CN108568382B - 液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质 - Google Patents

液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质 Download PDF

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Abstract

本发明提供液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质。在向工件排出功能液的液滴来进行描绘的液滴排出装置中，使从液滴排出头向工件去的液滴的着液精度提高。液滴排出装置(1)包括：载置工件(W)的工作台(40)；向载置于工作台(40)的工件(W)排出液滴的液滴排出头(24)；使工作台(40)在主扫描方向Y轴方向上移动的Y轴直线电动机(13)；检测托架标记(25)的位置的位置检测器(72)；和控制部(150)，其计算由位置检测器(7)检测的检测位置和托架标记(25)的基准位置的在主扫描方向的位置偏离量，基于该位置偏离量，对液滴排出头(24)的液滴的排出时机进行修正。

Description

液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质
技术领域
本发明涉及对工件排出功能液的液滴来进行描绘的液滴排出装置，使用该液滴排出装置的液滴排出方法、程序和计算机存储介质。
背景技术
在现有技术中，作为使用功能液对工件进行描绘的装置，已知将该功能液以液滴来排出的喷射方式的液滴排出装置。液滴排出装置广泛应用在制造例如有机EL装置、滤波片、液晶显示装置、等离子显示器(PDP装置)、电子发射装置(FED装置、SED装置)等的电光装置(平板显示器：FPD)时等。
例如专利文献1中记载的液滴排出装置包括：排出功能液的液滴的功能液滴排出头(液滴排出头)；搭载有工件的工作站(工作台)；和沿导向用的一对支承座延伸的方向(主扫描方向)使工作台移动的移动机构(直线电动机)。然后，利用工作台相对液滴排出头使工件相对地移动，并且从液滴排出头对在工件上预先形成的隔堤排出功能液，由此进行对工件的描绘。
另外，在液滴排出装置的描绘动作中，使工件相对液滴排出头在主扫描方向上往复运动并适当地在与主扫描方向正交的副扫描方向上移动。通过这样的描绘动作，对工件整面进行描绘。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2010－198028号公报
发明内容
发明想要解决的技术问题
在上述的液滴排出装置中，在启动该液滴排出装置时，对从液滴排出头排出的液滴在工件着液时的着液位置进行调节。具体而言，使液滴着液在位置调节用的工件，测定该着液位置，计算测定的着液位置与目标位置的位置偏离量。然后，基于该位置偏离量，对例如液滴排出头的液滴的排出时机进行修正，还对工作台与液滴排出头的在主扫描方向和副扫描方向上的相对的移动进行修正。
但是，如此在启动液滴排出装置时进行了着液位置的调节后，由于例如液滴排出装置的部件、例如具有多个液滴排出头的托架的温度变化或者随时间变化等的要因，有时液滴排出头与工件上的隔堤的位置关系发生变化。在上述情况下，工件上的液滴的着液位置也发生偏移。
另外，近年来，通过液滴排出装置制造的电视等的产品，大型、高清晰(例如4K、8K)的成为主流，与工件的大型化对应的液滴排出装置也大型化。因此，成为不能无视由上述的要因导致的液滴排出头与隔堤的位置偏离即着液位置的位置偏离的情况。但是，由于像素尺寸的影响，该位置偏离的允许范围也能够缩小在例如±2μm以下。
因此，在如液滴排出装置那样需要进行精密控制的装置中，要求能够稳健地对应环境变化的着液位置的位置修正的技术。但是在现有技术中，在这样的精密台中，不能适当地修正上述的相对位置。
本发明是鉴于上述问题而作成的，其目的在于在向工件排出功能液的液滴来进行描绘的液滴排出装置中，使从该液滴排出头向工件去的液滴的着液精度提高。
用于解决技术问题的技术方案
为了达成所述的目的，本发明提供一种液滴排出装置，其向工件排出功能液的液滴来进行描绘，上述液滴排出装置的特征在于，包括：载置上述工件的工作台；向载置有上述工作台的上述工件排出液滴的液滴排出头；使上述工作台和上述液滴排出头在主扫描方向上相对地移动的工件移动机构；检测上述液滴排出头的位置的位置检测器；和控制部，其计算由上述位置检测器检测的检测位置与上述液滴排出头的基准位置的在主扫描方向的位置偏离量，基于该位置偏离量来修正上述液滴排出头的液滴的排出时机。
