JP2006044059A - 液滴吐出装置の液滴着弾位置補正方法および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】 １の描画ラインが、独立に移動可能な複数のヘッド群により描画される液滴吐出装置において、着弾誤差を簡単に補正することができる液滴吐出装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 制御手段１８は、アライメント用吐出パターンデータにより、ワークＷ上の検査領域Ｐａに対し、Ｙ軸方向に連続するドットラインＤＬを描画させ、ドット画像認識手段１１３を制御して、複数のヘッド群５１に対応する複数の部分ドットラインＤＬｐをそれぞれ撮像して設計基準からの着弾誤差を認識させ、各部分ドットラインＤＬｐの着弾誤差の認識結果に基づいて、各θ軸テーブル４８を制御して、各キャリッジ１１をθ軸方向に回転させ、Ｙ軸テーブル１３を制御して、各キャリッジ１１をＹ軸方向に移動させると共に、描画用吐出パターンデータをデータ補正する。
【選択図】 図１２

Description

本発明は、ワークに対し、多数の機能液滴吐出ヘッドにより機能液滴を吐出して描画処理を行う液滴吐出装置の液滴着弾位置補正方法および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。

従来、インクジェット方式で微小な液滴を吐出可能な機能液滴吐出ヘッドを用いて、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等のカラーフィルタに代表される各種の電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）を製造する液滴吐出装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。このような液滴吐出装置では、タクトタイムを短縮すべく、いわゆるラインプリンタのように、多数の機能液滴吐出ヘッドを搭載し、ワーク上の描画エリアの幅方向（副走査方向）全域をカバーする幅広の描画ラインを構成することが好ましい。この場合、副走査方向に個々に移動可能な複数のキャリッジに複数の機能液滴吐出ヘッドから成るヘッド群をそれぞれ搭載し、キャリッジ毎に機能液滴吐出ヘッドの交換作業やメンテナンスを行えるようにすることで、機能液滴吐出ヘッドの交換性およびメンテナンス性を損なうことなく、幅広の描画ラインを構成することが考えられる。
特開２００３−２７５６４７号公報

しかしながら、このような液滴吐出装置では、各ヘッド群が各キャリッジに対して精度良く搭載されていない場合がある。この場合、複数のヘッド間の相対位置に誤差があるため、描画ラインに着弾誤差が生じてしまう。したがって、ワークに対し、所望の位置に的確に機能液滴を吐出・着弾させることができず、信頼性の高い電気光学装置を製造することができないという問題があった。

本発明は、１の描画ラインが、独立に移動可能な複数のヘッド群により描画される液滴吐出装置において、着弾誤差を簡単に補正することができる液滴吐出装置の液滴着弾位置補正方法および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的とする。

本発明の液滴吐出装置の液滴着弾位置補正方法は、副走査方向となるＹ軸方向に個々に移動可能な複数のキャリッジに複数の機能液滴吐出ヘッドから成るヘッド群をそれぞれ搭載すると共に、ワークに対し、多数の機能液滴吐出ヘッドを主走査方向となるＸ軸方向に相対的に移動させながら、描画用吐出パターンデータにより機能液滴を吐出して描画処理を行う液滴吐出装置の液滴着弾位置補正方法であって、アライメント用吐出パターンデータにより、ワーク上の検査領域に対し、全機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出させて、Ｙ軸方向に連続するドットラインを描画する検査用描画工程と、複数のヘッド群に対応するドットラインの複数の部分ドットラインをそれぞれ撮像して、設計基準からの着弾誤差を認識するドット列認識工程と、各部分ドットラインの着弾誤差の認識結果に基づいて、各キャリッジをθ軸方向に回転して、θ軸方向における複数のヘッド群の相対位置をそれぞれ補正するθ軸補正工程と、着弾誤差の認識結果に基づいて、各キャリッジをＹ軸方向に移動して、Ｙ軸方向における複数のヘッド群の相対位置をそれぞれ補正するＹ軸補正工程と、着弾誤差の認識結果に基づいて、描画用吐出パターンデータをデータ補正して、Ｘ軸方向における複数のヘッド群の相対位置をそれぞれ補正するＸ軸補正工程と、を備えたことを特徴とする。

本発明の液滴吐出装置は、ワークに対し、多数の機能液滴吐出ヘッドを主走査方向となるＸ軸方向に相対的に移動させながら、描画用吐出パターンデータにより機能液滴を吐出して描画処理を行う液滴吐出装置であって、複数の機能液滴吐出ヘッドから成るヘッド群をそれぞれ搭載した複数のキャリッジと、ワークに対し、多数の機能液滴吐出ヘッドをＸ軸方向に相対的に移動させるＸ軸テーブルと、複数のキャリッジを副走査方向となるＹ軸方向に個々に移動させるＹ軸テーブルと、複数のキャリッジをθ軸方向にそれぞれ回転させる複数のθ軸テーブルと、ワークに着弾した機能液滴を画像認識するドット画像認識手段と、各機能液滴吐出ヘッド、Ｘ軸テーブル、Ｙ軸テーブル、各θ軸テーブルおよびドット画像認識手段を制御すると共に、描画用吐出パターンデータを記憶する制御手段と、を備え、制御手段は、各機能液滴吐出ヘッドおよびＸ軸テーブルを制御して、当該制御手段に記憶したアライメント用吐出パターンデータにより、ワーク上の検査領域に対し、全機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出させて、Ｙ軸方向に連続するドットラインを描画させ、ドット画像認識手段を制御して、複数のヘッド群に対応するドットラインの複数の部分ドットラインをそれぞれ撮像して設計基準からの着弾誤差を認識させ、各θ軸テーブルを制御して、各部分ドットラインの着弾誤差の認識結果に基づいて、各キャリッジをθ軸方向に回転させ、θ軸方向における複数のヘッド群の相対位置をそれぞれ補正し、Ｙ軸テーブルを制御して、着弾誤差の認識結果に基づいて、各キャリッジをＹ軸方向に移動させ、Ｙ軸方向における複数のヘッド群の相対位置をそれぞれ補正し、着弾誤差の認識結果に基づいて、描画用吐出パターンデータをデータ補正して、Ｘ軸方向における複数のヘッド群の相対位置をそれぞれ補正することを特徴とする。

これらの構成によれば、アライメント用吐出パターンに基づく複数の部分ドットラインの画像認識結果に基づいて、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびθ軸方向における複数のヘッド群の相対位置を補正する。このため、各ヘッド群が各キャリッジに対して精度良く搭載されていない場合であっても、それにより生じた複数のヘッド間の相対位置を簡単に補正でき、着弾誤差のない幅広の描画ラインを構成することができる。したがって、ワークへの描画を極めて高精度に行うことができる。
なお、ワークとは、例えば、カラーフィルタ等の基板であり、この場合、画素領域の形成されていない基板の周縁部等に検査領域を構成してもよく、画素領域が形成された領域を検査領域とし、画素領域に対して検査用描画処理を行ってもよい。また、カラーフィルタ等の基板に代えて、検査領域が構成されたアライメントマスクをワークとして用いることも可能である。

