JP2009166399A - 液体噴射ヘッドのアライメント装置及びそのアライメント方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド220のアライメントマーク22が位置決めされる基準マーク401を有するマスク410と、光軸L1を有する第1の光学系501と光軸L2を有する第2の光学系502とを備え、第1の光学系501は基準マーク401に焦点を合わせ得るとともに第2の光学系502はアライメントマーク22に焦点を合わせ得るように構成された二焦点顕微鏡500とを具備し、二焦点顕微鏡500には、各光軸L1、L2が一致して基準マーク401及びアライメントマーク22に入射するよう第2のミラー509の反射面の向きを調節する光軸調節手段520を設けた。
【選択図】図5
Description
かかる態様では、光軸調節手段により、基準マーク及びアライメントマークに入射する二焦点顕微鏡の各光学系の各光軸の方向を一致させることができる。これにより、位置決めされた液体噴射ヘッドとマスクとを平面視したとき基準マークとアライメントマークとが完全に一致するように、液体噴射ヘッドの位置決めを高精度に行うことができる。
かかる態様では、光軸調節手段により、基準マーク及びアライメントマークに入射する二焦点顕微鏡の各光学系の各光軸の方向を一致させることができる。これにより、位置決めされた液体噴射ヘッドとマスクとを平面視したとき基準マークとアライメントマークとが完全に一致するように、液体噴射ヘッドの位置決めを高精度に行うことができる。
図4は本実施形態に係るアライメント装置を示す断面図である。なお、図1乃至図3と同一部分には同一番号を付している。同図に示すように、本形態に係るアライメント装置は、アライメントの対象であるインクジェット式記録ヘッド220を載置するアライメント治具400、アライメント治具400と一体となってインクジェット式記録ヘッド220を固定板250側に押圧する押圧手段450、アライメント治具400の下方からアライメント治具400を介してインクジェット式記録ヘッド220を観察するための2つの光学系を有する二焦点顕微鏡500及びマスク410を固定し二焦点顕微鏡500の光軸L1、L2と直角な水平方向に適宜移動できる移動ステージ550を有する。
1) 図6(a)に示すように、鏡530を取り除く。すなわち、二焦点顕微鏡500の第1の光学系501の光軸L1上に、基準マーク401のみが位置する状態となる。この結果、CCD520には基準マーク401に焦点が合った鮮明な画像が取り込まれる。
2) 図6(b)に示すように、アライメント治具400に固定板250を保持させる。3) 図6(c)に示すように、二焦点顕微鏡500の第2の光学系502の光軸L2の焦点位置を、ノズルプレート20に合わせる。この結果、CCD520にはアライメントマーク22に焦点が合った鮮明な画像が取り込まれる。そして、この画像に基づいて、アライメントマーク22の画像が基準マーク401の画像と一致するようにインクジェット式記録ヘッド220を移動させる。
4) 前記3)の工程と同様の工程を繰り返すことで、複数のインクジェット式記録ヘッド220を順次位置決めする。すなわち、光軸L1、L2は固定したままで、水平面内で移動ステージ550を図6(c)中のY軸方向に移動することで同一インクジェット式記録ヘッド220の他のアライメントマーク22と基準マーク401の位置決めを行なうとともに、X軸方向に移動することで隣接する他のインクジェット式記録ヘッド220のアライメントマーク22と基準マーク401の位置決めを行なう。
5) 押圧手段450により、複数のインクジェット式記録ヘッド220を固定板250に所定の圧力で加圧しながら接着剤を硬化させることで両者を接合する。
Claims (3)
- ノズルプレートに設けられたノズル開口から液体を噴射する複数の液体噴射ヘッドの位置決めを行う液体噴射ヘッドのアライメント装置であって、
前記液体噴射ヘッドの液体吐出面に設けられたアライメントマークが位置決めされる基準マークを有する透明部材であるマスクと、
前記マスクの前記液体噴射ヘッド側とは反対側から前記基準マーク及び前記アライメントマークの方向に向けられた光軸をそれぞれ有する2つの光学系を備え、第1の光学系は前記基準マークに焦点を合わせ得るとともに第2の光学系は前記アライメントマークに焦点を合わせ得るように構成された二焦点顕微鏡とを具備し、
前記第1の光学系と前記第2の光学系とは、前記第1の光学系及び前記第2の光学系の各光軸のうち少なくとも何れか一方の光軸がミラーを経由し、各光軸が外部の撮像手段に至るように構成され、
前記二焦点顕微鏡には、前記ミラーの反射面の向きを調節する光軸調節手段が設けられた
ことを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント装置。 - 請求項1に記載する液体噴射ヘッドのアライメント装置において、
前記第1の光学系と前記第2の光学系とは、前記各光軸の双方が前記第1の光学系及び前記第2の光学系にそれぞれ設けられたミラーを経由するように構成され、
一方のミラーは、該ミラーを経由する前記光軸が前記基準マーク及び前記アライメントマークに垂直に入射するように固定され、他方のミラーは、その反射面の向きが前記光軸調節手段により調節されるように構成された
ことを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント装置。 - 2つの被写体にそれぞれ焦点位置を調節し得る第1の光学系と第2の光学系とを備え、前記第1の光学系及び前記第2の光学系の各光軸のうち少なくとも何れか一方の光軸がミラーを経由し、各光軸が外部の撮像手段に至るように構成された二焦点顕微鏡を用いて、ノズル開口から液体を噴射する複数の液体噴射ヘッドの位置決めを行う液体噴射ヘッドのアライメント方法であって、
前記アライメントマークが位置決めされる基準マークが設けられている透明部材であるマスクの当該基準マークに対して前記第1の光学系及び前記第2の光学系の各光軸が一致して入射するように前記ミラーの反射面の向きを調節し、
前記マスクと前記液体噴射ヘッドとを相対向させ、
前記第1の光学系は前記基準マークに焦点を合わせる一方、前記第2の光学系は前記アライメントマークに焦点を合わせて前記基準マークと前記アライメントマークの画像を得ると共に、両画像が重なる位置に前記液体噴射ヘッドを移動させて位置決めを行なうことを特徴とする液体噴射ヘッドのアライメント方法。
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