JP2013143462A - 薄膜形成装置及び薄膜形成方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 対象物の伸縮量を計測するためのアライメントマークの個数が増えても、薄膜形成のためのタクトタイムの増加を抑制することができる薄膜形成装置を提供する。
【解決手段】塗布ステージが対象物を保持する。対象物に形成する薄膜パターンの画像データが記憶装置に記憶されている。ノズルユニットが、塗布ステージに保持された対象物に向けて、液状材料の液滴を吐出する。搬送装置が、対象物を、保管場所から塗布ステージまで搬送する。搬送装置で搬送中に、第１の検出器が、対象物に形成されている少なくとも３個のアライメントマークを検出する。制御装置が、第１の検出器の検出結果に基づいて、対象物の伸縮量を求め、求められた伸縮量に基づいて、記憶装置に記憶されている画像データを補正し、補正後の画像データに基づいて、ノズルユニットを制御することにより、対象物に薄膜パターンを形成する。
【選択図】 図５

Description

本発明は、対象物に薄膜パターンを形成する薄膜形成装置及び薄膜形成方法に関する。

プリント配線板にソルダーレジストのパターンを形成する従来の方法について説明する。まず、表面に回路パターンが形成されたプリント配線板の全面に、感光性のソルダーレジストを塗布する。所定のマスクパターンを用いて、ソルダーレジスト膜を露光し、その後現像することにより、ソルダーレジストのパターンが形成される。

ソルダーレジストを液滴化して、プリント配線板の所望の領域にのみ液滴を付着させ、硬化させることにより、ソルダーレジストの薄膜パターンを形成する技術が注目されている。ソルダーレジストの液滴は、複数のノズルからプリント配線板に向けて吐出される。プリント配線板の表面に付着した液滴に紫外線を照射することにより、液滴を硬化させることができる。

ソルダーレジストの薄膜パターンを形成するときの位置の基準となるアライメントマークが、プリント配線板の表面に形成されている。カメラ等の撮像装置でアライメントマークを検出することにより、プリント配線板の所望の位置に液滴を付着させることができる。

特開２００４−１０４１０４号公報 特開２０１１−７７２８９号公報

プリント配線板等の対象物は、環境温度の変動、種々の処理工程における加熱及び加圧等により伸縮する。対象物が伸縮している場合には、その伸縮量に適合するように、形成すべき薄膜パターンも伸縮させなければならない。対象物の伸縮量は、面内で均一であるとは限らない。このため、対象物の伸縮量を計測するために、例えば９個程度のアライメントマークの位置を検出することが望ましい。

対象物の上方には、液滴を吐出するためのノズルユニットが配置されているため、アライメントマークを検出するための撮像装置を配置するスペースが制約される。この制約により、アライメントマークと同数の撮像装置を配置することが困難である。複数のアライメントマークを検出するために、対象物を載置したステージまたは撮像装置を移動させなければならない。検出すべきアライメントマークの個数が増えると、アライメントマーク検出のための時間が長くなり、その結果、薄膜形成のためのタクトタイムが長くなってしまう。

本発明の目的は、対象物の伸縮量を計測するためのアライメントマークの個数が増えても、薄膜形成のためのタクトタイムの増加を抑制することができる薄膜形成装置及び薄膜形成方法を提供することである。

本発明の一観点によると、
薄膜パターンを形成すべき対象物を保持する塗布ステージと、
前記対象物に形成する薄膜パターンの画像データを記憶する記憶装置と、
前記塗布ステージに保持された対象物に向けて、液状材料の液滴を吐出するノズルユニットと、
対象物を、保管場所から前記塗布ステージまで搬送する搬送装置と、
前記搬送装置で搬送中に、前記対象物に形成されている少なくとも３個のアライメントマークを検出する第１の検出器と、
前記第１の検出器の検出結果に基づいて、前記対象物の伸縮量を求め、求められた伸縮量に基づいて、前記記憶装置に記憶されている前記画像データを補正し、補正後の画像データに基づいて、前記ノズルユニットを制御することにより、前記対象物に薄膜パターンを形成する制御装置と
を有する薄膜形成装置が提供される。