上記の液滴吐出装置の描画処理方法において、検査用描画工程に先立って、各キャリッジに設けられたキャリッジアライメントマークを画像認識するキャリッジ認識工程と、キャリッジアライメントマークの認識結果に基づいて、各キャリッジをθ軸方向に回転して、θ軸方向における複数のヘッド群の相対位置をそれぞれ仮補正する仮θ軸補正工程と、をさらに備えたことが好ましい。

上記の液滴吐出装置において、各キャリッジには、キャリッジアライメントマークが設けられ、各キャリッジアライメントマークを画像認識するキャリッジ画像認識手段を、さらに備え、制御手段は、各ヘッド群から各部分ドットラインを着弾させる前に、キャリッジ画像認識手段を制御して、各キャリッジアライメントマークを画像認識させると共に、キャリッジアライメントマークの認識結果に基づいて、各θ軸テーブルにより各キャリッジをθ軸方向に回転させ、θ軸方向における複数のヘッド群の相対位置をそれぞれ仮補正することが好ましい。

これらの構成によれば、θ軸方向における複数のヘッド群の相対位置を仮補正することで、各部分ドットラインを確実に画像認識することができる。すなわち、各部分ドットラインをドット画像認識手段の視野内に確実に捉えることができる。

上記の液滴吐出装置の描画処理方法において、Ｘ軸補正工程は、描画用吐出パターンデータをデータ補正することに代えて、各キャリッジに備えるＸ軸微小移動手段により、各キャリッジをＸ軸方向に移動することで行われることが好ましい。

上記の液滴吐出装置において、複数のヘッド群をＸ軸方向にそれぞれ移動させる複数のＸ軸微小移動手段を、さらに備え、制御手段は、描画用吐出パターンデータをデータ補正することに代え、各Ｘ軸微小移動手段を制御して、各ヘッド群をＸ軸方向に移動させて、Ｘ軸方向における複数のヘッド群の相対位置をそれぞれ補正することが好ましい。

これらの構成によれば、描画用吐出パターンデータをデータ補正することなく、各Ｘ軸微小移動手段により、Ｘ軸方向における複数のヘッド群の相対位置を補正することができる。

本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。

本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。

これらの構成によれば、ワークへの描画を極めて高精度に行うことができる液滴吐出装置を用いて製造されるため、信頼性の高い電気光学装置を製造することが可能となる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。

本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。

この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。

以下、添付の図面を参照して、本発明を適用した液滴吐出装置について説明する。本実施形態の液滴吐出装置は、液晶表示装置等のＦＰＤの製造ラインに組み込まれた描画システムに設置されており、特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を機能液滴吐出ヘッドに導入して、カラーフィルタ等の基板上に機能液滴による成膜部を形成するものである。

図１ないし図３に示すように、液滴吐出装置１は、床上に設置した大型の共通架台（図示省略）と、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド５２から成るヘッド群５１（図４参照）を搭載した複数（７個）のキャリッジ１１と、共通架台上に設置され、ワークＷ（図２参照）をＸ軸方向に移動（主走査）させるＸ軸テーブル１２と、Ｘ軸テーブル１２を跨ぐようにして配設され、７個のキャリッジ１１を個々にＹ軸方向に移動（副走査）させるＹ軸テーブル１３と、Ｙ軸テーブル１３によるキャリッジ１１の移動軌跡上のＸ軸テーブル１２から外側に外れた位置に配設され、機能液滴吐出ヘッド５２を保守するメンテナンス手段１４と、メンテナンス手段１４と共に機能液滴吐出ヘッド５２の機能回復・維持に資するフラッシングユニット１５と、ワークＷやキャリッジ１１等を画像認識する画像認識手段１６とを備えている。

また、液滴吐出装置１は、７個のキャリッジ１１に搭載された機能液滴吐出ヘッド５２に機能液をそれぞれ供給する７個の機能液供給ユニット８０から成る機能液供給手段１７（図７参照）や、描画システム全体を統括制御する上位コンピュータ１２０に接続され液滴吐出装置１の各手段を制御するコントローラ１８（制御部１４０、図８参照）等を備えている。

この液滴吐出装置１では、Ｘ軸テーブル１２の駆動に同期して、多数（１２×７個）の機能液滴吐出ヘッド５２を駆動することにより、ワークＷの画素領域５０７ａ（図１６参照）に機能液滴を吐出・着弾させ、ワークＷに描画処理を行うと共に、ワークＷ交換等の非描画処理時には、Ｙ軸テーブル１３を駆動し、キャリッジ１１をメンテナンス手段１４に臨ませ、メンテナンス手段１４により、機能液滴吐出ヘッド５２のメンテナンス処理を行うようになっている。なお、液滴吐出装置１は、図外のチャンバ装置内に収容されており、これらの描画処理やメンテナンス処理を含むほとんどの処理は、チャンバ装置内で行われる。

そして、Ｘ軸テーブル１２によるワークＷの移動軌跡と、Ｙ軸テーブル１３によるキャリッジ１１の移動軌跡とが交わる領域が、描画処理を行う描画エリア２１となっており、また、Ｙ軸テーブル１３によるキャリッジ１１の移動軌跡上のＸ軸テーブル１２から外側に外れた領域が、メンテナンス手段１４によりメンテナンス処理を行うメンテナンスエリア２２となっている。なお、メンテナンスエリア２２は、機能液滴吐出ヘッド５２を交換するための領域を兼ねている。一方、Ｘ軸テーブル１２の手前側の領域は、液滴吐出装置１に対するワークＷの搬出入を行うワーク搬出入エリア２３となっている。

Ｘ軸テーブル１２は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル３２および吸着テーブル３２を介してワークＷのθ位置を微調整（θ補正）するワークθ軸テーブル３３を有するセットテーブル３１と、セットテーブル３１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸エアースライダ３４と、Ｘ軸方向に延在し、セットテーブル３１を介してワークＷをＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｘ軸リニアモータに並設され、Ｘ軸エアースライダ３４の移動を案内する一対のＸ軸ガイドレール３５，３５と、セットテーブル３１の位置を把握するためのＸ軸リニアスケール（図示省略）とを備えている。そして、一対のＸ軸リニアモータを駆動すると、一対のＸ軸ガイドレール３５，３５をガイドにしながら、Ｘ軸エアースライダ３４をＸ軸方向に移動し、セットテーブル３１にセットされたワークＷがＸ軸方向に移動する。

