制して、生産効率の低下を抑制することができる。

本発明によるカラーフィルタの製造方法は、カラーフィルタを構成する材料を含む機能液を基材上に配置してカラーフィルタを形成するカラーフィルタの製造方法であって、機能液を基材上に配置する液滴吐出装置が一定の期間稼働する際、又は一定数量のカラーフィルタを製造する際の機能液の使用量を取得する使用量取得工程と、使用量取得工程で取得した機能液の使用量に対応した量の機能液を液滴吐出装置に供給する供給工程と、を有することを特徴とする。

本発明に係るカラーフィルタの製造方法によれば、液滴吐出装置が一定の期間稼働する際、又は一定数量のカラーフィルタを製造する際の機能液の使用量に対応した量の機能液が、液滴吐出装置に供給される。従って、予定された所定の稼働期間又はカラーフィルタの所定の生産量に対応して、当該稼働期間又は生産量に必要な機能液を、略過不足なく液滴吐出装置に供給することができる。これにより、予定された稼働期間又は生産量の製造が完了した際に発生する機能液の余りを抑制することが可能となり、無駄な生産費用の発生を抑制することができる。また、複数種類の機能液のそれぞれが、予定された稼働期間又は生産量の製造が完了した時点で、残量がほぼ無くなることから、複数種類の機能液について補充が必要になる時期が略一致するため、補充作業の回数を抑制することが可能となり、液滴吐出装置を停止させる回数を抑制して、生産効率の低下を抑制することができる。

本発明によるカラーフィルタの製造方法は、カラーフィルタを構成する材料を含む機能液を基材上に配置してカラーフィルタを形成するカラーフィルタの製造方法であって、配置される複数種類の機能液のそれぞれの機能液間の、機能液を基材上に配置する液滴吐出装置における使用量の比率を取得する使用比率取得工程と、使用比率取得工程で取得した機能液間の使用比率に対応した量のそれぞれの機能液を、液滴吐出装置に供給する供給工程と、を有することを特徴とする。

本発明に係るカラーフィルタの製造方法によれば、吐出される複数種類の機能液のそれぞれの機能液間の液滴吐出装置における使用量の比率を取得して、当該使用比率に対応した量のそれぞれの機能液を、液滴吐出装置に供給する。供給された機能液は、それぞれ使用比率に応じた量が使用されてゆくため、それぞれの機能液が略同時に使用し尽くされて、補充が必要になる時期が略一致する。従って、機能液の補充時期を揃えて一度に実行することで、補充作業の回数を抑制することが可能となり、液滴吐出装置を停止させる回数を抑制して、生産効率の低下を抑制することができる。

本発明において、カラーフィルタの製造方法は、液滴吐出装置が、機能液の種類に対応する貯留タンクを備え、供給工程においては、使用量に対応した量の機能液、又は使用比率に対応した量の複数種類の機能液のそれぞれの機能液を、貯留タンクに充填することで、機能液を液滴吐出装置に供給してもよい。

本発明において、カラーフィルタの製造方法は、使用量に対応した容量、又は使用比率に対応した容量を有する貯留タンクを形成する工程をさらに有し、供給工程においては、使用量に対応した容量、又は使用比率に対応した容量を有する貯留タンクに機能液を充填すると共に、当該貯留タンクを液滴吐出装置に接続することで、使用量に対応した量の機能液、又は使用比率に対応した量のそれぞれの機能液を、液滴吐出装置に供給することが好ましい。

このカラーフィルタの製造方法によれば、使用量に対応した容量、又は使用比率に対応した容量を有する貯留タンクに機能液を充填するだけで、使用量に対応した量、又は使用比率に対応した量の機能液を供給することができる。

本発明において、カラーフィルタの製造方法は、液滴吐出装置が、ノズルが略直線状に整列したノズル列を有し、ノズル列毎に同一種類の機能液を吐出することが好ましい。

このカラーフィルタの製造方法によれば、複数の吐出ノズルを有するノズル列に同一種類の機能液を吐出させることで、広い面積に短時間で効率良く液滴を吐出させることができる。また、機能液の供給経路は、１本のノズル列あたり１経路を形成すればよいため、多数の供給経路を形成する場合にくらべて、ノズル列を有する液滴吐出ヘッドの構成を簡単にすることができる。

本発明において、カラーフィルタの製造方法は、液滴吐出装置が、複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドを備え、液滴吐出ヘッド毎に同一種類の機能液を吐出することが好ましい。

このカラーフィルタの製造方法によれば、複数の吐出ノズルを有する液滴吐出ヘッドに同一種類の機能液を吐出させることで、広い面積に短時間で効率良く液滴を吐出させることができる。また、機能液の供給経路は、１個の液滴吐出ヘッドあたり１経路を形成すればよいため、多数の供給経路を形成する場合にくらべて、液滴吐出ヘッドの構成を簡単にすることができる。

本発明において、カラーフィルタの製造方法は、機能液が、カラーフィルタの着色層を形成する着色層形成材料を含む機能液であることが好ましい。

このカラーフィルタの製造方法によれば、着色層形成材料の余りを抑制することが可能となり、無駄な生産費用の発生を抑制することができる。また、複数種類の着色層形成材料を使用する際にも、補充作業の回数を抑制することが可能となり、液滴吐出装置を停止させる回数を抑制して、生産効率の低下を抑制することができる。

本発明による有機ＥＬ装置（有機エレクトロルミネセンス装置）の製造方法は、機能液を基材上に配置する液滴吐出装置が一定の期間稼働する際、又は一定数量の有機ＥＬ装置を製造する際の機能液の使用量を取得する使用量取得工程と、使用量取得工程で取得した機能液の使用量に対応した量の機能液を液滴吐出装置に供給する供給工程と、を有することを特徴とする。

本発明に係る有機ＥＬ装置の製造方法によれば、液滴吐出装置が一定の期間稼働する際、又は一定数量の有機ＥＬ装置を製造する際の機能液の使用量に対応した量の機能液が、液滴吐出装置に供給される。従って、予定された所定の稼働期間又は有機ＥＬ装置の所定の生産量に対応して、当該稼働期間又は生産量に必要な機能液を、略過不足なく液滴吐出装置に供給することができる。これにより、予定された稼働期間又は生産量の製造が完了した際に発生する機能液の余りを抑制することが可能となり、無駄な生産費用の発生を抑制することができる。また、複数種類の機能液のそれぞれが、予定された稼働期間又は生産量の製造が完了した時点で、残量がほぼ無くなることから、複数種類の機能液について補充が必要になる時期が略一致するため、補充作業の回数を抑制することが可能となり、液滴吐出装置を停止させる回数を抑制して、生産効率の低下を抑制することができる。

本発明による有機ＥＬ装置の製造方法は、配置される複数種類の機能液のそれぞれの機能液間の、機能液を基材上に配置する液滴吐出装置における使用量の比率を取得する使用比率取得工程と、使用比率取得工程で取得した機能液間の使用比率に対応した量のそれぞれの機能液を、液滴吐出装置に供給する供給工程と、を有することを特徴とする。

本発明に係る有機ＥＬ装置の製造方法によれば、吐出される複数種類の機能液のそれぞれの機能液間の液滴吐出装置における使用量の比率を取得して、当該使用比率に対応した量のそれぞれの機能液を、液滴吐出装置に供給する。供給された機能液は、それぞれ使用比率に応じた量が使用されてゆくため、それぞれの機能液が略同時に使用し尽くされて、補充が必要になる時期が略一致する。従って、機能液の補充時期を揃えて一度に実行することで、補充作業の回数を抑制することが可能となり、液滴吐出装置を停止させる回数を抑制して、生産効率の低下を抑制することができる。

本発明において、有機ＥＬ装置の製造方法は、液滴吐出装置が、機能液の種類に対応する貯留タンクを備え、供給工程においては、使用量に対応した量の機能液、又は使用比率に対応した量の複数種類の機能液のそれぞれの機能液を、貯留タンクに充填することで、機能液を液滴吐出装置に供給してもよい。

本発明において、有機ＥＬ装置の製造方法は、使用量に対応した容量、又は使用比率に対応した容量を有する貯留タンクを形成する工程をさらに有し、供給工程においては、使用量に対応した容量、又は使用比率に対応した容量を有する貯留タンクに機能液を充填すると共に、当該貯留タンクを液滴吐出装置に接続することで、使用量に対応した量の機能液、又は使用比率に対応した量のそれぞれの機能液を、液滴吐出装置に供給することが好ましい。

この有機ＥＬ装置の製造方法によれば、使用量に対応した容量、又は使用比率に対応した容量を有する貯留タンクに機能液を充填するだけで、使用量に対応した量、又は使用比率に対応した量の機能液を供給することができる。

本発明において、有機ＥＬ装置の製造方法は、液滴吐出装置が、ノズルが略直線状に整列したノズル列を有し、ノズル列毎に同一種類の機能液を吐出することが好ましい。

この有機ＥＬ装置の製造方法によれば、複数の吐出ノズルを有するノズル列に同一種類の機能液を吐出させることで、広い面積に短時間で効率良く液滴を吐出させることができる。また、機能液の供給経路は、１本のノズル列あたり１経路を形成すればよいため、多数の供給経路を形成する場合にくらべて、ノズル列を有する液滴吐出ヘッドの構成を簡単にすることができる。

本発明において、有機ＥＬ装置の製造方法は、液滴吐出装置が、複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドを備え、液滴吐出ヘッド毎に同一種類の機能液を吐出することが好ましい。

この有機ＥＬ装置の製造方法によれば、複数の吐出ノズルを有する液滴吐出ヘッドに同一種類の機能液を吐出させることで、広い面積に短時間で効率良く液滴を吐出させることができる。また、機能液の供給経路は、１個の液滴吐出ヘッドあたり１経路を形成すればよいため、多数の供給経路を形成する場合にくらべて、液滴吐出ヘッドの構成を簡単にすることができる。

本発明において、有機ＥＬ装置の製造方法は、機能液が、有機ＥＬ装置の発光層を形成する発光層形成材料、又は正孔輸送層を形成する正孔輸送層形成材料を含む機能液であることが好ましい。

この有機ＥＬ装置の製造方法によれば、発光層形成材料又は正孔輸送層形成材料の余りを抑制することが可能となり、無駄な生産費用の発生を抑制することができる。また、発光層形成材料又は正孔輸送層形成材料を複数種類扱って使用する際にも、補充作業の回数を抑制することが可能となり、液滴吐出装置を停止させる回数を抑制して、生産効率の低下を抑制することができる。

以下、本発明に係る液状体の供給方法、デバイスの製造方法、配線基板の製造方法、カラーフィルタの製造方法、及び有機ＥＬ装置の製造方法の一実施形態について図面を参照して、説明する。本発明の実施形態は、デバイスの一例である配線基板を製造する工程、デバイスの一例である液晶表示装置を構成する液晶表示パネルのカラーフィルタ基板を製造する工程、及びデバイスの一例である有機ＥＬ表示装置を製造する工程において、液状体の一例である、機能膜を形成するために用いられる機能液の供給方法を例に説明する。当該機能液の供給方法は、例えば、カラーフィルタ基板や、有機ＥＬ表示装置の製造に用いられる機能液の配置装置としての液滴吐出装置において、液滴吐出ヘッドに機能液を供給する供給方法として用いられる。

（第一の実施形態）
最初に、本発明に係る液状体の供給方法、デバイスの製造方法、及びカラーフィルタの製造方法の一実施形態である第一の実施形態について、説明する。本実施形態は、デバイスの一例である液晶表示装置のカラーフィルタを製造する工程において、機能膜の一例である隔壁及び色要素を形成する工程で用いられる液滴吐出装置における機能液の供給方法を例に説明する。

＜液滴吐出法＞
最初に、カラーフィルタなどの形成に用いられる液滴吐出法について説明する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式等が挙げられる。帯電制御方式は、材料に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で材料の飛翔方向を制御して吐出ノズルから吐出させるものである。また、加圧振動方式は、材料に３０ｋｇ／ｃｍ²程度の超高圧を印加して吐出ノズル先端側に材料を吐出させるものであり、制御電圧をかけない場合には材料が直進して吐出ノズルから吐出され、制御電圧をかけると材料間に静電的な反発が起こり、材料が飛散して吐出ノズルから吐出されない。また、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって材料を貯留した空間に可撓物質を介して圧力を与え、この空間から材料を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。

また、電気熱変換方式は、材料を貯留した空間内に設けたヒータにより、材料を急激に気化させてバブル（泡）を発生させ、バブルの圧力によって空間内の材料を吐出させるものである。静電吸引方式は、材料を貯留した空間内に微小圧力を加え、吐出ノズルに材料のメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えてから材料を引き出すものである。また、この他に、電場による流体の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす方式などの技術も適用可能である。液滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の材料を的確に配置できるという利点を有する。このうち、ピエゾ方式は、液状材料に熱を加えないため、材料の組成等に影響を与えないなどの利点を有する。本実施形態では、液状材料選択の自由度の高さ、及び液滴の制御性の良さの点から上記ピエゾ方式を用いる。

＜液滴吐出装置＞
次に、本発明の液状体の供給方法を用いて液滴吐出ヘッド２０（図２参照）に機能液を供給する液滴吐出装置１について説明する。最初に、液滴吐出装置１の構成の全般について、図１を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図である。

図１に示すように、液滴吐出装置１は、液状体である機能液４０（図４参照）を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド２０を有するヘッド機構部２と、液滴吐出ヘッド２０から吐出された液滴の吐出対象であるワーク３０を載置するワーク載置台３１を有するワーク機構部３と、液滴吐出ヘッド２０への機能液４０の供給を行う機能液供給部４と、液滴吐出ヘッド２０の保守を行うメンテナンス装置部５と、を備えている。また、これら各機構部等を総括的に制御する吐出装置制御部６を備えている。

さらに、液滴吐出装置１は、床上に設置された複数の支持脚８と、支持脚８の上側に設置された定盤９とを備えている。定盤９の上側には、ワーク機構部３が定盤９の長手方向（Ｘ軸方向）に延在するように配設されている。ワーク機構部３の上方には、定盤９に固定された２本の支持柱２６で支持されているヘッド機構部２が、ワーク機構部３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在するように配設されている。また、定盤９の傍らには、ヘッド機構部２の液滴吐出ヘッド２０に連通する供給管４６（４６１，４６２，４６３）を有する機能液供給部４の機能液タンク４１などが配置されている。ヘッド機構部２の一方の支持柱２６の近傍には、メンテナンス装置部５がワーク機構部３と並んでＸ軸方向に配設されている。さらに、定盤９の下側に、吐出装置制御部６が収容されている。

ヘッド機構部２は、液滴吐出ヘッド２０を有するヘッドユニット２１（図３参照）と、ヘッドユニット２１を支持するヘッドキャリッジ２２と、ヘッドキャリッジ２２をＹ軸方向に移動させるＹ軸走査機構２５と、を備えている。ヘッドユニット２１は、図示省略したヘッド回動機構２２ａ（図５参照）によって図１のθ方向に回動可能に、ヘッドキャリッジ２２に吊下げられるよう支持されている。Ｙ軸走査機構２５は、ヘッドキャリッジ２２のＹ軸方向への移動をガイドするＹ軸ガイド２３と、Ｙ軸ガイド２３の側方にＹ軸ガイド２３と平行に設置されたＹ軸リニアモータ２４と、を備えている。ヘッドキャリッジ２２は、Ｙ軸ガイド２３に移動可能に取り付けられている。ヘッドキャリッジ２２の上面には、中継タンク４３を有する機能液供給ユニット４７が取り付けられている。

