KR20040111112A

KR20040111112A - 액상체의 도포 장치, 액상체의 도포 방법, 액정 장치의제조 방법, 액정 장치 및 전자 기기

Info

Publication number: KR20040111112A
Application number: KR1020040044930A
Authority: KR
Inventors: 사쿠라다가즈아키
Original assignee: 세이코 엡슨 가부시키가이샤
Priority date: 2003-06-18
Filing date: 2004-06-17
Publication date: 2004-12-31
Also published as: KR100654199B1; JP2005007266A; TWI292342B; US20050008766A1; TW200505585A; US20070107658A1; CN1572379A; CN100543560C; JP4419449B2

Abstract

본 발명은 기판상에 도포된 액정의 젖어 퍼짐를 제어할 수 있는 액정 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.

기판(220)에 액정을 도포하는 액적 토출 장치(10)와, 액정 도포전의 기판(220)을 예비 가열하는 다단식 오븐(120)과, 액정 도포후의 기판(220)을 냉각하는 쿨링 플레이트(130)를 갖는 구성으로 했다. 또한, 다단식 오븐(120)으로부터 액적 토출 장치(10)에 대해서 기판(220)을 자동 반송하는 제1 로봇암(125)과, 액적 토출 장치(10)로부터 쿨링 플레이트(130)에 대해서 기판(220)을 자동 반송하는 제2 로봇암(135)을 갖는 구성으로 했다.

Description

액상체의 도포 장치, 액상체의 도포 방법, 액정 장치의 제조 방법, 액정 장치 및 전자 기기{APPARATUS OF APPLYING LIQUID, METHOD OF APPLYING LIQUID, METHOD OF MANUFACTURING LIQUID CRYSTAL DEVICE, LIQUID CRYSTAL DEVICE, AND ELECTRONIC EQUIPMENT}

본 발명은 액상체의 도포 장치, 액상체의 도포 방법, 액정 장치의 제조 방법, 액정 장치 및 전자 기기에 관한 것이다.

휴대 전화 등의 전자 기기에서의 컬러 화상 표시부에는 액정 표시 장치 등의 전기 광학 장치가 사용되고 있다. 액정 표시 장치는 한쌍의 투명 기판 사이에 액정층이 협지되어 구성되어 있다. 이 액정 표시 장치를 형성하기 위해서는, 우선 한쪽 기판의 표면 주연부에 실링재를 도포한다. 그 때, 실링재의 일부에 액정의 주입구를 형성하여 둔다. 다음에, 실링재의 내측에 스페이서를 산포하고, 실링재를 통하여 다른쪽의 기판을 접합시킨다. 이것에 의해, 한쌍의 기판과 실링재에 의해서 둘러싸인 영역에 액정 셀이 형성된다. 다음에, 진공중에서 액정 셀내를 탈기하고, 액정 주입구를 액정조내에 침지한 상태에서, 전체를 대기압으로 돌린다. 그러면, 액정 셀과 외부와의 압력차 및 표면 장력에 의해서, 액정 셀내에 액정이 충전된다.

그러나, 상술하는 방법으로 액정을 충전한 경우에는 충전 시간이 매우 길어진다. 특히, 대각 1m이상의 대형의 기판을 사용하는 경우에는 액정의 충전에 1일 이상을 필요하게 된다.

그래서, 잉크젯 등의 액적 토출 장치를 사용하여 기판상에 액정을 도포하는 적하 조립법이 제안되어 있다(예를 들어, 특허 문헌 1참조.). 이 방법은 우선 한쪽 기판의 표면 주연부에, 열경화성 수지 등으로 되는 실링재를 도포한다. 다음에, 그 실링재의 내측에, 액적 토출 장치에 의해 소정량의 액정을 적하한다. 마지막으로, 실링재를 통하여 다른쪽의 기판을 접합하여, 액정 표시 장치를 형성하는 것이다.

특허 문헌 1

특개평 10-221666호 공보

그러나, 상술한 적하 조립법에서는, 기판상에 도포된 액정의 젖어 퍼짐 범위를 제어함이 곤란한 문제가 있다. 도포된 액정의 점도가 낮아서 젖어 퍼짐 속도가 빠르면, 젖어 퍼진 액정이 경화전의 실링재와 접촉하여, 액정에 이물이 혼입할 우려가 있다. 이 이물의 혼입에 의해, 액정의 배향기능이 저하하여, 표시 불균일이 발생하게 된다. 또한, 도포된 액정의 점도가 높아서 젖어 퍼짐 속도가 늦으면, 액정이 도포되지 않는 부분이 발생할 우려가 있다. 이 도포되지 않는 부분에 의해, 액정 장치에서의 일부의 화소가 형성되지 않게 되어, 액정 장치의 수율이 저하하게 된다.

본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해서 행하여진 것이고, 기판상에 도포된 액상체의 젖어 퍼짐 속도를 제어할 수 있고, 또 액상체 도포 공정의 스루푸트를 향상시킬 수 있는 액상체의 도포 장치, 액상체의 도포 방법의 제공을 목적으로 한다. 또한, 표시 품질이 우수한 액정 장치의 제조 방법, 액정 장치 및 전자 기기의 제공을 목적으로 한다.

도 1은 액적 토출 유닛의 블럭도.

도 2는 액정 장치의 컬러 필터 기판을 제거한 상태의 평면도.

도 3은 도 2의 H-H'선에 상당하는 부분에서의 액정 장치의 측면 단면도.

도 4는 액적 토출 장치의 개략적인 외관 사시도.

도 5는 잉크젯 헤드의 구조예의 설명도.

도 6은 피에조 소자의 구동 전압 파형과, 그 구동 전압에 대응한 잉크젯 헤드의 동작을 나타내는 개략도.

도 7은 실시 형태에 의한 액정 장치의 제조 방법의 설명도.

도 8은 휴대 전화의 사시도.

부호의 설명

10 액적 토출 장치, 120 다단식 오븐, 125 제1 로봇암, 130 쿨링 플레이트, 135 제2 로봇암, 220 기판

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 의한 액상체의 도포 장치는 기판에 대해서 액상체를 도포하는 장치로서, 상기 기판에 상기 액상체를 도포하는 도포부와, 상기 액상체의 도포전의 상기 기판을 예비 가열하는 예비 가열부와, 상기 예비 가열부로부터 상기 도포부에 대해서 상기 기판을 자동 반송하는 반송 수단을 갖는 것을 특징으로 한다. 미리 기판을 예비 가열하면, 기판에 도포되는 액상체의 온도가 상승하여 점도가 저하하므로, 액상체의 젖어 퍼짐 속도를 향상시킬 수 있다. 또한, 기판을 예비 가열함으로써, 도포부에서 기판의 온도를 상승시킬 필요가 없어, 즉시 액상체의 도포를 개시할 수 있다. 따라서, 액상체 도포 공정의 스루푸트를 향상시킬 수 있다. 또한, 기판을 자동 반송하는 반송 수단을 갖는 구성으로 했으므로, 기판의 반송이 효율화되어, 액상체 도포 공정의 스루푸트를 향상시킬 수 있다.

또한, 상기 반송 수단에는 상기 기판의 가열 수단이 설치되어 있는 것이 바람직하다. 이 구성에 의하면, 반송중에서의 기판의 온도 저하를 방지할 수 있으므로, 도포부에서 기판을 다시 가열함이 없이, 즉시 액상체의 도포를 개시할 수 있다. 따라서, 액상체 도포 공정의 스루푸트를 향상시킬 수 있다.

또한, 상기 도포부에는 상기 기판의 가열 수단이 설치되어 있는 것이 바람직하다. 이 구성에 의하면, 도포부에서의 기판의 온도 저하를 방지할 수 있으므로, 기판에 도포된 액상체의 젖어 퍼짐 속도를 향상시킬 수 있다.

한편, 본 발명에 의한 다른 액상체의 도포 장치는, 기판에 대해서 액상체를 도포하는 장치로서, 상기 기판에 상기 액상체를 도포하는 도포부와, 상기 기판에도포된 상기 액상체를 냉각하는 냉각부를 갖는 것을 특징으로 한다. 기판에 도포된 액상체를 냉각함으로써, 액상체의 온도가 저하하여 점도가 상승하므로, 액상체의 젖어 퍼짐 속도를 저하시킬 수 있다.

또한, 상기 도포부로부터 상기 냉각부에 대해서 상기 기판을 자동 반송하는 반송 수단을 갖는 것이 바람직하다. 이 구성에 의하면, 기판의 반송이 효율화되어, 액상체 도포 공정의 스루푸트를 향상시킬 수 있다.

또한, 상기 반송 수단에는, 상기 기판에 도포된 상기 액상체의 냉각 수단이 설치되어 있는 것이 바람직하다. 이 구성에 의하면, 신속히 액상체의 젖어 퍼짐 속도를 저하시킬 수 있으므로, 액상체 도포 공정의 스루푸트를 향상시킬 수 있다.

또한, 상기 도포부에는 상기 기판에 도포된 상기 액상체의 냉각 수단이 설치되어 있어도 좋다. 이 구성에 의하면, 신속히 액상체의 젖어 퍼짐 속도를 저하시킬 수 있으므로, 액상체 도포 공정의 스루푸트를 향상시킬 수 있다.

한편, 본 발명에 의한 액상체의 도포 방법은, 기판에 대해서 액상체를 도포하는 방법으로서, 상기 기판을 예비 가열하는 예비 가열부에서, 상기 기판을 예비 가열하는 공정과, 상기 예비 가열부로부터, 상기 기판에 상기 액상체를 도포하는 도포부에 대해서, 상기 기판을 자동 반송하는 공정과, 상기 도포부에서, 상기 기판에 상기 액상체를 도포하는 공정을 갖는 것을 특징으로 한다. 이 구성에 의하면, 액상체의 젖어 퍼짐 속도를 상승시킬 수 있다. 또한, 액상체 도포 공정의 스루푸트를 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명에 의한 다른 액상체의 도포 방법은 기판에 대해서 액상체를도포하는 방법으로서, 상기 기판에 상기 액상체를 도포한 후에, 상기 기판을 냉각하는 것을 특징으로 한다. 이 구성에 의하면, 액상체의 젖어 퍼짐 속도를 저하시킬 수 있다.

한편, 본 발명에 의한 액정 장치의 제조 방법은, 한쌍의 기판과, 상기 한쌍의 기판간의 주연부에 설치된 밀봉재와, 상기 한쌍의 기판 및 상기 밀봉재에 의해서 형성되는 공간에 봉입된 액정을 갖는 액정 장치의 제조 방법으로서, 상기 한쌍의 기판중 한쪽의 상기 기판에 상기 액정을 도포하기 전에, 상기 한쪽의 기판을 예비 가열하는 것을 특징으로 한다. 이 구성에 의하면, 액정의 젖어 퍼짐 속도를 상승시킬 수 있다. 또한, 액정 도포 공정의 스루푸트를 향상시킬 수 있다.

또한, 상기 한쌍의 기판 중 다른쪽의 상기 기판에 상기 밀봉재를 도포하여, 상기 액정이 도포된 상기 한쪽의 기판과 접합하는 것이 바람직하다. 이 구성에 의하면, 밀봉재가 도포되어 있지 않는 한쪽의 기판을 예비 가열하므로, 양 기판을 접합하기 전에 밀봉재가 가열되어 경화될 우려가 없다. 따라서, 양 기판의 접합 불량의 발생을 회피할 수 있다.

한편, 본 발명에 의한 다른 액정 장치의 제조 방법은, 한쌍의 기판과, 상기 한쌍의 기판간의 주연부에 설치된 밀봉재와, 상기 한쌍의 기판 및 상기 밀봉재에 의해서 형성되는 공간에 봉입된 액정을 갖는 액정 장치의 제조 방법으로서, 상기 한쌍의 기판 중 한쪽의 상기 기판에 상기 액정을 도포한 후에, 상기 한쪽의 기판에 도포된 상기 액정을 냉각하는 것을 특징으로 한다. 이 구성에 의하면, 액정의 젖어 퍼짐 속도를 저하시킬 수 있다.

또한, 상기 한쪽의 기판에 도포된 상기 액정이 상기 밀봉재와 접촉할 수 있는 위치까지 젖어 퍼지기 전에, 상기 한쪽의 기판에 도포된 상기 액정의 냉각을 개시하는 것이 바람직하다. 이 구성에 의하면, 기판에 도포된 액정이 밀봉재에 의한 접합 위치를 넘어 젖어 퍼지는 경우가 없다. 따라서, 액정 셀내의 액정양이 부족하여 도포되지 않는 부분이 발생하는 경우가 없고, 또한 한쌍의 기판의 접합 불량이 발생하는 경우도 없다. 또한 액정이 밀봉재와 접촉하여 액정 중에 이물이 혼입할 우려가 없다.

한편, 본 발명에 의한 액정 장치는, 상술한 액정 장치의 제조 방법을 사용하여 제조한 것을 특징으로 한다. 이 구성에 의하면, 액정 중으로의 이물의 혼입이나, 기판상에서의 액정이 도포되지 않는 부분이 없어져서, 표시 품질이 우수한 액정 장치를 제공할 수 있다.