なお、Ｘ軸エアースライダ３４上には、セットテーブル３１の描画エリア２１側（図３の左側）に位置して、ドット抜け検査台３６が配設されている。このドット抜け検査台３６には、上面にテープ状の検査紙が敷かれており、この検査紙に対して全機能液滴吐出ヘッド５２から描画された機能液滴（ドット）を、後述するドット認識カメラ１１３で画像認識することで、ドット抜け、飛行曲がり等の不良吐出の有無が検査（ドット抜け検査）される。さらに、Ｘ軸エアースライダ３４上には、ドット抜け検査台３６の描画エリア２１側に位置して、後述する定期フラッシングボックス１０２が設けられている。

一方、Ｙ軸テーブル１３は、Ｙ軸方向に延在する前後一対の支持スタンド４２，４２上に支持され、描画エリア２１およびメンテナンスエリア２２間を架け渡すと共に、７個のキャリッジ１１を、描画エリア２１とメンテナンスエリア２２との間で個々に移動させるものである。Ｙ軸テーブル１３は、各キャリッジ１１を垂設するブリッジプレート４１がＹ軸方向に整列するよう、これを両持ちで支持する７組のＹ軸エアースライダ（図示省略）と、Ｙ軸方向に延在し、各組のＹ軸エアースライダを介して各ブリッジプレート４１をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｙ軸方向に延在し、７個のブリッジプレート４１の移動を案内する前後各２本（計４本）のＹ軸ガイドレール（図示省略）と、各キャリッジ１１の移動位置を検出するＹ軸リニアスケール（図示省略）とを備えている。そして、一対のＹ軸リニアモータを駆動すると、７組のＹ軸エアースライダをそれぞれ独立して移動させ、７個のキャリッジ１１を個別にＹ軸方向へ移動させることができる。これによれば、７個のキャリッジ１１に対する個々の移動を、単純な構造で且つ精度良く行うことができる。もちろん、７組のＹ軸エアースライダを同時にＹ軸方向に移動させることにより、７個のキャリッジ１１を一体としてＹ軸方向に移動させることも可能である。
なお、各組のＹ軸エアースライダに支持されたブリッジプレート４１上には、対応する各キャリッジ１１に搭載された１２個の機能液滴吐出ヘッド５２を駆動するヘッド用電装ユニット（図示省略）が配設されている。

７個のキャリッジ１１は、Ｙ軸テーブル１３の７組のＹ軸エアースライダによりそれぞれ支持されてＹ軸方向に並んでおり、各キャリッジ１１の支持フレーム４６には、ヘッド群５１および機能液供給ユニット８０が搭載されている（図７参照）。なお、各支持フレーム４６には、画像認識により各キャリッジを位置決め（位置認識）するための前後一対のキャリッジアライメントマーク１１ｍ（基準ピン、図４および図６参照）が設けられている。

各キャリッジ１１は、支持フレーム４６によりヘッド群５１および機能液供給ユニット８０を支持するキャリッジ本体４５と、キャリッジ本体４５を吊設するように保持するキャリッジテーブル４７とを有している。キャリッジテーブル４７は、キャリッジ本体４５の上部に連結され、キャリッジ本体４５を介してヘッド群５１のθ位置を微調整（θ軸補正）するヘッドθ軸テーブル４８と、ヘッドθ軸テーブル４８の上部に連結され、ヘッドθ軸テーブル４８およびキャリッジ本体４５を介してヘッド群５１のＸ位置を微調整（Ｘ軸補正）するヘッドＸ軸テーブル４９（図８参照）とから構成されている。なお、ヘッドθ軸テーブル４８およびヘッドＸ軸テーブル４９に加えて、ヘッド群５１のＺ位置を微調整（ワークギャップ補正）するためのヘッドＺ軸テーブルを設けてもよい。

ヘッドθ軸テーブル４８は、図示省略したが、ヘッドＸ軸テーブル４９の下部に固定された固定部と、キャリッジ本体４５の上部に固定されると共に、固定部に対し回転自在に取り付けられた回転部と、回転部をθ軸方向に回転させるθ軸モータとを有している。θ軸モータは、正逆回転可能なＡＣサーボモータから構成されており、ボールねじ系を主体とするθ軸動力伝達機構部を介して、固定部に対し回転部を微小回転させる。この回転部の微小回転により、キャリッジ本体４５を介してヘッド群５１が水平面内（ワークＷに平行な面内）で回転する。

ヘッドＸ軸テーブル４９は、図示しないが、ヘッドθ軸テーブル４８の上面に連結されたスライド部と、スライド部をＸ軸方向にスライド自在に吊設支持するガイド部と、正逆回転可能なＸ軸モータ（ＡＣサーボモータ）とを有している。Ｘ軸モータは、ボールねじ系を主体とするＸ軸動力伝達機構部を介して、ガイド部に対しスライド部を微小移動させる。このスライド部の微小移動により、ヘッドθ軸テーブル４８およびキャリッジ本体４５を介して、ヘッド群がＸ軸方向に移動する。なお、このヘッドＸ軸テーブル４９は、手動で調整可能なマイクロメータ様の機構で構成してもよい。

図４に示すように、各ヘッド群５１は、１２個の機能液滴吐出ヘッド５２と、１２個の機能液滴吐出ヘッド５２を支持するヘッドプレート５３と、１２個の機能液滴吐出ヘッド５２を裏面側からヘッドプレート５３に個々に固定するための１２個のヘッド保持部材（図示省略）とを有している。

ヘッドプレート５３は、ステンレス等から成る平面視略平行四辺形の厚板で構成されており、１２個の機能液滴吐出ヘッド５２を位置決めすると共に、ヘッド保持部材により各機能液滴吐出ヘッド５２を固定するための１２個の装着開口５４が形成されている。そして、ヘッドプレート５３は、キャリッジ本体４５の支持フレーム４６に着脱自在に支持されており、ヘッド群５１は、機能液供給ユニット８０と共に、支持フレーム４６を介してキャリッジ１１に搭載される。

また、１２個の機能液滴吐出ヘッド５２は、２個ずつ６組に分けられており、その幅方向（Ｘ軸方向）に密に重ね合わせると共に、各組毎に長手方向（Ｙ軸方向）にノズル列７４の長さ分ずつずらすことで階段状にＸ軸方向およびＹ軸方向に配設されており、全ノズル７５がＹ軸方向において連続している（図６参照）。

図５に示すように、機能液滴吐出ヘッド５２は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針６２を有する機能液導入部６１と、機能液導入部６１に連なる２連のヘッド基板と、機能液導入部６１の下方（同図では上方）に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体６４とを備えている。接続針６２は、後述する機能液タンク８１ａに接続され、機能液滴吐出ヘッド５２のヘッド内流路に機能液を供給する。また、ヘッド本体６４は、ピエゾ素子等で構成されたキャビティ７１と、２本のノズル列７４，７４を相互に平行に形成したノズル面７３を有するノズルプレート７２とを有している。各ノズル列７４の長さは、例えば１インチ（略２５．４ｍｍ）であって、各ノズル列７４は１８０個のノズル７５が等ピッチ（略１４０μｍ）で並べられて構成されている。そして、一方のノズル列７４は、他方のノズル列７４に対して、ノズル列方向に半ピッチ（７０μｍ）分ずれており、各機能液滴吐出ヘッド５２におけるドット密度（解像度）は３６０ｄｐｉである。さらに、上記の各組２個の機能液滴吐出ヘッド５２は、１／４ピッチずつノズル列方向に相互に位置ずれするように配設されているため、各組２個の機能液滴吐出ヘッド５２におけるドット密度は７２０ｄｐｉとなる。
なお、本実施形態では、両方のノズル列７４のノズル７５を吐出ノズルとするが、一方のノズル列７４のノズル７５を吐出ノズルとし、他方のノズル列７４のノズル７５を不吐出ノズルとする構成であってもよい。

また、各機能液滴吐出ヘッド５２は、ヘッド内流路の構造上、両端部に位置するノズル７５からの吐出量が中央部に位置するノズル７５からの吐出量に比べて多くなっているため、両端部の各１０個のノズル７５を不吐出ノズルとし、中央部の１６０個のノズル７５を吐出ノズルとして、吐出ノズルのみから機能液を吐出し、不吐出ノズルからは機能液を吐出しないようにしている。そのため、各ノズル列７４のうち中央部の１６０個の吐出ノズルにより部分ドットラインＤＬｐ（図６参照）が構成される。

一方、ヘッド基板６３には、２連のコネクタ７６，７６が設けられており、吐出ノズルのノズル列７４に対応するコネクタ７６は、フレキシブルフラットケーブルを介して上記のヘッド用電装ユニット（ヘッドドライバ１３１、図８参照）に接続されている。そして、コントローラ１８からヘッドドライバ１３１を介してキャビティ７１に駆動波形が印加すると、キャビティ７１のポンプ作用により、各ノズル７５から機能液滴が吐出される。したがって、キャビティ７１に印加する駆動波形の大きさ（印加電圧値の大きさ）や周期を制御することで、液滴吐出量や吐出タイミングを制御することができる。

図６は、キャリッジ１１（支持フレーム４６）に搭載された７個のヘッド群５１と、ワークＷに対し、７個のヘッド群５１の全機能液滴吐出ヘッド５２から機能液滴を吐出させて、Ｙ軸方向に連続するドットラインＤＬを描画する吐出パターンを示す図である。なお、同図および図１０ないし図１４では、便宜上、各キャリッジ１１に搭載される機能液供給ユニット８０を省略し、また、各ヘッド群５１の機能液滴吐出ヘッド５２の個数を４個とし、各機能液滴吐出ヘッド５２のノズル７５（吐出ノズル）の個数を７個×２列（計１４個）としている。さらに、同図では２本のノズル列が互いに揃っているが、実際には、上述したように、一方のノズル列７４は、他方のノズル列７４に対して、ノズル列方向に半ピッチ分ずれている。

同図に示すように、各機能液滴吐出ヘッド５２は、キャリッジ１１に搭載された状態では、２本のノズル列７４，７４がＹ軸方向と平行になるようにヘッドプレート５３に位置決め固定されている。そして、各ヘッド群５１に対応する部分ドットラインＤＬｐがＹ軸方向に連続して、１のドットラインＤＬが構成される。そのため、部分ドットラインＤＬｐの長さはＬｐは、略１３５ｍｍ（２５．４ｍｍ／１８０×１６０×６）であり、ドットラインＤＬの長さＬは、略９４５ｍｍ（１３５ｍｍ×７）である。

なお、詳細は後述するが、ここで説明した吐出パターンは、７個のヘッド群の相対位置を補正するキャリッジアライメント動作（液滴着弾位置補正処理）において、後述するワークＷ上の検査領域Ｐａ（図２参照）に対して為されるアライメント用吐出パターンである。

図７に示すように、機能液供給手段１７の各機能液供給ユニット８０は、キャリッジ１１の支持フレーム４６上にヘッド群５１と並んで搭載されており、機能液を貯留する複数（１２個）の機能液タンク８１ａから成るタンクユニット８１と、機能液タンク８１ａおよび機能液滴吐出ヘッド５２間の水頭圧を調整する１２個の圧力調整弁８２ａから成るバルブユニット８２と、１２個の機能液タンク８１ａと１２個の圧力調整弁とをそれぞれ接続する１２本のタンク側給液チューブ８３と、１２個の圧力調整弁８２ａおよび１２個の機能液滴吐出ヘッド５２（の各２連の接続針６２）をそれぞれ接続する２４本のヘッド側給液チューブ８４とを有している。そして、各機能液タンクの機能液が、タンク側給液チューブ８３およびヘッド側給液チューブ８４を介して、対応する機能液滴吐出ヘッド５２に導入される。

ここで、図２を参照して、液滴吐出装置１によるワークＷへの吐出動作、すなわち描画動作について簡単に説明する。まず、ワーク搬出入エリア２３に移動させたセットテーブル３１にワークＷをセットすると共に、機能液滴を吐出する前の準備として、後述する２台のワーク認識カメラ１１１によりワークＷ上の２つのワークアライメントマーク（図示省略）が画像認識され、その画像認識結果に基づいて、ワークθ軸テーブル３３によるθ軸方向の位置補正と、ワークＷのＸ軸方向およびＹ軸方向の位置データ補正とが行われ、ワークＷの位置補正が為される。さらに、詳細は後述するが、これと相前後して、７個のキャリッジ１１にそれぞれセットされた７個のヘッド群の相対位置を補正するキャリッジアライメント動作が行われる。もっとも、このキャリッジアライメント動作は、ワークアライメント毎に行う必要はなく、タクトタイムを短縮すべく、ツーリング時やヘッド交換時のみ行ってもよい。

そして、液滴吐出装置１は、コントローラ１８（制御部１４０）による制御を受けながら、ワークＷをＸ軸テーブル１２によりＸ軸方向に往動させると共に、これに同期して機能液滴吐出ヘッド５２を選択的に駆動させて、ワークＷに対する機能液滴の吐出が行われる。続いて、ワークＷを復動させながら、再度ワークＷに対する機能液滴の吐出が行われる。このようにワークＷのＸ軸方向への往復移動と機能液滴吐出ヘッド５２の駆動とを複数回繰り返すことで、ワークＷに対する描画が行われる。
なお、本実施形態では、往動時および復動時のいずれにも機能液滴の吐出（往復描画動作）が行われるが、往動時のみ機能液滴の吐出が行われる構成としてもよい。