本発明の他の観点によると、
薄膜を形成する対象物に形成された少なくとも３個のアライメントマークを第１の検出器で検出し、前記対象物の伸縮量を算出する工程と、
算出された前記伸縮量に基づいて、前記対象物に形成すべき薄膜パターンの画像データを修正する工程と、
前記アライメントマークを検出した後、前記対象物を塗布ステージの上に載置する工程と、
前記対象物を前記塗布ステージに載置した後、前記画像データを修正して得られた修正画像データに基づいて、ノズルユニットから液状材料を吐出させることにより、前記対象物に薄膜パターンを形成する工程と
を有する薄膜形成方法が提供される。

対象物の搬送中にアライメントマークを検出することにより、対象物の伸縮量を求めておくことができる。このため、伸縮量を算出するためのアライメントマークの検出に起因するタクトタイムの増加を抑制することができる。

図１は、実施例１による薄膜形成装置の概略図である。 図２は、実施例１による薄膜形成装置で薄膜を形成する対象物の平面図である。 図３Ａは、実施例１による薄膜形成装置のノズルユニットの斜視図であり、図３Ｂは、ノズルユニットの底面図である。 図４Ａは、実施例１による薄膜形成装置の第１の検出器及び搬送中の対象物の平面図であり、図４Ｂは、第２の検出器及び塗付ステージの平面図である。 図５は、実施例１による薄膜形成方法のフローチャートである。 図６は、実施例１による薄膜形成方法のステップＳＡ５の詳細なフロー茶とである。 図７は、実施例２による薄膜形成方法のステップＳＡ５の詳細なフロー茶とである。 図８は、実施例３による薄膜形成方法のステップＳＡ５の詳細なフロー茶とである。 図９は、実施例４による薄膜形成装置の搬送装置の平面図である。 図１０Ａは、実施例５による薄膜形成装置の塗付ステージの平面図であり、図１０Ｂは、図１０Ａの一点鎖線１０Ｂ−１０Ｂにおける断面図である。

［実施例１］
図１に、実施例１による薄膜形成装置の概略図を示す。未処理対象物保管場所３５に、薄膜を形成する前の対象物２０、例えばプリント基板が保管されている。塗布ステージ２１の上方に、ノズルユニット２５が配置されている。塗布ステージ２１は、保持した対象物２０を、その表面に平行な２次元方向（Ｘ方向とＹ方向）に移動させることができる。さらに、対象物２０の表面に垂直な方向を回転軸をして回転させることにより、回転方向（θ方向）に関して対象物２０の姿勢を変化させることができる。

塗布ステージ２１の上に対象物２０を保持した状態で、ノズルユニット２５からソルダーレジスト等の液滴を吐出させることにより、対象物２０に薄膜パターンを形成する。薄膜パターンが形成された対象物２０が、処理済対象物保管場所３６に保管される。搬送装置２９が、薄膜パターン形成前の対象物２０を、未処理対象物保管場所３５から塗布ステージ２１まで搬送し、薄膜パターンが形成された対象物２０を、塗布ステージ２１から処理済対象物保管場所３６まで搬送する。
搬送装置２９は、搬送路２８と、搬送路２８に移動可能に取り付けられた搬入アーム２７及び搬出アーム３７とを含む。搬入アーム２７は、対象物２０を、未処理対象物保管場所３５から塗布ステージ２１まで搬送する。搬出アーム３７は、対象物２０を、塗布ステージ２１から処理済対象物保管場所３６まで搬送する。

搬入アーム２７は、昇降機能、及び保持した対象物２０を面内方向（θ方向）に回転させる機能を有する。搬入アーム２７が移動する経路上に、第１の検出器３０が配置されている。第１の検出器３０には、カメラ等の２次元撮像装置が用いられる。第１の検出器３０は、搬入アーム２７に保持されて搬送中の対象物２０に形成されている少なくとも３個のアライメントマークを撮像する。撮像結果が制御装置２２に入力される。アライメントマークの撮像は、搬入アーム２７を静止させた状態で行ってもよいし、移動させながら行ってもよい。

