JP2017116401A - 基板位置調整装置および基板位置調整方法 - Google Patents
基板位置調整装置および基板位置調整方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017116401A JP2017116401A JP2015251927A JP2015251927A JP2017116401A JP 2017116401 A JP2017116401 A JP 2017116401A JP 2015251927 A JP2015251927 A JP 2015251927A JP 2015251927 A JP2015251927 A JP 2015251927A JP 2017116401 A JP2017116401 A JP 2017116401A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- pattern
- detecting
- height
- axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】表面に同形状の窪みパターンが等間隔で配置された基板に形成された窪みパターンの位置検出を正確に実施可能な機能を備えており、その位置情報から基板を指定位置へ位置調整を行うことができる基板位置調整装置を提供すること。
【解決手段】窪みパターン位置検出手段30と、基板10を載置するためのステージ20とを備えており、窪みパターン位置検出手段は、高さ測定機構31と、ステージの平面に沿って移動可能な測定位置移動機構32と、測定位置検出機構33と、窪みパターン11の段差エッジ12を検出し、配置されているべき位置との差を算出するための窪みパターン位置演算手段34とを備え、ステージは、基板を固定するための基板保持手段21と、基板の平面に沿って任意の座標に移動可能であり、回転する方向に角度調整が可能である基板位置調整手段22と、を備えていることを特徴とする基板位置調整装置100。
【選択図】図1
【解決手段】窪みパターン位置検出手段30と、基板10を載置するためのステージ20とを備えており、窪みパターン位置検出手段は、高さ測定機構31と、ステージの平面に沿って移動可能な測定位置移動機構32と、測定位置検出機構33と、窪みパターン11の段差エッジ12を検出し、配置されているべき位置との差を算出するための窪みパターン位置演算手段34とを備え、ステージは、基板を固定するための基板保持手段21と、基板の平面に沿って任意の座標に移動可能であり、回転する方向に角度調整が可能である基板位置調整手段22と、を備えていることを特徴とする基板位置調整装置100。
【選択図】図1
Description
本発明は、表面に同形状の窪みパターンが等間隔で配置された基板において、窪みパターン部分の位置及び角度の検出と、検出した情報に基づいて基板の位置調整を行う装置に関するものである。
基板や製品用トレイ等(以下基板と記載)に対して、部品や製品を移載する装置において、より高精度に移載するには、部品や製品を移載すべき基板の位置調整が重要となる。表面に窪みパターンが等間隔で配置された基板である場合には、窪みパターンの位置情報を取得して、窪みパターンの位置を調整する方法が知られている。この窪みパターンの位置情報を取得するために用いられる手段の一つとして、パターンマッチングやエッジ検出といった画像処理が挙げられる。画像処理による位置検出では、基板をステージ上へ保持し、上方から撮像することによって、窪みパターンの位置情報を取得している。
しかしながら、画像処理を用いた位置検出では、基板の厚さや窪みパターンの形状・深さの変化によって、撮像の条件を調整する必要があり、撮像領域の中央に窪みパターンを捉えている場合と、撮像領域の端で窪みパターンを捉えている場合とで、検出される形状や位置に差異が生じる可能性がある。
このような事から、基板の厚さや窪みパターンの形状・深さが異なる多様な窪みパターンが配置された基板に対して、窪みパターンの位置検出を正確に行うためには、窪みパターンの形状をはっきりと撮像できるよう光源の条件を設定するか、窪みパターンが撮像領域の中央に来るように、画像センサ、もしくは基板の位置を移動させる機構が必要となる。また、基板の厚みが大きく変わった場合においても、画像センサのフォーカスを調整する必要がある。このように、画像処理によって窪みパターンの位置を正確に検出するには、調整項目が多く、多様な基板を対象とした場合には、対応するのが困難であった。