次に、図２を参照して、メンテナンス手段１４について説明する。メンテナンス手段１４は、メンテナンスエリア２２に配設されており、機能液滴吐出ヘッド５２内で増粘した機能液を除去するための吸引（クリーニング）を行う吸引ユニット９１と、機能液滴吐出ヘッド５２のノズル面７３を払拭するワイピングユニット９２とを備えている。

吸引ユニット９１は、７個のキャリッジ１１に対応して、７個の分割吸引ユニット９１ａを有し、各分割吸引ユニット９１ａは、ヘッド群５１に対して下方から臨み、１２個の機能液滴吐出ヘッド５２のノズル面７３にそれぞれ封止させる１２個のキャップ（図示省略）を備えている。そして、各キャップをノズル面７３に封止させた状態でノズル７５から機能液を吸引し、機能液滴吐出ヘッド５２内で増粘した機能液を排出する。

ワイピングユニット９２は、描画エリア２１と吸引ユニット９１との間、すなわちメンテナンスエリア２２の描画エリア２１側に配置されており、機能液滴吐出ヘッド５２の吸引等により、機能液が付着して汚れたノズル面７３を、ワイピングシート（図示省略）を用いて拭き取る。

さらに、メンテナンス手段１４は、吸引ユニット９１の７個の分割吸引ユニット９１ａおよびワイピングユニット９２をそれぞれ個別に昇降可能に支持する８個の昇降機構から構成されるユニット昇降機構９３を備えている。そして、機能液滴吐出ヘッド５２の交換時には、各昇降機構を駆動して、吸引ユニット９１およびワイピングユニット９２を下降させることで、吸引ユニット９１およびワイピングユニット９２上に作業領域を確保することができる。

続いて、フラッシングユニット１５について説明する。フラッシングユニット１５は、ワークＷに機能液滴を吐出させる直前に行う吐出前フラッシングを受けるための一対の吐出前フラッシングボックス１０１と、ワークＷの交換時（セット時）のように、ワークＷに対する描画を一時的に停止するときに行うフラッシングを受けるための定期フラッシングボックス１０２とから構成されている。

一対の吐出前フラッシングボックス１０１は、セットテーブル３１をＸ軸方向に挟むように配設されている。これにより、ワークＷの往復動に伴う機能液滴吐出ヘッド５２の吐出駆動の直前に行われるフラッシングを受けることができる。

定期フラッシングボックス１０２は、上記のＸ軸エアースライダ３４上に設けられており、ワークＷの交換のためにセットテーブル３１がワーク搬出入エリア２３に臨むとき、定期フラッシングボックス１０２が描画エリア２１に臨み、機能液滴吐出ヘッド５２からのフラッシングを受けるようになっている。

一対の吐出前フラッシングボックス１０１，１０１および定期フラッシングボックス１０２は、それぞれ平面視長方形の箱状に形成されており、その底面には、機能液を吸収させる吸収材（図示省略）が敷設されている。また、各フラッシングボックス１０１，１０１，１０２の長辺（Ｙ軸方向）は、上記のドットラインＤＬの長さＬに対応して形成されているため、全機能液滴吐出ヘッド５２からのフラッシングを受けることができる。

次に、図１ないし図３を参照して、画像認識手段１６について説明する。画像認識手段は、キャリッジ１１、ワークＷやワークＷに着弾した機能液滴（ドット）を撮像して、設計基準からの誤差を認識するものであって、ワーク搬出入エリア２３の上下両側にそれぞれ臨むように配設された２台のワーク認識カメラ１１１と、Ｘ軸テーブル１２に配設されたキャリッジ認識カメラ１１２（図８参照）と、上記のＹ軸テーブル１３によりＹ軸方向に移動可能に搭載された２台のドット認識カメラ１１３とを有している。

２台のワーク認識カメラ１１１は、Ｙ軸方向におけるワークＷの略中心に位置して、ワーク搬出入エリア２３側の上記支持スタンド４２と、ワーク搬出入エリア２３の端部に配設されたカメラスタンド１１６とにそれぞれ取り付けられており、上方から、ワークＷに形成された２つのワークアライメントマークをそれぞれ画像認識する。なお、各ワーク認識カメラ１１１は、ワークＷの厚みに対応して焦点距離を調節すべく、カメラ本体を昇降させるカメラ昇降機構を有すると共に、各スタンド４２，１１６とワーク認識カメラ１１１との間には、ワーク認識カメラ１１１をＹ軸方向にスライド移動させるスライド機構が介設されており、ワークＷの種類等に対応させてワーク認識カメラ１１１の位置を調整可能になっている。

キャリッジ認識カメラ１１２は、Ｘ軸テーブル１２のＸ軸エアースライダ３４に連結されており、Ｙ軸テーブル１３により７個のキャリッジ１１をＹ軸方向に移動させながら、各キャリッジ１１を、セットテーブル３１に形成されたカメラ開口（図示省略）を通して下方から順次撮像し、上記の各支持フレーム４６の下面に設けられた２つのキャリッジアライメントマーク１１ｍをそれぞれ画像認識する。また、各キャリッジ認識カメラ１１２は、２台のワーク認識カメラ１１１と同様に、焦点距離を調整するためにカメラ本体を昇降させる昇降機構を有しており、キャリッジ１１の高さ位置に合わせてカメラ本体の高さ位置を調節可能となっている。なお、キャリッジ認識カメラ１１２を７台設け、７個のキャリッジ１１を同時に認識可能な構成としてもよい。

２台のドット認識カメラ１１３は、Ｙ軸テーブル１３に配設され、ワークＷに吐出されたドットを上方から撮像して画像認識するものであって、サーボモータおよびボールねじで構成されたカメラ移動機構（図示省略）により、２個のカメラ用スライダをそれぞれ介してＹ軸方向に個別に（７組のＹ軸エアースライダとも独立して）移動可能に構成されており、各ドット認識カメラは、ワークＷをＹ軸方向に二分した範囲をそれぞれ担当する。なお、本実施形態では、ドット認識に要する時間を短縮すべく、ドット認識カメラ１１３を２台設けたが、その台数は任意である。
なお、ドット認識カメラ１１３は、上述したように、ドット抜け検査台３６上に吐出されたドットを撮像するドット抜け検査にも用いられる。

次に、図８を参照して、液滴吐出装置１全体の制御系について説明する。液滴吐出装置１の制御系は、基本的に、上位コンピュータ１２０と、機能液滴吐出ヘッド５２、Ｘ軸テーブル１２、Ｙ軸テーブル１３、ヘッドθ軸テーブル４８、ヘッドＸ軸テーブル４９、メンテナンス手段１４等を駆動する各種ドライバを有する駆動部１３０と、駆動部１３０を含め液滴吐出装置１全体を統括制御する制御部１４０（コントローラ１８）とを備えている。

上位コンピュータ１２０は、コントローラ８に接続されたコンピュータ本体１２１に、キーボード１２２や、キーボード１２２による入力結果等を画像表示するディスプレイ１２３等が接続されて構成されている。

駆動部１３０は、機能液滴吐出ヘッド５２を吐出駆動制御するヘッドドライバ１３１と、Ｘ軸テーブル１２およびＹ軸テーブル１３の各モータをそれぞれ駆動制御する移動用ドライバ１３２と、メンテナンス手段１４の吸引ユニット９１、ワイピングユニット９２およびユニット昇降機構９３を駆動制御するメンテナンス用ドライバ１３３と、ヘッドθ軸テーブル４８およびヘッドＸ軸テーブル４９の各モータをそれぞれ駆動制御する補正用ドライバ１３４とを備えている。

制御部１４０は、ＣＰＵ１４１と、ＲＯＭ１４２と、ＲＡＭ１４３と、Ｐ−ＣＯＮ１４４とを備え、これらは互いにバス１４５を介して接続されている。ＲＯＭ１４２は、ＣＰＵ１４１で処理する制御プログラム等を記憶する制御プログラム領域と、描画動作や画像認識を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域を有している。

ＲＡＭ１４３は、各種レジスタ群のほか、ワークＷに描画処理を行うための描画用吐出パターンの吐出パターンデータやアライメント用吐出パターンの吐出パターンデータを記憶する吐出パターンデータ領域、外部から入力した設計上（正規）のドット位置等の位置データを記憶する入力位置データ領域、画像認識手段１６から得られた画像データを一時的に記憶する画像データ領域、画像認識されたドット位置データやアライメントマーク位置データを記憶する認識位置データ領域、後述する着弾誤差データを記憶する着弾誤差データ領域、ヘッド群５１の相対位置（ドット位置）を補正するための補正データを記憶する補正データ領域等を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。

Ｐ−ＣＯＮ１４４には、駆動部１３０の各種ドライバのほか、画像認識手段１６の各種カメラが接続されており、ＣＰＵ１４１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ１４４は、上位コンピュータ１２０からの各種指令等をそのままあるいは加工してバス１４５に取り込むと共に、ＣＰＵ１４１と連動して、ＣＰＵ１４１等からバス１４５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部１３０に出力する。

そして、ＣＰＵ１４１は、ＲＯＭ１４２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ１４４を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ１４３内の各種データ等を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ１４４を介して駆動部１３０等に各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置１全体を制御している。

例えば、ドット認識カメラ１１３が各部分ドットラインＤＬｐを撮像して得た認識ドット位置データは、ＲＡＭ１４３内に格納され、ＲＯＭ１４２内の制御プログラムに従って、正規のドット位置データと比較され、Ｘ軸方向およびＹ軸方向における着弾誤差データが生成される。そして、この着弾誤差データに基づいて、Ｘ軸補正、Ｙ軸補正およびθ軸補正を行うための補正データが算出される（詳細は後述する）。

ここで、図１ないし図３、および図９ないし図１４を参照して、７個のキャリッジ１１にそれぞれセットされた７個のヘッド群の相対位置を補正するキャリッジアライメント動作について詳細に説明する。このキャリッジアライメント動作は、コントローラ１８により、各機能液滴吐出ヘッド５２、Ｘ軸テーブル１２、Ｙ軸テーブル１３、各ヘッドθ軸テーブル４８および画像認識手段１６を制御して行われる。

まず、Ｘ軸テーブル１２を駆動して、上記のキャリッジ認識カメラ１１２を描画エリア２１に移動させると共に、Ｙ軸テーブル１３を駆動して、７個のキャリッジ１１を順次キャリッジ認識カメラ１１２に臨ませながら、キャリッジ認識カメラ１１２により、各キャリッジ１１の支持フレーム４６の下面に設けられた２つのキャリッジアライメントマーク１１ｍを画像認識する（図９のＳ１１）。そして、この画像認識結果に基づいて、各ヘッドθ軸テーブル４８により上記のキャリッジ本体４５をθ軸方向に回転させ（図１０（ａ）参照）、θ軸方向における７個のヘッド群５１の相対位置をそれぞれ仮補正する（Ｓ１２、図１０（ｂ）参照）。

次に、Ｘ軸テーブル１２を駆動して、ワークＷのＸ軸方向上側の長辺部分に設けられた検査領域Ｐａを７個のヘッド群５１に臨ませると共に、検査領域Ｐａに対し、ＲＡＭ１４３に記憶された上記のアライメント用吐出パターンデータにより、７個のキャリッジ１１の全機能液滴吐出ヘッド５２から機能液滴を吐出させて、Ｙ軸方向に連続するドットラインＤＬを描画する（Ｓ１３、図１１（ａ）参照）。

続いて、Ｙ軸テーブル１３を駆動して、２台のドット認識カメラ１１３をそれぞれ移動させながら、検査領域Ｐａに描画されたドットラインＤＬの７本の部分ドットラインＤＬｐを撮像して、設定基準からの着弾誤差を認識する（Ｓ１４、）。ここで、本実際形態では、図示左側からｎ番目の部分ドットラインＤＬｐｎの左端部のＸ軸方向およびＹ軸方向における着弾誤差を、それぞれΔＸａｎ、ΔＹａｎとし（図１１（ｂ）参照）、同様に、部分ドットラインＤＬｐｎの右端部のＸ軸方向およびＹ軸方向における着弾誤差を、それぞれΔＸｂｎ、ΔＹｂｎとして、これらを着弾誤差データとして取り込む（着弾誤差Δは、部分ドットラインＤＬｐの位置座標から設計基準座標の差分を示す）。

そして、各部分ドットラインＤＬｐの着弾誤差データから、図示左側からｎ番目のヘッド群５１ｎについて、θ軸方向の補正データΔθｎ、Ｙ軸方向の補正データΔＹｎ、Ｘ軸方向の補正データΔＸｎが、例えば、
ｓｉｎΔθｎ＝（ΔＹａｎ−ΔＹｂｎ）／Ｌｐ
ΔＹｎ＝（ΔＹａｎ＋ΔＹｂｎ）／２
ΔＸｎ＝（ΔＸａｎ＋ΔＸｂｎ）／２
の式によりそれぞれ算出され、この補正データΔθｎ、ΔＹｎおよびΔＸｎに基づいて、Ｘ軸補正、Ｙ軸補正およびθ軸補正を行う（Ｓ１５）。

例えば、まず、各ヘッドθ軸テーブル４８を駆動して、各キャリッジ１１を補正データΔθｎ分θ軸方向に回転する（図１２（ａ）参照）。この状態で、仮に、アライメント用吐出パターンデータにより、全機能液滴吐出ヘッド５２から機能液滴を吐出させると、θ軸方向における７個のヘッド群５１の相対位置がそれぞれ補正されたことが分かるが、Ｙ軸方向およびＸ軸方向には、まだ位置ずれが生じている（同図（ｂ）参照）。

続いて、Ｙ軸テーブル１３を駆動して各キャリッジ１１を、Ｙ軸方向に補正データΔＹｎ分移動する（図１３（ａ）参照）。この状態で、仮に、アライメント用吐出パターンデータにより、全機能液滴吐出ヘッド５２から機能液滴を吐出させると、Ｙ軸方向における７個のヘッド群５１の相対位置がそれぞれ補正されたことが分かるが、Ｘ軸方向には、まだ位置ずれが生じている（同図（ｂ）参照）。

そこで、さらに、ＲＡＭ１４３に記憶された描画用吐出パターンデータを、補正データΔＸｎ分データ補正する（図１４（ａ）参照）。この状態で、仮に、アライメント用吐出パターンデータにより、全機能液滴吐出ヘッド５２から機能液滴を吐出させると、Ｘ軸方向における７個のヘッド群５１の相対位置がそれぞれ補正されたことが分かる（同図（ｂ）参照）。

このように、各ヘッドθ軸テーブル４８を駆動して各キャリッジ１１をθ軸方向に回転し、Ｙ軸テーブル１３を駆動して各キャリッジ１１をＹ軸方向に移動し、さらに、描画用吐出パターンデータをデータ補正することで、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびθ軸方向のすべてにおいて、７個のヘッド群の相対位置がそれぞれ補正される。
なお、当然のことながら、このＸ軸補正処理、Ｙ軸補正処理およびθ軸補正処理は、いずれの順序で行ってもよく、また、これらを同時並行的に行ってもよい。さらに、着弾誤差の補正が確実に行われたか否かを確認すべく、上記のキャリッジアライメント動作の後、補正データΔＸｎ分データ補正されたアライメント用吐出パターンデータに基づいて、ドットラインＤＬを描画し、ドット認識カメラ１１３によりこれを画像認識することが好ましい。着弾誤差が確認された場合には、再度、同じ補正動作を行うようにする。

また、本実施形態では、描画用吐出パターンデータをデータ補正することで、Ｘ軸補正処理を行っているが、これに代えて、コントローラ１８により上記のヘッドＸ軸テーブル４９を駆動制御して、ヘッド群５１をＸ軸方向に補正データΔＸｎ分移動させて、Ｘ軸方向における７個のヘッド群５１の相対位置をそれぞれ補正してもよい。
さらに、本実施形態では、検査領域ＰａをワークＷの周縁部（Ｘ軸方向上側の長辺部分）に設けたが、画素領域５０７ａが形成された領域を検査領域Ｐａとし、画素領域５０７ａに対して検査用描画処理を行ってもよい。この場合、設定基準からの着弾誤差を認識するほか、画素領域５０７ａの一辺（画素領域５０７ａと区画壁部５０７ｂとの境界線）からの着弾誤差を認識するようにしてもよい。

以上のように、本実施形態の液滴吐出装置１によれば、アライメント用吐出パターンデータに基づいて描画されたドットラインＤＬを画像認識し、その認識結果に基づいて、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびθ軸方向おいて、７個のヘッド群５１の相対位置をそれぞれ補正することで、着弾誤差を簡単に補正することができる。さらに、上述したように、ワークＷのワークアライメントマークＷｍを画像認識することで、ワークＷの位置補正も行われるため、ワークＷに対し、所望の箇所に機能液滴を吐出・着弾させることができる。

次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。

まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１５は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１６は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１１）では、図１６（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。

続いて、バンク形成工程（Ｓ１２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１６（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１６（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド５２により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。

以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。

次に、着色層形成工程（Ｓ１３）では、図１６（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド５２によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド５２を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１４）に移り、図１６（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。

図１７は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１６に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。

この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１７において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。

液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。

実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド５２で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド５２で行うことも可能である。

図１８は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。

液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

図１９は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。

この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。

対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。

また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。

なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。

次に、図２０は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。

この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。

回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。

また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。

そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。

このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。

上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。

バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。

上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。

発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。

そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。

陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。

次に、上記の表示装置６００の製造工程を図２１〜図２９を参照して説明する。
この表示装置６００は、図２１に示すように、バンク部形成工程（Ｓ２１）、表面処理工程（Ｓ２２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）、発光層形成工程（Ｓ２４）、および対向電極形成工程（Ｓ２５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。

まず、バンク部形成工程（Ｓ２１）では、図２２に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図２３に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。

表面処理工程（Ｓ２２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド５２を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。

そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル３１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）および発光層形成工程（Ｓ２４）が行われる。

図２４に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）では、機能液滴吐出ヘッド５２から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２５に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。

次に発光層形成工程（Ｓ２４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。

そして次に、図２６に示すように、各色のうちのいずれか（図２６の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。

その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２７に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。

同様に、機能液滴吐出ヘッド５２を用い、図２８に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ２５）に移行する。

対向電極形成工程（Ｓ２５）では、図２９に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ₂、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。

このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。

次に、図３０は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。

第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。

放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。

第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。

本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル３１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド５２により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。

補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。

ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド５２から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。

次に、図３１は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。

第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。

第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。

そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。

この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。

第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図３２（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図３２（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。

また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。

液滴吐出装置の外観斜視図である。 液滴吐出装置の平面図である。 液滴吐出装置の断面図である。 ヘッド群の外観斜視図である。 機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。 ヘッド群およびアライメント用吐出パターンにより描画したドットラインを示す図である。 支持フレームに搭載されたヘッド群および機能液供給ユニットの平面図である。 液滴吐出装置の制御系について説明するブロック図である。 キャリッジアライメント動作を説明するフローチャートである。 キャリッジアライメント動作の仮θ軸補正処理を説明する図である。 キャリッジアライメント動作のドットライン描画処理を説明する図である。 キャリッジアライメント動作のθ軸補正処理を説明する図である。 キャリッジアライメント動作のＹ軸補正処理を説明する図である。 キャリッジアライメント動作のＸ軸補正処理を説明する図である。 カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。 （ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。 有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。 無機物バンク層の形成を説明する工程図である。 有機物バンク層の形成を説明する工程図である。 正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。 正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。 青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。 青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 陰極の形成を説明する工程図である。 プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。 電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。 表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。