これらの構成により、液滴吐出ヘッド２０は、Ｙ軸方向に自在に移動することが可能である。図示されていないが、ヘッドキャリッジ２２からＹ軸リニアモータ２４側へ張り出している突起部が、Ｙ軸リニアモータ２４と係合してＹ軸リニアモータ２４による駆動力を受けることにより、ヘッドキャリッジ２２がＹ軸ガイド２３に沿って任意の位置に移動される。また、移動した位置に保持される。

ワーク機構部３は、ヘッド機構部２の下方に位置し、ワーク３０を載置するワーク載置台３１と、ワーク載置台３１を支持するスライド台３１Ａと、スライド台３１ＡをＸ軸方向に移動させるＸ軸走査機構３５と、を備えている。ワーク載置台３１は、図示省略したワーク回動機構３１ａ（図５参照）によって図１のθ方向に回動可能にスライド台３１Ａの上に固定されて、支持されている。Ｘ軸走査機構３５は、スライド台３１ＡのＸ軸方向の移動をガイドするＸ軸ガイド３３と、Ｘ軸ガイド３３の側方にＸ軸ガイド３３と平行に設置されたＸ軸リニアモータ３４とを備えている。スライド台３１Ａは、Ｘ軸ガイド３３に移動可能に取り付けられている。

これらの構成により、ワーク載置台３１に載置されたワーク３０は、Ｘ軸方向に自在に移動することが可能である。スライド台３１ＡからＸ軸リニアモータ３４側へ張り出している突起部が、Ｘ軸リニアモータ３４と係合してＸ軸リニアモータ３４による駆動力を受けることにより、スライド台３１ＡがＸ軸ガイド３３に沿って任意の位置に移動される。また、移動した位置に保持される。

このように、液滴吐出ヘッド２０は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にあるワーク３０のＸ軸方向の移動に同調して、機能液４０を液滴として吐出する構成となっている。Ｘ軸方向に移動するワーク３０と、Ｙ軸方向に移動する液滴吐出ヘッド２０とを相対的に制御することにより、ワーク３０上の任意の位置に液滴を着弾させることで、所望する描画などを行うことが可能である。

メンテナンス装置部５は、メンテナンスユニットであるキャッピングユニット５６、ワイピングユニット５７、及びフラッシングユニット５８を備えている。さらに、これらのメンテナンスユニットを載置するメンテキャリッジ５１と、メンテキャリッジ５１の移動をガイドするメンテキャリッジガイド５２と、メンテキャリッジ５１と一体の螺合部５５と、螺合部５５が螺合するボールねじ５４と、ボールねじ５４を回転させるメンテモータ５３とを備えている。また、廃液回収管４８及び廃液タンク４４と、廃液回収管４９及び廃液タンク４５とを有している。

メンテモータ５３が正逆回転することで、ボールねじ５４が回転し、螺合部５５を介してメンテキャリッジ５１が、Ｘ軸方向に移動する。液滴吐出ヘッド２０のメンテナンスを実行するときは、実行するメンテナンスに対応するキャッピングユニット５６、ワイピングユニット５７、又はフラッシングユニット５８が、液滴吐出ヘッド２０に対向できる位置に移動するように、メンテキャリッジ５１を移動させる。ヘッドキャリッジ２２がＹ軸ガイド２３に沿ってメンテナンスユニットの直上部に移動して、液滴吐出ヘッド２０は、メンテナンスユニットに臨む位置に移動される。

キャッピングユニット５６は、液滴吐出装置１が稼動していない時に、図３を参照して後述するヘッドユニット２１に固定された１２個の液滴吐出ヘッド２０（ヘッド本体７０Ａ）（図２参照）のそれぞれと密着してキャッピングする。キャッピングことで、機能液４０が乾燥して液滴吐出ヘッド２０の吐出ノズル７２（図２参照）が詰まるなどの不具合が生ずることを抑制する。また、機能液４０の交換時などに、図示していない吸引ポンプにより、古い機能液４０を液滴吐出ヘッド２０から吸引して強制排出したり、強制吸引することで新しい機能液４０を供給路から液滴吐出ヘッド２０へ吸引したりする役目を果たす。ワイピングユニット５７は、機能液４０の連続吐出後やキャッピングの前に液滴吐出ヘッド２０のノズル形成プレート７１のノズル形成面７１ａに付着した機能液４０などを、洗浄液を含むワイピング布で拭い、液滴吐出ヘッド２０のノズル形成面７１ａを清浄な状態にする。フラッシングユニット５８は、液滴吐出装置１の稼動開始時やワーク３０への加工前、加工途中および加工後に、フラッシングとして液滴吐出ヘッド２０から吐出される機能液４０を受け、液滴吐出ヘッド２０の吐出状態を良好に維持する。

廃液回収管４８及び廃液タンク４４と廃液回収管４９及び廃液タンク４５とは、メンテナンス装置部５において、液滴吐出ヘッド２０の保守を行う際に液滴吐出ヘッド２０から吐出又は吸引された機能液４０を廃液として回収する。キャッピングユニット５６が吸引した機能液４０は、廃液回収管４８を介して廃液タンク４４に溜まり、廃液として回収される。フラッシングユニット５８が受けた機能液４０の液滴は、廃液回収管４９を介して廃液タンク４５に溜まり、廃液として回収される。

これらのメンテナンスユニットにより、液滴吐出装置１の非稼動時やワーク３０を交換載置している加工待ち時などに、液滴吐出ヘッド２０の状態を保全して良好な吐出状態を保つことが可能である。

液滴吐出ヘッド２０へ機能液４０（図４参照）の供給を行う機能液供給部４は、機能液４０を供給するための、機能液タンク４１と、サブタンク４２と、中継タンク４３を有する機能液供給ユニット４７と、を備えている。また、これらのタンク間及び液滴吐出ヘッド２０を連通して機能液４０を機能液タンク４１から液滴吐出ヘッド２０へ供給する供給管４６を備えている。供給管４６は、無色透明な材質で形成されている。機能液タンク４１とサブタンク４２とを結合する供給管４６を供給管４６１、サブタンク４２と中継タンク４３とを結合する供給管４６を供給管４６２、中継タンク４３と液滴吐出ヘッド２０とを結合する供給管４６を供給管４６３と表記する。

また、機能液タンク４１又はサブタンク４２の内部圧力を、機能液タンク圧力管６４又はサブタンク圧力管６５を介して調整し、機能液４０を液滴吐出ヘッド２０へ供給するための圧力付与部６０とを備えている。さらに、機能液タンク４１内の機能液４０の量を検出する液量検出器１１と、供給管４６内を流動する機能液４０の流量を検出するための流量検出器１２とを備えている。本実施形態の液滴吐出装置１は、機能液タンク４１と、サブタンク４２と、中継タンク４３との組を６組備えており、６種類の機能液を並行して扱うことができる。機能液４０の供給については、図４を参照して詳細に後述する。

＜液滴吐出ヘッド＞
次に、図２を参照して液滴吐出ヘッド２０について説明する。図２は、液滴吐出ヘッドをノズル形成プレート側から見た外観斜視図である。この液滴吐出ヘッド２０は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針７６，７６を有する液体導入部７５と、液体導入部７５の側方に連なる２連のヘッド基板７７と、液体導入部７５に連なる２連のポンプ部７８と、ポンプ部７８に連なるノズル形成プレート７１とを備えている。液体導入部７５には、配管接続部材を介して供給管４６３が接続され、ヘッド基板７７には、一対のヘッドコネクタ７７Ａ，７７Ａが実装されており、当該ヘッドコネクタ７７Ａを介してフレキシブルフラットケーブルが接続される。一方、このポンプ部７８とノズル形成プレート７１とにより、方形のヘッド本体７０Ａが構成されている。

ポンプ部７８の基部側、すなわちヘッド本体７０Ａの基部側は、液体導入部７５を受けるべく方形フランジ状にフランジ部７４が形成されている。このフランジ部７４には、液滴吐出ヘッド２０を副ヘッド保持部材８３（図３参照）に固定する小ねじ用のねじ孔（雌ねじ）７９が一対形成されている。副ヘッド保持部材８３を貫通してねじ孔７９に螺合したヘッド止めねじによって、液滴吐出ヘッド２０が副ヘッド保持部材８３に固定される（図３参照）。

ノズル形成プレート７１のノズル形成面７１ａには、ノズル形成プレート７１に形成されており液滴を吐出する吐出ノズル７２から成るノズル列７３が、２本形成されている。２本のノズル列７３は相互に平行に列設されており、各ノズル列７３は、等ピッチで並べた１８０個（図示では模式的に表している）の吐出ノズル７２で構成されている。すなわち、ヘッド本体２０Ａのノズル形成面７１ａには、その中心線を挟んで２本のノズル列７３が対称に配設されている。

＜ヘッドユニット＞
次に、図３を参照してヘッドユニット２１の全体構成について説明する。図３は、ヘッドユニットの外観斜視図である。図３（ａ）は、ヘッドユニットを、取り付けられた液滴吐出ヘッドの液体導入部側から見た外観斜視図であり、（ｂ）は、ヘッドユニットを、取り付けられた液滴吐出ヘッドのノズルプレート側から見た外観斜視図である。図３に示すように、ヘッドユニット２１のユニットプレート８１には、主ヘッド保持部材８２及び副ヘッド保持部材８３を介して液滴吐出ヘッド２０が取り付けられている。主ヘッド保持部材８２及び副ヘッド保持部材８３は、液滴吐出ヘッド２０をユニットプレート８１に精度良く位置決めするとともに、ユニットプレート８１への着脱を容易にするためのものである。

１基のヘッドユニット２１は、１２個の液滴吐出ヘッド２０を備えている。１２個の液滴吐出ヘッド２０は、２列に配置されており、各列は、６個の液滴吐出ヘッド２０がＸ軸方向に対して若干傾いた直線状に配設されている。ユニットプレート８１には、一対の基準ピン８４，８４が固定されており、１２個の液滴吐出ヘッド２０はそれぞれ基準ピン８４に形成された基準マーク孔（図示省略）を基準として、適切な位置に位置決めされて固定されている。

ユニットプレート８１には、また、第一位置規制孔８１ａと、第二位置規制孔８１ｂと、４箇所のユニット固定孔８１ｃとが形成されている。第一位置規制孔８１ａ及び第二位置規制孔８１ｂは、ヘッドユニット２１をヘッドキャリッジ２２に取り付ける際の位置決め用として用いられる。４箇所のユニット固定孔８１ｃは、ヘッドユニット２１をヘッドキャリッジ２２に固定するねじが貫通する孔である。図３に示したＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、図１に示したＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸と同一である。即ち、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態では、液滴吐出ヘッド２０に形成されたノズル列７３（図２参照）は、Ｙ軸方向に延在する構成になっている。

一端が中継タンク４３に結合された供給管４６３の液滴吐出ヘッド２０に結合する側は二股に分岐しており、分岐した二端のそれぞれが２連の接続針７６，７６のそれぞれと配管接続部材を介して接続されている。上記したように、本実施形態の液滴吐出装置１は、機能液タンク４１と、サブタンク４２と、中継タンク４３との組を６組備えており、６種類の機能液を並行して扱うことができる。１２個の液滴吐出ヘッド２０に６種類の機能液を供給するために、例えば、１個の中継タンク４３に２本の供給管４６３を結合して、１種類の機能液をそれぞれ２個の液滴吐出ヘッド２０に供給する。供給管４６３ａ、供給管４６３ｂ、供給管４６３ｃ、供給管４６３ｄ、供給管４６３ｅ、供給管４６３ｆは、それぞれ図示省略した中継タンク４３ａ、中継タンク４３ｂ、中継タンク４３ｃ、中継タンク４３ｄ、中継タンク４３ｅ、中継タンク４３ｆに結合されていることを示している。

＜機能液供給部＞
次に、機能液供給部４の構成について、図４を参照してより詳細に説明する。図４は、機能液供給部の構成を示す模式図である。上述したように、機能液供給部４は、機能液タンク４１と、サブタンク４２と、中継タンク４３を有する機能液供給ユニット４７と、これらのタンク間及び液滴吐出ヘッド２０を連通して機能液４０を機能液タンク４１から液滴吐出ヘッド２０へ供給する供給管４６と、を備えている。また、圧力付与部６０と機能液タンク４１内の機能液４０の量を検出する液量検出器１１と、供給管４６内を流動する機能液４０の流量を検出するための流量検出器１２とを備えている。

圧力付与部６０と、液量検出器１１と、流量検出器１２と、機能液４０の流路を開閉するための複数のバルブ（図示省略）とは、図４に点線で示したように吐出装置制御部６と電気的に接続されている。機能液４０は、機能液タンク４１から供給管４６１を介してサブタンク４２へ至り、サブタンク４２から供給管４６２を介して中継タンク４３に至り、さらに、中継タンク４３から供給管４６３を経由して液滴吐出ヘッド２０へ供給される。

機能液タンク４１は液滴吐出ヘッド２０に機能液４０を供給するための供給元であって、機能液４０を貯留する貯留部４１ａと貯留栓４１ｂとを有している。貯留栓４１ｂは、貯留部４１ａの開口に嵌合自在であって、嵌合することで、貯留部４１ａの内部を外部と遮断する。貯留栓４１ｂには、圧力付与部６０に結合されている機能液タンク圧力管６４の一端と、サブタンク４２に連通する供給管４６１の一端と、液量検出器１１とが固定されている。貯留栓４１ｂが貯留部４１ａの開口に嵌合することで、機能液タンク圧力管６４の一端と、供給管４６１の一端とが貯留部４１ａに結合され、液量検出器１１が貯留部４１ａ内に挿入される。圧力付与部６０が機能液タンク圧力管６４を介して貯留部４１ａの内部の圧力を調整することで、供給管４６１を介して、機能液４０をサブタンク４２へ送出する。また、貯留部４１ａ内に挿入された液量検出器１１によって、貯留部４１ａ内の機能液４０の量を検出可能となる。機能液タンク４１への機能液４０の補充や新たな機能液４０の充填は、貯留部４１ａに機能液４０を直接補充又は充填することで実行してもよいし、貯留部４１ａを機能液４０が充填された別の貯留部４１ａと交換することで実行してもよい。

サブタンク４２は、サブタンク圧力管６５を介して圧力付与部６０と結合されており、供給管４６２、中継タンク４３、供給管４６３を介して液滴吐出ヘッド２０に機能液４０を供給できるように、供給管４６２の一端が結合されている。サブタンク４２は、圧力付与部６０により、液滴吐出ヘッド２０の吐出ノズル７２における圧力が適切な水頭圧となるように圧力制御管理されており、液滴吐出ヘッド２０の駆動に応じて機能液４０を一定の圧力で供給する。これにより、吐出ノズル７２からの液だれが防止されると共に、機能液４０の吐出が設計上意図したものとなる。供給管４６２の中間には、流量検出器１２が設けられており、供給管４６２を通過して供給される機能液４０の量を検出することができる。

なお、サブタンク４２は、貯留する機能液４０の液面上にステンレスなどの金属板、フッ素系樹脂などのいわゆる落し蓋を設置し、液面とエアーとが直接接触する面積を減らすように構成することが好ましい。また、機能液タンク４１においても、サブタンク４２と同様のタンク構成として、サブタンク４２に機能液４０を供給する前に、機能液タンク４１での機能液４０とエアーとの接触を防止することが好ましい。これにより、機能液４０への気泡の混入、機能液４０の変質を抑制して、ほぼ防止することが可能である。

