JP2008225348A

JP2008225348A - 液滴吐出装置の検査測定装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器

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Publication number: JP2008225348A
Application number: JP2007067070A
Authority: JP
Inventors: Yoichi Miyasaka; 洋一宮阪
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2007-03-15
Filing date: 2007-03-15
Publication date: 2008-09-25

Abstract

【課題】機能液滴吐出ヘッドとの干渉を生ずることなく、機能液滴吐出ヘッドの近傍に配置することができる液滴吐出装置の検査測定装置等を提供する。
【解決手段】機能液滴吐出ヘッドから検査シート上に検査吐出された機能液滴を、画像認識により検査測定する液滴吐出装置の検査測定装置であって、機能液滴吐出ヘッドの移動軌跡下に臨み、ワークステージ上のワークと略面一となるように検査シートがセットされるステージユニット８０と、ワークステージ上のワークより低い位置に配設され、検査シート５７に検査吐出された機能液滴を画像認識するカメラユニット８２と、ステージユニット８０を、検査吐出を受ける吐出受容位置と画像認識に供する被認識位置との間で上下方向に移動させるステージ移動手段８１と、を備えた。
【選択図】図５

Description

本発明は、機能液滴吐出ヘッドから検査用試料上に検査吐出された機能液滴を、画像認識により検査測定する液滴吐出装置の検査測定装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。

従来、この種の検査測定装置として、機能液滴吐出ヘッドの全吐出ノズルから機能液滴が吐出されているか否かを検出する、いわゆるドット抜け検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
このドット抜け検査装置は、複数の機能液滴吐出ヘッドを搭載したＸ軸テーブルと、機能液滴吐出ヘッドの機能回復を行うメンテナンス装置との間に配設されており、メンテナンス後の機能液滴吐出ヘッドが、描画エリアに移動する過程でこれに臨むようになっている。この場合、ドット抜け検査装置は、レーザー光を照射する投光部およびこれを受光する受光部とから成り、機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出すると共に、レーザー光をストロボ発光させて、機能液滴が吐出されているか否かを検査する。
特開２００４−２４３１８７号公報

ところで、機能液滴吐出ヘッドのドット抜け等の性能検査は、描画精度に大きな影響を及ぼすことが知られている。このため、描画対象となるワーク毎に吐出性能の検査測定を行うことが好ましい。しかし、上記従来技術のように、検査測定装置を描画エリアから外れた位置に設けられていると、検査のための機能液滴吐出ヘッドの移動に時間を有し、ワーク処理のタクトタイムが長くなることが想定される。
この場合、検査測定装置を描画エリア内に、できれば機能液滴吐出ヘッドのホーム位置近傍に設けることが好ましい。しかし、このようにすると、機能液滴吐出ヘッドの主走査（描画動作）等において、検査測定装置と機能液滴吐出ヘッドとが干渉してしまうおそれがある。

本発明は、機能液滴吐出ヘッドとの干渉を生ずることなく、機能液滴吐出ヘッドの近傍に配置することができる液滴吐出装置の検査測定装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題としている。

本発明の液滴吐出装置の検査測定装置は、ワークステージ上にセットされたワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを移動させながら、機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出させて描画を行なう液滴吐出装置に設けられ、機能液滴吐出ヘッドから検査用試料上に検査吐出された機能液滴を、画像認識により検査測定する液滴吐出装置の検査測定装置であって、機能液滴吐出ヘッドの移動軌跡下に臨み、ワークステージ上のワークと略面一となるように検査用試料がセットされるステージユニットと、ワークステージ上のワークより低い位置に配設され、検査用試料に検査吐出された機能液滴を画像認識するカメラユニットと、ステージユニットを、検査吐出を受ける吐出受容位置と画像認識に供する被認識位置との間で上下方向に移動させるステージ移動手段と、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、ステージユニットは、その検査用試料がワークステージ上のワークと略面一となるようにセットされる一方、カメラユニットは、ワークステージ上のワークより低い位置に配設されている。このため、ステージユニットおよびカメラユニットは、これらが機能液滴吐出ヘッドの移動軌跡下に臨んでいても、機能液滴吐出ヘッドと干渉することはない。また、ステージ移動手段は、ステージユニットを、検査吐出を受ける吐出受容位置と画像認識に供する被認識位置との間で上下方向に移動させるため、検査用試料上に検査吐出された機能液滴の画像認識に支障を生ずることはない。すなわち、ステージユニットおよびカメラユニットと機能液滴吐出ヘッドとは干渉を生ずることがなく、且つこれらユニットを機能液滴吐出ヘッドの移動軌跡下等の近傍に配置することができる。なお、検査用試料として、シート状に形成された紙、ガラス、シリコンウエハ等があり、機能液滴吐出ヘッドにより吐出された機能液滴が着弾する検査用試料の着弾面は、平面となっている。

