TWI292342B - Applying device and method for applying liquid composed of liquid crystal material, method for manufacturing liquid crystal device, and electronic equipment - Google Patents

Description

1292342 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明乃有關於液狀體之塗佈裝置，液狀體之塗佈方 法，液晶裝置之製造方法，液晶裝置及電子機器。 【先前技術】 於傳統攜帶電話等之電子機器之彩色畫像顯示部，乃 使用著液晶顯示裝置等之光電裝置。液晶顯示裝置，係於 一對透明基板間挾持液晶層所構成之。於形成此液晶顯示 裝置，首先，於其中一方基板表面周緣部塗佈密封材。此 時，於密封材之一部份，事先形成液晶之注入口。其次， 於密封材內側，散佈間隔物，藉由密封材與另一方基板進 行貼合。藉此，利用一對基板與密封材所包圍之領域，形 成液晶單元。其次，於真空中抽氣液晶單元內，於液晶槽 內以浸入液晶注入口之狀態，整體性返回大氣壓下。於 是，藉由液晶單元與外部之壓差及表面張力，使得於液晶 單元內塡充液晶。 但是，當以上述方法塡充液晶時，塡充時間將變爲非 常長。尤其爲當使用對角lrn以上之大型基板時，塡充液 晶則需耗費1天以上。 因此，將揭示著使用噴墨等之液晶吐出裝置而於基板 上塗佈液晶之滴入組立法（譬如參照專利文獻1 )。此方 法’首先，於其中一方基板表面邊緣，塗佈由熱硬化性樹 脂等所形成之密封材。其次，於其密封材內側，藉由液滴 -4- 1292342 (2) 吐出裝置滴入特定量之液晶。最後，晶由密封材與另一方 基板進行貼合，而形成液晶顯示裝置。 [專利文獻1] 特開平1 0-22 1 666號公報 但是，於上述之滴入組立法上，乃具有不易控制塗佈 於基板上之液滴濕潤擴散範圍之問題存在。當所塗佈之液 晶黏度較低且濕潤擴散速度較快時，濕潤擴散之液晶將與 硬化前之密封材接觸，可能於液晶混入異物。藉由此異物 之混入，將降低液晶之配向功能，而產生顯示斑點。同 時，所塗佈之液晶黏度較高且濕潤擴散速度爲慢時，徑能 產生液晶之殘留物。藉由此殘留物，使得無法形成於液晶 裝置之一部份畫素，而導致降低液晶裝置之良率。 本發明乃解決上述課題而發明之，可控制塗佈於基板 上之液狀體之濕潤擴散速度，同時，提供可改善液狀體塗 佈工程之流暢率之液狀體之塗佈裝置，液狀體之塗佈方法 而做爲目的。另外，提供顯示品質佳之晶裝置之製造方 法，液晶裝置及電子機器而做爲目的。 【發明內容】 爲了達成上述目的，本發明之液狀體之塗佈裝置，其 特徵係具有於前述基板，塗佈前述液狀體之塗佈部，和預 備加熱塗佈前述液狀體之前述基板之預備加熱部，和從前 述預備加熱部對前述塗佈部，自動搬運前述基板之搬運手 段。若先前預備加熱基板時，由於將會提昇塗佈於基板之 -5- 1292342 (3) 液狀體之溫度而降低黏度’故可改善液狀體之濕潤擴政速 度。另外，藉由預備加熱基板，使得於塗佈部中，無須^ 高基板之溫度，同時可開始塗佈液狀體。因此’可改善液 狀體塗佈工程之流暢度。除此之外’由於具有自動搬運基 板之搬運手段之構造，故基板之搬運效率化’進而可改善 液體塗佈工程之流暢度。 另外，於前述搬運手段’最好係設置前述基板之加熱 手段。若藉由此構造時，由於可防止於搬運中之基板溫度 降低，故於塗佈部之中無須重新加熱基板’且可開始塗佈 液狀體。因此，可改善液體塗佈狀之流暢度。 同時，於前述塗佈部’最好係設置前述基板之加熱手 段。若藉由此構造時，由於可防止於塗佈部之基板溫度降 低，故可改善塗佈於基板之液狀體之濕潤擴散 '速度° 另外，本發明之其他液狀體之塗佈裝置’係對基板塗 佈液狀體之裝置；其特徵係具有’於前述基板塗佈前述液 狀體之塗佈部，和冷卻所塗佈於前述基板之前述液狀體之 冷卻部。藉由冷卻塗佈於基板之液狀體’使得降低液狀體 之溫度而提高黏度，故可降低液狀體之濕潤擴散速度。 同時，從前述塗佈部對前述冷卻部最好係具有自動搬 運前述基板之搬運手段。若藉由此構造時’將有效率基板 之搬運，可改善液狀體塗佈工程之流暢率。 