JP4530224B2 - 塗布装置および塗布方法 - Google Patents
塗布装置および塗布方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4530224B2 JP4530224B2 JP2005346158A JP2005346158A JP4530224B2 JP 4530224 B2 JP4530224 B2 JP 4530224B2 JP 2005346158 A JP2005346158 A JP 2005346158A JP 2005346158 A JP2005346158 A JP 2005346158A JP 4530224 B2 JP4530224 B2 JP 4530224B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- coating
- stage
- heating
- length
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims description 142
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims description 123
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 190
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 55
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 51
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 34
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 14
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 13
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 36
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 9
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 8
- 238000002791 soaking Methods 0.000 description 6
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 5
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 5
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- NCGICGYLBXGBGN-UHFFFAOYSA-N 3-morpholin-4-yl-1-oxa-3-azonia-2-azanidacyclopent-3-en-5-imine;hydrochloride Chemical compound Cl.[N-]1OC(=N)C=[N+]1N1CCOCC1 NCGICGYLBXGBGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Description
α=L/L0
以上で、熱膨張率算出処理の説明を終了する。
W=α×W0
なお、加熱前におけるアライメントマーク間の距離W0は、塗布装置において予め設定されている。以上のステップS24によって、アライメントマークM1からM3までの距離が調整されることとなる。
Δθ=sin-1(d/W)
Pt0=P0×N
なお、加熱前における1回のピッチ送り量P0、および、ピッチ送りを行う回数Nは、塗布装置において予め設定されている。
ΔPt=Pt0×(α−1)
N’=ΔPt/R
2 ノズルユニット
3 液受け部
4 ステージ
5 ステージ移動機構部
6 CCDカメラ
7 カメラ移動機構部
8 制御部
9 ヒーター
12〜14 ノズル
Claims (5)
- 塗布手段によって塗布液を基板に塗布する塗布方法であって、
前記基板を塗布時の処理温度に加熱する加熱工程と、
加熱された基板の所定部分の長さを測定する測定工程と、
加熱前における前記所定部分の長さと前記測定工程で測定された長さとに基づいて加熱による基板の膨張率を算出し、所定の第1方向へのピッチ送り量を当該膨張率に基づいて調整する調整工程と、
前記基板に対して塗布液を吐出している塗布手段を前記第1方向に垂直な第2方向に相対移動させる動作と、前記調整工程において調整されたピッチ送り量だけ前記基板を前記塗布手段に対して相対移動させる動作とを繰り返すことによって塗布液を前記基板に塗布する塗布工程とを備える、塗布方法。 - 前記測定工程においては、撮像手段によって前記所定部分を撮像することによって当該所定部分の長さを測定する、請求項1に記載の塗布方法。
- 前記測定工程においては、前記所定部分の一端を前記撮像手段によって撮像した後、前記基板を前記第1方向に相対移動させることによって前記所定部分の他端を前記撮像手段によって撮像し、撮像した画像を用いて当該所定部分の長さを算出する、請求項2に記載の塗布方法。
- 前記基板には、少なくとも2つのマークが付されており、
前記測定工程においては、前記基板に付された所定のマーク間の長さを前記所定部分の長さとして測定する、請求項1から請求項3のいずれかに記載の塗布方法。 - 塗布液を基板に塗布する塗布装置であって、
前記基板を塗布時の処理温度に加熱する加熱手段と、
加熱された基板に対して塗布液を塗布するための塗布手段と、
加熱された基板の所定部分の長さを測定する測定手段と、
加熱前における前記所定部分の長さと前記測定手段によって測定された長さとに基づいて加熱による基板の膨張率を算出し、所定の第1方向へのピッチ送り量を当該膨張率に基づいて調整する調整手段と、
前記基板に対して塗布液を吐出している塗布手段を前記第1方向に垂直な第2方向に相対移動させる第1移動手段と、
前記調整手段によって調整されたピッチ送り量だけ前記基板を前記塗布手段に対して相対移動させる第2移動手段とを備える、塗布装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005346158A JP4530224B2 (ja) | 2005-11-30 | 2005-11-30 | 塗布装置および塗布方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005346158A JP4530224B2 (ja) | 2005-11-30 | 2005-11-30 | 塗布装置および塗布方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007144374A JP2007144374A (ja) | 2007-06-14 |
JP4530224B2 true JP4530224B2 (ja) | 2010-08-25 |
Family
ID=38206413
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005346158A Expired - Fee Related JP4530224B2 (ja) | 2005-11-30 | 2005-11-30 | 塗布装置および塗布方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4530224B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5682179B2 (ja) * | 2010-08-19 | 2015-03-11 | セイコーエプソン株式会社 | 描画装置、及び描画方法 |