サブタンク４２から送出された機能液４０は、供給管４６２を介して中継タンク４３に至り、中継タンク４３から複数の供給管４６３に分岐して、液滴吐出ヘッド２０へ供給される。中継タンク４３は、ヘッドキャリッジ２２の上面に取り付けられた機能液供給ユニット４７の中に配設されており、複数の供給管４６３が接続されている。本実施形態では、図３（ａ）に示したように、１個の中継タンク４３に接続された複数の供給管４６３の中の２本が液滴吐出ヘッド２０に結合されている。液滴吐出ヘッド２０に結合されていない供給管４６３については、図示省略したバルブを閉めて、液滴吐出ヘッド２０に結合されていない供給管４６３には、中継タンク４３から機能液４０が流入することがないようにする。

次に、上述したような構成を有する液滴吐出装置１を駆動するための電気的構成について、図５を参照して説明する。図５は、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図である。液滴吐出装置１は、制御装置９０を介してデータの入力や、稼働開始や停止などの制御指令の入力を行うことで、制御される。制御装置９０は、演算処理を行うホストコンピュータ９１と、液滴吐出装置１に入出力する情報を入出力するための入出力装置９３とを有し、インタフェイス９２を介して吐出装置制御部６と接続されている。入出力装置９３は、情報を入力可能なキーボード、記録媒体を介して情報を入出力する外部入出力装置、外部入出力装置を介して入力された情報を保存しておく記録部、モニタ装置などである。

液滴吐出装置１の吐出装置制御部６は、インタフェイス９７と、ＣＰＵ（Central Processing Unit）９４と、ＲＯＭ（Read Only Memory）９５と、ＲＡＭ（Random Access Memory）９６と、を有している。また、ヘッドドライバ２ｄと、駆動機構ドライバ４０ｄと、圧力ドライバ６０ｄと、メンテナンスドライバ５０ｄと、検出器インタフェイス９８と、を有している。これらは、データバス９９を介して互いに電気的に接続されている。

インタフェイス９７は、制御装置９０とデータの授受を行い、ＣＰＵ９４は、制御装置９０からの指令に基づいて各種演算処理を行い、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する制御信号を出力する。ＲＡＭ９６は、ＣＰＵ９４からの指令に従って、制御装置９０から受け取った制御コマンドや印刷データを一時的に保存する。ＲＯＭ９５は、ＣＰＵ９４が各種演算処理を行うためのルーチン等を記録している。

ヘッドドライバ２ｄには、液滴吐出ヘッド２０が接続されており、ヘッドドライバ２ｄは、ＣＰＵ９４からの制御信号に従って液滴吐出ヘッド２０を駆動して、機能液４０の液滴を吐出させる。駆動機構ドライバ４０ｄには、Ｘ軸リニアモータ３４と、Ｙ軸リニアモータ２４と、ヘッド回動機構２２ａと、ワーク回動機構３１ａとが接続されている。駆動機構ドライバ４０ｄは、ＣＰＵ９４からの制御信号に従って上記モータなどを駆動して、液滴吐出ヘッド２０とワーク３０とを相対移動させてワーク３０の任意の位置と液滴吐出ヘッド２０とを対向させ、ヘッドドライバ２ｄと協働して、ワーク３０上の任意の位置に機能液４０の液滴を着弾させる。

メンテナンスドライバ５０ｄには、キャッピングユニット５６と、ワイピングユニット５７と、フラッシングユニット５８と、メンテモータ５３とが接続されている。メンテナンスドライバ５０ｄは、ＣＰＵ９４からの制御信号に従ってメンテモータ５３を駆動して、キャッピングユニット５６、ワイピングユニット５７、又はフラッシングユニット５８が、液滴吐出ヘッド２０に対向できる位置に移動するように、メンテキャリッジ５１を移動させる。また、キャッピングユニット５６、ワイピングユニット５７、又はフラッシングユニット５８を駆動して、液滴吐出ヘッド２０の保守作業を実行させる。

圧力ドライバ６０ｄには、圧力付与部６０が接続されている。圧力ドライバ６０ｄは、ＣＰＵ９４からの制御信号に従って圧力付与部６０を駆動して、液滴吐出ヘッド２０に機能液４０を供給する。検出器インタフェイス９８には、液量検出器１１と、流量検出器１２とが接続されている。液量検出器１１又は流量検出器１２の検出情報が検出器インタフェイス９８を介してＣＰＵ９４に伝達される。

＜液晶表示パネルの構成＞
次に、本発明の液状体の供給方法を用いて製造されるデバイスの一例である液晶表示装置を構成する液晶表示パネルのカラーフィルタ基板、及びカラーフィルタ基板の製造方法について説明する。最初に、液晶表示パネルについて説明する。図６は、液晶表示パネルの構造を示す概略図である。図６（ａ）は、液晶表示パネルについて、各構成要素とともにフィルタ基板側から見た平面図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）にＡ−Ａで示した断面における断面形状を示す概略断面図である。

図６（ａ）及び（ｂ）に示すように、液晶表示パネル１１０は、素子基板１０１と、カラーフィルタ基板１０２と、シール材１０４によって接着された素子基板１０１とカラーフィルタ基板１０２との隙間に充填された液晶１０８とを備えている。素子基板１０１は、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子１０３及び画素電極１０６ｂを有しており、カラーフィルタ基板１０２は、対向電極１０６ａ及びカラーフィルタ１０５を有している。素子基板１０１はカラーフィルタ基板１０２より一回り大きく額縁状に張り出した状態となっている。

素子基板１０１は、厚さおよそ１．２ｍｍの石英ガラス基板を用いており、その表面には画素を構成する画素電極１０６ｂと、３端子のうちの一つが画素電極１０６ｂに接続されたＴＦＴ素子１０３が形成されている。ＴＦＴ素子１０３の残りの２端子は、画素電極１０６ｂを囲んで互いに絶縁状態で格子状に配置されたデータ線（図示省略）と走査線（図示省略）とに接続されている。データ線は、ｙ軸方向に引き出されて端子部１１６においてデータ線駆動回路部１０９ａに接続されている。走査線は、ｘ軸方向に引き出され、左右の額縁領域に形成された２つの走査線駆動回路部１０９ｂに個々に接続されている。データ線駆動回路部１０９ａ及び走査線駆動回路部１０９ｂの入力側配線は、端子部１１６に沿って配列した実装端子１１１にそれぞれ接続されている。端子部１１６とは反対側の額縁領域には、２つの走査線駆動回路部１０９ｂを相互に繋ぐ配線１１２が設けられている。

カラーフィルタ基板１０２は、厚みがおよそ１．０ｍｍの透明な石英ガラスからなるガラス基板１０２ａを用いており、共通電極としての対向電極１０６ａが設けられている。対向電極１０６ａは、ガラス基板１０２ａの四隅に設けられた上下導通部１１４を介して素子基板１０１側に設けられた配線と導通しており、当該配線も端子部１１６に設けられた実装端子１１１に接続されている。また、カラーフィルタ基板１０２には、画素電極１０６ｂと対向する位置に色要素１５３（図８参照）が形成されたカラーフィルタ１０５が設けられている。色要素１５３が、着色層に相当する。

液晶１０８に面する素子基板１０１の表面及びカラーフィルタ基板１０２の表面には、それぞれ配向膜１０７ｂ、配向膜１０７ａが形成されている。

液晶表示パネル１１０は、外部駆動回路と電気的に繋がる中継基板が実装端子１１１に接続される。そして、外部駆動回路からの入力信号が各データ線駆動回路部１０９ａおよび走査線駆動回路部１０９ｂに入力されることにより、ＴＦＴ素子１０３が画素電極ごとにスイッチングされる。これにより、画素電極１０６ｂと対向電極１０６ａとの間に駆動電圧が印加されて表示が行われる。

なお、図６では図示省略したが、液晶表示パネル１１０の表裏面には、それぞれ入出射する光を偏光する偏光板が設けられる。

＜カラーフィルタ＞
次に、カラーフィルタ基板１０２に形成されているカラーフィルタ１０５及びカラーフィルタ１０５における色要素１５３の配列について説明する。図７（ａ）は、カラーフィルタの一実施形態の平面構造を模式的に示す模式図であり、図７（ｂ）は、複数のカラーフィルタが形成されたマザー基板の平面構造を模式的示す模式図である。

カラーフィルタ１０５は、ガラス、プラスチック等の方形状の基板の表面に複数の色要素領域１５２（図８、図１０（ｅ）参照）をドットパターン状、本実施形態ではドット・マトリクス状に形成し、当該色要素領域１５２に色要素１５３を形成し、さらにその上に保護膜を積層することによって形成されている。なお、図７（ａ）は保護膜を取り除いた状態のカラーフィルタ１０５を平面的に示している。

上記カラーフィルタ１０５が形成された方形状のカラーフィルタ基板１０２は、例えば、図７（ｂ）に示すような大面積のマザー基板１０２Ａから切り出される。より詳細には、まず、マザー基板１０２Ａ内に設定された複数のカラーフィルタ形成領域１０５ａのそれぞれの表面にカラーフィルタ１０５の１個分のパターンを形成し、さらにそれらのカラーフィルタ形成領域１０５ａの周りに切断用の溝を形成する。さらに、それらの溝に沿ってマザー基板１０２Ａを切断することにより、カラーフィルタ１０５が形成された方形状のカラーフィルタ基板１０２が形成される。

＜色要素の配列＞
次に、色要素１５３の配列について説明する。色要素１５３は、隔壁１５６によって区画された例えば方形状の色要素領域１５２を色材で埋めることによって形成される。隔壁１５６は、透光性のない樹脂材料によって格子状のパターンに形成されており、隔壁１５６によって区画形成された色要素領域１５２は、ドット・マトリクス状に並んでいる。図８は、色要素の配列例を示す平面図である。図８（ａ）は、４色フィルタの配列例を示しており、図８（ｂ）及び（ｃ）は、６色フィルタの配列例を示している。色要素１５３の配列としては、例えば、ストライプ配列、モザイク配列、デルタ配列等が知られている。ストライプ配列は、マトリクスの縦列が全て同色の色要素１５３になる配列である。モザイク配列は、横方向の各行ごとに色要素１５３一つ分だけ色をずらした配列で、３色フィルタの場合、縦横の直線上に並んだ任意の３つの色要素１５３が３色となる配列である。そして、デルタ配列は、色要素１５３の配置を段違いにすることで、３色フィルタの場合、任意の隣接する３つの色要素１５３が異なる色となる配列である。

図８（ａ）に示した４色フィルタにおいて、色要素１５３は、それぞれが、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）、Ｗ（無色透明）のうちのいずれか１色の色材によって形成されている。隣合って形成されたＲ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）、Ｗ（無色透明）の色要素１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂ，１５３Ｗを各１個づつ含む色要素１５３の組で、画像を構成する最小単位である絵素のフィルタ（以降、「絵素フィルタ１５４」と表記する。）を形成している。１個の絵素フィルタ１５４内の色要素１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂ，１５３Ｗのいずれか１つ又はそれらの組合せに光を選択的に通過させることにより、フルカラー表示を行う。このとき、透光性のない樹脂材料によって形成された隔壁１５６はブラックマトリクスとして作用する。図８（ａ）に示した４色フィルタにおいては、それらの絵素フィルタ１５４がストライプ配列で配列されている。

図８（ｂ）に示した６色フィルタにおいて、色要素１５３は、それぞれが、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）、Ｃ（シアン又は青緑色）、Ｍ（マゼンダ又は紫赤色）、Ｙ（イエロー又は黄色）のうちのいずれか１色の色材によって形成されている。隣合って形成されたＲ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）、Ｃ（シアン）、Ｍ（マゼンダ）、Ｙ（イエロー）の色要素１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂ，１５３Ｃ，１５３Ｍ，１５３Ｙを各１個ずつ含む色要素１５３の組で、一つの絵素に対応する絵素フィルタ１５７を形成している。光の三原色であるＲ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）が、図８の横方向に一列に配置されており、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）の補色であるＣ（シアン）、Ｍ（マゼンダ）、Ｙ（イエロー）がそれぞれ補色の関係にある色と、図８の縦方向で隣接するように配置されている。１個の絵素フィルタ１５７内の色要素１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂ，１５３Ｃ，１５３Ｍ，１５３Ｙのいずれか１つ又はそれらの組合せに光を選択的に通過させることにより、フルカラー表示を行う。図８（ｂ）に示した６色フィルタにおいては、それらの絵素フィルタ１５７がストライプ配列されている。図８（ｃ）に示した６色フィルタにおいては、それらの絵素フィルタ１５７が、モザイク配列で配列されている。

図８（ｂ）又は（ｃ）に示した６色フィルタにおいて、光の三原色であるＲ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）の補色であるＣ（シアン）、Ｍ（マゼンダ）、Ｙ（イエロー）の色要素１５３Ｃ，１５３Ｍ，１５３Ｙの面積は、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）の色要素１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂの面積より小さくなっている。これは、色要素によって光の透過率が異なるために、同じ光源であっても出力光の明るさが異なることを、色要素１５３の面積で補正するためである。図８に示した１個の色要素１５３の大きさは、例えば、３０μｍ×１００μｍ、又は３０μｍ×６０μｍと３０μｍ×２０μｍである。また、色要素１５３の間の間隔、いわゆるエレメント間ピッチは、例えば、４５μｍである。

＜カラーフィルタ基板の製造方法＞
次に、カラーフィルタ基板の製造工程について図９乃至図１２を参照して説明する。図９はカラーフィルタ基板の製造工程を示すフローチャートであり、図１０（ａ）〜（ｇ）はカラーフィルタ基板の製造過程を示す模式断面図である。

図９に示したように、本実施形態のカラーフィルタ基板１０２の製造方法は、撥液化処理工程（ステップＳ１）と、親液化処理工程（ステップＳ２）と、隔壁部形成工程（ステップＳ３）と、色要素形成工程（ステップＳ６）と、を備えている。撥液化処理工程では、図１０（ａ）に示したガラス基板１８１（マザー基板１０２Ａ：図７参照）の表面が撥液性を有するように表面処理を行い、親液化処理工程では、ガラス基板１８１の撥液化処理された表面における隔壁１５６を形成する領域に対応する部分を、親液性を有するように表面処理を行う。また、隔壁部形成工程では、ガラス基板１８１上に複数の色要素領域１５２を区画するように隔壁部を形成し、色要素形成工程では、複数の色要素領域１５２に異なる色要素形成材料を含む機能液４０を吐出して複数種の色要素１５３を形成する。

図９のステップＳ１は、撥液化処理工程である。ステップＳ１では、図１０（ａ）に示すように、ガラス基板１８１の表面に薄膜１８６を形成して撥液性を付与する。薄膜１８６の形成方法としては、撥液性を有する材料としてＦＡＳ（フッ化アルキルシラン）またはＨＭＤＳ（ヘキサメチルジシラン）を用いて、ほぼ単分子膜からなる薄膜１８６を形成する。より詳細には、ガラス基板１８１の表面に自己組織化膜を形成する方法等を採用できる。

自己組織化膜形成法では、ガラス基板１８１の表面に、有機分子膜などからなる自己組織化膜を形成する。有機分子膜は、ガラス基板１８１に結合可能な官能基と、その反対側に表面性を改質する（表面エネルギーを制御する）撥液基としての官能基と、これらの官能基を結ぶ炭素の直鎖或は一部分岐した炭素鎖と、を備えており、ガラス基板１８１に結合して自己組織化して分子膜、例えば単分子膜を形成する。

