KR100639852B1 - 액체 분사 헤드 유닛 및 그 제조 방법과 액체 분사 장치 - Google Patents

액체 분사 헤드 유닛 및 그 제조 방법과 액체 분사 장치 Download PDF

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Abstract

<과제> 종이 잼 및 커버 헤드의 변형을 방지하는 동시에 액체 방울 토출면에의 액체의 잔류를 방지하고, 노즐 열의 위치 결정 정밀도를 향상시키며 인쇄 품질을 향상할 수 있는 액체 분사 헤드 유닛 및 그 제조 방법과 액체 분사 장치를 제공한다.
<해결 수단> 액체 방울을 토출하는 병설된 노즐 개구로 이루어지는 노즐 열을 갖는 액체 분사 헤드(220)와, 이 액체 분사 헤드(220)의 액체 공급구측에 고정되는 헤드 케이스(230)와, 상기 액체 분사 헤드의 액체 방울 토출면측에 설치된 커버 헤드(240)를 구비함과 동시에, 상기 액체 분사 헤드(220)와 상기 커버 헤드(240)와의 사이에, 상기 노즐 개구를 노출하는 노출 개구부(251)를 구획 형성하는 동시에 액체 방울 토출면의 적어도 상기 노즐 열의 양단부측에 접합되는 접합부(252)를 갖는 고정판(250)을 구비하고, 상기 액체 분사 헤드(220)의 액체 방울 토출면과 상기 고정판(250)을 접합함으로써 복수의 액체 분사 헤드(220)를 공통의 고정판에 위치 결정 고정한다.

Description

액체 분사 헤드 유닛 및 그 제조 방법과 액체 분사 장치 {LIQUID JET HEAD UNIT, MANUFACTURING METHOD THEREOF AND LIQUID JET DEVICE}
도 1은 실시 형태 1에 관한 헤드 유닛의 분해 사시도.
도 2는 실시 형태 1에 관한 헤드 유닛의 조립 사시도.
도 3은 실시 형태 1에 관한 헤드 유닛의 주요 부분 단면도.
도 4는 실시 형태 1에 관한 헤드 유닛의 주요 부분의 분해 사시도.
도 5는 실시 형태 1에 관한 헤드 케이스 및 기록 헤드의 단면도.
도 6은 실시 형태 1에 관한 헤드 유닛의 제조 공정을 나타내는 평면도.
도 7은 실시 형태 1에 관한 잉크젯식 기록 장치의 개략도.
도 8은 실시 형태 2에 관한 헤드 유닛의 조립 사시도.
도 9는 실시 형태 2에 관한 헤드 유닛의 주요 부분 단면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
3 : 캐리지 10 : 유로 형성 기판
12 : 압력 발생실 100 : 리저버
200, 200A : 헤드 유닛 210 : 카트리지 케이스
220 : 잉크젯식 기록 헤드 230 : 헤드 케이스
240 : 커버 헤드 241 : 개구부
242 : 고정부 245 : 측벽부
246, 246A : 플랜지부 247, 247A : 고정 구멍
250 : 고정판 251 : 노출 개구부
252 : 접합부 253 : 고정용 틀부
254 : 고정용 빔부 300 : 압전 소자
400 : 위치 결정 치구
본 발명은, 피분사액을 토출하는 액체 분사 헤드를 구비하는 액체 분사 헤드 유닛 및 그 제조 방법과 액체 분사 장치에 관한 것이며, 특히 잉크 방울을 토출하는 노즐 개구와 연통되는 압력 발생실의 일부를 진동판으로 구성하고, 이 진동판을 통해서 압전 소자를 설치하고, 압전 소자의 변위에 의하여 잉크 방울을 토출시키는 잉크젯식 기록 헤드를 구비하는 잉크젯식 기록 헤드 유닛 및 그 제조 방법과 잉크젯식 기록 장치에 관한 것이다.
잉크젯식 프린터나 플로터 등의 잉크젯식 기록 장치는, 잉크 카트리지나 잉크 탱크 등의 잉크 저장부에 저장된 잉크를, 잉크 방울로서 토출 가능한 잉크젯식 기록 헤드를 구비하는 잉크젯식 기록 헤드 유닛(이하, 헤드 유닛이라 한다)을 갖는다.
헤드 유닛은, 병설된 노즐 개구로 이루어지는 노즐 열을 갖는 잉크젯식 기록 헤드와, 잉크젯식 기록 헤드의 잉크 공급구측에 고정되는 헤드 케이스와, 잉크젯식 기록 헤드의 잉크 방울 토출면측을 보호하는 커버 헤드를 구비한다. 커버 헤드는, 잉크젯식 기록 헤드의 잉크 방울 토출면측에 설치되어 노즐 개구를 노출하는 개구 창부를 갖는 창틀부와, 창틀부로부터 잉크젯식 기록 헤드의 측면측으로 절곡 성형된 측벽부를 가지며, 측벽부를 잉크젯식 기록 헤드의 측면에 접합하는 것으로 고정되어 있다(예를 들면, 특개2002-160376호 공보(제4면, 제 3도)).
또, 커버 헤드를 잉크젯식 기록 헤드의 노즐과는 다른 부재의 한 면에 고정함으로써, 커버 헤드에 의하여 잉크젯식 기록 헤드를 고정한 것이 제안되어 있다(예를 들면, 특개2003-145791호 공보(제6면, 제 6∼7도))
그렇지만, 노즐 개구가 병설된 노즐 열을 다열(多列)화한 잉크젯식 기록 헤드는, 하나의 잉크젯식 기록 헤드에 다열화된 노즐 개구를 설치하면, 수율이 저하되고 만다고 하는 문제가 있다.
또, 잉크 방울 토출면과 커버 헤드와의 사이에 간극이 있으면, 잉크 방울 토출면과 커버 헤드와의 단차(段差)가 커져 버리기 때문에, 잉크 방울 토출면을 와이핑 하여도, 이 단차에 의하여 잉크 방울 토출면에 잉크가 잔류하고 마는 동시에, 간극에 잉크가 들어가 버린다고 하는 문제가 있다. 또한, 잉크 방울 토출면과 커버 헤드의 사이에 간극이 있으면, 간극에 종이 등의 피기록 매체가 들어가, 종이 잼의 발생이나 커버 헤드가 변형하고 만다고 하는 문제가 있다.
또, 헤드 유닛에 복수의 잉크젯식 기록 헤드를 사용하는 것으로 노즐 열을 다열화한 경우, 복수의 잉크젯식 기록 헤드를 잉크 카트리지가 장착되는 카트리지 케이스 등의 지지 부재에 고정할 때에, 인접하는 노즐 열의 상대적인 위치 결정을 고정밀도로 행할 수 없다고 하는 문제가 있다. 또, 헤드 유닛을 지지한 지지 부재를 피기록 매체의 주사 방향으로 이동하는 캐리지에 탑재했을 때에, 캐리지와 노즐 열과의 상대적인 위치 결정을 행하기 위해 지지 부재와 캐리지와의 위치 결정을 행할 필요가 있는 동시에, 캐리지에 대하여 노즐 열의 위치 결정을 고정밀도로 행할 수 없다고 하는 문제가 있다.
또한, 커버 헤드를 노즐과는 다른 부재의 한 면에 접합하도록 하면, 커버헤드와 노즐 열과의 위치 결정을 행하여 양자를 접합하는 작업이 곤란함과 동시에, 고정밀도의 위치 결정을 할 수 없다고 하는 문제가 있다.
또한, 이와 같은 문제는 잉크를 토출하는 잉크젯식 기록 헤드를 구비하는 잉크젯식 기록 헤드 유닛만이 아니고, 물론 잉크 이외를 토출하는 다른 액체 분사 헤드를 구비하는 액체 분사 헤드 유닛에 있어서도 동일하게 존재한다.