한편, 본 발명에 의한 전자 기기는 상술한 액정 장치를 구비한 것을 특징으로 한다. 이 구성에 의하면, 표시 품질이 우수한 전자 기기를 제공할 수 있다.

발명의 실시 형태

이하, 본 발명의 실시 형태에 대해, 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 이하의 설명에 사용하는 각 도면에서는 각 부재를 인식 가능한 크기로하기 위해, 각 부재의 축척을 적당히 변경하고 있다. 이하에는, 액상체로서 액정을 도포함으로써 액정 장치를 제조하는 방법 및 그 장치를 예로 하여 설명하지만, 본 발명은 액정 이외의 액상체를 도포하는 경우에도 적용할 수 있다.

[액정 장치]

도 2에, 액정 장치의 컬러 필터 기판을 제거한 상태의 평면도를 나타낸다. 또 도 3에, 도 2의 H-H'선에 상당하는 부분에서의 액정 장치의 측면 단면도를 나타낸다. 또한, 도 2에서는 TFT 어레이 기판의 평면 구조를 설명하기 위해 컬러 필터 기판을 제거한 상태의 평면도를 나타내고 있지만, 도 3에서는 컬러 필터 기판을 포함한 액정 장치 전체의 측면 단면도를 나타내고 있다. 액정 장치(200)는 TFT 어레이 기판(210) 및 컬러 필터 기판(220)과 실링재(252)에 의해서 형성되는 공간에, 액정(250)을 봉입하여 복수의 화소를 형성한 것이다.

도 2에 나타내는 TFT 어레이 기판(210)은 유리 등의 기판의 표면에, 각 화소의 스위칭 소자로서의 박막 트랜지스터(TFT)를 형성한 것이다. 각 TFT(도시하지 않음)의 게이트 전극으로부터는 복수의 주사선(도시하지 않음)이 평행하게 연설되어 있다. 또한, 각 TFT 의 상방에는 층간 절연막이 형성되고, 그 표면에는 복수의 데이터선(도시하지 않음)이 평행하게 형성되어 있다. 또한, 각 TFT의 소스는 스루홀을 통하여 각 데이터선에 접속되어 있다. 또한, 각 주사선 및 각 데이터선은 서로 직교시켜 격자 형상으로 배치되며, 각 주사선은 기판 주연부에 형성된 주사선 구동 회로(204)에 접속되고, 각 데이터선은 기판 주연부에 형성된 데이터선 구동 회로(201)에 접속되어 있다. 또한, 주사선 구동 회로(204) 및 데이터선 구동 회로(201)을 외부에 접속하기 위한 단자(202)가 기판 주연부에 형성되어 있다. 또한 데이터선의 상방에는 층간 절연막이 형성되며, 그 표면에 화소 전극(도시하지 않음)이 형성되어 있다. 또한, 각 TFT의 드레인은 스루홀을 통하여 화소 전극에 접속되어 있다. 또한, 화소 전극의 상방에는 액정 분자의 배향막이 형성되어 있다.

한편, 도 3에 나타내는 컬러 필터 기판(220)은 유리 등의 기판의 표면에, RGB 각색의 컬러 필터층(223)을 형성한 것이다. 또한, 각 컬러 필터층(223)의 간극에는 액자 형상으로 블랙 매트릭스가 형성되어 있다. 또 컬러 필터층의 표면에는 보호막이 형성되고, 그 표면에는 ITO 등으로 이루어지는 공통 전극(221)이 형성되어 있다. 또한 공통 전극(221)의 상방에는 액정 분자의 배향막이 형성되어 있다. TFT 어레이 기판(210) 및 컬러 필터 기판(220)의 배향막은 폴리이미드의 박막 등에 의해서 구성되어 있다. 또한, 그 배향막의 표면을 나일론의 롤 등에 의해서 소정 방향으로 문지름으로써, 러빙 처리가 실시되어 있다. 이 러빙 처리에 의해, 상기 소정 방향으로 액정 분자를 배향 규제할 수 있다. 또한 러빙 처리 대신에, 배향막의 표면에 복수의 길고 가는 돌기 등을 형성함으로써, 액정 분자의 배향 규제를 행할 수도 있다. 또한, TFT 어레이 기판(210)에서의 배향막의 배향 규제 방향과, 컬러 필터 기판(220)에서의 배향막의 배향 규제 방향은 소정 각도 어긋난 상태로 되어 있다.

또 도 2에 나타내는 바와 같이, TFT 어레이 기판(210)의 화상 표시 영역의 주변부에, 경화전의 열경화성 수지 등으로 이루어지는 실링재(252)가 도포되어 있다. 또한 실링재(252)는 TFT 어레이 기판(210)의 둘레 전체에 형성되며, 그 모서리부에는 컬러 필터 기판의 공통 전극을 TFT 어레이 기판(210)에 인회하기 위한 도통부재(206)가 형성되어 있다. 또 도 3에 나타내는 바와 같이, 컬러 필터 기판(220)에서의 실링재(252)의 내측에 상당하는 영역에는 후술하는 도포 방법에의해 액정(250)이 도포되어 있다. 또한, 이 실링재(252)를 통하여, TFT 어레이 기판(210)과 컬러 필터 기판(220)이 접합되어 있다. 이것에 의해, TFT 어레이 기판(210) 및 컬러 필터 기판(220)과 실링재(252)에 의해서 형성되는 공간내에, 액정(250)이 봉입되게 되어 있다. 또한 TFT 어레이 기판(210) 및 컬러 필터 기판(220)의 외측 표면에는 편광 필름(도시하지 않음)이 형성되어 있다. 이상과 같이 액정 장치(200)는 구성되어 있다. 또한, 액정 장치(200)의 화상 표시 영역에는 복수의 화소가 매트릭스 형상으로 형성되어 있다.

[액적 토출 유닛]

도 1에, 본 실시 형태에 의한 액적 토출 유닛의 블럭도를 나타낸다. 액정 장치의 제조 장치인 액적 토출 유닛(1)은, 주로, 상술한 컬러 필터 기판(이하, 간단히 기판이라 함)(220)에 액정을 도포하는 도포부(액적 토출 장치(10))와, 액정 도포전의 기판(220)을 예비 가열하는 예비 가열부(다단식 오븐(120))와, 액정 도포후의 기판(220)을 냉각하는 냉각부(쿨링 플레이트(130))에 의해서 구성되어 있다.

도 4에, 도포부를 구성하는 액적 토출 장치(10)의 개략적인 외관 사시도를 나타낸다. 액적 토출 장치(10)는, 주로, 액정을 토출하는 잉크젯 헤드(헤드)(20) 및 헤드 이동 수단(16)과, 기판(220)을 놓는 스테이지(46) 및 스테이지 이동 수단(14)에 의해서 구성되어 있다.

