CN1485205A - 制膜方法及其制膜装置和器件制造方法及其器件制造装置 - Google Patents

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Abstract

本发明可以提高预喷时的生产率。本发明的方法包括喷头21进行预喷液滴的预喷工艺、使喷头21与工件W之间作相对移动，喷头21对工件W表面喷出液滴的液滴喷出工艺。液滴的预喷是在喷头21和工件W的相对移动中进行。

Description

制膜方法及其制膜装置和器件制造方法及其器件制造装置
技术领域
本发明涉及利用液滴喷头来在工件表面上制造功能性材料膜体的制膜方法、制膜装置、器件制造方法和器件制造装置。
背景技术
随着电子器械如电子计算机或携带用情报器械终端机的发展，液晶显示装置、特别是彩色液晶显示装置的使用增多。为了显示图像的彩色化，这种液晶显示装置，利用滤色器。滤色器包括作为工件的基板，在这个基板上，作为涂敷液按规定模式(图案)射准R(红)、G(绿)、B(兰)色的油墨(液滴)而制膜。这样的基板上射准墨水的制膜方法有如喷墨方式的喷出液滴的方法。
采用液滴喷出方式时，作为喷出装置的液滴喷头对滤色器喷出规定量的液滴，但是此时，基板是安装在Y轴台子(Y轴上自由移动的台子)，液滴喷头是安装在X轴台子(X轴上自由移动的台子)。于是，利用X轴台子的驱动，液滴喷头定位在规定的位置后，利用Y轴台子的驱动，使基板一边相对于液滴喷头相对移动(扫描)，一边喷出液滴；利用这样的方法，多个液滴喷头向基板的规定位置射准液滴。
在上述的液滴喷出方法中，对基板喷出液滴之前，为了防止喷头内液体的黏度增加和固形成分的析出，而进行稳定的液滴喷出，实施叫做冲洗的预喷。以往，这样的预喷是如下进行：在Y轴台子的两侧或一侧端部上设置安装海绵等部件的专用预喷区域，定位(停止)Y轴台子，使预喷区域位于喷头的下方。然后，进行正常的液滴喷出，成分变化少的液体涂敷在基板上。
然而，上述的以往技术存在如下问题。在冲洗中，有必要单独设置：喷头定位在预喷区域的工艺、喷头的预喷工艺、进而为了转移平常喷出的Y轴台子加速到规定速度的工艺。即、因为对Y轴台子还需要进行加速-减速-停止-加速的控制，在包括冲洗的扫描中降低生产率(through-put)的问题。特别是在外套用途等的、喷出容易引起增加黏度或易堵孔倾向的液体时，有必要进行频繁的冲洗，想要提高制膜质量也难免生产率的降低。
发明内容
本发明考虑上述问题所进行的，其目的在于：不会降低生产率而可以实施预喷的制膜方法、制膜装置、器件制造方法和器件制造装置。
为了达到上述目的，本发明采用如下结构。
本发明的制膜方法包括由喷头预喷液滴的预喷工艺、上述喷头与工件作相对移动使从上述喷头向上述工件表面喷出液滴的液滴喷出工艺，其特征在于：上述液滴的预喷是在上述喷头和上述工件的相对移动中进行的。
因此，本发明的制膜方法中，没有必要单独设置为了预喷暂停液滴喷出工艺中的喷头和工件的相对移动工艺，所以可以防止生产率的降低。
最好是在液滴喷出工艺的规定的相对移动速度的加速中，进行液滴的预喷。这样，本发明中可以在液滴喷出工艺中可以实施预喷，因此，没有必要单独设置实施预喷的工艺，可以提高生产率。
另外，可以采用：形成在工件一部分的液滴接收区域内进行预喷的次序。此时，在液滴接收区域可以回收·排出预喷的液滴，但是因为液滴接收区域的一部分形成在工件上，可以缩短对于预喷和工件的液滴喷出之间的喷出间隔，可以抑制预喷后的液体的增加黏度化或固形成分的析出。
