CN101722724B - 液状体的排出方法、滤色器以及有机el装置的制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种液状体的排出方法、滤色器以及有机EL装置的制造方法，其减少向多个被排出区域排出的液状体的偏倚，使在区域内配置的薄膜的厚度的不均匀减轻。该液状体的排出方法包括：排出工序，其边使具有包括多个喷嘴52的喷嘴列52a的液滴排出头50与具备多个大致矩形形状的被排出区域103的基板B在与液滴排出头50的配置方向大致正交的主扫描方向上相对移动，边从喷嘴52向被排出区域103排出液状体；其中，被排出区域103，包括排列方向大致正交且面积不同的第1被排出区域103r’、103g’、103b’和第2被排出区域103r、103g、103b；在前述排出工序中，将面积大的第1被排出区域103r’、103g’、103b’的长边方向配置为沿着主扫描方向。

Description

液状体的排出方法、滤色器以及有机EL装置的制造方法
技术领域
本发明涉及从喷嘴排出液状体的液状体的排出方法、滤色器的制造方法以及有机EL装置的制造方法。
背景技术
例如，在液晶显示装置等的滤色器、有机EL装置的成膜等领域，将包含功能性材料的液状体排出的液状体的排出方法被应用。在该液状体的排出方法中，应用了液滴排出装置。液滴排出装置，具有称为液滴排出头的液滴排出机构。在该液滴排出头中，规则性地形成有多个喷嘴。在滤色器、有机EL装置等的制造中，从这些喷嘴，将包含功能性材料的液状体在基板等上排出为液滴，从而形成包含功能性材料的薄膜。
近年来，显示装置所应用到的领域在扩大，从而各种尺寸的面板被提供出来。此外，也存在显示装置的高画质化的要求，为了响应之，必须实现高精细、高密度的滤色器、有机EL装置的成膜。因此，对于各种尺寸的基板，高精细、高密度地排出液状体变得重要。此外，显示装置的面板的需要在增加，为了使面板的生产率提高，还存在希望从一块大型基板制造出多块面板的要求。在此情况下，为了追求获取数的效率，或者，为了从一块基板生产出不同尺寸的面板，各种布局被研究出来。根据布局，像素区域的配置，有时会90度不同，其中像素区域是被排出液状体的最小单位的区域。
作为在工作件(基板)上从液滴排出头将液状体排出为液滴从而进行图案的描绘的液滴排出装置以及液滴排出方法，已知有这样的液滴排出装置以及液滴排出方法：使工作件在第1方向以及与第1方向大致正交的第2方向上移动，从在多个托架上配设的液滴排出头的喷嘴，排出液状体，从而进行图案的描绘，其中多个托架沿着第2方向被预先确定了位置(例如，参照专利文献1)。
[专利文献1]特开2006-187758号公报
前述的液滴排出装置，从被预先确定了位置的喷嘴将液状体排出在基板的预定的区域。而且，喷嘴以固定的间距构成为列状，像素区域形成为大致矩形形状，像素区域是被排出液状体的最小单位的区域。因此，还为了使喷嘴的排出偏差分散，优选地，使像素区域的长边与喷嘴列平行地配置，以便使尽可能多的喷嘴与像素区域相对。但是，若在基板上配置方向不同的像素区域混合存在地构成，则会存在相对于喷嘴列，短边平行地配置的像素区域。在此情况下，能够在区域内排出液状体的喷嘴受到限制，从而有可能使液状体被排出在区域内的偏倚的位置，在区域内发生液状体的排出量的偏倚。若发生液状体的排出量的偏倚，则有可能会发生在区域内形成的薄膜的厚度的不均匀。在液晶显示装置等的滤色器、有机EL装置的功能膜等薄膜中，若发生膜厚度的不均匀，则会存在所制造的显示装置的图像品质将会下降的问题。
发明内容
本发明是为了解决上述问题的至少一部分而提出的，其可以实现为以下的方式或者应用例。
(应用例1)一种液状体的排出方法，包括：排出工序，其边使具有多个喷嘴配设为列状而成的喷嘴列的多个液滴排出头与具备多个大致矩形形状的被排出区域的基板在与前述液滴排出头的配置方向大致正交的主扫描方向上相对移动，边从前述喷嘴向前述被排出区域排出前述液状体，前述多个喷嘴将液状体排出为液滴；其中，前述被排出区域，包括第1被排出区域和第2被排出区域；前述第1被排出区域，以其长边方向沿着一定方向的方式配设在前述基板上，前述第2被排出区域，其面积比前述第1被排出区域小，且其以前述第2被排出区域的长边方向与前述第1被排出区域的长边方向大致正交的方式配设；并且在前述排出工序中，将前述第1被排出区域的长边方向配置为沿着前述主扫描方向。
如果采用该方法，则能够将具有喷嘴列的液滴排出头的配置方向，设定为与面积大的第1被排出区域的大致矩形形状的短边方向以及面积小的第2被排出区域的大致矩形形状的长边方向相同的方向。也就是说，能够在面积大的第1被排出区域其大致矩形形状的短边方向上，在面积小的第2被排出区域其大致矩形形状的长边方向上，配置喷嘴。因此，即使面积不同的第1被排出区域以及第2被排出区域混合存在于同一基板内，也能够增多能够在各个被排出区域内排出液状体的喷嘴的数量。因而，能够减少使液状体被排出在被排出区域内的偏倚的位置、发生液状体的排出量的偏倚的情况。其结果，能够使在各个被排出区域内形成的薄膜的厚度的不均匀减轻。因而，能够制造品质稳定的至少2种薄膜，能够有助于生产率的提高。
(应用例2)上述的液状体的排出方法，在前述排出工序中，至少大于等于2个的前述喷嘴与前述第1被排出区域的短边方向的区域内相对。
如果采用该方法，则能够对于第1被排出区域，使多个喷嘴与之相对并排出液状体。因此，即使存在喷嘴的排出特性的偏差，也能够通过使用多个喷嘴，使排出特性的偏差分散。其结果，能够使在被排出区域内形成的薄膜的厚度的不均匀减轻。
(应用例3)上述的液状体的排出方法，从前述喷嘴排出且配置在前述第1被排出区域中的前述液滴的、前述第1被排出区域的短边方向的配置间隔，可通过将前述喷嘴列配置为相对于前述短边方向具有角度而进行调整。
如果采用该方法，则通过将液滴排出头的喷嘴列配置为相对于第1被排出区域的短边方向具有角度，能够使配置在第1被排出区域的短边方向上的液滴的配置间隔，实质上变窄。也就是说，能够对于第1被排出区域，使更多的喷嘴与之相对并排出液状体。因此，能够减少使液状体被排出在被排出区域内的偏倚的位置、发生液状体的排出量的偏倚的情况。其结果，能够使在被排出区域内形成的薄膜的厚度的不均匀减轻。
(应用例4)上述的液状体的排出方法，前述排出工序，在前述液滴排出头与前述基板的前述主扫描方向的多次相对移动期间，使前述液滴排出头与前述基板在与前述主扫描方向大致正交的副扫描方向上相对移动。
如果采用该方法，则在排出工序中，能够边使液滴排出头与基板在与主扫描方向大致正交的副扫描方向上相对移动、即进行改行工作，边从喷嘴向被排出区域排出液状体。因此，能够实质上增多例如能够配置在第1被排出区域的短边方向上的液滴。因此，能够减少使液状体被排出在被排出区域内的偏倚的位置、发生液状体的排出量的偏倚的情况。其结果，能够使在被排出区域内形成的薄膜的厚度的不均匀减轻。。
(应用例5)一种滤色器的制造方法，其在基板上的多个被排出区域形成多色的着色层，多个前述被排出区域，包括配设方向相互正交的第1被排出区域和第2被排出区域；该方法包括：排出工序，其使用上述的液状体的排出方法，将包含着色层形成材料的多色的液状体排出在多个前述被排出区域；以及成膜工序，其使被排出的前述液状体固化而形成前述多色的着色层。
