JP4341654B2 - 液体噴射ヘッドユニットの製造方法 - Google Patents
液体噴射ヘッドユニットの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4341654B2 JP4341654B2 JP2006249860A JP2006249860A JP4341654B2 JP 4341654 B2 JP4341654 B2 JP 4341654B2 JP 2006249860 A JP2006249860 A JP 2006249860A JP 2006249860 A JP2006249860 A JP 2006249860A JP 4341654 B2 JP4341654 B2 JP 4341654B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alignment
- reference mark
- mark
- surface treatment
- jet recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J29/00—Details of, or accessories for, typewriters or selective printing mechanisms not otherwise provided for
- B41J29/38—Drives, motors, controls or automatic cut-off devices for the entire printing mechanism
- B41J29/393—Devices for controlling or analysing the entire machine ; Controlling or analysing mechanical parameters involving printing of test patterns
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49401—Fluid pattern dispersing device making, e.g., ink jet
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49764—Method of mechanical manufacture with testing or indicating
- Y10T29/49766—Method of mechanical manufacture with testing or indicating torquing threaded assemblage or determining torque herein
- Y10T29/49767—Determining relative number of threaded member rotations
Landscapes
- Ink Jet (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
かかる第1の態様では、アライメントマスクに表面処理を行うことで、撮像手段が撮影した画像において、黒系色又は白系色の何れか一方の基準マークと黒系色又は白系色の他方のアライメントマークとに対して背景のコントラスト比を高くすることができ、基準マークと背景との境界及びアライメントマークと背景との境界を高精度に検出することができる。
かかる第2の態様では、薄膜を形成する表面処理を行うことで、容易にアライメントマークと基準マークとのそれぞれに対してコントラスト比を高めることができる。
かかる第3の態様では、金属膜を形成する表面処理を行うことによって、容易にアライメントマークと基準マークとのそれぞれに対してコントラスト比を高めることができる。
かかる第4の態様では、金属膜を容易に且つ所望の厚さで形成することができ、コントラスト比の調整を容易に行うことができる。
かかる第5の態様では、着色フィルムを貼付する表面処理を行うことで、容易にアライメントマークと基準マークとのそれぞれに対してコントラスト比を高めることができる。
かかる第6の態様では、ブラスト処理からなる表面処理を行うことで、容易にアライメントマークと基準マークとのそれぞれに対してコントラスト比を高めることができる。
かかる第7の態様では、基準マークはアライメントマスクの他方面側から撮影されるため、表面処理された表面が基準マークの撮影時に介在することがなく、基準マークのコントラスト比を低減することがない。また、アライメントマスクの全面に亘って表面処理を施すことによって、表面処理を行う際のマスクやパターニング等の工程が不要となりコストを低減することができる。
かかる第8の態様では、アライメントマークを環形状の基準マークに容易にアライメントすることができると共に、アライメントマークの位置合わせを基準マークとの隙間によって調整することができ、高精度なアライメントを行うことができる。
かかる第9の態様では、基準マークの外側の背景を基準マークの内側よりもコントラスト比が高くなるようにすることで、基準マークと外側の背景とのコントラスト比が高くなり、基準マークを発見し易くすることができる。
かかる第10の態様では、基準マークの外側の背景を基準マークの内側よりもコントラスト比が低くなるようにすることで、基準マークの外側とアライメントマークとのコントラスト比を高くすることができ、アライメントマークが基準マークの外側に存在するときに、アライメントマークを発見し易くすることができる。
かかる第11の態様では、液体噴射ヘッドと固定部材との位置合わせを高精度に行うことができるため、液体噴射特性を向上した液体噴射ヘッドユニットを実現できる。
かかる第12の態様では、アライメントマークが黒系色で撮影されると共に、アライメントマークをノズル開口と同時に形成することができ、アライメントマークを容易に且つ高精度に形成することができる。
かかる第13の態様では、アライメントマスクに表面処理を行うことで、撮像手段が撮影した画像において、黒系色又は白系色の何れか一方の基準マークと黒系色又は白系色の他方のアライメントマークとに対して背景のコントラスト比を高くすることができ、基準マークと背景との境界及びアライメントマークと背景との境界を高精度に検出することができる。
(実施形態1)
本発明の実施の形態に係る液体噴射ヘッド用アライメントマスクを説明するのに先立ち当該アライメントの対象となる液体噴射ヘッドユニットの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニットの一例について説明する。
図10は、本発明の実施形態2に係るアライメント装置の断面図である。なお、上述した実施形態1と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
図11は、本発明の実施形態3に係るアライメントマスクの平面図及びそのC−C′断面図である。なお、上述した実施形態1及び2と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
図12は、本発明の実施形態4に係るアライメントマスクの平面図及びそのD−D′断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態1〜4では、アライメントマスク410の表面処理として、スパッタリング法又は蒸着法により薄膜からなる表面処理膜412を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、アライメントマスクの表面処理として、着色フィルムを貼付するようにしてもよく、また、アライメントマスクの表面処理として、ブラスト処理するようにしてもよい。なお、ブラスト処理は、アライメントマスク410のアライメントマーク411が除去されない程度に行って、アライメントマーク411以外の領域に凹凸を形成して、撮像手段500、500Aによって撮影された画像の背景を灰色にするものである。
