CN1472071A - 制膜装置及液状体填充方法、器件制造方法、装置及器件 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种向具有液滴喷吐头(20)的制膜装置的喷头(20)填充液状体的方法。包括在进行液状体的填充时向液状体施加振动的振动施加工序。从而，即使是高浓度的墨水，也可以不需加热、且在流路中无气泡残留地向喷头进行填充。

Description

制膜装置及液状体填充方法、器件制造方法、装置及器件

技术领域

本发明涉及一种制膜装置及其液状体填充方法、器件制造方法、器件制造装置以及器件。

背景技术

随着电子机器、例如计算机和便携式信息机器终端的发展，液晶显示器件、特别是彩色液晶显示器件的使用也大幅度增加。在这种液晶显示器件中，为了彩色显示图像，采用彩色滤光片。

彩色滤光片，具有基板，通过在该基板上按照给定图案供给R(红)、G(绿)、B(蓝)的墨水所形成。作为这样向基板供给墨水的方式，例如可以采用喷墨方式的制膜装置。

在采用喷墨方式时，在制膜装置中从喷墨头向基板喷出给定量的墨水进行供给，作为喷出墨水的装置，多采用在构成墨水贮箱的壁面上形成多个喷嘴开口并与各喷嘴开口对向使其伸缩方向一致配置压电元件的装置。作为这种压电元件，例如在特開昭63-295269号公报中所公示的那样，提出了将电极和压电材料交互积层成三明治状的装置，是在喷墨头的腔体(储存墨水)内充满的墨水利用压电元件的变形所产生的压力波进行喷出的构成。

在这种喷墨头中，由于对可喷出的墨水粘度存在限度，对于高粘度的墨水喷出是很困难的。为此，在现有技术中，提出了在通过供给口与压力室连通的墨水贮箱中设置加热器(发热体)的技术(特開平5-281562号公报)，或者在喷墨头以及墨水贮箱双方上埋设加热器的技术(特開平9-164702号公报)，通过采用这些技术进行将高粘度的墨水降低到可以喷出的粘度的低年代化，使得现有技术可以在制膜比较困难的工业药品中使用。

但是，在上述那样的现有技术中，存在以下问题。

由于也存在加热后特性变质的墨水，对于这样的墨水，不能象上述那样采用通过加热低粘度化的方法，不能改善喷出困难的状况。

又，向喷墨头内填充墨水时，例如将头外部的墨水贮箱与头连接，对头的喷嘴部分负压吸引。

然而，头内部的墨水流路是细微的，在弯曲部或者流路宽度变化的地方、凹凸部等墨水流动沉淀的部分上产生气泡，有时不能将该气泡排出。如果这样在头内部残留气泡，墨水喷出时的压力损耗增大，不仅造成喷出不稳定，甚至有时会产生不能喷出墨水的问题。

本发明正是解决上述问题的发明，其目的在于提供一种即使是高粘度墨水、加热后不会在流路中残留气泡可以充填到喷墨头中的制膜装置及其液状体填充方法、器件制造方法、器件制造装置以及器件。

发明内容

为了到达上述目的，本发明，采用以下构成。

本发明的制膜装置的液状体填充方法，是向包括液滴喷吐头的制膜装置的向上述喷头中填充液状体的方法，其特征在于：包括在上述液状体的填充时向该液状体施加振动的振动施加工序。

因此，在本发明中，在填充时气泡和液状体一起容易移动，可以抑制在液状体沉淀的地方等滞留气泡的情况。为此，可以在流路中不残留气泡的状态下将液状体填充到喷头中，从而避免了液滴喷吐不稳定、陷入不能喷吐的状态的情况。

又，在本发明中，即使液状体是非牛顿性的假塑性流体也可以适用。非牛顿性的假塑性流体，通过使其振动，滑动速率增大，其结果粘度减小。为此，即使是高粘度的液状体，不需要加热就可以缩小填充时的粘度，提高流动性。这样，由于可以在流路中不残留气泡的状态下进行排出，可以避免液滴喷吐不稳定、陷入不能喷吐的状态的情况。