根据本发明，即使在由于液滴排出装置的托架的温度变化或者随时间变化等的要因而液滴排出头与工件的位置关系发生了变化的情况下，基于在控制部中修正后的排出时机，也能够从液滴排出头向工件适当地排出液滴。因此，能够提高从液滴排出头向工件去的液滴的排出精度(着液精度)
上述液滴排出装置可以还包括使上述液滴排出头在与主扫描方向正交的副扫描方向和旋转方向上移动的排出头移动机构，上述位置检测器检测与上述液滴排出头对应的、在主扫描方向上排列形成的至少一个以上的基准标记的位置。
上述位置检测器可以检测2个以上的基准标记的位置，上述控制部计算由上述位置检测器检测的检测位置和上述基准标记的基准位置的在主扫描方向的位置偏离量，基于该位置偏离量，对上述液滴排出头的排出时机进行修正，并且，计算由上述位置检测器检测的检测位置和上述基准标记的基准位置的在副扫描方向和旋转方向上的位置偏离量，基于该位置偏离量，对上述液滴排出头的副扫描方向和旋转方向的位置进行修正。
上述液滴排出装置可以还包括：进行上述液滴排出头的维护的维护组件；和使上述维护组件和上述液滴排出头在主扫描方向上相对地移动的组件移动机构，上述位置检测器设置于上述维护组件侧或者上述工作台侧。
上述位置检测器可以设置于上述液滴排出头侧。
上述液滴排出头可以在与主扫描方向正交的副扫描方向上设置有多个，上述位置检测器在与多个上述液滴排出头对应的位置设置有多个。
上述液滴排出头可以在与主扫描方向正交的副扫描方向上设置有多个，上述位置检测器在副扫描方向上可移动。
本发明的另一方面提供一种液滴排出方法，其使工作台和液滴排出头在主扫描方向上相对地移动，并且从上述液滴排出头向载置于上述工作台的工件排出功能液的液滴来进行描绘，上述液滴排出方法的特征在于，包括：由位置检测器来检测上述液滴排出头的位置的第一步骤；和第二步骤，其中计算由上述位置检测器检测的检测位置和上述液滴排出头的基准位置的在主扫描方向的位置偏离量，基于该位置偏离量，对上述液滴排出头的液滴的排出时机进行修正。
在上述第一步骤中，上述位置检测器检测与上述液滴排出头对应的、在主扫描方向上排列形成的至少一个以上的基准标记的位置。
上述位置检测器检测2个以上的基准标记的位置，在上述第二步骤中，计算由上述位置检测器检测的检测位置与上述基准标记的基准位置的在主扫描方向的位置偏离量，基于该位置偏离量，对上述液滴排出头的排出时机进行修正，并且，计算由上述位置检测器检测的检测位置和上述基准标记的基准位置的在与主扫描方向正交的副扫描方向和旋转方向上的位置偏离量，基于该位置偏离量，对上述液滴排出头的副扫描方向和旋转方向的位置进行修正。
可以在从上述液滴排出头向上述工件排出液滴之前，使用维护组件来进行上述液滴排出头的维护时，进行上述第一步骤，上述位置检测器设置于上述维护组件侧或者上述工作台侧。
上述位置检测器可以设置于上述液滴排出头侧。
上述液滴排出头在与主扫描方向正交的副扫描方向上可以设置有多个，上述位置检测器在副扫描方向上设置有多个，在上述第一步骤中，多个上述位置检测器分别检测对应的上述液滴排出头的位置。
上述液滴排出头在与主扫描方向正交的副扫描方向上可以设置有多个，在上述第一步骤中，上述位置检测器在副扫描方向上移动，并且检测多个上述液滴排出头的位置。
另外，根据本发明的另一方面，提供一种在液滴排出装置的计算机中运行的程序，该程序使得该液滴排出装置执行上述液滴排出方法。
而且，根据本发明的另一方面，提供一种存储有上述程序的计算机可读存储介质。
发明效果
根据本发明，即使在由于液滴排出装置的各部件的温度变化或随时间变化等要因而液滴排出头与工件的位置关系发生了变化的情况下，也能够提高从该液滴排出头向工件去的液滴的着液精度。
附图说明
图1是表示本实施的方式的液滴排出装置的构成的概要的侧面图。
图2是表示本实施的方式的液滴排出装置的构成的概要的平面图。
图3是表示托架的构成的概要的平面图。
图4是表示托架的基准位置的说明图。
图5是表示使工件向液滴排出头移动的样子的侧视的说明图。
图6是表示在第一拍摄位置拍摄部对第一托架标记拍摄的样子的侧视的说明图。
图7是表示在第一拍摄位置拍摄部对第一托架标记拍摄的样子的俯视的说明图。
图8是表示在第二拍摄位置拍摄部对第二托架标记拍摄的样子的侧视的说明图。
图9是表示在第二拍摄位置拍摄部对第二托架标记拍摄的样子的俯视的说明图。
图10是将由拍摄部检测到的托架的检测位置(实线)与托架的基准位置(虚线)一同表示的说明图。
图11是表示另一实施的方式的液滴排出装置的构成的概要的平面图。
图12是表示在另一实施的方式中在第一拍摄位置拍摄部对第一托架标记拍摄的样子的俯视的说明图。
图13是表示在另一实施的方式中在第二拍摄位置拍摄部对第二托架标记拍摄的样子的俯视的说明图。
附图标记说明
1 液滴排出装置
10 Y轴台
11 X轴台
12 Y轴导轨
13 Y轴直线电动机
14 X轴导轨
15 X轴直线电动机
20 托架组件
23 托架
