CN1572379A - 液状体的涂布装置和方法、液晶装置及其制造方法、电子设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种液晶装置的制造方法。采用了具有在基板(220)上涂布液晶的液滴喷出装置(10)、对液晶涂布前的基板(220)进行预热的多级炉(120)、对液晶涂布后的基板(220)进行冷却的冷却板(130)的构成。另外，采用了具有从多级炉(120)向液滴喷出装置(10)自动输送基板(220)的第1机械臂(125)、从液滴喷出装置(10)向冷却板(130)自动输送基板(220)的第2机械臂(135)的构成。由此可以控制涂布在基板上的液晶的浸润展开。

Description

液状体的涂布装置和方法、液晶装置及其制造方法、电子设备

技术领域

本发明涉及液状体的涂布装置、液状体的涂布方法、液晶装置的制造方法、液晶装置及电子设备。

背景技术

在携带电话等电子设备的彩色图像显示部中，使用有液晶显示装置等电光学装置。液晶显示装置是在一对透明基板之间夹持液晶层而构成的。在形成该液晶显示装置时，首先，在一方的基板的表面周缘部上涂布密封材料。此时，在密封材料的一部分上先形成液晶的注入口。然后，在密封材料的内侧散布隔块，借助密封材料使另一方的基板贴合。这样就在由一对基板和密封材料包围的区域中形成液晶盒。然后，在真空中对液晶盒内进行脱气，在将液晶注入口浸渍在液晶槽内的状态下，使整体恢复到大气压下。其后，利用液晶盒与外部的压力差及表面张力，将液晶填充到液晶盒内。

但是，在用所述的方法填充液晶的情况下，填充时间非常长。特别是，在使用对角线在1m以上的大型的基板的情况下，液晶的填充需要1天以上的时间。

所以，提出有使用喷墨装置等液晶喷出装置在基板上涂布液晶的滴下组装法(例如参照专利文献1)。该方法首先在一方的基板的表面周缘部上，涂布由热硬化树脂等制成的密封材料。然后，在该密封材料的内侧，利用液滴喷出装置滴下规定量的液晶。最后，借助密封材料使另一方的基板贴合，从而形成液晶显示装置。

[专利文献1]

特开平10-221666号公报

但是，在所述的滴下组装法中，会产生难以控制涂布在基板上的液晶的浸润展开范围的问题。当涂布的液晶因粘度较低而浸润展开速度较快时，就会有浸润展开的液晶与硬化前的密封材料接触，从而在液晶中混入异物的问题。由于该异物的混入，液晶的配向性能就会降低，从而产生显示不均。另外，当涂布的液晶因粘度较高而浸润展开速度较慢时，就有可能产生液晶的漏涂。由于该漏涂，液晶装置的一部分的象素就无法形成，从而使液晶装置的成品率降低。

发明内容

本发明是为了解决所述问题而形成的，其目的在于，提供一种可以控制涂布在基板上的液状体的浸润展开速度、还可以提高液状体涂布工序的生产量的液状体的涂布装置、液状体的涂布方法。另外，其目的还在于，提供一种显示质量优良的液晶装置的制造方法、液晶装置及电子设备。

为了达成所述目的，本发明的液状体的涂布装置是在基板上涂布液状体的装置，其特征是，具有在所述基板上涂布所述液状体的涂布部、对要涂布所述液状体的所述基板进行预热的预热部、和从所述预热部向所述涂布部自动地输送所述基板的输送机构。如果预先对基板进行预热，则由于涂布在基板上的液状体的温度上升而粘度降低，因此可以提高液状体的浸润展开速度。另外，通过对基板进行预热，就不需要在涂布部上使基板的温度上升，从而可以立即开始液状体的涂布。所以，就可以提高液状体涂布工序的生产量。而且，由于采用了具有自动输送基板的输送机构的构成，因此可以使基板的输送有效化，从而可以提高液状体涂布工序的生产量。

另外，在所述输送机构上，最好设有所述基板的加热机构。根据该构成，由于可以防止输送中的基板的温度降低，因此不需要在涂布部对基板重新加热，而可以立即开始液状体的涂布。所以，可以提高液状体涂布工序的生产量。