헤드 이동 수단(16)은 소정 간격으로 입설된 2개의 지주(16a, 16a)와, 양 지주의 상단부에 가설된 컬럼(16b)에 의해서 구성되어 있다. 그 컬럼(16b)의 하면에는, 도 4의 X방향으로 뻗는 가이드 레일(도시하지 않음) 및 그 가이드 레일을 따라이동 가능한 슬라이더(도시하지 않음) 등이 설치되어 있다. 상술한 슬라이더의 구동 수단으로서, 예를 들어 리니어 모터 등이 채용되어 있다. 이것에 의해, 슬라이더의 하부에 배치된 헤드(20)가 X방향을 따라 이동 가능하게 되며, 또 임의 위치에서 정지 가능하게 되어 있다. 한편, 상술한 슬라이더의 표면에는 리니어 모터(62) 등이 고정되며, 그 리니어 모터(62)에 의해 로드(도시하지 않음)가 도 4의 Z방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 또한, 그 로드의 선단에 헤드(20)가 고정되어 있다. 이것에 의해, 헤드(20)는 Z방향을 따라 이동 가능하게 되며, 또 임의 위치에서 정지 가능하게 되어 있다. 또한 다른 모터 등에 헤드(20)를 접속함으로써, 헤드(20)를 X, Y 및 Z축 둘레로 회동 가능하게 하고, 또 임의 위치에서 정지 가능하게 하여도 좋다.

여기서, 헤드(20)의 구조예에 대해서, 도 5를 참조하여 설명한다. 헤드(20)의 헤드 본체(90)에는 리조버(95) 및 복수의 잉크실(압력 발생실)(93)이 형성되어 있다. 리조버(95)는 각 잉크실(93)에 액정 등의 잉크를 공급하기 위한 유로로 되어 있다. 또한, 헤드 본체(90)의 한쪽 단면에는 잉크 토출면(20P)을 구성하는 노즐 플레이트가 장착되어 있다. 그 노즐 플레이트에는 각 잉크실(93)에 대응하여, 잉크를 토출하는 복수의 노즐(91)이 개구되어 있다. 또한, 각잉크실(93)로부터 대응하는 노즐(91)로 향해 유로가 형성되어 있다. 한편, 헤드 본체(90)의 다른쪽 단면에는 진동판(94)이 장착되어 있다.

이 진동판(94)은 잉크실(93)의 벽면을 구성하고 있다. 그 진동판(94)의 외측에는 각 잉크실(93)에 대응하여, 피에조 소자(압력 발생 수단)(92)가 설치되어있다. 피에조 소자(92)는 수정 등의 압전 재료를 한쌍의 전극(도시하지 않음)으로 협지한 것이다.

도 6은 피에조 소자의 구동 전압 파형(W1)과, 그 구동 전압에 대응한 헤드(20)의 동작을 나타내는 개략도이다. 이하에는 피에조 소자(92)를 구성하는 한쌍의 전극에 대해서, 파형(W1)의 구동 전압이 인가된 경우에 대해서 설명한다. 우선 정구배부(正勾配部)(a1, a3)에서는 피에조 소자(92)가 수축하여 잉크실(93)의 용적이 증가하여, 리조버(95)로부터 잉크실(93)내로 잉크가 유입한다. 또 부구배부(負勾配部)(a2)에서는 피에조 소자(92)가 팽창하여 잉크실(93)의 용적이 감소하여, 가압된 잉크(99)가 노즐(91)로부터 토출된다. 또한, 이 구동 전압 파형(W1)의 진폭 및 인가 회수 등에 의해, 잉크의 도포양이 결정된다.

또한 헤드(20)의 구동 방식으로서, 피에조 소자(92)를 사용한 피에조 제트 타입에 한정되지 않고, 예를 들어 열팽창을 이용한 서멀 잉크젯 타입 등을 채용해도 좋다. 또 액정의 도포 수단으로서, 잉크젯 헤드 이외의 도포 수단을 채용할 수도 있다. 잉크젯 헤드 이외의 액정 도포 수단으로서, 예를 들어 디스팬서를 채용할 수 있다. 디스팬서는 잉크젯 헤드에 비해서 대구경의 노즐을 갖고 있으므로, 점도가 높은 상태의 액정을 토출하는 것도 가능하다.

한편, 도 4에 나타내는 액적 토출 장치(10)에서, 스테이지 이동 수단(14)은 Y방향으로 뻗는 가이드 레일(도시하지 않음) 및 가이드 레일을 따라 이동 가능한 슬라이더(도시하지 않음) 등에 의해서 구성되어 있다. 이 슬라이더의 구동 수단으로서, 예를 들어 리니어 모터 등이 채용되어 있다. 이것에 의해, 슬라이더의 상방에 배치된 스테이지(46)가 Y방향을 따라 이동 가능하게 되어 있고, 또 임의 위치에서 정지 가능하게 되어 있다. 또한 다른 모터 등에 헤드(20)를 접속함으로써, 스테이지(46)를 Z축 둘레로 회동 가능하게 하고, 또 임의 위치에서 정지 가능하게 하여도 좋다. 또한, 도포된 액정의 젖어 퍼짐를 촉진시키기 위해서, 스테이지(46)에 대한 진동 부여 수단(70)을 설치하여도 좋다. 이 경우, 스테이지 이동 수단(14)에 대해서 진동 부여 수단(70)을 장착하고, 진동 부여 수단(70)에 대해서 스테이지(46)을 장착하면 좋다. 한편, 스테이지(46)의 상면에는 기판(220)의 흡착 유지 수단(도시하지 않음)이 설치되어 있다.

또한, 도 4에 나타내는 액적 토출 장치(10)에는 동작 제어부(80)가 설치되어 있다. 동작 제어부(80)는 헤드 이동 수단(16) 및 리니어 모터(62)에 대해서 동작 신호를 출력 함으로써, 헤드(20)를 소정 위치로 이동시킬 수 있다.

또한, 헤드(20)의 피에조 소자에 대해서 구동 신호를 출력 함으로써, 헤드(20)로부터 소정 타이밍으로 소정량의 액정을 토출시킬 수 있다. 한편, 동작 제어부(80)는 스테이지 이동 수단(14)에 대해서 동작 신호를 출력 함으로써, 스테이지(46)를 소정의 위치로 이동시킬 수 있다. 또 진동 부여 수단(70)을 설치한 경우에는, 그 진동 부여 수단(70)에 대해서 구동 신호를 출력 함으로써, 스테이지(46)를 소정 방향으로 진동시킬 수 있다.

한편, 액정 등의 잉크의 온도를 조정하기 위해, 헤드(20)에는 히터 등의 온도 조절 수단 및 온도 센서(도시하지 않음)가 장착되어 있다. 또한, 잉크는 잉크 탱크(86)로부터 잉크 유로(87)을 통하여 헤드(20)에 공급되므로, 이 잉크 탱크(86)및 잉크 유로(87)에도 히터 등의 온도 조절 수단 및 온도 센서(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 또한, 기판(220)이 놓여지는 스테이지(46)에도, 히터 및 쿨러 등의 온도 조절 수단 및 온도 센서(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 또한, 액적 토출 장치(10)에는 온도 제어부(82)가 설치되며, 상술한 각 온도 센서에 의한 계측 결과를 모니터 하면서, 각 온도 조절 수단의 동작을 제어함으로써, 잉크를 소정 온도로 조절할 수 있게 되어 있다. 또한, 상술한 각온도 조절 수단 대신에, 또는 상술한 각 온도 조절 수단과 함께, 내부 온도의 조절이 가능한 챔버를 액적 토출 장치(10)의 주위에 설치하여도 좋다.

이 챔버는 액적 토출 장치(10)의 전체를 포함하는 것이라도 좋고, 기판(220)이 놓여지는 스테이지(46) 및 헤드(20)만을 포함하는 것이라도 좋다. 이 챔버에 의해, 도포 전후의 액정의 온도를 일괄하여 관리할 수 있다.

한편, 도 1으로 표시되는 액적 토출 유닛에서는, 액적 토출 장치(10)의 상류측에, 기판(220)의 예비 가열부를 구성하는 다단식 오븐(120)이 설치되어 있다. 다단식 오븐(120)은, 주로, 히터 등의 가열 수단을 구비한 챔버와, 챔버 내부에 설치된 복수의 선반부와, 챔버 내부에 장착된 온도 센서와, 챔버 내부의 온도를 제어하는 온도 제어부에 의해서 구성되어 있다. 챔버 내부에는 복수의 기판(220)을 놓는 복수의 선반부가 설치되어 있다. 이것에 의해, 복수의 기판(220)에 대한 배치 처리가 가능하게 되어, 액정 도포 공정의 스루푸트를 향상시킬 수 있다. 이 복수의 선반부를 포함하도록, 챔버는 대형의 상자 모양으로 형성되어 있다. 또한, 챔버와 내벽에는 히터 등의 가열 수단이 장착되어, 복수의 기판을 균등하게 가열할수 있도록으로 되어 있다. 온도 제어부는 온도 센서에 의한 계측 결과에 의하여 가열 수단의 동작 신호를 출력하여, 챔버 내부를 소정 온도로 유지할 수 있다. 또한, 상술한 다단식 오븐(120) 이외에도, 기판(220)을 소정 온도로 예비 가열할 수 있는 장치라면, 예비 가열부로 채용할 수 있다.

또한, 다단식 오븐(120)과 액적 토출 장치(10) 사이에는 기판(220)의 제1 반송 수단으로서 제1 로봇암(125)이 설치되어 있다. 제1 로봇암(125)은 주로 회동축과, 회동축의 둘레를 회동 가능한 암과, 암의 선단에 설치된 진공 흡착 수단 및 가열 수단과, 암 등의 동작을 제어하는 제어부에 의해서 구성되어 있다. 암은 다단식 오븐(120)의 위치로부터 액적 토출 장치(10)의 위치까지 회동축의 둘레를 회동 가능하게 형성되어 있다. 진공 흡착 수단은 기판(220)의 이면 등을 진공 흡착하여, 기판(220)을 유지할 수 있도록 형성되어 있다. 가열 수단은 진공 흡착 수단에 의해 유지된 기판(220)을 가열하는 히터 및 온도 센서 등에 의해서 구성되어 있다. 제어부는 암의 구동 모터나 진공 흡착 수단, 가열 수단 등에 동작 신호를 출력하여, 이들 동작을 제어할 수 있도록 되어 있다. 또한, 상술한 제1 로봇암 이외에도, 예비 가열부로부터 도포부로 기판을 반송할 수 있는 장치라며, 제1 반송 수단으로서 채용할 수 있다.

한편, 액적 토출 장치(10)의 하류측에는, 기판(220)의 냉각부를 구성하는 쿨링 플레이트(130)가 설치되어 있다. 쿨링 플레이트(130)는 주로, 기판(220)을 놓는 플레이트와, 플레이트 표면에 장착된 온도 센서와, 플레이트 내부에 형성된 냉각수의 유로와, 플레이트 표면의 온도를 제어하는 온도 제어부에 의해서 구성되어있다. 플레이트는 열전도율이 높은 금속재료 등에 의해서 구성되어 있다. 플레이트 내부의 유로에는 외부의 펌프로부터 냉각수가 공급되게 되어 있다. 온도 제어부는 온도 센서의 계측 결과에 의하여 냉각수의 유량을 변화시켜, 플레이트 표면을 소정 온도로 유지할 수 있다. 또한, 상술한 쿨링 플레이트(130) 이외에도, 기판을 소정 온도로 냉각할 수 있는 장치라면, 냉각부로 채용할 수 있다.

또한, 액적 토출 장치(10)와 쿨링 플레이트(130) 사이에는 기판(220)의 제2 반송 수단으로서 제2 로봇암(135)이 설치되어 있다. 제2 로봇암(135)의 구성은 제1 로봇암(125)과 같지만, 제1 로봇암(125)에서의 가열 수단 대신에, 제2 로봇암(135)에서는 냉각 수단이 설치되어 있다. 냉각 수단은 진공 흡착 수단에 의해 유지된 기판(220)을 냉각하는 쿨러 및 온도 센서 등에 의해서 구성되어 있다. 제어부는 이 냉각 수단 등에 동작 신호를 출력하여 그 동작을 제어할 수 있다. 또한, 상술한 제2 로봇암 이외에도, 도포부로부터 냉각부로 기판(220)을 반송할 수 있는 장치라면, 제2 반송 수단으로서 채용할 수 있다.

[액정 장치의 제조 방법]

다음에, 상술한 액적 토출 유닛을 사용하여 액정을 도포하는 방법에 대해, 도 1, 도 4 및 도 7을 사용하여 설명한다. 도 7은 본 실시 형태에 의한 액정 장치의 제조 방법의 설명도이다. 본 실시 형태에서는 컬러 필터 기판(220)에 액정을 도포하여, 실링재가 형성된 TFT 어레이 기판(210)과 접합하는 경우를 예로 하여 설명한다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 우선 기판(220)을 다단식 오븐(120)에 투입하여예비 가열한다. 다단식 오븐(120)의 내부 온도는 예를 들어 70℃로 설정하여 둔다.

구체적으로는 챔버 내부에 장착된 온도 센서에 의한 계측 결과가 70℃을 하회하는 경우에는 히터 등의 가열 수단의 운전을 개시하기 위하여, 온도 제어부로부터 운전 개시 신호가 출력된다. 또한, 온도 센서에 의한 계측 결과가 70℃를 상회하는 경우에는 히터 등의 가열 수단의 운전을 정지하기 위하여, 온도 제어부로부터 운전 정지 신호가 출력된다. 이것에 의해, 다단식 오븐(120)의 내부 온도가 70℃로 유지된다.

다단식 오븐(120)에서는 기판(220)을 70℃에서 10분정도 가열한다. 다단식 오븐(120)에 대해서는 복수의 기판(220)을 동시에 투입해도 좋고, 액적 토출 장치(10)에서의 처리 시간마다 순차 투입해도 좋다. 후자의 경우에서, 투입한 순번으로 기판(220)을 반출하면, 각 기판에 대한 예비 가열 시간이 균일화되는 동시에, 액적 토출 장치(10)에 대해서 연속적으로 기판(220)을 공급할 수 있다. 또 다단식 오븐(120)의 내부에서는, 각 선반부 위에 각 기판(220)을 놓고 각 기판을 균등하게 가열한다.

도 7에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에서는 TFT 어레이 기판(210)에 실링재(252)를 도포하고, 컬러 필터 기판(220)에 액정(250)을 도포한다. 그 때문에, 컬러 필터 기판(220)을 예비 가열하게 된다. 여기서, 컬러 필터 기판(220)에는 실링재(252)가 도포되어 있지 않기 때문에, 양 기판을 접합하기 전에 실링재(252)가 가열되어 경화할 우려가 없다. 따라서, 양 기판의 접합 불량의 발생을 회피할 수있다.

다음에, 도 1에 나타내는 제1 로봇암(125)에 의해, 기판(220)을 액적 토출 장치(10)까지 반송한다. 구체적으로는 우선 암을 다단식 오븐(120)의 위치까지 회동한다. 다음에, 암 선단에 형성된 진공 흡착 수단에 의해, 반출할 기판(220)의 이면 등을 진공 흡착한다. 다음에, 기판(220)을 유지한 암을 액적 토출 장치(10)의 위치까지 회동한다. 또한, 도 4에 나타내는 스테이지(46)의 상방에서 진공 흡착을 해제하여, 기판(220)을 스테이지(46)에 놓는다. 이것에 의해, 기판의 반송이 효율화되어, 액정 도포 공정의 스루푸트를 향상시킬 수 있다. 또한, 암에 의한 기판(220)의 반송 중에, 암 선단부의 가열 수단에 의해 기판을 가열하여, 기판의 온도 저하를 방지하는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 액적 토출 장치(10)에서 기판(220)을 다시 가열함이 없이, 즉시 액정의 도포를 개시할 수 있다. 따라서, 액정 도포 공정의 스루푸트를 향상시킬 수 있다.

다음에, 도 4에 나타내는 액적 토출 장치(10)에서, 기판(220)에 액정을 도포한다.

일반적으로, 액정은 고점성 유체로서, 상온(20℃)에서 50cps이상의 점도를 나타낸다. 이러한 고점성 유체는 헤드(20)에서의 미소 직경의 노즐로부터 토출시킴이 곤란하다. 또한, 헤드(20)에 의해 액정을 안정적으로 토출시키기 위해서는 액체의 점도를 10cps 정도로 저하시킴이 필요하다. 그래서, 도 4에 나타내는 온도 제어부(82)에 의해, 잉크 탱크(86), 잉크 유로(87) 및 헤드(20)에 장착된 히터 등의 온도 조절 수단을 구동하여, 액정의 온도를 70℃ 정도로 유지한다. 이것에 의해, 액정의 점도가 10cps 정도로 저하하여, 헤드(20)에 의한 액정의 토출이 가능하게 되어, 소정량의 액정을 정확하게 토출할 수 있게 된다.

한편, 온도 제어부(82)에 의해, 스테이지(46)에 장착된 히터 등의 온도 조절 수단을 구동하여, 스테이지(46)의 표면 온도를 70℃ 정도로 유지하여 둔다. 이것에 의해, 예비 가열된 기판(220)이 스테이지(46)에 놓여져도, 기판(220)의 온도 저하를 방지할 수 있다.

다음에, 도 4에 나타내는 동작 제어부(80)로부터 스테이지 이동 수단(14) 및/또는 헤드 이동 수단(16)에 대해서 동작 신호를 출력하여, 기판(220)에서의 도포 개시 위치의 상방에 헤드(20)를 배치시킨다. 또한, 동작 제어부(80)로부터 헤드(20)의 피에조 소자에 대해서 구동 신호를 출력하여, 헤드(20)으로부터 기판(220)에 대해서 액정을 토출시킨다. 또한 스테이지(46) 및/또는 헤드(20)를 이동시키면서, 헤드(20)으로부터 액정을 토출시킨다. 또한, 헤드(20)와 스테이지(46)의 상대적인 속도나, 헤드(20)에 의한 액정의 토출 주파수, Z축 둘레의 헤드(20)의 경사 각도 등을 조정함으로써, 단위 면적당 도포량을 제어할 수 있다. 이것에 의해, 도 7의 중앙에 나타내는 바와 같이, 기판(220)의 표면에 액정(250)이 도포된다. 또한, 기판간의 갭을 일정하게 하기 위해, 액정 중에 입자를 함유시켜도 좋다.

상술한 바와 같이, 기판(220)의 온도는 70℃ 정도로 유지되어 있기 때문에, 기판상에 도포된 액정(250)의 온도도 70℃ 정도로 유지된다. 액정(250)은 70℃ 정도의 온도에서 10cps 정도의 저점도로 되기 때문에, 도 7의 오른쪽 아래에 나타내는 바와 같이 신속하게 기판상을 젖어 퍼진다. 이와 같이 기판(220)을 예비 가열함으로써, 기판상에 도포된 액정(250)의 온도가 상승하여 점도가 저하하므로, 액정의 젖어 퍼짐 속도를 향상시킬 수 있다. 또 기판(220)을 예비 가열함으로써, 액정 토출 장치에서 기판의 온도를 상승시킬 필요가 없어져서, 즉시 액정(250)의 도포를 개시할 수 있다. 따라서, 액상체 도포 공정의 스루푸트를 향상시킬 수 있다. 또한 액적 토출 장치에서도 기판(220)을 가열함으로써, 기판의 온도 저하를 방지할 수 있으므로, 기판에 도포된 액정(250)의 젖어 퍼짐 속도를 향상시킬 수 있다. 또한, 헤드(20) 등을 가열함으로써, 액정(250)의 토출이 가능하게 되는 동시에, 기판(220)에 도포된 액정의 온도를 상승시킬 필요가 없어진다. 따라서, 액정 도포 공정의 스루푸트를 향상시킬 수 있다.

그런데, 액정(250)을 도포한 컬러 필터 기판(220)은 후술하는 바와 같이 실링재(252)를 도포한 TFT 어레이 기판(210)과 접합한다. 그 때문에, 컬러 필터 기판(220)에 도포된 액정이 실링재(252)에 의한 접합 위치를 넘어 젖어 퍼지면, 액정 셀내의 액정량이 부족하여 도포되지 않는 부분이 발생할 뿐만 아니라, 양 기판의 접합 불량이 발생하게 된다. 또한, 액정(250)이 실링재(252)에 접촉하면, 실링재를 구성하는 수지가 액정 중에 혼입할 우려가 있다. 그래서, 컬러 필터 기판(220)에 도포된 액정(250)이 실링재(252)와 접촉할 수 있는 위치까지 젖어 퍼지기 전에, 액정의 젖어 퍼짐를 억제할 필요가 있다.

그래서, 기판(220)에 도포된 액정을 40℃ 정도까지 냉각한다. 구체적으로는 도 4에 나타내는 온도 제어부(82)에 의해, 스테이지(46)에 장착된 온도 센서의 계측 결과가 40℃ 정도로 되도록, 쿨러 등의 온도 조절 수단을 구동한다. 이것에 의해, 액정의 점도는 25cps 정도까지 상승하여, 젖어 퍼짐이 억제된다. 또한, 액정의 냉각 목표 온도는 40℃로 한정되지 않고, 가열 목표 온도인 70℃보다 낮은 온도이면 좋다. 또한, 액정 토출 장치(10)에서 냉각을 행함이 없이, 액정이 도포된 기판(220)을 즉시 쿨링 플레이트까지 반송하여도 좋다. 이 경우, 액적 토출 장치(10)의 스테이지(46)를 다시 70℃까지 가열할 필요가 없어지므로, 액정 도포 공정의 스루푸트의 저하를 방지할 수 있다.

다음에, 도 1에 나타내는 제2 로봇암(135)에 의해, 기판(220)을 쿨링 플레이트(130)까지 반송한다. 그 구체적인 방법은, 제1 로봇암(125)의 경우와 마찬가지이다. 또한, 암에 의한 기판(220)의 반송 중에, 암 선단부의 냉각 수단에 의해 기판(220)을 냉각하여, 기판의 온도 저하를 촉진시켜도 좋다.

이것에 의해, 신속히 액정의 젖어 퍼짐 속도를 저하시킬 수 있으므로, 액정 도포 공정의 스루푸트를 향상시킬 수 있다.

또한, 기판(220)을 쿨링 플레이트(130)에 놓는다. 쿨링 플레이트(130)의 표면 온도는 40℃로 설정하여 둔다. 구체적으로는 쿨링 플레이트(130)의 표면에 장착된 온도 센서에 의한 계측 결과가 40℃을 상회하는 경우에는, 쿨링 플레이트(130)의 내부에 형성된 유로에 냉각수를 공급하기 위하여, 온도 제어부에서 외부 펌프에 대해서 운전 개시 신호를 출력한다. 또한, 온도 센서에 의한 계측 결과가 40℃을 하회하는 경우에는 냉각수의 공급을 정지하기 위하여, 온도 제어부로부터 운전 정지 신호를 출력한다. 또한, 냉각수를 상시 공급하면서, 그 유량을증감시킴으로써 온도 조절을 행하여도 좋다. 이것에 의해, 쿨링 플레이트(130)의 표면 온도가 40℃로 유지된다.

이 쿨링 플레이트(130)에 의해, 기판(220)이 40℃정도까지 냉각되고, 또한 기판(220)에 도포된 액정이 40℃정도까지 냉각된다. 이것에 의해, 액정의 점도가 상승하여, 젖어 퍼짐 속도가 저하한다. 그 결과, 기판(220)에 도포된 액정이 실링재와 접촉할 수 있는 위치까지 젖어 퍼지기 전에, 젖어 퍼짐를 억제할 수 있다. 또한, 기판(220)의 냉각 개시 시기를 조절함으로써, 도 7의 오른쪽 아래에 나타내는 바와 같이, 실링재와 접촉하기 직전의 위치에서 액정(250)의 젖어 퍼짐을 정지시킬 수도 있다.

다음에, 도 7의 오른쪽 아래에 나타내는 컬러 필터 기판(220)과, 도 7의 오른쪽 위에 나타내는 TFT 어레이 기판(210)을 접합한다. 그 전에, TFT 어레이 기판(210)의 화상 표시 영역의 주변부에, 경화전의 열경화성 수지 등으로 이루어지는 실링재(252)를 도포하여 둔다. 실링재(252)의 도포는 스크린 인쇄나 디스팬서 등에 의해서 행한다. 또한, 기판간의 갭을 일정하게 하기 위해, 실링재 중에 입자를 함유시켜도 좋다.

또한, 양 기판간의 갭이 균일하게 되도록 조정을 도모하면서, 진공 중에서 양 기판의 접합을 행한다. 또한 가열로에서 약 120℃에서 10분 정도 가열함으로써, 실링재(252)를 경화시켜 양 기판을 접착한다. 상술한 바와 같이 본 실시 형태에서는, 컬러 필터 기판(220)에 도포된 액정(250)이 TFT 어레이 기판(210)에 도포된 실링재(252)와 접촉할 수 있는 위치까지 젖어 퍼지기 전에, 액정(250)의 젖어퍼짐을 억제하고 있다. 따라서, 실링재(252)에 의한 접합 위치를 넘어 액정(250)이 젖어 퍼짐이 없어져서, 액정 셀내의 액정량이 부족하여 도포되지 않는 부분이 발생하거나, 양 기판의 접합 불량이 발생하거나 하는 경우가 없다. 또한, 경화전의 실링재(252)와 액정(250)의 접촉 기회가 감소하므로, 액정에 이물이 혼입될 가능성을 저감할 수 있게 되어, 액정의 배향 기능의 저하 및 표시 불균일의 발생을 방지할 수 있다.

이상에 의해, 도 3에 나타내는 액정 장치(200)가 완성된다.