본 발명은 이와 같은 사정을 감안하여, 종이 잼 및 커버 헤드의 변형을 방지하는 동시에 액체 방울 토출면에의 액체의 잔류를 방지하고, 노즐 열의 위치 결정 정밀도를 향상시켜 인쇄 품질을 향상할 수 있는 액체 분사 헤드 유닛 및 그 제조 방법과 액체 분사 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
상기 과제를 해결하는 본 발명의 제1의 양태는, 액체 방울을 토출하는 병설된 노즐 개구로 이루어지는 노즐 열을 갖는 액체 분사 헤드와, 이 액체 분사 헤드 의 액체 공급구측에 고정되는 헤드 케이스와, 상기 액체 분사 헤드의 액체 방울 토출면측에 설치된 커버 헤드를 구비하는 동시에, 상기 액체 분사 헤드와 상기 커버 헤드와의 사이에, 상기 노즐 개구를 노출하는 노출 개구부를 구획 형성하는 동시에 액체 방울 토출면의 적어도 상기 노즐 열의 양단부측에 접합되는 접합부를 갖는 고정판을 구비하고, 상기 액체 분사 헤드의 액체 방울 토출면과 상기 고정판을 접합함으로써 복수의 액체 분사 헤드가 공통의 고정판에 위치 결정 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛에 있다.
이러한 제1의 양태에서는, 고정판에 의하여 복수의 노즐 열의 상대적인 위치 결정을 용이하게 또한 고정밀도로 행하고, 고정판과 복수의 액체 분사 헤드를 위치 결정 접합할 수 있다.
본 발명의 제2의 양태는, 제1의 양태에 있어서, 상기 접합부가, 상기 액체 방울 토출면의 외주에 따라 설치된 고정용 틀을 갖는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛에 있다.
이러한 제2의 양태에서는, 고정판의 틀에 의하여 액체 방울 토출면의 외주측이 막히기 때문에, 액체가 액체 분사 헤드로 침입하는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 제3의 양태는, 제1 또는 2의 양태에 있어서, 상기 접합부가 인접하는 상기 액체 분사 헤드의 사이에 뻗어 설치되어서 상기 노출 개구부를 분할하는 고정용 빔부를 갖는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛에 있다.
이러한 제3의 양태에서는, 고정판의 고정용 빔부에 의하여 인접하는 액체 분사 헤드의 사이로부터의 액체의 침입을 방지할 수 있고, 액체 분사 헤드의 액체에 의한 열화 및 파괴를 방지할 수 있다.
본 발명의 제4의 양태는, 제1∼3의 어느 하나의 양태에 있어서, 상기 액체 분사 헤드에는, 해당 액체 분사 헤드를 구성하는 각 부재를 조립할 때에 위치 결정하는 핀이 삽입되는 핀 삽입 구멍이 설치되며, 상기 고정판이 상기 핀 삽입 구멍을 막고 있는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛에 있다.
이러한 제4의 양태에서는, 핀 삽입 구멍 내에 액체가 침입하는 것을 방지하고, 액체 분사 헤드의 액체에 의한 열화 및 파괴를 확실하게 방지할 수 있다.
본 발명의 제5의 양태는, 제1∼4의 어느 하나의 양태에 있어서, 상기 고정판이 금속재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛에 있다.
이러한 제5의 양태에서는, 고정판을 금속재료로 하는 것으로, 고정판을 접지할 수 있다.
본 발명의 제6의 양태는, 제1∼5의 어느 하나의 양태에 있어서, 상기 커버 헤드가, 상기 고정판의 상기 액체 분사 헤드와 반대측의 면에 접합되지 않고 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛에 있다.
이러한 제6의 양태에서는, 커버 헤드가 고정판에 접합되어 있지 않아도, 고정판에 의하여 액체 분사 헤드로의 액체의 침입을 방지할 수 있다.
본 발명의 제7의 양태는, 제1∼5의 어느 하나의 양태에 있어서, 상기 커버 헤드가, 상기 고정판의 상기 액체 분사 헤드와 반대측의 면의 적어도 상기 노즐 열의 양단부측에 접합되어 있는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛에 있다.
이러한 제7의 양태에서는, 커버 헤드와 고정판과의 단차를 감소시켜서, 액체 방울 토출면의 와이핑이나 흡인 동작 등을 행하여도, 액체 방울 토출면에 액체가 잔류하는 것을 확실하게 방지할 수 있다.
본 발명의 제8의 양태는, 제1∼7의 어느 하나의 양태에 있어서, 상기 커버 헤드는, 상기 액체 방울 토출면의 주연부에 뻗어 설치된 측벽부를 갖는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛에 있다.
이러한 제8의 양태에서는, 측벽부에 의하여 액체 분사 헤드의 외주측으로부터의 액체의 침입을 방지할 수 있고, 액체 분사 헤드의 액체에 의한 열화 및 파괴를 방지할 수 있다.
본 발명의 제9의 양태는, 제8의 양태에 있어서, 상기 측벽부가, 상기 액체 방울 토출면의 주연부에 걸쳐서 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛에 있다.
이러한 제9의 양태에서는, 액체가 액체 분사 헤드의 외주측으로부터의 침입을 확실하게 방지할 수 있다.
본 발명의 제10의 양태는, 제1∼9의 어느 하나의 양태에 있어서, 상기 커버 헤드에는, 다른 부재에 위치 결정 고정되는 고정 구멍이 설치되어 있는 동시에, 상기 고정 구멍과 복수의 상기 노즐 열과의 위치 결정에 의하여 상기 커버 헤드와 상기 액체 분사 헤드가 접합되어 있는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛에 있다.
이러한 제10의 양태에서는, 고정 구멍과 복수의 노즐 열을 위치 결정 고정하는 것으로, 커버 헤드를 고정하는 다른 부재와 복수의 노즐 열과의 위치 결정을 용 이하게 또한 고정밀도로 행할 수 있다.
본 발명의 제11의 양태는, 제10의 양태에 있어서, 상기 헤드 케이스를 지지하는 지지 부재를 구비하고, 상기 커버 헤드의 상기 고정 구멍이 상기 지지 부재에 위치 결정 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛에 있다.
이러한 제11의 양태에서는, 지지 부재와 복수의 노즐 열과의 위치 결정을 고정밀도로 행할 수 있다.
본 발명의 제12의 양태는, 제10의 양태에 있어서, 상기 헤드 케이스를 지지함과 동시에 주사 방향으로 이동하는 캐리지에 고정되는 지지 부재를 구비하고, 상기 커버 헤드의 상기 고정 구멍이 상기 캐리지에 위치 결정 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛에 있다.
이러한 제12의 양태에서는, 캐리지와 복수의 노즐 열과의 위치 결정을 고정밀도로 행할 수 있고, 인쇄 품질을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 제13의 양태는, 제1∼12의 어느 하나의 양태에 있어서, 상기 액체 분사 헤드의 상기 액체 방울 토출면에는, 발수막이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛에 있다.
이러한 제13의 양태에서는, 액체 방울 토출면에 발수막을 설치함으로써, 액체 방울의 발수성을 향상시키고 액체 방울 토출면의 오염을 방지할 수 있다.
본 발명의 제14의 양태는, 제13의 양태에 있어서, 상기 발수막이, 상기 액체 방울 토출면의 상기 노출 개구부에 의하여 노출한 영역에만 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛에 있다.
이러한 제14의 양태에서는, 발수막에 의하여 커버 헤드와 액체 방울 토출면과의 접합성을 열화시키지 않고 양자를 접합할 수 있다.
본 발명의 제15의 양태는, 제1∼14의 어느 하나의 양태에 있어서, 상기 고정판이 평판으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛에 있다.
이러한 제15의 양태에서는, 평판으로 이루어지는 고정판에 액체 분사 헤드를 위치 결정 고정하는 것으로, 액체 분사 헤드의 핸들링이 방해받는 일 없이, 용이하게 또한 고정밀도로 노즐 열의 위치 결정을 행할 수가 있다. 또, 액체 분사 헤드를 평판으로 이루어지는 고정판에 접합시켜서 고정하는 것으로, 복수의 액체 방울 토출 헤드의 액체 방울 토출 방향의 위치 결정이 행해지기 때문에, 복수의 액체 방울 토출 헤드의 잉크 방울 토출 방향의 상대적인 위치 결정을 행할 필요가 없고, 액체 방울의 착탄 위치 불량을 확실하게 방지할 수 있다.