还有，本发明中，上述液滴喷出工艺之后，还可以采用振动赋予工艺次序，给上述喷头内的液体赋予不会从上述喷头喷出大小的振动。如折回相对移动方向而立即进行对工件的液滴喷出时，有时，没有必要进行预喷，即使是在这样的情况，也可以给喷头内的液体赋予振动，从而可以抑制液体的增加黏度化或固形成分的析出，稳定的液滴喷出成为可能。另外，即使是赋予振动，液体不会喷出，所以可以防止液体的浪费。
本发明的器件制造方法是从喷头向工件表面上喷出液滴而形成膜体的器件制造方法，其特征在于：利用上述的制膜方法在工件表面上制膜。因此，本发明中在工件上形成膜体时，也可以防止生产率的降低，有效制造器件。
本发明的器件制造方法可以适用于：在作为工件的透镜上制造膜体的透光性涂覆膜。这样，在透镜表面上容易、且有效地形成涂覆膜。另外，作为透镜可以是眼镜片。
另外，本发明的器件制造方法可以适用于：利用基板上排列滤色元件的工件上，制造被覆滤色元件的外套膜的制膜。这样，滤色元件表面上容易、有效形成外套膜。
还有，本发明的器件制造方法可以适用于：包含EL(电发光)发光层的像素像元排列在基板作为工件，在EL发光层上的规定地点，制作对置电极膜。这样，EL发光层上容易、有效制作对置电极膜。
另一方面，本发明的制膜装置是使喷头和工件相对移动的方法，从喷头向工件表面上喷出液滴而制膜的制膜装置，其特征在于包括：喷头和工件的相对移动中，从喷头预喷液滴的控制装置。
因此，本发明的制膜装置在液滴喷出工艺中没有必要单独设置：用于预喷的暂停喷头与工件的相对移动的程序，因此，可以防止降低生产率。
最好是在液滴喷出工艺的规定的相对移动速度的加速中，进行液滴的预喷。这样，本发明中，可以在液滴喷出的相对移动中可以实施预喷，因此，没有必要单独设置实施预喷的工艺，可以提高生产率。
另外，本发明最好是采用：形成在工件一部分的接收预喷液滴的接收区域的结构。此时，在液滴接收区域可以回收·排出预喷的液滴，但是因为液滴接收区域的一部分形成在工件上，可以缩短对于预喷和工件的液滴喷出之间的喷出间隔，可以抑制预喷后的液体的增加黏度化或固形成分的析出，可以提高生产率。
还有，本发明中，液滴喷在工件表面之后，还可以采用给上述喷头内的液体赋予不会从上述喷头喷出之大小的振动的结构。例如折回相对移动方向而立即进行对工件的液滴喷出时，有时，没有必要进行预喷，这样的情况下，也可以给喷头内的液体赋予振动，可以抑制液体的增加黏度化或固形成分的析出，稳定的液滴喷出成为可能。另外，即使是赋予振动，液体不会喷出，可以防止液体的浪费。
还有，本发明的器件制造装置是从喷头向工件表面上喷出液滴而形成膜体的器件制造装置，其特征在于：利用上述的制膜装置在工件上制膜。因此，本发明中，在工件上形成膜体时，也可以防止生产率的降低，有效制造部件。
本发明的器件制造装置可以适用于：在作为工件的透镜上制造作为膜体的透光性涂覆膜。这样，在透镜表面上容易、有效形成涂覆膜。另外，作为透镜可以利用眼镜片。
另外，本发明的器件制造装置可以适用于：利用基板上排列滤色元件的工件上制造滤色元件被覆的外套膜的制膜。这样，滤色元件表面上容易、有效形成外套膜。
还有，本发明的器件制造装置可以适用于：包含EL发光层的像素像元排列在基板的工件上，在EL发光层上的规定地点制作对置电极膜。这样，EL发光层上容易、有效制作对置电极膜。
附图说明
图1是本发明实施方式的图，表示液滴喷出装置基本构成的模式图。
图2(a)是安装喷头之后的支架的外形立体图，(b)是安装喷头之前的支架的外形立体图。
图3是构成同一个液滴喷出装置的废功能液积存装置周围的纵向剖面图。
图4是同一个废功能液积存装置的外形立体图。
图5是表示加速中喷头与液滴接收区域位置关系的图。
图6是表示减速中喷头与液滴接收区域位置关系的图。
图7是利用本实施方式器件制造方法制造的液晶显示装置的剖面图。
图8是利用本实施方式器件制造方法制造的有机EL装置的剖面图。
图中，
W、工件 1、液滴喷出装置(制膜装置) 6、控制装置
21、功能液喷头(喷头) 41a、液滴接收区域  411、基板
422、外套层(外套膜，膜体) 501、玻璃基板(基板) 503、对置电极(对置电极膜、膜体)
具体实施方式
下面，结合图1至图8说明本发明的制膜方法、制膜装置、器件制造方法和器件制造装置。
这里，本发明的制膜装置适用于制造眼镜片的液滴喷出装置，利用UV(紫外线)切断剂、防霜剂等膜体来涂覆眼镜片为例，说明装入功能液的液滴喷头向功能液喷出对象的眼镜片(工件)喷出功能液，利用功能材料膜涂覆(硬套)工件的情况。
图1是器件制造装置的液滴喷出装置基本构成的模式图。如图1所示，该液滴喷出装置(制膜装置)1包括把功能液喷射到功能液喷出对象——工件W的液滴喷出装置2、把工件W安装在制膜装置的安装装置3、存积工件W中溢出的功能液的废功能液积存装置4、清洗废功能液积存装置4的功能液污染的清洗装置5。还有，这些装置分别连接在控制装置6(参考图3)，控制装置6联系各个装置并进行总括控制。
另外，虽然图中省略，这个液滴喷出装置1还附带图像识别(摄象)工件W的工件识别相机、图像识别喷头部件11(喷嘴23)的喷头识别相机、各种指示器等，这些也连接在控制装置6。
液滴喷出装置1是使液滴喷出装置2的喷头部件11一边扫描一边对安装在安装装置3的工件W的表面喷出含有功能液的液滴，在工件W表面形成功能材料膜体，利用功能材料涂覆工件W的装置。这样，液滴喷出装置1中，为了在工件W的整个表面上均匀涂覆功能材料，喷头部件11对工件W的任何部位均匀地，即对工件W的边缘部位和工件W的中央部位同样喷出功能液。如果对工件W的边缘部位和工件W的中央部位同样喷出功能液，则功能液部分地溢出工件W，为此，设置接收溢出功能液的废功能液积存装置4。另外，因为功能液是从工件W溢出的，没有必要进行对工件W的安装位置的严密定位。
如图1所示，液滴喷出装置2包括装有功能液喷头(喷头)21的喷头部件11、悬挂支撑喷头部件11的主架13和通过安装装置把工件W向主扫描方向(X轴方向)移动的同时，使喷头部件11向副扫描方向(Y轴方向)自由移动的X·Y移动机构14。
如图2(a)所示，喷头部件11由多个功能液喷头21和装有这些的支架12所构成。功能液喷头21由具有喷头基板或功能液引入部的支架安装部件(图中省略)、具有喷出功能液的喷嘴23的喷头主体22等所构成。这样，喷头主体22的喷嘴面24上分别形成两列由多个喷嘴23组成的喷嘴列；功能液喷头21安装(固定)在支架12，以便使喷嘴面24向下喷出(为了方便在图2中上下倒示)。
为了安装功能液喷头21，在支架12上设有两列安装开口12a(参照图2(b))，每一列上有六个安装开口。即一列的安装开口上安装六个功能液喷头21，支架12上一共装有十二个功能液喷头21。另外，安装开口定位功能液喷头21的安装位置，并且，功能液喷头21的配置，为了保证对工件W的充分的涂覆密度，对主扫描方向倾斜规定的角度。
主架13由悬挂支撑喷头部件11的托架主体(图中省略)、支撑托架主体的同时，在Y轴台子16的副扫描方向(Y轴方向)上滑动支承的喷头托座(图中省略)所构成。托架主体围绕θ轴(围绕Z轴方向)可以自由转动，使托架主体围绕θ方向自由转动的方法，可以调整喷头主体22的喷嘴面24相对于θ轴方向的适当位置。另外，θ轴方向的调整是根据喷头识别相机(图中省略)的识别图像进行。