且，於前述搬運手段，最好設置塗佈於前述基板之前 述液狀體之冷卻手段。若藉由此構造時’由於可急速降低 液狀體之濕潤擴散速度，故可改善液狀體塗佈工程之流暢 -6- 1292342 (4) 度。 另外，於前述塗佈部，亦可設置塗佈於前述基板之前 述液狀體之冷卻手段。若藉由此構造時’由於可急速降低 液狀體之濕潤擴散速度，故可改善液狀體塗佈工程之流暢 度。 另外，本發明之液狀體之塗佈方法，係對基板塗佈液 狀體之方法；其特徵係具有於預備加熱前述基板之預備加 熱部中，預備加熱前述基板之工程，和從前述預備加熱 部，於前述基板，對塗佈前述液狀體之塗佈部，自動搬運 前述基板之工程，和於前述塗佈部之中，於前述基板塗佈 前述液狀體之工程。若藉由此構造時，可提高液狀體之濕 潤擴散速度。同時亦可改善液狀體塗佈工程之流暢度。 另外，本發明之其他液狀體之塗佈方法，係對基板塗 佈液狀體之方法；其特徵係冷卻塗佈於前述基板之前述液 狀體。若藉由此構造時，可降低液狀體之濕潤擴散速度。 另外，本發明之液晶裝置之製造方法，乃具有一對基 板，和設置於前述一對基板間之邊緣部之密封材，和藉由 前述一對基板及前述密封材而封入於所形成之空間之液 晶；其特徵係於前述一對基板中之其中一方之前述基板， 塗佈前述液晶之前，預備加熱前述其中一方之基板。若藉 由此構造時，可提高液晶濕潤擴散速度。同時亦可改善液 狀體塗佈工程之流暢度。 另外，於前述一對基板中之另外之前述基板，塗佈前 述密封材，最好係與塗佈前述液晶之前述其中一方基板進 1292342 (5) 行貼合。若藉由此構造時，由於預備加熱未塗佈密封材之 其中一方基板，故於貼合兩基板前，加熱密封材而加以硬 化。因此，可避免兩基板之貼合不良之情形。 · 另外，本發明之液晶裝置之其他製造方法，乃具有一 . 對基板，和設置於前述一對基板間之邊緣部之密封材’和 藉由前述一對基板及前述密封材而封入於所形成之空間之 _ 液晶；其特徵係於前述一對基板中之其中一方之前述基 - 板，塗佈前述液晶之後，冷卻所塗佈於前述其中一方之基 φ 板之前數液晶。若藉由此構造時，將可降低液晶之濕潤擴 散速度。 同時，塗佈於前述其中一方基板之前述液晶，直到可 接觸前述密封材位置而濕潤擴散之前，最好開始塗佈於前 述其中一方基板之前述液晶之冷卻。若藉由此構造時，塗 佈於基板之液晶係不會超越藉由密封材所形成之貼合位置 而濕潤擴散。因此，不會液晶單元內之液晶量不足而產生 殘留，且，亦不會產生貼合一對基板貼合不良。再者，液 馨 晶不可能接觸於密封材而於液晶中混入異物。 另外，本發明之液晶裝置，其特徵係使用上述之液晶 裝置之製造方法而加以製造。若藉由此構造時，則無混入 於液晶中之異物，或殘留於基板之液晶，進而可提供顯示 品質佳之液晶裝置。 另外，本發明之電子機器，其特徵係具備上述之液晶 裝置。若藉由此構造時，將可提供顯示品質佳之電子機 器。 -8 - 1292342 (6) 【實施方式】 以下，茲參照圖面說明有關本發明之實施形態。同 時’於用於以下說明之各圖面上，爲了使各構件可作成最 大辨識，故適當變更各構件之縮小比例。以下，雖然以藉 由塗佈液晶來做爲液狀體，而製造液晶裝置之方法及其裝 置爲例子而加以說明，但是，本發明亦可適用於除了液晶 外之液狀體之情況。 圖2爲表示卸下液晶裝置之彩色濾光片基板之狀態平 面圖。同時，圖3爲表示相當於圖2之H-H，線部分之液 晶裝置側面剖面圖。又，於圖2上，雖然表示卸下爲了說 明TFT陣獵基板之平面構造之彩色濾光片基板之狀態平 面圖’但是於圖3上爲表示包含彩色濾光片基板之液晶裝 置整體側面剖面圖。液晶裝置200，係於藉由TFT陣列基 板210和彩色濾光片基板220，及密封材252所形成之空 間’風入液晶2 5 0而形成複數畫素者。 圖2所示之TFT陣列基板210，係於玻璃等之基板表 面’形成做爲各畫素之開關元件之薄膜晶體（TFT )。從 各TFT (未圖示）之閘極電極，平行設置複數之掃描線 (未圖示）。同時，於各TFT上方，形成間層絕緣膜， 於其表面，平行形成複數資料線（未圖示）。且，各TFT 之源極，藉由穿孔而連接於各資料線。又，各掃描線及各 資料線相互正交而配置成格子狀，各掃描線將連接於形成 於基板邊緣部之掃描線驅動電路204,各資料線則連接形 1292342 (7) 成於基板邊緣部之資料線驅動電路20 1。