在包括通过压电元件的驱动向喷头施加振动将液滴喷出的喷吐工序时，优选在振动施加工序中，通过该压电元件的驱动向液状体施加振动。

这样，在本发明中，不需要另外设置在填充时用于向液状体施加振动的机构，可以实现装置的小型化以及低成本化。此外，这时优选在振动施加工序中，按照从喷头中不喷出液滴的振动特性向液状体施加振动。

又，在包括在液状体中产生气泡将液滴喷出的喷吐工序时，在振动施加工序中，也可以采用通过气泡的伸缩向液状体施加振动的流程。这时，也不需要另外设置在填充时用于向液状体施加振动的机构，可以实现装置的小型化以及低成本化。

另一方面，本发明的器件制造方法，是具有向喷头填充液状体的填充工序、和从上述喷头喷出液滴在基板上制膜的制膜工序的器件制造方法，其特征在于：采用上述制膜装置的液状体填充方法进行上述填充工序。

这样，在本发明中，可以避免在喷头中残留在液状体填充时的气泡、液滴喷吐不稳定、陷入不能喷吐的状态的情况，可以以所希望的特性在基板上制膜。

然后，本发明的制膜装置，是包括液滴喷吐头的制膜装置，其特征在于：包括在将上述液状体向上述喷头填充时向上述液状体施加振动的振动施加装置。

因此，在本发明中，在填充时气泡和液状体一起容易移动，可以抑制在液状体沉淀的地方等滞留气泡的情况。为此，可以在流路中不残留气泡的状态下将液状体填充到喷头中，从而避免了液滴喷吐不稳定、陷入不能喷吐的状态的情况。

又，在本发明的制膜装置中，即使液状体是非牛顿性的假塑性流体也可以适用。非牛顿性的假塑性流体，通过使其振动，滑动速率增大，其结果，粘度减小。为此，即使是高粘度的液状体，不需要加热就可以缩小填充时的粘度，提高流动性。这样，由于可以在流路中不残留气泡的情况进行排出，可以避免液滴喷吐不稳定、陷入不能喷吐的状态的情况。

作为振动施加装置优选向喷头施加振动使液滴喷出的压电元件。在本发明中，不需要另外设置在填充时用于向液状体施加振动的机构，可以实现装置的小型化以及低成本化。此外，这时优选在振动施加工序中，按照从喷头中不喷出液滴的振动特性向液状体施加振动。

又，作为振动施加装置，也可以采用具有在上述液状体中产生气泡使上述液滴喷出的气泡产生装置、和使所产生的气泡伸缩那样控制上述气泡产生装置的驱动的控制装置的构成。

这时，也不需要另外设置在填充时用于向液状体施加振动的机构，可以实现装置的小型化以及低成本化。

另一方面，本发明的器件制造装置，是包括由从喷头喷出的液滴在基板上制膜的制膜装置的器件制造装置，其特征在于：作为上述制膜装置，采用上述制膜装置。

这样，在本发明中，可以避免在喷头中残留在液状体填充时的气泡、液滴喷吐不稳定、陷入不能喷吐的状态的情况，可以以所希望的特性在基板上制膜。

然后，本发明的器件，其特征在于：采用上述器件制造装置所制造。这样，在本发明中，可以获得以稳定喷出的液滴形成膜的高质量器件。

附图说明

图1表示构成本发明的滤光片制造装置的制膜装置的概略外观立体图。

图2表示喷墨头的结构图，(A)表示头本体的外观立体图，(B)表示部分放大图，(C)表示时间和施加电压之间的关系图，(D)～(F)表示每个施加电压的液体室的动作图。

图3(a)表示喷出波形图，(b)表示微振动波形图。

图4表示有关喷墨头的驱动控制系以及墨水供给系的图。

图5表示流体的滑动速率与粘度之间的关系图。

图6(a)～(f)表示采用基板制造彩色滤光片的流程图。

图7表示基板和基板上的彩色滤光片区域的一部分的图。

图中：10-制膜装置(喷墨装置)、20-喷墨头(液滴喷出头、头)、28-控制装置、48-基板、92-压电元件(振动施加装置)、99-液滴(墨滴)。

具体实施方式

以下参照图1～图7说明本发明的制膜装置及其液状体填充方法、器件制造方法、器件制造装置以及器件的实施方案。

在此，本发明的制膜装置，对在采用例如液体状的墨水、用于制造液晶器件中所使用的彩色滤光片等的制造装置中适用的装置进行说明。此外，本发明中可以使用的液体，包括在液状体中。即，液状体是指在上述液体中包括例如金属等微颗粒的液状体。

图1表示构成滤光片制造装置(器件制造装置)的制膜装置(喷墨装置)10的概略外观立体图。该滤光片制造装置，包括具有大致相同结构的3基色的制膜装置10，各制膜装置10具有分别向滤光片基板上喷吐R(红)、G(绿)、B(蓝)的各色墨水的构成。

制膜装置10包括基底12、第1移动装置14、第2移动装置16、图中未画出的电子天平(重量测定装置)、作为液滴喷头的喷墨头(头)20、压盖单元22、清洗单元24。在基底12上设置第1移动装置14、电子天平、压盖单元22、清洗单元24以及第2移动装置16。

第1移动装置14，最好直接设置在基底12上，并且该第1移动装置14，沿Y轴方向进行定位。对此，第2移动装置16，采用支柱16A、16A，垂直安装在基底12上，并且第2移动装置16安装在基底12的后部12A。第2移动装置16的X轴方向是和第1移动装置14的Y轴方向垂直的方向。Y轴是沿基底12的前部12B和后部12A方向的轴。对此，X轴是沿基底12的左右方向的轴，均在水平面上。

第1移动装置14包括导轨40、40，第1移动装置14，例如可以采用直线电机。该直线电机形式的第1移动装置14的滑块42，沿导轨40，在Y轴方向上移动，并可以定位。

滑块42包括θ轴用的电机。该电机44，例如是直流驱动电机，电机44的转子固定在台46上。这样，在电机44中通电后，转子和台46沿θ方向转动，台46可以索引(转动分度)。

台46对基板48定位，并且支撑。又，台46具有吸附支撑装置50，吸附支撑装置50动作后，通过台46的孔46A，可以将基板48吸附保持在台46上。在台46上设置为了使喷墨头20喷吐舍弃、或者是试喷(预备喷吐)墨水的预备喷吐区域52。

第2移动装置16具有固定在支柱16A、16A上的横梁16B，该横梁16B具有直线电机形式的第2移动装置16。滑块60可以沿导轨62A在X轴方向上移动并进行定位，滑块60包括作为墨水喷吐装置的喷墨头20。

喷墨头20包括具有摇动定位装置的电机62、64、66、68。当电机62动作时，喷墨头20可以沿Z轴上下移动并进行定位。该Z轴是分别与X轴和Y轴垂直的方向(上下方向)。当电机64动作时，喷墨头20可以沿Y轴转动的β方向摇动并进行定位。当电机66动作时，喷墨头20可以沿X轴转动的γ轴方向摇动并进行定位。当电机68动作时，喷墨头20可以沿Z轴转动的α轴方向摇动并进行定位。

这样，图1的喷墨头20，在滑块60上，可以沿Z轴直线移动并进行定位，可以沿α、β、γ摇动并进行定位，喷墨头20的墨水喷吐面20P可以控制相当于台46侧的基板48的正确位置或者姿势。此外，在喷墨头20的墨水喷吐面20P上分别设置喷吐墨水的多个(例如120个)作为开口部的喷嘴。

在此，对喷墨头20的结构例，参照图2进行说明。喷墨头20，例如是采用压电元件的头，如图2(A)所示，在头本体90的墨水喷吐面20P上形成多个喷嘴91。在这些喷嘴91中分别设置压电元件92。

如图2(B)所示，压电元件92，与喷嘴91和墨室93对应配置，例如是位于一对电极(图中未画出)之间，当通电时向外侧凸出那样弯曲的构成。然后，通过对该压电元件92施加图2(C)所示的施加电压Vh，如图2(D)、(E)、(F)所示，使压电元件92在箭头Q方向上伸缩，对墨水加压，从喷嘴91喷出给定量的移动(墨滴)99。

