JP4792701B2 - 液滴吐出装置、液滴吐出方法 - Google Patents

Description

本発明は、液滴吐出装置、液滴吐出方法に関するものである。

インクジェットヘッド（吐出ヘッド）などから液滴を基板上に吐出して、その基板に薄膜を形成する液滴吐出方式による電気光学装置の製造が考え出されている。電気光学装置としては、液晶装置、有機エレクトロルミネッセンス装置（以下有機ＥＬ（Electronic Luminescent）装置という）、プラズマディスプレイ装置などの表示装置がある。また、近年では、このような電気光学装置をなす基板が大型化されており、かかる大型基板について液滴吐出方式により高精細及び高精度に薄膜を描画（パターニング）することが要求されている。

そして、液滴吐出方式により液滴を基板上に吐出する従来の液滴吐出装置では、複数のノズルを一定間隔で直線上に配置したノズル列をインクジェットヘッドに設けたものがある。さらに、上記ノズル列における各ノズルの間隔を電気光学装置の画素ピッチに合わせるべく、ノズル列の方向とインクジェットヘッドの走査方向とが斜めに交差する状態で、そのインクジェットヘッドを走査する液滴吐出装置もある（例えば、特許文献１の図１９参照）。
特許第３１１１０２４号公報

しかしながら、上記特許文献１に記載されている従来の液滴吐出装置は、走査方向（例えばＹ軸方向）と直交する方向（例えばＸ軸方向）の画素ピッチについては、走査方向に対するノズル列の角度を調整することにより、任意の画素ピッチに厳密にノズルピッチ（各ノズルの間隔）を合わせることができるが、Ｙ軸方向の吐出位置については厳密に制御していないという問題点がある。すなわち、特許文献１に記載された液滴吐出装置は、Ｙ軸方向のある直線上に同一色の画素を配置した電気光学装置を製造するものであり（例えば、特許文献１の図１９参照）、Ｙ軸方向については着弾位置を問題とせずに、液滴を垂れ流し的に吐出することを前提としている。したがって、かかる従来の液滴吐出装置では画素領域以外にも液滴が塗布されることとなり、高品位な画像を表示する電気光学装置の製造が困難である。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、吐出ヘッドのノズル列の方向と走査方向とが斜めに交差する液滴吐出装置について、走査方向について所望の誤差範囲で厳密に液滴を塗布することができる液滴吐出装置、液滴吐出方法、電気光学装置の製造方法および電子機器を提供することを目的とする。
また、本発明は、吐出ヘッドにおける各ノズルピッチを画素ピッチに合わせることができ、さらに各ノズルの吐出タイミングについて一定分解能で制御することができる液滴吐出装置、液滴吐出方法、電気光学装置の製造方法および電子機器を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明の液滴吐出装置は、液状体を液滴として吐出するノズルを複数備えて該複数のノズルが列状に配置されている吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドにおける複数のノズルの配置がなすノズル列の方向と該吐出ヘッドの走査方向とが斜めに交差するように、該吐出ヘッドを被吐出物に対して相対的に移動させる移動手段と、前記吐出ヘッドの被吐出物に対する相対的な位置を検出する位置検出手段と、前記吐出ヘッドにおける各ノズルの吐出タイミングを制御する制御手段とを有してなり、前記吐出ヘッドの走査過程において、該吐出ヘッドのノズルから所定タイミングで吐出された液滴の被吐出物上での着弾位置である第１位置と、該吐出から最も早いタイミングで次に吐出された液滴の被吐出物上での着弾位置である第２位置との距離が前記吐出タイミング分解能であり、前記位置検出手段は、エンコーダからなり、前記制御手段は、前記吐出ヘッドの走査過程において、前記吐出ヘッドの走査過程において、走査方向に対するヘッドの傾き角度と、前記位置検出手段の出力信号と、に基づいて前記基板に対する前記ノズルの位置を検出し、その検出された前記ノズルの位置と、予め設定された前記基板上に吐出すべき理想の位置とを比較して、前記吐出すべき理想の位置あるいは前記吐出すべき理想の位置に対して前記吐出タイミング分解能の２分の１以内だけ離れている位置に、前記ノズルがあるときに、該ノズルから液滴を吐出させ、前記エンコーダの出力信号を分周することによって前記吐出タイミング信号を生成するタイミング信号生成機能を有し、該吐出タイミング信号に同期させて前記ノズルの吐出タイミングを制御することを特徴とすることを特徴とする。
本発明によれば、ノズル列が走査方向に対して斜めに交差するようにしながら吐出ヘッドを走査させるので、その走査過程におけるあるノズルの軌跡とこのノズルの隣のノズルがなす軌跡との間隔を任意に狭めることができ、走査方向（例えばＹ軸方向）に対して直交する方向（例えばＸ軸方向）についての吐出位置の分解能を任意に高めることができる。さらに、本発明によれば、走査過程において、複数のノズルのうちで、吐出したい理想の位置に対して吐出タイミング分解能（所定距離）の２分の１以内だけ離れている位置にあるノズルから液滴を吐出させ、その他のノズルからは吐出させない制御をすることができる。したがって、本発明の液滴吐出装置は、Ｘ軸方向について吐出分解能を高めながら、Ｙ軸方向についても、所定の吐出タイミング分解能で、すなわち所望の誤差範囲で厳密に液滴を吐出することができる。

また、本発明の液滴吐出装置は、前記吐出タイミング分解能が、前記吐出ヘッドの１つの走査過程において、該吐出ヘッドのノズルから所定タイミングで吐出された液滴の被吐出物上での着弾位置である第１位置と、該吐出から最も早いタイミングで次に吐出された液滴の被吐出物上での着弾位置である第２位置との距離であることが好ましい。
本発明によれば、走査過程において１つのノズルから連続的に液滴を吐出したときの各液滴の間隔を吐出タイミング分解能とするので、その吐出タイミング分解能で走査方向についての所望位置に液滴を吐出することができる。

また、本発明の液滴吐出装置は、前記制御手段が、一定周期のパルス信号からなる吐出タイミング信号を用いて前記ノズルの吐出タイミングを制御するとともに、該吐出タイミング信号に同期させて該ノズルの吐出タイミングを制御するものからなることが好ましい。
本発明によれば、パルス信号に同期させて各ノズルの吐出タイミングを制御することができ、液滴吐出装置の制御手段などを簡便な構成としてながら、所望の位置について高精度に液状体を塗布することができる。

また、本発明の液滴吐出装置は、前記吐出ヘッドの被吐出物に対する相対的な位置を検出する位置検出手段を有し、前記制御手段は前記位置検出手段の出力信号に基づいて前記ノズルの吐出タイミングを制御するものからなることが好ましい。前記位置検出手段としては例えばエンコーダを適用でき、前記制御手段はエンコーダの出力信号を分周することによって前記吐出タイミング信号を生成するタイミング信号生成機能を有することとしてもよい。
本発明によれば、吐出ヘッドの移動速度を任意としながら、所望位置に高解像度で液滴を吐出でき、大型基板などに対しても高速に且つ高精度に液滴を塗布することができる。