塗布ステージ２１の上方に第２の検出器３３が配置されている。第２の検出器３３にも、カメラ等の２次元撮像装置が用いられる。第２の検出器３３は、搬入アーム２７に保持されて塗布ステージ２１の上方まで搬送された対象物２０、または塗布ステージ２１に載置されている対象物２０に形成されている少なくとも２個のアライメントマークを撮像する。撮像結果が制御装置２２に入力される。

記憶装置２３に、形成すべき薄膜パターンの画像データが記憶されている。制御装置２２が、搬送装置２９、ノズルユニット２５を制御する。

図２に、対象物２０の表面に形成すべき薄膜パターン４０、及び表面に形成されているアライメントマーク４１の平面図を示す。対象物２０の外形は、例えば長方形である。薄膜パターン４０は、例えば、行列状に配置された同一形状の複数のパターンで構成される。アライメントマーク４１は、対象物２０の表面のうち、薄膜パターン４０と重ならない位置に配置されている。図２では、９個のアライメントマーク４１が形成されている例を示している。アライメントマーク４１は、例えば、対象物２０の四隅のやや内側、各辺の中点のやや内側、及び表面のほぼ中心に配置されている。

アライメントマーク４１には、対象物２０の表面に形成されている配線パターンと同様に、銅箔が用いられる。薄膜パターン４２の平面形状、アライメントマーク４１の平面形状、及び両者の相対位置関係を示す画像データ等が、記憶装置２３（図１）に記憶されている。

図３Ａに、ノズルユニット２５の斜視図を示す。支持部材２６の底面に、４個のノズル
ヘッド４２が取り付けられている。ノズルヘッド４２の各々に、複数のノズル穴４５が形成されている。ノズル穴４５は、例えば２列に配列している。ノズルヘッド４２は、ノズル穴４５から、例えばソルダーレジスト等の液滴を吐出する。４個のノズルヘッド４２は、ノズル穴４５の配列方向と直交する方向に配列している。相互に隣り合うノズルヘッド４２の間、及び最も端に位置するノズルヘッド４２よりも外側に、紫外光源４３が取り付けられている。紫外光源４３は、対象物２０（図１）に紫外線を照射する。

図３Ｂに、ノズルヘッド４２及び紫外光源４３の底面図を示す。ノズルヘッド４２の各々の底面（対象物２０に対向する表面）に、２列のノズル列４６が形成されている。ノズル列４６の各々は、図３Ｂにおいて縦方向に、ピッチ（周期）８Ｐで配列した複数のノズル穴４５で構成されている。一方のノズル列４６のノズル穴４５の位置は、他方のノズル列４６のノズル穴４５の位置に対して、縦方向に４Ｐだけずれている。

４個のノズルヘッド４２は、縦方向に少しずつ変位させて、支持部材２６（図３Ａ）に固定されている。ノズルヘッド４２のずれの刻み幅は、１つのノズル列４６におけるノズル穴４５のピッチ８Ｐの１／８である。例えば、最も左側のノズルヘッド４２を基準として、２番目、３番目、及び４番目のノズルヘッド４２は、図３Ｂにおいて下方にそれぞれ２Ｐ、Ｐ、３Ｐだけずらされている。縦方向のみに着目すると、４個のノズルヘッド４２に形成されているノズル穴４５は、ピッチＰで等間隔に配置されることになる。

薄膜パターンの形成時には、図３Ｂに示したノズルヘッド４２の底面に対象物２０（図１）を対向させた状態で、対象物２０を横方向に移動させながら、ノズルヘッド４２から液状材料、例えばソルダーレジストの液滴を吐出させる。これにより、対象物２０に液状材料を塗布することができる。

図３Ｂにおいて縦方向の解像度は、ノズル孔４５のピッチＰで規定される。横方向に関する解像度は、塗布ステージ２１（図１）の移動速度、及びノズル穴４５（図３Ｂ）からの液状材料の吐出周期により決定される。

図４Ａに、第１の検出器３０（図１）が配置された領域の平面図を示す。図４Ａの横方向に搬送路２８が伸びている。第１の検出器３０は、例えば３個の撮像装置３０Ａを含む。撮像装置３０Ａの下方を、対象物２０が通過する。図４Ａでは、搬入アーム２７（図１）の記載を省略している。

３個の撮像装置３０Ａは、対象物２０の搬送方向に対して直交する方向に関して、相互に異なる位置に配置されている。対象物２０に形成された９個のアライメントマーク４１の各々は、搬送時に、撮像装置３０Ａのいずれか１つの視野内を通過する。アライメントマーク４１が撮像装置３０Ａの視野内に捉えられた時に、画像データが取得される。取得された画像データは、制御装置２２（図１）に送信される。アライメントマーク４１の各々が、いずれか１つの撮像装置３０Ａの視野内を通過するため、３個の撮像装置３０Ａで９個のアライメントマーク４１の画像データを取得することができる。撮像装置３０Ａの視野内におけるアライメントマーク４１の位置、及び１つのアライメントマーク４１を撮像して次のアライメントマーク４１を撮像するまでに対象物２０が移動した距離に基づいて、制御装置２２（図１）が、アライメントマーク４１の相対位置関係を算出する。

図４Ｂに、第２の検出器３３及び塗布ステージ２１が配置された領域の平面図を示す。図４Ｂの横方向に搬送路２８が伸びている。図４Ｂにおいても、搬入アーム２７（図１）の記載を省略している。第２の検出器３３は、例えば２個の撮像装置３３Ａを含む。塗布ステージ２１の上または上方に、対象物２０が配置されている。撮像装置３３Ａは、それぞれ１つのアライメントマーク４１が視野内に捉えられる位置に配置されている。

２つの撮像装置３３Ａで、２つのアライメントマーク４１を撮像し、画像データを取得する。取得された画像データが、制御装置２２（図１）に送信される。制御装置２２（図１）が、２つの画像データに基づいて、第２の検出器３３に対する対象物２０の相対位置及び回転方向に関する姿勢を算出する。第２の検出器３３と塗布ステージ２１との相対位置関係、及び第２の検出器３３とノズルユニット２５（図１）との相対位置関係は、予め制御装置２２に記憶されている。このため、第２の検出器３３の検出結果により、ノズルユニット２５（図１）に対する対象物２０の相対位置、及び塗布ステージ２１に対する対象物２０の相対位置を求めることができる。

図４Ａ及び図４Ｂでは、撮像装置３０Ａ、３３Ａでアライメントマーク４１を撮像することにより、アライメントマーク４１の位置を決定したが、他の方法により、アライメントマーク４１を検出し、その位置を決定してもよい。例えば、計測用の光をアライメントマークに照射し、その反射光を検出することによってもアライメントマークの位置を検出することができる。

図５に、実施例１による薄膜形成方法のフローチャートを示す。以下の各ステップにおいて、制御装置２２が、記憶装置２３に記憶されているプログラムに基づいて、搬送装置２９、塗布ステージ２１、ノズルユニット２５、及び搬出アーム３７を制御する。以下の薄膜形成方法の説明において、必要に応じて図１〜図４Ａ、図４Ｂを参照する。

ステップＳＡ１において、未処理対象物保管場所３５（図１）の対象物２０を、搬入アーム２７で保持する。ステップＳＡ２において、対象物２０の搬送中に、第１の検出器３０によりアライメントマーク４１を撮像（検出）する。

ステップＳＡ３において、第１の検出器３０で撮像された画像データを解析することにより、複数のアライメントマーク４１の相対位置関係を求める。アライメントマーク４１の相対位置関係から、対象物２０の面内方向の伸縮量を算出する。９個のアライメントマーク４１が対象物２０の表面に広く分散しているため、伸縮量が面内で均一でない場合であっても、種々の補間演算を行うことにより、伸縮量を高精度に算出することができる。

なお、対象物２０の伸縮量が面内で一様である場合には、一直線上に配置されていない少なくとも３個のアライメントマーク４１を検出することにより、二次元方向に関する伸縮量を算出することができる。

ステップＳＡ４において、対象物２０の伸縮量に基づいて、記憶装置２３に記憶されている薄膜パターンの画像データを修正し、修正画像データを求める。具体的には、対象物２０の伸縮に対応させて、薄膜パターンを伸縮させればよい。

ステップＳＡ５において、対象物２０の回転方向の位置合わせを行うとともに、対象物２０を塗布ステージ２１に載置する。

図６に、ステップＳＡ５の詳細なフローチャートを示す。ステップＳＢ１において、搬入アーム２７で対象物２０を保持した状態で、第２の検出器３３によりアライメントマーク４１を検出する。アライメントマーク４１の検出結果に基づいて、制御装置２２が、ノズルユニット２５に対する対象物２０の位置、及び回転方向に関する姿勢を算出する。

ステップＳＢ２において、搬入アーム２７を回転させることにより、ノズルユニット２５に対する対象物２０の回転方向の位置合わせを行う。ステップＳＢ３において、回転方向の位置合わせが完了した対象物２０を塗布ステージ２１に載置する。塗布ステージ２１
に載置された時点では、対象物２０の回転方向の位置合わせが既に完了している。また、ノズルユニット２５に対する対象物２０の面内方向の位置情報も、既に算出済である。

図５のステップＳＡ６において、ステップＳＡ４で生成された修正画像データに基づいて、対象物２０に薄膜パターン４０（図２）を形成する。具体的には、図３Ｂの横方向に対象物２０を移動（走査）させながら、ノズルユニット２５の各ノズル穴４５から、液状材料の液滴を吐出させる。走査及び副走査を行うことにより、対象物２０の表面の全域に薄膜パターン４０を形成することができる。ノズルユニット２５に対して対象物２０を移動させる代わりに、対象物２０に対してノズルユニット２５を移動させてもよい。また、ノズルユニット２５の移動を主走査に対応させ、対象物２０の移動を副走査に対応させてもよい。

ステップＳＡ７において、薄膜パターン４０が形成された対象物２０を塗布ステージ２１から搬出する。

次に、比較例について説明する。比較例による薄膜形成装置には、第１の検出器３０が配置されていない。このため、第２の検出器３３によるアライメントマーク４１の検出結果に基づいて、対象物２０の伸縮量を算出しなければならない。塗布ステージ２１の上方には、ノズルユニット２５が配置されているため、撮像装置の数を増加させることが困難である。このため、すべてのアライメントマーク４１（図２）を検出するために、塗布ステージ２１を移動させて、アライメントマーク４１を順番に撮像装置の視野内に配置しなければならない。塗布ステージ２１の移動と、撮像装置による撮像とを複数回繰り返す必要があるため、薄膜パターン４０の形成までの準備工程に長時間を要する。

実施例１においては、対象物２０を塗布ステージ２１に載置した時点で、対象物２０の伸縮量が算出されている。このため、対象物２０を塗布ステージ２１に載置してから薄膜パターン４０の形成までの時間を短縮することができる。

［実施例２］
図７に、実施例２による薄膜形成方法のステップＳＡ５のフローチャートを示す。ステップＳＡ５以外のステップは、図５に示した実施例１による薄膜形成方法の各ステップと同一である。以下の説明において、必要に応じて、図１、図２を参照する。

ステップＳＣ１において、搬入アーム２７に保持されている対象物２０のアライメントマーク４１（図２）を、第２の検出器３３で検出する。アライメントマーク４１の検出結果に基づいて、制御装置２２が、ノズルユニット２５に対する対象物２０の位置、及び回転方向に関する姿勢を算出する。

ステップＳＣ２において、塗付ステージ２１を基準位置から回転させることにより、回転方向の姿勢を変化させる。ステップＳＣ３において、回転方向の姿勢を変化させた塗付ステージ２１に、対象物２０を載置する。ステップＳＣ４において、塗付ステージ２１の回転方向の姿勢を元の基準位置に戻す。これにより、ノズルユニット２５と対象物２０との回転方向の位置合わせが完了する。すなわち、ステップＳＣ２において、ノズルユニット２５と対象物２０との回転方向の位置合わせを行うために必要な対象物２０の回転方向とは反対向きに、塗付ステージ２１を回転させておけばよい。

実施例２においても、実施例１と同様に、対象物２０を塗布ステージ２１に載置してから薄膜パターン４０の形成までの時間を短縮することができる。

［実施例３］
図８に、実施例３による薄膜形成方法のステップＳＡ５のフローチャートを示す。ステップＳＡ５以外のステップは、図５に示した実施例１による薄膜形成方法の各ステップと同一である。以下の説明において、必要に応じて、図１、図２を参照する。

ステップＳＤ１において、搬入アーム２７（図１）で保持されている対象物２０を塗付ステージ２１に載置する。ステップＳＤ２において、塗付ステージ２１に保持されている対象物２０のアライメントマーク４１（図２）を、第２の検出器３３で検出する。アライメントマーク４１の検出結果に基づいて、制御装置２２が、ノズルユニット２５に対する対象物２０の位置、及び回転方向に関する姿勢を算出する。ステップＳＤ３において、塗付ステージ２１を回転させることにより、ノズルユニット２５に対する対象物２０の回転方向の位置合わせを行う。

実施例３においても、実施例１と同様に、対象物２０を塗布ステージ２１に載置してから薄膜パターン４０の形成までの時間を短縮することができる。

［実施例４］
図９に、実施例４による薄膜形成装置に用いられている搬送装置の平面図を示す。実施例４による薄膜形成装置の搬送装置は、回転ステージ５０を含む。回転ステージ５０は、回転軸５１を中心として回転する。対象物２０を塗付ステージ２１に搬入するときには、未処理対象物保管場所３５に保管されている対象物２０を、回転ステージ５０の上に載置する。このとき、対象物２０は、回転中心から離れた位置に載置される。

回転ステージ５０が回転すると、対象物２０は回転軸５１を中心とした回転方向に移動する。回転ステージ５０を、ある角度、例えば１８０°回転させた後、回転ステージ５０に載置されている対象物２０を、塗付ステージ２１の上に移送する。

回転ステージ５０の回転とともに対象物２０が回転方向に移動するとき、対象物２０に形成されているアライメントマーク４１が、いずれかの撮像装置３０Ａの視野内を通過するように、撮像装置３０Ａが配置されている。例えば、３個の撮像装置３０Ａが、回転ステージ５０の半径方向に並ぶように配置される。撮像装置３０Ａの視野内におけるアライメントマーク４１の位置、及びアライメントマーク４１を撮像するときの回転方向の位置に基づいて、アライメントマーク４１の相対位置関係を算出することができる。

このため、実施例１の場合と同様に、対象物２０を塗付ステージ２１に載置する時点までに、対象物２０の伸縮量を求めておくことができる。

［実施例５］
図１０Ａに、実施例５による薄膜形成装置に用いられている塗付ステージ２１の平面図を示す。図１０Ｂに、図１０Ａの一点鎖線１０Ｂ−１０Ｂにおける断面図を示す。塗付ステージ２１の対象物載置面に、複数、例えば３個の凸部（段差）５５が形成されている。凸部５５の平面形状は、例えば円形である。対象物２０の縁を凸部５５の側面に接触させることにより、塗付ステージ２１に対して対象物２０の位置が拘束され、位置決めすることができる。対象物２０の縁に対して、アライメントマーク４１が高精度に位置決めされて形成されている場合には、実施例１の第２の検出器３３（図１）を省略することができる。円形の凸部５５に代えて、対象物２０の縁と直線で接触する段差を形成してもよい。

ノズルユニット２５と塗付ステージ２１との相対位置は、制御装置２２により制御することが可能である。塗付ステージ２１に対して対象物２０が位置決めされると、ノズルユニット２５と対象物２０との相対位置を制御することが可能になる。

以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。

２０ 対象物（プリント基板）
２１ 塗布ステージ
２２ 制御装置
２３ 記憶装置
２５ ノズルユニット
２６ 支持部材
２７ 搬入アーム
２８ 搬送路
２９ 搬送装置
３０ 第１の検出器
３０Ａ 撮像装置
３３ 第２の検出器
３３Ａ 撮像装置
３５ 未処理対象物保管場所
３６ 処理済対象物保管場所
３７ 搬出アーム
４０ 薄膜パターン
４１ アライメントマーク
４２ ノズルヘッド
４３ 紫外光源
４５ ノズル穴
４６ ノズル列
５０ 回転ステージ
５１ 回転軸
５５ 凸部（段差）

Claims (16)

1. 薄膜パターンを形成すべき対象物を保持する塗布ステージと、
   前記対象物に形成する薄膜パターンの画像データを記憶する記憶装置と、
   前記塗布ステージに保持された対象物に向けて、液状材料の液滴を吐出するノズルユニットと、
   対象物を、保管場所から前記塗布ステージまで搬送する搬送装置と、
   前記搬送装置で搬送中に、前記対象物に形成されている少なくとも３個のアライメントマークを検出する第１の検出器と、
   前記第１の検出器の検出結果に基づいて、前記対象物の伸縮量を求め、求められた伸縮量に基づいて、前記記憶装置に記憶されている前記画像データを補正し、補正後の画像データに基づいて、前記ノズルユニットを制御することにより、前記対象物に薄膜パターンを形成する制御装置と
   を有する薄膜形成装置。
2. 前記対象物に形成された少なくとも２つのアライメントマークを検出する第２の検出器を、さらに有し、
   前記制御装置は、前記ノズルユニットに対する前記第２の検出器の相対位置、及び前記第２の検出器の検出結果に基づいて、前記塗布ステージ、前記搬送装置、及び前記ノズルユニットの少なくとも１つを制御して、前記ノズルユニットと前記対象物との、回転方向に関する位置合わせを行う請求項１に記載の薄膜形成装置。
3. 前記制御装置は、
   前記対象物を前記塗布ステージの上に載置する前に、前記第２の検出器の検出結果に基づいて、前記ノズルユニットと前記対象物との、回転方向に関する位置合わせを行い、その後、前記対象物を前記塗布ステージの上に載置する請求項２に記載の薄膜形成装置。
4. 前記制御装置は、
   前記対象物を前記塗布ステージの上に載置する前に、前記第２の検出器の検出結果に基づいて、前記塗布ステージの回転方向の姿勢を変化させて、前記対象物を前記塗布ステージの上に載置し、その後、前記塗布ステージを元に戻すことにより、前記ノズルユニットと前記対象物との、回転方向に関する位置合わせを行う請求項２に記載の薄膜形成装置。
5. 前記制御装置は、
   前記対象物を前記塗布ステージの上に載置した後、前記第２の検出器の検出結果に基づいて、前記塗布ステージの回転方向の姿勢を変化させることにより、前記ノズルユニットと前記対象物との、回転方向に関する位置合わせを行う請求項２に記載の薄膜形成装置。
6. 前記塗布ステージに、前記対象物の縁に接触して前記対象物の面内方向の位置を拘束する段差が設けられており、前記制御装置は、前記搬送装置に保持された前記対象物の縁が前記段差に接触するように、前記対象物を前記塗布ステージに載置することにより、前記ノズルユニットと前記対象物との、回転方向に関する位置合わせを行う請求項１に記載の薄膜形成装置。
7. 前記搬送装置は、
   前記対象物を保持する搬入アームと、
   前記搬入アームを、前記保管場所と前記塗布ステージとの間で移動させる搬送路と
   を含み、
   前記第１の検出器は、前記搬入アームが前記保管場所と前記塗布ステージとの間に位置しているときに、前記搬入アームに保持されている前記対象物のアライメントマークを検
   出する請求項１乃至６のいずれか１項に記載の薄膜形成装置。
8. 前記搬送装置は、回転中心から離れた位置に前記対象物を保持して回転することにより、前記対象物を回転方向に移動させる回転ステージを含み、
   前記回転ステージの回転とともに前記対象物が回転方向に移動するとき、前記対象物に形成されているアライメントマークが前記第１の検出器で検出されるように、前記第１の検出器が配置されている請求項１乃至６のいずれか１項に記載の薄膜形成装置。
9. 薄膜を形成する対象物に形成された少なくとも３個のアライメントマークを第１の検出器で検出し、前記対象物の伸縮量を算出する工程と、
   算出された前記伸縮量に基づいて、前記対象物に形成すべき薄膜パターンの画像データを修正する工程と、
   前記アライメントマークを検出した後、前記対象物を塗布ステージの上に載置する工程と、
   前記対象物を前記塗布ステージに載置した後、前記画像データを修正して得られた修正画像データに基づいて、ノズルユニットから液状材料を吐出させることにより、前記対象物に薄膜パターンを形成する工程と
   を有する薄膜形成方法。
10. 前記第１の検出器で前記アライメントマークを検出した後、前記ノズルユニットに対して相対位置が既知の第２の検出器で、前記対象物に形成された少なくとも２つのアライメントマークを検出する工程と、
    前記ノズルユニットに対する前記第２の検出器の相対位置、及び前記第２の検出器の検出結果に基づいて、前記ノズルユニットと前記対象物との、回転方向に関する位置合わせを行う工程と
    を有する請求項９に記載の薄膜形成方法。
11. 前記回転方向に関する位置合わせを行う工程において、前記対象物を前記塗布ステージの上に載置する前に、前記第２の検出器の検出結果に基づいて、前記ノズルユニットと前記対象物との、回転方向に関する位置合わせを行い、回転方向の位置合わせを完了させた後に、前記対象物を前記塗布ステージに載置する請求項１０に記載の薄膜形成方法。
12. 前記回転方向に関する位置合わせを行う工程において、前記対象物を前記塗布ステージの上に載置する前に、前記第２の検出器の検出結果に基づいて、前記塗布ステージの回転方向の姿勢を変化させて、前記対象物を前記塗布ステージの上に載置し、その後、前記塗布ステージの回転方向の姿勢を元に戻すことにより、前記ノズルユニットと前記対象物との、回転方向に関する位置合わせを行う請求項１０に記載の薄膜形成方法。
13. 前記回転方向に関する位置合わせを行う工程において、前記対象物を前記塗布ステージの上に載置した後、前記第２の検出器の検出結果に基づいて、前記塗布ステージの回転方向の姿勢を変化させることにより、前記ノズルユニットと前記対象物との、回転方向に関する位置合わせを行う請求項１０に記載の薄膜形成方法。
14. 前記塗布ステージに、前記対象物の縁に接触して前記対象物の面内方向の位置を拘束する段差が設けられており、
    前記回転方向に関する位置合わせを行う工程において、前記対象物の縁が前記段差に接触するように、前記対象物を前記塗布ステージに載置することにより、前記ノズルユニットと前記対象物との、回転方向に関する位置合わせを行う請求項９に記載の薄膜形成方法。
15. 前記対象物のアライメントマークを前記第１の検出器で検出する工程において、前記対象物をアームで保持して、保管場所から前記塗布ステージに移動させる経路上で、前記第１の検出器で前記アライメントマークを検出する請求項９乃至１４のいずれか１項に記載の薄膜形成方法。
16. 前記対象物のアライメントマークを前記第１の検出器で検出する工程が、
    回転ステージの、回転中心から離れた位置に前記対象物を保持する工程と、
    前記回転ステージの回転によって前記対象物が回転方向に移動している期間に、前記第１の検出器で、前記対象物のアライメントマークを検出する請求項９乃至１４のいずれか１項に記載の薄膜形成方法。

Images