이상에 상술한 바와 같이, 액정이 도포되는 기판을 예비 가열하는 예비 가열부를 갖는 구성으로 했으므로, 액상체의 젖어 퍼짐 속도를 향상시킬 수 있다. 또한, 기판에 도포된 액정을 냉각하는 냉각부를 갖는 구성으로 했으므로, 액상체의 젖어 퍼짐 속도를 저하시킬 수 있다. 이와 같이 본 실시 형태의 액적 토출 유닛에 의해, 액정의 젖어 퍼짐 속도를 제어할 수 있다. 또한, 도포부에서의 스테이지 및 액적 토출 헤드에 온도 조절 수단을 설치하고, 또 기판의 반송 수단에도 온도 조절 수단을 설치하였으므로, 액정의 온도 관리를 신속히 행할 수 있다.

따라서, 액적 도포 공정의 스루푸트를 향상시킬 수 있다.

또한 본 실시 형태에서는 TFT 어레이 기판(210)에 실링재(252)를 도포하고, 컬러 필터 기판(220)에 액정(250)을 도포하여, 양 기판을 접합했다. 그러나 이것과는 역으로, 컬러 필터 기판(220)에 실링재(252)를 도포하고, TFT 어레이 기판(210)에 액정(250)을 도포하여, 양 기판을 접합해도 좋다.

[전자 기기]

다음에, 액정 장치를 구비한 전자 기기의 예에 대해서, 도 8을 사용하여 설명한다. 도 8은 휴대 전화의 사시도이다. 상기 방법으로 형성한 액정 장치는 휴대 전화(3000)의 케이스 내부에 배치되어 있다.

또한, 상기 방법으로 형성한 액정 장치는 휴대 전화 이외에도 각종의 전자 기기에 적용할 수 있다. 예를 들어, 액정 프로젝터, 멀티미디어 대응의 퍼스널 컴퓨터(PC) 및 엔지니어링·워크스테이션(EWS), 페이져, 워드 프로세서, 텔레비젼, 뷰파인더형 또는 모니터 직시형의 비디오테이프 레코더, 전자 수첩, 전자 탁상 계산기, 카내비게이션 장치, POS 단말, 터치 패널을 구비한 장치 등의 전자 기기에 적용할 수 있다.

또한, 본 발명의 기술 범위는 상술한 실시 형태에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서, 상술한 실시 형태에 각종의 변경을 가한 것을 포함한다. 즉, 실시 형태로 든 구체적인 재료나 구성 등은 일례에 지나지 않고, 적당히 변경이 가능하다.

본 발명에 의하면, 기판상에 도포된 액상체의 젖어 퍼짐 속도를 제어할 수 있고, 또 액상체 도포 공정의 스루푸트를 향상시킬 수 있는 액상체의 도포 장치와 액상체의 도포 방법을 제공할 수 있다. 또한 본 발명에 의하면, 표시 품질이 우수한 액정 장치의 제조 방법, 액정 장치 및 전자 기기를 제공할 수 있다.

Claims

기판에 대해서 액상체를 도포하는 장치로서,

상기 기판에 상기 액상체를 도포하는 도포부와, 상기 액상체가 도포되는 상기 기판을 예비 가열하는 예비 가열부와, 상기 예비 가열부로부터 상기 도포부에 대해서 상기 기판을 자동 반송하는 반송 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 액상체의 도포 장치.
제1항에 있어서,

상기 반송 수단에는 상기 기판의 가열 수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 액상체의 도포 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 도포부에는 상기 기판의 가열 수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 액상체의 도포 장치.
기판에 대해서 액상체를 도포하는 장치로서,

상기 기판에 상기 액상체를 도포하는 도포부와, 상기 기판에 도포된 상기 액상체를 냉각하는 냉각부를 갖는 것을 특징으로 하는 액상체의 도포 장치.
제4항에 있어서,

상기 도포부로부터 상기 냉각부에 대해서 상기 기판을 자동 반송하는 반송 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 액상체의 도포 장치.
제5항에 있어서,

상기 반송 수단에는 상기 기판에 도포된 상기 액상체의 냉각 수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 액상체의 도포 장치.
제4항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 도포부에는 상기 기판에 도포된 상기 액상체의 냉각 수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 액상체의 도포 장치.
기판에 대해서 액상체를 도포하는 방법으로서,

상기 기판을 예비 가열하는 예비 가열부에서, 상기 기판을 예비 가열하는 공정과,

상기 예비 가열부로부터, 상기 기판에 상기 액상체를 도포하는 도포부에 대해서, 상기 기판을 자동 반송하는 공정과,

상기 도포부에서, 상기 기판에 상기 액상체를 도포하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 액상체의 도포 방법.
기판에 대해서 액상체를 도포하는 방법으로서,

상기 기판에 도포된 상기 액상체를 냉각하는 것을 특징으로 하는 액상체의 도포 방법.
한쌍의 기판과, 상기 한쌍의 기판간의 주연부에 설치된 밀봉재와, 상기 한쌍의 기판 및 상기 밀봉재에 의해서 형성되는 공간에 봉입된 액정을 갖는 액정 장치의 제조 방법으로서,

상기 한쌍의 기판 중 한쪽의 상기 기판에 상기 액정을 도포하기 전에, 상기 한쪽의 기판을 예비 가열하는 것을 특징으로 하는 액정 장치의 제조 방법.
제10항에 있어서,

상기 한쌍의 기판 중 다른쪽의 상기 기판에 상기 밀봉재를 도포하여, 상기 액정이 도포된 상기 한쪽의 기판과 접합하는 것을 특징으로 하는 액정 장치의 제조 방법.
한쌍의 기판과, 상기 한쌍의 기판간의 주연부에 설치된 밀봉재와, 상기 한쌍의 기판 및 상기 밀봉재에 의해서 형성되는 공간에 봉입된 액정을 갖는 액정 장치의 제조 방법으로서,

상기 한쌍의 기판 중 한쪽의 상기 기판에 상기 액정을 도포한 후에, 상기 한쪽의 기판에 도포된 상기 액정을 냉각하는 것을 특징으로 하는 액정 장치의 제조방법.
제12항에 있어서,

상기 한쪽의 기판에 도포된 상기 액정이 상기 밀봉재와 접촉할 수 있는 위치까지 젖어 퍼지기 전에, 상기 한쪽의 기판에 도포된 상기 액정의 냉각을 개시하는 것을 특징으로 하는 액정 장치의 제조 방법.
제10항 내지 제13항 중 어느 한 항 기재의 액정 장치의 제조 방법을 사용하여 제조한 것을 특징으로 하는 액정 장치.
제14항 기재의 액정 장치를 구비한 것을 특징으로 하는 전자 기기.