また、本発明の液滴吐出装置は、前記制御手段が、前記吐出ヘッドのノズルを吐出動作させる信号であって前記吐出タイミング信号に同期した信号であるノズル印字信号を生成する印字信号生成機能を有し、前記印字信号生成機能は、各ノズルに対して個別にノズル印字信号を生成するものであることが好ましい。
本発明によれば、例えばエンコーダなどの位置検出手段の出力信号に基づいて前記パルス信号を生成し、そのパルス信号を基として各ノズル印字信号を生成することができるので、簡便な構成としながら、各ノズルの吐出動作を高精度に制御することができる。したがって、本発明の液滴吐出装置は、例えば複数の画素パターンなどを１回の走査で精密に形成することができる。

また、本発明の液滴吐出装置は、前記制御手段が、前記ノズル列に対して平行に配置された複数の仮想的な線であって相互に前記吐出タイミング分解能の間隔をもって配置されている線からなるノズル列ラインと、前記吐出ヘッドの走査方向に対して平行に配置された複数の仮想的な線からなる走査ラインとを示す情報からなるビットマップを有し、該ビットマップを用いて前記吐出ヘッドの各ノズルの吐出タイミングを制御することが好ましい。
本発明によれば、ノズル列ラインと走査ラインとからなる編み目が菱形のビットマップを形成でき、そのビットマップを用いて高解像度にかつ迅速に液滴を吐出することができる。

また、本発明の液滴吐出装置は、前記ビットマップが被吐出物における吐出位置を規定する塗布パターン情報を含んでいることが好ましい。
本発明によれば、例えば塗布パターン情報を変更することで、任意の塗布パターンに液滴を塗布することができる。したがって、簡便に操作により、任意の塗布パターンで精密に液状体を塗布することができる。

また、本発明の液滴吐出装置は、前記塗布パターン情報が電気光学装置の表示領域をなす複数の画素パターンを示す情報を含んでいることが好ましい。
本発明の液滴吐出装置によれば、例えば、従来よりも高解像度の電気光学装置を迅速に製造することができる。

また、本発明の液滴吐出装置は、前記画素パターンが長手形状を有しており、前記ビットマップにおける走査ラインは、前記画素パターンの長手方向と平行に配置されていることが好ましい。
本発明によれば、ノズル列と走査方向とのなす角度を調整することで、走査過程でのノズルの軌跡を画素パターンの長手形状の位置に合わせることができる。さらに、各ノズルの吐出タイミングを制御することで、各画素パターン内の所望位置に高精度に液滴を吐出することができる。

上記目的を達成するために、本発明の液滴吐出方法は、液状体を液滴として吐出するノズルを複数備えて該複数のノズルが列状に配置されている吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドにおける複数のノズルの配置がなすノズル列の方向と該吐出ヘッドの走査方向とが斜めに交差するように、該吐出ヘッドを被吐出物に対して相対的に移動させる移動手段と、前記吐出ヘッドの被吐出物に対する相対的な位置を検出する位置検出手段と、前記吐出ヘッドにおける各ノズルの吐出タイミングを制御する制御手段とを有してなり、前記吐出ヘッドの走査過程において、該吐出ヘッドのノズルから所定タイミングで吐出された液滴の被吐出物上での着弾位置である第１位置と、該吐出から最も早いタイミングで次に吐出された液滴の被吐出物上での着弾位置である第２位置との距離が前記吐出タイミング分解能である液滴吐出方法であって、前記吐出ヘッドにおける複数のノズルの配置がなすノズル列の方向と該吐出ヘッドの走査方向とが斜めに交差するように、該吐出ヘッドを被吐出物に対して相対的に移動させ、前記移動において、前記吐出ヘッドの被吐出物に対する相対的な位置の検出を行い、走査方向に対するヘッドの傾き角度と、前記位置検出手段の出力信号と、に基づいて前記基板に対する前記ノズルの位置を検出し、その検出された前記ノズルの位置と、予め設定された前記基板上に吐出すべき理想の位置とを比較して、前記吐出すべき理想の位置あるいは前記吐出すべき理想の位置に対して前記吐出タイミング分解能の２分の１以内だけ離れている位置に、前記ノズルがあるときに、該ノズルから液滴を吐出させることにより、該位置についての塗布を行い、前記エンコーダの前記出力信号を分周することによって前記吐出タイミング信号を生成し、該吐出タイミング信号に同期させて該ノズルの吐出タイミングを制御することを特徴とする。
本発明によれば、吐出したい理想の位置から所定距離（例えば吐出タイミング分解能の距離）以内に液滴を着弾させることができる。また、本発明によれば、ノズル列が走査方向に対して斜めに交差するようにしながら吐出ヘッドを走査させるので、走査方向（例えばＹ軸方向）に対して直交する方向（例えばＸ軸方向）についての吐出位置の分解能を任意に高めることができる。そこで、本発明は、Ｘ軸方向について吐出分解能を高めながらＹ軸方向についても所定の分解能で、所望の位置に液滴を吐出することができる。

また、本発明の液滴吐出方法は、前記ノズル列に対して平行に配置された複数の仮想的な線であって相互に前記所定距離の間隔をもって配置されている線からなるノズル列ラインと、前記吐出ヘッドの走査方向に対して平行に配置された複数の仮想的な線からなる走査ラインと、を示す情報からなるビットマップを用いて、前記吐出ヘッドの各ノズルの吐出タイミングを制御することが好ましい。
本発明によれば、ノズル列ラインと走査ラインとからなる編み目が菱形のビットマップを用いて所望の位置に液滴を着弾させることができるので、液状体による所望のパターンを高解像度にかつ迅速に形成することができる。

上記目的を達成するために、本発明の電気光学装置の製造方法は、前記液滴吐出装置を用いて電気光学装置を製造することを特徴とする。
本発明によれば、前記液滴吐出装置を用いて基板に高精度な描画パターンを迅速に形成して、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ装置、液晶装置などの電気光学装置を製造することができる。したがって、本発明によれば、大きな画面の全体について、高精細で高品質な画像を表示することができる電気光学装置を安価に提供することができる。例えば有機ＥＬ装置の構成要素となる発光材料および正孔輸送材料などを高精細な画素パターンをなすように塗布することができる。

また、本発明の電子機器は、前記電気光学装置の製造方法を用いて製造された電気光学装置を備えたことを特徴とする。
本発明によれば、高精細で高品質な画像を表示できる電子機器を安価に提供することができる。特に本発明は、大画面化しながら高品位な画像を表示できる電子機器を安価に提供することができる。