본 발명의 제16의 양태는, 제1∼15의 어느 하나의 양태의 액체 분사 헤드 유닛을 구비하는 것을 특징으로 하는 액체 분사 장치에 있다.
이러한 제16의 양태에서는, 인쇄 품질 및 신뢰성을 향상시킨 액체 분사 장치를 실현할 수 있다.
본 발명의 제17의 양태는, 액체 방울을 토출하는 병설된 노즐 개구로 이루어지는 노즐 열을 갖는 동시에, 액체 공급구측이 헤드 케이스에 고정되는 액체 분사 헤드를, 상기 노즐 개구를 노출하는 노출 개구부를 구획 형성함과 동시에 상기 액체 분사 헤드의 액체 방울 토출면의 적어도 상기 노즐 열의 양단부측에 접합되는 접합부를 갖는 고정판에 위치 결정하며, 상기 접합부와 액체 방울 토출면을 접합하 는 것으로, 복수의 상기 액체 분사 헤드를 공통의 상기 고정판에 위치 결정 고정한 후, 상기 액체 방울 토출면측에 커버 헤드를 설치하는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛의 제조 방법에 있다.
이러한 제17의 양태에서는, 고정판과 복수의 노즐 열을 고정밀도로 위치 결정하고 양자를 접합할 수 있다.
<발명을 실시하기 위한 최선의 형태>
이하에 본 발명을 실시 형태에 근거하여 상세히 설명한다.
(실시 형태 1)
도 1은, 본 발명의 실시 형태 1에 관련된 액체 분사 헤드 유닛의 일례인 잉크젯식 기록 헤드 유닛을 나타내는 분해 사시도이고, 도 2는, 잉크젯식 기록 헤드 유닛의 조립 사시도이며, 도 3은 그 주요 부분 단면도이다. 도 1에 나타낸 것처럼, 잉크젯식 기록 헤드 유닛(200)(이하, 헤드 유닛(200)이라 한다)을 구성하는 지지 부재인 카트리지 케이스(210)는, 잉크 공급 수단인 잉크 카트리지(도시하지 않음)가 각각 장착되는 카트리지 장착부(211)를 갖는다. 예를 들면, 본 실시 형태에서는, 잉크 카트리지는 블랙 및 3색의 컬러 잉크가 충전된 별체로 구성되며, 카트리지 케이스(210)에는, 각 색의 잉크 카트리지가 각각 장착된다. 또, 카트리지 케이스(210)의 바닥면에는, 도 3에 나타낸 것처럼 일단이 각 카트리지 장착부(211)에 개구되고, 타단이 후술하는 헤드 케이스 측에 개구되는 복수의 잉크 연통로(212)가 설치되어 있다. 또한, 카트리지 장착부(211)의 잉크 연통로(212)의 개구 부분에는, 잉크 카트리지의 잉크 공급구에 삽입되는 잉크 공급침(213)이, 잉크 내의 기포나 이물을 제거하기 위해 잉크 연통로(212)에 형성된 필터(도시하지 않음)를 통해서 고정되어 있다.
또, 이와 같은 카트리지 케이스(210)의 저면측에는, 복수의 압전 소자(300)를 갖는 동시에, 카트리지 케이스(210)와 반대측의 단면에 압전 소자(300)의 구동에 의하여 노즐 개구(21)로부터 잉크 방울을 토출하는 액체 분사 헤드의 일례인 잉크젯식 기록 헤드(220)가 고정되는 헤드 케이스(230)를 갖는다. 본 실시 형태에서는, 잉크 카트리지의 각 색의 잉크를 토출하는 잉크젯식 기록 헤드(220)가 잉크색마다 대응하여 복수 설치되며, 헤드 케이스(230)도 각 잉크젯식 기록 헤드(220)에 대응하여 각각 독립하여 복수 설치되어 있다.
여기서, 카트리지 케이스(210)에 탑재되는 본 실시 형태의 잉크젯식 기록 헤드(220) 및 헤드 케이스(230)에 대하여 설명한다. 도 4는 잉크젯식 기록 헤드 및 헤드 케이스의 분해 사시도이고, 도 5는 잉크젯식 기록 헤드 및 헤드 케이스의 단면도이다. 도 4 및 도 5에 나타낸 것처럼, 잉크젯식 기록 헤드(220)를 구성하는 유로 형성 기판(10)은, 본 실시 형태에서는 실리콘 단결정 기판으로 이루어지며, 그 한쪽면에는 미리 열산화에 의하여 형성한 이산화 실리콘으로 이루어지는 탄성막(50)이 형성되어 있다. 이 유로 형성 기판(10)에는, 그 다른 쪽 면측으로부터 이방성 에칭함으로써, 복수의 격벽에 의하여 구획된 압력 발생실(12)이, 폭방향으로 병설된 열이 2열 형성되어 있다. 또, 각 열의 압력 발생실(12)의 길이 방향 외측에는, 후술하는 리저버 형성 기판(30)에 설치되는 리저버부(31)와 연통되며, 각 압력 발생실(12)의 공통의 잉크실로 되는 리저버(100)를 구성하는 연통부(13)가 형성되어 있다. 또, 연통부(13)는 잉크 공급로(14)를 통하여 각 압력 발생실(12)의 길이 방향 일단부와 각각 연통되어 있다.
또, 유로 형성 기판(10)의 개구면측에는, 각 압력 발생실(12)의 잉크 공급로(14)와 반대측에서 연통되는 노즐 개구(21)가 천공 설치된 노즐 플레이트(20)가 접착제나 열용착 필름 등을 통하여 고착되어 있다. 즉, 본 실시 형태에서는, 하나의 잉크젯식 기록 헤드에 노즐 개구(21)가 병설된 노즐 열(21A)이 2열 설치되어 있다. 또한, 노즐 플레이트(20)는, 두께가 예를 들면 0.01∼1㎜로, 선팽창 계수가 300℃ 이하에서, 예를 들면 2.5∼4.5 [10-6/℃]인 유리 세라믹스, 실리콘 단결정 기판 또는 스테인리스 강 등으로 이루어진다.
한편, 유로 형성 기판(10)의 개구면과 반대측에는, 탄성막(50) 위에 금속으로 이루어지는 하부 전극막과, 티탄산 지르콘 산연(PZT) 등으로 이루어지는 압전체층과, 금속으로 이루어지는 상부 전극막을 순차적으로 적층하는 것으로 형성된 압전 소자(300)가 형성되어 있다. 이와 같은 압전 소자(300)가 형성된 유로 형성 기판(10) 위에는, 리저버(100)의 적어도 일부를 구성하는 리저버부(31)를 갖는 리저버 형성 기판(30)이 접합되어 있다. 이 리저버부(31)는, 본 실시 형태에서는 리저버 형성 기판(30)을 두께 방향으로 관통하여 압력 발생실(12)의 폭방향에 걸쳐 형성되어 있고, 위에서 설명한 바와 같이 유로 형성 기판(10)의 연통부(13)와 연통되며 각 압력 발생실(12)의 공통의 잉크실로 되는 리저버(100)를 구성하고 있다.
또, 리저버 형성 기판(30)의 압전 소자(300)에 대향하는 영역에는, 압전 소자(300)의 운동을 저해하지 않을 정도의 공간을 갖는 압전 소자 유지부(32)가 설치 되어 있다. 이와 같은 리저버 형성 기판(30)으로서는 유리, 세라믹, 금속, 플라스틱 등을 들 수 있으나, 유로 형성 기판(10)의 열팽창률과 거의 동일한 재료를 사용하는 것이 바람직하고, 본 실시 형태에서는, 유로 형성 기판(10)과 동일 재료의 실리콘 단결정 기판을 사용하여 형성하였다.
또한, 리저버 형성 기판(30) 위에는 각 압전 소자(300)를 구동하기 위한 구동 IC(110)가 설치되어 있다. 이 구동 IC(110)의 각 단자는, 도시하지 않은 본딩 와이어 등을 통해서 각 압전 소자(300)의 개별 전극으로부터 인출된 인출 배선과 접속되어 있다. 그리고, 구동 IC(110)의 각 단자에는 도 1에 나타낸 것 같은, 플렉시블 프린트 케이블(FPC) 등 외부 배선(111)을 통하여 외부와 접속되며, 외부로부터 외부 배선(111)을 통하여 인쇄 신호 등의 각종 신호를 수신하도록 되어 있다.