另外，最好在所述涂布部上，设有所述基板的加热机构。根据该构成，由于可以防止涂布部的基板的温度降低，因此可以提高涂布在基板上的液状体的浸润展开速度。

另一方面，本发明的液状体的涂布装置是在基板上涂布液状体的装置，其特征是，具有在所述基板上涂布所述液状体的涂布部、将涂布在所述基板上的所述液状体冷却的冷却部。由于通过冷却涂布在基板上的液状体，使液状体的温度降低而粘度上升，因此可以使液状体的浸润展开速度降低。

另外，最好具有从所述涂布部向所述冷却部自动输送所述基板的输送机构。根据该构成，可以使基板的输送有效化，从而可以提高液状体涂布工序的生产量。

另外，最好在所述输送机构上，设有涂布在所述基板上的所述液状体的冷却机构。根据该构成，由于可以迅速地降低液状体的浸润展开速度，因此可以提高液状体涂布工序的生产量。

另外，也可以在所述涂布部上，设有涂布在所述基板上的所述液状体的冷却机构。根据该构成，由于可以迅速地降低液状体的浸润展开速度，因此可以提高液状体涂布工序的生产量。

另一方面，本发明的液状体的涂布方法是在基板上涂布液状体的方法，其特征是，具有：在对所述基板进行预热的预热部中对所述基板进行预热的工序、将所述基板从所述预热部向在所述基板上涂布所述液状体的涂布部自动输送的工序、在所述涂布部中将所述液状体涂布在所述基板上的工序。根据该构成，可以使液状体的浸润展开速度提高。另外，还可以提高液状体涂布工序的生产量。

另外，本发明的其他的液状体的涂布方法是在基板上涂布液状体的方法，其特征是，在所述基板上涂布所述液状体后，将涂布在所述基板上的所述液状体冷却。根据该构成，可以降低液状体的浸润展开速度。

另一方面，本发明的液晶装置的制造方法是具有一对基板、设于所述一对基板间的周缘部的密封材料、封入由所述一对基板及所述密封材料形成的空间内的液晶的液晶装置的制造方法，其特征是，在向所述一对基板当中的一方的所述基板涂布所述液晶前，对所述一方的基板进行预热。根据该构成，可以使液晶的浸润展开速度提高。另外，还可以提高液晶涂布工序的生产量。

另外，最好在所述一对基板的另一方的所述基板上涂布所述密封材料，使之与涂布了所述液晶的所述一方的基板贴合。根据该构成，由于对未涂布密封材料的一方的基板进行预热，因此不会有在将两基板贴合前密封材料被加热而硬化的问题。所以，可以避免两基板的贴合不良的发生。

另一方面，本发明的液晶装置的制造方法是具有一对基板、设于所述一对基板间的周缘部上的密封材料、封入由所述一对基板及所述密封材料形成的空间内的液晶的液晶装置的制造方法，其特征是，在向所述一对基板当中的一方的所述基板涂布了所述液晶后，将涂布在所述一方的基板上的所述液晶冷却。根据该构成，可以使液晶的浸润展开速度降低。

另外，最好在涂布在所述一方的基板上的所述液晶浸润展开至与所述密封材料接触的位置前，开始对涂布在所述一方的基板上的所述液晶的冷却。根据该构成，涂布在基板上的液晶就不会超越利用密封材料的贴合位置而浸润展开。所以，不会因液晶盒内的液晶量不足而产生局部漏涂，另外也不会发生一对基板的贴合不良。而且，不会产生液晶与密封材料接触而在液晶中混入异物的问题。

另一方面，本发明的液晶装置的特征是，使用所述的液晶装置的制造方法来制造。根据该构成，不会在液晶中混入异物，也没有基板上的液晶的局部漏涂，从而可以提供显示质量优良的液晶装置。

另一方面，本发明的电子设备的特征是，具有所述的液晶装置。根据该构成，可以提供显示质量优良的电子设备。

附图说明

图1是液滴喷出单元的方框图。

图2是将液晶装置的滤色片基板取下后的状态的俯视图。

图3是相当于图2的H-H’线的部分的液晶装置的侧视剖面图。

图4是液滴喷出装置的概略外观立体图。

图5是喷墨头的构造例的说明图。

图6是表示压电元件的驱动电压波形、和与该驱动电压对应的喷墨头的动作的概略图。

图7是实施方式的液晶装置的制造方法的说明图。

图8是携带电话的立体图。

图中：10—液滴喷出装置，120—多级炉，125—第1机械臂，130—冷却板，135—第2机械臂，220—基板。

具体实施方式

下面将参照附图对本发明的实施方式进行说明。而且，以下的说明中使用的各附图中，由于将各构件设为可以识别的大小，因此对各构件的比例尺进行了适宜的变更。以下，虽然以通过作为液状体而涂布液晶来制造液晶装置的方法及其装置为例进行说明，但是本发明还可以适用于涂布液晶以外的液状体的情况。