24 液滴排出头
25(25a、25b) 托架标记
30 第一拍摄组件
31 第一拍摄部
32 第二拍摄部
40 工作台
41 台移动机构
42 第一Y轴滑块
50 冲洗组件
60 排出检测组件
70 第二拍摄组件
72 位置检测器
80 第二Y轴滑块
150 控制部
W 工件。
具体实施方式
以下，参照附图，对本发明的实施的方式进行说明。此外，本发明不限于以下所示的实施方式。
＜液滴排出装置的构成＞
首先，参照图1和图2，对本实施的方式的液滴排出装置的构成进行说明。图1是表示液滴排出装置1的构成的概要的侧面图。图2是表示液滴排出装置1的构成的概要的平面图。此外，以下，将工件W的主扫描方向设为Y轴方向，将与主扫描方向正交的副扫描方向设为X轴方向，将与Y轴方向和X轴方向正交的垂直方向设为Z轴方向，将绕Z轴方向的旋转方向设为θ方向。
液滴排出装置1包括：在主扫描方向(Y轴方向)上延伸，使工件W在主扫描方向上移动的Y轴台10；和以跨越Y轴台10的方式架设，在副扫描方向(X轴方向)上延伸的一对X轴台11、11。在Y轴台10的上表面，在Y轴方向上延伸地设置有一对Y轴导轨12、12，在各Y轴导轨12设置有Y轴直线电动机13。在各X轴台11的上表面，在X轴方向上延伸地设置有X轴导轨14，在该X轴导轨14设置有X轴直线电动机15。此外，在以下的说明中，在Y轴台10上，将比X轴台11靠Y轴负方向侧的区域称为搬入搬出区域A1，将一对X轴台11、11间的区域称为处理区域A2，将比X轴台11靠近Y轴正方向侧的区域称为待机区域A3。
在一对X轴台11、11设置有托架组件20和第一拍摄组件30。在Y轴台10上设置有工作台40、冲洗组件50、排出检测组件60和第二拍摄组件70。上述工作台40、冲洗组件50、排出检测组件60、第二拍摄组件70在Y轴方向上依次配置。
托架组件20在X轴台11设置有多个，例如10个。各托架组件20具有托架板21、托架保持机构22和托架23。托架保持机构22设置于托架板21的下表面的中央部，并在该托架保持机构22的下端部可装卸地安装有托架23。
托架板21安装于X轴导轨14，通过X轴直线电动机15在X轴方向可移动。此外，也可以使多个托架板21作为一体在X轴方向上移动。
在托架23安装有电机(未图示)。通过该电机，托架23在X轴方向和θ方向可移动。然后，能够使设置在托架23的后述的液滴排出头24也能够X轴方向和θ方向上移动。在本实施方式中，托架23构成本发明的排出头移动机构。此外，托架23(液滴排出头24)的X轴方向和θ方向的移动可以通过例如托架保持机构22来进行。
如图3所示，在托架23的下表面在Y轴方向和X轴方向上排列设置有多个液滴排出头24。在本实施方式中，设置有例如在Y轴方向为6个，在X轴方向为2个，即合计12个液滴排出头24。在液滴排出头24的下表面即喷嘴面形成有多个排出喷嘴(未图示)。然后，从该排出喷嘴对液滴排出头24正下方的液滴排出位置排出功能液的液滴。
另外，在托架23的下表面，在多个液滴排出头24的两侧(Y轴正方向侧和Y轴负方向侧)，分别设置有作为基准标记的托架校准标记25(以下，称为托架标记25。)。托架标记25是作为将多个液滴排出头24安装在托架23时的基准的标记，是托架23的绝对基准位置。在以下的说明中，将液滴排出头24的Y轴正方向侧的托架标记25称为第一托架标记25a，在Y方向负方向侧的托架标记25称为第二托架标记25b。
如图1和图2所示，第一拍摄组件30具有间隔托架23(液滴排出头24)并在Y轴方向相对而设置的第一拍摄部31和第二拍摄部32。作为第一拍摄部31和第二拍摄部32，例如使用CCD照相机，在工作台40的移动中、停止中、工件处理中(液滴排出中)的任一者中，能够对载置于该工作台40的工件W拍摄。第一拍摄部31相对托架23配置于Y轴负方向侧，第二拍摄部32相对托架23配置于Y轴正方向侧。此外，第一拍摄组件30也可以在X轴方向上可移动。
第一拍摄部31由设置于一对X轴台11、11中在Y轴负方向侧的X轴台11的侧面的基板33支承。然后，工作台40被引导到第一拍摄部31的正下方时，第一拍摄部31对载置于工作台40上的工件W拍摄。
第二拍摄部32由设置于一对X轴台11、11中在Y轴正方向侧的X轴台11的侧面的基板34支承。然后，工作台40被引导到第二拍摄部32的正下方时，第二拍摄部32对载置于工作台40上的工件W拍摄。
工作台40例如为真空吸附台，吸附并载置工件W。工作台40由设置于该工作台40的下表面侧的台移动机构41，在X轴方向上可移动地并且在θ方向上可旋转地支承。工作台40与台移动机构41由设置于台移动机构41的下表面侧的第一Y轴滑块42支承。第一Y轴滑块42安装在Y轴导轨12上，通过Y轴直线电动机13在Y轴方向上可移动。因此，在载置有工件W的状态下，通过第一Y轴滑块42使工作台40沿Y轴导轨12在Y轴方向上移动，由此能够使工件W在Y轴方向上移动。此外，在本实施方式中，Y轴直线电动机13(第一Y轴滑块42)和台移动机构41构成本发明的工件移动机构。另外，在本实施方式中，台移动机构41使工作台40在X轴方向上移动并在θ方向上旋转，但是使工作台40在X轴方向上移动的机构与使其在θ方向上旋转的机构也可以是彼此独立的。
