JP6532778B2 - 液滴吐出装置、液滴吐出方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 - Google Patents
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Description
先ず、本発明の第1の実施の形態に係る液滴吐出装置の構成について、図1及び図2を参照して説明する。図1は、液滴吐出装置1の構成の概略を示す模式側面図である。図2は、液滴吐出装置1の構成の概略を示す模式平面図である。なお、以下においては、ワークWの主走査方向をX軸方向、主走査方向に直交する副走査方向をY軸方向、X軸方向及びY軸方向に直交する鉛直方向をZ軸方向、Z軸方向回りの回転方向をθ方向とする。
次に、以上のように構成された液滴吐出装置1の適用例について説明する。図6は、液滴吐出装置1を備えた基板処理システム200の構成の概略を示す説明図である。基板処理システム200では、有機発光ダイオードの有機EL層が形成される。
10 X軸テーブル
11 Y軸テーブル
12 X軸ガイドレール
13 Y軸ガイドレール
20 ワークステージ
21 ステージ回転機構
22 X軸スライダ
23 移動量検出機構
30 キャリッジユニット
33 キャリッジ
34 液滴吐出ヘッド
40 撮像ユニット
41 撮像部
100 バンク
101 開口部
102 基準マーク
150 制御部
200 基板処理システム
240、260、280 塗布装置
300 有機発光ダイオード
330 有機EL層
331 正孔注入層
332 正孔輸送層
333 発光層
334 電子輸送層
335 電子注入層
G ガラス基板
W ワーク
Claims (10)
- ワークに機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出装置であって、
液滴吐出位置に配置された前記ワークに対して、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記ワークを載置するワークステージと、
前記液滴吐出ヘッドと前記ワークを、主走査方向、前記主走査方向に直交する方向及び回転方向に相対的に移動させるワーク移動機構と、
前記ワーク移動機構による、前記ワークステージの主走査方向への移動量を検出する移動量検出機構と、
前記ワークの主走査方向における前記液滴吐出ヘッドの下流側における、前記ワークの撮像画像を取得する撮像部と、
基準マークが前記主走査方向に沿って同じピッチで複数形成された前記ワークを前記主走査方向に移動させる際に、予め設定された撮像周期で、前記撮像部により、前記液滴吐出位置で液滴が吐出された後のワークの撮像画像を取得し、
基準マークが含まれる前記撮像画像に基づいて、前記液滴吐出ヘッドから吐出された液滴の位置を検出し、
前記検出された液滴の位置と、前記移動量検出機構で検出された前記ワークの移動量と、の相関関係に基づいて当該相関関係の差分が所定の閾値以内となるような補正位置を算出し、算出した当該補正位置に前記ワークステージを移動させることで、前記液滴吐出位置における前記ワークと前記液滴吐出ヘッドとの相対的な位置を補正する制御部と、を有することを特徴とする、液滴吐出装置。 - 前記制御部による前記液滴吐出位置における前記ワークと前記液滴吐出ヘッドとの相対的な位置の補正は、前記撮像画像で検出された液滴が前記液滴吐出ヘッドから吐出された回の次以降の回の吐出時に行われることを特徴とする、請求項1に記載の液滴吐出装置。
- 前記ワークには、液滴により所定のパターンが描画される着弾領域が形成され、
前記制御部は、
前記着弾領域の外部の予め定められた所定の位置に対して、前記液滴吐出ヘッドからさらに液滴を吐出し、
前記撮像部で撮像された撮像画像に基づいて、前記液滴吐出ヘッドから前記着弾領域の外部の予め定められた所定の位置に吐出された液滴の位置を検出し、
前記移動量検出機構で検出された前記ワークの移動量に基づいて、前記着弾領域の外部の予め定められた所定の位置を推定し、
前記検出された液滴の位置と、前記推定された着弾領域の外部の予め定められた所定の位置とのずれ量を算出し、
次回以降の前記液滴吐出ヘッドからの液滴の吐出において、当該算出されたずれ量に基づいて、前記液滴吐出位置における前記ワークと前記液滴吐出ヘッドとの相対的な位置を補正することを特徴とする、請求項1または2のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。 - 前記着弾領域の外部の予め定められた所定の位置には、予め基準マークが形成されていることを特徴とする、請求項3に記載の液滴吐出装置。
- 基準マークが主走査方向に沿って同じピッチで複数形成されたワークを主走査方向に移動させるワーク移動機構を備えた液滴吐出装置を用いて、ワークに機能液の液滴を吐出して描画する液滴吐出方法であって、
前記ワーク移動機構により前記主走査方向に沿って前記ワークを移動させる際の、前記ワークの主走査方向への移動量を移動量検出機構により検出し、
液滴吐出位置に配置された前記ワークに対して、液滴吐出ヘッドから液滴を吐出し、
前記ワークを前記主走査方向に移動させる際に、予め設定された撮像周期で、前記ワークの主走査方向の前記液滴吐出ヘッドの下流側における前記ワークの撮像画像を取得し、
基準マークが含まれる前記撮像画像に基づいて、前記液滴吐出ヘッドから吐出された液滴の位置を検出し、
前記検出された液滴の位置と、前記移動量検出機構で検出された前記ワークの移動量と、の相関関係に基づいて当該相関関係の差分が所定の閾値以内となるような補正位置を算出し、算出した当該補正位置にワークステージを移動させることで、前記液滴吐出位置における前記ワークと前記液滴吐出ヘッドとの相対的な位置を補正することを特徴とする、液滴吐出方法。 - 前記液滴吐出位置における前記ワークと前記液滴吐出ヘッドとの相対的な位置の補正は、前記撮像画像で検出された液滴が前記液滴吐出ヘッドから吐出された回の次以降の回の吐出時に行われることを特徴とする、請求項5に記載の液滴吐出方法。
- 前記ワークには、液滴により所定のパターンが描画される着弾領域が形成され、
前記着弾領域の外部の予め定められた所定の位置に対して、前記液滴吐出ヘッドからさらに液滴を吐出し、
前記撮像画像に基づいて、前記液滴吐出ヘッドから吐出された液滴の位置を検出し、
前記移動量検出機構で検出された前記ワークの移動量に基づいて、前記着弾領域の外部の予め定められた所定の位置を推定し、
前記検出された液滴の位置と、前記推定された着弾領域の外部の予め定められた所定の位置とのずれ量を算出し、
次回以降の前記液滴吐出ヘッドからの液滴の吐出において、当該算出されたずれ量に基づいて、前記液滴吐出位置における前記ワークと前記液滴吐出ヘッドとの相対的な位置を補正することを特徴とする、請求項5または6のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。 - 前記着弾領域の外部の予め定められた所定の位置には、予め基準マークが形成されていることを特徴とする、請求項7に記載の液滴吐出方法。
- 請求項5〜8のいずれか一項に記載の液滴吐出方法を液滴吐出装置によって実行させるように、当該液滴吐出装置のコンピュータ上で動作するプログラム。
- 請求項9に記載のプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体。
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