[液晶装置]

图2表示将液晶装置的滤色片基板取下后的状态的俯视图。另外，图3表示相当于图2的H-H’部分的液晶装置的侧视剖面图。而且，虽然图2中为了说明TFT阵列基板的平面构造而显示将滤色片基板取下后的状态的俯视图，但是，图3中显示了包括滤色片基板在内的液晶装置整体的侧视剖面图。液晶装置200是在由TFT阵列基板210及滤色片基板220、密封材料252形成的空间中，封入液晶250而形成了多个象素的装置。

图2所示的TFT阵列基板210是在玻璃等基板的表面形成了作为各象素的开关元件的薄膜晶体管(TFT)的构件。从各TFT(未图示)的门电极，平行延伸出多条扫描线(未图示)。另外，在各TFT的上方形成层间绝缘膜，在其表面上平行地形成有多条数据线(未图示)。此外，各TFT的电源穿过通孔与各数据线连接。而且，各扫描线及各数据线被相互正交地配置成格子状，各扫描线与形成于基板周缘部的扫描线驱动电路204连接，各数据线与形成于基板周缘部的扫描线驱动电路201连接。另外，在基板周缘部上还形成有用于将扫描线驱动电路204及数据线驱动电路201与外部连接的端子202。另外，在数据线的上方形成有层间绝缘膜，在其表面上形成有象素电极(未图示)。此外，各TFT的漏极穿过通孔与象素电极连接。此外，在象素电极的上方，形成有液晶分子的配向膜。

另一方面，图3所示的滤色片基板220是在玻璃等基板的表面形成了RGB各色滤色片层223的构件。而且，在各滤色片层223的间隙中，以镜框状形成有黑底。另外，在滤色片层的表面形成有保护膜，在其表面上形成有由ITO等制成的共用电极221。TFT阵列基板210及滤色片基板220的配向膜由聚酰亚胺等薄膜构成。另外，通过利用尼龙滚筒等沿规定方向擦拭该配向膜的表面，来实施摩擦处理。利用该摩擦处理，可以沿所述规定方向限定液晶分子的配向。而且，也可以不进行摩擦处理，而是通过在配向膜的表面形成多条细长突起等，来进行液晶分子的配向限定。另外，另外，TFT阵列基板210的配向膜的配向限定方向和滤色片基板220的配向膜的配向限定方向会形成错开规定角度的状态。

此外，如图2所示，在TFT阵列基板210的象素显示区域的周边部，涂布有由硬化前的热硬化树脂等形成的密封材料252。而且，密封材料252形成于TFT阵列基板210的整个外周上，在其角部形成有用于将滤色片基板的共用电极印至TFT阵列基板210的导通构件206。另外，如图3所示，在相当于滤色片基板220的密封材料252的内侧的区域中，利用后述的涂布方法涂布有液晶250。此外，借助该密封材料252，将TFT阵列基板210和滤色片基板220贴合在一起。这样，液晶250就会被封入由TFT阵列基板210及滤色片基板220、密封材料252形成的空间内。另外，在TFT阵列基板210及滤色片基板220的外侧表面，形成有偏光薄膜(未图示)。如上所示构成液晶装置200。此外，在液晶装置200的象素显示区域中，以点阵状形成有多个象素。

[液滴喷出单元]

图1表示本实施方式的液滴喷出单元的方框图。作为液晶装置的制造装置的液滴喷出单元1主要由向所述的滤色片基板(以下只称为基板)220上涂布液晶的涂布部(液滴喷出装置10)、对液晶涂布前的基板220进行预热的预热部(多级炉120)、对液晶涂布后的基板220进行冷却的冷却部(冷却板130)构成。

图4表示构成涂布部的液滴喷出装置10的概略外观立体图。液滴喷出装置10主要由喷出液晶的喷墨头(喷头)20及喷头移动机构16、放置基板220的台架46及台架移动机构14构成。