如果采用该方法，则能够使在配设方向相互正交的第1被排出区域以及第2被排出区域内形成的着色层的厚度的不均匀减轻，并且能够以高的生产率制造着色层的排列方向不同的至少2种滤色器。
(应用例6)一种有机EL装置的制造方法，该有机EL装置具备多个有机EL元件，该多个有机EL元件在基板上的多个被排出区域具有包含发光层的功能层，多个前述被排出区域，包括配设方向相互正交的第1被排出区域和第2被排出区域；该方法包括：排出工序，其使用上述的液状体的排出方法，将包含发光层形成材料的液状体排出在多个前述被排出区域；以及成膜工序，其使被排出的前述液状体固化而形成前述发光层。
如果采用该方法，则能够使在配设方向相互正交的第1被排出区域以及第2被排出区域内形成的发光层的厚度的不均匀减轻，并且能够以高的生产率制造有机EL元件的排列方向不同的至少2种有机EL装置。
附图说明
图1是示出液状体排出装置的结构的概要立体图；
图2是示出液滴排出头的结构的概要图；
图3是示出头单元中的液滴排出头的配置的概要俯视图；
图4是示出液状体排出装置的控制系统的框图；
图5是示出滤色器的概要图；
图6是示出滤色器的制造方法的流程图；
图7示出滤色器的制造方法的概要剖面图；
图8是示出头单元与母基板的相对配置的概要俯视图；
图9是示出液状体的排出工序中的液滴的配置的概要俯视图；
图10是示出第2实施例中的头单元与母基板的相对配置的概要俯视图；
图11是示出第2实施例中的液滴的配置的概要俯视图；
图12是示出第3实施例中的液滴的配置的概要俯视图；
图13是示出有机EL装置的主要部分结构的概要剖面图；
图14是示出有机EL装置的制造方法的流程图；以及
图15是示出有机EL装置的制造方法的概要剖面图。
符号说明
4…控制部；9…头单元；9a…头板；10…液状体排出装置；20…基板移动机构；30…头移动机构；50…液滴排出头；52、52i…喷嘴；52a…喷嘴列；70…头单元旋转机构；100…滤色器；103…着色层；103r、103g、103b…作为第2被排出区域的膜形成区域；103r’、103g’、103b’…作为第1被排出区域的膜形成区域；600…有机EL装置；603…作为有机EL元件的发光元件部；617R、617G、617B…发光层；617a…正孔注入/输送层；B…母基板(基板)；D、D1、D2、D3…液滴；E1…第1面板；E2…第2面板；P…喷嘴间距；P1…液滴配置间隔。
具体实施方式
对于本发明，以在基板上、在区划而成的多个像素区域具有多色的着色层的滤色器的制造为例，进行说明。着色层，是像素构成要素，其通过从多个喷嘴向像素区域，将包含着色层形成材料的液状体排出为液滴而形成。在将该液状体排出为液滴时，使用以下说明的液状体排出装置。
(关于液状体排出装置的结构)
首先，关于具备排出液状体的液滴排出头的液状体排出装置，参照图1进行说明。图1是示出液状体排出装置的结构的概要立体图。
如图1所示，液状体排出装置10具备：使具有被排出区域(膜形成区域)的基板B在主扫描方向上移动的基板移动机构20、使具有多个液滴排出头的头单元9在副扫描方向上移动的头移动机构30。该液状体排出装置10，使基板B与头单元9的相对位置发生变化，并且从搭载在头单元9上的多个液滴排出头将液状体排出为液滴，从而在基板B上用液状体形成预定的功能膜。此外，图中的X方向表示基板B的移动方向、即主扫描方向，Y方向表示头单元9的移动方向、即副扫描方向，Z方向表示与X方向和Y方向正交的方向。
在使用这样的液状体排出装置10，制造具有例如红、绿及蓝3色的过滤元件的滤色器的情况下，从液状体排出装置10的各个液滴排出头，将红、绿及蓝3色的液状体的任意一种，在基板B的膜形成区域排出为液滴，从而形成红、绿及蓝3色的过滤元件。
在此，关于液状体排出装置10的各结构，进行说明。
基板移动机构20，具备：一对导轨21、沿着一对导轨21移动的移动台22、在移动台22上可吸附固定地载置基板B的台架5。移动台22利用设置在导轨21的内部的、未图示的气动滑道和线性电动机，在X方向(主扫描方向)上移动。
头移动机构30具备：一对导轨31、沿着一对导轨31移动的第1移动台32。在第1移动台32上设置有托架8，在托架8上经由头单元旋转机构70安装有头单元9，头单元9搭载有多个液滴排出头50(参照图2)。头单元9，能够利用头单元旋转机构70，以图1所示的旋转轴L为中心、在XY平面上旋转。并且，第1移动台32，能够使托架8在Y方向(副扫描方向)上移动，从而将头单元9在Z方向上，空出预定的间隔地相对于基板B相对配置。
液状体排出装置10，除了上述结构之外，还具有维护机构60，该维护机构60进行搭载在头单元9上的多个液滴排出头50的喷嘴的堵塞的消除等维护。此外，液状体排出装置10设置有用于向液滴排出头50供给液状体的液状体供给机构、具有接受被液滴排出头50或者每一喷嘴排出的液状体并计测其排出重量的电子天秤等计测器的排出量计测机构等。这各个机构，由控制部4(参照图4)进行控制。在图1中，控制部4、液状体供给机构以及排出量计测机构，省略了图示。
(关于液滴排出头)
在此，关于具有多个喷嘴的液滴排出头，参照图2以及图3进行说明。图2是示出液滴排出头的结构的概要图。(a)是概要分解立体图，(b)是示出喷嘴部的结构的剖面图。图3是示出头单元中的液滴排出头的配置的概要俯视图。详细地，是从与基板B相对的一侧看的图。此外，图3中所示的X方向、Y方向，表示与图1中所示的X方向、Y方向相同的方向。
如图2(a)及(b)所示，液滴排出头50为喷嘴板51、空腔板53、振动板58按顺序叠层并接合而成的结构，其中喷嘴板51具有排出液滴D的多个喷嘴52，空腔板53具有区划与多个喷嘴52分别连通的空腔55的间隔壁54，振动板58具有作为与各空腔55对应的驱动元件的振动器59。
空腔板53具有区划与喷嘴52连通的空腔55的间隔壁54、用于将液状体填充到空腔55中的流路56、57。流路57被喷嘴板51与振动板58所挟持，所形成的空间起到积存液状体的储存器的作用。液状体，从液状体供给机构通过配管供给，在通过设置在振动板58上的供给孔58a而积存在储存器中之后，通过流路56填充到各空腔55中。
如图2(b)所示，振动器59是由以下部件构成的压电元件：压电元件59c、挟持压电元件59c的一对电极59a、59b。通过从外部对一对电极59a、59b施加作为驱动信号的驱动波形，使所接合的振动板58变形。由此，由间隔壁54隔开的空腔55的体积增加，从而液状体从储存器被吸引到空腔55中。并且，若驱动波形的施加停止，则振动板58恢复原样，从而对已填充的液状体加压。由此，成为能够从喷嘴52将液状体排出为液滴D的结构。通过控制向压电元件59c施加的驱动波形，能够对于各个喷嘴52进行液状体的排出控制。
如图3所示，上述的液滴排出头50，配置在头单元9的头板9a上。在头板9a上，搭载有：由3个液滴排出头50构成的头组50A、同样由3个液滴排出头50构成的头组50B合计6个液滴排出头50。在此情况下，头组50A的液滴排出头50(头R1)和头组50B的液滴排出头50(头R2)排出同一种液状体。对于其他的头G1和头G2、头B1和头B2，也是同样的。即，成为可排出3种不同的液状体的结构。