또, 이와 같은 리저버 형성 기판(30) 위에는, 컴플라이언스 기판(40)이 접합되어 있다. 컴플라이언스 기판(40)의 리저버(100)에 대향하는 영역에는, 리저버(100)에 잉크를 공급하기 위한 본원 발명의 청구범위 제1항에 기재되어 있는 액체 공급구의 일례인 잉크 도입구(44)가 두께 방향으로 관통하는 것으로 형성되어 있다. 또, 컴플라이언스 기판(40)의 리저버(100)에 대향하는 영역의 잉크 도입구(44) 이외의 영역은, 두께 방향으로 얇게 형성된 가요부(43)로 되어 있고, 리저버(100)는 가요부(43)에 의하여 봉지되어 있다. 이 가요부(43)에 의하여, 리저버(100) 안에 컴플라이언스를 주고 있다.
이와 같이, 본 실시 형태의 잉크젯식 기록 헤드(220)는 노즐 플레이트(20), 유로 형성 기판(10), 리저버 형성 기판(30) 및 컴플라이언스 기판(40)의 4개의 기판으로 구성되어 있다. 그리고, 이와 같은 잉크젯식 기록 헤드(220)의 컴플라이언 스 기판(40) 위에는, 잉크 도입구(44)에 연통되는 동시에 카트리지 케이스(210)의 잉크 연통로(212)에 연통되며, 카트리지 케이스(210)로부터의 잉크를 잉크 도입구(44)에 공급하는 잉크 공급 연통로(231)가 설치된 헤드 케이스(230)가 설치되어 있다. 이 헤드 케이스(230)에는, 가요부(43)에 대향하는 영역에 凹부(232)가 형성되며, 가요부(43)의 휨변형이 적절히 행해지도록 되어 있다. 또, 헤드 케이스(230)에는 리저버 형성 기판(30) 위에 설치된 구동 IC(110)에 대향하는 영역에 두께 방향으로 관통한 구동 IC 유지부(233)가 설치되어 있고, 외부 배선(111)은 구동 IC 유지부(233)를 삽통하여 구동 IC(110)와 접속되어 있다.
이와 같은 본 실시 형태의 잉크젯식 기록 헤드(220)는, 잉크 카트리지로부터의 잉크를 잉크 연통로(212) 및 잉크 공급 연통로(231)를 통해서 잉크 도입구(44)로부터 수용하고, 리저버(100)로부터 노즐 개구(21)에 이르기까지 내부를 잉크로 채운 후, 구동 IC(110)로부터의 기록 신호에 따라, 압력 발생실(12)에 대응하는 각각의 압전 소자(300)에 전압을 인가하고, 탄성막(50) 및 압전 소자(300)를 휨변형시킴으로써, 각 압력 발생실(12) 내의 압력이 높아져서 노즐 개구(21)로부터 잉크 방울을 토출한다.
이와 같은 잉크젯식 기록 헤드(220)를 구성하는 각 부재 및 헤드 케이스(230)에는, 조립시에 각 부재를 위치 결정하기 위한 핀이 삽입되는 핀 삽입 구멍(234)이 모서리부의 2개소에 설치되어 있다. 그리고, 핀 삽입 구멍(234)에 핀을 삽입하고 각 부재의 상대적인 위치 결정을 행하면서 부재 끼리를 접합하는 것으로, 잉크젯식 기록 헤드(220) 및 헤드 케이스(230)가 일체적으로 형성된다.
또한, 상술한 잉크젯식 기록 헤드(220)는 한 장의 실리콘 웨이퍼 위에 다수의 칩을 동시에 형성하고, 노즐 플레이트(20) 및 컴플라이언스 기판(40)을 접착하여 일체화하고, 그 후 도 4에 나타내는 것과 같은 하나의 칩 사이즈의 유로 형성 기판(10)마다 분할함으로써 잉크젯식 기록 헤드(220)로 된다.
이와 같은 잉크젯식 기록 헤드(220) 및 헤드 케이스(230)는, 상술한 카트리지 케이스(210)에 노즐 열(21A)의 병렬 방향으로 소정의 간격으로 4개 고정되어 있다. 즉, 본 실시 형태의 헤드 유닛(200)에는, 노즐 열(21A)이 8열 설치되어 있는 것으로 된다. 이와 같이 복수의 잉크젯식 기록 헤드(220)를 사용하여 병설된 노즐 개구(21)로 이루어지는 노즐 열(21A)의 다열화를 도모하는 것으로, 하나의 잉크젯식 기록 헤드(220)에 노즐 열(21A)을 다열 형성하는 것에 비하여 수율의 저하를 방지할 수 있다. 또, 노즐 열(21A)의 다열화를 도모하기 위해 복수의 잉크젯식 기록 헤드(220)를 사용하는 것으로, 1장의 실리콘 웨이퍼로부터 형성할 수 있는 잉크젯식 기록 헤드(220)의 개수를 증대시킬 수 있고, 실리콘 웨이퍼의 쓸데없는 영역을 감소시켜서 제조 비용을 절감할 수 있다.
또, 이와 같은 4개의 잉크젯식 기록 헤드(220)는, 도 1 및 도 3에 나타낸 것처럼, 복수의 잉크젯식 기록 헤드(220)의 잉크 방울 토출면에 접합된 공통의 고정판(250)에 의하여 위치 결정되어서 지지되어 있다. 고정판(250)은 평판으로 이루어지며, 노즐 개구(21)를 노출하는 노출 개구부(251)와, 노출 개구부(251)를 구획 형성함과 동시에 잉크젯식 기록 헤드(220)의 잉크 방울 토출면의 적어도 노즐 열(21A)의 양단부측에 접합되는 접합부(252)를 구비한다.
접합부(252)는, 본 실시 형태에서는 복수의 잉크젯식 기록 헤드(220)에 걸쳐서 본원 발명의 청구범위 제1항에 기재된 액체 방울 토출면의 일례인 잉크 방울 토출면의 외주에 따라 설치된 고정용 틀부(253)와, 인접하는 잉크젯식 기록 헤드(220)의 사이에 뻗어 설치되며 노출 개구부(251)를 분할하는 고정용 빔부(254)로 구성되며, 고정용 틀부(253) 및 고정용 빔부(254)로 이루어지는 접합부(252)가 복수의 잉크젯식 기록 헤드(220)의 잉크 방울 토출면에 동시에 접합되어 있다. 또, 접합부(252)의 고정용 틀부(253)는, 잉크젯식 기록 헤드(220)의 제조시에 각 부재를 위치 결정하는 핀 삽입 구멍(234)을 막도록 형성되어 있다.
이와 같은 고정판(250)의 재료로서는, 예를 들면 스테인리스 강 등의 금속, 유리 세라믹스 또는 실리콘 단결정판 등을 들 수 있다. 또한, 고정판(250)은 노즐 플레이트(20)와의 열팽창의 차이에 의한 변형을 방지하기 위해, 노즐 플레이트(20)와 열팽창 계수가 동일한 재료를 사용하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 노즐 플레이트(20)가 실리콘 단결정판으로 형성되어 있을 때는, 고정판(250)을 실리콘 단결정판으로 형성하는 것이 매우 적합하다.
또, 고정판(250)은 얇게 형성하는 것이 바람직하고, 후술하는 커버 헤드(240)보다도 얇게 하는 것이 매우 적합하다. 이것은, 예를 들면 고정판(250)을 두껍게 하면, 잉크젯식 기록 헤드(220)의 노즐 개구(21)와 위치 결정 치구(400)의 얼라인먼트 마크(401)와의 거리가 멀어지고, 위치 결정 정밀도를 높이는 것이 곤란해짐과 동시에, 노즐 플레이트(20)의 잉크 방울 토출면을 와이핑 할 때에 고정용 빔부(254)의 사이 등에 잉크가 잔류하기 쉽기 때문이다. 즉, 고정판(250)을 얇게 형성하는 것으로, 잉크젯식 기록 헤드(220)의 노즐 개구(21)와 위치 결정 치구(400) 의 얼라인먼트 마크(401)와의 거리를 단축하고, 위치 맞춤을 용이하게 또한 고정밀도로 행할 수 있는 동시에, 와이핑시에 잉크가 노즐 플레이트(20)의 잉크 방울 토출면에 잔류하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 본 실시 형태에서는, 고정판(250)의 두께를 0.1㎜로 하였다. 또, 고정판(250)과 노즐 플레이트(20)와의 접합은 특별히 한정되지는 않으며, 예를 들면 열경화성의 에폭시계 접착제나, 자외선 경화형의 접착제 등에 의한 접착을 들 수 있다.
이와 같이, 고정판(250)이 고정용 빔부(254)에 의하여 인접하는 잉크젯식 기록 헤드(220)의 사이를 막고 있기 때문에, 인접하는 잉크젯식 기록 헤드(220)의 사이에 잉크가 침입하는 일이 없고, 압전 소자(300)나 구동 IC(110) 등의 잉크젯식 기록 헤드(220)의 잉크에 의한 열화 및 파괴를 방지할 수 있다. 또, 잉크젯식 기록 헤드(220)의 잉크 방울 토출면과 고정판(250)과의 사이는, 접착제에 의하여 간극 없이 접착되어 있기 때문에, 간극에 피기록 매체가 들어가는 것을 방지하여 고정판(250)의 변형 및 종이 잼을 방지할 수 있다.
또, 이와 같은 고정판(250)에는 복수의 잉크젯식 기록 헤드(220)가 위치 결정 고정되어 있고, 이와 같은 위치 결정은, 예를 들면 유리 등의 투과성을 갖는 판상 부재로 이루어지는 위치 결정 치구를 사용하여 행할 수 있다. 여기서, 위치 결정 치구를 사용한 고정판(250)과 잉크젯식 기록 헤드(220)와의 제조 방법에 대하여 설명한다. 또, 도 6은 고정판과 잉크젯식 기록 헤드와의 제조 공정을 나타내는 평면도이다.
도 6의 (a)에 나타내는 바와 같이, 위치 결정 치구(400)는 유리 등의 투과성 을 갖는 판상 부재로 이루어지며, 각 노즐 열(21A)의 소정의 노즐 개구(21)와 위치 결정하는 얼라인먼트 마크(401)가 소정 위치에 설치되어 있다. 먼저, 도 6의 (b)에 나타내는 바와 같이, 위치 결정 치구(400)의 외주와 고정판(250)과의 외주를 맞추는 것으로, 위치 결정 치구(400)에 고정판(250)을 위치 결정한다. 이 때, 위치 결정 치구(400)의 외주는, 고정판(250)의 외주와 동일한 크기로 설정되며, 얼라인먼트 마크(401)는 외주에 대하여 소정 위치에 설정되어 있다.
다음에, 도 6의 (c)에 나타내는 바와 같이, 위치 결정 치구(400)를 고정판(250)과는 반대측으로부터 투시하고, 얼라인먼트 마크(401)에 첫 번째의 잉크젯식 기록 헤드(220)의 노즐 열(21A)의 노즐 개구(21)를 위치 결정한다. 이 때, 도시하지는 않으나, 미리 고정판(250)의 잉크젯식 기록 헤드(220)와 접합되는 접합면에 접착제를 도포하고, 노즐 열(21A)을 위치 결정하는 동시에 첫 번째의 잉크젯식 기록 헤드(220)와 고정판(250)을 접합한다.
또한, 예를 들면 커버 헤드(240)에 직접 잉크젯식 기록 헤드(220)를 고정하면, 커버 헤드(240)는 잉크젯식 기록 헤드(220)를 캡핑이나 와이핑 등의 충격으로부터 보호하기 위해 얇은 재료로 형성할 수 없고, 잉크젯식 기록 헤드(220)의 노즐 개구(21)와 얼라인먼트 마크(401)와의 거리가 멀어지고 만다. 이와 같이 노즐 개구(21)와 얼라인먼트 마크(401)와의 거리가 멀면, 위치 결정하기 어렵고 위치 결정 정밀도를 높일 수 없다. 하지만, 본 실시 형태에서는, 잉크젯식 기록 헤드(220)를 고정판(250)에 위치 결정 고정하기 위해, 고정판(250)을 얇게 형성할 수 있다. 이것에 의해, 노즐 개구(21)와 얼라인먼트 마크(401)와의 거리를 단축할 수 있고, 노 즐 개구(21)와 얼라인먼트 마크(401)와의 위치 결정을 용이하게 또한 고정밀도로 행할 수 있다.
또, 커버 헤드(240)는, 잉크젯식 기록 헤드(220)를 충격 등으로부터 보호하기 위해 잉크젯식 기록 헤드(220)를 덮는 것과 같은 상자 형상으로 형성되어 있다. 이 때문에, 예를 들면 잉크젯식 기록 헤드(220)를 직접 커버 헤드(240)에 위치 결정 고정하면, 커버 헤드(240) 내에서 잉크젯식 기록 헤드(220)의 핸들링이 나쁘고, 잉크젯식 기록 헤드(220)의 위치 결정을 고정밀도로 행하는 것은 곤란하다. 또, 가령 커버 헤드(240) 내에서의 잉크젯식 기록 헤드(220)의 핸들링을 좋게 하기 위해, 잉크젯식 기록 헤드(220)를 커버 헤드(240)의 측벽부(245)로부터 돌출하는 것과 같은 크기로 형성했다고 해도, 잉크젯식 기록 헤드(220)가 커버 헤드(240)로 덮이지 않고, 커버 헤드(240)가 잉크젯식 기록 헤드(220)를 보호할 수 없는 동시에, 잉크젯식 기록 헤드(220)가 대형화되고 만다. 이에 대하여, 본 실시 형태에서는 잉크젯식 기록 헤드(220)를 평판의 고정판(250)에 고정하기 위해, 위치 결정시에 잉크젯식 기록 헤드(220)의 핸들링을 방해하는 일 없이, 잉크젯식 기록 헤드(220)의 위치 결정을 고정밀도로 행할 수 있다.
또한, 고정판(250)과 잉크젯식 기록 헤드(220)를 접합하는 접착제로서는, 위에서 설명한 바와 같이 열경화성의 접착제나, 자외선 경화형의 접착제를 사용할 수 있다. 여기서, 열경화성의 접착제를 사용하는 경우, 고정판(250)에 접착제를 도포한 후, 고정판(250)과 잉크젯식 기록 헤드(220)를 서로 접합시켜서, 소정의 압력으로 가압하면서 접착제를 경화시키는 것으로 양자를 접합한다. 한편, 자외선 경화형 의 접착제를 사용하는 경우, 고정판(250)의 접합면에 접착제를 도포한 후, 고정판(250)과 잉크젯식 기록 헤드(220)를 접합시킨 양태에서 자외선을 조사하여 접착제를 경화시키는 것으로 양자를 접합한다. 이 때, 자외선 경화형 접착제는, 열경화성 접착제와 같이 고정판(250)과 잉크젯식 기록 헤드(220)를 소정의 압력으로 가압하면서 경화시킬 필요가 없고, 가압함으로써 잉크젯식 기록 헤드(220)와 고정판(250)과의 위치 어긋남을 방지하여 양자를 고정밀도로 접합할 수 있다. 또, 자외선 경화형의 접착제를 사용한 접합에서는, 접합 강도가 비교적 약하기 때문에, 고정판(250)과 잉크젯식 기록 헤드(220)를 자외선 경화형 접착제로 접합한 후, 잉크젯식 기록 헤드(220)와 고정판(250)으로 구획 형성되는 모서리부 등의 주위를 열경화성 접착제로 고정하도록 하면 된다. 이것에 의해, 고정판(250)과 잉크젯식 기록 헤드(220)를 고정밀도로 또한 견고하게 접합하여 신뢰성을 높일 수 있다.
그 후, 도 6의 (c)에 나타내는 공정을 반복하여 행하는 것으로, 복수의 잉크젯식 기록 헤드(220)를 고정판(250)에 순차적으로 위치 결정 고정한다. 이와 같이, 고정판(250)과 복수의 노즐 열(21A)을 위치 결정하여 양자를 접합하는 것으로, 고정판(250)과 노즐 열(21A)의 위치 결정을 고정밀도로 행할 수 있다. 또, 인접하는 잉크젯식 기록 헤드(220)의 각 노즐 열(21A) 끼리의 상대적인 위치 결정을 고정밀도로 행할 수 있다. 또한, 잉크젯식 기록 헤드(220)를 평판으로 이루어지는 고정판(250)에 접촉시켜서 고정하기 때문에, 잉크젯식 기록 헤드(220)를 평판으로 이루어지는 고정판(250)에 고정하는 것만으로 복수의 잉크젯식 기록 헤드(220)의 잉크 방울 토출 방향의 상대적인 위치 결정이 행해진다. 이 때문에, 복수의 잉크젯식 기록 헤드(220)의 잉크 방울 토출 방향의 위치 맞춤을 행할 필요가 없고, 잉크 방울의 착탄 위치 불량을 확실하게 방지할 수 있다.
한편, 헤드 유닛(200)에는, 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 고정판(250)의 잉크젯식 기록 헤드(220)와는 반대측에, 복수의 잉크젯식 기록 헤드(220)를 덮도록 상자 형상을 갖는 커버 헤드(240)가 설치되어 있다. 이 커버 헤드(240)는, 고정판(250)의 노출 개구부(251)에 대응하여 개구부(241)가 설치된 고정부(242)와, 잉크젯식 기록 헤드(220)의 잉크 방울 토출면의 측면측에, 고정판(250)의 외주에 걸쳐서 굴곡하도록 설치된 측벽부(245)를 구비한다.
고정부(242)는, 본 실시 형태에서는 고정판(250)의 고정용 틀(253)에 대응하여 설치된 틀부(243)와, 고정판(250)의 고정용 빔부(254)에 대응하여 설치되고 개구부(241)를 분할하는 빔부(244)로 구성되어 있다. 또, 이와 같은 틀부(243) 및 빔부(244)로 이루어지는 고정부(242)는, 고정판(250)의 접합부(252)에 접합되어 있다.
이와 같이, 잉크젯식 기록 헤드(220)의 잉크 방울 토출면과 커버 헤드(240)와의 사이가 간극 없이 접합되어 있기 때문에, 간극에 피기록 매체가 들어가는 것을 방지하여 커버 헤드(240)의 변형 및 종이 잼을 방지할 수 있다. 또, 커버 헤드(240)의 측벽부(245)가 복수의 잉크젯식 기록 헤드(220)의 외주연부를 덮는 것으로, 잉크젯식 기록 헤드(220)의 측면에의 잉크의 침입을 확실하게 방지할 수 있다.
이와 같은 커버 헤드(240)로서는, 예를 들면 스테인리스 강 등의 금속재료를 들 수 있고, 금속판을 프레스 가공에 의하여 형성해도 되며, 성형에 의하여 형성하 도록 해도 된다. 또, 커버 헤드(240)를 도전성의 금속 재료로 하는 것으로 접지할 수 있다. 또한, 커버 헤드(240)는, 잉크젯식 기록 헤드(220)를 와이핑이나 캡핑 등의 충격으로부터 보호하기 위해 어느 정도의 강도가 필요하다. 이 때문에, 커버 헤드(240)는 비교적 두껍게 할 필요가 있다. 또, 본 실시 형태에서는, 커버 헤드(240)의 두께를 0.2㎜로 하였다.
또, 커버 헤드(240)와 고정판(250)과의 접합은 특별히 한정되지는 않으며, 예를 들면 열경화성의 에폭시계 접착제에 의한 접착을 들 수 있다.
또, 고정부(242)에는, 커버 헤드(240)를 다른 부재에 위치 결정 고정하기 위한 고정 구멍(247)이 설치된 플랜지부(246)가 설치되어 있다. 이 플랜지부(246)는, 측벽부(245)로부터 액체 방울 토출면의 면방향과 동일 방향으로 돌출하도록 굴곡되어 설치되어 있다. 본 실시 형태에서는, 커버 헤드(240)는 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 잉크젯식 기록 헤드(220) 및 헤드 케이스(230)를 지지하는 지지 부재인 카트리지 케이스(210)에 고정되어 있다.
상세하게는, 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 카트리지 케이스(210)에는, 잉크 방울 토출면측으로 돌출하고 커버 헤드(240)의 고정 구멍(247)에 삽입되는 돌기부(215)가 설치되어 있고, 이 돌기부(215)를 커버 헤드(240)의 고정 구멍(247)에 삽입함과 동시에, 돌기부(215)의 선단부를 가열하여 코킹하는 것으로, 카트리지 케이스(210)에 커버 헤드(240)가 고정되어 있다. 이와 같은 카트리지 케이스(210)에 설치된 돌기부(215)를 플랜지부(246)의 고정 구멍(247)보다 소경(小徑)의 외경으로 하는 것으로, 커버 헤드(240)를 잉크 방울 토출면의 면방향으로 위치 결정하여 카트리지 케이스(210)에 고정할 수 있다.
또, 이와 같은 커버 헤드(240)와 복수의 잉크젯식 기록 헤드(220)가 접합된 고정판(250)은, 커버 헤드(240)의 고정 구멍(247)과 복수의 노즐 열(21A)과의 위치 결정에 의하여 고정되어 있다. 여기서, 커버 헤드(240)의 고정 구멍(247)과 복수의 노즐 열(21A)과의 위치 결정은, 상술한 위치 결정 치구(400)를 사용하여 행할 수 있으나, 고정판(250)과 복수의 잉크젯식 기록 헤드(220)를 위치 결정 고정할 때에, 동시에 커버 헤드(240)를 위치 결정 고정하도록 해도 된다.
이와 같은 헤드 유닛(200)은, 잉크젯식 기록 장치에 탑재된다. 도 7은, 그 잉크젯식 기록 장치의 일례를 나타내는 개략도이다. 도 7에 나타내는 바와 같이, 잉크젯식 기록 헤드를 갖는 헤드 유닛(200)은, 잉크 공급 수단을 구성하는 카트리지(1A 및 1B)가 착탈 가능하게 설치되며, 이 헤드 유닛(200)을 탑재한 캐리지(3)는, 장치 본체(4)에 장착된 캐리지 축(5)에 축방향 이동이 자유롭게 설치되어 있다. 이 기록 헤드 유닛(1A 및 1B)은, 예를 들면 각각 블랙 잉크 조성물 및 컬러 잉크 조성물을 토출하는 것으로 하고 있다.
그리고, 구동 모터(6)의 구동력이 도시하지 않은 복수의 기어 및 타이밍 벨트(7)를 통해서 캐리지(3)에 전달되는 것으로, 헤드 유닛(200)을 탑재한 캐리지(3)는 캐리지 축(5)에 따라 이동된다. 한편, 장치 본체(4)에는 캐리지 축(5)에 따라 플래튼(8)이 설치되어 있고, 도시하지 않는 급지 롤러 등에 의하여 급지된 종이 등의 기록 매체인 기록 시트(S)가 플래튼(8) 위를 반송되도록 되어 있다.
(실시 형태 2)
도 8은 본 발명의 실시 형태 2에 관련된 잉크젯식 기록 헤드 유닛의 조립 사시도이고, 도 9는 잉크젯식 기록 헤드 유닛의 주요 부분 단면도이다. 도 8 및 도 9에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태의 헤드 유닛(200A)은 캐리지(3)에 커버 헤드(240A)와 카트리지 케이스(210A)가 고정되어 있다.