喷头移动机构16由以规定间隔竖立设置的2根支柱16a、16a、架设在两支柱的上端部的横柱16b构成。在该横柱16b的下表面，设有沿图4的X方向延伸的导轨(未图示)及可以沿该导轨移动的滑块(未图示)等。作为所述的滑块的驱动机构，例如采用线性马达等。这样，就可以将配置于滑块的下方的喷头20沿X方向移动，还可以停止在任意的位置上。另一方面，在所述的滑块的表面固定有线性马达62等，利用该线性马达62可以将小棒(未图示)沿图4的Z方向移动。此外，在该小棒的头端固定有喷头20。这样就可以将喷头20沿Z方向移动，还可以停止在任意的位置上。另外，也可以通过将喷头20与其他的马达等连接，使喷头20可以绕X、Y及Z轴旋转，还可以停止在任意的位置上。

这里，对于喷头20的构造例，将参照图5进行说明。在喷头20的喷头主体90上，形成有贮存室95及多个墨料室(压力产生室)93。贮存室95成为用于向各墨料室93中供给液晶等墨料的流路。另外，在喷头主体90的一方端面上，安装有构成墨料喷出面20P的喷嘴板。在该喷嘴板上，与各墨料室93对应，开设有喷出墨料的多个喷嘴91。此外，从各墨料室93朝向对应的喷嘴91形成有流路。另一方面，在喷头主体90的另一方端面上，安装有振动板94。

该振动板94构成墨料室93的壁面。在该振动板94的外侧，与各墨料室93对应，设有压电元件(压力产生机构)92。压电元件92是用一对电极(未图示)夹持有水晶等压电材料的元件。

图6是表示压电元件的驱动电压波形W1和与该驱动电压对应的喷头20的动作的概略图。以下将对向构成压电元件92的一对电极加上波形W1的驱动电压的情况进行说明。首先，在正倾斜部a1、a3中，压电元件92收缩，墨料室93的容积增加，墨料从贮存室95向墨料室93内流入。另外，在负倾斜部a2中，压电元件92膨胀，墨料室93的容积减小，将被加压的墨料99从喷嘴91喷出。此外，墨料的涂布量由该驱动电压波形W1的振幅及所加次数等决定。

而且，作为喷头20的驱动方式，并不限定于使用压电元件92的压电喷头类型，也可以采用利用例如热膨胀的热喷墨类型等。另外，作为液晶的涂布机构，也可以采用喷墨头以外的涂布机构。作为喷墨头以外的液晶涂布机构，例如可以采用分送器(dispenser)。分送器与喷墨头相比，由于具有大口径的喷嘴，因此还可以喷出粘度较高状态的液晶。

另一方面，在图4所示的液滴喷出装置10中，台架移动机构14由沿Y方向延伸的导轨(未图示)及可以沿导轨移动的滑块(未图示)等构成。作为该滑块的驱动机构，例如可以采用线性马达等。这样就可以将配置于滑块的上方的台架46沿Y方向移动，另外还可以停止在任意的位置上。另外，也可以通过将喷头20与其他的马达等连接，而可以使台架46绕Z轴旋转，还可以停止在任意的位置上。而且，为了促进所涂布的液晶的浸润展开，也可以设置对台架46的振动赋与机构70。此时，将振动赋与机构70安装在台架移动机构14上，将台架46安装在振动赋与机构70上即可。另一方面，在台架46的上表面，设有基板220的吸附保持机构(未图示)。

此外，在图4所示的液滴喷出装置10中，设有动作控制部80。动作控制部80通过向喷头移动机构16及线性马达62输出动作信号，就可以使喷头20移动到规定位置。

另外，通过向喷头20的压电元件输出驱动信号，就可以从喷头20以规定时机喷出规定量的液晶。另一方面，动作控制部80通过向台架移动机构14输出动作信号，可以使台架46移动至规定的位置。另外，在设置了振动赋与机构70的情况下，通过向该振动赋与机构70输出驱动信号，可以使台架46沿规定方向振动。