另外，將掃描線 驅動電路204及資料線驅動電路201連接於外部之端子 2 02係形成於基板邊緣部。再者’於資料線上方，形成間 層絕緣膜，於其表面，形成著畫素電極（未圖示）。且， 各TFT汲極將藉由穿孔而連接於畫素電極。另外，於畫 素電極上方，形成著液晶分子之配向膜。 另外，圖3所示之彩色濾光片基板220，係於玻璃等 基板之表面，形成RGB各色之彩色濾光片層223。又， 於各彩色濾光片層223之間隙，於邊緣狀形成黑矩陣。同 時，於彩色濾光片層之表面形成保護膜，於其表面，形成 著由ITO等所形成之共通電極221。再者，於共通電極 221上方，形成著液晶分子之配向膜。TFT陣列基板210 及彩色濾光片基板220之配向膜，係藉由聚醯亞胺薄膜等 所構成之。另外，藉由耐龍之滾輪將配向膜之表面藉由於 特定方向摩擦，可配向制定液晶分子。又，除了硏麼處理 之外，於配向膜表面藉由形成複數之細長突起等，亦可形 成液晶分子之配向規定。同時，於TFT陣列基板210之 配向膜之配向規定方向，和於彩色濾光片基板220之配向 膜之配向規定方向，能成爲特定角度偏移狀態。 且，如圖2所示，於TFT陣列基板210之畫像顯示 領域之周邊部，塗佈由硬化前之熱硬化性樹脂等所形成之 密封材252。又，密封材252細形成於TFT陣列基板210 之四周圍，於其角部形成著將彩色濾光片基板之共通電極 引繞於TFT陣列基板210之導通構件206。同時，如圖3 -10- 1292342 (8) 所示，相當於彩色濾光片基板2 2 0之密封材2 5 2內側之領 域，藉由後述之塗佈方法塗佈液晶25 0。且，藉由此密封 材252貼合著TFT陣列基板210和彩色濾光片基板220。 藉此，於TFT陣列基板210與彩色濾光片基板220，和藉 由密封材2 5 2所形成之空間內，能夠注入液晶。再者，於 TFT陣列基板210和彩色濾光片基板220之外側表面，形 成著偏光薄膜（未圖示）。如以上所述，構成液晶裝置 200。且，於液晶裝置200之畫像顯示領域，複數畫素形 成爲矩陣狀。 [液滴吐出單元] 圖1爲表示本實施形態之液滴吐出單元之方塊圖。液 晶裝置之製造裝置之液滴吐出單元1，主要爲藉由於上述 之彩色濾光片基板（以下稱之爲基板）220，塗佈液晶之 塗佈部（液滴吐出裝置10)，和預備加熱液晶塗佈前之 基板220之預備加熱部（多段式烘爐120)，和冷卻液晶 塗佈後之基板220之冷卻部（冷却板130 )所構成之。 圖4爲表示構成塗佈部之液滴吐出裝置10之槪略外 觀斜視圖。液滴吐出裝置1 0，只要爲藉由吐出液晶之噴 墨頭（噴頭）20，及噴頭移動手段16，和承載基板220 之平台46及平台移動裝置14所構成之。 噴頭移動手段1 6，係藉由以特定間隔所設置之2條 支柱16a，16a和架設於兩支柱上端部之柱子16b所構 成。於支柱16b下面，設置著延伸於圖4之X方向之引 -11 - 1292342 (9) 導軌道（未圖示）及沿著此引導軌道而可移動之滑板（未 圖示）。做爲上述之滑板之驅動手段，係採用譬如線性馬 達等。藉此，配置於滑板下方之噴頭20將沿著X方向而 可移動，同時，可停止於任意位置。另外，於上述之滑板 表面，固定線性馬達62等，藉由此線性馬達62，使得螺 桿（未圖示）可移動於圖4之Z方向。藉此，噴頭20可 沿著Z方向而移動，同時，，可停止於任意位置。再者， 於其他馬達等藉由連接噴頭20，於X，Y，Z軸周圍可轉 動噴頭20，且，亦可停止於任意位置。 於此，茲參照圖5說明噴頭20之構造例子。於噴頭 20之噴頭主體90，形成著反向器95及複數墨水室（壓力 產生室）93。反向器95係於各墨水室93供給液晶等之墨 水之流路。且，於噴頭主體90之其中一端面，安裝著構 成墨水吐出面2 0P之噴嘴平板。於其噴嘴平板，係對應於 各墨水室開口著吐出墨水之複數噴嘴9 1。且，從各墨水 室93朝向對應之噴嘴9 1方向形成著流路。另外，於噴頭 主體90之另外端面，安裝著振動板94。 此振動板94係構成墨水室93之壁面。於振動板94 之外側，對應於各墨水室93，設置著壓電元件（壓電產 生手段）92。壓電元件92係將水晶等之壓電材料以一對 電極（未圖示）挾持。 圖6爲表示壓電元件之驅動電壓波形W 1，和對應於 驅動電壓之噴頭20之動作之槪略圖。於以下，對構成壓 電元件92之一對電極，說明有關所施加波形W1之驅動 -12- (10) 1292342 電壓之情況。首先，於正傾斜部a 1，a3，收縮壓電元件 92而增加墨水室93之容積，從反向器95往墨水室93流 入墨水。同時，於負傾斜部a2上，膨脹壓電元件92而減 少墨水室93之容積，從噴嘴91吐出所加壓之墨水。且， 藉由此驅動電壓波形W 1振幅及施加次數等，決定墨水之 塗佈量。 又，做爲噴頭20之驅動方式，並非限於使用壓電元 件92之壓電噴射形，亦可採用利用譬如熱膨脹之熱感噴 墨形等。做爲除了噴墨頭以外之液晶塗佈手段，譬如可採 用定量分配器。定量分配器相較於噴墨頭由於具有大口徑 之噴嘴，故意可吐出黏度較高狀態之液晶。 另外，於圖4所示之液晶吐出裝置1 〇之中，平台移 動手段14係藉由延伸於Y方向之導引軌道（未圖示）， 及沿著此引導軌道可移動之滑板（未圖示）等所構成之。 做爲此滑板之驅動手段，譬如採用線性馬達。藉此，配置 於滑板上方之平台46係可沿著Y方向移動，且，可任意 停止於任意位置。再者，於其他馬達等藉由連接噴頭 20，使得可於Z軸周圍旋轉平台46，且，可任意停止於 任意位置亦可。又，爲了促進所塗佈之液晶濕潤擴散，故 意可設置對平台46之振動付與手段70。此種情況，對平 台移動手段1 4安裝振動付與手段70，對振動付與手段 70，安裝平台46既可。另外，於平台46上面設置著基板 220之吸附保持手段（未圖示）。 且，於圖4所示之液滴吐出裝置1 0，設置動作控制 -13- (11) 1292342 部8 0。動作控制部8 ο對噴頭移動手段1 6及線性馬達6 2 藉由輸出動作信號，使得於特定位置可移動噴頭20。 同時’對噴頭20之壓電元件，藉由輸出驅動信號， 使得從噴頭2 0以特定時序可吐出特定量液晶。另外，動 作控制部8 0對平台移動手段1 4藉由輸出動作信號，使得 於特定位置可移動平台46。另外，當設置振動付與手段 7 〇時’對振動付與手段70藉由輸出驅動信號使得於特定 方向可振動平台46。 另外’爲了調整液晶等之墨水溫度，故於噴頭2 0安 裝著加熱器等之溫度調整手段及溫度感應器（未圖示）。 同時，由於墨水係從墨水儲槽86藉由墨水流路87供給於 噴頭20，故此墨水儲槽86及流路87，亦設置著加熱器等 之溫度調整手段及溫度感應器（未圖示）。又，承載基板 220之平台46亦設置著加熱器及空調等之溫g調整手段 和溫度感應器（未圖示）。且，於液滴吐出裝置1 〇設置 溫度控制部82，監視藉由上述之各溫度感應器所產生之 量測結果，同時，藉由控制各溫度調整手段之動作，使得 可將墨水調整爲特定溫度。又，除了上述之各溫度調整手 段外，亦可將可調整內部溫度之真空處理室設置於液滴吐 出裝置1 0之周圍。 真空處理室包含液滴吐出裝置10之整體亦可，僅包 含承載基板220之平台4 6及噴頭20亦可。藉由此真空處 理室可槪括塗佈前之液晶溫度而加以管理。 另外，於圖1所示之液滴吐出單元上，於液滴吐出裝 -14- (12) 1292342 置1 〇之上段側，設置著構成基板220之預備加熱部之多 段式烘爐120，多段式烘爐120只要爲藉由具備加熱器等 之加熱手段之真空處理室，和設置於真空處理室內部之複 數棚部，和安裝於真空處理室內部之溫度感應器，及控制 真空處理室內部溫度之溫度控制部所構成之。於真空處理 室內部，設置著承載複數基板220之複數棚部。藉此，可 處理對複數基板220之批次，進而改善液晶塗佈工程之流 暢度。包含此複數棚部，真空處理室形成爲大型之箱狀。 且，於真空處理室內壁安裝加熱器等之加熱手段，能夠將 複數基板均勻加熱。溫度控制部乃基於藉由溫度感應器所 得之量測結果而輸出加熱手段之動作信號，真空處理室內 部可保持於特定溫度。又，除了上述之多段式烘爐120之 外，若將基板22 0具有預備加熱成特定溫度之裝置時，可 採用預備加熱部。 同時，於多段式烘爐120與液滴吐出裝置10之間， 係以設置第1機器人手臂125來做爲基板220之第1搬運 手段。第1機器人手臂125主要係藉由旋轉軸，和可旋轉 旋轉軸周圍之手臂，和設置於手臂頭端之真空吸附手段及 加熱手段，及控制手臂等動作之控制部而構成之。手臂係 從多段式烘爐120之位置直到液滴吐出裝置10之位置， 形成可旋轉旋轉軸之周圍。真空吸附手段係真空吸附基板 220之背面等，形成著可保持基板220。加熱手段，係藉 由真空吸附手段使得加熱所保持之基板220之加熱器，及 溫度感應器等所構成。