JP3894000B2 - ヘッドユニットの組立方法、機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置およびヘッドユニットの組立装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットヘッドに代表される機能液滴吐出ヘッドを、サブキャリッジに組み付けるヘッドユニットの組立方法、機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置およびヘッドユニットの組立装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のプリンタ等では、複数の機能液滴吐出ヘッドを必要とする場合、各機能液滴吐出ヘッドを個々にサブプレートに保持し、更にこれを単一のサブキャリッジに搭載して、複数の機能液滴吐出ヘッドを、サブプレートおよびサブキャリッジと共にヘッドユニットとして扱うようにしている。
そして、機能液滴吐出ヘッドをサブプレートに組み込む場合には、顕微鏡等を用いて人的に位置決めおよびねじ止め固定が行われる。また、ヘッド付きのサブプレートをサブキャリッジに組み込む場合には、サブキャリッジにサブプレートを位置決めするピン等を設けておいて、これにサブプレートをセットし且つ固定するようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、この種の機能液滴吐出ヘッドは、そのノズル列から微小な液滴を精度良く且つ選択的に吐出することができるため、液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置等のカラーフィルタの製造に応用可能であると共に、各種の電子デバイスや光デバイス等の製造装置への応用も期待されている。
このような応用技術を考慮すると、機能液滴吐出ヘッド自体の性能に加え、平面内におけるノズル（ノズル列）の位置精度（組付け精度）やその前提となるサブキャリッジの位置精度に、高い精度が要求される。また、吐出対象となる液体等によっては、機能液滴吐出ヘッドの寿命が短くなり、機能液滴吐出ヘッドの頻繁な交換も考慮する必要がある。
これらの点において、プリンタに搭載される従来の機能液滴吐出ヘッド（ヘッドユニット）では、各部の精度の累積が全体の精度を決定してしまうため、高い位置決め精度を安定に維持することには、おのずと限界が生ずる。また、手作業での組立では、作業が煩雑であり且つ信頼性が劣るものとなるおそれがある。
【０００４】
本発明は、機能液滴吐出ヘッドをサブキャリッジに安定に且つ精度良く組み付けることができるヘッドユニットの組立方法、機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置およびヘッドユニットの組立装置を提供することをその課題としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明のヘッドユニットの組立方法は、サブプレートに保持されノズル形成面を上向きにした機能液滴吐出ヘッドを、サブプレートを介して上下反転させたサブキャリッジに吊下するように仮装着したヘッドユニットに対し、機能液滴吐出ヘッドをサブキャリッジに位置決めした状態で固定するヘッドユニットの組立方法であって、機能液滴吐出ヘッドの位置を画像認識するヘッド認識工程と、ヘッド認識工程における認識結果に基づいて、サブキャリッジに対しサブプレートを介して機能液滴吐出ヘッドを位置決めするヘッド位置決め工程と、ヘッド位置決め工程の後、サブプレートをサブキャリッジに仮固定する仮固定工程と、仮固定工程の後、機能液滴吐出ヘッドの位置を画像認識する仮固定後確認工程と、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドを位置認識し、その認識結果に基づいて、機能液滴吐出ヘッドを、サブプレートを介してサブキャリッジに位置決めするため、結果的には、機能液滴吐出ヘッドをサブキャリッジに直接位置決めすることができる。このため、機能液滴吐出ヘッドの位置決め（位置補正）を、精度良く且つ迅速に行うことができる。また、この状態で機能液滴吐出ヘッド（サブプレート）を仮固定し、且つこれを画像認識するようにしているため、機能液滴吐出ヘッドのサブキャリッジへの仮固定を精度良く行うことができると共に、仮固定の信頼性を格段に高めることができる。
【０００７】
この場合、ヘッド認識工程に先立ち、サブキャリッジの位置を画像認識するキャリッジ認識工程と、キャリッジ認識工程における認識結果に基づいて、サブキャリッジを位置決めするキャリッジ位置決め工程と、を更に備えることが好ましい。
【０００８】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドが取り付けられるサブキャリッジを精度良く位置決めしておくことで、機能液滴吐出ヘッドの組付精度を、より一層高めることができる。
【０００９】
これらの場合、仮固定後確認工程における認識結果に基づいて、本固定を行うか否かを決定する判別工程と、判別工程により本固定を行うことを決定された場合に、サブプレートをサブキャリッジに本固定する本固定工程と、を更に備えることが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、仮固定後確認工程における認識結果が本固定を行うことを「否」とした場合に、本固定を取りやめることで、無駄な作業を省略することができる。
【００１１】
これらの場合、本固定工程の後、機能液滴吐出ヘッドの位置を画像認識する本固定後確認工程、を更に備えることが、好ましい。
【００１２】
この構成によれば、最終的にヘッドユニットが所定の精度をもって、組み立てられているか否かを判断することができる。
【００１３】
これらの場合、ヘッド位置決め工程は、機能液滴吐出ヘッドを位置決めした後、機能液滴吐出ヘッドの位置を画像認識する仮固定前確認工程を有していることが、好ましい。
【００１４】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドが目標位置に位置決めされているか否かを確認することができる。これにより、仮固定工程に移行するか否かの対応を迅速に行うことができる。
【００１５】
この場合、ヘッド位置決め工程は、仮固定前確認工程の認識結果において、機能液滴吐出ヘッドの目標位置とアライメント位置とが異なる場合に、機能液滴吐出ヘッドの位置を補正する位置補正工程を、更に有していることが、好ましい。
【００１６】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドの目標位置とアライメント位置とが異なる場合に、機能液滴吐出ヘッドの位置を補正するようにしているため、装置の機械的精度が低くても、機能液滴吐出ヘッドをサブキャリッジに対し精度良く位置決めすることができる。なお、この場合の、目標位置とアライメント位置とが異なる場合とは、アライメントにおける許容範囲を越えて異なる場合をいう。
【００１７】
これらの場合、仮固定工程は、接着剤によりサブプレートをサブキャリッジに接着することで行われることが、好ましい。
【００１８】
この構成によれば、仮固定の作業を簡単に行うことができると共に、仮固定および本固定において、サブプレート（機能液滴吐出ヘッド）の位置ずれを有効に防止することができる。
【００１９】
これらの場合、サブキャリッジの位置およびサブキャリッジに搭載された機能液滴吐出ヘッドの位置をパターン形成したアライメントマスクが用意されており、サブキャリッジの位置決めおよび機能液滴吐出ヘッドに位置決めは、アライメントマスクからそれぞれ取得したサブキャリッジの位置および機能液滴吐出ヘッドの位置を目標位置として、為されることが好ましい。
【００２０】
この構成によれば、アライメントマスクを位置決めの原型とし、その複製という形で機能液滴吐出ヘッドをサブキャリッジに位置決めすることができるため、常に安定した位置決め精度をもって、機能液滴吐出ヘッドを位置決めすることができる。したがって、装置の信頼性を高めることができる。
【００２１】
本発明の機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置は、サブプレートに保持された機能液滴吐出ヘッドのこれが搭載されるサブキャリッジへの固定に先立ち、サブプレートを介してサブキャリッジに仮装着した機能液滴吐出ヘッドをサブキャリッジに位置決めする機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置であって、サブプレートに相互に離間して形成した２つの係合孔に係合する一対の係合アームと、サブキャリッジに対し一対の係合アームをＸ・Ｙ・θ軸方向に相対的に微少移動させるＸ・Ｙ・θ軸テーブルとを備え、各係合アームは、先端部が各係合孔に挿入される係合ピンと、係合ピンを軸方向にスライド自在に且つ軸廻りに回転不能に保持するピンホルダとを有することを特徴とする。
【００２２】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドは、サブプレートを介して、予め所定の位置にセットされたサブキャリッジに仮装着されており、この状態から、Ｘ・Ｙ・θ軸テーブルにより、サブプレートに係合した一対の係合アームをＸ・Ｙ・θ軸方向に相対的に微少移動させ、サブプレートを介して機能液滴吐出ヘッドを位置決めする。この場合、Ｘ・Ｙ・θ軸移動テーブルを用いることにより、機能液滴吐出ヘッドの位置補正を、一連の移動動作で確実に行うことができる。また、一対の係合アームを、サブプレートの２つの係合孔に係合させて、位置補正を行うようにしているため、位置補正を安定に且つ精度良く行うことができる。さらに、ピンホルダに対し係合ピンが、軸方向にスライド自在に且つ軸廻りに回転不能に保持されているため、例えば係合ピンが僅かに偏心している場合であっても、位置決め時の係合ピンの回転が阻止され、サブプレート（機能液滴吐出ヘッド）の位置決めが不安定になるのを、有効に防止することができる。なお、サブキャリッジの固定は、仮固定を含む広義の固定である。また、位置決めのための移動は、サブキャリッジ側を移動させる構成としてもよい。
【００２３】
この場合、サブプレートの２つの係合孔は、一方が円形に形成され、他方が長円形に形成されていることが、好ましい。
【００２４】
この構成によれば、一対の係合アーム（係合ピン）の離間寸法に製造上の誤差があっても、各係合ピンの各係合孔への係合を、確実且つ円滑に行うことができる。すなわち、係合アームにおける係合ミスを確実に防止することができる。
【００２５】
これらの場合、ピンホルダには、係合ピンとの間にボールスプラインが介設されていることが、好ましい。
【００２６】
この構成によれば、係合ピンの軸方向へのスライドを、がたつきを生ずることなく円滑に行うことができ、且つ回転止めを、がたつきを生ずることなく確実に行うことができる。
【００２７】
この場合、ピンホルダに対し係合ピンは、軸方向に離間して２個所で保持されており、ボールスプラインは、２個所に介設されていることが好ましい。
【００２８】
この構成によれば、円滑なスライドと回転止めとを維持しつつ、係合ピンの軸方向の直進性（鉛直性）を維持することができる。
【００２９】
これらの場合、係合ピンの先端部は、先端側を係合孔より細径とし基端側を係合孔より太径とするテーパー形状に形成されていることが、好ましい。
【００３０】
この構成によれば、サブプレートの各係合孔と各係合アームの係合ピンとを、高精度に係合させることができる。すなわち、係合孔と係合ピンとの間のクリアランスが、位置補正の際の精度に影響を及ぼすのを防止することができる。
【００３１】
この場合、係合ピンの先端部は、鋭角となるテーパー形状に形成されていることが、好ましい。
【００３２】
この構成によれば、両係合アームの係合ピンにより、サブプレートを適度に押えつつ、これをサブプレート上で確実に微小移動させることができる。なお、鋭角となるテーパーの角度は、１０°以上９０°未満が好ましい。
【００３３】
これらの場合、係合ピンを突出方向に付勢する付勢手段を、更に備えることが好ましい。
【００３４】
この構成によれば、係合孔に係合した係合ピンが、係合孔を介してサブプレートを押圧することになり、係合が適切に行われる。このため、位置補正のための微小移動および位置補正後のサブプレートの位置を安定させることができる。また、位置補正後にサブプレートをサブキャリッジに固定（仮固定）する場合には、位置的に安定した状態でこれを固定（仮固定）することができる。
【００３５】
これらの場合、サブプレートを介して機能液滴吐出ヘッドを位置決めした後、係合ピンを介してサブプレートをサブキャリッジに押圧する押圧手段を、更に備えることが好ましい。
【００３６】
この構成によれば、位置補正後のサブプレートをサブキャリッジに押圧しておくことができ、続く仮固定等の作業を、位置ずれを生ずることなく安定に行うことができる。
【００３７】
これらの場合、サブキャリッジに形成した複数の小穴を介して、サブプレートをエアー浮上させる圧縮エアー供給手段を、更に備えることが好ましい。
【００３８】
この構成によれば、位置決めのためのサブプレートの微小移動を、極めて円滑に且つ小さな力で行うことができ、サブキャリッジとの間の摩擦による位置決め不良を解消することができる。
【００３９】
本発明のヘッドユニットの組立装置は、上記した機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置を備え、サブプレート、機能液滴吐出ヘッドおよびサブキャリッジから成るヘッドユニットを組み立てることを特徴とする。
【００４０】
この構成によれば、サブプレートを介して機能液滴吐出ヘッドをサブキャリッジに精度良く位置決めしすることができる。このため、サブキャリッジに機能液滴吐出ヘッドを精度良く組み込んだヘッドユニットを、安定に得ることができる。
【００４６】
このように、上記のヘッドユニットを、液晶表示装置の製造方法、有機ＥＬ（Electronic Luminescence）装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置の製造方法および電気泳動表示装置の製造方法に適用することにより、各装置に求められるフィルタ材料や発光材料等を、適切な位置に適切な量を選択的に供給することができる。また、ヘッドユニットを介して専用の機能液滴吐出ヘッドを迅速に供給することができる。なお、機能液滴吐出ヘッドの走査は、一般的には主走査および副走査となるが、いわゆる１ラインを単一の機能液滴吐出ヘッドで構成する場合には、副走査のみとなる。また、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）装置を含む概念である。
【００５５】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。インクジェットプリンタのインクジェットヘッド（機能液滴吐出ヘッド）は、微小なインク滴（液滴）をドット状に精度良く吐出することができることから、吐出対象液として、例えば特殊なインクや感光性の樹脂等の機能液を用いることにより、各種部品の製造分野への応用が期待されている。また、係る応用技術では、導入する機能液によっては、機能液滴吐出ヘッドの耐久性に大きな影響を与えるものも想定され、複数の機能液滴吐出ヘッドをサブキャリッジに精度良く組み込んだヘッドユニットを、随時供給可能とすることが必要となる。
【００５６】
本発明の機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置を適用した本実施形態のヘッドユニットの組立方法および組立装置は、例えばカラーフィルタ（液晶表示装置等）や有機ＥＬ装置等の、いわゆるフラットディスプレイの製造装置（以下、「描画装置」という）に併設され、これに随時ヘッドユニットを供給可能とするものである。この描画装置では、例えばカラーフィルタのフィルタエレメントに、Ｒ．Ｇ．Ｂのフィルタ材料を液滴として吐出する複数の機能液滴吐出ヘッドを備えており（詳細は後述する）、ヘッドユニットの組立装置は、この複数の機能液滴吐出ヘッドをサブキャリッジに精度良く組み込んでヘッドユニットを組み立て、これを描画装置に適宜供給できるようにしている。