ここで、自己組織化膜とは、ガラス基板１８１の下地層等の構成原子と反応可能な結合性官能基とそれ以外の直鎖分子とからなり、直鎖分子の相互作用により極めて高い配向性を有する化合物を、配向させて形成された膜である。この自己組織化膜は、単分子を配向させて形成されているので、極めて膜厚を薄くすることができ、しかも、分子レベルで均一な膜となる。すなわち、膜の表面に同じ分子が位置するため、膜の表面に、均一であってしかも優れた撥液性を付与することができる。

上記した高い配向性を有する化合物として、例えばフルオロアルキルシランを用いることにより、膜の表面にフルオロアルキル基が位置するように各化合物が配向されて自己組織化膜が形成され、膜の表面に均一な撥液性が付与される。自己組織化膜を形成する化合物としては、ヘプタデカフルオロ−１，１，２，２テトラヒドロデシルトリエトキシシラン、ヘプタデカフルオロ−１，１，２，２テトラヒドロデシルトリメトキシシラン、ヘプタデカフルオロ−１，１，２，２テトラヒドロデシルトリクロロシラン、トリデカフルオロ−１，１，２，２テトラヒドロオクチルトリエトキシシラン、トリデカフルオロ−１，１，２，２テトラヒドロオクチルトリメトキシシラン、トリデカフルオロ−１，１，２，２テトラヒドロオクチルトリクロロシラン、トリフルオロプロピルトリメトキシシラン等のフルオロアルキルシラン（以下、「ＦＡＳ」と表記する。）を例示できる。これらの化合物は、単独で使用してもよく、２種以上を組み合わせて使用してもよい。ＦＡＳを用いることにより、ガラス基板１８１との密着性と、表面の良好な撥液性とを得ることができる。

ＦＡＳは、一般的に構造式ＲｎＳｉＸ（４−ｎ）で表される。ここでｎは１以上３以下の整数を表し、Ｘはメトキシ基、エトキシ基、ハロゲン原子などの加水分解基である。またＲはフルオロアルキル基であり、（ＣＦ₃）（ＣＦ₂）ｘ（ＣＨ₂）ｙの（ここでｘは０以上１０以下の整数を、ｙは０以上４以下の整数を表す）構造を持ち、複数個のＲ又はＸがＳｉに結合している場合には、Ｒ又はＸはそれぞれすべて同じでもよく、異なっていてもよい。Ｘで表される加水分解基は、加水分解によりシラノールを形成して、ガラス基板１８１の下地のヒドロキシル基と反応してシロキサン結合でガラス基板１８１と結合する。一方、Ｒで表されるフルオロアルキル基は、表面に（ＣＦ₂）等のフルオロ基を有するため、ガラス基板１８１の下地表面を濡れ難い（表面エネルギーが低い）表面に改質する。

有機分子膜などからなる自己組織化膜は、上記の原料化合物とガラス基板１８１とを同一の密閉容器中に入れておき、室温で２〜３日程度の間放置することによりガラス基板１８１上に形成される。また、密閉容器全体を１００℃に保持することにより、３時間程度でガラス基板１８１上に形成される。これらは気相からの形成法であるが、液相からも自己組織化膜を形成できる。例えば、原料化合物を含む溶液中にガラス基板１８１を浸積し、洗浄、乾燥することでガラス基板１８１上に自己組織化膜が形成される。なお、自己組織化膜を形成する前に、ガラス基板１８１表面に紫外光を照射したり、溶媒により洗浄したりして、ガラス基板１８１表面の前処理を施すことが望ましい。

図９のステップＳ２は、親液化処理工程である。ステップＳ２では、図１０（ｂ）に示すように、撥液化処理された表面１８６ａにレーザ光を照射して親液性を付与する。レーザ光が照射された部位では、シロキサン結合が切れて水酸基と結合した状態となり、親液性が付与される。この場合、レーザ照射する範囲は、図１０（ｃ）に示すように、隔壁１５６を形成する領域１８６ｂである。

なお、照射するレーザ光としては、発熱を生じさせる波長帯域を有するものが望ましく、例えば、赤外域（０．７〜１０μｍ）に波長帯域を有するものが好適である。このようなレーザ光源として、例えば、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ（１．０６４μｍ）、ＣＯ₂レーザ（１０．６μｍ）などを用いることができる。そして、これらのレーザ光源と、レーザ光源に対して少なくともＸ，Ｙ方向に相対移動可能なテーブルとを、備えたレーザ照射装置により、テーブルにガラス基板１８１を載置して領域１８６ｂを描画するようにレーザ光を照射して親液化処理を行う。

また、ＦＡＳなどからなる薄膜１８６を親液化処理する方法としては、親液化する領域１８６ｂ以外をマスクで覆い、ＵＶ（紫外光）を照射する方法も採用することができる。

図９のステップＳ３は、隔壁部形成工程である。ステップＳ３では、図１０（ｄ）に示すように、上述した液滴吐出装置１（図１参照）を用いて、隔壁１５６を形成する。液滴吐出ヘッド２０（図２参照）から隔壁部形成材料を含む機能液４０を吐出して隔壁１５６を形成する。上述したように、液滴吐出装置１が備える液滴吐出ヘッド２０（図２参照）は、液状体を液滴として吐出ノズルから吐出可能であり、液状体として隔壁部形成材料を含む機能液４０である隔壁材料液１５６ａを吐出して隔壁１５６を形成する。

隔壁材料液１５６ａの吐出に先立って、例えば製造しようとするロットのカラーフィルタ基板１０２の数量から、当該ロットの製造に必要な隔壁材料液１５６ａの量を取得する。機能液タンク４１の貯留部４１ａには、取得した量の隔壁材料液１５６ａを充填する。ロットの製造に必要な隔壁材料液１５６ａの量が多い場合には、例えば１日分のように期間を区切って、当該期間に消費する隔壁材料液１５６ａの量を取得して、取得した量の隔壁材料液１５６ａを貯留部４１ａに充填する。上述したように、本実施形態の液滴吐出装置１は、機能液タンク４１と、サブタンク４２と、中継タンク４３との組を６組備えており、６種類の機能液を並行して扱うことができるが、隔壁部形成工程において使用する隔壁材料液１５６ａは１種類のみであるため、６個の貯留部４１ａには、それぞれ同じ量の隔壁材料液１５６ａを充填する。また、図３に示したように、１個の中継タンク４３に２個の液滴吐出ヘッド２０を接続する。

充填された隔壁材料液１５６ａを液滴吐出ヘッド２０に供給し、液滴吐出ヘッド２０から液滴として吐出し、乾燥させることによって、格子状の隔壁１５６を形成する。より具体的には、領域１８６ｂに順次液滴吐出ヘッド２０が対向するように位置決めし、隔壁材料液１５６ａを液滴として吐出して、領域１８６ｂに着弾させる。この場合、隔壁１５６の所定の高さは、例えば、およそ１．５μｍである。１回の吐出及び乾燥で隔壁１５６の所定の高さが得られない場合には、吐出工程を繰り返すことによって、隔壁材料液１５６ａを乾燥させた膜を積層させて、所定の高さの隔壁１５６を形成する。隔壁材料液１５６ａは、厳密には、液滴吐出ヘッド２０から液滴として吐出された瞬間から乾燥を開始するが、隔壁材料液１５６ａの溶媒の沸点などを調節することで、例えば、着弾してわずかに濡れ広がったところで流動しない程度に固まるようにすることができる。これにより、隔壁材料液１５６ａは、領域１８６ｂから流れだすことなく隔壁１５６を形成することができる。また、隔壁材料液１５６ａを乾燥させた膜を積層させることができる。なお、隔壁材料液１５６ａとしては、隔壁形成材料としてフェノール系樹脂等を含んだ溶液を用いることができる。

次に、ステップＳ４では、形成した隔壁１５６を焼成処理する。次に、ステップＳ５では、図１０（ｅ）に示すように、隔壁１５６が形成されたガラス基板１８１に残存する薄膜１８６（撥液膜）を除去する工程を行う。薄膜１８６は、ＦＡＳなどからなる単分子膜であり、およそ３００℃にガラス基板１８１を加熱することにより昇華させて除去することが可能である。また、除去後のガラス基板１８１の表面１８１ａを親液化処理することも可能である。なお、加熱以外の薄膜１８６の除去方法としては、ＵＶ照射やＯ₂プラズマ処理等を採用することができる。ガラス基板１８１全体を加熱することで、ステップＳ４とステップＳ５とを同時に実行することもできる。ステップＳ５を終了して、図１０（ｅ）に示すように、色要素領域１５２が形成される。

次のステップＳ６は、色要素形成工程である。ステップＳ６では、上述した液滴吐出装置１（図１参照）を用いて、色要素１５３を形成する。図１０（ｆ）に示すように、隔壁１５６によって区画形成された複数の色要素領域１５２のそれぞれに、色要素形成材料を含む色要素材料液１５３ａを、液滴吐出装置１の液滴吐出ヘッド２０から液滴として吐出し、乾燥させることによって、色要素１５３を形成する。この場合、乾燥後の色要素１５３の膜厚が隔壁１５６の高さ（およそ１．５μｍ）とほぼ同じになるように色要素材料液１５３ａの吐出回数を各色要素領域１５２ごとに調整して吐出する。勿論、異なる色の各色要素１５３が形成される各色要素領域１５２に対して異なる色要素材料を含む色要素材料液１５３ａを吐出する。例えば、上述した６色フィルタ（図８（ｂ）又は（ｃ）参照）であれば、異なる色の各色要素１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂ，１５３Ｃ，１５３Ｍ，１５３Ｙが形成されるべき各色要素領域１５２に対応して、異なる色要素材料を含む６種の色要素材料液１５３Ｒａ，１５３Ｇａ，１５３Ｂａ，１５３Ｃａ，１５３Ｍａ，１５３Ｙａを液滴吐出ヘッド２０から吐出する。後述するように、各色要素領域１５２に配置された色要素材料液１５３Ｒａ，１５３Ｇａ，１５３Ｂａ，１５３Ｃａ，１５３Ｍａ，１５３Ｙａを乾燥させることで、色要素１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂ，１５３Ｃ，１５３Ｍ，１５３Ｙをそれぞれ形成する。

色要素１５３を形成する工程における色要素材料液１５３ａの供給ついて、図１１及び図１２を参照してより詳細に説明する。図１１は、ヘッドユニットにおける、６色カラーフィルタの製造に対応した供給管と液滴吐出ヘッドとの接続状態を示す模式図であり、図１２は、６色カラーフィルタの製造に対応した機能液供給部の構成を示す模式図である。

図１１に示すように、ヘッドユニット２１のユニットプレート８１に固定された１２個の液滴吐出ヘッド２０をそれぞれ、液滴吐出ヘッド２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆ，２０ｇ，２０ｈ，２０ｊ，２０ｋ，２０ｍ，２０ｎと表記する。６種の色要素材料液１５３Ｒａ，１５３Ｇａ，１５３Ｂａ，１５３Ｃａ，１５３Ｍａ，１５３Ｙａのそれぞれが貯留される中継タンク４３Ｒ，４３Ｇ，４３Ｂ，４３Ｃ，４３Ｍ，４３Ｙにそれぞれ接続された供給管４６３を、供給管４６３Ｒ，４６３Ｇ，４６３Ｂ，４６３Ｃ，４６３Ｍ，４６３Ｙと表記する。

上述したように、図８（ｂ）又は（ｃ）に示した６色カラーフィルタの色要素１５３の大きさは、例えば、３０μｍ×６０μｍと３０μｍ×２０μｍである。色要素１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂの面積は、色要素１５３Ｃ，１５３Ｍ，１５３Ｙの概ね３倍であって、厚さが一定であるため体積も概ね３倍であり、吐出するべき色要素材料液１５３Ｒａ，１５３Ｇａ，１５３Ｂａの量も、吐出するべき色要素材料液１５３Ｃａ，１５３Ｍａ，１５３Ｙａの量の概ね３倍である。そこで、供給管４６３Ｒ，４６３Ｇ，４６３Ｂは、それぞれ３個の液滴吐出ヘッド２０ａ，２０ｄ，２０ｇ、液滴吐出ヘッド２０ｂ，２０ｅ，２０ｈ、又は液滴吐出ヘッド２０ｃ，２０ｆ，２０ｊに接続されている。供給管４６３Ｃ，４６３Ｍ，４６３Ｙは、それぞれ１個の液滴吐出ヘッド２０ｋ、液滴吐出ヘッド２０ｍ、又は液滴吐出ヘッド２０ｎに接続されている。

図１２に示すように、色要素材料液１５３Ｒａ，１５３Ｇａ，１５３Ｂａ，１５３Ｃａ，１５３Ｍａ，１５３Ｙａのそれぞれが充填された貯留部４１ａＲ，４１ａＧ，４１ａＢ，４１ａＣ，４１ａＭ，４１ａＹが、供給管４６１と、サブタンク４２と、供給管４６２とを介して、中継タンク４３Ｒ，４３Ｇ，４３Ｂ，４３Ｃ，４３Ｍ，４３Ｙに接続されている。貯留部４１ａＲ，４１ａＧ，４１ａＢ，４１ａＣ，４１ａＭ，４１ａＹに貯留栓４１ｂが嵌合した機能液タンク４１を、それぞれ機能液タンク４１Ｒ，４１Ｇ，４１Ｂ，４１Ｃ，４１Ｍ，４１Ｙと表記する。

なお、形成する色要素１５３Ｒなどと色要素１５３Ｃなどとの面積の比が３対１であって、厚さが一定であるため体積も同様であり、色要素領域１５２に向けて吐出する色要素材料液１５３ａの量もその比率になる。しかし、上述したフラッシングなどの保守作業においても色要素材料液１５３ａが消費され、保守作業で消費される量は、必ずしも色要素領域１５２に向けて吐出する色要素１５３の面積に比例するものではない。貯留部４１ａに充填する色要素材料液１５３ａの量を定めるために、吐出する色要素材料液１５３ａの特性によって異なる保守作業の必要頻度やそれに伴う色要素材料液１５３ａの消費量も含めた、該当するロットの数量のカラーフィルタ基板１０２を製造するために必要な消費量を予め取得する。或は、カラーフィルタ基板１０２を製造するために一定の期間稼働する際に必要な消費量を予め取得する。

取得した消費量に基づいて、色要素材料液１５３ａの充填量を定めることで、色要素材料液１５３Ｒａ，１５３Ｇａ，１５３Ｂａ，１５３Ｃａ，１５３Ｍａ，１５３Ｙａのそれぞれは、消費量に比例した量が充填される。本実施形態においては、取得した消費量に基づいて、貯留部４１ａＲ，４１ａＧ，４１ａＢの容積は貯留部４１ａＣ，４１ａＭ，４１ａＹの概ね２．５倍であって、色要素材料液１５３Ｒａ，１５３Ｇａ，１５３Ｂａは、色要素材料液１５３Ｃａ，１５３Ｍａ，１５３Ｙａの概ね２．５倍の量が供給可能に充填されている。