此外，在搬入搬出区域A1的工作台40的上方，设置有对工作台40上的工件W进行拍摄的工件校准照相机(未图示)。然后，基于由工件校准照相机拍摄的图像，通过第一Y轴滑块42和台移动机构41，根据需要，对载置于工作台40的工件W的Y轴方向、X轴方向和θ方向的位置进行修正。由此，将工件W校准并设定在规定的初始位置。
冲洗组件50是接收来自液滴排出头24的废弃排出的组件。在冲洗组件50在X轴方向上排列设置有多个，例如10个冲洗回收台51。该冲洗回收台51的数量与托架23的数量相同，冲洗回收台51的间距也与托架23的间距相同。
冲洗回收台51在其上表面设有开口，当冲洗回收台51被引导到对应的托架23的正下方时，由托架23的液滴排出头24排出液滴排出(进行冲洗)，接住该液滴并收纳。即，在工件W上以液滴来描绘之前进行冲洗动作，由冲洗回收台51回收基于该冲洗的液滴。
排出检测组件60是接收来自液滴排出头24的检测排出的组件。在排出检测组件60设置有在X轴方向上延伸的检测台61。在检测台61的上表面，配置有在表面实施了薄膜敷层(film coating)的检测片62。在检测台61被引导到液滴排出头24的正下方时，将从液滴排出头24排出的液滴着液在配置于检测台61的检测片62。
在第二拍摄组件70设置有在X轴方向上延伸的基板71。在基板71的上表面，在X轴方向上排列设置有多个例如10个位置检测器72。该位置检测器72的数量与托架23的数量相同，位置检测器72的间距也与托架23的间距相同。
位置检测器72具有例如CCD照相机，将位置检测器72引导到托架23的正下方时，位置检测器72对架23的托架标记25拍摄。另外，在位置检测器72中，基于由CCD照相机获取的拍摄图像来检测托架标记25的位置(即，液滴排出头24的位置)。
冲洗组件50、排出检测组件60和第二拍摄组件70由第二Y轴滑块80支承。第二Y轴滑块80安装于Y轴导轨12，通过Y轴直线电动机13在Y轴方向上可移动。因此，通过第二Y轴滑块80也能够使冲洗组件50、排出检测组件60和第二拍摄组件70沿Y轴导轨12在Y轴方向上移动。
此外，在本实施方式中，冲洗组件50和排出检测组件60构成本发明的维护组件。另外，在本实施方式中Y轴直线电动机13(第二Y轴滑块80)构成本发明的组件移动机构。
＜控制部＞
在以上的液滴排出装置1设置有控制部150。控制部150例如为计算机，具有数据存储部(未图示)。在数据存储部，存储有例如用于控制向工件W排出的液滴来在该工件W描绘规定的图案的描绘数据(位图数据)等。另外，控制部150具有程序存储部(未图示)。在程序存储部，存储有控制液滴排出装置1的各种处理的程序等。
此外，上述数据或者上述程序可以记录于例如计算机可读取的硬盘(HD)、软盘(FD)、光盘(CD)、磁盘(MO)、存储卡等的在计算机上可读取的存储介质，也可以从这些存储介质安装到控制部150。
在本实施的方式中，在控制部150中，基于由位置检测器72检测的托架标记25a、25b的检测位置与该托架标记25a、25b的基准位置偏离量，对液滴排出头24的液滴的排出时机进行修正，并且对托架23(液滴排出头24)的X轴方向和θ方向的位置进行修正。具体而言，进行以下的步骤S1～S3。
此外，位置检测器72位于第一托架标记25a的正下方，对该第一托架标记25a拍摄，将此时的位置检测器72的位置称为第一拍摄位置P1。并且，位置检测器72位于第二托架标记25b的正下方，对该第二托架标记25b拍摄，将此时的位置检测器72的位置称为第二拍摄位置P2。
首先，获取托架标记25a、25b的基准位置(步骤S1)。在将托架23安装在液滴排出装置1时，由于该安装误差而如图4所示多个托架23的位置发生偏移，因此该托架标记25a、25b的位置也发生偏移。因此，获取各托架23的托架标记25a、25b的基准位置。此外，在图4中，为方便说明，表示了10个的托架23中的5个。
在启动液滴排出装置1时，使用位置调节用的工件W，来进行从液滴排出头24向工件W去的液滴的着液位置的调节，在该着液位置的调节时获取托架标记25a、25b的基准位置。具体而言，如图5所示，通过Y轴直线电动机13，使载置有工件W的工作台40从搬入搬出区域A1向待机区域A3移动。此时，在处理区域A2中，从该液滴排出头24将液滴排出到移动到液滴排出头24的下方的工件W后，在第二拍摄部32对工件W拍摄，对着液于该工件W的上表面的液滴拍摄。