この場合、ステージ移動手段によるステージユニットの上下動に連動し、カメラユニットを、ステージユニットの上下動軌跡から外れた待機位置と、ステージユニット上の検査用試料の直上部に臨む認識位置との間で移動させるユニット移動手段と、を更に備えることが好ましい。

この構成によれば、ユニット移動手段により、カメラユニットを検査用試料の直上部に臨ませることができるため、検査用試料の画像認識を無理なく且つ精度良く行うことができる。

これらの場合、検査測定は、カメラユニットの認識結果から機能液滴吐出ヘッドの各吐出ノズルにおける吐出不良、飛行曲がりおよび着弾ずれのうち、少なくとも１の検査であることが、好ましい。

この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドの各吐出ノズルにおける性能検査を精度良く行うことができる。これにより、各ワークに対する描画を適切に行なうことができ、ワーク処理における歩留りを向上させることができる。

これらの場合、検査用試料は、帯状のロールシートで構成され、ステージユニットは、検査用試料が吸着セットされる検査ステージと、検査用試料を、検査ステージに対し繰り出すと同時に巻き取るシート送り機構と、を有していることが好ましい。

この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドによる検査用試料への吐出着弾を精度良く行うことができると共に、機能液滴が着弾した検査用試料の巻取りおよび新たな検査用試料の繰出しを効率良く行うことができる。なお、検査用試料には、幅方向に位置ズレさせながら、複数度に亘る検査吐出を行うことで、無駄なく使用することが、好ましい。

これらの場合、カメラユニットは、認識カメラと、認識カメラを検査用試料に沿って移動させるカメラ移動機構と、を有していることが好ましい。

この構成によれば、カメラ移動機構により、認識カメラを検査用試料に沿って移動させるようにしているため、認識カメラをできる限り少ない台数で効率良く画像認識を行うことができる。なお、認識カメラは、１〜３台程度することが、好ましい。

これらの場合、ワークステージは、間隙を存して主走査方向に並べて配設した一対のもので構成され、ステージユニットは、一対のワークステージの中間位置に配設されていることが、好ましい。

この構成によれば、一方のワークステージに対しワークの除給材を行っている間に、他方のワークステージでワークへの描画を行なうことができ、装置の稼動を停止することなくワーク処理を行うことができる。したがって、ワーク処理のタクトタイムを格段に短縮することができる。

本発明の液滴吐出装置は、上記した液滴吐出装置の検査測定装置を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、検査測定装置を機能液滴吐出ヘッドの近傍に配置することができるため、検査測定のための時間を短縮することができる。このため、ワーク毎に検査測定を行っても、ワーク処理のタクトタイムが長くなることがなく、生産性を向上させることができる。

本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。

本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。

この構成によれば、高品質の電気光学装置を効率良く製造することができる。なお、機能材料としては、有機ＥＬ装置の発光材料（Electro-Luminescence発光層・正孔注入層）は元より、液晶表示装置に用いるカラーフィルタのフィルタ材料（フィルタエレメント）、電子放出装置（Field Emission Display, ＦＥＤ）の蛍光材料（蛍光体）、ＰＤＰ（plasma Display Panel）装置の蛍光材料（蛍光体）、電気泳動表示装置の泳動体材料（泳動体）等であって、機能液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）により吐出可能な液体材料を言う。また、電気光学装置（Flat Panel Display, ＦＰＤ）としては、有機ＥＬ装置、液晶表示装置、電子放出装置、ＰＤＰ装置、電気泳動表示装置等がある。