各液滴排出头50具有喷嘴列52a，该喷嘴列52a由以固定的喷嘴间距P配设的多个(180个)喷嘴52构成。因此，各个液滴排出头50具有长度为L的排出宽度。头R1和头R2，以从主扫描方向(X方向)看相邻的喷嘴列52a在与主扫描方向正交的副扫描方向(Y方向)上隔开1喷嘴间距P而连续的方式，在主扫描方向上并列地配设。因此，头R1和头R2，具有长度为2L的排出宽度。
此外，如前所述，头单元9，能够利用头单元旋转机构70，以图1中所示的旋转轴L为中心，在XY平面上旋转。即，头板9a，如图3所示，能够以旋转轴L贯穿头板9a而得到的点1为中心，在XY平面上旋转。此外，点1位于头板9a的大致中心。
在本实施例中，虽然关于1列的情况说明了喷嘴列52a，但是并不限于此。液滴排出头50，其多个喷嘴列52a也可以在图中X方向上以固定的间隔、在Y方向上偏离1/2间距(P/2)而排列。这样，实质上的喷嘴间距P变窄，从而能够高精细地排出液滴D。
(关于液滴排出装置的控制系统)
接着，关于液状体排出装置10的控制系统，参照图4进行说明。图4是示出液状体排出装置的控制系统的框图。
如图4所示，液状体排出装置10的控制系统，具备：驱动部46和控制部4，驱动部46具有驱动液滴排出头50、基板移动机构20、头移动机构30等的各种驱动器，控制部4控制包含驱动部46的液状体排出装置10。驱动部46具备：移动用驱动器47、头驱动器48、头旋转用驱动器68、维护用驱动器49、未图示的排出量计测用驱动器，其中移动用驱动器47对基板移动机构20及头移动机构30的各线性电动机分别进行驱动控制，头驱动器48对液滴排出头50进行排出控制，头旋转用驱动器68对使头单元9旋转的头单元旋转机构70进行控制，维护用驱动器49对维护机构60的各维护用单元进行驱动控制，未图示的排出量计测用驱动器对排出量计测机构进行控制。
控制部4具备CPU41、ROM42、RAM43、P-CON44，这些部件相互经由总线45连接。在P-CON44上，连接着上位计算机11。ROM42，具有控制程序区域和控制数据区域，控制程序区域存储由CPU41处理的控制程序等，控制数据区域存储用于进行描绘工作、功能恢复处理等的控制数据等。
RAM43具有存储在基板B上描绘图案的图案数据的图案数据存储部等各种存储部，其作为控制处理用的各种工作区域而被使用。在P-CON44上，连接着驱动部46的各种驱动器等，补充CPU41的功能，并且构成并组入有用于处理与外围电路的接口信号的逻辑电路。因此，P-CON44，将来自上位计算机11的各种指令等原样或者进行处理后获取到总线45中，并且与CPU41协作地将从CPU41等输出至总线45中的数据、控制信号等原样或者进行处理后输出至驱动部46。
并且，CPU41，在根据ROM42内的控制程序，经由P-CON44输入各种检测信号、各种指令、各种数据等，并且对RAM43内的各种数据等进行处理之后，通过经由P-CON44输出各种控制信号至驱动部46等，来控制液状体排出装置10全体。例如，CPU41，控制液滴排出头50、基板移动机构20以及头移动机构30，使头单元9与基板B相对配置。并且，与头单元9和基板B的相对移动同步地，从搭载在头单元9上的各液滴排出头50的预定数量的喷嘴52，在基板B上将液状体排出为液滴D，从而形成图案。
在此情况下，将与基板B的向X方向的移动同步地排出液状体的工作称为主扫描，将使头单元9在Y方向上移动的工作称为副扫描。本实施例的液状体排出装置10，能够通过组合主扫描和副扫描并重复多次，来排出液状体。主扫描，并不限于基板B相对于液滴排出头50向一个方向的移动，而也能够使基板B往返地进行移动。
上位计算机11不仅将控制程序、控制数据等控制信息传送至液状体排出装置10，而且也能够对这些控制信息进行修正。此外，还具有作为配置信息生成部的功能，该配置信息生成部根据喷嘴52的位置信息等，生成在基板B上的每一排出区域将所需量的液状体配置为液滴D的配置信息。配置信息，将进行排出的喷嘴52和待机的喷嘴52的分类以及排出区域中的液滴D的排出位置(若换言之，则是基板B与喷嘴52的相对位置)、液滴D的配置数(若换言之，则是每一喷嘴52的排出数、排出比例)、主扫描中的多个喷嘴52的开/关、排出定时等信息，例如表现为位图。
(液状体的排出方法以及滤色器的制造方法)
接着，关于应用了本实施例的液状体的排出方法的滤色器的制造方法，参照图5～图9进行说明。图5(a)是示出滤色器的概要俯视图，图5(b)是图5(a)的C-C’剖面图。图6是示出滤色器的制造方法的流程图，图7(a)～(d)是示出滤色器的制造方法的概要剖面图。
如图5(a)及(b)所示，滤色器100，在透明的玻璃等基板101上具有作为红(R)、绿(G)、蓝(B)3色的过滤元件的着色层103。作为被形成着色层103的矩形形状的被排出区域的膜形成区域103r、103g、103b，被间隔壁部104区划为矩阵状。本实施方式的滤色器100，是同色的着色层103直线状地排列的、所谓条纹方式的滤色器。
如图5(b)所示，间隔壁部104，成为由第1间隔壁部104a和第2间隔壁部104b构成的2层结构。第1间隔壁部104a，例如由Cr、Al等金属薄膜构成，具有遮光性。第2间隔壁部104b，例如由树脂材料构成。此外，并不限于二层结构，而也可以是利用树脂材料构成间隔壁部104的一层结构，该树脂材料包含具有遮光性的材料。
着色层103由包含着色材料的透光性树脂材料构成。在本实施方式中，使用上述的液状体排出装置10制造这样的滤色器100。
如图6所示，本实施方式的滤色器100的制造方法，基本上具备形成间隔壁部104的间隔壁部形成工序(步骤S1)、对形成了间隔壁部104的基板101的表面进行表面处理的表面处理工序(步骤S2)、排出包含着色层形成材料的液状体的液状体的排出工序(步骤S3)、使所排出的液状体干燥从而形成着色层103的干燥工序(步骤S4)。
在图6的步骤S1，首先，在基板101的表面，进行Cr、Al等金属薄膜的成膜。作为成膜方法，举出真空蒸镀法、喷镀法等。膜厚度，以得到遮光性的方式，设定为0.1μm左右。利用光刻法对之进行图案形成，而形成开口了的、图7所示的第1间隔壁部104a。接着，覆盖第1间隔壁部104a而将感光性树脂涂敷为厚度2μm左右，并同样利用光刻法进行图案形成，从而在第1间隔壁部104a上形成第2间隔壁部104b。由此，如图7(a)所示，形成在基板101上开口了的矩形形状的膜形成区域103r、103g、103b。并且，前进至步骤S2。
在图6的步骤S2，以在之后的液状体的排出工序中、被排出的液状体着落于膜形成区域103r、103g、103b并濡湿扩散的方式，对基板101的表面进行亲液处理。此外，以即使被排出的液状体的一部分着落在了第2间隔壁部104b上，也收纳到膜形成区域103r、103g、103b内的方式，对第2间隔壁部104b的至少上表面部分进行抗液处理。
作为表面处理方法，对于形成了间隔壁部104的基板101，进行以O2为处理气体的等离子体处理和以氟类气体为处理气体的等离子体处理。即，对膜形成区域103r、103g、103b进行亲液处理，其后，对由感光性树脂构成的第2间隔壁部104b的上表面进行抗液处理。此外，如果形成第2间隔壁部104b的材料自身具有抗液性，则也能够省去后一种处理。并且，前进至步骤S3。
在图6的步骤S3，在图1所示的液状体排出装置10的台架5上载置被进行了表面处理的基板101。并且，从图3所示的头单元9的液滴排出头50分别排出包含不同的着色层形成材料的3色的液状体。详细地，如图7(b)及(c)所示，与基板101与液滴排出头50的向主扫描方向的相对移动同步地，从液滴排出头50的喷嘴52，将3色的液状体的各个在所希望的膜形成区域103r、103g、103b排出为液滴D。排出在膜形成区域103r、103g、103b中的液状体的排出量，根据预先对于每一膜形成区域103r、103g、103b所选择的喷嘴52的选择图案和液滴D的排出数等对于每一主扫描所设定的排出数据，从控制部4的CPU41向头驱动器48传送适合的控制信号而被进行控制。由此，预定量的液状体被排出在每一膜形成区域103r、103g、103b中。并且，前进至步骤S4。
在图6的步骤S4，如图7(d)所示，从被排出在基板101上的液状体，使溶剂成分蒸发，从而形成由着色层形成材料构成的着色层103。在本实施方式中，将基板101放置在可将溶剂的蒸汽气压固定而进行干燥的减压干燥装置中并进行减压干燥，从而形成R、G、B这3色的着色层103。此外，也可以将排出1色的液状体并进行干燥的工序重复3次。在步骤S3的液状体的排出工序中，着色层103的膜厚度，可以按每一色进行设定，而未必3色是相同的。根据所需的膜厚度的设定，只要将所需量的液状体排出在对应的膜形成区域103r、103g、103b即可。
被形成滤色器100的基板101的大小，取决于使用之的显示装置的大小。此外，即使是同一大小的显示装置，在像素被高密度地配置的情况下，对于对应的滤色器100的着色层103的配置，也要求高密度的配置。
作为有效地生产滤色器100的方法，一般采用在比基板101面积大的母基板B上获取多块的方法。但是，在面积上有效的滤色器100的尺寸，由母基板B的大小来决定。若获取多块在面积上非有效的尺寸的滤色器100，则会产生空闲空间。因此，考虑在该空闲空间中拼版不同的尺寸的滤色器100，从而没有浪费地利用母基板B。
当在母基板B上拼版不同的尺寸的滤色器100的情况下，有时膜形成区域103r、103g、103b的排列方向、即条纹方向会相互正交。如前所述，膜形成区域103r、103g、103b中的液滴的配置，通过在主扫描中根据排出定时排出液状体而实现。从主扫描方向看的多个喷嘴52，如前所述以固定的喷嘴间距P配设。因而，在母基板B上的矩形形状的膜形成区域103r、103g、103b的排列方向不同的情况下，有时会因排列方向而使与膜形成区域103r、103g、103b相对的喷嘴52的数量受到限制。
使用本实施方式的液状体的排出方法的滤色器100的制造方法，根据母基板B上的膜形成区域103r、103g、103b的配置，提供适合的液状体的排出方法。详细地，参照实施例进行说明。
(第1实施例)
在此，参照图8以及图9说明第1实施例的滤色器的制造方法。图8是示出液状体的排出工序中的头单元与母基板的相对配置的概要俯视图，图9(a)及(b)是示出液状体的排出工序中的液滴的配置的概要俯视图。此外，图8以及图9中所示的X方向、Y方向，表示与图1中所示的X方向、Y方向相同的方向。
如图8所示，第1实施例中的母基板B，具有第2面板E2和第1面板E1，第2面板E2沿着母基板B的长边拼版有多个(7个)，第1面板E1沿着长边及短边矩阵状地拼版有多个(4个)。第2面板E2的面积，比第1面板E1的面积小。
在第2面板E2上，作为第2被排出区域的矩形形状的膜形成区域103r、103g、103b矩阵状地排列多个。同样，在第1面板E1上，作为第1被排出区域的矩形形状的膜形成区域103r’、103g’、103b’矩阵状地排列多个。在此，膜形成区域103r、103g、103b的面积，比膜形成区域103r’、103g’、103b’的面积小。膜形成区域103r、103g、103b和膜形成区域103r’、103g’、103b’，其被排出同种(同色)的液状体的条纹方向正交。此外，在各个膜形成区域，排出预定量的所期望的液状体，从而形成着色层103。
在液状体的排出工序中，使用图1中所示的液状体排出装置10，以母基板B的长边，相对于头移动机构30中配置在副扫描方向(Y方向)上的多个头单元9，成为大致平行的方式，将母基板B定位在台架5上。然后，在使台架5在主扫描方向(X方向)上移动的期间，从搭载在头单元9上的液滴排出头50，向母基板B排出液状体。
在此情况下，膜形成区域103r、103g、103b的长边方向与副扫描方向(Y方向)一致。膜形成区域103r’、103g’、103b’的长边方向与主扫描方向(X方向)一致。此外，排列在液滴排出头50上的喷嘴列52a，利用头单元旋转机构70，以与副扫描方向(Y方向)一致的方式配置。其结果，如图9(a)所示，由多个喷嘴52构成的喷嘴列52a，沿着矩形形状的膜形成区域103r、103g、103b的长边方向配置。
例如，在主扫描中(X方向上)，在被排出红色的液状体的膜形成区域103r上，获得4个喷嘴52，并从各个喷嘴52排出液滴D1。由此，在膜形成区域103r上，分别涂敷4滴的液滴D1。所着落的液滴D1，在膜形成区域103r内濡湿扩散。此外，在主扫描方向上，通过控制排出定时，能够对于膜形成区域103r的任意一个，使液滴D1着落在任意的位置。副扫描方向(Y方向)上的着落位置，根据膜形成区域103r的副扫描方向上的配置间距与喷嘴间距P的关系，对于每一膜形成区域103r，并不限定于必须相同。此外，在第2面板E2的其他膜形成区域103g、103b，也同样各排出4滴所期望的液状体作为液滴D1。
如图9(b)所示，在上述主扫描中，在例如相对于膜形成区域103r面积大且排列方向正交的膜形成区域103r’上，获得2个喷嘴52。然后，从各个喷嘴52，在主扫描方向上排出多个液滴D1。由此，在各膜形成区域103r’，涂敷液滴D1。在主扫描方向上，通过控制排出定时，对于膜形成区域103r’的任意一个，能够使液滴D1着落在任意的位置。另一方面，副扫描方向(Y方向)上的着落位置，根据膜形成区域103r’的副扫描方向上的配置间距与喷嘴间距P的关系，虽然在每一膜形成区域103r’上获得2个喷嘴52，但是并不限定于必须相同。此外，在第1面板E1的其他膜形成区域103g’、103b’，也同样将所期望的液状体排出为液滴D1。
如上所述，在第1实施例的排出工序中，以在相对于膜形成区域103r’、103g’、103b’面积小的膜形成区域103r、103g、103b上，获得更多的喷嘴52的方式，确定头单元9与母基板B的位置，能够在各个膜形成区域103r、103g、103b和膜形成区域103r’、103g’、103b’，排出液滴D1。
以下，描述第1实施例的效果。