在控制部150中，基于由第二拍摄部32获取的拍摄图像，测定工件W上的液滴的着液位置，计算测定的着液位置与目标位置的位置偏离量。基于该位置偏离量，例如对液滴排出头24的液滴的排出时机进行修正，另外，对工作台40与液滴排出头的在主扫描方向和副扫描方向上相对的移动进行修正。以下，有时将在启动该液滴排出装置1时进行的修正称为自动修正。
在进行了自动修正后，通过Y轴直线电动机13，使位置检测器72向托架23的正下方移动，对该托架23拍摄。然后，在位置检测器72中，基于获取的拍摄图像(图4)，来获取托架23的托架标记25a、25b的基准位置。
接着，在通常操作中维护液滴排出头24时，检测托架标记25a、25b的位置(步骤S2)。如后所述，每次进行对工件W的描绘，实施液滴排出头24的维护。
具体而言，如图6和图7所示，通过Y轴直线电动机13，使位置检测器72向第一托架标记25a的正下方(第一拍摄位置P1)移动，由该位置检测器72对第一托架标记25a拍摄。接着如图8和图9所示，通过Y轴直线电动机13，使位置检测器72向第二托架标记25b的正下方(第二拍摄位置P2)移动，由该位置检测器72对第二托架标记25b拍摄。此时，位置检测器72与托架23一对一地对应，由各位置检测器72拍摄对应的托架23。此外，由拍摄位置P1、P2的位置检测器72进行的拍摄可以在使该位置检测器72停止的状态下进行，也可以使其在Y轴方向上移动的同时进行。
图10将由位置检测器72检测的托架标记25a、25b的检测位置(实线)与托架标记25a、25b的基准位置(虚线)一同表示。在控制部150中，在一个托架23中，计算检测位置和基准位置相对于第一托架标记25a的、Y轴方向的位置偏离量ΔYa、X轴方向的位置偏离量ΔXa和θ方向的位置偏离量Δθa。另外，在控制部150中，计算检测位置和基准位置相对于第二托架标记25b的、Y轴方向的位置偏离量ΔYb、X轴方向的位置偏离量ΔXb和θ方向的位置偏离量Δθb。
然后，在控制部150中，基于Y轴方向的位置偏离量ΔYa、ΔYb，计算液滴排出头24的液滴的排出时机的修正量(步骤S3)。计算出的修正量被输出到控制液滴的排出时机的运动控制器(未图示)，来修正液滴排出头24的液滴的排出时机。
另外，在步骤S3中，在控制部150中，基于X轴方向的位置偏离量ΔXa、ΔXb和θ方向的位置偏离量Δθa、Δθb，计算托架23的X轴方向和θ方向的各自的位置的修正量。计算出的修正量被输出到托架23，来修正该托架23的X轴方向和θ方向的各自的位置。
＜液滴排出装置的工件处理＞
接着，对使用如上所述构成的液滴排出装置1来进行的工件处理，进行说明。
首先，在搬入搬出区域A1配置工作台40，通过搬送机构(未图示)将搬入到液滴排出装置1的工件W载置在该工作台40。接着，通过工件校准照相机对工作台40上的工件W的校准标记拍摄。然后，基于该拍摄的图像，通过台移动机构41，对载置于工作台40的工件W的X轴方向和θ方向的位置进行修正，来进行工件W的校准(步骤T1)。
之后，通过Y轴直线电动机13，使工作台40从搬入搬出区域A1向处理区域A2移动。在处理区域A2中，从该液滴排出头24将液滴向移动到液滴排出头24的下方的工件W排出。而且，使工作台40进一步向待机区域A3侧移动，使得如图5所示，使工件W的整面通过液滴排出头24的下方。然后，使工件W在Y轴方向上进行往复运动，并且使其适当地在X轴方向上移动，在工件W描绘规定的图案(步骤T2)。
之后，使工作台40从待机区域A3向搬入搬出区域A1移动。在该工作台40的移动中，通过第二拍摄部32拍摄工作台40上的工件W的整个面、即由排出到工件W的液滴来进行的图案的描绘状态。所拍摄的图像被输出到控制部150，在控制部150中，基于所拍摄的图像，检测描绘状态的不良例如膜不均等。在该检测结果中，判断描绘状态为不良时，对例如工作台40的Y轴方向的移动或者X轴方向和θ方向的位置进行修正(步骤T3)。
工作台40向搬入搬出区域A1移动时，将描绘处理结束的工件W从液滴排出装置1搬出。接着，将下一个工件W搬入液滴排出装置1，进行上述的步骤T1的工件W的校准(步骤T4)。
如此，在进行步骤T3的描绘状态的检测与步骤T4的工件W的搬入搬出之间，通过Y轴直线电动机13，使冲洗组件50、排出检测组件60和第二拍摄组件70从待机区域A3向处理区域A2移动。在处理区域A2中，将排出检测组件60的检测片62配置在液滴排出头24的下方，从液滴排出头24将液滴向该检测片62检测排出(步骤T5)。
之后，使冲洗组件50和排出检测组件60向X轴正方向侧移动，将排出检测组件60的检测片62配置在第一拍摄部31的下方，并且将冲洗组件50的冲洗回收台51配置在液滴排出头24的下方。