【００５７】
この場合のヘッドユニットの組立手順は、先ず各機能液滴吐出ヘッドをサブプレートに位置決め状態で個々に組み付け、これを単一のサブキャリッジに仮装着し、次いでサブキャリッジに対し各機能液滴吐出ヘッドを位置決めした後、仮固定し、最後に本固定するものである。そして、機能液滴吐出ヘッドのサブプレートへの組付けおよびサブキャリッジへの仮装着は、外工程として手作業により行われる一方、サブキャリッジに複数の機能液滴吐出ヘッドを位置決めし且つ仮固定する作業は、実施形態の組立装置で行われる。さらに、機能液滴吐出ヘッドの本固定は、ヘッドユニットを組立装置にセットしたまま、手作業で行われる。
【００５８】
そこで、本実施形態では、先ずこの組立装置で扱うヘッドユニットと、その構成要素である機能液滴吐出ヘッド、サブプレートおよびサブキャリッジについて説明する。また、この説明に相前後して、ヘッドユニットと上記の描画装置との関係、治具を用いた機能液滴吐出ヘッドのサブプレートへの組付方法、およびヘッドユニットの位置決め基準となるアライメントマスクについて説明する。その後、ヘッドユニットの組立装置について詳細に説明することとする。そして、最後に、このヘッドユニットを、いわゆるフラットディスプレイの製造方法に適用した例について説明する。
【００５９】
図１、図２および図３は、ヘッドユニットの構造図である。同図に示すように、ヘッドユニット１は、サブキャリッジ２と、サブキャリッジ２に搭載した複数個（１２個）の機能液滴吐出ヘッド３と、各機能液滴吐出ヘッド３をサブキャリッジ２に個々に取り付けるための複数個（１２個）のサブプレート４とを備えている。１２個の機能液滴吐出ヘッド３は、６個づつに二分され、主走査方向に対し所定の角度傾けて配設されている。また、各６個の機能液滴吐出ヘッド３は、副走査方向に対し相互に位置ずれして配設され、１２個の機能液滴吐出ヘッド３の全吐出ノズル５７（後述する）が副走査方向において連続する（一部重複）ようになっている。
【００６０】
すなわち、実施形態のヘッド配列は、サブキャリッジ２上において、同一方向に傾けて配置した６個の機能液滴吐出ヘッド３を２列としてものであり、且つ各ヘッド列間において機能液滴吐出ヘッド３が相互に１８０°回転した配置となっている。もっとも、この配列パターンは一例であり、例えば、各ヘッド列における隣接する滴吐出ヘッド３同士を９０°の角度を持って配置（隣接ヘッド同士が「ハ」字状）したり、各ヘッド列間における滴吐出ヘッド３を９０°の角度を持って配置（列間ヘッド同士が「ハ」字状）したりすることは可能である。
【００６１】
いずれにしても、１２個の機能液滴吐出ヘッド３の全吐出ノズル５７によるドットが副走査方向において連続していればよい。また、各種の基板に対し機能液滴吐出ヘッド３を専用部品とすれば、機能液滴吐出ヘッド３をあえて傾けてセットする必要は無く、千鳥状や階段状に配設すれば足りる。さらにいえば、所定長さのノズル列（ドット列）を構成できる限り、これを単一の機能液滴吐出ヘッド３で構成してもよいし複数の機能液滴吐出ヘッド３で構成してもよい。すなわち、機能液滴吐出ヘッド３の個数や列数、さらに配列パターンは任意である。
【００６２】
サブキャリッジ２は、一部が切り欠かれた略方形の本体プレート１１と、本体プレート１１の長辺方向の中間位置に設けた左右一対の基準ピン１２，１２と、本体プレート１１の両長辺部分に取り付けた左右一対の支持部材１３，１３と、各支持部材１３の端部に設けた左右一対のハンドル１４，１４とを有している。左右のハンドル１４，１４は、例えば組み立てたヘッドユニット１を上記の描画装置Ｂに載せ込む場合に、ヘッドユニット１を手持ちするための部位となる。また、左右の支持部材１３，１３は、サブキャリッジ２を組立装置Ａや描画装置Ｂのセット部に固定するときの部位となる。
【００６３】
さらに、サブキャリッジ２には、二分された機能液滴吐出ヘッド群３Ｓの上側に位置して、これら機能液滴吐出ヘッド３に接続される左右一対の配管接続アッセンブリ１５，１５および左右一対の配線接続アッセンブリ１６，１６が設けられている。各配管接続アッセンブリ１５は、描画装置Ｂのフィルタ材料供給系に配管接続され、同様に各配線接続アッセンブリ１６は、描画装置Ｂの制御系に配線接続されるようになっている。なお、図１は、一方（図示手前側）の配管接続アッセンブリ１５を省略して、描かれている。
【００６４】
本体プレート１１は、ステンレス等の厚板で構成され、左右に各６個の機能液滴吐出ヘッド３を取り付けるための一対の装着開口１８，１８が形成されると共に、適宜位置に重量を軽減するための複数の抜き開口１９が形成されている。各装着開口１８は、６個の機能液滴吐出ヘッド３を取り付ける開口部位１８ａが連続したものであり、６個の機能液滴吐出ヘッド（機能液滴吐出ヘッド群３Ｓ）３の並びに倣って、その軸線が本体プレート１１の軸線に対しわずかに傾いている。
【００６５】
各支持部材１３は、厚手のステンレス板等で構成され、これを固定するための２つの固定孔（ばか孔）２１，２１および２つのボルト孔２２，２２が形成されると共に、これら固定孔２１，２１およびボルト孔２２，２２間に位置決め用のピンが挿入されるピン孔２３が形成されている。詳細は後述するが、組立装置Ａや描画装置Ｂにヘッドユニット１をセットするときには、ピン孔２３を用いて位置決めされると共に２つの固定孔２１，２１を用いてねじ止め固定される。
【００６６】
左右一対の基準ピン１２，１２は、画像認識を前提として、サブキャリッジ２をＸ軸、Ｙ軸およびθ軸方向に位置決め（位置認識）するための基準となるものであり、本体プレート１１の裏面に突出するように取り付けられている。各基準ピン１２の先端面は鏡面加工されており、この先端面の中心位置に基準マーク２６となる小孔（直径０．３ｍｍ程度）が穿孔されている。
【００６７】
詳細は後述するが、組立装置Ａや描画装置Ｂに搭載した認識カメラ３５３は、基準マーク２６を形成した基準ピン１２の先端面２９ａを、視野内に捕らえて画像認識（パターン認識）を行う。このため、認識カメラ３５３によるパターン認識では、鏡面仕上げの先端面が明色で、その先端面２９ａの略中央部に形成された凹形状の基準マーク２６が暗色で認識され、十分なコントラストを持って基準マーク２６が画像認識される。
【００６８】
各配管接続アッセンブリ１５は、各機能液滴吐出ヘッド群３Ｓの上側に配設されており、本体プレート１１の長辺方向の両端部に立設した一対のスペーサ３６，３６と、一対のスペーサ３６，３６間に渡した押さえプレート３７と、押さえプレート３７に搭載した６組の配管アダプタ３８とで構成されている。６組の配管アダプタ３８は、その下端のヘッド側接続部分をわずかに突出するようにして、それぞれ押さえプレート３７に固着されている。
【００６９】
詳細は後述するが、機能液滴吐出ヘッド３はいわゆる２連のものであり、６組の配管アダプタ３８は、それぞれ２連の配管接続部材１７を介して機能液滴吐出ヘッド３に接続される。すなわち、各機能液滴吐出ヘッド３に配管接続部材１７を嵌合接続する一方、６組の配管アダプタ３８を搭載した押さえプレート３７を両スペーサ３６，３６にねじ止めすることで、６組の配管アダプタ３８が、それぞれ配管接続部材１７を介して機能液滴吐出ヘッド３に接続される。
【００７０】
同様に、各配線接続アッセンブリ１６は、サブキャリッジ２の左右の端部に立設した３個の屈曲支持部材４０，４０，４０と、屈曲支持部材４０の上端に固定したコネクタベース４１と、コネクタベース４１上に取り付けた配線コネクタ４３付きの４つのヘッド中継基板４２とで構成されている。４つのヘッド中継基板４２は、それぞれフレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介して、後述する各機能液滴吐出ヘッド３の２連のヘッド基板４７に接続されている。そして、各ヘッド中継基板４２には、描画装置Ｂにセットする際にその制御系ケーブルの配線プラグにより配線接続される（詳細は後述する）。
【００７１】
なお、図２にのみ示すように、このヘッドユニット１には更に、両配線接続アッセンブリ１６を覆う中継基板カバー２４が設けられている。中継基板カバー２４は、各配線接続アッセンブリ１６の側面から直上部を覆う一対の側面カバー２４ａと、一対の側面カバー２４ａ間に渡した上面カバー２４ｂとで構成されており、このうち上面カバー２４ｂは、ヘッドユニット１を描画装置Ｂにセットした後に取り付けるようになっている。また、詳細は後述するが、ヘッドユニット１を組立装置Ａにセットする段階では、描画装置Ｂにセットする場合と異なり、中継基板カバー２４は元より両アッセンブリ１５，１６も組み付けておかないものとする。
【００７２】
次に、図４ないし図６を用いて機能液滴吐出ヘッド３について説明する。この機能液滴吐出ヘッド３は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針４６を有する液体導入部４５と、液体導入部４５の側方に連なる２連のヘッド基板４７と、液体導入部４５に下方に連なる２連のポンプ部４８と、ポンプ部４８に連なるノズル形成プレート４９とを備えている。液体導入部４５には、上記の配管接続部材１７が接続され、ヘッド基板４７には、上記のフレキシブルフラットケーブルが接続されている。一方、このポンプ部４８とノズル形成プレート４９とにより、サブキャリッジ２の裏面側に突出する方形のヘッド本体５０が構成されている。また、ノズル形成プレート４９のノズル形成面５２には、２列のノズル列５３，５３が形成されている（図５参照）。
【００７３】
図５に示すように、ポンプ部４８の基部側、すなわちヘッド本体５０の基部側は、液体導入部４５を受けるべく方形フランジ状に形成され、このフランジ部５８には、機能液滴吐出ヘッド３をサブプレート４に固定する小ねじ用の一対のねじ孔（雌ねじ）５９，５９が形成されている。この一対のねじ孔５９，５９は、両長辺部分に位置し、且つノズル形成面５２の中心に対し点対称となるように配設されている。詳細は後述するが、サブプレート４を貫通してフランジ部５８に螺合した２本の小ねじ７３，７３により、機能液滴吐出ヘッド３がサブプレート４に固定される（図８参照）。
【００７４】
一方、ノズル形成プレート４９には、２本のノズル列５３，５３が相互に平行に列設されており、各ノズル列５３は、等ピッチで並べた１８０個（図示では模式的に表している）の吐出ノズル５７で構成されている。すなわち、ヘッド本体５０のノズル形成面５２には、その中心線を挟んで２本のノズル列５３，５３が左右対称に配設されている。
【００７５】
このように構成された機能液滴吐出ヘッド３は、そのヘッド本体５０を、サブキャリッジ２に形成した装着開口１８からサブキャリッジ２の裏面側に突出させ、装着開口１８の縁部にあてがったサブプレート４に上記のフランジ部５８の部分でねじ止め固定される。また、サブプレート４は、サブキャリッジ２に接着により仮固定され、その後、ねじにより本固定される。
【００７６】
次に、図７および図８を参照して、サブプレート４について説明する。サブプレート４は、機能液滴吐出ヘッド３をサブキャリッジ２に安定に取り付けるための媒介金具であり、ステンレス等で構成された略長方形の平板状に形成されている。サブプレート４には、その中央に機能液滴吐出ヘッド３のヘッド本体５０が挿通する方形の挿通開口７１が形成されている。この場合、サブプレート４は、その長辺方向の両端部で装着開口（開口部位１８ａ）１８を跨ぐようにしてサブキャリッジ２の裏面側にセットされ、これに対し機能液滴吐出ヘッド３は、そのヘッド本体５０を挿通開口７１に挿通すようにしてサブキャリッジ２の表側にセットされる（図４参照）。
【００７７】
サブプレート４の挿通開口７１の周囲には、上記フランジ部５８の２つのねじ孔５９，５９に対応する２つの貫通孔７２，７２および２本の小ねじ７３，７３と、２つの突出位置規制ピン７４，７４が配設されている。２つの貫通孔７２，７２は、それぞれ装着開口１８側に突出する２つのボス部７５，７５に形成されている。この場合、各ボス部７５は、サブプレート４に圧入した筒状のカラーで構成されている。この２つのボス部７５，７５と２つの突出位置規制ピン７４，７４とは、いずれも挿通開口７１の中心に対し点対称位置に配設されており、これらボス部７５，７５と突出位置規制ピン７４，７４がヘッド本体５０のフランジ部５８に当接することにより、機能液滴吐出ヘッド３のサブキャリッジ２からの吐出寸法が規制されるようになっている。
【００７８】
また、挿通開口７１の中心線上において、挿通開口７１の外側には２つの係合孔７６，７６が形成されている。この２つの係合孔７６，７６は、後述する機能液滴吐出ヘッド３の組付治具Ｃが装着される部位であると同時に、組立装置Ａにおける位置補正用の係合ピン６４３，６４３が係合される部位でもある。この場合、組付治具Ｃの装着や係合ピン６４３の係合が無理なく為されるように、２つの係合孔７６，７６は、一方が円形に、他方が上記中心線方向に長い長円形に形成されている。
【００７９】
さらに、挿通開口７１の中心線上において、サブプレート４の両端部には、それぞれ２つの接着剤注入孔７７，７７が、挿通開口７１を挟んで対称位置に形成されている。各接着剤注入孔７７はサブプレート４の横断方向に延びる長孔となっており、この長孔のサブキャリッジ２側の端部は、面取りされている（図７参照）。各２つの接着剤注入孔７７，７７が形成されたサブプレート４の両端部は、サブプレート４をサブキャリッジ２に接着するための接着部位７８，７８となっており、各接着剤注入孔７７から注入された接着剤は、毛細管現象によりサブキャリッジ２と接着部位７８，７８との界面部分に広がって、塗着される。
【００８０】
この場合、一方の端部の外側（内側）に形成した接着剤注入孔７７ａ（７７ｂ）と他方の端部の内側（外側）に形成した接着剤注入孔７７ａ（７７ｂ）とは、それぞれ対となっている。詳細は後述するが、組立装置Ａは２本の接着剤注入ノズル３８７，３８７を有しており、２本の接着剤注入ノズル３８７，３８７は、対となる一方の２つの接着剤注入孔７７ａ，７７ａに同時に挿入されて接着剤を注入すると共に、上記中心線方向に移動した後、他方の２つの接着剤注入孔７７ｂ，７７ｂに同時に挿入されて接着剤を注入する。
【００８１】
なお、図中の符号７９，７９は、サブプレート４をサブキャリッジ２に仮装着および本固定するときに使用する（詳細は後述する）一対の締結孔であり、この一対の締結孔７９，７９は、それぞれ接着剤注入孔７７，７７の近傍であって、挿通開口７１の中心に対し点対称位置に形成されている。また、サブキャリッジ２の開口部位１８ａには、この一対の締結孔７９，７９に対応する一対の本締め用ねじ孔２０，２０が形成されている（図１０参照）。
【００８２】
ところで、一対の基準ピン１２，１２を介して位置決めされるサブキャリッジ２に対し、各機能液滴吐出ヘッド３は、その出力端であるノズル列（吐出ノズル５７）５３を基準に、Ｘ軸、Ｙ軸およびθ軸方向に位置決め（位置認識）される。より具体的には、２つのノズル列５３，５３は、製造段階で相互の位置精度が保証されているため、いずれか一方のノズル列５３の最外端に位置する２つの吐出ノズル５７ａ，５７ａを位置決め基準とし、これを認識するようにしている。また、機能液滴吐出ヘッド３のヘッド本体５０における先端部の四辺（厳密には、ポンプ部４８の数ミリ幅に亘る先端部の四辺）も、製造段階で相互の位置精度が保証されている。
【００８３】
一方、機能液滴吐出ヘッド３は、サブプレート４を介してサブキャリッジ２に固定する形態である。そこで、本実施形態では、組付治具Ｃを用い、上記ヘッド本体５０の先端部四辺を基準にして、機能液滴吐出ヘッド３をサブプレート４に位置決めし、ねじ止め固定の後、上記２つの吐出ノズル５７ａ，５７ａを基準にして、サブプレート４付き機能液滴吐出ヘッド３を位置決めし、仮固定するようにしている。すなわち、機能液滴吐出ヘッド３は、組付治具Ｃを用いた手作業により、いったんサブプレート４に仮位置決めされ、続く組立装置Ａでの画像認識（吐出ノズル５７ａ，５７ａを認識）を経て、本位置決めされる。
【００８４】
実施形態の組立装置Ａでは、位置認識のスピードアップを図るため、上記２つの吐出ノズル５７ａ，５７ａを、固定的に設けた２つの認識カメラ３５３，３５３で同時に認識する、すなわち２つの認識カメラ３５３，３５３が同時に視野内に捕らえるようにしている。このため、組付治具Ｃを用いた機能液滴吐出ヘッド３の仮位置決めは、本位置決めの段階で、設定した位置データに基づいて、２つの認識カメラ３５３，３５３を上記の２つの吐出ノズル５７ａ，５７ａに臨ませたときに、いずれも視野から外れることのないようにするものである。
【００８５】
ここで、図８および図９を参照して、機能液滴吐出ヘッド３の組付治具Ｃについて説明すると共に、この組付治具Ｃを用いて機能液滴吐出ヘッド３をサブプレート４に組み付ける組付方法について説明する。図９に示すように、組付治具Ｃは、機能液滴吐出ヘッド３のヘッド本体５０を位置決めする治具本体８１と、治具本体８１をサブプレート４に位置決め状態で装着する一対の装着ピン８２，８２とで構成されている。
【００８６】
治具本体８１は、縦辺部８４と、縦辺部８４の両端から直角に延びる一対の横辺部８５，８５とで、略「Ｃ」字状に一体に形成されている。一方、一対の装着ピン８２，８２は、それぞれ横辺部８５，８５の裏面側から突出しており、この一対の装着ピン８２，８２をサブプレート４の係合孔７６，７６に嵌合させることで、治具本体８１がサブプレート４に装着される。
【００８７】
縦辺部８４の内側から一方の横辺部８５の内側に亘る部位には、略「Ｌ」字状の位置決め部８６が形成され、この位置決め部８６にヘッド本体５０の一方の長辺および短辺を当接させることで、機能液滴吐出ヘッド３がサブプレート４に位置決めされるようになっている。位置決め部８６は、表側を他の部分と面一として薄肉に形成され、且つコーナー部分８６ａが半円状に窪入形成されている。また、治具本体８１は、これをサブプレート４に装着した状態で、その表面と機能液滴吐出ヘッド３のノズル形成面５２とが、ほぼ面一（同レベル）とになるように、その厚みが設計されている。
【００８８】
これにより、ヘッド本体５０はその突出方向の先端部が、組付治具Ｃの位置決め部８６に当接して位置決めされるようになっている。すなわち、製造段階で、ノズル列５３に対し位置精度が保証されたヘッド本体５０における先端部の四辺のうち隣接する２つの辺を、組付治具Ｃの位置決め部８６に突き当てることで、機能液滴吐出ヘッド３がサブプレート４に位置決めされるようになっている。
【００８９】
一方、一対の装着ピン８２，８２は、位置決め部８６に突き当てたヘッド本体５０の中心線に合致するように配設されている。より具体的には、位置決め部８６の長辺部位８６ｂは、一対の装着ピン８２，８２を結ぶ直線と平行に形成され、且つその離間寸法は、ヘッド本体５０の長辺位置に合わせて管理されると共に、ヘッド本体５０の短辺の１／２の寸法に形成されている。また、位置決め部８６の短辺部位８６ｃは、長辺部位８６ｂに直角に形成され、且つ短辺部位８６ｃ側に位置する装着ピン８２との離間寸法は、ヘッド本体５０の短辺位置に合わせて管理されている。
【００９０】
これにより、組付治具Ｃは、図８の状態から１８０°回転した状態で、サブプレート４に装着しても、特段の支障を生ずることなく、機能液滴吐出ヘッド３を位置決めすることができる。すなわち、実施形態の組付治具Ｃは、その平面形状が左右対称ではないが、いわゆる右勝手・左勝手のない構造となっている。
【００９１】
次に、図８、図１０および図１１を参照して、上記の組付治具Ｃを用いた、機能液滴吐出ヘッド３のサブプレート４への組付方法について説明する。この組付作業は、組立装置Ａの外工程として手作業で行われる。先ず、サブキャリッジ（厳密には本体プレート１１）２の表側の周縁部に４本の支持脚８８，８８，８８，８８をねじ止めする。次いで、サブキャリッジ２を上下反転させ、サブキャリッジ２を支持脚８８により浮いた状態にセットする。なお、図示では省略したが、この状態でサブキャリッジ２に、上記一対の支持部材１３，１３および一対の基準ピン１２，１２を取り付けておくことが、好ましい。
【００９２】
次に、ヘッド本体５０を上向きにした機能液滴吐出ヘッド３を、サブキャリッジ２の下側から装着開口１８に挿入する。ここで、サブキャリッジ２の上側からサブプレート４の挿通開口７１をヘッド本体５０に位置合わせし嵌め入れるようにして、サブプレート４をサブキャリッジ２上にセットする。サブプレート４をセットしたら、上側からサブプレート４に組付治具Ｃを装着すると共に、サブプレート４の位置決め部８６に、これに対峙するヘッド本体５０の２辺を押し付ける。なお、組付治具Ｃを複数個用意しておいて、これを予めサブプレート４に装着しておいてから、作業を開始してもよい。
【００９３】
続いて、上記の押付け状態を維持しつつ、上側から２本の小ねじ７３，７３を、サブプレート４を貫通して機能液滴吐出ヘッド３のフランジ部５８にそれぞれ螺合し、機能液滴吐出ヘッド３をサブプレート４に固定する。次に、２つの認識カメラ３５３，３５３の視野が、２つの吐出ノズル５７ａ，５７ａから外れないようにする手段として、上記一対の締結孔７９，７９からサブキャリッジ２の本締め用ねじ孔２０，２０に、それぞれ固定ねじ８９，８９を仮締め状態で螺合しておく（図８参照）。
【００９４】
これにより、固定ねじ８９と締結孔７９の寸法交差の範囲において、サブキャリッジ２に対する機能液滴吐出ヘッド３の位置合わせが可能となると共に、２つの認識カメラ３５３，３５３の視野が、２つの吐出ノズル５７ａ，５７ａから外れることがなくなる。このようにして、機能液滴吐出ヘッド３のサブプレート４への位置決めおよび固定を順に繰り返すことで、１２個の機能液滴吐出ヘッド３が個々にヘッド保持部４に組み付けられる。最後に、サブプレート４から組付治具Ｃを引き抜くと共に４本の支持脚８８を取り外して、作業を完了する。
【００９５】
以上のようにして、サブキャリッジ２を挟んで、１２個の機能液滴吐出ヘッド３が１２個のヘッド保持部４に組み付けられるが、この状態では、１２個の機能液滴吐出ヘッド３はサブキャリッジ２に固定されておらず、吊り下げられた状態となっている。すなわち、ヘッド保持部４付きの１２個の機能液滴吐出ヘッド３は、サブキャリッジ２に対し、固定ねじ８９と締結孔７９の寸法交差範囲内で微小移動可能に、仮装着されている。
【００９６】
そして、サブキャリッジ２に、サブプレート４付きの１２個の機能液滴吐出ヘッド３が仮装着されたヘッドユニット１は、組立装置Ａに導入され、上下反転姿勢のままこれにセットされる。なお、組立装置Ａに導入されるヘッドユニット１は、上記の主構成部品に一対の支持部材１３，１３および基準ピン１２，１２を組み込んだものとなり、描画装置Ｂに導入されるヘッドユニット１は、これに更にハンドル１４を始め、両アッセンブリ１５，１６等を組み込んだものとなる。
【００９７】
ここで、描画装置Ｂについて簡単に説明する。図１２は描画装置Ｂを模式的に表した概念図であり、同図に示すように、描画装置Ｂは、ヘッドユニット１を搭載しこれをＹ軸方向およびθ軸方向に移動させるヘッド移動部１０１と、ヘッド移動部１０１に対峙しカラーフィルタ等の基板１０２をＸ軸方向に移動させる基板移動部１０３と、ヘッドユニット１の機能液滴吐出ヘッド３を保全するメンテナンス部１０４とを備えている。ヘッド移動部１０１は、これに搭載したヘッドユニット１を、基板移動部１０３を挟んでユニット導入部１０５とメンテナンス部１０４との間で移動させる。
【００９８】
ヘッドユニット１を導入セットする場合には、ヘッド移動部１０１がユニット導入部１０５側に移動し、その仮置き台１０６がユニット導入部１０５に臨んでいる。ヘッドユニット１は、この仮置き台１０６上に仮置きされ配管および配線を繋ぎこんだ後、ヘッド移動部１０１に送り込むようにしてセットされる。そして、ヘッドユニット１の初期位置決めを行う準備工程では、ヘッドユニット１のθ軸方向への微小移動（角度補正）が行われるが、フィルタ材料を吐出する製造工程では、基板１０２がＸ軸方向に且つヘッドユニット１がＹ軸方向に移動して、機能液滴吐出ヘッド３の主走査および副走査が行われる。
【００９９】
ヘッド移動部１０１は、ヘッドユニット１を垂設するようにして支持するメインキャリッジ１１１と、メインキャリッジ１１１をθ軸方向に移動させるθテーブル１１２と、θテーブル１１２を介してヘッドユニット１をＹ軸方向に移動させるＹテーブル１１３とを有している。また、基板移動部１０３は、基板１０２を吸着するようにしてセットする基板セットテーブル１１５と、基板セットテーブル１１５を介して基板をＸ軸方向に移動させるＸテーブル１１６とを有している。
【０１００】
この場合、Ｘテーブル１１６は、エアースライダとリニアモータとの組み合わせで駆動し、Ｙテーブル１１３は、ボールねじとサーボモータの組み合わせで駆動する（いずれも図示省略）。また、基板認識カメラ１１７はメインキャリッジ１１１に（図１２参照）、ヘッド認識カメラ１１８は基板セットテーブル１１５に、それぞれ搭載されている。したがって、ヘッドユニット１のキャリッジ２に設けた一対の基準ピン１２，１２は、ヘッド認識カメラ１１８とこれをＸ軸方向に移動させるＸテーブル１１６との協働により、画像認識される。
【０１０１】
次に、図１３ないし図１５を参照して、アライメントマスクＤについて説明する。実施形態の組立装置Ａでは、ヘッドユニット１の組立個数に係わらず、常に一定レベルの組立精度を有するヘッドユニット１を供給する必要がある。そこで、サブキャリッジ２および１２個の機能液滴吐出ヘッド３の基準位置をマークしたアライメントマスクＤを用意している。すなわち、アライメントマスクＤを部品位置の原型（原版）とし、複製としてのヘッドユニット１を、この組立装置Ａで組み立てるようにしている。これにより、ヘッドユニット１に対する各組立装置Ａが持つ癖や経時変化等の精度的影響を排除するようにしている。
【０１０２】
アライメントマスクＤは、サブキャリッジ２の基準位置および各機能液滴吐出ヘッド３の基準位置をマスクパターン形成したマスタプレート１６１と、マスタプレート１６１を下側から保持するプレートホルダ１６２とで構成されている。上述したように、各機能液滴吐出ヘッド３は、主走査方向に対し所定の角度（角度４０°〜６０°）傾けて配設されている。そこで、マスタプレート１６１およびプレートホルダ１６２は、この傾き角度に合わせて形成されている。
【０１０３】
より具体的には、マスタプレート１６１は、傾けて搭載される機能液滴吐出ヘッド３のヘッド本体５０に対応し、その長辺に平行な２辺と短辺に平行な２辺とで方形に形成され、無駄な部分が生じないようにしている。また、マスタプレート１６１は、原型として狂いが生じないように厚手の透明な石英ガラスで構成されている。
【０１０４】
マスタプレート１６１の表面には、各機能液滴吐出ヘッド３の基準位置を表す各５つのヘッド基準マーク１６４，１６４，１６４，１６４，１６４を１組として、これが両側に６組ずつ計１２組形成されている。また、この１２組のヘッド基準マーク１６４の外側には、サブキャリッジ２の基準位置を表す一対のサブキャリッジ基準マーク１６５，１６５が形成されている。さらに、端部に位置するヘッド基準マーク１６４の近傍には、認識カメラ３５３の画素分解能を調整するための被写体画像１６６が形成されている。
【０１０５】
各５つのヘッド基準マーク１６４は、機能液滴吐出ヘッド３におけるノズル形成面５２の中心位置と、２列のノズル列５３，５３のそれぞれ最外端部に位置する計４つの吐出ノズル５７，５７，５７，５７の位置を表示している。図１３（ａ）に示すように、各ヘッド基準マーク１６４は、円形ラインの内部に中抜きの十字を描くと共に、十字を除く円形内に斜線を描いて形成されている。したがって、これを認識カメラ３５３で画像認識（撮像）すると、暗色の円形部分の内部に、明色の十字部分が認識される。
【０１０６】
上記と同様に、各サブキャリッジ基準マーク１６５も、円形ラインの内部に中抜きの十字を描くと共に、十字を除く円形内に斜線を描いて形成されている。また、被写体画像１６６は、格子状に精度良く描いた縦横の多数のラインで形成されている。なお、ノズル形成面５２の中心位置を表すヘッド基準マーク１６４は、４つの吐出ノズル５７の位置を表す４つのヘッド基準マーク１６４から演算可能であるため、省略してもよい。
【０１０７】
このように構成されたアライメントマスクＤは、後述する組立装置Ａのセットテーブル２３１に固定される。このため、マスタ支持プレート１６８の左右の各縁部には、２つの固定孔１７３，１７３と、２つの固定孔１７３，１７３間に配設したピン孔１７４とが形成されている。そして、アライメントマスクＤとヘッドユニット１とは、組立装置Ａのセットテーブル２３１に交換セットされる。
【０１０８】
次に、機能液滴吐出ヘッド３の組立装置Ａおよび組立方法について説明する。組立装置Ａは、サブキャリッジ２に１２個の機能液滴吐出ヘッド３を仮装着した上記のヘッドユニット１を組立対象物とし、ヘッドユニット１のサブキャリッジ２に各機能液滴吐出ヘッド３を精度良く位置決めして接着（仮固定）するものである。なお、この組立装置Ａで、機能液滴吐出ヘッド３を仮固定したヘッドユニット１は、洗浄工程および上記のハンドル１４等の部品組込み工程を経て、描画装置Ｂにセットされる。
【０１０９】
図１６ないし図２０の外観図に示すように、組立装置Ａは、架台２０１上に透明な安全カバー２０２を有し、架台２０１にエアー供給機器２０３等を組み込むと共に、安全カバー２０２内に機台２０４に載置するようにして主構成装置２０５を収容して、構成されている。架台２０１には、４個のキャスタ２０６と６個のアジャストボルト付き支持脚２０７とが設けられている。安全カバー２０２の正面には、ヘッドユニット１を導入するための開閉扉２０８が設けられ、またその上面には、警告灯２０９が立設されている。
【０１１０】
主構成装置２０５は、ヘッドユニット１を搭載しこれを水平面内においてＸ・Ｙ・θ方向に移動させるユニット移動装置２１１と、サブキャリッジ２に仮装着されている各機能液滴吐出ヘッド３の位置補正を行うヘッド補正装置２１２と、サブキャリッジ２に各機能液滴吐出ヘッド３を接着する仮固定装置２１３と、機能液滴吐出ヘッド３の位置補正に先立ってサブキャリッジ２および各機能液滴吐出ヘッド３を位置認識する認識装置２１４と、これらユニット移動装置２１１、ヘッド補正装置２１２、仮固定装置２１３および認識装置２１４を統括制御する制御装置（図４７参照）２１５とを備えている。
【０１１１】
この組立装置Ａでは、予めユニット移動装置２１１に上記のアライメントマスクＤを導入し、認識装置２１４によりアライメントマスクＤの各基準マーク１６４，１６５を画像認識して、サブキャリッジ２および各機能液滴吐出ヘッド３の基準位置データを記憶し、この基準位置データ（マスタデータ）に基づいてサブキャリッジ２および各機能液滴吐出ヘッド３の位置補正が行われる。なお、アライメントマスクＤは、新規のヘッドユニット１の導入組立時は元より、同一のヘッドユニット１であっても、その組立個数や稼動時間に基づいて、定期的に導入される。もちろん、その際に基準位置データはリセットされる。
【０１１２】
一方、ヘッドユニット１は、各機能液滴吐出ヘッド３のヘッド本体５０を上向きにしてユニット移動装置２１１の上面にセットされ、ヘッドユニット１の組立ては、先ず認識装置２１４によるサブキャリッジ２の位置認識からスタートする。サブキャリッジ２が位置認識されると、この認識データと基準位置データとが比較され、その比較結果に基づいて、ユニット移動装置２１１によりサブキャリッジ２の位置補正が行われる。次に、認識装置２１４により機能液滴吐出ヘッド３が位置認識され、この認識結果（比較結果）に基づいてヘッド補正装置２１２により、機能液滴吐出ヘッド３の位置決めが行われる。なお、この位置決めでは、機能液滴吐出ヘッド３の位置が目標位置（アライメントマスクＤから取得した基準位置）に合致するまで、画像認識と位置補正が繰り返される。
【０１１３】
機能液滴吐出ヘッド３の位置が目標位置に合致したことが確認（画像認識）されると、続いて、この位置補正状態を維持しつつ、仮固定装置２１３により、サブプレート４を介して機能液滴吐出ヘッド３がサブキャリッジ２に接着される。またその際、接着剤が硬化するまで、ヘッド補正装置２１２は、機能液滴吐出ヘッド（サブプレート４）３を動かないように押さえている。そして、この機能液滴吐出ヘッド３の位置認識から接着までの工程を、機能液滴吐出ヘッド３の個数分繰り返えすようにし、全機能液滴吐出ヘッド３の仮固定が完了する。その後、手作業による本固定（上記の固定ねじを本締結）に移行する。
【０１１４】
図１６および図２１に示すように、ユニット移動装置２１１は、３個所のアジャストボルト２１７により水平に支持した板状の機台２０４に、広い占有面積をもって載置されている。ユニット移動装置２１１は、ヘッドユニット１を反転状態でセットするセットテーブル２３１と、セットテーブル２３１を下側から支持するθテーブル２３２と、θテーブル２３２を下側から支持するＸ・Ｙテーブル２３３とを、備えている。ヘッドユニット１は、セットテーブル２３１と共に搭載した機能液滴吐出ヘッド３の傾きに合わせ、傾けてセットされている。このため、機能液滴吐出ヘッド３の主走査方向に相当する方向がＸ軸方向となり、副走査方向がＹ軸方向となる。
【０１１５】
図２２に示すように、セットテーブル２３１は、複数の円形抜き孔２３６を形成した方形のベースプレート２３５と、ベースプレート２３５の両側に固定した一対の帯状ブロック２３７，２３７とを有している。各帯状ブロック２３７の上面には、位置決めピン２３８が立設される共に２つのねじ孔２３９，２３９が形成されている。すなわち、ヘッドユニット１はセットテーブル２３１に対し、左右の２個所で位置決めされ、計４個所でねじ止め固定されるようになっている。また、ベースプレート２３５の中央部分には、セットテーブル２３１をθテーブル２３２に固定するための４つの貫通孔２４０等が形成されている。
【０１１６】
このように、ヘッドユニット１は、セットテーブル２３１を介してθテーブル２３２に固定され、同様にアライメントマスクＤも、セットテーブル２３１を介してθテーブル２３２に固定されるようになっている。この場合、ヘッドユニット１とアライメントマスクＤとは、θテーブル２３２に固定したヘッドユニット１の各機能液滴吐出ヘッド３のノズル形成面５２と、θテーブル２３２に固定したアライメントマスクＤのマーク形成面（マスタプレートの表面）１６１ａとが、同一水平面内に位置するように設計されている。
【０１１７】
次に、図２３、図２４および図２５を参照して、θテーブル２３２について説明する。θテーブル２３２は、セットテーブル２３１を介してヘッドユニット１を微小回転（微小回動）させる回転作動部２４２と、回転作動部２４２を駆動する進退駆動部２４３とで構成されている。回転作動部２４２は、セットテーブル２３１が固定されるテーブル本体２４５と、テーブル本体２４５から進退駆動部２４３側に延びる連結アーム２４６と、テープル本体２４５を回転自在に支持するローラリング２４７と、ローラリング２４７を支持する支持台２４８とを有している。この場合、セットテーブル２３１は、テーブル本体２４５に設けた２個所の位置決めピン２５０，２５０と、４個所のねじ孔２５１を介して、テーブル本体２４５の上面に位置決め状態でねじ止めされている。
【０１１８】
進退駆動部２４３は、動力源を構成するθテーブルモータ（サーボモータ）２５３と、θテーブルモータ２５３の主軸２５４にカップリング２５５を介して連結されボールねじ２５６と、ボールねじ２５６が螺合する雌ねじブロック２５７と、雌ねじブロック２５７をボールねじ２５６の軸方向（Ｘ軸方向に）にスライド自在に支持する主スライダ２５８とを有しており、また上記の連結アーム２４６の先端部が連結されアーム受け２６０と、ベアリング２６１を介してアーム受け２６０を回動自在に軸支する鉛直軸部材２６２と、雌ねじブロック２５７に対し鉛直軸部材２６２をＹ軸方向にスライド自在に支持する副スライダ２６３とを有している。
【０１１９】
θテーブルモータ２５３は正逆回転可能に構成され、θテーブルモータ２５３が正逆回転すると、ボールねじ２５６により、雌ねじブロック２５７が主スライダ２５８に案内されてＸ軸方向に進退する。雌ねじブロック２５７が進退すると、これに支持されている副スライダ２６３おび鉛直軸部材２６２もＸ軸方向に進退する。さらに、鉛直軸部材２６２が進退すると、これに軸着されているアーム受け２６０を介して、連結アーム２４６およびテーブル本体２４５がテーブル本体２４５の軸心を中心に回動する。すなわち、テーブル本体２４５が水平面内において、正逆微小回転する（θ方向に正逆移動）。
【０１２０】
また、この回動に伴って、テーブル本体２４５と鉛直軸部材２６２との中心間距離が変化するが、この距離の変化は、副スライダ２６３を介して鉛直軸部材２６２がＹ軸方向に適宜、微小移動することにより吸収される。なお、雌ねじブロック２５７から突出する遮光板２６５と、雌ねじブロック２５７の進退に伴って遮光板２６５が臨む３個のフォトインタラプタ２６６により、雌ねじブロック２５７の移動端位置、すなわちテーブル本体２４５の回動範囲（角度）が規制されるようになっている（オーバーランの防止）。
【０１２１】
進退駆動部２４３は、主スライダ２５８の下側に設けた支持プレート２６７に支持されており、この支持プレート２６７が回転作動部２４２の支持台２４８に固定されている。そして、この支持台２４８がＸ・Ｙテーブル２３３に載置されている。
【０１２２】
次に、図２１、図２６および図２７を参照して、Ｘ・Ｙテーブル２３３について説明する。Ｘ・Ｙテーブル２３３は、θテーブル２３２を下側から支持する支持ブロック２７０と、支持ブロック２７０をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸テーブル２７１と、Ｘ軸テーブル２７１をＹ軸方向にスライド自在に支持するＹ軸テーブル２７２とを有している。支持ブロック２７０には、４箇所にねじ孔２７４を有しており、この４箇所にねじ孔２７４を介して支持ブロック２７０にθテーブル２３２が固定されている。
【０１２３】
Ｘ軸テーブル２７１は、Ｘ軸エアースライダ２７６と、Ｘ軸リニアモータ２７７と、Ｘ軸エアースライダ２７６に併設したＸ軸リニアスケール２７８とで構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル２７２は、Ｙ軸エアースライダ２７９と、Ｙ軸リニアモータ２８０と、Ｙ軸エアースライダ２７９に併設したＹ軸リニアスケール２８１とで構成されている。なお、図中の符号、２８２，２８３は、それぞれＸ軸ケーブルベアおよびＹ軸ケーブルベアである。また、符号２８４，２８４は、両リニアモータ２７７，２８０のアンプである。
【０１２４】
Ｘ軸リニアモータ２７７およびＹ軸リニアモータ２８０は、適宜制御駆動され、θテーブル２３２をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させる。すなわち、セットテーブル２３１にセットされたヘッドユニット（或いはアライメントマスクＤ）１は、水平面内において、θテーブル２３１によりθ軸方向に移動すると共に、Ｘ・Ｙテーブル２３３によりＸ軸方向およびＹ軸方向に移動する。
【０１２５】
次に、ヘッド補正装置２１２について説明する。ヘッド補正装置２１２は、認識装置２１４による機能液滴吐出ヘッド３の位置認識に基づき、サブプレート４を介して機能液滴吐出ヘッド３をＸ軸、Ｙ軸およびθ軸方向に微小移動させて、機能液滴吐出ヘッド３の位置決め（位置補正）を行うものである。また同時に、ヘッド補正装置２１２は仮固定装置２１３と協働し、接着剤が凝固するまでサブプレート４をサブキャリッジ２に押し付けるよう機能する。
【０１２６】
図１８および図２８に示すように、ヘッド補正装置２１２は、上記の機台２０４の奥側に取り付けた補正装置用スタンド３０１と、これに載置された補正用Ｘ・Ｙテーブル３０２と、補正用Ｘ・Ｙテーブル３０２に支持された補正用θテーブル３０３と、補正用θテーブル３０３に支持されたアームユニット３０４とで構成されている。この場合、補正用θテーブル３０３は、ユニット移動装置２１１のθテーブル２３２と全く同一の構造を有しているため、ここでは説明を省略する。なお、θテーブル２３２ではその進退駆動部２４３が左側に位置するように配設されているが、この補正用θテーブル３０３では右側に位置するように配設されている（図１８参照）。
【０１２７】
補正装置用スタンド３０１は、図２８に示すように、補正用Ｘ・Ｙテーブル３０２が載置されるベースプレート３０７と、ベースプレート３０７を支持する３組の脚ユニット３０８，３０８，３０８とを有している。３組の脚ユニット３０８は、左部、右部および中央後部の３個所に配設されており、それぞれ一対の支柱３０９，３０９と、一対の支柱３０９，３０９の上下に固定した上板３１０および下板３１１とで構成されている。
【０１２８】
この場合、補正装置用スタンド３０１の下側空間には、ユニット移動装置２１１により移動するヘッドユニット１が臨み、補正装置用スタンド３０１から張り出したアームユニット３０４がこのヘッドユニット１に上側から臨む（サブプレート４に係合）ようになっている。そして、ヘッドユニット１の移動およびサブキャリッジ２の位置補正は、ユニット移動装置２１１により行われ、各液滴ヘッド３の位置補正は、このヘッド補正装置２１２により行われる。したがって、任意の１の機能液滴吐出ヘッド３が仮固定された後、ユニット移動装置２１１がヘッドユニット１を移動させて、次の機能液滴吐出ヘッド３をヘッド補正装置２１２に臨ませる。
【０１２９】
図２８ないし図３１に示すように、補正用Ｘ・Ｙテーブル３０２は、補正装置用スタンド３０１の中央に載置されており、補正用θテーブル３０２を支持する支持ブロック３１４と、支持ブロック３１４をＸ軸方向にスライド自在に支持する補正用Ｘ軸テーブル３１５と、補正用Ｘ軸テーブル３１５をＹ軸方向にスライド自在に支持する補正用Ｙ軸テーブル３１６とを有している。支持ブロック３１４には、４箇所にねじ孔３１８を有しており、この４箇所にねじ孔３１８を介して支持ブロック３１４に補正用θテーブル３０３が固定されている。
【０１３０】
補正用Ｘ軸テーブル３１５は、Ｘ軸エアースライダ３２０と、Ｘ軸リニアモータ３２１と、Ｘ軸エアースライダ３２０に併設したＸ軸リニアスケール３２２とで構成されている。同様に、補正用Ｙ軸テーブル３１６は、Ｙ軸エアースライダ３２３と、Ｙ軸リニアモータ３２４と、Ｙ軸エアースライダ３２３に併設したＹ軸リニアスケール３２５とで構成されている。なお、図中の符号、３２６，３２７は、それぞれＸ軸ケーブルベアおよびＹ軸ケーブルベアであり、また、符号３２８，３２８は、両リニアモータ３２１，３２４のアンプである。
【０１３１】
図３２、図３３および図３４に示すように、アームユニット３０４は、サブプレート４の一対の係合孔７６，７６に係合する一対の係合アーム６３１，６３１と、一対の係合アーム６３１，６３１をそれぞれ支持する左右一対ブラケット６３２，６３２と、一対のブラケット６３２，６３２を昇降させるアーム昇降機構６３３と、アーム昇降機構６３３を支持する支持台６３４とで構成されている。支持台６３４は、補正用θテーブル３０３に固定される固定板６３６と、固定板６３６から前方に延びるＬ字支持部材６３７と、Ｌ字支持部材６３７の前端に固定した鉛直板６３８とで構成され、前方に向かって逆「Ｌ」字状に延在している。
【０１３２】
アーム昇降機構６３３は、両ブラケット６３２，６３２を昇降自在に支持する左右一対の昇降スライダ６４０，３４０と、鉛直板６３８の下部中央に固定され昇降スライダ６４０，６４０を、それぞれ昇降させる左右一対のエアーシリンダ６４１，６４１とで構成されている。各エアーシリンダ６４１は、上記のエアー供給機器２０３に接続されており、エアーバルブ等の切り替えにより昇降スライダ６４０を案内にして各ブラケット６３２を昇降させる。各ブラケット６３２は「Ｌ」字状に形成され、その先端部には係合アーム６３１が下向きに取り付けられている。
【０１３３】
各係合アーム６３１は、サブプレート４の係合孔７６に挿入される係合ピン６４３と、係合ピン６４３を上下動自在に保持するピンホルダ６４４と、ピンホルダ６４４に内蔵され係合ピン６４３を下方に付勢するコイルばね（付勢手段）６４５とを有している。各コイルばね６４５には、ピンホルダ６４４の後端から逆「Ｌ」字状に起立したばね押え６４７の先端部が上側から臨み、係合ピン６４３の上部に固定したばね受けブロック６４８が下側から臨んでいる。ばね押え６４７の先端部には、アジャストねじ６４９が螺合しており、アジャストねじ６４９の下端部が、コイルばね６４５を位置決めした状態で上側から当接している。また、係合ピン６４３の上端部は、ばね受けブロック６４８から僅かに突出しており、この突出部分がコイルばね６４５に挿入されてコイルばね６４５が位置決め状態となると共に、ばね受けブロック６４８の上面がコイルばね６４５に下側から当接している。
【０１３４】
すなわち、各コイルばね６４５は、ばね押え６４７のアジャストねじ６４９とばね受けブロック６４８との間に挟持されており、ばね押え（アジャストねじ６４９）６４７を受けとして、係合ピン６４３を下方（軸方向）に付勢している。また、アジャストねじ６４９により、コイルばね６４５のばね力、すなわち係合ピン６４３によるサブプレート４への押圧力を微調整できるようになっている。
【０１３５】
また、各ピンホルダ６４４の内部には、上下に離間して２つのボールスプライン６５１，６５１が挟持するようにして固定されており、この２つのボールスプライン６５１，６５１に、係合ピン６４３が上下方向（軸方向に）にスライド自在に且つ軸廻りに回転不能に保持されている。すなわち、係合ピン６４３は、上下２つのボールスプライン６５１，６５１を介してピンホルダ６４４に、スライド自在に且つ廻止め状態で保持されている。このように、ボールスプライン６５１を用いて、スライド自在に保持される係合ピン６４３を回転不能とすることで、例えば係合ピン６４３の偏心（特に先端部の偏心）に伴う係合ピン６４３の回転が阻止される。これにより、位置決め精度を向上させることができる。なおこの場合、図３５に示すように、２つのボールスプライン６５１，６５１は予め係合ピン６４３に組み付けられており、この状態でピンホルダ６４４に下側から挿入され、挟持固定される。
【０１３６】
一方、図３５に示すように、係合ピン６４３の先端部は、テーパー形状に形成されており、このテーパー部６５２は、サブプレート４の係合孔７６に対し基端側が太径に先端側が細径に形成されている。これにより、係合ピン６４３は係合孔７６にがたつきなく、係合するようになっている。また、テーパー部６５２の角度αは、３０°に形成されている。この場合、係合ピン６４３の先端部は、サブプレート４を押し付けながら移動させる機能を有するため、例えば角度αが１０°以上９０°未満の鋭角に形成されていることが、好ましい。
【０１３７】
初期状態において、両係合アーム６３１，６３１は両エアーシリンダ６４１，６４１により上昇端位置に移動しており、ユニット移動装置２１１によりヘッドユニット１を移動させた後、エアーシリンダ６４１，６４１により係合アーム６３１，６３１を下降させると、その一対の係合ピン６４３，６４３が、所望のサブプレート４の係合孔７６，７６に係合する。また、各エアーシリンダ６４１は、上記の制御装置２１５によりタイマー制御されており、仮固定装置２１３により塗布された接着剤が凝固するまで、位置補正後のサブプレート４をそのままサブキャリッジ２に押圧している。
【０１３８】
すなわち、係合アーム６３１，６３１を下降させたエアーシリンダ６４１，６４１は、サブプレート４の位置補正および接着剤の塗布（詳細後述する）が行われた後、接着剤の凝固時間（所定の接着強度に達する時間）が経過した時に両係合アーム６３１，６３１を元の位置に上昇させる。なお、上記の実施形態では、係合ピン６４３の廻止めをボールスプライン６５１で行うようにしているが、これを多角形断面の係合ピンとこれを相補形断面で受けるピンホルダとで、構成してもよい。
【０１３９】
以上の構成では、アームユニット３０４の両係合アーム６３１，６３１が下降して、サブプレート４に係合すると、補正用θテーブル３０３および補正用Ｘ・Ｙテーブル３０２が駆動して、サブプレート４を介して機能液滴吐出ヘッド３を位置決めする。そして、接着剤が凝固するまで、この位置決め状態が維持される。すなわち、アームユニット３０４の両係合アーム６３１，６３１が、位置決め状態でサブプレート４をサブキャリッジ２に向かって押さえており、このサブプレート４に仮固定装置（接着）２１３が臨むことになる。
【０１４０】
次に、アームユニット３０４廻りの第２実施形態について説明する。図３６の模式図に示すように、この実施形態では、サブキャリッジ２のサブプレート４に対応する部分に、圧縮エアーを供給する複数のエアー穴（小穴）６６１が形成されており、図示しないがこのエアー穴６６１には、上記のエアー供給機器（エアー供給手段）２０３に接続されている。これにより、サブプレート（機能液滴吐出ヘッド３）４を僅かに浮上させた状態で、その位置決めが行えるようになっている。また、サブプレート（機能液滴吐出ヘッド３）４が位置決めが完了したら、圧縮エアーの供給を停止し仮固定（接着剤の注入）に移行する。
【０１４１】
この場合、図３７に示すように、上記のコイルばね６４５に代えて、押圧用（付勢用）の小型シリンダ（押圧手段）６６２を設けるようにしてもよい。この場合には、サブプレート（機能液滴吐出ヘッド３）４の位置決め時には、各小型シリンダ６６２に上記のエアー供給機器２０３から低圧エアーを供給し（同図（ａ））、サブプレート（機能液滴吐出ヘッド３）４が位置決めが完了したら、エアー穴６６１側の圧縮エアーを停止すると共に、各小型シリンダ６６２に高圧エアーを供給して、仮固定に備えてサブプレート４をサブキャリッジ２に強く押し付けるようにする（同図（ｂ））。
【０１４２】
次に、認識装置２１４について説明する。図２０および図３８に示すように、認識装置２１４は、補正用Ｘ・Ｙテーブル３０２の前部を跨ぐように補正装置用スタンド３０１上に固定したカメラスタンド３５１と、カメラスタンド３５１の前面に固定したカメラ位置調節ユニット３５２と、カメラ位置調節ユニット３５２に取り付けた一対の認識カメラ（ＣＣＤカメラ）３５３，３５３とで構成されている。この場合、一対の認識カメラ３５３，３５３は、認識対象となるヘッドユニット（アライメントマスクＤ）１に対し、固定的に設けられている。
【０１４３】
カメラスタンド３５１は、逆「Ｌ」字状に前方に延びる左右一対の脚片部材３５５，３５５と、一対の脚片部材３５５，３５５間に渡した横長の前面プレート３５６とを有している。カメラ位置調節ユニット３５２を介して前面プレート３５６に固定された一対の認識カメラ３５３，３５３は、ヘッド補正装置２１２の一対の係合アーム６３１，６３１より幾分高い位置に、且つ幾分前方に張り出した位置に配設され（図２０参照）、係合アーム６３１との干渉が防止されるようになっている。
【０１４４】
図３８ないし図４１に示すように、カメラ位置調節ユニット３５２は、前面プレート３５６に添設したＺ軸調整プレート３５８と、Ｚ軸調整プレート３５８の下端部に取り付けたマイクロステージ３５９と、左側の認識カメラ３５３ａを保持する左カメラホルダ３６０と、右側の認識カメラ３５３ｂを保持する右カメラホルダ３６１とを有している。Ｚ軸調整プレート３５８は、前面プレート３５６との間に鉛直方向に延びる一対のガイドレール３６２，３６２を有すると共に、前面プレート３５６の上端に突き当てたアジャストボルト３６３を有している。このアジャストボルト３６３の正逆回転により、Ｚ軸調整プレート３５８を介して、両認識カメラ３５３，３５３の上下方向の位置が調節できるようになっている。
【０１４５】
マイクロステージ３５９は、右カメラホルダ３６１を介して右側の認識カメラ３５３ｂを支持するＸ軸ステージ３６５と、Ｘ軸ステージ３６５を支持すると共にＺ軸調整プレート３５８の下端部に固定したＹ軸ステージ３６６とで構成されている。Ｘ軸ステージ３６５は、右側の認識カメラ３５３ｂをＸ軸方向に微小移動可能に構成され、右側の認識カメラ３５３ｂにおける前後方向の位置を調節可能に構成されている。同様に、Ｙ軸ステージ３６６は、右側の認識カメラ３５３ｂにおける左右方向の位置を調節可能に構成されている。
【０１４６】
一方、左カメラホルダ３６０は、Ｚ軸調整プレート３５８の下端部に固定されている。このため、左カメラホルダ３６０を介して固定的に設けた左側の認識カメラ３５３ａに対し、右側の認識カメラ３５３ｂをマイクロステージ３５９で位置調節するようになっている。上述したように、左右の認識カメラ３５３ａ，３５３ｂにより、２つの吐出ヘッド５７ａ，５７ａを同時に位置認識するため、特に新規の機能液滴吐出ヘッド３を扱うときには、予めマイクロステージ３５９により、左右の認識カメラ３５３ａ，３５３ｂの離間距離、すなわち視野間距離を調節するようにしている。なお、図中の符号３６７は、カメラ位置調節ユニット３５２および両認識カメラ３５３，３５３を一体に覆うカメラカバーである。
【０１４７】
このように構成された認識装置２１４では、一方の認識カメラ３５３とユニット移動機構２１１のＸ軸テーブル２７１との協働により、サブキャリッジ２の２つの基準マーク（基準ピン１２，１２）２６，２６が位置認識される。すなわち、一方の認識カメラ３５３により一方の基準ピン１２の画像認識が行われ、続いてサブキャリッジ２がＸ軸方向に移動して他方の基準ピン１２の画像認識が行われる。そして、この認識結果に基づいて、ユニット移動装置２１１によりサブキャリッジ（ヘッドユニット１）２の位置補正が行われ、さらに確認のため再度の位置認識が行われる。
【０１４８】
また、一対の認識カメラ３５３，３５３により、各機能液滴吐出ヘッド３の基準となる２つの吐出ノズル５７ａ，５７ａが、同時に位置認識される。すなわち、該当する機能液滴吐出ヘッド３が一対の認識カメラ３５３，３５３の直下に移動して、２つの吐出ヘッド５７ａ，５７ａが同時に画像認識される。また、この状態で、サブプレート４にヘッド補正装置２１２が臨んで、機能液滴吐出ヘッド３の位置補正が行われる、且つ仮固定装置２１３による接着が行われる。なお、アライメントマスクＤにおける各マーク１６４，１６５の認識も、上記と同様に為される。
【０１４９】
次に、仮固定装置２１３について説明する。図１７および図４２に示すように、上記の機台２０４の右部には、補正装置用スタンド３０１を跨ぐようにして前後方向に延びる共有スタンド２１９が設けられており、仮固定装置２１３は、この共有スタンド２１９の前部に配設されている。仮固定装置２１３は、４本のステー３７１で共有スタンド２１９に支持した方形支持プレート３７２と、方形支持プレート３７２の下面に固定したエアーテーブル３７３と、エアーテーブル３７３の先端部に固定した接着剤塗布装置３７４と、ホーム位置に移動した接着剤塗布装置３７４に下側から臨む接着剤トレイ３７５とを備えている。接着剤トレイ３７５は、共有スタンド２１９に固定されており、接着剤塗布装置３７４から垂れた接着剤を受けるようになっている。
【０１５０】
図４２ないし図４６に示すように、エアーテーブル３７３は、方形支持プレート３７２に取り付けたＹ軸エアーテーブル３７７と、Ｙ軸エアーテーブル３７７の先端部に取り付けたサブＹ軸エアーテーブル３７８と、サブＹ軸エアーテーブル３７８の先端部に取り付けたＸ軸エアーテーブル３７９と、Ｘ軸エアーテーブル３７９の先端部に取り付けたＺ軸エアーテーブル３８０とで構成されている。そして、これらＹ軸エアーテーブル３７７、サブＹ軸エアーテーブル３７８、Ｘ軸エアーテーブル３７９およびＺ軸エアーテーブル３８０は、いずれも上記のエアー供給機器２０３に接続されたエアーシリンダ３７７ａ，３７８ａ，３７９ａ，３８０ａと、スライダ３７７ｂ，３７８ｂ，３７９ｂ，３８０ｂとで構成されている。
【０１５１】
接着剤塗布装置３７４は、上記のＺ軸エアーテーブル３８０に固定した鉛直支持板３８２と、鉛直支持板３８２の下部から先方に突出する左右一対の水平支持ブロック３８３，３８３と、各水平支持ブロック３８３に取り付けた一対のディスペンサユニット３８４，３８４と、上記の共有スタンド２１９に支持したディスペンサコントローラ３８５とで構成されている。一対のディスペンサユニット３８４，３８４は、上記一対の係合アーム６３１，６３１や一対の認識カメラ３５３，３５３に対し、前方から対峙するように配設されている。
【０１５２】
各ディスペンサユニット３８４は、先端に接着剤注入ノズル３８７を装着したディスペンサ３８８と、ディスペンサ３８８に接着剤を供給するカートリッジ形式のシリンジ３８９と、ディスペンサ３８８およびシリンジ３８９を保持するディスペンサホルダ３９０とを備えている。ディスペンサホルダ３９０は、水平支持ブロック３８３の先端部に角度調節自在に取り付けられており、本実施形態では、接着剤注入ノズル３８７が水平に対し４５度程度、傾くように調節されている。なお、各水平支持ブロック３８３は、鉛直支持板３８２に対し、前後および左右方向に位置調節可能に固定されている。
【０１５３】
上述したように、接着剤は、上記の２本の接着剤注入ノズル３８７，３８７を用い、サブプレート４の対となる一方の２つの接着剤注入孔７７ａ，７７ａに同時に注入（塗布）されると共に、両接着剤注入ノズル３８７，３８７のＹ軸方向への移動を経た後、対となる他方の２つの接着剤注入孔７７ｂ，７７ｂに同時に注入（塗布）される。したがって、両接着剤注入ノズル３８７，３８７の離間寸法は、サブプレート４における対を為す接着剤注入孔７７ａ（７７ｂ），７７ａ（７７ｂ）の離間寸法に対応している。また、所定の傾き角度を有する各接着剤注入ノズル３８７は、長孔である接着剤注入孔７７に差し込まれ、その内周面に吹き付けるようにして接着剤を注入する。
【０１５４】
ところで、ヘッド補正装置２１２は、位置決め動作を完了した状態で、そのままサブプレート４をサブキャリッジ２に押し付けるようにして、これを不動に保持している。これに対し、Ｘ軸エアーテーブル３７９およびＹ軸エアーテーブル３７７が駆動して、２本の接着剤注入ノズル３８７，３８７をサブプレート４の２つの接着剤注入孔７７ａ，７７ａの直上部に移動させる。ここで、Ｚ軸エアーテーブル３８０が駆動して、２本の接着剤注入ノズル３８７，３８７を２つの接着剤注入孔７７ａ，７７ａに同時に挿入する。
【０１５５】
つぎに、シリンジ３８９により、２本の接着剤注入ノズル３８７，３８７から所定量（ディスペンサコントローラ３８５で調整）の接着剤が注入される。続いて、Ｚ軸エアーテーブル３８０により、２本の接着剤注入ノズル３８７，３８７を上昇させると共に、サブＹ軸エアーテーブル３７８を駆動して、２本の接着剤注入ノズル３８７，３８７を、他方の２つの接着剤注入孔７７ｂ，７７ｂの直上部に移動させる。この場合、サブプレート４における対となる２組の接着剤注入孔７７ａ（７７ｂ），７７ａ（７７ｂ）間の距離は、一定しているため、ここでは、Ｙ軸エアーテーブル３７７を停止させ、サブＹ軸エアーテーブル３７８のみを駆動させるようにしている。
【０１５６】
次に、再度、接着剤注入ノズル３８７，３８７を上昇させてから、仮固定装置２１３を休止させて接着剤の凝固時間を待つ。凝固時間が経過すると、ヘッド補正装置２１２がサブプレート４に対する係合を解き、任意の１つの機能液滴吐出ヘッド３の仮固定（位置決めおよび接着）作業が完了する。そして、このヘッド補正装置２１２と仮固定装置２１３との協働による機能液滴吐出ヘッド３の位置決めおよび接着作業が、１２回繰り返されることにより、機能液滴吐出ヘッド３の仮固定が完了し、それぞれヘッド補正装置２１２と仮固定装置２１３はホーム位置に戻る。
【０１５７】
ここで、図４７を参照して、制御装置２１５について説明すると共に、この制御装置２１５に基づくヘッドユニット１の一連の組立手順について説明する。同図のブロック図に示すように、制御装置２１５における制御系は、サブキャリッジ２や機能液滴吐出ヘッド３の設計上の位置データ等を操作パネル６０１により入力する入力部６０２と、ユニット移動装置２１１等の構成装置を駆動する各種のドライバ等を有する駆動部６０３と、認識カメラ３５３により位置認識を行う検出部６０４と、組立装置Ａの各構成装置を統括制御する制御部６０５とを備えている。
【０１５８】
駆動部６０３は、ユニット移動装置２１１の各モータを駆動制御する移動用ドライバ６０７と、ヘッド補正装置２１２の各モータを駆動制御する補正用ドライバ６０８と、仮固定装置２１３におけるエアーテーブル３７３の各エアーシリンダを駆動制御するエアー用ドライバ６０９と、仮固定装置２１３におけるディスペンサユニット３８４を制御するディスペンサコントローラ３８５とを有している。
【０１５９】
制御部６０５は、ＣＰＵ６１１、ＲＯＭ６１２、ＲＡＭ６１３およびＰ−ＣＯＮ６１４を有しており、これらは互いにバス６１５を介して接続されている。ＲＯＭ６１２には、ＣＰＵ６１１で処理する制御プログラムを記憶する制御プログラムの他、各種の制御データを記憶する制御データ領域を有している。ＲＡＭ６１３は、外部から入力した位置データや、認識カメラ３５３がアライメントマスクＤから得たマスタ位置データ等を記憶する位置データ領域の他、各種レジスタ群を有し、制御処理のための作業領域として使用される。
【０１６０】
Ｐ−ＣＯＮ６１４は、ＣＰＵ６１１の機能を補うと共に、周辺回路とのインターフェース信号を取り扱うための論理回路やタイマー６１６が組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ６１４は、操作パネル６０１と接続され入力部６０２からの各種指令などを、そのまま或いは加工してバス６１５に取り込む。また、Ｐ−ＣＯＮ６１４はＣＰＵ６１１と連動して、ＣＰＵ６１１等からバス６１５に出力されたデータや制御信号を、そのまま或いは加工して駆動部に出力する。
【０１６１】
そして、ＣＰＵ６１１は、上記の構成により、ＲＯＭ６１２内の制御プログラムにしたがって、Ｐ−ＣＯＮ６１４を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ６１３内の各種データを処理し、Ｐ−ＣＯＮ６１４を介して駆動部６０３に制御信号を出力する。これにより、ユニット移動装置２１１、ヘッド補正装置２１２、仮固定装置２１３等の組立装置Ａ全体が制御される。
【０１６２】
例えば、認識カメラ３５３から得たアライメントマスクＤのマスタ位置データ、および認識カメラ３５３から得たヘッドユニット１のユニット位置データは、ＲＡＭ６１３内に格納され、ＲＯＭ６１２内の制御プログラムに従って、マスタ位置データとユニット位置データとが比較され、その比較結果に基づいて、ユニット移動装置２１１、ヘッド補正装置２１２等が制御される。
【０１６３】
ここで、実施形態の組立装置Ａによるヘッドユニット１の組立方法について、順を追って説明する。この組立装置Ａでは、ヘッドユニット１の導入に先立って、先ずアライメントマスクＤが導入される。アライメントマスクＤがセットテーブル２３１にセットされると、ユニット移動装置２１１が駆動し、アライメントマスクＤの一方のサブキャリッジ基準マーク１６５を一方の認識カメラ３５３に臨ませ、一方のサブキャリッジ基準マーク１６５を位置認識する。次に、ユニット移動装置２１１のＸ軸テーブル２７１が駆動し、他方のサブキャリッジ基準マーク１６５を認識カメラ３５３に臨ませ、他方のサブキャリッジ基準マーク１６５を位置認識する。
【０１６４】
次に、ユニット移動装置２１１が駆動し、アライメントマスクＤの端部に位置するヘッド基準マーク１６４を一対の認識カメラ３５３，３５３に同時に臨ませ、２個所のヘッド基準マーク１６４，１６４を同時に位置認識する。これを、順に繰り返して、１２個の機能液滴吐出ヘッド３に対応する１２組のヘッド基準マーク１６４を位置認識する。このようにして、アライメントマスクＤの位置認識が完了したら、アライメントマスクＤをホーム位置に戻し、セットテーブル２３１にヘッドユニット１を載せかえる。
【０１６５】
ここで、ヘッドユニット１を上記と全く同様の手順で移動させ、先ずサブキャリッジ２の一対の基準ピン１２，１２を位置認識し、この認識結果に基づいて、ユニット移動装置２１１によりサブキャリッジ（ヘッドユニット１）２を位置補正する。次に、上記と同様の手順で、第１番目の機能液滴吐出ヘッド３のヘッド本体（サブプレート４）５０をヘッド補正装置２１２の一対の係合アーム６３１に臨ませ、サブプレート４に係合アーム６３１を係合させる。ここで、一対の認識カメラ３５３，３５３によりヘッド本体５０の位置基準となる２つの吐出ノズル５７ａ，５７ａを位置認識する。
【０１６６】
次に、ヘッド補正装置２１２を駆動し、上記の認識結果に基づきサブプレート４を介して機能液滴吐出ヘッド３を位置決めする。この場合、位置決めされた機能液滴吐出ヘッド３に対し、確認のためにこれを上記と同様に認識カメラ３５３で位置認識し、これが目標位置(許容範囲を含む)に合致しているか否かを確認する。合致していなければ、上記の動作を繰り返す。そして、確認後の位置決め状態のまま、仮固定装置２１３を駆動し、一対の接着剤注入ノズル３８７，３８７をサブプレート４に臨ませて、接着剤の注入を行う。接着剤の注入は、仮固定装置２１３のサブＹ軸エアーシリンダ３７８により、接着剤注入ノズル３８７の移動を伴って２回行われる。接着剤の注入が完了したら、タイマー制御により接着剤の硬化を待って、ヘッド補正装置２１２のサブプレート４への係合を解く。
【０１６７】
このようにして、第１番目の機能液滴吐出ヘッド３の位置決めおよび仮固定が完了するが、この作業を第２番目から第１２番目の機能液滴吐出ヘッド３まで繰り返す。仮固定が完了したら、再度認識カメラ３５３により全機能液滴吐出ヘッド３を位置認識し、各機能液滴吐出ヘッド３が適切な位置に仮固定されていることを確認する。なお、仮固定が不適切である場合には作業を中止し、最初から作業をやり直す。そして、最後に、ユニット移動装置２１１、ヘッド補正装置２１２および仮固定装置２１３を、それぞれホーム位置に戻した後、手作業による各機能液滴吐出ヘッド３の本固定を行う。この場合も、認識カメラ３５３により全機能液滴吐出ヘッド３を位置認識し、各機能液滴吐出ヘッド３が適切な位置に本固定されていることを確認する。ここで、組み立てられたヘッドユニット１をセットテーブル２３１から外す。その後、ヘッドユニット１は、機能液滴吐出ヘッド３の洗浄を経ると共に、これに、ハンドル１４や両アッセンブリ１５，１６等の構成部品を組み込んで、描画装置Ｂに運び込まれる。
【０１６８】
なお、本実施形態では、機能液滴吐出ヘッド３を、サブプレート４を介してサブキャリッジ２に接着し、接着部分が金属−金属の接着となるようにしているが、機能液滴吐出ヘッド３を直接、サブキャリッジ２に接着する構造にしてもよい。
【０１６９】
ところで、本発明のヘッドユニットの組立装置およびこれによって組み立てられるヘッドユニット１は、上記の描画装置Ｂのみならず、各種フラットディスプレイの製造方法や、各種の電子デバイスおよび光デバイスの製造方法等にも適用可能である。そこで、このヘッドユニット１を用いた製造方法を、液晶表示装置の製造方法および有機ＥＬ装置の製造方法を例に、説明する。
【０１７０】
図４８は、液晶表示装置のカラーフィルタの部分拡大図である。図４８（ａ）は平面図であり、図４８（ｂ）は図４８（ａ）のＢ−Ｂ´線断面図である。断面図各部のハッチングは一部省略している。
【０１７１】
図４８（ａ）に示されるように、カラーフィルタ４００は、マトリクス状に並んだ画素（フィルタエレメント）４１２を備え、画素と画素の境目は、仕切り４１３によって区切られている。画素４１２の１つ１つには、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかのインク（フィルタ材料）が導入されている。この例では赤、緑、青の配置をいわゆるデルタ配列としたが、モザイク配列、ストライプ配列など、その他の配置でも構わない。
【０１７２】
図４８（ｂ）に示されるように、カラーフィルタ４００は、透光性の基板４１１と、遮光性の仕切り４１３とを備えている。仕切り４１３が形成されていない（除去された）部分は、上記画素４１２を構成する。この画素４１２に導入された各色のインクは着色層４２１を構成する。仕切り４１３及び着色層４２１の上面には、オーバーコート層４２２及び電極層４２３が形成されている。
【０１７３】
図４９は、本発明の実施形態によるカラーフィルタの製造方法を説明する製造工程断面図である。断面図各部のハッチングは一部省略している。
【０１７４】
膜厚０．７ｍｍ、たて３８ｃｍ、横３０ｃｍの無アルカリガラスからなる透明基板４１１の表面を、熱濃硫酸に過酸化水素水を１重量％添加した洗浄液で洗浄し、純水でリンスした後、エア乾燥を行って清浄表面を得る。この表面に、スパッタ法によりクロム膜を平均０．２μｍの膜厚で形成し、金属層４１４´を得る（図４９：Ｓ１）。
【０１７５】
この基板をホットプレート上で、８０℃で５分間乾燥させた後、金属層４１４´の表面に、スピンコートによりフォトレジスト層（図示せず）を形成する。この基板表面に、所要のマトリクスパターン形状を描画したマスクフィルムを密着させ、紫外線で露光をおこなう。次に、これを、水酸化カリウムを８重量％の割合で含むアルカリ現像液に浸漬して、未露光の部分のフォトレジストを除去し、レジスト層をパターニングする。続いて、露出した金属層を、塩酸を主成分とするエッチング液でエッチング除去する。このようにして所定のマトリクスパターンを有する遮光層（ブラックマトリクス）４１４を得ることができる（図４９：Ｓ２）。遮光層４１４の膜厚は、およそ０．２μｍである。また、遮光層４１４の幅は、およそ２２μｍである。
【０１７６】
この基板上に、さらにネガ型の透明アクリル系の感光性樹脂組成物４１５´をやはりスピンコート法で塗布する（図４９：Ｓ３）。これを１００℃で２０分間プレベークした後、所定のマトリクスパターン形状を描画したマスクフィルムを用いて紫外線露光を行なう。未露光部分の樹脂を、やはりアルカリ性の現像液で現像し、純水でリンスした後スピン乾燥する。最終乾燥としてのアフターベークを２００℃で３０分間行い、樹脂部を十分硬化させることにより、バンク層４１５が形成され、遮光層４１４及びバンク層４１５からなる仕切り４１３が形成される（図４９：Ｓ４）。このバンク層４１５の膜厚は、平均で２．７μｍである。また、バンク層４１５の幅は、およそ１４μｍである。
【０１７７】
得られた遮光層４１４およびバンク層４１５で区画された着色層形成領域（特にガラス基板４１１の露出面）のインク濡れ性を改善するため、ドライエッチング、すなわちプラズマ処理を行なう。具体的には、ヘリウムに酸素を２０％加えた混合ガスに高電圧を印加し、プラズマ雰囲気でエッチングスポットに形成し、基板を、このエッチングスポット下を通過させてエッチングする。
【０１７８】
次に、描画装置Ａに投入した洗浄済みのヘッドユニット１を用い、仕切り４１３で区切られて形成された画素４１２内に、上記Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各インクをインクジェット方式により導入する（図４９：Ｓ５）。この際、機能液滴吐出ヘッド３から微小インク滴を着色層形成領域毎に１０滴、選択的に飛ばす。駆動周波数は１４．４ｋＨｚ、すなわち、各インク滴の吐出間隔は６９．５μ秒に設定する。ヘッドとターゲットとの距離は、０．３ｍｍに設定する。ヘッドよりターゲットである着色層形成領域への飛翔速度、飛行曲がり、サテライトと称される分裂迷走滴の発生防止のためには、インクの物性はもとよりヘッドの圧電素子を駆動する波形（電圧を含む）が重要である。従って、あらかじめ条件設定された波形をプログラムして、インク滴を赤、緑、青の３色を同時に塗布して所定の配色パターンにインクを塗布する。
【０１７９】
インク（フィルタ材料）としては、例えばポリウレタン樹脂オリゴマーに無機顔料を分散させた後、低沸点溶剤としてシクロヘキサノンおよび酢酸ブチルを、高沸点溶剤としてブチルカルビトールアセテートを加え、さらに非イオン系界面活性剤０．０１重量％を分散剤として添加し、粘度６〜８センチポアズとしたものを用いる。
【０１８０】
次に、塗布したインクを乾燥させる。まず、自然雰囲気中で３時間放置してインク層４１６のセッティングを行った後、８０℃のホットプレート上で４０分間加熱し、最後にオーブン中で２００℃で３０分間加熱してインク層４１６の硬化処理を行って、着色層４２１が得られる（図４９：Ｓ６）。
【０１８１】
上記基板に、透明アクリル樹脂塗料をスピンコートして平滑面を有するオーバーコート層４２２を形成する。さらに、この上面にＩＴＯ（Indium Tin Oxide）からなる電極層４２３を所要パターンで形成して、カラーフィルタ４００とする（図４９：Ｓ７）。なお、オーバーコート層４２２及び電極層４２３を、それぞれ液体材料を用いてインクジェット法で形成するようにしてもよい。
【０１８２】
図５０は、上記の如く製造されるカラーフィルタ４００を使用した電気光学装置（フラットディスプレイ）の一例であるカラー液晶表示装置の断面図である。断面図各部のハッチングは一部省略している。
【０１８３】
このカラー液晶表示装置４５０は、カラーフィルタ４００と対向基板４６６とを組み合わせ、両者の間に液晶組成物４６５を封入することにより製造される。液晶表示装置４５０の一方の基板４６６の内側の面には、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示せず）と画素電極４６３とがマトリクス状に形成されている。また、もう一方の基板として、画素電極４６３に対向する位置に赤、緑、青の着色層４２１が配列するようにカラーフィルタ４００が設置されている。
【０１８４】
基板４６６とカラーフィルタ４００の対向するそれぞれの面には、配向膜４６１、４６４が形成されている。これらの配向膜４６１、４６４はラビング処理されており、液晶分子を一定方向に配列させることができる。また、基板４６６およびカラーフィルタ４００の外側の面には、偏光板４６２、４６７がそれぞれ接着されている。また、バックライトとしては蛍光燈（図示せず）と散乱板の組合わせが一般的に用いられており、液晶組成物４６５をバックライト光の透過率を変化させる光シャッターとして機能させることにより表示を行う。
【０１８５】
なお、電気光学装置は、本発明では上記のカラー液晶表示装置に限定されず、例えば薄型のブラウン管、あるいは液晶シャッター等を用いた小型テレビ、ＥＬ表示装置、プラズマディスプレイ、ＣＲＴディスプレイ、ＦＥＤ（Field Emission Display）パネル等の種々の電気光学手段を用いることができる。
【０１８６】
次に、図５１ないし図６３を参照して、有機ＥＬ装置の有機ＥＬ（表示装置）とその製造方法を説明する。
【０１８７】
図５１ないし図６３は、有機ＥＬ素子を含む有機ＥＬ装置の製造プロセスと共にその構造を表している。この製造プロセスは、バンク部形成工程と、プラズマ処理工程と、正孔注入／輸送層形成工程及び発光層形成工程からなる発光素子形成工程と、対向電極形成工程と、封止工程とを具備して構成されている。
【０１８８】
バンク部形成工程では、基板５０１に予め形成した回路素子部５０２上及び電極５１１（画素電極ともいう）上の所定の位置に、無機物バンク層５１２ａと有機物バンク層５１２ｂを積層することにより、開口部５１２ｇを有するバンク部５１２を形成する。このように、バンク部形成工程には、電極５１１の一部に、無機物バンク層５１２ａを形成する工程と、無機物バンク層の上に有機物バンク層５１２ｂを形成する工程が含まれる。
【０１８９】
まず無機物バンク層５１２ａを形成する工程では、図５１に示すように、回路素子部５０２の第２層間絶縁膜５４４ｂ上及び画素電極５１１上に、無機物バンク層５１２ａを形成する。無機物バンク層５１２ａを、例えばＣＶＤ法、コート法、スパッタ法、蒸着法等によって層間絶縁層５１４及び画素電極５１１の全面にＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂等の無機物膜を形成する。
【０１９０】
次にこの無機物膜をエッチング等によりパターニングして、電極５１１の電極面５１１ａの形成位置に対応する下部開口部５１２ｃを設ける。このとき、無機物バンク層５１２ａを電極５１１の周縁部と重なるように形成しておく必要がある。このように、電極５１１の周縁部（一部）と無機物バンク層５１２ａとが重なるように無機物バンク層５１２ａを形成することにより、発光層５１０の発光領域を制御することができる。
【０１９１】
次に有機物バンク層５１２ｂを形成する工程では、図５２に示すように、無機物バンク層５１２ａ上に有機物バンク層５１２ｂを形成する。有機物バンク層５１２ｂをフォトリソグラフィ技術等によりエッチングして、有機物バンク層５１２ｂの上部開口部５１２ｄを形成する。上部開口部５１２ｄは、電極面５１１ａ及び下部開口部５１２ｃに対応する位置に設けられる。
【０１９２】
上部開口部５１２ｄは、図５２に示すように、下部開口部５１２ｃより広く、電極面５１１ａより狭く形成することが好ましい。これにより、無機物バンク層５１２ａの下部開口部５１２ｃを囲む第１積層部５１２ｅが、有機物バンク層５１２ｂよりも電極５１１の中央側に延出された形になる。このようにして、上部開口部５１２ｄ、下部開口部５１２ｃを連通させることにより、無機物バンク層５１２ａ及び有機物バンク層５１２ｂを貫通する開口部５１２ｇが形成される。
【０１９３】
次にプラズマ処理工程では、バンク部５１２の表面と画素電極の表面５１１ａに、親インク性を示す領域と、撥インク性を示す領域を形成する。このプラズマ処理工程は、予備加熱工程と、バンク部５１２の上面（５１２ｆ）及び開口部５１２ｇの壁面並びに画素電極５１１の電極面５１１ａを親インク性を有するように加工する親インク化工程と、有機物バンク層５１２ｂの上面５１２ｆ及び上部開口部５１２ｄの壁面を、撥インク性を有するように加工する撥インク化工程と、冷却工程とに大別される。
【０１９４】
まず、予備加熱工程では、バンク部５１２を含む基板５０１を所定の温度まで加熱する。加熱は、例えば基板５０１を載せるステージにヒータを取り付け、このヒータで当該ステージごと基板５０１を加熱することにより行う。具体的には、基板５０１の予備加熱温度を、例えば７０〜８０℃の範囲とすることが好ましい。
【０１９５】
つぎに、親インク化工程では、大気雰囲気中で酸素を処理ガスとするプラズマ処理（Ｏ₂プラズマ処理）を行う。このＯ₂プラズマ処理により、図５３に示すように、画素電極５１１の電極面５１１ａ、無機物バンク層５１２ａの第１積層部５１２ｅ及び有機物バンク層５１２ｂの上部開口部５１２ｄの壁面ならびに上面５１２ｆが親インク処理される。この親インク処理により、これらの各面に水酸基が導入されて親インク性が付与される。図５３では、親インク処理された部分を一点鎖線で示している。
【０１９６】
つぎに、撥インク化工程では、大気雰囲気中で４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理（ＣＦ₄プラズマ処理）を行う。ＣＦ₄プラズマ処理により、図５４に示すように、上部開口部５１２ｄ壁面及び有機物バンク層の上面５１２ｆが撥インク処理される。この撥インク処理により、これらの各面にフッ素基が導入されて撥インク性が付与される。図５４では、撥インク性を示す領域を二点鎖線で示している。
【０１９７】
次に、冷却工程では、プラズマ処理のために加熱された基板５０１を室温、またはインクジェット工程（液滴吐出工程）の管理温度まで冷却する。プラズマ処理後の基板５０１を室温、または所定の温度（例えばインクジェット工程を行う管理温度）まで冷却することにより、次の正孔注入／輸送層形成工程を一定の温度で行うことができる。
【０１９８】
次に発光素子形成工程では、画素電極５１１上に正孔注入／輸送層及び発光層を形成することにより発光素子を形成する。発光素子形成工程には、４つの工程が含まれる。即ち、正孔注入／輸送層を形成するための第１組成物を各前記画素電極上に吐出する第１液滴吐出工程と、吐出された前記第１組成物を乾燥させて前記画素電極上に正孔注入／輸送層を形成する正孔注入／輸送層形成工程と、発光層を形成するための第２組成物を前記正孔注入／輸送層の上に吐出する第２液滴吐出工程と、吐出された前記第２組成物を乾燥させて前記正孔注入／輸送層上に発光層を形成する発光層形成工程とが含まれる。
【０１９９】
まず、第１液滴吐出工程では、インクジェット法（液滴吐出法）により、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を電極面５１１ａ上に吐出する。なお、この第１液滴吐出工程以降は、水、酸素の無い窒素雰囲気、アルゴン雰囲気等の不活性ガス雰囲気で行うことが好ましい。（なお、画素電極上にのみ正孔注入／輸送層を形成する場合は、有機物バンク層に隣接して形成される正孔注入／輸送層は形成されない）
【０２００】
図５５に示すように、インクジェットヘッド（機能液滴吐出ヘッド）Ｈに正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を充填し、インクジェットヘッドＨの吐出ノズルを下部開口部５１２ｃ内に位置する電極面５１１ａに対向させ、インクジェットヘッドＨと基板５０１とを相対移動させながら、吐出ノズルから１滴当たりの液量が制御された第１組成物滴５１０ｃを電極面５１１ａ上に吐出する。
【０２０１】
ここで用いる第１組成物としては、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)等のポリチオフェン誘導体とポリスチレンスルホン酸(PSS)等の混合物を、極性溶媒に溶解させた組成物を用いることができる。極性溶媒としては、例えば、イソプロピルアルコール(IPA)、ノルマルブタノール、γ−ブチロラクトン、Ｎ−メチルピロリドン(NMP)、１，３−ジメチル−２−イミダゾリジノン(DMI)及びその誘導体、カルビト−ルアセテート、ブチルカルビト−ルアセテート等のグリコールエーテル類等を挙げることができる。なお、正孔注入／輸送層形成材料は、Ｒ・Ｇ・Ｂの各発光層５１０ｂに対して同じ材料を用いても良く、発光層毎に変えても良い。
【０２０２】
図５５に示すように、吐出された第１組成物滴５１０ｃは、親インク処理された電極面５１１ａ及び第１積層部５１２ｅ上に広がり、下部、上部開口部５１２ｃ、５１２ｄ内に満たされる。電極面５１１ａ上に吐出する第１組成物量は、下部、上部開口部５１２ｃ、５１２ｄの大きさ、形成しようとする正孔注入／輸送層の厚さ、第１組成物中の正孔注入／輸送層形成材料の濃度等により決定される。また、第１組成物滴５１０ｃは１回のみならず、数回に分けて同一の電極面５１１ａ上に吐出しても良い。
【０２０３】
次に正孔注入／輸送層形成工程では、図５６に示すように、吐出後の第１組成物を乾燥処理及び熱処理して第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させることにより、電極面５１１ａ上に正孔注入／輸送層５１０ａを形成する。乾燥処理を行うと、第１組成物滴５１０ｃに含まれる極性溶媒の蒸発が、主に無機物バンク層５１２ａ及び有機物バンク層５１２ｂに近いところで起き、極性溶媒の蒸発に併せて正孔注入／輸送層形成材料が濃縮されて析出する。
【０２０４】
これにより図５６に示すように、乾燥処理によって電極面５１１ａ上でも極性溶媒の蒸発が起き、これにより電極面５１１ａ上に正孔注入／輸送層形成材料からなる平坦部５１０ａが形成される。電極面５１１ａ上では極性溶媒の蒸発速度がほぼ均一であるため、正孔注入／輸送層の形成材料が電極面５１１ａ上で均一に濃縮され、これにより均一な厚さの平坦部５１０ａが形成される。
【０２０５】
次に第２液滴吐出工程では、インクジェット法（液滴吐出法）により、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出する。この第２液滴吐出工程では、正孔注入／輸送層５１０ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層５１０ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
【０２０６】
しかしその一方で正孔注入／輸送層５１０ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層５１０ａと発光層５１０ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層５１０ｂを均一に塗布できないおそれがある。そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層５１０ａの表面の親和性を高めるために、発光層を形成する前に表面改質工程を行うことが好ましい。
【０２０７】
そこでまず、表面改質工程について説明する。表面改質工程は、発光層形成の際に用いる第１組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質用溶媒を、インクジェット法（液滴吐出法）、スピンコート法またはディップ法により正孔注入／輸送層５１０ａ上に塗布した後に乾燥することにより行う。
【０２０８】
例えば、インクジェット法による塗布は、図５７に示すように、インクジェットヘッドＨに、表面改質用溶媒を充填し、インクジェットヘッドＨの吐出ノズルを基板（すなわち、正孔注入／輸送層５１０ａが形成された基板）に対向させ、インクジェットヘッドＨと基板５０１とを相対移動させながら、吐出ノズルＨから表面改質用溶媒５１０ｄを正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出することにより行う。そして、図５８に示すように、表面改質用溶媒５１０ｄを乾燥させる。
【０２０９】
次に第２液滴吐出工程では、インクジェット法（液滴吐出法）により、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出する。図５９に示すように、インクジェットヘッドＨに、青色（Ｂ）発光層形成材料を含有する第２組成物を充填し、インクジェットヘッドＨの吐出ノズルを下部、上部開口部５１２ｃ、５１２ｄ内に位置する正孔注入／輸送層５１０ａに対向させ、インクジェットヘッドＨと基板５０１とを相対移動させながら、吐出ノズルから１滴当たりの液量が制御された第２組成物滴５１０ｅとして吐出し、この第２組成物滴５１０ｅを正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出する。
【０２１０】
発光層形成材料としては、ポリフルオレン系高分子誘導体や、（ポリ）パラフェニレンビニレン誘導体、ポリフェニレン誘導体、ポリビニルカルバゾール、ポリチオフェン誘導体、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素、あるいは上記高分子に有機ＥＬ材料をドープして用いる事ができる。例えば、ルブレン、ペリレン、９，１０-ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン６、キナクリドン等をドープすることにより用いることができる。
【０２１１】
非極性溶媒としては、正孔注入／輸送層５１０ａに対して不溶なものが好ましく、例えば、シクロへキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等を用いることができる。このような非極性溶媒を発光層５１０ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層５１０ａを再溶解させることなく第２組成物を塗布できる。
【０２１２】
図５９に示すように、吐出された第２組成物５１０ｅは、正孔注入／輸送層５１０ａ上に広がって下部、上部開口部５１２ｃ、５１２ｄ内に満たされる。第２組成物５１０ｅは１回のみならず、数回に分けて同一の正孔注入／輸送層５１０ａ上に吐出しても良い。この場合、各回における第２組成物の量は同一でも良く、各回毎に第２組成物量を変えても良い。
【０２１３】
次に発光層形成工程では、第２組成物を吐出した後に乾燥処理及び熱処理を施して、正孔注入／輸送層５１０ａ上に発光層５１０ｂを形成する。乾燥処理は、吐出後の第２組成物を乾燥処理することにより第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発して、図６０に示すような青色（Ｂ）発光層５１０ｂを形成する。
【０２１４】
続けて、図６１に示すように、青色（Ｂ）発光層５１０ｂの場合と同様にして、赤色（Ｒ）発光層５１０ｂを形成し、最後に緑色（Ｇ）発光層５１０ｂを形成する。なお、発光層５１０ｂの形成順序は、前述の順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。
【０２１５】
次に対向電極形成工程では、図６２に示すように、発光層５１０ｂ及び有機物バンク層５１２ｂの全面に陰極５０３（対向電極）を形成する。なお，陰極５０３は複数の材料を積層して形成しても良い。例えば、発光層に近い側には仕事関数が小さい材料を形成することが好ましく、例えばＣａ、Ｂａ等を用いることが可能であり、また材料によっては下層にＬｉＦ等を薄く形成した方が良い場合もある。また、上部側（封止側）には下部側よりも仕事関数が高いものが好ましい。これらの陰極（陰極層）５０３は、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等で形成することが好ましく、特に蒸着法で形成することが、発光層５１０ｂの熱による損傷を防止できる点で好ましい。
【０２１６】
また、フッ化リチウムは、発光層５１０ｂ上のみに形成しても良く、更に青色（Ｂ）発光層５１０ｂ上のみに形成しても良い。この場合、他の赤色（Ｒ）発光層及び緑色（Ｇ）発光層５１０ｂ、５１０ｂには、ＬｉＦからなる上部陰極層５０３ｂが接することとなる。また陰極１２の上部には、蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等により形成したＡｌ膜、Ａｇ膜等を用いることが好ましい。また、陰極５０３上に、酸化防止のためにＳｉＯ₂、ＳｉＮ等の保護層を設けても良い。
【０２１７】
最後に、図６３に示す封止工程では、窒素、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガス雰囲気中で、有機ＥＬ素子５０４上に封止用基板５０５を積層する。封止工程は、窒素、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガス雰囲気で行うことが好ましい。大気中で行うと、陰極５０３にピンホール等の欠陥が生じていた場合にこの欠陥部分から水や酸素等が陰極５０３に侵入して陰極５０３が酸化されるおそれがあるので好ましくない。そして最後に、フレキシブル基板の配線に陰極５０３を接続するとともに、駆動ＩＣに回路素子部５０２の配線を接続することにより、本実施形態の有機ＥＬ装置５００が得られる。
【０２１８】
なお、上記の撥インク膜、陰極５０３、画素電極５１１等においても、それぞれ液体材料を用い、インクジェット法で形成するようにしてもよい。
【０２１９】
同様に、本実施形態のヘッドユニットは、電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ装置の製造方法および電気泳動表示装置の製造方法等に、適用することができる。
【０２２０】
電子放出装置の製造方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド３にＲ、Ｇ、Ｂ各色の蛍光材料を導入し、ヘッドユニット１を介して複数の機能液滴吐出ヘッド３を主走査および副走査し、蛍光材料を選択的に吐出して、電極上に多数の蛍光体を形成する。なお、電子放出装置は、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）を含む上位の概念である。
【０２２１】
ＰＤＰ装置の製造方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド３にＲ、Ｇ、Ｂ各色の蛍光材料を導入し、ヘッドユニット１を介して複数の機能液滴吐出ヘッド３を主走査および副走査し、蛍光材料を選択的に吐出して、背面基板上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成する。
【０２２２】
電気泳動表示装置の製造方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド３に各色の泳動体材料を導入し、ヘッドユニット１を介して複数の機能液滴吐出ヘッド３を主走査および副走査し、インク材料を選択的に吐出して、電極上の多数の凹部にそれぞれ泳動体を形成する。尚、帯電粒子と染料とから成る泳動体は、マイクロカプセルに封入されていることが、好ましい。
【０２２３】
また、洗浄済みのヘッドユニット１は、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法等にも、適用可能である。
【０２２４】
スペーサ形成方法は、２枚の基板間に微小なセルギャップを構成すべく多数の粒子状のスペーサを形成するものであり、複数の機能液滴吐出ヘッド３にスペーサを構成する粒子材料を導入し、ヘッドユニット１を介して複数の機能液滴吐出ヘッド３を主走査および副走査し、粒子材料を選択的に吐出して少なくとも一方の基板上にスペーサを形成する。例えば、上記の液晶表示装置や電気泳動表示装置における２枚の基板間のセルギャップを構成する場合に有用であり、その他この種の微小なギャップを必要とする半導体製造技術に適用できることはいうまでもない。
【０２２５】
金属配線形成方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド３に液状金属材料を導入し、ヘッドユニット１を介して複数の機能液滴吐出ヘッド３を主走査および副走査し、液状金属材料を選択的に吐出して、基板上に金属配線を形成する。例えば、上記の液晶表示装置におけるドライバと各電極とを接続する金属配線や、上記の有機ＥＬ装置におけるＴＦＴ等と各電極とを接続する金属配線に適用することができる。また、この種のフラットディスプレイの他、一般的な半導体製造技術に適用できることはいうまでもない。
【０２２６】
レンズ形成方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド３にレンズ材料を導入し、ヘッドユニット１を介して複数の機能液滴吐出ヘッド３を主走査および副走査し、レンズ材料を選択的に吐出して、透明基板上に多数のマイクロレンズを形成する。例えば、上記のＦＥＤ装置におけるビーム収束用のデバイスとして適用可能である。また、各種の光デバイスに適用可能であることはいうまでもない。
【０２２７】
レジスト形成方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド３にレジスト材料を導入し、ヘッドユニット１を介して複数の機能液滴吐出ヘッド３を主走査および副走査し、レジスト材料を選択的に吐出して、基板上に任意形状のフォトレジストを形成する。例えば、上記の各種表示装置おけるバンクの形成は元より、半導体製造技術の主体を為すフォトリソグラフィ法において、フォトレジストの塗布に広く適用可能である。
【０２２８】
光拡散体形成方法では、複数の機能液滴吐出ヘッド３に光拡散材料を導入し、ヘッドユニット１を介して複数の機能液滴吐出ヘッド３を主走査および副走査し、光拡散材料を選択的に吐出して多数の光拡散体を形成する。この場合も、各種の光デバイスに適用可能であることはいうまでもない。