このような技術に関する先行技術について調査したが、上記の問題を解決できる技術を見出す事はできなかった。類似する技術としては、例えば特許文献1に、基板の表面に形成された凹部の検査方法として撮像カメラを使用して、略基板表面に平行な照明光を用いて撮像した画像(1)と、平行より大きな角度からの照明光を用いて撮像した画像(2)を用いて画像処理することにより、凹部の輪郭を捉えることにより、凹部の位置を特定する技術が開示されている。
しかしながら、この技術においては取得した画像を画像処理することによって画像として凹部の位置を特定する技術であるため、高い精度で、正確に位置情報を取得するには限界がある。
しかしながら、この技術においては取得した画像を画像処理することによって画像として凹部の位置を特定する技術であるため、高い精度で、正確に位置情報を取得するには限界がある。
上記事情を鑑み、本発明が解決しようとする課題は、表面に同形状の窪みパターンが等間隔で配置された基板の厚さや窪みパターンの形状・深さが異なる多様な基板であっても、正確に窪みパターンの位置検出が可能な機能を備えており、その位置情報から窪みパターンを指定位置へ位置調整を行うことができる基板位置調整装置および窪みパターン位置調整方法を提供することである。
上記の課題を解決する手段として、本発明の請求項1に記載の発明は、表面に同形状の窪みパターンが等間隔で配置された基板をステージに載置した後、所定の位置に位置合わせする基板位置調整装置であって、
窪みパターンが基板上に配置されている位置を検出する窪みパターン位置検出手段と、
基板を載置し、基板の位置を調整するステージと、を備えており、
窪みパターン位置検出手段は、
基板の表面の高さを測定する高さ測定機構と、
その高さ測定機構をステージの上方で保持し、ステージの平面に平行な平面に沿って移動可能な測定位置移動機構と、
高さ測定機構が基板の表面の高さを測定した基板上の位置を検出する測定位置検出機構と、
高さ測定機構と測定位置検出機構が取得した情報に基づき、窪みパターンの段差エッジを検出し、また窪みパターンが配置されているべき位置との差を算出する窪みパターン位置演算手段と、を備えており、
ステージは、
基板を載置し固定する基板保持手段と、
基板保持手段を保持し、基板保持手段を、基板の平面に沿ってその平面内の任意の座標に移動可能であり、且つその平面内で回転する方向に角度調整が可能である基板位置調整手段と、を備えていることを特徴とする基板位置調整装置である。
窪みパターンが基板上に配置されている位置を検出する窪みパターン位置検出手段と、
基板を載置し、基板の位置を調整するステージと、を備えており、
窪みパターン位置検出手段は、
基板の表面の高さを測定する高さ測定機構と、
その高さ測定機構をステージの上方で保持し、ステージの平面に平行な平面に沿って移動可能な測定位置移動機構と、
高さ測定機構が基板の表面の高さを測定した基板上の位置を検出する測定位置検出機構と、
高さ測定機構と測定位置検出機構が取得した情報に基づき、窪みパターンの段差エッジを検出し、また窪みパターンが配置されているべき位置との差を算出する窪みパターン位置演算手段と、を備えており、
ステージは、
基板を載置し固定する基板保持手段と、
基板保持手段を保持し、基板保持手段を、基板の平面に沿ってその平面内の任意の座標に移動可能であり、且つその平面内で回転する方向に角度調整が可能である基板位置調整手段と、を備えていることを特徴とする基板位置調整装置である。
また、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の基板位置調整装置を使用した基板位置調整方法であって、
前記窪みパターンの位置を検出する工程と、
前記窪みパターンの中心点を検出する工程と、
前記窪みパターンが基準座標系:X軸となす角度を検出する工程と、
これらの工程によって取得した情報に基づき、前記基板に対する、窪みパターンが配列する方向とX軸とがなす角度を調整する工程と、を備えており、
前記窪みパターンの位置を検出する工程は、前記基板の表面の高さを平行な複数の高さ情報取得位置に沿って測定することによって、基準座標系:X軸方向と基準座標系:Y軸方向に沿って、それぞれの方向の基板高さ情報を取得し、それらの情報からX軸方向とY軸方向の段差の位置を示す段差エッジ検出情報と、をそれぞれ取得する工程であり、
前記窪みパターンの中心点を検出する工程は、前記窪みパターンの位置を検出する工程で取得した段差エッジ検出情報について、複数の高さ情報取得位置にて、窪みパターンに乗り下がる段差エッジと乗り上がる段差エッジの間の距離を測定し、それらの中点を結んだ中心線をX軸方向とY軸方向で取得し、それらの中心線の交点を窪みパターンの中心点とする工程であり、