本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。

この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。

以下、添付の図面を参照して、本発明に係る検査測定装置を適用した液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、液晶表示装置等のフラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を、複数の機能液滴吐出ヘッドに導入し、ワーク上に機能液による成膜部を形成して、カラーフィルタ等を製造するものである。

図１に示すように、液滴吐出装置１は、ワークＷに対し描画処理を行なう描画装置２と、描画装置２を内部に収容すると共に、クリーンルームを構成するチャンバ装置３と、チャンバ装置３の側壁に設けられた除給材開口（図示省略）を介して、ワークＷの除給材を行う除給材装置４と、で構成されている。

描画装置２は、石定盤上に配置されており、ワークＷがセットされると共に主走査方向に並べて配設された一対のワークステージ１０と、一対のワークステージ１０の間に配設され、複数の機能液滴吐出ヘッド３０の吐出性能を検査する吐出検査ユニット（検査測定装置）１１と、吐出検査ユニット１１と一対のワークステージ１０との間に配設されると共に、一対のワークステージ１０の主走査方向両外側に配設された４つのフラッシングユニット１２と、主走査方向の一方の最外側に配設されたメンテナンスユニット１３と、これらを跨ぐように設けられ、Ｒ色・Ｇ色・Ｂ色の機能液滴を吐出する複数の機能液滴吐出ヘッド３０を搭載した描画ユニット１４と、を備えており、図示しない制御コンピュータにより装置全体が統括制御されている。また、描画装置２には、描画後のワークＷの上方を主走査方向に移動して、Ｒ色・Ｇ色・Ｂ色の機能液の混色を検査する混色検査ユニット１５と、ワークＷの上部に配置され、ワークに形成されたアライメントマークを撮像する４つのアライメントカメラ１６（図２参照）と、ワークＷの除材時において、ワークＷの除電を行なう除電ユニット（図示省略）と、が更に設けられている。

図３に示すように、各ワークステージ１０は、ワークＷがセットされる吸着テーブル２０と、吸着テーブル２０をθ方向に回転させるθテーブル２１と、吸着テーブル２０を昇降させるＺ軸テーブル２２と、を有しており、θテーブル２１およびＺ軸テーブル２２は、制御コンピュータにより駆動制御されている。これにより、上記の各アライメントカメラ１６による撮像結果に基づいて、制御コンピュータによりθテーブル２１を回転させることで、セットされたワークＷのθ補正を行うと共に、Ｚ軸テーブル２２を上下に微小移動させて、セットされたワークＷの表面と機能液滴吐出ヘッド３０のノズル面との距離（ワークギャップ）を微調整する。なお、一対のワークステージ１０上にセットされたθ補正後の各ワークＷは、副走査方向に位置ずれしており、この場合、制御コンピュータは、一方のワークＷから他方のワークＷへ描画処理の移行時において、後述する複数のヘッドユニット２５を、位置ずれした分、副走査方向に移動させて位置補正した後、描画処理を行うよう制御している。

図１ないし図５に示すように、描画ユニット１４は、複数のヘッドユニット２５と、複数のヘッドユニット２５を搭載すると共に、搭載した複数のヘッドユニット２５を主走査方向および副走査方向に移動させるヘッド移動手段２６と、各ヘッドユニットに配管・配線接続された機能液供給系およびヘッド電装系を含む複数のヘッド付帯装置２７と、複数のヘッド付帯装置２７を主走査方向に移動させる付帯移動手段２８と、を有しており、制御コンピュータは、ヘッド移動手段２６および付帯移動手段２８を制御して、複数のヘッドユニット２５の移動に伴って、複数のヘッド付帯装置２７が追従するよう移動させている。このとき、描画動作の開始時におけるヘッド移動手段２６および付帯移動手段２８の駆動開始は、付帯移動手段２８が先行して移動した後、ヘッド移動手段２６が移動するよう構成され、また、駆動停止は、ヘッド移動手段２６が先行して停止した後、付帯移動手段２８が停止するよう構成されている。