상세하게는, 캐리지(3)에는 카트리지 케이스(210A)가 나사 부재(216)를 통하여 고정되는 카트리지 케이스 지지부(3a)와, 커버 헤드(240A)가 고정되는 커버 헤드 지지부(3b)를 구비하고, 커버 헤드 지지부(3b)에는 커버 헤드(240A)의 플랜지부(246A)의 고정 구멍(247A)에 삽통되는 돌기부(3c)가 설치되어 있다. 또, 돌기부(3c)를 플랜지부(246A)의 고정 구멍(247A)에 삽통시킴과 동시에 돌기부(3c)의 선단부를 가열하여 코킹하는 것으로, 커버 헤드(240A)는 캐리지(3)에 고정되어 있다.
이와 같이, 고정 구멍(247A)과 노즐 열(21A)이 고정밀도로 위치 결정된 커버 헤드(240A)를, 고정 구멍(247A)을 통하여 직접 캐리지(3)에 고정하는 것으로, 캐리지(3)와 노즐 열(21A)과의 위치 결정을 용이하게 또한 고정밀도로 행할 수 있다. 또, 캐리지(3)와 노즐 열(21A)과의 위치 결정을 별도로 행할 필요가 없고, 제조 공정을 간략화하는 동시에 제조시간을 단축할 수 있다.
물론, 상술한 실시 형태 1과 동일하게, 커버 헤드(240A)를 잉크젯식 기록 헤드(220)의 잉크 방울 토출면에 접합하는 것으로, 잉크 방울 토출면에 잉크가 잔류하는 것을 방지할 수 있는 동시에, 잉크가 잉크젯식 기록 헤드(220)에 침입하는 일이 없고, 잉크젯식 기록 헤드(220)의 잉크에 의한 열화 및 파괴를 방지할 수 있다. 또, 잉크 방울 토출면과 커버 헤드(240A)의 사이에는 간극이 없기 때문에, 커버 헤 드의 변형 및 종이 잼을 방지할 수 있다.
(다른 실시 형태)
이상, 본 발명의 각 실시 형태를 설명하였으나, 본 발명은 상술한 것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 상술한 실시 형태 1 및 2의 노즐 플레이트(20)의 본원 발명의 청구범위 제1항에 기재된 액체 방울 토출면의 일례인 잉크 방울 토출면에는, 실제로는 발수성을 향상시킨 발수막이 형성되어 있다. 이 발수막으로서는, 특별히 한정되지는 않으나 예를 들면 금속막을 들 수 있다. 이와 같은 금속막은, 고정판(250)을 잉크 방울 토출면에 접합할 때에, 접착제의 접착력이 저하되어 버리기 때문에, 고정판(250)의 노출 개구부(251)에 의하여 노출한 영역에만 설치하는 것이 바람직하다. 또, 이와 같은 금속막은, 예를 들면 공석(共析) 도금에 의하여 소정의 두께로 고정밀도로 형성할 수 있다.
또, 상술한 실시 형태 1 및 2에서는, 고정판(250)의 접합부(252)에 고정용 틀부(253)와 고정용 빔부(254)를 설치하도록 하였으나, 이것에 한정되지 않고, 고정판(250)의 접합부(252)는 적어도 노즐 열(21A)의 양단측에 있으면 되며, 예를 들면 접합부(252)를 노즐 열(21A)의 양단측에만 설치한 경우에는, 인접하는 잉크젯식 기록 헤드(220)의 사이를 커버 헤드(240)로 덮도록 하면, 잉크가 인접하는 잉크젯식 기록 헤드(220)의 사이에 들어가는 일이 없고, 잉크젯식 기록 헤드(220)의 잉크에 의한 열화 및 파괴를 방지할 수 있다.
또한, 상술한 실시 형태 1 및 2에서는, 커버 헤드(240, 240A)를 고정판(250)의 잉크젯식 기록 헤드(220)와는 반대측의 면에 접합하도록 하였으나, 특히 이것에 한정되지 않으며, 예를 들면 커버 헤드(240)를 고정판(250)에 접합하지 않고, 소정 의 간격으로 되도록 설치하도록 해도 되며, 접촉하게 설치하도록 해도 된다. 어차피 고정판(250)에 복수의 잉크젯식 기록 헤드(220)가 위치 결정 고정되기 때문에, 복수의 노즐 열(21A)의 상대적인 위치 결정을 고정밀도로 행할 수 있다.
또, 상술한 실시 형태 1 및 2에서는, 커버 헤드(240, 240A)에 측벽부(245) 및 고정 구멍(247, 247A)을 갖는 플랜지부(246, 246A)를 설치하도록 하였으나, 측벽부(245) 및 고정 구멍(247, 247A)을 갖는 플랜지부(246, 246A)는 반드시 필요한 것은 아니며, 측벽부(245) 및 고정 구멍(247, 247A)을 갖는 플랜지부(246, 246A)가 없어도, 잉크 방울 토출면의 잉크 잔류를 방지할 수 있는 동시에, 커버 헤드에 노즐 열(21A)의 상대적인 위치 결정을 고정밀도로 행한 상태로 복수의 잉크젯식 기록 헤드를 용이하게 접합할 수 있다.
또, 상술한 실시 형태 1 및 2에서는, 휨진동형의 잉크젯식 기록 헤드(220)를 예시했으나, 이것에 한정되지 않으며, 예를 들면 압전 재료와 전극 형성재료를 교호적으로 적층시켜서 축방향으로 신축시키는 종(縱)진동형의 잉크젯식 기록 헤드나 발열 소자 등의 발열로 발생하는 거품에 의하여 잉크 방울을 토출시키는 잉크젯식 기록 헤드 등, 각종 구조의 잉크젯식 기록 헤드를 갖는 헤드 유닛에 응용할 수 있음은 말할 것도 없다.
또한, 액체 분사 헤드로서 잉크를 토출하는 잉크젯식 기록 헤드를 갖는 헤드 유닛 및 잉크젯식 기록 장치를 일례로 하여 설명하였으나, 본 발명은, 넓게 액체 분사 헤드를 갖는 액체 분사 헤드 유닛 및 액체 분사 장치 전반을 대상으로 한 것 이다. 액체 분사 헤드로서는, 예를 들면 프린터 등의 화상 기록 장치에 사용되는 기록 헤드, 액정 디스플레이 등의 컬러 필터의 제조에 사용되는 색재 분사 헤드, 유기 EL 디스플레이, FED(면 발광 디스플레이) 등의 전극 형성에 사용되는 전극 재료 분사 헤드, 바이오 칩 제조에 사용되는 생체 유기물 분사 헤드 등을 들 수 있다.

Claims (17)

  1. 액체 방울을 토출하는 병설된 노즐 개구로 이루어지는 노즐 열을 갖는 액체 분사 헤드와, 이 액체 분사 헤드의 액체 공급구측에 고정되는 헤드 케이스와, 상기 액체 분사 헤드의 액체 방울 토출면측에 설치된 커버 헤드를 구비하는 동시에,
    상기 액체 분사 헤드와 상기 커버 헤드의 사이에, 상기 노즐 개구를 노출시키는 노출 개구부를 구획 형성함과 동시에 액체 방울 토출면의 적어도 상기 노즐 열의 양단부측에 접합되는 접합부를 갖는 고정판을 구비하고, 상기 액체 분사 헤드의 액체 방울 토출면과 상기 고정판을 접합함으로써 복수의 액체 분사 헤드가 공통의 고정판에 위치 결정 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 접합부가, 상기 액체 방울 토출면의 외주에 따라 설치된 고정용 틀을 갖는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 접합부가, 인접하는 상기 액체 분사 헤드의 사이에 뻗도록 설치되어 상기 노출 개구부를 분할하는 고정용 빔부를 갖는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 액체 분사 헤드에는, 해당 액체 분사 헤드를 구성하는 각 부재를 조립할 때에 위치 결정하는 핀이 삽입되는 핀 삽입 구멍이 설치되며, 상기 고정판이 상기 핀 삽입 구멍을 막고 있는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 고정판이, 금속재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 커버 헤드가, 상기 고정판의 상기 액체 분사 헤드와는 반대측의 면에 접합되지 않고 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 커버 헤드가, 상기 고정판의 상기 액체 분사 헤드와 반대측의 면의 적어도 상기 노즐 열의 양단부측에 접합되어 있는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 커버 헤드는, 상기 액체 방울 토출면의 주연부에 뻗어 설치된 측벽부를 갖는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 측벽부가, 상기 액체 방울 토출면의 주연부에 걸쳐 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 커버 헤드에는, 다른 부재에 위치 결정 고정되는 고정 구멍이 설치되어 있는 동시에, 상기 고정 구멍과 복수의 상기 노즐 열과의 위치 결정에 의하여 상기 커버 헤드와 상기 액체 분사 헤드가 접합되어 있는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 헤드 케이스를 지지하는 지지 부재를 구비하고, 상기 커버 헤드의 상기 고정 구멍이 상기 지지 부재에 위치 결정 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛.