前記窪みパターンが配列する方向と基準座標系:X軸とがなす角度を検出する工程は、複数の窪みパターンの中心点を比較することによって、基板上に配列された窪みパターンの中で、基準座標系:X軸に対して基板の平面内で平行または直交する方向に配列する2箇所以上の窪みパターンの中心点を結び、窪みパターンの配列方向と基準座標系:X軸との角度差を窪みパターン配列角度として算出する工程であり、
前記基板に対する、窪みパターンの配列の位置とX軸となす角度を調整する工程は、窪みパターン中心点と窪みパターン配列角度より、指定した位置調整目標点への位置調整量として、X方向調整量とY方向調整量と回転方向調整量とを算出し、それらの調整量に基づいて、窪みパターン中心点を位置調整目標点に移動させることによって基板の位置調整を行う工程であることを特徴とする基板位置調整方法である。
前記窪みパターンの位置を検出する工程と、
前記窪みパターンの中心点を検出する工程と、
前記窪みパターンが基準座標系:X軸となす角度を検出する工程と、
これらの工程によって取得した情報に基づき、前記基板に対する、窪みパターンが配列する方向とX軸とがなす角度を調整する工程と、を備えており、
前記窪みパターンの位置を検出する工程は、前記基板の表面の高さを平行な複数の高さ情報取得位置に沿って測定することによって、基準座標系:X軸方向と基準座標系:Y軸方向に沿って、それぞれの方向の基板高さ情報を取得し、それらの情報からX軸方向とY軸方向の段差の位置を示す段差エッジ検出情報と、をそれぞれ取得する工程であり、
前記窪みパターンの中心点を検出する工程は、前記窪みパターンの位置を検出する工程で取得した段差エッジ検出情報について、複数の高さ情報取得位置にて、窪みパターンに乗り下がる段差エッジと乗り上がる段差エッジの間の距離を測定し、それらの中点を結んだ中心線をX軸方向とY軸方向で取得し、それらの中心線の交点を窪みパターンの中心点とする工程であり、
前記窪みパターンが配列する方向と基準座標系:X軸とがなす角度を検出する工程は、複数の窪みパターンの中心点を比較することによって、基板上に配列された窪みパターンの中で、基準座標系:X軸に対して基板の平面内で平行または直交する方向に配列する2箇所以上の窪みパターンの中心点を結び、窪みパターンの配列方向と基準座標系:X軸との角度差を窪みパターン配列角度として算出する工程であり、
前記基板に対する、窪みパターンの配列の位置とX軸となす角度を調整する工程は、窪みパターン中心点と窪みパターン配列角度より、指定した位置調整目標点への位置調整量として、X方向調整量とY方向調整量と回転方向調整量とを算出し、それらの調整量に基づいて、窪みパターン中心点を位置調整目標点に移動させることによって基板の位置調整を行う工程であることを特徴とする基板位置調整方法である。
本発明によれば、表面に同形状の窪みパターンが等間隔で配置された基板の高さ情報を取得し、窪みパターンの段差エッジから窪みパターンの中心点を算出することができる。また、窪みパターンの中心点を2点以上検出することで、窪みパターンの配列方向を算出することができる。そして指定位置に対して窪みパターンの位置を移動する事が可能となる。これにより、対象となる前記基板材質や色、窪みパターンの外形や深さが変化した場合でも、自動的に指定位置へ位置調整が可能となる。
以下に、本発明の実施の形態に係る、基板位置調整装置の詳細を図面に基づいて説明する。ただし、図面は本発明を説明するための一例として示した模式的なものであり、装置構成、各部材の寸法や寸法の比率などはこれらに限定するものではない。
図1は、本発明の基板位置調整装置100の構成例を示す概略図である。図1に示した基板位置調整装置100は、表面に同形状の窪みパターン11が等間隔で配置された基板10の位置調整装置であって、位置調整対象となる基板10を載置するステージ20を有しており、このステージ20は、前記ステージ20に載置された基板10をステージ20上で固定し保持する基板保持手段21と、保持された基板10の位置調整を行う基板位置調整手段22と、を備えている。
ステージ20の上方にはステージ20上に保持された基板10の高さ情報を取得することで、基板表面の窪みパターン11の位置情報を取得する窪みパターン位置検出手段30を備えている。
該窪みパターン位置検出手段30は、高さ測定機構31と、該高さ測定機構31の測定位置を移動させる測定位置移動機構32と、該測定位置移動機構32が備える測定位置情報を取得する測定位置検出機構33によって、ステージ20上で保持された基板10における表面の高さを、高さ情報取得位置50に沿って測定する(図2参照)。
測定して取得した情報に基づき、窪みパターン位置演算手段34によって、窪みパターン11の位置情報を取得し、窪みパターン11の位置情報に基づき、後述する基板10の位置調整量70(図6参照)を算出し、該位置調整量70に従って基板位置調整手段22によって位置調整を行う機能を備えている。
ステージ20が備える基板保持手段21はスルーホールの吸着プレートや多孔質プレートなどのエア吸着を用いたものや、機械的な固定用クランプを用いたもの、微粘着の膜を
備えるプレートを用いたものなど、ステージ20上の基板10がステージ20上で保持され、基板10が固定されステージ20から浮き上がらないものであれば良い。
備えるプレートを用いたものなど、ステージ20上の基板10がステージ20上で保持され、基板10が固定されステージ20から浮き上がらないものであれば良い。
ステージ20が備える基板位置調整手段22は、ボールネジや台形ネジを用いた直動機構と回転テーブルを組み合わせたXYθテーブルや、リニアアクチュエーアを併用したものなど、基板10を水平方向及び回転方向へ位置決めができるものであれば良い。
高さ測定機構31は、接触式の測定方法や、非接触の測定方法であるスポットで測定するレーザー変位計や、ライン上の高さを測定可能なライン状のレーザーを用いる変位計などがあるが、基板10上で高さ情報を取得できるものであれば使用可能であるが、本発明においては、より高い精度で高さ情報を取得できる、スポット型の小さいレーザー変位計を用いるのが望ましい。
測定位置移動機構32は、リニアアクチュエーアを用いたものや、多関節のロボット、パラレルリンクロボットなど、ステージ20の上方でステージ10の平面と平行に、高さ測定機構31を移動させることが可能なものであれば良い。
測定位置検出機構33は、リニアエンコーダなどの直線動作を直接検出するものや、ロータリーエンコーダなど回転角度から位置検出を行うものなど、インクリメンタル型、アブソリュート型を問わず、高さ測定機構31の移動量を取得可能であれば良い。
図2は、図1に示した本発明の基板位置調整装置100が備える、窪みパターン位置検出手段30の窪みパターン11の位置検出の手順を模式的に示す概略図である。
図1に示した窪みパターン位置検出手段30が備える高さ測定機構31と、該高さ測定機構31の測定位置を移動させる測定位置移動機構32と、該測定位置移動機構32が備える測定位置情報を取得する測定位置検出機構33によって、ステージ20上で保持された基板10の表面の高さを、X軸方向とY軸方向について、互いに平行な複数の高さ情報取得位置50に沿って測定し、X軸方向基板高さ情報51とY軸方向基板高さ情報53を取得する。
取得したそれぞれの情報からX軸方向段差エッジ検出情報52とY軸方向段差エッジ検出情報54を取得する。そして取得したそれらの段差エッジ検出情報に基づき、窪みパターンの位置情報を取得する機能を備えている。
図3、4は、図1に示した本発明の基板位置調整装置100が備える、窪みパターン位置検出手段30の、窪みパターン13、14の中心点15を検出するための処理手順を模式的に示す概略図である。
窪みパターン13、14上を基準座標系:X軸42と基準座標系:Y軸43の方向ごとに、それぞれ2箇所以上の高さ情報取得位置50に沿ってそれぞれ段差エッジ12の検出を行い、検出された段差エッジの窪みパターン13、14へ乗り下がる段差エッジ12と、窪みから乗り上がる段差エッジ12の間の距離を測定し、その中点を結んだ中心線をX軸とY軸方向で取得し、その中心線の交点を、窪みパターン中心点15として検出する機能を備えている。なお、図3は窪みパターン13が四角形の場合、図4は窪みパターン14が円形の場合、を例示している。
図5は、窪みパターン11の中心点を複数比較し、窪みパターンの配列方向が基準座標系:X軸42と比較して傾いている角度を検出する処理手順を模式的に示す概略図である。基板位置調整装置100は窪みパターンごとの中心点を検出し、基板10上に配列された四角形窪みパターン13の中で、基準座標系:X軸42に対して基板10の平面内で平行もしくは直交する方向に配列する列の2箇所以上の四角形窪みパターン13の中心点を結び、窪みパターンの配列方向と基準座標系:X軸42との角度差を窪みパターン配列角度60として算出する機能を備えている。
図6は、図1に示した窪みパターン位置検出手段30によって得られた位置調整量70に基づき、指定位置へ移動させる基板位置調整手段22の動作を模式的に示した概略図である。
窪みパターン位置検出手段30によって、窪みパターン11の窪みパターン中心点15と窪みパターン配列角度60(図5参照)より、指定した位置調整目標点44への位置調整量70として、それぞれ、X軸方向調整量71、Y軸方向調整量72、回転方向調整量73を算出する。このようにして算出した位置調整量70に基づいて、基板位置調整手段22によって基板10を移動させ、位置調整目標点44へ窪みパターン中心点15を移動させ位置調整を行う。