各ヘッドユニット２５は、ワークＷに対し、機能液滴を吐出する複数の機能液滴吐出ヘッド３０と、複数の機能液滴吐出ヘッド３０を位置決めして装着するキャリッジプレートと、から構成されている。つまり、複数の機能液滴吐出ヘッド３０は、キャリッジプレートを介してヘッド移動手段２６に搭載されている。

ヘッド移動手段２６は、複数のヘッドユニット２５を主走査方向に移動させる主走査移動手段３５と、複数のヘッドユニット２５を主走査方向に直交する副走査方向に移動させる副走査移動手段３６と、を有しており、複数のヘッドユニット２５を主走査方向および副走査方向に移動自在に搭載している。

図４に示すように、主走査移動手段３５は、ガントリー構造となっており、一対のワークステージ１０を挟んで主走査方向に延在するように設けられた一対の主ガイドレール４０と、一対の主ガイドレール４０上を主走査方向にスライド自在に移動する一対の主スライダ４１と、一対の主スライダ４１上に架設され、副走査方向に延在するよう設けられた主ブリッジフレーム４２と、を備えており、一対の主スライダ４１は、図示しないリニアモータを駆動源として、付帯移動手段２８に比して高精度に移動可能な構成となっている。なお、主走査移動手段３５は、ワークＷの描画速度に比して、各ワークＷ間の移動速度が速くなるよう構成されている。

副走査移動手段３６は、主ブリッジフレーム４２に配設されており、各ヘッドユニット２５は、副走査移動手段３６を介して主ブリッジフレーム４２に搭載されている。これにより、複数のヘッドユニット２５は、副走査方向に移動可能な構成となっている。

各ヘッド付帯装置２７は、各機能液滴吐出ヘッド３０に機能液を供給するためのサブタンク等を含む機能液供給系と、各機能液滴吐出ヘッド３０に機能液滴を吐出するための吐出駆動波形を印加するためのヘッド基板等を含むヘッド電装系と、から構成されており、ヘッドユニット２５の重量に比して、重くなるよう構成されている。各ヘッドユニット２５と各ヘッド付帯装置２７との間は、機能液供給チューブ４５により配管接続されていると共に、配線ケーブル４６により配線接続されており、複数の機能液滴吐出ヘッド３０に、機能液供給チューブ４５を介して機能液が供給されると共に、配線ケーブル４６を介して吐出駆動波形が印加されている。このとき、複数の機能液供給チューブ４５は、それぞれ同一の長さとなるよう構成され、また、複数の配線ケーブル４６は、それぞれ同一の長さとなるよう構成されている。

付帯移動手段２８は、複数のヘッドユニット２５および複数のヘッド付帯装置２７間の配管・配線の物理的接続状態を維持する離間距離を保ちつつ、ヘッド移動手段２６に追従して移動するよう制御コンピュータにより移動制御されている。付帯移動手段２８も、上記の主走査移動手段と同様にガントリー構造となっており、ヘッド移動手段２６の移動軌跡の上方を移動するよう構成されている。このため、ヘッド移動手段２６および付帯移動手段２８は、互いに干渉することなく移動することができる。付帯移動手段２８は、一方の主ガイドレール４０の副走査方向外側に配設されると共に他方の主ガイドレール４０の上部に除給材用間隙４８を存して配設された一対の副ガイドレール５０と、一対の副ガイドレール上を主走査方向にスライド自在に移動する一対の副スライダ５１と、一対の副スライダ５１上に架設され、副走査方向に延在するように設けられた副ブリッジフレーム５２と、を備えており、一対の副スライダ５１は、一対の主スライダ４１と同様のリニアモータを駆動源として、主走査方向に移動するよう構成されている。また、副ブリッジフレーム５２は、副走査方向において、主ブリッジフレーム４２と平行となるよう配設されており、その両脚部には、それぞれ防振部材５５が介設され、複数のヘッド付帯装置２７の移動に伴う振動を吸収している。

図３および図５に示すように、吐出検査ユニット１１は、各機能液滴吐出ヘッドの各吐出ノズルにおける吐出不良や着弾ずれ等を検査するものであり、検査シート（検査用試料）５７を各機能液滴吐出ヘッド３０の移動軌跡下に臨むようセットするステージユニット８０と、検査シート５７を昇降させるステージ移動手段８１と、検査シート５７に吐出・着弾した機能液滴を撮像する検査カメラユニット８２と、降下させた検査シート５７に検査カメラユニット８２を臨ませるカメラユニット移動手段８３と、を有している。そして、吐出検査ユニット１１による吐出性能の検査は、ワークＷへの描画処理に先立って行なわれるよう構成されている。

検査シート５７は、帯状のロールシートで構成され、副走査方向に延在するようステージユニット８０にセットされる。ステージユニット８０は、検査シート５７が吸着セットされる検査ステージ８５と、検査シート５７を検査ステージ８５に対し繰り出すと同時にこれを巻き取るシート送り機構（図示省略）と、を有している。そして、複数の機能液滴吐出ヘッド３０は、検査シート５７に対し、主走査方向（検査シート５７の幅方向）に位置ズレさせながら、複数回に亘る検査吐出を行うことで、検査シート５７を無駄なく使用している。吐出検査後は、検査シート５７の検査済み部分が巻き取られ、新たに繰り出された未描画部分に対して、同様に吐出検査が行われるようになっている。これにより、各機能液滴吐出ヘッド３０による検査シートへの吐出着弾を精度良く行うことができると共に、機能液滴が着弾した検査シート５７の巻取りおよび新たな検査シート５７の繰出しを効率良く行うことができる。

ステージ移動手段は、検査シート５７を、セットされたワークＷと略面一の位置となる吐出受容位置と、吐出受容位置の下方に位置し、検査カメラユニット８２により撮像される被認識位置との間で昇降させている。

カメラユニット移動手段は、ステージ移動手段によるステージユニット８０の昇降移動に連動し、検査カメラユニット８２を、ステージユニット８０の上下動軌跡から外れた待機位置と、被認識位置に臨んだステージユニット８０上の検査シート５７の直上部に臨む認識位置との間で移動させている。

検査カメラユニット８２は、ワークステージ１０上のワークＷより低い位置に配設されており、検査シート５７に吐出された機能液滴を撮像認識する認識カメラ５８と、被認識位置に臨んだ検査シート５７に対し、認識カメラ５８を検査シート５７に沿って副走査方向に移動させるカメラ移動機構（図示省略）と、を有している。このため、カメラ移動機構により認識カメラ５８を移動させることで、認識カメラ５８を多数配置する必要が無い。なお、認識カメラ５８を複数配置することで、吐出検査における検査時間を短縮することが可能となる。

図５に示すように、吐出検査ユニット１１により機能液滴吐出ヘッド３０の吐出性能を検査する場合、先ず、吐出受容位置に臨んだ検査シート５７に対し、その上方から各機能液滴吐出ヘッド３０により機能液滴を吐出して、検査シート５７に機能液滴を着弾させ、この後、ステージ移動手段により、検査シート５７を被認識位置まで降下させる。この移動に連動して、カメラユニット移動手段８３により検査カメラユニット８２を待機位置から認識位置まで移動させた後、カメラ移動手段により認識カメラ５８を副走査方向に移動させながら、検査シート５７に着弾した機能液滴を撮像認識し、この撮像結果から、各機能液滴吐出ヘッド３０の吐出状態を検査する。このとき、吐出不良等の機能液滴吐出ヘッド３０がある場合には、ヘッドユニット２５をメンテナンスユニット１３に臨ませて、吐出不良を解消し、再び吐出状態を検査する。これにより、ワークに対し、良好に描画を行うことが可能となり、ワークへの描画処理における歩溜りを向上させることができる。

各フラッシングユニット１２は、複数の機能液滴吐出ヘッド３０から捨て吐出される機能液滴を受けるものであり、複数の機能液滴吐出ヘッド３０は、ワークＷへの描画前に、各フラッシングユニット１２に捨て吐出を行って、機能液滴の吐出を安定させる。４つのフラッシングユニット１２は、一対のワークステージ１０間に配設された一対の中間部フラッシングユニット１２と、一対のワークステージ１０の主走査方向外側に配設された一対の端部フラッシングユニット１２と、から構成されている。このため、描画処理前にヘッドユニット２５から捨て吐出を行うことにより、吐出状態を安定させることができるため、適切にワークＷに描画を行うことが可能となる。また、吐出検査前にも、ヘッドユニット２５から捨て吐出を行うことで吐出状態を安定させることができるため、良好な吐出検査を行うことができる。

図５に示すように、メンテナンスユニット１３は、各機能液滴吐出ヘッド３０内で増粘した機能液を除去するための吸引を行うと共に、各機能液滴吐出ヘッド３０を保管するために各機能液滴吐出ヘッド３０にキャッピングする吸引装置６４と、吸引装置６４の副走査方向外側に配設され、機能液滴吐出ヘッド３０のノズル面を副走査方向に移動して払拭するワイピング装置６５と、を備えている。メンテナンスユニット１３は、主走査方向の最外端に配置され、主走査方向に移動するヘッドユニット２５のホーム位置となっており、ホーム位置に臨んだヘッドユニット２５の直下にメンテナンスユニット１３が配置されている。

吸引装置６４は、複数のヘッドユニット２５に対応するよう複数の個別吸引ユニット６８からなっており、各機能液滴吐出ヘッド３０の吸引を行う場合、吸引装置６４は、メンテナンスユニット１３に臨んだ複数のヘッドユニット２５に対し、各個別吸引ユニット６８をそれぞれ上方に移動させて、個別にヘッドユニット２５の吸引を行うことが可能なよう構成されている。なお、各機能液滴吐出ヘッド３０に対し、キャッピングを行う場合は、全ての個別吸引ユニット６８を上方に移動させて、全ての機能液滴吐出ヘッド３０をキャッピングする。

ワイピング装置６５により、各機能液滴吐出ヘッド３０のノズル面をワイピングする場合は、ワイピング装置６５が副走査方向に移動可能となるよう吸引装置６４が下方に移動する。この後、ワイピング装置６５が、副走査方向に移動して、各機能液滴吐出ヘッド３０のノズル面をワイピングする。

混色検査ユニット１５は、一方の副ガイドレール５０の副走査方向外側に設けられ、主走査方向に延在する混色用ガイドレール７０と、混色用ガイドレール７０上を主走査方向に移動する混色用スライダ７１と、混色用スライダ７１上に立設された断面逆「Ｌ」字状の片持ちフレーム７２と、セットされたワークＷの上方に位置するよう片持ちフレーム７２に取り付けられた混色用カメラ７３と、を備えており、付帯移動手段２８が移動する移動軌跡の上方を移動するよう構成されている。このため、混色検査ユニット１５は、複数のヘッドユニット２５、ヘッド移動手段２６、複数のヘッド付帯装置２７および付帯移動手段２８に干渉することなく、混色検査が可能なよう構成されており、混色用カメラ７３を主走査方向に移動させて、ワークＷの上方から撮像し、検査結果に基づいて、混色によるワークＷの良品・不良品を選別する。

除電ユニットは、除材時において、各ワークステージ１０上にセットされたワークＷを除電するものであり、軟Ｘ線を照射する軟Ｘ線照射手段により、ワークＷに対し、軟Ｘ線を照射することで、ワークＷの除電を行っている。

除給材装置４は、ワークＷの除給材を行う単一の移載ロボット７５と、移載ロボット７５を主走査方向に移動させて、一対のワークステージ１０に交互に臨ませるロボット移動手段７６と、を有しており、制御コンピュータにより、移載ロボット７５およびロボット移動手段７６が制御されている。ロボット移動手段７６は、主走査方向に延在するよう配設された一対の移動レール７７と、移動レール７７上を主走査方向に移動する移動スライダ７８と、を有しており、移動スライダ７８上に移載ロボット７５が搭載されている。移載ロボット７５は、チャンバ装置に形成された除給材開口および除給材用間隙４８を介して、一方のワークＷの描画中に、他方のワークＷの除給材を行っている。

ここで、図６を参照して、液滴吐出装置１によるワークＷへの一連の描画処理について説明する。まず、一方のワークステージ１０にセットされたワークＷの描画中において（図６（ａ）参照）、除給材装置４により、他方のワークステージ１０にワークＷをセットすると共に（図６（ｂ）参照）、アライメントカメラ１６により、ワークＷに形成されたアライメントマークを撮像して、ワークＷのθ補正を行う（図６（ｃ）参照）。これにより、一方のワークＷの描画中に、他方のワークＷのθ補正を終了させておくことで、タイムロスなく次のワークＷの描画処理へ移行することができる。この場合、θ補正後の他方のワークＷは、描画中の一方のワークＷに対し、副走査方向に位置ずれした状態でセットされており、アライメントカメラ１６の撮像結果に基づいて、位置ずれ量が測定される。

そして、一方のワークＷの描画処理が終了間際になると、すなわち、一対のワークステージ１０間に向かって、複数のヘッドユニット２５の最終パス描画が行われると、この複数のヘッドユニット２５の描画動作に追従して、混色検査ユニット１５により描画後のワークＷの混色が検査される（図６（ｃ）参照）。この後、一方のワークＷの描画が終了すると、複数のヘッドユニット２５は、一方のワークＷから他方のワークＷへ描画処理を移行する（図６（ｄ）参照）。このとき、各ワークＷ間におけるヘッドユニット２５の移動速度は、ワークＷへの描画速度に比して高速となるよう、制御コンピュータにより主走査移動手段３５が制御される。これにより、安定的な吐出が不必要な非描画区間において、ヘッドユニット２５を高速に移動させることでタクトタイムを短縮することができる。また、制御コンピュータは、副走査移動手段３６を制御して、上記の位置ずれ量分、複数のヘッドユニット２５を副走査方向に移動させることで、ワークＷに対し、ヘッドユニット２５を適切に臨ませることができる。

次に、他方のワークＷの描画中において、描画後の一方のワークＷは、除電ユニットにより除電を行った後、除給材装置４により除材されると共に、新たなワークＷを一方のワークステージ１０上に給材する。これにより、装置の稼動を停止させることなくワークＷへの描画処理を行うことができるため、タクトタイムを短縮することができる。

以上の構成によれば、ステージユニット８０および検査カメラユニット８２が複数の機能液滴吐出ヘッド３０の移動軌跡下に臨んでいても、ステージ移動手段８１によりステージユニット８０を、吐出受容位置と被認識位置との間で上下方向に移動させ、また、カメラユニット移動手段８３により検査カメラユニット８２を待機位置と認識位置との間で副走査方向に移動させることで、ステージユニット８０および検査カメラユニット８２と複数の機能液滴吐出ヘッド３０とは、干渉を生ずることがなく、且つこれらユニット８０、８２を複数の機能液滴吐出ヘッド３０の移動軌跡下等の近傍に配置することができる。なお、本実施形態では、ヘッド移動手段２６および付帯移動手段２８を共通のリニアモータで駆動するようにしているが、それぞれ別の駆動源で駆動させるようにしても良い。また、付帯移動手段２８は、石定盤上に配設したが、チャンバ装置３に支持されるような構成にしてもよい。さらに、付帯移動手段２８は、複数のヘッド付帯装置２７を片持ちで支持して、移動させるようにしてもよい。

次に、本実施形態の液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。

まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図７は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図８は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図８（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。

続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図８（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図８（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド３０により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。

以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。

次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図８（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド３０によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド３０を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図８（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。

図９は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図８に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。

この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図９において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。

液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。

実施形態の液滴吐出装置は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド３０で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド３０で行うことも可能である。