(1)如果采用本实施例的液状体的排出方法，则能够将喷嘴列52a的配置方向，设定为与作为面积大的第1被排出区域的膜形成区域103r’、103g’、103b’的短边方向以及作为面积小的第2被排出区域的膜形成区域103r、103g、103b的长边方向相同的方向。也就是说，能够在面积大的膜形成区域103r’、103g’、103b’其短边方向上，在面积小的膜形成区域103r、103g、103b其长边方向上，配置喷嘴52。因此，即使面积不同的第1被排出区域及第2被排出区域混合存在于同一基板内，也能够较多地配置能够在各个被排出区域内排出液状体的喷嘴的数量。因而，能够减少使液状体被排出在被排出区域内的偏倚的位置、发生液状体的排出量的偏倚的情况。其结果，能够使在被排出区域内形成的薄膜的厚度的不均匀减轻。
(2)如果采用本实施例的液状体的排出方法，则能够使在排列方向相互正交的、面积不同的膜形成区域103r’、103g’、103b’及膜形成区域103r、103g、103b内形成的着色层103的厚度的不均匀减轻。也就是说，能够以高的生产率制造着色层103的排列方向不同、大小不同的至少2种滤色器100。
(第2实施例)
在此，关于第2实施例的滤色器的制造方法，参照图10及图11进行说明。图10是示出第2实施例的液状体的排出工序中的头单元与母基板的相对配置的概要俯视图，图11是示出第2实施例的液状体的排出工序中的液滴的配置的概要俯视图。此外，图10及图11中所示的X方向、Y方向，表示与图1中所示的X方向、Y方向相同的方向。此外，关于与第1实施例相同的结构及内容，使符号相同并省略说明。
第2实施例中的母基板，与第1实施例的母基板B同样，具有7个第2面板E2和4个第1面板E1。因而，在第2面板E2上，作为第2被排出区域的矩形形状的膜形成区域103r、103g、103b矩阵状地排列多个，在第1面板E1上，作为第1被排出区域的矩形形状的膜形成区域103r’、103g’、103b’矩阵状地排列多个。
在液状体的排出工序中，使用图1中所示的液状体排出装置10，以母基板B的长边，相对于头移动机构30中配置在副扫描方向(Y方向)上的多个头单元9，成为大致平行的方式，将母基板B定位在台架5上。但是，在第2实施例中，如图10所示，使用头单元旋转机构70，使头单元9以点1为中心相对于Y方向旋转α度。其结果，使排列在液滴排出头50上的喷嘴列52a也旋转α度地配置。
也就是说，如图11(a)所示，由多个喷嘴52构成的喷嘴列52a，从矩形形状的膜形成区域103r、103g、103b的长边方向具有α度的角度地配置。然后，在使台架5在主扫描方向(X方向)上移动的期间，从搭载在头单元9上的液滴排出头50，向母基板B排出液状体。在此情况下，喷嘴列52a，由于相对于Y方向具有α度的角度，所以其对于膜形成区域103r的实质的液滴的配置间隔P1(P×Cosα)，比喷嘴列52a的喷嘴间距P变窄。
因此，在主扫描中(X方向上)，在被排出红色的液状体的膜形成区域103r上，获得5个喷嘴52，并从各个喷嘴52排出液滴D1。由此，在膜形成区域103r上，分别涂敷5滴的液滴D1。在主扫描方向上，通过控制排出定时，能够对于膜形成区域103r的任意一个，使液滴D1着落在任意的位置。也就是说，能够在膜形成区域103r的X方向的任意的位置，1列地配置液滴。此外，在第2面板E2的其他膜形成区域103g、103b，也同样各排出5滴所期望的液状体作为液滴D1。
如图11(b)所示，同样，喷嘴列52a，由于相对于Y方向具有α度的角度，所以其对于膜形成区域103r’的实质的液滴的配置间隔P1(P×Cosα)，比喷嘴列52a的喷嘴间距P变窄，膜形成区域103r’相对于膜形成区域103r面积大且排列方向正交。因而，在膜形成区域103r’上，获得3个喷嘴52。然后，从各个喷嘴52排出液滴D1。由此，在各膜形成区域103r’的副扫描方向上，涂敷3滴的液滴D1。在主扫描方向上，通过控制排出定时，能够对于膜形成区域103r’的任意一个，使液滴D1着落在任意的位置。此外，在第1面板E1的其他膜形成区域103g’、103b’，也同样将所期望的液状体排出为液滴D1。
以下，描述第2实施例的效果。
(1)如果采用本实施例的液状体的排出方法，则通过以相对于作为第1被排出区域的膜形成区域103r’、103g’、103b’的短边方向具有角度α的方式配置喷嘴列52a，能够使配置在膜形成区域103r’、103g’、103b’的短边方向上的液滴的配置间隔P1比喷嘴间距P实质上变窄。也就是说，能够对于膜形成区域103r’、103g’、103b’，从更多的喷嘴52排出液状体。因此，能够减少使液状体被排出在被排出区域内的偏倚的位置、发生液状体的排出量的偏倚的情况。其结果，能够使在被排出区域内形成的薄膜的厚度的不均匀减轻。
(2)如果采用本实施例的液状体的排出方法，则能够对于被排出区域，使更多的喷嘴52与之相对并排出液状体。因此，即使存在喷嘴52的排出特性的偏差，也能够通过使用更多的喷嘴52，使排出特性的偏差分散。其结果，能够使在被排出区域内形成的薄膜的厚度的不均匀减轻。
(3)如果采用本实施例的液状体的排出方法，则通过调整头单元9的旋转角度α，能够与喷嘴间距P无关地任意地设定着落在被排出区域的液滴的配置间隔P1。因此，能够与被排出区域的副扫描方向的尺寸无关地，从较多的喷嘴52将液状体排出为液滴。因此，能够减少使液状体被排出在被排出区域内的偏倚的位置、发生液状体的排出量的偏倚的情况。此外，即使存在喷嘴52的排出特性的偏差，也能够通过使用多个喷嘴52，使排出特性的偏差分散。其结果，能够使在被排出区域内形成的薄膜的厚度的不均匀减轻。
(4)此外，由于能够任意地设定着落在被排出区域的液滴的配置间隔P1，所以能够对于被排出区域，高密度、高精细地排出液状体。因此，能够形成高密度、高精细的薄膜，能够有助于显示装置的高画质化。
(5)如果采用本实施例的液状体的排出方法，则能够使在排列方向相互正交且面积不同的膜形成区域103r’、103g’、103b’以及膜形成区域103r、103g、103b内形成的着色层103的厚度的不均匀减轻。也就是说，能够以高的生产率制造着色层103的排列方向不同、大小不同的至少2种滤色器100。
(第3实施例)
在此，关于第3实施例的滤色器的制造方法，参照图12进行说明。图12是示出第3实施例的液状体的排出工序中的液滴的配置的概要俯视图。并且，图12中所示的X方向、Y方向，表示与图1中所示的X方向、Y方向相同的方向。此外，关于与第1以及第2实施例相同的结构及内容，使符号相同并省略说明。
第3实施例中的母基板，与第1以及第2实施例的母基板B同样，具有7个第2面板E2和4个第1面板E1。因而，在第2面板E2上，作为第2被排出区域的矩形形状的膜形成区域103r、103g、103b矩阵状地排列多个，在第1面板E1上，作为第1被排出区域的矩形形状的膜形成区域103r’、103g’、103b’矩阵状地排列多个。
在液状体的排出工序中，使用图1中所示的液状体排出装置10，以母基板B的长边，相对于头移动机构30中配置在副扫描方向(Y方向)上的多个头单元9，成为大致平行的方式，将母基板B定位在台架5上。然后，使台架5在主扫描方向(X方向)上移动，并从搭载在头单元9上的液滴排出头50向母基板B排出液状体。
