JP4959271B2 - 露光システムおよびワーク搬送方法 - Google Patents
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Description
図1には本発明に係る露光システムが示されている。
図2、3には本発明に係る露光システムの基板サイズ検出と搬送方法が示されている。
図4、5には本発明に係る露光システムの露光ステージが示されている。
図6には本発明に係る露光システムの露光ステージに設けられたクランプが示されている。
12 搬送部
14 露光部
16 露光器
30 ACハンド
32 吸盤
40 露光ステージ
44 クランプ
Claims (7)
- 表面にワークを固定した露光ステージを移動させ前記ワークの露光面に露光を行う露光システムであって、
少なくとも前記ワークの被露光面側の周縁部を吸着して前記ワークを前記露光ステージ上へ搬送する吸着部と、
前記露光ステージ上で前記吸着部を前記露光ステージ表面に押し付ける押付機構と、
前記周縁部のうち前記吸着部に吸着されていない部分を前記露光ステージ上にクランプするクランプ部と、
を備えたことを特徴とする露光システム。 - 前記吸着部と前記クランプ部とが前記周縁部にて互いに入れ子となるように配置されていることを特徴とする請求項1に記載の露光システム。
- 前記クランプ部は前記ワークの4辺に設けられたことを特徴とする請求項1乃至請求項2の何れか1項に記載の露光システム。
- 前記ワークを前記露光ステージへ供給するワーク供給部にワークサイズ検出手段を設け、前記ワークサイズ検出手段からの検出信号に基づき前記クランプ部を移動させることを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか1項に記載の露光システム。
- 前記吸着部と前記押付機構は一体であることを特徴とする請求項1乃至請求項4の何れか1項に記載の露光システム。
- 前記露光ステージ表面には前記ワークを負圧で吸引する複数の吸引口が設けられ、前記吸着部と前記クランプ部は最外周の前記吸引口よりも外側の前記ワーク周縁部を吸着およびクランプすることを特徴とする請求項1乃至請求項5の何れか1項に記載の露光システム。
- 表面にワークを固定した露光ステージを移動させ前記ワークの露光面に露光を行う露光システムのワーク搬送方法であって、
少なくとも前記ワークの被露光面側の周縁部を吸着部で吸着して前記ワークを前記露光ステージ上へ搬送する工程と、
前記露光ステージ上で前記吸着部を押付機構で前記露光ステージ表面に押し付ける工程と、
前記周縁部のうち前記吸着部に吸着されていない部分を前記露光ステージ上にクランプ部でクランプする工程と、
を含むことを特徴とする露光システムのワーク搬送方法。
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