窪みパターン位置検出手段30によって、窪みパターン11の窪みパターン中心点15と窪みパターン配列角度60(図5参照)より、指定した位置調整目標点44への位置調整量70として、それぞれ、X軸方向調整量71、Y軸方向調整量72、回転方向調整量73を算出する。このようにして算出した位置調整量70に基づいて、基板位置調整手段22によって基板10を移動させ、位置調整目標点44へ窪みパターン中心点15を移動させ位置調整を行う。
<実施例1>
以下、本発明の実施例について具体的に図1、3、4、5、6を用いて説明する。
本実施例においては、基板保持手段21を備えたステージ20上に表面に同形状の窪みパターンが等間隔で配置された基板10を設置し位置調整動作を行った。
基板10の表面を窪みパターン位置検出手段30が備える高さ測定機構31で高さ情報取得位置50に沿って高さ情報を取得する。
その測定位置情報から窪みパターンの段差エッジ12を検出する。
該段差エッジ12の位置情報から、窪みパターンの中心点15を取得した結果に基づき、窪みパターン位置演算手段34により演算処理することにより、位置調整目標点44までのX軸方向調整量71とY軸方向調整量72と回転方向調整量73を算出する。
その結果に従って、ステージ20に備えた基板位置調整手段22を動作させ、指定した窪みパターン中心点15を位置調整目標点44へ移動させて評価を行った。
以下、本発明の実施例について具体的に図1、3、4、5、6を用いて説明する。
本実施例においては、基板保持手段21を備えたステージ20上に表面に同形状の窪みパターンが等間隔で配置された基板10を設置し位置調整動作を行った。
基板10の表面を窪みパターン位置検出手段30が備える高さ測定機構31で高さ情報取得位置50に沿って高さ情報を取得する。
その測定位置情報から窪みパターンの段差エッジ12を検出する。
該段差エッジ12の位置情報から、窪みパターンの中心点15を取得した結果に基づき、窪みパターン位置演算手段34により演算処理することにより、位置調整目標点44までのX軸方向調整量71とY軸方向調整量72と回転方向調整量73を算出する。
その結果に従って、ステージ20に備えた基板位置調整手段22を動作させ、指定した窪みパターン中心点15を位置調整目標点44へ移動させて評価を行った。
評価方法として、基板10に配置された窪みパターン中心点15が、位置調整目標点44に対して、±0.1mmの誤差範囲内へ位置調整され、窪みパターンの配列角度60が、基準座標系:X軸42に対して、基板10の平面内で平行となる角度まで調整されたかを確認した。
評価に用いた基板10の種類は、四角形窪みパターン13で深さ1mmの物と、円形窪みパターン14で深さ0.5mmの物、2種類に対して位置調整を実施した。
評価に用いた基板10の種類は、四角形窪みパターン13で深さ1mmの物と、円形窪みパターン14で深さ0.5mmの物、2種類に対して位置調整を実施した。
高さ測定機構31は、窪みパターンの表面形状を正確にとらえるために、窪みパターンのサイズよりも、スポット幅の小さいレーザー変位計を用いて窪みパターンの位置検出を行った。
高さ測定機構31の位置を移動する為の測定位置移動機構32は、ボールねじを用いた直動機構を使用し、その駆動部にはロータリーエンコーダを搭載した。これにより、精密な測定機器の移動と測定位置情報の取得を行った。
本実施の形態に係る基板位置調整装置100は、表面に同形状の窪みパターンが等間隔で配置された基板10であれば、窪みパターンの位置検出が実現でき、その位置情報から窪みパターンの位置調整を行うことが可能である。また、窪みパターンの形状や窪みの深さが異なる別種の基板においても同様に、位置調整目標点44に対し±0.1mmの誤差範囲内において位置調整が可能である。
本発明は、窪みパターンのある基板の窪み部分へ部品等を位置調整して挿入する場合において、部品等を挿入される側となる基板やトレイ等の位置調整に利用できる。
10…基板
11…窪みパターン
12…段差エッジ
13…四角形窪みパターン
14…円形窪みパターン
15…窪みパターン中心点
20…ステージ
21…基板保持手段
22…基板位置調整手段
30…窪みパターン位置検出手段
31…高さ測定機構
32…測定位置移動機構
33…測定位置検出機構
34…窪みパターン位置演算手段
41…基準座標系
42…基準座標系:X軸
43…基準座標系:Y軸
44…位置調整目標点
50…高さ情報取得位置
51…X軸方向基板高さ情報
52…X軸方向段差エッジ検出情報
53…Y軸方向基板高さ情報
54…Y軸方向段差エッジ検出情報
60…窪みパターン配列角度
70…位置調整量
71…X軸方向調整量
72…Y軸方向調整量
73…回転方向調整量
100…基板位置調整装置
11…窪みパターン
12…段差エッジ
13…四角形窪みパターン
14…円形窪みパターン
15…窪みパターン中心点