図１０は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。

液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

図１１は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。

この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。

対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。

また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。

なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。

次に、図１２は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。

この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。

回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。

また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。

そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。

このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。

上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。

バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。

上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。

発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。

そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。

陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。

次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１３〜図２１を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１３に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。

まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１４に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１５に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。

表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド３０を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。

そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１の各ワークステージ１０に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。

図１６に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド３０から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図１７に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。

次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。

そして次に、図１８に示すように、各色のうちのいずれか（図１８の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。

その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図１９に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。

同様に、機能液滴吐出ヘッド３０を用い、図２０に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。

対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２１に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ₂、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。

このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。

次に、図２２は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。

第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。

放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。

第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。

本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１の各ワークステージ１０に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド３０により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。

補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。

ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド３０から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。

次に、図２３は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。

第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。

第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。

そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。

この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置を用いて形成することができる。

第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２４（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２４（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。

また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。

本実施形態に係る液滴吐出装置の外観模式図である。本実施形態に係る液滴吐出装置の上面模式図である。副走査方向から見た液滴吐出装置の模式図である。主走査方向から見た液滴吐出装置の模式図である。吐出検査ユニットの外観模式図である。液滴吐出装置における一連の描画処理の説明図である。カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。無機物バンク層の形成を説明する工程図である。有機物バンク層の形成を説明する工程図である。正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。陰極の形成を説明する工程図である。プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。

符号の説明

１…液滴吐出装置２…描画装置４…除給材装置１０…ワークステージ１１…吐出検査ユニット１２…フラッシングユニット１３…メンテナンスユニット１５…混色検査ユニット１６…アライメントカメラ２５…ヘッドユニット２６…ヘッド移動手段２７…ヘッド付帯装置２８…付帯移動手段３０…機能液滴吐出ヘッド３５…主走査移動手段３６…副走査移動手段４５…機能液供給チューブ４６…配線ケーブル７５…移載ロボット７６…ロボット移動手段Ｗ…ワーク

Claims

ワークステージ上にセットされたワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを移動させながら、前記機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出させて描画を行なう液滴吐出装置に設けられ、
前記機能液滴吐出ヘッドから検査用試料上に検査吐出された機能液滴を、画像認識により検査測定する液滴吐出装置の検査測定装置であって、
前記機能液滴吐出ヘッドの移動軌跡下に臨み、前記ワークステージ上のワークと略面一となるように前記検査用試料がセットされるステージユニットと、
前記ワークステージ上のワークより低い位置に配設され、前記検査用試料に検査吐出された機能液滴を画像認識するカメラユニットと、
前記ステージユニットを、前記検査吐出を受ける吐出受容位置と前記画像認識に供する被認識位置との間で上下方向に移動させるステージ移動手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置の検査測定装置。
前記ステージ移動手段による前記ステージユニットの上下動に連動し、前記カメラユニットを、前記ステージユニットの上下動軌跡から外れた待機位置と、前記ステージユニット上の前記検査用試料の直上部に臨む認識位置との間で移動させるユニット移動手段と、を更に備えたことを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置の検査測定装置。
前記検査測定は、前記カメラユニットの認識結果から前記機能液滴吐出ヘッドの各吐出ノズルにおける吐出不良、飛行曲がりおよび着弾ずれのうち、少なくとも１の検査であることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置の検査測定装置。
前記検査用試料は、帯状のロールシートで構成され、
前記ステージユニットは、前記検査用試料が吸着セットされる検査ステージと、前記検査用試料を、前記検査ステージに対し繰り出すと同時に巻き取るシート送り機構と、を有していることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液滴吐出装置の検査測定装置。
前記カメラユニットは、認識カメラと、前記認識カメラを前記検査用試料に沿って移動させるカメラ移動機構と、を有していることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出装置の検査測定装置。
前記ワークステージは、間隙を存して主走査方向に並べて配設した一対のもので構成され、
前記ステージユニットは、一対の前記ワークステージの中間位置に配設されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴吐出装置の検査測定装置。
請求項１ないし６のいずれかに記載の液滴吐出装置の検査測定装置を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
請求項７に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
請求項７に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
請求項８に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項９に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。