JP5181383B2 - ボンディング装置 - Google Patents
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第1に、ボンディングヘッドに吸着保持された電子部品を下方から撮像する部品認識用撮像手段と、ボンディングステージ上に載置された基板を上方から撮像する基板認識用撮像手段と、部品認識用撮像手段と基板認識用撮像手段との間に配置されるアライメントマークを有するターゲットとを備える。
第2に、上記構成と共にターゲット及び上記両撮像手段が相対移動可能に設置される。
第3に、ターゲットを挟んで部品認識用撮像手段と基板認識用撮像手段とを同軸上に位置させた状態で両撮像手段により撮像した画像から両撮像手段の相対位置関係を算出し、相対位置関係に基づいて、基板認識用撮像手段により位置を認識した基板と部品認識用撮像手段により位置を認識した電子部品の位置合わせを行いボンディングをするボンディング装置とする。
第4に、ターゲットのアライメントマークは所定距離離れた2つの交点を有する。
第5に、各撮像手段は、同軸上に位置された状態で前記2つの交点を撮像する。
第6に、各撮像手段により撮像された画像から前記2つの交点の位置を認識することにより、直交するX軸方向及びY軸方向のずれ量、X軸方向及びY軸方向で形成される平面内における回転方向のずれ量からなる両撮像手段の相対位置関係を算出するようする。
尚、図示しないが、図2の基板搬送ガイド30の右方手前側には、半導体チップをボンディングヘッド1に供給するチップ供給部が配置されており、このチップ供給部はウエハをダイシングして形成された複数の半導体チップを支持するチップ支持部とチップ支持部から1つの半導体チップをピックアップするとともに上下反転してボンディングヘッド1に受け渡すピックアップヘッドなどを備えている。
図1乃至図3では、ターゲット8のX軸シリンダ14のロッドは縮んだ状態で、ターゲット8は退避位置にある。更に、基板認識カメラ3とチップ認識カメラ7とは、図2に示されるようにX軸位置で同一、Y軸位置で相違する位置に離れている。この状態から、第1段階として基準位置の設定が行われる。
2......基板
3......基板認識カメラ
4......Y軸駆動機構
5......基板ステージ
6......X軸駆動機構
7......チップ認識カメラ
8......ターゲット
9......ヘッドZ軸駆動機構
10.....ヘッドθ軸駆動機構
11,12...可動板
13.....固定ガイド
14.....X軸シリンダ
15,25.アライメントマーク
16.....基板認識カメラのZ軸駆動機構
17,27.中心交点
18,28.第1交点
19,29.第2交点
20.....カメラ視野
21.....XY駆動テーブル
30.....基板搬送ガイド
Claims (1)
- ボンディングヘッドに吸着保持された電子部品を下方から撮像する部品認識用撮像手段と、ボンディングステージ上に載置された基板を上方から撮像する基板認識用撮像手段と、部品認識用撮像手段と基板認識用撮像手段との間に配置されるアライメントマークを有するターゲットとを備えると共にターゲット及び両撮像手段が相対移動可能に設置され、
ターゲットを挟んで部品認識用撮像手段と基板認識用撮像手段とを同軸上に位置させた状態で両撮像手段により撮像した画像から両撮像手段の相対位置関係を算出し、相対位置関係に基づいて、基板認識用撮像手段により位置を認識した基板と部品認識用撮像手段により位置を認識した電子部品の位置合わせを行いボンディングをするボンディング装置において、
ターゲットのアライメントマークは所定距離離れた2つの交点を有し、
各撮像手段は、同軸上に位置された状態で前記2つの交点を撮像するとともに、
各撮像手段により撮像された画像から前記2つの交点の位置を認識することにより、
直交するX軸方向及びY軸方向のずれ量、X軸方向及びY軸方向で形成される平面内における回転方向のずれ量からなる両撮像手段の相対位置関係を算出するようにしたことを特徴とするボンディング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007172800A JP5181383B2 (ja) | 2007-06-29 | 2007-06-29 | ボンディング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007172800A JP5181383B2 (ja) | 2007-06-29 | 2007-06-29 | ボンディング装置 |
Publications (2)
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JP2009010307A JP2009010307A (ja) | 2009-01-15 |
JP5181383B2 true JP5181383B2 (ja) | 2013-04-10 |
Family
ID=40325074
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007172800A Active JP5181383B2 (ja) | 2007-06-29 | 2007-06-29 | ボンディング装置 |
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Family Cites Families (2)
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-
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- 2007-06-29 JP JP2007172800A patent/JP5181383B2/ja active Active
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