JP4274214B2 - 液体噴射ヘッドのアライメント装置及びそのアラインメント方法 - Google Patents
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Description
液体噴射ヘッドの液体を噴射するノズル開口とともに位置合わせ用のアライメントマークが設けられたノズルプレートと、複数の前記液体噴射ヘッドの前記ノズルプレート側を保持する固定部材とを位置決め接合する際に用いられ、前記位置決め接合する際に、前記液体噴射ヘッドのノズルプレート側に、前記固定部材、スペーサ治具、マスク、二焦点顕微鏡が順番に位置する液体噴射ヘッドのアライメント装置であって、
前記位置決め接合する際に前記ノズルプレートの前記アライメントマークが設けられた面と相対向するように配設されているとともに、前記位置決め接合する際に前記アライメントマークと相対向する空間を有する平板状のスペーサ治具と、
前記位置決め接合する際に、前記ノズルプレートが位置する領域と反対側で前記スペーサ治具に相対向するように配設されるとともに前記空間を介して前記アライメントマークと相対向する一方、位置合わせに用いられる基準マークが設けられている透明部材であるマスクと、
光軸が前記マスクの前記スペーサ治具と反対側から前記基準マーク及び前記空間を介して前記位置決め接合する際に前記アライメントマークが位置する方向に向けられており、前記光軸を共有する一つの光学系は前記位置決め接合する際に前記アライメントマークに焦点を合わせ得るとともに他の光学系は前記基準マークに焦点を合わせ得るように構成した二焦点顕微鏡とを有することを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント装置にある。
本態様によれば、アライメントマークが形成されたノズルプレートと基準マークが形成されたマスクとがお互いに接することがないので、両者の表面を傷つけることがなく、且つ、二焦点顕微鏡を用いて基準マークとアライメントマークとを同時に見ることができるので、一つの光学系と他の光学系とで個別に焦点を合わせた基準マークとアライメントマークとの画像を重ね合わせて所定の位置決めを行なうことができる。すなわち、基準マークとアライメントマークとの間に空間を介しているにも関わらず、各光学系の被写界深度を可及的に小さくしてその分倍率を大きくすることができる。
この結果、液体噴射ヘッドの所定の位置決めを高精度に行うことができる。
上記第1の態様に記載する液体噴射ヘッドのアライメント装置において、
前記一つの光学系の光路と他の光学系の光路とは、前記光軸を共有した後第1のビームスプリッタで分割され、ミラーを経た後第2のビームスプリッタで合成されて外部の1個の撮像手段に至るように構成するとともに、前記第1及び第2のスプリッタの間に基準マーク及びアライメントマークに対応してそれぞれの焦点位置を調整可能な2個の焦点レンズを配設して構成したものであることを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント装置にある。
本態様によれば、撮像手段を一個用意するだけで、所定のアライメントを行うことができる。
上記第1の態様に記載する液体噴射ヘッドのアライメント装置において、
前記一つの光学系の光路と他の光学系の光路とは、前記光軸を共有した後ビームスプリッタで分割されて外部の2個の撮像手段にそれぞれ至るように構成するとともに、前記スプリッタと各撮像手段との間に基準マーク及びアライメントマークに対応してそれぞれの焦点位置を調整可能な2個の焦点レンズを配設して構成したものであり、
さらに前記2個の撮像素子の再生画像を合成する画像合成手段を有することを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント装置にある。
本態様によれば、撮像手段は2個必要になり、また2個の撮像手段の画像を合成する必要もあるが、一つの光路と他の光路とを合成する際の光軸調整の必要がないことと相俟って両光路の構成が簡単になる。
上記第1乃至第3の態様の何れか一つに記載する液体噴射ヘッドのアライメント装置において、
前記マスクは前記光軸に沿いアライメントマークに向けて突出する凸部を有し、この凸部の上面に基準マークを設けたものであることを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント装置にある。
本態様によれば、基準マークとアライメントマークとの間の距離を小さくすることができる結果、光軸のずれを可及的に小さくでき、またマスクを厚い部材、すなわち十分な剛性を有する部材で支持することができ、前記部材の撓み等によるずれを生起することもないので、高精度の位置決めを行うことができる。
上記第1乃至第4の態様の何れか一つに記載する液体噴射ヘッドのアライメント装置において、
前記二焦点顕微鏡は、一つの液体噴射ヘッドのノズルプレートの長手方向に関する両端部にそれぞれ形成された二つのアライメントマークを同時に観察することができるようにそれぞれの前記光軸間の距離を前記二つのアライメントマーク間の距離に合わせた2台の二焦点顕微鏡で構成したことを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント装置にある。
本態様によれば、二点を基準とした位置決めを行うことができるので、一点づつ2回行なう場合に比べ、単純に半分の時間で済むばかりでなく、一方を位置決めした後、他方の位置決め中に前記一方の位置決めの位置がずれるということもなく、この点でも迅速な位置決めを行うことができる。
上記第1乃至第4の態様の何れか一つに記載する液体噴射ヘッドのアライメント装置において、