  12. 제 10항에 있어서,
    상기 헤드 케이스를 지지하는 동시에 주사 방향으로 이동하는 캐리지에 고정되는 지지 부재를 구비하고, 상기 커버 헤드의 상기 고정 구멍이 상기 캐리지에 위 치 결정 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛.
  13. 제 1항에 있어서,
    상기 액체 분사 헤드의 상기 액체 방울 토출면에는, 발수막이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 발수막이, 상기 액체 방울 토출면의 상기 노출 개구부에 의하여 노출한 영역에만 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛.
  15. 제 1항에 있어서,
    상기 고정판이 평판으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛.
  16. 제 1항 내지 제 15항 중 어느 한 항의 액체 분사 헤드 유닛을 구비하는 것을 특징으로 하는 액체 분사 장치.
  17. 액체 방울을 토출하는 병설된 노즐 개구로 이루어지는 노즐 열을 갖는 동시에, 액체 공급구측이 헤드 케이스에 고정되는 액체 분사 헤드를, 상기 노즐 개구를 노출하는 노출 개구부를 구획 형성함과 동시에 상기 액체 분사 헤드의 액체 방울 토출면의 적어도 상기 노즐 열의 양단부측에 접합되는 접합부를 갖는 고정판에 위치 결정하며, 상기 접합부와 액체 방울 토출면을 접합하는 것으로, 복수의 상기 액체 분사 헤드를 공통의 상기 고정판에 위치 결정 고정한 후, 상기 액체 방울 토출면측에 커버 헤드를 설치하는 것을 특징으로 하는 액체 분사 헤드 유닛의 제조 방법.
KR20040067133A 2003-08-27 2004-08-25 액체 분사 헤드 유닛 및 그 제조 방법과 액체 분사 장치 KR100639852B1 (ko)

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Families Citing this family (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4701795B2 (ja) * 2005-03-31 2011-06-15 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッドユニットの製造方法
JP4715304B2 (ja) * 2005-05-24 2011-07-06 セイコーエプソン株式会社 アライメント治具及び液体噴射ヘッドユニットの製造方法
JP4655760B2 (ja) * 2005-05-26 2011-03-23 セイコーエプソン株式会社 アライメント治具及びその製造方法並びに液体噴射ヘッドユニットの製造方法
JP4530161B2 (ja) * 2005-05-26 2010-08-25 セイコーエプソン株式会社 液体噴射装置
JP4973840B2 (ja) * 2005-08-31 2012-07-11 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法
JP4730531B2 (ja) 2005-09-13 2011-07-20 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP4835829B2 (ja) * 2005-10-05 2011-12-14 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP5050521B2 (ja) * 2006-01-19 2012-10-17 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP2007269012A (ja) * 2006-03-08 2007-10-18 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッド、及び、その組立方法
JP4882506B2 (ja) * 2006-05-19 2012-02-22 富士ゼロックス株式会社 液滴吐出装置
JP4991191B2 (ja) * 2006-06-30 2012-08-01 株式会社東芝 液滴噴射ヘッド及び液滴噴射装置
JP5263466B2 (ja) * 2006-09-14 2013-08-14 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッドユニット用アライメントマスク及び液体噴射ヘッドユニット用アライメント装置並びに液体噴射ヘッドユニットのアライメント方法
JP4341654B2 (ja) * 2006-09-14 2009-10-07 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッドユニットの製造方法
JP4363458B2 (ja) * 2007-05-10 2009-11-11 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置
JP4438821B2 (ja) 2007-05-15 2010-03-24 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP5187486B2 (ja) * 2007-07-05 2013-04-24 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッドユニットの製造方法
JP2009056601A (ja) * 2007-08-29 2009-03-19 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP5136752B2 (ja) 2007-08-30 2013-02-06 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP5257133B2 (ja) * 2009-02-25 2013-08-07 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP5532227B2 (ja) 2010-03-25 2014-06-25 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP5678586B2 (ja) 2010-11-04 2015-03-04 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法
JP5743068B2 (ja) * 2011-03-08 2015-07-01 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッドモジュール及び液体噴射装置
KR101332090B1 (ko) * 2011-07-28 2013-11-22 삼성전기주식회사 액적 분사 장치
JP6094036B2 (ja) * 2012-02-23 2017-03-15 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP6260096B2 (ja) * 2013-03-27 2018-01-17 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置
JP6323654B2 (ja) * 2013-03-28 2018-05-16 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置
JP6350792B2 (ja) * 2013-12-09 2018-07-04 セイコーエプソン株式会社 液体噴射装置及び液体噴射ヘッドユニット
JP6372261B2 (ja) 2014-09-05 2018-08-15 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置
NL2013931B1 (en) * 2014-12-05 2016-10-11 Spgprints B V Method for manufacturing a printing bar unit for a printing system, and a printing bar unit.
JP2016175188A (ja) 2015-03-18 2016-10-06 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
CN106335283B (zh) 2015-07-08 2019-10-15 精工爱普生株式会社 液体喷射头单元、液体喷射头组件、液体喷射装置以及液体喷射头单元的制造方法
JP2017105026A (ja) * 2015-12-08 2017-06-15 エスアイアイ・プリンテック株式会社 液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置および液体噴射ヘッドの製造方法

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02238947A (en) * 1989-03-13 1990-09-21 Fujitsu Ltd Heat fixing structure for ink jet printer
US5235352A (en) * 1991-08-16 1993-08-10 Compaq Computer Corporation High density ink jet printhead
US5907339A (en) * 1994-11-10 1999-05-25 Diagraph Corporation Ink jet printhead having solenoids controlling ink flow
TW426613B (en) 1996-01-23 2001-03-21 Seiko Epson Corp Ink jet printer head, its manufacturing method and ink
US6000784A (en) * 1997-03-11 1999-12-14 Ricoh Company, Ltd. Structure and method for mounting an ink jet head
JPH10258509A (ja) * 1997-03-19 1998-09-29 Fujitsu Ltd インクジェットヘッド及びその製造方法
JP3019037B2 (ja) * 1997-09-08 2000-03-13 日本電気株式会社 インクジェットプリンタのプリントヘッド
KR100269334B1 (ko) * 1998-09-02 2000-10-16 윤종용 반도체장치의 배선 형성방법
GB0003760D0 (en) * 2000-02-17 2000-04-05 Xaar Technology Ltd Droplet deposition apparatus
EP1205302B1 (en) * 2000-05-22 2010-11-10 Seiko Epson Corporation Head member and ink repellence treating method
JP2002160376A (ja) 2000-11-24 2002-06-04 Seiko Epson Corp インクジェット式記録ヘッド、及び、それを備えた画像記録装置
US6682171B2 (en) * 2001-02-13 2004-01-27 Seiko Epson Corporation Ink jet head unit and ink jet printing apparatus incorporating the same
US6863390B2 (en) * 2001-08-21 2005-03-08 Seiko Epson Corporation Head unit in ink jet printer
JP4078517B2 (ja) 2001-11-09 2008-04-23 ブラザー工業株式会社 インクジェットプリンタヘッド
CN1260065C (zh) * 2001-11-26 2006-06-21 索尼公司 排液设备以及排液方法
JP2004284255A (ja) 2003-03-24 2004-10-14 Fuji Xerox Co Ltd インクジェット記録装置
WO2004096556A2 (en) * 2003-04-28 2004-11-11 Matsushita Electric Industrial Co. Ltd. Nozzle head, line head using the same, and ink jet recording apparatus mounted with its line head

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