充填された色要素材料液１５３Ｒａ，１５３Ｇａ，１５３Ｂａ，１５３Ｃａ，１５３Ｍａ，１５３Ｙａを液滴吐出ヘッド２０に供給し、隔壁１５６によって区画形成された複数の色要素領域１５２のそれぞれに、液滴吐出ヘッド２０から液滴として吐出する。そして、後工程において乾燥させることによって、色要素１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂ，１５３Ｃ，１５３Ｍ，１５３Ｙを形成する。より具体的には、色要素領域１５２に順次液滴吐出ヘッド２０が対向するように位置決めし、色要素材料液１５３ａを液滴として吐出して、色要素領域１５２に着弾させる。色要素領域１５２に所定の量の色要素材料液１５３ａを着弾させて、ステップＳ６の色要素形成工程を終了する。なお、色要素材料液１５３ａは、厳密には、液滴吐出ヘッド２０から液滴として吐出された瞬間から乾燥を開始するが、色要素材料液１５３ａの溶媒の沸点などを調節することで、例えば、着弾して色要素領域１５２に濡れ広がったところで流動しない程度に固まるようにすることができる。

次に、図９のステップＳ７では、色要素領域１５２に向けて吐出され、色要素領域１５２内に配置された色要素材料液１５３ａを、乾燥若しくは低温（例えば６０℃）での焼成によるプレベーク（仮焼成）を行うことによって、仮固化若しくは仮硬化する。

次に、ステップＳ８では、上記のようにして構成されたカラーフィルタ基板１０２を検査し、不良の有無を判定する。この検査は、例えば、肉眼若しくは顕微鏡等で、上記隔壁１５６及び色要素１５３を観察する。この場合、カラーフィルタ基板１０２を撮影し、その撮影画像に基づいて自動的に検査を行ってもよい。ここで、色要素１５３の欠陥とは、色要素１５３が欠如している場合（いわゆるドット抜け）や、色要素１５３が形成されているが、色要素領域１５２内に配置された色要素材料液１５３ａの量（体積）が多すぎたり少なすぎたりして不適切である場合や、色要素１５３が形成されているが、塵埃等の異物が混入していたり付着していたりする場合などである。

この検査によって、色要素１５３に欠陥が見つかった場合（ステップＳ８でＮＯ）には、カラーフィルタ基板の製造工程を終了する。欠陥が見つかったカラーフィルタ基板１０２は、別工程の基体再生工程に移行させる。

上記検査において表示素材に欠陥が発見されなかった場合（ステップＳ８でＹＥＳ）には、ステップＳ９に進む。ステップＳ９では、仮焼成された色要素１５３をベーク（焼成）処理して、色要素１５３を完全に固化若しくは硬化させる。例えば、２００℃程度の温度で焼成処理を行い、カラーフィルタ基板１０２の各色要素１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂ，１５３Ｃ，１５３Ｍ，１５３Ｙを完全に固化若しくは硬化させる。この焼成処理の温度は色要素材料液１５３ａの組成等によって適宜に決定できる。また、特に高温に加熱することなく、単に通常とは異なる雰囲気（窒素ガス中や乾燥空気中等）などで乾燥若しくはエージングさせるだけでもよい。最後に、ステップＳ１０では、図１０（ｇ）に示すように、色要素１５３の上に透明な保護層１８７を形成し、カラーフィルタ基板の製造工程を終了する。

以下、第一の実施形態の効果を記載する。第一の実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）隔壁材料液１５６ａの吐出に先立って、例えば製造しようとするロットのカラーフィルタ基板１０２の数量から、当該ロットの製造に必要な隔壁材料液１５６ａの量を取得する。機能液タンク４１の貯留部４１ａには、取得した量の隔壁材料液１５６ａを充填する。或は、期間を区切って、当該期間にカラーフィルタ基板１０２を製造するために消費する隔壁材料液１５６ａの量を取得して、取得した量の隔壁材料液１５６ａを貯留部４１ａに充填する。これにより、該当するロットの製造が終了した時点、又は当該期間が経過した時点で発生する隔壁材料液１５６ａの余りを抑制することが可能となり、無駄な生産費用の発生を抑制することができる。

（２）カラーフィルタ基板１０２を製造するために必要な色要素材料液１５３ａの消費量を予め取得し、取得した消費量に基づいて、色要素材料液１５３ａの充填量を定めることで、色要素材料液１５３Ｒａ，１５３Ｇａ，１５３Ｂａ，１５３Ｃａ，１５３Ｍａ，１５３Ｙａのそれぞれは、消費量に比例した量を充填する。貯留部４１ａＲ，４１ａＧ，４１ａＢの容積は貯留部４１ａＣ，４１ａＭ，４１ａＹの概ね２．５倍であって、色要素材料液１５３Ｒａ，１５３Ｇａ，１５３Ｂａは、色要素材料液１５３Ｃａ，１５３Ｍａ，１５３Ｙａの概ね２．５倍の量が供給可能に充填されている。供給された色要素材料液１５３ａは、カラーフィルタ基板１０２の製造に伴って、それぞれ使用比率に応じた量が使用されてゆく。これにより、それぞれの色要素材料液１５３ａが略同時に使用し尽くされて、補充が必要になる時期が略一致する。従って、色要素材料液１５３ａの補充時期を揃えて一度に実行することで、補充作業の回数を抑制することが可能となり、液滴吐出装置１を停止させる回数を抑制して、生産効率の低下を抑制することができる。

（３）カラーフィルタ基板１０２を製造するために必要な色要素材料液１５３ａの消費量を予め取得し、取得した消費量に基づいて、色要素材料液１５３ａの充填量を定める。これにより、一定量の製造が終了した時点、又は一定の稼働期間が経過した時点で発生する色要素材料液１５３ａの余りを抑制することが可能となり、無駄な生産費用の発生を抑制することができる。

（第二の実施形態）
次に、本発明に係る液状体の供給方法、デバイスの製造方法、及び有機ＥＬ装置の製造方法の一実施形態である第二の実施形態について図面を参照して、説明する。本実施形態は、デバイスの一例である有機ＥＬ表示装置を製造する工程において、機能膜の一例である発光層及び正孔輸送層を形成する工程で用いられる機能液の供給方法を例に説明する。本実施形態の液滴吐出装置は、第一の実施形態で説明した液滴吐出装置１と実質的に同一のものであるため、液滴吐出装置１とは異なる、ヘッドユニットの構成及び機能液供給部の構成について説明する。

＜有機ＥＬ表示装置の構成＞
最初に、有機ＥＬ表示装置の構成について、図１３及び図１４を参照して説明する。図１３は、有機ＥＬ表示装置の平面構成を示す概略図である。図１３（ａ）は、有機ＥＬ表示装置を示す概略正面図であり、図１３（ｂ），（ｃ）は、有機ＥＬ素子の配列例を示す平面図である。図１３（ａ）に示すように、本実施形態の有機ＥＬ表示装置２００は、発光素子である複数の有機ＥＬ素子２０７を有する素子基板２０１と、封止基板２０９とを備えている。有機ＥＬ素子２０７はいわゆるカラー素子であり、有機ＥＬ表示装置２００は、赤色素子２０７Ｒ（赤色系）、緑色素子２０７Ｇ（緑色系）、青色素子２０７Ｂ（青色系）の３色の有機ＥＬ素子２０７を有している。有機ＥＬ素子２０７は表示領域２０６に配置されており、当該表示領域２０６に画像が表示される。

素子基板２０１上の３色の有機ＥＬ素子２０７は、図１３（ｂ），（ｃ）に示すように、例えば、透光性のない樹脂材料によって格子状のパターンに形成されたバンク２１５によって区画されてドット・マトリクス状に並んだ複数の例えば方形状の領域に発光層２１７（図１４参照）などを形成することによって形成される。例えば、有機ＥＬ素子２０７を構成する正孔輸送層２１６（図１４参照）や発光層２１７の材料を含む機能液をバンク２１５によって区画された領域に充填し、当該機能液の溶媒を蒸発させて機能液を乾燥させることで、正孔輸送層２１６や発光層２１７を形成する。

素子基板２０１は、各有機ＥＬ素子２０７に対応した位置に、駆動素子としての複数のスイッチング素子２１２（図１４参照）を備えている。スイッチング素子２１２は、例えば、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子である。また、封止基板２０９よりも一回り大きく、額縁状に張り出した部分には、スイッチング素子２１２を駆動する２つの走査線駆動回路部２０３と１つのデータ線駆動回路部２０４が設けられている。素子基板２０１の端子部２０１ａには、これらの走査線駆動回路部２０３、又はデータ線駆動回路部２０４と外部駆動回路とを接続するためのフレキシブルな中継基板２０８が実装されている。これらの走査線駆動回路部２０３、及びデータ線駆動回路部２０４は、例えば、予め素子基板２０１の表面に低温ポリシリコンの半導体層を形成して構成する。

有機ＥＬ素子２０７の配列としては、例えば、ストライプ配列、モザイク配列、デルタ配列等が知られている。ストライプ配列は、図１３（ｂ）に示したように、マトリクスの縦列が総て同色の有機ＥＬ素子２０７になる配列である。モザイク配列は、図１３（ｃ）に示したように、横方向の各行ごとに有機ＥＬ素子２０７一つ分だけ色をずらした配列で、３色有機ＥＬ表示装置の場合、縦横の直線上に並んだ任意の３つの有機ＥＬ素子２０７が３色となる配列である。そして、図示省略したデルタ配列は、有機ＥＬ素子２０７の配置を段違いにし、３色有機ＥＬ表示装置の場合、任意の隣接する３つの有機ＥＬ素子２０７が異なる色となる配列である。

図１４は、有機ＥＬ表示装置の有機ＥＬ素子を含む要部の断面図である。図１４に示すように、素子基板２０１は、ガラス基板２１０と、ガラス基板２１０の一方の表面上に形成された複数のスイッチング素子２１２と、スイッチング素子２１２を覆うように形成された絶縁層２１１と、絶縁層２１１上に形成されており、導通層２１４ａを介してスイッチング素子２１２と導通している複数の画素電極２１４と、複数の画素電極２１４の間に形成されたバンク２１５と、を有する。さらに、バンク２１５によって区画された領域（以降、「画素領域２２１」と表記する。）の画素電極２１４上に形成された正孔輸送層２１６と、正孔輸送層２１６上に積層して形成された発光層２１７と、発光層２１７およびバンク２１５を覆うように設けられた対向電極２１８と、を有する。有機ＥＬ表示装置２００は、素子基板２０１の対向電極２１８に対向して封止基板２０９が配置され、対向電極２１８と封止基板２０９との間に不活性ガス２２０が封入されている。バンク２１５によって区画された領域の画素電極２１４上に形成された正孔輸送層２１６、発光層２１７、対向電極２１８が、有機ＥＬ素子２０７に該当する。

画素領域２２１に、赤色、緑色、青色の光をそれぞれ発光する、赤色発光層２１７Ｒ（赤色系）、緑色発光層２１７Ｇ（緑色系）、青色発光層２１７Ｂ（青色系）を形成することで、赤色素子２０７Ｒ、緑色素子２０７Ｇ、青色素子２０７Ｂを形成する。赤色素子２０７Ｒ、緑色素子２０７Ｇ、青色素子２０７Ｂを各１個ずつ含む有機ＥＬ素子２０７の組で、画像を構成する最小単位である絵素を形成している。１絵素内の赤色素子２０７Ｒ、緑色素子２０７Ｇ、青色素子２０７Ｂのいずれか１つ又はそれらの組合せを選択的に発光させることにより、フルカラー表示を行う。

＜有機ＥＬ素子の製造＞
次に、有機ＥＬ表示装置２００の素子基板２０１における、有機ＥＬ素子２０７を構成する正孔輸送層２１６及び発光層２１７の形成工程について、図１５乃至図１８を参照して説明する。図１５は素子基板の正孔輸送層及び発光層の形成工程を示すフローチャートであり、図１６（ａ）〜（ｅ）は素子基板の正孔輸送層及び発光層の形成工程を示す模式断面図である。

図１５のステップＳ２１では、図１６（ａ）に示すように、スイッチング素子２１２と、絶縁層２１１と、導通層２１４ａと、画素電極２１４とが形成されたガラス基板２１０の表面に、バンク２１５を形成する。バンク２１５は、例えば、ガラス基板２１０の表面にバンク２１５の材料を含む機能液を塗布し、乾燥させてバンク膜を形成し、フォトエッチングなどで画素領域２２１などの部分を取り除くことで、形成する。次に、ステップＳ２２では、バンク２１５が形成されたガラス基板２１０を洗浄する。

次に、ステップＳ２３では、バンク２１５が形成され洗浄されたガラス基板２１０を、配置された機能液が馴染み易くなるように、表面処理する。バンク２１５に囲まれた画素領域２２１の底部と、バンク２１５の側面とが、正孔輸送層２１６を形成する正孔輸送層形成材料を含む機能液である正孔輸送層材料液５６０に対して親液性となるように処理し、バンク２１５の頂部は正孔輸送層材料液５６０に対して撥液性となるように処理する。この処理によって、画素領域２２１に充填されるべく配置された正孔輸送層材料液５６０が画素領域２２１に馴染み易くなると共に、画素領域２２１から溢れ出し難くなる。

次に、ステップＳ２４では、正孔輸送層材料液５６０を配置する。図１６（ｂ）に示すように、バンク２１５によって形成された複数の画素領域２２１のそれぞれに正孔輸送層２１６の材料を含む正孔輸送層材料液５６０を液滴吐出ヘッド２０から液滴５６０ａとして吐出し、画素領域２２１に正孔輸送層材料液５６０を配置する。

正孔輸送層材料液５６０の吐出に先立って、例えば製造しようとするロットの素子基板２０１の数量から、当該ロットの製造に必要な正孔輸送層材料液５６０の量を取得する。機能液タンク４１の貯留部４１ａには、取得した量の正孔輸送層材料液５６０を充填する。ロットの製造に必要な正孔輸送層材料液５６０の量が多い場合には、例えば１昼夜分のように期間を区切って、当該期間に消費する正孔輸送層材料液５６０の量を取得して、取得した量の正孔輸送層材料液５６０を貯留部４１ａに充填する。本実施形態の液滴吐出装置は、機能液タンク４１と、サブタンク４２と、中継タンク４３との組を３組備えており、３種類の機能液を並行して扱うことができるが、正孔輸送層材料液配置工程において使用する正孔輸送層材料液５６０は１種類のみであるため、３個の貯留部４１ａには、それぞれ同じ量の正孔輸送層材料液５６０を充填する。また、１個の中継タンク４３に２個の液滴吐出ヘッド２０を接続する（図１８参照）。

３個の貯留部４１ａにそれぞれ充填された正孔輸送層材料液５６０を、液滴吐出ヘッド２０に供給し、バンク２１５によって区画形成された複数の画素領域２２１のそれぞれに、液滴吐出ヘッド２０から液滴５６０ａとして吐出し、乾燥させることによって、正孔輸送層２１６を形成する。より具体的には、正孔輸送層２１６を形成する画素領域２２１に順次液滴吐出ヘッド２０が対向するように位置決めし、正孔輸送層材料液５６０を液滴５６０ａとして吐出して、画素領域２２１に着弾させる。画素領域２２１に所定の量の正孔輸送層材料液５６０を着弾させて、ステップＳ２４の正孔輸送層材料液配置工程を終了する。

次に、図１５のステップＳ２５では、画素領域２２１に正孔輸送層材料液５６０が配置されたガラス基板２１０を減圧環境に投入し、正孔輸送層材料液５６０を乾燥させて、正孔輸送層２１６を形成する。なお、正孔輸送層材料液５６０は、厳密には、液滴吐出ヘッド２０から液滴５６０ａとして吐出された瞬間から乾燥を開始するが、正孔輸送層材料液５６０の溶媒の沸点などを調節することで、例えば、着弾して画素領域２２１に濡れ広がったところで流動しない程度に固まるようにすることができる。ステップＳ２５を終了して、図１６（ｃ）に示すように、正孔輸送層２１６が形成される。

次に、ステップＳ２６では、発光層材料液５７０を配置する。図１６（ｄ）に示したように、正孔輸送層２１６が形成された複数の画素領域２２１のそれぞれに発光層２１７の材料を含む発光層材料液５７０を液滴吐出ヘッド２０から液滴５７０ａとして吐出し、画素領域２２１の正孔輸送層２１６の上に発光層材料液５７０を配置する。勿論、異なる色の各発光層２１７が形成される各画素領域２２１に対しては、異なる発光層材料を含む発光層材料液５７０を吐出する。例えば、上述した３色の発光層によるカラー表示（図１３参照）であれば、赤色、緑色、青色の光をそれぞれ発光する、赤色発光層２１７Ｒ（赤色系）、緑色発光層２１７Ｇ（緑色系）、青色発光層２１７Ｂ（青色系）をそれぞれ形成するべき画素領域２２１に向けて、それぞれの発光層２１７を形成する発光層形成材料を含む発光層材料液５７０Ｒ，５７０Ｇ，５７０Ｂを液滴吐出ヘッド２０から吐出する。

なお、正孔輸送層材料液５６０が画素領域２２１に馴染み易くなると共に画素領域２２１から溢れ出し難くなるようにステップＳ２３で実行した表面処理が、発光層材料液５７０については有効でない場合には、ステップＳ２６を実行する前に、ステップＳ２３で実行した処理と同様の表面処理を実行する。勿論、この場合に実行する処理は、発光層材料液５７０が画素領域２２１に馴染み易くなると共に画素領域２２１から溢れ出し難くなるようにする表面処理である。

発光層材料液５７０を配置する工程における発光層材料液５７０の供給ついて、図１７及び図１８を参照してより詳細に説明する。図１７は、ヘッドユニットの構成、及び３色有機ＥＬ表示装置の発光層の製造に対応した供給管と液滴吐出ヘッドとの接続状態を示す模式図であり、図１８は、３色有機ＥＬ表示装置の発光層の製造に対応した機能液供給部の構成を示す模式図である。

最初に、図１７を参照してヘッドユニット２８０の全体構成について説明する。図１７は、ヘッドユニット２８０を、取り付けられた液滴吐出ヘッドの液体導入部側から見た外観斜視図になっている。図１７に示すように、ヘッドユニット２８０のユニットプレート２８１には、主ヘッド保持部材８２及び副ヘッド保持部材８３を介して液滴吐出ヘッド２０が取り付けられている。主ヘッド保持部材８２及び副ヘッド保持部材８３は、液滴吐出ヘッド２０をユニットプレート８１に精度良く位置決めするとともに、ユニットプレート８１への着脱を容易にするためのものである。

１基のヘッドユニット２８０は、６個の液滴吐出ヘッド２０を備えている。６個の液滴吐出ヘッド２０は、１列に配置されており、６個の液滴吐出ヘッド２０がＸ軸方向に対して若干傾いた直線状に配設されている。ユニットプレート２８１には、図示省略した一対の基準ピン８４，８４（図３参照）が固定されており、６個の液滴吐出ヘッド２０はそれぞれ基準ピン８４に形成された基準マーク孔を基準として、適切な位置に位置決めされて固定されている。

ユニットプレート２８１には、また、第一位置規制孔２８１ａと、第二位置規制孔２８１ｂと、２箇所のユニット固定孔２８１ｃとが形成されている。第一位置規制孔２８１ａ及び第二位置規制孔２８１ｂは、ヘッドユニット２８０をヘッドキャリッジ２２に取り付ける際の位置決め用として用いられる。２箇所のユニット固定孔２８１ｃは、ヘッドユニット２８０をヘッドキャリッジ２２に固定するねじが貫通する孔である。図１７に示したＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、図１に示したＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸と同一である。即ち、ヘッドユニット２８０が液滴吐出装置に取り付けられた状態では、液滴吐出ヘッド２０に形成されたノズル列７３（図２参照）は、Ｙ軸方向に延在する構成になっている。

一端が中継タンク４３に結合された供給管４６３の液滴吐出ヘッド２０に結合する側は二股に分岐しており、分岐した二端のそれぞれが２連の接続針７６，７６のそれぞれと配管接続部材を介して接続されている。図１８に示したように、本実施形態の液滴吐出装置は、機能液タンク２４１と、サブタンク４２と、中継タンク４３との組を３組有する機能液供給部２４０を備えており、３種類の機能液を並行して扱うことができる。機能液供給部２４０は、６個の液滴吐出ヘッド２０に３種類の機能液を供給するために、１個の中継タンク４３に２本の供給管４６３を結合して、１種類の機能液をそれぞれ２個の液滴吐出ヘッド２０に供給する。

図１７及び図１８に示したように、ヘッドユニット２８０のユニットプレート２８１に固定された６個の液滴吐出ヘッド２０をそれぞれ、液滴吐出ヘッド２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆと表記する。３種の発光層材料液５７０Ｒ，５７０Ｇ，５７０Ｂのそれぞれが供給されて貯留される中継タンク４３である中継タンク４３７Ｒ，４３７Ｇ，４３７Ｂにそれぞれ接続された供給管４６３を、供給管４６３Ｒ，４６３Ｇ，４６３Ｂと表記する。供給管４６３Ｒ，４６３Ｇ，４６３Ｂは、それぞれ２個の液滴吐出ヘッド２０ａ，２０ｄ、液滴吐出ヘッド２０ｂ，２０ｅ、又は液滴吐出ヘッド２０ｃ，２０ｆに接続されている。

図１８に示したように、発光層材料液５７０Ｒ，５７０Ｇ，５７０Ｂのそれぞれが充填された貯留部２４１ａである、貯留部２４１ａＲ，２４１ａＧ，２４１ａＢが、供給管４６１と、サブタンク４２と、供給管４６２とを介して、中継タンク４３７Ｒ，４３７Ｇ，４３７Ｂに接続されている。貯留部２４１ａＲ，２４１ａＧ，２４１ａＢに貯留栓４１ｂが嵌合した機能液タンク２４１を、それぞれ機能液タンク２４１Ｒ，２４１Ｇ，２４１Ｂと表記する。

発光層材料液５７０の吐出に先立って、例えば製造しようとするロットの素子基板２０１の数量から、当該ロットの製造に必要な発光層材料液５７０の量を取得する。機能液タンク２４１の貯留部２４１ａには、取得した量の発光層材料液５７０を充填する。ロットの製造に必要な発光層材料液５７０の量が多い場合には、例えば１昼夜分のように期間を区切って、当該期間に消費する発光層材料液５７０の量を取得して、取得した量の発光層材料液５７０を貯留部２４１ａに充填する。

機能液タンク２４１Ｒ，２４１Ｇ，２４１Ｂにそれぞれ充填された発光層材料液５７０Ｒ，５７０Ｇ，５７０Ｂの量は、発光層材料液５７０Ｇの量に対して、発光層材料液５７０Ｒ及び５７０Ｂの量は、約１．２倍になっている。発光層材料液５７０Ｒの量が多いのは、例えば、発光層材料液５７０Ｒは粘性が高いなどの理由で、液滴吐出ヘッド２０のノズル形成面７１ａへの付着や、吐出ノズル７２の詰りなどを発生しやすいため、クリーニングやフラッシングなどのメンテナンスが多く必要であり、そのために消費する量が多いためである。発光層材料液５７０Ｂの量が多いのは、例えば、発光層材料液５７０Ｂから形成される青色発光層２１７Ｂは、赤色発光層２１７Ｒ又は緑色発光層２１７Ｇに比べて発光強度が小さいため、同等の発光強度を実現するために発光層の膜厚を厚くする必要があり、そのために消費する量が多いことによる。

充填された発光層材料液５７０Ｒ，５７０Ｇ，５７０Ｂを液滴吐出ヘッド２０に供給し、バンク２１５によって区画形成された複数の画素領域２２１のそれぞれへの、発光層材料液５７０Ｒ，５７０Ｇ，５７０Ｂの液滴吐出ヘッド２０による配置を実行する。より具体的には、正孔輸送層２１６が形成されており、赤色発光層２１７Ｒ、緑色発光層２１７Ｇ、又は青色発光層２１７Ｂを形成するべき画素領域２２１に、順次、発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、又は発光層材料液５７０Ｂが供給された液滴吐出ヘッド２０が対向するように位置決めする。続いて、発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、又は発光層材料液５７０Ｂを液滴吐出ヘッド２０から液滴５７０ａとして吐出し、画素領域２２１の正孔輸送層２１６の上に発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、又は発光層材料液５７０Ｂを配置する。発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、又は発光層材料液５７０Ｂをそれぞれ配置するべきそれぞれの画素領域２２１に、所定の量の発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、又は発光層材料液５７０Ｂを着弾させて、ステップＳ２６の発光層材料液配置工程を終了する。

次に、図１５のステップＳ２７では、画素領域２２１に発光層材料液５７０が配置されたガラス基板２１０を減圧環境に投入し、発光層材料液５７０を乾燥させて、発光層２１７を形成する。なお、発光層材料液５７０は、厳密には、液滴吐出ヘッド２０から液滴として吐出された瞬間から乾燥を開始するが、発光層材料液５７０の溶媒の沸点などを調節することで、例えば、着弾して画素領域２２１に濡れ広がったところで流動しない程度に固まるようにすることができる。ステップＳ２７を終了して、図１６（ｅ）に示すように、発光層２１７が形成される。

図１６（ｅ）に示すように、発光層２１７を形成して、正孔輸送層２１６及び発光層２１７の形成工程を終了する。さらに、対向電極２１８を形成する工程を実行して、素子基板２０１を形成する。さらに、封止基板２０９を取付け、上述した中継基板２０８等を実装して、有機ＥＬ表示装置２００を形成する。

以下、第二の実施形態の効果を記載する。第二の実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）正孔輸送層材料液５６０の吐出に先立って、例えば製造しようとするロットの素子基板２０１の数量から、当該ロットの製造に必要な正孔輸送層材料液５６０の量を取得する。機能液タンク４１の貯留部４１ａには、取得した量の正孔輸送層材料液５６０を充填する。或は、期間を区切って、当該期間に消費する正孔輸送層材料液５６０の量を取得して、取得した量の正孔輸送層材料液５６０を貯留部４１ａに充填する。これにより、該当するロットの製造が終了した時点、又は当該期間が経過した時点に発生する正孔輸送層材料液５６０の余りを抑制することが可能となり、無駄な生産費用の発生を抑制することができる。

（２）素子基板２０１を製造するために必要な発光層材料液５７０の消費量を予め取得し、取得した消費量に基づいて、貯留部２４１ａに発光層材料液５７０を充填することで、機能液タンク２４１Ｒ，２４１Ｇ，２４１Ｂにそれぞれ充填された発光層材料液５７０Ｒ，５７０Ｇ，５７０Ｂの量は、発光層材料液５７０Ｇの量に対して、発光層材料液５７０Ｒ及び５７０Ｂの量は、約１．２倍になっている。機能液タンク２４１Ｒ，２４１Ｇ，２４１Ｂにそれぞれ充填された発光層材料液５７０Ｒ，５７０Ｇ，５７０Ｂは、素子基板２０１の製造に伴い、それぞれ使用比率に応じた量が使用されてゆく。これにより、発光層材料液５７０Ｒ，５７０Ｇ，５７０Ｂのそれぞれが略同時に使用し尽くされて、補充が必要になる時期が略一致する。従って、発光層材料液５７０の補充時期を揃えて一度に実行することで、補充作業の回数を抑制することが可能となり、液滴吐出装置１を停止させる回数を抑制して、生産効率の低下を抑制することができる。

（３）素子基板２０１を製造するために必要な発光層材料液５７０の消費量を予め取得し、取得した消費量に基づいて、発光層材料液５７０の充填量を定める。これにより、一定量の製造が終了した際に発生する発光層材料液５７０の余りを抑制することが可能となり無駄な生産費用の発生を抑制することができる。

（第三の実施形態）
次に、本発明に係る液状体の供給方法、デバイスの製造方法、及び配線基板の製造方法の一実施形態である第三の実施形態について図面を参照して、説明する。本実施形態は、デバイスの一例である配線基板を製造する工程において、機能膜の一例である回路配線層を形成する工程で用いられる機能液の供給方法を例に説明する。本実施形態の液滴吐出装置は、第一の実施形態又は第二の実施形態で説明した液滴吐出装置と実質的に同一のものであるため、液滴吐出装置に関する説明は省略する。

＜配線基板の構成＞
最初に、配線基板の構成について、図１９を参照して説明する。図１９は配線基板を示す概略平面図である。図１９に示すように、配線基板３００は、半導体装置（ＩＣ）を平面実装する回路基板であり、ＩＣの入出力電極（バンプ）に対応して配置された導電性材料からなる配線としての入力配線３０１及び出力配線３０３と、絶縁膜３０７とにより構成されている。絶縁膜３０７は、二点鎖線で示した外形３０６の内側であって、二点鎖線で示した実装領域３０５以外の部分に形成されており、入力端子部３０２及び出力端子部３０４を避けると共に、実装領域３０５の内側に入力配線３０１と出力配線３０３のそれぞれの一部が露出するように複数の入力配線３０１及び出力配線３０３を覆っている。

配線基板３００は、マザー基板３００Ａ上にマトリクス状に形成され、マザー基板３００Ａを分割することにより取り出される。マザー基板３００Ａは、絶縁基板としてリジットなガラス基板、セラミック基板、ガラスエポキシ樹脂基板の他、フレキシブルな樹脂基板を用いることができる。分割方法としては、スクライブ、ダイシング、レーザーカット、プレス等がマザー基板３００Ａの材料に応じて選択される。

本実施形態では、第一の実施形態で説明した液滴吐出装置１を用いた液滴吐出法により、導電性材料からなる入力配線３０１及び出力配線３０３や絶縁性材料からなる絶縁膜３０７を形成する。液滴吐出法を用いることで、各材料の無駄を省いて配線や絶縁膜を形成することができる。また、フォトリソグラフィ法に比べてパターン形成するための露光用マスクや現像、エッチングなどの工程を必要としないので、マザー基板３００Ａのサイズによらず工程を簡略化することができる。

＜配線基板の製造＞
次に、配線基板３００の入力配線３０１、出力配線３０３、及び絶縁膜３０７の形成工程について図２０を参照して説明する。図２０は、配線基板の入力配線、出力配線、及び絶縁膜の形成工程を示すフローチャートである。

図２０のステップＳ３１では、例えば製造しようとするロットの配線基板３００の数量から、入力配線３０１及び出力配線３０３を形成するために入力配線３０１及び出力配線３０３を構成する導電性材料を含む導電材料液を吐出する液滴吐出装置において、当該ロットの製造に必要な、導電材料液の量を取得する。ロットの製造に必要な導電材料液の量が多い場合には、例えば１昼夜分のように期間を区切って、当該期間に消費する導電材料液の量を取得する。ステップＳ３１が、使用量取得工程に相当する。