此时，搭载在头单元9上的液滴排出头50的喷嘴列52a，既可以相对于副扫描方向具有角度α，也可以配置在与副扫描方向相同的方向上。在本实施例中，以喷嘴列52a配置在与副扫描方向相同的方向上的情况为例进行说明。此外，在本实施例中，为了说明的简便，以在作为第1被排出区域的膜形成区域103r’、103g’、103b’上排出液状体的情况为例进行说明。
在此情况下，如图12(a)所示，由多个喷嘴52i(i是从1至i的自然数)构成的喷嘴列52a，沿着膜形成区域103r’、103g’、103b’的短边方向配置。在本实施例中，由于膜形成区域103r’、103g’、103b’的短边方向的宽度形成得较小，所以若例如从2个喷嘴521、522同时在膜形成区域103r’上排出红色的液状体，则有可能会在相邻的膜形成区域103g’上混入红色的液状体。因此，对于被排出红色的液状体的膜形成区域103r’，需要仅使用1个喷嘴521。此外，同样，对于马赛克状地配设的其他膜形成区域103r’，使用1个喷嘴526。
若进行边利用图1中所示的台架5使母基板B在图12中X(+)方向上移动，边从喷嘴521、526排出液滴D1的第1次排出工作，则如图12(a)所示，在膜形成区域103r’的图中左侧，液滴D1配置为列状。此外，通过控制排出定时，X方向的配置间隔能够调整为任意的间隔。
接着，利用图1中所示的头移动机构30，使头单元9在图12中Y(-)方向上微量移动。通过调整移动距离，如图12(b)所示，喷嘴522及喷嘴527与被排出红色的液状体的膜形成区域103r’相对。然后，若进行边使母基板B在图12中X(-)方向上移动，边从喷嘴522、527排出液滴D2的第2次排出工作，则在膜形成区域103r’的图中右侧，液滴D2配置为列状。
这样，通过在母基板B的X方向(主扫描方向)的移动以及从喷嘴52i的液状体的排出期间进行头单元9的Y方向(副扫描方向)的微量移动，能够在膜形成区域103r’的Y方向的不同位置，从不同的喷嘴52i将液状体配置为液滴D。
此外，在期望液状体的排出量的调整或者更高密度的液滴的配置的情况下，如图12(c)所示，在第2次排出工作之后，利用图1中所示的头移动机构30使头单元9在图12中Y(-)方向上进一步微量移动，使喷嘴522以及喷嘴527与由液滴D1以及液滴D2构成的液滴列的中间相对，并进行第3次排出工作，该第3次排出工作边使母基板B在图12中X(+)方向上移动，边从喷嘴522、527排出液滴D3。由此，在膜形成区域103r’上，形成由液滴D1～D3构成的3列液滴列。
以下，描述第3实施例的效果。
(1)如果采用本实施例的液状体的排出方法，则通过在母基板B的X方向(主扫描方向)的移动以及从喷嘴52i的液状体的排出期间进行头单元9的Y方向(副扫描方向)的微量移动，能够在膜形成区域103的Y方向的不同位置，从不同的喷嘴52i将液状体配置为液滴D。因此，能够实质上增多能够配置在膜形成区域103的液滴D。因此，能够减少使液状体被排出在膜形成区域103内的偏倚的位置、发生液状体的排出量的偏倚的情况。其结果，能够使在被排出区域内形成的薄膜的厚度的不均匀减轻。
(2)如果采用本实施例的液状体的排出方法，则能够对于膜形成区域103使更多的喷嘴52i与之相对并排出液状体。因此，即使存在喷嘴52的排出特性的偏差，也能够通过使用更多的喷嘴52i，使排出特性的偏差分散。其结果，能够使在膜形成区域103内形成的薄膜的厚度的不均匀减轻。
(3)如果采用本实施例的液状体的排出方法，则通过调整利用头移动机构30所实现的头单元9的移动量，能够与喷嘴间距P无关地任意地设定着落在被排出区域的液滴的配置间隔。因此，能够与被排出区域的副扫描方向的尺寸无关地，从较多的喷嘴52将液状体排出为液滴。因此，能够减少使液状体被排出在被排出区域内的偏倚的位置、发生液状体的排出量的偏倚的情况。此外，即使存在喷嘴52的排出特性的偏差，也能够通过使用多个喷嘴52，使排出特性的偏差分散。其结果，能够使在被排出区域内形成的薄膜的厚度的不均匀减轻。
(4)此外，由于能够任意地设定着落在被排出区域的液滴的配置间隔，所以能够对于被排出区域，高密度、高精细地排出液状体。因此，能够形成高密度、高精细的薄膜，能够有助于显示装置的高画质化。
(5)如果采用本实施例的液状体的排出方法，则能够使在排列方向相互正交且面积不同的膜形成区域103r’、103g’、103b’以及膜形成区域103r、103g、103b内形成的着色层103的厚度的不均匀减轻。也就是说，能够以高的生产率制造着色层103的排列方向不同、大小不同的至少2种滤色器100。
(第4实施例)
接着，关于使用了前述的液状体的配置方法的有机EL装置的制造方法，进行说明。
(有机EL装置)
图13是示出有机EL装置的主要部分结构的概要剖面图。如图13所示，本实施方式的作为电光装置的有机EL装置600，具备：元件基板601、密封基板620，元件基板601具有作为有机EL元件的发光元件部603，密封基板620将元件基板601与空间622隔开并进行密封固定。此外，元件基板601，在元件基板601上具备电路元件部602，发光元件部603重叠形成在电路元件部602上并由电路元件部602进行驱动。在发光元件部603上，3色的发光层617R、617G、617B形成在作为各个色要素区域的被排出区域Q，成为条纹状。元件基板601，其与3色的发光层617R、617G、617B对应的3个被排出区域Q作为1组像素，该像素在元件基板601的电路元件部602上矩阵状地配置。本实施方式的有机EL装置600，使从发光元件部603发出的光出射至元件基板601侧。
密封基板620，由玻璃或金属构成，经由密封树脂接合在元件基板601上，并且在其被密封的内侧的表面上，粘贴有吸气剂621。吸气剂621，吸收侵入到元件基板601与密封基板620之间的空间622中的水或氧气，防止发光元件部603因所侵入的水或氧气而劣化。此外，该吸气剂621也可以省略。
本实施方式的元件基板601，在电路元件部602上具有多个被排出区域Q，并具备：作为区划多个被排出区域Q的间隔壁部的堤栏618、形成在多个被排出区域Q的电极613、叠层在电极613上的正孔注入/输送层617a。此外，具备作为色要素的发光元件部603，该作为色要素的发光元件部603具有在多个被排出区域Q内提供包含发光层形成材料的3种液状体而形成的发光层617R、617G、617B。堤栏618包括下层堤栏618a和实质上区划被排出区域Q的上层堤栏618b，下层堤栏618a以伸出至被排出区域Q的内侧的方式设置，并且为了防止电极613与各发光层617R、617G、617B直接接触从而电短路，下层堤栏618a由SiO2等无机绝缘材料形成。