X·Y移动机构14由固定安装工件W的安装装置的X轴台子15、正交于X轴台子15的同时，通过喷头托架支撑喷头部件11的Y轴台子16所构成。另外，X·Y移动机构14，为了工件W表面喷出适当的功能液，与功能液喷头21的驱动同步，使喷头部件11和工件W交替移动。即，液滴喷出装置1中，反复进行由X轴台子15的工件W的主扫描方向(X轴方向)移动和由Y轴台子16的工件W的副扫描方向(Y轴方向)移动；工件W向主扫描方向移动时，喷出功能液，在工件W的全表面上形成功能材料膜体。
另外，本实施方式中是把工件W向主扫描方向、使喷头部件11向副扫描方向移动的，但是，也可以只使喷头部件11相对于工件W进行主扫描方向移动，也可以采用喷头部件11在主扫描方向移动的结构。另外，固定工件W，使喷头部件11向主扫描方向和副扫描方向两个方向移动的结构，也是可以的。
下面，说明安装装置3。如图3所示，安装装置3具有固定在X轴台子15的底座平板31，底座平板31上支撑工件W的θ轴方向补正的θ台子33和用于安装工件W的吸引台34，并组成一体。即，θ台子33和吸引台34构成工作台32。
底座平板31支承θ台子33，使其围绕θ轴方向旋转自由的同时，通过θ台子33支撑吸引台34。θ台子33根据工件识别相机的识别图像，通过吸引台34把工件W可以围绕θ轴方向转动，由此，补正工件W的θ轴方向，以便相对于喷头部件11安装在适当的位置。另外，吸引台34上形成吸引孔35(参考图4)，吸引孔35吸引工件W，把工件W吸引在吸引台34。另外，因为θ台子33和吸引台34的水平面小于工件W，从工件W表面溢出的功能液不会污染工作台32。
下面，结合图3和图4说明废功能液积存装置4。废功能液积存装置4由接收从工件W溢出的功能液的功能液接收器41、支撑功能液接收器41的多个支撑托架42、为了积存功能液接收器41排出的功能液的废功能液箱子43、连接功能液接收器41和废功能液箱子43的排出管44所构成。
功能液接收器41是断面为U字型的导水筒，外周面的上部往里弯曲。这样，更有效积存从工件W溢出的功能液，功能液接收器41形成：适应于工件W的平面形状的环状。即，功能液喷头21喷出的功能液经过一端(一部分)形成在工件W、另一端形成在功能液接收器41的液滴接收区域41(a)，接收在功能液接收器41的结构。另外，功能液接收器41底部具有排出功能液的排出口51，排出口51上安装有连接排出管44的排出口接头52。另外，功能液接收器41的外周上端部位设有连接清洗液排出管62和清洗液供应管65的连接口53。
如图3所示，支撑托架42支撑功能液接收器41，以便在安装装置3的θ台子33的侧面环状固定的功能液接收器41总是靠近被安装的工件W的边缘部位。还有，多个支撑托架42均匀布置在θ台子33的圆周方向。另外，为了使功能液接收器41迅速排出功能液，支撑托架42支撑功能液接收器41，使其倾斜于排出口51。
废功能液箱子43通过排出管(硅管)44连接在功能液接收器41，积存从工件W溢出的功能液。另外，废功能液箱子43充满功能液时，可以简单更换。另外，废功能液箱子43上设有检测充满液体的功能液充满检测器54，控制装置6控制功能液喷头21的驱动，可以使功能液不会从废功能液箱子43溢出。另外，废功能液箱子43可以利用不锈钢、树脂或玻璃制品。
排出管44的一端连接在功能液接收器41的排出口接头52，另一端连接在废功能液箱子43，利用管子连接功能液接收器41和废功能液箱子43。排出管44上设有功能液关闭阀门55，以关闭从功能液接收器41到废功能液箱子43的功能液流动。