详细讲，如图3(a)的喷吐波形图所示，在正斜率的波形部a1，墨室扩大，增大容积，相当于增大容积量的墨水流入到墨室内。又，在负斜率的波形部a2当施加电压Vh时墨室缩小，通过对墨水加压从喷嘴91喷出给定量的墨水。此外，作为喷墨头20的喷墨方式，也可以采用上述压电元件92的压电型之外的方式，例如利用热膨胀的热喷墨型的方式等。

图4表示有关喷墨头20的驱动控制系以及墨水供给系的简易图。

将贮存在墨水贮箱25中的墨水通过墨水路径26向喷墨头20供给。又，对于设置在喷墨头20中的压电元件92，为了喷出给定量的墨水，在控制装置28的控制下从喷墨头驱动装置27向每个喷嘴91分别施加适合墨水的种类、温度的驱动电压。又，控制装置28通过控制驱动装置27，不仅是图3(a)所示的喷吐波形，而且将图3(b)所示的微振动波形也作为驱动波形向压电元件92施加。

该微振动波形，在正斜率的波形部b1使墨室扩大，在负斜率的波形部b2铜施加施加电压V1使墨室缩小·加压，施加电压V1设定成墨水不能从喷嘴91喷出的大小。即，通过向压电元件92施加该微振动波形的电压，成为在喷嘴面上反复进行机械上的离开·接近那样的微振荡的构成。即，在此，压力产生装置的压电元件92作为振荡产生装置(振动施加装置)使用，并且以墨水不会从喷嘴91喷出的振幅(振荡特性)进行驱动。

清洗单元24，可以在滤光片制造过程中或者待机时定期或者随时对喷墨头20的喷嘴等进行清洗。压盖单元22，为了不使喷墨头20的喷嘴内的墨水干燥，在不制造滤光片的待机时不使该墨水喷吐面20P与外部气体接触。该清洗单元24包括在吸附垫以及控制装置28的控制下使该吸附垫相对于喷墨头20在档接位置和离开位置之间移动的移动装置(参见图4)。在吸附垫上与吸引泵等构成的吸引装置(充填装置)29连接，通过吸附垫吸引的墨水被排出到废液贮箱中。

返回到图1，电子天平，为了对从喷墨头20的喷嘴喷吐的墨滴的1滴的重量进行测定、管理，例如从喷墨头20的喷嘴接收5000滴量的墨滴。电子天平，通过将该5000滴的墨滴重量用5000相除，可以大致正确测定1滴墨滴的重量。根据该墨滴的测定量，可以最佳控制从喷墨头20喷吐的墨滴量。

以下向喷墨头20中填充墨水时的动作进行说明。

首先，在制膜处理工序(液滴喷吐工序)的当初，在喷墨头20中没有导入液体。在制膜处理前由吸引装置29吸引喷墨头20导入墨水。具体讲，首先控制装置28，通过移动装置使清洗单元24的吸引垫与喷墨头20接触，然后使吸引装置29动作。这样，墨水贮箱25内的墨水被吸引，经过送液软管26填充到喷墨头20中。填充到喷墨头20中的墨水，被吸引垫所吸引，通过吸引装置29排出到废液贮箱30中。

在此，在向喷墨头20进行墨水填充时，控制装置28控制驱动装置27，向压电元件92施加图3(b)所示的微振动波形的驱动电压。这样，在从喷嘴91不喷吐墨水的情况下可以使喷墨头20内的墨水振动。这样，即使墨水内存在气泡时由于气泡和墨水一起振动，当气泡粘附在流路内的壁部上时，或者即使在墨水沉淀的场所气泡滞留的情况下也容易使气泡移动，和墨水一起可以将气泡从喷墨头20中排出。

又，一般流体分为粘度与滑动速率无关的牛顿流体、和粘度随滑动速率变化的非牛顿流体，进一步，非牛顿流体根据粘度的变化倾向分为膨胀流体和假塑性流体(拟似塑性流体)。图5表示各流体的滑动速率(应变速率)和粘度之间的关系。如该图所示，牛顿流体即使滑动速率很大时粘度也保持大致一定，而非牛顿流体中的膨胀流体具有随着滑动速率的增大其粘度也增大的性质。另一方面非牛顿流体中的假塑性流体具有随着滑动速率的增大其粘度减小的性质。