20…ステージ
21…基板保持手段
22…基板位置調整手段
30…窪みパターン位置検出手段
31…高さ測定機構
32…測定位置移動機構
33…測定位置検出機構
34…窪みパターン位置演算手段
41…基準座標系
42…基準座標系:X軸
43…基準座標系:Y軸
44…位置調整目標点
50…高さ情報取得位置
51…X軸方向基板高さ情報
52…X軸方向段差エッジ検出情報
53…Y軸方向基板高さ情報
54…Y軸方向段差エッジ検出情報
60…窪みパターン配列角度
70…位置調整量
71…X軸方向調整量
72…Y軸方向調整量
73…回転方向調整量
100…基板位置調整装置
Claims (2)
- 表面に同形状の窪みパターンが等間隔で配置された基板をステージに載置した後、所定の位置に位置合わせする基板位置調整装置であって、
窪みパターンが基板上に配置されている位置を検出する窪みパターン位置検出手段と、
基板を載置し、基板の位置を調整するステージと、を備えており、
窪みパターン位置検出手段は、
基板の表面の高さを測定する高さ測定機構と、
その高さ測定機構をステージの上方で保持し、ステージの平面に平行な平面に沿って移動可能な測定位置移動機構と、
高さ測定機構が基板の表面の高さを測定した基板上の位置を検出する測定位置検出機構と、
高さ測定機構と測定位置検出機構が取得した情報に基づき、窪みパターンの段差エッジを検出し、また窪みパターンが配置されているべき位置との差を算出する窪みパターン位置演算手段と、を備えており、
ステージは、
基板を載置し固定する基板保持手段と、
基板保持手段を保持し、基板保持手段を、基板の平面に沿ってその平面内の任意の座標に移動可能であり、且つその平面内で回転する方向に角度調整が可能である基板位置調整手段と、を備えていることを特徴とする基板位置調整装置。 - 請求項1に記載の基板位置調整装置を使用した基板位置調整方法であって、
前記窪みパターンの位置を検出する工程と、
前記窪みパターンの中心点を検出する工程と、
前記窪みパターンが基準座標系:X軸となす角度を検出する工程と、
これらの工程によって取得した情報に基づき、前記基板に対する、窪みパターンが配列する方向とX軸とがなす角度を調整する工程と、を備えており、
前記窪みパターンの位置を検出する工程は、前記基板の表面の高さを平行な複数の高さ情報取得位置に沿って測定することによって、基準座標系:X軸方向と基準座標系:Y軸方向に沿って、それぞれの方向の基板高さ情報を取得し、それらの情報からX軸方向とY軸方向の段差の位置を示す段差エッジ検出情報と、をそれぞれ取得する工程であり、
前記窪みパターンの中心点を検出する工程は、前記窪みパターンの位置を検出する工程で取得した段差エッジ検出情報について、複数の高さ情報取得位置にて、窪みパターンに乗り下がる段差エッジと乗り上がる段差エッジの間の距離を測定し、それらの中点を結んだ中心線をX軸方向とY軸方向で取得し、それらの中心線の交点を窪みパターンの中心点とする工程であり、
前記窪みパターンが配列する方向と基準座標系:X軸とがなす角度を検出する工程は、複数の窪みパターンの中心点を比較することによって、基板上に配列された窪みパターンの中で、基準座標系:X軸に対して基板の平面内で平行または直交する方向に配列する2箇所以上の窪みパターンの中心点を結び、窪みパターンの配列方向と基準座標系:X軸との角度差を窪みパターン配列角度として算出する工程であり、
前記基板に対する、窪みパターンの配列の位置とX軸となす角度を調整する工程は、窪みパターン中心点と窪みパターン配列角度より、指定した位置調整目標点への位置調整量として、X方向調整量とY方向調整量と回転方向調整量とを算出し、それらの調整量に基づいて、窪みパターン中心点を位置調整目標点に移動させることによって基板の位置調整を行う工程であることを特徴とする基板位置調整方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015251927A JP2017116401A (ja) | 2015-12-24 | 2015-12-24 | 基板位置調整装置および基板位置調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015251927A JP2017116401A (ja) | 2015-12-24 | 2015-12-24 | 基板位置調整装置および基板位置調整方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017116401A true JP2017116401A (ja) | 2017-06-29 |
Family
ID=59234218