CN108620283A (zh) * | 2018-06-29 | 2018-10-09 | 苏州富强科技有限公司 | 一种点胶机 |
CN112670212B (zh) * | 2020-12-24 | 2024-05-07 | 武汉理工大学 | 一种大面积印刷与激光退火制造装置及半导体制造方法 |
KR102637891B1 (ko) * | 2023-05-02 | 2024-02-19 | 주식회사 씨코어 | 활성탄소섬유 기능성 연속코팅장치 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000263261A (ja) * | 1999-03-16 | 2000-09-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ加工装置及びその装置を用いてレーザ加工する方法 |
JP2003133692A (ja) * | 2001-10-29 | 2003-05-09 | Seiko Epson Corp | 膜パターンの形成方法および形成装置、ならびにこれにより得られる膜構造体、電気光学装置、電子機器、および非接触型カード媒体 |
JP2004160296A (ja) * | 2002-11-11 | 2004-06-10 | Seiko Epson Corp | 膜形成装置及び膜形成方法、電気光学装置、並びに電子機器 |
JP2005007266A (ja) * | 2003-06-18 | 2005-01-13 | Seiko Epson Corp | 液状体の塗布装置、液状体の塗布方法、液晶装置の製造方法、液晶装置および電子機器 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3305798B2 (ja) * | 1993-02-26 | 2002-07-24 | パイオニア株式会社 | 電子部品実装装置 |
-
2005
- 2005-11-30 JP JP2005346158A patent/JP4530224B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000263261A (ja) * | 1999-03-16 | 2000-09-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ加工装置及びその装置を用いてレーザ加工する方法 |
JP2003133692A (ja) * | 2001-10-29 | 2003-05-09 | Seiko Epson Corp | 膜パターンの形成方法および形成装置、ならびにこれにより得られる膜構造体、電気光学装置、電子機器、および非接触型カード媒体 |
JP2004160296A (ja) * | 2002-11-11 | 2004-06-10 | Seiko Epson Corp | 膜形成装置及び膜形成方法、電気光学装置、並びに電子機器 |
JP2005007266A (ja) * | 2003-06-18 | 2005-01-13 | Seiko Epson Corp | 液状体の塗布装置、液状体の塗布方法、液晶装置の製造方法、液晶装置および電子機器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007144374A (ja) | 2007-06-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7128531B2 (ja) | 印刷および製造システムにおける精密な位置合わせ、較正および測定 | |
CN106311524B (zh) | 液滴排出装置和液滴排出方法 | |
TWI641302B (zh) | 用於自動調整點膠機之點膠單元的方法與裝置 | |
CN108568382B (zh) | 液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质 | |
JP7247013B2 (ja) | アライメント方法、これを用いた蒸着方法及び電子デバイスの製造方法 | |
TWI750336B (zh) | 工件加工裝置、工件加工方法及電腦記憶媒體 | |
TWI520789B (zh) | Substrate manufacturing device | |
US10391763B2 (en) | Inkjet printing system and method for processing substrates | |
WO2016080235A1 (ja) | 蒸着装置、蒸着方法、及び、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 | |
JP4530224B2 (ja) | 塗布装置および塗布方法 | |
WO2008069203A1 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2007144375A (ja) | 塗布装置および塗布方法 | |
US9138993B2 (en) | Method of ink application on substrate | |
KR101741217B1 (ko) | 기판의 얼라인 방법 | |
JP2013143462A (ja) | 薄膜形成装置及び薄膜形成方法 | |
JP5687165B2 (ja) | プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板位置決め方法、及び表示用パネル基板の製造方法 | |
JP2004303549A (ja) | プラズマディスプレイ用基板の製造方法および製造装置 | |
JP7428684B2 (ja) | アライメント装置 | |
JP2012074455A (ja) | アライメントユニット、基板処理装置、およびアライメント方法 | |
JP4636495B2 (ja) | 有機el表示装置を製造するための塗布装置 | |
JP6532778B2 (ja) | 液滴吐出装置、液滴吐出方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
JP2004337744A (ja) | ステージ装置、それを用いたペースト塗布装置、及びペースト塗布方法 | |
JP2023163217A (ja) | 成膜装置、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 | |
JP2012196824A (ja) | スクリーン印刷機およびスクリーン印刷方法 | |
JP2013054270A (ja) | プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置のギャップ制御方法、及び表示用パネル基板の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071217 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100531 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100602 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100602 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130618 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130618 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130618 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |