JP4902305B2 - 露光装置およびアライメント方法 - Google Patents
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Description
図1には本発明に係る露光装置が示されている。
図2には本発明に係る露光器のカメラ視野と検知マークの関係が示されている。
図4には本発明の第2実施形態に係る搬送システム、露光システムとそれぞれに設けられたカメラが示されている。
図2(B)には本発明の第3実施形態に係るカメラの視野が示されている。
10 露光装置
12 搬送システム
14 露光システム
16 露光器
18 カメラ
18 視野
20A INコンベア
30 ACハンド(移動手段)
40 露光ステージ
41 θ回転ステージ機構
42 基準マーク
50 プリ撮影用カメラ
50A 視野
Claims (8)
- 表面に基準マークをもつワークを、搬送システムに備えられた移動手段にて露光ステージ上に搬送・固定し露光システムへ移動させ、前記ワークの露光面に露光を行う露光装置のアライメント方法であって、
前記移動手段にて前記ワークを前記露光ステージ上に置く工程と、
前記露光ステージを初期位置から前記露光装置の露光位置まで移動させ、前記露光装置に設けられたカメラで前記基準マークを撮影する工程と、
前記カメラで撮影された前記基準マークの画像データから前記露光ステージに対する前記ワークの位置を算出する工程と、
前記算出されたワークの位置から、前記露光システムにおける露光基準位置に対する、前記ワークの搬送方向と走査方向の位置ズレ量と、回転方向の角度ズレ量とを算出する工程と、
初期位置に戻った前記露光ステージから、前記移動手段が前記ワークを持ち上げ、前記位置ズレ量に基づいて搬送方向に移動させて前記ワークの搬送方向に位置調整を行い、前記移動手段で前記ワークを前記露光ステージ上に置き直す工程と、
前記露光ステージを回転させる回転ステージ機構を回転させることで前記ワークの回転方向の角度ズレ量を補正する工程と、
前記走査方向の位置ズレ量を、撮影開始のタイミングにて補正する工程と、
を含むことを特徴とする露光装置のアライメント方法。 - 表面に基準マークをもつワークを搬送システムに備えられた移動手段にて露光ステージ上に搬送・固定し露光システムに移動させ、前記ワークの露光面に露光を行う露光装置のアライメント方法であって、
前記基準マークを撮影する前記露光装置に設けられたカメラとの位置関係が既知である、前記搬送システム内に設けられたプリ撮影カメラで、前記移動手段で移動させる前の前記ワークの前記基準マークを撮影する工程と、
前記プリ撮影カメラで撮影された前記基準マークの画像データから、露光ステージに載せる前の、前記露光システムの露光基準位置に対する前記ワークの位置を算出する工程と、
前記算出されたワークの位置から、露光基準位置に対する前記ワークの搬送方向と走査方向の位置ズレ量と、回転方向の角度ズレ量とを算出する工程と、
前記位置ズレ量に基づいて、搬送方向の位置ズレ量を搬送システムにおける前記露光ステージの搬送方向に位置調整を行うことで補正し、前記ワークを前記移動手段で前記露光ステージ上に置き、回転方向の角度ズレ量を、前記露光ステージを回転させる回転ステージ機構を回転させることで補正する工程と、
前記走査方向の位置ズレ量を、撮影開始のタイミングにて補正する工程と、
を含むことを特徴とする露光装置のアライメント方法。 - 前記プリ撮影カメラの視野は前記カメラより大きいことを特徴とする請求項2に記載の露光装置のアライメント方法。
- 2枚目以降のワーク露光において、1枚目の前記ワークの位置ズレ量あるいは撮影済みワークの位置ズレ量の平均値に応じて前記露光ステージ上に前記ワークを搬送することを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の露光装置のアライメント方法。
- 表面に基準マークをもつワークを、搬送システムに備えられた移動手段にて露光ステージ上に搬送・固定し露光システムへ移動させ、前記ワークの露光面に露光を行う露光装置であって、
前記移動手段にて前記ワークを前記露光ステージ上に置き、
前記露光ステージを初期位置から前記露光装置の露光位置まで移動させ、前記露光装置に設けられたカメラで前記基準マークを撮影し、
前記カメラで撮影された前記基準マークの画像データから前記露光ステージに対する前記ワークの位置を算出し、
前記算出されたワークの位置から、前記露光システムにおける露光基準位置に対する、前記ワークの搬送方向と走査方向の位置ズレ量と、回転方向の角度ズレ量とを算出し、
初期位置に戻った前記露光ステージから、前記移動手段が前記ワークを持ち上げ、前記位置ズレ量に基づいて搬送方向に移動させ、前記ワークの搬送方向に位置調整を行い、前記移動手段で前記ワークを前記露光ステージ上に置き直し、
前記露光ステージを回転させる回転ステージ機構を回転させることで前記ワークの回転方向の角度ズレ量を補正し、
前記走査方向の位置ズレ量を、撮影開始のタイミングにて補正することを特徴とする露光装置。 - 表面に基準マークをもつワークを、搬送システムに備えられた移動手段にて露光ステージ上に搬送・固定し露光システムへ移動させ、前記ワークの露光面に露光を行う露光装置であって、
前記基準マークを撮影する前記露光装置に設けられたカメラとの位置関係が既知である、前記搬送システム内に設けられたプリ撮影カメラで、前記移動手段で移動させる前の前記ワークの前記基準マークを撮影し、
前記プリ撮影カメラで撮影された前記基準マークの画像データから、露光ステージに載せる前の、前記露光システムの露光基準位置に対する前記ワークの位置を算出し、
前記算出されたワークの位置から、露光基準位置に対する前記ワークの搬送方向と走査方向の位置ズレ量と、回転方向の角度ズレ量とを算出し、
前記位置ズレ量に基づいて、搬送方向の位置ズレ量を搬送システムにおける前記露光ステージの搬送方向に位置調整を行うことで補正し、前記ワークを前記移動手段で前記露光ステージ上に置き、回転方向の角度ズレ量を、前記露光ステージを回転させる回転ステージ機構を回転させることで補正し、
前記走査方向の位置ズレ量を、撮影開始のタイミングにて補正することを特徴とする露光装置 - 前記プリ撮影カメラの視野は前記カメラより大きいことを特徴とする請求項6に記載の露光装置。
- 2枚目以降のワーク露光において、1枚目の前記ワーク位置ズレ量あるいは撮影済みワークの位置ズレ量の平均値に応じて前記露光ステージ上に前記ワークを搬送することを特徴とする請求項4乃至7の何れか1項に記載の露光装置。
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