以下、本発明の実施形態に係る液滴吐出装置および液滴吐出方法について、図１から図８を参照して説明する。
（液滴吐出装置の主要構成）
本実施形態では、有機ＥＬ装置などの電気光学装置の画素を形成する工程に、本発明に係る液滴吐出装置を用いた例を挙げて説明する。図１は、本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の吐出動作を示す模式概念図である。本実施形態の液滴吐出装置における吐出ヘッド３は、複数のノズル３ａ，３ｂ，３ｃを備えている。ノズル３ａ，３ｂ，３ｃは、インクなどの液状体を液滴として吐出するものである。ノズル３ａ，３ｂ，３ｃは、相互に一定の間隔をもって直線上に配置されており、ノズル列を構成している。

本液滴吐出装置から吐出される液滴が着弾する被吐出物（電気光学装置）は、基板上に複数の画素領域５０が形成されている。各画素領域５０が、一定間隔をもって碁盤の目のように配置されている。すなわち、各画素領域５０は、図面のＸ軸と平行に且つ一定間隔で配置された直線上に一定間隔で配置されているとともに、図面のＹ軸と平行に且つ一定間隔で配置された直線上に一定間隔で配置されている。各画素領域５０は、赤画素領域（Ｒ），緑画素領域（Ｇ）および青画素領域（Ｂ）で構成されている。そして、図面のＹ軸と平行に且つ一定間隔で配置された直線上には同一色の画素領域５０が配置され、図面のＸ軸方向については赤画素領域（Ｒ），緑画素領域（Ｇ）および青画素領域（Ｂ）が順次にかつ繰り返して配置されている。

また、本液滴吐出装置の吐出ヘッド３は、矢印Ｓの方向すなわちＹ軸方向に走査され、その走査過程で液滴を吐出する。ここで、吐出ヘッド３におけるノズル３ａ，３ｂ，３ｃがなすノズル列の方向と該吐出ヘッドの走査方向とが斜めに交差するように、その吐出ヘッド３は被吐出物に対して相対的に移動させられる。そして、図７に示すように、走査過程において各ノズル３ａ，３ｂ，３ｃがなす軌跡（走査時のノズルピッチ）が赤画素領域（Ｒ）上にくるように、吐出ヘッド３のノズル列と走査方向とがなす角度θが調整されている。図７は、吐出ヘッド３のノズル列と走査方向とがなす角度を示す説明図である。換言すれば、走査時のノズルピッチと赤画素領域（Ｒ）についてのＸ軸方向の画素ピッチとが一致するように、吐出ヘッド３の角度（傾き）θが調整されている。このように本実施形態の液滴吐出装置は、吐出ヘッド３の角度θを調整することにより、任意の画素ピッチにノズルピッチを合わせることができ、１回の走査で複数列の画素領域５０に液滴を着弾させることができ、製造工程を迅速化させることができる。

また、本液滴吐出装置の吐出ヘッド３は、図８に示す液滴６０’のように垂れ流し的に液状体を吐出するのではなく、図１に示す液滴が着弾した位置（吐出タイミング）６１，６２，６３のように所定の微小間隔をもって順次吐出する。図８は液滴を垂れ流し的に吐出した状態を示す模式平面図である。ここで、連続して吐出された液滴相互の間隔を吐出タイミング分解能と呼ぶ。図１における間隔ｄが本液滴吐出装置の吐出タイミング分解能である。換言すれば、吐出タイミング分解能は、吐出ヘッド３の１つの走査過程において、その吐出ヘッドのノズル３ａ（３ｂ，３ｃ）から所定タイミングで吐出された液滴の被吐出物上での着弾位置である第１位置と、その吐出から最も早いタイミングで次に吐出された液滴の被吐出物上での着弾位置である第２位置との距離である。

ところで、図８に示すように液滴６０’を垂れ流し的に吐出すると、液滴６０’が画素領域５０以外にも滴下されるので、かかる画素領域５０以外に滴下された液滴は無駄となるとともに表示品質を阻害するおそれもある。そこで、本実施形態の液滴吐出装置は、図３に示すように、画素領域５０における理想の位置６０を設定して、その位置又はその近傍にのみ液滴を厳密に吐出することとする。図３は、本液滴吐出装置によって塗布される被吐出物の塗布パターン（すなわち理想的な塗布パターン）の一例を示す模式平面図である。

ところが、本液滴吐出装置の吐出ヘッド３は、走査方向に対して傾いているので、図４に示すように、吐出可能タイミングにおいてすべてのノズル３ａ，３ｂ，３ｃが吐出したい位置（理想の位置６０又はその近傍）にあるわけではない。図４は、本液滴吐出装置における吐出可能位置（タイミング）と吐出すべき位置とを示す模式平面図である。吐出可能タイミングは吐出タイミング分解能（間隔ｄ）毎に生じる。すなわち、図４において、吐出可能タイミングは位置６０ａ，６０ｂとなるが、位置６０ａは吐出すべき位置であり、位置６０ｂは吐出すべきでない位置である。例えば、第１行目において、ノズル３ａ，３ｂは吐出すべき位置６０ａであるが、ノズル３ｃは吐出すべきでない位置６０ｂとなっている。

そこで、本液滴吐出装置は、吐出ヘッド３における各ノズル３ａ，３ｂ，３ｃの吐出タイミングをそれぞれ個別に制御する制御手段を備えることとしている。その制御手段は、図５に示すように、吐出ヘッド３の走査過程において、吐出したい理想の位置６０に対して、吐出タイミング分解能（間隔ｄ）の２分の１（ｄ／２）以内だけ離れている位置６０ａに、ノズル３ａ，３ｂ，３ｃがあるときに、そのノズルから液滴を吐出させる。図５は各ノズル３ａ，３ｂ，３ｃの吐出タイミング（位置）を示す模式拡大平面図である。

具体的には、図１に示すように、ノズル３ａ，３ｂ，３ｃごとに個別に吐出タイミングを制御する。すなわち、ノズル３ａは、第５，第７，第１０，第１２タイミングで液滴を吐出する。ノズル３ｂは、第７，第９，第１２，第１４タイミングで液滴を吐出する。ノズル３ｃは、第８，第１０，第１３，第１５タイミングで液滴を吐出する。本液滴吐出装置の制御手段は、上記のように各ノズル３ａ，３ｂ，３ｃの吐出タイミングを制御するために、図２に示すような、一定周期のパルス信号からなる吐出タイミング信号を用いている。