次に、ステップＳ３２では、ステップＳ３１で取得した量の導電材料液を液滴吐出装置の貯留タンクに充填する。より詳細には、ステップＳ３１で取得した量の導電材料液を、供給管４６などを介して液滴吐出ヘッド２０に接続された機能液タンク４１の貯留部４１ａに充填する。或は、ステップＳ３１で取得した量の導電材料液を、貯留部４１ａに充填し、当該貯留部４１ａに貯留栓４１ｂを嵌合させることで、貯留部４１ａを供給管４６などを介して液滴吐出ヘッド２０に接続する。ステップＳ３２が供給工程に相当する。

本実施形態の液滴吐出装置は、機能液タンク４１と、サブタンク４２と、中継タンク４３との組を３組備えており、３種類の機能液を並行して扱うことができるが、使用する導電材料液は１種類のみであるため、３個の貯留部４１ａには、それぞれ同じ量の導電材料液を充填する。また、１個の中継タンク４３にそれぞれ２個の液滴吐出ヘッド２０を接続する（図１８参照）。

導電材料液に含まれる導電性材料としては、例えば金、銀、銅、アルミニウム、パラジウム、及びニッケルのうちの少なくともいずれか１つを含有する金属微粒子の他、これらの酸化物、並びに導電性ポリマーや超電導体の微粒子などが用いられる。これらの導電性微粒子は分散性を向上させるために表面に有機物などをコーティングして使うこともできる。導電性微粒子の粒径は１ｎｍ以上１．０μｍ以下であることが好ましい。１．０μｍより大きいと液滴吐出ヘッド２０の吐出ノズル７２（図２参照）に目詰まりが生じるおそれがある。また、１ｎｍより小さいと導電性微粒子に対するコーティング剤の体積比が大きくなり、得られる膜中の有機物の割合が過多となる。

分散媒としては、上記の導電性微粒子を分散できるもので凝集を起こさないものであれば特に限定されない。例えば、水の他に、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノールなどのアルコール類、ｎ−ヘプタン、ｎ−オクタン、デカン、ドデカン、テトラデカン、トルエン、キシレン、シメン、デュレン、インデン、ジペンテン、テトラヒドロナフタレン、デカヒドロナフタレン、シクロヘキシルベンゼンなどの炭化水素系化合物、またエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、１，２−ジメトキシエタン、ビス（２−メトキシエチル）エーテル、ｐ−ジオキサンなどのエーテル系化合物、さらにプロピレンカーボネート、γ−ブチロラクトン、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、シクロヘキサノンなどの極性化合物を例示できる。これらのうち、微粒子の分散性と分散液の安定性、また液滴吐出法への適用の容易さの点で、水、アルコール類、炭化水素系化合物、エーテル系化合物が好ましく、より好ましい分散媒としては、水、炭化水素系化合物を挙げることができる。

上記導電性微粒子の分散液の表面張力は０．０２Ｎ／ｍ以上０．０７Ｎ／ｍ以下の範囲内であることが好ましい。液滴吐出法により機能液を吐出する際、表面張力が０．０２Ｎ／ｍ未満であると、機能液のノズル面に対する濡れ性が増大するため飛行曲りが生じやすくなり、０．０７Ｎ／ｍを超えると吐出ノズル７２の先端でのメニスカスの形状が安定しないため吐出量や吐出タイミングの制御が困難になる。表面張力を調整するため、上記分散液には、マザー基板３００Ａとの接触角を大きく低下させない範囲で、フッ素系、シリコーン系、ノニオン系などの表面張力調節剤を微量添加するとよい。ノニオン系表面張力調節剤は、機能液のマザー基板３００Ａへの濡れ性を向上させ、膜のレベリング性を改良し、膜の微細な凹凸の発生などの防止に役立つものである。上記表面張力調節剤は、必要に応じて、アルコール、エーテル、エステル、ケトン等の有機化合物を含んでもよい。

上記分散液の粘度は１ｍＰａ・ｓ以上５０ｍＰａ・ｓ以下であることが好ましい。液滴吐出法を用いて機能液を液滴として吐出する際、粘度が１ｍＰａ・ｓより小さい場合には吐出ノズル７２周辺部が機能液の流出により汚染されやすく、また粘度が５０ｍＰａ・ｓより大きい場合は、吐出ノズル７２のノズル孔での目詰まり頻度が高くなり円滑な液滴の吐出が困難となる。

次に、ステップＳ３３では、供給管４６１、サブタンク４２、供給管４６２、中継タンク４３、及び供給管４６３を介して導電材料液を送出して、液滴吐出ヘッド２０から導電材料液を吐出可能な状態にする。

次に、ステップＳ３４では、導電材料液の液滴吐出ヘッド２０からの吐出を実行する。より具体的には、マザー基板３００Ａ上の入力配線３０１又は出力配線３０３を形成するべき領域に順次液滴吐出ヘッド２０が対向するように位置決めし、液滴吐出ヘッド２０から導電材料液を液滴として吐出して、入力配線３０１又は出力配線３０３を形成するべき領域に着弾させる。勿論、ステップＳ３４の導電材料液の液滴吐出ヘッド２０からの吐出に並行して、ステップＳ３３の導電材料液を送出する工程を実行して、液滴吐出ヘッド２０から吐出する導電材料液を液滴吐出ヘッド２０に供給する。マザー基板３００Ａ上の入力配線３０１又は出力配線３０３を形成するべき領域の全域に所定の量の導電材料液を着弾させて、導電材料液を吐出する工程を終了する。

次に、ステップＳ３５では、入力配線３０１又は出力配線３０３を形成するべき領域に着弾した導電材料液を乾燥・焼成することにより固化させて、入力配線３０１及び出力配線３０３を形成する。乾燥・焼成方法は、乾燥炉内にマザー基板３００Ａを放置して所定の温度で乾燥・焼成するバッチ方式や乾燥炉内を通過させるインライン方式が挙げられる。熱源としては、ヒータや赤外線ランプなどが挙げられる。

次に、ステップＳ３６では、例えば製造しようとするロットの配線基板３００の数量から、絶縁膜３０７を形成するために絶縁膜を構成する材料を含む絶縁材料液を吐出する液滴吐出装置において、当該ロットの製造に必要な絶縁材料液の量を取得する。ロットの製造に必要な絶縁材料液の量が多い場合には、例えば１日分のように期間を区切って、当該期間に消費する絶縁材料液の量を取得する。ステップＳ３６が、使用量取得工程に相当する。

次に、ステップＳ３７では、ステップＳ３６で取得した量の絶縁材料液を液滴吐出装置の貯留タンクに充填する。より詳細には、ステップＳ３６で取得した量の絶縁材料液を、供給管４６などを介して液滴吐出ヘッド２０に接続された機能液タンク４１の貯留部４１ａに充填する。或は、ステップＳ３６で取得した量の絶縁材料液を、貯留部４１ａに充填し、当該貯留部４１ａに貯留栓４１ｂを嵌合させることで、貯留部４１ａを供給管４６などを介して液滴吐出ヘッド２０に接続する。ステップＳ３７が供給工程に相当する。

本実施形態の絶縁材料液を吐出する液滴吐出装置は、機能液タンク４１と、サブタンク４２と、中継タンク４３との組を３組備えており、３種類の機能液を並行して扱うことができるが、使用する絶縁材料液は１種類のみであるため、３個の貯留部４１ａには、それぞれ同じ量の絶縁材料液を充填する。また、１個の中継タンク４３にそれぞれ２個の液滴吐出ヘッド２０を接続する（図１８参照）。

絶縁材料液に含まれる絶縁性材料としては、例えば、絶縁性を有するエポキシ樹脂、ウレタン樹脂等の高分子材料を用いることができる。溶媒としては、例えば、上記材料を溶解可能な炭化水素系溶媒が挙げられる。当該絶縁材料液の物性は、上述した導電材料液の場合と同様に液滴吐出法に対応して調整する。

次に、ステップＳ３８では、供給管４６１、サブタンク４２、供給管４６２、中継タンク４３、及び供給管４６３を介して絶縁材料液を送出して、液滴吐出ヘッド２０から絶縁材料液を吐出可能な状態にする。

次に、ステップＳ３９では、絶縁材料液の液滴吐出ヘッド２０からの吐出を実行する。より具体的には、マザー基板３００Ａ上の絶縁膜３０７を形成するべき領域に順次液滴吐出ヘッド２０が対向するように位置決めし、液滴吐出ヘッド２０から絶縁材料液を液滴として吐出して、絶縁膜３０７を形成するべき領域に着弾させる。勿論、ステップＳ３９の絶縁材料液の液滴吐出ヘッド２０からの吐出に並行して、ステップＳ３８の絶縁材料液を送出する工程を実行して、液滴吐出ヘッド２０から吐出する絶縁材料液を液滴吐出ヘッド２０に供給する。マザー基板３００Ａ上の絶縁膜３０７を形成するべき領域の全域に所定の量の絶縁材料液を着弾させて、絶縁材料液を吐出する工程を終了する。

次にステップＳ４０では、絶縁膜３０７を形成するべき領域に着弾した絶縁材料液を乾燥することにより固化させて、絶縁膜３０７を形成する。乾燥方法は、乾燥炉内にマザー基板３００Ａを放置して所定の温度で乾燥するバッチ方式や乾燥炉内を通過させるインライン方式が挙げられる。熱源としては、ヒータや赤外線ランプなどが挙げられる。なお、絶縁性材料として感光性樹脂材料を用いることも可能である。その場合は、着弾した機能液に紫外線等を照射することにより固化させる。

入力配線３０１と出力配線３０３及び絶縁膜３０７が形成されたマザー基板３００Ａを所定の形状に分割することにより、配線基板３００が形成される。

以下、第三の実施形態の効果を記載する。第三の実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）ステップＳ３１では、製造しようとするロットの製造に必要な導電材料液の量、又は一定期間稼働する間に消費する導電材料液の量を取得する。ステップＳ３２では、ステップＳ３１で取得した量の導電材料液を液滴吐出装置の貯留タンクに充填する。これにより、該当するロットの製造が終了した時点、又は当該期間が経過した時点に発生する導電材料液の余りを抑制することが可能となり、無駄な生産費用の発生を抑制することができる。

（２）ステップＳ３６では、製造しようとするロットの製造に必要な絶縁材料液の量、又は一定期間稼働する間に消費する絶縁材料液の量を取得する。ステップＳ３７では、ステップＳ３６で取得した量の絶縁材料液を液滴吐出装置の貯留タンクに充填する。これにより、該当するロットの製造が終了した時点、又は当該期間が経過した時点に発生する絶縁材料液の余りを抑制することが可能となり、無駄な生産費用の発生を抑制することができる。

以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明の実施形態は、前記実施形態に限らない。本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。

（変形例１）前記実施形態においては、液滴吐出装置が、６個又は１２個の液滴吐出ヘッド２０を備えていたが、複数の液滴吐出ヘッドを備えることは必須ではない。液滴吐出装置が備える液滴吐出ヘッドは１個であってもよい。

（変形例２）前記実施形態においては、液滴吐出装置が、３個又は６個の機能液タンク４１を備えていたが、複数の貯留タンクを備えることは必須ではない。液滴吐出装置が略並行して扱う必要がある機能液の数に対応可能な数の貯留タンクを備えていればよい。

（変形例３）前記実施形態においては、機能液タンク４１は貯留部４１ａと貯留栓４１ｂとを有し、貯留部４１ａと貯留栓４１ｂとを分離することで、機能液を貯留する貯留部４１ａを液滴吐出装置に着脱可能であったが、機能液を貯留する貯留部が液滴吐出装置に着脱可能であることは必須ではない。機能液の貯留部は、液滴吐出装置と一体に構成されたものであってもよい。

（変形例４）前記実施形態においては、ひとつの液滴吐出ヘッド２０には１種類の機能液を供給して吐出する構成であったが、ひとつの液滴吐出ヘッドが吐出する機能液が１種類であることは必須ではない。液滴吐出ヘッドが有するノズル列毎に異なる機能液を供給して吐出させる構成であってもよい。例えば、液滴吐出ヘッド２０において、２連の接続針７６，７６のそれぞれを介して２種類の異なる機能液を供給し、２本のノズル列７３のそれぞれから異なる機能液を吐出する構成であってもよい。勿論、液滴吐出ヘッドは２連に限らず、１個の液滴吐出ヘッドが多数のノズル列を有し、多数種類の機能液を並行して吐出できるものであってもよい。

（変形例５）前記実施形態においては、圧力付与部６０を設けて、機能液に圧力をかけることで機能液を送出すると共に、液滴吐出ヘッド２０における機能液の状態を適切に保っていたが、圧力をかけて給液することは必須ではない。サブタンク４２などの高さを調整することで機能液を供給するタンク側の液面の高さを調整することで給液する構成及び方法であってもよい。

（変形例６）前記第一の実施形態においては、液晶表示装置のカラーフィルタについて説明したが、本発明を用いて好適に製造できるカラーフィルタは、液晶表示装置のカラーフィルタに限らない。本発明のカラーフィルタの製造方法を用いることで、無色の光を発光する発光層と組合わせてカラー有機ＥＬ装置を形成する、有機ＥＬ装置用のカラーフィルタも好適に製造することができる。

（変形例７）前記第三の実施形態においては、配線基板を製造する工程ついて説明したが、本発明を用いて好適に製造できる金属配線は、配線基板の配線に限らない。本発明の配線基板の製造方法を用いることで、スイチイング素子のデータ線及び走査線や、回路配線や、これらを互いに絶縁する絶縁膜などを好適に形成して、これらを有する液晶表示装置の素子基板や、有機ＥＬ装置の素子基板なども好適に製造することができる。

（変形例８）前記実施形態においては、配置装置として、インクジェット法を用いて機能液を液滴として吐出する液滴吐出装置について説明したが、配置装置は、インクジェット法を用いる液滴吐出装置に限らない。例えば、複数のマイクロディスペンサを有する流体処理装置のように、他の方式で液状体を配置する装置であってもよい。

液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図。 液滴吐出ヘッドをノズル形成プレート側から見た外観斜視図。 ヘッドユニットの外観斜視図。 機能液供給部の構成を示す模式図。 液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図。 （ａ）液晶表示パネルをフィルタ基板側から見た平面図。（ｂ）液晶表示パネルの平面図にＡ−Ａで示した断面における断面形状を示す概略断面図。 （ａ）カラーフィルタの平面構造を模式的に示す模式図。（ｂ）複数のカラーフィルタが形成されたマザー基板の平面構造を模式的示す模式図。 （ａ）４色フィルタの配列例を示す平面図。（ｂ）６色フィルタの配列例を示す平面図。（ｃ）６色フィルタの配列例を示す平面図。 カラーフィルタ基板の製造工程を示すフローチャート。 カラーフィルタ基板の製造過程を示す模式断面図。 ヘッドユニットにおける、６色カラーフィルタの製造に対応した供給管と液滴吐出ヘッドとの接続状態を示す模式図。 ６色カラーフィルタの製造に対応した機能液供給部の構成を示す模式図。 （ａ）有機ＥＬ表示装置を示す概略正面図。（ｂ）有機ＥＬ素子の配列例を示す平面図。（ｃ）有機ＥＬ素子の配列例を示す平面図。 有機ＥＬ表示装置の有機ＥＬ素子を含む要部の断面図。 素子基板の正孔輸送層及び発光層の形成工程を示すフローチャート。 素子基板の正孔輸送層及び発光層の形成工程を示す模式断面図。 ヘッドユニットの構成、及び３色有機ＥＬ表示装置の発光層の製造に対応した供給管と液滴吐出ヘッドとの接続状態を示す模式図。 ３色有機ＥＬ表示装置の発光層の製造に対応した機能液供給部の構成を示す模式図。 配線基板を示す概略平面図。 配線基板の入力配線、出力配線、及び絶縁膜の形成工程を示すフローチャート。