另一方面，为了调整液晶等墨料的温度，在喷头20上安装有加热器等温度调节机构及温度传感器(未图示)。另外，由于将墨料从墨罐86经过墨料流路87向喷头20供给，因此，在该墨罐86及墨料流路87中都设置加热器等温度调节机构及温度传感器(未图示)。而且，在放置有基板220的台架46上，也设有加热器及冷却器等温度调节机构及温度传感器(未图示)。此外，在液滴喷出装置10上，设有温度控制部82，在监视利用所述的各温度传感器的测量结果的同时，通过控制各温度调节机构的动作，就可以将墨料调节至规定温度。而且，也可以不采用所述的各温度调节机构，或与所述的各温度调节机构一起，在液滴喷出装置10的周围设置可以进行内部温度调节的腔室。

该腔室既可以包括液滴喷出装置10的整体，也可以只包含放置了基板220的台架46及喷头20。利用该腔室，就可以对涂布前后的液晶的温度一起进行控制。

另一方面，在图1所示的液滴喷出单元中，在液滴喷出装置10的上游侧，设有构成基板220的预热部的多级炉120。多级炉120主要由具有加热器等加热机构的腔室、设于腔室内部的多个搁架部、安装在腔室内部的温度传感器、控制腔室内部的温度的温度控制部构成。在腔室内部，设有放置多个基板220的多个搁架部。这样就可以进行对多个基板220的批处理，从而可以提高液晶涂布工序的生产量。为了包含该多个搁架部，腔室被制成大型的箱状。此外，在腔室的内壁上安装有加热器等加热机构，从而可以对多个基板进行均匀地加热。温度控制部根据利用温度传感器得到的测量结果，输出加热机构的动作信号，可以将腔室内部保持在规定温度。而且，除了所述的多级炉120以外，只要是能够将基板220预热至规定温度的装置，可以在预热部中采用。

另外，在多级炉120和液滴喷出装置10之间，设有作为基板220的第1输送机构的第1机械臂125。第1机械臂125主要由转动轴、可以绕转动轴转动的臂、设于臂的头端的真空吸附机构及加热机构、控制臂等的动作的控制部构成。臂可以绕着转动轴从多级炉120的位置转动到液滴喷出装置10的位置。真空吸附机构对基板220的背面等进行真空吸附，从而可以保持基板220。加热机构由对由真空吸附机构保持的基板220进行加热的加热器及温度传感器等构成。控制部向臂的驱动马达或真空吸附机构、加热机构等输出动作信号，从而控制它们的动作。而且，除了所述的第1机械臂以外，只要是能够将基板从预热部向涂布部输送的装置，就可以作为第1输送机构采用。

另一方面，在液滴喷出装置10的下游侧，设有构成基板220的冷却部的冷却板130。冷却板130主要由放置基板220的平板、安装在平板表面的温度传感器、形成于平板内部的冷却水的流路、控制平板表面的温度的温度控制部构成。平板由热传导率高的金属材料等制成。从外部的泵向平板内部的流路中供给冷却水。温度控制部根据温度传感器的测量结果使冷却水的流路变化，从而可以将平板表面保持在规定温度。而且，除了所述的冷却板130以外，只要是能够将基板冷却至规定温度的装置，就可以在冷却部中采用。

另外，在液滴喷出装置10和冷却板130之间，作为基板220的第2输送机构，设有第2机械臂135。第2机械臂135的构成虽然与第1机械臂125相同，但是取代第1机械臂125的加热机构，第2机械臂135上设有冷却机构。冷却机构由对被真空吸附机构保持的基板220进行冷却的冷却器及温度传感器等构成。控制部可以向该冷却机构等输出动作信号而控制其动作。而且，除了所述的第2机械臂以外，只要是能够从涂布部向冷却部输送基板220的装置，都可以作为第2输送机构采用。

[液晶装置的制造方法]

下面使用图1、图4及图7对使用所述的液滴喷出单元涂布液晶的方法进行说明。图7是本实施方式的液晶装置的制造方法的说明图。本实施方式中，以向滤色片基板220涂布液晶，使之与形成了密封材料的TFT阵列基板210贴合的情况为例进行说明。

如图1所示，首先，将基板220投入多级炉129中进行预热。多级炉120的内部温度例如预先设定为70℃。

具体来说，在由安装在腔室内部的温度传感器测得的测量结果低于70℃的情况下，为了开始加热器等加热机构的运转，而从温度控制部输出运转开始信号。另外，在由温度传感器测得的测量结果超过70℃的情况下，为了停止加热器等加热机构的运转，而从温度控制部输出运转停止信号。这样，就将多级炉120的内部温度保持在70℃。

多级炉120中，在70℃下对基板220加热10分钟左右。也可以向多级炉120中同时投入多个基板220，也可以按照液滴喷出装置10中的处理时间依次投入。在后者的情况下，如果按照投入的顺序搬出基板220，则可以将对各基板的预热时间均一化，同时，可以向液滴喷出装置10连续地供给基板220。此外，多级炉120的内部，将各基板220放置在各搁架部之上，对各基板进行均匀的加热。

如图7所示，本实施方式中，在TFT阵列基板210上涂布密封材料252，在滤色片基板220上涂布液晶250。所以，就会对滤色片基板220进行预热。这里，由于在滤色片基板220上未涂布密封材料252，因此在使两基板贴合之前，就不会有密封材料252被加热而硬化的问题。所以，可以避免两基板的贴合不良的发生。

然后，利用图1所示的第1机械臂125，将基板220输送至液滴喷出装置10。具体来说，首先，将臂转动至多级炉120的位置。然后，利用形成于臂头端的真空吸附机构，对要搬出的基板220的背面等进行真空吸附。然后，将保持了基板220的臂转动至液滴喷出装置10的位置。此后，在图4所示的台架46的上方解除真空吸附，将基板220放置在台架46上。这样就可以使基板的输送有效化，从而可以提高液晶涂布工序的生产量。而且，在利用臂输送基板220的过程中，最好利用臂头端部的加热机构加热基板，从而防止基板的温度降低。这样就不用在液滴喷出装置10对基板220重新进行加热，而可以立即开始液晶的涂布。所以，可以提高液晶涂布工序的生产量。

然后，在图4所示的液滴喷出装置10中，向基板220涂布液晶。

一般来说，液晶为高粘度流体，在常温(20℃)下显示出50cps以上的粘度。很难使此种高粘度流体从喷头20的微小直径的喷嘴中喷出。而且，如果要利用喷头20使液晶稳定地喷出，则需要使液体的粘度降低至10cps左右。所以，利用图4所示的温度控制部82，驱动安装在贮存室86、墨料流路87及喷头20上的加热器等温度调节机构，将液晶的温度保持在70℃左右。这样，液晶的粘度降低至10cps左右，从而可以进行利用喷头20的液晶的喷出，进而可以准确地喷出规定量的液晶。

另一方面，利用温度控制部82，驱动安装在台架46上的加热器等温度调节机构，将台架46的表面温度保持在70℃左右。这样，将被预热了的基板220放置在台架46上，也可以防止基板220的温度降低。

然后，从图4所示的动作控制部80向台架移动机构14及/或喷头移动机构16输出动作信号，将喷头20配置在基板220的涂布开始位置的上方。此外，从动作控制部80向喷头20的压电元件输出驱动信号，使液晶从喷头20向基板220喷出。另外，在使台架46及/或喷头20移动的同时，从喷头20喷出液晶。而且，通过对喷头20和台架46的相对速度、利用喷头20进行的液晶的喷出频率、喷头20绕Z轴的倾斜角度等进行调整，就可以控制每单位面积的涂布量。这样就会如图7的中央所示，在基板220的表面涂布液晶250。而且，为了将基板间的间隙设为一定值，也可以在液晶中含有微粒。

如上所述，由于基板220的温度被保持在70℃左右，因此涂布在基板上的液晶250的温度也被保持在70℃左右。液晶250在70℃左右的温度下达到10cps左右的低粘度，因此如图7的右下所示，迅速地在基板上浸润展开。由于通过像这样对基板220进行预热，涂布在基板上的液晶250的温度上升而粘度降低，因此可以提高液晶的浸润展开速度。另外，通过对基板220进行预热，就不需要在液晶喷出装置上使基板的温度上升，而可以立即开始液晶250的涂布。所以，就可以提高液状体涂布工序的生产量。另外，通过在液滴喷出装置上也对基板220进行加热，可以防止基板的温度降低，因此可以提高涂布在基板上的液晶250的浸润展开速度。而且，通过对喷头20等进行加热，可以进行液晶250的喷出，同时，不需要使涂布在基板220上的液晶的温度上升。所以就可以提高液晶涂布工序的生产量。