控制部係於手臂之驅動馬達或真空 -15- 1292342 (13) 吸附手段，加熱手段等輸出動作信號，能夠控制此等之動 作。又，即使除了上述之第1機器人手臂之外，若從預備 加熱部往塗佈部具有搬運基板裝置時，亦可採用第1搬運 手段。 另外，於液滴吐出裝置1 0之下段側，設置著構成基 板22 0之冷卻部之冷却板130。冷却板130主要爲藉由承 載基板220之平板，和安裝於平板表面之溫度感應器，和 形成於平板內部之冷卻水之流路，及控制平板表面溫度之 溫度控制部所構成之。平板係藉由熱傳導率較高之金屬材 料等構成之。於平板內部之流路，能夠從外部幫浦供給冷 卻水。溫度控制部乃基於溫度感應器之量測結果而使冷卻 水流量產生變化，可將平板表面保持於特定溫度。同時， 即使除了上述冷却板1 3 0之外，若基板具有可冷卻爲特定 溫度之裝置時，可採用冷卻部。 另外，於液滴吐出裝置1 0和冷却板1 3 0之間，係設 置著第2機器人手臂135來做爲基板220之第2搬運手 段。第2機器人手臂1 3 5之構造，雖然係相同於第1機器 人手臂125，但是取代於第1機器人手臂125之加熱手 段，則係於第2機器人手臂1 3 5上設置冷卻手段。冷卻手 段係藉由真空吸附手段冷卻所保持之基板220之空調及溫 度感應器等所構成之。控制部係於此冷卻手段等輸出動作 信號而可控制其動作。又，即使除了上述之第2機器人手 臂135外，從塗佈部往冷卻部若具有可搬運基板220之裝 置時，可採用第2搬運手段。 -16- 1292342 (14) [液晶裝置之製造方法] 其次，使用圖4及圖7說明有關使用上述之液滴吐出 單元而塗佈液晶之方法。 圖7爲表示本實施形態之液晶裝置之製造方法之說明 圖。於本實施形態上，係以於彩色濾光片基板220塗佈液 晶，貼合所形成密封材之TFT陣列基板2 1 0之情況之例 子。 如圖1所示，首先，於多段式烘爐120投入基板220 而進行預備加熱。多段式烘爐120之內部溫度，譬如事先 設定成70°C。 具體而言，藉由安裝於真空處理室內部之溫度感應器 所得之量測結果若下降至7〇 °C時，將開始運轉加熱等之 加熱手段，從溫度控制部輸出所運轉開始信號。同時，藉 由溫度感應器所產生之量測結果若上升至70 °C時，將停 止運轉加熱等之加熱手段，從溫度控制部輸出運轉停止信 號。藉此，多段式烘爐120之內部溫度可保持於70 °C。 於多段式烘爐120上，係將基板220以70 °C 10分鐘 程度進行加熱。對多段式烘爐1 20，可同時投入複數基板 220，或以液滴吐出裝置10之各處理時間依序投入。於後 者之情況中，若於投入之順序搬運出基板220時，可均勻 化對各基板之預備加熱時間，同時對液滴吐出裝置1 〇可 連續性供給基板200。且，於多段式烘爐120內部上，於 各棚部上面，承載著各基板200而均勻加熱各基板。 -17、 1292342 (15) 如圖7所示，於本實施形態上，於TFT陣列基板210 塗佈密封材252，於彩色濾光片基板220塗佈液晶25 0。 因此，可預備加熱彩色濾光片220。於此，由於未於彩色 濾光片220塗佈密封材252，故於貼合兩基板之前，不可 能加熱密封材2 5 2而使其硬化。因此，可避免產生兩基板 之貼合不良。 其次，藉由圖1所示之第1機器人手臂125，將基板 220搬運至液滴吐出裝置10。具體而言，首先，將手臂旋 轉至多段式烘爐1 20位置。其次，藉由形成於手臂頭端之 真空吸附手段，真空吸附該搬運之基板220之背面等。其 次，將保持基板220之手臂旋轉至液滴吐出裝置10之位 置。且，於圖4所示之平台46之上方，解除真空吸附， 將基板220承載於平台46。藉此，效率化基板之搬運， 可改善液晶塗佈工程之流暢率。又，於藉由手臂所產生之 基板200之搬運中，最好係藉由手臂頭端部之加熱手段加 熱基板，而防止基板溫度降低。藉此，於液滴吐出裝置 1 〇之中，無需重新加熱基板220，且可立刻開始液晶之塗 佈。因此，可改善液晶塗佈工程之流暢率。 其次，於圖4所示之液滴吐出裝置10之中，於基板 2 2 0塗佈液晶。一般而言，液晶爲局黏性流體，於常溫 (20°C )爲50Ccps以上黏度。如此之高黏性流體，較不 易從噴頭20之微小直徑之噴嘴吐出。又，藉由噴頭20穩 定吐出液晶，有必要將液晶黏度降低成l〇cps程度。於 是，藉由圖4所示之溫度控制部82，驅動安裝於墨水儲 -18- 1292342 (16) 槽8 6，墨水流路8 7及噴頭2 0之加熱器等之溫度調整手 段，將液晶溫度保持於70°C程度。藉此，液晶黏度將降 低於lOcps程度，可吐出藉由噴頭20所產生之液晶，進 而可正確吐出特定量之液晶。 另外，藉由溫度控制部82，使得驅動安裝於平台46 之加熱器等之溫度調整手段，使先將平台46表面溫度保 持於70 °C程度。藉此，預備加熱之基板220即使承載於 平台46，亦可防止基板220之溫度降低。 其次，從圖4所示之動作控制部80，對平台移動手 段14及/或噴頭移動手段16輸出動作信號，於基板220 之塗佈開始位置上方，配置噴頭20。且，從動作控制部 80對噴頭20之壓電元件輸出驅動信號，從噴頭20對基 板220吐出液晶。再者，移動平台46及/或噴頭20，同時 從噴頭20吐出液晶。又，藉由調整噴頭20及平台46之 相對速度，或藉由噴頭20所產生之液晶吐出頻率，Z軸 周圍之噴頭20之傾斜角度，使得可控制每單位面積之塗 佈量。藉此，如圖7中央所示，於基板220之表面塗佈液 晶25 0。又，爲了基板間之間隙作爲一定，亦可於液晶中 包含粒子。 如上述所言，基板220之溫度，由於保持於7(TC程 度，故塗佈於基板上之液晶25 0之溫度亦保持於70 °C程 度。液晶25 0係以70°C程度之溫度成爲lOcps程度之低 黏度，如圖7之右下所示，可急速擴散基板上。如此，藉 由預備加熱基板220，使得上升塗佈於基板上之液晶250 -19- 1292342 (17) 溫度而降低黏度，故可改善液晶之濕潤擴散速度。同時’ 藉由預備加熱基板220，使得於液晶吐出裝置中’無須上 升基板溫度，可立即開始塗佈液晶2 5 0。因此’可改善液 狀體塗佈工程之流暢率。再者，即使就液滴吐出裝置中’ 藉由加熱基板220可防止基板溫度降低’故可改善塗佈於 基板之液晶2 5 0之濕潤擴散速度。除此之外’藉由加熱噴 頭2 0等可吐出液晶2 5 0，同時’無須上昇塗佈於基板2 2 0 之液晶溫度。因此，可改善液晶塗佈工程之流暢率。 然而，塗佈液晶25 0之彩色濾光片基板220，如後述 所言，貼合塗佈密封材252之TFT陣列基板210。因此， 塗佈於彩色濾光片基板2 2 〇之液晶，當超越藉由密封材 2 5 2所產生之貼合位置而濕潤擴散時’除了液晶單元內之 液晶量不足而產生殘留外，亦會產生兩基板之貼合不良現 象。同時，當液晶25 0接觸於密封材252時，構成密封材 之樹脂可能混入於液晶中。於是，塗佈於彩色濾光片基板 220之液晶25 0，於濕潤擴散至可與密封材2 5 2接觸位置 前，有需要控制液晶之濕潤擴散。 於是，塗佈於基板220之液晶冷卻至40 °C程度。具 體而言，藉由圖4所示之溫度控制部82，使得安裝於平 台46之溫度感應器之量測結果爲40 °C，故驅動空調等之 溫度調整手段。藉此，液晶黏度上升至25 Ocps，可控制 濕潤擴散。又，液晶冷卻目標並非限於40 °C，比加熱目 標溫度之70 °C較低溫度既可。同時，於液晶吐出裝置^ 10 之中，即使無須進行冷卻，且塗佈液晶之基板220立刻搬 -20- 1292342 (18) 運至冷却板亦可。此種情況，液晶吐出裝置1 0之平台46 由於無須再加熱至7 0 °C，故可防止降低液晶塗佈工程之 流暢率。 其次，藉由圖1所示之第2機器人手臂135，將基板 220搬運至冷却板130。其具體方法，係相同於第1機器 人手臂125之情況。又，於藉由手臂所產生之基板220之 搬運中，即使藉由手臂頭端部之冷卻手段而冷卻基板 220，促進基板溫度之降低亦可。 藉此，由於可急速降低液晶濕潤擴散速度，故可改善 液晶塗佈工程之流暢率。 且，將基板220承載於冷却板130。冷却板130之表 面溫度，事先設定成40 °C。具體而言’於上昇藉由安裝 於冷却板1 3 0表面之溫度感應器所產生之量測結果情況 時，於形成於冷却板1 3 〇內部之流路’應供給冷卻水’且 從溫度控制部對外部幫浦輸出運轉開始信號。同時’於藉 由溫度感應器所產生之量測結果爲上昇40 °C時’停止冷 卻水之供給，且從溫度控制部輸出運轉停止信號。又’正 常供給冷卻水，同時，藉由增減其流量而進行溫度調整亦 可。藉此，冷却板130之表面溫度保持於40°C。 藉由此冷却板130，使得基板220冷卻至40 °C程度’ 宜次，塗佈於基板220之液晶冷卻至40C程度。藉此’ 上昇液晶之黏度而降低濕潤擴散速度。結果’塗佈於基板 之液晶，於濕潤擴散至可與密封材接觸位置前’可控制濕 潤擴散。又’藉由g周整基板220之冷4卩開始時期’如ffl 7 •21 - 1292342 (19) 右下所示，於接觸於密封材之正前方位置中，亦可停止液 晶2 5 0之濕潤擴散。 其次，貼合圖7右下所示之彩色濾光片基板220和圖 7右下所示之TFT陣列基板210。於之前，於TFT陣列基 板2 1 0之畫像顯不領域之周邊部，事先塗佈由硬化則之熱 硬化性樹脂等所形成之密封材2 5 2。密封材2 5 2之塗佈， 係藉由螢幕印刷或定量分配器等而進行。又，爲了將基板 間之間隙做成一定，故於密封材中，亦可涵蓋粒子。 且，爲了兩基板間之間隙爲均勻，而進行調整，同 時，於真空中進行兩基板之貼合。再者，於加熱爐中，藉 由以約120 °C加熱10分鐘程度，使密封材252硬化而黏 著兩基板。如上述所言，於本實施形態上，塗佈於彩色濾 光片基板220之液晶25 0，係於濕潤擴散至能夠與塗佈於 TF T陣列基板2 1 0之密封材2 5 2之位置處之前，控制液晶 250之濕潤擴散。因此，超越藉由密封材250所產生之貼 合位置而不會濕潤擴散液晶250，不會發生液晶單元內之 液晶量不足而產生殘留，或產生兩基板之貼合不良現象。 同時，由於減少硬化前之密封材250與液晶2 50之接觸機 會，故可降低於液晶混入異物之可能性，進而可防止降低 液晶之配向功能及顯示斑點之產生。 藉由以上，將可完成圖3所示之液晶裝置200。 如以上詳細描述，由於具有預備加熱液晶所塗佈之基 板之預備加熱部構造，故可改善液體狀之濕潤擴散速度。 同時，由於具有冷卻於基板所塗佈之液晶之冷卻部之構 -22- (20) 1292342 造，故可降低液體狀之濕潤擴散速度。 形態之液滴吐出單元’可控制液晶之濕 於塗佈部之平台及於液滴吐出頭，設置 外，亦於基板之搬運手段，設置溫度調 進行液晶之溫度管理。 因此，可改善液滴塗佈工程之流暢 又，於本實施形態上，於TFT陣3 封材252，於彩色濾光片基板220，塗 合兩基板。但是，反之，若於彩色濾光 密封材252，再於TFT陣列基板210塗 兩基板亦可。 其次，使用圖8說明有關具備液晶 圖8爲表示攜帶電話之斜視圖。以上述 裝置，係配置於攜帶電話3000之框體p 又，以上述方法所形成之液晶裝置 外，亦可適用於各種電子機器。譬如亦 機，多媒體對應之個人電腦（PC ) (EWS )，呼叫器，觀景型或是監視直 衛星導航裝置，電子手冊，電子計算彳 POS終端機，及具備接觸面板之裝置等 同時，本發明之技術範圍，並非限 態，只要不脫離本發明之宗旨範圍內， 形態包含施加各種變更。亦既，於本實 體材料或構造等，只不過爲一例子，可 如此，藉由本實施 潤擴散速度。且， 溫度調整手段，另 整手段，故可迅速 率 。 HJ基板2 1 0塗佈密 佈液晶2 5 0，而貼 片基板2 2 0，塗佈 :佈液晶2 5 0，貼合 裝置之電子機器。 方法所形成之液晶 3部。 ，除了攜帶電話之 可適用於液晶投影 及工程·工作站 視型之錄放影機， 幾，文書處理器， 之電子機器。 定於上述之實施形 皆可於上述之實施 施形態所舉出之具 適當變更。 -23- (21) 1292342 【圖式簡單說明】 圖1爲表示液滴吐出單元之方塊圖。 圖2爲表示卸下液晶裝置之彩色濾光片基板之狀態平 面圖。 圖3爲表示相當於圖2之H-H’線部分之液晶裝置之 側面剖面圖。 圖4爲表示液滴吐出裝置之槪略外觀斜視圖。 圖5爲表示噴墨頭之構造例子說明圖。 圖6爲表示壓電元件之驅動電壓波形和對應於其驅動 電壓之噴墨頭之動作槪略圖。 圖7爲表示實施形態之液晶裝置之製造方法之說明 圖。 圖8爲表示攜帶電話之斜視圖。 [主要元件對照表] 10........................液滴吐出裝置 120.....................多段式烘爐 125.....................第1機器人手臂 130.....................冷却板 135.....................第2機器人手臂 220 基板

Claims (1)