図２は、本液滴吐出装置のノズル３ａ，３ｂ，３ｃをそれぞれ駆動制御する第１から第３ノズル印字信号の一例を示す波形図である。図２における吐出タイミング信号の１周期が吐出タイミング分解能（間隔ｄ）に相当する。そして本液滴吐出装置の制御手段は、吐出タイミング信号に同期させて各ノズル３ａ，３ｂ，３ｃの吐出タイミングを直接制御する第１から第３ノズル印字信号を生成する印字信号生成機能を有している。第１ノズル印字信号がノズル３ａの吐出タイミングを規定し、第２ノズル印字信号がノズル３ｂの吐出タイミングを規定し、第３ノズル印字信号がノズル３ｃの吐出タイミングを規定している。例えば第３ノズル信号は吐出タイミング信号における第８，第１０，第１３パルスに同期してハイ・レベルとなっているので、このタイミングで液滴が図１における位置６１，６２，６３に吐出される。

これらにより、本実施形態の液滴吐出装置によれば、走査過程において、複数のノズル３ａ，３ｂ，３ｃのうちで、吐出したい理想の位置に対して吐出タイミング分解能（間隔ｄ）の２分の１以内だけ離れている位置にあるノズルから液滴を吐出させ、その他のノズルからは吐出させない制御をすることができる。したがって、本液滴吐出装置は、吐出ヘッド３を走査方向（Ｙ軸方向）に対して斜めにすることによりＸ軸方向について吐出分解能を高めながら、Ｙ軸方向についても、所定の吐出タイミング分解能で、すなわち所望の誤差範囲（間隔ｄ）で厳密に液滴を吐出することができる。

また、本実施形態の液滴吐出装置は、吐出ヘッド３の被吐出物に対する相対的な位置を検出するエンコーダなどの位置検出手段を備える。本液滴吐出装置の制御手段は、エンコーダの出力信号を分周することによって図２に示す吐出タイミング信号を生成するタイミング信号生成機能を有することが好ましい。例えば、エンコーダが１μｍ毎に１パルス出力するものとして、その出力信号を５対１に分周して１周期が５μｍに対応する吐出タイミング信号を生成してもよい。このようにすれば、吐出ヘッド３の移動速度を任意としながら、所望位置に高解像度で液滴を吐出でき、大型基板などに対しても高速に且つ高精度に液滴を塗布することができる。例えば、吐出ヘッド３の走査速度をより高速にしながら走査方向についでも高解像度で液滴を塗布することができる。

次に、本実施形態の液滴吐出装置が備えているビットマップについて図６などを参照して説明する。図６は、本液滴吐出装置の記憶手段に格納されているデータからなるビットマップ１００を示す概念図である。このビットマップ１００は、吐出ヘッド３のノズル列に対して平行に配置された複数の仮想的な線であって相互に吐出タイミング分解能の間隔をもって配置されている線からなるノズル列ラインＮＬと、吐出ヘッド３の走査方向に対して平行に配置された複数の仮想的な線からなる走査ラインＳＬとを示す情報からなる。

すなわち、ノズル列ラインＮＬは図６におけるＸ’軸と平行に配置され、走査ラインＳＬは図６におけるＹ’軸と平行に配置されている。そして、各ノズル列ラインＮＬは、吐出タイミング分解能で区切られたＹ’軸の座標で特定され、各走査ラインＳＬは、画素ピッチで区切られたＸ’軸の座標で特定される。例えば、Ｘ’軸の座標は被吐出物の画素領域５０のＸ軸成分を特定し、Ｙ’軸は各ノズル３ａ，３ｂ，３ｃの吐出タイミング（すなわち画素領域５０のＹ軸成分）を特定する。

そこで、ビットマップ１００には被吐出物における吐出位置を規定する塗布パターン情報が含まれており、その塗布パターン情報はＸ’軸座標及びＹ’軸座標で特定される。このようなビットマップ１００は、被吐出物（基板）に形成すべきパターンの設計図となるＣＡＤデータについて、ビットマップデータ作成部（後述）が所定の処理を施すことで生成される。本液滴吐出装置の制御手段は、このビットマップ１００を用いて吐出ヘッド３の各ノズル３ａ，３ｂ，３ｃの吐出タイミングを制御するので、簡便な操作により、任意の塗布パターンについて高解像度にかつ迅速に液滴を塗布することができる。

（液滴吐出装置の具体的な構成）
次に、本実施形態の液滴吐出装置におけるその他の具体的な構成について、図９及び図１０を参照して説明する。図９は本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の全体構成を示す斜視図である。本液滴吐出装置は、上記図１から図８に示す構成及び動作を具現できるものである。図９において上記実施形態と同一の構成要素には同一符号を付している。

本液滴吐出装置１は、上記の制御手段をなす制御装置２と、吐出ヘッド３と、ステージ４と、を主な構成要素として備えている。液滴吐出装置１は、制御装置２が吐出ヘッド３及びステージ４の動作を制御することによって、ステージ４に載置された基板５に液滴を吐出し、当該基板５上に所定のパターンを形成するものである。

そして、制御装置２は、発明に係る制御手段をなすものであり、本発明に係る液滴吐出方法を用いて吐出ヘッド３を制御して、液滴吐出タイミングを制御するものである。なお以下の説明においては、吐出ヘッド３の配置方向をＸ方向とし、また、基板５の搬送方向（走査方向）をＹ方向とし、また、ＸＹ平面内における面内回転方向をθ方向とする。

吐出ヘッド３は、１列に配列した複数の吐出ヘッドから構成されているものとしてもよい。そして、吐出ヘッド３は、基台６から立設する支柱７、７間にステージ４を跨ぐようにＸ方向に架設されたＸ方向軸８に移動可能に設けられている。吐出ヘッド３には、液滴を吐出するノズルが基板５に向かって多数穿設されている（例えば、１８０個のノズルが一列に穿設されている）。

吐出ヘッド３は、液滴を貯留するキャビティと、当該キャビティに連通するノズルと、当該キャビティ内に貯留された液状体をノズルから液滴として吐出する液滴吐出手段とを有した構成となっている。ここで、液滴吐出手段とは、圧電素子（ピエゾ素子）を意味しており、吐出ヘッド３の壁面に設けられている。このように構成された吐出ヘッド３においては、圧電素子に所望の電圧波形を供給することによって、吐出ヘッド３ａの壁面が変形し、キャビティ内の容積が変化し、ノズルから所定量の液滴が吐出される。

ここで、各ノズルの圧電素子に供給される電圧波形は、図２に示す第１から第３ノズル印字信号を用いて生成され、その印字信号と同期した波形として生成される。なお、吐出ヘッド３の液滴吐出手段としては、上記の圧電素子を用いた電気機械変換体以外でもよく、例えば、エネルギ発生素子として電気熱変換体を用いた方式や、帯電制御型、加圧振動型といった連続方式、静電吸引方式さらにはレーザーなどの電磁波を照射して発熱させ、この発熱による作用で液状体を吐出させる方式を採用することもできる。