使涂布了液晶250的滤色片基板220，如后述所示与涂布了密封材料252的TFT阵列基板210贴合。所以，当涂布在滤色片基板220上的液晶超越密封材料252的贴合位置而浸润展开时，除了会因液晶盒内的液晶量不足而产生局部漏涂外，还会产生两基板的贴合不良。另外，当液晶250与密封材料252接触时，构成密封材料的树脂有可能混入液晶中。所以，需要在涂布在滤色片基板220上的液晶250浸润展开至将要与密封材料252接触的位置前，抑制液晶的浸润展开。

所以，将涂布在基板220上的液晶冷却至40℃左右。具体来说，利用图4所示的温度控制部，驱动冷却器等温度调节机构，使得安装在台架46上的温度传感器的测量结果达到40℃左右。这样，液晶的粘度上升至25cps左右，浸润展开被抑制。而且，液晶的冷却目标温度不限于40℃，只要是低于加热目标温度即70℃的温度即可。另外，也可以不在液晶喷出装置10进行冷却，而将涂布了液晶的基板220直接输送至冷却板。此时，由于不需要将液滴喷出装置10的台架46再次加热至70℃，因此可以防止液晶涂布工序的生产量的降低。

然后，利用图1所示的第2机械臂135，将基板220输送至冷却板130。其具体的方法与第1机械臂125的情况相同。而且，在利用臂进行的基板220的输送中，也可以利用臂头端部的冷却机构将基板220冷却至基板220，促进基板的温度降低。

这样，由于可以迅速地使液晶的浸润展开速度降低，因此可以提高液晶涂布工序的生产量。

此外，将基板220放置在冷却板130上。冷却板130的表面温度被预设为40℃左右。具体来说，当安装在冷却板130的表面的温度传感器的测量结果超过40℃时，为了向形成于冷却板130的内部的流路供给冷却水，而从温度控制部向外部泵输出运转开始信号。另外，当温度传感器的测量结果超过40℃时，为了停止冷却水的供给，而从温度控制部输出运转停止信号。而且，也可以在一直供给冷却水，通过增减其流量来进行温度调节。这样就将冷却板130的表面温度保持在40℃。

利用该冷却板130将基板220冷却至40℃左右，进而将涂布在基板220上的液晶冷却至40℃左右。这样，液晶的粘度上升，浸润展开速度降低。其结果是，在涂布在基板220上的液晶浸润展开至要与密封材料接触之前，就可以抑制浸润展开。而且，也可以通过调节基板220的冷却开始时期，如图7的右下所示，在即将与密封材料接触之前的位置，使液晶250的浸润展开停止。

然后，使图7的右下所示的滤色片基板220与图7的右上所示的TFT阵列基板210贴合。在这以前，在TFT阵列基板210的图像显示区域的周边部，先涂布由硬化前的热硬化树脂等制成的密封材料252。密封材料252的涂布利用丝网印刷或分送器等进行。而且，为了将基板间的间隙设为一定值，也可以在密封材料中含有微粒。

此外，一边使两基板间的间隙达到均匀地进行调整，一边在真空中进行两基板的贴合。另外，通过在加热炉中大约在120℃下加热10分钟左右，使密封材料252硬化而将两基板粘接在一起。如上所述，本实施方式中，在涂布在滤色片基板220上的液晶250浸润展开至要与涂布在TFT阵列基板210上的密封材料252接触的位置之前，即抑制了液晶250的浸润展开。所以，液晶250就不会超越密封材料252的贴合位置而浸润展开，因而不会因液晶盒内的液晶量不足而产生局部漏涂，或发生两基板的贴合不良。另外，由于硬化前的密封材料252和液晶250的接触机会减少，因此可以减少异物混入液晶的可能性，从而可以防止液晶的配向性能的降低及显示不均的发生。

利用以上步骤即完成图3所示的液晶装置200。

如上详细说明的那样，由于采用了具有对涂布了液晶的基板进行预热的预热部的构成，因此可以提高液状体的浸润展开速度。另外，由于采用了具有对涂布在基板上的液晶进行冷却的冷却部的构成，因此可以使液状体的浸润展开速度降低。这样，利用本实施方式的液滴喷出单元，就可以控制液晶的浸润展开速度。另外，由于在涂布部的台架及液滴喷出单元上设置温度调节机构，另外，在基板的输送机构上也设置温度调节机构，因此可以迅速地进行液晶的温度控制。