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015251927A Pending JP2017116401A (ja) | 2015-12-24 | 2015-12-24 | 基板位置調整装置および基板位置調整方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2017116401A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107639746A (zh) * | 2017-09-28 | 2018-01-30 | 广东开放大学(广东理工职业学院) | 结合视觉定位的平板状工件四边整形加工装置及加工方法 |
CN107917684A (zh) * | 2017-10-17 | 2018-04-17 | 豫鑫达(深圳)智能化设备有限责任公司 | 一种二维平面内位置定位方法 |
JP7467003B2 (ja) | 2020-08-20 | 2024-04-15 | 株式会社ディスコ | 被加工物の加工方法 |
-
2015
- 2015-12-24 JP JP2015251927A patent/JP2017116401A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107639746A (zh) * | 2017-09-28 | 2018-01-30 | 广东开放大学(广东理工职业学院) | 结合视觉定位的平板状工件四边整形加工装置及加工方法 |
CN107917684A (zh) * | 2017-10-17 | 2018-04-17 | 豫鑫达(深圳)智能化设备有限责任公司 | 一种二维平面内位置定位方法 |
CN107917684B (zh) * | 2017-10-17 | 2019-10-01 | 豫鑫达(深圳)智能化设备有限责任公司 | 一种二维平面内位置定位方法 |
JP7467003B2 (ja) | 2020-08-20 | 2024-04-15 | 株式会社ディスコ | 被加工物の加工方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101158323B1 (ko) | 기판 검사방법 | |
TWI433256B (zh) | 定位工具之x-y定位的校準方法及具有這種定位工具的裝置 | |
KR102114718B1 (ko) | 전자 부품 실장 장치 및 실장 부품 검사 방법 | |
CN102590566A (zh) | 一种电子产品测试夹具的自动对准方法 | |
US10535157B2 (en) | Positioning and measuring system based on image scale | |
CN112539714B (zh) | 一种偏心检测方法、检测方法、处理方法及检测设备 | |
CN113496523A (zh) | 三维标定视觉系统的系统及方法 | |
KR100724261B1 (ko) | 위치 측정 방법 및 위치 측정 장치 및 위치 측정 시스템 | |
JP2016205957A (ja) | X−y基板検査装置の可動ヘッド位置補正方法およびx−y基板検査装置 | |
JP2017116401A (ja) | 基板位置調整装置および基板位置調整方法 | |
CN109073991B (zh) | 在测量桌上检测掩模夹具的位置的方法 | |
KR102457415B1 (ko) | 위치 결정 장치 및 위치 결정 방법 | |
JP2013131577A5 (ja) | ||
JP6502504B2 (ja) | プレアライメント測定装置及び方法 | |
JP2013140082A (ja) | 高さ測定装置及び高さ測定方法 | |
CN115661256A (zh) | 相机和载台之间偏转角的计算方法、标定板及检测装置 | |
JP2012133122A (ja) | 近接露光装置及びそのギャップ測定方法 | |
JP2006024619A (ja) | 電子部品実装方法および電子部品実装装置 | |
JP2005317806A (ja) | 装着精度測定方法 | |
JP2007305696A (ja) | 位置決め装置の精度測定方法 | |
JP5017034B2 (ja) | 二次元座標測定機 | |
WO2020105218A1 (ja) | 測定方法 | |
JP6706164B2 (ja) | アライメント装置、露光装置、およびアライメント方法 | |
JP2020148738A (ja) | 板材の位置検出方法、板材のデータ補正方法、及び板材の位置検出装置 | |
KR102345439B1 (ko) | 롤투롤 노광 시스템 |