然后，通过第一拍摄部31，对检测排出到检测片62的液滴的着液点进行拍摄。所拍摄的图像被输出到控制部150，在控制部150中，基于所拍摄的图像，检测液滴排出头24中的排出喷嘴的排出不良。基于该检测结果，适当地维护液滴排出头24。
另外，如上所述进行第一拍摄部31的拍摄处理和控制部150的排出不良检测时，从液滴排出头24对冲洗回收台51进行液滴的废弃排出(步骤T6)。
如上所述进行步骤T5的检测排出和步骤T6的冲洗时，进行上述的步骤S1～S3，在位置检测器72中，基于拍摄图像来检测托架标记25a、25b的位置，在控制部150中基于托架标记25a、25b的检测位置和基准位置的位置偏离量，对液滴排出头24的液滴的排出时机进行修正，并且对托架23(液滴排出头24)的X轴方向和θ方向的位置进行修正(步骤T7)。
如上所述，对各工件W进行步骤T1～T7，一系列的工件处理结束。
基于以上的实施的方式，进行了液滴排出装置1的自动修正后，即使由于例如托架23的温度变化或者随时间变化等的要因而产生托架23的位置偏移，也进行上述的步骤S1～S3来对液滴排出头24的液滴的排出时机进行修正，并且能够对托架23(液滴排出头24)的X轴方向和θ方向的位置进行修正。因此，能够从液滴排出头24向工件W适当地排出液滴，能够提高从该液滴排出头24向工件W的液滴的排出精度(着液精度)。
另外，步骤T5～T6的液滴排出头24的维护，对每个工件W逐个地进行，因此步骤T7的液滴排出时机和托架23的位置的修正也能够逐个地来进行。因此，能够进一步提高从液滴排出头24向工件W去的液滴的着液精度。
另外，与托架23一对一对应地设置有位置检测器72，因此能够将位置检测器72相对于托架23配置在适当的位置，能够高精度地拍摄。另外，能够使用多个位置检测器72对多个托架23同时拍摄，因此能够缩短拍摄时间。而且，也能够使位置检测器72在Y轴方向上移动同时进行拍摄，上述情况下，能够进一步缩短拍摄时间。
此外，在以上的实施的方式中，在第二拍摄组件70，在Y轴方向上设置有一列位置检测器72，但是也可以设置有2列。在上述情况下，能够同时进行第一拍摄位置P1的位置检测器72的拍摄和第二拍摄位置P2的位置检测器72的拍摄。因此，能够进一步缩短拍摄时间。
另外，在以上的实施的方式中，位置检测器72对托架标记25a、25b进行了拍摄，但是也可以对托架23的其他位置拍摄。例如可以在托架23形成其他基准标记并对其拍摄，或者可以将液滴排出头24的特定的喷嘴作为基准标记来拍摄。
另外，在以上的实施的方式中，使用第一拍摄位置P1和第二拍摄位置P2的拍摄图像，对液滴排出头24的液滴的排出时机进行了修正，并且对托架23(液滴排出头24)的X轴方向和θ方向的位置进行了修正，但是在实际的操作中，不必获取第一拍摄位置P1和第二拍摄位置P2的两个位置的拍摄图像。
例如可以在第一拍摄位置P1由位置检测器72对托架23拍摄，仅获取第一托架标记25a的拍摄图像。然后，基于该拍摄图像，检测第一托架标记25a的位置，至少计算第一托架标记25a的检测位置和基准位置的Y轴方向的位置偏离量，由此对液滴排出头24的液滴的排出时机进行修正。在上述情况下，能够至少对着液精度的要求高的Y轴方向的位置偏移进行修正。
然后，上述的第一拍摄位置P1和第二拍摄位置P2的两个位置的拍摄图像的获取可以在规定的时机进行，例如可以在以规定的频率实施的液滴排出头24的清洁时进行。在上述情况下，能够对液滴排出头24的液滴的排出时机进行修正，并且对托架23(液滴排出头24)的X轴方向和θ方向的位置进行修正。
＜另一实施的方式＞
接着，对本发明的另一实施的方式进行说明。
在以上的实施的方式中，可以以与托架23相同数量在X轴方向上排列设置有位置检测器72，也可以如图11所示设置一个。在上述情况下，位置检测器72构成为基板71在X轴方向上可移动。使位置检测器72移动的机构没有特殊限制，但是可以使用在例如X轴方向上具有扫描轴的驱动器。
在上述情况下，在步骤S2中如图12所示在第一拍摄位置P1，在使Y轴直线电动机13停止的状态下，使位置检测器72在X轴方向上移动。然后，对第一拍摄位置P1的多个托架23(第一托架标记25a)拍摄。接着，如图13所示，在第二拍摄位置P2，在使Y轴直线电动机13停止的状态下，也使位置检测器72在X轴方向上移动。然后，对第二拍摄位置P2的多个托架23(第二托架标记25b)拍摄。此外，其他的步骤S1、S3分别与上述实施的方式的步骤S1、S3相同。
在本实施的方式中，能够达到与上述实施的方式相同的效果。即，对液滴排出头24的液滴的排出时机进行修正，并且能够对托架23(液滴排出头24)的X轴方向和θ方向的位置进行修正，能够提高从液滴排出头24向工件W去的液滴的着液精度。另外，由于不需要多个位置检测器72，因此能够简化第二拍摄组件70的结构。
在以上的实施的方式中，位置检测器72设置于第二Y轴滑块80，但是也可以设置于工作台40。即使在上述情况下，进行上述的步骤S1～S3，对液滴排出头24的液滴的排出时机进行修正，并且也能够对托架23(液滴排出头24)的X轴方向和θ方向的位置进行修正。此外，位置检测器72可以设置为与图2所示的情况同样地与托架23相同数目，另外可以与图11所示的情况同样地在X轴方向上可移动。
另外，位置检测器72可以设置于托架23。上述情况下，位置检测器72对例如形成于工作台40或者冲洗组件50、排出检测组件60对基准标记拍摄，由此能够检测托架23(液滴排出头24)的位置。此外，位置检测器72可以设置为与图2所示的情况同样地与托架23相同数目，另外可以与图11所示的情况同样地在X轴方向上可移动。
在以上的实施的方式中，使用位置检测器72来检测托架23的托架标记25a、25b的位置，但是该位置的检测机构不限于此。例如可以使用例如激光干涉仪(未图示)或者激光位移仪(未图示)来检测托架标记25a、25b的位置。
在以上的实施的方式中，使用Y轴直线电动机13(第一Y轴滑块42)和台移动机构41作为工件移动机构，使工作台40在Y轴方向上移动，但是也可以使液滴排出头24在Y轴方向上移动。另外，可以使工作台40和液滴排出头24的两者在Y轴方向上移动。而且，使工作台40在X轴方向上移动来改行，但是也可以使液滴排出头24在X轴方向上移动。使液滴排出头24在X轴方向上移动时，也可以使用X轴直线电动机15。
另外，在以上的实施的方式中，使用Y轴直线电动机13(第二Y轴滑块80)作为组件移动机构，使冲洗组件50、排出检测组件60和第二拍摄组件70在Y轴方向上移动，但是可以使托架23(液滴排出头24)在Y轴方向上移动。另外，也可以使冲洗组件50、排出检测组件60和第二拍摄组件70与液滴排出头24这两者在Y轴方向上移动。
＜液滴排出装置的应用例＞
如以上那样构成的液滴排出装置1，能够应用在例如在日本特开2017－13011号公报中记载的形成有机发光二极管的有机EL层的基板处理系统中。具体而言，液滴排出装置1能够应用在在作为工件W的玻璃基板上涂敷用于形成空穴注入层的有机材料涂敷装置、在玻璃基板(空穴注入层)上涂敷用于形成空穴输送层的有机材料的涂敷装置、在玻璃基板(空穴输送层)上涂敷用于形成发光层的有机材料的涂敷装置。此外，在基板处理系统中，除了形成有机发光二极管的空穴注入层、空穴输送层和发光层之外，还在形成电子输送层和电子注入层时，液滴排出装置1也能够应用于这些电子输送层和电子注入层的涂敷处理。
另外，液滴排出装置1除了应用在如上所述形成有机发光二极管的有机EL层时，也可以应用在制造例如滤波片、液晶显示装置、等离子显示器(PDP装置)、电子发射装置(FED装置、SED装置)等的电光装置(平板显示器：FPD)时，或者也可以应用在制造金属配线形成、透镜形成、抗蚀剂形成和光分散体形成等。
以上，参照附图，对本发明的优选的实施的方式进行了说明，但是本发明不限于上述的例子。作为本领域技术人员，显然在专利申请的范围所记载的思想的范畴内，能够想到各种的变形例或者修正例，可知这些例子当然属于本发明的技术的范围。

Claims (15)

1.一种液滴排出装置，其向工件排出功能液的液滴来进行描绘，所述液滴排出装置的特征在于，包括：
载置所述工件的工作台；
向载置有所述工作台的所述工件排出液滴的液滴排出头；
使所述工作台和所述液滴排出头在主扫描方向上相对地移动的工件移动机构；
检测所述液滴排出头的位置的位置检测器；和
控制部，其计算由所述位置检测器检测出的检测位置与所述液滴排出头的基准位置的在主扫描方向的位置偏离量，基于该位置偏离量来修正所述液滴排出头的液滴的排出时机，
所述液滴排出头设置在托架，在该托架的下表面，在所述液滴排出头的两侧设置有作为基准标记的托架校准标记，
所述位置检测器具有照相机，将所述位置检测器引导到所述托架的正下方时，所述位置检测器对所述液滴排出头的两侧中的至少一侧的所述托架校准标记进行拍摄，在所述位置检测器中，基于由所述照相机获取的拍摄图像来检测所述托架校准标记的位置，
在所述控制部中，计算所述检测位置和所述基准位置相对于所述托架校准标记的主扫描方向的位置偏离量，基于主扫描方向的位置偏离量，计算所述液滴排出头的液滴的排出时机的修正量。
2.如权利要求1所述的液滴排出装置，其特征在于：
还包括使所述液滴排出头在与主扫描方向正交的副扫描方向和旋转方向上移动的排出头移动机构，
所述位置检测器检测与所述液滴排出头对应的、在主扫描方向上排列形成的至少一个以上的基准标记的位置。
3.如权利要求2所述的液滴排出装置，其特征在于：
所述位置检测器检测2个以上的基准标记的位置，
所述控制部计算由所述位置检测器检测出的检测位置和所述基准标记的基准位置的在主扫描方向的位置偏离量，基于该位置偏离量，对所述液滴排出头的排出时机进行修正，并且，