元件基板601由例如玻璃等透明的基板构成，在元件基板601上形成有由氧化硅膜构成的基底保护膜606，在该基底保护膜606上形成有由多晶硅构成的岛状的半导体膜607。此外，在半导体膜607中，源区域607a及漏区域607b通过高浓度P离子注入而形成。此外，未被导入P的部分成为沟道区域607c。进而，形成有覆盖基底保护膜606及半导体膜607的透明的栅绝缘膜608，在栅绝缘膜608上，形成有由Al、Mo、Ta、Ti、W等构成的栅电极609，在栅电极609及栅绝缘膜608上，形成有透明的第1层间绝缘膜611a和第2层间绝缘膜611b。栅电极609设置在与半导体膜607的沟道区域607c对应的位置处。此外，贯通第1层间绝缘膜611a以及第2层间绝缘膜611b，形成有分别与半导体膜607的源区域607a、漏区域607b连接的接触孔612a、612b。并且，在第2层间绝缘膜611b上，由ITO(Indium Tin Oxide，氧化铟锡)等构成的透明的电极613被图案形成并配置为预定的形状(电极形成工序)，并且一个接触孔612a连接至该电极613。此外，另一个接触孔612b连接至电源线614。这样，在电路元件部602上，形成有连接至各电极613的驱动用的薄膜晶体管615。此外，在电路元件部602上，虽然也形成有保持电容和开关用的薄膜晶体管，但是在图13中省略了它们的图示。
发光元件部603，具备作为阳极的电极613以及顺次叠层在电极613上的正孔注入/输送层617a、各发光层617R、617G、617B(总称发光层617)以及以覆盖上层堤栏618b和发光层617b的形式叠层而成的阴极604。此外，如果阴极604、密封基板620以及吸气剂621由透明的材料构成，则能够从密封基板620侧使发出的光出射。
有机EL装置600，具有与栅电极609连接的扫描线(图示省略)和与源区域607a连接的信号线(图示省略)，若利用传送至扫描线的扫描信号将开关用的薄膜晶体管(图示省略)导通，则此时的信号线的电位被保持电容所保持，并且与该保持电容的状态相应地，确定驱动用的薄膜晶体管615的导通、截止状态。并且，经由驱动用的薄膜晶体管615的沟道区域607c，从电源线614向电极613流过电流，进而经由正孔注入/输送层617a和发光层617b向阴极604流过电流。发光层617b，与流过其的电流量相应地发光。有机EL装置600，利用这样的发光元件部603的发光机构，能够显示所期望的文字、图像等。
(有机EL装置的制造方法)
接着，关于本实施方式的有机EL装置的制造方法，根据图14以及图15进行说明。图14是示出有机EL装置的制造方法的流程图，图15是示出有机EL装置的制造方法的概要剖面图。此外，在图15(a)～(f)中，形成在元件基板601上的电路元件部602，省略了图示。
如图14所示，有机EL装置的制造方法，包括：在元件基板601的与多个被排出区域Q对应的位置形成电极613的工序，在电极613上以一部分上搭的方式形成下层堤栏618a、进而在下层堤栏618a上以实质上区划被排出区域Q的方式形成上层堤栏618b的堤栏(间隔壁部)形成工序。此外，还包括：进行由上层堤栏618b所区划的被排出区域Q的表面处理的工序、在表面处理后的被排出区域Q提供包含正孔注入/输送层形成材料的液状体从而排出描绘正孔注入/输送层617a的工序、使所排出的液状体干燥从而使正孔注入/输送层617a成膜的工序。此外，还包括：对形成了正孔注入/输送层617a的被排出区域Q进行表面处理的工序、作为色要素描绘工序的发光层描绘工序、使所排出的3种液状体干燥从而使发光层617b成膜的工序，其中作为色要素描绘工序的发光层描绘工序在表面处理后的被排出区域Q提供包含作为色要素形成材料的发光层形成材料的3种液状体从而排出描绘发光层617b。进而，还包括：以覆盖上层堤栏618b和发光层617b的方式形成阴极604的工序。各液状体对于被排出区域Q的提供，使用液状体排出装置10来进行。
图14的步骤S11，是电极(阳极)形成工序。在步骤S11，如图15(a)所示，在已经形成了电路元件部602的元件基板601的、与被排出区域Q对应的位置，形成电极613。作为形成方法，例如举出如下方法：在元件基板601的表面，使用ITO等透明电极材料，在真空中用喷镀法或蒸镀法形成透明电极膜，其后，用光刻法仅使所需的部分残留来进行蚀刻，从而形成电极613。此外，也可以是以下的方法：用光致抗蚀剂预先覆盖元件基板601，并以使形成电极613的区域开口的方式进行曝光、显影，然后，在开口部中形成ITO等透明电极膜，并且除去残存的光致抗蚀剂。然后，前进至步骤S12。
图14的步骤S12，是堤栏(间隔壁部)形成工序。在步骤S12，如图15(b)所示，以覆盖元件基板601的多个电极613的一部分的方式，形成下层堤栏618a。作为下层堤栏618a的材料，使用作为无机材料的绝缘性的SiO2(氧化硅)。作为下层堤栏618a的形成方法，例如举出如下方法：与后面形成的发光层617b对应地，使用抗蚀剂等对各电极613的表面进行掩蔽，然后，将掩蔽后的元件基板601投入到真空装置中，通过以SiO2作为靶子或者原料进行喷镀、真空蒸镀等，而形成下层堤栏618a。抗蚀剂等的掩蔽，在之后剥离。此外，下层堤栏618a，由于利用SiO2形成，所以如果其膜厚度小于等于200nm，则将具有充分的透明性，从而即使在后面叠层正孔注入/输送层617a以及发光层617b，也不会妨碍发光。
接着，以实质上区划各被排出区域Q的方式，在下层堤栏618a上形成上层堤栏618b。作为上层堤栏618b的材料，期望对于后述的包含发光层形成材料的3种液状体84R、84G、84B的溶剂具有耐久性，进而，优选：通过以氟类气体为处理气体的等离子体处理能够四氟乙烯化，例如丙烯酸树脂、环氧树脂、感光性聚酰亚胺等这样的有机材料。作为上层堤栏618b的形成方法，例如举出如下方法：在形成了下层堤栏618a的元件基板601的表面，用辊涂法、旋涂法等涂敷感光性的前述有机材料，使之干燥从而形成厚度大体为2μm的感光性树脂层，然后，通过使掩模在预定的位置与元件基板601相对并进行曝光、显影，来形成上层堤栏618b，其中该掩模以与被排出区域Q对应的大小设置了开口部。由此，形成作为具有下层堤栏618a和上层堤栏618b的间隔壁部的堤栏618。然后，前进至步骤S13。
图14的步骤S13，是对被排出区域Q进行表面处理的工序。在步骤S13，对形成了堤栏618的元件基板601的表面，首先以O2气为处理气体，进行等离子体处理。由此，使电极613的表面、下层堤栏618a的伸出部以及上层堤栏618b的表面(包含壁面)活性化从而进行亲液处理。接着，以CF4等氟类气体为处理气体进行等离子体处理。由此，仅对由作为有机材料的感光性树脂构成的上层堤栏618b的表面，氟类气体发生反应从而进行抗液处理。然后，前进至步骤S14。
图14的步骤S14，是正孔注入/输送层形成工序。在步骤S14，如图15(c)所示，将包含正孔注入/输送层形成材料的液状体82提供在被排出区域Q。作为提供液状体82的方法，使用前述的液状体排出装置10。从液滴排出头50排出的液状体82，作为液滴着落在元件基板601的电极613上并濡湿扩散。液状体82，与被排出区域Q的面积对应地作为液滴被排出所需量，并且因表面张力而成为隆起的状态。由于利用液状体排出装置10，排出并描绘1种液状体82，所以可利用至少1次主扫描实现排出描绘。然后，前进至步骤S15。
