JP5055692B2 - 液滴吐出方法及び電気光学装置の製造方法 - Google Patents
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Description
このような液滴吐出方式としては、インクジェットヘッドを基板に対して相対的に走査させさながら基板にインクを吐出し、さらに、吐出したインクの着弾位置を検出し、検出したインクの着弾位置とインクの理想着弾位置とのずれ量が所定の範囲となるような吐出タイミングでインクジェットヘッドからインクを基板上に吐出する方式がある。
本発明に係る液滴吐出方法は、基板上の複数の描画対象領域に対して、吐出ヘッドを相対的に走査させながら、前記基板と前記吐出ヘッドの相対的な移動量に応じたエンコーダパルスを分周して生成されるラッチ信号に同期した一定の吐出タイミングにて液滴を吐出する際、前記複数の描画対象領域の配置ピッチが、前記一定の吐出タイミングで吐出される液滴の着弾位置間隔の整数倍でない場合に、前記複数の描画対象領域に対応する複数の液滴の吐出タイミングを前記一定の吐出タイミングに維持しつつ、前記ラッチ信号の一部の補正により前記一定の吐出タイミングから変更することで、前記複数の描画対象領域に対応する複数の液滴以外の液滴の着弾位置間隔を変更し、前記複数の描画対象領域のそれぞれにおける複数の液滴の着弾位置を揃えることを特徴とする。
本発明によれば、各描画対象にて均一な描画精度を得ることができる。つまり、描画対象に合わせて液滴の着弾位置を補正して各描画対象における着弾位置を揃えることにより、各描画対象における着弾のばらつきを防止することができ、製品設計上の制約なく、均一な描画対象の形成を行うことができる。
本発明によれば、前記液滴吐出方法によって基板に高精度に描画パターンを形成して、有機EL装置、プラズマディスプレイ装置、液晶装置などの電気光学装置を製造することができる。したがって、本発明によれば、大きな画面の全体について、高精細で高品質な画像を表示することができる電気光学装置を安価に提供することができる。例えば、有機EL装置の構成要素となる発光材料および正孔輸送材料などを高精細な画素パターンをなすように塗布することができる。
図1は、液滴吐出装置の構成を示す斜視図である。
この液滴吐出装置は、本発明の実施形態に係る液滴吐出方法を用いて液滴Lを吐出するものである。液滴吐出装置1は、制御装置2と、吐出ヘッド群3と、ステージ4と、を主な構成要素として備えている。液滴吐出装置1は、制御装置2が吐出ヘッド群3及びステージ4の動作を制御することによって、ステージ4に載置された基板5に液滴Lを吐出し、当該基板5上に所定のパターンを形成するものである。
また、基板5上に形成されるパターンとしては、RGB色を有するカラーフィルターによって形成される画素パターンや、TFT回路を形成する場合の金属配線等が挙げられる。
例えば、基板5によって有機EL装置を構成する場合、発光材料又は正孔輸送材料などからなる画素パターンを本液滴吐出装置1で形成することとしてもよい。
制御装置2は、液滴吐出データ設定値入力部(第1の入力手段)20と、吐出ヘッド設定値入力部(第2の入力手段)22と、CADデータ操作部(CADデータ作成手段)24と、ビットマップデータ作成部(ビットマップデータ作成手段)26と、ビットマップ処理部28と、液滴吐出データ作成部(作成手段)30と、液滴吐出データ転送部(転送手段)32と、スイッチ群34と、ヘッド駆動部38と、ヘッド駆動制御部40と、ヘッド位置検出部42と、液滴吐出タイミング制御部44と、を有している。ここで、液滴吐出タイミング制御部44は、液滴Lを吐出するタイミングについての変更を行うものである。
ビットマップデータ作成部26は、CADデータから要求される分解能のビットマップデータに変換する機能を有している。また、ビットマップ処理部28は、ビットマップデータ作成部26により作成されたビットマップデータを吐出ヘッド3aの個数、配置、あるいは液滴Lの基板5への着弾径を考慮した回路パターンの細線化の要求に応じて変更する処理を行う。
ヘッド駆動部38は、吐出ヘッド群3と一体化しており、例えばリニアモータであり、吐出ヘッド群3を基板5の搬送方向と直交する方向に移動させる。ヘッド駆動制御部40は、ヘッド駆動部38を図示してないシステムの上位コントローラの指示に基づいてヘッド駆動部38を駆動制御する。