1292342 (1) 拾、申請專利範圍 1 · 一種由液晶材料所組成的液狀體之塗佈裝置，係 對基板塗佈由液晶材料所組成的液狀體之裝置；其特徵係 具有於前述基板，塗佈前述液狀體之塗佈部，和預備加熱 塗佈前述液狀體之前述基板之預備加熱部，和從前述預備 加熱部對前述塗佈部，自動搬運前述基板之搬運手段， 控制前述液狀體的濕潤擴散。 2·如申請專利範圍第1項所記載之由液晶材料所組 成的液狀體之塗佈裝置，其中，於前述搬運手段，設置前 述基板之加熱手段。 3 ·如申請專利範圍第1項或第2項之任一項所記載 之由液晶材料所組成的液狀體之塗佈裝置，其中，於前述 塗佈部，設置前述之加熱手段。 4· 一種由液晶材料所組成的液狀體之塗佈裝置，係 對基板塗佈由液晶材料所組成的液狀體之裝置；其特徵係 具有於前述基板，塗佈前述液狀體之塗佈部，和冷卻被塗 佈於前述基板之前述液狀體之冷卻部， 控制前述液狀體的濕潤擴散。 5 ·如申請專利範圍第4項所記載之由液晶材料所組 成的液狀體之塗佈裝置，其中，從前述塗佈部對前述g ；§卩 部，具有自動搬運前述基板之搬運手段。 6 ·如申請專利範圍第5項所記載之由液晶材料所糸且 成的液狀體之塗佈裝置，其中，於前述搬運手段，設M _ 被塗佈於前述基板之前述液狀體之冷卻手段。 -25- 1292342 (2) 7. 如申請專利範圍第4項至第6項之任一項所記載 之由液晶材料所組成的液狀體之塗佈裝置，其中，於前述 塗佈部，設置有被塗佈於前述基板之前述液狀體之冷卻手 - 段。 ^ 8. —種由液晶材料所組成的液狀體之塗佈方法，係 對基板塗佈由液晶材料所組成的液狀體之方法；其特徵係 ~ 具有於預備加熱前述基板之預備加熱部中，預備加熱前述 * 基板之工程，和從前述預備加熱部，於前述基板，對塗佈 φ 前述液狀體之塗佈部，自動搬運前述基板之工程，和於前 述塗佈部之中，於前述基板塗佈前述液狀體之工程，控制 前述液狀體的濕潤擴散。 9. 一種由液晶材料所組成的液狀體之塗佈方法，係 對基板塗佈由液晶材料所組成的液狀體之方法；其特徵係 冷卻塗佈於前述基板之前述液狀體，控制前述液狀體的濕 潤擴散。 10. —種液晶裝置之製造方法，乃具有一對基板，和 馨 設置於前述一對基板間之邊緣部之密封材，和藉由前述一 對基板及前述密封材而封入於所形成之空間之液晶；其特 徵係於前述一對基板中之其中一方之前述基板，塗佈前述 液晶之前，預備加熱前述其中一方之基板，控制前述液狀 體的濕潤擴散。 11. 如申請專利範圍第1 〇項所記載之液晶裝置之製 造方法，其中，於前述一對基板中之另一方前述基板，塗 佈前述密封材，而貼合被塗佈前述液晶之前述其中一方基 -26- 1292342

板。 1 2. —種液晶裝置之製造方法，乃具有一對基板，和 設置於前述一對基板間之邊緣部之密封材，和藉由前述一 β 對基板及前述密封材而封入於所形成之空間之液晶；其特 — 徵係於前述一對基板中之其中一方之前述基板，塗佈前述 m 液晶之後，冷卻所塗佈於前述其中一方之基板之前述液 晶’控制前述液狀體的濕潤擴散。 > 13·如申請專利範圍第1 2項所記載之液晶裝置之製 # 造方法，其中，塗佈於前述其中一方基板之前述液晶，可 與前述密封材接觸位置之前，於濕潤擴散前，開始所塗佈 於前述其中一方基板之前述液晶之冷卻。 1 4 . 一種液晶裝置，其特徵係使用如申請專利範圍第 Μ項至第13項之任一項所記載之液晶裝置之製造方法而 製造。 1 5 · —種電子機器，其特徵乃具備如申請專利範圍第 1 4項所記載之液晶裝置。 ® -27- 第93117525號專利申請案 1中文圖式修正頁民國94年9月30日修正 1292342— 94 ::.) ' 年月…β修/更)正頁 οι

Λ 1292342 柒、（一）、本案指定代表圖為：第 1 圖 (二）、本代表圖之元件代表符號簡單說明： 10.............................液滴吐出裝置 120.......................... 多段式烤爐 125..........................第1機械人手臂 13 5..........................第2機械人手臂 130........................... 冷却板

捌 本案若有化學式時，請揭示最能顯示發明特徵的化學 式：