如图3和图4所示，清洗装置5由积存用于功能液接收器41清洗的可以溶解功能液的清洗液的清洗液箱子61、把清洗液排放到功能液接收器41的清洗液放出管62、用管子连接清洗液箱子61和清洗液放出管62的清洗液供应管子65所构成。另外，清洗液箱子61上设有清洗液减少量检测器66，可以检测出清洗液箱子61的减少液体状态。
清洗液放出管62连接在功能液接收器41的外周上端的连接口53的同时，沿着功能液接收器41弯曲部分内侧，环状布置的。这样，清洗液放出管62通过连接口53连接在清洗液供应管子65(硅管)，由清洗液供应管子65连接在清洗液箱子61。清洗液放出管62上近似均匀间隔设有多个清洗液排出孔63，清洗液均匀排出到功能液接收器41。另外，清洗液排出孔63面向功能液接收器41的外周面，清洗液有效排出到该外周面。
还有，为了每隔规定时间清晰功能液接收器41，在清洗液供应管子65上端设有连接在控制装置6的电磁阀66，定时器控制电磁阀66，每隔规定时间开闭电磁阀66。但是，电磁阀66的开闭可以不用定时器而可以用手动操作。
上述的液滴喷出装置1的各个装置由控制装置6来控制，控制装置6总括控制液滴喷出装置1全体，以便给定条件下对工件W进行功能液的喷出。
下面，结合图5和图6说明上述结构的液滴喷出装置1的工作。
另外，对工件W的表面喷出功能液液滴时，工件W相对于功能液喷头21作相对移动，但是，为了方便，在这里是功能液喷头21相对于工件W相对移动来图示。
首先，由X·Y移动机构14驱动X轴台子15和Y轴台子16，把工件W和功能液喷头21定位在开始扫描位置。然后，开始液滴喷出工艺，驱动X轴台子15的方法，工件W加速到功能液从喷头21喷出功能液液滴时的工件W与功能液喷头21的相对移动速度(扫描速度)。如图5所示，工件W的加速中，液滴接收区域41a到达功能液喷头21正下位置时，控制装置6对功能液喷头21输出冲洗波形的驱动信号。由此，功能液喷头21预喷功能液滴，通过液滴接收区域41a对功能液接收器41进行冲洗(预备喷出工艺)。
另外，控制装置6输出冲洗波形的驱动信号的时间和喷出液滴通过液滴接收区域41a的时间需要一致，因此，驱动信号的输出和喷出液滴通过的时间不一致时，考虑这个时间差异，也可以在液滴接收区域41a到达功能液喷头21正下方之前，输出驱动信号。另外，图5中表示功能液喷头21的所有喷嘴冲洗液滴也不会带来障碍大小开口的液滴接收区域41a，但是，在液滴接收区域41a开口小时，比如对多个喷头列进行每隔一列的冲洗，或每隔一列喷嘴列进行冲洗，也是可以的。
总之，通过控制装置6的控制，根据液滴接收区域41a开口大小、喷嘴列和排列间隔大小，进行选择性的冲洗也是可以的。具体地，对每一个列进行冲洗时，对到达液滴接收区域41a正下方的喷头列依次输出冲洗波形的驱动信号；对每一个喷嘴列进行冲洗时，对到达液滴接收区域41a正下方的喷嘴列依次输出冲洗波形的驱动信号就可以。
完了加速中的冲洗之后，扫描速度稳定在等速时，对工件W表面的规定地点实施功能液滴的喷出(参照图3)。然后，完了这个扫描的对工件W表面的功能液滴的喷出，如图6所示，工件W离开功能液喷头21下方位置时，结束液滴喷出工艺或为了下一个扫描，通过X轴台子15减速工件W。这个工件W的减速中，控制装置6对功能液喷头21输出微振动波形的驱动信号。一输出这个驱动信号，则功能液喷头21内的功能液受到不从功能液喷头21内出来的振动(赋予振动工艺)，详细地，喷嘴中的液面的凹凸表面的微振动。由此，可以抑制喷嘴的功能液的增加黏度化和固形成分的析出。
另外，这个赋予微振动不限于减速中，可以在结束对工件W的液滴喷出之后的等速移动中实施。同样，上述加速中的冲洗也可以在对工件W的液滴喷出开始之前的等速移动中实施。