ステージ４は、被吐出物である基板５を位置決めして載置するピン（図示せず）などを備える載置部４ａと、当該載置部４ａをＸＹ平面上で面内回転可能に連結されたベース部４ｂとによって構成されたものである。また、ベース部４ｂには、エンコーダ４ｃが設けられている。このエンコーダ４ｃは、基台６のＹ方向に沿って設けられたリニアスケール１５のスケールを読み取るものであって、これによってＹ方向のステージ４の位置を検出することが可能となる。リニアスケール１５のスケールは、メートル系単位で設けられていても、ＤＰＩ系単位で設けられていてもよい。このエンコーダ４ｃの出力信号を分周することによって図２に示す吐出タイミング信号を生成する。

さらに、ステージ４は、Ｘ方向と直交するように敷設してあるＹ方向軸９に沿って移動可能に構成されている。ステージ４をＹ方向に移動させる搬送機構としては、Ｙ方向軸９上に配列した永久磁石１０と、ステージ４のベース部４ｂの下側に固設したプレート１１にＹ方向に沿って、かつ、永久磁石１０に近接させて配列した複数のコイル（図示せず）とから構成されるリニアモータがあげられる。

基板５は、図３に示すような塗布パターンが形成される被吐出物であり、例えば有機ＥＬ装置などの電気光学装置をなす基板が該当する。基板５の材料としてはガラスなどの透明基板が用いられるが、透明性を要求しない場合には金属板などを採用してもよい。また当該基板５のサイズは、縦横がそれぞれ１ｍを超えるものとしてもよい。また、基板５上に形成されるパターンとしては、ＲＧＢ色を有するカラーフィルタによって形成される画素パターンや、ＴＦＴ回路を形成する場合の金属配線等が挙げられる。例えば、基板５によって有機ＥＬ装置を構成する場合、発光材料又は正孔輸送材料などからなる画素パターンを本液滴吐出装置１で形成することとしてもよい。

制御装置２は、液滴吐出装置１の各構成要素に電気的に接続されたものであり、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ、ＲＡＭ、入出力用のインターフェース、発振回路等がバス接続された所謂コンピュータである。このような制御装置２は、予め入力されたプログラムに応じて液滴吐出装置１を統括して制御するようになっている。

次に、制御装置２の詳細な構成について図１０を参照して説明する。図１０は、制御装置２の機能を説明するためのブロック図である。図１０に示すように、制御装置２は、液滴吐出データ設定値入力部（第１の入力手段）２０と、吐出ヘッド設定値入力部（第２の入力手段）２２と、ＣＡＤデータ操作部（ＣＡＤデータ作成手段）２４と、ビットマップデータ作成部（ビットマップデータ作成手段）２６と、ビットマップ処理部２８と、液滴吐出データ作成部（作成手段）３０と、液滴吐出データ転送部（転送手段）３２と、スイッチ群３４と、ヘッド駆動部３８と、ヘッド駆動制御部４０と、ヘッド位置検出部４２と、液滴吐出タイミング制御部４４と、を有している。

液滴吐出データ設定値入力部２０は、基板５の寸法と、基板５を複数のチップ（領域）として切り出すためのチップの寸法と、隣接するチップのピッチ（相互間隔）と、画素（パターン）の配列と、画素の個数と、画素の寸法（画素の縦、横のサイズ）と、隣接する画素のピッチ（相互間隔）と、を設定する機能を有している。吐出ヘッド設定値入力部２２は、画素を形成するために必要な液滴量と、画素を形成するために必要な吐出ヘッド３と基板５とのパス数（相対移動動作の回数）と、使用する上記の吐出ヘッド３の個数及び吐出ヘッド３の配置を設定する機能を有している。

ＣＡＤデータ操作部２４は、基板に形成すべきパターンの設計図となるＣＡＤデータを生成する機能を有し、図形情報（ベクトルデータ、図形の属性等のデータ）を入力するための入力手段と、図形処理機能を有するワークステーション等から構成されている。ここでＣＡＤデータは、ＤＰＩ系の単位で生成してもよく、メートル系の単位で生成してもよい。

ビットマップデータ作成部２６は、ＣＡＤデータから要求される分解能のビットマップデータに変換する機能を有している。このビットマップデータは、図６に示すビットマップを形成するデータである。また、ビットマップ処理部２８は、ビットマップデータ作成部２６により作成されたビットマップデータを吐出ヘッドの個数、配置、あるいは液滴の基板への着弾径を考慮した回路パターンの細線化の要求に応じて変更する処理を行う。すなわち、ビットマップ処理部２８は、吐出ヘッド３の各ノズルについて、吐出したい理想の位置に対して吐出タイミング分解能の２分の１以内だけ離れている位置で、該ノズルから液滴を吐出させるための処理を行う。

液滴吐出データ作成部３０は、所望のパターンサイズとなるように液滴が着弾した際の着弾径を考慮し、液滴吐出データ（バイナリの時系列データ）を作成するものである。すなわち、液滴吐出データ作成部３０は、ビットマップ処理部２８の処理結果と、滴吐出データ設定値入力部２０及び吐出ヘッド設定値入力部２２の出力信号とに基づいて、各ノズルの駆動データをなす液滴吐出データを作成する。

液滴吐出データ転送部３２は、液滴吐出データ作成部３０から出力される液滴吐出データを吐出ヘッド３の液滴吐出手段に転送する機能を有する。スイッチ群３４は、液滴吐出データ転送部３２と吐出ヘッド３との間に設けられ、吐出ヘッド３に含まれる複数の各駆動部に１対１に対応して接続され、液滴吐出データ転送部３２から転送される記録データによりオン、オフ状態に設定される複数のスイッチから構成されている。ヘッド駆動部３８は、吐出ヘッド３と一体化しており、例えばリニアモータであり、吐出ヘッド３を基板５の搬送方向と直交する方向に移動させる。ヘッド駆動制御部４０は、ヘッド駆動部３８を図示してないシステムの上位コントローラの指示に基づいてヘッド駆動部３８を駆動制御する。

ヘッド位置検出部４２は、基板５が固定されるステージ４の位置の変位量、即ち、基板５上における吐出ヘッド３の相対位置を検出する機能を有するものである。当該ヘッド位置検出部４２は、上記のエンコーダ４ｃに相当するものである。液滴吐出タイミング制御部４４は、ヘッド位置検出部４２の検出出力に基づいて、スイッチ群３４の動作を制御する。そこで、スイッチ群３４の各スイッチは、液滴吐出データ転送部３２から送られてきた液滴吐出データと液滴吐出タイミング制御部４４から送られてきた吐出ヘッド３の位置を示すデータとによりオン／オフ状態が制御され、吐出ヘッド３の各ノズル３ａ，３ｂ，３ｃを駆動する第１から第３ノズル印字信号（図２参照）を生成して出力する。

これらにより、本実施形態の液滴吐出装置１は、走査方向について、吐出したい理想の位置から吐出タイミング分解能（間隔ｄ）以内に液滴を着弾させることができる。また、本実施形態の液滴吐出装置１によれば、ノズル列が走査方向に対して斜めに交差するようにしながら吐出ヘッド３を走査させるので、走査方向に対して直交する方向についての吐出位置の分解能を任意に高めることができる。そこで、液滴吐出装置１は、走査方向に直交する方向について吐出分解能を高めながら走査方向についても所定の分解能で、所望の位置に液滴を吐出することができる。

（電気光学装置の製造方法）
次に、本実施形態に係る電気光学装置の製造方法について、図１１から図１３を参照して説明する。本製造方法では、上記実施形態の液滴吐出装置１を用いており、電気光学装置の一例として有機ＥＬ装置を挙げて説明する。図１１は、本発明の実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造工程を示す主要断面図である。

図１１（ｄ）に示すように、有機ＥＬ装置２０１は、透明基板２０４上に画素電極２０２を形成し、各画素電極２０２間にバンク２０５を矢印Ｇ方向から見て格子状に形成する。それらの格子状凹部の中に、正孔注入層２２０を形成し、矢印Ｇ方向から見てストライプ配列などといった所定の配列となるようにＲ色発光層２０３Ｒ、Ｇ色発光層２０３ＧおよびＢ色発光層２０３Ｂを各格子状凹部の中に形成する。さらに、それらの上に対向電極２１３を形成することによって有機ＥＬ装置２０１が形成される。

上記画素電極２０２をＴＦＤ（Thin Film Diode:薄膜ダイオード）素子などといった２端子型のアクティブ素子によって駆動する場合には、上記対向電極２１３は矢印Ｇ方向から見てストライプ状に形成される。また、画素電極２０２をＴＦＴ（Thin Film Transistor:薄膜トランジスタ）などといった３端子型のアクティブ素子によって駆動する場合には、上記対向電極２１３は単一な面電極として形成される。

各画素電極２０２と各対向電極２１３とによって挟まれる領域が１つの絵素ピクセルとなり、Ｒ、Ｇ、Ｂ３色の絵素ピクセルが１つのユニットとなって１つの画素を形成する。各絵素ピクセルを流れる電流を制御することにより、複数の絵素ピクセルにおける希望するものを選択的に発光させ、これにより、矢印Ｈ方向に希望するフルカラー像を表示することができる。

上記有機ＥＬ装置２０１は、例えば、次に示す製造方法によって製造される。すなわち図１１（ａ）のように、透明基板２０４の表面にＴＦＤ素子又はＴＦＴ素子といった能動素子を形成し、さらに画素電極２０２を形成する。形成方法としては、例えばフォトリソグラフィー法、真空蒸着法、スパッタリング法、パイロゾル法などを用いることができる。画素電極２０２の材料としてはＩＴＯ（Indium-Tin Oxide）、酸化スズ、酸化インジウムと酸化亜鉛との複合酸化物などを用いることができる。

次に、図１１（ａ）に示すように、隔壁すなわちバンク２０５を周知のパターンニング手法、例えばフォトリソグラフィー法を用いて形成し、このバンク２０５によって各透明な画素電極２０２の間を埋める。これにより、コントラストの向上、発光材料の混色の防止、画素と画素との間からの光漏れなどを防止することができる。バンク２０５の材料としては、ＥＬ発光材料の溶媒に対して耐久性を有するものであれば特に限定されないが、フロロカーボンガスプラズマ処理によりテフロン（登録商標）化できること、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミドなどといった有機材料が好ましい。

次に、機能性液状体としての正孔注入層用インクを塗布する直前に、透明基板２０４に酸素ガスとフロロカーボンガスプラズマの連続プラズマ処理を行う。これにより、ポリイミド表面は撥水化され、ＩＴＯ表面は親水化され、液滴を微細にパターニングするための基板側の濡れ性について制御できる。プラズマを発生する装置としては、真空中でプラズマを発生する装置でも、大気中でプラズマを発生する装置でも同様に用いることができる。

次に、図１１（ａ）に示すように、正孔注入層用インクの液滴２５８を図９に示す液滴吐出装置１の吐出ヘッド３から吐出し、各画素電極２０２の上にパターニング塗布を行う。この液滴２５８の吐出タイミングすなわち吐出位置は、上述のように吐出したい理想の位置に対して吐出タイミング分解能の２分の１以内だけ離れている位置（ｄ／２）に、厳密に制御される。したがって、液滴２５８は、バンク２０５で囲まれた所望の吐出領域すなわち各フィルタエレメント形成領域内のみに正確に着弾する。その塗布後、真空（１ｔｏｒｒ）中、室温、２０分という条件で溶媒を除去する。この後、大気中、２００℃（ホットプレート上）、１０分の熱処理により、発光層用インクと相溶しない正孔注入層２２０を形成する。上記条件では、膜厚は４０ｎｍであった。

次に、図１１（ｂ）に示すように、各フィルタエレメント形成領域内の正孔注入層２２０の上に、機能性液状体であるＥＬ発光材料としてのＲ発光層用インクおよび機能性液状体であるＥＬ発光材料としてのＧ発光層用インクを塗布する。ここでも、各発光層用インクは、図９に示す液滴吐出装置１の吐出ヘッド３から液滴２５８として吐出されて各フィルタエレメント形成領域内に着弾する。そして、この液滴２５８の吐出タイミングも誤差が所定距離（ｄ／２）以内に制御されるので、各液滴２５８は各フィルタエレメント形成領域内に正確に着弾する。

発光層用インクの塗布後、真空（１ｔｏｒｒ）中、室温、２０分などという条件で溶媒を除去する。続けて、窒素雰囲気中、１５０℃、４時間の熱処理により共役化させてＲ色発光層２０３ＲおよびＧ色発光層２０３Ｇを形成する。上記条件により、膜厚は５０ｎｍであった。熱処理により共役化した発光層は溶媒に不溶である。

なお、発光層を形成する前に正孔注入層２２０に酸素ガスとフロロカーボンガスプラズマの連続プラズマ処理を行ってもよい。これにより、正孔注入層２２０上にフッ素化物層が形成され、イオン化ポテンシャルが高くなることにより正孔注入効率が増し、発光効率の高い有機ＥＬ装置を提供できる。

次に、図１１（ｃ）に示すように、機能性液状体であるＥＬ発光材料としてのＢ色発光層２０３Ｂを各絵素ピクセル内のＲ色発光層２０３Ｒ、Ｇ色発光層２０３Ｇおよび正孔注入層２２０の上に重ねて形成する。これにより、Ｒ、Ｇ、Ｂの３原色を形成するのみならず、Ｒ色発光層２０３ＲおよびＧ色発光層２０３Ｇとバンク２０５との段差を埋めて平坦化することができる。これにより、上下電極間のショートを確実に防ぐことができる。Ｂ色発光層２０３Ｂの膜厚を調整することで、Ｂ色発光層２０３ＢはＲ色発光層２０３ＲおよびＧ色発光層２０３Ｇとの積層構造において、電子注入輸送層として作用してＢ色には発光しない。

以上のようなＢ色発光層２０３Ｂの形成方法としては、例えば湿式法として一般的なスピンコート法を採用することもできるし、あるいは、Ｒ色発光層２０３ＲおよびＧ色発光層２０３Ｇの形成法と同様のインクジェット法を採用することもできる。

その後、図１１（ｄ）に示すように、対向電極２１３を形成することにより、目標とする有機ＥＬ装置２０１が製造される。対向電極２１３はそれが面電極である場合には、例えば、Ｍｇ、Ａｇ、Ａｌ、Ｌｉなどを材料として、蒸着法、スパッタ法などといった成膜法を用いて形成できる。また、対向電極２１３がストライプ状電極である場合には、成膜された電極層をフォトリソグラフィー法などといったパターニング手法を用いて形成できる。

以上に説明した有機ＥＬ装置２０１の製造方法によれば、正孔注入層用インクおよび各発光層用インクについて、図９に示す液滴吐出装置１の吐出ヘッド３から液滴２５８として吐出されて各フィルタエレメント形成領域内に着弾させることができる。したがって本製造方法によれば、正孔注入層用インク又は各発光層用インクがバンク２０５上に塗布されるなどの所望領域以外に塗布されることを回避でき、大きな画面の全体について高精細で高品質な画像を表示できる大画面の有機ＥＬ装置２０１を簡便に且つ迅速に製造することができる。

また、本実施形態の有機ＥＬ装置の製造方法では、液滴吐出装置１を用いることにより吐出ヘッド３を用いたインク吐出によってＲ、Ｇ、Ｂの各色絵素ピクセルを形成するので、フォトリソグラフィー法を用いる方法のような複雑な工程を経る必要もなく、またインクなどの材料を浪費することもない。

次に、本実施形態の有機ＥＬ装置の回路構成について図１２および図１３を参照して説明する。図１２は、図１１に示す製造方法で製造された有機ＥＬ装置の回路構成を示す回路図である。図１３は図１２に示す有機ＥＬ装置における画素領域の平面構造を示す拡大平面図である。

図１２において、有機ＥＬ装置５０１は、ＥＬ表示素子を用いたアクティブマトリックス型の表示装置である。この表示装置５０１は、透明な表示基板５０２上に、複数の走査線５０３と、これら走査線５０３に対して交差する方向に延びる複数の信号線５０４と、これら信号線５０４に並列に延びる複数の共通給電線５０５とがそれぞれ配線された構成を有している。そして、走査線５０３と信号線５０４との各交点には、画素領域５０１Ａが設けられている。

信号線５０４に対しては、シフトレジスタ、レベルシフタ、ビデオライン、アナログスイッチを有したデータ側駆動回路５０７が設けられている。また、走査線５０３に対しては、シフトレジスタおよびレベルシフタを有した走査側駆動回路５０８が設けられている。そして、画素領域５０１Ａのそれぞれには、走査線５０３を介して走査信号がゲート電極に供給されるスイッチング薄膜トランジスタ５０９と、このスイッチング薄膜トランジスタ５０９を介して信号線５０４から供給される画像信号を蓄積して保持する蓄積容量ｃａｐと、この蓄積容量ｃａｐによって保持された画像信号がゲート電極に供給されるカレント薄膜トランジスタ５１０と、このカレント薄膜トランジスタ５１０を介して共通給電線５０５に電気的に接続したときに共通給電線５０５から駆動電流が流れ込む画素電極５１１と、この画素電極５１１および反射電極５１２間に挟み込まれる発光素子５１３とが設けられている。

この構成により、走査線５０３が駆動されてスイッチング薄膜トランジスタ５０９がオンすると、その時の信号線５０４の電位が蓄積容量ｃａｐに保持される。この蓄積容量ｃａｐの状態に応じて、カレント薄膜トランジスタ５１０のオン・オフ状態が決まる。そして、カレント薄膜トランジスタ５１０のチャネルを介して、共通給電線５０５から画素電極５１１に電流が流れ、さらに発光素子５１３を通じて反射電極５１２に電流が流れる。このことにより、発光素子５１３は、これを流れる電流量に応じて発光する。

ここで、画素領域５０１Ａは、反射電極５１２および発光素子５１３を取り除いた状態の有機ＥＬ装置５０１の拡大平面図である図１３に示すように、平面状態が長方形の画素電極５１１の４辺が、信号線５０４、共通給電線５０５、走査線５０３および図示しない他の画素電極５１１用の走査線５０３によって囲まれた配置となっている。

このような構成の有機ＥＬ装置５０１は、上述の有機ＥＬ装置の製造方法を用いて製造されているので、比較的安価でありながら、大きな画面の全体について高精細で高品質な画像を表示することができる。

（電子機器）
次に、上記実施形態の製造方法で製造された電気光学装置（有機ＥＬ装置）を備えた電子機器について説明する。
図１４（ａ）は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図１４（ａ）において、符号１０００は携帯電話本体を示し、符号１００１は上記実施形態の電気光学装置からなる表示部を示している。図１４（ｂ）は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図１４（ｂ）において、符号１１００は時計本体を示し、符号１１０１は上記実施形態の電気光学装置からなる表示部を示している。図１４（ｃ）は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図１４（ｃ）において、符号１２００は情報処理装置、符号１２０２はキーボードなどの入力部、符号１２０４は情報処理装置本体、符号１２０６は上記実施形態の電気光学装置からなる表示部を示している。

図１４に示す電子機器は、上記実施形態の電気光学装置を備えているので、表示部を大画面化しても、その表示部において高精細で高品質な画像を表示することができ、低コストで製造することができる。

なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能であり、実施形態で挙げた具体的な材料や層構成などはほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。例えば、上記実施形態では電気光学装置の一例として有機ＥＬ装置を挙げているが、本発明はこれに限定されるものではなく、プラズマディスプレイ装置、液晶装置などの各種電気光学装置に本発明を適用でき、カラーフィルタの着色材料の塗布などに本発明を適用することもできる。また本発明に係る液滴吐出装置による形成物は、画素などに限定されるものではなく、配線パターン、電極、各種半導体素子などを、本発明に係る液滴吐出装置又は液滴吐出方法を用いて形成することができる。

本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の吐出動作を示す模式概念図である。 同上の液滴吐出装置の各ノズルを制御する信号の一例を示す波形図である。 理想的な塗布パターンの一例を示す模式平面図である。 同上の各ノズルの吐出可能位置と吐出すべき位置とを示す模式平面図である。 同上の各ノズルの吐出タイミングを示す模式拡大平面図である。 同上の液滴吐出装置のビットマップを示す概念図である。 同上の液滴吐出装置のノズル列と走査方向とがなす角度を示す説明図である。 液滴を垂れ流し的に吐出した状態を示す模式平面図である。 同上の液滴吐出装置の全体構成例を示す斜視図である。 同上の液滴吐出装置における制御装置の機能を示すブロック図である。 本発明の実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造工程を示す主要断面図である。 同上の製造工程を用いて製造された有機ＥＬ装置の回路図である。 同上有機ＥＬ装置における画素領域の平面構造を示す拡大平面図である。 同上の有機ＥＬ装置を備えた電子機器を示す斜視図である。

符号の説明

１…液滴吐出装置、２…制御装置、３…吐出ヘッド、３ａ，３ｂ，３ｃ…ノズル、４…ステージ、４ｃ…エンコーダ、５…基板、５０…画素領域、６０，６０ａ，６０ｂ，６１，６２，６３…位置（吐出タイミング）、６０’…液滴、１００…ビットマップ、ｄ…間隔、ＮＬ…ノズル列ライン、Ｓ…矢印、ＳＬ…走査ライン

Claims (9)

1. 液状体を液滴として吐出するノズルを複数備えて該複数のノズルが列状に配置されている吐出ヘッドと、
   前記吐出ヘッドにおける複数のノズルの配置がなすノズル列の方向と該吐出ヘッドの走査方向とが斜めに交差するように、該吐出ヘッドを被吐出物に対して相対的に移動させる移動手段と、
   前記吐出ヘッドの被吐出物に対する相対的な位置を検出する位置検出手段と、
   前記吐出ヘッドにおける各ノズルの吐出タイミングを制御する制御手段とを有してなり、
   前記吐出ヘッドの走査過程において、該吐出ヘッドのノズルから所定タイミングで吐出された液滴の被吐出物上での着弾位置である第１位置と、該吐出から最も早いタイミングで次に吐出された液滴の被吐出物上での着弾位置である第２位置との距離が前記吐出タイミング分解能であり、
   前記位置検出手段は、エンコーダからなり、
   前記制御手段は、前記吐出ヘッドの走査過程において、走査方向に対するヘッドの傾き角度と、前記位置検出手段の出力信号と、に基づいて前記基板に対する前記ノズルの位置を検出し、その検出された前記ノズルの位置と、予め設定された前記基板上に吐出すべき理想の位置とを比較して、前記吐出すべき理想の位置あるいは前記吐出すべき理想の位置に対して前記吐出タイミング分解能の２分の１以内だけ離れている位置に、前記ノズルがあるときに、該ノズルから液滴を吐出させるもので、前記位置検出手段の出力信号を分周することによって吐出タイミング信号を生成するタイミング信号生成機能を有し、該吐出タイミング信号に同期させて前記ノズルの吐出タイミングを制御することを特徴とする液滴吐出装置。
2. 前記制御手段は、一定周期のパルス信号からなる前記吐出タイミング信号を用いて前記ノズルの吐出タイミングを制御することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
3. 前記制御手段は、前記吐出ヘッドのノズルを吐出動作させる信号であって前記吐出タイミング信号に同期した信号であるノズル印字信号を生成する印字信号生成機能を有し、
   前記印字信号生成機能は、各ノズルに対して個別にノズル印字信号を生成するものであることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
4. 前記制御手段は、前記ノズル列に対して平行に配置された複数の仮想的な線であって相互に前記吐出タイミング分解能の間隔をもって配置されている線からなるノズル列ラインと、前記吐出ヘッドの走査方向に対して平行に配置された複数の仮想的な線からなる走査ラインとを示す情報からなるビットマップを有し、該ビットマップを用いて前記吐出ヘッドの各ノズルの吐出タイミングを制御することを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
5. 前記ビットマップは、被吐出物における吐出位置を規定する塗布パターン情報を含んでいることを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出装置。
6. 前記塗布パターン情報は、電気光学装置の表示領域をなす複数の画素パターンを示す情報を含んでいることを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出装置。
7. 前記画素パターンは、長手形状を有しており、
   前記ビットマップにおける走査ラインは、前記画素パターンの長手方向と平行に配置されていることを特徴とする請求項６に記載の液滴吐出装置。
8. 液状体を液滴として吐出するノズルを複数備えて該複数のノズルが列状に配置されている吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドにおける複数のノズルの配置がなすノズル列の方向と該吐出ヘッドの走査方向とが斜めに交差するように、該吐出ヘッドを被吐出物に対して相対的に移動させる移動手段と、前記吐出ヘッドの被吐出物に対する相対的な位置を検出する位置検出手段と、前記吐出ヘッドにおける各ノズルの吐出タイミングを制御する制御手段とを有してなり、前記吐出ヘッドの走査過程において、該吐出ヘッドのノズルから所定タイミングで吐出された液滴の被吐出物上での着弾位置である第１位置と、該吐出から最も早いタイミングで次に吐出された液滴の被吐出物上での着弾位置である第２位置との距離が吐出タイミング分解能である液滴吐出方法であって、
   前記吐出ヘッドにおける複数のノズルの配置がなすノズル列の方向と該吐出ヘッドの走査方向とが斜めに交差するように、該吐出ヘッドを被吐出物に対して相対的に移動させ、
   前記移動において、前記吐出ヘッドの被吐出物に対する相対的な位置の検出を行い、走査方向に対するヘッドの傾き角度と、前記位置検出手段の出力信号と、に基づいて前記基板に対する前記ノズルの位置を検出し、その検出された前記ノズルの位置と、予め設定された前記基板上に吐出すべき理想の位置とを比較して、前記吐出すべき理想の位置あるいは前記吐出すべき理想の位置に対して前記吐出タイミング分解能の２分の１以内だけ離れている位置に、前記ノズルがあるときに、該ノズルから液滴を吐出させることにより、該位置についての塗布を行う際、
   前記位置検出手段の前記出力信号を分周することによって吐出タイミング信号を生成し、該吐出タイミング信号に同期させて該ノズルの吐出タイミングを制御することを特徴とする液滴吐出方法。
9. 前記ノズル列に対して平行に配置された複数の仮想的な線であって相互に前記所定距離の間隔をもって配置されている線からなるノズル列ラインと、前記吐出ヘッドの走査方向に対して平行に配置された複数の仮想的な線からなる走査ラインと、を示す情報からなるビットマップを用いて、前記吐出ヘッドの各ノズルの吐出タイミングを制御することを特徴とする請求項８に記載の液滴吐出方法。

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