图14的步骤S15，是干燥、成膜工序。在步骤S15，通过用例如灯退火等方法对元件基板601进行加热，使液状体82的溶剂成分干燥并除去，在电极613的由下层堤栏618a所区划的区域形成正孔注入/输送层617a。在本实施方式中，作为正孔注入/输送层形成材料，使用PEDOT(Polyethylene Dioxy Thiophene，聚乙烯二氧噻吩)。此外，在此情况下，虽然在各被排出区域Q形成了由相同材料构成的正孔注入/输送层617a，但是也可以与后面的发光层的形成材料对应地对于每一被排出区域Q改变正孔注入/输送层617a的材料。然后，前进至步骤S16。
图14的步骤S16，是对形成了正孔注入/输送层617a的元件基板601进行表面处理的工序。在步骤S16，在使用上述的正孔注入/输送层形成材料而形成了正孔注入/输送层617a的情况下，由于其表面对于在下面的步骤S17中使用的3种液状体84R、84G、84B具有抗液性，所以至少对被排出区域Q的区域内进行表面处理，以便再次具有亲液性。作为表面处理的方法，涂敷在3种液状体84R、84G、84B中使用的溶剂并使之干燥。作为溶剂的涂敷方法，举出喷溅法、旋涂法等方法。然后，前进至步骤S17。
图14的步骤S17，是RGB发光层描绘工序。在步骤S17，如图15(d)所示，应用前述的液状体的配置方法，从液状体排出装置10的不同液滴排出头50，在多个被排出区域Q提供包含发光层形成材料的3种液状体84R、84G、84B。液状体84R包含形成发光层617R(红色)的材料，液状体84G包含形成发光层617G(绿色)的材料，液状体84B包含形成发光层617B(蓝色)的材料。所着落的各液状体84R、84G、84B，在被排出区域Q濡湿扩散，其剖面形状隆起为圆弧状。然后，前进至步骤S18。
图14的步骤S18，是干燥、成膜工序。在步骤S18，如图15(e)所示，使所排出描绘的各液状体84R、84G、84B的溶剂成分干燥并除去，以在各被排出区域Q的正孔注入/输送层617a上叠层各发光层617R、617G、617B的方式进行成膜化。作为被排出描绘了各液状体84R、84G、84B的元件基板601的干燥方法，优选可将溶剂的蒸发速度设定为大致固定的减压干燥。然后，前进至步骤S19。
图14的步骤S19，是阴极形成工序。在步骤S19，如图15(f)所示，以覆盖元件基板601的各发光层617R、617G、617B和上层堤栏618b的表面的方式，形成阴极604。作为阴极604的材料，优选将Ca、Ba、Al等金属、LiF等氟化物组合来使用。特别地，优选在与发光层近的一侧形成功率函数小的Ca、Ba、LiF膜，在远的一侧形成功率函数大的Al等膜。此外，也可以在阴极604上叠层SiO2、SiN等保护层。如果这样，则能够防止阴极604的氧化。作为阴极604的形成方法，举出蒸镀法、喷镀法、CVD法等。特别地，在能够防止因发光层的热而引起的损伤这一点上，优选蒸镀法。使用这样形成的元件基板601制造有机EL装置600。
以下，描述第4实施方式的效果。
(1)如果采用本有机EL装置600的制造方法，则在发光层描绘工序中，能够在面积不同并且排列方向相互正交的元件基板601的2种被排出区域Q，使用前述的液状体的排出方法排出3种液状体84R、84G、84B，从而形成作为3种色要素的发光层617R、617G、617B。并且，能够使在2种被排出区域Q内形成的发光层617R、617G、617B的厚度的不均匀减轻，并且以高的生产率制造作为有机EL元件的发光元件部603的排列方向不同的至少2种有机EL装置600。
以上，虽然关于本发明的实施方式进行了说明，但是对于上述实施方式，能够在不脱离本发明的主旨的范围内加以各种变形。例如，上述实施方式以外的变形例，如以下所述。
(变形例1)
在上述实施方式中说明的母基板B中的第1面板E1以及第2面板E2的布局，仅是一实施例，而并不限定于此。第1面板E1以及第2面板E2，在母基板B中，只要具有某一规则性地进行配置即可。此外，在本实施方式中说明的第1被排出区域以及第2被排出区域的布局，虽然是关于所谓的条纹方式的情况进行说明的，但是并不限定于此。也可以是所谓的马赛克方式或三角形(デルタ)方式的布局。
(变形例2)
在上述实施方式中，虽然是以第1被排出区域以及第2被排出区域的面积不同的情况为例进行说明的，但是并不限定于此。例如，在第1被排出区域以及第2被排出区域是相同面积而排列方向不同的情况下，也能够对短边方向沿着喷嘴列52a的被排出区域，应用在上面说明的液状体的排出方法，从而更多地设定在被排出区域的短边方向上获得的喷嘴52的数量。因此，能够减少使液状体被排出在被排出区域内的偏倚的位置、发生液状体的排出量的偏倚的情况。

Claims (5)

1.一种液状体的排出方法，其特征在于，向在第1面板排列的大致矩形形状的第1被排出区域和在第2面板排列的面积比前述第1被排出区域小的大致矩形形状的第2被排出区域排出液状体，包括：
以使前述第1被排出区域的长边方向和前述第2被排出区域的长边方向大致正交的方式，并且，以前述第1面板和前述第2面板不在前述第2被排出区域的长边方向并列的方式，配设前述第1面板和前述第2面板；
排出工序，其边使排出前述液状体的多个喷嘴在前述第2被排出区域的长边方向配设为列状而成的喷嘴列以及前述第1面板和前述第2面板在前述第1被排出区域的长边方向上相对移动，边从前述喷嘴排出前述液状体。
2.按照权利要求1所述的液状体的排出方法，其特征在于：
在前述排出工序中，至少大于等于2个的前述喷嘴与前述第1被排出区域的短边方向的区域内相对。
3.按照权利要求1或2所述的液状体的排出方法，其特征在于：
前述排出工序，在前述第1被排出区域的长边方向的多次相对移动期间，使具有喷嘴列的液滴排出头与前述第1面板和前述第2面板在与前述第1被排出区域的长边方向的主扫描方向大致正交的副扫描方向上相对移动。
4.一种滤色器的制造方法，其在前述第1被排出区域和前述第2被排出区域形成多色的着色层，其特征在于：
该方法包括：
排出工序，其使用权利要求1～3中的任意一项所述的液状体的排出方法，将包含着色层形成材料的多色的液状体排出在前述第1被排出区域和前述第2被排出区域；以及
成膜工序，其使被排出的前述液状体固化而形成前述多色的着色层。
5.一种有机EL装置的制造方法，该有机EL装置具备多个有机EL元件，该多个有机EL元件在前述第1被排出区域和前述第2被排出区域具有包含发光层的功能层，其特征在于：
该方法包括：
排出工序，其使用权利要求1～3中的任意一项所述的液状体的排出方法，将包含发光层形成材料的液状体排出在前述第1被排出区域和前述第2被排出区域；以及
成膜工序，其使被排出的前述液状体固化而形成前述发光层。
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Denomination of invention: Method for discharging liquid bodies, manufacturing of color filters, and organic EL devices

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Pledgee: Xinji Co.,Ltd.

Pledgor: KATEEVA, Inc.

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