于是，通过上述功能液的预喷或对工件W边缘部的液滴喷出，积存功能液，而充满废功能液箱子43时，功能液充满检测器54检测出废功能液箱子43的充满状态，向控制装置6输出充满液体信号。这样的话，控制装置6使表示废功能液箱子43的充满状态的指示灯发亮，通知废功能液箱子43的充满状态。这样，完了形成薄膜中的工件W的薄膜形成之后，停止液滴喷出装置2，避免废功能液箱子43中溢出功能液。然后，更换充满状态的废功能液箱子43，没有了充满液体信号时，控制装置6关闭表示废功能液箱子43的充满状态的指示灯的同时，液滴喷出装置2重新工作。另外，通知废功能液箱子43充满状态的手段可以利用指示器，但是，不限于这些，可以利用音声来通知。
另外，根据清洗液箱子61的清洗液减少到规定量的清洗液减少量检测器66的信号，控制装置6打开清洗液减少量(獤中未视出)指示灯。
这样，本实施方式中，没有必要暂停X轴台子15，在工件W表面的液滴喷出工艺的相对移动中实施冲洗，因此，没有必要单独设置实施冲洗的工艺，可以省去冲洗时间，从而提高生产率。还有，本实施方式中，把用于工件W边缘部的液滴喷出的功能液接收器41利用在冲洗，因此，没有必要设置单独的冲洗区域或吸收部件，可以作到装置的小型化和廉价化。
另外，本实施方式中，进行冲洗的液滴接收区域41a形成在工件W自体，可以缩短冲洗的液滴喷出和对工件W的液滴喷出之间的间隔。因此，可以抑制冲洗之后的功能液增加黏度化和固形成分的析出，可以实现对工件W的稳定的液滴喷出。特别是，本实施方式中，在工件W的液滴喷出之后，多功能液喷头21内的功能液赋予微振动，因此，即使是不进行冲洗也可以抑制功能液增加黏度化和固形成分的析出。并且，本实施方式中，即使是赋予振动，功能液不会从喷头21喷出，因此，可以防止功能液的浪费。
另外，本发明的液滴喷出装置1不仅可以利用于眼镜片的涂覆，还可以进行作为部件的各种光学仪器的透镜的涂覆，也可以利用于各种平面显示板的制造。这里简单说明：液滴喷出装置1的制造方法利用于液晶显示装置的制造和有机EL装置的制造方法的例子。
图7是液晶显示装置的剖面图。如图所示，液晶显示装置(彩色)450是在偏光板462与467之间，组合滤色器400和对置基板466，两者之间封入液晶组成物465。另外，滤色器400和对置基板466之间构成定向膜461、464，一侧的对置基板466的内侧面由TFT(薄膜晶体管)元件和像素电极463形成矩阵形状。
滤色器400具有矩阵状排列的像素(滤色元件)，像素与像素之间的境目由隔板(存储元件)413所划分。各个像素里引入红(R)、绿(G)、兰(B)色的液状材料(滤光材料)。即，滤色器400具有透光性基板411和透光性隔板413。没有形成隔板413的部分构成上述像素。引入在这个像素的各颜色的液状材料构成颜色层421。隔板413和颜色层421的上表面作为被覆材料形成外套层422和电极层423。
这样，本实施方式中，在隔板413划分所形成的像素内，利用液滴喷出方式充填上述R、G、B色的液状材料。即，利用功能液喷头21把上述R、G、B色的液滴选择性地喷在颜色层的形成区域。接着，干燥涂覆的液状材料，获得颜色层421。同样，利用液滴喷出方式形成作为膜体的外套层422。
本实施方式中，在形成上述的颜色层421时，适当改变·调整功能液喷头21的倾斜角度，使各个喷嘴23的间隔和像素的间隔一致；在形成上述的外套层422时，适当改变功能液喷头21的倾斜角度，可以调整其膜的厚度。
同样，结合图8说明：作为部件的有机EL装置及其制造方法。如图8所示，有机EL装置500是在玻璃基板501上叠层电路元件部502，在电路元件部502上叠层作为主体的有机EL元件504而构成。另外，有机EL元件504的上面隔惰性气体空间设有密封基板505。