为此，采用非牛顿流体中的假塑性流体的墨水时，通过在向喷墨头20填充时施加振动，可以使墨水的滑动速率增大而减小粘度。因此，通过振动，在容易使气泡移动的基础上，还可以使墨水的粘度降低，提高流动性，可容易地进行排出而不会在头20内残留气泡。

以下，对喷墨头20的驱动进行说明。

如上所述，当将温度控制在例如40℃的墨水从墨水贮箱25中通过送液软管26填充到喷墨头20中后，从喷墨头驱动装置27施加图3(a)所示的喷吐波形的驱动电压，通过对与任意喷嘴91对应的压电元件92以任意的间隔、周期进行驱动，从给定喷嘴91喷出墨水。

以下对制膜处理工序进行说明。

操作者从台46的前端侧将基板48放置在第1移动装置14的台46上，该基板48被吸附保持在台46上进行定位。然后，使电机44动作，使基板48的端面与Y轴方向平行进行设置。

然后，使喷墨头20沿X轴方向移动，定位在电子天平的上部。然后，进行给定滴数(指定的墨滴数量)的喷吐。

这样，电子天平检测例如5000滴墨水的重量，计算1滴墨滴的重量。然后，判断1滴墨滴的重量是否在预先设定的适当范围之内，如果在适当范围之外，调整向压电元件92施加的施加电压，使1滴墨滴的重量在适当范围内。

当1滴墨滴的重量已经适当时，由第1移动装置14使基板48在Y轴方向上适当移动进行定位，同时由第2移动装置16使喷墨头20在X轴方向上适当移动进行定位。然后，喷墨头20向预备喷吐区域52从所有喷嘴预备喷吐墨水之后，相对于基板48在Y轴方向上相对移动(实际上是基板48相对于喷墨头20在Y方向移动)，对基板48上的给定区域从给定喷嘴按照给定宽度喷吐墨水。喷墨头20和基板48之间的一次相对移动结束后，使喷墨头20相对于基板48在X轴方向上一定给定量步幅，然后，在基板48相对于喷墨头20移动的期间喷吐墨水。然后，通过多次重复该动作，在制膜区域整体上喷出墨水，完成制膜。

以下，参照图6以及图7说明通过制膜处理制造彩色滤光片的例子。

图6的基板68是透明基板，采用具有适当机械强度并且透光性高的基板。作为基板48，可以采用例如透明玻璃基板、丙烯酸玻璃、塑料基板、塑料薄膜以及这些的表面处理品等。

例如，在图7所示的长方形形状的基板48上，根据提高生产效率的观点，使多个彩色滤光片区域105形成为行列状。这些彩色滤光片区域105，在后面通过切断玻璃48，可以作为适合液晶显示装置的彩色滤光片使用。

在彩色滤光片区域105上，例如如图7所示，按照形成给定图案配置R墨水、G墨水以及B墨水。作为该形成图案，除了该图所示的现有周知的条纹型之外，还有马赛克型、δ型或者方型等。特别是，通过使头20倾斜使像素部的配置间接与喷嘴间隔对应，可以一次喷成条纹型的喷嘴数量越多，越有效。

图6表示在基板48上形成彩色滤光片区域105的工序的一例。

在图6(a)中，在透明基板48的一面上，形成黑色矩阵110。在成为彩色滤光片的基础的基板48上，将没有透光性的树脂(优选黑色)采用旋转喷涂等方法，涂敷给定厚度(例如2μm左右)，采用光刻法等方法设置矩阵状的黑色矩阵110。黑色矩阵110的格子所包围的最小显示要素成为滤光片元件，例如，是X轴方向的宽度为30μm，Y轴方向的长度为100μm左右大小的窗口。

在形成黑色矩阵110之后，例如，通过用加热器加热，对基板48上的树脂进行烧结。

如图6(b)所示，墨滴99向滤光片元件112供给。墨滴99的量是考虑了在加热过程中墨水的体积减少后的足够的量。

在图6(c)的加热过程中，对彩色滤光片上的所有滤光片元件112充填了墨滴99之后，采用加热器进行加热处理。

将基板48加热到给定温度(例如70℃左右)。墨水的溶媒蒸发后，墨水的体积减少。如果体积减少大时，在作为彩色滤光片获得足够墨水膜的厚度之前，重复进行墨水喷吐工序、加热工序。通过这样的处理，使墨水的溶媒蒸发，最终只留在固态形部分，成为膜化。

在图6(d)的保护膜形成工序中，为了使墨滴99完全干燥，以给定温度进行给定时间的加热。干燥结束后为了对形成了墨水膜的彩色滤光片的基板48进行保护以及滤光片表明的平坦化，形成保护膜120。可以采用例如旋转喷涂法、辊涂法、剥裂法等方法。

在图6(e)的透明电极形成工序中，采用溅射法或者真空蒸镀法等，在保护膜120的整个面上形成透明电极130。

在图6(f)的图案化工序中，将透明电极130图案化形成与滤光片元件112的开口对应的像素电极。

此外，液晶的驱动采用TFT(Thin Film Transistor)等时，不用该图案化。又，在上述制膜处理的中间，希望定期或者随时采用清洗单元24对喷墨头20的墨水喷吐面20P进行清洗。

如上所述，在本实施方案中，通过在墨水充填时设置向该墨水施加振动的工序，即使对于高粘度的墨水也可以在使气泡移动而不在头内部留下气泡的情况下填充墨水。特别是，对于假塑性流体的墨水，不仅可以使气泡移动，而且在不需要对墨水加热的情况下降低墨水的粘度，容易将气泡从头中排出。为此，即使是高粘度的墨水或者不能加热的墨水，可以从头中稳定进行喷吐，可以以所希望的喷吐特性在基板上制膜。其结果，由从喷墨头20喷出的墨水制造的器件，可以制膜成所希望的形状和大小，维持质量。

又，在本实施方案中，从喷墨头20喷吐墨水时所驱动的压电元件92，由于可以兼作为墨水填充时的振动施加装置使用，不需要另外设置振动施加装置，可以使装置小型化并且低成本化。

此外，本发明并不限定于上述实施方案，只要不脱离权利要求的范围，可以进行各种变更。

例如，在上述实施方案中，虽然是通过驱动压电元件从头中喷出墨水的构成，也可以适用于在头内设置加热器(气泡产生装置)、在控制装置的控制下由加热器的加热所产生的气泡使墨水喷出的构成中。这时，在墨水充填时，在墨水没有喷出的程度连续实施加热器的驱动、停止，通过使气泡伸缩，可以对墨水施加振动，可以获得和采用上述压电元件时的情况同样的作用、效果。

又，在上述实施方案中，虽然是将制膜装置适用于滤光片制造装置中的构成，但并不限定于此，例如在纸等上进行打印、制膜的打印机(绘图仪)中也可以适用。

进一步，本发明的器件制造装置，并不限定于例如液晶显示器件用的彩色滤光片的制造，例如也可以在EL(电致发光)显示器件中适用。EL显示装置，具有由阴极和阳极夹持包括荧光性的无机以及有机化合物的薄膜的构成，是利用通过在上述薄膜上注入电子以及空穴进行再结合、产生励激子(激发子)、该激发子失去活性时放出光(荧光、磷光)的元件。以在这样的EL显示元件中使用的荧光性材料中，呈现红、绿以及蓝色的各发光色的材料即发光层形成材料、以及形成空穴注入/电子输送层的材料作为墨水，通过采用本发明的器件制造装置，使各色墨水在TFT或者TFD等元件基板上图案化，可以制造出自发光滤光片EL器件。在本发明的器件的范围中也包括这样的EL器件。

这时，例如，和上述彩色滤光片的黑色矩阵同样采用树脂光刻胶形成区分每个像素的隔壁，同时为了使在成为下层的层的表面上喷吐的液滴容易粘附，并且为了防止隔壁喷出的液滴弹出与相邻区间的液滴混色，作为液滴喷吐的前工序，对基板进行等离子、UV处理、偶联等表面处理。然后，采用以形成空穴注入/电子输送层的材料作为液滴供给进行制膜的第1制膜工序、和同样形成发光层的第2制膜工序进行制造。

这样制造的EL器件，可以作为分段显示或者全面同时发光的静止画面显示，例如图画、文字、标签等等低信息领域的应用，或者也可以具有点、线、面形状的光源使用。进一步，通过在无源驱动的显示元件，TFT等有源元件的驱动中使用，可以获得高辉度并且响应性优异的滤光片显示元件。

又，如果在本发明的制膜装置中供给金属材料或者绝缘材料，可以直接形成金属布线或者绝缘膜等微细图案，在新型高性能器件的制作中也可以应用。

此外，在上述实施方案中，虽然为了方便，将装置称作为「喷墨装置」以及「喷墨头」，将所喷吐的喷吐物称作为「墨水」进行了说明，从该喷墨头喷出的喷吐物并不限定于所谓的墨水，只要调整成可以从喷头喷出，例如显然也可以包括上述EL器件材料、金属材料、绝缘材料、或者半导体材料等各种各样的材料。

又，图示制膜装置的喷墨头20，虽然可以喷出R(红)、G(绿)、B(蓝)中的1种墨水，当然也可以同时喷出其中的2种或者3种墨水。又，制膜装置10的第1移动装置14和第2移动装置16虽然采用了直线电机，但并不限定于此，也可以采用其他种类的电机或驱动机构。

如上所述，在本发明中，即使是高粘度液状体，也可以不需经过加热，容易地向头中进行填充，而不会在流路中残留气泡，通过稳定进行液滴喷吐可以按照所希望的喷吐特性进行制膜，并且可以实现装置的小型化或者低成本化。又，在本发明中，不会出现喷吐不稳定引起的质量不良的情况，可以获得高质量的器件。

Claims (13)

1.一种制膜装置的液状体填充方法，是一种向包括液滴喷吐头的制膜装置的所述喷头进行液状体填充的方法，其特征在于：包括在进行所述液状体的填充时向该液状体施加振动的振动施加工序。

2.根据权利要求1所述的制膜装置的液状体填充方法，其特征在于：所述液状体是非牛顿性的假塑性流体。

3.根据权利要求1或2所述的制膜装置的液状体填充方法，其特征在于：包括通过压电元件的驱动向所述喷头施加振动将所述液滴喷出的喷吐工序，

在所述振动施加工序中，通过所述压电元件的驱动向所述液状体施加振动。

4.根据权利要求3所述的制膜装置的液状体填充方法，其特征在于：在所述振动施加工序中，按照从所述喷头中不喷出所述液滴的振动特性施加所述振动。

5.根据权利要求1或2所述的制膜装置的液状体填充方法，其特征在于：包括使所述液状体产生气泡、将所述液滴喷出的喷吐工序，

在所述振动施加工序中，通过所述气泡的伸缩向所述液状体施加振动。

6.一种器件制造方法，是一种具有向喷头填充液状体的填充工序和通过使所述喷头喷出液滴在基板上制膜的制膜工序的器件制造方法，其特征在于：

采用权利要求1至权利要求5中任意一项所述的制膜装置的液状体填充方法进行所述填充工序。

7.一种制膜装置，包括液滴喷吐头，其特征在于：包括在将所述液状体向所述喷头填充时向所述液状体施加振动的振动施加装置。

8.根据权利要求7所述的制膜装置，其特征在于：所述液状体是非牛顿性的假塑性流体。

9.根据权利要求7或8所述的制膜装置，其特征在于：所述振动施加装置是通过对所述喷头施加振动使所述液滴喷出的压电元件。

10.根据权利要求9所述的制膜装置，其特征在于：包括控制所述压电元件的驱动，使所述压电元件按照从所述喷头中不喷出所述液滴的振动特性对所述液状体施加振动的控制装置。

11.根据权利要求7或8所述的制膜装置，其特征在于：所述振动施加装置包括通过使所述液状体产生气泡而将所述液滴喷出的气泡产生装置、

控制所述气泡产生装置的驱动，使所产生的气泡进行伸缩的控制装置。

12.一种器件制造装置，是一种包括由从喷头喷出的液滴在基板上形成膜的制膜装置的器件制造装置，其特征在于：

作为所述制膜装置，采用权利要求7至权利要求11中任意一项所述的制膜装置。

13.一种器件，其特征在于：由权利要求12所述的器件制造装置制造。

Images