计算由所述位置检测器检测出的检测位置和所述基准标记的基准位置的在副扫描方向和旋转方向上的位置偏离量，基于该位置偏离量，对所述液滴排出头的副扫描方向和旋转方向的位置进行修正。
4.如权利要求1～3中任一项所述的液滴排出装置，其特征在于，还包括：
进行所述液滴排出头的维护的维护组件；和
使所述维护组件和所述液滴排出头在主扫描方向上相对地移动的组件移动机构，
作为所述位置检测器的照相机设置于所述维护组件侧或者所述工作台侧，
所述控制部进行控制，使得所述组件移动机构将所述照相机移动至第一拍摄位置，所述照相机对第一托架校准标记进行拍摄，所述组件移动机构将所述照相机移动至第二拍摄位置，所述照相机对第二托架校准标记进行拍摄，根据所述第一托架校准标记的位置、所述第二托架校准标记的位置和所述基准位置计算所述主扫描方向的位置偏离量。
5.如权利要求1～3中任一项所述的液滴排出装置，其特征在于：
所述位置检测器设置于所述液滴排出头侧。
6.如权利要求1～3中任一项所述的液滴排出装置，其特征在于：
所述液滴排出头在与主扫描方向正交的副扫描方向上设置有多个，
所述位置检测器在与多个所述液滴排出头对应的位置设置有多个。
7.如权利要求1～3中任一项所述的液滴排出装置，其特征在于：
所述液滴排出头在与主扫描方向正交的副扫描方向上设置有多个，
所述位置检测器能够在副扫描方向上移动。
8.一种液滴排出方法，其使工作台和液滴排出头在主扫描方向上相对地移动，并且从所述液滴排出头向载置于所述工作台的工件排出功能液的液滴来进行描绘，所述液滴排出方法的特征在于，包括：
由位置检测器检测所述液滴排出头的位置的第一步骤；和
第二步骤，计算由所述位置检测器检测出的检测位置和所述液滴排出头的基准位置的在主扫描方向的位置偏离量，基于该位置偏离量，对所述液滴排出头的液滴的排出时机进行修正，
所述液滴排出头设置在托架，在该托架的下表面，在所述液滴排出头的两侧设置有作为基准标记的托架校准标记，
所述位置检测器具有照相机，将所述位置检测器引导到所述托架的正下方时，所述位置检测器对所述液滴排出头的两侧中的至少一侧的所述托架校准标记进行拍摄，在所述位置检测器中，基于由所述照相机获取的拍摄图像来检测所述托架校准标记的位置，
在所述第二步骤中，计算所述检测位置和所述基准位置相对于所述托架校准标记的主扫描方向的位置偏离量，基于主扫描方向的位置偏离量，计算所述液滴排出头的液滴的排出时机的修正量。
9.如权利要求8所述的液滴排出方法，其特征在于：
在所述第一步骤中，所述位置检测器检测与所述液滴排出头对应的、在主扫描方向上排列形成的至少一个以上的基准标记的位置。
10.如权利要求9所述的液滴排出方法，其特征在于：
所述位置检测器检测2个以上的基准标记的位置，
在所述第二步骤中，
计算由所述位置检测器检测出的检测位置与所述基准标记的基准位置的在主扫描方向的位置偏离量，基于该位置偏离量，对所述液滴排出头的排出时机进行修正，并且，
计算由所述位置检测器检测出的检测位置和所述基准标记的基准位置的在与主扫描方向正交的副扫描方向和旋转方向上的位置偏离量，基于该位置偏离量，对所述液滴排出头的副扫描方向和旋转方向的位置进行修正。
11.如权利要求8～10中任一项所述的液滴排出方法，其特征在于：
在从所述液滴排出头向所述工件排出液滴之前，使用维护组件来进行所述液滴排出头的维护时，进行所述第一步骤，
作为所述位置检测器的照相机设置于所述维护组件侧或者所述工作台侧，
在所述第一步骤中，将所述照相机移动至第一拍摄位置，所述照相机对第一托架校准标记进行拍摄，将所述照相机移动至第二拍摄位置，所述照相机对第二托架校准标记进行拍摄，
在所述第二步骤中，根据所述第一托架校准标记的位置、所述第二托架校准标记的位置和所述基准位置计算所述主扫描方向的位置偏离量。
12.如权利要求8～10中任一项所述的液滴排出方法，其特征在于：
所述位置检测器设置于所述液滴排出头侧。
13.如权利要求8～10中任一项所述的液滴排出方法，其特征在于：
所述液滴排出头在与主扫描方向正交的副扫描方向上设置有多个，
所述位置检测器在副扫描方向上设置有多个，
在所述第一步骤中，多个所述位置检测器分别检测对应的所述液滴排出头的位置。
14.如权利要求8～10中任一项所述的液滴排出方法，其特征在于：
所述液滴排出头在与主扫描方向正交的副扫描方向上设置有多个，
在所述第一步骤中，所述位置检测器在副扫描方向上移动，并且检测多个所述液滴排出头的位置。
15.一种计算机可读存储介质，其特征在于：
存储有在液滴排出装置的计算机中运行的程序，该程序使得该液滴排出装置执行权利要求8～10中任一项所述的液滴排出方法。
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