図3は本発明の実施形態に係る液滴吐出方法を適用しない場合の吐出状態を説明する模式平面図、図4は本発明の実施形態に係る液滴吐出方法を適用した場合の吐出状態を説明する模式平面図である。なお、図3,4において、黒丸及び白丸は液滴吐出装置1から吐出される液滴Lの理想着弾位置を示し、黒丸は液滴Lが吐出される位置、白丸は液滴Lが吐出されない位置を表す。
すなわち、図4に示すように、液滴吐出タイミング制御部44は、ビットマップデータに基づいて、エンコーダ4cのエンコーダパルスからなるエンコーダ分解能単位でラッチ信号の一部を補正し、吐出間隔d1を吐出間隔d2に変更して各画素Gにおける着弾位置を揃える。
これにより、各画素Gでは、着弾位置が揃えられることにより、各画素Gに着弾する液滴Lの着弾位置が等しくなり、均一な画素Gが形成される。
つまり、画素Gに合わせて液滴Lの着弾位置を補正して各画素Gにおける着弾位置を揃えることにより、各画素Gにおける着弾のばらつきを防止することができ、製品設計上の制約なく、均一な描画を行うことができる。
なお、上記実施形態では、描画対象である画素Gに合わせて吐出間隔を補正して各画素Gにおける着弾位置を揃えたが、基板5に形成する各パネルあるいはチップを描画対象とし、これらパネルあるいはチップへの着弾位置を揃えて均一な描画を行うことも可能である。
次に、上記実施形態の液滴吐出装置1を用いて製造される電気光学装置の一例について図5から図7を参照して説明する。本実施形態では、電気光学装置の一例として有機EL装置を挙げて説明する。
図5は、本発明の実施形態に係る有機EL装置の製造工程を示す主要断面図である。
それらの格子状凹部の中に、正孔注入層220を形成し、矢印G方向から見てストライプ配列などといった所定の配列となるようにR色発光層203R、G色発光層203GおよびB色発光層203Bを各格子状凹部の中に形成する。さらに、それらの上に対向電極213を形成することによって有機EL装置201が形成される。
各絵素ピクセルを流れる電流を制御することにより、複数の絵素ピクセルにおける希望するものを選択的に発光させ、これにより、矢印H方向に希望するフルカラー像を表示することができる。
画素電極202の材料としてはITO(Indium-Tin Oxide)、酸化スズ、酸化インジウムと酸化亜鉛との複合酸化物などを用いることができる。
図6は、図5に示す製造方法で製造された有機EL装置を構成要素とした表示装置の一部を示す回路図である。図7は、図6に示す表示装置における画素領域の平面構造を示す拡大平面図である。
このことにより、発光素子513は、これを流れる電流量に応じて発光する。
次に、上記実施形態の電気光学装置を備えた電子機器について説明する。図8(a)は、携帯電話の一例を示した斜視図である。
図8(a)において、符号1000は携帯電話本体を示し、符号1001は上記実施形態の電気光学装置からなる表示部を示している。
図8(b)は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図8(b)において、符号1100は時計本体を示し、符号1101は上記実施形態の電気光学装置からなる表示部を示している。
図8(c)は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図8(c)において、符号1200は情報処理装置、符号1202はキーボードなどの入力部、符号1204は情報処理装置本体、符号1206は上記実施形態の電気光学装置からなる表示部を示している。
Claims (2)
- 基板上の複数の描画対象領域に対して、吐出ヘッドを相対的に走査させながら、前記基板と前記吐出ヘッドの相対的な移動量に応じたエンコーダパルスを分周して生成されるラッチ信号に同期した一定の吐出タイミングにて液滴を吐出する際、
前記複数の描画対象領域の配置ピッチが、前記一定の吐出タイミングで吐出される液滴の着弾位置間隔の整数倍でない場合に、
前記複数の描画対象領域に対応する複数の液滴の吐出タイミングを前記一定の吐出タイミングに維持しつつ、前記ラッチ信号の一部の補正により前記一定の吐出タイミングから変更することで、前記複数の描画対象領域に対応する複数の液滴以外の液滴の着弾位置間隔を変更し、前記複数の描画対象領域のそれぞれにおける複数の液滴の着弾位置を揃えることを特徴とする液滴吐出方法。 - 請求項1に記載の液滴吐出方法によって前記複数の描画対象領域に液滴を吐出して製造することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
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