Claims (12)
- アライメントマークを有する液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドを保持する固定部材と、を備えた液体噴射ヘッドユニットの製造方法であって、
前記液体噴射ヘッドと透明部材からなるアライメントマスクとの間に前記固定部材が位置するよう配置し、前記アライメントマスクに設けられた基準マークと前記アライメントマークとの位置合わせを行う工程を有し、
前記アライメントマスクの表面には、前記基準マーク及び前記アライメントマークに対してコントラスト比が高くなる表面処理膜が形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドユニットの製造方法。 - 前記アライメントマークは、貫通孔であることを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
- 前記基準マークは、金属からなることを特徴とする請求項1または2に記載の液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
- 前記表面処理膜は、金属からなることを特徴とする請求項1乃至3何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
- 前記表面処理膜は、前記基準マークより厚さが薄いことを特徴とする請求項1乃至4何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
- 前記表面処理膜は、前記基準マークより前記液体噴射ヘッド側に形成されていることを特徴とする請求項1乃至5何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
- 前記位置合わせは、前記アライメントマスクの前記液体噴射ヘッドとは反対側に設けられた撮像手段により行うことを特徴とする請求項1乃至6何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
- 前記基準マークは、前記アライメントマスクの前記液体噴射ヘッド側表面に形成されていることを特徴とする請求項1乃至7何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
- 前記基準マークは環形状に形成されており、前記基準マークの外側における前記表面処理膜の厚さが、前記基準マークの内側における前記表面処理膜の厚さよりも厚いことを特徴とする請求項1乃至8何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
- 前記基準マークは環形状に形成されており、前記基準マークの内側における前記表面処理膜の厚さが、前記基準マークの外側における前記表面処理膜の厚さよりも厚いことを特徴とする請求項1乃至8何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
- 前記アライメントマスクは、前記基準マークが設けられて前記液体噴射ヘッド側に突出する突出部を有することを特徴とする請求項1乃至10何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
- 前記液体噴射ヘッドユニットは複数の前記液体噴射ヘッドを備え、前記位置合わせを行う工程において、各液体噴射ヘッド同士の位置合わせを行うことを特徴とする請求項1乃至11何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006249860A JP4341654B2 (ja) | 2006-09-14 | 2006-09-14 | 液体噴射ヘッドユニットの製造方法 |
US11/854,800 US8800147B2 (en) | 2006-09-14 | 2007-09-13 | Alignment method of liquid-jet head unit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006249860A JP4341654B2 (ja) | 2006-09-14 | 2006-09-14 | 液体噴射ヘッドユニットの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008068537A JP2008068537A (ja) | 2008-03-27 |
JP4341654B2 true JP4341654B2 (ja) | 2009-10-07 |
Family
ID=39188120
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006249860A Expired - Fee Related JP4341654B2 (ja) | 2006-09-14 | 2006-09-14 | 液体噴射ヘッドユニットの製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8800147B2 (ja) |
JP (1) | JP4341654B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4288519B2 (ja) * | 2006-09-13 | 2009-07-01 | セイコーエプソン株式会社 | アライメント装置及びアライメント方法 |
JP4207074B2 (ja) * | 2006-09-14 | 2009-01-14 | セイコーエプソン株式会社 | アライメント装置及びアライメント方法 |
US8376499B2 (en) * | 2009-01-30 | 2013-02-19 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Adjusting measurements |
JP5728947B2 (ja) * | 2011-01-06 | 2015-06-03 | セイコーエプソン株式会社 | アライメントマーク形成方法、ノズル基板形成方法、ノズル基板および液滴吐出ヘッド |
JP5995718B2 (ja) * | 2012-12-28 | 2016-09-21 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | ヘッドチップ、ヘッドチップの製造方法、液体噴射ヘッド、液体噴射装置 |
JP6197311B2 (ja) * | 2013-03-11 | 2017-09-20 | セイコーエプソン株式会社 | 流路基板の製造方法、流路ユニットの製造方法、流路ユニット、液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 |
US10596817B2 (en) | 2016-04-07 | 2020-03-24 | Seiko Epson Corporation | Liquid ejecting head unit and liquid ejecting apparatus |
JP6770251B2 (ja) * | 2016-11-11 | 2020-10-14 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置 |
US11135854B2 (en) | 2018-12-06 | 2021-10-05 | Kateeva, Inc. | Ejection control using imager |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB8710489D0 (en) * | 1987-05-02 | 1987-06-03 | Raychem Pontoise Sa | Solder connector device |
JPH0230541A (ja) * | 1988-07-21 | 1990-01-31 | Canon Inc | 液体噴射装置の製造方法 |
JP2002160376A (ja) | 2000-11-24 | 2002-06-04 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド、及び、それを備えた画像記録装置 |
JP3893936B2 (ja) | 2001-10-19 | 2007-03-14 | セイコーエプソン株式会社 | ヘッドユニットのアライメントマスクおよびこれがセット可能なヘッドユニットの組立装置 |
JP4573022B2 (ja) * | 2003-08-27 | 2010-11-04 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドユニット |
JP4561228B2 (ja) | 2004-08-11 | 2010-10-13 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射ヘッドのアライメント方法 |
JP4701795B2 (ja) | 2005-03-31 | 2011-06-15 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドユニットの製造方法 |
JP4715304B2 (ja) | 2005-05-24 | 2011-07-06 | セイコーエプソン株式会社 | アライメント治具及び液体噴射ヘッドユニットの製造方法 |
JP4655760B2 (ja) | 2005-05-26 | 2011-03-23 | セイコーエプソン株式会社 | アライメント治具及びその製造方法並びに液体噴射ヘッドユニットの製造方法 |
-
2006
- 2006-09-14 JP JP2006249860A patent/JP4341654B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-09-13 US US11/854,800 patent/US8800147B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8800147B2 (en) | 2014-08-12 |
US20080068420A1 (en) | 2008-03-20 |
JP2008068537A (ja) | 2008-03-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4288519B2 (ja) | アライメント装置及びアライメント方法 | |
JP4196220B2 (ja) | 液体噴射ヘッドのアライメント装置及びそのアラインメント方法 | |
JP4341654B2 (ja) | 液体噴射ヘッドユニットの製造方法 | |
JP4274214B2 (ja) | 液体噴射ヘッドのアライメント装置及びそのアラインメント方法 | |
JP4715304B2 (ja) | アライメント治具及び液体噴射ヘッドユニットの製造方法 | |
KR100639852B1 (ko) | 액체 분사 헤드 유닛 및 그 제조 방법과 액체 분사 장치 | |
JP4561228B2 (ja) | 液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射ヘッドのアライメント方法 | |
JP4207074B2 (ja) | アライメント装置及びアライメント方法 | |
JP4655760B2 (ja) | アライメント治具及びその製造方法並びに液体噴射ヘッドユニットの製造方法 | |
JP4530161B2 (ja) | 液体噴射装置 | |
US8069564B2 (en) | Alignment jig and alignment apparatus for liquid-jet head and method for producing liquid-jet head | |
JP4701795B2 (ja) | 液体噴射ヘッドユニットの製造方法 | |
JP5263466B2 (ja) | 液体噴射ヘッドユニット用アライメントマスク及び液体噴射ヘッドユニット用アライメント装置並びに液体噴射ヘッドユニットのアライメント方法 | |
JP2008068515A (ja) | 液体噴射ヘッドのアライメント治具及び液体噴射ヘッドのアライメント装置並びに液体噴射ヘッドのアライメント治具の取付方法 | |
US20090185184A1 (en) | Alignment apparatus for manufacturing a liquid jet head, an alignment method for manufacturing the same and method of manufacturing a liquid jet head unit | |
JP2009172879A (ja) | アライメント方法及び液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP6037228B2 (ja) | 液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出ヘッドの製造装置及び液滴吐出ヘッド | |
JP2009172880A (ja) | アライメント方法及び液体噴射ヘッドの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080924 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081001 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20081010 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20081010 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081127 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20081127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090310 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090424 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090616 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090629 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120717 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4341654 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120717 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130717 Year of fee payment: 4 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |