JP2003181352A - ヘッドユニット、そのセット方法および描画装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ｅｌ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ｐｄｐ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ｅｌの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法 - Google Patents

ヘッドユニット、そのセット方法および描画装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ｅｌ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ｐｄｐ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ｅｌの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数の機能液滴吐出ヘッドに対するケーブル
およびチューブの着脱作業を、適切かつ効率良く行うこ
とができるヘッドユニット、そのセット方法および描画
装置を提供することをその課題とする。 【解決手段】 キャリッジ４１に搭載され、メインケー
ブル５５が接続される複数の配線コネクタ１１３、およ
び一端を各機能液滴吐出ヘッド７に接続され他端を各配
線コネクタ１１３に接続される複数の個別ケーブル１１
４を有する配線接続アッセンブリ５３と、メインパイプ
５４が接続される複数の配管ジョイント８３、および一
端を各機能液滴吐出ヘッド７に接続され他端を各配管ジ
ョイント８３に接続される複数の個別パイプ８２を有す
る配管接続アッセンブリ５１とを備えたものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッドに代表される機能液滴吐出ヘッドの複数個を、キャ
リッジに搭載したヘッドユニット、そのセット方法およ
び描画装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ＥＬ
装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ装置
の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィ
ルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペーサ形成方
法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成
方法および光拡散体形成方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、大型のプリンタ等では、インクジ
ェットヘッド（機能液滴吐出ヘッド）の歩留まりを考慮
し、副走査方向の吐出ノズルの全並び（１ライン）を、
単一の機能液滴吐出ヘッドではなく、複数の機能液滴吐
出ヘッドで構成している。この場合、複数の機能液滴吐
出ヘッドは、単一のキャリッジに搭載され、ヘッドユニ
ットとしてプリンタの走査駆動系に取り付けられてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この種の機
能液滴吐出ヘッドは、そのノズル列から微小な液滴を精
度良く且つ選択的に吐出することができるため、液晶表
示装置や有機ＥＬ表示装置等のカラーフィルタの製造に
応用可能であると共に、各種の電子デバイスや光デバイ
ス等の製造装置への応用も期待されている。このような
応用技術を考慮すると、数多くの機能液滴吐出ヘッドを
単一のキャリッジに精度良く搭載したヘッドユニットが
必要となると同時に、吐出対象となる液体等によって
は、機能液滴吐出ヘッドの寿命が短くなり、機能液滴吐
出ヘッド（ヘッドユニット）の頻繁な交換も考慮する必
要がある。機能液滴吐出ヘッドの交換は、これに装置側
のケーブルやチューブが接続されていることから、これ
らケーブルおよびチューブの着脱作業が伴う。特に、数
多くの機能液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットで
は、機能液滴吐出ヘッドの個数分（厳密にはノズル列数
分）のケーブルおよびチューブの着脱作業が必要とな
り、この着脱作業が煩雑なものとなるだけでなく、接続
時にチューブから滴下した機能液がヘッド基板に付着し
ショートの原因になり、或いは機能液によっては腐食の
原因になることが想定される。また、装置自体にも、こ
の着脱作業のための作業スペースを確保する必要が生ず
る。
【０００４】本発明は、複数の機能液滴吐出ヘッドに対
するケーブルおよびチューブの着脱作業を、適切かつ効
率良く行うことができるヘッドユニット、そのセット方
法および描画装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有
機ＥＬ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ＰＤ
Ｐ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラ
ーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペーサ
形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジス
ト形成方法および光拡散体形成方法を提供することをそ
の課題としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のヘッドユニット
は、導入した機能液を吐出ノズルから選択的に吐出する
複数の機能液滴吐出ヘッドと、複数の機能液滴吐出ヘッ
ドを搭載するキャリッジとを備え、各機能液滴吐出ヘッ
ドに、ヘッドドライバに連なる複数のメインケーブルと
機能液タンクに連なる複数のメインパイプとが接続され
るヘッドユニットにおいて、キャリッジに搭載され、メ
インケーブルが接続される複数の配線コネクタ、および
一端を各機能液滴吐出ヘッドのヘッド基板に接続され他
端を各配線コネクタに接続される複数の個別ケーブルを
有する配線接続アッセンブリと、キャリッジに搭載さ
れ、メインパイプが接続される複数の配管ジョイント、
および一端を各機能液滴吐出ヘッドの機能液導入口に接
続され他端を各配管ジョイントに接続される複数の個別
パイプを有する配管接続アッセンブリとを備えたことを
特徴とする。
【０００６】この構成によれば、ヘッドドライバに連な
る各メインケーブルを、配線接続アッセンブリの各配線
コネクタに接続することにより、メインケーブルが、配
線接続アッセンブリの個別ケーブルを介して、各機能液
滴吐出ヘッドのヘッド基板に接続される。同様に、機能
液タンクに連なる各メインパイプを、配管接続アッセン
ブリの各配管ジョイントに接続することにより、メイン
パイプが、配管接続アッセンブリの個別パイプを介し
て、各機能液滴吐出ヘッドの機能液導入口に接続され
る。したがって、配線接続アッセンブリの配線コネクタ
および配管接続アッセンブリの配管ジョイントを、着脱
作業および機能液の漏れを考慮して配置することによ
り、メインケーブルおよびメインパイプの着脱作業を、
支障を生ずることなく簡単且つ円滑に行うことができ
る。
【０００７】この場合、複数の配線コネクタが、少なく
とも１箇所に集約配置されていることが、好ましい。同
様に、複数の配管ジョイントが、少なくとも１箇所に集
約配置されていることが、好ましい。
【０００８】この構成によれば、メインケーブルおよび
メインパイプの着脱作業を、１箇所で集中的に行うこと
ができ、メインケーブルおよびメインパイプの着脱作業
を効率良く行うことができる。
【０００９】これらの場合、配線接続アッセンブリは、
複数の個別ケーブルと複数の配線コネクタとを接続する
配線パターンが形成されると共に配線コネクタを取り付
けた中継基板を、更に有することが、好ましい。また、
配線パターンは、複数の個別ケーブルのうちの複数を一
括して各配線コネクタにそれぞれ接続していることが、
好ましい。
【００１０】この構成によれば、配線コネクタを接続し
易い位置に安定に固定することができると共に、配線コ
ネクタの数（ピン数は変わらず）を減らすことができ
る。
【００１１】これらの場合、中継基板は、キャリッジに
固定したスタンドを介して、複数の機能液滴吐出ヘッド
の上方に配設されていることが、好ましい。
【００１２】この構成によれば、中継基板と機能液滴吐
出ヘッドとの間隙に、配管接続アッセンブリを配設する
ことができると共に、中継基板と配管接続アッセンブリ
との干渉を防止することができ、メインケーブルおよび
メインパイプの着脱作業における作業スペースを容易に
確保することができる。
【００１３】これらの場合、各個別ケーブルは、一端
を、ヘッド側コネクタを介してヘッド基板に接続され、
他端を、中継側コネクタを介して中継基板に接続されて
いることが、好ましい。
【００１４】この構成によれば、個別ケーブルのヘッド
側コネクタおよび中継側コネクタにより、ヘッド基板と
中継基板とを簡単に接続することができる。
【００１５】この場合、各個別ケーブルは、フラットフ
レキシブルケーブルで構成され、ヘッド側コネクタと中
継側コネクタとは、相互に平行となる姿勢で配設されて
いることが、好ましい。
【００１６】この構成によれば、ヘッド基板に接続した
ヘッド側コネクタと、中継基板に接続した中継側コネク
タとが、平行となる姿勢で配設されているため、フラッ
トフレキシブルケーブルにねじれが生ずることがなく、
相互のコネクタ部分に無用な力が加わることがない。し
たがって、ホルダーレスのコネクタ（ノイズに強い）を
用いても、コネクタの脱落や接続不良を有効に防止する
ことができる。
【００１７】これらの場合、中継側コネクタは、中継基
板の上面に上向きに取り付けられ、各個別ケーブルは、
中継基板に形成した開口部を通って配線されていること
が、好ましい。
【００１８】この構成によれば、フラットフレキシブル
ケーブルを最短距離で配線することができ、且つ開口部
によりフラットフレキシブルケーブルの取り回しを安定
させることができる。
【００１９】これらの場合、配管接続アッセンブリは、
各機能液導入口に接続される複数の配管アダプタを介し
て、複数の個別パイプに接続されていることが、好まし
い。
【００２０】この構成によれば、配管アダプタにより、
機能液導入口と個別パイプとを適切に接続することがで
きると共に、着脱作業自体も簡単に行うことができる。
【００２１】この場合、複数の配管アダプタを一体に保
持するアダプタ保持部材を、更に有し、アダプタ保持部
材は、各配管アダプタを各機能液導入口に接続した状態
でキャリッジに固定されていることが、好ましい。
【００２２】この構成によれば、アダプタ保持部材によ
り複数の配管アダプタを一体に保持しておいて、これを
対応する複数の機能液導入口（機能液滴吐出ヘッド）に
一括して接続することができ、着脱作業を効率良く行う
ことができる。また、アダプタ保持部材がキャリッジに
固定されているため、配管アダプタを機能液滴吐出ヘッ
ドに支持する必要がなく、複数の配管アダプタを安定に
設置することができると共に機能液滴吐出ヘッドに無用
な外力が作用することがない。
【００２３】この場合、アダプタ保持部材には、各配管
アダプタを各機能液導入口に向かって付勢するばねが組
み込まれていることが、好ましい。
【００２４】この構成によれば、各配管アダプタを各機
能液導入口に押圧封止の形態で、すなわちワンタッチで
安定に接続することができる。
【００２５】これらの場合、複数の配管ジョイントを一
体に保持するジョイント保持部材を、更に有し、ジョイ
ント保持部材は、キャリッジの端部に固定されているこ
とが、好ましい。
【００２６】この構成によれば、ジョイント保持部材を
介して複数の配管ジョイントを安定に支持することがで
きると共に、メインパイプの配管ジョイントへの着脱を
安定に行うことができる。
【００２７】この場合、ヘッドユニットは、一方向にス
ライド移動させてセットされるようになっており、ジョ
イント保持部材は、複数の配管ジョイントをスライド方
向後方に向けた状態で、キャリッジにおけるスライド方
向後端部に固定されていることが、好ましい。
【００２８】この構成によれば、ヘッドユニットのスラ
イド方向手前側から、複数のメインパイプを連続して接
続（或いは離脱）することができ、着脱作業の効率化を
図ることができる。
【００２９】これらの場合、各個別パイプは、配管ジョ
イントから配管アダプタに至る経路において分岐してい
ることが、好ましい。
【００３０】この構成によれば、配管ジョイントの数を
減することができると共に、これに伴って、メインパイ
プの数および接続個所を少なくすることができる。
【００３１】これらの場合、キャリッジに固定された手
持ちするための一対のハンドルを、更に備えたことが、
好ましい。また、配線接続アッセンブリおよび配管接続
アッセンブリを覆うキャリッジカバーを、更に備えるこ
とが好ましい。
【００３２】この構成によれば、一対のハンドルを把持
してヘッドユニットを移動させることができ、ヘッドユ
ニットを簡単に持ち運びすることができる。また、持ち
運びの際に、構成部品の損傷等を有効に防止し且つ保護
することができる。
【００３３】本発明の他のヘッドユニットは、導入した
機能液を吐出ノズルから選択的に吐出する複数の機能液
滴吐出ヘッドと、複数の機能液滴吐出ヘッドを搭載する
キャリッジとを備え、各機能液滴吐出ヘッドに、ヘッド
ドライバに連なるメインケーブルと機能液タンクに連な
る複数のメインパイプとが接続されるヘッドユニットに
おいて、キャリッジに搭載され、各メインケーブルが接
続される複数の配線コネクタ、および一端を各機能液滴
吐出ヘッドのヘッド基板に接続され他端を各配線コネク
タに接続される複数の個別ケーブルを有する配線接続ア
ッセンブリを備えたことを特徴とする。
【００３４】同様に、本発明の他のヘッドユニットは、
導入した機能液を吐出ノズルから選択的に吐出する複数
の機能液滴吐出ヘッドと、複数の機能液滴吐出ヘッドを
搭載するキャリッジとを備え、各機能液滴吐出ヘッド
に、ヘッドドライバに連なるメインケーブルと機能液タ
ンクに連なる複数のメインパイプとが接続されるヘッド
ユニットにおいて、キャリッジに搭載され、各メインパ
イプが接続される複数の配管ジョイント、および一端を
各機能液滴吐出ヘッドの機能液導入口に接続され他端を
各配管ジョイントに接続される複数の個別パイプを有す
る配管接続アッセンブリを備えたことを特徴とする。
【００３５】これらの構成によれば、各メインケーブル
を、配線接続アッセンブリの各配線コネクタに接続する
ことにより、メインケーブルが、配線接続アッセンブリ
の個別ケーブルを介して、各機能液滴吐出ヘッドのヘッ
ド基板に接続される。同様に、各メインパイプを、配管
接続アッセンブリの各配管ジョイントに接続することに
より、メインパイプが、配管接続アッセンブリの個別パ
イプを介して、各機能液滴吐出ヘッドの機能液導入口に
接続される。したがって、配線接続アッセンブリの配線
コネクタまたは配管接続アッセンブリの配管ジョイント
を、着脱作業および機能液の漏れを考慮して配置するこ
とにより、メインケーブル或いはメインパイプの着脱作
業を、支障を生ずることなく簡単且つ円滑に行うことが
できる。
【００３６】本発明のヘッドユニットのセット方法は、
上記したヘッドユニットを描画装置にセットするヘッド
ユニットのセット方法であって、ヘッドユニットを、描
画装置のセット位置手前に仮セットする仮セット工程
と、仮セットの後、各配線コネクタに各メインケーブル
を接続すると共に各配管ジョイントに各メインパイプを
接続する配管・配線接続工程と、配管・配線接続工程の
後、ヘッドユニットを仮セット位置からセット位置に送
り込んで本セットする本セット工程とを備えたことを特
徴とする。
【００３７】この構成によれば、セット位置手前の仮セ
ット位置において、各メインケーブルおよび各メインパ
イプの接続を行うようにしているため、仮セット位置に
十分な作業空間を確保しておくことで、メインケーブル
およびメインパイプの着脱作業を円滑に行うことがで
き、且つセット位置の周囲に着脱作業のための作業スペ
ースを必要としない。したがって、描画装置のセット位
置に上記の作業スペースを必要とすることなく、ヘッド
ユニットの着脱を円滑に行うことができる。
【００３８】本発明の描画装置は、上記したヘッドユニ
ットを備えた描画装置であって、ヘッドユニットをセッ
トするセットテーブルの手前に、ヘッドユニットを仮セ
ットするための仮置き台を、備えたことを特徴とする。
【００３９】この構成によれば、ヘッドユニットを仮置
き台上に仮セットした状態で、メインケーブルおよびメ
インパイプの着脱作業を行うことができると共に、ヘッ
ドユニットを仮置き台からセットテーブルに載せ込む作
業および引き出す作業を、円滑に行うことができる。
【００４０】本発明の液晶表示装置の製造方法は、上記
したヘッドユニットを用い、カラーフィルタの基板上に
多数のフィルタエレメントを形成する液晶表示装置の製
造方法であって、複数の機能液滴吐出ヘッドに各色のフ
ィルタ材料を導入し、ヘッドユニットを介して複数の機
能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、フィル
タ材料を選択的に吐出して多数の前記フィルタエレメン
トを形成することを特徴とする。
【００４１】本発明の有機ＥＬ装置の製造方法は、上記
したヘッドユニットを用い、基板上の多数の絵素ピクセ
ルにそれぞれＥＬ発光層を形成する有機ＥＬ装置の製造
方法であって、複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の発光
材料を導入し、ヘッドユニットを介して複数の機能液滴
吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、発光材料を選
択的に吐出して多数のＥＬ発光層を形成することを特徴
とする。
【００４２】本発明の電子放出装置の製造方法は、上記
したヘッドユニットを用い、電極上に多数の蛍光体を形
成する電子放出装置の製造方法であって、複数の機能液
滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入し、ヘッドユニッ
トを介して複数の機能液滴吐出ヘッドを電極に対し相対
的に走査し、蛍光材料を選択的に吐出して多数の蛍光体
を形成することを特徴とする。
【００４３】本発明のＰＤＰ装置の製造方法は、上記し
たヘッドユニットを用い、背面基板上の多数の凹部にそ
れぞれ蛍光体を形成するＰＤＰ装置の製造方法であっ
て、複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入
し、ヘッドユニットを介して複数の機能液滴吐出ヘッド
を背面基板に対し相対的に走査し、蛍光材料を選択的に
吐出して多数の蛍光体を形成することを特徴とする。
【００４４】本発明の電気泳動表示装置の製造方法は、
上記したヘッドユニットを用い、電極上の多数の凹部に
泳動体を形成する電気泳動表示装置の製造方法であっ
て、複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の泳動体材料を導
入し、ヘッドユニットを介して複数の機能液滴吐出ヘッ
ドを電極に対し相対的に走査し、泳動体材料を選択的に
吐出して多数の泳動体を形成することを特徴とする。
【００４５】このように、上記のヘッドユニットを、液
晶表示装置の製造方法、有機ＥＬ（Electronic Lumines
cence）装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、Ｐ
ＤＰ（Plasma Display Panel）装置の製造方法および電
気泳動表示装置の製造方法に適用することにより、各装
置に求められるフィルタ材料や発光材料等を、適切な位
置に適切な量を選択的に供給することができる。また、
ヘッドユニットを介して専用の液滴吐出ヘッドを迅速に
供給することができる。なお、液滴吐出ヘッドの走査
は、一般的には主走査および副走査となるが、いわゆる
１ラインを単一の液滴吐出ヘッドで構成する場合には、
副走査のみとなる。また、電子放出装置は、いわゆるＦ
ＥＤ（Field Emission Display）装置を含む概念であ
る。
【００４６】本発明のカラーフィルタの製造方法は、上
記したヘッドユニットを用い、基板上に多数のフィルタ
エレメントを配列して成るカラーフィルタを製造するカ
ラーフィルタの製造方法であって、複数の機能液滴吐出
ヘッドに各色のフィルタ材料を導入し、ヘッドユニット
を介して複数の機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的
に走査し、フィルタ材料を選択的に吐出して多数のフィ
ルタエレメントを形成することを特徴とする。この場
合、多数のフィルタエレメントを被覆するオーバーコー
ト膜が形成されており、フィルタエレメントを形成した
後に、複数の機能液滴吐出ヘッドに透光性のコーティン
グ材料を導入し、ヘッドユニットを介して複数の機能液
滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、コーティン
グ材料を選択的に吐出してオーバーコート膜を形成する
ことが、好ましい。
【００４７】本発明の有機ＥＬの製造方法は、上記した
ヘッドユニットを用い、ＥＬ発光層を含む多数の複数の
絵素ピクセルを基板上に配列して成る有機ＥＬの製造方
法であって、複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の発光材
料を導入し、ヘッドユニットを介して複数の機能液滴吐
出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、発光材料を選択
的に吐出して多数のＥＬ発光層を形成することを特徴と
する。この場合、多数のＥＬ発光層と基板との間には、
ＥＬ発光層に対応して多数の画素電極が形成されてお
り、複数の機能液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入
し、ヘッドユニットを介して複数の機能液滴吐出ヘッド
を基板に対し相対的に走査し、液状電極材料を選択的に
吐出して多数の画素電極を形成することが、好ましい。
この場合、多数のＥＬ発光層を覆うように対向電極が形
成されており、ＥＬ発光層を形成した後に、複数の機能
液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入し、ヘッドユニッ
トを介して複数の機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対
的に走査し、液状電極材料を選択的に吐出して対向電極
を形成することが、好ましい。
【００４８】本発明のスペーサ形成方法は、上記したヘ
ッドユニットを用い、２枚の基板間に微小なセルギャッ
プを構成すべく多数の粒子状のスペーサを形成するスペ
ーサ形成方法であって、複数の機能液滴吐出ヘッドにス
ペーサを構成する粒子材料を導入し、ヘッドユニットを
介して複数の機能液滴吐出ヘッドを少なくとも一方の基
板に対し相対的に走査し、粒子材料を選択的に吐出して
基板上にスペーサを形成することを特徴とする。
【００４９】本発明の金属配線形成方法は、上記したヘ
ッドユニットを用い、基板上に金属配線を形成する金属
配線形成方法であって、複数の機能液滴吐出ヘッドに液
状金属材料を導入し、ヘッドユニットを介して複数の機
能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、液状金
属材料を選択的に吐出して金属配線を形成することを特
徴とする。
【００５０】本発明のレンズ形成方法は、上記したヘッ
ドユニットを用い、基板上に多数のマイクロレンズを形
成するレンズ形成方法であって、複数の機能液滴吐出ヘ
ッドにレンズ材料を導入し、ヘッドユニットを介して複
数の機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、
レンズ材料を選択的に吐出して多数のマイクロレンズを
形成することを特徴とする。
【００５１】本発明のレジスト形成方法は、上記したヘ
ッドユニットを用い、基板上に任意形状のレジストを形
成するレジスト形成方法であって、複数の機能液滴吐出
ヘッドにレジスト材料を導入し、ヘッドユニットを介し
て複数の機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査
し、レジスト材料を選択的に吐出してレジストを形成す
ることを特徴とする。
【００５２】本発明の光拡散体形成方法は、上記したヘ
ッドユニットを用い、基板上に多数の光拡散体を形成す
る光拡散体形成方法であって、複数の機能液滴吐出ヘッ
ドに光拡散材料を導入し、ヘッドユニットを介して複数
の機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、光
拡散材料を選択的に吐出して多数の光拡散体を形成する
ことを特徴とする。
【００５３】このように、上記のヘッドユニットを、カ
ラーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペー
サ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジ
スト形成方法および光拡散体形成方法に適用することに
より、各電子デバイスや各光デバイスに求められるフィ
ルタ材料や発光材料等を、適切な位置に適切な量を選択
的に供給することができる。また、ヘッドユニットを介
して専用の液滴吐出ヘッドを迅速に供給することができ
る。
【００５４】
【発明の実施の形態】以下、添付の図面を参照して、本
発明の実施形態について説明する。インクジェットプリ
ンタのインクジェットヘッド（機能液滴吐出ヘッド）
は、微小なインク滴（液滴）をドット状に精度良く吐出
することができることから、例えば機能液（吐出対象
液）に特殊なインクや感光性・発光性の樹脂等を用いる
ことにより、各種部品の製造分野への応用が期待されて
いる。また、かかる応用技術では、粘性の高い機能液等
の機能液滴吐出ヘッドの耐久性に大きな影響を与えるも
のも想定され、複数の機能液滴吐出ヘッドをキャリッジ
に精度良く組み込んだヘッドユニットを、装置に対し簡
単に装着の或いは交換可能とすることが必要となる。
【００５５】本実施形態のヘッドユニットおよびこれを
搭載した描画装置は、例えば液晶表示装置や有機ＥＬ装
置等の、いわゆるフラットディスプレイの製造装置に適
用され、その複数の機能液滴吐出ヘッドからフィルタ材
料や発光材料等の機能液を吐出して（インクジェット方
式）、液晶表示装置におけるＲ．Ｇ．Ｂのフィルタエレ
メントや、有機ＥＬ装置における各画素のＥＬ発光層お
よび正孔注入層を形成するものである。
【００５６】そこで、本実施形態では、有機ＥＬ装置の
製造装置に組み込まれる描画装置を例に、そのヘッドユ
ニットおよびヘッドユニットのセット方法と共に説明す
る。また、このヘッドユニットを、他のいわゆるフラッ
トディスプレイの製造方法に適用した例についても説明
する。
【００５７】図１ないし図４に示すように、描画装置１
は、液滴吐出装置１０とこれに併設した付帯装置１１と
を備えている。付帯装置１１は、液滴吐出装置１０に発
光機能材料（発光材料：機能液）を供給すると共に不要
となった機能液を回収する機能液供給回収装置１３、各
構成部品への駆動・制御用等の圧縮エアーを供給するエ
アー供給装置１４、エアーを吸引する真空吸引装置１５
および機能液滴吐出ヘッド７のメンテナンスに供するメ
ンテナンス装置１６等を有している。
【００５８】そして、これら液滴吐出装置１０および付
帯装置１１は、図示しないが、クリーンルーム形式のチ
ャンバ（チャンバルーム）に収容されており、複数の機
能液滴吐出ヘッド７からの機能液の吐出動作を含む一連
の製造工程が、不活性ガス（窒素ガス）の雰囲気中で行
われるようになっている。
【００５９】液滴吐出装置１０は、床上に設置した架台
２１と、架台２１上に設置した石定盤２２と、石定盤２
２上に設置したＸ軸テーブル２３およびこれに直交する
Ｙ軸テーブル２４と、Ｙ軸テーブル２４に吊設するよう
に設けたメインキャリッジ２５と、メインキャリッジ２
５に搭載したヘッドユニット２６とを有している。詳細
は後述するが、ヘッドユニット２６には、サブキャリッ
ジ（キャリッジ）４１を介して、複数の機能液滴吐出ヘ
ッド７が搭載されている。また、この複数の機能液滴吐
出ヘッド７に対応して、Ｘ軸テーブル２３の吸着テーブ
ル２８１上に基板（ワーク）Ｗがセットされるようにな
っている。
【００６０】本実施形態の液滴吐出装置１０では、機能
液滴吐出ヘッド７の駆動（機能液滴の選択的吐出）に同
期して基板Ｗが移動する構成であり、機能液滴吐出ヘッ
ド７のいわゆる主走査は、Ｘ軸テーブル２３のＸ軸方向
への往復の両動作により行われる。また、これに対応し
て、いわゆる副走査は、Ｙ軸テーブル２４により機能液
滴吐出ヘッド７のＹ軸方向への往動動作により行われ
る。なお、上記の主走査をＸ軸方向への往動（または復
動）動作のみで行うようにしてもよい。
【００６１】一方、ヘッドユニット２６のホーム位置
は、図２および図４における図示左端位置となってお
り、且つこの液滴吐出装置１０の左方からヘッドユニッ
ト２６の運び込み或いは交換が行われる（詳細は後述す
る）。また、図示の手前側には、基板搬送装置が臨んで
おり（図示省略）、基板Ｗはこの手前側から搬入・搬出
される。そして、この液滴吐出装置１０の図示右側に
は、上記付帯装置１１の主な構成装置が、一体的に添設
されている。
【００６２】付帯装置１１は、上記の架台２１および石
定盤２２に隣接するように配置したキャビネット形式の
共通機台３１と、共通機台３１内の一方の半部に収容し
た上記のエアー供給装置１４および真空吸引装置１５
と、共通機台３１内の一方の半部に主要装置を収容した
上記の機能液供給回収装置１３と、共通機台３１上に主
要装置を収容した上記メンテナンス装置１６とを備えて
いる。なお、図中の符号１７は、メインタンク（図示省
略）とヘッドユニット２６との間の機能液流路に介設し
た、機能液供給回収装置１３の中間タンクである。
【００６３】メンテナンス装置１６は、機能液滴吐出ヘ
ッド７の定期的なフラッシング（全吐出ノズルからの機
能液の捨て吐出）を受けるフラッシングユニット３３
と、機能液滴吐出ヘッド７の機能液吸引および保管を行
うクリーニングユニット３４と、機能液滴吐出ヘッド７
のノズル形成面をワイピングするワイピングユニット３
５とを有している。クリーニングユニット３４およびワ
イピングユニット３５は、上記の共通機台３１上に配設
され、フラッシングユニット３３は、基板Ｗの近傍にお
いて、Ｘ軸テーブル２３上に搭載されている。
【００６４】ここで、図５の模式図を参照して、窒素ガ
スの雰囲気中で稼動する描画装置１の一連の動作を簡単
に説明する。先ず、準備段階として、作業に供する基板
用のヘッドユニット２６が液滴吐出装置１０に運び込ま
れ、これがメインキャリッジ２５にセットされる。ヘッ
ドユニット２６がメインキャリッジ２５にセットされる
と、Ｙ軸テーブル２４がヘッドユニット２６を、図外の
ヘッド認識カメラの位置に移動させ、ヘッド認識カメラ
によりヘッドユニット２６が位置認識される。ここで、
この認識結果に基づいて、ヘッドユニット２６がθ補正
され、且つヘッドユニット２６のＸ軸方向およびＹ軸方
向の位置補正がデータ上で行われる。位置補正後、ヘッ
ドユニット（メインキャリッジ２５）２６はホーム位置
に戻る。
【００６５】一方、Ｘ軸テーブル２３の吸着テーブル２
８１上に基板（この場合は、導入される基板毎）Ｗが導
入されると、この位置（受渡し位置）で後述する主基板
認識カメラ２９０が基板を位置認識する。ここで、この
認識結果に基づいて、基板Ｗがθ補正され、且つ基板Ｗ
のＸ軸方向およびＹ軸方向の位置補正がデータ上で行わ
れる。位置補正後、基板（吸着テーブル２８１）Ｗはホ
ーム位置に戻る。なお、Ｘ軸およびＹ軸テーブル２３，
２４の初期調整時（いわゆる通り出し）には、吸着テー
ブル２８１上にアライメントマスクを導入し、後述する
副基板認識カメラ３０８により初期調整（位置認識）を
行う。
【００６６】このようにして準備が完了すると、実際の
液滴吐出作業では、先ずＸ軸テーブル２３が駆動し、基
板Ｗを主走査方向に往復動させると共に複数の機能液滴
吐出ヘッド７を駆動して、機能液滴の基板Ｗへの選択的
な吐出動作が行われる。基板Ｗが復動した後、こんどは
Ｙ軸テーブル２４が駆動し、ヘッドユニット２６を１ピ
ッチ分、副走査方向に移動させ、再度基板Ｗの主走査方
向への往復移動と機能液滴吐出ヘッド７の駆動が行われ
る。そしてこれを、数回繰り返すことで、基板Ｗの端か
ら端まで（全領域）液滴吐出が行われる。
【００６７】一方、上記の動作に並行し、液滴吐出装置
１０のヘッドユニット（機能液滴吐出ヘッド７）２６に
は、エアー供給装置１４を圧力供給源として機能液供給
回収装置１３から機能液が連続的に供給され、また吸着
テーブル２８１では、基板Ｗを吸着すべく、真空吸引装
置１５によりエアー吸引が行われる。また、液滴吐出作
業の直前には、ヘッドユニット２６がクリーニングユニ
ット３４およびワイピングユニット３５に臨んで、機能
液滴吐出ヘッド７の全吐出ノズル１３８からの機能液吸
引と、これに続くノズル形成面１３９の拭取りが行われ
る。液滴吐出作業中には、適宜ヘッドユニット２６がフ
ラッシングユニット３３に臨んで、フラッシングが行わ
れる。
【００６８】なお、本実施形態では、ヘッドユニット２
６に対し、その吐出対象物である基板Ｗを主走査方向
（Ｘ軸方向）に移動させるようにしているが、ヘッドユ
ニット２６を主走査方向に移動させる構成であってもよ
い。また、ヘッドユニット２６を固定とし、基板Ｗを主
走査方向および副走査方向に移動させる構成であっても
よい。
【００６９】次に、上記した液滴吐出装置１０の各構成
装置について詳細に説明するが、理解を容易にすべく、
先にヘッドユニット２６から詳細に説明する。
【００７０】図６ないし図９は、ヘッドユニット２６の
構造図である。これらの図に示すように、ヘッドユニッ
ト２６は、サブキャリッジ４１と、サブキャリッジ４１
に搭載した複数個（１２個）の機能液滴吐出ヘッド７
と、各機能液滴吐出ヘッド７をサブキャリッジ４１に個
々に取り付けるための複数個（１２個）のヘッド保持部
材４２とを備えている。１２個の機能液滴吐出ヘッド７
は、６個づつ左右に二分され、主走査方向に対し所定の
角度傾けて配設されている。
【００７１】また、各６個の機能液滴吐出ヘッド７は、
副走査方向に対し相互に位置ずれして配設され、１２個
の機能液滴吐出ヘッド７の全吐出ノズル１３８（後述す
る）が副走査方向において連続する（一部重複）ように
なっている。すなわち、実施形態のヘッド配列は、サブ
キャリッジ４１上において、同一方向に傾けて配置した
６個の機能液滴吐出ヘッド７を２列としたものであり、
且つ各ヘッド列間において機能液滴吐出ヘッド７が相互
に１８０°回転した配置となっている。
【００７２】もっとも、この配列パターンは一例であ
り、例えば、各ヘッド列における隣接する機能液滴吐出
ヘッド７，７同士を９０°の角度を持って配置（隣接ヘ
ッド同士が「ハ」字状）したり、各ヘッド列間における
機能液滴吐出ヘッド７を９０°の角度を持って配置（列
間ヘッド同士が「ハ」字状）したりすることは可能であ
る。いずれにしても、１２個の機能液滴吐出ヘッド７の
全吐出ノズル１３８によるドットが副走査方向において
連続していればよい。
【００７３】また、各種の基板Ｗに対し機能液滴吐出ヘ
ッド７を専用部品とすれば、機能液滴吐出ヘッド７をあ
えて傾けてセットする必要は無く、千鳥状や階段状に配
設すれば足りる。さらにいえば、所定長さのノズル列
（ドット列）を構成できる限り、これを単一の機能液滴
吐出ヘッド７で構成してもよいし複数の機能液滴吐出ヘ
ッド７で構成してもよい。すなわち、機能液滴吐出ヘッ
ド７の個数や列数、さらに配列パターンは任意である。
【００７４】サブキャリッジ４１は、一部が切り欠かれ
た略方形の本体プレート４４と、本体プレート４４の長
辺方向の中間位置に設けた左右一対の基準ピン４５，４
５と、本体プレート４４の両長辺部分に取り付けた左右
一対の支持部材４６，４６と、各支持部材４６の端部に
設けた左右一対のハンドル４７，４７とを有している。
左右のハンドル４７，４７は、ヘッドユニット２６を上
記の液滴吐出装置１０に載せ込む場合に、ヘッドユニッ
ト２６を手持ちするための部位となる。また、左右の支
持部材４７，４７は、サブキャリッジ４１を液滴吐出装
置１０のセット部に固定するときの部位となる（いずれ
も詳細は後述する）。
【００７５】さらに、サブキャリッジ４１には、二分さ
れた機能液滴吐出ヘッド群７Ｓの上側に位置して、これ
ら機能液滴吐出ヘッド７に接続される配管接続アッセン
ブリ５１および配線接続アッセンブリ５３が設けられて
いる。配管接続アッセンブリ５１は、左配管アッセンブ
リ５１ａ、右配管アッセンブリ５１ｂおよびジョイント
ユニット５２から成り、上記の機能液供給回収装置１３
に連なるメインチューブ（メインパイプ５４に配管接続
されている。同様に、配線接続アッセンブリ５３は、左
配線アッセンブリ５３ａおよび右配線アッセンブリ５３
ｂから成り、制御系のメインケーブル５５に配線接続さ
れている。なお、図６ないし図９では、一方（左側）の
左配線アッセンブリ５３ａを省略して、描かれている。
【００７６】本体プレート４４は、ステンレス等の厚板
で構成され、左右に各６個の機能液滴吐出ヘッド７を取
り付けるための一対の装着開口６１，６１が形成される
と共に、適宜位置に重量を軽減するための複数の抜き開
口６２が形成されている。各装着開口６１は、６個の機
能液滴吐出ヘッド７を取り付ける開口部位６１ａが連続
したものであり、６個の機能液滴吐出ヘッド（機能液滴
吐出ヘッド群７Ｓ）７の並びに倣って、その軸線が本体
プレート４４の軸線に対しわずかに傾いている。
【００７７】各支持部材４６は、厚手のステンレス板等
で構成され、これを固定するための２つの固定孔（ばか
孔）６４，６４および２つのボルト孔６５，６５が形成
されると共に、これら固定孔６４，６４およびボルト孔
６５，６５間に位置決め用のピンが挿入されるピン孔６
６が形成されている。詳細は後述するが、液滴吐出装置
１０にヘッドユニット２６をセットするときには、ピン
孔６６を用いて位置決めされると共に２つのボルト孔６
５，６５を用いてねじ止め固定される。
【００７８】左右一対の基準ピン４５，４５は、画像認
識を前提として、サブキャリッジ４１をＸ軸、Ｙ軸およ
びθ軸方向に位置決め（位置認識）するための基準とな
るものであり、本体プレート４４の裏面に突出するよう
に取り付けられている。各基準ピン４５は円柱状に形成
され、その先端面に基準マークが形成されている。この
場合、各基準ピン４５の先端面４５ａは鏡面加工されて
おり、この先端面４５ａの中心位置に基準マークとなる
直径０．３ｍｍ程度の小孔が穿孔されている。
【００７９】このようにして形成された基準ピン４５
は、その先端面４５ａを下向きにしてサブキャリッジ
（本体プレート４４）４１に形成した取付用の孔部分に
打ち込むようにして圧入される。サブキャリッジ４１に
圧入された基準ピン４５は、サブキャリッジ４１から突
出した機能液滴吐出ヘッド７と略同一高さとなるよう
に、本体プレート４４の裏面から突出している（図９参
照）。
【００８０】左右のハンドル４７，４７は、重量のある
（７ｋｇ程度）ヘッドユニット２６を手持ちするための
ものであり、各ハンドル４７は、握り部分となるハンド
ル本体６８と、ハンドル本体６８の下端から直角に延び
るアーム部６９とで「Ｌ」字状に形成されている。ハン
ドル本体６８は、その上端部が滑止め用の太径部７０と
なっている。また、ハンドル本体６８の外周面には、滑
止め用のローレット加工が施されている。
【００８１】アーム部６９は水平に延在し、その先端部
でサブキャリッジ４１の支持部材４６に着座するように
してねじ止めされている。すなわち、各ハンドル４７
は、サブキャリッジ４１に着脱自在に取り付けられてい
る。このように、左右のハンドル４７，４７は、サブキ
ャリッジ（本体プレート４４）４１の長辺方向の端部か
らはみ出した位置、すなわち機能液滴吐出ヘッド７から
離れた位置に、立ち上がるようにして設けられている。
【００８２】左右の各配管アッセンブリ５１ａ，５１ｂ
は、６個の機能液滴吐出ヘッド７に上側から立設するよ
うに接続した６組の配管アダプタ８１を備えると共に、
各配管アダプタ８１と上記のジョイントユニット５２と
を接続する複数本の個別チューブ（個別パイプ）８２を
備えている。ジョイントユニット５２は、一端に上記の
メインチューブ５４が接続されると共に、他端に個別チ
ューブ８２が接続される１２個の配管ジョイント８３を
有している。
【００８３】各組の配管アダプタ８１は、図１０に示す
ように、背の高い高配管アダプタ８１ａと、背の低い低
配管アダプタ８１ｂとから成り、後述する機能液滴吐出
ヘッド７の２連の接続針１３２，１３２に、それぞれ上
側から接続されている。高配管アダプタ８１ａおよび低
配管アダプタ８１ｂは、いずれも上下２本のＯリング８
５，８５を介して接続針１３２，１３２に液密に接続さ
れるアダプタ本体８６と、アダプタ本体８６の上部に液
密且つ首振り可能に取り付けた接続具８７とで構成され
ている。
【００８４】高配管アダプタ８１ａのアダプタ本体８６
は長く、低配管アダプタ８１ｂのアダプタ本体８６は短
く形成され、同一構造のそれぞれの接続具８７，８７が
上下に位置して、接続具（の接続口）８７，８７同士が
干渉しないように配設されている。そして、各接続具８
７の接続口８７ａが、ジョイントユニット５２に向かっ
て斜め内向きに配設され、これにそれぞれ個別チューブ
８２が接続されている。なお、ジョイントユニット５２
の各配管ジョイント８３から延びる個別チューブ８２
は、途中でＹ字継手８９により分岐し、各組の高配管ア
ダプタ８１ａおよび低配管アダプタ８１ｂに接続されて
いる（１個所のみ図示）。
【００８５】ジョイントユニット５２は、図６ないし図
９に示すように、上記の一対のハンドル４７，４７間に
位置しており、１２個の配管ジョイント８３と、これら
配管ジョイント８３を支持する支持プレート９１、配管
ジョイント８３の支持プレート９１からの離脱を阻止す
る抜止め部材９２と、支持プレート９１をサブキャリッ
ジ４１の端部に固定するブラケット９３とを有してい
る。すなわち、支持プレート９１、抜止め部材９２およ
びブラケット９３により、請求項に言うジョイント支持
部材が構成されている。
【００８６】ブラケット９３は、基端側をサブキャリッ
ジ４１の端部上面に固定され、支持プレート９１に支持
された配管ジョイント８３が両ハンドル４７，４７間に
位置するように水平に延在している。１２個の配管ジョ
イント８３は、横向き鉛直姿勢の支持プレート９１に上
下２列で各６個、横並びに配設されている。
【００８７】各配管ジョイント８３は、ユニオン形式の
継手であり、段付きの胴部９５と、胴部の前後に連なる
流入側接続口９６および流出側接続口９７とで構成され
ている。この場合、配管ジョイント８３は、支持プレー
ト９１に形成した取付け孔９８にハンドル４７側からそ
の段付きの胴部９５を嵌合し、この状態で、胴部９５の
端を抜止め部材９２により押さえられるようにして、支
持プレート９１に固定されている。
【００８８】抜止め部材９２は、２列の配管ジョイント
８３群の中間に配設した一対の脚部１０１ａを有する抜
止め片１０１と、各脚部１０１ａを貫通して支持プレー
ト９１のねじ止めされる一対の固定ねじ１０２，１０２
とで構成されており、抜止め片１０１で上下各６個の配
管ジョイント８３を一括して押さえるようになってい
る。なお、各配管ジョイント８３の流入側接続口９６お
よび流出側接続口９７のうち、少なくともメインチュー
ブ５４が接続される流入側接続口９６は、ワンタッチジ
ョイントで構成することが好ましい。
【００８９】このように構成した配管接続アッセンブリ
５１では、各機能液滴吐出ヘッド７に連なる複数の配管
ジョイント８３が、ハンドル４７側手前に集約して配置
されているため、装置側の複数本のメインチューブ５４
を効率良く且つ簡単に接続（着脱）することができる。
また、メインチューブ５４の着脱作業において、機能液
が液漏れしても後述するヘッド基板１３３やサブキャリ
ッジ４１に付着することがなく、ヘッド基板１３３のシ
ョートやサブキャリッジ４１の腐食等を有効に防止する
ことができる。
【００９０】なお、１２個の配管ジョイント８３を、横
並び１列或いは千鳥に配設するようにしてもよい。ま
た、縦並びに配設するようにしてもよい。さらに、複数
本のメインチューブ５４をホルダで纏めておいて（ユニ
ット化）、これをジョイントユニット５２に対し、一括
して接続する（ワンタッチジョイント）ようにしてもよ
い。
【００９１】一方、左右各配線アッセンブリ５３ａ，５
３ｂは、サブキャリッジ４１の左右の各端部に立設した
３個の屈曲支持部材１１１，１１１，１１１と（図１１
参照）、屈曲支持部材１１１の上端に固定した中継基板
１１２と、中継基板１１２上に立設した４つの配線コネ
クタ１１３と、中継基板１１２と６個の機能液滴吐出ヘ
ッド７とを接続する各２個ずつ計６組のフレキシブルフ
ラットケーブル（個別ケーブル）１１４とを備えてい
る。この場合、中継基板１１２は、機能液滴吐出ヘッド
群７Ｓの上側、すなわち上記の配管アダプタ８１の上側
に位置し水平に配設されている。
【００９２】１組２本のフレキシブルフラットケーブル
１１４は、それぞれ両端にヘッド側コネクタ１１６およ
び中継側コネクタ１１７を有しており、各ヘッド側コネ
クタ１１６は、各機能液滴吐出ヘッド７の２連のヘッド
基板１３３の一対の受けコネクタ１１８，１１８にそれ
ぞれ接続されている。また、２本のフレキシブルフラッ
トケーブル１１４は、中継基板１１２に形成したスリッ
ト開口１１９を貫通して中継基板１１２の上側に延び且
つ折り返し、その各中継側コネクタ１１７が、スリット
開口１１９の両側に位置する中継基板１１２の受けコネ
クタ１２０にそれぞれ接続されている。この場合、ヘッ
ド側コネクタ１１６と中継側コネクタ１１７は、ヘッド
基板１３３の傾き同一の傾きを有して配設され、フレキ
シブルフラットケーブル１１４に捩れが生じないように
なっている。
【００９３】中継基板１１２には、短辺方向の内側半部
に上記の複数の受けコネクタ１２０が配設され、外側半
部に上記の４つの配線コネクタ１１３が２列に配設され
ている。そして、中継基板１１２の表面には、計１２個
の受けコネクタ１２０を４つの配線コネクタ１１３に集
約する配線パターン１２２が形成されている。すなわ
ち、１つの配線コネクタ１１３は、受けコネクタ１２０
の３個分の接続ピンを有している。この場合、各配線コ
ネクタ１１３は、中継基板１１２上に上向きに固定さ
れ、上記のメインケーブル５５が上側から接続（着脱）
されるようになっている。
【００９４】このように構成した配線接続アッセンブリ
５３では、各機能液滴吐出ヘッド７に連なる複数の配線
コネクタ１１３が、左右の２個所に集約配置されている
ため、装置側の複数のメインケーブル５５を効率良く且
つ簡単に接続（着脱）することができる。また、配線パ
ターン１２２を形成した中継基板１１２により、配線コ
ネクタ１１３の数を少なくすることができる。
【００９５】なお、中継基板１１２を上記のジョイント
ユニット５２の位置まで延在させ、計８つの配線コネク
タ１１３を、ジョイントユニット５２の上側に並べて配
置してもよい。このようにすれば、メインケーブル５５
の接続をより一層効率良く行うことができる。また、後
述する中継基板カバー１２５の高さを低く押さえること
ができる。
【００９６】一方、図１１にのみ示すように、このヘッ
ドユニット２６には更に、配線接続アッセンブリ５３お
よび配管接続アッセンブリ５１を覆うように中継基板カ
バー（キャリッジカバー）１２５が設けられている。中
継基板カバー１２５は、配線接続アッセンブリ５３の側
面から直上部を覆う一対の側面カバー１２６，１２６
と、一対の側面カバー１２６，１２６間に渡した上面カ
バー１２７とで構成されており、このうち上面カバー１
２７は、ヘッドユニット２６を液滴吐出装置１０にセッ
トした後に取り付けるようになっている。
【００９７】また、図１１には、上記実施形態の変形例
となる配管接続アッセンブリ５１が設けられている。こ
の左右各配管アッセンブリ５１ａ，５１ｂでは、６組の
配管アダプタ８１が、押さえプレート（アダプタ保持部
材）１０４に保持され、この押さえプレート１０４が、
その両端部で一対のスペーサ１０５，１０５を介してサ
ブキャリッジ４１の長辺方向の両端部にねじ止めされて
いる。
【００９８】この場合、配管アダプタ８１は、図１２に
示すように、機能液滴吐出ヘッド７の２連の接続針１３
２，１３２に接続される一対の配管接続部材１０６，１
０６と、各配管接続部材１０６を押圧する一対のアダプ
タ本体１０７，１０７と、各アダプタ本体１０７の上部
に取り付けた一対の接続具１０８，１０８とで構成され
ている。各アダプタ本体１０７と押さえプレート１０４
との間には、アダプタ本体１０７を下方に付勢するコイ
ルばね１０９が組み込まれており、機能液滴吐出ヘッド
７に配管接続部材１０６を嵌合接続する一方、各アダプ
タ本体１０７を保持した押さえプレート１０４を両スペ
ーサ１０５，１０５にねじ止めすることで、６組のアダ
プタ本体１０７，１０７が、それぞれ配管接続部材１０
６，１０６を介して機能液滴吐出ヘッド７に押圧状態で
接続される。
【００９９】このような構成では、押さえプレート１０
４により、６組の配管アダプタ８１を一括して機能液滴
吐出ヘッド７に接続するようにしているため、配管アダ
プタ８１をヘッドユニット２６に簡単は組み込むことが
できる。この場合には、配管アダプタ８１に予め個別チ
ューブ８２を接続しておいてから、機能液滴吐出ヘッド
７に接続することが、好ましい。なお、実施形態のヘッ
ドユニット２６において、配管接続アッセンブリ５１お
よび配線接続アッセンブリ５３の一方のみ設けるように
してもよい。
【０１００】次に、図１３を参照して、機能液滴吐出ヘ
ッド７について説明する。この機能液滴吐出ヘッド７
は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針１３２，
１３２を有する液体導入部１３１と、液体導入部１３１
の側方に連なる２連のヘッド基板１３３と、液体導入部
１３１に下方に連なる２連のポンプ部１３４と、ポンプ
部１３４に連なるノズル形成プレート１３５とを備えて
いる。液体導入部１３１の各接続針１３２には、上記の
配管接続部材１０６が接続され、ヘッド基板１３３の各
受けコネクタ１１８には、上記のフレキシブルフラット
ケーブル１１４が接続されている。一方、このポンプ部
１３４とノズル形成プレート１３５とにより、サブキャ
リッジ４１の裏面側に突出する方形のヘッド本体１３０
が構成されている。
【０１０１】ノズル形成プレート１３５には、２本のノ
ズル列１３７，１３７が相互に平行に列設されており、
各ノズル列１３７は、等ピッチで並べた１８０個（図示
では模式的に表している）の吐出ノズル１３８で構成さ
れている。すなわち、ヘッド本体１３０のノズル形成面
１３９には、その中心線を挟んで２本のノズル列１３
７，１３７が左右対称に配設されている。そして、この
ように構成された機能液滴吐出ヘッド７は、そのヘッド
本体１３０を、上記の装着開口６１からサブキャリッジ
４１の裏面側に突出させてヘッド保持部材４２にねじ止
め固定され、さらにこのヘッド保持部材４２が、サブキ
ャリッジ４１に固定されるようになっている。
【０１０２】なお、図１３中の符号１４０，１４０は、
機能液滴吐出ヘッド７を位置認識するための２つのノズ
ル基準マークである。ノズル基準マーク１４０は、上記
最外端の２つの吐出ノズル１３８，１３８の近傍に、レ
ーザーエッチングなどにより形成されている。２つの吐
出ノズル１３８，１３８に対し２つのノズル基準マーク
１４０，１４０は位置保証されており、２つの吐出ノズ
ル１３８，１３８における画像認識が不安定な場合に
は、この２つのノズル基準マーク１４０，１４０を用い
て画像認識を行うようにする。
【０１０３】次に、液滴吐出装置１０の各構成装置につ
いて説明する。
【０１０４】図１４ないし１７は、Ｘ軸テーブルを搭載
した液滴吐出装置の架台２１および石定盤２２を表して
いる。これら図に示すように、架台２１は、アングル材
等を方形に組んで構成され、下部に分散配置したアジャ
ストボルト付きの複数（９個）の支持脚２７１を有して
いる。架台２１の上部には、各辺に対し２個の割合で、
運搬等の移動の際に石定盤２２を固定するための複数
（８個）の固定部材２７２が、側方に張り出すように取
り付けられている。
【０１０５】各固定部材２７２は、ブラケット様に
「Ｌ」字状に形成され、基端側を架台２１の上部側面に
固定され、先端側を調整ボルト２７３を介して、石定盤
２２の下部側面に当接するようになっている。石定盤２
２は、架台２１に対し非締結状態で載っており、石定盤
２２を運搬する際にこの固定部材２７２により、架台２
１に対し石定盤２２がＸ軸方向およびＹ軸方向（前後左
右）に不動に固定される。
【０１０６】石定盤２２は、機能液滴吐出ヘッド７を精
度良く移動させるＸ軸テーブル２３およびＹ軸テーブル
２４が、周囲の環境条件や振動等により精度上の狂いが
生じないように支持するものであり、平面視長方形の無
垢の石材で構成されている。石定盤２２の下部には、こ
れを架台２１上に支持するアジャストボルト付きの３つ
の主支持脚２７５および６つの補助脚２７６が設けられ
ている。３つの主支持脚２７５は、石定盤２２を３点で
支持し、その表面の平行度（水平度を含む）を出すため
のものであり、６つの補助脚２７６は、石定盤２２の３
つの主支持脚２７５から外れた部分を支持しその撓みを
抑制するものである。
【０１０７】このため、図１７に模式的に示すように、
３つの主支持脚２７５，２７５，２７５は二等辺三角形
をなすように配置され、その底辺を為す２つの主支持脚
２７５が、石定盤２２の基板搬入側（同図では左側、図
１では手前側）に位置するように配設されている。ま
た、６つの補助脚２７６，２７６，２７６，２７６，２
７６，２７６は、上記３つの主支持脚２７５，２７５，
２７５を含んで縦横に３×３となるように、均一且つ分
散して配設されている。
【０１０８】この場合、石定盤２２上には、その長辺に
沿う中心線に軸線を合致させてＸ軸テーブル２３が設置
され、短辺に沿う中心軸に軸線を合致させてＹ軸テーブ
ル２４が設置されている。このため、Ｘ軸テーブル２３
は、石定盤２２上に直接固定され、Ｙ軸テーブル２４
は、その４本の支柱２７８がそれぞれスペーサブロック
２７９を介して石定盤２２上に固定されている。これに
より、Ｙ軸テーブル２４は、Ｘ軸テーブル２３を跨いで
その上側に直交するように配設されている。
【０１０９】図１４ないし図１６（Ｘ軸移動系）と図１
８ないし図２０（θ移動系）に示すように、Ｘ軸テーブ
ル２３は、石定盤２２の長辺方向に延在しており、基板
Ｗをエアー吸引により吸着セットする吸着テーブル２８
１と、吸着テーブル２８１を支持するθテーブル２８２
と（図１８ないし図２０参照）、θテーブル２８２を保
持するスライドベース２８６を有してθテーブル２８２
をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸エアースライ
ダ２８３と、θテーブル２８２を介して吸着テーブル２
８１上の基板ＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸リニアモー
タ２８４と、Ｘ軸エアースライダ２８３に併設したＸ軸
リニアスケール２８５と（図１４ないし図１６参照）で
構成されている。
【０１１０】Ｘ軸リニアモータ２８４は、Ｘ軸エアース
ライダ２８３のヘッドユニット２６搬入側に位置し、Ｘ
軸リニアスケール２８５は、Ｘ軸エアースライダ２８３
の付帯装置１１側に位置しており、これらは、相互に平
行に配設されている。Ｘ軸リニアモータ２８４、Ｘ軸エ
アースライダ２８３およびＸ軸リニアスケール２８５
は、石定盤２２上に直接支持されている。吸着テーブル
２８１には、上記の真空吸引装置１５に連なる真空チュ
ーブが接続されており（図示省略）、そのエアー吸引に
よりセットされた基板Ｗが平坦度を維持するようにこれ
を吸着する。
【０１１１】また、Ｘ軸リニアスケール２８５の付帯装
置１１側には、これに平行に位置して、石定盤２２上に
ボックス２８８に収容された状態で、Ｘ軸ケーブルベア
（登録商標）２８７が配設されている。Ｘ軸ケーブルベ
ア２８７には、吸着テーブル２８１の真空チューブやθ
テーブル２８２用のケーブル等が、吸着テーブル２８１
およびθテーブル２８２の移動に追従するように、収容
されている（図１５および図１６参照）。
【０１１２】このように構成されたＸ軸テーブル２３
は、Ｘ軸リニアモータ２８４の駆動により、基板Ｗを吸
着した吸着テーブル２８１およびθテーブル２８２が、
Ｘ軸エアースライダ２８３を案内にしてＸ軸方向に移動
する。このＸ軸方向の往復移動において、基板搬入側か
ら奥側に向かう往動動作により、機能液滴吐出ヘッド７
の相対的な主走査が行われる。また、後述する主基板認
識カメラ２９０の認識結果に基づいて、θテーブル２８
２による基板Ｗのθ補正（水平面内における角度補正）
が行われる。
【０１１３】図２１は、主基板認識カメラを表してい
る。同図に示すように、吸着テーブル２８１の直上部に
は、基板Ｗの搬入位置（受渡し位置）に臨むように、一
対の主基板認識カメラ２９０，２９０が配設されてい
る。一対の主基板認識カメラ２９０，２９０は、基板Ｗ
の２つの基準位置（図示省略）を同時に画像認識するよ
うになっている。
【０１１４】図２２、図２３および図２４に示すよう
に、Ｙ軸テーブル２４は、石定盤２２の短辺方向に延在
しており、上記のメインキャリッジ２５を吊設するブリ
ッジプレート２９１と、ブリッジプレート２９１を両持
ちで且つＹ軸方向にスライド自在に支持する一対のＹ軸
スライダ２９２，２９２と、Ｙ軸スライダ２９２に併設
したＹ軸リニアスケール２９３と、一対のＹ軸スライダ
２９２，２９２を案内にしてブリッジプレート２９１を
Ｙ軸方向に移動させるＹ軸ボールねじ２９４と、Ｙ軸ボ
ールねじ２９４を正逆回転させるＹ軸モータ２９５とを
備えている。また、一対のＹ軸スライダ２９２，２９２
の両側に位置して、一対のＹ軸ケーブルベア２９６，２
９６がそれぞれボックス２９７，２９７に収容した状態
で、配設されている。
【０１１５】Ｙ軸モータ２９５はサーボモータで構成さ
れており、Ｙ軸モータ２９５が正逆回転すると、Ｙ軸ボ
ールねじ２９４を介してこれに螺合しているブリッジプ
レート２９１が、一対のＹ軸スライダ２９２，２９２を
案内にしてＹ軸方向に移動する。すなわち、ブリッジプ
レート２９１のＹ軸方向への移動に伴って、メインキャ
リッジ２５がＹ軸方向に移動する。このメインキャリッ
ジ（ヘッドユニット２６）２５のＹ軸方向の往復移動に
おいて、ホーム位置側から付帯装置１１側に向かう往動
動作により、機能液滴吐出ヘッド７の副走査が行われ
る。
【０１１６】一方、上記の４本の支柱２７８上には、メ
インキャリッジ２５の移動経路の部分を長方形開口２９
８ａとした載置台プレート２９８が支持されており、載
置台プレート２９８上には、長方形開口２９８ａを逃げ
て一対のＹ軸スライダ２９２，２９２およびＹ軸ボール
ねじ２９４が、相互に平行に配設されている。また、載
置台プレート２９８から外側に張り出した一対の支持板
２９９，２９９上には、上記の一対のＹ軸ケーブルベア
２９６，２９６が、そのボックス２９７，２９７と共に
載置されている。
【０１１７】基板搬入側のＹ軸ケーブルベア２９６に
は、主にヘッドユニット２６に接続されるケーブルが収
容され、逆側のＹ軸ケーブルベア２９６には、主にヘッ
ドユニット２６に接続される機能液用のチューブが収容
されている（いずれも図示省略）。そして、これらケー
ブルおよびチューブは、上記のブリッジプレート２９１
を介してヘッドユニット２６の複数の機能液滴吐出ヘッ
ド７に接続されている。
【０１１８】図２５および図２６に示すように、メイン
キャリッジ２５は、上記のブリッジプレート２９１に下
側から固定される外観「Ｉ」形の吊設部材３０１と、吊
設部材３０１の下面に取り付けたθテーブル３０２と、
θテーブル３０２の下面に吊設するように取り付けたキ
ャリッジ本体３０３とで構成されている。そして、この
吊設部材３０１が、上記の載置台プレート２９８の長方
形開口２９８ａに臨んでいる。
【０１１９】キャリッジ本体３０３は、ヘッドユニット
２６が着座するベースプレート３０４と、ベースプレー
ト３０４を垂設するように支持するアーチ部材３０５
と、ベースプレート３０４の一方の端部に突出するよう
に設けた一対の仮置きアングル３０６，３０６と、ペー
スプレート３０４の他方の端部に設けたストッパプレー
ト３０７とを備えている。また、ストッパプレート３０
７の外側には、基板Ｗを認識する上記の一対の副基板認
識カメラ３０８が、配設されている。
【０１２０】ベースプレート３０４には、ヘッドユニッ
ト２６の本体プレート４４が遊嵌する方形開口３１１が
形成され、またこの方形開口３１１を構成するベースプ
レート３０４の左右の各開口縁部３１２には、ヘッドユ
ニット２６の各支持部材４６に形成した２つのボルト孔
６５，６５およびピン孔６６に合致する２つの貫通孔３
１３，３１３と位置決めピン３１４とが設けられてい
る。この場合、方形開口３１１の幅と本体プレート４４
の幅とがほぼ合致しており、側方からセットされるヘッ
ドユニット２６は、本体プレート４４の左右が方形開口
３１１の左右に案内されるようにして、挿入される。
【０１２１】各仮置きアングル３０６は、十分な厚み
（高さ）を有し、外側に「Ｌ」字状に屈曲した基部で、
ベースプレート３０４の端部に載置するようにして固定
されている。また、両仮置きアングル３０６，３０６の
離間寸法は、ヘッドユニット２６の両支持部材４６，４
６の離間寸法に対応している。したがって、ヘッドユニ
ット２６は、その両支持部材４６，４６が両仮置きアン
グル３０６，３０６に着座することで仮置きされ、且つ
両仮置きアングル３０６，３０６によりベースプレート
３０４への送り込みが案内される。また、この状態で、
各機能液滴吐出ヘッド７のヘッド本体１３０がベースプ
レート３０４から十分に浮いて、ベースプレート３０４
との接触（干渉）が防止される。
【０１２２】図２７のイメージ図に示すように、ヘッド
ユニット２６を、メインキャリッジ２５のベースプレー
ト３０４にセットする場合には、先ず両ハンドル４７，
４７で手持ちして運び込んだヘッドユニット２６を、両
仮置きアングル３０６，３０６上に載置する（仮置
き）。ここで、特に図示しないが、アーチ部材３０５上
に配設した液滴吐出装置１０のメインチューブ５４をヘ
ッドユニット２６の配管接続アッセンブリ５１に配管接
続すると共に、メインケーブル５５を配線接続アッセン
ブリ５３に配線接続する（同図（ａ））。
【０１２３】接続作業が完了したら、再度ハンドル４
７，４７を把持し、両仮置きアングル３０６，３０６を
ガイドにしてヘッドユニット２６を先方に押し入れ、更
にその先端部を下げるように傾ける（同図（ｂ））。ヘ
ッドユニット２６を傾けてゆくと、本体プレート４４の
先端部が方形開口３１１に挿入され、且つ両支持部材４
６，４６の先端が方形開口３１１の両開口縁部３１２，
３１２に着地する。両支持部材４６，４６が開口縁部３
１２，３１２に着地したら、両仮置きアングル３０６，
３０６から両支持部材４６，４６を浮かせるようにし、
こんどは両支持部材４６，４６の先端を中心に、ヘッド
ユニット２６を、開口縁部３１２上をスライドさせなが
ら更に奥に向かって押し込んでゆく。
【０１２４】そして、ヘッドユニット２６の先端がスト
ッパプレート３０７に突き当たったら、ヘッドユニット
２６の後部をゆっくり下げて、両支持部材４６，４６の
ピン孔６６に両開口縁部３１２，３１２の位置決めピン
３１４を嵌合させるようにして、ヘッドユニット２６を
ベースプレート３０４上に着座させる。ここで、ベース
プレート３０４上に両支持部材４６，４６をねじ止めし
て、作業を完了する（同図（ｃ））。
【０１２５】このように、ヘッドユニット２６をメイン
キャリッジ２５の仮置きアングル３０６に仮置きし、こ
の状態で必要な配管・配線接続を行うようにしているた
め、これら接続作業が行い易く、且つ接続作業後のヘッ
ドユニット２６を狭いスペースに適切にセットすること
ができる。また、ヘッドユニット２６を、仮置きアング
ル３０６から一段低いベースプレート３０４に、スライ
ドさせながらセットするようにしているため、ヘッドユ
ニット２６をメインキャリッジ２５にソフトランディン
グさせるようにセットすることができ、重いヘッドユニ
ット２６を、衝撃なく円滑にセットすることができる。
【０１２６】ところで、本発明のヘッドユニットの組立
装置およびこれによって組み立てられるヘッドユニット
１は、上記の描画装置Ｂのみならず、各種フラットディ
スプレイの製造方法や、各種の電子デバイスおよび光デ
バイスの製造方法等にも適用可能である。そこで、この
ヘッドユニット１を用いた製造方法を、液晶表示装置の
製造方法および有機ＥＬ装置の製造方法を例に、説明す
る。
【０１２７】図２８は、液晶表示装置のカラーフィルタ
の部分拡大図である。図２８（ａ）は平面図であり、図
２８（ｂ）は図２８（ａ）のＢ−Ｂ´線断面図である。
断面図各部のハッチングは一部省略している。
【０１２８】図２８（ａ）に示されるように、カラーフ
ィルタ４００は、マトリクス状に並んだ画素（フィルタ
エレメント）４１２を備え、画素と画素の境目は、仕切
り４１３によって区切られている。画素４１２の１つ１
つには、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかのイ
ンク（フィルタ材料）が導入されている。この例では
赤、緑、青の配置をいわゆるモザイク配列としたが、ス
トライプ配列、デルタ配列など、その他の配置でも構わ
ない。
【０１２９】図２８（ｂ）に示されるように、カラーフ
ィルタ４００は、透光性の基板４１１と、遮光性の仕切
り４１３とを備えている。仕切り４１３が形成されてい
ない（除去された）部分は、上記画素４１２を構成す
る。この画素４１２に導入された各色のインクは着色層
４２１を構成する。仕切り４１３及び着色層４２１の上
面には、オーバーコート層４２２及び電極層４２３が形
成されている。
【０１３０】図２９は、本発明の実施形態によるカラー
フィルタの製造方法を説明する製造工程断面図である。
断面図各部のハッチングは一部省略している。
【０１３１】膜厚０．７ｍｍ、たて３８ｃｍ、横３０ｃ
ｍの無アルカリガラスからなる透明基板４１１の表面
を、熱濃硫酸に過酸化水素水を１重量％添加した洗浄液
で洗浄し、純水でリンスした後、エア乾燥を行って清浄
表面を得る。この表面に、スパッタ法によりクロム膜を
平均０．２μｍの膜厚で形成し、金属層４１４´を得る
（図２９：Ｓ１）。
【０１３２】この基板をホットプレート上で、８０℃で
５分間乾燥させた後、金属層４１４´の表面に、スピン
コートによりフォトレジスト層（図示せず）を形成す
る。この基板表面に、所要のマトリクスパターン形状を
描画したマスクフィルムを密着させ、紫外線で露光をお
こなう。次に、これを、水酸化カリウムを８重量％の割
合で含むアルカリ現像液に浸漬して、未露光の部分のフ
ォトレジストを除去し、レジスト層をパターニングす
る。続いて、露出した金属層を、塩酸を主成分とするエ
ッチング液でエッチング除去する。このようにして所定
のマトリクスパターンを有する遮光層（ブラックマトリ
クス）４１４を得ることができる（図２９：Ｓ２）。遮
光層４１４の膜厚は、およそ０．２μｍである。また、
遮光層４１４の幅は、およそ２２μｍである。
【０１３３】この基板上に、さらにネガ型の透明アクリ
ル系の感光性樹脂組成物４１５´をやはりスピンコート
法で塗布する（図２９：Ｓ３）。これを１００℃で２０
分間プレベークした後、所定のマトリクスパターン形状
を描画したマスクフィルムを用いて紫外線露光を行な
う。未露光部分の樹脂を、やはりアルカリ性の現像液で
現像し、純水でリンスした後スピン乾燥する。最終乾燥
としてのアフターベークを２００℃で３０分間行い、樹
脂部を十分硬化させることにより、バンク層４１５が形
成され、遮光層４１４及びバンク層４１５からなる仕切
り４１３が形成される（図２９：Ｓ４）。このバンク層
４１５の膜厚は、平均で２．７μｍである。また、バン
ク層４１５の幅は、およそ１４μｍである。
【０１３４】得られた遮光層４１４およびバンク層４１
５で区画された着色層形成領域（特にガラス基板４１１
の露出面）のインク濡れ性を改善するため、ドライエッ
チング、すなわちプラズマ処理を行なう。具体的には、
ヘリウムに酸素を２０％加えた混合ガスに高電圧を印加
し、プラズマ雰囲気でエッチングスポットに形成し、基
板を、このエッチングスポット下を通過させてエッチン
グする。
【０１３５】次に、仕切り４１３で区切られて形成され
た画素４１２内に、上記Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）
の各インクをインクジェット方式により導入する（図２
９：Ｓ５）。機能液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッ
ド）には、ピエゾ圧電効果を応用した精密ヘッドを使用
し、微小インク滴を着色層形成領域毎に１０滴、選択的
に飛ばす。駆動周波数は１４．４ｋＨｚ、すなわち、各
インク滴の吐出間隔は６９．５μ秒に設定する。ヘッド
とターゲットとの距離は、０．３ｍｍに設定する。ヘッ
ドよりターゲットである着色層形成領域への飛翔速度、
飛行曲がり、サテライトと称される分裂迷走滴の発生防
止のためには、インクの物性はもとよりヘッドのピエゾ
素子を駆動する波形（電圧を含む）が重要である。従っ
て、あらかじめ条件設定された波形をプログラムして、
インク滴を赤、緑、青の３色を同時に塗布して所定の配
色パターンにインクを塗布する。
【０１３６】インク（フィルタ材料）としては、例えば
ポリウレタン樹脂オリゴマーに無機顔料を分散させた
後、低沸点溶剤としてシクロヘキサノンおよび酢酸ブチ
ルを、高沸点溶剤としてブチルカルビトールアセテート
を加え、さらに非イオン系界面活性剤０．０１重量％を
分散剤として添加し、粘度６〜８センチポアズとしたも
のを用いる。
【０１３７】次に、塗布したインクを乾燥させる。ま
ず、自然雰囲気中で３時間放置してインク層４１６のセ
ッティングを行った後、８０℃のホットプレート上で４
０分間加熱し、最後にオーブン中で２００℃で３０分間
加熱してインク層４１６の硬化処理を行って、着色層４
２１が得られる（図２９：Ｓ６）。
【０１３８】上記基板に、透明アクリル樹脂塗料をスピ
ンコートして平滑面を有するオーバーコート層４２２を
形成する。さらに、この上面にＩＴＯ（Indium Tin Oxi
de）からなる電極層４２３を所要パターンで形成して、
カラーフィルタ４００とする（図２９：Ｓ７）。なお、
このオーバーコート層４２２を、機能液滴吐出ヘッド
（インクジェットヘッド）によるインクジェット方式
で、形成するようにしてもよい。
【０１３９】図３０は、本発明の製造方法により製造さ
れる電気光学装置（フラットディスプレイ）の一例であ
るカラー液晶表示装置の断面図である。断面図各部のハ
ッチングは一部省略している。
【０１４０】このカラー液晶表示装置４５０は、カラー
フィルタ４００と対向基板４６６とを組み合わせ、両者
の間に液晶組成物４６５を封入することにより製造され
る。液晶表示装置４５０の一方の基板４６６の内側の面
には、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示せず）と
画素電極４６３とがマトリクス状に形成されている。ま
た、もう一方の基板として、画素電極４６３に対向する
位置に赤、緑、青の着色層４２１が配列するようにカラ
ーフィルタ４００が設置されている。
【０１４１】基板４６６とカラーフィルタ４００の対向
するそれぞれの面には、配向膜４６１、４６４が形成さ
れている。これらの配向膜４６１、４６４はラビング処
理されており、液晶分子を一定方向に配列させることが
できる。また、基板４６６およびカラーフィルタ４００
の外側の面には、偏光板４６２、４６７がそれぞれ接着
されている。また、バックライトとしては蛍光燈（図示
せず）と散乱板の組合わせが一般的に用いられており、
液晶組成物４６５をバックライト光の透過率を変化させ
る光シャッターとして機能させることにより表示を行
う。
【０１４２】なお、電気光学装置は、本発明では上記の
カラー液晶表示装置に限定されず、例えば薄型のブラウ
ン管、あるいは液晶シャッター等を用いた小型テレビ、
ＥＬ表示装置、プラズマディスプレイ、ＣＲＴディスプ
レイ、ＦＥＤ（Field Emission Display）パネル等の種
々の電気光学手段を用いることができる。
【０１４３】次に、図３１ないし図４３を参照して、有
機ＥＬ装置（有機ＥＬ表示装置）とその製造方法を説明
する。
【０１４４】図３１ないし図４３は、有機ＥＬ素子を含
む有機ＥＬ装置の製造プロセスと共にその構造を表して
いる。この製造プロセスは、バンク部形成工程と、プラ
ズマ処理工程と、正孔注入／輸送層形成工程及び発光層
形成工程からなる発光素子形成工程と、対向電極形成工
程と、封止工程とを具備して構成されている。
【０１４５】バンク部形成工程では、基板５０１に予め
形成した回路素子部５０２上及び電極５１１（画素電極
ともいう）上の所定の位置に、無機物バンク層５１２ａ
と有機物バンク層５１２ｂを積層することにより、開口
部５１２ｇを有するバンク部５１２を形成する。このよ
うに、バンク部形成工程には、電極５１１の一部に、無
機物バンク層５１２ａを形成する工程と、無機物バンク
層の上に有機物バンク層５１２ｂを形成する工程が含ま
れる。
【０１４６】まず無機物バンク層５１２ａを形成する工
程では、図３１に示すように、回路素子部５０２の第２
層間絶縁膜５４４ｂ上及び画素電極５１１上に、無機物
バンク層５１２ａを形成する。無機物バンク層５１２ａ
を、例えばＣＶＤ法、コート法、スパッタ法、蒸着法等
によって層間絶縁層５１４及び画素電極５１１の全面に
ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機物膜を形成する。
【０１４７】次にこの無機物膜をエッチング等によりパ
ターニングして、電極５１１の電極面５１１ａの形成位
置に対応する下部開口部５１２ｃを設ける。このとき、
無機物バンク層５１２ａを電極５１１の周縁部と重なる
ように形成しておく必要がある。このように、電極５１
１の周縁部（一部）と無機物バンク層５１２ａとが重な
るように無機物バンク層５１２ａを形成することによ
り、発光層５１０の発光領域を制御することができる。
【０１４８】次に有機物バンク層５１２ｂを形成する工
程では、図３２に示すように、無機物バンク層５１２ａ
上に有機物バンク層５１２ｂを形成する。有機物バンク
層５１２ｂをフォトリソグラフィ技術等によりエッチン
グして、有機物バンク層５１２ｂの上部開口部５１２ｄ
を形成する。上部開口部５１２ｄは、電極面５１１ａ及
び下部開口部５１２ｃに対応する位置に設けられる。
【０１４９】上部開口部５１２ｄは、図３２に示すよう
に、下部開口部５１２ｃより広く、電極面５１１ａより
狭く形成することが好ましい。これにより、無機物バン
ク層５１２ａの下部開口部５１２ｃを囲む第１積層部５
１２ｅが、有機物バンク層５１２ｂよりも電極５１１の
中央側に延出された形になる。このようにして、上部開
口部５１２ｄ、下部開口部５１２ｃを連通させることに
より、無機物バンク層５１２ａ及び有機物バンク層５１
２ｂを貫通する開口部５１２ｇが形成される。
【０１５０】次にプラズマ処理工程では、バンク部５１
２の表面と画素電極の表面５１１ａに、親インク性を示
す領域と、撥インク性を示す領域を形成する。このプラ
ズマ処理工程は、予備加熱工程と、バンク部５１２の上
面（５１２ｆ）及び開口部５１２ｇの壁面並びに画素電
極５１１の電極面５１１ａを親インク性を有するように
加工する親インク化工程と、有機物バンク層５１２ｂの
上面５１２ｆ及び上部開口部５１２ｄの壁面を、撥イン
ク性を有するように加工する撥インク化工程と、冷却工
程とに大別される。
【０１５１】まず、予備加熱工程では、バンク部５１２
を含む基板５０１を所定の温度まで加熱する。加熱は、
例えば基板５０１を載せるステージにヒータを取り付
け、このヒータで当該ステージごと基板５０１を加熱す
ることにより行う。具体的には、基板５０１の予備加熱
温度を、例えば７０〜８０℃の範囲とすることが好まし
い。
【０１５２】つぎに、親インク化工程では、大気雰囲気
中で酸素を処理ガスとするプラズマ処理（Ｏ2プラズマ
処理）を行う。このＯ2プラズマ処理により、図３３に
示すように、画素電極５１１の電極面５１１ａ、無機物
バンク層５１２ａの第１積層部５１２ｅ及び有機物バン
ク層５１２ｂの上部開口部５１２ｄの壁面ならびに上面
５１２ｆが親インク処理される。この親インク処理によ
り、これらの各面に水酸基が導入されて親インク性が付
与される。図３３では、親インク処理された部分を一点
鎖線で示している。
【０１５３】つぎに、撥インク化工程では、大気雰囲気
中で４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理（Ｃ
Ｆ4プラズマ処理）を行う。ＣＦ4プラズマ処理により、
図３４に示すように、上部開口部５１２ｄ壁面及び有機
物バンク層の上面５１２ｆが撥インク処理される。この
撥インク処理により、これらの各面にフッ素基が導入さ
れて撥インク性が付与される。図３４では、撥インク性
を示す領域を二点鎖線で示している。
【０１５４】次に、冷却工程では、プラズマ処理のため
に加熱された基板５０１を室温、またはインクジェット
工程（液滴吐出工程）の管理温度まで冷却する。プラズ
マ処理後の基板５０１を室温、または所定の温度（例え
ばインクジェット工程を行う管理温度）まで冷却するこ
とにより、次の正孔注入／輸送層形成工程を一定の温度
で行うことができる。
【０１５５】次に発光素子形成工程では、画素電極５１
１上に正孔注入／輸送層及び発光層を形成することによ
り発光素子を形成する。発光素子形成工程には、４つの
工程が含まれる。即ち、正孔注入／輸送層を形成するた
めの第１組成物を各前記画素電極上に吐出する第１液滴
吐出工程と、吐出された前記第１組成物を乾燥させて前
記画素電極上に正孔注入／輸送層を形成する正孔注入／
輸送層形成工程と、発光層を形成するための第２組成物
を前記正孔注入／輸送層の上に吐出する第２液滴吐出工
程と、吐出された前記第２組成物を乾燥させて前記正孔
注入／輸送層上に発光層を形成する発光層形成工程とが
含まれる。
【０１５６】まず、第１液滴吐出工程では、インクジェ
ット法（液滴吐出法）により、正孔注入／輸送層形成材
料を含む第１組成物を電極面５１１ａ上に吐出する。な
お、この第１液滴吐出工程以降は、水、酸素の無い窒素
雰囲気、アルゴン雰囲気等の不活性ガス雰囲気で行うこ
とが好ましい。（なお、画素電極上にのみ正孔注入／輸
送層を形成する場合は、有機物バンク層に隣接して形成
される正孔注入／輸送層は形成されない）
【０１５７】図３５に示すように、インクジェットヘッ
ド（機能液滴吐出ヘッド）Ｈに正孔注入／輸送層形成材
料を含む第１組成物を充填し、インクジェットヘッドＨ
の吐出ノズルを下部開口部５１２ｃ内に位置する電極面
５１１ａに対向させ、インクジェットヘッドＨと基板５
０１とを相対移動させながら、吐出ノズルから１滴当た
りの液量が制御された第１組成物滴５１０ｃを電極面５
１１ａ上に吐出する。
【０１５８】ここで用いる第１組成物としては、例え
ば、ポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)等のポリ
チオフェン誘導体とポリスチレンスルホン酸(PSS)等の
混合物を、極性溶媒に溶解させた組成物を用いることが
できる。極性溶媒としては、例えば、イソプロピルアル
コール(IPA)、ノルマルブタノール、γ−ブチロラクト
ン、Ｎ−メチルピロリドン(NMP)、１，３−ジメチル−
２−イミダゾリジノン(DMI)及びその誘導体、カルビト
−ルアセテート、ブチルカルビト−ルアセテート等のグ
リコールエーテル類等を挙げることができる。なお、正
孔注入／輸送層形成材料は、Ｒ・Ｇ・Ｂの各発光層５１
０ｂに対して同じ材料を用いても良く、発光層毎に変え
ても良い。
【０１５９】図３５に示すように、吐出された第１組成
物滴５１０ｃは、親インク処理された電極面５１１ａ及
び第１積層部５１２ｅ上に広がり、下部、上部開口部５
１２ｃ、５１２ｄ内に満たされる。電極面５１１ａ上に
吐出する第１組成物量は、下部、上部開口部５１２ｃ、
５１２ｄの大きさ、形成しようとする正孔注入／輸送層
の厚さ、第１組成物中の正孔注入／輸送層形成材料の濃
度等により決定される。また、第１組成物滴５１０ｃは
１回のみならず、数回に分けて同一の電極面５１１ａ上
に吐出しても良い。
【０１６０】次に正孔注入／輸送層形成工程では、図３
６に示すように、吐出後の第１組成物を乾燥処理及び熱
処理して第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させるこ
とにより、電極面５１１ａ上に正孔注入／輸送層５１０
ａを形成する。乾燥処理を行うと、第１組成物滴５１０
ｃに含まれる極性溶媒の蒸発が、主に無機物バンク層５
１２ａ及び有機物バンク層５１２ｂに近いところで起
き、極性溶媒の蒸発に併せて正孔注入／輸送層形成材料
が濃縮されて析出する。
【０１６１】これにより図３６に示すように、乾燥処理
によって電極面５１１ａ上でも極性溶媒の蒸発が起き、
これにより電極面５１１ａ上に正孔注入／輸送層形成材
料からなる平坦部５１０ａが形成される。電極面５１１
ａ上では極性溶媒の蒸発速度がほぼ均一であるため、正
孔注入／輸送層の形成材料が電極面５１１ａ上で均一に
濃縮され、これにより均一な厚さの平坦部５１０ａが形
成される。
【０１６２】次に第２液滴吐出工程では、インクジェッ
ト法（液滴吐出法）により、発光層形成材料を含む第２
組成物を正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出する。この
第２液滴吐出工程では、正孔注入／輸送層５１０ａの再
溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組
成物の溶媒として、正孔注入／輸送層５１０ａに対して
不溶な非極性溶媒を用いる。
【０１６３】しかしその一方で正孔注入／輸送層５１０
ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶
媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐
出しても、正孔注入／輸送層５１０ａと発光層５１０ｂ
とを密着させることができなくなるか、あるいは発光層
５１０ｂを均一に塗布できないおそれがある。そこで、
非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／
輸送層５１０ａの表面の親和性を高めるために、発光層
を形成する前に表面改質工程を行うことが好ましい。
【０１６４】そこでまず、表面改質工程について説明す
る。表面改質工程は、発光層形成の際に用いる第１組成
物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒であ
る表面改質用溶媒を、インクジェット法（液滴吐出
法）、スピンコート法またはディップ法により正孔注入
／輸送層５１０ａ上に塗布した後に乾燥することにより
行う。
【０１６５】例えば、インクジェット法による塗布は、
図３７に示すように、インクジェットヘッドＨに、表面
改質用溶媒を充填し、インクジェットヘッドＨの吐出ノ
ズルを基板（すなわち、正孔注入／輸送層５１０ａが形
成された基板）に対向させ、インクジェットヘッドＨと
基板５０１とを相対移動させながら、吐出ノズルＨから
表面改質用溶媒５１０ｄを正孔注入／輸送層５１０ａ上
に吐出することにより行う。そして、図３８に示すよう
に、表面改質用溶媒５１０ｄを乾燥させる。
【０１６６】次に第２液滴吐出工程では、インクジェッ
ト法（液滴吐出法）により、発光層形成材料を含む第２
組成物を正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出する。図３
９に示すように、インクジェットヘッドＨに、青色
（Ｂ）発光層形成材料を含有する第２組成物を充填し、
インクジェットヘッドＨの吐出ノズルを下部、上部開口
部５１２ｃ、５１２ｄ内に位置する正孔注入／輸送層５
１０ａに対向させ、インクジェットヘッドＨと基板５０
１とを相対移動させながら、吐出ノズルから１滴当たり
の液量が制御された第２組成物滴５１０ｅとして吐出
し、この第２組成物滴５１０ｅを正孔注入／輸送層５１
０ａ上に吐出する。
【０１６７】発光層形成材料としては、ポリフルオレン
系高分子誘導体や、（ポリ）パラフェニレンビニレン誘
導体、ポリフェニレン誘導体、ポリビニルカルバゾー
ル、ポリチオフェン誘導体、ペリレン系色素、クマリン
系色素、ローダミン系色素、あるいは上記高分子に有機
ＥＬ材料をドープして用いる事ができる。例えば、ルブ
レン、ペリレン、９，１０-ジフェニルアントラセン、
テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン
６、キナクリドン等をドープすることにより用いること
ができる。
【０１６８】非極性溶媒としては、正孔注入／輸送層５
１０ａに対して不溶なものが好ましく、例えば、シクロ
へキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチ
ルベンゼン、テトラメチルベンゼン等を用いることがで
きる。このような非極性溶媒を発光層５１０ｂの第２組
成物に用いることにより、正孔注入／輸送層５１０ａを
再溶解させることなく第２組成物を塗布できる。
【０１６９】図３９に示すように、吐出された第２組成
物５１０ｅは、正孔注入／輸送層５１０ａ上に広がって
下部、上部開口部５１２ｃ、５１２ｄ内に満たされる。
第２組成物５１０ｅは１回のみならず、数回に分けて同
一の正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出しても良い。こ
の場合、各回における第２組成物の量は同一でも良く、
各回毎に第２組成物量を変えても良い。
【０１７０】次に発光層形成工程では、第２組成物を吐
出した後に乾燥処理及び熱処理を施して、正孔注入／輸
送層５１０ａ上に発光層５１０ｂを形成する。乾燥処理
は、吐出後の第２組成物を乾燥処理することにより第２
組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発して、図４０に示す
ような青色（Ｂ）発光層５１０ｂを形成する。
【０１７１】続けて、図４１に示すように、青色（Ｂ）
発光層５１０ｂの場合と同様にして、赤色（Ｒ）発光層
５１０ｂを形成し、最後に緑色（Ｇ）発光層５１０ｂを
形成する。なお、発光層５１０ｂの形成順序は、前述の
順序に限られるものではなく、どのような順番で形成し
ても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順
番を決める事も可能である。
【０１７２】次に対向電極形成工程では、図４２に示す
ように、発光層５１０ｂ及び有機物バンク層５１２ｂの
全面に陰極５０３（対向電極）を形成する。なお，陰極
５０３は複数の材料を積層して形成しても良い。例え
ば、発光層に近い側には仕事関数が小さい材料を形成す
ることが好ましく、例えばＣａ、Ｂａ等を用いることが
可能であり、また材料によっては下層にＬｉＦ等を薄く
形成した方が良い場合もある。また、上部側（封止側）
には下部側よりも仕事関数が高いものが好ましい。これ
らの陰極（陰極層）５０３は、例えば蒸着法、スパッタ
法、ＣＶＤ法等で形成することが好ましく、特に蒸着法
で形成することが、発光層５１０ｂの熱による損傷を防
止できる点で好ましい。
【０１７３】また、フッ化リチウムは、発光層５１０ｂ
上のみに形成しても良く、更に青色（Ｂ）発光層５１０
ｂ上のみに形成しても良い。この場合、他の赤色（Ｒ）
発光層及び緑色（Ｇ）発光層５１０ｂ、５１０ｂには、
ＬｉＦからなる上部陰極層５０３ｂが接することとな
る。また陰極１２の上部には、蒸着法、スパッタ法、Ｃ
ＶＤ法等により形成したＡｌ膜、Ａｇ膜等を用いること
が好ましい。また、陰極５０３上に、酸化防止のために
ＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層を設けても良い。
【０１７４】最後に、図４３に示す封止工程では、窒
素、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガス雰囲気中で、有
機ＥＬ素子５０４上に封止用基板５０５を積層する。封
止工程は、窒素、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガス雰
囲気で行うことが好ましい。大気中で行うと、陰極５０
３にピンホール等の欠陥が生じていた場合にこの欠陥部
分から水や酸素等が陰極５０３に侵入して陰極５０３が
酸化されるおそれがあるので好ましくない。そして最後
に、フレキシブル基板の配線に陰極５０３を接続すると
ともに、駆動ＩＣに回路素子部５０２の配線を接続する
ことにより、本実施形態の有機ＥＬ装置５００が得られ
る。
【０１７５】なお、画素電極５１１および陰極（対向電
極）５０３の形成において、インクジェットヘッドＨに
よるインクジェット方式を採用してもよい。すなわち、
液体の電極材料をインクジェットヘッドＨにそれぞれ導
入し、これをインクジェットヘッドＨから吐出して、画
素電極５１１および陰極５０３をそれぞれ形成する（乾
燥工程を含む）。
【０１７６】同様に、本実施形態のヘッドユニットは、
電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ装置の製造方法および
電気泳動表示装置の製造方法等に、適用することができ
る。
【０１７７】電子放出装置の製造方法では、複数の液滴
吐出ヘッドにＲ、Ｇ、Ｂ各色の各色の蛍光材料を導入
し、ヘッドユニットを介して複数の液滴吐出ヘッドを主
走査および副走査し、蛍光材料を選択的に吐出して、電
極上に多数の蛍光体を形成する。なお、電子放出装置
は、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）を含む上位の概念
である。
【０１７８】ＰＤＰ装置の製造方法では、複数の液滴吐
出ヘッドにＲ、Ｇ、Ｂ各色の各色の蛍光材料を導入し、
ヘッドユニットを介して複数の液滴吐出ヘッドを主走査
および副走査し、蛍光材料を選択的に吐出して、背面基
板上の多数の凹部にそれそれ蛍光体を形成する。
【０１７９】電気泳動表示装置の製造方法では、複数の
液滴吐出ヘッドに各色の泳動体材料を導入し、ヘッドユ
ニットを介して複数の液滴吐出ヘッドを主走査および副
走査し、インク材料を選択的に吐出して、電極上の多数
の凹部にそれぞれ泳動体を形成する。なお、帯電粒子と
染料とから成る泳動体は、マイクロカプセルに封入され
ていることが、好ましい。
【０１８０】一方、本実施形態のヘッドユニットは、ス
ペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、
レジスト形成方法および光拡散体形成方法等にも、適用
可能である。
【０１８１】スペーサ形成方法は、２枚の基板間に微小
なセルギャップを構成すべく多数の粒子状のスペーサを
形成するものであり、複数の液滴吐出ヘッドにスペーサ
を構成する粒子材料を導入し、ヘッドユニットを介して
複数の液滴吐出ヘッドを主走査および副走査し、粒子材
料を選択的に吐出して少なくとも一方の基板上にスペー
サを形成する。例えば、上記の液晶表示装置や電気泳動
表示装置における２枚の基板間のセルギャップを構成す
る場合に有用であり、その他この種の微小なギャップを
必要とする半導体製造技術に適用できることはいうまで
もない。
【０１８２】金属配線形成方法では、複数の液滴吐出ヘ
ッドに液状金属材料を導入し、ヘッドユニットを介して
複数の液滴吐出ヘッドを主走査および副走査し、液状金
属材料を選択的に吐出して、基板上に金属配線を形成す
る。例えば、上記の液晶表示装置におけるドライバと各
電極とを接続する金属配線や、上記の有機ＥＬ装置にお
けるＴＦＴ等と各電極とを接続する金属配線に適用する
ことができる。また、この種のフラットディスプレイの
他、一般的な半導体製造技術に適用できることはいうま
でもない。
【０１８３】レンズ形成方法では、複数の液滴吐出ヘッ
ドにレンズ材料を導入し、ヘッドユニットを介して複数
の液滴吐出ヘッドを主走査および副走査し、レンズ材料
を選択的に吐出して、透明基板上に多数のマイクロレン
ズを形成する。例えば、上記のＦＥＤ装置におけるビー
ム収束用のデバイスとして適用可能である。また、各種
の光デバイスに適用可能であることはいうまでもない。
【０１８４】レジスト形成方法では、複数の液滴吐出ヘ
ッドにレジスト材料を導入し、ヘッドユニットを介して
複数の液滴吐出ヘッドを主走査および副走査し、レジス
ト材料を選択的に吐出して、基板上に任意形状のフォト
レジストを形成する。例えば、上記の各種表示装置おけ
るバンクの形成は元より、半導体製造技術の主体を為す
フォトリソグラフィー法において、フォトレジストの塗
布に広く適用可能である。
【０１８５】光拡散体形成方法では、ヘッドユニットの
組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、
基板上に多数の光拡散体を形成する光拡散体形成方法で
あって、複数の液滴吐出ヘッドに光拡散材料を導入し、
ヘッドユニットを介して複数の液滴吐出ヘッドを主走査
および副走査し、光拡散材料を選択的に吐出して多数の
光拡散体を形成する。この場合も、各種の光デバイスに
適用可能であることはいうまでもない。
【０１８６】
【発明の効果】以上のように、本発明のヘッドユニット
によれば、メインケーブルを、配線接続アッセンブリを
介してヘッド基板に接続可能とし、且つメインパイプ
を、配管接続アッセンブリを介して機能液導入口に接続
可能としているため、メインケーブルおよびメインパイ
プの着脱作業を、機能液滴吐出ヘッドに支障を生ずるこ
となく簡単且つ円滑に行うことができる。したがって、
ヘッドユニットの交換作業を適切かつ効率良く行うこと
ができる。
【０１８７】また、本発明のヘッドユニットのセット方
法および描画装置によれば、セット位置の手前の仮セッ
ト位置において、各メインケーブルおよび各メインパイ
プの接続を行うようにしているため、描画装置にセット
用の作業スペースを構成しなくても、メインケーブルお
よびメインパイプの着脱作業を円滑に行うことができ
る。したがって、描画装置のスペース効率を向上させつ
つ、ヘッドユニットの交換作業を適切かつ効率良く行う
ことができる。
【０１８８】一方、本発明の液晶表示装置の製造方法、
有機ＥＬ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、Ｐ
ＤＰ装置の製造方法および電気泳動表示装置の製造方法
によれば、各装置におけるフィルタ材料や発光材料等に
適したヘッドユニット（機能液滴吐出ヘッド）を簡単に
導入することができるため、製造効率を向上させること
ができる。
【０１８９】また、本発明のカラーフィルタの製造方
法、有機ＥＬの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線
形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光
拡散体形成方法によれば、各電子デバイスや各光デバイ
スにおけるフィルタ材料や発光材料等に適したヘッドユ
ニット（機能液滴吐出ヘッド）を簡単に導入することが
できため、製造効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 実施形態に係る描画装置の外観斜視図であ
る。
【図２】 実施形態に係る描画装置の外観正面図であ
る。
【図３】 実施形態に係る描画装置の外観側面図であ
る。
【図４】 実施形態に係る描画装置の外観平面図であ
る。
【図５】 実施形態に係る描画装置の液滴吐出装置の模
式図である。
【図６】 実施形態に係る液滴吐出装置の中継基板カバ
ーを取り外したヘッドユニットの全体斜視図である。
【図７】 実施形態に係る液滴吐出装置のヘッドユニッ
トの平面図である。
【図８】 実施形態に係る液滴吐出装置のヘッドユニッ
トの側面図である。
【図９】 実施形態に係る液滴吐出装置のヘッドユニッ
トの正面図である。
【図１０】 実施形態に係るヘッドユニットの配管アダ
プタ廻りの断面図である。
【図１１】 実施形態の変形例に係るヘッドユニットの
全体斜視図である。
【図１２】 実施形態の変形例に係るヘッドユニットの
配管アダプタ廻りの断面図である。
【図１３】 実施形態に係る液滴吐出装置の機能液滴吐
出ヘッドの外観斜視図である。
【図１４】 実施形態に係る液滴吐出装置の石定盤廻り
の側面図である。
【図１５】 実施形態に係る液滴吐出装置の石定盤廻り
の平面図である。
【図１６】 実施形態に係る液滴吐出装置の石定盤廻り
の正面図である。
【図１７】 実施形態に係る液滴吐出装置の石定盤の支
持形態を示す模式図である。
【図１８】 実施形態に係る液滴吐出装置のＸ軸テーブ
ルの平面図である。
【図１９】 実施形態に係る液滴吐出装置のＸテーブル
の側面図である。
【図２０】 実施形態に係る液滴吐出装置のＸテーブル
の正面図である。
【図２１】 実施形態に係る液滴吐出装置の主基板認識
カメラ廻りの斜視図である。
【図２２】 実施形態に係る液滴吐出装置のＹ軸テーブ
ルの平面図である。
【図２３】 実施形態に係る液滴吐出装置のＹ軸テーブ
ルの側面図である。
【図２４】 実施形態に係る液滴吐出装置のＹ軸テーブ
ルの正面図である。
【図２５】 実施形態に係るＹ軸テーブルのメインキャ
リッジの斜視図である。
【図２６】 実施形態に係るＹ軸テーブルのメインキャ
リッジの平面図である。
【図２７】 実施形態に係るヘッドユニットのセット方
法を示す説明図である。
【図２８】 実施形態のカラーフィルタの製造方法によ
り製造されるカラーフィルタの部分拡大図である。
【図２９】 実施形態のカラーフィルタの製造方法を模
式的に示す製造工程断面図である。
【図３０】 実施形態のカラーフィルタの製造方法によ
り製造される液晶表示装置の断面図である。
【図３１】 実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法に
おけるバンク部形成工程（無機物バンク）の断面図であ
る。
【図３２】 実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法に
おけるバンク部形成工程（有機物バンク）の断面図であ
る。
【図３３】 実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法に
おけるプラズマ処理工程（親水化処理）の断面図であ
る。
【図３４】 実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法に
おけるプラズマ処理工程（撥水化処理）の断面図であ
る。
【図３５】 実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法に
おける正孔注入層形成工程（液滴吐出）の断面図であ
る。
【図３６】 実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法に
おける正孔注入層形成工程（乾燥）の断面図である。
【図３７】 実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法に
おける表面改質工程（液滴吐出）の断面図である。
【図３８】 実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法に
おける表面改質工程（乾燥）の断面図である。
【図３９】 実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法に
おけるＢ発光層形成工程（液滴吐出）の断面図である。
【図４０】 実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法に
おけるＢ発光層形成工程（乾燥）の断面図である。
【図４１】 実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法に
おけるＲ・Ｇ・Ｂ発光層形成工程の断面図である。
【図４２】 実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法に
おける対向電極形成工程の断面図である。
【図４３】 実施形態に係る有機ＥＬ装置の製造方法に
おける封止工程の断面図である。
【符号の説明】
１ 描画装置 ７ 機能液滴
吐出ヘッド １０ 液滴吐出装置 ２３ Ｘ軸テ
ーブル ２４ Ｙ軸テーブル ２５ メイン
キャリッジ ２６ ヘッドユニット ４１ サブキ
ャリッジ ４４ 本体プレート ４６ 支持部
材 ４７ ハンドル ５１ 配管接
続アッセンブリ ５１ａ 左配管アッセンブリ ５１ｂ 右配
管アッセンブリ ５２ ジョイントユニット ５３ 配線接
続アッセンブリ ５３ａ 左配線アッセンブリ ５３ｂ 右配
線アッセンブリ ５４ メインチューブ ５５ メイン
ケーブル ８１ 配管アダプタ ８２ 個別チ
ューブ ８３ 配管ジョイント ８９ Ｙ字継
手 ９１ 支持プレート ９２ 抜止め
部材 ９３ ブラケット １０４ 押さえ
プレート １０５ スペーサ １０９ コイ
ルばね １１２ 中継基板 １１３ 配線
コネクタ １１４ フレキシブルフラットケーブル １１６ ヘッ
ド側コネクタ １１７ 中継側コネクタ １１９ スリ
ット開口 １２２ 配線パターン １２５ 中継
基板カバー １３１ 液体導入部 １３３ ヘッ
ド基板 ３０６ 仮置きアングル ４００ カラ
ーフィルタ ４１２ 画素 ４１５ バン
ク層 ４１６ インク層 ４２２ オー
バーコート層 ４６６ 基板 ５００ 有機
ＥＬ装置 ５０１ 基板 ５０２ 回路
素子部 ５０４ 有機ＥＬ素子 ５１０ａ 正孔
注入／輸送層 ５１０ｂ 発光層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (54)【発明の名称】 ヘッドユニット、そのセット方法および描画装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ＥＬ装 置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方 法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、 レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法

Claims (36)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 導入した機能液を吐出ノズルから選択的
    に吐出する複数の機能液滴吐出ヘッドと、前記複数の機
    能液滴吐出ヘッドを搭載するキャリッジとを備え、前記
    各機能液滴吐出ヘッドに、ヘッドドライバに連なる複数
    のメインケーブルと機能液タンクに連なる複数のメイン
    パイプとが接続されるヘッドユニットにおいて、 前記キャリッジに搭載され、前記各メインケーブルが接
    続される複数の配線コネクタ、および一端を前記各機能
    液滴吐出ヘッドのヘッド基板に接続され他端を前記各配
    線コネクタに接続される複数の個別ケーブルを有する配
    線接続アッセンブリと、 前記キャリッジに搭載され、前記各メインパイプが接続
    される複数の配管ジョイント、および一端を前記各機能
    液滴吐出ヘッドの機能液導入口に接続され他端を前記各
    配管ジョイントに接続される複数の個別パイプを有する
    配管接続アッセンブリとを備えたことを特徴とするヘッ
    ドユニット。
  2. 【請求項２】 前記複数の配線コネクタが、少なくとも
    １箇所に集約配置されていることを特徴とする請求項１
    に記載のヘッドユニット。
  3. 【請求項３】 前記複数の配管ジョイントが、少なくと
    も１箇所に集約配置されていることを特徴とする請求項
    １または２に記載のヘッドユニット。
  4. 【請求項４】 前記配線接続アッセンブリは、 前記複数の個別ケーブルと前記複数の配線コネクタとを
    接続する配線パターンが形成されると共に前記配線コネ
    クタを取り付けた中継基板を、更に有することを特徴と
    する請求項２または３に記載のヘッドユニット。
  5. 【請求項５】 前記配線パターンは、前記複数の個別ケ
    ーブルのうちの複数を一括して前記各配線コネクタにそ
    れぞれ接続していることを特徴とする請求項４に記載の
    ヘッドユニット。
  6. 【請求項６】 前記中継基板は、前記キャリッジに固定
    したスタンドを介して、前記複数の機能液滴吐出ヘッド
    の上方に配設されていることを特徴とする請求項４また
    は５に記載のヘッドユニット。
  7. 【請求項７】 前記各個別ケーブルは、一端を、ヘッド
    側コネクタを介して前記ヘッド基板に接続され、 他端を、中継側コネクタを介して前記中継基板に接続さ
    れていることを特徴とする請求項４ないし６のいずれか
    に記載のヘッドユニット。
  8. 【請求項８】 前記各個別ケーブルは、フラットフレキ
    シブルケーブルで構成され、 前記ヘッド側コネクタと前記中継側コネクタとは、相互
    に平行となる姿勢で配設されていることを特徴とする請
    求項７に記載のヘッドユニット。
  9. 【請求項９】 前記中継側コネクタは、前記中継基板の
    上面に上向きに取り付けられ、 前記各個別ケーブルは、前記中継基板に形成した開口部
    を通って配線されていることを特徴とする請求項８に記
    載のヘッドユニット。
  10. 【請求項１０】 前記接続配管アッセンブリは、 前記各機能液導入口に接続される複数の配管アダプタを
    介して、前記複数の個別パイプに接続されていることを
    特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載のヘッド
    ユニット。
  11. 【請求項１１】 前記複数の配管アダプタを一体に保持
    するアダプタ保持部材を、更に有し、 前記アダプタ保持部材は、前記各配管アダプタを前記各
    機能液導入口に接続した状態で前記キャリッジに固定さ
    れていることを特徴とする請求項１０に記載のヘッドユ
    ニット。
  12. 【請求項１２】 前記アダプタ保持部材には、前記各配
    管アダプタを前記各機能液導入口に向かって付勢するば
    ねが組み込まれていることを特徴とする請求項１１に記
    載のヘッドユニット。
  13. 【請求項１３】 前記複数の配管ジョイントを一体に保
    持するジョイント保持部材を、更に有し、 前記ジョイント保持部材は、前記キャリッジの端部に固
    定されていることを特徴とする請求項１０、１１または
    １２に記載のヘッドユニット。
  14. 【請求項１４】 前記ヘッドユニットは、一方向にスラ
    イド移動させてセットされるようになっており、 前記ジョイント保持部材は、前記複数の配管ジョイント
    を前記スライド方向後方に向けた状態で、前記キャリッ
    ジにおける前記スライド方向後端部に固定されているこ
    とを特徴とする請求項１３に記載のヘッドユニット。
  15. 【請求項１５】 前記各個別パイプは、前記配管ジョイ
    ントから前記配管アダプタに至る経路において分岐して
    いることを特徴とする請求項１０ないし１３のいずれか
    に記載のヘッドユニット。
  16. 【請求項１６】 前記キャリッジに固定された手持ちす
    るための一対のハンドルを、更に備えたことを特徴とす
    る請求項１ないし１５のいずれかに記載のヘッドユニッ
    ト。
  17. 【請求項１７】 前記配線接続アッセンブリおよび前記
    配管接続アッセンブリを覆うキャリッジカバーを、更に
    備えたことを特徴とする請求項１ないし１６のいずれか
    に記載のヘッドユニット。
  18. 【請求項１８】 導入した機能液を吐出ノズルから選択
    的に吐出する複数の機能液滴吐出ヘッドと、前記複数の
    機能液滴吐出ヘッドを搭載するキャリッジとを備え、前
    記各機能液滴吐出ヘッドに、ヘッドドライバに連なるメ
    インケーブルと機能液タンクに連なる複数のメインパイ
    プとが接続されるヘッドユニットにおいて、 前記キャリッジに搭載され、前記各メインケーブルが接
    続される複数の配線コネクタ、および一端を前記各機能
    液滴吐出ヘッドのヘッド基板に接続され他端を前記各配
    線コネクタに接続される複数の個別ケーブルを有する配
    線接続アッセンブリを備えたことを特徴とするヘッドユ
    ニット。
  19. 【請求項１９】 導入した機能液を吐出ノズルから選択
    的に吐出する複数の機能液滴吐出ヘッドと、前記複数の
    機能液滴吐出ヘッドを搭載するキャリッジとを備え、前
    記各機能液滴吐出ヘッドに、ヘッドドライバに連なるメ
    インケーブルと機能液タンクに連なる複数のメインパイ
    プとが接続されるヘッドユニットにおいて、 前記キャリッジに搭載され、前記各メインパイプが接続
    される複数の配管ジョイント、および一端を前記各機能
    液滴吐出ヘッドの機能液導入口に接続され他端を前記各
    配管ジョイントに接続される複数の個別パイプを有する
    配管接続アッセンブリを備えたことを特徴とするヘッド
    ユニット。
  20. 【請求項２０】 請求項１ないし１９のいずれかに記載
    のヘッドユニットを描画装置にセットするヘッドユニッ
    トのセット方法であって、 前記ヘッドユニットを、前記描画装置のセット位置手前
    に仮セットする仮セット工程と、 前記仮セットの後、前記各配線コネクタに前記各メイン
    ケーブルを接続すると共に前記各配管ジョイントに前記
    各メインパイプを接続する配管・配線接続工程と、 前記配管・配線接続工程の後、前記ヘッドユニットを仮
    セット位置からセット位置に送り込んで本セットする本
    セット工程とを備えたことを特徴とするヘッドユニット
    のセット方法。
  21. 【請求項２１】 請求項１ないし１９のいずれかに記載
    のヘッドユニットを備えた描画装置であって、 前記ヘッドユニットをセットするセットテーブルの手前
    に、前記ヘッドユニットを仮セットするための仮置き台
    を、備えたことを特徴とする描画装置。
  22. 【請求項２２】 請求項１ないし１９のいずれかに記載
    のヘッドユニットを用い、カラーフィルタの基板上に多
    数のフィルタエレメントを形成する液晶表示装置の製造
    方法であって、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドに各色のフィルタ材料を
    導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の機能液滴吐出ヘ
    ッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記フィルタ材
    料を選択的に吐出して多数の前記フィルタエレメントを
    形成することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
  23. 【請求項２３】 請求項１ないし１９のいずれかに記載
    のヘッドユニットを用い、基板上の多数の絵素ピクセル
    にそれぞれＥＬ発光層を形成する有機ＥＬ装置の製造方
    法であって、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の発光材料を導入
    し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の機能液滴吐出ヘ
    ッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記発光材料を
    選択的に吐出して多数の前記ＥＬ発光層を形成すること
    を特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
  24. 【請求項２４】 請求項１ないし１９のいずれかに記載
    のヘッドユニットを用い、電極上に多数の蛍光体を形成
    する電子放出装置の製造方法であって、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入
    し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の機能液滴吐出ヘ
    ッドを前記電極に対し相対的に走査し、前記蛍光材料を
    選択的に吐出して多数の前記蛍光体を形成することを特
    徴とする電子放出装置の製造方法。
  25. 【請求項２５】 請求項１ないし１９のいずれかに記載
    のヘッドユニットを用い、背面基板上の多数の凹部にそ
    れぞれ蛍光体を形成するＰＤＰ装置の製造方法であっ
    て、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入
    し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の機能液滴吐出ヘ
    ッドを前記背面基板に対し相対的に走査し、前記蛍光材
    料を選択的に吐出して多数の前記蛍光体を形成すること
    を特徴とするＰＤＰ装置の製造方法。
  26. 【請求項２６】 請求項１ないし１９のいずれかに記載
    のヘッドユニットを用い、電極上の多数の凹部に泳動体
    を形成する電気泳動表示装置の製造方法であって、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の泳動体材料を導
    入し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の機能液滴吐出ヘ
    ッドを前記電極に対し相対的に走査し、前記泳動体材料
    を選択的に吐出して多数の前記泳動体を形成することを
    特徴とする電気泳動表示装置の製造方法。
  27. 【請求項２７】 請求項１ないし１９のいずれかに記載
    のヘッドユニットを用い、基板上に多数のフィルタエレ
    メントを配列して成るカラーフィルタを製造するカラー
    フィルタの製造方法であって、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドに各色のフィルタ材料を
    導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の機能液滴吐出ヘ
    ッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記フィルタ材
    料を選択的に吐出して多数の前記フィルタエレメントを
    形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
  28. 【請求項２８】 前記多数のフィルタエレメントを被覆
    するオーバーコート膜が形成されており、 前記フィルタエレメントを形成した後に、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドに透光性のコーティング
    材料を導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の機能液滴吐出ヘ
    ッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記コーティン
    グ材料を選択的に吐出して前記オーバーコート膜を形成
    することを特徴とする請求項２７に記載のカラーフィル
    タの製造方法。
  29. 【請求項２９】 請求項１ないし１９のいずれかに記載
    のヘッドユニットを用い、ＥＬ発光層を含む多数の複数
    の絵素ピクセルを基板上に配列して成る有機ＥＬの製造
    方法であって、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドに各色の発光材料を導入
    し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の機能液滴吐出ヘ
    ッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記発光材料を
    選択的に吐出して多数の前記ＥＬ発光層を形成すること
    を特徴とする有機ＥＬの製造方法。
  30. 【請求項３０】 前記多数のＥＬ発光層と前記基板との
    間には、前記ＥＬ発光層に対応して多数の画素電極が形
    成されており、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入
    し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の機能液滴吐出ヘ
    ッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記液状電極材
    料を選択的に吐出して多数の前記画素電極を形成するこ
    とを特徴とする請求項２９に記載の有機ＥＬの製造方
    法。
  31. 【請求項３１】 前記多数のＥＬ発光層を覆うように対
    向電極が形成されており、 前記ＥＬ発光層を形成した後に、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入
    し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の機能液滴吐出ヘ
    ッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記液状電極材
    料を選択的に吐出して前記対向電極を形成することを特
    徴とする請求項３０に記載の有機ＥＬの製造方法。
  32. 【請求項３２】 請求項１ないし１９のいずれかに記載
    のヘッドユニットを用い、２枚の基板間に微小なセルギ
    ャップを構成すべく多数の粒子状のスペーサを形成する
    スペーサ形成方法であって、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドにスペーサを構成する粒
    子材料を導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の機能液滴吐出ヘ
    ッドを少なくとも一方の前記基板に対し相対的に走査
    し、前記粒子材料を選択的に吐出して前記基板上に前記
    スペーサを形成することを特徴とするスペーサ形成方
    法。
  33. 【請求項３３】 請求項１ないし１９のいずれかに記載
    のヘッドユニットを用い、基板上に金属配線を形成する
    金属配線形成方法であって、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドに液状金属材料を導入
    し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の機能液滴吐出ヘ
    ッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記液状金属材
    料を選択的に吐出して前記金属配線を形成することを特
    徴とする金属配線形成方法。
  34. 【請求項３４】 請求項１ないし１９のいずれかに記載
    のヘッドユニットを用い、基板上に多数のマイクロレン
    ズを形成するレンズ形成方法であって、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドにレンズ材料を導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の機能液滴吐出ヘ
    ッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記レンズ材料
    を選択的に吐出して多数の前記マイクロレンズを形成す
    ることを特徴とするレンズ形成方法。
  35. 【請求項３５】 請求項１ないし１９のいずれかに記載
    のヘッドユニットを用い、基板上に任意形状のレジスト
    を形成するレジスト形成方法であって、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドにレジスト材料を導入
    し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の機能液滴吐出ヘ
    ッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記レジスト材
    料を選択的に吐出して前記レジストを形成することを特
    徴とするレジスト形成方法。
  36. 【請求項３６】 請求項１ないし１９のいずれかに記載
    のヘッドユニットを用い、基板上に多数の光拡散体を形
    成する光拡散体形成方法であって、 前記複数の機能液滴吐出ヘッドに光拡散材料を導入し、 前記ヘッドユニットを介して前記複数の機能液滴吐出ヘ
    ッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記光拡散材料
    を選択的に吐出して多数の前記光拡散体を形成すること
    を特徴とする光拡散体形成方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010179299A (ja) * 2010-01-09 2010-08-19 Seiko Epson Corp 液滴吐出装置

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4378950B2 (ja) * 2002-12-24 2009-12-09 セイコーエプソン株式会社 液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法
JPWO2004070823A1 (ja) * 2003-02-05 2006-06-01 株式会社半導体エネルギー研究所 表示装置の作製方法
KR20080106361A (ko) * 2003-02-05 2008-12-04 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 레지스트 패턴의 형성방법 및 반도체장치의 제조방법
WO2004070810A1 (ja) * 2003-02-05 2004-08-19 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. 表示装置の製造方法
EP1592052A4 (en) * 2003-02-05 2014-04-23 Semiconductor Energy Lab PROCESS FOR DISPLAY PRODUCTION
KR101145350B1 (ko) * 2003-02-06 2012-05-14 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 반도체장치 및 표시장치의 제조 방법
CN101552230B (zh) * 2003-02-06 2011-05-25 株式会社半导体能源研究所 半导体制造装置
CN100392828C (zh) * 2003-02-06 2008-06-04 株式会社半导体能源研究所 显示装置的制造方法
KR101186919B1 (ko) * 2003-02-06 2012-10-02 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 표시장치의 제조 방법
JP2005108746A (ja) * 2003-10-01 2005-04-21 Internatl Business Mach Corp <Ibm> 有機エレクトロ・ルミネッセンス素子および有機エレクトロ・ルミネッセンス素子の製造方法
US20070076040A1 (en) * 2005-09-29 2007-04-05 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for inkjet nozzle calibration
KR100676813B1 (ko) * 2005-12-07 2007-02-01 삼성전자주식회사 표시장치의 제조방법, 이에 의한 표시장치 및 이에사용되는 제조장치
JP5292677B2 (ja) * 2006-07-07 2013-09-18 凸版印刷株式会社 光学素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法
JP2008015308A (ja) * 2006-07-07 2008-01-24 Toppan Printing Co Ltd 光学素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
JP4983128B2 (ja) * 2006-07-25 2012-07-25 凸版印刷株式会社 光学素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法
JP5233099B2 (ja) * 2006-08-31 2013-07-10 凸版印刷株式会社 光学素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法
JP5126254B2 (ja) * 2010-03-08 2013-01-23 ブラザー工業株式会社 画像記録装置
US20110318503A1 (en) * 2010-06-29 2011-12-29 Christian Adams Plasma enhanced materials deposition system
JP6268846B2 (ja) * 2013-09-19 2018-01-31 セイコーエプソン株式会社 ヘッドユニット、画像記録装置
US20230290667A1 (en) * 2014-06-17 2023-09-14 Kateeva, Inc. Printing system assemblies and methods
ES2740981T3 (es) * 2014-12-23 2020-02-07 Jet Set Srl Unidad de impresión para un aparato de impresión y aparato de impresión que comprende dicha unidad de impresión
DE102015100337A1 (de) 2015-01-12 2016-07-14 Khs Gmbh Messsystem und Verfahren zur Kalibrierung von Druckstationen
DE102015100338A1 (de) * 2015-01-12 2016-07-14 Khs Gmbh Messvorrichtung, Messsystem und Verfahren zur Kalibrierung von Druckstationen
KR102116534B1 (ko) 2018-06-25 2020-05-28 주식회사 에이치에스하이테크 기판 세정용 노즐 및 그 제조 방법
JP7238436B2 (ja) * 2019-01-31 2023-03-14 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 ヘッドアッセンブリ、及びインクジェット記録装置

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4502059A (en) * 1982-08-20 1985-02-26 Xerox Corporation Electrical interconnection system
JPS6163455A (ja) * 1984-09-05 1986-04-01 Konishiroku Photo Ind Co Ltd インクジエツト記録装置
JPH06344548A (ja) * 1993-06-07 1994-12-20 Canon Inc インクジェット記録装置
JPH0781049A (ja) * 1993-09-16 1995-03-28 Canon Inc インクジェット記録装置および該装置を備えた情報処理システム
JPH07246713A (ja) * 1994-03-09 1995-09-26 Canon Inc 画像形成装置
JP3342242B2 (ja) * 1995-06-30 2002-11-05 キヤノン株式会社 液晶用カラーフィルターおよびその製造方法ならびに液晶パネル
JPH10239510A (ja) * 1997-02-24 1998-09-11 Canon Inc カラーフィルタの製造装置及び該装置における泡抜き方法及びプリント装置及び該装置における泡抜き方法
JP4408966B2 (ja) * 1997-07-08 2010-02-03 ブラザー工業株式会社 インクジェット記録装置
JP3873416B2 (ja) * 1997-12-04 2007-01-24 ブラザー工業株式会社 プリンタ
JP2000011875A (ja) * 1998-06-19 2000-01-14 Dainippon Toryo Co Ltd プラズマディスプレイの製造方法
JP2000031027A (ja) * 1998-07-16 2000-01-28 Nkk Corp レジスト塗布方法および塗布装置
JP2000108216A (ja) * 1998-10-02 2000-04-18 Canon Inc マイクロレンズアレイの製造方法
JP2000180605A (ja) * 1998-12-17 2000-06-30 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 屈折型マイクロレンズの作製方法およびその装置
JP2000250027A (ja) * 1999-03-02 2000-09-14 Nec Corp 反射型液晶表示装置及びその製造方法
JP2000318184A (ja) * 1999-05-11 2000-11-21 Canon Inc インクジェット記録装置および、該インクジェット記録装置を有するカラーフィルタ製造装置
JP2000347191A (ja) * 1999-06-08 2000-12-15 Nippon Shokubai Co Ltd 液晶表示装置
AUPQ455999A0 (en) * 1999-12-09 2000-01-06 Silverbrook Research Pty Ltd Memjet four color modular print head packaging
JP4048679B2 (ja) * 2000-02-21 2008-02-20 セイコーエプソン株式会社 電気泳動表示装置及びその製造方法
KR20010085420A (ko) * 2000-02-23 2001-09-07 기타지마 요시토시 전계발광소자와 그 제조방법
JP2001267308A (ja) * 2000-03-22 2001-09-28 Seiko Epson Corp 保護膜形成装置及びこれを用いた半導体製造装置
JP2001291584A (ja) * 2000-04-07 2001-10-19 Seiko Epson Corp 電気光学装置部品の製造方法
US6481838B1 (en) * 2001-09-05 2002-11-19 Hewlett-Packard Company Ink tube connection to printhead carriage cover

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010179299A (ja) * 2010-01-09 2010-08-19 Seiko Epson Corp 液滴吐出装置

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