有机EL元件504上由无机物隔板层512a和叠加在这个的有机物隔板层512b来形成隔板512，由这个隔板512形成矩阵状像素(像素像元)。然后，各个像素内从下面开始叠层像素电极511、R、G、B的发光层510b和空穴注入/输送层510a，并且，整体由多个Ca、Al薄膜层叠层的对置电极(对置电极膜)503来覆盖。
这样，本实施方式中，利用上述的液滴喷出方式形成R、G、B的发光层510b和空穴注入/输送层510a。另外，形成空穴注入/输送层510a之后，同样利用液滴喷出方式形成Ca、Al等液状金属材料的膜体的对置电极503。另外，密封性良好的树脂来替代密封基板505时，最好是利用液滴喷出方式来形成为好。
本实施方式中，在形成发光层510b和空穴注入/输送层510a时，也可以适当改变·调整功能液喷头21的倾斜角度，使各个喷嘴的间隔和像素的间隔一致；在形成对置电极503时，适当改变功能液喷头21的倾斜角度，调整其膜的厚度就可以。
如上说明，本发明中，不仅可以防止生产率的降低，还可以实现装置的小型化和廉价化。另外，本发明可以实现对工件的稳定的液滴喷出，可以获得高质量的部件。

Claims (13)

1、一种制膜方法包括喷头预喷液滴的预喷工艺、使上述喷头与工件之间作相对移动，从上述喷头向上述工件表面喷出液滴的液滴喷出工艺的制膜方法，其特征在于：上述液滴的预喷是在上述喷头和上述工件的相对移动中进行的。
2、根据权利要求1所述的制膜方法，其特征在于：上述液滴的预喷是在上述液滴喷出工艺所规定的相对移动速度的加速运动中进行的。
3、根据权利要求1或2所述的制膜方法，其特征在于：上述预喷是在工件一部分中所形成的液滴接收区域内进行。
4、根据权利要求1至3的任意1项所述的制膜方法，其特征在于：上述液滴喷出工艺之后，还包括振动赋予工艺，给上述喷头内的液体赋予不会从上述喷头喷出大小的振动。
5、一种器件的制造方法，是从喷头向工件表面喷出液滴而形成膜体的器件制造方法，其特征在于：采用根据权利要求1至4的任意1项所述的制膜方法，在上述工件上制膜。
6、根据权利要求5所述的器件制造方法，其特征在于：上述工件是透镜，上述膜体是被覆在上述透镜的涂覆膜。
7、根据权利要求5所述的器件制造方法，其特征在于：上述工件是排列滤色元件的基板，上述膜体是被覆在上述滤色元件的外套膜。
8、根据权利要求5所述的器件制造方法，其特征在于：上述工件是排列包含EL发光层像素像元的基板，上述膜体是上述EL发光层上的固定地点形成的对置电极膜。
9、一种制膜装置，使喷头和工件作相对移动，从上述喷头向上述工件表面喷出液滴而制膜的制膜装置，其特征在于包含：上述喷头和上述工件的相对移动中，从上述喷头预喷上述液滴的控制装置。
10、根据权利要求9所述的制膜装置，其特征在于：上述控制装置使上述喷头在规定的相对移动速度的加速运动中预喷上述液滴。
11、根据权利要求9或根据权利要求10所述的制膜装置，其特征在于具有：一部分形成在上述工件并接收上述预喷液滴的液滴接收区域。
12、根据权利要求9至11的任意1项所述的制膜装置，其特征在于：上述控制装置在向上述工件表面的上述液滴喷出工艺之后，给上述喷头内的液体赋予不会从上述喷头喷出大小的振动。
13、一种器件制造装置，是从喷头向工件表面上喷出液滴而形成膜体的器件制造装置，其特征在于：采用根据权利要求9至12的任意1项所述的制膜装置来在上述工件上制膜。
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