符号の説明

１…液滴吐出装置 １１…キャリッジ １１ｍ…キャリッジアライメントマーク １２…Ｘ軸テーブル １３…Ｙ軸テーブル １６…画像認識手段 １８…コントローラ ４８…ヘッドθ軸テーブル ４９…ヘッドＸ軸テーブル ５１…ヘッド群 ５２…機能液滴吐出ヘッド １１２…キャリッジ認識カメラ １１３…ドット認識カメラ ＤＬ…ドットライン ＤＬｐ…部分ドットライン Ｐａ…検査領域 Ｗ…ワーク

Claims (9)

1. 副走査方向となるＹ軸方向に個々に移動可能な複数のキャリッジに複数の機能液滴吐出ヘッドから成るヘッド群をそれぞれ搭載すると共に、
   ワークに対し、前記多数の機能液滴吐出ヘッドを主走査方向となるＸ軸方向に相対的に移動させながら、描画用吐出パターンデータにより機能液滴を吐出して描画処理を行う液滴吐出装置の液滴着弾位置補正方法であって、
   アライメント用吐出パターンデータにより、前記ワーク上の検査領域に対し、全前記機能液滴吐出ヘッドから前記機能液滴を吐出させて、前記Ｙ軸方向に連続するドットラインを描画する検査用描画工程と、
   前記複数のヘッド群に対応する前記ドットラインの複数の部分ドットラインをそれぞれ撮像して、設計基準からの着弾誤差を認識するドット列認識工程と、
   前記各部分ドットラインの着弾誤差の認識結果に基づいて、前記各キャリッジをθ軸方向に回転して、前記θ軸方向における前記複数のヘッド群の相対位置をそれぞれ補正するθ軸補正工程と、
   前記着弾誤差の認識結果に基づいて、前記各キャリッジを前記Ｙ軸方向に移動して、前記Ｙ軸方向における前記複数のヘッド群の相対位置をそれぞれ補正するＹ軸補正工程と、
   前記着弾誤差の認識結果に基づいて、前記描画用吐出パターンデータをデータ補正して、前記Ｘ軸方向における前記複数のヘッド群の相対位置をそれぞれ補正するＸ軸補正工程と、
   を備えたことを特徴とする液滴吐出装置の液滴着弾位置補正方法。
2. 前記検査用描画工程に先立って、前記各キャリッジに設けられたキャリッジアライメントマークを画像認識するキャリッジ認識工程と、
   前記キャリッジアライメントマークの認識結果に基づいて、前記各キャリッジを前記θ軸方向に回転して、前記θ軸方向における前記複数のヘッド群の相対位置をそれぞれ仮補正する仮θ軸補正工程と、
   をさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置の液滴着弾位置補正方法。
3. 前記Ｘ軸補正工程は、前記描画用吐出パターンデータをデータ補正することに代えて、前記各キャリッジに備えるＸ軸微小移動手段により、前記各キャリッジを前記Ｘ軸方向に移動することで行われることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置の液滴着弾位置補正方法。
4. ワークに対し、多数の機能液滴吐出ヘッドを主走査方向となるＸ軸方向に相対的に移動させながら、描画用吐出パターンデータにより機能液滴を吐出して描画処理を行う液滴吐出装置であって、
   前記複数の機能液滴吐出ヘッドから成るヘッド群をそれぞれ搭載した複数のキャリッジと、
   前記ワークに対し、前記多数の機能液滴吐出ヘッドを前記Ｘ軸方向に相対的に移動させるＸ軸テーブルと、
   前記複数のキャリッジを副走査方向となるＹ軸方向に個々に移動させるＹ軸テーブルと、
   前記複数のキャリッジをθ軸方向にそれぞれ回転させる複数のθ軸テーブルと、
   前記ワークに着弾した前記機能液滴を画像認識するドット画像認識手段と、
   前記各機能液滴吐出ヘッド、前記Ｘ軸テーブル、前記Ｙ軸テーブル、前記各θ軸テーブルおよび前記ドット画像認識手段を制御すると共に、前記描画用吐出パターンデータを記憶する制御手段と、を備え、
   前記制御手段は、前記各機能液滴吐出ヘッドおよび前記Ｘ軸テーブルを制御して、当該制御手段に記憶したアライメント用吐出パターンデータにより、前記ワーク上の検査領域に対し、全前記機能液滴吐出ヘッドから前記機能液滴を吐出させて、前記Ｙ軸方向に連続するドットラインを描画させ、
   前記ドット画像認識手段を制御して、前記複数のヘッド群に対応する前記ドットラインの複数の部分ドットラインをそれぞれ撮像して設計基準からの着弾誤差を認識させ、
   前記各θ軸テーブルを制御して、前記各部分ドットラインの着弾誤差の認識結果に基づいて、前記各キャリッジをθ軸方向に回転させ、前記θ軸方向における前記複数のヘッド群の相対位置をそれぞれ補正し、
   前記Ｙ軸テーブルを制御して、前記着弾誤差の認識結果に基づいて、前記各キャリッジをＹ軸方向に移動させ、前記Ｙ軸方向における前記複数のヘッド群の相対位置をそれぞれ補正し、
   前記着弾誤差の認識結果に基づいて、前記描画用吐出パターンデータをデータ補正して、前記Ｘ軸方向における前記複数のヘッド群の相対位置をそれぞれ補正することを特徴とする液滴吐出装置。
5. 前記各キャリッジには、キャリッジアライメントマークが設けられ、
   前記各キャリッジアライメントマークを画像認識するキャリッジ画像認識手段を、さらに備え、
   前記制御手段は、前記各ヘッド群から前記各部分ドットラインを着弾させる前に、前記キャリッジ画像認識手段を制御して、前記各キャリッジアライメントマークを画像認識させると共に、前記キャリッジアライメントマークの認識結果に基づいて、前記各θ軸テーブルにより前記各キャリッジを前記θ軸方向に回転させ、前記θ軸方向における前記複数のヘッド群の相対位置をそれぞれ仮補正することを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出装置。
6. 前記複数のヘッド群を前記Ｘ軸方向にそれぞれ移動させる複数のＸ軸微小移動手段を、さらに備え、
   前記制御手段は、前記描画用吐出パターンデータをデータ補正することに代え、前記各Ｘ軸微小移動手段を制御して、前記各ヘッド群を前記Ｘ軸方向に移動させて、前記Ｘ軸方向における前記複数のヘッド群の相対位置をそれぞれ補正することを特徴とする請求項４または５に記載の液滴吐出装置。
7. 請求項４ないし６のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
8. 請求項４ないし６のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
9. 請求項７に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項８に記載の電気光学装置を、搭載したことを特徴とする電子機器。

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