前記二焦点顕微鏡は、複数の液体噴射ヘッドの各ノズルプレートに形成された各アライメントマークを同時に観察することができるようにそれぞれの前記光軸間の距離を隣接するノズルプレートのアライメントマーク間の距離に合わせた複数台の二焦点顕微鏡で構成したことを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント装置にある。
本態様によれば、複数の液体噴射ヘッドの位置決めを一度に行うことができる結果、所定の位置決め作業を最も迅速に行うことができる。
上記第1乃至第6の態様の何れか一つに記載する液体噴射ヘッドのアライメント装置において、
前記二焦点顕微鏡の光軸を固定する一方、アライメントの対象となる基準マークとアライメントマークとが前記光軸上又はその近傍に占位するように前記マスクと前記液体噴射ヘッドを支持するスペーサ治具とを一体的に移動させるように構成したことを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント装置にある。
本態様によれば、光軸が固定されているので、マスクと液体噴射ヘッドを支持するスペーサ治具との移動に伴う位置調整を迅速且つ高精度に行うことができる。すなわち、光軸を移動させた場合の光軸のずれを調整するより前記マスク及びスペーサ治具の姿勢を維持する方が遥かに容易である。光学系の姿勢が一寸変化しただけで光軸は大きくずれるからである。
液体噴射ヘッドの液体を噴射するノズル開口とともに位置合わせ用のアライメントマークが設けられたノズルプレートと、複数の前記液体噴射ヘッドの前記ノズルプレート側を保持する固定部材とを位置決め接合する際に用いられ、前記位置決め接合する際に、前記液体噴射ヘッドのノズルプレート側に、前記固定部材、スペーサ治具、マスク、二焦点顕微鏡が順番に位置する液体噴射ヘッドのアライメント方法であって、
前記位置決め接合する際に前記ノズルプレートの前記アライメントマークが設けられた面と相対向するように配設されているとともに、前記位置決め接合する際に前記アライメントマークと相対向する空間を有する平板状のスペーサ治具と、前記位置決め接合する際に、前記ノズルプレートが位置する領域と反対側で前記スペーサ治具に相対向するように配設されるとともに前記空間を介して前記アライメントマークと相対向する一方、位置合わせに用いられる基準マークが設けられている透明部材であるマスクとを空間を介して相対向させるとともに、
二焦点顕微鏡の光軸を前記マスク側から前記基準マーク及び前記空間を介して前記アライメントマークの方向に向けて前記基準マーク及び前記アライメントマークの画像を同時に得る一方、前記光軸を共有する一つの光学系は前記アライメントマークに焦点を合わせるとともに他の光学系は前記基準マークに焦点を合わせて両画像を重ね合わせることにより前記位置決めを行なうことを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント方法にある。
本態様によれば、二焦点顕微鏡を用いて基準マークとアライメントマークとを同時に見ることができるので、一つの光学系と他の光学系とで個別に焦点を合わせた基準マークとアライメントマークとの画像を重ね合わせて所定の位置決めを行なうことができる。この結果、液体噴射ヘッドの所定の位置決めを高精度に行うことができる。
本発明の実施の形態に係るアライメント装置を説明するのに先立ち当該アライメントの対象となる液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッドを有するインクジェット式記録ヘッドユニットの一例を説明しておく。
本発明の第1の実施の形態に係るアライメント装置を図面に基づき詳細に説明する。なお、図1乃至図5と同一部分には同一番号を付している。
図8は本発明の第2の実施の形態に係るアライメント装置を示す断面図である。同図は図6で示す断面に対し、これに直交する断面、すなわち横断面を示したものである。
図9は本発明の第3の実施の形態に係るアライメント装置を示す断面図である。同図に示すように、本形態における二焦点顕微鏡600は光軸Lを共有する二つの光学系601,602を介して基準マーク401乃至アライメントマーク22の画像を2個のCCD620,621に個別に取り込むようにしたものである。本形態においても光軸Lはマスク410のスペーサ治具側とは反対側から基準マーク401及びアライメントマーク22の方向に向けられている。ここで、光学系601は基準マーク401に焦点を合わせることができ、光学系602はアライメントマーク22に焦点を合わせることができるように構成されている。
以上、本発明の各実施の形態を説明したが、本発明は上述したものに限定されるものではない。例えば、第2の実施の形態の二焦点顕微鏡500−1,500−2を第3の実施の形態の2台の二焦点顕微鏡600で形成したもの、複数のインクジェット式記録ヘッド220の各列に対応させてインクジェット式記録ヘッド220の数だけ二焦点顕微鏡500、500−1,500−2,600を設けたものであっても良い。
Claims (8)
- 液体噴射ヘッドの液体を噴射するノズル開口とともに位置合わせ用のアライメントマークが設けられたノズルプレートと、複数の前記液体噴射ヘッドの前記ノズルプレート側を保持する固定部材とを位置決め接合する際に用いられ、前記位置決め接合する際に、前記液体噴射ヘッドのノズルプレート側に、前記固定部材、スペーサ治具、マスク、二焦点顕微鏡が順番に位置する液体噴射ヘッドのアライメント装置であって、
前記位置決め接合する際に前記ノズルプレートの前記アライメントマークが設けられた面と相対向するように配設されているとともに、前記位置決め接合する際に前記アライメントマークと相対向する空間を有する平板状のスペーサ治具と、