所以，可以提高液滴涂布工序的生产量。

而且，本实施方式中，在TFT阵列基板210上涂布密封材料252，在滤色片基板220上涂布液晶250，使两基板贴合。但是，也可以与之相反，在滤色片基板220上涂布密封材料252，在TFT阵列基板210上涂布液晶250，使两基板贴合。

[电子设备]

下面使用图8对具有液晶装置的电子设备的例子进行说明。图8是携带电话的立体图。用所述的方法形成的液晶装置被配置在携带电话3000的框体内部。

而且，用所述方法形成的液晶装置除了携带电话以外，还可以适用于各种电子设备中。例如，可以适用于液晶投影仪、对应多媒体的个人电脑(PC)及工程·工作站(EWS)、寻呼机、文字处理器、电视、取景器(viewfinder)型或监视器直视型的磁带录像机、电子记事簿、台式电子计算器、汽车导航装置、POS终端、具有触摸型面板的装置等电子设备中。

而且，本发明的技术范围并不限定于所述的实施方式，还包括在不脱离本发明的宗旨的范围内在所述的实施方式中添加了各种变更的方案。即，在实施方式中举出的具体的材料或构成等只不过是一个例子，可以进行适宜的变更。

Claims (15)

1.一种液状体的涂布装置，是在基板上涂布液状体的装置，其特征是，具有在所述基板上涂布所述液状体的涂布部、对要涂布所述液状体的所述基板进行预热的预热部、和从所述预热部向所述涂布部自动地输送所述基板的输送机构。

2.根据权利要求1所述的液状体的涂布装置，其特征是，在所述输送机构上，设有所述基板的加热机构。

3.根据权利要求1或2所述的液状体的涂布装置，其特征是，在所述涂布部上，设有所述基板的加热机构。

4.一种液状体的涂布装置，是在基板上涂布液状体的装置，其特征是，具有在所述基板上涂布所述液状体的涂布部、和将涂布在所述基板上的所述液状体冷却的冷却部。

5.根据权利要求4所述的液状体的涂布装置，其特征是，具有从所述涂布部向所述冷却部自动输送所述基板的输送机构。

6.根据权利要求5所述的液状体的涂布装置，其特征是，在所述输送机构上，设有涂布在所述基板上的所述液状体的冷却机构。

7.根据权利要求4至6中任意一项所述的液状体的涂布装置，其特征是，在所述涂布部上，设有涂布在所述基板上的所述液状体的冷却机构。

8.一种液状体的涂布方法，是在基板上涂布液状体的方法，其特征是，具有：在对所述基板进行预热的预热部中对所述基板进行预热的工序、将所述基板从所述预热部向在所述基板上涂布所述液状体的涂布部自动输送的工序、和在所述涂布部中将所述液状体涂布在所述基板上的工序。

9.一种液状体的涂布方法，是在基板上涂布液状体的方法，其特征是，将涂布在所述基板上的所述液状体冷却。

10.一种液晶装置的制造方法，是具有一对基板、设于所述一对基板间的周缘部的密封材料、和封入由所述一对基板及所述密封材料形成的空间内的液晶的液晶装置的制造方法，其特征是，在向所述一对基板中的一方的所述基板涂布所述液晶前，对所述一方的基板进行预热。

11.根据权利要求10所述的液晶装置的制造方法，其特征是，在所述一对基板中的另一方的所述基板上涂布所述密封材料，使之与涂布了所述液晶的所述一方的基板贴合。

12.一种液晶装置的制造方法，是具有一对基板、设于所述一对基板间的周缘部的密封材料、和封入由所述一对基板及所述密封材料形成的空间内的液晶的液晶装置的制造方法，其特征是，在向所述一对基板中的一方的所述基板涂布了所述液晶后，将涂布在所述一方的基板上的所述液晶冷却。

13.根据权利要求12所述的液晶装置的制造方法，其特征是，在涂布在所述一方的基板上的所述液晶浸润展开至可与所述密封材料接触的位置前，开始对涂布在所述一方的基板上的所述液晶的冷却。

14.一种液晶装置，其特征是，使用权利要求10至13中任意一项所述的液晶装置的制造方法来制造。

15.一种电子设备，其特征是，具有权利要求14所述的液晶装置。

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