符号の説明

１…液滴吐出装置、２…ヘッド機構部、４，２４０…機能液供給部、２０…液滴吐出ヘッド、４０…機能液、４１，４１Ｒ，４１Ｇ，４１Ｂ，４１Ｃ，４１Ｍ，４１Ｙ…機能液タンク、４１ａ，４１ａＲ，４１ａＧ，４１ａＢ，４１ａＣ，４１ａＭ，４１ａＹが…貯留部、４１ｂ…貯留栓、４２…サブタンク、４３…中継タンク、４６，４６１，４６２，４６３…供給管、７３…ノズル列、１０２…カラーフィルタ基板、１０５…カラーフィルタ、１１０…液晶表示パネル、１５２…色要素領域、１５３，１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂ，１５３Ｃ，１５３Ｍ，１５３Ｙ…色要素、１５３ａ，１５３Ｒａ，１５３Ｇａ，１５３Ｂａ，１５３Ｃａ，１５３Ｍａ，１５３Ｙａ…色要素材料液、１５６…隔壁、１５６ａ…隔壁材料液、２００…有機ＥＬ表示装置、２０１…素子基板、２０７…有機ＥＬ素子、２１６…正孔輸送層、２１７…発光層、２１７Ｂ…青色発光層、２１７Ｇ…緑色発光層、２１７Ｒ…赤色発光層、２２１…画素領域、２４１，２４１Ｒ，２４１Ｇ，２４１Ｂ…機能液タンク、２４１ａ，２４１ａＲ，２４１ａＧ，２４１ａＢ…貯留部、３００…配線基板、３０１…入力配線、３０３…出力配線、３０７…絶縁膜、５６０…正孔輸送層材料液、５７０，５７０Ｂ，５７０Ｇ，５７０Ｒ…発光層材料液。

Claims (33)

1. 液状体を基材上に配置する配置装置における液状体の供給方法であって、
   前記配置装置が一定の期間稼働する際、又は一定量の製品を製造する際の前記液状体の使用量を取得する使用量取得工程と、
   前記使用量取得工程で取得した前記液状体の前記使用量に対応した量の前記液状体を前記配置装置に供給する供給工程と、を有することを特徴とする液状体の供給方法。
2. 液状体を基材上に配置する複数の配置部を備え、複数種類の液状体を配置する配置装置における液状体の供給方法であって、
   配置される前記複数種類の液状体のそれぞれの液状体間の、前記配置装置における使用量の比率を取得する使用比率取得工程と、
   前記使用比率取得工程で取得した前記液状体間の前記使用比率に対応した量のそれぞれの前記液状体を、前記配置装置に供給する供給工程と、を有することを特徴とする液状体の供給方法。
3. 請求項１又は２に記載の液状体の供給方法であって、
   前記配置装置は、前記液状体の種類に対応する貯留タンクを備え、
   前記供給工程において、前記使用量に対応した量の前記液状体、又は前記使用比率に対応した量の前記複数種類の液状体のそれぞれの前記液状体を、前記貯留タンクに充填することで、前記液状体を前記配置装置に供給することを特徴とする液状体の供給方法。
4. 請求項１又は２に記載の液状体の供給方法であって、
   前記使用量に対応した容量、又は前記使用比率に対応した容量を有する貯留タンクを形成する工程をさらに有し、
   前記供給工程においては、前記使用量に対応した容量、又は前記使用比率に対応した容量を有する前記貯留タンクに前記液状体を充填すると共に、当該貯留タンクを前記配置装置に接続することで、前記使用量に対応した量の前記液状体、又は前記使用比率に対応した量の前記複数種類の液状体のそれぞれの前記液状体を、前記配置装置に供給することを特徴とする液状体の供給方法。
5. 請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液状体の供給方法であって、
   前記配置装置は、前記液状体を液滴として吐出する複数の吐出ノズルを有する液滴吐出装置であって、前記複数のノズルが略直線状に整列したノズル列を備え、前記ノズル列毎に同一種類の前記液状体を吐出することを特徴とする液状体の供給方法。
6. 請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液状体の供給方法であって、
   前記配置装置は、前記液状体を液滴として吐出する複数の吐出ノズルを有する液滴吐出装置であって、前記複数のノズルが形成された液滴吐出ヘッドを備え、前記液滴吐出ヘッド毎に同一種類の前記液状体を吐出することを特徴とする液状体の供給方法。
7. デバイスを構成する材料を含む機能液を基材上に配置して前記デバイスを形成するデバイスの製造方法であって、
   前記機能液を前記基材上に配置する液滴吐出装置が一定の期間稼働する際、又は一定数量の前記デバイスを製造する際の前記機能液の使用量を取得する使用量取得工程と、
   前記使用量取得工程で取得した前記機能液の前記使用量に対応した量の前記機能液を前記液滴吐出装置に供給する供給工程と、を有することを特徴とするデバイスの製造方法。
8. デバイスを構成する材料を含む複数種類の機能液を基材上に配置して前記デバイスを形成するデバイスの製造方法であって、
   配置される前記複数種類の機能液のそれぞれの機能液間の、前記機能液を前記基材上に配置する液滴吐出装置における使用量の比率を取得する使用比率取得工程と、
   前記使用比率取得工程で取得した前記機能液間の前記使用比率に対応した量のそれぞれの前記機能液を、前記液滴吐出装置に供給する供給工程と、を有することを特徴とするデバイスの製造方法。
9. 請求項７又は８に記載のデバイスの製造方法であって、
   前記液滴吐出装置は、前記機能液の種類に対応する貯留タンクを備え、
   前記供給工程においては、前記使用量に対応した量の前記機能液、又は前記使用比率に対応した量の前記複数種類の機能液のそれぞれの前記機能液を、前記貯留タンクに充填することで、前記機能液を前記液滴吐出装置に供給することを特徴とするデバイスの製造方法。
10. 請求項７又は８に記載のデバイスの製造方法であって、
    前記使用量に対応した容量、又は前記使用比率に対応した容量を有する貯留タンクを形成する工程をさらに有し、
    前記供給工程においては、前記使用量に対応した容量、又は前記使用比率に対応した容量を有する前記貯留タンクに前記機能液を充填すると共に、当該貯留タンクを前記液滴吐出装置に接続することで、前記使用量に対応した量の前記機能液、又は前記使用比率に対応した量のそれぞれの前記機能液を、前記液滴吐出装置に供給することを特徴とするデバイスの製造方法。
11. 請求項７乃至１０のいずれか一項に記載のデバイスの製造方法であって、
    前記液滴吐出装置は、前記ノズルが略直線状に整列したノズル列を有し、各前記ノズル列毎に同一種類の前記機能液を吐出することを特徴とするデバイスの製造方法。
12. 請求項７乃至１０のいずれか一項に記載のデバイスの製造方法であって、
    前記液滴吐出装置は、前記複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドを備え、前記液滴吐出ヘッド毎に同一種類の前記機能液を吐出することを特徴とするデバイスの製造方法。
13. 配線基板を構成する材料を含む機能液を基材上に配置して前記配線基板を形成する配線基板の製造方法であって、
    前記機能液を前記基材上に配置する液滴吐出装置が一定の期間稼働する際、又は一定数量の前記配線基板を製造する際の前記機能液の使用量を取得する使用量取得工程と、
    前記使用量取得工程で取得した前記機能液の前記使用量に対応した量の前記機能液を前記液滴吐出装置に供給する供給工程と、を有することを特徴とする配線基板の製造方法。
14. 配線基板を構成する材料を含む機能液を基材上に配置して前記配線基板を形成する配線基板の製造方法であって、
    配置される前記複数種類の機能液のそれぞれの機能液間の、前記機能液を前記基材上に配置する液滴吐出装置における使用量の比率を取得する使用比率取得工程と、
    前記使用比率取得工程で取得した前記機能液間の前記使用比率に対応した量のそれぞれの前記機能液を、前記液滴吐出装置に供給する供給工程と、を有することを特徴とする配線基板の製造方法。
15. 請求項１３又は１４に記載の配線基板の製造方法であって、
    前記液滴吐出装置は、前記機能液の種類に対応する貯留タンクを備え、
    前記供給工程においては、前記使用量に対応した量の前記機能液、又は前記使用比率に対応した量の前記複数種類の機能液のそれぞれの前記機能液を、前記貯留タンクに充填することで、前記機能液を前記液滴吐出装置に供給することを特徴とする配線基板の製造方法。
16. 請求項１３又は１４に記載の配線基板の製造方法であって、
    前記使用量に対応した容量、又は前記使用比率に対応した容量を有する貯留タンクを形成する工程をさらに有し、
    前記供給工程においては、前記使用量に対応した容量、又は前記使用比率に対応した容量を有する前記貯留タンクに前記機能液を充填すると共に、当該貯留タンクを前記液滴吐出装置に接続することで、前記使用量に対応した量の前記機能液、又は前記使用比率に対応した量のそれぞれの前記機能液を、前記液滴吐出装置に供給することを特徴とする配線基板の製造方法。
17. 請求項１３乃至１６のいずれか一項に記載の配線基板の製造方法であって、
    前記液滴吐出装置は、前記ノズルが略直線状に整列したノズル列を有し、各前記ノズル列毎に同一種類の前記機能液を吐出することを特徴とする配線基板の製造方法。
18. 請求項１３乃至１６のいずれか一項に記載の配線基板の製造方法であって、
    前記液滴吐出装置は、前記複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドを備え、前記液滴吐出ヘッド毎に同一種類の前記機能液を吐出することを特徴とする配線基板の製造方法。
19. 請求項１３乃至１８のいずれか一項に記載の配線基板の製造方法であって、
    前記機能液は、配線を形成する導電性材料を含む機能液であることを特徴とする配線基板の製造方法。
20. カラーフィルタを構成する材料を含む機能液を基材上に配置して前記カラーフィルタを形成するカラーフィルタの製造方法であって、
    前記機能液を前記基材上に配置する液滴吐出装置が一定の期間稼働する際、又は一定数量の前記カラーフィルタを製造する際の前記機能液の使用量を取得する使用量取得工程と、
    前記使用量取得工程で取得した前記機能液の前記使用量に対応した量の前記機能液を前記液滴吐出装置に供給する供給工程と、を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
21. カラーフィルタを構成する材料を含む機能液を基材上に配置して前記カラーフィルタを形成するカラーフィルタの製造方法であって、
    配置される前記複数種類の機能液のそれぞれの機能液間の、前記機能液を前記基材上に配置する液滴吐出装置における使用量の比率を取得する使用比率取得工程と、
    前記使用比率取得工程で取得した前記機能液間の前記使用比率に対応した量のそれぞれの前記機能液を、前記液滴吐出装置に供給する供給工程と、を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
22. 請求項２０又は２１に記載のカラーフィルタの製造方法であって、
    前記液滴吐出装置は、前記機能液の種類に対応する貯留タンクを備え、
    前記供給工程においては、前記使用量に対応した量の前記機能液、又は前記使用比率に対応した量の前記複数種類の機能液のそれぞれの前記機能液を、前記貯留タンクに充填することで、前記機能液を前記液滴吐出装置に供給することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
23. 請求２０又は２１に記載のカラーフィルタの製造方法であって、
    前記使用量に対応した容量、又は前記使用比率に対応した容量を有する貯留タンクを形成する工程をさらに有し、
    前記供給工程においては、前記使用量に対応した容量、又は前記使用比率に対応した容量を有する前記貯留タンクに前記機能液を充填すると共に、当該貯留タンクを前記液滴吐出装置に接続することで、前記使用量に対応した量の前記機能液、又は前記使用比率に対応した量のそれぞれの前記機能液を、前記液滴吐出装置に供給することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
24. 請求項２０乃至２３のいずれか一項に記載のカラーフィルタの製造方法であって、
    前記液滴吐出装置は、前記ノズルが略直線状に整列したノズル列を有し、各前記ノズル列毎に同一種類の前記機能液を吐出することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
25. 請求項２０乃至２３のいずれか一項に記載のカラーフィルタの製造方法であって、
    前記液滴吐出装置は、前記複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドを備え、前記液滴吐出ヘッド毎に同一種類の前記機能液を吐出することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
26. 請求項２０乃至２５のいずれか一項に記載のカラーフィルタの製造方法であって、
    前記機能液は、前記カラーフィルタの着色層を形成する着色層形成材料を含む機能液であることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
27. 有機ＥＬ装置を構成する材料を含む機能液を基材上に配置して前記有機ＥＬ装置を形成する有機ＥＬ装置の製造方法であって、
    前記機能液を前記基材上に配置する液滴吐出装置が一定の期間稼働する際、又は一定数量の前記有機ＥＬ装置を製造する際の前記機能液の使用量を取得する使用量取得工程と、
    前記使用量取得工程で取得した前記機能液の前記使用量に対応した量の前記機能液を前記液滴吐出装置に供給する供給工程と、を有することを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
28. 有機ＥＬ装置を構成する材料を含む機能液を基材上に配置して前記有機ＥＬ装置を形成する有機ＥＬ装置の製造方法であって、
    配置される前記複数種類の機能液のそれぞれの機能液間の、前記機能液を前記基材上に配置する液滴吐出装置における使用量の比率を取得する使用比率取得工程と、
    前記使用比率取得工程で取得した前記機能液間の前記使用比率に対応した量のそれぞれの前記機能液を、前記液滴吐出装置に供給する供給工程と、を有することを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
29. 請求項２７又は２８に記載の有機ＥＬ装置の製造方法であって、
    前記液滴吐出装置は、前記機能液の種類に対応する貯留タンクを備え、
    前記供給工程においては、前記使用量に対応した量の前記機能液、又は前記使用比率に対応した量の前記複数種類の機能液のそれぞれの前記機能液を、前記貯留タンクに充填することで、前記機能液を前記液滴吐出装置に供給することを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
30. 請求項２７又は２８に記載の有機ＥＬ装置の製造方法であって、
    前記使用量に対応した容量、又は前記使用比率に対応した容量を有する貯留タンクを形成する工程をさらに有し、
    前記供給工程においては、前記使用量に対応した容量、又は前記使用比率に対応した容量を有する前記貯留タンクに前記機能液を充填すると共に、当該貯留タンクを前記液滴吐出装置に接続することで、前記使用量に対応した量の前記機能液、又は前記使用比率に対応した量のそれぞれの前記機能液を、前記液滴吐出装置に供給することを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
31. 請求項２７乃至３０のいずれか一項に記載の有機ＥＬ装置の製造方法であって、
    前記液滴吐出装置は、前記ノズルが略直線状に整列したノズル列を有し、各前記ノズル列毎に同一種類の前記機能液を吐出することを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
32. 請求項２７乃至３０のいずれか一項に記載の有機ＥＬ装置の製造方法であって、
    前記液滴吐出装置は、前記複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドを備え、前記液滴吐出ヘッド毎に同一種類の前記機能液を吐出することを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
33. 請求項２７乃至３２のいずれか一項に記載の有機ＥＬ装置の製造方法であって、
    前記機能液は、前記有機ＥＬ装置の発光層を形成する発光層形成材料、又は正孔輸送層を形成する正孔輸送層形成材料を含む機能液であることを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。

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