【０２２９】
【発明の効果】
以上のように、本発明のヘッドユニットの組立方法によれば、機能液滴吐出ヘッドの位置決め（位置補正）を、精度良く且つ迅速に行うことができる。また、仮固定の後に、再度画像認識するようにしているため、機能液滴吐出ヘッドのサブキャリッジへの仮固定を精度良く且つ適切に行うことができる。したがって、ヘッドユニットの量産性および信頼性を高めることができる。
【０２３０】
また、本発明の機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置およびヘッドユニットの組立装置によれば、一対の係合アームを、サブプレートの２つの係合孔に係合させて、位置補正を行うようにしているため、位置補正を安定に且つ精度良く行うことができる。係合ピンの偏心等の影響を排除して位置決めを行うことができ、機能液滴吐出ヘッドの安定した位置決めが可能になる。したがって、ヘッドユニットの量産性および信頼性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 実施形態に係るヘッドユニットの平面図である。
【図２】 実施形態に係るヘッドユニットの正面図である。
【図３】 実施形態に係るヘッドユニットの側面図である。
【図４】 実施形態の機能液滴吐出ヘッド廻りの断面図である。
【図５】 実施形態の機能液滴吐出ヘッドを模式的に表した斜視図である。
【図６】 実施形態の機能液滴吐出ヘッドの拡大断面図である。
【図７】 実施形態のサブプレートの構造図である。
【図８】 実施形態の組付治具を用いたヘッドユニットの組付方法を示す拡大斜視図である。
【図９】 実施形態の組付治具の構造図である。
【図１０】 実施形態の組付治具を用いたヘッドユニットの組付方法を示す平面図である。
【図１１】 実施形態の組付治具を用いたヘッドユニットの組付方法を示す正面図である。
【図１２】 実施形態の描画装置の模式図である。
【図１３】 実施形態のアライメントマスクにおけるマスタプレートの構造図である。
【図１４】 実施形態のアライメントマスクの平面図である。
【図１５】 実施形態のアライメントマスクの正面図である。
【図１６】 実施形態の組立装置の正面側から見た全体斜視図である。
【図１７】 実施形態の組立装置の背面側から見た全体斜視図である。
【図１８】 実施形態の組立装置の全体平面図である。
【図１９】 実施形態の組立装置の全体正面図である。
【図２０】 実施形態の組立装置の左側から見た全体側面図である。
【図２１】 実施形態のユニット移動装置におけるＸ・Ｙテーブル廻りの斜視図である。
【図２２】 実施形態のユニット移動装置におけるセットテーブルの構造図である。
【図２３】 実施形態のユニット移動装置におけるθテーブルの平面図である。
【図２４】 実施形態のユニット移動装置におけるθテーブルの裁断側面図である。
【図２５】 実施形態のユニット移動装置におけるθテーブルの正面図である。
【図２６】 実施形態のユニット移動装置におけるＸ・Ｙテーブル廻りの平面図である。
【図２７】 実施形態のユニット移動装置におけるＸ・Ｙテーブル廻りの正面図である。
【図２８】 実施形態のヘッド補正装置における補正用Ｘ・Ｙテーブル廻りの斜視図である。
【図２９】 実施形態のヘッド補正装置における補正用Ｘ・Ｙテーブル廻りの平面図である。
【図３０】 実施形態のヘッド補正装置における補正用Ｘ・Ｙテーブル廻りの正面図である。
【図３１】 実施形態のヘッド補正装置における補正用Ｘ・Ｙテーブル廻りの側面図である。
【図３２】 実施形態のヘッド補正装置におけるアームユニットの斜視図である。
【図３３】 実施形態のヘッド補正装置におけるアームユニットの正面図である。
【図３４】 実施形態のヘッド補正装置におけるアームユニットの側面図である。
【図３５】 アームユニットの係合アームおよびボールスプラインの外観図である。
【図３６】 第２実施形態に係るアームユニット廻りの模式図である。
【図３７】 第２実施形態の変形例に係るアームユニット廻りの模式図である。
【図３８】 実施形態の認識装置の斜視図である。
【図３９】 実施形態の認識装置の平面図である。
【図４０】 実施形態の認識装置の正面図である。
【図４１】 実施形態の認識装置の側面図である。
【図４２】 実施形態の仮固定装置の全体斜視図である。
【図４３】 実施形態の仮固定装置の平面図である。
【図４４】 実施形態の仮固定装置の正面図である。
【図４５】 実施形態の仮固定装置の側面図である。
【図４６】 接着剤塗布装置の斜視図である。
【図４７】 実施形態に係る制御装置のブロック図である。
【図４８】 実施形態のカラーフィルタの製造方法により製造されるカラーフィルタの部分拡大図である。
【図４９】 実施形態のカラーフィルタの製造方法を模式的に示す製造工程断面図である。
【図５０】 実施形態のカラーフィルタの製造方法により製造される液晶表示装置の断面図である。
【図５１】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法におけるバンク部形成工程（無機物バンク）の断面図である。
【図５２】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法におけるバンク部形成工程（有機物バンク）の断面図である。
【図５３】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法におけるプラズマ処理工程（親水化処理）の断面図である。
【図５４】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法におけるプラズマ処理工程（撥水化処理）の断面図である。
【図５５】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法における正孔注入層形成工程（液滴吐出）の断面図である。
【図５６】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法における正孔注入層形成工程（乾燥）の断面図である。
【図５７】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法における表面改質工程（液滴吐出）の断面図である。
【図５８】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法における表面改質工程（乾燥）の断面図である。
【図５９】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法におけるＢ発光層形成工程（液滴吐出）の断面図である。
【図６０】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法におけるＢ発光層形成工程（乾燥）の断面図である。
【図６１】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法におけるＲ・Ｇ・Ｂ発光層形成工程の断面図である。
【図６２】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法における対向電極形成工程の断面図である。
【図６３】 実施形態に係る有機ＥＬ素子の製造方法における封止工程の断面図である。
【符号の説明】
Ａ 組立装置 Ｂ 描画装置
Ｃ 組付治具 Ｄ アライメントマスク
１ ヘッドユニット ２ サブキャリッジ
３ 機能液滴吐出ヘッド ４ サブプレート
１１ 本体プレート １２ 基準ピン
５０ ヘッド本体 ５２ ノズル形成面
５３ ノズル列 ５７ 吐出ノズル
５７ａ 吐出ノズル（最外端） ６５ ノズル基準マーク
７６ 係合孔 ７７ 接着剤注入孔
７８ 接着部位 ８１ 治具本体
１０１ ヘッド移動部 １０５ ユニット導入部
１６１ マスタプレート １６１ａ マーク形成面
１６４ ヘッド基準マーク １６５ サブキャリッジ基準マーク
１７１ 支持ピン ２１１ ユニット移動装置
２１２ ヘッド補正装置 ２１３ 仮固定装置
２１４ 認識装置 ２１５ 制御装置
２３１ セットテーブル ２３２ θテーブル
２３３ Ｘ・Ｙテーブル ２７１ Ｘ軸テーブル
２７２ Ｙ軸テーブル ３０２ 補正用Ｘ・Ｙテーブル
３０３ 補正用θテーブル ３０４ アームユニット
３５２ カメラ位置調節ユニット ３５３ 認識カメラ
３５９ マイクロステージ ３７３ エアーテーブル
３７４ 接着剤塗布装置 ３７７ Ｙエアーテーブル
３７８ サブＹエアーテーブル ３８０ Ｚ軸エアーテーブル
３８７ 接着剤注入ノズル ４００ カラーフィルタ
４１１ 基板 ４１２ 画素（フィルタエレメント）
４１３ 仕切り ４１４ 遮光層
４１５ バンク層 ４１６ インク層
４２１ 着色層 ４２２ オーバーコート層
４２３ 電極層 ５００ 有機ＥＬ装置
５０１ 基板 ５０２ 回路素子部
５０４ 有機ＥＬ素子 ５１０ａ 正孔注入／輸送層
５１０ｂ 発光層 ６３１ 係合アーム
６３３ アーム昇降装置 ６４３ 係合ピン
６４４ ピンホルダ ６４５ コイルばね
６５１ ボールスプライン ６５２ テーパー部
６６１ エアー穴 ６６２ 小型シリンダ

Claims (18)

1. サブプレートに保持されノズル形成面を上向きにした機能液滴吐出ヘッドを、前記サブプレートを介して上下反転させたサブキャリッジに吊下するように仮装着したヘッドユニットに対し、前記機能液滴吐出ヘッドを前記サブキャリッジに位置決めした状態で固定するヘッドユニットの組立方法であって、
   前記機能液滴吐出ヘッドの位置を画像認識するヘッド認識工程と、
   前記ヘッド認識工程における認識結果に基づいて、前記サブキャリッジに対し前記サブプレートを介して前記機能液滴吐出ヘッドを位置決めするヘッド位置決め工程と、
   前記ヘッド位置決め工程の後、前記サブプレートを前記サブキャリッジに仮固定する仮固定工程と、
   前記仮固定工程の後、前記機能液滴吐出ヘッドの位置を画像認識する仮固定後確認工程と、を備えたことを特徴とするヘッドユニットの組立方法。
2. 前記ヘッド認識工程に先立ち、
   前記サブキャリッジの位置を画像認識するキャリッジ認識工程と、
   前記キャリッジ認識工程における認識結果に基づいて、前記サブキャリッジを位置決めするキャリッジ位置決め工程と、を更に備えたことを特徴とする請求項１に記載のヘッドユニットの組立方法。
3. 前記仮固定後確認工程における認識結果に基づいて、本固定を行うか否かを決定する判別工程と、
   前記判別工程により本固定を行うことを決定された場合に、前記サブプレートを前記サブキャリッジに本固定する本固定工程と、を更に備えたことを特徴とする請求項１または２に記載のヘッドユニットの組立方法。
4. 前記本固定工程の後、前記機能液滴吐出ヘッドの位置を画像認識する本固定後確認工程、を更に備えたことを特徴とする請求項１、２または３に記載のヘッドユニットの組立方法。
5. 前記ヘッド位置決め工程は、
   前記機能液滴吐出ヘッドを位置決めした後、前記機能液滴吐出ヘッドの位置を画像認識する仮固定前確認工程を有していることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のヘッドユニットの組立方法。
6. 前記ヘッド位置決め工程は、
   前記仮固定前確認工程の認識結果において、前記機能液滴吐出ヘッドの目標位置とアライメント位置とが異なる場合に、前記機能液滴吐出ヘッドの位置を補正する位置補正工程を、更に有していることを特徴とする請求項５に記載のヘッドユニットの組立方法。
7. 前記仮固定工程は、接着剤により前記サブプレートを前記サブキャリッジに接着することで行われることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載のヘッドユニットの組立方法。
8. 前記サブキャリッジの位置および前記サブキャリッジに搭載された前記機能液滴吐出ヘッドの位置をパターン形成したアライメントマスクが用意されており、
   前記サブキャリッジの位置決めおよび前記機能液滴吐出ヘッドの位置決めは、前記アライメントマスクからそれぞれ取得した前記サブキャリッジの位置および前記機能液滴吐出ヘッドの位置を目標位置として、為されることを特徴とする請求項２ないし７のいずれかに記載のヘッドユニットの組立方法。
9. サブプレートに保持された機能液滴吐出ヘッドのこれが搭載されるサブキャリッジへの固定に先立ち、前記サブプレートを介して前記サブキャリッジに仮装着した前記機能液滴吐出ヘッドを前記サブキャリッジに位置決めする機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置であって、
   前記サブプレートに相互に離間して形成した２つの係合孔に係合する一対の係合アームと、前記サブキャリッジに対し前記一対の係合アームをＸ・Ｙ・θ軸方向に相対的に微少移動させるＸ・Ｙ・θ軸テーブルとを備え、
   前記各係合アームは、先端部が前記各係合孔に挿入される係合ピンと、前記係合ピンを軸方向にスライド自在に且つ軸廻りに回転不能に保持するピンホルダとを有することを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
10. 前記サブプレートの２つの係合孔は、一方が円形に形成され、他方が長円形に形成されていることを特徴とする請求項９に記載の機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
11. 前記ピンホルダには、前記係合ピンとの間にボールスプラインが介設されていることを特徴とする請求項９または１０に記載の機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
12. 前記ピンホルダに対し前記係合ピンは、軸方向に離間して２個所で保持されており、
    前記ボールスプラインは、前記２個所に介設されていることを特徴とする請求項１１に記載の機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
13. 前記係合ピンの先端部は、先端側を前記係合孔より細径とし基端側を前記係合孔より太径とするテーパー形状に形成されていることを特徴とする請求項９ないし１２のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
14. 前記係合ピンの先端部は、鋭角となるテーパー形状に形成されていることを特徴とする請求項１３に記載の機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
15. 前記係合ピンを突出方向に付勢する付勢手段を、更に備えたことを特徴とする請求項９ないし１４のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
16. 前記サブプレートを介して前記機能液滴吐出ヘッドを位置決めした後、前記係合ピンを介して前記サブプレートを前記サブキャリッジに押圧する押圧手段を、更に備えたことを特徴とする請求項９ないし１５のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
17. 前記サブキャリッジに形成した複数の小穴を介して、前記サブプレートをエアー浮上させる圧縮エアー供給手段を、更に備えたことを特徴とする請求項９ないし１６のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
18. 請求項９ないし１７のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの位置決め装置を備え、
    前記サブプレート、前記機能液滴吐出ヘッドおよび前記サブキャリッジから成るヘッドユニットを組み立てることを特徴とするヘッドユニットの組立装置。

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