前記位置決め接合する際に、前記ノズルプレートが位置する領域と反対側で前記スペーサ治具に相対向するように配設されるとともに前記空間を介して前記アライメントマークと相対向する一方、位置合わせに用いられる基準マークが設けられている透明部材であるマスクと、
光軸が前記マスクの前記スペーサ治具と反対側から前記基準マーク及び前記空間を介して前記位置決め接合する際に前記アライメントマークが位置する方向に向けられており、前記光軸を共有する一つの光学系は前記位置決め接合する際に前記アライメントマークに焦点を合わせ得るとともに他の光学系は前記基準マークに焦点を合わせ得るように構成した二焦点顕微鏡とを有することを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント装置。 - 請求項1に記載する液体噴射ヘッドのアライメント装置において、
前記一つの光学系の光路と他の光学系の光路とは、前記光軸を共有した後第1のビームスプリッタで分割され、ミラーを経た後第2のビームスプリッタで合成されて外部の1個の撮像手段に至るように構成するとともに、前記第1及び第2のスプリッタの間に基準マーク及びアライメントマークに対応してそれぞれの焦点位置を調整可能な2個の焦点レンズを配設して構成したものであることを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント装置。 - 請求項1に記載する液体噴射ヘッドのアライメント装置において、
前記一つの光学系の光路と他の光学系の光路とは、前記光軸を共有した後ビームスプリッタで分割されて外部の2個の撮像手段にそれぞれ至るように構成するとともに、前記スプリッタと各撮像手段との間に基準マーク及びアライメントマークに対応してそれぞれの焦点位置を調整可能な2個の焦点レンズを配設して構成したものであり、
さらに前記2個の撮像素子の再生画像を合成する画像合成手段を有することを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント装置。 - 請求項1乃至請求項3の何れか一つに記載する液体噴射ヘッドのアライメント装置において、
前記マスクは前記光軸に沿いアライメントマークに向けて突出する凸部を有し、この凸部の上面に基準マークを設けたものであることを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント装置。 - 請求項1乃至請求項4の何れか一つに記載する液体噴射ヘッドのアライメント装置において、
前記二焦点顕微鏡は、一つの液体噴射ヘッドのノズルプレートの長手方向に関する両端部にそれぞれ形成された二つのアライメントマークを同時に観察することができるようにそれぞれの前記光軸間の距離を前記二つのアライメントマーク間の距離に合わせた2台の二焦点顕微鏡で構成したことを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント装置。 - 請求項1乃至請求項4の何れか一つに記載する液体噴射ヘッドのアライメント装置において、
前記二焦点顕微鏡は、複数の液体噴射ヘッドの各ノズルプレートに形成された各アライメントマークを同時に観察することができるようにそれぞれの前記光軸間の距離を隣接するノズルプレートのアライメントマーク間の距離に合わせた複数台の二焦点顕微鏡で構成したことを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント装置。 - 請求項1乃至請求項6の何れか一つに記載する液体噴射ヘッドのアライメント装置において、
前記二焦点顕微鏡の光軸を固定する一方、アライメントの対象となる基準マークとアライメントマークとが前記光軸上又はその近傍に占位するように前記マスクと前記液体噴射ヘッドを支持するスペーサ治具とを一体的に移動させるように構成したことを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント装置。 - 液体噴射ヘッドの液体を噴射するノズル開口とともに位置合わせ用のアライメントマークが設けられたノズルプレートと、複数の前記液体噴射ヘッドの前記ノズルプレート側を保持する固定部材とを位置決め接合する際に用いられ、前記位置決め接合する際に、前記液体噴射ヘッドのノズルプレート側に、前記固定部材、スペーサ治具、マスク、二焦点顕微鏡が順番に位置する液体噴射ヘッドのアライメント方法であって、
前記位置決め接合する際に前記ノズルプレートの前記アライメントマークが設けられた面と相対向するように配設されているとともに、前記位置決め接合する際に前記アライメントマークと相対向する空間を有する平板状のスペーサ治具と、前記位置決め接合する際に、前記ノズルプレートが位置する領域と反対側で前記スペーサ治具に相対向するように配設されるとともに前記空間を介して前記アライメントマークと相対向する一方、位置合わせに用いられる基準マークが設けられている透明部材であるマスクとを空間を介して相対向させるとともに、
二焦点顕微鏡の光軸を前記マスク側から前記基準マーク及び前記空間を介して前記アライメントマークの方向に向けて前記基準マーク及び前記アライメントマークの画像を同時に得る一方、前記光軸を共有する一つの光学系は前記アライメントマークに焦点を合わせるとともに他の光学系は前記基準マークに焦点を合わせて両画像を重ね合わせることにより前記位置決めを行なうことを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント方法。
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